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JP4152938B2 - Scribing equipment - Google Patents
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JP4152938B2 - Scribing equipment - Google Patents

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  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Description

この発明は、板ガラス,セラミックス等の脆性材料のワーク面に刻線を形成するスクライブ装置に関する。   The present invention relates to a scribing apparatus that forms engraved lines on a work surface of a brittle material such as plate glass or ceramics.

一般に、脆性材料の板を破断するためには、ワークの面に予め刻線を形成し、この刻線に沿って破断するようにしている。従来のスクライブ装置は、例えば実開平1−110234号に開示されている。このスクライブ装置は、周縁が尖った円盤形状のカッタと、このカッタを回転自在に支持するホルダと、このホルダを介してカッタをワークの面に押しつけるとともに、板ガラスの面に沿って移動させる押圧,移動機構とを備えている。   Generally, in order to break a plate made of a brittle material, a score line is formed in advance on the surface of the workpiece, and the sheet is broken along the score line. A conventional scribing device is disclosed, for example, in Japanese Utility Model Laid-Open No. 1-110234. The scribing device includes a disc-shaped cutter with a sharp edge, a holder that rotatably supports the cutter, and a press that moves the cutter along the surface of the plate glass while pressing the cutter against the surface of the workpiece via the holder. And a moving mechanism.

上記構成の装置では、カッタを板ガラスに押し付けた状態で移動させることにより刻線が形成されるが、次の問題がある。すなわち、カッタを板ガラスに押し付ける押圧力を大きくすると、刻線が深く形成され板ガラスが破断が容易になるが、この刻線から左右方向に延びる水平クラックが発生し、この水平クラックによって刻線近傍に欠けまたは剥離等が発生するという問題が生じる。これとは逆に、上記カッタの板ガラスへの押圧力を小さくすれば、水平クラックが発生することはないが、垂直クラックの深さが浅くなってしまい、板ガラスの破断を良好に行えなくなる。 In the apparatus having the above-described configuration, the engraving line is formed by moving the cutter while pressed against the plate glass. However, there is the following problem. That is, when the pressing force for pressing the cutter against the glass sheet is increased, the score line is formed deeply and the sheet glass is easily broken. There arises a problem that chipping or peeling occurs. On the other hand, if the pressing force of the cutter on the plate glass is reduced, horizontal cracks will not occur, but the depth of the vertical cracks will become shallow, and the plate glass will not be broken well.

上記の問題を解決するために、本発明は、(ア)当接部を有するボデイと、(イ)当接部を有するホルダと、(ウ)上記ボデイの当接部とホルダの当接部との間に支持され、これら当接部の対峙方向に振動を発する振動アクチュエータと、(エ)上記ホルダの端部に保持され、上記振動アクチュエータから上記ホルダに付与された振動をワークに伝える当接部材と、(オ)上記振動アクチュエータに予圧を与える支持部材と、(カ)上記ホルダを、上記振動アクチュエータの振動方向にスライド可能にして、上記ボデイに支持するスライド支持部と、を備えたスクライブ装置であって、上記ボデイとホルダと振動アクチュエータが同軸に配置され、振動アクチュエータの中心軸線上に、上記ボデイの当接部と上記ホルダの当接部が配置されるとともに上記スライド支持部が配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention provides (a) a body having an abutting portion, (a) a holder having an abutting portion, and (c) an abutting portion of the body and an abutting portion of the holder. And (d) a vibration actuator that is held at the end of the holder and transmits the vibration applied to the holder from the vibration actuator to the workpiece. A contact member; (e) a support member that applies a preload to the vibration actuator; and (f) a slide support portion that is slidable in the vibration direction of the vibration actuator and is supported by the body . a scribing apparatus, the body and the holder and the vibration actuator is arranged coaxially to the center axis of the vibration actuator, the contact portion of the contact portion and the holder of the body is placed Together, characterized in that the slide support portion is disposed.

好ましくは、上記当接部材も上記振動アクチュエータの中心軸線上に配置されている。
好ましくは、上記支持部材が上記ホルダを上記振動アクチュエータに向かって付勢する弾性部材からなり、この弾性部材が上記振動アクチュエータの中心軸線上に配置されている。
好ましくは、上記支持部材と上記スライド支持部が振動アクチュエータを間において上記振動方向に対峙している。
Preferably, the contact member is also disposed on the central axis of the vibration actuator.
Preferably, the support member is made of an elastic member that urges the holder toward the vibration actuator, and the elastic member is disposed on the central axis of the vibration actuator.
Preferably, the support member and the slide support portion is opposed to the vibration direction between the vibration actuator.

好ましくは、上記ボデイが細長く形成されるとともに縦長の収容空間を有し、上記ホルダも細長く形成されるとともに縦長の収容空間を有し、上記ホルダが上記ボデイの収容空間に収容され、上記振動アクチュエータが上記ホルダの収容空間に収容されている。   Preferably, the body is elongated and has a vertically long accommodating space, the holder is also elongated and has a vertically elongated accommodating space, and the holder is accommodated in the accommodating space of the body, and the vibration actuator Is accommodated in the accommodating space of the holder.

好ましくは、上記ホルダの収容空間の底面は上記振動アクチュエータを受ける上記当接部として提供され、上記ボデイの当接部は上記ホルダの収容空間において上記ホルダの当接部と対峙している。   Preferably, a bottom surface of the housing space of the holder is provided as the contact portion that receives the vibration actuator, and the contact portion of the body faces the contact portion of the holder in the housing space of the holder.

本発明によれば、良好なスクライブを行なうことができる。   According to the present invention, good scribing can be performed.

