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JP4125833B2 - Ozone supply method and apparatus - Google Patents
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JP4125833B2 - Ozone supply method and apparatus - Google Patents

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JP4125833B2 JP34471798A JP34471798A JP4125833B2 JP 4125833 B2 JP4125833 B2 JP 4125833B2 JP 34471798 A JP34471798 A JP 34471798A JP 34471798 A JP34471798 A JP 34471798A JP 4125833 B2 JP4125833 B2 JP 4125833B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、オゾンの供給方法及び装置に関し、詳しくは、パルプの漂白や水処理等、比較的高濃度のオゾンを利用する設備にオゾンを安定した状態で供給するための方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
パルプの漂白や水処理等、比較的高濃度のオゾンを利用する設備にオゾンを供給する場合、オゾン発生器で発生した濃度6〜7%(質量%、以下同じ)、多くても10%程度のオゾンを20%程度に濃縮してから供給するようにしている。
【0003】
しかし、オゾンは自己分解性を有する物質であり、常温でも徐々に分解して酸素となるが、温度が高い場合や、オゾン濃度が高い場合には分解が早まる傾向にある。また、オゾンの分解は発熱反応であるから、オゾンの分解が発生してその部分の温度が上昇すると、この温度の上昇によってオゾンの分解が更に促進されることになる。
【0004】
したがって、配管内でオゾンの分解が発生すると、分解発生部分の温度が急激に上昇し、パッキン等の配管材料が熱によって劣化したり、溶融したりしてオゾンが漏洩するおそれがあった。さらに、オゾンが分解してオゾン濃度が低下すると、オゾンの使用先では、例えばパルプの漂白を十分に行えなくなるという事態が発生し、突然に操業が中断されてしまうことがあった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このようなオゾンの分解は、従来は、オゾン濃度の低下をオゾン濃度計で測定することによって検出していたが、オゾン濃度計は高価であり、その設置数や位置が限定されてしまうため、オゾンの分解を迅速に検出することはできず、分解発生位置の特定も困難であった。また、オゾンの分解を抑制するには、オゾンが流れる配管を冷却することが有効であるが、配管全体を冷却するには多大なエネルギーを必要とする。
【0006】
一方、本発明者らは、オゾンを安定した状態で使用先に供給するため、配管内を流れるオゾンの挙動を詳しく観察した。その結果、オゾンの分解は、配管に設けられている弁や流量計の部分等で多く発生することを知見し、更に詳細な検討の結果、ガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分においてオゾンの分解が発生しやすいことを確認した。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の新たな知見に基づいて成されたものであって、本発明のオゾンの供給方法は、第1の構成として、オゾンを供給する配管における曲り部,弁部,流量計部、その他、配管内を流れるオゾン含有ガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分乃至その下流側近傍の配管温度を測定し、測定温度の上昇によってオゾンの分解を検知することを特徴としている。
【0008】
また、本発明のオゾンの供給方法の第2の構成は、オゾンを供給する配管の全体を、所定温度、例えば40℃を超えない状態に保持するとともに、前記配管における曲り部,弁部,流量計部、その他、配管内を流れるオゾン含有ガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分乃至その下流側近傍の配管温度を測定し、測定温度が前記所定温度を超えたときに、該温度上昇部分を、例えば20℃以下、好ましくは0℃以下に冷却することを特徴としている。
【0009】
さらに、本発明のオゾンの供給装置は、オゾンを供給する配管における曲り部,弁部,流量計部、その他、配管内を流れるオゾン含有ガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分乃至その下流側近傍に温度測定手段を設けるとともに、該温度測定手段を設置した部分を冷却する冷却手段を設けたことを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一形態例を示すオゾン供給配管の要部の系統図である。本形態例に示すオゾン供給配管は、オゾン発生器やオゾン濃縮装置等のオゾン供給源から供給されるオゾンの流量を測定する部分を示すものであって、オゾンは、オゾン供給源に接続した入口側配管11から流量計12を通ってオゾン消費先に接続した出口側配管13に流れていく。
【0011】
また、オゾン供給配管は、その全体が所定温度を超えない状態を保持できるような環境に設置されている。すなわち、直射日光が当たらない場所を選定したり、高温の設備の近傍を避けたり、さらには屋内、好ましくは空調された屋内に設置したりすることにより、外部要因によって配管温度が上昇しないようにしている。
【0012】
