JP4211950B2 - 実装済プリント基板自動検査装置 - Google Patents
実装済プリント基板自動検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4211950B2 JP4211950B2 JP09962196A JP9962196A JP4211950B2 JP 4211950 B2 JP4211950 B2 JP 4211950B2 JP 09962196 A JP09962196 A JP 09962196A JP 9962196 A JP9962196 A JP 9962196A JP 4211950 B2 JP4211950 B2 JP 4211950B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- circuit board
- printed circuit
- light
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ源からのレーザビームをプリント基板に実装された電子部品のリード部に照射し、該リード部のプリント基板への半田付けが正常に行われているか否かを検査するための実装済プリント基板自動検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来におけるレーザビームを利用した実装済プリント基板の検査装置として、本出願人は先に実願昭62−5622号(実公平7−29483号公報)を出願している。これは、図6に示すように、上部中央に開口部A1 を形成した下部開放形のボックス状受光部Aの内周面に多数の受光素子A2 を配置し、開口部A1 より入射されたレーザビームをプリント基板Pに実装された電子部品の半田面P1 に照射し、該半田面P1 からの反射光を受光素子A2 で受光し、その受光した受光素子の位置から反射光の角度を検出することにより、半田面の形状を判定する提案を行った。
【0003】
また、本出願人は特願平2−308798号(特公平86467号公報)において、Jリード(ICのリードが本体の下面側に折曲されたもの)を持つ電子部品のように、従来の垂直光を基板に照射する方法では検知できない部品の下部に位置する半田状態を検査するため、図7に示すように前記ボックス状の受光部Aの開口部A1 に四角錐鏡Mを取付け、この四角錐鏡Mでレーザビームを屈折することによって傾斜ビームを作り、Jリード下部の半田にレーザを照射する提案を行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記した前者の従来例にあっては、受光部Aの開口部A1を小さくする必要がある。すなわち、レーザビームの掃引幅を大きくしたいために開口部A1の面積を大きくすると、反射光b−b′の受光範囲が開口部A1を大きくした分だけ小さくなる。そこで、受光部Aの高さを図6の仮想線で示す如く嵩高にし、開口部A1を大きくしても受光範囲が小さくならないようにすることが考えられる。
【0005】
しかし、このように開口部A1 を大きくするために受光部Aの高さを嵩高にすると、反射光a−bを検知する範囲が広がり弱くなった反射光を多くの受光素子で受光することが必要となる。これにより、狭い範囲の強い光を受光した場合と比べ、必然的に検知精度が低下することとなり、また、開口部A1 が大きくなったことで、受光する光量は減少するにも係わらず、反射光aは大きく変化することになるといった問題があった。
【0006】
一方、前記した後者の従来例にあっても、開口部A1 の面積を大きくしようとすると、四角錐鏡Mで反射した傾斜ビームを受光部Aで囲まれたプリント基板の中心に照射することができなくなる。従って、この場合にも、開口部A1 を広げられないだけでなく、限られた範囲に傾斜ビームを照射するにも非常に嵩高な四角錐鏡Mが必要になるといった問題があった。
【0007】
本発明は前記した問題点を解決せんとするもので、その目的とするところは、受光素子を多段的に配列すると共にレーザを照射する位置に対する受光素子のグループ制御を行うことにより、受光素子の数が少ないにも係わらず受光精度を向上させることができる実装済プリント基板自動検査装置を提供せんとするにある。
【0008】
また、受光素子を水平と前傾の2種類としたことにより、少ない受光素子で受光効率の良い検査を行うことができる共に、垂直光をプリズムによって偏向して斜めビームを得るようにしたので、広範囲の斜めビームを得ることができ、Jリード部分の半田付け状況をも検査できる実装済プリント基板自動検査装置を提供せんとするにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の実装済プリント基板自動検査装置は前記した目的を達成せんとするもので、請求項1の手段は、実装済の被検査プリント基板をX軸方向とY軸方向に移動させるX−Yステージと、該X−Yステージ上に載置された前記被検査プリント基板の半田に対して細く絞ったビームを垂直に照射した状態でX−Y軸方向に掃引するビーム照射手段と、前記ビーム照射手段から照射されたビームに対して略垂直方向に反射された反射光を受光する受光素子からなるトップセンサと、前記ビーム照射手段よりのビームが入射可能な開口部が形成されたボックス状のハウジングと、該ハウジングの内面上方に水平状態で多段に取付けられたリング状の受光素子とを備え、予め予測される正常な半田付け状態であれば受光するであろう受光素子をスイッチの切替えによって選択し、該選択した受光素子が反射光を受光したか否かで半田付け状態が正常であるか否かを判別することを特徴とする。
