JP4101206B2 - 大型ペリクルの支持装置および装着方法 - Google Patents

Description

本発明はペリクルの膜に付着した異物を除去する或いはペリクルの膜を検査する設備及びその使用方法に関し、特に、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴ−ＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクル（以下、「マスク」という）に固着して使用される大型サイズのペリクルを容易に支持し、取り扱うための設備及びその使用方法に関するものである。

ペリクルは、マスクに対して所定の距離をおいてペリクル膜を位置させ、マスク上に塵埃等の異物等が付着するのを防止するものである。

フォトリソグラフィ工程において、異物等がペリクル上に付着したとしても、それ等の像はフォトレジストが塗布された半導体ウェハ上には結像しない。従って、マスクをペリクルで保護することにより、異物等の像による半導体集積回路の短絡や断線等、また液晶ディスプレイ（以下、「ＬＣＤ」という）の欠陥を防止することができ、フォトリソグラフィ工程での製造歩留りが向上する。更にマスクのクリーニング回数が減少して、その寿命を延ばす等の効果がペリクルにより得られる。

近年、ＬＣＤではＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の実用化により大画面化、高精細化、大容量化等が達成されつつあるが、ＴＦＴ−ＬＣＤ製造で使用されるペリクルもこれに対応して大型化及び面内の光透過性の均一性が求められており、また半導体製造用のペリクルにおいても均一な高光線透過率を持つペリクル膜が求められている。更に、ペリクル自身及びその周辺からミクロンオーダーの塵埃等の異物の発生も許されないペリクルが求められている。

このようなマスク保護装置としてのペリクルは、一定幅を有するペリクル枠と、該ペリクル枠の一方の側面に接着剤により張着された透明薄膜からなるペリクル膜とから構成されている。ペリクル枠の他方の側面にはマスクに張り付けるための粘着材が塗着されており、粘着材には保護フィルムが貼着されている。

ペリクルに付着した塵埃の検査は、暗室でペリクルに検査光を照射し、その反射光を観察することで行っていた。検査光は強力なハロゲンランプ光であり、目視検査においては操作者の背後から照射される。操作者が検査光にペリクルをかざし、塵埃などの異物が存在すると、これに反射して光点として観察される。操作者は異物を発見すると、エアーガンをあてて、異物を除去している。

十分な検査をするためには、あらゆる角度から検査光をあてる必要がある。ここで、従来ペリクルの検査は、治具にペリクル枠を嵌合させて支持し、一方の手で取り回して検査光にかざすと共に、他方の手でエアーガンを取り扱っていた。

上記の関連する背景技術は、特開平６−１３３６２号、特開平８−２２６９００号、特開２００２−５５０５９号に開示される。

特開平６−１３３６２号公報 特開平８−２２６９００号公報 特開２００２−５５０５９号公報

しかし、上述した如く、近年はペリクルの大型化が進んでいる。このため、治具を介してペリクルを支持したとしても、例えばペリクル膜の長辺が400mmほどにも達すると、その大きさのためにペリクル全面を観察するには手の可動範囲内では不十分である。このためペリクルの旋回範囲が限られ、あらゆる角度から検査光を当てることが困難となってしまう。

また、そのようにペリクルサイズが大きいと、ペリクルを両手で取り回す必要がある。このため、エアーガンを同時に取り扱うことができず、異物を見つけても除去することが困難となってしまう。

一方、ペリクルを台上に載置して検査を行うことも考えられるが、作業員は光源とエアーガンを持ってペリクルのまわりを周回しなくてはならず、作業効率が悪いうえに、塵埃の発生を招くおそれもある。

そこで本発明は、大型ペリクルであっても容易に取り回すことができ、その全面を容易に検査することを可能とする支持装置、及びかかる装置への大型ペリクルの装着方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明にかかる大型ペリクルの支持装置の第１の構成は、長辺が７００ｍｍ以上のペリクル膜がその上で張られるための枠を、操作者（作業員）が移動できるよう床に対して移動可能に支持するための装置であって、該装置はバランサー装置（対象物を、操作者が保持していなくても、対象物の重量を受け止めて、対象物の垂直方向位置と水平方向位置と姿勢とを静止させて、空中に保持する装置）の対象物取付け部材としての、床に対して移動可能な移動可能部材に装着部材を介して該枠が嵌合している係合部材が配置された構造を有しており、前記移動可能部材は、床に対して交差する方向の移動と、床に対して平行する方向の移動と、床に交差する軸線の回りでの旋回移動と、床に平行な軸線の回りでの旋回移動と、が可能であり、前記装着部材が有する略垂直方向上方に突出する棒状突起が、該棒状突起を収容して嵌り合う穴を有する前記係合部材に着脱自在に係合し、前記係合部材は、前記穴を取り囲んで延びる管状部分を有し、前記管状部分は、操作者が該管状部分を介して前記係合部材を把持して移動させるに十分な長さを有している。

