JP4158705B2 - エキシマ光照射装置 - Google Patents

Description

この発明は、エキシマ放電によりエキシマ光を照射する装置に関する。特に、大面積を均一に高出力照射することを目的としたエキシマ光照射装置に関する。

近年、エキシマ光を利用した殺菌装置、液晶基板洗浄装置、樹脂硬化装置等が知られている。エキシマ光源としては、エキシマ放電ランプが一般に用いられている。エキシマ放電ランプとしては、例えば石英ガラスからなる円筒状のランプ容器の外側と内側に、それぞれ外側電極と内側電極が設けられ、ランプ容器内部にエキシマ生成ガスが封入されたものが知られている（例えば、特公平７−８７０９３号公報参照)。エキシマ放電ランプは、外側電極と内側電極に対して外部から電気エネルギーを供給することによって、ランプ容器内で放電が生じ、エキシマ生成ガスによりエキシマ光を発生するというものである。
また、このようなエキシマ放電ランプが搭載されたエキシマ光照射装置としては、例えば、特開平１１−１８３６９９号公報に開示された構造が知られている。

しかしながら、上記のようなエキシマ光照射装置によると、光源であるエキシマ放電ランプのランプ容器が石英ガラスから構成されており、ランプ点灯時間の経過とともにランプ容器を構成する石英ガラスが劣化してエキシマ光の透過率が低下するので、所望の照度を長時間にわたって維持することが困難である。近年、前述の殺菌装置、液晶基板洗浄装置、樹脂硬化装置などにおいては、そのプロセス速度を速めることによる低コスト化を目的として、エキシマランプの出力を上昇させるためにエキシマランプへの投入電力が増加していることから、ランプ容器を構成する石英ガラスの劣化が顕著となっている。

さらに、エキシマ光照射によりランプ容器内に生成した不純物ガスによってエキシマ生成ガスが汚染され、エキシマ光の光出力が経時的に低下するという問題もある。具体的に説明すると、ランプ容器やエキシマ光の透過窓が石英ガラスのようにエキシマ光に晒されることによって酸素ガスを放出する材料から構成される場合に不純物ガスとして放出される酸素ガスは、エキシマ光を強く吸収し、エキシマ光の光出力を著しく低下させる。

上記問題を解決するために、ステンレス製の筐体内に複数対の電極が誘電体を介して並べて配置されたエキシマ光照射装置において、筐体内に充填されたエキシマ光生成用の希ガスを置換する方法が知られている（例えば、特開２００１−１４８２３３号公報参照）。以下、この公報に記載された構造について図９を用いて説明する。

図９は、希ガス置換方法を備えた従来のエキシマ光照射装置を説明するための長手方向における断面図である。
エキシマ光照射装置９０は、筐体９１と、円筒状の誘電体９２と、誘電体９２の内表面に嵌入され誘電体９２を介して対向する棒状の電極９３とからなる。筐体９１は、光出射方向２００に設けられた開口部に光取出窓９５が組み込まれるとともに、筐体９１内に導入されたエキシマ放電生成ガスとしての希ガスを吸排するためのガス吸入口９６、ガス排出口９７が設けられている。筐体９１内の希ガスは、ガス吸入口９６、ガス排出口９７により置換することができる。筐体９１内においては、対向する電極９３に不図示の外部回路にて高周波高電圧を印加することにより、対向する電極９３間でエキシマ放電することにより放電部９８が形成され希ガスエキシマ光が放射される。

図９に示された構造によると、上記エキシマ放電ランプが搭載されたエキシマ光照射装置のように石英ガラスからなるランプ容器を必要としないため、使用寿命を大幅に延長することができる。さらに、誘電体９２および光取出窓９５を石英ガラスで構成したとしても筐体９１内の希ガスを常時置換することができるため、発生した酸素が希ガスとともに筐体９１外へ排出され、不純物ガスの問題も発生しない。
特公平７−８７０９３号 特開平１１−１８３６９９号 特開２００１−１４８２３３号

ところが、図９に示された構造に従ってエキシマ光照射装置を製作し点灯試験を行ったところ、不純物ガスの問題は生じないものの、エキシマ光照射装置から照射される光に照度ムラが生じるため、光が照射される面（被処理面ともいう）にて均一な照度分布が得られないという問題が生じることが判明した。

