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JP4135533B2 - Tester device - Google Patents
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JP4135533B2 - Tester device - Google Patents

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JP4135533B2 JP2003064354A JP2003064354A JP4135533B2 JP 4135533 B2 JP4135533 B2 JP 4135533B2 JP 2003064354 A JP2003064354 A JP 2003064354A JP 2003064354 A JP2003064354 A JP 2003064354A JP 4135533 B2 JP4135533 B2 JP 4135533B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、HDLメモリからのデータに基づく演算値を被測定デバイスに出力し、被測定デバイスからの応答を入力するテスタ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のテスタ装置は、必要となる総パターン数以上の容量のHDLメモリを備えるものである(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−276368号公報
【0004】
このような、従来のテスタ装置を図2(A),(B)を用いて説明する。図2(A)は、従来のテスタ装置の構成図である。
【0005】
テスタ装置10'は、プログラムと端末であるエンジニアリング・ワーク・ステーションEWS等とで形成する。プログラムは、エンジニアリング・ワーク・ステーションEWS内のハードディスク等の記憶媒体に格納される。
【0006】
また、テスタ装置10'は、ファイル1'、HDLメモリ2'、演算部3及びシーケンサ4を備える。ファイル1'、HDLメモリ2'、演算部3及びシーケンサ4は、ハードウエア記述言語(HDL)で記述するプログラムである場合と、実際のハードウエアである場合とがある。
【0007】
さらに、被測定デバイス5も、ソフトウエアでモデル化する仮想被測定デバイスDUTのプログラムである場合と、実際のハードウエアである場合とがある。
【0008】
ここで、ファイル1'、HDLメモリ2'、演算部3、シーケンサ4及び被測定デバイス5がプログラムである場合と、実際のハードウエアである場合とは同等であるため、以下にプログラムである場合のみを説明する。
なお、HDLメモリ2'が実際のハードウエアである場合は、HDLメモリはメモリと呼ばれる。
【0009】
また、ファイル1'、HDLメモリ2'、演算部3、シーケンサ4及び被測定デバイス5がプログラムである場合は、図2のテスタ装置は仮想テスタとして、主に検査プログラムの検証に利用する。
【0010】
そして、ファイル1'、HDLメモリ2'、演算部3、シーケンサ4及び被測定デバイス5は、ハードウエア記述言語HDLで記述される。
ただし、HDLメモリ2'は、エンジニアリング・ワーク・ステーションEWSの実際のハードウエアメモリに密接に関係する。したがって、その容量に制限がある。
【0011】
また、ファイル1'はハードウエア記述言語HDL上の記憶ブロックで形成する。そして、ファイル1'は、被測定デバイス5に対するテスト信号のパターンデータPDを格納する。
【0012】
さらに、シーケンサ4は試験のときに実行アドレスPA_Cを順次HDLメモリ2'へ出力する。
【0013】
また、HDLメモリ2'はハードウエア記述言語HDL上の記憶ブロックで形成する。そして、エンジニアリング・ワーク・ステーションEWSの実際のハードウエアメモリも同様に形成する。そしてまた、HDLメモリ2'はそのアドレスがアドレス0からアドレス0xffffffffの連番のアドレスを備える。
【0014】
さらに、試験を実行する際に、ファイル1'のパターンデータPDの全てがHDLメモリ2'にダウンロードされる。そして、実行アドレスPA_Cに基づくデータを有効とする。
【0015】
また、演算部3は、HDLメモリ2'で有効となるデータを入力して演算を行い、その演算値を被測定デバイス5に出力する。そして、被測定デバイス5からの応答を入力する。
【0016】
そしてまた、これらの出力と入力とを比較し、予め想定していた結果であれば、被測定デバイスまたは検査プログラムを良とする。さらに、これらの出力と入力とを比較し、予め想定していない結果であれば、被測定デバイスまたは検査プログラムを不良とし、被測定デバイスまたは検査プログラムを再検討する。
【0017】
このような検証を繰り返して、被測定デバイスまたは検査プログラムの不良を抑制する。
【0018】
さらに、図2(B)は、ファイル1'に格納される被測定デバイス5に対するテスト信号のパターンデータPDとそのパターンアドレスPAとのアドレス空間を示す図である。同図より、パターンアドレスPAは、HDLメモリ2'のアドレスと同様に、そのアドレスがパターンアドレス0からパターンアドレス0xffffffffの連番のアドレスを備える。
【0019】
このような図2の従来例の試験のときには、シーケンサ4がパターンアドレスPAの範囲(0〜0xffffffff)から順次実行アドレスPA_Cを出力する。そして、この実行アドレスPA_Cに従って、被測定デバイスまたは検査プログラムの試験は実行される。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のテスタ装置は、パターンアドレスPA及びパターンデータPDが大容量であると、一度にこれら全てをHDLメモリ2'に格納できないという課題がある。また、エンジニアリング・ワーク・ステーションEWSの実際のハードウエアメモリを大容量化することは高価であり困難である。
