JP4193770B2 - 液滴付与方法、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液滴付与方法、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法に関する。

インクジェット装置を用いて、画素（色要素）になるべき多数の区画が形成された基体上の各区画にインク等の液状材料を付与する方法が知られている。例えば、インクジェット装置を用いてカラーフィルタ基板のフィルタエレメントや、マトリクス型表示装置においてマトリクス状に配置された発光部を形成する方法が知られている。
このような方法においては、各画素内の隅々までインクを濡れ広がらせる必要があるので、一つの画素に対し複数滴のインクを付着させることがある。その際にインクを濡れ広がりやすくするための方法として、下記特許文献１には、先に付着した第１インクが液状で存在する間に第２のインクを付着させ、第１のインクと第２のインクとを互いに液状で混和させる方法が開示されている。
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、先に付着している第１のインクに、第２のインクが衝突したときの衝撃で、インクが飛散して隣の異なる色の画素へ入ってしまい易く、混色を生じるという問題がある。

特開２００１−１３３６２２号公報

本発明の目的は、混色や色抜けのない高品質な色要素付き基板を高い生産効率で製造することができる液滴付与方法、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴付与方法は、色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させつつ、色要素形成用の液状材料を前記ノズルから液滴として吐出して前記区画へ付与する液滴付与方法であって、
前記区画に着弾した先発の液滴が乾かないうちに当該区画へさらに１滴または複数滴の後発の液滴を複数回吐出するに際し、前記後発の液滴の各回ごとの総量を前記先発の液滴の総量より少なくし、かつ前記先発の液滴と前記後発の液滴とを少なくとも１つの共通のノズルから吐出することを特徴とする。
これにより、色要素になるべき区画に対し、色要素を形成するために必要な量の液状材料を少ない走査回数で迅速かつ確実に付与することができ、また、付与した液状材料を区画の隅々まで余すところなく、かつ均一に濡れ広がらせる（行き渡らせる）ことができるので、色抜けの発生を確実に防止することができる。また、後発の液滴が着弾した際の液状材料の飛散を抑制することができ、飛沫が隣の区画まで到達するのを有効に防止することができるので、混色の発生を確実に防止することができる。このようなことから、高品質の色要素付き基板を高い生産効率で製造することができる。

本発明の液滴付与方法では、前記各区画に対し、前記先発の液滴を一つの前記ノズルから１滴吐出し、当該先発の液滴を吐出したノズルと同じノズルから前記後発の液滴を１滴ずつ複数回吐出することが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記各区画に対し、前記先発の液滴を二つの前記ノズルから同時に１滴ずつ吐出し、当該先発の液滴を吐出したノズルと同じ二つのノズルから前記後発の液滴を同時に１滴ずつ複数回吐出することが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記先発の液滴は、一つの前記区画につき複数の前記ノズルから同時に吐出し、当該区画への前記後発の液滴は、前記先発の液滴のときより少ない数のノズルから吐出することが好ましい。
これにより、後発の液滴が着弾した際に液状材料が隣の区画まで飛散するのをより確実に防止することができ、混色の発生をより確実に防止することができる。
本発明の液滴付与方法では、前記各区画に対し、前記先発の液滴を二つの前記ノズルから同時に１滴ずつ吐出し、当該先発の液滴を吐出したノズルと同じ二つのノズルから交互に前記後発の液滴を１滴ずつ複数回吐出することが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記後発の液滴の１滴の量を前記先発の液滴の１滴の量と同じにすることが好ましい。

本発明の液滴付与方法では、前記後発の液滴の１滴の量を前記先発の液滴の１滴の量より少なくすることが好ましい。
これにより、後発の液滴が着弾した際に液状材料が隣の区画まで飛散するのをより確実に防止することができ、混色の発生をより確実に防止することができる。
本発明の液滴付与方法では、前記液滴吐出手段は、前記ノズルに連通するキャビティと、該キャビティ内に充填された液状材料の圧力を変化させる駆動素子とを有するものであり、
前記駆動素子へ印加する駆動電圧波形を変化させることにより、吐出する液滴の１滴の量を調整することが好ましい。
これにより、１滴の液滴の量をより精確に調整することができる。

本発明の液滴付与方法では、前記各区画は、それぞれ、長尺状をなすものであり、
前記各区画に前記先発の液滴および前記後発の液滴が着弾してなる複数のドットは、前記区画の長手方向に沿って順に並ぶことが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記複数のドットのうちの前記先発の液滴が着弾してなるドットは、前記区画の長手方向に位置する両端部のうちの一方の端部に最も近い位置にあることが好ましい。

本発明の液滴付与方法では、前記後発の液滴の各回ごとの総量を前記先発の液滴の総量の３０〜７０％とすることが好ましい。
これにより、後発の液滴が着弾した際に液状材料が隣の区画まで飛散するのをより確実に防止することができ、混色の発生をより確実に防止することができるとともに、生産効率のさらなる向上が図れる。

本発明の液滴付与方法では、前記後発の液滴の飛行速度を前記先発の液滴の飛行速度より遅くすることが好ましい。
これにより、後発の液滴が着弾した際に液状材料が隣の区画まで飛散するのをより確実に防止することができ、混色の発生をより確実に防止することができる。
本発明の液滴付与方法では、液滴の着弾位置が当該区画へ前回に吐出された液滴の着弾位置と異なるようにして液滴を吐出することが好ましい。
これにより、付与した液状材料をより確実に区画の隅々まで余すところなく、かつより均一に濡れ広がらせることができる。
本発明の液滴付与方法では、液滴が着弾してなるドットが当該区画へ前回吐出された液滴が着弾してなるドットにつながるような間隔で液滴を吐出することが好ましい。
これにより、付与した液状材料をより確実に区画の隅々まで余すところなく、かつより均一に濡れ広がらせることができる。

本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段と、
色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、前記液滴吐出手段とを相対的に移動させる移動手段と、
前記液滴吐出手段および前記移動手段の作動を制御する制御手段とを備え、
前記液滴吐出手段と前記基体とを相対的に移動させつつ、色要素形成用の液状材料を前記ノズルから液滴として吐出して前記区画に付与する液滴吐出装置であって、
前記区画に着弾した先発の液滴が乾かないうちに当該区画へさらに１滴または複数滴の後発の液滴を複数回吐出するに際し、前記後発の液滴の各回ごとの総量が前記先発の液滴の総量より少なくなり、かつ前記先発の液滴と前記後発の液滴とを少なくとも１つの共通のノズルから吐出することを特徴とする。

