JP4132363B2

JP4132363B2 - Inspection equipment for electrical property inspection

Info

Publication number: JP4132363B2
Application number: JP06151199A
Authority: JP
Inventors: 大祐中島
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1999-03-09
Filing date: 1999-03-09
Publication date: 2008-08-13
Anticipated expiration: 2019-03-09
Also published as: JP2000258459A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気特性検査用検査器具に関するものである。さらに詳しくは大型の検査対象に対応し得る電気特性検査用検査器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、液晶表示装置用アレイ基板などの検査対象の電気特性を検査するために、複数の接触子を有する検査器具を用いて、電気的特性の検査を行なっている。
【０００３】
従来の検査方法を図６に示す。従来の検査方法は、検査対象であるパネルＰのサイズより大きな開口部１４を大型の金属定板１３（１０００ｍｍ×１０００ｍｍ程度）に設け、その開口部１４周辺に複数の接触子１１の集合構造物である接触子群１２を配置し、パネルの端子に接触子１１を全端子同時に接触して電気信号を供給することにより、パネルを電気的に駆動させ、電気的特性の検査を実施している。
【０００４】
検査可能なパネルのサイズは、前記開口部１４の寸法で決定される。かかる開口部１４の寸法は、定板１３の寸法から、接触子群１２の取付領域を除いた残りの領域の寸法で決定される。
【０００５】
通常の検査においては、パネルはチャックトップなどの固定手段（図示せず）に固定された状態で検査されるため、開口部１４の寸法は、パネルの外形寸法よりも充分に大きく形成される必要がある。なお、被測定物の寸法により固定手段の寸法は決定される。被測定物上に複数のパネルが製造されている場合には固定手段の寸法は、パネルサイズより大きくなるのが通常である。つまり、寸法関係は、パネルサイズ＜被測定物（ガラス基板）＜固定手段（チャックトップサイズ）となる。
【０００６】
また、従来の検査方法では、検査対象の機種を変更する場合には、定板を含む検査器具全体を変更する必要がある。
【０００７】
さらに、検査対象のパネルの水平方向側（以下、単にＨ側という）の端子と垂直方向側（以下、単にＶ側という）の端子とが近接している機種の場合、Ｈ側端子とＶ側端子のコーナー部分で、図６におけるＨ側の接触子群１２とＶ側の接触子群１２とが干渉し、検査対象の端子に接触子１１が接触できず、検査ができない場合があるため、パネルの設計の障害になっていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような従来の検査方法では、検査対象の機種が変更した場合、定板ごとの変更が必要であり重量物である定板を移動する作業が必要になる。さらに、検査対象可能なパネルのサイズは、定板１３の開口部１４の寸法によって決定される。したがって、大型パネルの検査をするときには開口部を充分に広く取れない。しかも、同一のパネルのサイズであっても、解像度の異なる機種の場合でも前記金属製の定板１３ごと新規に作成する必要がある。
【０００９】
また、パネルの全体を覆う大きさで開口部１４が形成されているため、検査中にゴミなどの異物などが検査対象のパネルの表示領域に付着する可能性がある。しかも、パネルの表示領域に検査室の環境の光が侵入し、正確な検査ができない場合がある。この防止策として、従来では別部品である遮光カバーを付加する必要がある。
【００１０】
さらに、遮光カバーの取付け時に、位置合わせ機構または接触子群に前記遮光カバーが接触することによって悪影響を与える可能性がある。
【００１１】
また、パネル全体を覆う寸法で定板１３に開口部１４を形成するときに発生する不要な金属材料が産業廃棄物になるという問題がある。
【００１２】
本発明はかかる問題を解消するためになされたものであり、大型の液晶パネルなどの検査対象に対応し得る電気特性検査用検査器具を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の電気特性検査用検査器具（以下、単に検査器具という）は、検査器具の小型化または接触子群のブロック化によって大型の液晶パネルなどの検査対象に容易に対応し得るものである。
【００１４】
すなわち、本発明の請求項１にかかわる検査器具は、検査器具の小型化を可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された少なくとも１個の接触子群とからなり、
前記定板における前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設されてなることを特徴とする。
【００１５】
前記接触子群の少なくとも一部が、前記検査対象に対向する領域内に位置してなるのが好ましい。
【００１７】
また、寸法で規定する場合、前記開口部の幅が、３〜１５ｃｍ程度の寸法に規定されてなるのが好ましい。
【００１８】
また、本発明の請求項４にかかわる検査器具は、接触子群のブロック化を可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定されてなることを特徴とする。
【００１９】
