JP4129402B2

JP4129402B2 - Cleaning device for plate-like electronic components

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Publication number: JP4129402B2
Application number: JP2003002176A
Authority: JP
Inventors: 俊祐岡嶋; 勝則永田; 哲夫吉村; 和也吉村; 智典田古部; 真五関口
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2003-01-08
Filing date: 2003-01-08
Publication date: 2008-08-06
Anticipated expiration: 2023-01-08
Also published as: JP2004212862A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルなどの板状電子部品を洗浄するようにした板状電子部品の洗浄装置に関し、特に、洗浄むらや割れなどの不具合の発生を抑える対策に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示パネルの製造過程では、２枚のガラス板を貼り合わせて１枚のパネルにし、このパネルを所定の大きさに切断した後、２枚のガラス板の間に液晶を注入して封止するようになされており、その後、この液晶表示パネルの両面に偏光板を貼り付けるようになっている。
【０００３】
ところで、パネルを所定の大きさに切断する工程では、切断に伴って発生したカレット（ガラスの粉や小さなかけら）がパネルの表面にこびりつくように付着（固着）した状態が発生しやすい。
【０００４】
また、液晶を注入する工程では、注入口を封止する際に封止剤が注入口付近のパネル表面に付着した状態が発生しやすい。
【０００５】
このように、カレットや封止樹脂などの異物が液晶表示パネルの表面に付着したままであると、次工程の偏光板貼付時などに不良が発生することになる。そこで、洗浄装置を用いて、それらの異物を除去する必要がある。
【０００６】
ところで、液晶表示パネルやウェハなどの板状電子部品を洗浄するようにした洗浄装置としては、特許文献１に記載されているような「カッター刃回転タイプ」（従来例１）のもの，特許文献２に記載されているような「シート回転研磨タイプ」（従来例２）のもの，特許文献３に記載されているような「シート洗浄タイプのもの」（従来例３）の３種類が挙げられる。
【０００７】
「カッター刃回転タイプのもの」では、図６に示すように、２枚以上の刃物２００，２００，…に鉛直軸心回りの自転と公転とを与えつつ、その刃先を、ステージ２０１上に載置された液晶表示パネル２０２の上側のパネル面に接触させることで、異物を削り落として除去するようになっている。
【０００８】
「シート回転研磨タイプのもの」では、図７に示すように、ステージ２０３の下面に液晶表示パネル２０４を支持し、研磨台２０５を鉛直軸心回りに回転させつつ該研磨台２０５上の研磨シート２０６に液晶表示パネル２０４の下側のパネル面を面接触させるようになっている。
【０００９】
「シート洗浄タイプのもの」では、図８に示すように、回転ユニット２０７を鉛直軸心回りに回転させつつ、該回転ユニット２０７内の１対のロール２０８，２０８間に保持された研磨シート２０９を、ステージ２１０上に載置された液晶表示パネル２１１の上側のパネル面に線接触させるようになっている。
【００１０】
【特許文献１】
特開平１０−３９２８２号公報（第３頁，図３）
【００１１】
【特許文献２】
特開平８−２５２１４号公報（第２頁，図６および図７）
【００１２】
【特許文献３】
特開２００２−６６８９９号公報（第３〜第４頁，図１）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例１〜従来例３の場合には、次のような共通の問題がある。
１）ステージの平滑精度に起因する洗浄むらやセルギャップむらが発生しやすい。特に、液晶表示パネルの大形化に伴ってステージが大形化するほど、この問題は顕著になる。
２）ステージと液晶表示パネルとの間に異物が介在していると、液晶表示パネルのその部分が盛り上がることによる洗浄むらおよびセルギャップむらや、その部分に応力が集中することによるパネル割れが発生しやすい。
【００１４】
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、液晶表示パネルなどの板状電子部品の両面に付着している異物を除去するようにした板状電子部品の洗浄装置において、板状電子部品の支持状態に工夫を加えることで、ステージを用いることに起因する不具合の発生を回避し、しかも、作業能率を高められるようにすることにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成すべく、本発明では、液晶表示パネルを略鉛直状態に配置することとし、１対の洗浄機構により、その液晶表示パネルを倒れないように支え合うことで、ステージを不要にし、しかも、支え合いつつ両面を同時に洗浄するようにした。
【００１６】
具体的には、請求項１の発明では、板状電子部品の両板面上の異物を取り除くようにした板状電子部品の洗浄装置を前提としている。
【００１７】
そして、上記の板状電子部品を板面が略鉛直になる状態に支持する支持機構を備えるとともに、板状電子部品の板面との摩擦接触により該板面上の異物を取り除く摩擦シートを保持するための保持部と、この保持部を上記支持機構上の板状電子部品の対応する板面に略垂直な軸心回りに回転駆動する回転手段と、保持部を該保持部上の摩擦シートが上記板状電子部品の対応する板面に摩擦接触するように押圧する押圧手段とを有していて、上記板状電子部品を板厚方向に挟むように対向配置された１対の洗浄機構を備えるようにした。
【００１８】
この発明によれば、両洗浄機構は、各摩擦シートを支持機構上の板状電子部品の対応する板面に摩擦接触させることで、その板状電子部品を互いに支え合って対応する板面の洗浄が行えるようになる。よって、板状電子部品の板面に面接触して該板状電子部品を支持するステージが不要であるので、ステージの平滑精度に起因する不具合や、ステージと板状電子部品との間に異物が存在することによる不具合は発生せず、しかも、板状電子部品の両板面が同時に洗浄されるので、従来のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率が向上する。
【００１９】
尚、摩擦シートが板状電子部品に摩擦接触することにより、板状電子部品に負荷が加わるとき、各摩擦シートは、該摩擦シートのみが板状電子部品に接触しただけでは摩擦接触したことにはならず、両摩擦シートが共に板状電子部品に接触したときに、始めて摩擦接触したことになる。つまり、板状電子部品に対する２つの摩擦シートの摩擦接触は、同時に起きる。よって、摩擦シートの摩擦接触により板状電子部品に負荷が加わる回数（アタック回数）は、従来のようにステージ上に支持されて１つの摩擦シートに摩擦接触される場合と同じであるので、摩擦シートが２つであるにも拘わらず、摩擦シートのアタックに起因する板状電子部品のダメージは増大しない。
【００２０】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、各保持部は、摩擦シートを板状電子部品の対応する板面に線接触させるように構成されているものとする。
【００２１】
このように、摩擦シートが板状電子部品の板面に線接触することで、従来例２（図７参照）のように摩擦シートが板状電子部品の板面に面接触する場合とは異なり、板状電子部品と摩擦シートとの間に介在する異物による引き擦りが回避される。よって、そのような引き擦りにより板状電子部品の板面に傷が付いたり異物が再付着したりするという事態は未然に防止される。
【００２２】
請求項３の発明では、請求項１および２の発明において、各保持部が、摩擦シートが繰出可能に巻き付けられる繰出ロールと、該繰出ロール上の摩擦シートを巻き取る巻取ロールとを有するものである場合に、上記繰出ロールおよび巻取ロールは、上記保持部の回転軸心上に軸方向に並ぶように配置されているものとする。
【００２３】
これにより、摩擦シートが繰出ロールから巻取ロールに巻き取られるのに伴って、保持部の重心が移動する際に、その重心が常に保持部の回転軸心上に位置するので、保持部の回転バランスは崩れない。よって、従来例３（図８参照）の場合には、重心が回転軸心に直交する方向に移動するために、回転バランスが崩れ、板状電子部品に対する摩擦シートの接触状態が不安定になり、その結果、洗浄むらの発生や、洗浄能力の不安定化を招きやすいが、この発明では、そのような事態は回避される。
【００２４】
