JP4182655B2 - Method and apparatus for generating light or electromagnetic wave - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テラヘルツ光等の電磁波を発生させることができる光又は電磁波の発生方法及び発生装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、特にテラヘルツ領域の光(サブミリ波)については、これまで有効なコヒーレント光源が無かった。テラヘルツ領域の光(サブミリ波)を容易に発生させることができるようになれば、新規光部品、検査装置用特殊光源として、これを利用することができる。又、テラヘルツ光はX線や紫外線に較べて安全であり、医用診断等への応用も可能である。このように、テラヘルツ光は、X線に代わる安全光源として各種産業において広範囲に利用が期待できるものであり、また新規な応用分野が開拓されるものとも考えられる。しかしながら、これまで、この波長領域のコヒーレントな光は簡便に発生させることが出来なかった。
【0003】
周波数1〜10THzの電磁波をここではテラヘルツの電磁波又はテラヘルツ光と呼ぶことにする。この周波数領域は波長30ミクロンから300ミクロンに相当する。この領域のコヒーレントな電磁波は発生させることが難しく、簡便に発振可能で良質な光源(電磁波源)を実現することが望まれている。
【0004】
すでに述べたようにテラヘルツ領域の光源はX線に代わる新たな安全光源として医療分野への応用が期待されている。テラヘルツ光を照射し、皮膚の状態観察や歯の断層診断などの研究が進められている。その他、コンクリートの断層診断、紙幣の透かしの可視化、パッケージ食品の水分量計測やフロッピーディスクなどの内部透視など、多くの応用が考えられている。
【0005】
この領域の電磁波を発生させる装置としては、従来、自由電子レーザを用いた大がかりなものはあったが、規模が大きすぎて実用には不向きであった。又、波長10.6ミクロンの炭酸ガスレーザを励起光源とし、それを気体分子に照射し、その時の気体分子の振動、回転準位を使って、テラヘルツ光を発生させる研究もなされてきた。しかしながら、気体の回転、振動準位は固定されているため、波長可変領域が狭いことや装置が大きすぎると言う問題があり、実用化には至っていない。
【0006】
又、非線形光学素子であるニオブ酸リチウム(LiNbO3)を用いてパラメトリック発振器を構成し、NdYAGレーザを励起光源として、THz領域の光を取り出す方法が発表されている。LiNbO3にNdYAGレーザ(1.06μm)を照射すると、特定の方向にアイドラー光と呼ばれるほぼ励起光に等しい波長を持つ光とテラヘルツ光とに分解される。この時、入射光のKベクトルと射出される2つの光のKベクトルが保存される(O plus E,Vol.22,No.1,p69(2000年1月))。
【0007】
さらに、光スイッチによるテラヘルツ光の発生方法も研究されている。この方法は、ガリウム砒素基板上に金属の微小ダイポールアンテナを設け、そのアンテナに直流バイアス電圧を印加する。この時、アンテナの平行線路間にフェムト秒のレーザパルスを照射すると電子正孔が生成され、この時、電子正孔の生成により瞬時電流が流れるため、双極子放射であるテラヘルツ光が発生する(O plus E,Vol.22,No.1,p41(2000年1月))。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のLiNbO3にNdYAGレーザを照射して、パラメトリック発振を起こさせる方法では、高い発生効率を得るために大型の非線形光学単結晶を用いる必要があり、高効率な発振を実現する事は難しいという問題がある。又、ダイポールアンテナによる方法では、パルス発振であること、及び電子正孔のスクリーニング効果のためテラヘルツ光の発生効率が低いという問題がある。
【0009】
従って本発明の目的は、テラヘルツ光等の電磁波を効率よく発生させることができる光又は電磁波の発生方法及び発生装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、非線形光学効果及び周期的な誘電率分布を有するフォトニック結晶に光又は電磁波を入射することより、入射された光又は電磁波とは異なる複数の光又は電磁波を発生させる光又は電磁波の発生方法により、達成される。ここで、光又は電磁波は、フォトニック結晶に特定の制御された方向(同一方向及び異なる方向を含む)より入射することができる。入射される光又は電磁波はレーザ光とすることができる。また、発生する複数の光又は電磁波の少なくとも1つは、フォトニック結晶のフォトニックバンドの傾斜の小さい状態又は光の群速度が真空中の光の速度に較べて非常に小さい領域に相当するものとすることができる。さらに、発生する複数の光又は電磁波の1つと同じ波長の光をフォトニック結晶に特定の方向より入射することができる。発生する複数の光又は電磁波の1つの波長は、例えば30μm〜300μmの範囲にあり、その周波数はいわゆるテラヘルツ領域とすることができる。
また、本発明に係る光又は電磁波の発生方法では、非線形光学効果及び周期的な誘電率分布を有するフォトニック結晶内部で光又は電磁波を生成することより、生成された光又は電磁波とは異なる複数の光又は電磁波を発生させることもできる。
【0011】
本発明に係る光又は電磁波の発生装置は、非線形光学効果及び周期的な誘電率分布を有するフォトニック結晶と、前記フォトニック結晶に特定の方向(同一方向及び異なる方向を含む)から光又は電磁波を入射する光又は電磁波入射装置とを備えて構成される。ここで、光又は電磁波入射装置は、レーザ光を出射するレーザ装置と、前記レーザ光を分岐してフォトニック結晶に伝達する分岐部材とを備えることができる。この場合、レーザ装置を波長可変レーザとすることができる。