【0021】
特に、IC検査用のテスタ装置は、パターンデータアドレスPA及びパターンデータPDが大きく、例えば130GByte以上必要とする。よって、汎用のエンジニアリング・ワーク・ステーションEWSを利用することは困難である。
【0022】
本発明の目的は、以上説明した課題を解決するものであり、小さいHDLメモリで試験を実行可能とするテスタ装置を提供することにある。
また、本発明の目的はIC検査用に好適で、低コストのテスタ装置を提供することにある。
【0023】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成する本発明は、次の通りである。
(1)HDLメモリからのデータに基づく演算値を被測定デバイスに出力し、前記被測定デバイスの応答を入力するテスタ装置において、前記HDLメモリのアドレスの数に基づくアドレス数を有し、前記被測定デバイスに対するテスト信号のパターンデータを分割して格納する複数個のデータファイルと、試験のときに順次出力される実行アドレスを前記HDLメモリのアドレスの数で割った商に基づく前記データファイルを選択する選択手段と、を備えると共に、前記HDLメモリは、前記選択手段で選択される前記データファイルのデータがダウンロードされ、前記実行アドレスを前記HDLメモリのアドレスの数で割った剰余に基づくデータを有効とすることを特徴とするテスタ装置。
(2)HDLメモリからのデータに基づく演算値を仮想被測定デバイスに出力し、前記仮想被測定デバイスの応答を入力するIC検査用のテスタ装置において、前記HDLメモリのアドレスの数に基づくアドレス数を有し、前記仮想被測定デバイスに対するテスト信号のパターンデータを分割して格納する複数個のデータファイルと、試験のときに順次出力される実行アドレスを前記HDLメモリのアドレスの数で割った商と剰余とを計算する割算部と、前記商を格納する記憶手段と、前記記憶手段の値と前記商とが一致するときに前記選択手段を無効にする比較手段と、前記商に基づく前記データファイルを選択する選択手段と、を備えると共に、前記HDLメモリは、前記選択手段で選択される前記データファイルのデータがダウンロードされ、前記剰余に基づくデータを有効とすることを特徴とするIC検査用のテスタ装置。
(3)HDLメモリからのデータに基づく演算値を被測定デバイスに出力し、前記被測定デバイスの応答を入力するテスタ装置において、前記被測定デバイスに対するテスト信号のパターンデータを分割して格納する複数のデータファイルと、試験のときに順次出力される実行アドレスの上位ビットに基づく前記データファイルを選択する選択手段と、を備えると共に、前記HDLメモリは、前記選択手段で選択される前記データファイルのデータがダウンロードされ、前記実行アドレスの下位ビットに基づくデータを有効とすることを特徴とするテスタ装置。
【0024】
【発明の実施の形態】
図1(A)は本発明の構成図である。また、図1(B)は、被測定デバイス5に対するテスト信号のパターンデータPDとそのパターンアドレスPAとのアドレス空間を示す図である。なお、図2(A),(B)の従来例と同等の要素には同等の符号を付し、説明を省略する。
【0025】
そして、図1(A)の実施例の第1の特徴は、複数のデータファイルPAT0,PAT1,・・・PAT(M−2),PAT(M−1)と、選択手段6とを備える点にある。また、図1(A)の実施例の第2の特徴は、割算部7を備える点にある。さらに、図1(A)の実施例の第3の特徴は、比較手段8及び記憶手段9を備える点にある。
【0026】
また、図1(B)において、パターンアドレスPAは、そのアドレスがパターンアドレス0からパターンアドレスL−1の連番のアドレスを備える。そして、パターンアドレスL−1はパターンアドレス(M−1)×NとパターンアドレスM×Nとの間とする。また、パターンアドレスPAのアドレスの数はL個とする。
【0027】
以下に図1(A)の構成を詳しく説明する。
図1(A)の実施例においてテスタ装置10は、ファイル1、HDLメモリ2、演算部3、シーケンサ4、選択手段6、割算部7、選択手段8及び記憶手段9を備える。
【0028】
HDLメモリ2は、そのアドレスが0からアドレスN−1の連番のアドレスを備える。また、HDLメモリ2のアドレスの数はN個である。
【0029】
また、ファイル1は、データファイルPAT0,PAT1,・・・,PAT(M−2),PAT(M−1)のM個のデータファイルから形成する。
【0030】
そして、データファイルPAT0は、パターンアドレス0からパターンアドレスN−1までの連番のアドレスを備える。また、データファイルPAT0のアドレスの数は、N個であり、HDLメモリ2のアドレスの数Nと等しい。
【0031】
そしてまた、データファイルPAT1は、パターンアドレスNからパターンアドレス2N−1までの連番のアドレスを備える。また、データファイルPAT1のアドレスの数は、N個であり、HDLメモリ2のアドレスの数Nと等しい。
【0032】
以下同様に、データファイルPAT(M−2)は、パターンアドレス(M−2)×Nからパターンアドレス(M−1)×N−1までの連番のアドレスを備える。また、データファイルPAT(M−2)のアドレスの数は、N個であり、HDLメモリ2のアドレスの数Nと等しい。
【0033】
さらに、データファイルPAT(M−1)は、パターンアドレス(M−1)×NからパターンアドレスL−1までの連番のアドレスを備える。また、データファイルPAT(M−1)のアドレスの数は、L−(M−1)×N個<N個であり、HDLメモリ2のアドレスの数Nよりも小さい。
【0034】
したがって、M個のデータファイルPAT0,PAT1,・・・,PAT(M−2),PAT(M−1)はそれぞれ連番のアドレスを有し、それぞれHDLメモリ2のアドレスの数Nに基づくアドレス数を有する。
【0035】
