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JP4208651B2 - Vibration table device - Google Patents
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JP4208651B2 - Vibration table device - Google Patents

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JP4208651B2 JP2003167402A JP2003167402A JP4208651B2 JP 4208651 B2 JP4208651 B2 JP 4208651B2 JP 2003167402 A JP2003167402 A JP 2003167402A JP 2003167402 A JP2003167402 A JP 2003167402A JP 4208651 B2 JP4208651 B2 JP 4208651B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、地震による構造物への影響を調べるための試験等の各種振動試験に好適な振動テーブル装置に関する。
【0002】
【従来の技術とその問題点】
振動テーブル装置は従来から各種の分野で加震試験用装置として使用され、例えば水平方向に往復動可能に支持されたテーブルを各種のアクチュエータによって往復動方向へ駆動せしめる構造としてある。
【0003】
テーブルを往復駆動せしめるアクチュエータには、油圧シリンダを利用する油圧式、ギヤ・クランク等の差動装置を備える機械式、励磁コイル等の磁力発生装置による電磁力を利用する動電式(例えば特許文献1参照)のものが実用に供されている。
【0004】
上述のようなアクチュエータを備える装置では、高周波数の振動を正確に再現するのに複雑な機械構造が必要となり、いきおい装置コストが嵩む、メンテナンスが困難であるという問題点が生じる。
【0005】
ところで、アクチュエータに空圧シリンダを使用すれば、装置構造を簡素化することができ、装置コストの低減、メンテナンスの容易化を図ることができるというメリットがある。
【0006】
しかしながら、空気は圧縮性の高い流体であるので、テーブル上に載置した供試体へ与えようとする振動の目標値と実際に生じる振動とは位相差が発生しやすく、したがって空気を動力伝達流体とする空圧シリンダ等の空圧式のアクチュエータは振動テーブル装置に適用することは困難であると考えられている。
【0007】
【特許文献】
【特許文献1】
特開2000−146748(第5−6頁および図8)
【0008】
【目的】
本発明の目的とするところは、振動の目標値と実際の振動との位相差が発生しにくく、より高い再現性を得やすく、しかも構造が簡単で装置コストの低減を期すことができ、メンテナンスも容易である空圧式の振動テーブル装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項1に係る振動テーブル装置は、水平な直線上を往復動できるようベース上に支持されたテーブルと、このテーブルを往復動せしめる2台の空圧シリンダと、制御装置からの信号に基づいて上記各空圧シリンダに圧縮空気を所要の周波数に対応して駆動するよう交互に供給する給気系装置を備え、上記各空圧シリンダを単動式のベローフラムシリンダで構成し、これら空圧シリンダを、前記テーブルの往復動方向に互いにロッドが対向するよう前記ベース上に配設してロッドをテーブルに接続し、前記空圧シリンダは、ピストンが収容されたシリンダ本体内におけるロッドが貫通する前壁とピストンとの間に圧縮コイルスプリングを備え、2台の空圧シリンダはそれぞれの圧縮コイルスプリングが圧縮された状態となるように前記ベース上に配設されていて、各空圧シリンダのロッドが前記圧縮コイルスプリングのばね力により互いに引き合った状態に付勢され、これら圧縮コイルスプリングの引き合いにより正確なロッドの初期位置設定および動作時のダンピング効果が得られるように構成し、かつ、前記空圧シリンダ間の距離を、発生させようとする振幅の大小に合わせて調節できるように構成した構成のものとしてある。
【0010】
また、本発明の請求項2に係る振動テーブル装置は、前記テーブルの往復動に伴う変位を検出する変位検出器からの変位フィードバック信号と、波形発信器からの目標波形信号に基づき、前記空圧シリンダへの圧縮空気の供給を制御する空圧サーボ弁に制御信号を出力する空圧サーボ制御器を備えるように構成したものとしてある。
【0011】
【実施例】
以下、本発明に係る振動テーブル装置の実施例を添付図面に示す具体例に基づいて詳細に説明する。
(全体概略)
本発明に係る空圧式振動テーブル装置は、供試体を載せる装置本体1と、装置本体1に空気を供給する給気系装置2と、振動の制御を行う制御装置3とを備えている。
【0012】
上記装置本体1は、ベース4上に設けた支持機構5を介してテーブル6を水平方向に往復動可能に支持し、またベース4上に、テーブル6に対して往復動方向への駆動力を与える2台の空圧シリンダ7、7を備えている。
より詳しくは、前記テーブルを下方から支持するセンターウエブ8の左右に、前記空圧シリンダ7、7のロッド7a、7aを対向させて設けてあり、各ロッドの先端はユニバーサルジョイント9、9を介してセンターウエブに取り付けられている。
なお、空圧シリンダの詳細については後述する。