前記流量計12は、いわゆる面積流量計であって、フロート12aの高さによって流量を表示するものである。したがって、この流量計12を鉛直方向にして設置するため、水平方向の入口側配管11と流量計12の流入配管14との間、及び、水平方向の出口側配管13と流量計12の流出配管15との間には、それぞれ90度エルボ16,17が設けられている。また、入口側配管11には圧力計(P)18が、出口側配管13には弁19が、それぞれ設けられている。
【0013】
このような配管系統において、流量計12の下流側、エルボ16,17の下流側及び弁19の下流側には、各配管の表面温度を測定するための温度測定手段、例えば熱電対(TC)21,22,23,24の測定点21a,22a,23a,24aがそれぞれ設けられるとともに、各測定点設置部分を含む流量計12部分、エルボ16,17部分、弁19部分を冷却するための冷却手段31,32,33,34を構成するジャケット31a,32a,33a,34aがそれぞれ設けられている。
【0014】
前記エルボ16,17は、ガス流れの方向が変化する曲り部であり、また、流量計12は、フロート12aを収納した大径のフロート室12b部分を通過するためにガスの流れ方向が変化したり、一時的にガスの圧力や流速が変化したりする部分であり、さらに、弁19は、その機能や構造によってガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分である。
【0015】
前記冷却手段31,32,33,34は、空気,水,各種冷媒,各種低温液化ガス等の冷却媒体を供給する冷熱源(C)31b,32b,33b,34bと、前記熱電対21,22,23,24の指示温度に基づいて冷却弁31c,32c,33c,34cを開閉する調節計(TIC)31d,32d,33d,34dと、前記ジャケット31a,32a,33a,34aとを有するものであって、調節計31d,32d,33d,34dは、それぞれ対応する熱電対の指示温度があらかじめ設定された上限温度を超えたときにそれぞれの冷却弁を開いて温度上昇部分を覆うジャケット内に前記冷却媒体を供給し、この冷却操作によって熱電対の指示温度があらかじめ設定された冷却温度に低下したときにそれぞれの冷却弁を閉じて冷却操作を終了するように形成されている。
【0016】
前記配管設置場所の環境温度や配管温度測定部の上限温度及び冷却温度は、配管内を流れるオゾンの濃度等によっても異なるが、通常、環境温度及び上限温度は40℃に設定することが好ましい。これより低い温度では、配管を屋外に設置したときに夏季の気温で上限温度まで上昇してしまうことがあり、また、これ以上の温度に設定すると、オゾンの分解による温度上昇を迅速に検知することが困難になる。
【0017】
一方の冷却温度は、配管内で進行しているオゾンの分解反応を停止させることができる温度以下ならばよく、通常は20℃程度でも十分な効果が得られるが、0℃以下に設定することにより、オゾンの分解をより確実に停止させることができる。但し、0℃以下に設定すると、冷却媒体として空気や水を使用できなくなり、そのコストが上昇するので、オゾン濃度やオゾン供給量等を勘案して冷却温度を設定すべきである。このとき、オゾンの供給設備として、低温吸着式オゾン濃縮装置が設置されている場合は、該装置の吸着筒冷却用に使用する低温冷媒、例えば液化窒素等を利用することができるので、オゾンの分解が発生したときの配管を、0℃以下の低温にまで短時間で冷却したい場合でも、新規に極低温の冷却媒体を用意する必要がなくなり、設備コストの上昇を抑えながら効果的な冷却を行うことができる。
【0018】
なお、冷却操作は、配管温度が前記冷却温度に達してから適当な時間、冷却媒体の供給を継続してその温度に保持するようにしてもよいが、冷却温度を適切に設定しておけば、冷却温度に達した時点で冷却媒体の供給を終了してもオゾンの分解を確実に停止させることができる。
【0019】
このように、配管内を流れるオゾンの流れ方向や圧力,流速が変化する部分、すなわち、エルボ等の曲り部、開閉弁や調節弁、逆流防止弁等の各種の弁の設置部、流量計やストレーナー等の各種機器の設置部における配管表面の温度を熱電対のような簡便な温度測定手段で測定し、該測定温度を監視することにより、配管内でのオゾンの分解の発生を容易に検知することができるとともに、分解の発生場所を特定することができる。
【0020】
また、配管全体に、適当な間隔で温度測定手段を設けてオゾンの分解を検出することも可能であるが、多数の温度測定手段を必要とするため、工業的規模での実施は現実的ではない。したがって、前述のように、ガスの流れ方向や圧力,流速が変化してオゾンの分解が発生しやすい箇所にのみ温度測定手段を設けることにより、温度測定手段の設置数を最小限としてオゾンの分解の検知を低コストで行うことができる。なお、通常の配管構成では、圧力計18の部分は、ガスの流れ状態が変化することがほとんどないので、この部分の温度測定手段を省略することができるが、この部分にも温度測定手段や冷却手段を設けるようにしてもよい。
【0021】
さらに、上述のようにしてオゾンの分解を検知することにより、オゾン消費先に供給されるオゾン濃度の低下を予測することができるので、オゾン消費先において、オゾン濃度低下に対応した操業条件の変更や操業の一時停止を行うことができ、不測の事態を回避して所定のオゾン処理を確実に行うことができる。
【0022】
しかも、オゾン供給配管における分解の発生部分を確実に知ることができるので、頻繁にオゾンの分解が発生する箇所の配管構成の変更や、分解発生時に対応するためのバイパス配管の設置等、オゾンを安定して供給するための対策を施すことができる。
【0023】
加えて、各温度測定部分に前記冷却手段31,32,33,34をそれぞれ設けておくことにより、熱電対21,22,23,24がオゾンの分解による配管温度の上昇を検出したときに、該配管部分を速やかに冷却することによってオゾンの分解を停止させることができる。
【0024】