以下、この発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図1〜図3に示すように、スクライブ装置は、移動台1(支持台,図2にのみ示す)と、この移動台1を水平方向に移動させる移動機構2(図2にのみ示す)と、この移動台1にベースプレート3を介して取り付けられたスライド機構4と、このスライド機構4により垂直方向に移動可能に支持されたボデイ10と、このボデイ10に微小量の垂直方向スライドを可能にして支持されたホルダ20と、このホルダ20の下端に設けられたカッタ30(ヘッド,当接部材)と、ホルダ20に垂直方向の振動を付与する2つのピエゾアクチュエータ40(振動アクチュエータ)と、を備えている。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 to 3, the scribing apparatus includes a moving table 1 (support table, only shown in FIG. 2), and a moving mechanism 2 (shown only in FIG. 2) that moves the moving table 1 in the horizontal direction. The slide mechanism 4 attached to the movable table 1 via the base plate 3, the body 10 supported by the slide mechanism 4 so as to be movable in the vertical direction, and enabling the body 10 to slide in a small amount in the vertical direction. A holder 20 supported in this manner, a cutter 30 (head, contact member) provided at the lower end of the holder 20, and two piezo actuators 40 (vibration actuators) for applying vertical vibration to the holder 20. I have.

上記移動機構2は、上記移動台1を、図1において左右方向,図2において紙面と直交する方向に水平に移動するようになっている。上記スライド機構4は、ベースプレート3に固定されたガイド5と、このガイド5に垂直方向にスライド可能に支持されたスライダ6とを有している。なお、このスライダ6は、ガイド5に設けられたストッパ(図示しない)により下限位置を決定されている。   The moving mechanism 2 moves the moving table 1 horizontally in the left-right direction in FIG. 1 and in the direction orthogonal to the paper surface in FIG. The slide mechanism 4 has a guide 5 fixed to the base plate 3 and a slider 6 supported by the guide 5 so as to be slidable in the vertical direction. The lower limit position of the slider 6 is determined by a stopper (not shown) provided on the guide 5.

上記スライダ6には、4枚の板ばね7(弾性を有する振動緩衝部材)を介して上記ボデイ10が支持されている。以下、詳述する。上記スライダ6の上下端部には、それぞれブラケット8,9が固定されている。上側のブラケット8は、図6に示すように、スライダ6に固定される板形状の取付部8aと、この取付部8aの左右に設けられて前方に延びるU字形のばね固定部8bとを有している。図2に最も良く示すように、これらばね固定部8bの前端と後端の上面に前後方向に延びる板ばね7の両端が固定されている。下側のブラケット9も同様に、取付部9aと左右一対のばね固定部9bとを有し(図7参照)、これらばね固定部9bの前端と後端の上面に前後方向に延びる板ばね7の両端が固定されている(図2参照)。   The body 10 is supported on the slider 6 via four leaf springs 7 (vibration buffer members having elasticity). Details will be described below. Brackets 8 and 9 are fixed to the upper and lower ends of the slider 6, respectively. As shown in FIG. 6, the upper bracket 8 has a plate-shaped mounting portion 8a fixed to the slider 6, and U-shaped spring fixing portions 8b provided on the left and right sides of the mounting portion 8a and extending forward. is doing. As best shown in FIG. 2, both ends of a leaf spring 7 extending in the front-rear direction are fixed to the upper surfaces of the front and rear ends of these spring fixing portions 8b. Similarly, the lower bracket 9 has an attachment portion 9a and a pair of left and right spring fixing portions 9b (see FIG. 7), and a leaf spring 7 extending in the front-rear direction on the upper surfaces of the front and rear ends of these spring fixing portions 9b. Both ends are fixed (see FIG. 2).

一方、上記ボデイ10は、垂直方向に細長い箱形状をなしており、その上端部の左右側面には、ばね固定部11が突出して形成されている。これらばね固定部11の上面に、上側の一対の板ばね7の中央が固定されている。また、上記ボデイ10の下端部には、左右に張り出す張出部12が形成されている。これら張出部12の前後方向中央の下面には、上記ばね固定部13が突出して形成されており、このばね固定部12に、下側の板ばね7の中央が固定されている。4枚の板ばね7の各々は、中央の固定箇所と両端の固定箇所との間に折り曲げ部7aを有している。   On the other hand, the body 10 has a box shape elongated in the vertical direction, and spring fixing portions 11 protrude from left and right side surfaces of the upper end portion. The centers of the upper pair of leaf springs 7 are fixed to the upper surfaces of these spring fixing portions 11. In addition, an overhanging portion 12 is formed at the lower end portion of the body 10 so as to project from side to side. The spring fixing portion 13 protrudes from the lower surface of the center of the overhanging portion 12 in the front-rear direction, and the center of the lower leaf spring 7 is fixed to the spring fixing portion 12. Each of the four leaf springs 7 has a bent portion 7a between the central fixed portion and the fixed portions at both ends.

上記ボデイ10は、前方と下方が開放された縦長の収納空間15を有しており、横断面形状が略U字形をなしている。この収納空間15に上記ホルダ20が収納されている。ホルダ20は、垂直に延びる細長い箱形状をなしており、後側が開放された収納空間25を有して横断面形状が略U字形をなしている。ホルダ20はボデイ10と同軸をなしている。これらボデイ10,ホルダ20の中心軸線を図中Lを付して示す。   The body 10 has a vertically long storage space 15 that is open at the front and the bottom, and has a substantially U-shaped cross section. The holder 20 is stored in the storage space 15. The holder 20 has an elongated box shape extending vertically, and has a storage space 25 having an open rear side, and has a substantially U-shaped cross section. The holder 20 is coaxial with the body 10. The center axes of the body 10 and the holder 20 are indicated by L in the figure.