さらに、本発明の請求項５にかかわる電気特性検査用検査器具は、検査器具の小型化を可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも１個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなることを特徴とする。
【００２０】
さらに、本発明の請求項６にかかわる検査器具は、前記請求項１、４および５記載の発明を組み合わせることにより、検査器具の小型化および接触子群のブロック化を両方可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも１個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなることを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の検査器具をさらに詳細に説明する。図１は本発明の請求項１にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、図２は本発明の請求項４にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、図３は本発明の請求項５にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、図４は図３の接触子群および橋状固定部材の位置関係を説明するための要部拡大斜視図および図５は本発明の請求項６にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【００２２】
請求項１にかかわる検査器具の一実施の形態として、図１に示される検査器具は、金属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、前記定板３に固定された複数の接触子群２とから構成されている。複数の接触子群２は、定板３の下側に配置される検査対象、具体的には液晶表示装置のアレイ基板用パネルＰのＨ側およびＶ側にそれぞれ直線状に並んで配置されている。金属定板３におけるパネルＰの端子（図示せず）付近の位置には、開口部４が部分的に形成されている。接触子１の先端部分は、前記開口部４内部にのびている。
【００２３】
本実施の形態では、開口部４が従来よりも大幅に小さいため、接触子群２の取付可能領域を充分に確保できる。しかも、金属定板３の剛性の低下に基づく定板の精度の低下もほとんど生じない。
【００２４】
図１に示される検査器具では、パネルＰの表示領域の上にも定板３が存在するので、接触子群２の少なくとも一部を、図２のようにパネルＰに対向する領域内に取り付けることができる。したがって、従来の検査器具（図６参照）と比較して、検査器具全体を小型化することができる。したがって、従来における定板と同一の外形寸法の定板を用いても、より大型のパネルを検査することができる。また、検査器具の小型化に伴って重量も軽くなるため、検査器具の交換作業も楽になる。
【００２５】
開口部４の形状は、図１に示されるようにスリット状でもよいし、各接触子群２に対応する部分だけ開口させて、小さい矩形の開口部を多数（または接触子群の数だけ）形成したものであってもよい。
【００２６】
開口部４の大きさは、従来の検査器具と比較して大幅に小さくなるため、定板３に開口部４を形成するときに発生する切りくずなどの不要材料を少なくすることができる。
【００２７】
金属定板３は、鉄またはステンレス鋼などの金属材料から作製され、接触子１は、タングステン、またはタングステンと銅との合金、または該合金材料の表面に金メッキしたものなどの金属材料から作製されている。
【００２８】
開口部４の寸法は、接触子１がパネルＰの端子に接触可能な寸法となっていればよく、前記開口部４の幅Ｗ２が、前記パネルＰの幅Ｗ１に対して１０〜３０％程度に設定されているのが好ましい。なお、この幅Ｗ１とＷ２とのあいだの寸法関係は、Ｈ側およびＶ側のいずれの場合についても適用される。
【００２９】
また、Ｈ側およびＶ側の開口部Ｗ２の寸法は、接触子先端または接触子群が被測定物の端子に接触可能な寸法だけあればよいので被測定物によらずほぼ一定となることも考えられる。よってパネルのサイズＷ１は変動が大きいが、開口部Ｗ２は変動が小さい。Ｗ２の寸法を規定するならば３ｃｍ〜１５ｃｍ程度が良好である。
【００３０】
しかも、図１に示される検査器具は、パネルＰの表示領域を金属定板３が覆っているため、遮光カバーが不要になる。
【００３１】
つぎに、請求項４にかかわる検査器具の一実施の形態として、図２に示される検査器具は、ブロック用固定部材５によって複数個の接触子群２を連結することにより、接触ブロックを構成している点で、図１に示される検査器具と構成が異なっており、その他の点では構成が共通している。
【００３２】
すなわち、図２に示される検査器具は、金属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、前記定板３に固定された複数の接触子群２とから構成されている。複数の接触子群２は、定板３の下側に配置されるパネルＰのＨ側およびＶ側にそれぞれ直線状に並んで配置されている。金属定板３におけるパネルＰの端子（図示せず）付近の位置には、開口部４が部分的に形成されている。接触子１の先端部分は、前記開口部４内部にのびている。
【００３３】
接触子群２は、前記ブロック用固定部材５によって、Ｈ側およびＶ側でそれぞれ定板３に着脱自在に固定されることにより、着脱自在の接触ブロックを構成している。したがって、重量物である金属定板３を移動させることなく、接触ブロックを変更するだけでパネルＰのサイズの大型化（または小型化）によるサイズの変更または解像度などの仕様の変更に容易に対応することができる。
【００３４】