これにより、色要素になるべき区画に対し、色要素を形成するために必要な量の液状材料を少ない走査回数で迅速かつ確実に付与することができ、また、付与した液状材料を区画の隅々まで余すところなく、かつ均一に濡れ広がらせる（行き渡らせる）ことができるので、色抜けの発生を確実に防止することができる。また、後発の液滴が着弾した際の液状材料の飛散を抑制することができ、飛沫が隣の区画まで到達するのを有効に防止することができるので、混色の発生を確実に防止することができる。このようなことから、高品質の色要素付き基板を高い生産効率で製造することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴付与方法を用いて基体上の複数の区画に色要素を形成して色要素付き基板を製造する工程を有することを特徴とする。
これにより、高品質の色要素付き基板を備えた電気光学装置を高い生産効率で製造することができる。

以下、本発明の液滴付与方法、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜液滴吐出装置の第１実施形態＞
（液滴吐出装置の全体構成）
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、液状材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、チューブ１１０を介してタンク１０１から液状材料１１１が供給される吐出走査部１０２と、を備える。吐出走査部１０２は、複数の液滴吐出ヘッド１１４をキャリッジ１０５に搭載してなる液滴吐出手段１０３と、液滴吐出手段１０３の位置を制御する第１位置制御装置１０４（移動手段）と、後述する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御装置１０８（移動手段）と、制御手段１１２とを備えている。タンク１０１と、液滴吐出手段１０３における複数の液滴吐出ヘッド１１４とは、チューブ１１０で連結されており、タンク１０１から複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれに液状材料１１１が圧縮空気によって供給される。

第１位置制御装置１０４は、制御手段１１２からの信号に応じて、液滴吐出手段１０３をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで液滴吐出手段１０３を回転させる機能も有する。本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。第２位置制御装置１０８は、制御手段１１２からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させる。さらに、第２位置制御装置１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有する。

ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、液状材料１１１を塗布すべき区画を有する基体をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
上述のように、液滴吐出手段１０３は、第１位置制御装置１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、第２位置制御装置１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対する液滴吐出ヘッド１１４の相対位置が変わる。
制御手段１１２は、液状材料１１１を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。

（液滴吐出手段）
図２は、液滴吐出手段１０３をステージ１０６側から観察した図である。図２に示すように、液滴吐出手段１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数の液滴吐出ヘッド１１４と、これらの液滴吐出ヘッド１１４を保持するキャリッジ１０５とを有している。本実施形態では、液滴吐出手段１０３に保持される液滴吐出ヘッド１１４の数は８個である。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、後述する複数のノズル１１８が設けられた底面を有している。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４のこの底面の形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する多角形である。液滴吐出手段１０３に保持された液滴吐出ヘッド１１４の底面はステージ１０６側を向いており、さらに、液滴吐出ヘッド１１４の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とに平行である。

（液滴吐出ヘッド）
図３は、液滴吐出ヘッド１１４の底面を示す。液滴吐出ヘッド１１４は、Ｘ軸方向に並んだ複数のノズル１１８を有する。これら複数のノズル１１８は、液滴吐出ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰが約７０μｍとなるように配置されている。ここで、「液滴吐出ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰ」は、液滴吐出ヘッド１１４におけるノズル１１８のすべてをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。

本実施形態では、液滴吐出ヘッド１１４における複数のノズル１１８は、ともにＸ軸方向に延びるノズル列１１６Ａと、ノズル列１１６Ｂとをなす。ノズル列１１６Ａと、ノズル列１１６Ｂとは、間隔を空けて並行に配置されている。そして、ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれにおいて、９０個のノズル１１８が一定間隔でＸ軸方向に一列に並んでいる。本実施形態では、この一定間隔は約１４０μｍである。つまり、ノズル列１１６ＡのノズルピッチＬＮＰおよびノズル列１１６ＢのノズルピッチＬＮＰは、ともに約１４０μｍである。

ノズル列１１６Ｂの位置は、ノズル列１１６Ａの位置に対して、ノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）だけＸ軸方向の正の方向（図３の右方向）にずれている。このため、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰは、ノズル列１１６Ａ（またはノズル列１１６Ｂ）のノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）である。
したがって、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズル線密度は、ノズル列１１６Ａ（またはノズル列１１６Ｂ）のノズル線密度の２倍である。なお、本明細書において「Ｘ軸方向のノズル線密度」とは、複数のノズルをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像の単位長さ当たりの数に相当する。

もちろん、液滴吐出ヘッド１１４が含むノズル列の数は、２つだけに限定されない。液滴吐出ヘッド１１４はＭ個のノズル列を含んでもよい。ここで、Ｍは１以上の自然数である。この場合には、Ｍ個のノズル列のそれぞれにおいて複数のノズル１１８は、ノズルピッチＨＸＰのＭ倍の長さのピッチで並ぶ。さらに、Ｍが２以上の自然数の場合には、Ｍ個のノズル列のうちの一つに対して、他の（Ｍ−１）個のノズル列は、ノズルピッチＨＸＰのｉ倍の長さだけ重複無くＸ軸方向にずれている。ここで、ｉは１から（Ｍ−１）までの自然数である。

さて、ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれが９０個のノズル１１８からなるため、１つの液滴吐出ヘッド１１４は１８０個のノズル１１８を有する。ただし、ノズル列１１６Ａの両端のそれぞれ５ノズルは「休止ノズル」として設定されている。同様に、ノズル列１１６Ｂの両端のそれぞれ５ノズルも「休止ノズル」として設定されている。そして、これら２０個の「休止ノズル」からは液状材料１１１が吐出されない。このため、液滴吐出ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、１６０個のノズル１１８が液状材料１１１を吐出するノズルとして機能する。

図２に示すように、液滴吐出手段１０３においては、複数個の上記液滴吐出ヘッド１１４がＸ軸方向に沿って２列に配置されている。一方の列の液滴吐出ヘッド１１４と他方の列の液滴吐出ヘッド１１４とは、休止ノズル分を考慮して、Ｙ軸方向から見て一部重なるように配置されている。これにより、液滴吐出手段１０３においては、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さに渡り、液状材料１１１を吐出するノズル１１８が前記ノズルピッチＨＸＰでＸ軸方向に連続するように構成されている。
本実施形態の液滴吐出手段１０３では、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さ全体をカバーするように液滴吐出ヘッド１１４を配置しているが、本発明における液滴吐出手段は、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さの一部をカバーするようなものでもよい。

図４（ａ）および（ｂ）に示すように、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、を備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。

また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。

ここで、本明細書において「液状材料」とは、ノズルから吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。ノズルから吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。
制御手段１１２（図１）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル１１８から吐出される材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル１１８毎に制御されてもよい。そのような場合には、ノズル１１８のそれぞれから吐出される材料１１１の体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変にしてもよい。また、制御手段１１２は、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル１１８と、吐出動作を行わないノズル１１８と、を設定することもできる。

本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４と、を含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの液滴吐出ヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、駆動素子として、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。

なお、本発明では、液滴吐出手段１０３におけるノズルピッチＨＸＰは、上記の大きさに限らず、いかなる大きさであってもよい。
さらに、液滴吐出手段１０３は、図２に示す構成以外に、複数の液滴吐出ヘッド１１４がＹ軸方向に重ねて配置した構成としてもよい。その場合、液滴吐出手段１０３全体としてのＸ軸方向のノズルピッチ（ノズル線密度）をさらに短くすることができるので、より高精細に液滴を付与することができる。

（制御手段）
次に、制御手段１１２の構成を説明する。図５に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えている。バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。

入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から液状材料１１１の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。吐出データは、基体上のすべての区画の相対位置を表すデータと、すべての区画に液状材料１１１を所望の厚さにまで塗布するのに必要となる相対走査の回数を示すデータと、オンノズル１１８Ａとして機能するノズル１１８を指定するデータと、オフノズル１１８Ｂとして機能するノズル１１８を指定するデータと、を含む。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。図５では、記憶手段２０２はＲＡＭである。

処理部２０４は、記憶手段２０２内の吐出データに基づいて、区画に対するノズル１１８の相対位置を示すデータを走査駆動部２０６に与える。走査駆動部２０６はこのデータと、後述する吐出周期ＥＰ（図６）と、に応じた駆動信号を第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８に与える。この結果、区画に対して液滴吐出ヘッド１１４が相対走査する。一方、処理部２０４は、記憶手段２０２に記憶された吐出データと、吐出周期ＥＰと、に基づいて、吐出タイミング毎のノズル１１８のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、液状材料１１１の吐出に必要な吐出信号ＥＳを液滴吐出ヘッド１１４に与える。この結果、液滴吐出ヘッド１１４における対応するノズル１１８から、液状材料１１１が液滴として吐出される。

制御手段１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
次に制御手段１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。
図６（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳと、を有する。図６（ｂ）に示すように、駆動信号生成部２０３は駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル１１８から１つの液滴を吐出するために、対応する振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、吐出部１２７のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数と吐出部１２７の数（つまりノズル１１８の数）とは同じである。

処理部２０４は、ノズル１１８のオン・オフを表す選択信号ＳＣを、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳを供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル１１８から液状材料１１１が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。

図６（ｂ）に示す例では、２つの吐出信号ＥＳのそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル１１８のそれぞれから、周期２ＥＰで液状材料１１１が吐出される。また、これら２つのノズル１１８に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル１１８からほぼ同じタイミングで液状材料１１１が吐出される。
以上の構成によって、液滴吐出装置１００は、制御手段１１２に与えられた吐出データに応じて、液状材料１１１を基体１０Ａに付与する吐出走査を行う。

＜液滴付与方法の実施形態＞
本発明の液滴付与方法は、上述したような液滴吐出装置１００を用いて実施される。以下、図７ないし図１０を参照しつつ、本発明の液滴付与方法の実施形態について説明する。
なお、以下の説明では、液晶表示装置に用いるカラーフィルタ基板を製造する場合を想定しているが、後述するように、本発明は、カラーフィルタ基板以外の各種の電気光学装置の製造に適用することができる。

図７に示すように、基体１０Ａ上には、色要素（画素）となるべき複数の細長い区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが、ブラックマトリクス１４およびバンク１６に囲まれて形成されている。区画１８Ｒは、Ｒ（赤）の色要素になるべき領域であり、区画１８Ｇは、Ｇ（緑）の色要素になるべき領域であり、区画１８Ｂは、Ｂ（青）の色要素になるべき領域である。

各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、ほぼ長方形をなしており、その長軸方向（長手方向）がＹ軸方向に平行であり、その短軸方向がＸ軸方向に平行になっている。
並設された一組の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、カラーフィルタ基板の一画素分に相当する。基体１０Ａ上には、多数組の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが行列状に並べて形成されている。すなわち、この基体１０Ａは、ストライプ配列のカラーフィルタ基板を製造するためのものである。

液滴吐出装置１００は、第２位置制御装置１０８を作動させることにより基体１０Ａと液滴吐出手段１０３とをＹ軸方向に相対的に移動させつつ、色要素形成用の液状材料１１１をノズル１１８から液滴として吐出して基体１０Ａ上の区画に付与する動作（本明細書ではこの動作を「吐出走査」と言う）を１回または複数回行う。
吐出走査においては、原則として、液滴吐出手段１０３が基体１０Ａ上を端から端まで相対的に通過するように両者をＹ軸方向に相対的に移動させる。
なお、以下の説明では、区画１８Ｒについて液滴を付与する場合について代表して説明するが、区画１８Ｇ、区画１８Ｂにも同様に液滴を付与することができる。また、図面では一つの区画１８Ｒのみを示すが、１回の吐出走査において液滴吐出ヘッド１１４の下を通過する全部の区画１８Ｒについて同様に液滴が付与することができる。

本発明の液滴付与方法では、区画１８Ｒに対し、液状材料１１１の先発の液滴をノズル１１８から吐出する。先発の液滴は、１滴でも複数滴でもよい。その後、区画１８Ｒに着弾した先発の液滴（液状材料１１１）が乾かないうち（液状であるうち）に、同じ区画１８Ｒへさらに後発の液滴を１回または複数回吐出する。各回の後発の液滴は、１滴でも複数滴でもよい。

本発明では、一つの区画１８Ｒにつき、複数の液滴を付与し、それらの液滴同士が液状のままで合体するので、区画１８Ｒの隅々まで液状材料１１１を均一に濡れ広がらせることができる。よって、色抜けが発生するのを確実に防止することができる。
また、本発明は、後発の液滴の各回ごとの総量を先発の液滴の総量より少なくすることを特徴とする。これにより、次のような利点がある。

後発の液滴が着弾する際には、先発の液滴（液状材料１１１）が既に付着しているので、後発の液滴が着弾する際の衝撃が強いと、付着していた先発の液滴、すなわち赤色の液状材料１１１が飛沫となって飛び跳ね、隣の、緑の区画１８Ｇや青の区画１８Ｂに入ってしまうことがある。すると、混色して色が変わってしまい、品質の低下をもたらす。
これに対し、本発明では、後発の液滴を小さく（量を少なく）したことにより、後発の液滴が着弾したとき衝撃を弱くすることができるので、先に付着していた先発の液滴（液状材料１１１）が飛沫となって飛び跳ねるのが抑制され、仮に飛び跳ねた場合であっても隣の区画１８Ｇ、１８Ｂまで到達するのを有効に防止することができる。よって、上記のような混色の発生を有効に防止することができる。

また、先発の液滴の量は比較的多くするので、必要な量の液状材料１１１を区画１８Ｒに付与するのに要する液滴数を少なくすることができ、迅速に画素を形成することができるので、生産効率の向上が図れる。
これに対し、本発明と異なり、先発、後発の区別無しにすべての液滴の大きさを小さくしたとすると、混色は防止できるものの、必要な量の液状材料１１１を区画１８Ｒに付与するのに要する液滴数が増加してしまい、生産効率が低下する。
本発明では、混色防止効果と生産効率向上効果とを高いレベルでバランスする観点からは、後発の液滴の各回ごとの総量を先発の液滴の総量の３０〜７０％とするのが好ましい。

以下、図面を参照しつつ、より具体的に説明する。
図７および図８は、本発明の液滴付与方法の第１実施形態を説明するための図である。
図７および図８に示す第１実施形態では、先発の液滴５１は、一つのノズル１１８から１滴吐出される。その後、同じノズル１１８から、後発の液滴を１滴ずつ４回吐出する。すなわち、符号５２が１回目の後発の液滴、符号５３が２回目、符号５４が３回目、符号５５が４回目である。図７に示すように、後発の液滴５２、５３、５４、５５の１滴の量は、先発の液滴５１の１滴の量より少なくなるように調整される。

ノズル１１８から吐出する液滴の１滴の量は、振動子１２４へ印加する駆動電圧波形（図６参照）の形状を変化させることによって調整することができる。
図示の例では、後発の液滴５２、５３、５４、５５の１滴の量は、互いに同じ量になっているが、互いに異なっていてもよく、各々の量が先発の液滴５１より少なくなっていればよい。

また、本発明では、後発の液滴５２、５３、５４、５５の飛行速度（吐出速度）を先発の液滴５１の飛行速度（吐出速度）より遅くするのが好ましい。これにより、後発の液滴５２、５３、５４、５５の着弾時の衝撃をさらに弱くすることができるので、液状材料１１１の飛散をより確実に防止することができる。なお、液滴の飛行速度は、振動子１２４へ印加する駆動電圧波形の形状を変化させることによって調整することができる。

また、本実施形態では、１回の吐出走査中において、基体１０Ａとノズル１１８とがＹ軸方向に相対的に移動しながら、先発の液滴５１および後発の液滴５２、５３、５４、５５を順次ノズル１１８から吐出する。これにより、図８に示すように、先発の液滴５１および後発の液滴５２、５３、５４、５５の着弾位置を少しずつずらすことができる。よって、液状材料１１１を区画１８Ｒの隅々までより均一に濡れ広がらせることができる。

また、先発の液滴５１および後発の液滴５２、５３、５４、５５が着弾してなる複数のドットは、走査方向であるＹ軸方向に沿って並ぶが、図８に示すように、これらのドットがつながる（連続する）ような間隔で液滴を付与するのが好ましい。
ここで、「液滴が着弾してなるドットがつながるような間隔」とは、各々の液滴が区画１８Ｒの底面に着弾してなるドットが他の液滴と合体することなく独立して存在したと仮定した場合にそれらがつながるような間隔のことを言う。

ノズル１１８から吐出された１滴の液状材料１１１が区画１８Ｒの底面に着弾してなるドットの直径は、１滴の液状材料１１１の体積や、区画１８Ｒの底面に対する液状材料１１１の接触角（濡れ性）によって変化するので、１滴の液状材料１１１が区画１８Ｒの底面に着弾してなるドットの直径の値を予め実験や理論計算によって調べておくことにより、「液滴が着弾してなるドットがつながるような間隔」で液滴を付与する制御を行うことができる。

なお、図８に示す先発の液滴５１および後発の液滴５２、５３、５４、５５が着弾してなる各ドットは、重なり合うように描かれているが、実際には当然のことながらこれらの複数の液滴同士は互いにくっつき合って一体となり、周囲に濡れ広がる。すなわち、図８は、本発明の液滴付与方法を理解し易いように模式的に描いたものであり、区画１８Ｒ内に付与された液状材料１１１の実際の濡れ広がり方を表すものではない（図９、図１０においても同様）。

なお、先発の液滴５１および後発の液滴５２、５３、５４、５５は、１回の吐出走査でそれらすべてを吐出しなくてもよく、先に付着した液状材料１１１が乾かないうちであれば、複数回の吐出走査に分けて吐出してもよい。
また、本発明では、区画１８Ｒへの液状材料１１１を付与するのと、付与した液状材料１１１を乾燥装置で乾燥（プリベーク）するのとを繰り返し行って、色要素材料を積層形成するようにしてもよい。その場合、本発明では、乾燥後に区画１８Ｒへ再度液状材料１１１の液滴を吐出する際、上述した先発の液滴、後発の液滴の関係は振り出しに戻って適用される。すなわち、乾燥後に区画１８Ｒへ最初に吐出される液滴が先発の液滴となる。

図９は、本発明の液滴付与方法の第２実施形態を説明するための図である。以下、同図に基づいて本発明の液滴付与方法の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
図９に示す第２実施形態では、一つの区画１８Ｒにつき二つのノズル１１８（以下、ノズル１１８ａ、１１８ｂと言う）から同時に１滴ずつ先発の液滴６１ａ、６１ｂを吐出する。その後、ノズル１１８ａ、１１８ｂから同時に１滴ずつ、後発の液滴を５回吐出する。すなわち、符号６２ａ、６２ｂが１回目の後発の液滴であり、符号６３ａ、６３ｂが２回目、符号６４ａ、６４ｂが３回目、符号６５ａ、６５ｂが４回目、符号６６ａ、６６ｂが５回目である。そして、後発の液滴６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂ、６５ａ、６５ｂ、６６ａ、６６ｂの１滴の量は、先発の液滴６１ａ、６１ｂの１滴の量より少なくなるように調整される。

また、前述した実施形態と同様に、各回の液滴は、それらの液滴が着弾してなるドットがつながるような間隔で液滴を付与される。
このような第２実施形態の液滴付与方法によれば、前記第１実施形態と同様の効果が得られる。
図１０は、本発明の液滴付与方法の第３実施形態を説明するための図である。以下、同図に基づいて本発明の液滴付与方法の第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。

図１０に示す第３実施形態では、一つの区画１８Ｒにつき二つのノズル１１８（以下、ノズル１１８ａ、１１８ｂと言う）から同時に１滴ずつ先発の液滴７１ａ、７１ｂを吐出する。その後、ノズル１１８ａ、１１８ｂから交互に１滴ずつ、後発の液滴を５回吐出する。すなわち、符号７２ａがノズル１１８ａから吐出された１回目の後発の液滴であり、符号７３ｂがノズル１１８ｂから吐出された２回目の後発の液滴であり、符号７４ａがノズル１１８ａから吐出された３回目の後発の液滴であり、符号７５ｂがノズル１１８ｂから吐出された４回目の後発の液滴であり、符号７６ａがノズル１１８ａから吐出された５回目の後発の液滴である。そして、後発の液滴７２ａ、７３ｂ、７４ａ、７５ｂ、７６ａの１滴の量は、先発の液滴７１ａ、７１ｂの１滴の量と同じとされる。