このように構成することにより、テラヘルツ光等の電磁波を効率よく発生させることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について説明するが、その前に、まず本発明の原理を説明する。
【0013】
図1(a)、(b)はそれぞれフォトニック結晶の例を示す図である。同図(a)は球状のフォトニック結晶11を示し、(b)は格子状のフォトニック結晶12を示す。フォトニック結晶とは、人工的に作製された光の波長と同程度の周期的な屈折率分布を持つ構造体である。材料としては、例えば、CuCl,LiNbO3,GaAsなどが用いられる。本発明は、このフォトニック結晶の持つ強い非線形光学効果を利用し、入射波とは波長の大きく異なるテラヘルツ光等の電磁波を効率よく発振させるものである。
【0014】
フォトニック結晶は屈折率あるいは誘電率の周期場を提供する人工媒体であるが、その内に置かれた光は、半導体で言えば周期的なクーロンポテンシャル中に置かれた電子の場合と同様の振る舞いをする。すなわちブリルアンゾーンを用いて光の特性を記述することが出来る。
【0015】
このことをさらに詳しく述べる。光は電磁波であり、Maxwellの電場磁場に関する4つの方程式に従うことはよく知られている。人工的に作られた周期的な誘電率を持つ構造体、フォトニック結晶のもとでは、電場に関するMaxwellの方程式は次のように書ける。なお、以下の式中及び説明中のr,a,k,uはベクトルを示す。
[1/ε(r)]∇×[∇×E(r)]=[ω2/c2]E(r)
この方程式において、誘電率は周期性ε(r)=ε(r+a)を満たす。ここでaはフォトニック結晶の基本並進ベクトルである。なお、磁場に関しても同様な方程式が成立する。
【0016】
上記方程式は並進対称操作に関して不変であり、光の電場ベクトルE(r,t)[又は磁場]に関して半導体中の電子と同様にブロッホの定理が成り立つ事が証明出来る(Phys.Rev.B52,7982(1995))。
従って、フォトニック結晶内の光の状態は電子の結晶中での状態と同様、
E(r,t)=unk(r)exp(ikr)
と書くことができることが知られている。nはバンドを表している。ここでunk(r)は次の関係を満足する。
unk(r)=unk(r+a)
ここでaはフォトニック結晶の誘電率の周期であり、フォトニック結晶の格子定数に相当する。
【0017】
これらのことは、光又は電磁場に対してバンド構造が出現することを示している。又、ある対称性を持ったフォトニック結晶では光の存在できないエネルギー帯域が出現する。この光の存在できない領域はフォトニックバンドギャップと呼ばれている。
【0018】
図2は、フォトニック結晶のバンド構造の一例を示す図である。この図からも分かるように、光は通常の誘電体や真空中にある時と較べて、フォトニック結晶内では非常に大きな波数ベクトルを持つ。
さらに光のバンド計算から、フォトニック結晶内では、図2中のBで示すように、バンドがフラットになる領域も存在する事が分かる。これを反映して、そのエネルギー領域では屈折率(n=ck/ω)の増大が起こる。又、バンドの傾斜dω/dkに対応する光の群速度が著しく低下する事が分かる。
【0019】
次に、フォトニック結晶の非線形効果について述べる。周期的な誘電率を有するフォトニック結晶において、それを構成する物質の誘電率が非線形性を持っている場合を考察する。すなわち、フォトニック結晶が2次の非線形感受率χ(2)(r)を持つとすると、入射した光(ωを光の角周波数とする)が結合して2ωの第二高調波(SHG)を発生させることも検討されている(Phys.,Rev.B,Vol.54,p5732(1996))。
【0020】
図3は、非線形フォトニック結晶における波数ベクトルの保存則を説明するための図である。本発明では、この非線形フォトニック結晶に入射方向が特定の方向(同一方向及び異なる方向を含む)の2種の光を導入し、合成Kベクトルの和を図に示すように小さくしておく事を考える。この時、2種の入射光のエネルギーは異なっていても良いし、又同じであっても良い。説明を簡単にするため、同じエネルギーを持つレーザ光を考える事にする。又、入射光はフォトニックバンドの第1分岐にあるとする。その時、例えば、この入射レーザ光を互いに異なった方向から入射させる。このようにすると、以下に述べるように2つのレーザ光線の合成Kベクトルを小さくすることが出来る。
【0021】
入射レーザ光を互いに異なった方向から入射させると非線形光学効果により、非線形感受率を通じて、光が互いに結合を起す。その合成Kベクトルは、
K=K1(ω0)+K2(ω0)
と表される。
ここで、K1(ω0)はレーザ光の進行方向がK1、その時の光のエネルギーが(h/2π)ω0である事を表している(hはプランク定数)。同様にK2(ω0)はレーザ光の進行方向がK2、その時の光のエネルギーが(h/2π)ω0である事を表している。
【0022】
さて、この時、非線形効果が起こり、次のようなKベクトルとエネルギーの保存を満足する解が存在する事が分かる。
K=K3(2ω0−Δ)+K4(Δ)
ここでΔをω0に較べて小さいと仮定すると、K3(2ω0−Δ)はほぼ第2高調波に等しいエネルギーを持ち、図2に示すフォトニックバンドBの光に対応する。この光はバンドの傾きが緩やかであるために、その群速度が、同じ振動数の真空中の光の速度に較べて非常に小さく、そのためこのK3(2ω0−Δ)を持つ光が強く励起されると考えられる。この群速度異常による増強効果はフォトニック結晶における基本的な非線形光学特性の一つである。
【0023】
一方、K4(Δ)は低エネルギー側に現れる光であり、本発明でのテラヘルツ光に対応する光である。このようにしてテラヘルツ光やその他所望の波長の光を得ることが出来る。