【0013】
また前記ベース4上には、空圧シリンダ7、7へ空気を供給し、設定される周波数で開閉する空圧サーボ弁10と、テーブル6の往復動に伴う変位を検出する変位検出器11が設けられている。
【0014】
そして前記給気系装置2は装置本体1とは別体に設けられ、装置本体の前記空圧サーボ弁10に圧縮空気を供給する。
また制御装置3は、装置本体1における変位検出器11からの検出信号に基づいて空気サーボ弁10の制御を行う構成となっている。
【0015】
(支持機構5)
略四角形の形成されたベースプレート4におけるテーブル移動方向に沿った前後の2辺にはベースウエブ12、12が立設されていて、各ベースウエブ上には同ウエブと平行をなすガイドレール13が水平に設けられている。
【0016】
上記各ガイドレール13、13には、前記テーブル6の下面に固定されたキャリッジ14、14が摺動可能に取り付けられていて、テーブルがガイドレール13、13に対して荷重およびモーメント負荷下でも極低摩擦で往復動できるようになっており、ガイドレールの両端にはキャリッジの移動を規制するストップ金具13a、13aが設けられている。
なお、ガイドレールとキャリッジには、例えばリニアベアリング(軌道型ボールベアリング)を用いる。
【0017】
また、前記ベースウエブ12、12の左右端部間には、それぞれ端板15、15が設けられていて、各端板にはテーブル6の往復動振幅を規制するストッパー16、16が設けられており、このストッパーは緩衝用ピストンを備えていて先端ロッドが衝撃を吸収する構造のものとしてあって、緩衝用ピストンが小さい変位を許しながら大きなエネルギーを吸収することができるようになっており、テーブルに過大な振幅が生じた場合にはその先端がテーブルの下面に設けたストップ板17、17と接触してテーブルの過大な振幅を安全に規制できるようになっている。
【0018】
(空圧シリンダ7)
前記各空圧シリンダ7、7は、図4に示されるようにシリンダ本体18の内部がベローフラム19とピストン20とで2室に仕切られた単動式のベローフラムシリンダよりなるものとしてあって、ピストンとロッド突出側の前壁21との間の前室18A内に、ロッドを収縮させる方向にピストンを付勢する圧縮コイルスプリング22が設けられており、ロッド7aまわりにはロッドの摺動方向における摩擦を極めて小なるものとするためのボールベアリング34を介在せしめてある。
【0019】
上記空圧シリンダ7、7は、シリンダ本体18の後端を塞ぐ後壁23とピストン20との間の後室18B内に、空気供給口18aから圧縮空気が供給されると、ピストン20が前記圧縮コイルスプリング22のばね力に抗して前室側へ移動させられ、前室内の空気は連通口18bから外部へ排出され、ピストンの移動にともなってロッドがシリンダ本体から突出する(ロッドの伸長動作)。
【0020】
また、後室18B内へ供給される空気の圧力が低減すると、ピストン20は前記コイルスプリング22のばね力によって後室側へ押し戻され、前室内には前記連通口18bから外気が導入され、ピストンの移動にともなってロッドがシリンダ本体内に引き込まれる(ロッドの収縮動作)。
【0021】
上記ロッドの伸縮動作は、左右の空圧シリンダにおいて互いに逆となるように作用し、すなわち一方の空圧シリンダに圧縮空気が供給されてそのロッドが伸長する際には、他方の空圧シリンダには圧縮空気は供給されず、収縮動作が行なわれる。
【0022】
しかして、左右の空圧シリンダ7、7内における圧縮コイルスプリング22、22は、左右いずれの空圧シリンダにも圧縮空気が供給されていない状態でともにばね力に抗して圧縮された状態となるようにベース上に取り付けられていて、このばね力は空圧シリンダのベースプレート4に対する取り付け位置の調節により、任意に設定することができるようになっており、具体的にはベースプレートに空圧シリンダを固定するためのシリンダホルダ33の取付位置が、ロッド伸縮方向に任意に設定できるようになっている。
【0023】
かくすると、発生させようとする振動の振幅が大である場合には2台のシリンダの距離を大に設定し、振幅が小である場合には2台のシリンダを近づけた状態でセットし、シリンダへの圧縮空気の供給量が少なくて済むように対応させることができ、この場合、当然周波数特性の向上につながる応答性も良好となる。
【0024】
なお、2台の単動シリンダに代えて1台の復動シリンダを利用すると、発生させようとする振動の振幅の最大値に合わせて常にストロークの長いものを使用しなければならず、小振幅の振動を発生させる場合にシリンダに供給すべき空気量が大となって非効率であるとともに応答性も損なわれる。
【0025】
また、テーブルの初期位置は左右の空圧シリンダ内の圧縮コイルスプリングのばね力によって常に所定の位置にホールドされ、初期位置の設定が容易であるという大なるメリットがあり、しかもダンピング効果を得ることもできる。
【0026】
(空圧サーボ弁10)
空圧サーボ弁10は空圧シリンダ7、7への圧縮空気の供給を、設定される周波数に基づいて弁の開閉により制御するものとしてあり、この弁の開閉は制御装置3からの制御信号によって行われる。
なお、弁を閉止する際には空圧シリンダ内の圧縮空気がマフラ10aから排気されるようになっている。
【0027】
(変位検出器11)
前記変位検出器11は、その探子ロッド11aの先端部が連結部材24を介してテーブル6のセンターウエブ8に接続され、テーブル6の往復動に伴う変位を検出し、その検出した変位値に基づく変位信号は制御装置3にフィードバック値として送られるようになっている。