このように、先発の液滴は一つの区画につき複数のノズルから同時に吐出し、後発の液滴は先発の液滴のときより少ない数のノズルから吐出するようにすれば、後発の液滴の１滴の量が先発の液滴の１滴の量と同じであってもよい。
また、前述した実施形態と同様に、各回の液滴は、それらの液滴が着弾してなるドットがつながるような間隔で液滴を付与される。
このような第３実施形態の液滴付与方法によれば、前記第１実施形態と同様の効果が得られる。

＜液滴吐出装置の第２実施形態＞
次に、本発明をカラーフィルタ基板の製造に適用した例についてさらに詳細に説明する。
図１１（ａ）および（ｂ）に示す基体１０Ａは、後述する製造装置１（図１２）による処理を経て、カラーフィルタ基板１０となる基板である。基体１０Ａは、マトリクス状に配置された複数の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂを有する。

具体的には、基体１０Ａは、光透過性を有する支持基板１２と、支持基板１２上に形成されたブラックマトリクス１４と、ブラックマトリクス１４上に形成されたバンク１６と、を含む。ブラックマトリクス１４は遮光性を有する材料で形成されている。そして、ブラックマトリクス１４とブラックマトリクス１４上のバンク１６とは、支持基板１２上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の画素領域、が規定されるように位置している。

それぞれの画素領域において、支持基板１２、ブラックマトリクス１４、およびバンク１６で規定される凹部は、区画１８Ｒ、区画１８Ｇ、区画１８Ｂに対応する。区画１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＲが形成されるべき領域であり、区画１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＧが形成されるべき領域であり、区画１８Ｂは、青の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＢが形成されるべき領域である。

図１１（ｂ）に示す基体１０Ａは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。基体１０Ａにおいて、区画１８Ｒ、区画１８Ｇ、および区画１８Ｂは、Ｘ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、区画１８Ｒ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、また、区画１８Ｇ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、そして、区画１８Ｂ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。

区画１８Ｒ同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＲＹ、すなわちピッチは、ほぼ５６０μｍである。この間隔は、区画１８Ｇ同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＧＹと同じであり、区画１８Ｂ同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＢＹとも同じである。また、区画１８Ｒの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、区画１８ＲのＸ軸方向の長さはほぼ１００μｍであり、Ｙ軸方向の長さはほぼ３００μｍである。区画１８Ｇおよび区画１８Ｂも区画１８Ｒと同じ形状・大きさを有している。区画同士の上記間隔および区画の上記大きさは、４０インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。

図１２に示す製造装置１は、図１１の基体１０Ａの区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂのそれぞれに対して、対応するカラーフィルタ材料を吐出する装置である。具体的には、製造装置１は、前述した液滴付与方法によって区画１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒを付与する液滴吐出装置１００Ｒと、区画１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１１Ｒを乾燥させる乾燥装置１５０Ｒと、前述した液滴付与方法によって区画１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇを付与する液滴吐出装置１００Ｇと、区画１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１１Ｇを乾燥させる乾燥装置１５０Ｇと、前述した液滴付与方法によって区画１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂを付与する液滴吐出装置１００Ｂと、区画１８Ｂのカラーフィルタ材料１１１Ｂを乾燥させる乾燥装置１５０Ｂと、カラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを再度加熱（ポストベーク）するオーブン１６０と、ポストベークされたカラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの層の上に保護膜２０を設ける液滴吐出装置１００Ｃと、保護膜２０を乾燥させる乾燥装置１５０Ｃと、乾燥された保護膜２０を再度加熱して硬化する硬化装置１６５と、を備えている。さらに製造装置１は、液滴吐出装置１００Ｒ、乾燥装置１５０Ｒ、液滴吐出装置１００Ｇ、乾燥装置１５０Ｇ、液滴吐出装置１００Ｂ、乾燥装置１５０Ｂ、液滴吐出装置１００Ｃ、乾燥装置１５０Ｃ、硬化装置１６５の順番に基体１０Ａを搬送する搬送装置１７０も備えている。

図１３に示すように、液滴吐出装置１００Ｒの構成は、第１実施形態の液滴吐出装置１００の構成と基本的に同じである。ただし、タンク１０１とチューブ１１０とに代えて、液滴吐出装置１００Ｒが液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒ用のタンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとを備える点で、液滴吐出装置１００Ｒの構成は液滴吐出装置１００の構成と異なる。なお、液滴吐出装置１００Ｒの構成要素のうち、液滴吐出装置１００の構成要素と同様なものには第１実施形態と同じ参照符号を付して、重複する説明を省略する。

液滴吐出装置１００Ｇの構成と、液滴吐出装置１００Ｂの構成と、液滴吐出装置１００Ｃの構成とは、いずれも基本的に液滴吐出装置１００Ｒの構造と同じある。ただし、液滴吐出装置１００Ｒにおけるタンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置１００Ｇがカラーフィルタ材料１１１Ｇ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置１００Ｇの構成は液滴吐出装置１００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置１００Ｂがカラーフィルタ材料１１１Ｂ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置１００Ｂの構成は液滴吐出装置１００Ｒの構成と異なる。さらに、タンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置１００Ｃが保護膜材料用のタンクとチューブとを備える点で液滴吐出装置１００Ｃの構成は液滴吐出装置１００Ｒの構成と異なる。なお、本実施形態における液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂは、本発明の液状材料の一例である。

次に、液滴吐出装置１００Ｒの動作を説明する。液滴吐出装置１００Ｒは、基体１０Ａ上でマトリクス状に配置された複数の区画１８Ｒに同一の材料を吐出する。なお、第３実施形態において説明するように、基体１０Ａは、エレクトロルミネッセンス表示装置用の基板に置き換わってもよいし、さらには、プラズマ表示装置用の背面基板に置き換わってもよく、また、電子放出素子を備えた画像表示装置の基板に置き換わってもよい。

以下では、製造装置１によってカラーフィルタ基板１０が得られるまでの一連の工程を説明する。
まず、以下の手順にしたがって図１１の基体１０Ａを作成する。まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板１２上に金属薄膜を形成する。その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス１４を形成する。ブラックマトリクス１４の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。なお、支持基板１２は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。続いて、支持基板１２およびブラックマトリクス１４を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク１６が得られる。以上の工程によって、基体１０Ａが得られる。

なお、バンク１６に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。その場合は、金属薄膜（ブラックマトリクス１４）は不要となり、バンク層は、１層のみとなる。
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ａを親液化する。この処理によって、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６と、で規定されたそれぞれの凹部（画素領域の一部）における支持基板１２の表面と、ブラックマトリクス１４の表面と、バンク１６の表面と、が親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体１０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク１６の表面がフッ化処理（撥液性に処理）され、このことで、バンク１６の表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板１２の表面およびブラックマトリクス１４の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。このように、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂとなる。