本発明者らは、上記照度ムラが生じる原因について鋭意検討したところ、電極と誘電体との間に隙間が生じることが主な原因の一つであると突き止めた。以下に具体的に説明する。
図９に示すエキシマ光照射装置において、電極９３として用いられる例えばアルミニウムからなる棒や、誘電体９２として用いられる例えば石英ガラスからなる管は、その製造時に寸法誤差が生じるものである。具体例として、アルミニウムからなる棒を電極として用いた場合について以下に図１０を用いて説明する。

図１０は、寸法誤差を有する電極となるアルミニウム棒９３について説明するための図である。アルミニウム棒９３は、その規格が例えば直径１０ｍｍであるとしても、図１０に示すように、一方の端部における径Ｘ１が９．８ｍｍ、中央部における径Ｘ２が１０．２ｍｍ、他方の端部における径Ｘ３が１０ｍｍというように、各部位において規格値との誤差を生じている。このような規格値との誤差を寸法誤差と呼び、図１０の例では±２％の寸法誤差が生じていることになる。ここでは図示していないが、上記アルミニウム棒９３の周囲を覆うための誘電体となるべき石英ガラス管９２にも、当然に上記寸法誤差が生じるものである。従って、このような誘電体となる石英ガラス管９２の内部に電極となるアルミニウム棒９３を嵌入した場合には、両者の間に隙間が生じることになる。電極と誘電体との間に隙間を生じた場合における放電状態について、以下図１１を用いて説明する。

図１１は、電極と誘電体との間に隙間が存在する場合におけるエキシマ放電の様子を説明するための図を示す。図１１に示すように、電極となるアルミニウム棒９３を誘電体となる石英ガラス管９２の内側に嵌入する場合において、石英ガラス管９２の内径とアルミニウム棒９３の外径は寸法誤差があるため、アルミニウム棒９３と石英ガラス管９２との間で接触しない隙間部分が生じ、この部分では殆ど放電が形成されない。一方、アルミニウム棒９３と石英ガラス管９２とが接触した部分においては、上記現象が生じることがなく放電が形成される。
これにより、図９に示すエキシマ光照射装置内に、電極と誘電体とが隙間をもった状態で嵌入されたものが複数配置された場合には、エキシマ光照射装置から放射される光に照度ムラが生じると考えられる。

ここで、電極となる金属棒と誘電体の管との間で接触していない部分において、殆ど放電が生じない理由について説明する。図１２に示すように一方の電極１と誘電体３で覆われた他方の電極２との間に電圧Ｖを印加する場合、他方の電極２と誘電体３とが密着している点線Ａ上の誘電体３の静電容量をＣ_１、誘電体３と一方の電極１との間の放電空間６の静電容量をＣ_２とし、誘電体３の一方の表面４と他方の電極２との間の電圧をＶ_１、放電空間６の電圧をＶ_２とする。他方の電極２と誘電体３とが密着していない点線Ｂ上の他方の電極２と誘電体３の他方の表面５との間の隙間７の静電容量をＣ_３とし、誘電体３の一方の表面４と他方の電極２との間の電圧をＶ_１’、放電空間６の電圧をＶ_２’とする。Ｖ_１’が印加される空間の静電容量をＣ_１’とすると、Ｃ_１’は以下のように表される。

また、Ｖ_１、Ｖ_２、Ｖ_１’、Ｖ_２’は次のように表される。

隙間７の間隔が大きくなるほどＣ_３の値は小さくなるため、数式（１）（３）（５）よりＣ_１’の値は小さくなり、Ｖ_１’の値が大きくなるので、Ｖ_２’の値は小さくなる。逆に隙間の間隔が小さくなるほどＣ_３の値は大きくなり、Ｃ_１’の値はＣ_１の値に近づき、隙間の間隔がなくなれば、Ｃ_１’＝Ｃ_１となるため、Ｖ_１’＝Ｖ_１、Ｖ_２’＝Ｖ_２となる。つまり、隙間の間隔が大きくなるほど、Ｖ_２’はＶ_２よりも小さくなる。
以上から、図１１に示すように、石英ガラス管９２にアルミニウム棒９３を嵌入した際に隙間があると、両者が密着している場合と比較して、放電空間にかかる電圧が低下するため放電が生じないと考えられる。