また、上記のような重心変動に起因する回転バランスの崩れは、高速回転になるほど顕著であることから、高速回転時にも、板状電子部品に対する摩擦シートの摩擦接触は、より確実に、また、より安定して行われることとなり、よって、洗浄効率のさらなる向上が図れるようになる。
【００２５】
請求項４の発明では、請求項１〜３の発明において、少なくとも一方の洗浄機構は、板状電子部品の対応する板面に対する摩擦シートの接触圧を検出する検出手段と、この検出手段により検出された接触圧に基づいて、押圧手段の押圧作動を制御する制御手段とを有するものとする。
【００２６】
これにより、各摩擦シートは、板状電子部品の対応する板面に対し、適正でかつ安定した圧力でもって接触するようになるので、洗浄効果が向上するとともに、洗浄能力の安定化が図れるようになる。さらに、板状電子部品が液晶表示パネルである場合には、摩擦シートの接触圧の変動に起因するセルギャップむらの発生が回避されるという利点もある。
【００２７】
請求項５の発明では、請求項１〜４の発明において、上記の板状電子部品が、対向配置された１対の電極基板間に液晶層を配置してなる液晶表示パネルである場合に、その液晶表示パネルは、１対の洗浄機構により支えられつつ洗浄される。よって、従来例１〜従来例３の場合とは異なり、ステージを用いることに起因する洗浄むらやパネル割れが発生せず、しかも、液晶表示パネルの両パネル面が同時に洗浄されるので、従来例１〜従来例３のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率が向上する他、上記請求項２〜請求項６の発明での作用が具体的に営まれる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。
【００２９】
図１および図２は、本発明の実施形態に係る液晶表示パネル洗浄装置の全体構成を概略的に示している。尚、図１は、洗浄装置の縦断正面図であり、図２は、その左側面図である。
【００３０】
この液晶表示パネル洗浄装置は、搬入された液晶表示パネル１０を略鉛直状態に支持する支持機構２０と、この支持機構２０に支持された液晶表示パネル１０をパネル厚さ方向に挟むように対向配置された１対の洗浄機構３０，３０とを備えている。
【００３１】
支持機構２０は、複数枚の液晶表示パネル１０を同一平面上に１列に並べられた状態で所定の送り方向（図２に矢印で示す方向）に定寸送りするようになされたものであって、その送り方向に直交する水平方向両側（図１の左右方向両側）に該送り方向に並ぶように立設された複数本の支持ローラ２１，２１，…と、これら支持ローラ２１，２１，…の下方に送り方向に延びるように配置されたベルトコンベヤ２２とを有する。ベルトコンベヤ２２のコンベヤベルトには、各々、略鉛直状態に配置された液晶表示パネル１０の下辺部をチャッキングするための複数のチャック２３，２３，…が所定間隔をおいて設けられている。そして、ベルトコンベヤ２２の送り方向略中間部分に対応する送り位置は、１対の洗浄機構３０，３０による洗浄の行われる洗浄位置とされており、この洗浄位置では、送り方向において相隣る支持ローラ２１，２１間の間隔が他の位置の場合よりも広くなっている。
【００３２】
各洗浄機構３０は、支持機構２０により洗浄位置に位置付けられた液晶表示パネルの対応するパネル面を洗浄する洗浄ユニット４０と、この洗浄ユニット４０を昇降移動させる昇降移動部９０と、洗浄ユニット４０を上記液晶表示パネル１０に対し進退移動させる進退移動部１００とを備えている。
【００３３】
具体的には、支持機構２０の両側（図１の左右両側）に、それぞれ、支柱９１が立設されており、各支柱９１上には昇降台９３が配置されている。この昇降台９３は、図外の案内支持機構を介して支柱９１により昇降移動可能に案内支持されている。各昇降台９３上には移動台１０３が配置されており、この移動台１０３は、図外の案内支持機構を介して昇降台９３により進退移動可能に案内支持されている。そして、上記の洗浄ユニット４０は、この移動台１０３上に配置されている。
【００３４】
詳しく説明すると、上記各支柱９１には、出力軸を正逆両方向に回転させる昇降用モータ（図示せず）と、鉛直方向（図１および図２の各上下方向）に延びるように配置されていて、図外の軸受機構を介して支柱９１に鉛直軸心回りに回転可能に支持された昇降用ボールねじ９２とが設けられている。また、上記昇降用モータの出力軸は、昇降用ボールねじ９２に連結されており、この昇降用ボールねじ９２は、上記の昇降台９３に螺合している。そして、これら支柱９１，昇降用モータ，昇降用ボールねじ９２，昇降台９３により上記の昇降移動部９０が構成されており、昇降用モータが出力軸を一方向に回転させることにより昇降台９３が洗浄ユニット４０と共に上昇移動し、一方、昇降用モータが出力軸を他方向に回転させることにより昇降台９３が洗浄ユニット４０と共に下降移動するようになっている。また、両洗浄機構３０，３０の昇降移動部９０，９０は、液晶表示パネル１０に対する各研磨シート５１の接触部位の水平方向位置が互いに同じになるように配置されているとともに、上記各接触部位の上下方向位置が互いに同じになるように同期して作動するようになされている。
【００３５】
さらに、上記の各昇降台９３上には、出力軸を正逆両方向に回転させる進退用モータ１０１と、液晶表示パネル１０の対応するパネル面に直交する方向に延びるように配置されていて、図外の軸受機構を介して昇降台９３に水平軸心回りに回転可能に支持された進退用ボールねじ１０２とが設けられている。また、進退用モータ１０１の出力軸は、進退用ボールねじ１０２に連結されており、進退用ボールねじ１０２は、上記の移動台１０３に螺合している。そして、これら進退用モータ１０１，進退用ボールねじ１０２，移動台１０３により上記の進退移動部１００が構成されており、進退用モータ１０１が出力軸を一方向に回転させることにより移動台１０３が洗浄ユニット４０と共に進出移動し、一方、進退用モータ１０１が出力軸を他方向に回転させることにより移動台１０３が洗浄ユニット４０と共に後退移動するようになっている。
【００３６】
上記の洗浄ユニット４０は、図３の拡大断面図にも示すように、液晶表示パネル１０のパネル面に摩擦接触して該パネル面上の異物を除去する研磨シート５１を保持するための保持部としての回転部５０と、この回転部５０を支持機構２０上の液晶表示パネル１０に略直交する水平軸心回りに回転駆動する回転手段としての回転用モータ７０と、回転部５０上の研磨シート５１が液晶表示パネル１０の対応するパネル面に摩擦接触するように該回転部５０を押圧する押圧手段としての押圧用シリンダ８０とを有する。
【００３７】
本実施形態では、研磨シート５１として、例えばポリウレタン系合成樹脂の接着剤を使用してポリエステルタフタ製のベース材に研磨材としてのホワイトアルミナ粒子（粒子径は、５〜９μｍ）を塗布接着してなるものが用いられる。尚、研磨材を含んでいない単なるシートを用い、このシートにスラリー状の研磨材を供給して洗浄を行うようにすることもできる。
【００３８】
上記の回転用モータ７０は、移動台１０３上に配置されており、その出力軸には、図外のプーリが回転一体に連結されている。一方、移動台１０３上には、洗浄ユニット４０の進退方向に延びるように配置された回転軸４１が図外の軸受機構を介して水平軸心回りに回転可能に設けられている。この回転軸４１の進出方向前端には、上記の回転部５０が一体に連結されており、回転軸４１の進出方向後端側には、図外のプーリが回転一体に連結されている。そして、回転用モータ７０側のプーリと、回転軸４１側のプーリとの間には、伝動ベルト７１が巻き掛けられており、回転用モータ７０が出力軸を回転させることにより、回転部５０が水平軸心回りに回転するようになっている。尚、回転用モータ７０の駆動力を回転軸４１に伝達する手段としては、上記ベルト伝動機構の他に、例えば歯車伝動機構が挙げられる。
【００３９】
両洗浄機構３０，３０の回転用モータ７０，７０同士は、同期して互いに同じ方向（図２に示す例では、同図の時計回り方向）に各回転部５０を回転駆動するようになされており、また、各回転用モータ７０による回転部５０の回転速度は、例えば１０００〜３０００ｒｐｍの範囲で互いに一致するようになされている。
【００４０】
上記の押圧用シリンダ８０は、ロッド８０ａが進出方向に向かって出退移動させるように配置されており、そのロッド８０ａの先端は、回転軸４１の進出方向後端に連結されている。そして、押圧用シリンダ８０が伸張作動することにより、回転部５０が進出方向に押圧されて液晶表示パネル１０に対する研磨シート５１の接触圧（液晶表示パネル１０に加わる圧力）が高くなり、一方、押圧用シリンダ８０が収縮作動することにより、回転部５０が後退方向に引っ張られて液晶表示パネル１０に対する研磨シート５１の接触圧が低くなるようになっている。
【００４１】
上記押圧用シリンダ８０のロッド８０ａ先端と、上記回転軸４１の後端との間には、液晶表示パネル１０の対応するパネル面に対する研磨シート５１の接触圧を検出する検出手段としてのロードセル４２が介設されている。また、移動台１０３上には、ロードセル４２により検出された接触圧に基づいて、押圧用シリンダ８０の伸張作動を制御する制御手段としての制御部４３が設けられている。そして、接触圧が適正な値（例えば、０．１〜０．２ＭＰａ）になるようになされている。
【００４２】
上記の回転部５０は、回転軸４１の進出方向前端に一体に連結された略方形状の枠体５２を有している。この枠体５２内には、１対のシートロール５３，５４が配置されている。これらシートロール５３，５４は、回転部５０の回転軸心上に軸方向に並ぶように配置されていて、枠体５２により回転部５０の軸心に直交する各軸心回りに回転可能に支持されている。進出方向後側のシートロール５３は、研磨シート５１が繰出可能に巻き付けられた繰出シートロールとされており、進出方向前側のシートロール５４は、研磨シート５１を巻き取る巻取シートロールとされている。
【００４３】
図４の拡大側面図に示すように、上記巻取シートロール５４には、繰出シートロール５３上の研磨シート５１を一定量だけ自動的に巻き取るシート自動送り機構が設けられている。具体的には、巻取シートロール５４には、該シートロール５４の軸心に直交する方向に延びるレバー５５が一方向クラッチ（図示せず）を介して回転一体に連結されている。この一方向クラッチは、巻取シートロール５４が研磨シート５１を巻き取る方向（同図の時計回り方向）にレバー５５が回動するときにはその回動を巻取シートロール５４に伝達し、一方、上記巻取方向とは逆の方向（同図の反時計回り方向）にレバー５５が回動するときには、巻取シートロール５４への伝達を遮断するようになっている。また、レバー５５と枠体５２との間には、該レバー５５を上記巻取方向とは逆の方向に回動付勢する引張コイルばね５６が介装されている。さらに、枠体５２には、引張コイルばね５６の引張力に抗してレバー５５を巻取方向に回動するように押圧するための巻取用シリンダ５７が取り付けられている。上記のシート自動送り機構は、これらレバー５５，一方向クラッチ，引張コイルばね５６，巻取用シリンダ５７により構成されており、巻取用シリンダ５７の伸張作動時にレバー５５が回動して巻取シートロール５４が巻取方向に回転することにより、該巻取シートロール５４に研磨シート５１が一定量だけ巻き取られ、このことで、液晶表示パネル１０の対応するパネル面に摩擦接触する研磨シート５１の部位が、例えば液晶表示パネル１０毎に新しくなるようになっている。
【００４４】
図３のＶ−Ｖ線断面図である図５に示すように、枠体５２の進出方向前縁部には、シートロール５３，５４に略平行に延びるように設けられたバックアップ部材５８が配置されている。このバックアップ部材５８は、両シートロール５３，５４間における研磨シート５１の部位背面に線接触しているとともに、首振り機構により、回転軸４１の軸心を含む平面上において揺動可能に支持されている。具体的には、枠体５２の前縁部に、バックアップ部材５８の揺動面に直交する方向に延びるベアリングシャフト５９が取り付けられており、バックアップ部材５８は、このベアリングシャフト５９を中心にして、図５の時計回り方向および反時計回り方向に回動できるようになっている。これにより、バックアップ部材５８が研磨シート５１を介して液晶表示パネル１０の対応するパネル面に対し非平行状態に接触したときに、その反力によりバックアップ部材５８が上記パネル面に平行になるように回動することで、バックアップ部材５８上の研磨シート５１の部位が上記パネル面に線接触するようになっている。尚、液晶表示パネル１０の対応するパネル面に対する研磨シート５１の接触幅（線接触の接触線長さ）は、狭すぎると、全面清掃する際に洗浄ユニット４０の昇降移動速度を遅くせざるを得なくなって、作業効率が低下する一方、広すぎると、パネル表面に微小な傷が発生するというダメージを与えやすくなることから、例えば５〜１５ｍｍとされる。
【００４５】
上記回転部５０の背後には、洗浄時に液晶表示パネル１０に向かって水を散布する複数の散水ノズル６０，６０，…と、各散水ノズル６０から散布された水が周囲に飛散することを防止する水飛散防止カバー６１とが配置されている。水飛散防止カバー６１は、移動台１０３に設けられており、各散水ノズル６０は、この水飛散防止カバー６１に取り付けられている。
【００４６】
尚、研磨材の粒子径が上限値９μｍを超える場合、回転部５０の回転速度が３０００ｒｐｍを超える場合、研磨シート５１の接触圧が０．２ＭＰａを超える場合には、パネル表面に微小な傷や、むらなどが発生するというダメージを与えてしまう虞れがある。一方、研磨材の粒子径が下限値５μｍ未満である場合、回転部５０の回転速度が１０００ｒｐｍ未満である場合、研磨シート５１の接触圧が０．１ＭＰａ未満である場合には、異物除去能力が９５％程度に低下する。
【００４７】
次に、上記のように構成された液晶表示パネル洗浄装置の作動について説明する。
【００４８】
まず、両洗浄機構３０，３０の各回転用モータ７０が一定速度で所定の方向に回転することにより、この回転用モータ７０の出力軸に伝動ベルト７１を介して駆動連結された回転軸４１が同方向に回転する。これにより、洗浄ユニット４０の回転部５０が同方向に一定の速度で回転する。この回転の開始とともに、各散水ノズル６０，６０，…から水の散布が開始される。このとき、散布された水が周囲へ飛散することは、水飛散防止カバー６１により防止される。
【００４９】
次いで、進退移動部１００の作動により、洗浄ユニット４０が前進移動する。そして、支持ローラ２１，２１，…により支持されつつベルトコンベヤ２２により洗浄位置に位置付けられた液晶表示パネル１０に対し、各洗浄ユニット４０は、回転部５０の研磨シート５１が接触しない程度の位置で停止する。
【００５０】
その後、洗浄ユニット４０上において、押圧用シリンダ８０の伸張作動により、回転部５０が前進移動し、それにより、各研磨シート５１が液晶表示パネル１０の対応するパネル面に摩擦接触するようになる。このとき、各押圧用シリンダ８０の伸張作動は、ロードセル４２により検出された液晶表示パネル１０に対する研磨シート５１の接触圧が所定の値になるように制御部４３により制御され、これにより、各研磨シート５１は、適正な圧力でもって液晶表示パネル１０に摩擦接触するようになる。
【００５１】
また、パネル面上における研磨シート５１との接触部位が回転部５０の回転軸心に直交していない場合でも、首振り機構によりバックアップ部材５８が研磨シート５１を上記接触部位に線接触させることができるので、液晶表示パネル１０の表面精度やうねりに対応することができるとともに、回転部５０の回転が安定化して洗浄効率が向上する。また、液晶表示パネル１０と研磨シート５１との間に異物が噛み込まれたときでも、それによる引き擦りを回避することができるので、パネル傷の発生や異物の再付着を防ぐこともできる。
【００５２】
各研磨シート５１が液晶表示パネル１０の対応するパネル面に摩擦接触した状態で、各洗浄ユニット４０は、昇降移動部９０の作動により、研磨シート５１が常に液晶表示パネル１０の同じ部位の両パネル面に摩擦接触するように両洗浄機構３０，３０間で同期しつつ上昇移動又は下降移動する。そして、洗浄ユニット４０の１回の移動毎に、ベルトコンベヤ２２により液晶表示パネル１０が定寸送りされ、この繰返しにより、液晶表示パネル１０の全面洗浄が行われることとなる。
【００５３】
全面洗浄が完了した後、各散水ノズル６０による水の散布および回転用モータ７０による回転部５０の回転が共に停止するとともに、各進退移動部１００の作動により、両洗浄ユニット４０，４０は、同期して後退移動し、原点位置に戻る。一方、自動シート送り機構では、まず、巻取用シリンダ５７の伸張作動によりロッド先端５７ａがレバー５５を押圧して該レバー５５を巻取方向に回動させる。このレバー５５の回動により、巻取シートロール５４が巻取方向に回転することで、その巻取シートロール５４に研磨シート５１が一定量だけ巻き取られる。これにより、洗浄を行う際に常に新しい研磨シート５１の部位による洗浄が行われるとともに、研磨シート５１の送り作業によるロスが回避される。
【００５４】
以上の作動が繰り返されることにより、複数枚の液晶表示パネル１０，１０，…が自動的に順次洗浄される。そして、上記の研磨シート５１の材質と洗浄時の条件（接触圧や回転速度など）とを適正に組み合わせて液晶表示パネル１０を洗浄るようにすれば、洗浄むらやセルギャップむらなど、液晶表示パネル１０の品質上の不具合の発生も無く、両パネル面に付着したカレットや異物の９９％以上を同時に除去することができる。
【００５５】
したがって、本実施形態によれば、１対の洗浄機構３０，３０により液晶表示パネル１０を支え合って洗浄することができるので、従来のようにステージに液晶表示パネル１０を支持させて洗浄する場合に比べると、そのようなステージの平滑精度に起因する洗浄むらやパネルギャップむらの発生は起こらず、また、ステージと液晶表示パネルとの間に異物が存在することによる洗浄むらおよびセルギャップむらや、パネル割れの発生を回避することができる。