例えば、図2は、配管途中に設けたエルボの前後にオゾン濃度計を設けてエルボを通過するオゾンの入口濃度と出口濃度とを測定するとともに、温度測定手段として熱電対を、冷却手段における冷却媒体として冷水をそれぞれ使用し、オゾンの分解が発生した前後のオゾン濃度の変化と、配管温度の変化とを測定した結果を示すものである。
【0025】
図2から明らかなように、オゾンの分解発生と同時にオゾンの出口濃度が入口濃度に対して低下するとともに配管温度が上昇する。そして、配管温度があらかじめ設定された上限温度に上昇したことを熱電対が検出して冷却手段を作動させ、エルボを覆うジャケット内に冷水を供給して配管を冷却すると、配管温度の低下に伴ってオゾンの出口濃度が上昇すること、すなわち、エルボ部分で発生したオゾンの分解が抑制されて最終的に分解反応が止まっていることがわかる。
【0026】
したがって、配管内でオゾンの分解が発生しても、温度測定手段が温度上昇を検出して冷却手段を作動させることにより、短時間で通常の状態に復帰させることができるので、オゾン消費先におけるオゾン濃度の低下も極僅かであり、オゾン処理に大きな影響を与えることが無く、安定した状態で操業を続けることができる。
【0027】
さらに、オゾンの分解による発熱によってパッキン等が劣化したりすることもほとんどなくなるため、メンテナンスに要するコストの削減も図れ、また、オゾン発生器で発生させたオゾンを有効に利用することができるので、オゾン収率が低下することもなくなり、オゾンの発生設備や消費設備における生産効率を全体的に向上させることができる。
【0028】
なお、本形態例では、オゾンの分解による温度上昇を配管の温度を測定することにより検出しているが、配管内を流れるオゾンの温度を直接測定してもよい。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、配管内を流れるオゾンの分解が発生したことを迅速に検知できるので、オゾン供給先でのオゾン濃度低下に対する対応も速やかに行うことができる。また、オゾンの分解が発生した部分を確実に特定できるので、配管の改善等の対応も容易に行うことができる。
【0030】
さらに、冷却手段によってオゾンの分解が発生した箇所を冷却することにより、オゾンの分解を停止させることができるので、オゾン消費先に供給するオゾンの濃度低下を一時的なものにでき、オゾンの分解による悪影響を最小限にとどめることができる。
【0031】
特に、オゾンの分解が発生しやすい部分に温度測定手段や冷却手段を設けることにより、設備コストの上昇を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一形態例を示すオゾン供給配管の要部の系統図である。
【図2】 配管内でオゾンの分解が発生した前後のオゾン濃度の変化と、配管温度の変化とを測定した結果を示す図である。
【符号の説明】
11…入口側配管、12…流量計、13…出口側配管、14…流入配管、15…流出配管、16,17…エルボ、18…圧力計、19…弁、21,22,23,24…熱電対、21a,22a,23a,24a…測定点、31,32,33,34…冷却手段、31a,32a,33a,34a…ジャケット、31b,32b,33b,34b…冷熱源、31c,32c,33c,34c…冷却弁、31d,32d,33d,34d…調節計
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and apparatus for supplying ozone, and more particularly to a method and apparatus for supplying ozone in a stable state to facilities using relatively high concentrations of ozone such as pulp bleaching and water treatment.
[0002]
[Prior art]
When supplying ozone to equipment that uses relatively high concentrations of ozone, such as pulp bleaching and water treatment, the concentration generated by the ozone generator is 6 to 7% (mass%, the same applies hereinafter), at most about 10%. The ozone is supplied after being concentrated to about 20%.
[0003]
However, ozone is a substance having self-decomposability and gradually decomposes into oxygen even at room temperature. However, when the temperature is high or the ozone concentration is high, decomposition tends to be accelerated. In addition, since the decomposition of ozone is an exothermic reaction, when the decomposition of ozone occurs and the temperature of that portion rises, the decomposition of ozone is further accelerated by the increase in temperature.
[0004]