本発明にかかる大型ペリクルの支持装置の第２の構成は、前記第１の構成において、前記装着部材は、ハンドル部分を備え、操作者が前記装着部材を移動させるよう前記ハンドル部分に接触可能であることを特徴とする。

本発明にかかる大型ペリクルの支持装置の第３の構成は、前記第２の構成において、前記ハンドル部分は、前記枠に張られた時の前記ペリクル膜の厚さ方向に見て、該枠より外側に配置されることを特徴とする。

本発明にかかる大型ペリクルの支持装置の第４の構成は、前記第１〜３の構成において、前記装着部材は複数の前記棒状突起を有し、前記係合部材は該棒状突起をそれぞれ収容して嵌り合う複数の前記穴を有することを特徴とする。

本発明にかかる大型ペリクルの支持装置の第５の構成は、前記第４の構成において、前記複数の棒状突起は、前記枠に張られた時のペリクル膜の厚さ方向に直角な方向に相互に離れて配置されていることを特徴とする。

本発明にかかる大型ペリクルの支持装置の第６の構成は、前記第４、第５の構成において、前記複数の棒状突起は、水平方向に相互に離れて配置されていることを特徴とする。

本発明にかかる大型ペリクル支持装置用部材の第１の構成は、長辺が７００ｍｍ以上のペリクル膜がその上で張られるための枠を、床に対して移動可能な移動可能部材に取りつけるための大型ペリクル支持装置用部材であり、該部材は前記移動可能部材上に取り付けられる装着部材と、前記枠を保持可能であり、且つ前記装着部材とは着脱自在に係合する係合部材とからなり、前記装着部材と前記係合部材とは、該装着部材に略垂直方向上方に突出する棒状突起が、該係合部材に配置された前記棒状突起を収容して嵌り合う穴に着脱自在に係合し、前記係合部材は、前記穴を取り囲んで延びる管状部分を有し、前記管状部分は、操作者が該管状部分を介して前記係合部材を把持して移動させるに十分な長さを有することを特徴とする。

本発明にかかる大型ペリクル支持装置用部材の第２の構成は、前記第１の構成において、前記装着部材は、ハンドル部分を備え、操作者が前記装着部材を移動させるよう前記ハンドル部分に接触可能であることを特徴とする。

本発明にかかる大型ペリクル支持装置用部材の第３の構成は、前記第１、第２の構成において、前記装着部材は複数の前記棒状突起を有し、前記係合部材は前記棒状突起をそれぞれ収容して嵌り合う複数の前記穴を有することを特徴とする。

本発明にかかる大型ペリクル支持装置用部材の第４の構成は、前記第３の構成において、前記複数の棒状突起は、前記枠に張られた時のペリクル膜の厚さ方向に直角な方向に相互に離れて配置されていることを特徴とする。

本発明にかかる大型ペリクルの装着方法の第１の構成は、枠上に長辺が７００ｍｍ以上のペリクル膜が張られた大型ペリクルを床に対して移動可能な移動可能部材上に装着するための大型ペリクルの装着方法であり、前記枠に嵌合する係合部材に該枠を保持させる段階と、前記係合部材に設けられた穴内に、前記移動可能部材上に取り付けられた装着部材から略垂直方向上方に突出する棒状突起を嵌め込むことにより、前記係合部材を前記移動可能部材上に装着させる段階と、を有し、前記係合部材に設けられた前記穴を取り囲んで延びる管状部分を掴んで、前記穴内に前記装着部材から略垂直方向上方に突出する前記棒状突起を嵌め込むことを特徴とする。

本発明によれば、小さな力で極めて容易に、例えば片手であってもペリクルを移動させることができ、かつ人手で支えることなく任意の姿勢角度と位置でペリクルを静止して支持することができる。このため、面積が大きく、かつ重い大型ペリクルであっても、あらゆる角度から検査光をあてて、十分な検査を行うことができる。