2つの入射光のなす角を変えることで、合成Kベクトルの値を選択する事ができる。合成Kベクトルの大きさを変えることにより、Kベクトルとエネルギーの保存則を満足するK4(Δ)は大きく変わる。従って角振動数Δを自由に選択できるので、この光はテラヘルツ光に限定されない事は言うまでもない。
【0024】
さらにアイドラー光と同じ角周波数を持つ光を外部より入射させると、フォトニック結晶内部ではK3(2ω0−Δ)を持つ光となる。この時、図3の誘導散乱過程の確率が高まり、K4(Δ)の光(電磁波)のスペクトルを狭帯化出来る。すなわち、K3(2ω0−Δ)の光を外部から導入すると、その光による誘導散乱効果が起こり、上記光混合過程が増大されて、K3(2ω0−Δ)の光のみならず信号光であるテラヘルツ光も強く観測される。
【0025】
なお上記説明においてはフォトニック結晶の外部よりレーザ光線を入射させる事を前提に説明したが、光線はフォトニック結晶内部において生成したものであっても同様の効果が得られることは明らかである。すなわちレーザ発振可能な構造を複数のフォトニック結晶内に作製しておき、それを用いて上記光の合成を行ってもよい。
【0026】
以上の説明からも分かるように、本発明で得られる電磁波は単にテラヘルツ光に限定されるものでは無い。すなわち、本発明は、2種の光をフォトニック結晶に入射させ、その非線形性を用いて入射光を分解し、入射光とは異なる所望の波長の光又は電磁波2種を発生させる手段として使用できるからである。
【0027】
これをエネルギーの関係で表せば、次のようになる。
E(K1)+E(K2)=E(K3)+E(K4)
ここにK1,K2は入射光の波数ベクトル、K3,K4は分解され、放出される光(又は電磁波)の波数ベクトルであり、E(Ki)は波数Kiを持つ光(又は電磁波)のエネルギーである。
【0028】
このように、上述のフォトニック結晶に光を照射する方法を使うことにより、2つの入射光線の光のエネルギーを、異なる2つの光のエネルギーに効率よく分解することができる。
以下、実施例に基づいて、本発明を具体的に説明する。
【0029】
(実施例1)
図4は、本発明に係る光又は電磁波の発生装置の一実施例を示す図である。本実施例は、図示のように、波長可変レーザ41と、分岐部材42及び反射部材43〜47と、フォトニック結晶48とを備える。ここで、波長可変レーザ41は、例えば、チッソレーザ励起又はArレーザ励起の色素レーザ(ポリメチレン系色素)(1.1μm帯)を用いて励起する。色素レーザにより最適波長が分かれば、その後は波長固定の半導体レーザ(1.3μm)を用いてもよい。また、分岐部材42は例えばハーフミラーであり、反射部材43〜47は例えばミラーである。本実施例では、波長可変レーザ41、分岐部材42及び反射部材43〜47が、光又は電磁波入射装置を構成する。
【0030】
フォトニック結晶48は、次のようにして作製される。まず、図示しない透明ガラス基板上にGaP(ガリウムリン)を真空蒸着法により1ミクロン着膜する。次にSiO2を同様に1ミクロン着膜する。これを繰り返し実施することにより1次元のフォトニック結晶48が作製できる。GaPは比誘電率8.4を持つ強い非線形性光学材料である。比誘電率は他の物質と比較して大きい。一方、SiO2は比誘電率(約2.1)を持ち、非線形性は小さい。この2種類の材料の誘電率の差は大きく、そのためフォトニックバンド構造が現れる。
【0031】
真空蒸着を行うと各層とも完全な単結晶にはならず多結晶状態となるがコラムナーの方向は大まかに揃う。従ってマクロな結晶方位は単結晶ほど明確ではないが、現れてくる。この真空蒸着を交互に10回ずつ繰り返し、約20ミクロンの厚さの1次元フォトニック結晶48を作製する。
【0032】
次に動作を説明する。まず、波長可変レーザ41からレーザ光(波長λ)を出射する。このレーザ光は、反射部材42で分岐され、それぞれ反射部材43〜45及び46〜47を介して1次元フォトニック結晶48の両側に到達し、ある角度θで照射される。本例では、フォトニック結晶48の上面からは角度θ1で、下面からは角度θ2でレーザ光が照射される。
【0033】
ここで、波長可変レーザ41から出射されるレーザ光の波長を変えていくと、ある波長λのところでch/(λ/2)−Δのエネルギーを持つ光とエネルギーΔを持つ長波長の光が観測される。この光を分光すると、長波長側にテラヘルツ光等の電磁波が発生していることが分かる。
【0034】
この時発生するテラヘルツ光のエネルギーE(K4)は
E(K4)=E(K1)+E(K2)−E(K3)
となり、この関係はエネルギーの保存則より厳密に成立するので、E(K3)の光を観測することで出射された長波長側の波長(又は振動数)を正確に知ることが出来る。
本実施例では入射光の波長は1.1μmであり、それにより発生する光は約1/2の0.55μmの波長の光と0.3mmの長波長の光(電磁波)である。それぞれの光は発生する方向とエネルギーが大きく異なるため、分離は容易である。
【0035】
(実施例2)
図5は、本発明に係る光又は電磁波の発生装置の他の実施例を示す図である。本実施例は、図示のように、レーザ光源51と、分岐部材52及び反射部材53〜56と、フォトニック結晶57とを備える。ここで、レーザ光源51は、例えば、波長1.3μm(1.05eV)の半導体レーザを用いることができる。また、分岐部材52は例えばハーフミラーであり、反射部材53〜56は例えばミラーである。本実施例では、レーザ光源51、分岐部材52及び反射部材53〜56が、光又は電磁波入射装置を構成する。
【0036】