Therefore, when ozone is decomposed in the pipe, the temperature of the decomposed portion is rapidly increased, and piping materials such as packing may be deteriorated by heat or melted to cause ozone leakage. Further, when ozone is decomposed and the ozone concentration is lowered, a situation in which, for example, pulp cannot be sufficiently bleached occurs at the place where ozone is used, and the operation may be interrupted suddenly.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
Conventionally, such ozone decomposition has been detected by measuring a decrease in ozone concentration with an ozone densitometer, but the ozone densitometer is expensive and its number and location are limited. Decomposition of ozone could not be detected quickly, and it was difficult to identify the position where decomposition occurred. Moreover, in order to suppress decomposition | disassembly of ozone, it is effective to cool the piping through which ozone flows, but enormous energy is required to cool the whole piping.
[0006]
On the other hand, the present inventors closely observed the behavior of ozone flowing in the piping in order to supply ozone to the user in a stable state. As a result, it has been found that ozone decomposition occurs frequently at the valves and flowmeters provided in the piping, and as a result of further detailed examination, in the part where the gas flow direction, pressure and flow velocity change It was confirmed that ozone decomposition was likely to occur.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been made on the basis of the above-described new knowledge, and the ozone supply method of the present invention has, as a first configuration, a bent portion, a valve portion, and a flow meter portion in a pipe for supplying ozone. In addition, the present invention is characterized by measuring the temperature of the pipe containing the flow direction, pressure and flow velocity of the ozone-containing gas flowing in the pipe or the vicinity of the downstream side, and detecting the decomposition of ozone by the rise in the measured temperature.
[0008]
In addition, the second configuration of the ozone supply method of the present invention maintains the entire piping for supplying ozone in a state that does not exceed a predetermined temperature, for example, 40 ° C., and bends, valves, and flow rates in the piping. Measure the temperature of pipes in the measuring section and other parts where the flow direction, pressure, and flow rate of ozone-containing gas flowing in the pipe change or in the vicinity of the downstream side, and when the measured temperature exceeds the predetermined temperature, the temperature rises The portion is cooled to, for example, 20 ° C. or lower, preferably 0 ° C. or lower.