上記のような問題を解決するために、電極と誘電体との間で接触していない部分を極力少なくするために規格値からの寸法誤差の小さい電極となる棒及び誘電体となる管を用いる方法が考えられる。しかしながら、寸法誤差の小さい棒又は管は非常に高価であるため、コスト面を考慮すると実用的な方法とは言えない。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、エキシマ生成ガスを充填した筐体内に誘電体を介して対向配置された電極間にてエキシマ放電を形成するエキシマ光照射装置において、電極と誘電体との接触面積を増やすことにより良好にエキシマ放電させ、照射光の照度ムラをなくし被処理面における照度分布を均一にすることにある。

上記課題を解決するため、本発明のエキシマ光照射装置は、光出射方向に光取出窓を備えた筐体と、この筐体内に配置され誘電体を介して対向する電極とからなり、対向する電極間でエキシマ放電を生じるものであり、前記対向する電極の少なくとも一方と前記誘電体とは螺子部を有し、各々の螺子部によって螺合していることを特徴とする。

本発明のエキシマ光照射装置によると、対向する電極のいずれか一方と誘電体とが螺子部を有し、各々の螺子部によって両者が螺合された構造である。これにより、電極及び誘電体は、規格値との多少の寸法誤差を有するものであっても、各々の螺子部が互いに接触することにより、接触面積が増加し、放電の形成されない部分を少なくできる。従って、照射光に照度ムラを生じず、被処理面において均一な照度分布を得ることが可能であり、さらには、電極および誘電体を構成する部材に規格値との寸法誤差が非常に小さい高価なものを使用する必要がないため、コスト的に有利である。

図１は、本発明のエキシマ光照射装置を説明するための図である。図１（ａ）は長手方向における断面図を、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す後述の筐体内に配置された板状の電極をＹ軸方向から見た図である。
図１（ａ）に示すように、エキシマ光照射装置１０は、筐体１１と、筐体１１内に配置され円筒状の誘電体１２を介して対向する棒状の一方の電極１３及び板状の他方の電極１４とから構成される。誘電体１２、一方の電極１３及び他方の電極１４の配置について具体的に説明すると、図１（ｂ）に示すように他方の電極１４に設けられた３０〜３００個の貫通穴２０の各々の表面に当接するように誘電体１２が配置され、一方の電極１３が貫通穴２０に同心状に配置されるように挿入されている。即ち、一方の電極１３と他方の電極１４とは管状の誘電体１２を介して対向している。

筐体１１は、光出射方向２００に設けられた開口部に光取出窓１５が取り付けられるとともに、ガス吸入口１６およびガス排出口１７が設けられ、さらに、光取出窓１５との間に５〜２０ｍｍ程度の間隔を有するように板状の電極１４を支持するための支持台１８が取り付けられている。間隔を有することで、筐体内にエキシマ生成用ガスを還流する場合に一方の電極１３と他方の電極１４の間にガスが流れやすくなる。ただし、間隔が大きすぎると、光取出窓１５に対して放電部１９が遠くなるので、間隔は５〜２０ｍｍ程度であることが望ましい。筐体１１内には、ガス吸入口１６によりエキシマ放電生成ガスとして、例えばキセノンガスが筐体１１内の圧力が４０ｋＰａとなるように充填され、対向する一方の電極１３と他方の電極１４とに不図示の外部回路にて、例えば電圧３ｋＶ、周波数５０ｋＨｚの高周波高電圧を印加することによりエキシマ放電による放電部１９が形成され、１７２ｎｍの波長を有するキセノンエキシマ光が放射される。

筐体１１内においては、エキシマ放電生成ガスが還流されている。具体的に説明すると、ガス吸入口１６から吸入されたガスは、放電部１９の形成に寄与した後、ガス排出口１７により筐体１１外へ排出される。筐体１１内を還流するエキシマ放電生成ガスとしては、上記のキセノンガスの他にも、アルゴンガス、クリプトンガス等を用いることができる。これらのガスは、単体に限らず、混合ガスとして用いても良い。さらに、安全面での問題を解決できるのであれば、ハロゲンガスと上記ガスのいずれかとの混合ガスも用いることができる。