本発明について、以下具体的に説明する。

本発明にかかる大型ペリクルの支持装置の代表的な構成は、ペリクル膜がその上で張られるための枠を、操作者（作業員）が移動できるよう床に対して移動可能に支持するための装置であって、バランサー装置（対象物を、操作者が保持していなくても、対象物の重量を受け止めて、対象物の垂直方向位置と水平方向位置と姿勢とを静止させて、空中に保持する装置）の対象物取付け部材としての、床に対して移動可能な移動可能部材と、枠と必要に応じて着脱自在に嵌合して保持可能であり、且つ移動可能部材に着脱自在に接続可能である係合部材と、を有する。

移動可能部材は、床に対して平行な方向の移動と、床に対して交差する方向の移動と、床に交差する軸線の回りでの旋回移動と、床に平行な軸線の回りでの旋回移動の、少なくても一つが可能であれば良い。

移動可能部材上に取り付けられる装着部材を更に有し、係合部材は、装着部材により保持されるよう装着部材と着脱自在に係合可能であるならば、移動可能部材と係合部材との接続構造の選択肢が増大される。

装着部材は、ハンドル部分を備え、操作者が装着部材を移動させるようハンドル部分に接触可能であるならば、ペリクルへの操作者の接触防止に有効である。ハンドル部分は、枠に張られた時のペリクル膜の厚さ方向に見て、枠（或いは枠に張られたペリクル膜）より外側に配置されるならば、ペリクル上での異物の発見及びペリクル上からの異物の除去の際に、ハンドル部分が遮蔽物となることが防止される。なおハンドル部分は、垂直方向においては枠（或いは枠に張られたペリクル膜）の少なくとも一部と同じ高さであることが好適であり、最適には枠（或いは枠に張られたペリクル膜）の中心より高い高さまで延びることが望ましい。

装着部材は垂直方向上方に突出する棒状突起を有し、係合部材は、棒状突起を収容して嵌合する穴を有して、棒状突起と穴との嵌め合いを伴って係合部材が装着部材と（必要に応じて）着脱自在に係合して装着部材により保持されるならば、ペリクル膜がその上に張られた枠を保持する係合部材を、上方から棒状突起に挿入して棒状突起に沿って下降させることにより装着部材に支持させることが可能となり、装着部材上への係合部材の装着が容易に行なわれ得る。なお、ペリクル膜がその上に張られた枠を保持する係合部材の重量は、棒状突起の先端、或いは棒状突起の下端から半径方向外方へ延びるフランジ部で係合部材に接触することにより、負担することが好適である。

係合部材は、穴を取り囲んで延びる管状部分を有するならば、係合部材の軽量化に有効である。管状部分は、操作者が管状部分を介して係合部材を把持して移動させるに（例えば、管状部分を掌の中に握って、より好適には掌の中を穴が通過するように握って、移動させるに）十分な長さを有するならば、棒状突起と穴との整列を正確に行うことができ棒状突起と穴との嵌め合いを容易に行う事が可能となる。

装着部材は複数の棒状突起を有し、係合部材は棒状突起をそれぞれ収容して嵌合する複数の穴を有するならば、装着部材と係合部材との間の位置決め精度が向上する。複数の棒状突起は、枠に張られた時のペリクル膜の厚さ方向に直角な方向において、相互に離されるならば、係合部材の枠に張られた時のペリクル膜の厚さ方向における形状の縮小化に有効である。複数の棒状突起は、水平方向において、相互に離されるならば、装着部材と係合部材との間の水平方向における位置決め精度が向上する。

本発明にかかる大型ペリクルの支持装置の他の代表的な構成は、ペリクル膜がその上で張られるための枠を、バランサー装置の対象物取付け部材としての、床に対して移動可能な移動可能部材に取りつけるための装置であって、移動可能部材上に取り付けられる装着部材と、枠と必要に応じて着脱自在に嵌合して保持可能であり、且つ装着部材に着脱自在に係合可能である係合部材と、を有し、装着部材は垂直方向上方に突出する棒状突起を有し、係合部材は、棒状突起を収容して嵌合する穴を有して、棒状突起と穴との嵌め合いを伴って係合部材が装着部材と着脱自在に係合して装着部材により保持される。装着部材は、ハンドル部分を備え、操作者が装着部材を移動させるようハンドル部分に接触可能であっても良い。