ブロック用固定部材５は、定板３に対して、ねじ止めまたはカンチレバーなどによって所定の位置に精度よく着脱自在に固定することができる。
【００３５】
つぎに、請求項５にかかわる検査器具の一実施の形態として、図３〜４に示される検査器具は、金属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、定板３に固定された少なくとも１個の接触子群２とからなり、パネルＰのコーナー部付近の接触子群２のうちの少なくとも１個が、前記定板３の表面から突設された橋状固定部材６に吊り下げられた状態で固定されることにより、隣接する他の接触子群２との干渉が防止されている。
【００３６】
したがって、パネルＰのコーナー部付近の接触子群２を近接して配置できるため、検査器具の小型化が可能になる。
【００３７】
請求項５記載の発明では、開口部８の大きさについてはとくに限定するものではなく、図３に示されるように従来と同様の大きさでも、橋状固定部材６によってＨ側の接触子群２をすべて開口部８の上方に配置することができ、検査器具をさらに小型化できる。
【００３８】
つぎに、請求項６にかかわる検査器具の一実施の形態として、図５に示される検査器具は、前記請求項１、４および５記載の発明を組み合わせた実施の形態であり、前記パネルの端子付近に部分的に形成されたＬ字形の開口部４、複数のＶ側の接触子群２を連結して金属定板３に着脱自在に固定するブロック用固定部材５、および複数のＨ側接触子群２を吊り下げて配設する橋状固定部材６を有している。したがって、図１〜４に示される検査器具の効果をすべて有しているため、大型パネルの検査に好適に使用することができる。
【００３９】
以上、本実施の形態では電気的特性のための検査対象として、液晶表示装置のアレイ基板用パネルを例にあげて説明したが、その他の検査対象、たとえば半導体装置用のウエハ、または半導体装置を実装した基板（たとえばコンピュータの各種ボードやメモリカードなど）などに対しても本発明の検査器具を適用することができる。
【００４０】
【発明の効果】
本発明の請求項１ないし６記載の発明によれば、定板の開口部を検査対象の端子付近に部分的に形成しているため、比較的小型の検査器具で大型の検査対象を検査することが可能になる。
【００４１】
しかも、検査対象の表面（パネルの表示領域など）への異物または光の侵入を、別部品のカバーなどを設けることなく防止することができる。また、開口部が従来と比較して大幅に小さいため、開口部を加工する際に発生する不要な材料が大幅に少なくなる。
【００４２】
本発明の請求項４または６記載の発明によれば、複数の接触子群をブロック用固定部材によって固定して接触ブロックを構成することにより、定板を変更する必要がなく、接触ブロックを適宜変更することにより、大型の検査対象の検査が可能になる。また、同一サイズの検査対象で仕様（解像度など）のみ変更した場合でも、接触ブロックの変更で対応することができる。したがって、比較的重量物である定板の移動作業が不要になる。
【００４３】
さらに、従来では個々の検査対象に対応する検査器具を製造する必要があったが、本発明の検査器具では複数の検査対象に対応することができるため、検査器具の製造費用を大幅に低減することができる。
【００４４】
本発明の請求項５または６記載の発明によれば、検査対象のコーナー部付近の接触子群を橋状固定部材に固定して隣接する他の接触子群との干渉が防止されているため、比較的小型の検査器具で大型の検査対象を検査することが可能になる。
【００４５】
しかも、接触子群の干渉が防止されることによって、検査精度が向上し、それとともに検査対象の設計自由度も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の請求項１にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【図２】本発明の請求項４にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である
【図３】本発明の請求項５にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【図４】図３の接触子群および橋状固定部材の位置関係を説明するための要部拡大斜視図である。
【図５】本発明の請求項６にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【図６】従来の検査器具の平面図である。
【符号の説明】
１接触子
２接触子群
３金属定板
４開口部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection instrument for electrical property inspection. More specifically, the present invention relates to an inspection instrument for electrical property inspection that can handle a large inspection object.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in order to inspect the electrical characteristics of an inspection target such as an array substrate for a liquid crystal display device, the electrical characteristics are inspected using an inspection instrument having a plurality of contacts.