図２は、図１（ａ）における点線部分Ａの拡大図を示す。図３は、図２の点線部分Ｂを拡大した図である。

図２に示すように、誘電体１２は、その表面に形成された螺子部１２０を、他方の電極１４に設けられた貫通穴２０の表面に形成された螺子部１４０に対して螺合させることにより、他方の電極１４に保持されている。図３に示すように、螺子部１２０は、凸部１２１と凹部１２２とからなり、凸部１２１の先端には頂部１２３が形成され、凹部１２２の底には底部１２４が形成されている。螺子部１４０は、凸部１４１と凹部１４２とからなり、凸部１４１の先端には頂部１４３が形成され、凹部１４２の底には底部１４４が形成されている。螺子部１２０と螺子部１４０とは、螺合することにより、凸部１２１と凸部１４１とが複数箇所にて接触することになる。

上記構成により、誘電体１２と他方の電極１４との接触面積を大きくすることができるので、エキシマ放電を良好に形成することができる。また、誘電体１２と他方の電極１４とを螺合させて保持しているので、単に両者を嵌入するよりも強固に保持することが可能であり、従って、筐体１１に振動や衝撃が加わっても最適位置からのズレによる照度変化を招くおそれがない。さらに、例えば誘電体１２となる石英ガラス管の内部に一方の電極１３となるアルミニウム棒を嵌入する方式では、石英ガラス管とアルミニウム棒とが寸法誤差を有すると、無理やり嵌入しようとして石英ガラス管に割れが生じるおそれがある。これに対し、本発明の構成ではそのようなおそれは少なく、エキシマ光照射装置１０の製作が容易になるメリットもある。
尚、誘電体１２は、棒状の一方の電極１３と板状の他方の電極１４との間で誘電体１２を介さない放電が形成されることを防止するため、その長さが板状の他方の電極１４の厚みよりも長いことが好ましい。具体的には、誘電体１２の両端が他方の電極１４より５〜２０ｍｍ程度長くなっていることが特に好ましい。

以下、筐体１１、光取出窓１５、誘電体１２、一方の電極１３及び他方の電極１４について詳細に説明する。
筐体１１は、ステンレス製の円筒形の箱から構成され、外径２００ｍｍ〜６００ｍｍ、高さ２００ｍｍ〜６００ｍｍ、肉厚３〜５ｍｍである。無論、円筒に限らず、ＸＺ平面にて切断して得た断面が長方形等の多角形となる箱を用いることも可能である。Ｚ軸方向は図１（ａ）には図示していないが、紙面に対して垂直方向である。
光取出窓１５は、石英ガラス製の円板から構成され、直径１００〜４００ｍｍ、厚さ（Ｙ軸方向）５〜３０ｍｍである。無論、円板に限らず、ＸＺ平面にて切断して得た断面が長方形等の多角形となる板であっても良い。光取出窓１５の材質は、石英ガラスに限らずサファイア、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ_２）等を用いることができる。本発明の光照射装置１０によると、筐体１１内のガスを還流させる機能を備えているため、石英ガラス、サファイアのようにエキシマ光に晒されることにより酸素ガスを放出する材質を光取出窓１５として好適に用いることができる。

誘電体１２は、例えばセラミクス製の円筒から構成され、外径５〜３０ｍｍ、全長１０〜１２０ｍｍ、厚さ1〜５ｍｍである。無論、円筒に限らず、ＸＺ平面にて切断して得た断面が長方形等の多角形となる筒を用いることも可能である。誘電体１２の外周面には、螺子切り加工が施されている。螺子部１２０の寸法としては、Ｍ５〜Ｍ３０（ＪＩＳ規格 Ｂ ０２０５ メートル並目ねじ）であることが好ましい。誘電体１２の材質としては、セラミクスに限るものではなく、ガラスなどを用いることができる。誘電体１２に螺子部１２０を形成する方法としては、以下の方法が考えられる。誘電体１２の外周面に形成する場合は、旋盤による切削加工を行い、後述の図４に示すように誘電体１２の内周面に形成する場合は、螺子切り加工を行う。セラミクスは、螺子部を形成した状態で成形を行い、焼成することが可能である。さらには、マシナブルセラミクスと呼ばれる機械加工を容易に行うことのできる素材を用いた場合には、螺子部の形成を容易に行うことができる。セラミクスとしては、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、ムライト（３Ａｌ_２Ｏ_３，２ＳｉＯ_２）、ステアタイト（ＭｇＯ，ＳｉＯ_２）等を用いることができ、マシナブルセラミクスとしては、フッ素雲母を焼結あるいは溶融して成型したマイカセラミクスを利用したものや、チタン酸アルミニウムセラミクス、窒化アルミニウムセラミクス等を利用したものを用いることができる。