次に、フォトニック結晶57の作製方法を説明する。まず、非線形光学効果を持つインジウムリンInP基板を厚さ0.5μmに加工し、電子線ビームを用いてストライプ構造を形成する(第48回応用物理学関係連合講演会、講演予稿集(2001年3月、29p−ZH−7)。これを積層してフォトニック結晶構造を得る。具体的には、基板として2インチのInP基板を用いた。MOCVD法によりこのInP基板上にInGaAsとInPをこの順序に堆積する。犠牲層のInGaAsは0.8μm堆積した。又InP層は0.5μm堆積した。次にレジストを塗布し、電子線描画装置により、レジストのストライプ状パターンを形成する。ストライプの幅は0.5μm、ストライプ間の周期は1μmとした。続いて、ICP(誘導結合プラズマ)法により、InPおよびInGaAs層を同時にエッチングする。InGaAs層を犠牲層としてエッチング除去し、エアブリッジ構造を作成する。その後、宙に浮いた0.5μmのInP層をマイクロマニュピレーション法により取り外す。このInP層を一層ずつ積層する事により、3次元フォトニック結晶を作製することができる。図6は、このInP層を2層積層した状態の一例を示す図である。本例では、InP層61上にInP層62が直角に交叉して積層される。
【0037】
犠牲層をエッチング除去するためエッチング液として硫酸系エッチャントを用いた。積層は100回行い、約50μmの厚みの3次元フォトニック結晶57を作製する。フォトニック結晶57の1辺の長さは2mmとした。
【0038】
次に動作を説明する。まず、図5のレーザ光源(半導体レーザ)51から波長1.3μm(1.05eV)のレーザ光を出射する。このレーザ光は、反射部材52で分岐され、それぞれ反射部材53〜55及び56を介して3次元フォトニック結晶57の前後に照射される。この時、約2eVに対応したエネルギー準位のフォトニックバンドが励起されるため、入射光の約2倍のエネルギーを持つ光(2ω0−Δ)と、
E(K4)=E(K1)+E(K2)−E(K3)
を満足する長波長の電磁波であるテラヘルツ光(Δ)が発生する。この場合も、それぞれの光は発生する方向やエネルギーが大きく異なるため、分離は容易である。
【0039】
このように、本発明では、フォトニック結晶の非線形効果の増幅作用により、2種類の入射光ω1、ω2を、別の波長を持った2種の光又は電磁波ω3、ω4に効率よく分解することができる。通常この種の実験はフォノンによる光散乱の影響を抑えるため、低温で実施することが多いが、フォトニック結晶では一義的にはフォノンは存在しないので、常温においても、増強効果が顕著に現れるという特徴がある。
【0040】
【発明の効果】
本発明によれば、テラヘルツ光等の電磁波を効率よく発生させることができる光又は電磁波の発生方法及び発生装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)、(b)はそれぞれフォトニック結晶の例を示す図である。
【図2】フォトニック結晶のバンド構造の一例を示す図である。
【図3】非線形フォトニック結晶における波数ベクトルの保存則を説明するための図である。
【図4】本発明に係る光又は電磁波の発生装置の一実施例を示す図である。
【図5】本発明に係る光又は電磁波の発生装置の他の実施例を示す図である。
【図6】InP層を2層積層した状態の一例を示す図である。
【符号の説明】
41 波長可変レーザ
42〜47 反射部材
48 フォトニック結晶[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to light or electromagnetic wave generation methods and generators capable of generating electromagnetic waves such as terahertz light.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, there has been no effective coherent light source so far, particularly for light in the terahertz region (submillimeter wave). If light (submillimeter wave) in the terahertz region can be easily generated, it can be used as a new optical component and a special light source for an inspection apparatus. Terahertz light is safer than X-rays and ultraviolet rays, and can be applied to medical diagnosis and the like. Thus, terahertz light is expected to be widely used in various industries as a safety light source to replace X-rays, and it is considered that a new application field is developed. However, until now, coherent light in this wavelength region could not be generated easily.
[0003]
Here, an electromagnetic wave having a frequency of 1 to 10 THz is referred to as a terahertz electromagnetic wave or terahertz light. This frequency region corresponds to a wavelength of 30 to 300 microns. It is difficult to generate a coherent electromagnetic wave in this region, and it is desired to realize a high-quality light source (electromagnetic wave source) that can easily oscillate.