図4,図5に最も良く示すように、上記ホルダ20の収納空間25に、上記2つのピエゾアクチュエータ40が、ボデイ10,ホルダ20と同軸をなして、収納されている。各アクチュエータ40は断面が四角形状をなして細長く形成されており、軸方向の振動を発生させるようになっている。2つのピエゾアクチュエータ40は直接連なっており、下側のピエゾアクチュエータ40の下端面は、ホルダ20の収納空間25の底面25a(当接部)に当たっている。   As best shown in FIGS. 4 and 5, the two piezoelectric actuators 40 are accommodated in the accommodating space 25 of the holder 20 so as to be coaxial with the body 10 and the holder 20. Each actuator 40 is formed in an elongated shape with a square cross section, and generates an axial vibration. The two piezoelectric actuators 40 are directly connected to each other, and the lower end surface of the lower piezoelectric actuator 40 is in contact with the bottom surface 25 a (contact portion) of the storage space 25 of the holder 20.

上記ボデイ10の左側壁には取付穴18が形成されている。この取付穴18に接続されたノズル(図示しない)からのエアが、収納空間15内に入り、さらにホルダ20の収納空間25に入ってピエゾアクチュエータ40に吹き付けられ、ピエゾアクチュエータ40を冷却するようになっている。なお、ボデイ10の左右壁と後壁およびホルダ20の左右壁と前壁には、上記エアの通路,吹き出し口となる穴19,29がそれぞれ形成されている。   A mounting hole 18 is formed in the left side wall of the body 10. Air from a nozzle (not shown) connected to the mounting hole 18 enters the storage space 15 and further enters the storage space 25 of the holder 20 and is blown to the piezo actuator 40 to cool the piezo actuator 40. It has become. The left and right walls and the rear wall of the body 10 and the left and right walls and the front wall of the holder 20 are respectively formed with holes 19 and 29 serving as air passages and outlets.

上記ホルダ20は、支持機構により、上記中心軸線Lに沿う方向(振動方向)に微少量移動可能にしてボデイ10に支持されている。この支持機構は、ピエゾアクチュエータ40の上方に配置された第1支持部50(スライド支持部)と、ピエゾアクチュエータ40の下方に配置された第2支持部60とを備えている。   The holder 20 is supported by the body 10 by a support mechanism such that the holder 20 can move in a small amount in the direction (vibration direction) along the central axis L. This support mechanism includes a first support portion 50 (slide support portion) disposed above the piezo actuator 40 and a second support portion 60 disposed below the piezo actuator 40.

上記第1支持部50は、図4に示すように、ホルダ20の上壁を貫通して形成された断面円形のスライド孔51(ホルダ20のスライド部)と、ボデイ10の上壁に装着されたガイド部材52とを備えている。ガイド部材52は、平板形状をなしてボデイ10の上端面に固定される取付部52aと、この取付部52aから下方に突出する円筒部52b(ボデイ10のガイド部,凸部)とを有している。円筒部52bは、ボデイ10の上壁を貫通し、上記スライド孔51に僅かなクリアランスをもって挿入されている。これにより、ホルダ20の上端部がボデイ10にスライド可能に支持されることになる。なお、これらスライド孔51とガイド部材52の円筒部52bがボデイ10と同軸をなしているので、ホルダ20のスライド方向はピエゾアクチュエータ40の振動方向と一致する。   As shown in FIG. 4, the first support portion 50 is attached to a slide hole 51 (slide portion of the holder 20) having a circular cross section formed through the upper wall of the holder 20 and the upper wall of the body 10. The guide member 52 is provided. The guide member 52 has a mounting portion 52a that has a flat plate shape and is fixed to the upper end surface of the body 10, and a cylindrical portion 52b (a guide portion and a convex portion of the body 10) that protrudes downward from the mounting portion 52a. ing. The cylindrical portion 52b passes through the upper wall of the body 10 and is inserted into the slide hole 51 with a slight clearance. Thereby, the upper end part of the holder 20 is supported by the body 10 so that a slide is possible. Since the slide hole 51 and the cylindrical portion 52 b of the guide member 52 are coaxial with the body 10, the slide direction of the holder 20 coincides with the vibration direction of the piezo actuator 40.

上記ガイド部材52にはねじ穴52xが形成されており、このねじ穴52xに後述の調節作用をなす調節ねじ55(予圧調整手段)が螺合されている。この調節ねじ55の下端部55a(先端部)は、受板56を介して上側ピエゾアクチュエータ40の上端面に当たっており、ボデイ10の当接部として提供されている。なお、この調節ねじ55の下端部55aは凸球面をなしており、上記受板56の凹球面からなる受座56aに嵌まるようにして接している。上記調節ねじ55の下端部55aは、ホルダ20の収納空間25の底面25aと垂直方向(中心軸線Lに沿う方向)に対峙しており、上記ピエゾアクチュエータ40は、これらの間に挟まれるようにして配置されている。上記調節ねじ55には、この調節ねじ55を固定するためのロックナット57が螺合されている。   A screw hole 52x is formed in the guide member 52, and an adjusting screw 55 (preload adjusting means) that performs an adjusting action described later is screwed into the screw hole 52x. A lower end portion 55 a (front end portion) of the adjustment screw 55 abuts on an upper end surface of the upper piezoelectric actuator 40 via the receiving plate 56 and is provided as a contact portion of the body 10. The lower end portion 55a of the adjusting screw 55 has a convex spherical surface, and is in contact with the receiving seat 56a formed of a concave spherical surface of the receiving plate 56. The lower end portion 55a of the adjustment screw 55 is opposed to the bottom surface 25a of the storage space 25 of the holder 20 in the vertical direction (the direction along the central axis L), and the piezo actuator 40 is sandwiched between them. Are arranged. A lock nut 57 for fixing the adjustment screw 55 is screwed onto the adjustment screw 55.