[0009]
Furthermore, the ozone supply device of the present invention includes a bent portion, a valve portion, a flow meter portion, and other portions where the flow direction, pressure, and flow velocity of the ozone-containing gas flowing in the piping change or downstream thereof. A temperature measuring means is provided in the vicinity of the side, and a cooling means for cooling the portion where the temperature measuring means is installed is provided.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a system diagram of a main part of an ozone supply pipe showing one embodiment of the present invention. The ozone supply pipe shown in the present embodiment shows a portion for measuring the flow rate of ozone supplied from an ozone supply source such as an ozone generator or an ozone concentrator, and the ozone is an inlet connected to the ozone supply source. It flows from the side pipe 11 through the flow meter 12 to the outlet side pipe 13 connected to the ozone consumption destination.
[0011]
In addition, the ozone supply pipe is installed in an environment that can maintain a state in which the whole does not exceed a predetermined temperature. That is, by selecting a place that is not exposed to direct sunlight, avoiding the vicinity of high-temperature equipment, or installing it indoors, preferably in an air-conditioned room, to prevent the pipe temperature from rising due to external factors. ing.
[0012]
The flow meter 12 is a so-called area flow meter, and displays the flow rate according to the height of the float 12a. Therefore, in order to install the flow meter 12 in the vertical direction, the horizontal inlet side pipe 11 and the inflow pipe 14 of the flow meter 12 and the horizontal outlet side pipe 13 and the outflow pipe of the flow meter 12 are installed. Between them, 90 degree elbows 16 and 17 are provided. The inlet side pipe 11 is provided with a pressure gauge (P) 18, and the outlet side pipe 13 is provided with a valve 19.
[0013]
In such a piping system, on the downstream side of the flow meter 12, the downstream side of the elbows 16 and 17, and the downstream side of the valve 19, temperature measuring means for measuring the surface temperature of each piping, for example, a thermocouple (TC). Measurement points 21a, 22a, 23a, and 24a for 21, 22, 23, and 24 are provided, respectively, and cooling for cooling the flow meter 12 part, the elbows 16 and 17 part, and the valve 19 part including each measurement point installation part. Jackets 31a, 32a, 33a and 34a constituting the means 31, 32, 33 and 34 are provided, respectively.
[0014]
The elbows 16 and 17 are bent portions in which the direction of gas flow changes, and the flow meter 12 changes in the direction of gas flow because it passes through the large-diameter float chamber 12b that houses the float 12a. The valve 19 is a portion where the gas flow direction, pressure, and flow velocity change depending on its function and structure.
[0015]
The cooling means 31, 32, 33, 34 include a cooling heat source (C) 31 b, 32 b, 33 b, 34 b that supplies a cooling medium such as air, water, various refrigerants, various low-temperature liquefied gases, and the thermocouples 21, 22. , 23, and 24, and regulators (TIC) 31d, 32d, 33d, and 34d that open and close the cooling valves 31c, 32c, 33c, and 34c, and the jackets 31a, 32a, 33a, and 34a. The controllers 31d, 32d, 33d, and 34d are arranged in the jackets that open the respective cooling valves and cover the temperature rising portions when the indicated temperatures of the corresponding thermocouples exceed a preset upper limit temperature. Cooling operation is performed by supplying a cooling medium and closing each cooling valve when the indicated temperature of the thermocouple drops to a preset cooling temperature. It is formed so as to end.
[0016]
Although the environmental temperature at the pipe installation location and the upper limit temperature and cooling temperature of the pipe temperature measuring unit vary depending on the concentration of ozone flowing in the pipe, it is usually preferable to set the environmental temperature and the upper limit temperature to 40 ° C. If the temperature is lower than this, when the pipe is installed outdoors, it may rise to the upper limit temperature in summer, and if it is set higher than this, the temperature rise due to decomposition of ozone will be detected quickly. It becomes difficult.