[0004]
As already described, the light source in the terahertz region is expected to be applied to the medical field as a new safety light source that replaces X-rays. Researches such as skin condition observation and dental tomographic diagnosis are being conducted by irradiating terahertz light. In addition, many applications are considered such as concrete fault diagnosis, visualization of banknote watermarks, moisture content measurement of packaged foods, and internal fluoroscopy of floppy disks.
[0005]
As a device for generating an electromagnetic wave in this region, there has conventionally been a large-scale device using a free electron laser, but the scale is too large to be suitable for practical use. Research has also been conducted to generate terahertz light by using a carbon dioxide laser with a wavelength of 10.6 microns as an excitation light source, irradiating it with gas molecules, and using vibration and rotation levels of the gas molecules at that time. However, since the rotation and vibration levels of the gas are fixed, there is a problem that the wavelength variable region is narrow and the apparatus is too large, and it has not been put into practical use.
[0006]
Also, a method has been announced in which a parametric oscillator is configured using lithium niobate (LiNbO 3 ), which is a nonlinear optical element, and light in the THz region is extracted using an NdYAG laser as an excitation light source. When LiNbO 3 is irradiated with an NdYAG laser (1.06 μm), it is decomposed into light having a wavelength almost equal to excitation light called idler light and terahertz light in a specific direction. At this time, the K vector of the incident light and the K vector of the two emitted lights are stored (O plus E, Vol. 22, No. 1, p69 (January 2000)).
[0007]
Furthermore, a method for generating terahertz light using an optical switch has been studied. In this method, a minute metal dipole antenna is provided on a gallium arsenide substrate, and a DC bias voltage is applied to the antenna. At this time, when a femtosecond laser pulse is irradiated between the parallel lines of the antenna, an electron hole is generated. At this time, since an instantaneous current flows due to the generation of the electron hole, terahertz light that is dipole radiation is generated ( O plus E, Vol. 22, No. 1, p41 (January 2000)).