[0003]
A conventional inspection method is shown in FIG. In the conventional inspection method, an opening 14 larger than the size of the panel P to be inspected is provided in a large metal plate 13 (about 1000 mm × 1000 mm), and an assembly structure of a plurality of contacts 11 around the opening 14. The contact group 12 is arranged, and all the terminals 11 are simultaneously brought into contact with the terminals of the panel to supply electrical signals, thereby electrically driving the panel and inspecting the electrical characteristics. .
[0004]
The size of the panel that can be inspected is determined by the dimension of the opening 14. The dimension of the opening 14 is determined by the dimension of the remaining area excluding the attachment area of the contact group 12 from the dimension of the fixed plate 13.
[0005]
In a normal inspection, since the panel is inspected while being fixed to a fixing means (not shown) such as a chuck top, the dimension of the opening 14 needs to be sufficiently larger than the external dimension of the panel. There is. The dimension of the fixing means is determined by the dimension of the object to be measured. When a plurality of panels are manufactured on the object to be measured, the dimension of the fixing means is usually larger than the panel size. That is, the dimensional relationship is panel size <measurement object (glass substrate) <fixing means (chuck top size).
[0006]
Further, in the conventional inspection method, when changing the model to be inspected, it is necessary to change the entire inspection instrument including the surface plate.
[0007]
Further, in the case of a model in which a terminal on the horizontal side (hereinafter simply referred to as H side) and a terminal on the vertical direction (hereinafter simply referred to as V side) of the panel to be inspected are close to each other, the H side terminal and V side Since the contact group 12 on the H side and the contact group 12 on the V side in FIG. 6 interfere with each other at the corner portion of the terminal, the contact 11 may not be in contact with the terminal to be inspected, and inspection may not be possible. It was an obstacle to the design of the panel.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional inspection method as described above, when the model to be inspected is changed, it is necessary to change each plate and to move the plate that is a heavy object. Further, the size of the panel that can be inspected is determined by the dimension of the opening 14 of the fixed plate 13. Therefore, when inspecting a large panel, the opening cannot be made sufficiently wide. Moreover, even if the size of the panel is the same, even in the case of models with different resolutions, it is necessary to newly create the metal plate 13.
[0009]
In addition, since the opening 14 is formed to have a size that covers the entire panel, foreign matter such as dust may adhere to the display area of the panel to be inspected during inspection. In addition, there is a case where the environment light in the examination room enters the display area of the panel and an accurate inspection cannot be performed. As a preventive measure, conventionally, it is necessary to add a light shielding cover which is a separate part.
[0010]
Furthermore, when the light shielding cover is attached, there is a possibility that the light shielding cover may be adversely affected by contacting the alignment mechanism or the contact group.
[0011]
In addition, there is a problem that unnecessary metal material generated when the opening 14 is formed in the surface plate 13 with a size covering the entire panel becomes industrial waste.
[0012]
The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an inspection instrument for electrical property inspection that can be applied to an inspection object such as a large liquid crystal panel.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
The electrical property inspection inspection instrument of the present invention (hereinafter simply referred to as an inspection instrument) can easily cope with an inspection object such as a large liquid crystal panel by downsizing the inspection instrument or blocking the contact group.