一方の電極１３は、例えばアルミニウム製の外径1〜５ｍｍ、全長５〜１５０ｍｍの無空棒あるいは内部が中空の円筒から構成される。無論、円筒に限らず、ＸＺ平面にて切断して得た断面が多角形の筒を用いることも可能である。
他方の電極１４は、例えばアルミニウム製の外径５０〜４００ｍｍ、厚み５〜１００ｍｍの円板から構成されている。無論、円板に限らず、直方体形状を有する板などから構成しても良い。他方の電極１４には、前記一方の電極１３を同心状に挿入するとともに誘電体１２に形成された螺子部１２０と螺合するために、螺子切り加工が施された貫通穴２０が３０〜３００個形成されている。貫通穴２０の寸法としては、Ｍ５〜Ｍ３０（ＪＩＳ規格 Ｂ ０２０５ メートル並目ねじ）であることが好ましい。一方の電極１３及び他方の電極１４の材質は、アルミニウムに限るものではなく、銅、真ちゅう、ステンレスが好ましく、特に、銅は熱伝導率が高く、電極の冷却が容易であるという理由で好ましい。

図４は、誘電体と電極との他の螺合形態について説明するための要部の断面図である。本発明のエキシマ光照射装置１０においては、図４に示すように誘電体１２と、他方の電極１４に形成された貫通穴２０内に挿入された棒状の一方の電極１３とに螺子部１２０及び１３０を形成することも可能である。

図５は、本発明のエキシマ光照射装置の他の実施形態を説明するための断面図である。図１と同一符号は、同一部分を示す。
エキシマ光照射装置５０は、円筒状の誘電体５２及び棒状の電極５３が螺子部を有することを除けば、その他の構造は図９に示すエキシマ光照射装置９０と概ね同様であるので、説明は省略する。光照射装置５０においては、対向する電極５３に不図示の外部回路にて高周波高電圧を印加することにより、対向する電極５３の間でエキシマ放電することにより放電部５９が形成され、１７２ｎｍの波長を有するキセノンエキシマ光が放射される。
尚、図５では全ての電極５３に誘電体５２が設けられているが、この構造に限るものではなく、要は対向する電極５３のうち少なくとも片側に誘電体５２が設けられていれば良い。

図６は、図５における点線部分ＣをＸＺ平面で切断した場合の断面図を示す。
Ｚ軸方向は図５においては図示していないが、紙面に対して垂直方向である。
誘電体５２は、例えばセラミクス製の管からなり、その表面に螺子部５２０を有する。電極５３は、例えばアルミニウム製の無空棒からなり、誘電体５２と同様にその外表面には螺子部５３０を有する。誘電体５２と電極５３とは、各々の螺子部５２０と５３０とを螺合することにより、凸部５２１と凸部５３１とが複数箇所にて接触している。

以下、本発明の光照射装置の効果を示す実験について説明する。まず、実験に用いたエキシマ光照射装置について説明する。
＜本発明の光照射装置＞
筐体：
外径５６０ｍｍ、高さ２００ｍｍ、肉厚５ｍｍ、内容積４７５００ｃｍ^３のステンレス製の円筒容器
筐体内への封入ガス：
キセノンガスを５０ＫＰａ
光取出窓：
直径４００ｍｍ、厚み２０ｍｍの合成石英ガラス製の板
誘電体：
外径２０ｍｍ、内径１５ｍｍ、全長４０ｍｍのアルミナ管の外周面に、Ｍ２０の螺子部を設けたもの
一方の電極：
外径３ｍｍ、全長８０ｍｍのアルミニウム製の無空棒
他方の電極：
外径４５０ｍｍ、厚み３０ｍｍのアルミニウム製の板に、Ｍ２０の螺子部を有する貫通穴を２７１個設けたもの
＜比較例の光照射装置＞
電極に螺子部を有しない点を除けば、その他の構成は本発明の光照射装置と同じである。