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the method of causing parametric oscillation by irradiating the LiNbO 3 with the above-described LiNbO 3 , it is necessary to use a large nonlinear optical single crystal in order to obtain high generation efficiency. There is a problem that it is difficult. Further, the method using the dipole antenna has a problem that the generation efficiency of terahertz light is low due to the pulse oscillation and the electron hole screening effect.
[0009]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a light or electromagnetic wave generation method and generator capable of efficiently generating an electromagnetic wave such as terahertz light.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The purpose of the present invention is to generate light or electromagnetic waves that generate a plurality of light or electromagnetic waves different from the incident light or electromagnetic waves by making light or electromagnetic waves incident on a photonic crystal having a nonlinear optical effect and a periodic dielectric constant distribution. This is achieved by the generation method. Here, light or electromagnetic waves can be incident on the photonic crystal from specific controlled directions (including the same direction and different directions). The incident light or electromagnetic wave can be laser light. Further, at least one of the plurality of light or electromagnetic waves generated corresponds to a state where the inclination of the photonic band of the photonic crystal is small or a region where the group velocity of light is very small compared to the velocity of light in vacuum. It can be. Furthermore, light having the same wavelength as one of a plurality of generated light or electromagnetic waves can be incident on the photonic crystal from a specific direction. One wavelength of the generated plurality of light or electromagnetic waves is, for example, in the range of 30 μm to 300 μm, and the frequency can be a so-called terahertz region.
In the method for generating light or electromagnetic waves according to the present invention, a plurality of light or electromagnetic waves different from the generated light or electromagnetic waves are generated by generating light or electromagnetic waves inside a photonic crystal having a nonlinear optical effect and a periodic permittivity distribution. It is also possible to generate light or electromagnetic waves.
[0011]
The light or electromagnetic wave generator according to the present invention includes a photonic crystal having a nonlinear optical effect and a periodic permittivity distribution, and light or electromagnetic waves from a specific direction (including the same direction and different directions) in the photonic crystal. And a light or electromagnetic wave incident device. Here, the light or electromagnetic wave incident device can include a laser device that emits laser light, and a branching member that branches the laser light and transmits it to the photonic crystal. In this case, the laser device can be a wavelength tunable laser.
By comprising in this way, electromagnetic waves, such as terahertz light, can be generated efficiently.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Before describing embodiments of the present invention, the principle of the present invention will be described first.
[0013]
FIGS. 1A and 1B are diagrams showing examples of photonic crystals. FIG. 4A shows a spherical
[0014]
A photonic crystal is an artificial medium that provides a periodic field of refractive index or dielectric constant, but the light placed in it is similar to that of an electron placed in a periodic Coulomb potential in the case of a semiconductor. Behave. That is, the characteristics of light can be described using the Brillouin zone.
[0015]
This will be described in more detail. Light is an electromagnetic wave, and it is well known to follow four equations related to Maxwell's electric field. Under the artificially created periodic dielectric constant photonic crystal, Maxwell's equation for the electric field can be written as: Note that r, a, k, and u in the following formulas and descriptions indicate vectors.
[1 / ε (r)] ∇ × [∇ × E (r)] = [ω 2 / c 2 ] E (r)
In this equation, the dielectric constant satisfies the periodicity ε (r) = ε (r + a). Here, a is a basic translation vector of the photonic crystal. A similar equation holds for the magnetic field.
[0016]
The above equation is invariant with respect to the translational symmetry operation, and it can be proved that the Bloch's theorem holds for the electric field vector E (r, t) [or magnetic field] of the light as well as the electron in the semiconductor (Phys. Rev. B52, 7982). (1995)).
Therefore, the state of light in the photonic crystal is the same as the state in the electron crystal,
E (r, t) = u nk (r) exp (ikr)
It is known that can be written. n represents a band. Here, u nk (r) satisfies the following relationship.
u nk (r) = u nk (r + a)
Here, a is the period of the dielectric constant of the photonic crystal and corresponds to the lattice constant of the photonic crystal.
[0017]
These indicate that a band structure appears for light or electromagnetic fields. In addition, an energy band where light cannot exist in a photonic crystal having a certain symmetry appears. This region where light cannot exist is called a photonic band gap.
[0018]
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a band structure of a photonic crystal. As can be seen from this figure, the light has a very large wave vector in the photonic crystal compared to when it is in a normal dielectric or vacuum.