[0014]
That is, the inspection instrument according to claim 1 of the present invention enables the miniaturization of the inspection instrument, and inspects the electrical characteristics by simultaneously contacting the contacts with all terminals to be inspected for electrical characteristics. An inspection instrument for
A fixed plate and a collective structure of the plurality of contacts, and comprising at least one contact group fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected on the surface plate,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a part of the contact is arranged inside the opening.
[0015]
It is preferable that at least a part of the contact group is located in a region facing the inspection object.
[0017]
Moreover, when prescribed | regulated by a dimension, it is preferable that the width | variety of the said opening part is prescribed | regulated to the dimension of about 3-15 cm.
[0018]
The inspection instrument according to claim 4 of the present invention is to allow the blocking of the contact group, the electrical characteristics electrical characteristics by contacting simultaneously contact all terminals of the test object to be examined An inspection instrument for inspecting,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
The plurality of contact groups are connected to a block fixing member to form at least one contact block;
The contact block is detachably fixed to the fixed plate so as to be along a direction in which the contact block is aligned with the terminal to be inspected.
[0019]
Furthermore, the inspection device for electrical property inspection according to claim 5 of the present invention enables downsizing of the inspection device, and contacts are simultaneously brought into contact with all terminals to be inspected for electrical properties. An inspection instrument for inspecting electrical characteristics,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
At least one of the contact groups near the corner to be inspected is fixed to a bridge-shaped fixing member protruding from the surface of the surface plate, thereby interfering with other adjacent contact groups. Is prevented.
[0020]
Furthermore, the inspection instrument according to claim 6 of the present invention is capable of both reducing the size of the inspection instrument and blocking the contact group by combining the inventions of claims 1, 4 and 5 . , An inspection instrument for inspecting electrical characteristics by simultaneously contacting a contact with all terminals to be inspected for electrical characteristics,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
The plurality of contact groups are connected to a block fixing member to form at least one contact block;
The contact block is detachably fixed to the plate so as to be along the direction in which the terminals to be inspected are aligned,
At least one of the contact groups near the corner to be inspected is fixed to a bridge-shaped fixing member protruding from the surface of the surface plate, thereby interfering with other adjacent contact groups. Is prevented.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the inspection instrument of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 1 of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 4 of the present invention. FIG. 4 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 5 of the present invention, FIG. 4 is an enlarged perspective view of a main part for explaining the positional relationship between the contact group and the bridge-like fixing member of FIG. FIG. 5 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 6 of the present invention.
[0022]
As an embodiment of the inspection instrument according to claim 1, the inspection instrument shown in FIG. 1 is a collective structure of a metal plate 3 and a plurality of contacts 1, and a plurality of fixtures fixed to the plate 3. And a contact group 2. The plurality of contact groups 2 are arranged in a straight line on the inspection object arranged on the lower side of the fixed plate 3, specifically on the H side and the V side of the array substrate panel P of the liquid crystal display device. Yes. An opening 4 is partially formed at a position near the terminal (not shown) of the panel P on the metal plate 3. The tip of the contact 1 extends inside the opening 4.
[0023]
In the present embodiment, since the opening 4 is significantly smaller than the conventional one, it is possible to secure a sufficient area where the contact group 2 can be attached. In addition, there is almost no decrease in the accuracy of the plate due to the decrease in the rigidity of the metal plate 3.
[0024]
In the inspection instrument shown in FIG. 1, since the surface plate 3 is also present on the display area of the panel P, at least a part of the contact group 2 is attached in the area facing the panel P as shown in FIG. be able to. Therefore, the whole inspection instrument can be reduced in size compared with the conventional inspection instrument (refer FIG. 6). Therefore, even if a fixed plate having the same outer dimensions as a conventional fixed plate is used, a larger panel can be inspected. In addition, since the weight of the inspection instrument is reduced as the inspection instrument is reduced in size, the inspection instrument can be easily replaced.
[0025]
The shape of the opening 4 may be a slit shape as shown in FIG. 1, or only a portion corresponding to each contact group 2 is opened, and a large number of small rectangular openings (or the number of contact groups). It may be formed.