上記第2支持部60は、図4に示すように、弾性部材(支持部材)として、板ばね61と、ゴムや樹脂等の弾性材料からなる球形のボール62とを備えている。上記板ばね61は、その両端が上記ボデイ10の張出部12の上面に固定されており、その中央が、ホルダ20に形成された先細をなすばね固定部21の下端面にねじ63で固定されている。ばね固定部21および板ばね61の中央は、ボデイ10,ホルダ20,ピエゾアクチュエータ40の中央軸線L上に配置されている。上記板ばね61は、中央固定箇所と両端固定箇所との間において折り曲げ部61aを有している。   As shown in FIG. 4, the second support portion 60 includes a leaf spring 61 and a spherical ball 62 made of an elastic material such as rubber or resin as elastic members (support members). Both ends of the plate spring 61 are fixed to the upper surface of the overhanging portion 12 of the body 10, and the center thereof is fixed to the lower end surface of the tapered spring fixing portion 21 formed in the holder 20 with a screw 63. Has been. The centers of the spring fixing portion 21 and the leaf spring 61 are disposed on the central axis L of the body 10, the holder 20, and the piezo actuator 40. The said leaf | plate spring 61 has the bending part 61a between the center fixed location and the both ends fixed location.

上記ボール62は、上記ねじ63の頭部(ホルダ20のボール当接部)と受板64(ボデイ10のボール当接部)との間に介在されている。受板64は、ボデイ10の左右の張出部12の下端面に架け渡されるようにして固定されている。これら頭部と受板64にはそれぞれ凹球面をなす受座63a,64aが形成されており、これら受座63a,64a間に上記ボール62が嵌め込まれている。ねじ63,受板64の中央およびボール62は、ピエソアクチュエータ40等の中心軸線L上に配置されている。   The ball 62 is interposed between the head of the screw 63 (ball contact portion of the holder 20) and the receiving plate 64 (ball contact portion of the body 10). The receiving plate 64 is fixed so as to be bridged between the lower end surfaces of the left and right projecting portions 12 of the body 10. The head and the receiving plate 64 are respectively formed with receiving seats 63a and 64a having concave spherical surfaces, and the ball 62 is fitted between the receiving seats 63a and 64a. The center of the screw 63 and the receiving plate 64 and the ball 62 are arranged on the central axis L of the piezo actuator 40 and the like.

次に、上記カッタ30の取付構造について説明する。上記ホルダ20は、上記ばね固定部21から2股に別れて下方に延びている。これら一対の延長部22間に、上記板ばね61,ボール62,受板64が配置されている。上記ホルダ20の延長部22の下端部(先端部)には、第1アタッチメント71が連結され、この第1アタッチメントに連結角度を調節可能にして第2アタッチメント72が連結されている。第2アタッチメント72の下面には収納穴72aが形成され、この収納穴72aに上記カッタ30が収納され、ねじ73で着脱可能に固定されている。   Next, the attachment structure of the cutter 30 will be described. The holder 20 is divided into two forks from the spring fixing portion 21 and extends downward. The leaf spring 61, the ball 62, and the receiving plate 64 are disposed between the pair of extension portions 22. A first attachment 71 is connected to the lower end (tip) of the extension portion 22 of the holder 20, and a second attachment 72 is connected to the first attachment so that the connection angle can be adjusted. A storage hole 72 a is formed in the lower surface of the second attachment 72, and the cutter 30 is stored in the storage hole 72 a and is detachably fixed with a screw 73.

上記カッタ30は、上記ピエソアクチュエータ40の中心軸線L上に配置されており、その下端(先端)が円錐形状をなして尖っている。このカッタ30の下端には、角錐形状をなすダイヤモンド粒が固着されている。このダイヤモンド粒の頂点が下を向いて、後述する板ガラス100(ワーク)の面に当たるようになっている。   The cutter 30 is disposed on the central axis L of the piezo actuator 40, and its lower end (tip) has a conical shape and is pointed. A diamond grain having a pyramid shape is fixed to the lower end of the cutter 30. The apexes of the diamond grains face downward and come into contact with the surface of a plate glass 100 (work) described later.

上記アタッチメント72には、ガイド板35が取り付けられている。このガイド板35は、U字形のばね材からなり、アタッチメント72の両側面に固定されている。図1,図2に示されているように、上記ガイド板35の中央部には、穴35aが形成されている。上記カッタ30の下端は、この穴35aを通って、ガイド板35より所定量だけ下方に突出している。   A guide plate 35 is attached to the attachment 72. The guide plate 35 is made of a U-shaped spring material and is fixed to both side surfaces of the attachment 72. As shown in FIGS. 1 and 2, a hole 35 a is formed in the central portion of the guide plate 35. The lower end of the cutter 30 protrudes downward from the guide plate 35 by a predetermined amount through the hole 35a.

図1,図3に示すように、上記ベースプレート3にはエアシリンダ80(押上機構)が垂直に取り付けられている。他方、ボデイ10の側面にはL字形のブラケット85が固定されており、このブラケット85には、垂直をなす短ロッド86が螺合されている。この短ロッド86と、上記エアシリンダ80のロッド81の上端が対峙している。   As shown in FIGS. 1 and 3, an air cylinder 80 (push-up mechanism) is vertically attached to the base plate 3. On the other hand, an L-shaped bracket 85 is fixed to the side surface of the body 10, and a vertical short rod 86 is screwed to the bracket 85. The short rod 86 and the upper end of the rod 81 of the air cylinder 80 face each other.