本発明に係る大型ペリクルの装着方法の代表的な構成は、ペリクル膜がその上で張られた枠を、床に対して移動可能な移動可能部材上に装着するための方法であって、枠に嵌合する係合部材に枠を保持させる段階と、係合部材に設けられた穴内に、移動可能部材上に取り付けられた装着部材から略垂直方向上方に突出する棒状突起を嵌め込むことにより、係合部材を移動可能部材上に装着させる段階と、を有することを特徴とする。これにより、ペリクル膜がその上に張られた枠を保持する係合部材を、上方から棒状突起に挿入して棒状突起に沿って下降させることにより装着部材に支持させることが可能となり、装着部材上への係合部材の装着が容易に行なわれ得る。さらに、係合部材の穴を取り囲んで延びる管状部分を掴んで、係合部材の穴内に、装着部材の垂直方向上方に突出する棒状突起を嵌め込むならば、棒状突起と穴との整列を正確に行うことができ棒状突起と穴との嵌め合いを容易に行う事が可能となる。

本発明の大型ペリクルの支持装置、アタッチメントおよびその使用方法は、ペリクル膜の長辺が400mm以上、特に700mm以上の大型ペリクルを支持し取扱う場合に顕著な効果を発揮する。また、本発明は、大型ペリクルのペリクル膜に付着した異物を除去或いは検査する設備及びその使用方法として好適である。

以下、本発明にかかる大型ペリクルの支持装置およびアタッチメントの実施例について説明する。図１はペリクルの支持装置の全体構成図、図２はアタッチメントを説明する図、図３はペリクルのホルダを説明する図、図４はペリクルを説明する図である。大型ペリクルの支持装置とは、ペリクル膜がその上で張られるための枠を、操作者が移動できるよう、床に対して移動可能に支持するための装置である。

図１に示すように、本発明にかかる大型ペリクルの支持装置は、バランサー装置１の先端にフランジ22を取り付けており、その上に取り付けた装着部材の例としてのアタッチメント２に、ペリクル４を保持する係合部材の例としてのホルダ３を着脱自在に係合させている。また検査を行うために、検査光を照射する光源５、発見した塵埃を除去するためのエアーガン６が用いられる。なお、床に対して移動可能な移動可能部材とは、狭義にはフランジ22となるが、本実施例のようにアタッチメント２を備えている場合には、フランジ22およびアタッチメント２があわさって移動可能部材を構成する。

バランサー装置１は、本体11に、上下動アーム12ａ、12ｂ、ブラケット13、水平アーム14、旋回ユニット15、フットペダル16を備えている。本体11の内部には駆動装置が備えられており、フットペダル16による操作に従って、上下動アーム12ａ、12ｂを駆動して上下方向に回動させる（矢印Ａ方向）。駆動装置は、圧縮空気、電気、バネなどを動力とすることができる。２本の上下動アーム12ａ、12ｂが平行に取り付けられていることにより、その先端のブラケット13は垂直の姿勢を保ったまま上下移動することができる。ブラケット13に取り付けられた水平アーム14は水平面内を回動可能となっており（矢印Ｂ方向）、トルクキーパーを備えて所定の摺動抵抗を与えている。水平アーム14の先端に備えられた旋回ユニット15は、水平アーム14に対して水平面内において回転可能となっており（矢印Ｃ方向）、かつ垂直面内においてアタッチメント２を回転可能となっている（矢印Ｄ方向）。水平面内での回転についてはフットペダル16によるブレーキ操作が可能となっており、また垂直面内での回転についてはトルクキーパーを備えて所定の摺動抵抗を与えている。

すなわち、バランサー装置１は、アタッチメント２を、水平方向（床に対して平行な方向）、垂直方向（床に対して交差する方向）、旋回（床に交差する軸線および床に平行な軸線の回りでの旋回移動）の４軸において可動となっている。そして各軸は、それぞれ駆動装置、ブレーキ、もしくはトルクキーパーの作用により、任意の姿勢で停止することができる。

図２に示すように、アタッチメント２は、水平方向に配置されるフレーム21が、フランジ22によってバランサー装置１の旋回ユニット15に取り付けられている。フレーム21の中途部には上方に突出する棒状突起23が２つ備えられている。

２本の棒状突起23の間隔は、ホルダ３に設けた管状部分の例としての円筒部32の間隔と一致させており、棒状突起23を円筒部32の穴33（図３参照）に収容して嵌合することにより、ホルダ３をアタッチメント２に着脱自在に接続しうるよう構成している。また棒状突起23は、ペリクル枠41に張られた時のペリクル膜43の厚さ方向に直角な方向、および水平方向において、相互に離されている。