[0026]
Since the size of the opening 4 is significantly smaller than that of a conventional inspection instrument, unnecessary materials such as chips generated when the opening 4 is formed on the surface plate 3 can be reduced.
[0027]
The metal plate 3 is made of a metal material such as iron or stainless steel, and the contact 1 is made of a metal material such as tungsten, an alloy of tungsten and copper, or a surface of the alloy material gold-plated. ing.
[0028]
The size of the opening 4 only needs to be such that the contact 1 can contact the terminal of the panel P, and the width W2 of the opening 4 is about 10 to 30% of the width W1 of the panel P. Is preferably set. The dimensional relationship between the widths W1 and W2 is applied to both the H side and the V side.
[0029]
Further, the dimensions of the opening W2 on the H side and the V side need only be such that the contact tip or contact group can contact the terminal of the object to be measured, and therefore may be substantially constant regardless of the object to be measured. Conceivable. Therefore, the panel size W1 varies greatly, but the opening W2 varies little. If the dimension of W2 is prescribed, about 3 cm to 15 cm is preferable.
[0030]
In addition, the inspection instrument shown in FIG. 1 does not require a light-shielding cover because the metal plate 3 covers the display area of the panel P.
[0031]
Next, as an embodiment of the inspection instrument according to claim 4 , the inspection instrument shown in FIG. 2 comprises a contact block 2 by connecting a plurality of contact groups 2 with a fixing member 5 for the block. However, the configuration is different from the inspection instrument shown in FIG. 1, and the configuration is the same in other respects.
[0032]
That is, the inspection instrument shown in FIG. 2 is composed of a metal surface plate 3 and a collective structure of a plurality of contacts 1 and a plurality of contact groups 2 fixed to the surface plate 3. The plurality of contact groups 2 are arranged in a straight line on the H side and the V side of the panel P arranged on the lower side of the surface plate 3, respectively. An opening 4 is partially formed at a position near the terminal (not shown) of the panel P on the metal plate 3. The tip of the contact 1 extends inside the opening 4.
[0033]
The contact group 2 is detachably fixed to the fixed plate 3 on the H side and the V side by the block fixing member 5, thereby constituting a detachable contact block. Therefore, without changing the heavy metal plate 3, it is possible to easily respond to changes in size or resolution specifications by increasing the size of the panel P (or downsizing) simply by changing the contact block. can do.
[0034]
The block fixing member 5 can be detachably fixed at a predetermined position with high precision to the fixed plate 3 by screwing or a cantilever.
[0035]
Next, as an embodiment of the inspection instrument according to claim 5 , the inspection instrument shown in FIGS. 3 to 4 is an assembly structure of a metal plate 3 and a plurality of contacts 1. The bridge-shaped fixing member 6 is composed of at least one contact group 2 fixed, and at least one of the contact groups 2 near the corner portion of the panel P is projected from the surface of the fixed plate 3. By being fixed in a suspended state, interference with another adjacent contact group 2 is prevented.
[0036]
Therefore, since the contact group 2 near the corner portion of the panel P can be disposed close to the panel P, the inspection instrument can be downsized.
[0037]
In the invention described in claim 5 , the size of the opening 8 is not particularly limited. As shown in FIG. 3, the H-side contact group is formed by the bridge-like fixing member 6 even if the size is the same as the conventional size. 2 can all be arranged above the opening 8, and the inspection instrument can be further miniaturized.
[0038]
Next, as an embodiment of the inspection instrument according to claim 6 , the inspection instrument shown in FIG. 5 is an embodiment combining the inventions of claims 1, 4 and 5 , and the terminal of the panel An L-shaped opening 4 partially formed in the vicinity, a plurality of V-side contact groups 2, and a block fixing member 5 detachably fixed to the metal surface plate 3, and a plurality of H-side contacts A bridge-like fixing member 6 is provided to suspend and arrange the child group 2. Therefore, since it has all the effects of the inspection instrument shown in FIGS. 1-4, it can be used suitably for the inspection of a large panel.