【0028】
(給気系装置2)
前記給気系装置2は、コンプレッサー25、エアフィルタ26、エア調節弁27、三方弁28および空気供給管29を備え、前記空圧サーボ弁10に圧縮空気を供給するものとしてある。
【0029】
(制御装置3)
前記制御装置3は、装置本体1や給気系装置2とは別体に設けられるものとしてあり、前記変位検出器11からの変位信号を増幅する変位増幅器30と、目標波形信号を出力する波形発振器31と、上記変位フィードバック信号および目標波形信号に基づいて前記空圧サーボ弁10への制御信号を出力する空圧サーボ制御器32を備えている。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば対向して取り付けられた2台の単動式空圧シリンダを用いているので、復動式空圧シリンダ1台を用いる場合に比べ、左右対称の安定した往復動機構が簡単な構造で構築され、内部に用いられるベローフラムの数も半減(復動式空圧シリンダの場合は1台に4枚必要)することができ、その分だけ駆動摩擦の低減を期すことができ、よって制御の目標となる振動の目標波形と、その制御の結果得られたフィードバック波形との間の位相差を抑える効果が増大し、したがってより高い再現性を達成することができる。
【0031】
また単動式の空圧シリンダを、各シリンダ内の圧縮コイルスプリングが圧縮された状態で配設してあるので、無制御時の初期位置への復帰時と駆動時のダンピング効果に優れ、発振現象を抑制することができるとともにより位相差が発生しにくく、高い安全性と再現性を得ることができる。
【0032】
さらに、動力源に空気を使用するので、自己冷却作用があって放熱手段を別途設ける必要がなくて装置コストを低減することができ、しかも清浄性が高くメンテナンスが容易であるという多大なメリットを自ら備えている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る空圧式振動テーブル装置の実施例を示す全体概略図。
【図2】装置本体のテーブルを取り外した状態を示す平面図。
【図3】装置本体の縦断正面図。
【図4】空圧シリンダの縦断面図。
【符号の説明】
1 装置本体
2 給気系装置
3 制御装置
4 ベース
5 支持機構
6 テーブル
7 空圧シリンダ
8 センターウエブ
9 ユニバーサルジョイント
10 空圧サーボ弁
11 変位検出器
12 ベースウエブ
13 ガイドレール
14 キャリッジ
15 端板
16 ストッパー
17 ストップ板
18 シリンダ本体
19 ベローフラム
20 ピストン
21 前壁
22 圧縮コイルスプリング
23 後壁
24 連結部材
25 コンプレッサー
26 エアフィルタ
27 エア調節弁
28 三方弁
29 空気供給管
30 変位増幅器
31 波形発振器
32 空圧サーボ制御器
33 シリンダホルダ
34 ボールベアリング
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a vibration table device suitable for various vibration tests such as a test for investigating the influence of an earthquake on a structure.
[0002]
[Prior art and its problems]
Conventionally, the vibration table device has been used as a vibration test device in various fields, and has a structure in which, for example, a table supported so as to be able to reciprocate in the horizontal direction is driven in the reciprocating direction by various actuators.
[0003]
The actuator for reciprocating the table includes a hydraulic type using a hydraulic cylinder, a mechanical type having a differential device such as a gear / crank, and an electrodynamic type using an electromagnetic force generated by a magnetic force generator such as an exciting coil (for example, Patent Document 1) has been put to practical use.
[0004]
In an apparatus including the actuator as described above, a complicated mechanical structure is required to accurately reproduce high-frequency vibration, which causes a problem that the apparatus cost increases and maintenance is difficult.
[0005]
By the way, if a pneumatic cylinder is used for the actuator, there is an advantage that the structure of the apparatus can be simplified, the apparatus cost can be reduced, and the maintenance can be facilitated.
[0006]
However, since air is a highly compressible fluid, a phase difference is likely to occur between the target value of the vibration to be applied to the specimen placed on the table and the vibration that actually occurs. It is considered that a pneumatic actuator such as a pneumatic cylinder is difficult to apply to a vibration table device.
[0007]
[Patent Literature]
[Patent Document 1]
JP 2000-146748 (Page 5-6 and FIG. 8)
[0008]
【the purpose】
The object of the present invention is that a phase difference between the target value of vibration and the actual vibration is less likely to occur, higher reproducibility is easily obtained, and the structure is simple and the apparatus cost can be reduced. It is another object of the present invention to provide a pneumatic vibration table device that is easy.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a vibration table device according to claim 1 of the present invention comprises a table supported on a base so as to reciprocate on a horizontal straight line, and two pneumatic pressures for reciprocating the table. A cylinder and an air supply system that alternately supplies compressed air to the pneumatic cylinders according to a required frequency based on a signal from a control device, and the pneumatic cylinders are single-acting These pneumatic cylinders are arranged on the base so that the rods face each other in the reciprocating direction of the table, and the rods are connected to the table. A compression coil spring is provided between the piston and the front wall through which the rod passes in the accommodated cylinder body, and each of the two pneumatic cylinders is compressed by the compression coil spring. It has been arranged on the base such that the state, the rod of the pneumatic cylinder is energized in a state where attracted to each other by the spring force of the compression coil spring, exact by inquiries of the compression coil spring damping effect during the initial positioning and operation of the rod is configured so as to obtain, and the air distance between the pressure cylinder, the arrangement configured to so that can be adjusted to suit the size of the amplitude to try to generate As a thing.