フレーム21の一端には把手24が垂直方向に取り付けられており、他端には把手24よりも大きなハンドル部分25が装着可能となっている。把手24およびハンドル部分25は、ペリクル枠41に張られた時のペリクル膜43の厚さ方向に見て、ペリクル枠41より外側に配置される。

ここで、支持すべきペリクル４の構成について説明する。図４（ａ）、（ｂ）に示すように、ペリクル４は、ペリクル枠41の上縁に接着剤42を介してペリクル膜43が張着されている。ペリクル枠41の下縁（下面）にはペリクル４をフォトマスクやレティクル（以下、単にマスクという）に貼り付ける時に使用される粘着材44が塗着されると共に、この粘着材44にはペリクル４の貼着時に簡単に剥離し得る保護フィルム45が貼着されている。前記ペリクル枠41の周側面には、把持用のホルダ３を装着するための溝41ａが設けられている。

ペリクル膜43がその上で張られるためのペリクル枠41としては、ペリクル膜43を支持し得る枠であればどのような材質であっても良いが、表面をアルマイト処理したアルミフレームやクロムメッキ等を施した金属枠等の支持枠等が用いられ、その形状も方形、円形等、他の種々の形状であってもよい。通常は、製造の容易さ、強度等の点から金属枠が用いられる。

図３に示すように、ホルダ３は、ガイド部31と円筒部32とを備えている。ガイド部31は略コ字状を成しており、ペリクル枠41の両側面に位置する幅に形成している。ガイド部31の内面にはリブ31ａを設けており、ペリクル枠41の溝41ａと嵌合してこれを保持可能である。ホルダ３の円筒部32はガイド部31のコ字状の解放側と反対側に設けられており、本実施例では２つ備えられている。ホルダ３のガイド部31の幅は支持するペリクル４に従って様々な寸法にて形成するが、円筒部32の間隔はアタッチメント２の棒状突起23の幅と一致するように、一定の幅に設定する。円筒部32は、操作者が円筒部32を介してホルダ３を把持して移動させるに十分な長さを有している。

上記構成において、ペリクル膜43がその上で張られたペリクル枠41を、床に対して移動可能なフランジ22上に装着する際には、まず操作者がホルダ３の円筒部32を把持して、不図示の平面に載置されたペリクル４のペリクル枠41の溝41ａに、ガイド部31のリブ31ａをスライドさせて挿入する。そしてそのまま引き起こすと、ホルダ３はペリクル４を上方にして保持することになる。このとき、円筒部32の穴33は下方に開口している。次に操作者は、ホルダ３の円筒部32を把持したままで、穴33内にアタッチメント２の棒状突起23を挿入するように嵌め込む。

アタッチメント２とホルダ３との係合のための構造は、本実施例の如く棒状突起23と円筒部32に限られず、既知の種々の係合構造を採用することができる。ただし本実施例の如く、棒状突起23を収容する穴33を取り囲んで延びる円筒部32を有することにより、操作者は係合が終了するまで円筒部32の同じ部分を把持していることができるため、作業を容易とすることができる。

上記の如く構成したことにより、ペリクル４をバランサー装置１に簡易に装着することができる。装着した後は、片手でペリクル４を移動させることができ、かつペリクル４の重さを人手で支える必要がなく、任意の角度で支持することができる。

従って、ペリクル４を自在に移動させて、あらゆる角度から検査光をあてることができ、隅々まで十分に検査することが可能となる。さらに検査光源をも動かすことによって、より柔軟な検査を行うことができる。また、操作者が一方の手で移動可能であり、手を離してもバランサー装置１がペリクル４をその位置、その姿勢で保持するため、操作者はエアーガン６を他方の手で取り扱うことができ、異物をエアーガン６で除去する作業が容易となる。

本発明は、ＩＣ、ＬＳＩ、ＴＦＴ−ＬＣＤ等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクル（以下、「マスク」という）に固着して使用される大型サイズのペリクルを取り扱うための装置及びその使用方法として用いられる。

本発明の実施例の一例であるペリクルの支持装置の全体構成図である。 本発明の実施例の一例であるアタッチメントを説明する図である。 本発明の実施例の一例であるペリクルのホルダを説明する図である。 ペリクルを説明する図である。

符号の説明

１ …バランサー装置
２ …アタッチメント
３ …ホルダ
４ …ペリクル
５ …光源
６ …エアーガン
11 …本体
12ａ …上下動アーム
12ｂ …上下動アーム
13 …ブラケット
14 …水平アーム
15 …旋回ユニット
16 …フットペダル
21 …フレーム
22 …フランジ
23 …棒状突起
24 …把手
25 …ハンドル部分
31 …ガイド部
31ａ …リブ
32 …円筒部
33 …穴
41 …ペリクル枠
41ａ …溝
42 …接着剤
43 …ペリクル膜
44 …粘着材
45 …保護フィルム

Claims (12)

1. 長辺が７００ｍｍ以上のペリクル膜がその上で張られるための枠を、操作者が移動できるよう、床に対して移動可能に支持するための装置であり、該装置は移動可能部材に装着部材を介して該枠が嵌合している係合部材が配置された構造を有しており、
   前記移動可能部材は、床に対して交差する方向の移動と、床に対して平行する方向の移動と、床に交差する軸線の回りでの旋回移動と、床に平行な軸線の回りでの旋回移動と、が可能であり、
   前記装着部材が有する略垂直方向上方に突出する棒状突起が、該棒状突起を収容して嵌り合う穴を有する前記係合部材に着脱自在に係合し、
   前記係合部材は、前記穴を取り囲んで延びる管状部分を有し、前記管状部分は、操作者が該管状部分を介して前記係合部材を把持して移動させるに十分な長さを有することを特徴とする大型ペリクルの支持装置。
2. 前記装着部材は、ハンドル部分を備え、操作者が前記装着部材を移動させるよう前記ハンドル部分に接触可能であることを特徴とする請求項１に記載の大型ペリクルの支持装置。
3. 前記ハンドル部分は、前記枠に張られた時の前記ペリクル膜の厚さ方向に見て、該枠より外側に配置されることを特徴とする請求項２に記載の大型ペリクルの支持装置。
4. 前記装着部材は複数の前記棒状突起を有し、前記係合部材は該棒状突起をそれぞれ収容して嵌り合う複数の前記穴を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の大型ペリクルの支持装置。
5. 前記複数の棒状突起は、前記枠に張られた時のペリクル膜の厚さ方向に直角な方向に相互に離れて配置されていることを特徴とする請求項４に記載の大型ペリクルの支持装置。
6. 前記複数の棒状突起は、水平方向に相互に離れて配置されていることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の大型ペリクルの支持装置。
7. 長辺が７００ｍｍ以上のペリクル膜がその上で張られるための枠を、床に対して移動可能な移動可能部材に取りつけるための大型ペリクル支持装置用部材であり、該部材は前記移動可能部材上に取り付けられる装着部材と、前記枠を保持可能であり、且つ前記装着部材とは着脱自在に係合する係合部材とからなり、
   前記装着部材と前記係合部材とは、該装着部材に略垂直方向上方に突出する棒状突起が、該係合部材に配置された前記棒状突起を収容して嵌り合う穴に着脱自在に係合し、
   前記係合部材は、前記穴を取り囲んで延びる管状部分を有し、前記管状部分は、操作者が該管状部分を介して前記係合部材を把持して移動させるに十分な長さを有することを特徴とする大型ペリクル支持装置用部材。
8. 前記装着部材は、ハンドル部分を備え、操作者が前記装着部材を移動させるよう前記ハンドル部分に接触可能であることを特徴とする請求項７に記載の大型ペリクル支持装置用部材。
9. 前記装着部材は複数の前記棒状突起を有し、前記係合部材は前記棒状突起をそれぞれ収容して嵌り合う複数の前記穴を有することを特徴とする請求項７または請求項８に記載の大型ペリクル支持装置用部材。
10. 前記複数の棒状突起は、前記枠に張られた時のペリクル膜の厚さ方向に直角な方向に相互に離されて配置されていることを特徴とする請求項９に記載の大型ペリクル支持装置用部材。
11. 前記複数の棒状突起は、水平方向に相互に離されて配置されていることを特徴とする請求項９に記載の大型ペリクル支持装置用部材。
12. 枠上に長辺が７００ｍｍ以上のペリクル膜が張られた大型ペリクルを床に対して移動可能な移動可能部材上に装着するための方法であり、
    前記枠に嵌合する係合部材に該枠を保持させる段階と、
    前記係合部材に設けられた穴内に、前記移動可能部材上に取り付けられた装着部材から略垂直方向上方に突出する棒状突起を嵌め込むことにより、前記係合部材を前記移動可能部材上に装着させる段階と、
    を有し、
    前記係合部材に設けられた前記穴を取り囲んで延びる管状部分を掴んで、前記穴内に前記装着部材から略垂直方向上方に突出する前記棒状突起を嵌め込むことを特徴とする大型ペリクルの装着方法。

Images