なお、支持基板１２の材質、ブラックマトリクス１４の材質、およびバンク１６の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６と、によって規定された凹部の表面が区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂである。

区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成された基体１０Ａは、搬送装置１７０によって、液滴吐出装置１００Ｒのステージ１０６に運ばれる。そして、図１４（ａ）に示すように、液滴吐出装置１００Ｒは、区画１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４からカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する。具体的には、液滴吐出装置１００Ｒは、前述した液滴付与方法で区画１８Ｒにカラーフィルタ材料１１１Ｒを付与する。基体１０Ａの区画１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｒ内に位置させる。そして、区画１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１１Ｒを完全に乾燥させることで、区画１８Ｒ上にフィルタ層１１１ＦＲを得る。

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置１００Ｇのステージ１０６に位置させる。そして、図１４（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１００Ｇは、区画１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４からカラーフィルタ材料１１１Ｇを吐出する。具体的には、液滴吐出装置１００Ｇは、前述した液滴付与方法で区画１８Ｇにカラーフィルタ材料１１１Ｇを付与する。基体１０Ａの区画１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｇ内に位置させる。そして、区画１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１１Ｇを完全に乾燥させることで、区画１８Ｇ上にフィルタ層１１１ＦＧを得る。

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置１００Ｂのステージ１０６に位置させる。そして、図１４（ｃ）に示すように、液滴吐出装置１００Ｂは、区画１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４からカラーフィルタ材料１１１Ｂを吐出する。具体的には、液滴吐出装置１００Ｂは、前述した液滴付与方法で区画１８Ｂにカラーフィルタ材料１１１Ｂを付与する。基体１０Ａの区画１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｂ内に位置させる。そして、区画１８Ｂ上のカラーフィルタ材料１１１Ｂを完全に乾燥させることで、区画１８Ｂ上にフィルタ層１１１ＦＢを得る。

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを、オーブン１６０内に位置させる。その後、オーブン１６０はフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。
次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置１００Ｃのステージ１０６に位置させる。そして、液滴吐出装置１００Ｃは、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆って保護膜２０が形成されるように、液状の保護膜材料を吐出する。フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜２０が形成された後に、搬送装置１７０は基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｃ内に位置させる。そして、乾燥装置１５０Ｃが保護膜２０を完全に乾燥させた後に、硬化装置１６５が保護膜２０を加熱して完全に硬化することで、基体１０Ａはカラーフィルタ基板１０となる。

＜液滴吐出装置の第３実施形態＞
次に、本発明をエレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置に適用した例を説明する。
図１５（ａ）および（ｂ）に示す基体３０Ａは、後述する製造装置２（図１６）による処理によって、エレクトロルミネッセンス表示装置３０となる基板である。基体３０Ａは、マトリクス状に配置された複数の区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂを有する。

具体的には、基体３０Ａは、支持基板３２と、支持基板３２上に形成された回路素子層３４と、回路素子層３４上に形成された複数の画素電極３６と、複数の画素電極３６の間に形成されたバンク４０と、を有している。支持基板３２は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の画素電極３６のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）電極である。また、複数の画素電極３６は、回路素子層３４上にマトリクス状に配置されており、それぞれが画素領域を規定する。そして、バンク４０は、格子状の形状を有しており、複数の画素電極３６のそれぞれを囲む。また、バンク４０は、回路素子層３４上に形成された無機物バンク４０Ａと、無機物バンク４０Ａ上に位置する有機物バンク４０Ｂとからなる。

回路素子層３４は、支持基板３２上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜４２と、絶縁膜４２上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子４４と、複数のスイッチング素子４４を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜４５と、を有する層である。それぞれのスイッチング素子４４のゲート電極４４Ｇおよびソース電極４４Ｓは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。層間絶縁膜４５上には複数の画素電極３６が位置する。層間絶縁膜４５には、各スイッチング素子４４のドレイン電極４４Ｄに対応する部位にスルーホール４４Ｖが設けられており、このスルーホール４４Ｖを介して、スイッチング素子４４と、対応する画素電極３６と、の間の電気的接続が形成されている。また、バンク４０に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子４４が位置している。つまり、図１５（ｂ）の紙面に垂直な方向から観察すると、複数のスイッチング素子４４のそれぞれは、バンク４０に覆われるように位置している。

基体３０Ａの画素電極３６とバンク４０とで規定される凹部（画素領域の一部）は、区画３８Ｒ、区画３８Ｇ、区画３８Ｂに対応する。区画３８Ｒは、赤の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＲが形成されるべき領域であり、区画３８Ｇは、緑の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＧが形成されるべき領域であり、区画３８Ｂは、青の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＢが形成されるべき領域である。

図１５（ｂ）に示す基体３０Ａは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。基体３０Ａにおいて、区画３８Ｒ、区画３８Ｇ、および区画３８Ｂは、Ｘ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、区画３８Ｒ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、また、区画３８Ｇ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、同様に、区画３８Ｂ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。

区画３８Ｒ同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＲＹ、すなわちピッチは、ほぼ５６０μｍである。この間隔は、区画３８Ｇ同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＧＹと同じであり、区画１８Ｂ同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＢＹとも同じである。また、区画３８Ｒの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、区画３８ＲのＸ軸方向の長さはほぼ１００μｍであり、Ｙ軸方向の長さはほぼ３００μｍである。区画３８Ｇおよび区画３８Ｂも区画３８Ｒと同じ形状・大きさを有している。区画同士の上記間隔および区画の上記大きさは、４０インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。

図１６に示す製造装置２は、図１５の基体３０Ａの区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂのそれぞれに対して、対応する発光材料を吐出する装置である。製造装置２は、区画３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒを付与する液滴吐出装置２００Ｒと、区画３８Ｒ上の発光材料２１１Ｒを乾燥させる乾燥装置２５０Ｒと、区画３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇを付与する液滴吐出装置２００Ｇと、区画３８Ｇ上の発光材料２１１Ｇを乾燥させる乾燥装置２５０Ｇと、区画３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂを付与する液滴吐出装置２００Ｂと、区画３８Ｂ上の発光材料Ｂを乾燥させる乾燥装置２５０Ｂと、を備えている。さらに製造装置２は、液滴吐出装置２００Ｒ、乾燥装置２５０Ｒ、液滴吐出装置２００Ｇ、乾燥装置２５０Ｇ、液滴吐出装置２００Ｂ、乾燥装置２５０Ｂの順番に基体３０Ａを搬送する搬送装置２７０も備えている。

図１７に示す液滴吐出装置２００Ｒは、液状の発光材料２１１Ｒを保持するタンク２０１Ｒと、チューブ２１０Ｒと、チューブ２１０Ｒを介してタンク２０１Ｒから発光材料２１１Ｒが供給される吐出走査部１０２と、を備える。吐出走査部１０２の構成は、第１実施形態の吐出走査部１０２（図１）の構成と同じであるため、同様な構成要素には同一の参照符号を付けるとともに、重複する説明を省略する。また、液滴吐出装置２００Ｇの構成と液滴吐出装置２００Ｂの構成とは、どちらも基本的に液滴吐出装置２００Ｒの構造と同じある。ただし、タンク２０１Ｒとチューブ２１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｇが発光材料２１１Ｇ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｇの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク２０１Ｒとチューブ２１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｂが発光材料２１１Ｂ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｂの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。なお、本実施形態における液状の発光材料２１１Ｒ、２１１Ｂ、２１１Ｇは、本発明の液状材料の一例である。
製造装置２を用いたエレクトロルミネッセンス表示装置３０の製造方法を説明する。まず、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて、図１５に示す基体３０Ａを製造する。

次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体３０Ａを親液化する。この処理によって、画素電極３６とバンク４０とで規定されたそれぞれの凹部（画素領域の一部）における画素電極３６の表面、無機物バンク４０Ａの表面、および有機物バンク４０Ｂの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体３０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク４０Ｂの表面がフッ化処理（撥液性に処理）されて、このことで有機物バンク４０Ｂの表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極３６の表面および無機物バンク４０Ａの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。このように、画素電極３６と、バンク４０と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂとなる。

なお、画素電極３６の材質、無機バンク４０の材質、および有機バンク４０の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、画素電極３６と、バンク４０と、によって規定された凹部の表面は区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂである。

ここで、表面処理が施された複数の画素電極３６のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成してもよい。正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂが、画素電極３６と、後述の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢと、の間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。複数の画素電極３６のそれぞれの上に正孔輸送層を設ける場合には、正孔輸送層と、バンク４０と、によって規定された凹部が、区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに対応する。

なお、正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂをインクジェット法により形成することも可能である。この場合、正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成するための材料を含む溶液を各画素領域ごとに所定量塗布し、その後、乾燥させることにより正孔輸送層を形成することができる。なお、正孔輸送層を本明細書に記載する描画方法（液滴付与方法）を用いて形成してもよい。

区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成された基体３０Ａは、搬送装置２７０によって、液滴吐出装置２００Ｒのステージ１０６に運ばれる。そして、図１８（ａ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｒは、区画３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４から発光材料２１１Ｒを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｒは、前述した液滴付与方法で区画３８Ｒに発光材料２１１Ｒを付与する。基体３０Ａの区画３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体３０Ａを乾燥装置２５０Ｒ内に位置させる。そして、区画３８Ｒ上の発光材料２１１Ｒを完全に乾燥させることで、区画３８Ｒ上に発光層２１１ＦＲを得る。

次に搬送装置２７０は、基体３０Ａを液滴吐出装置２００Ｇのステージ１０６に位置させる。そして、図１８（ｂ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｇは、区画３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４から発光材料２１１Ｇを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｇは、前述した液滴付与方法で区画３８Ｇに発光材料２１１Ｇを付与する。基体３０Ａの区画３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体３０Ａを乾燥装置２５０Ｇ内に位置させる。そして、区画３８Ｇ上の発光材料Ｇを完全に乾燥させることで、区画３８Ｇ上に発光層２１１ＦＧを得る。

次に搬送装置２７０は、基体３０Ａを液滴吐出装置２００Ｂのステージ１０６に位置させる。そして、図１８（ｃ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｂは、区画３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４から発光材料２１１Ｂを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｂは、前述した液滴付与方法で区画３８Ｂに発光材料２１１Ｂを付与する。基体３０Ａの区画３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体３０Ａを乾燥装置２５０Ｂ内に位置させる。そして、区画３８Ｂ上の発光材料２１１Ｂを完全に乾燥させることで、区画３８Ｂ上に発光層２１１ＦＢを得る。

図１８（ｄ）に示すように、次に、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク４０を覆うように対向電極４６を設ける。対向電極４６は陰極として機能する。
その後、封止基板４８と基体３０Ａとを、互いの周辺部で接着することで、図１８（ｄ）に示すエレクトロルミネッセンス表示装置３０が得られる。なお、封止基板４８と基体３０Ａとの間には不活性ガス４９が封入されている。
エレクトロルミネッセンス表示装置３０において、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢから発光した光は、画素電極３６と、回路素子層３４と、支持基板３２と、を介して射出する。このように回路素子層３４を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。

以上、本発明を液晶表示装置（カラーフィルタ基板）の製造や、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適用した場合について説明したが、本発明は、これらに限定されず、例えば、プラズマ表示装置の背面基板の製造や、電子放出素子を備えた画像表示装置（ＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）またはＦＥＤ（Field Emission Display）と呼ばれることもある）の製造にも適用することができる。

＜電子機器の実施形態＞
前述したような方法で製造された液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装置、電子放出素子を備えた画像表示装置等の画像表示装置（電気光学装置）１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図１９は、電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。

この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が画像表示装置１０００を備えている。

図２０は、電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、画像表示装置１０００を表示部に備えている。
図２１は、電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。

ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、画像表示装置１０００が表示部に設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。

ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。

また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。

なお、電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
以上、本発明の液滴付与方法、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。

本発明の第１実施形態の液滴吐出装置の斜視図。 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図。 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面を示す図。 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図。 図１に示す液滴吐出装置における制御手段を示すブロック図。 （ａ）はヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート。 本発明の液滴吐出方法の第１実施形態を説明するための図。 本発明の液滴吐出方法の第１実施形態を説明するための図。 本発明の液滴吐出方法の第２実施形態を説明するための図。 本発明の液滴吐出方法の第３実施形態を説明するための図。 本発明の第２実施形態の液滴吐出装置で液滴を付与する基体を示す模式図。 本発明の第２実施形態の液滴吐出装置を含む製造装置を示す模式図。 本発明の第２実施形態の液滴吐出装置の斜視図。 第２実施形態の液滴吐出装置による製造方法を示す模式図。 本発明の第３実施形態の液滴吐出装置で液滴を付与する基体を示す模式図。 本発明の第３実施形態の液滴吐出装置を含む製造装置を示す模式図。 本発明の第３実施形態の液滴吐出装置の斜視図。 第３実施形態の液滴吐出装置による製造方法を示す模式図。 電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。 電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。