さらに、M個のデータファイルPAT0,PAT1,・・・,PAT(M−2),PAT(M−1)は、パターンデータPDをM個に分割して格納する。図1(B)は、パターンデータPDをM個に分割する様子を表す。
【0036】
上述の関係をまとめると次のようになる。0≦パターンアドレスPA<NのパターンデータPDをデータファイルPAT0に格納する。N≦パターンアドレスPA<2NのパターンデータPDをデータファイルPAT1に格納する。・・・。(M−2)×N≦パターンアドレスPA<(M−1)×NのパターンデータPDをデータファイルPAT(M−2)に格納する。(M−1)×N≦パターンアドレスPA<LのパターンデータPDをデータファイルPAT(M−1)に格納する。
【0037】
また、選択手段6はファイル1(データファイルPAT0,PAT1・・・PAT(M−2),PAT(M−1))とHDLメモリ2との間に配置する。さらに、選択手段6は、実行アドレスPA_Cに基づきデータファイルの一つを選択する。
【0038】
さらに、割算部7は、シーケンサ4が出力する実行アドレスPA_CをHDLメモリ2のアドレスの数Nで割った商PA_C/Nと剰余PA_C%Nとを計算する。
そして、商PA_C/Nは比較手段8を介して選択手段6へ出力する。また、剰余PA_C%NはHDLメモリ2に出力する。
【0039】
また、記憶手段9は、商PA_C/Nを記憶手段9の値PA_N/Nとして保存する。
【0040】
さらに、比較手段8は、記憶手段9の値PA_N/Nと割算部7の商PA_C/Nとを比較する。そして、記憶手段9の値PA_N/Nと割算部7の商PA_C/Nとが一致するときは選択手段6を無効にする。また、記憶手段9の値PA_N/Nと商PA_C/Nとが一致しないときは選択手段6を有効にする。
【0041】
さらにまた、HDLメモリ2は、選択手段6で選択され有効となるデータファイルPAT0,PAT1,・・・,PAT(M−2),PAT(M−1)に接続される。そして、有効となりかつ選択されたデータファイル(例えばデータファイルPAT1)に格納されるパターンデータPDをダウンロードする。さらに、剰余PA_C%Nに基づくデータを有効とし、演算部3へ接続する。
【0042】
このような図1(A),(B)の実施例の動作を説明する。
シーケンサ4の出力する実行アドレスPA_Cの値が、パターンアドレスNからパターンアドレス2N−1の間にあるとき、割算部7において商PA_C/Nは1となり、選択手段6はデータファイルPAT1を選択する。
【0043】
次に、HDLメモリ2は、データファイルPAT1に格納されるパターンデータPDをダウンロードする。さらに、剰余PA_C%Nは、(PA_C−N)となり、HDLメモリ2のアドレス(PA_C−N)のデータは有効となる。
【0044】
そして、演算部3は、HDLメモリ2で有効となったアドレス(PA_C−N)のデータを演算し、その演算値を被測定デバイス5に出力する。さらに、被測定デバイス5からの応答を入力する。
【0045】
さらに、シーケンサ4の出力する実行アドレスPA_Cの値が、パターンアドレス(M−2)×Nからパターンアドレス(M−1)×N−1の間にあるとき、割算部7において商PA_C/NはM−2となり、選択手段6はデータファイルPAT(M−2)を選択する。
【0046】
また、HDLメモリ2は、データファイルPAT(M−2)に格納されるパターンデータPDをダウンロードする。さらに、剰余PA_C%Nは、(PA_C−(M−2)×N)となり、HDLメモリ2のアドレス(PA_C−(M−2)×N)のデータは有効となる。
【0047】
そして、演算部3は、HDLメモリ2で有効となったアドレス(PA_C−M+2)のデータを演算し、その演算値を被測定デバイス5に出力する。さらに、被測定デバイス5の応答を入力する。
【0048】
このようにして図1の実施例は、図2の従来例と同様に、試験のときには、シーケンサ4がパターンアドレスPAの範囲(0〜L−1)から順次実行アドレスPA_Cを出力する。そして、この実行アドレスPA_Cに従って試験は実行される。
【0049】
したがって、パターンデータPDを分割して格納する2個以上のデータファイルPAT0,PAT1,・・・PAT(M−2),PAT(M−1)と、選択手段6とは、小さいHDLメモリ2で試験を実行可能とする。
【0050】
また、記憶手段9の値PA_N/Nがパターンアドレス0からパターンアドレスN−1の間にあり、シーケンサ4からの実行アドレスPA_CがパターンアドレスNからパターンアドレス2N−1の間にあるとき、比較手段8は選択手段6を有効とし、選択手段6はデータファイルPAT1を選択し、HDLメモリ2はデータファイルPAT1に格納されるパターンデータPDをダウンロードする。さらに、記憶手段9は、商PA_C/Nを記憶手段9の値PA_N/Nとして書き換える。
【0051】
しかしながら、記憶手段9の値PA_N/Nと実行アドレスPA_Cとが共にパターンアドレスNからパターンアドレス2N−1の間にあるときは、比較手段8は選択手段6を無効とし、HDLメモリ2はダウンロードせずにデータを保持する。さらに、記憶手段9は、記憶手段9の値PA_N/Nを書き換えずにこの値を保持する。
【0052】
このように、比較手段8と記憶手段9とを備えると、無駄な処理が減少し処理が簡潔となる。即ち、HDLメモリ2は毎回ダウンロードするような無駄な処理をせず、必要なときにだけダウンロードするようになる。
【0053】
以上に述べた、図1の実施例の動作を再度詳しく説明する。
はじめに、シーケンサ4が初回の実行アドレスPA_Cを出力するときと、シーケンサ4が初回以降の実行アドレスPA_Cを出力するときとの2つに大別される。順に説明する。
【0054】
まず、シーケンサ4が初回の実行アドレスPA_Cを出力する。
【0055】
そして、割算部7は、実行アドレスPA_Cに基づき、商PA_C/Nと剰余PA_C%Nとを出力する。
【0056】
そしてまた、比較手段8は、選択手段6を有効にする。また、記憶手段9は、商PA_C/Nを記憶手段9の値PA_N/Nとして保存する。
【0057】