Further, from the light band calculation, it can be seen that there is a region where the band is flat as shown by B in FIG. 2 in the photonic crystal. Reflecting this, the refractive index (n = ck / ω) increases in the energy region. It can also be seen that the group velocity of light corresponding to the band inclination dω / dk is significantly reduced.
[0019]
Next, the nonlinear effect of the photonic crystal will be described. Consider a case where the dielectric constant of a material constituting the photonic crystal having a periodic dielectric constant has nonlinearity. That is, assuming that the photonic crystal has a second-order nonlinear susceptibility χ (2) (r), the incident light (ω is the angular frequency of the light) is combined and the second harmonic of 2ω (SHG) Has also been studied (Phys., Rev. B, Vol. 54, p5732 (1996)).
[0020]
FIG. 3 is a diagram for explaining the conservation law of the wave vector in the nonlinear photonic crystal. In the present invention, two types of light having a specific direction (including the same direction and different directions) are introduced into the nonlinear photonic crystal, and the sum of the combined K vectors is made small as shown in the figure. think of. At this time, the energy of the two types of incident light may be different or the same. To simplify the explanation, consider laser beams with the same energy. Further, it is assumed that the incident light is in the first branch of the photonic band. At this time, for example, the incident laser light is incident from different directions. In this way, the combined K vector of the two laser beams can be reduced as described below.
[0021]
When incident laser beams are incident from different directions, the light beams are coupled to each other through the nonlinear susceptibility due to the nonlinear optical effect. The composite K vector is
K = K 1 (ω 0 ) + K 2 (ω 0 )
It is expressed.
Here, K 1 (ω 0 ) represents that the traveling direction of the laser light is K 1 , and the energy of the light at that time is (h / 2π) ω 0 (h is Planck's constant). Similarly, K 2 (ω 0 ) represents that the traveling direction of the laser beam is K 2 , and the light energy at that time is (h / 2π) ω 0 .
[0022]
Now, at this time, it can be seen that a nonlinear effect occurs and there exists a solution satisfying the following K vector and energy conservation.
K = K 3 (2ω 0 −Δ) + K 4 (Δ)
Assuming that Δ is smaller than ω 0 , K 3 (2ω 0 −Δ) has energy substantially equal to the second harmonic, and corresponds to the light in the photonic band B shown in FIG. Since this light has a gentle band inclination, its group velocity is very small compared to the speed of light in the vacuum at the same frequency, so that light having this K 3 (2ω 0 −Δ) is strong. It is thought to be excited. The enhancement effect due to the group velocity anomaly is one of the basic nonlinear optical characteristics in the photonic crystal.
[0023]
On the other hand, K 4 (Δ) is light that appears on the low energy side, and corresponds to the terahertz light in the present invention. In this way, terahertz light and other desired wavelength light can be obtained.
By changing the angle formed by the two incident lights, the value of the combined K vector can be selected. By changing the magnitude of the combined K vector, K 4 (Δ) that satisfies the conservation law of K vector and energy changes greatly. Therefore, since the angular frequency Δ can be freely selected, it goes without saying that this light is not limited to terahertz light.
[0024]
Further, when light having the same angular frequency as that of idler light is incident from the outside, the light has K 3 (2ω 0 −Δ) inside the photonic crystal. At this time, the probability of the stimulated scattering process of FIG. 3 is increased, and the spectrum of the light (electromagnetic wave) of K 4 (Δ) can be narrowed. That is, when light of K 3 (2ω 0 −Δ) is introduced from the outside, a stimulated scattering effect due to the light occurs, and the light mixing process is increased, so that not only the light of K 3 (2ω 0 −Δ) but also the signal Terahertz light, which is light, is also strongly observed.
[0025]
In the above description, it was assumed that a laser beam was incident from the outside of the photonic crystal. However, it is obvious that the same effect can be obtained even if the beam is generated inside the photonic crystal. That is, a structure capable of laser oscillation may be produced in a plurality of photonic crystals, and the light may be synthesized using them.
[0026]
As can be seen from the above description, the electromagnetic wave obtained by the present invention is not limited to terahertz light. That is, the present invention is used as a means for making two types of light incident on a photonic crystal, decomposing the incident light using its nonlinearity, and generating two types of light or electromagnetic waves having desired wavelengths different from the incident light. Because it can.
[0027]
This can be expressed in terms of energy as follows.
E (K 1 ) + E (K 2 ) = E (K 3 ) + E (K 4 )
Here, K 1 and K 2 are wave number vectors of incident light, K 3 and K 4 are wave number vectors of decomposed and emitted light (or electromagnetic waves), and E (Ki) is light having wave numbers Ki (or electromagnetic waves). ) Energy.