[0039]
As described above, in the present embodiment, the array substrate panel of the liquid crystal display device has been described as an example of an inspection target for electrical characteristics, but other inspection targets, for example, a wafer for a semiconductor device or a semiconductor device are used. The inspection instrument of the present invention can also be applied to a mounted board (for example, various computer boards and memory cards).
[0040]
【The invention's effect】
According to claims 1 to 6, wherein aspect of the present invention, since the partially formed opening of Teiita near inspected terminal, examining the large inspected in relatively small test instrument It becomes possible.
[0041]
In addition, entry of foreign matter or light into the surface to be inspected (panel display area or the like) can be prevented without providing a separate part cover or the like. Further, since the opening is significantly smaller than the conventional one, unnecessary material generated when the opening is processed is greatly reduced.
[0042]
According to invention of Claim 4 or 6 of this invention, it is not necessary to change a fixed plate by fixing a some contact group by the fixing member for blocks, and it is not necessary to change a fixed plate, and a contact block is suitably used. By changing, it becomes possible to inspect a large inspection object. Further, even when only the specification (resolution, etc.) is changed for the inspection object of the same size, it can be dealt with by changing the contact block. Therefore, the work of moving the plate that is relatively heavy is not necessary.
[0043]
Furthermore, in the past, it was necessary to manufacture an inspection instrument corresponding to each inspection object. However, since the inspection apparatus of the present invention can correspond to a plurality of inspection objects, the manufacturing cost of the inspection instrument is greatly reduced. be able to.
[0044]
According to the invention described in claim 5 or 6 of the present invention, the contact group near the corner portion to be inspected is fixed to the bridge-shaped fixing member, and interference with other adjacent contact groups is prevented. It becomes possible to inspect a large inspection object with a relatively small inspection instrument.
[0045]
In addition, since the interference between the contact groups is prevented, the inspection accuracy is improved, and at the same time, the design freedom of the inspection object is improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 1 of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 4 of the present invention. FIG. 3 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 5 of the present invention. It is.
4 is an enlarged perspective view of a main part for explaining a positional relationship between a contact group and a bridge-like fixing member in FIG. 3;
FIG. 5 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 6 of the present invention.
FIG. 6 is a plan view of a conventional inspection instrument.
[Explanation of symbols]
1 Contact 2 Contact Group 3 Metal Plate 4 Opening

Claims

An inspection instrument for inspecting electrical characteristics by simultaneously contacting a contact with all terminals to be inspected for electrical characteristics,
A fixed plate and a collective structure of the plurality of contacts, and comprising at least one contact group fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected on the surface plate,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
An inspection instrument for electrical characteristic inspection, wherein at least a part of the contact is disposed inside the opening.

The inspection instrument for electrical property inspection according to claim 1, wherein at least a part of the contact group is located in a region facing the inspection object.

The inspection instrument for electrical property inspection according to claim 1 or 2 , wherein a width of the opening is defined to be about 3 to 15 cm.

An inspection instrument for inspecting electrical characteristics by simultaneously contacting a contact with all terminals to be inspected for electrical characteristics,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
The plurality of contact groups are connected to a block fixing member to form at least one contact block;
An inspection instrument for electrical property inspection, wherein the contact block is detachably fixed to the fixed plate along a direction in which the contact block is aligned with the terminal to be inspected.

An inspection instrument for inspecting electrical characteristics by simultaneously contacting a contact with all terminals to be inspected for electrical characteristics,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
At least one of the contact groups near the corner to be inspected is fixed to a bridge-shaped fixing member protruding from the surface of the surface plate, thereby interfering with other adjacent contact groups. Inspection equipment for electrical property inspection that is prevented.

An inspection instrument for inspecting electrical characteristics by simultaneously contacting a contact with all terminals to be inspected for electrical characteristics,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
The plurality of contact groups are connected to a block fixing member to form at least one contact block;
The contact block is detachably fixed to the plate so as to be along the direction in which the terminals to be inspected are aligned,
At least one of the contact groups near the corner to be inspected is fixed to a bridge-shaped fixing member protruding from the surface of the surface plate, thereby interfering with other adjacent contact groups. Inspection equipment for electrical property inspection that is prevented.