[0010]
Further, the vibration table device according to claim 2 of the present invention is based on the displacement feedback signal from the displacement detector that detects the displacement accompanying the reciprocation of the table and the target waveform signal from the waveform transmitter. A pneumatic servo controller that outputs a control signal to a pneumatic servo valve that controls the supply of compressed air to the cylinder is provided .
[0011]
【Example】
Hereinafter, embodiments of a vibration table device according to the present invention will be described in detail based on specific examples shown in the accompanying drawings.
(Overall outline)
The pneumatic vibration table device according to the present invention includes a device main body 1 on which a specimen is placed, an air supply system device 2 that supplies air to the device main body 1, and a control device 3 that controls vibration.
[0012]
The apparatus body 1 supports a table 6 so as to be reciprocally movable in a horizontal direction via a support mechanism 5 provided on the base 4, and provides a driving force in the reciprocating direction with respect to the table 6 on the base 4. Two pneumatic cylinders 7 and 7 are provided.
More specifically, rods 7a and 7a of the pneumatic cylinders 7 and 7 are provided on the left and right sides of the center web 8 that supports the table from below, and the tips of the rods are connected via universal joints 9 and 9, respectively. Attached to the center web.
The details of the pneumatic cylinder will be described later.
[0013]
On the base 4, a pneumatic servo valve 10 that supplies air to the pneumatic cylinders 7 and 7 and opens and closes at a set frequency, and a displacement detector 11 that detects displacement associated with the reciprocation of the table 6 are provided. Is provided.
[0014]
The air supply system device 2 is provided separately from the device body 1 and supplies compressed air to the pneumatic servo valve 10 of the device body.
The control device 3 is configured to control the air servo valve 10 based on a detection signal from the displacement detector 11 in the device body 1.
[0015]
(Support mechanism 5)
Base webs 12 and 12 are erected on the front and rear sides of the base plate 4 having a substantially rectangular shape along the table moving direction, and a guide rail 13 parallel to the web is horizontally provided on each base web. Is provided.
[0016]
Carriages 14 and 14 fixed to the lower surface of the table 6 are slidably attached to the guide rails 13 and 13, and the table is extremely loaded with respect to the guide rails 13 and 13 even under load and moment load. Stop gears 13a and 13a for restricting the movement of the carriage are provided at both ends of the guide rail.
For the guide rail and the carriage, for example, a linear bearing (orbital ball bearing) is used.
[0017]
Further, end plates 15 and 15 are provided between the left and right end portions of the base webs 12 and 12, respectively, and stoppers 16 and 16 for restricting the reciprocating amplitude of the table 6 are provided on each end plate. This stopper is equipped with a buffering piston and the tip rod is designed to absorb shocks. The buffering piston can absorb a large amount of energy while allowing a small displacement. When an excessive amplitude occurs, the tip contacts the stop plates 17 and 17 provided on the lower surface of the table, so that the excessive amplitude of the table can be regulated safely.
[0018]
(Pneumatic cylinder 7)
As shown in FIG. 4, each of the pneumatic cylinders 7 and 7 is composed of a single-acting bellow frame cylinder in which the inside of the cylinder body 18 is partitioned into two chambers by a bellow frame 19 and a piston 20. A compression coil spring 22 is provided in the front chamber 18A between the piston and the front wall 21 on the rod protruding side to urge the piston in the direction in which the rod is contracted, and the rod slides around the rod 7a. A ball bearing 34 for interposing a very small friction is interposed.
[0019]
When compressed air is supplied from the air supply port 18a into the rear chamber 18B between the rear wall 23 and the piston 20 that closes the rear end of the cylinder body 18, the pneumatic cylinders 7 and 7 It is moved to the front chamber side against the spring force of the compression coil spring 22, the air in the front chamber is discharged to the outside from the communication port 18b, and the rod protrudes from the cylinder body as the piston moves (extension of the rod). Operation).
[0020]
When the pressure of air supplied into the rear chamber 18B is reduced, the piston 20 is pushed back to the rear chamber side by the spring force of the coil spring 22, and outside air is introduced into the front chamber from the communication port 18b. With the movement of the rod, the rod is pulled into the cylinder body (rod contraction operation).
[0021]
The expansion and contraction of the rod acts in the opposite manner in the left and right pneumatic cylinders, that is, when compressed air is supplied to one pneumatic cylinder and the rod extends, the other pneumatic cylinder Compressed air is not supplied and contraction is performed.
[0022]
Thus, the compression coil springs 22 and 22 in the left and right pneumatic cylinders 7 and 7 are both compressed against the spring force when no compressed air is supplied to any of the left and right pneumatic cylinders. The spring force can be arbitrarily set by adjusting the mounting position of the pneumatic cylinder with respect to the base plate 4. Specifically, the pneumatic cylinder is attached to the base plate. The mounting position of the cylinder holder 33 for fixing the cylinder can be arbitrarily set in the rod expansion / contraction direction.
[0023]
Then, when the amplitude of the vibration to be generated is large, the distance between the two cylinders is set to be large, and when the amplitude is small, the two cylinders are set close to each other, This can be done so that the amount of compressed air supplied to the cylinder can be reduced. In this case, naturally, the responsiveness leading to the improvement of the frequency characteristics is also good.
[0024]
If one return cylinder is used instead of two single acting cylinders, a long stroke must always be used in accordance with the maximum amplitude of vibration to be generated. When this vibration is generated, the amount of air to be supplied to the cylinder becomes large, which is inefficient and responsiveness is impaired.
[0025]
In addition, the initial position of the table is always held at a predetermined position by the spring force of the compression coil springs in the left and right pneumatic cylinders, and there is a great merit that the initial position can be easily set, and a damping effect can be obtained. You can also.
[0026]
(Pneumatic servo valve 10)
The pneumatic servo valve 10 controls the supply of compressed air to the pneumatic cylinders 7 and 7 by opening and closing the valve based on a set frequency. This valve opening and closing is controlled by a control signal from the control device 3. Done.
When the valve is closed, the compressed air in the pneumatic cylinder is exhausted from the muffler 10a.
[0027]
(Displacement detector 11)
In the displacement detector 11, the tip of the probe rod 11a is connected to the center web 8 of the table 6 via a connecting member 24, detects the displacement accompanying the reciprocating motion of the table 6, and based on the detected displacement value. The displacement signal is sent to the control device 3 as a feedback value.
[0028]
(Air supply system 2)
The air supply system device 2 includes a compressor 25, an air filter 26, an air adjustment valve 27, a three-way valve 28 and an air supply pipe 29, and supplies compressed air to the pneumatic servo valve 10.
[0029]
(Control device 3)
The control device 3 is provided separately from the device main body 1 and the air supply system device 2, and includes a displacement amplifier 30 that amplifies a displacement signal from the displacement detector 11, and a waveform that outputs a target waveform signal. An oscillator 31 and a pneumatic servo controller 32 that outputs a control signal to the pneumatic servo valve 10 based on the displacement feedback signal and the target waveform signal are provided.
[0030]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since two single-acting pneumatic cylinders mounted opposite to each other are used, the stability of the left-right symmetric stability is improved compared to the case of using one backward-acting pneumatic cylinder. The reciprocating mechanism is constructed with a simple structure, and the number of bellows that are used inside can be halved (in the case of a return-acting pneumatic cylinder, four are required per unit), and the drive friction is reduced accordingly. Therefore, the effect of suppressing the phase difference between the target waveform of vibration to be controlled and the feedback waveform obtained as a result of the control is increased, and thus higher reproducibility can be achieved. it can.
[0031]
In addition, the single-acting pneumatic cylinders are arranged in a state where the compression coil springs in each cylinder are compressed, so it has excellent damping effect when returning to the initial position during non-control and during driving. The phenomenon can be suppressed and the phase difference is less likely to occur, and high safety and reproducibility can be obtained.