[0028]
As described above, by using the above-described method of irradiating the photonic crystal with light, the energy of light of two incident light beams can be efficiently decomposed into energy of two different lights.
Hereinafter, based on an Example, this invention is demonstrated concretely.
[0029]
(Example 1)
FIG. 4 is a diagram showing an embodiment of the light or electromagnetic wave generator according to the present invention. As shown in the figure, the present embodiment includes a
[0030]
The
[0031]
When vacuum deposition is performed, each layer does not become a complete single crystal but is in a polycrystalline state, but the columnar directions are roughly aligned. Therefore, the macroscopic crystal orientation appears although it is not as clear as the single crystal. This vacuum deposition is alternately repeated 10 times to produce a one-
[0032]
Next, the operation will be described. First, laser light (wavelength λ) is emitted from the
[0033]
Here, when the wavelength of the laser light emitted from the
[0034]
The energy E (K 4 ) of the terahertz light generated at this time is E (K 4 ) = E (K 1 ) + E (K 2 ) −E (K 3 )
Since this relationship is strictly established from the conservation law of energy, the wavelength (or frequency) on the long wavelength side emitted can be accurately known by observing the light of E (K 3 ).
In this embodiment, the wavelength of incident light is 1.1 μm, and the light generated thereby is approximately ½ of 0.55 μm wavelength light and 0.3 mm long wavelength light (electromagnetic wave). Separation is easy because each light has a significantly different direction and energy.
[0035]
(Example 2)
FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the light or electromagnetic wave generator according to the present invention. As shown in the figure, the present embodiment includes a laser light source 51, a branching
[0036]
Next, a method for producing the photonic crystal 57 will be described. First, an indium phosphide InP substrate having a nonlinear optical effect is processed to a thickness of 0.5 μm, and a stripe structure is formed using an electron beam (The 48th Applied Physics Related Conference, Proceedings of Proceedings (2001) (March, 29p-ZH-7) These layers are stacked to obtain a photonic crystal structure, specifically, a 2-inch InP substrate is used as a substrate, and InGaAs and InP are deposited on the InP substrate by MOCVD. The sacrificial layer of InGaAs is deposited in a thickness of 0.8 μm, the InP layer is deposited in a thickness of 0.5 μm, a resist is applied, and a stripe pattern of the resist is formed by an electron beam lithography system. The width between the stripes was 0.5 μm and the period between the stripes was 1 μm, and then the InP and InGaAs layers were formed by ICP (inductively coupled plasma) method. Etching at the same time Etching and removing the InGaAs layer as a sacrificial layer to create an air bridge structure, and then removing the 0.5 μm InP layer suspended in the air by the micromanipulation method. A three-dimensional photonic crystal can be fabricated, and is a diagram showing an example of a state in which two InP layers are stacked, in which an
[0037]
In order to remove the sacrificial layer by etching, a sulfuric acid-based etchant was used as an etchant. Lamination is performed 100 times to produce a three-dimensional photonic crystal 57 having a thickness of about 50 μm. The length of one side of the photonic crystal 57 was 2 mm.
[0038]
Next, the operation will be described. First, laser light having a wavelength of 1.3 μm (1.05 eV) is emitted from the laser light source (semiconductor laser) 51 of FIG. This laser beam is branched by the reflecting
E (K 4 ) = E (K 1 ) + E (K 2 ) −E (K 3 )
Terahertz light (Δ), which is a long-wavelength electromagnetic wave satisfying the above, is generated. Also in this case, since the direction and energy in which each light is generated are greatly different, the separation is easy.
[0039]
As described above, in the present invention, the two types of incident light ω1 and ω2 are efficiently decomposed into two types of light having two different wavelengths or electromagnetic waves ω3 and ω4 by amplifying the nonlinear effect of the photonic crystal. Can do. Usually, this type of experiment is often performed at a low temperature in order to suppress the influence of light scattering by phonons. However, since phonons do not exist uniquely in photonic crystals, the enhancement effect is noticeable even at room temperature. There are features.
[0040]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the generation method and generator of light or electromagnetic waves which can generate | occur | produce efficiently electromagnetic waves, such as terahertz light, can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIGS. 1A and 1B are diagrams showing examples of photonic crystals, respectively.
FIG. 2 is a diagram showing an example of a band structure of a photonic crystal.
FIG. 3 is a diagram for explaining a conservation law of a wave vector in a nonlinear photonic crystal.
FIG. 4 is a diagram showing an embodiment of a light or electromagnetic wave generator according to the present invention.
FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the light or electromagnetic wave generator according to the present invention.
FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a state in which two InP layers are stacked.
[Explanation of symbols]
41
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