【0010】
請求項2の手段は前記した請求項1において、前記ハウジング内には、前記ビーム照射手段よりのビームを反射する中心部分の円状のハーフミラーと外周部分の全反射ミラーが形成されたミラーが取付けられ、前記ビーム照射手段よりのビームが前記ハーフミラーによって反射されると垂直方向のビームとなり、また前記全反射ミラーによって反射されるとリング状のプリズムを介して斜めビームに偏向され、該斜めに偏向されたビームは被検査プリント基板上の電子部品におけるJリード部の半田面に対して斜めから照射することを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実装済プリント基板自動検査装置の一実施の形態を図1〜図3と共に説明する。
図1において、1は実装済の被検査プリント基板2をX軸方向とY軸方向に移動させるX−Yステージ、3はレーザビームを発射するレーザダイオード等のレーザ光源、4は該光源1よりのレーザを5mm程度の平行なビームに拡張するためのエキスパンダである。
【0012】
5はX−Yステージ1のY軸方向にビームを掃引するように操作するためのY軸回転ミラー5aと、X−Yステージ1のX軸方向にビームを掃引するように操作するためのX軸回転ミラー5bとからなるガルバノメータであり、以上は公知の構成である。
【0013】
6は前記ガルバノメータ5によってX,Y軸方向に掃引されたレーザが照射される中心部分に円状のハーフミラー6aが、その外周に全反射ミラー6bが形成されたミラー、7は該ミラー6におけるハーフミラー6aにより反射され、被検査プリント基板2に照射された結果得られる反射光の一部を受光素子からなるトップセンサ8に導くための凸レンズにして、前記ミラー6、凸レンズ7、トップセンサ8とによりビーム照射手段Bが構成されている。また、Aは図2に詳細を示す如く内面に多数の受光素子9が多段的に配置されたハウジング10からなる受光部である。
【0014】
次に、ビーム照射手段Bと受光部Aの詳細を図2、図3と共に説明する。
先ず、ビーム照射手段Bは複数のレンズを組み合わせたレンズ系11(図示のものは凸レンズのみを示している)が支持されたレンズ筒12と、該レンズ筒12が螺合固定された光学系支持体13(以下、単に支持体という)と、該支持体13の前記レンズ系11から照射されるレーザが当接する位置に形成された開口部13aに前記ミラー6が前記レーザと45度の角度で取付けられ、かつ、前記支持体13の前記ミラー6の上方には前記凸レンズ7およびトップセンサ8が取付けられている。
【0015】
また、前記支持体13のレンズ系11と前記ミラー6との間の外周部分には、水平レーザのみを通過させるためのルーバ14が取付けられ、さらに、前記ミラー6における全反射ミラー6bから反射されたレーザビームのみを、斜めビームに偏向させるリング状のプリズム15が支持体13の下方に取付けられている。また、前記プリズム15の下部外周面には、受光部Aの受光素子9では受光できない反射光を受光するための受光素子よりなるトップセンサ16が取付けられている。
【0016】
次に、受光部Aの構成について説明する。
受光部Aは前記支持体13が取付けられた取付板17の下面に四角筒状のハウジング10が取付けられ、その内面上方には水平状態で5段のリング状受光素子9が取付けられ、また、前記ハウジング10の内面下方には、リング状受光素子9′が4段前傾した状態で取付けられている。
【0017】
次に、前記した構成に基づいて動作を説明する。
先ず、レーザビームの照射系について図2と共に説明するに、レーザ光源3よりのレーザはガルバノメータ5によって掃引され、点線で示すようにレンズ系11を介してミラー6のハーフミラー6aあるいは全反射ミラー6bに到達し、該ミラー6で反射された後、ハウジング10の下面にX−Yステージ1によって移動される被検査プリント基板2上に照射される。
【0018】
なお、ハーフミラー6aからの反射光は直接被検査プリント基板2に投光されるが、全反射ミラー6bで反射されたビーム光は、プリズム15を介して被検査プリント基板2に投光されるので、該全反射ミラー6bからのビームは斜め光となる。
【0019】
従って、前記レンズ系11よりのレーザがハーフミラー6aの範囲で掃引されている場合には、被検査プリント基板2に対して垂直光となり、横方向に延びている電子部品のリード部の半田付け検査が行え、また、全反射ミラー6bの範囲で掃引されている場合には、被検査プリント基板2に対して斜め光となり、Jリード部の半田付け検査が行える。
【0020】
次に、受光系について図3と共に説明するに、被検査プリント基板2で反射された反射光は、該反射光の内の略垂直方向に反射されると凸レンズ7を介してトップセンサ8で受光され、その他の斜め状態で反射される反射光はトップセンサ16および受光素子9,9′で受光される。
【0021】
次に、前記したように受光素子9,9′で受光された反射光から半田付け状態が正常か不良かの判定方法について説明する。
受光素子9,9′は図4に示す如く被検査プリント基板2に対するビームの照射位置を内側、中央、外側と見なした場合、外側から内側に照射位置が移動すると同じ角度(例えば、60°−90°)の反射光に対する受光位置が下方(60°−90°の反射光を受光する受光位置Tが下へ移行する方向)へ移動する切替え制御が行なわれる。
【0022】
なお、前記したT,U,Sをグループ分けする理由は、ビームの照射位置によって同じ角度の反射光に対する受光位置が変化することに対応するためであり、ビームの照射位置と反射光の角度に応じ図5に示すようにスイッチ群SWを切替えて受光素子をオンする。図5のスイッチ群SWの切替え状態は前記した図4の設定状態を示すものである。