上記構成をなすスクライブ装置の作用を説明する。上記調節ねじ55をねじ込むと、ピエゾアクチュエータ40およびホルダ20が下方に移動し、これに伴い、ばね固定部21を介して上記板ばね61に下方への力が付与されるとともに、ねじ63を介して上記ボール62にも下方への力が付与される。板ばね61は、その両端がボデイ10の張出部12に固定されているから、上記下方への力によって弾性変形する。また、ボール62は、ボデイ10に固定された受板64によって受けられているから、弾性的に圧縮変形される。この板ばね61,ボール62の弾性復元力が、ホルダ20をボデイ10に対して上方へ付勢する力となる。その結果、ホルダ20の収納空間25の底面25aがピエゾアクチュエータ40に向かって付勢され、この底面25aと調節ねじ55の下端部55aとの間に挟まれたピエゾアクチュエータ40に、予圧(ピエゾアクチュエータ40を軸方向に圧縮する方向の力)が付与される。なお、上記調節ねじ55のねじ込み量を大きくするにしたがって、ピエゾアクチュエータ40への予圧が大きくなる。調節ねじ55での予圧調節が終了した後、ロックナット57を締め付けて、調節ねじ55の緩みを防止する。   The operation of the scribing apparatus having the above configuration will be described. When the adjusting screw 55 is screwed in, the piezo actuator 40 and the holder 20 are moved downward. Along with this, a downward force is applied to the leaf spring 61 via the spring fixing portion 21, and via the screw 63. Thus, a downward force is also applied to the ball 62. Since both ends of the leaf spring 61 are fixed to the overhanging portion 12 of the body 10, the leaf spring 61 is elastically deformed by the downward force. Further, since the ball 62 is received by the receiving plate 64 fixed to the body 10, the ball 62 is elastically compressed and deformed. The elastic restoring force of the leaf spring 61 and the ball 62 becomes a force for urging the holder 20 upward with respect to the body 10. As a result, the bottom surface 25a of the storage space 25 of the holder 20 is urged toward the piezo actuator 40. Force in the direction of compressing 40 in the axial direction). As the screwing amount of the adjusting screw 55 is increased, the preload to the piezoelectric actuator 40 is increased. After the preload adjustment with the adjustment screw 55 is completed, the lock nut 57 is tightened to prevent the adjustment screw 55 from loosening.

上記予圧調節済みのスクライブ装置を用いて、水平の設置台90にセットされた板ガラス100(ワーク)に刻線を形成する。なお、初期状態では、スクライブ装置のカッタ30は、板ガラス100の縁から水平方向に離れており、下限位置(スライダ6の下限位置に対応する位置)にある。この状態で、移動機構2を駆動させて、移動台1を水平方向に移動させると、ボデイ10,ホルダ20,カッタ30が一緒になって同方向に移動する。すると、ホルダ20に取り付けられたガイド板35が板ガラス100の端縁に当たり、このガイド板35に案内されて、カッタ30が板ガラス100の上面に載る。   Using the scribe device that has been subjected to the preload adjustment, a score line is formed on the plate glass 100 (work) set on the horizontal installation table 90. In the initial state, the cutter 30 of the scribing device is separated from the edge of the plate glass 100 in the horizontal direction, and is in a lower limit position (a position corresponding to the lower limit position of the slider 6). In this state, when the moving mechanism 2 is driven to move the moving table 1 in the horizontal direction, the body 10, the holder 20, and the cutter 30 move together in the same direction. Then, the guide plate 35 attached to the holder 20 hits the edge of the plate glass 100 and is guided by the guide plate 35, so that the cutter 30 is placed on the upper surface of the plate glass 100.

上述したように、カッタ30を板ガラス100の上面に載せた状態で、カッタ30には板ガラス100の上面に対する押圧力が常に付与されている。この押圧力は、ボデイ10,ホルダ20,スライダ6等の自重に起因するものである。なお、この押圧力は、ボデイ20に着脱可能に重り95を取り付けることにより調節することができる。   As described above, in the state where the cutter 30 is placed on the upper surface of the plate glass 100, a pressing force against the upper surface of the plate glass 100 is always applied to the cutter 30. This pressing force is due to the weight of the body 10, the holder 20, the slider 6, and the like. The pressing force can be adjusted by attaching a weight 95 to the body 20 so as to be detachable.

上記のように、ボデイ10等の自重でカッタ30を板ガラス100の面に押し付けた状態で、スクライブを実行する。すなわち、移動機構2により移動台1を移動させてカッタ30を板ガラス100に沿って移動させるとともに、ピエゾアクチュエータ40に高周波電圧を印加させて、ピエゾアクチュエータ40を軸方向に周期的に伸縮させる。すると、この周期的伸縮に伴うホルダ20の振動がカッタ30を介して板ガラス100に伝達される。その結果、深い垂直クラックを有する刻線を形成することができる。しかし、上記ボデイ10等の重力による押圧力が比較的小さいので、従来装置のような水平クラックの発生をほとんど皆無にすることができる。   As described above, scribing is performed in a state where the cutter 30 is pressed against the surface of the plate glass 100 by its own weight such as the body 10. That is, the moving base 1 is moved by the moving mechanism 2 to move the cutter 30 along the plate glass 100, and a high-frequency voltage is applied to the piezo actuator 40 so that the piezo actuator 40 is periodically expanded and contracted in the axial direction. Then, the vibration of the holder 20 accompanying the periodic expansion and contraction is transmitted to the plate glass 100 through the cutter 30. As a result, engraved lines having deep vertical cracks can be formed. However, since the pressing force due to the gravity of the body 10 or the like is relatively small, the occurrence of horizontal cracks as in the conventional apparatus can be almost eliminated.

本実施形態では、2つのピエゾアクチュエータ40を連ねるとともに、同期した高周波電圧を印加することにより、1つのピエゾアクチュエータ40を用いた場合に比べて2倍の振幅をもつ振動を発生させることができ、板ガラス100が厚くても十分な深さの刻線を形成することができる。上記ピエゾアクチュエータ40に印加する高周波電圧の周波数は、板ガラス100の材質,硬度,厚さ等に応じて、3〜30KHz程度に設定する。   In the present embodiment, two piezo actuators 40 are connected and a synchronized high frequency voltage is applied to generate a vibration having twice the amplitude as compared to the case of using one piezo actuator 40. Even if the glass sheet 100 is thick, it is possible to form engraved lines with a sufficient depth. The frequency of the high frequency voltage applied to the piezo actuator 40 is set to about 3 to 30 KHz according to the material, hardness, thickness, etc. of the plate glass 100.

上記刻線の形成工程において、カッタ30はボデイ10等の自重に伴う押圧力をもって常に板ガラス100の面に接した状態であり、この面から瞬間的に離れることがないので、刻線の近傍の欠損をなくし、きれいな刻線を形成することができる。また、ホルダ20が剛体でありカッタ30が弾性体を介在せずにホルダ20に取り付けられているので、カッタ30はホルダ20と一体となって振動し、ピエゾアクチュエータ40の振動エネルギーを良好にカッタ30に伝達することができる。   In the process of forming the engraving line, the cutter 30 is always in contact with the surface of the plate glass 100 with the pressing force associated with the weight of the body 10 or the like, and is not instantaneously separated from this surface. Defects can be eliminated and clean markings can be formed. Further, since the holder 20 is a rigid body and the cutter 30 is attached to the holder 20 without interposing an elastic body, the cutter 30 vibrates integrally with the holder 20 and the vibration energy of the piezoelectric actuator 40 is satisfactorily cut. 30.

本実施形態では、ピエゾアクチュエータ40とホルダ20が同軸をなし、それらの中心軸線L上にカッタ30が位置しているので、ピエゾアクチュエータ40の振動を効率良くカッタ30に伝達することができる。上述したように、ピエゾアクチュエータ40は、板ばね61とボール62の弾性復原力により予圧を付与されているので、ワーク100の反力の影響を受けず、当接部材の振動をピエゾアクチュエータの伸縮に良好に追随させることができ、安定した振動でスクライブを行うことができる。   In the present embodiment, the piezo actuator 40 and the holder 20 are coaxial, and the cutter 30 is positioned on the center axis L thereof, so that the vibration of the piezo actuator 40 can be efficiently transmitted to the cutter 30. As described above, since the piezo actuator 40 is preloaded by the elastic restoring force of the leaf spring 61 and the ball 62, it is not affected by the reaction force of the workpiece 100, and the vibration of the contact member is expanded and contracted by the piezo actuator. And can be scribed with stable vibration.

上記ホルダ20は、ピエゾアクチュエータ40の上方に配置された第1支持部50により、ボデイ10にスライド可能に支持されているが、このスライド支持の距離は短く、円筒部52bとスライド孔51の簡単な構造となっている。その代わり、ピエゾアクチュエータ40の下方に配置された第2支持部60の板ばね61とボール62で、ホルダ20を振動方向(スライド方向)に微少量移動可能に弾性支持することにより、安定して支持することができる。この第2支持部60は、ピエゾアクチュエータ40とカッタ30との間に配置されているので、たとえホルダ20の横振れがあったとしても、カッタ30の横振れは最小限にすることができる。なお、上記スライド支持がスライド孔51と円筒部52bの簡単な構成で済み、従来のような転がり軸受からなるスライド機構を用いずに済む。そのため、ホルダ20が数ミクロンの距離を1分間に数十万回往復しても、耐久性を確保できる。   The holder 20 is slidably supported on the body 10 by a first support portion 50 disposed above the piezo actuator 40, but the distance of this slide support is short, and the cylindrical portion 52b and the slide hole 51 are simple. It has a simple structure. Instead, the holder 20 is elastically supported by the leaf spring 61 and the ball 62 of the second support portion 60 disposed below the piezo actuator 40 so that the holder 20 can move a small amount in the vibration direction (sliding direction). Can be supported. Since the second support portion 60 is disposed between the piezo actuator 40 and the cutter 30, even if the holder 20 is laterally shaken, the lateral shake of the cutter 30 can be minimized. Note that the above-mentioned slide support is a simple configuration of the slide hole 51 and the cylindrical portion 52b, and it is not necessary to use a conventional slide mechanism composed of a rolling bearing. Therefore, durability can be ensured even if the holder 20 reciprocates several hundred thousand times per minute over a distance of several microns.

上記板ばね61とボール62は、上述したように、ピエゾアクチュエータ40への予圧提供の役割と、ホルダ20の弾性支持の役割を担っている。上記ボール62は、共振を回避し、カッタ30が板ガラス100から撥ね上がるのを防止する役割も担っている。板ばね61は、ホルダ20の回り止めの役割も担っている。なお、上記板ばね61は、両端が固定されていても、中央固定箇所と両端固定箇所の間に折り曲げ部61aを有しているので、調節ねじ55によるホルダ20の上下位置調節や、ホルダ20の振動を容易にしている。   As described above, the leaf spring 61 and the ball 62 have a role of providing a preload to the piezoelectric actuator 40 and a role of elastic support of the holder 20. The ball 62 also serves to avoid resonance and prevent the cutter 30 from splashing up from the glass sheet 100. The leaf spring 61 also serves as a detent for the holder 20. Even if both ends of the leaf spring 61 are fixed, the leaf spring 61 has a bent portion 61a between the center fixing portion and the both ends fixing portion. Makes the vibration easier.

本実施形態では、ボデイ10とスライダ6との間にも板ばね7が介在されていて、振動アクチュエータ40からボデイ10へ伝達された振動を緩衝するので、共振の可能性をより一層減じることができ、当接部材30のワーク100からの跳ね上がりを防止でき、安定したスクライブを行うことができる。この際、スライダ6が、ボデイ10から板ばね7を介して伝達された振動により移動可能であるので、ボデイ10に大きな反力を付与せずに済むので、共振の可能性を最小限まで減じることができる。しかも、この板ばね7は、折り曲げ部7aを有しているので、ボデイ10のスライダ6に対する相対移動量を比較的大きくすることができ、振動緩衝をより一層良好に行うことができる。また、4枚の板ばね7は、ボデイ10の左右に対をなして配置され、しかも上下に離れて対をなす板ばね7が少なくとも2組配置されているので、ボデイ10はスライダ6に安定して支持され、スクライブの際のボデイ10の微小量移動(振動)振動がアクチュエータ40の振動軸(ボデイ10の中心軸線L)に沿って行われる。この点からもスクライブを安定して行うこともできる。さらに、上記4枚の板ばね7の中央と、ボデイ10の中心軸線Lは同一平面上に配置されているので、この点からもボデイ10を安定して支持することができる。   In the present embodiment, the leaf spring 7 is also interposed between the body 10 and the slider 6 to buffer the vibration transmitted from the vibration actuator 40 to the body 10, so that the possibility of resonance can be further reduced. It is possible to prevent the contact member 30 from jumping up from the work 100 and to perform stable scribing. At this time, since the slider 6 can be moved by the vibration transmitted from the body 10 via the leaf spring 7, it is not necessary to apply a large reaction force to the body 10, so that the possibility of resonance is minimized. be able to. Moreover, since the leaf spring 7 has the bent portion 7a, the relative movement amount of the body 10 with respect to the slider 6 can be made relatively large, and vibration damping can be performed more satisfactorily. The four leaf springs 7 are arranged in pairs on the left and right sides of the body 10, and at least two pairs of leaf springs 7 that are separated from each other in the vertical direction are arranged. Thus, a minute amount movement (vibration) vibration of the body 10 at the time of scribing is performed along the vibration axis of the actuator 40 (the central axis L of the body 10). From this point, scribing can be performed stably. Further, since the center of the four leaf springs 7 and the central axis L of the body 10 are arranged on the same plane, the body 10 can be stably supported also from this point.

上記カッタ30による板ガラス100への刻線形成が完了したら、ピエゾアクチュエータ40に対する通電を停止するとともに、エアシリンダ80を駆動させて、ボデイ10を上方に押し上げ、カッタ30をワーク100から離す。そして、板ガラス100を設置台90から取り外す。その後、移動台1を初期位置に戻すとともに、エアシリンダ70を逆方向に駆動させて図1の状態、すなわちエアシリンダ80のロッドの上端が短ロッド86から離れた状態に戻すことにより、ボデイ10を下限位置まで戻す。上記のようにして刻線が形成された板ガラス100は、図示しない破断装置により、刻線に沿って破断される。   When the formation of the engraving on the plate glass 100 by the cutter 30 is completed, the energization to the piezo actuator 40 is stopped, the air cylinder 80 is driven, the body 10 is pushed upward, and the cutter 30 is separated from the workpiece 100. Then, the plate glass 100 is removed from the installation table 90. Thereafter, the moving base 1 is returned to the initial position, and the air cylinder 70 is driven in the reverse direction to return to the state of FIG. 1, that is, the state where the upper end of the rod of the air cylinder 80 is separated from the short rod 86. Return to the lower limit position. The plate glass 100 on which the engraved lines are formed as described above is broken along the engraved lines by a breaking device (not shown).

なお、本発明は上記実施形態に制約されず、種々の態様が可能である。例えばエアシリンダを支持台1に間接的に固定し、そのロッド先端をスライダ6に連結または当接してもよい。このエアシリンダにより、スライダ6およびボデイ10をワーク面に向けて付勢する。この場合、図1に示すボデイ10,ホルダ20を水平に倒し、ワーク面を垂直にした状態でスクライブを行うこともできる。   In addition, this invention is not restrict | limited to the said embodiment, A various aspect is possible. For example, the air cylinder may be indirectly fixed to the support 1 and the rod tip may be connected to or abutted with the slider 6. The air cylinder urges the slider 6 and the body 10 toward the work surface. In this case, the body 10 and the holder 20 shown in FIG. 1 can be tilted horizontally, and scribing can be performed with the work surface vertical.

ボデイ10を支持する支持台1を水平移動させずに所定位置に固定し、移動機構2を設置台90に連結して、この設置台90に設置された板ガラス100を移動させてもよい。上記の実施の形態においては、円錐状または角錐状をなすカッタを用いているが、円盤状のカッタを用いてもよい。この場合、カッタの周縁の一部が、ワークに当たる尖った先端として提供される。ボデイのワークに対する移動またはワークのボデイに対する移動は、操作者の手で行ってもよいし、カッタへの押圧力の付与を操作者の手によりボデイを介して行ってもよい。上記第2支持部60の板ばね61とボール62のうち、いずれか一方を省いてもよい。上記第1支持部50(スライド支持部)は省いてもよい。この場合、ピエゾアクチュエータ40の平坦な上端面と、ボデイ10の当接部の面とを高精度にピエゾアクチュエータの中心軸と直交させて、当接させればよい。   The support table 1 that supports the body 10 may be fixed at a predetermined position without being moved horizontally, the moving mechanism 2 may be connected to the installation table 90, and the plate glass 100 installed on the installation table 90 may be moved. In the above-described embodiment, a cutter having a conical shape or a pyramid shape is used, but a disc-shaped cutter may be used. In this case, a part of the peripheral edge of the cutter is provided as a sharp tip that hits the workpiece. The movement of the body with respect to the workpiece or the movement of the workpiece with respect to the body may be performed by the operator's hand, or the pressing force may be applied to the cutter through the body by the operator's hand. Either the leaf spring 61 or the ball 62 of the second support part 60 may be omitted. The first support part 50 (slide support part) may be omitted. In this case, the flat upper end surface of the piezo actuator 40 and the surface of the contact portion of the body 10 may be brought into contact with each other so as to be orthogonal to the central axis of the piezo actuator with high accuracy.

この発明の一実施形態をなすスクライブ装置の正面図である。It is a front view of the scribe device which constitutes one embodiment of this invention. 同スクライブ装置の側面図である。It is a side view of the scribing apparatus. 同スクライブ装置の平面図である。It is a top view of the scribing apparatus. 図2においてIV−IV線に沿うスクライブ装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the scribing apparatus along line IV-IV in FIG. 図1において、V−V線に沿うスクライブ装置の横断面図である。In FIG. 1, it is a cross-sectional view of the scribing device along the line V-V. 緩衝用板ばねを支持するための上側ブラケットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the upper side bracket for supporting the leaf | plate spring for a buffer. 緩衝用板ばねを支持するための下側ブラケットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the lower bracket for supporting the leaf | plate spring for a buffer.

符号の説明Explanation of symbols

10 ボデイ
20 ホルダ
25 収納凹部の底面(ホルダの当接部)
30 カッタ(当接部材)
40 ピエゾアクチュエータ(振動アクチュエータ)
50 第1の支持部(スライド支持部)
51 スライド孔(ホルダのスライド部)
52b 円筒部(ボデイのガイド部,凸部)
55 調節ねじ(予圧調整手段)
55a 調節ねじの先端部(ボデイの当接部)
60 第2の支持部
61 板ばね(弾性部材,支持部材)
61a 折り曲げ部
62 ボール(弾性部材,支持部材)
10 Body 20 Holder 25 Bottom of storage recess (holder contact part)
30 cutter (contact member)
40 Piezo actuator (vibration actuator)
50 1st support part (slide support part)
51 Slide hole (slide part of holder)
52b Cylindrical part (body guide part, convex part)
55 Adjustment screw (Preload adjustment means)
55a Tip of adjustment screw (body contact part)
60 Second support portion 61 Leaf spring (elastic member, support member)
61a bending part 62 ball (elastic member, support member)

Claims (6)

(ア)当接部を有するボデイと、
(イ)当接部を有するホルダと、
(ウ)上記ボデイの当接部とホルダの当接部との間に支持され、これら当接部の対峙方向に振動を発する振動アクチュエータと、
(エ)上記ホルダの端部に保持され、上記振動アクチュエータから上記ホルダに付与された振動をワークに伝える当接部材と、
(オ)上記振動アクチュエータに予圧を与える支持部材と、
(カ)上記ホルダを、上記振動アクチュエータの振動方向にスライド可能にして、上記ボデイに支持するスライド支持部と、
を備えたスクライブ装置であって、
上記ボデイとホルダと振動アクチュエータが同軸に配置され、振動アクチュエータの中心軸線上に、上記ボデイの当接部と上記ホルダの当接部が配置されるとともに上記スライド支持部が配置されていることを特徴とするスクライブ装置。
(A) a body having a contact portion;
(A) a holder having a contact portion;
(C) a vibration actuator that is supported between the contact portion of the body and the contact portion of the holder, and generates vibration in the opposite direction of the contact portion;
(D) an abutting member that is held at an end of the holder and transmits vibration applied to the holder from the vibration actuator to the workpiece;
(E) a support member for applying a preload to the vibration actuator;
(F) a slide support portion for allowing the holder to slide in the vibration direction of the vibration actuator and supporting the body;
A scribing device comprising:
The body, the holder, and the vibration actuator are coaxially arranged, and on the central axis of the vibration actuator, the contact portion of the body and the contact portion of the holder are disposed, and the slide support portion is disposed. A scribing device.
上記当接部材も上記振動アクチュエータの中心軸線上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のスクライブ装置。   The scribing apparatus according to claim 1, wherein the contact member is also disposed on a central axis of the vibration actuator. 上記支持部材が上記ホルダを上記振動アクチュエータに向かって付勢する弾性部材からなり、この弾性部材が上記振動アクチュエータの中心軸線上に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のスクライブ装置。   The said support member consists of an elastic member which urges | biases the said holder toward the said vibration actuator, and this elastic member is arrange | positioned on the center axis line of the said vibration actuator. Scribe device. 上記支持部材と上記スライド支持部が振動アクチュエータを間において上記振動方向に対峙していることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のスクライブ装置。 The scribing device according to any one of claims 1 to 3, wherein the support member and the slide support portion oppose each other in the vibration direction between vibration actuators. 上記ボデイが上記振動方向に細長く形成されるとともに縦長の収容空間を有し、上記ホルダも上記振動方向に細長く形成されるとともに縦長の収容空間を有し、上記ホルダが上記ボデイの収容空間に収容され、上記振動アクチュエータが上記ホルダの収容空間に収容されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のスクライブ装置。 The body is elongated in the vibration direction and has a vertically long accommodating space, the holder is also elongated in the vibration direction and has a vertically long accommodating space, and the holder is accommodated in the accommodating space of the body. The scribing device according to claim 1, wherein the vibration actuator is housed in a housing space of the holder. 上記ホルダの収容空間の底面は上記振動アクチュエータを受ける上記当接部として提供され、上記ボデイの当接部は上記ホルダの収容空間において上記ホルダの当接部と対峙していることを特徴とする請求項5に記載のスクライブ装置。   The bottom surface of the storage space of the holder is provided as the contact portion that receives the vibration actuator, and the contact portion of the body faces the contact portion of the holder in the storage space of the holder. The scribing device according to claim 5.
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