[0032]
Furthermore, since air is used as the power source, there is a self-cooling action, and it is not necessary to provide a separate heat dissipating means, so that the cost of the apparatus can be reduced, and there is a great merit that it is clean and easy to maintain. I have prepared myself.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall schematic view showing an embodiment of a pneumatic vibration table device according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a state where a table of the apparatus main body is removed.
FIG. 3 is a longitudinal front view of the apparatus main body.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a pneumatic cylinder.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Apparatus main body 2 Air supply system apparatus 3 Control apparatus 4 Base 5 Support mechanism 6 Table 7 Pneumatic cylinder 8 Center web 9 Universal joint 10 Pneumatic servo valve 11 Displacement detector 12 Base web 13 Guide rail 14 Carriage 15 End plate 16 Stopper 17 Stop plate 18 Cylinder body 19 Bellow frame 20 Piston 21 Front wall 22 Compression coil spring 23 Rear wall 24 Connecting member 25 Compressor 26 Air filter 27 Air control valve 28 Three-way valve 29 Air supply pipe 30 Displacement amplifier 31 Waveform oscillator 31 Pneumatic servo control 33 Cylinder holder 34 Ball bearing

Claims (2)

水平な直線上を往復動できるようベース上に支持されたテーブルと、このテーブルを往復動せしめる2台の空圧シリンダと、制御装置からの信号に基づいて上記各空圧シリンダに圧縮空気を所要の周波数に対応して駆動するよう交互に供給する給気系装置を備え、上記各空圧シリンダを単動式のベローフラムシリンダで構成し、これら空圧シリンダを、前記テーブルの往復動方向に互いにロッドが対向するよう前記ベース上に配設してロッドをテーブルに接続し、前記空圧シリンダは、ピストンが収容されたシリンダ本体内におけるロッドが貫通する前壁とピストンとの間に圧縮コイルスプリングを備え、2台の空圧シリンダはそれぞれの圧縮コイルスプリングが圧縮された状態となるように前記ベース上に配設されていて、各空圧シリンダのロッドが前記圧縮コイルスプリングのばね力により互いに引き合った状態に付勢され、これら圧縮コイルスプリングの引き合いにより正確なロッドの初期位置設定および動作時のダンピング効果が得られるように構成し、かつ、前記空圧シリンダ間の距離を、発生させようとする振幅の大小に合わせて調節できるように構成してなる振動テーブル装置。A table supported on the base so as to reciprocate on a horizontal straight line, two pneumatic cylinders for reciprocating the table, and compressed air required for each pneumatic cylinder based on a signal from the controller Each of the pneumatic cylinders is composed of a single-action bellow-flam cylinder, and these pneumatic cylinders are arranged in the reciprocating direction of the table. The pneumatic cylinder is arranged between the front wall through which the rod passes in the cylinder body in which the piston passes and the piston, and is arranged on the base so that the rods face each other and is connected to the table. And two pneumatic cylinders are arranged on the base so that the respective compression coil springs are compressed, and each pneumatic cylinder Rod is urged in a state of attract each each other by the spring force of the compression coil spring, the inquiries of the compression coil spring is configured as a damping effect during the initial positioning and operation of the exact rod is obtained, and the the distance between the pneumatic cylinder, formed by configured so that can be adjusted to suit the size of the amplitude to try to generate the vibration table system. 前記テーブルの往復動に伴う変位を検出する変位検出器からの変位フィードバック信号と、波形発信器からの目標波形信号に基づき、前記空圧シリンダへの圧縮空気の供給を制御する空圧サーボ弁に制御信号を出力する空圧サーボ制御器を備える請求項1に記載の振動テーブル装置。 A pneumatic servo valve that controls the supply of compressed air to the pneumatic cylinder based on a displacement feedback signal from a displacement detector that detects displacement accompanying reciprocation of the table and a target waveform signal from a waveform transmitter. The vibration table device according to claim 1, further comprising a pneumatic servo controller that outputs a control signal .
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