＜照度の測定方法＞
次に、本発明及び比較例のエキシマ光照射装置を用いた実験方法について説明する。図７は、本発明及び比較例の光照射装置についての照度の測定方法について説明するための図である。
本発明及び比較例の光照射装置について、３ｋＶ、５０ＫＨｚの条件にて点灯を行い、図７に示すように筐体１１に取り付けられた光取出窓１５からＹ軸方向へ１０ｍｍ離れた位置にて、照度測定装置４０によって光照射装置１０から照射される波長１７２ｎｍのエキシマ光の照度を測定した。具体的には、照度測定装置４０に備えられた受光器４１によって、光取出窓１５の一方の端部１５１から他方の端部１５２に向けて、２０ｍｍずつ受光器４１を移動させて各位置での照度を測定した。つまり、光取出窓１５の中心の位置（対角線の交点位置）をＸ＝０，Ｚ＝０とすると、Ｘ軸方向の長さが４６０ｍｍである場合に、一方の端部１５１をＸ＝−２３０、端部１５１からＸ軸方向に２０ｍｍ離れた位置をＸ＝−２１０、他方の端部をＸ＝２３０と表すとすると、（Ｘ、Ｚ）＝（−２３０、０）、（−２１０、０）・・・・・、（２３０、０）の合計２４箇所にて照度を測定することになる。

＜実験結果＞
最後に実験結果について説明する。図８は、本発明及び比較例の光照射装置にて測定した照度を示す図である。図８に示す□は本発明の光照射装置におけるデータを、■は比較例の光照射装置におけるデータを示す。
図８によると、比較例の光照射装置はＸ＝−９０〜１５０の領域において照度のバラツキが大きいのに対し、本発明の光照射装置はＸ＝−９０〜１５０の領域における照度のバラツキが抑えられていることが分かる。従って、本発明の光照射装置は、比較例の光照射装置と比較して被照射面における照度分布を均一にすることができる。

以上のような本発明の光照射装置は、対向する電極のいずれか一方と誘電体に螺子部が設けられ、いずれか一方の電極と誘電体とが螺合された構造である。これにより、電極及び誘電体は、規格値との多少の寸法誤差を有するものであっても、各々に形成された螺子部分が互いに接触することにより、放電を生じない部分が形成されることがない。従って、照射光に照度ムラを生じず、被処理面において均一な照度分布を得ることが可能であり、さらには、電極および誘電体を構成する部材に規格値との寸法誤差が非常に小さい高価なものを使用する必要がないため、コスト的に有利である。

本発明のエキシマ光照射装置を説明するための図である。 図１（ａ）における点線部分Ａの拡大図を示す。 図２に示す点線部分Ｂの拡大図である。 誘電体と電極との他の螺合形態について説明するための断面図である。 本発明のエキシマ光照射装置の他の実施形態を説明するための断面図である。 図５に示す誘電体及び電極をＸＺ平面で切断した場合の断面図を示す。 本発明及び比較例の光照射装置についての照度の測定方法について説明するための図である。 本発明及び比較例の光照射装置にて測定した照度分布を示す図である。 希ガス置換方法を備えた従来のエキシマ光照射装置を説明するための図である。 寸法誤差を有する電極となるアルミニウム棒について説明するための図である。 電極と誘電体との間に隙間が存在する場合におけるエキシマ放電の様子を説明するための図を示す。 電極となる金属棒と誘電体の管との間で接触していない部分において、殆ど放電が生じない理由について説明するための図である。

符号の説明

１０ 光照射装置
１１ 筐体
１２ 誘電体
１３ 一方の電極
１４ 他方の電極
１５ 光取出窓
１６ ガス吸入口
１７ ガス排出口
１８ 支持台
１９ 放電部
２０ 貫通穴
４０ 照度測定装置
４１ 受光器
１２０ 螺子部
１２１ 凸部
１２２ 凹部
１２３ 頂部
１２４ 底部
１４０ 螺子部

Claims (1)

1. 光出射方向に光取出窓を備えた筐体と、この筐体内に配置され誘電体を介して対向する電極とからなり、対向する電極間でエキシマ放電を生じるエキシマ光照射装置において、
   前記対向する電極の少なくとも一方と前記誘電体とは螺子部を有し、各々の螺子部によって螺合していることを特徴とするエキシマ光照射装置。
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

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