【0023】
このようにスイッチ群SWを検査位置に適した、すなわち、ある電子部品のリードの半田付け状態を検出する場合において、正常な半田付け状態であれば、どの位置における受光素子9,9′が受光するかは予め判っているので、受光すべき位置の受光素子9,9′をスイッチ群SWによって切替え選択する。
【0024】
例えば、図5に示す如く中央から照射される入射ビームが半田面で反射して、その角度が45°前後(斜線の部分)と予想された場合、反射方向は図4の中央の照射位置に対してグループ分けしたUの方向になる。故に、中央の照射位置で45°の角度の反射光の受光位置に対応するスイッチSW1,SW2,SW3の接点を閉じ、設定値以上の信号の有無を判定することにより半田付けの良否が判る。
【0025】
このように、被検査プリント基板2上の電子部品のリードの種類によって垂直光か斜め光かの判別を行いビームを照射し、その反射光が予めスイッチ群SWでグループ分けした受光素子9,9′(トップセンサ8,15も含む)で受光したか否かによって、半田付け状態が正常であるか不良であるかを判別できるものである。
【0026】
なお、前記した判定方法にあっては、スイッチSWの切替えによって受光素子9,9′よりの信号を得て判定したものについて説明したが、実際にはコンピュータによって切り分け制御が行われる。そこで、グループ分けした受光素子9,9′以外の受光素子9,9′からの信号も出力されるので、グループ分けした出力と他の出力とを比較し、グループ分けした出力が他の出力よりも大きい場合に、半田付け状態が正常であると判定する。
【0027】
【発明の効果】
本発明は前記したように、ハウジングの内面における上方に水平状態で多段にリング状の受光素子を配置し、ビームの照射光の照射位置に応じて検査対象からの反射光を受光するようにしたことにより、少ない受光素子で受光精度を向上することができる。
【0029】
さらに、ビーム照射手段における下部開口の周囲に配置したプリズムによってビーム光を偏向して、被検査プリント基板上の電子部品におけるJリードに対して斜めから照射するようにしたので、限られたスペースで傾斜ビームを効果的に発生することができる等の効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る実装済プリント基板検査装置の概要を示す斜視図である。
【図2】同上の要部を示す入射光路も記載した断面図である。
【図3】同上の反射経路を記載した断面図である。
【図4】受光素子をグループ分けする場合の一例を示す説明図である。
【図5】受光素子をグループ分けするためのスイッチ回路である。
【図6】垂直光による検査装置における受光部の従来例を示す断面図である。
【図7】斜め光による検査装置における受光部の従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 X−Yステージ
2 被検査プリント基板
5 ガルバノメータ
6 ミラー
6a ハーフミラー
6b 全反射ミラー
9,9′ 受光素子
15 プリズム
Claims (2)
- 実装済の被検査プリント基板をX軸方向とY軸方向に移動させるX−Yステージと、
該X−Yステージ上に載置された前記被検査プリント基板の半田に対して細く絞ったビームを垂直に照射した状態でX−Y軸方向に掃引するビーム照射手段と、
前記ビーム照射手段から照射されたビームに対して略垂直方向に反射された反射光を受光する受光素子からなるトップセンサと、
前記ビーム照射手段よりのビームが入射可能な開口部が形成されたボックス状のハウジングと、
該ハウジングの内面上方に水平状態で多段に取付けられたリング状の受光素子とを備え、
予め予測される正常な半田付け状態であれば受光するであろう受光素子をスイッチの切替えによって選択し、該選択した受光素子が反射光を受光したか否かで半田付け状態が正常であるか否かを判別することを特徴とする実装済プリント基板自動検査装置。 - 前記ハウジング内には、前記ビーム照射手段よりのビームを反射する中心部分の円状のハーフミラーと外周部分の全反射ミラーが形成されたミラーが取付けられ、前記ビーム照射手段よりのビームが前記ハーフミラーによって反射されると垂直方向のビームとなり、また前記全反射ミラーによって反射されるとリング状のプリズムを介して斜めビームに偏向され、該斜めに偏向されたビームは被検査プリント基板上の電子部品におけるJリード部の半田面に対して斜めから照射することを特徴とする請求項1記載の実装済プリント基板自動検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09962196A JP4211950B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 実装済プリント基板自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09962196A JP4211950B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 実装済プリント基板自動検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09270600A JPH09270600A (ja) | 1997-10-14 |