[0017]
On the other hand, the cooling temperature may be equal to or lower than the temperature at which the decomposition reaction of ozone proceeding in the pipe can be stopped. Usually, a sufficient effect can be obtained even at about 20 ° C., but should be set to 0 ° C. or lower. Thus, ozone decomposition can be stopped more reliably. However, if the temperature is set to 0 ° C. or lower, air or water cannot be used as a cooling medium and the cost increases. Therefore, the cooling temperature should be set in consideration of ozone concentration, ozone supply amount, and the like. At this time, if a low temperature adsorption ozone concentrator is installed as ozone supply equipment, a low temperature refrigerant used for cooling the adsorption cylinder of the device, such as liquefied nitrogen, can be used. Even if you want to cool down the pipe when decomposition occurs to a low temperature of 0 ° C or less in a short time, there is no need to prepare a new cryogenic cooling medium, and effective cooling is possible while suppressing an increase in equipment costs. It can be carried out.
[0018]
In the cooling operation, the supply of the cooling medium may be continued and maintained at an appropriate time after the pipe temperature reaches the cooling temperature, but if the cooling temperature is set appropriately, Even when the supply of the cooling medium is terminated when the cooling temperature is reached, the decomposition of ozone can be stopped reliably.
[0019]
In this way, the flow direction, pressure, and flow velocity of ozone flowing in the piping change, that is, bent parts such as elbows, installation parts of various valves such as on-off valves, control valves, and backflow prevention valves, flow meters, Easily detect the occurrence of ozone decomposition in the pipe by measuring the temperature of the pipe surface at the installation part of various devices such as strainers with a simple temperature measuring means such as a thermocouple and monitoring the measured temperature. It is possible to identify the location where the decomposition occurs.
[0020]
In addition, it is possible to detect the decomposition of ozone by providing temperature measurement means at appropriate intervals in the entire pipe, but since a large number of temperature measurement means are required, implementation on an industrial scale is not realistic. Absent. Therefore, as described above, by providing temperature measuring means only at locations where ozone decomposition is likely to occur due to changes in gas flow direction, pressure, and flow velocity, ozone decomposition can be minimized with a minimum number of temperature measuring means installed. Can be detected at low cost. In the normal piping configuration, the pressure gauge 18 hardly changes the gas flow state, so the temperature measuring means in this part can be omitted. A cooling means may be provided.
[0021]
Furthermore, by detecting the decomposition of ozone as described above, it is possible to predict a decrease in the ozone concentration supplied to the ozone consumer. And the operation can be temporarily stopped, and an unexpected situation can be avoided and the predetermined ozone treatment can be reliably performed.
[0022]
In addition, since it is possible to reliably know the part of the ozone supply pipe where decomposition occurs, ozone can be controlled by changing the piping configuration where ozone is frequently decomposed or installing bypass pipes to cope with the occurrence of decomposition. Measures can be taken to ensure a stable supply.
[0023]
In addition, by providing the cooling means 31, 32, 33, 34 in each temperature measurement part, when the thermocouples 21, 22, 23, 24 detect an increase in piping temperature due to ozone decomposition, Ozone decomposition can be stopped by quickly cooling the piping portion.
[0024]
For example, FIG. 2 shows that an ozone concentration meter is provided before and after an elbow provided in the middle of a pipe to measure the inlet concentration and the outlet concentration of ozone passing through the elbow, and a thermocouple is used as a temperature measuring means, and cooling in the cooling means. The results of measuring the change in ozone concentration before and after the decomposition of ozone and the change in pipe temperature using cold water as a medium are shown.
[0025]
As is apparent from FIG. 2, simultaneously with the occurrence of ozone decomposition, the ozone outlet concentration decreases with respect to the inlet concentration and the piping temperature increases. Then, when the thermocouple detects that the pipe temperature has risen to the preset upper limit temperature and operates the cooling means to cool the pipe by supplying cold water into the jacket covering the elbow, the pipe temperature decreases. It can be seen that the ozone outlet concentration increases, that is, the decomposition of ozone generated at the elbow part is suppressed and the decomposition reaction finally stops.
[0026]
Therefore, even if ozone decomposition occurs in the piping, the temperature measuring means can detect the temperature rise and operate the cooling means, so that the normal state can be restored in a short time. The decrease in ozone concentration is negligible, and it does not have a great effect on the ozone treatment, and the operation can be continued in a stable state.
[0027]
Furthermore, the packing and the like are hardly deteriorated due to the heat generated by the decomposition of ozone, so the maintenance cost can be reduced, and the ozone generated by the ozone generator can be used effectively. The ozone yield is not lowered, and the production efficiency in the ozone generation facility and the consumption facility can be improved as a whole.
[0028]
In this embodiment, the temperature rise due to the decomposition of ozone is detected by measuring the temperature of the pipe, but the temperature of ozone flowing in the pipe may be directly measured.
[0029]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to quickly detect the decomposition of ozone flowing in the pipe, and therefore it is possible to quickly cope with a decrease in ozone concentration at the ozone supply destination. In addition, since the portion where ozone decomposition has occurred can be reliably identified, measures such as improvement of piping can be easily performed.
[0030]
Furthermore, since the decomposition of ozone can be stopped by cooling the location where ozone decomposition occurred by the cooling means, the decrease in the concentration of ozone supplied to the ozone consumer can be temporarily reduced. Can minimize the adverse effects of.
[0031]
In particular, an increase in equipment cost can be suppressed by providing temperature measuring means and cooling means in a portion where ozone decomposition is likely to occur.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a system diagram of a main part of an ozone supply pipe showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing the results of measuring changes in ozone concentration before and after ozone decomposition in a pipe and changes in pipe temperature.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Inlet side piping, 12 ... Flowmeter, 13 ... Outlet side piping, 14 ... Inflow piping, 15 ... Outflow piping, 16, 17 ... Elbow, 18 ... Pressure gauge, 19 ... Valve, 21, 22, 23, 24 ... Thermocouple, 21a, 22a, 23a, 24a ... measuring point, 31, 32, 33, 34 ... cooling means, 31a, 32a, 33a, 34a ... jacket, 31b, 32b, 33b, 34b ... cold heat source, 31c, 32c, 33c, 34c ... cooling valve, 31d, 32d, 33d, 34d ... controller

Claims (3)

オゾンを供給する配管における曲り部,弁部,流量計部、その他、配管内を流れるオゾン含有ガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分乃至その下流側近傍の温度を測定し、測定温度の上昇によってオゾンの分解を検知することを特徴とするオゾンの供給方法。Measure the temperature of the bent part, valve part, flow meter part, etc. in the ozone supply pipe, the part where the flow direction, pressure, and flow rate of ozone-containing gas flowing in the pipe changes or the vicinity of the downstream side. A method for supplying ozone, comprising detecting decomposition of ozone by rising. オゾンを供給する配管の全体を、所定温度を超えない状態に保持するとともに、前記配管における曲り部,弁部,流量計部、その他、配管内を流れるオゾン含有ガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分乃至その下流側近傍の温度を測定し、測定温度が前記所定温度を超えたときには、該温度上昇部分を冷却することを特徴とするオゾンの供給方法。The entire piping for supplying ozone is maintained at a temperature that does not exceed a predetermined temperature, and the flow direction, pressure, and flow velocity of the ozone-containing gas flowing in the piping, bends, valves, flowmeters, etc. A method of supplying ozone, comprising: measuring a temperature of a changing portion or a vicinity of the downstream side thereof, and cooling the temperature rising portion when the measured temperature exceeds the predetermined temperature. オゾンを供給する配管における曲り部,弁部,流量計部、その他、配管内を流れるオゾン含有ガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分乃至その下流側近傍に温度測定手段を設けるとともに、該温度測定手段を設置した部分を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とするオゾンの供給装置。A temperature measuring means is provided in a bent portion, a valve portion, a flow meter portion, etc. in the piping for supplying ozone, in addition to a portion where the flow direction, pressure, and flow velocity of the ozone-containing gas flowing in the piping changes or in the vicinity of the downstream side, An ozone supply device comprising a cooling means for cooling a portion where the temperature measuring means is installed.
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