符号の説明

１、２……製造装置 ５１、６１ａ、６１ｂ、７１ａ、７１ｂ……先発の液滴 ５２、５３、５４、５５、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂ、６５ａ、６５ｂ、６６ａ、６６ｂ、７２ａ、７３ｂ、７４ａ、７５ｂ、７６ａ……後発の液滴 １００、１００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂ、１００Ｃ、２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂ……液滴吐出装置 １０１、１０１Ｒ、２０１Ｒ……タンク １０２……吐出走査部 １０３……液滴吐出手段 １０４……第１位置制御装置 １０５……キャリッジ １０６……ステージ １０８……第２位置制御装置 １１０、１１０Ｒ、２１０Ｒ……チューブ １１１……液状材料 １１２……制御手段 １１４……液滴吐出ヘッド １１４Ｇ……ヘッド群 １１６Ａ、１１６Ｂ……ノズル列 １１８、１１８ａ、１１８ｂ……ノズル １１８Ｒ……基準ノズル １２０……キャビティ １２２……隔壁 １２４……振動子 １２４Ａ、１２４Ｂ……電極 １２４Ｃ……ピエゾ素子 １２６……振動板 １２７……吐出部 １２８……ノズルプレート １２９……液たまり １３０……供給口 １３１……孔 ２００……バッファメモリ ２０２……記憶手段 ２０３……駆動信号生成部 ２０４……処理部 ２０６……走査駆動部 ２０８……ヘッド駆動部 ＡＳ……アナログスイッチ ＤＳ……駆動信号 ＳＣ……選択信号 ＥＳ……吐出信号 １０Ａ、３０Ａ……基体 １０……カラーフィルタ基板 １２、３２……支持基板 １４……ブラックマトリクス １６、４０……バンク ２０……保護膜 １８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ、３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ……区画 １１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ……フィルタ層 ３０……エレクトロルミネッセンス表示装置 ３４……回路素子層 ３６……画素電極 ３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂ……正孔輸送層 ４０Ａ……無機物バンク ４０Ｂ……有機物バンク ４２……絶縁膜 ４４……スイッチング素子 ４４Ｇ……ゲート電極 ４４Ｓ……ソース電極 ４４Ｄ……ドレイン電極 ４４Ｖ……スルーホール ４５……層間絶縁膜 ４６……対向電極 ４８……封止基板 ４９……不活性ガス １５０Ｃ……乾燥装置 １５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ、２５０Ｒ、２５０Ｇ、２５０Ｂ……乾燥装置 １１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ……カラーフィルタ材料 １６０……オーブン １６５……硬化装置 １７０、２７０……搬送装置 ２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ……発光材料 ２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ……発光層 １０００……画像表示装置 １１００……パーソナルコンピュータ １１０２……キーボード １１０４……本体部 １１０６……表示ユニット １２００……携帯電話機 １２０２……操作ボタン １２０４……受話口 １２０６……送話口 １３００……ディジタルスチルカメラ １３０２……ケース（ボディー） １３０４……受光ユニット １３０６……シャッタボタン １３０８……回路基板 １３１２……ビデオ信号出力端子 １３１４……データ通信用の入出力端子 １４３０……テレビモニタ １４４０……パーソナルコンピュータ

Claims (16)

1. 色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させつつ、色要素形成用の液状材料を前記ノズルから液滴として吐出して前記区画へ付与する液滴付与方法であって、
   前記区画に着弾した先発の液滴が乾かないうちに当該区画へさらに１滴または複数滴の後発の液滴を複数回吐出するに際し、前記後発の液滴の各回ごとの総量を前記先発の液滴の総量より少なくし、かつ前記先発の液滴と前記後発の液滴とを少なくとも１つの共通のノズルから吐出することを特徴とする液滴付与方法。
2. 前記各区画に対し、前記先発の液滴を一つの前記ノズルから１滴吐出し、当該先発の液滴を吐出したノズルと同じノズルから前記後発の液滴を１滴ずつ複数回吐出する請求項１に記載の液滴付与方法。
3. 前記各区画に対し、前記先発の液滴を二つの前記ノズルから同時に１滴ずつ吐出し、当該先発の液滴を吐出したノズルと同じ二つのノズルから前記後発の液滴を同時に１滴ずつ複数回吐出する請求項１に記載の液滴付与方法。
4. 前記先発の液滴は、一つの前記区画につき複数の前記ノズルから同時に吐出し、当該区画への前記後発の液滴は、前記先発の液滴のときより少ない数のノズルから吐出する請求項１に記載の液滴付与方法。
5. 前記各区画に対し、前記先発の液滴を二つの前記ノズルから同時に１滴ずつ吐出し、当該先発の液滴を吐出したノズルと同じ二つのノズルから交互に前記後発の液滴を１滴ずつ複数回吐出する請求項１または４に記載の液滴付与方法。
6. 前記後発の液滴の１滴の量を前記先発の液滴の１滴の量と同じにする請求項５に記載の液滴付与方法。
7. 前記後発の液滴の１滴の量を前記先発の液滴の１滴の量より少なくする請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴付与方法。
8. 前記液滴吐出手段は、前記ノズルに連通するキャビティと、該キャビティ内に充填された液状材料の圧力を変化させる駆動素子とを有するものであり、
   前記駆動素子へ印加する駆動電圧波形を変化させることにより、吐出する液滴の１滴の量を調整する請求項７に記載の液滴付与方法。
9. 前記各区画は、それぞれ、長尺状をなすものであり、
   前記各区画に前記先発の液滴および前記後発の液滴が着弾してなる複数のドットは、前記区画の長手方向に沿って順に並ぶ請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴付与方法。
10. 前記複数のドットのうちの前記先発の液滴が着弾してなるドットは、前記区画の長手方向に位置する両端部のうちの一方の端部に最も近い位置にある請求項９に記載の液滴付与方法。
11. 前記後発の液滴の各回ごとの総量を前記先発の液滴の総量の３０〜７０％とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴付与方法。
12. 前記後発の液滴の飛行速度を前記先発の液滴の飛行速度より遅くする請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴付与方法。
13. 液滴の着弾位置が当該区画へ前回に吐出された液滴の着弾位置と異なるようにして液滴を吐出する請求項１ないし１２のいずれかに記載の液滴付与方法。
14. 液滴が着弾してなるドットが当該区画へ前回吐出された液滴が着弾してなるドットにつながるような間隔で液滴を吐出する請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴付与方法。
15. 液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段と、
    色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、前記液滴吐出手段とを相対的に移動させる移動手段と、
    前記液滴吐出手段および前記移動手段の作動を制御する制御手段とを備え、
    前記液滴吐出手段と前記基体とを相対的に移動させつつ、色要素形成用の液状材料を前記ノズルから液滴として吐出して前記区画に付与する液滴吐出装置であって、
    前記区画に着弾した先発の液滴が乾かないうちに当該区画へさらに１滴または複数滴の後発の液滴を複数回吐出するに際し、前記後発の液滴の各回ごとの総量が前記先発の液滴の総量より少なくなり、かつ前記先発の液滴と前記後発の液滴とを少なくとも１つの共通のノズルから吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
16. 請求項１ないし１４のいずれかに記載の液滴付与方法を用いて基体上の複数の区画に色要素を形成して色要素付き基板を製造する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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