【００５６】
しかも、液晶表示パネル５１の両面を同時に洗浄することができるので、従来のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率を向上させることができる。
【００５７】
また、研磨シート５１を液晶表示パネル１０の対応面に線接触させることで、液晶表示パネル１０と研磨シート５１との間に介在する異物による引き擦りを回避することができるので、従来例のように、パネル表面に研磨シートを面接触させるようにする場合とは異なり、そのような引き擦りによる傷の発生や、異物の再付着を回避することができる。
【００５８】
また、回転部５０において、研磨シート５１が繰出シートロール５３から巻取シートロール５４に巻き取られる際に、回転部５０の重心が常に回転軸心上に位置しているので、回転部５０をバランスを崩さずに回転させることができる。よって、従来例３（図８参照）のように、上記重心が回転軸心に直交する方向に移動するために、保持部の回転バランスが崩れて液晶表示パネルに対する研磨シートの接触状態が不安定になり、その結果、洗浄むらおよびセルギャップむらの発生や洗浄能力の不安定化を招きやすいという場合とは異なり、そのような事態を回避することができる。
【００５９】
また、液晶表示パネル１０に対する研磨シート５１の接触圧を検出しつつ押圧用シリンダ８０の伸張作動を制御することで、接触圧の適正化および安定化を図ることができるので、洗浄むらやセルギャップむらの発生を回避することができるとともに、洗浄能力の安定化を図ることができる。
【００６０】
尚、上記の実施形態においては、液晶表示パネル１０を洗浄する場合について説明したが、本発明は、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置やプラズマ表示装置などの表示パネルの他、ウェハなど、種々の板状電子部品を洗浄する装置に適用することができる。
【００６１】
また、今回開示された実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、１対の洗浄機構により板状電子部品を支え合いつつ洗浄することができるので、従来のようにステージを用いる場合に比べて、洗浄むらや板状電子部品割れの発生を抑えることができるとともに、従来のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率を向上させることができる。
【００６３】
請求項２の発明によれば、保持部が摩擦シートを板状電子部品の対応する板面に線接触させることで、板状電子部品と摩擦シートとの間に介在する異物による引き擦りを回避することができ、よって、そのような引き擦りにより板状電子部品表面に傷が付いたり異物が再付着したりするという事態を未然に防止することができる。
【００６４】
請求項３の発明によれば、保持部において摩擦シートを繰出ロールから巻取ロールに送るようにする場合に、それら繰出ロールおよび巻取ロールを保持部の回転軸心上に軸方向に並ぶように配置することで、摩擦シートが巻取ロールに巻き取られるのに応じて保持部の重心が移動する際に、その重心を保持部の回転軸心上で移動させることができるので、保持部の回転バランスが崩れて洗浄が不安定化するという事態を回避することができる。この結果、洗浄作動の安定性を損なうことなく保持部を高速回転させることができ、洗浄効率のさらなる向上を図ることができる。
【００６５】
請求項４の発明によれば、少なくとも一方の洗浄機構の検出手段により検出された接触圧に基づいて、制御手段により押圧手段の押圧作動を制御することで、各摩擦シートを板状電子部品の対応面に適正でかつ安定した圧力でもって接触させることができ、洗浄効果を向上できるとともに洗浄能力の安定化を図ることができる。さらに、板状電子部品が液晶表示パネルである場合には、摩擦シートの接触圧の変動に起因するセルギャップむらの発生を回避することもできる。
【００６６】
請求項５の発明によれば、上記の板状電子部品が液晶表示パネルである場合に、その液晶表示パネルを１対の洗浄機構により支え合いつつ洗浄することができるので、従来のようにステージを用いる場合に比べて、洗浄むらやパネル割れの発生を抑えることができ、しかも、液晶表示パネルの両面を同時に洗浄することができるので、従来のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率を向上させることができる他、上記請求項１〜請求項４の発明による効果を具体的に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る液晶表示パネル洗浄装置の全体構成を示す縦断正面図である。
【図２】液晶表示パネル洗浄装置の構成を示す側面図である。
【図３】両洗浄ユニットの構成を拡大して示す縦断正面図である。
【図４】保持部の構成を示す図３のIV−IV線断面図である。
【図５】シート自動送り機構を拡大して示す側面図である。
【図６】従来の液晶表示パネル洗浄装置（従来例１）の全体構成を示す正面図である。
【図７】従来の液晶表示パネル洗浄装置（従来例２）の全体構成を示す正面図である。
【図８】従来の液晶表示パネル洗浄装置（従来例３）の全体構成を示す正面図である。
【符号の説明】
１０液晶表示パネル（板状電子部品）
２０支持機構
３０洗浄機構
４２ロードセル（検出手段）
４３制御部（制御手段）
５０回転部（保持部）
５１研磨シート（摩擦シート）
５３繰出シートロール（繰出ロール）
５４巻取シートロール（巻取ロール）
７０回転用モータ（回転手段）
８０押圧用シリンダ（押圧手段）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a plate-type electronic component cleaning apparatus configured to clean a plate-type electronic component such as a liquid crystal display panel, and more particularly to measures for suppressing occurrence of defects such as uneven cleaning and cracking.
[0002]
[Prior art]
In general, in the manufacturing process of a liquid crystal display panel, two glass plates are bonded together to form a single panel, the panel is cut to a predetermined size, and then liquid crystal is injected between the two glass plates to be sealed. After that, polarizing plates are attached to both sides of the liquid crystal display panel.
[0003]
By the way, in the process of cutting the panel into a predetermined size, a state in which the cullet (glass powder or small pieces) generated along with the cutting sticks (fixes) to the surface of the panel is likely to occur.
[0004]
Further, in the step of injecting the liquid crystal, when the injection port is sealed, a state in which the sealing agent is attached to the panel surface near the injection port is likely to occur.
[0005]
As described above, if foreign matters such as cullet and sealing resin remain attached to the surface of the liquid crystal display panel, a defect occurs when the polarizing plate is attached in the next step. Therefore, it is necessary to remove these foreign substances using a cleaning device.
[0006]
By the way, as a cleaning apparatus for cleaning plate-like electronic components such as liquid crystal display panels and wafers, a “cutter blade rotating type” (conventional example 1) as described in Patent Document 1, Patent Document There are three types: “sheet rotating polishing type” (conventional example 2) as described in 2 and “sheet cleaning type” (conventional example 3) as described in Patent Document 3. .
[0007]
In the “cutter blade rotation type”, as shown in FIG. 6, two or more blades 200, 200,... Are rotated and revolved around the vertical axis while the cutting edge is mounted on the stage 201. The foreign matter is scraped off and removed by making contact with the upper panel surface of the placed liquid crystal display panel 202.
[0008]
In the “sheet rotating polishing type”, as shown in FIG. 7, the liquid crystal display panel 204 is supported on the lower surface of the stage 203, and the polishing sheet on the polishing table 205 is rotated while rotating the polishing table 205 around the vertical axis. The lower panel surface of the liquid crystal display panel 204 is brought into surface contact with 206.
[0009]
In the “sheet cleaning type”, as shown in FIG. 8, the rotating sheet 209 held between a pair of rolls 208 and 208 in the rotating unit 207 is rotated while rotating the rotating unit 207 around the vertical axis. Is brought into line contact with the upper panel surface of the liquid crystal display panel 211 placed on the stage 210.
[0010]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 10-39282 (page 3, FIG. 3)
[0011]
[Patent Document 2]
JP-A-8-25214 (Page 2, FIGS. 6 and 7)
[0012]
[Patent Document 3]
JP 2002-66899 A (3rd to 4th pages, FIG. 1)
[0013]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional examples 1 to 3 have the following common problems.
1) Uneven cleaning and cell gap due to the smoothness of the stage are likely to occur. In particular, this problem becomes more prominent as the stage becomes larger as the liquid crystal display panel becomes larger.
2) If foreign matter is present between the stage and the liquid crystal display panel, unevenness in cleaning and cell gap due to the rise of that part of the liquid crystal display panel, and panel cracking due to stress concentration in that part will occur. It's easy to do.
[0014]
The present invention has been made in view of such various points, and its main object is to provide a plate-like electronic component that removes foreign matter adhering to both surfaces of a plate-like electronic component such as a liquid crystal display panel. In the cleaning apparatus, by devising the support state of the plate-like electronic component, it is possible to avoid the occurrence of problems due to the use of the stage and to improve the work efficiency.
[0015]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, in the present invention, the liquid crystal display panel is arranged in a substantially vertical state, and a pair of cleaning mechanisms support the liquid crystal display panel so as not to fall down, thereby eliminating the need for a stage. Moreover, both sides were washed at the same time while supporting each other.
[0016]
Specifically, the invention of claim 1 is premised on a plate-type electronic component cleaning apparatus that removes foreign matters on both plate surfaces of the plate-type electronic component.
[0017]
The plate-like electronic component is provided with a support mechanism for supporting the plate-like electronic component in a state where the plate surface is substantially vertical, and the plate-like electronic component is frictionally contacted with the plate surface of the plate-like electronic component. Up A holding unit for holding the friction sheet for removing the foreign matter, a rotating means for rotating the holding unit around an axis substantially perpendicular to a corresponding plate surface of the plate-like electronic component on the support mechanism, and a holding unit And a pressing means for pressing the friction sheet on the holding portion so as to make frictional contact with the corresponding plate surface of the plate-like electronic component, and opposed so as to sandwich the plate-like electronic component in the plate thickness direction. A pair of arranged washing mechanisms were provided.
[0018]
According to the present invention, the two cleaning mechanisms frictionally contact each of the friction sheets with the corresponding plate surface of the plate-like electronic component on the support mechanism, thereby supporting the plate-like electronic components against each other and Cleaning can be performed. Therefore, there is no need for a stage that is in surface contact with the plate surface of the plate-like electronic component and supports the plate-like electronic component, so there is a problem caused by the smoothness of the stage and foreign matter between the stage and the plate-like electronic component. In this case, there is no problem due to the presence of the liquid crystal, and both the plate surfaces of the plate-like electronic component are cleaned at the same time, so that the efficiency of the cleaning operation is improved as compared with the case of cleaning one surface at a time.
[0019]
In addition, when a load is applied to the plate-like electronic component due to the friction sheet being brought into frictional contact with the plate-like electronic component, each friction sheet is in frictional contact only when the friction sheet is in contact with the plate-like electronic component. First, when both the friction sheets are brought into contact with the plate-like electronic component, the frictional contact is made for the first time. That is, the frictional contact of the two friction sheets with the plate-shaped electronic component occurs simultaneously. Therefore, the number of times that the load is applied to the plate-like electronic component due to the frictional contact of the friction sheet (the number of attacks) is the same as that in the conventional case where the load is frictionally contacted with one friction sheet supported on the stage. In spite of the two sheets, the damage to the plate-like electronic component due to the attack of the friction sheet does not increase.
[0020]
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, each holding portion is configured to bring the friction sheet into line contact with a corresponding plate surface of the plate-like electronic component.
[0021]
Thus, the friction sheet is in line contact with the plate surface of the plate-like electronic component, which is different from the case where the friction sheet is in surface contact with the plate surface of the plate-like electronic component as in Conventional Example 2 (see FIG. 7). In addition, rubbing due to foreign matter interposed between the plate-like electronic component and the friction sheet is avoided. Therefore, it is possible to prevent a situation in which the plate surface of the plate-like electronic component is scratched or foreign matter is reattached due to such rubbing.
[0022]
According to a third aspect of the present invention, in the first and second aspects of the present invention, each holding portion has a feeding roll on which the friction sheet is wound so that the friction sheet can be fed and a winding roll for winding the friction sheet on the feeding roll. In this case, the feeding roll and the winding roll are arranged so as to be aligned in the axial direction on the rotation axis of the holding portion.
[0023]
Thereby, when the center of gravity of the holding portion moves as the friction sheet is wound from the feeding roll to the winding roll, the center of gravity is always positioned on the rotation axis of the holding portion. The rotational balance is not lost. Therefore, in the case of Conventional Example 3 (see FIG. 8), the center of gravity moves in a direction perpendicular to the rotational axis, so that the rotational balance is lost and the contact state of the friction sheet with the plate-like electronic component becomes unstable. As a result, the occurrence of uneven cleaning and instability of the cleaning ability are likely to occur, but such a situation is avoided in the present invention.
[0024]
In addition, since the rotation balance collapse due to the fluctuation of the center of gravity as described above is more noticeable as the rotation speed is higher, the frictional contact of the friction sheet with the plate-like electronic component is more reliable even during high-speed rotation. Therefore, the cleaning efficiency can be further improved. Therefore, the cleaning efficiency can be further improved.
[0025]
According to a fourth aspect of the present invention, in the first to third aspects of the present invention, at least one of the cleaning mechanisms detects a contact pressure of the friction sheet with respect to a corresponding plate surface of the plate-like electronic component, and is detected by the detection unit. Control means for controlling the pressing operation of the pressing means based on the contact pressure.
[0026]
As a result, each friction sheet comes into contact with the corresponding plate surface of the plate-like electronic component with an appropriate and stable pressure, so that the cleaning effect is improved and the cleaning performance can be stabilized. become. Further, when the plate-like electronic component is a liquid crystal display panel, there is an advantage that the occurrence of cell gap unevenness due to fluctuations in the contact pressure of the friction sheet is avoided.
[0027]
According to a fifth aspect of the present invention, in the first to fourth aspects of the invention, when the plate-like electronic component is a liquid crystal display panel in which a liquid crystal layer is disposed between a pair of opposed electrode substrates, The liquid crystal display panel is cleaned while being supported by a pair of cleaning mechanisms. Therefore, unlike the conventional examples 1 to 3, the cleaning unevenness and panel cracks caused by using the stage do not occur, and both the panel surfaces of the liquid crystal display panel are cleaned at the same time. As compared with the case of cleaning one surface at a time as in the first to third conventional examples, the efficiency of the cleaning operation is improved, and the operation of the inventions of the second to sixth aspects is specifically performed.
[0028]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0029]
1 and 2 schematically show the overall configuration of a liquid crystal display panel cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention. 1 is a longitudinal front view of the cleaning apparatus, and FIG. 2 is a left side view thereof.
[0030]
The liquid crystal display panel cleaning device is disposed so as to face the support mechanism 20 that supports the liquid crystal display panel 10 that is carried in a substantially vertical state, and the liquid crystal display panel 10 that is supported by the support mechanism 20 in the panel thickness direction. And a pair of cleaning mechanisms 30 and 30.
[0031]
The support mechanism 20 is configured to feed a plurality of liquid crystal display panels 10 in a predetermined feed direction (direction indicated by an arrow in FIG. 2) in a state where the liquid crystal display panels 10 are arranged in a line on the same plane. And a plurality of support rollers 21, 21..., Which are erected so as to be aligned in the feed direction on both sides in the horizontal direction orthogonal to the feed direction (both sides in the left-right direction in FIG. 1). And a belt conveyor 22 arranged so as to extend in the feeding direction. Each of the conveyor belts of the belt conveyor 22 is provided with a plurality of chucks 23, 23,... For chucking the lower side of the liquid crystal display panel 10 arranged in a substantially vertical state at predetermined intervals. The feeding position corresponding to the substantially middle portion of the belt conveyor 22 in the feeding direction is a washing position where washing is performed by the pair of washing mechanisms 30 and 30. In this washing position, adjacent supports in the feeding direction are supported. The interval between the rollers 21 and 21 is wider than in other positions.
[0032]
Each cleaning mechanism 30 includes a cleaning unit 40 that cleans the corresponding panel surface of the liquid crystal display panel positioned at the cleaning position by the support mechanism 20, a lift moving unit 90 that moves the cleaning unit 40 up and down, and a cleaning unit 40. An advancing / retreating movement unit 100 for advancing / retreating the liquid crystal display panel 10 is provided.
[0033]
Specifically, columns 91 are provided upright on both sides of the support mechanism 20 (on the left and right sides in FIG. 1), and a lifting platform 93 is disposed on each column 91. This lifting platform 93 is guided and supported by a column 91 through a guide support mechanism (not shown) so as to be movable up and down. A moving table 103 is arranged on each lifting table 93, and this moving table 103 is guided and supported by a lifting table 93 through a guide support mechanism (not shown) so as to be movable back and forth. The cleaning unit 40 is disposed on the moving table 103.
[0034]
More specifically, each of the support columns 91 is disposed so as to extend in the vertical direction (the vertical directions in FIGS. 1 and 2) and a lifting motor (not shown) that rotates the output shaft in both forward and reverse directions. Thus, a lifting ball screw 92 is provided on the support column 91 via a bearing mechanism (not shown) so as to be rotatable about the vertical axis. The output shaft of the lifting motor is connected to a lifting ball screw 92, and the lifting ball screw 92 is screwed to the lifting platform 93. The up-and-down moving unit 90 is constituted by the support column 91, the elevating motor, the elevating ball screw 92, and the elevating platform 93. The elevating platform 93 is rotated by rotating the output shaft in one direction. The elevating table 93 is moved downward together with the cleaning unit 40 by moving up and down together with the cleaning unit 40 and the lifting motor rotating the output shaft in the other direction. Further, the up-and-down moving units 90 and 90 of both the cleaning mechanisms 30 and 30 are arranged so that the horizontal positions of the contact portions of the respective polishing sheets 51 with respect to the liquid crystal display panel 10 are the same, and each of the contact portions described above. Are operated synchronously so that their vertical positions are the same.
[0035]
Further, on each of the elevators 93, an advancing / retracting motor 101 that rotates the output shaft in both forward and reverse directions and a direction perpendicular to the corresponding panel surface of the liquid crystal display panel 10 are arranged to extend. An advancing / retreating ball screw 102 is provided on an elevating base 93 via an outer bearing mechanism so as to be rotatable about a horizontal axis. Further, the output shaft of the advance / retreat motor 101 is connected to the advance / retreat ball screw 102, and the advance / retreat ball screw 102 is screwed to the moving table 103. The advancing / retreating motor 100, the advancing / retreating ball screw 102, and the moving table 103 constitute the advancing / retreating unit 100, and the moving table 103 is cleaned by rotating the output shaft in one direction. The advancing / retracting motor 101 rotates the output shaft in the other direction while moving forward together with the unit 40, so that the moving table 103 moves backward together with the cleaning unit 40.
[0036]
As shown in the enlarged sectional view of FIG. 3, the cleaning unit 40 includes a holding unit for holding a polishing sheet 51 that frictionally contacts the panel surface of the liquid crystal display panel 10 to remove foreign matters on the panel surface. A rotating unit 50, a rotating motor 70 as rotating means for rotating the rotating unit 50 around a horizontal axis substantially orthogonal to the liquid crystal display panel 10 on the support mechanism 20, and a polishing sheet on the rotating unit 50 51 has a pressing cylinder 80 as pressing means for pressing the rotating portion 50 so as to make frictional contact with the corresponding panel surface of the liquid crystal display panel 10.
[0037]
In this embodiment, as the polishing sheet 51, for example, a polyurethane synthetic resin adhesive is used, and white alumina particles (particle diameter is 5 to 9 μm) as an abrasive are applied and bonded to a polyester taffeta base material. Is used. It is also possible to use a simple sheet that does not contain an abrasive and supply a slurry-like abrasive to the sheet for cleaning.
[0038]
The rotating motor 70 is disposed on the moving table 103, and a pulley (not shown) is coupled to the output shaft so as to rotate together. On the other hand, a rotating shaft 41 arranged so as to extend in the advancing and retracting direction of the cleaning unit 40 is provided on the movable table 103 so as to be rotatable around a horizontal axis through a bearing mechanism (not shown). The rotating portion 50 is integrally connected to the front end of the rotating shaft 41 in the advancing direction, and a pulley (not shown) is integrally connected to the rear end of the rotating shaft 41 in the advancing direction. A transmission belt 71 is wound between the pulley on the rotating motor 70 side and the pulley on the rotating shaft 41 side, and the rotating motor 50 rotates the output shaft so that the rotating unit 50 is rotated. It rotates around the horizontal axis. The means for transmitting the driving force of the rotation motor 70 to the rotating shaft 41 includes, for example, a gear transmission mechanism in addition to the belt transmission mechanism.
[0039]
The motors 70 and 70 for rotation of both the cleaning mechanisms 30 and 30 are synchronously driven to rotate in the same direction (in the example shown in FIG. 2, the clockwise direction in FIG. 2). In addition, the rotation speeds of the rotating units 50 by the respective rotation motors 70 are made to coincide with each other in a range of 1000 to 3000 rpm, for example.
[0040]
The pressing cylinder 80 is arranged so that the rod 80a moves back and forth in the advance direction, and the tip of the rod 80a is connected to the rear end of the rotary shaft 41 in the advance direction. When the pressing cylinder 80 is extended, the rotating portion 50 is pressed in the advancing direction, and the contact pressure of the polishing sheet 51 with respect to the liquid crystal display panel 10 (pressure applied to the liquid crystal display panel 10) is increased. When the cylinder 80 is contracted, the rotating part 50 is pulled in the backward direction, so that the contact pressure of the polishing sheet 51 with the liquid crystal display panel 10 is lowered.
[0041]
Between the tip of the rod 80a of the pressing cylinder 80 and the rear end of the rotating shaft 41, a load cell 42 as a detecting means for detecting the contact pressure of the polishing sheet 51 with respect to the corresponding panel surface of the liquid crystal display panel 10 is provided. It is installed. A control unit 43 is provided on the moving table 103 as control means for controlling the extension operation of the pressing cylinder 80 based on the contact pressure detected by the load cell 42. The contact pressure is set to an appropriate value (for example, 0.1 to 0.2 MPa).
[0042]
The rotating part 50 includes a substantially rectangular frame 52 that is integrally connected to the front end of the rotating shaft 41 in the advancing direction. In the frame 52, a pair of sheet rolls 53 and 54 are arranged. These sheet rolls 53 and 54 are arranged on the rotational axis of the rotating unit 50 so as to be aligned in the axial direction, and are supported by the frame body 52 so as to be rotatable around respective axes that are orthogonal to the axial center of the rotating unit 50. Has been. The sheet roll 53 on the rear side in the advancing direction is a feeding sheet roll on which the polishing sheet 51 is wound so that it can be fed out, and the sheet roll 54 on the front side in the advancing direction is a winding sheet roll that winds up the polishing sheet 51. Yes.
[0043]
As shown in the enlarged side view of FIG. 4, the take-up sheet roll 54 is provided with an automatic sheet feeding mechanism that automatically winds the polishing sheet 51 on the feeding sheet roll 53 by a certain amount. Specifically, a lever 55 extending in a direction perpendicular to the axis of the sheet roll 54 is coupled to the winding sheet roll 54 in a rotating and integrated manner via a one-way clutch (not shown). The one-way clutch transmits the rotation to the winding sheet roll 54 when the lever 55 rotates in the direction in which the winding sheet roll 54 winds up the polishing sheet 51 (clockwise direction in the figure) When the lever 55 rotates in a direction opposite to the winding direction (counterclockwise direction in the figure), transmission to the winding sheet roll 54 is blocked. A tension coil spring 56 is interposed between the lever 55 and the frame 52 to urge the lever 55 in a direction opposite to the winding direction. Further, a winding cylinder 57 for pressing the lever 55 so as to rotate in the winding direction against the tensile force of the tension coil spring 56 is attached to the frame 52. The automatic sheet feeding mechanism includes the lever 55, the one-way clutch, the tension coil spring 56, and the take-up cylinder 57. When the take-up cylinder 57 is extended, the lever 55 rotates and takes up. By rotating the sheet roll 54 in the winding direction, the polishing sheet 51 is wound up by a certain amount on the winding sheet roll 54, so that the polishing sheet is brought into frictional contact with the corresponding panel surface of the liquid crystal display panel 10. For example, the portion 51 is renewed for each liquid crystal display panel 10.
[0044]
As shown in FIG. 5, which is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. 3, a backup member 58 provided so as to extend substantially parallel to the sheet rolls 53, 54 is disposed at the front edge portion of the frame body 52 in the advancing direction. Has been. The backup member 58 is in line contact with the rear surface of the polishing sheet 51 between the sheet rolls 53 and 54, and is supported by a swing mechanism so as to be swingable on a plane including the axis of the rotary shaft 41. ing. Specifically, a bearing shaft 59 extending in a direction perpendicular to the swing surface of the backup member 58 is attached to the front edge portion of the frame body 52, and the backup member 58 is centered on the bearing shaft 59. It can be turned clockwise and counterclockwise in FIG. Thus, when the backup member 58 comes into contact with the corresponding panel surface of the liquid crystal display panel 10 through the polishing sheet 51 in a non-parallel state, the reaction force causes the backup member 58 to be parallel to the panel surface. By rotating, the part of the polishing sheet 51 on the backup member 58 is in line contact with the panel surface. If the contact width (contact line length of line contact) of the polishing sheet 51 with respect to the corresponding panel surface of the liquid crystal display panel 10 is too narrow, the vertical movement speed of the cleaning unit 40 may be slowed when cleaning the entire surface. However, if it is too wide, it will be easy to give a damage to the surface of the panel.
[0045]
A plurality of water spray nozzles 60, 60,... For spraying water toward the liquid crystal display panel 10 during cleaning and the water sprayed from the water spray nozzles 60 are prevented from splashing around the rotating unit 50. A water splash prevention cover 61 is disposed. The water splash prevention cover 61 is provided on the moving table 103, and each water spray nozzle 60 is attached to the water splash prevention cover 61.
[0046]
In addition, when the particle diameter of the abrasive exceeds the upper limit of 9 μm, when the rotational speed of the rotating unit 50 exceeds 3000 rpm, when the contact pressure of the abrasive sheet 51 exceeds 0.2 MPa, fine scratches on the panel surface There is a risk of causing damage such as unevenness. On the other hand, when the particle size of the abrasive is less than the lower limit of 5 μm, when the rotational speed of the rotating unit 50 is less than 1000 rpm, when the contact pressure of the abrasive sheet 51 is less than 0.1 MPa, the foreign matter removing ability is It decreases to about 95%.
[0047]
Next, the operation of the liquid crystal display panel cleaning device configured as described above will be described.
[0048]
First, the rotation motors 70 of both the cleaning mechanisms 30 and 30 rotate in a predetermined direction at a constant speed, so that the rotation shaft 41 connected to the output shaft of the rotation motor 70 via the transmission belt 71 is connected. Rotate in the same direction. Thereby, the rotation unit 50 of the cleaning unit 40 rotates in the same direction at a constant speed. At the start of this rotation, water spraying is started from each of the watering nozzles 60, 60,. At this time, the sprayed water is prevented from being scattered by the water scattering prevention cover 61.
[0049]
Next, the cleaning unit 40 moves forward by the operation of the advance / retreat moving unit 100. .., And the liquid crystal display panel 10 positioned at the cleaning position by the belt conveyor 22 while being supported by the support rollers 21, 21... Stop.
[0050]
Thereafter, the rotating portion 50 moves forward on the cleaning unit 40 by the extension operation of the pressing cylinder 80, so that each polishing sheet 51 comes into frictional contact with the corresponding panel surface of the liquid crystal display panel 10. At this time, the extension operation of each pressing cylinder 80 is controlled by the control unit 43 so that the contact pressure of the polishing sheet 51 with respect to the liquid crystal display panel 10 detected by the load cell 42 becomes a predetermined value. The sheet 51 comes into frictional contact with the liquid crystal display panel 10 with an appropriate pressure.
[0051]
Further, even when the contact portion with the polishing sheet 51 on the panel surface is not orthogonal to the rotation axis of the rotating portion 50, the backup member 58 may cause the polishing sheet 51 to make a line contact with the contact portion by the swing mechanism. Therefore, it is possible to cope with the surface accuracy and swell of the liquid crystal display panel 10, and the rotation of the rotating unit 50 is stabilized and the cleaning efficiency is improved. In addition, even when a foreign object is caught between the liquid crystal display panel 10 and the polishing sheet 51, it is possible to avoid rubbing due to this, and thus it is possible to prevent the occurrence of panel scratches and the reattachment of the foreign object.
[0052]
In the state where each polishing sheet 51 is in frictional contact with the corresponding panel surface of the liquid crystal display panel 10, each cleaning unit 40 is always moved to the same panel of the liquid crystal display panel 10 by the operation of the elevating / lowering unit 90. The two cleaning mechanisms 30 and 30 are moved up and down while being synchronized with each other so as to make frictional contact with the surface. Then, every time the cleaning unit 40 is moved, the liquid crystal display panel 10 is fixedly fed by the belt conveyor 22, and the entire surface of the liquid crystal display panel 10 is cleaned by repeating this operation.
[0053]
After the cleaning of the entire surface is completed, the spraying of water by the watering nozzles 60 and the rotation of the rotating unit 50 by the rotation motor 70 are both stopped, and both the cleaning units 40 and 40 are synchronized with each other by the operation of the forward / backward moving units 100. Then move backward and return to the origin position. On the other hand, in the automatic sheet feeding mechanism, first, the rod tip 57a presses the lever 55 by the extension operation of the winding cylinder 57 to rotate the lever 55 in the winding direction. As the lever 55 rotates, the winding sheet roll 54 rotates in the winding direction, so that the polishing sheet 51 is wound around the winding sheet roll 54 by a certain amount. As a result, when cleaning is performed, cleaning is always performed on the part of the new polishing sheet 51, and loss due to the feeding operation of the polishing sheet 51 is avoided.
[0054]
By repeating the above operation, the plurality of liquid crystal display panels 10, 10,... Are automatically and sequentially cleaned. If the liquid crystal display panel 10 is cleaned by properly combining the material of the polishing sheet 51 and the cleaning conditions (contact pressure, rotation speed, etc.), the liquid crystal display such as cleaning unevenness and cell gap unevenness can be obtained. There is no problem in quality of the panel 10, and 99% or more of cullet and foreign matter adhering to both panel surfaces can be removed simultaneously.
[0055]
Therefore, according to the present embodiment, since the liquid crystal display panel 10 can be supported and cleaned by the pair of cleaning mechanisms 30 and 30, the liquid crystal display panel 10 is supported on the stage and cleaned as in the conventional case. Compared to the above, there is no occurrence of cleaning unevenness or panel gap unevenness due to the smoothness of the stage, and cleaning unevenness and cell gap unevenness due to the presence of foreign matter between the stage and the liquid crystal display panel. The occurrence of panel cracks can be avoided.
[0056]
In addition, since both surfaces of the liquid crystal display panel 51 can be cleaned at the same time, the efficiency of the cleaning operation can be improved as compared with the conventional case where each side is cleaned.
[0057]
Further, by bringing the polishing sheet 51 into line contact with the corresponding surface of the liquid crystal display panel 10, it is possible to avoid rubbing due to foreign matter interposed between the liquid crystal display panel 10 and the polishing sheet 51. In addition, unlike the case where the polishing sheet is brought into surface contact with the panel surface, it is possible to avoid the occurrence of scratches due to such rubbing and the reattachment of foreign matter.
[0058]
Further, when the polishing sheet 51 is wound from the feeding sheet roll 53 to the take-up sheet roll 54 in the rotating unit 50, the center of gravity of the rotating unit 50 is always located on the rotation axis. It can be rotated without breaking the balance. Therefore, Conventional Example 3 (Fig. 8 As described above, the center of gravity moves in a direction perpendicular to the rotational axis, so that the rotational balance of the holding portion is lost and the contact state of the polishing sheet with the liquid crystal display panel becomes unstable, resulting in uneven cleaning. Unlike the case where cell gap unevenness or cleaning ability is likely to be unstable, such a situation can be avoided.
[0059]
Further, by controlling the expansion operation of the pressing cylinder 80 while detecting the contact pressure of the polishing sheet 51 with respect to the liquid crystal display panel 10, it is possible to optimize and stabilize the contact pressure, so that cleaning unevenness and cell gaps can be achieved. The occurrence of unevenness can be avoided and the cleaning ability can be stabilized.
[0060]
In the above-described embodiment, the case where the liquid crystal display panel 10 is cleaned has been described. However, the present invention is not limited to display panels such as EL (electroluminescence) display devices and plasma display devices, but also various types of plates such as wafers. The present invention can be applied to an apparatus for cleaning a shaped electronic component.
[0061]
Moreover, the embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
[0062]
【The invention's effect】
As described above, according to the first aspect of the present invention, the plate-like electronic component can be cleaned while supporting it by a pair of cleaning mechanisms. And the occurrence of cracks in the plate-like electronic component can be suppressed, and the efficiency of the cleaning operation can be improved as compared with the case of cleaning one surface at a time as in the prior art.
[0063]
According to the second aspect of the present invention, the holding portion causes the friction sheet to be in line contact with the corresponding plate surface of the plate-like electronic component, thereby avoiding rubbing due to foreign matter interposed between the plate-like electronic component and the friction sheet. Therefore, it is possible to prevent a situation in which the surface of the plate-like electronic component is scratched or foreign matter is reattached due to such rubbing.
[0064]
According to the invention of claim 3, when the friction sheet is sent from the feed roll to the take-up roll in the holding portion, the feed roll and the take-up roll are arranged in the axial direction on the rotation axis of the hold portion. Since the center of gravity of the holding part moves in accordance with the friction sheet being wound on the take-up roll, the center of gravity can be moved on the rotation axis of the holding part. It is possible to avoid a situation where the rotational balance of the roller is lost and the cleaning becomes unstable. As a result, the holding portion can be rotated at high speed without impairing the stability of the cleaning operation, and the cleaning efficiency can be further improved.
[0065]
According to the fourth aspect of the present invention, the control means controls the pressing operation of the pressing means based on the contact pressure detected by the detecting means of at least one of the cleaning mechanisms, so that each friction sheet is attached to the plate-like electronic component. The corresponding surface can be contacted with an appropriate and stable pressure, so that the cleaning effect can be improved and the cleaning ability can be stabilized. Furthermore, when the plate-like electronic component is a liquid crystal display panel, it is possible to avoid the occurrence of uneven cell gap due to fluctuations in the contact pressure of the friction sheet.
[0066]
According to the invention of claim 5, when the plate-like electronic component is a liquid crystal display panel, the liquid crystal display panel can be cleaned while being supported by a pair of cleaning mechanisms. Compared to the case of using, cleaning unevenness and panel cracking can be suppressed, and both sides of the liquid crystal display panel can be cleaned at the same time. In addition to improving work efficiency, the effects of the inventions of claims 1 to 4 can be obtained specifically.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal front view showing an overall configuration of a liquid crystal display panel cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing a configuration of a liquid crystal display panel cleaning device.
FIG. 3 is a longitudinal front view showing an enlarged configuration of both cleaning units.
4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 3 showing the configuration of the holding unit.
FIG. 5 is an enlarged side view showing an automatic sheet feeding mechanism.
FIG. 6 is a front view showing an overall configuration of a conventional liquid crystal display panel cleaning apparatus (conventional example 1).
FIG. 7 is a front view showing an overall configuration of a conventional liquid crystal display panel cleaning device (conventional example 2).
FIG. 8 is a front view showing an overall configuration of a conventional liquid crystal display panel cleaning device (conventional example 3).
[Explanation of symbols]
10 Liquid crystal display panels (plate-like electronic components)
20 Support mechanism
30 Cleaning mechanism
42 Load cell (detection means)
43 Control unit (control means)
50 Rotating part (holding part)
51 Abrasive sheet (friction sheet)
53 Feeding sheet roll (feeding roll)
54 Winding sheet roll (winding roll)
70 Rotating motor (rotating means)
80 Cylinder for pressing (Pressing means)

Claims

A cleaning device for plate-like electronic components that removes foreign matter on both plate surfaces of the plate-like electronic component,
A support mechanism for supporting the plate-like electronic component in a state in which the plate surface is substantially vertical;
A holding portion for holding a friction sheet for removing foreign matter on the plate surface by frictional contact with the plate surface of the plate-like electronic component, and the holding portion corresponding to the plate surface of the plate-like electronic component on the support mechanism Rotating means for rotating around a substantially vertical axis, and pressing means for pressing the holding part so that the friction sheet on the holding part comes into frictional contact with the corresponding plate surface of the plate-like electronic component. And a pair of cleaning mechanisms arranged to face each other so as to sandwich the plate-like electronic component in the plate thickness direction.

2. The plate-shaped electronic component cleaning apparatus according to claim 1, wherein each holding portion is configured to bring the friction sheet into line contact with a corresponding plate surface of the plate-shaped electronic component. Cleaning equipment.

3. The apparatus for cleaning a plate-shaped electronic component according to claim 1, wherein each holding portion has a feeding roll on which the friction sheet is wound so that the friction sheet can be fed, and a winding roll for winding the friction sheet on the feeding roll. The cleaning device for a plate-like electronic component, wherein the feeding roll and the winding roll are arranged so as to be aligned in the axial direction on the rotation axis of the holding portion.

4. The apparatus for cleaning a plate-shaped electronic component according to claim 1, wherein at least one of the cleaning mechanisms is detected by a detecting means for detecting a contact pressure of the friction sheet with respect to a corresponding surface of the plate-shaped electronic component, and the detecting means. And a control means for controlling a pressing operation of the pressing means based on the contact pressure applied.

5. The apparatus for cleaning a plate-like electronic component according to claim 1, 2, 3, or 4, wherein the plate-like electronic component is a liquid crystal display panel.