そして、選択手段6は、実行アドレスPA_Cに対応するデータファイルの一つ(例えばデータファイルPAT0)を選択する。
【0058】
そしてまた、HDLメモリ2は、選択手段6で選択され有効となるデータファイル(例えばデータファイルPAT0)のデータをダウンロードする。さらに、HDLメモリ2は、剰余PA_C%Nに基づくデータを有効とする。
【0059】
そして、演算部3は、HDLメモリ2で有効となったアドレス(PA_C−N)のデータを演算し、その演算値を被測定デバイス5に出力する。さらに、被測定デバイス5の応答を入力する。
【0060】
次に、シーケンサ4が初回以降の実行アドレスPA_Cを出力する。
【0061】
そして、割算部7は、実行アドレスPA_Cに基づき、商PA_C/Nと剰余PA_C%Nとを出力する。
【0062】
ここで、処理は以下の2つの場合に分岐する。
第一に、記憶手段9の値PA_N/Nと商PA_C/Nとが一致しないときを説明する。
比較手段8は選択手段6を有効にし、記憶手段9は商PA_C/Nを記憶手段9の値PA_N/Nとして書き換える。
【0063】
そして、選択手段6は、実行アドレスPA_Cに基づきデータファイルの一つ(例えばデータファイルPAT0)を選択する。
【0064】
そしてまた、HDLメモリ2は、選択手段6で選択され有効となるデータファイル(例えばデータファイルPAT0)のデータをダウンロードする。さらに、HDLメモリ2は、剰余PA_C%Nに基づくデータを有効とする。
【0065】
そして、演算部3は、HDLメモリ2で有効となったアドレス(PA_C−N)のデータを演算し、その演算値を被測定デバイス5に出力する。さらに、被測定デバイス5の応答を入力する。
【0066】
第二に、記憶手段9の値PA_N/Nと商PA_C/Nとが一致するときを説明する。
また、比較手段8は選択手段6を無効にし、記憶手段9において記憶手段9の値PA_N/Nは書き換えない。
さらに、HDLメモリ2はデータをダウンロードしない。
【0067】
そしてまた、HDLメモリ2は、剰余PA_C%Nに基づくデータを有効とする。
【0068】
そして、演算部3は、HDLメモリ2で有効となったアドレス(PA_C−N)のデータを演算し、その演算値を被測定デバイス5に出力する。さらに、被測定デバイス5の応答を入力する。
【0069】
このようにして、本発明のテスタ装置は試験を実行する。
【0070】
また、上述の例では、実行アドレスPL_CをHDLメモリ2のアドレスの数Nで割った商PA_C/Nを利用しているが、これとは別に、実行アドレスPA_Cの上位ビットを利用するようにしてもよい。上位ビットを利用することと、割算を実行することとは同等となる。そしてこのとき、HDLメモリ2は実行アドレスPA_Cの下位ビットを利用してデータを有効とする。
【0071】
さらにまた、上述の例では、データファイルPAT0〜データファイルPAT(M−2)は全てN個のアドレスを有しているが、これとは別に、データファイルPAT0〜データファイルPAT(M−2)のアドレスの数は、例えばN−1またはN−2等で不揃いあっても、小さいHDLメモリ2で試験を実行可能とできるように、変更及び変形できる。
【0072】
ただし、このときの選択手段6は、データファイルPAT0,PAT1,・・・,PAT(M−2),PAT(M−1)のアドレスの下限値とアドレスの上限値とに基づき、データファイルを選択するようにするとよい。
【0073】
以上のように、本発明は、上述の実施例に限定されることなく、その本質を逸脱しない範囲で更に多くの変更及び変形を含むものである。
【0074】
【発明の効果】
以上のことにより、本発明によれば、小さいHDLメモリで試験を実行可能とするテスタ装置を提供できる。
【0075】
また、本発明はIC検査用のテスタ装置を低コストに提供できる。
【0076】
さらに、テスタ装置で実行できるパターン数は、エンジニアリング・ワーク・ステーションのHDLメモリの容量と無関係に設定できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のテスタ装置の構成図である。
【図2】従来のテスタ装置の構成図である。
【符号の説明】
10,10' テスタ装置
1,1' ファイル
2,2' HDLメモリ
3 演算部
4 シーケンサ
5 仮想被測定デバイス
6 選択手段
7 割算部
8 比較部
9 記憶手段
PAT0,PAT1,・・・PAT(M−2),PAT(M−1) データファイル
PA パターンアドレス
PD パターンデータ
PA_C 実行アドレス
PA_C/N 商
PA_C%N 剰余
PA_N/N 記憶手段の値
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a tester apparatus that outputs a calculated value based on data from an HDL memory to a device under measurement and inputs a response from the device under measurement.
[0002]
[Prior art]
A conventional tester device includes an HDL memory having a capacity equal to or greater than the total number of required patterns (for example, see Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
JP 2000-276368 A [0004]
Such a conventional tester device will be described with reference to FIGS. FIG. 2A is a configuration diagram of a conventional tester device.
[0005]
The tester apparatus 10 ′ is formed by a program and an engineering work station EWS or the like as a terminal. The program is stored in a storage medium such as a hard disk in the engineering work station EWS.
[0006]
The tester device 10 ′ includes a file 1 ′, an HDL memory 2 ′, a calculation unit 3, and a sequencer 4. The file 1 ′, the HDL memory 2 ′, the calculation unit 3, and the sequencer 4 may be a program described in a hardware description language (HDL) or may be actual hardware.
[0007]
Furthermore, the device under test 5 may be a virtual device under test DUT program modeled by software, or may be actual hardware.
[0008]
Here, the case where the file 1 ′, the HDL memory 2 ′, the calculation unit 3, the sequencer 4, and the device under test 5 are programs are the same as the case where they are actual hardware. I will explain only.
In addition, when the HDL memory 2 ′ is actual hardware, the HDL memory is called a memory.
[0009]
When the file 1 ′, the HDL memory 2 ′, the calculation unit 3, the sequencer 4, and the device under measurement 5 are programs, the tester apparatus in FIG. 2 is mainly used for verification of the inspection program as a virtual tester.
[0010]
The file 1 ′, the HDL memory 2 ′, the calculation unit 3, the sequencer 4, and the device under measurement 5 are described in the hardware description language HDL.
However, the HDL memory 2 'is closely related to the actual hardware memory of the engineering work station EWS. Therefore, the capacity is limited.
[0011]
The file 1 ′ is formed by a storage block on the hardware description language HDL. The file 1 ′ stores test signal pattern data PD for the device under measurement 5.
[0012]
Further, the sequencer 4 sequentially outputs the execution address PA_C to the HDL memory 2 ′ during the test.
[0013]
The HDL memory 2 ′ is formed of storage blocks on the hardware description language HDL. The actual hardware memory of the engineering work station EWS is formed in the same manner. In addition, the HDL memory 2 ′ includes addresses whose addresses are serial numbers from address 0 to address 0xffffffff.
[0014]
Further, when the test is executed, all the pattern data PD of the file 1 ′ is downloaded to the HDL memory 2 ′. Data based on the execution address PA_C is validated.
[0015]
The calculation unit 3 performs calculation by inputting data that is valid in the HDL memory 2 ′, and outputs the calculated value to the device under measurement 5. Then, a response from the device under measurement 5 is input.
[0016]
Further, these outputs and inputs are compared, and if the result is assumed in advance, the device under test or the inspection program is judged good. Further, the output and the input are compared, and if the result is not assumed in advance, the device under test or the inspection program is regarded as defective, and the device under test or the inspection program is reviewed.
[0017]
Such verification is repeated to suppress defects in the device under test or the inspection program.
[0018]
Further, FIG. 2B is a diagram showing an address space between the pattern data PD of the test signal for the device under measurement 5 stored in the file 1 ′ and its pattern address PA. As shown in the figure, the pattern address PA is provided with sequential addresses from the pattern address 0 to the pattern address 0xffffffff, similarly to the address of the HDL memory 2 ′.
[0019]
In such a conventional test of FIG. 2, the sequencer 4 sequentially outputs the execution address PA_C from the pattern address PA range (0 to 0xffffffff). Then, the test of the device under test or the inspection program is executed according to the execution address PA_C.
[0020]
[Problems to be solved by the invention]
However, such a conventional tester device has a problem that when the pattern address PA and the pattern data PD have a large capacity, all of them cannot be stored in the HDL memory 2 'at a time. Also, it is expensive and difficult to increase the actual hardware memory of the engineering work station EWS.
[0021]
In particular, a tester device for IC inspection has a large pattern data address PA and pattern data PD, and requires, for example, 130 GB or more. Therefore, it is difficult to use a general-purpose engineering work station EWS.
[0022]
An object of the present invention is to solve the above-described problems and to provide a tester device that can execute a test with a small HDL memory.
Another object of the present invention is to provide a low-cost tester device suitable for IC inspection.
[0023]
[Means for Solving the Problems]
The present invention which achieves such an object is as follows.
(1) In a tester apparatus that outputs a calculated value based on data from the HDL memory to a device under test and inputs a response of the device under test, the tester device has an address number based on the number of addresses of the HDL memory, Select a plurality of data files that store test signal pattern data for the measurement device separately, and the data file based on the quotient obtained by dividing the execution address sequentially output during the test by the number of addresses in the HDL memory The HDL memory, the data of the data file selected by the selection means is downloaded, and the data based on the remainder obtained by dividing the execution address by the number of addresses of the HDL memory is valid. A tester device characterized by that.
(2) The number of addresses based on the number of addresses in the HDL memory in an IC tester device that outputs a calculated value based on data from the HDL memory to the virtual device under test and inputs a response of the virtual device under test. A plurality of data files for dividing and storing test signal pattern data for the virtual device under test, and a quotient obtained by dividing the execution address sequentially output during the test by the number of addresses in the HDL memory And a division unit for calculating the remainder, storage means for storing the quotient, comparison means for invalidating the selection means when the value of the storage means matches the quotient, and the quotient based on the quotient Selection means for selecting a data file, and the HDL memory downloads data of the data file selected by the selection means. Is, tester for IC examination, characterized in that an effective data based on the remainder.
(3) In a tester apparatus that outputs a calculation value based on data from the HDL memory to a device under test and inputs a response of the device under test, a plurality of test signal pattern data for the device under test are divided and stored. And a selection means for selecting the data file based on the upper bits of the execution address sequentially output at the time of the test, and the HDL memory stores the data file selected by the selection means. A tester apparatus, wherein data is downloaded and data based on the lower bits of the execution address is validated.
[0024]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1A is a block diagram of the present invention. FIG. 1B is a diagram showing an address space between the pattern data PD of the test signal for the device under measurement 5 and its pattern address PA. Elements equivalent to those in the conventional example of FIGS. 2A and 2B are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
[0025]
1A includes a plurality of data files PAT0, PAT1,... PAT (M-2), PAT (M-1), and selection means 6. It is in. A second feature of the embodiment of FIG. 1A is that a division unit 7 is provided. Further, the third feature of the embodiment of FIG. 1A is that a comparison means 8 and a storage means 9 are provided.
[0026]
Further, in FIG. 1B, the pattern address PA includes addresses that are serial numbers from the pattern address 0 to the pattern address L-1. The pattern address L-1 is between the pattern address (M-1) × N and the pattern address M × N. The number of pattern addresses PA is L.
[0027]
The structure of FIG. 1A will be described in detail below.
1A, the tester device 10 includes a file 1, an HDL memory 2, a calculation unit 3, a sequencer 4, a selection unit 6, a division unit 7, a selection unit 8, and a storage unit 9.
[0028]
The HDL memory 2 includes sequential addresses from 0 to an address N-1. The number of addresses in the HDL memory 2 is N.
[0029]
File 1 is formed from M data files of data files PAT0, PAT1,..., PAT (M-2), PAT (M-1).
[0030]
The data file PAT0 includes sequential addresses from pattern address 0 to pattern address N-1. The number of addresses in the data file PAT0 is N, which is equal to the number N of addresses in the HDL memory 2.
[0031]
The data file PAT1 includes sequential addresses from the pattern address N to the pattern address 2N-1. The number of addresses of the data file PAT1 is N, which is equal to the number N of addresses of the HDL memory 2.
[0032]
Similarly, the data file PAT (M-2) includes sequential addresses from pattern address (M-2) × N to pattern address (M−1) × N−1. Further, the number of addresses of the data file PAT (M−2) is N, which is equal to the number N of addresses of the HDL memory 2.
[0033]
Further, the data file PAT (M−1) includes sequential addresses from the pattern address (M−1) × N to the pattern address L−1. The number of addresses of the data file PAT (M−1) is L− (M−1) × N <N, which is smaller than the number N of addresses in the HDL memory 2.
[0034]
Therefore, the M data files PAT0, PAT1,..., PAT (M-2), and PAT (M-1) each have sequential addresses, and addresses based on the number N of addresses in the HDL memory 2, respectively. Have a number.
[0035]
Further, the M data files PAT0, PAT1,..., PAT (M-2), PAT (M-1) store the pattern data PD divided into M pieces. FIG. 1B shows a state in which the pattern data PD is divided into M pieces.
[0036]
The above relationship can be summarized as follows. The pattern data PD of 0 ≦ pattern address PA <N is stored in the data file PAT0. The pattern data PD with N ≦ pattern address PA <2N is stored in the data file PAT1. .... The pattern data PD of (M−2) × N ≦ pattern address PA <(M−1) × N is stored in the data file PAT (M−2). The pattern data PD of (M−1) × N ≦ pattern address PA <L is stored in the data file PAT (M−1).
[0037]
The selection means 6 is arranged between the file 1 (data files PAT0, PAT1,... PAT (M-2), PAT (M-1)) and the HDL memory 2. Further, the selection unit 6 selects one of the data files based on the execution address PA_C.
[0038]
Further, the division unit 7 calculates a quotient PA_C / N and a remainder PA_C% N obtained by dividing the execution address PA_C output from the sequencer 4 by the number N of addresses in the HDL memory 2.
The quotient PA_C / N is output to the selection means 6 via the comparison means 8. Further, the remainder PA_C% N is output to the HDL memory 2.
[0039]
The storage unit 9 stores the quotient PA_C / N as the value PA_N / N of the storage unit 9.
[0040]
Further, the comparison unit 8 compares the value PA_N / N of the storage unit 9 with the quotient PA_C / N of the division unit 7. When the value PA_N / N of the storage means 9 and the quotient PA_C / N of the division unit 7 coincide with each other, the selection means 6 is invalidated. When the value PA_N / N of the storage means 9 and the quotient PA_C / N do not match, the selection means 6 is validated.
[0041]
Furthermore, the HDL memory 2 is connected to data files PAT0, PAT1,..., PAT (M-2), PAT (M-1) which are selected and made valid by the selection means 6. Then, the pattern data PD that is valid and stored in the selected data file (for example, the data file PAT1) is downloaded. Further, the data based on the remainder PA_C% N is validated and connected to the calculation unit 3.
[0042]
The operation of the embodiment shown in FIGS. 1A and 1B will be described.
When the value of the execution address PA_C output from the sequencer 4 is between the pattern address N and the pattern address 2N-1, the quotient PA_C / N becomes 1 in the division unit 7, and the selection means 6 selects the data file PAT1. .
[0043]
Next, the HDL memory 2 downloads the pattern data PD stored in the data file PAT1. Further, the remainder PA_C% N becomes (PA_C-N), and the data of the address (PA_C-N) of the HDL memory 2 is valid.
[0044]
Then, the calculation unit 3 calculates the data of the address (PA_C-N) that is valid in the HDL memory 2 and outputs the calculated value to the device under measurement 5. Further, a response from the device under measurement 5 is input.
[0045]
Further, when the value of the execution address PA_C output from the sequencer 4 is between the pattern address (M−2) × N and the pattern address (M−1) × N−1, the division unit 7 uses the quotient PA_C / N. Becomes M-2, and the selection means 6 selects the data file PAT (M-2).
[0046]
The HDL memory 2 downloads the pattern data PD stored in the data file PAT (M-2). Further, the remainder PA_C% N becomes (PA_C- (M-2) * N), and the data of the address (PA_C- (M-2) * N) in the HDL memory 2 is valid.
[0047]
Then, the calculation unit 3 calculates the data of the address (PA_C−M + 2) that is valid in the HDL memory 2 and outputs the calculated value to the device under measurement 5. Further, the response of the device under measurement 5 is input.
[0048]
In this way, in the embodiment of FIG. 1, as in the conventional example of FIG. 2, the sequencer 4 sequentially outputs the execution address PA_C from the range (0 to L-1) of the pattern address PA during the test. Then, the test is executed according to the execution address PA_C.
[0049]
Accordingly, the two or more data files PAT0, PAT1,... PAT (M-2), PAT (M-1) for storing the pattern data PD in a divided manner and the selection means 6 are small HDL memories 2. Make the test viable.
[0050]
When the value PA_N / N of the storage means 9 is between the pattern address 0 and the pattern address N-1, and the execution address PA_C from the sequencer 4 is between the pattern address N and the pattern address 2N-1, the comparison means 8 enables the selection means 6, the selection means 6 selects the data file PAT1, and the HDL memory 2 downloads the pattern data PD stored in the data file PAT1. Further, the storage means 9 rewrites the quotient PA_C / N as the value PA_N / N of the storage means 9.
[0051]
However, when the value PA_N / N of the storage means 9 and the execution address PA_C are both between the pattern address N and the pattern address 2N-1, the comparison means 8 invalidates the selection means 6 and the HDL memory 2 is downloaded. Retain data. Further, the storage unit 9 holds this value without rewriting the value PA_N / N of the storage unit 9.
[0052]
As described above, when the comparison unit 8 and the storage unit 9 are provided, useless processing is reduced and processing is simplified. That is, the HDL memory 2 is downloaded only when necessary without performing a wasteful process of downloading every time.
[0053]
The operation of the embodiment of FIG. 1 described above will be described again in detail.
First, the sequencer 4 can be broadly divided into two cases: when the sequencer 4 outputs the first execution address PA_C, and when the sequencer 4 outputs the first and subsequent execution addresses PA_C. This will be explained in order.
[0054]
First, the sequencer 4 outputs the first execution address PA_C.
[0055]
Then, the division unit 7 outputs the quotient PA_C / N and the remainder PA_C% N based on the execution address PA_C.
[0056]
Further, the comparison unit 8 enables the selection unit 6. The storage unit 9 stores the quotient PA_C / N as the value PA_N / N of the storage unit 9.
[0057]
Then, the selection unit 6 selects one of the data files corresponding to the execution address PA_C (for example, the data file PAT0).
[0058]
In addition, the HDL memory 2 downloads data of a data file (for example, the data file PAT0) selected and valid by the selection unit 6. Further, the HDL memory 2 validates data based on the remainder PA_C% N.
[0059]
Then, the calculation unit 3 calculates the data of the address (PA_C-N) that is valid in the HDL memory 2 and outputs the calculated value to the device under measurement 5. Further, the response of the device under measurement 5 is input.
[0060]
Next, the sequencer 4 outputs the first and subsequent execution addresses PA_C.
[0061]
Then, the division unit 7 outputs the quotient PA_C / N and the remainder PA_C% N based on the execution address PA_C.
[0062]
Here, the process branches in the following two cases.
First, the case where the value PA_N / N of the storage means 9 and the quotient PA_C / N do not match will be described.
The comparison unit 8 validates the selection unit 6 and the storage unit 9 rewrites the quotient PA_C / N as the value PA_N / N of the storage unit 9.
[0063]
Then, the selection unit 6 selects one of the data files (for example, the data file PAT0) based on the execution address PA_C.
[0064]
In addition, the HDL memory 2 downloads data of a data file (for example, the data file PAT0) selected and valid by the selection unit 6. Further, the HDL memory 2 validates data based on the remainder PA_C% N.
[0065]
Then, the calculation unit 3 calculates the data of the address (PA_C-N) that is valid in the HDL memory 2 and outputs the calculated value to the device under measurement 5. Further, the response of the device under measurement 5 is input.
[0066]
Second, the case where the value PA_N / N of the storage means 9 and the quotient PA_C / N match will be described.
The comparison unit 8 invalidates the selection unit 6 and does not rewrite the value PA_N / N of the storage unit 9 in the storage unit 9.
Further, the HDL memory 2 does not download data.
[0067]
The HDL memory 2 validates the data based on the remainder PA_C% N.
[0068]
Then, the calculation unit 3 calculates the data of the address (PA_C-N) that is valid in the HDL memory 2 and outputs the calculated value to the device under measurement 5. Further, the response of the device under measurement 5 is input.
[0069]
In this way, the tester apparatus of the present invention performs a test.
[0070]
In the above example, the quotient PA_C / N obtained by dividing the execution address PL_C by the number N of addresses in the HDL memory 2 is used. However, separately from this, the upper bits of the execution address PA_C are used. Also good. Using the upper bits is equivalent to performing a division. At this time, the HDL memory 2 validates the data using the lower bits of the execution address PA_C.
[0071]
Furthermore, in the above example, the data file PAT0 to the data file PAT (M-2) all have N addresses, but apart from this, the data file PAT0 to the data file PAT (M-2). The number of addresses can be changed and modified so that the test can be executed with the small HDL memory 2 even if the addresses are not uniform, such as N-1 or N-2.
[0072]
However, the selection means 6 at this time selects the data file based on the lower limit value and the upper limit value of the addresses of the data files PAT0, PAT1,..., PAT (M-2), PAT (M-1). It is better to select.
[0073]
As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.
[0074]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a tester device that can execute a test with a small HDL memory.
[0075]
Further, the present invention can provide a tester device for IC inspection at low cost.
[0076]
Furthermore, the number of patterns that can be executed by the tester device can be set regardless of the capacity of the HDL memory of the engineering work station.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a tester device of the present invention.
FIG. 2 is a configuration diagram of a conventional tester device.
[Explanation of symbols]
10, 10 'tester device 1, 1' file 2, 2 'HDL memory 3 operation unit 4 sequencer 5 virtual device under measurement 6 selection unit 7 division unit 8 comparison unit 9 storage unit PAT0, PAT1, ... PAT (M -2), PAT (M-1) Data file PA Pattern address PD Pattern data PA_C Execution address PA_C / N Quotient PA_C% N Remainder PA_N / N Value of storage means

Claims (3)

HDLメモリからのデータに基づく演算値を被測定デバイスに出力し、前記被測定デバイスの応答を入力するテスタ装置において、
前記HDLメモリのアドレスの数に基づくアドレス数を有し、前記被測定デバイスに対するテスト信号のパターンデータを分割して格納する複数個のデータファイルと、
試験のときに順次出力される実行アドレスを前記HDLメモリのアドレスの数で割った商に基づく前記データファイルを選択する選択手段と、を備えると共に、前記HDLメモリは、前記選択手段で選択される前記データファイルのデータがダウンロードされ、前記実行アドレスを前記HDLメモリのアドレスの数で割った剰余に基づくデータを有効とすることを特徴とするテスタ装置。
In a tester apparatus that outputs a calculated value based on data from an HDL memory to a device under measurement and inputs a response of the device under measurement,
A plurality of data files having a number of addresses based on the number of addresses in the HDL memory, and dividing and storing test signal pattern data for the device under test;
Selecting means for selecting the data file based on the quotient obtained by dividing the execution address sequentially output at the time of the test by the number of addresses of the HDL memory, and the HDL memory is selected by the selecting means A tester device, wherein data of the data file is downloaded and data based on a remainder obtained by dividing the execution address by the number of addresses in the HDL memory is validated.
HDLメモリからのデータに基づく演算値を仮想被測定デバイスに出力し、前記仮想被測定デバイスの応答を入力するIC検査用のテスタ装置において、
前記HDLメモリのアドレスの数に基づくアドレス数を有し、前記仮想被測定デバイスに対するテスト信号のパターンデータを分割して格納する複数個のデータファイルと、
試験のときに順次出力される実行アドレスを前記HDLメモリのアドレスの数で割った商と剰余とを計算する割算部と、
前記商を格納する記憶手段と、
前記記憶手段の値と前記商とが一致するときに前記選択手段を無効にする比較手段と、
前記商に基づく前記データファイルを選択する選択手段と、を備えると共に、
前記HDLメモリは、前記選択手段で選択される前記データファイルのデータがダウンロードされ、前記剰余に基づくデータを有効とすることを特徴とするIC検査用のテスタ装置。
In an IC tester device for outputting a calculated value based on data from an HDL memory to a virtual device under test and inputting a response of the virtual device under test,
A plurality of data files having a number of addresses based on the number of addresses of the HDL memory, and dividing and storing test signal pattern data for the virtual device under test;
A division unit for calculating a quotient and a remainder obtained by dividing execution addresses sequentially output during a test by the number of addresses in the HDL memory;
Storage means for storing the quotient;
Comparison means for invalidating the selection means when the value of the storage means and the quotient match;
Selecting means for selecting the data file based on the quotient,
A tester device for IC inspection, wherein the data in the data file selected by the selection means is downloaded to the HDL memory, and data based on the remainder is validated.
HDLメモリからのデータに基づく演算値を被測定デバイスに出力し、前記被測定デバイスの応答を入力するテスタ装置において、
前記被測定デバイスに対するテスト信号のパターンデータを分割して格納する複数のデータファイルと、
試験のときに順次出力される実行アドレスの上位ビットに基づく前記データファイルを選択する選択手段と、を備えると共に、
前記HDLメモリは、前記選択手段で選択される前記データファイルのデータがダウンロードされ、前記実行アドレスの下位ビットに基づくデータを有効とすることを特徴とするテスタ装置。
In a tester apparatus that outputs a calculated value based on data from an HDL memory to a device under measurement and inputs a response of the device under measurement,
A plurality of data files for dividing and storing test signal pattern data for the device under test;
Selecting means for selecting the data file based on the higher order bits of the execution address sequentially output at the time of the test,
The tester apparatus, wherein the data of the data file selected by the selection means is downloaded to the HDL memory, and data based on the lower bits of the execution address is validated.
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