| JP4211950B2 true JP4211950B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=14252171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09962196A Expired - Fee Related JP4211950B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 実装済プリント基板自動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4211950B2 (ja) |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP09962196A patent/JP4211950B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09270600A (ja) | 1997-10-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4473581B2 (ja) | 回折性のパターンを備えた表面の異常を検出するための方法及び装置 | |
| US5774224A (en) | Linear-scanning, oblique-viewing optical apparatus | |
| JP4616472B2 (ja) | 表面の異常および/または特徴を検出するためのシステム | |
| KR100334862B1 (ko) | 3각측량법에기초한3차원화상화를위한방법및시스템 | |
| WO2010024067A1 (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
| JPH07335706A (ja) | ワイヤの高さ測定装置 | |
| JP2003017536A (ja) | パターン検査方法及び検査装置 | |
| JP2000294608A (ja) | 表面画像投影装置及び方法 | |
| JP4211950B2 (ja) | 実装済プリント基板自動検査装置 | |
| KR100952522B1 (ko) | 웨이퍼 결함 검출 장치 및 이의 방법 | |
| JP2000088542A (ja) | はんだ付検査装置及び検査方法 | |
| JP2007113941A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| JP3341739B2 (ja) | バンプ頂点検出方法並びにこれを用いたバンプ高さ測定方法及び装置 | |
| KR20010062053A (ko) | 패턴의 광학 검사장치 및 그 검사 방법 | |
| JP3232811B2 (ja) | 実装済みプリント基板の検査方法 | |
| JPH0518723A (ja) | 半田付け状態の外観検査装置 | |
| JP2671896B2 (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH05107043A (ja) | 外観検査装置 | |
| JPH05160223A (ja) | 電子部品の外観検査装置 | |
| KR20060056695A (ko) | 표면결함 검사장치 및 검사방법 | |
| JPH0641164Y2 (ja) | 実装済プリント基板自動検査装置 | |
| JPH06186168A (ja) | 欠陥検査方法及び装置 | |
| JPH03180707A (ja) | 表面欠陥検出装置 | |
| JPH11316109A (ja) | 測定システム | |
| JP2006329834A (ja) | 走査型変位測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040611 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040611 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040611 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040921 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050726 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050926 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051108 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060106 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060112 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060203 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080910 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081023 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131107 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |