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JP4225152B2 - Optical power monitor device - Google Patents
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JP4225152B2 - Optical power monitor device - Google Patents

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Description

本発明は、入力ポートに入力する光のパワーをモニタする光パワーモニタ装置に関するものである。   The present invention relates to an optical power monitoring device that monitors the power of light input to an input port.

非特許文献1に記載された光パワーモニタ装置は、表面に溝が形成された基板と、その溝に配置された光ファイバと、その溝中の光ファイバの途中に斜めに配置された光フィルタと、基板上に配置され光フィルタにより反射された特定波長の光のパワーをモニタする受光素子とを備える。光フィルタの前後では、光ファイバは、その光フィルタの傾斜に合わせて斜めに切断されている。   An optical power monitoring device described in Non-Patent Document 1 includes a substrate having a groove formed on the surface, an optical fiber disposed in the groove, and an optical filter disposed obliquely in the middle of the optical fiber in the groove. And a light receiving element that is disposed on the substrate and monitors the power of light of a specific wavelength reflected by the optical filter. Before and after the optical filter, the optical fiber is cut obliquely according to the inclination of the optical filter.

この光パワーモニタ装置では、光ファイバの一端(入力ポート)に入力した光は光ファイバを伝搬して行って光フィルタに達し、その光のうちの特定波長の光は光フィルタにより反射されて基板の上方に出て行き、基板の上方に出た光は受光素子によりパワーがモニタされる。光フィルタを透過した光は、光ファイバを更に伝搬して行って、光ファイバの他端(出力ポート)から出力される。
T. Uno, et al., "Novel 1.3/1.55 μm dual-wavelength receiver having embedded fiber circuit for optical subscriber systems", OFC'96 Technical Digest, TuJ5 (1996)
In this optical power monitor device, the light input to one end (input port) of the optical fiber propagates through the optical fiber and reaches the optical filter, and the light of a specific wavelength among the light is reflected by the optical filter and is used as a substrate. The light exits above the substrate and the light exits above the substrate is monitored for power by the light receiving element. The light transmitted through the optical filter further propagates through the optical fiber and is output from the other end (output port) of the optical fiber.
T. Uno, et al., "Novel 1.3 / 1.55 μm dual-wavelength receiver having embedded fiber circuit for optical subscriber systems", OFC'96 Technical Digest, TuJ5 (1996)

上記の従来の光パワーモニタ装置では、光フィルタにより反射された光は、光ファイバのクラッド領域を通過し、更に、光ファイバと受光素子との間にある媒体を通過して、受光素子に到達する。したがって、光フィルタにより反射された光が受光素子に到達するまでの光路上にある物質の散乱や屈折率の温度特性に因り、受光素子における受光感度が影響を受ける。また、基板上に受光素子が接着剤により固定されていることから、その接着剤の線膨張係数や塗布量の不均一性に因り、受光素子の位置が温度によって異なり、受光素子における受光感度が影響を受ける可能性がある。このように、上記の従来の光パワーモニタ装置では、受光感度の温度依存性が大きい。   In the above conventional optical power monitoring device, the light reflected by the optical filter passes through the cladding region of the optical fiber, and further passes through the medium between the optical fiber and the light receiving element to reach the light receiving element. To do. Therefore, the light receiving sensitivity of the light receiving element is affected by the scattering of the substance on the optical path until the light reflected by the optical filter reaches the light receiving element and the temperature characteristic of the refractive index. In addition, since the light receiving element is fixed on the substrate with an adhesive, the position of the light receiving element varies depending on the temperature due to the linear expansion coefficient of the adhesive and the nonuniformity of the coating amount, and the light receiving sensitivity of the light receiving element is May be affected. Thus, in the above conventional optical power monitor device, the temperature dependence of the light receiving sensitivity is large.

また、上記の従来の光パワーモニタ装置では、光フィルタにより反射された光が受光素子に到達するまでの光路上に光学的な界面が存在し、その界面を光が通過することに因り偏波依存損失が発生する。また、その界面の一方の側が空気であると、偏波依存損失は更に大きい。   Further, in the above conventional optical power monitoring device, there is an optical interface on the optical path until the light reflected by the optical filter reaches the light receiving element, and the polarization is caused by the light passing through the interface. Dependency loss occurs. Also, if one side of the interface is air, the polarization dependent loss is even greater.

本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、受光感度の温度依存性および偏波依存性を低減することができる光パワーモニタ装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an optical power monitoring device capable of reducing the temperature dependence and polarization dependence of light receiving sensitivity.

本発明に係る光パワーモニタ装置は、入力ポートに入力する光のパワーをモニタする光パワーモニタ装置であって、(1) 入力ポートに入力した光を集光する第1レンズと、第1レンズによる光の集光位置に設けられ入力ポートに入力した光の少なくとも一部を透過させ他の光を反射させる光フィルタと、光フィルタにより反射された光を集光して出力ポートから出力させる第2レンズと、が表面に形成されている透明部材と、(2) 透明部材の表面に形成された光フィルタを透過して透明部材の外部に出た光のパワーをモニタする受光素子と、を備えることを特徴とする。さらに、第1レンズおよび第2レンズが透明部材の第1面に形成され、光フィルタが透明部材の第1面に平行な他の第2面に形成されていることを特徴とする。 An optical power monitoring apparatus according to the present invention is an optical power monitoring apparatus that monitors the power of light input to an input port, and (1) a first lens that collects light input to the input port, and a first lens. An optical filter provided at a light condensing position for transmitting at least part of the light input to the input port and reflecting other light, and collecting the light reflected by the optical filter and outputting it from the output port. A transparent member having two lenses formed on the surface, and (2) a light receiving element that monitors the power of light that has passed through an optical filter formed on the surface of the transparent member and has exited the transparent member. It is characterized by providing. Further, the first lens and the second lens are formed on the first surface of the transparent member, and the optical filter is formed on another second surface parallel to the first surface of the transparent member.

この光パワーモニタ装置では、透明部材の表面に第1レンズ,第2レンズおよび光フィルタが形成されている。入力ポートに入力した光は、第1レンズにより収斂され、透明部材内を進んで光フィルタ上に集光される。光フィルタ上に集光された光の一部は光フィルタを透過し、その他の光は光フィルタにより反射される。光フィルタにより反射された光は、透明部材内を進んで第2レンズに入力し、第2レンズにより収斂され、出力ポートから出力される。一方、光フィルタを透過した光は、透明部材の外部に出て、透明部材と受光素子との間の空間を経て受光素子に入力し、受光素子によりパワーがモニタされる。   In this optical power monitor device, a first lens, a second lens, and an optical filter are formed on the surface of a transparent member. The light input to the input port is converged by the first lens, travels through the transparent member, and is collected on the optical filter. A part of the light collected on the optical filter passes through the optical filter, and the other light is reflected by the optical filter. The light reflected by the optical filter travels through the transparent member, enters the second lens, is converged by the second lens, and is output from the output port. On the other hand, the light that has passed through the optical filter exits the transparent member, enters the light receiving element through the space between the transparent member and the light receiving element, and the power is monitored by the light receiving element.

本発明に係る光パワーモニタ装置は、入力ポート、出力ポート、透明部材および受光素子それぞれの間の相対的方位関係を固定する方位固定手段を備えるのが好適である。また、本発明に係る光パワーモニタ装置は、入力ポートと透明部材との間の距離、出力ポートと透明部材との間の距離、および、透明部材と受光素子との間の距離、それぞれを固定する距離固定手段を備えるのが好適である。これらの場合には、光パワーモニタ装置は容易に作製され得る。   The optical power monitoring device according to the present invention preferably includes azimuth fixing means for fixing a relative azimuth relationship among the input port, the output port, the transparent member, and the light receiving element. The optical power monitoring device according to the present invention fixes the distance between the input port and the transparent member, the distance between the output port and the transparent member, and the distance between the transparent member and the light receiving element. It is preferable to provide a distance fixing means. In these cases, the optical power monitor device can be easily manufactured.

本発明に係る光パワーモニタ装置では、透明部材の線膨張係数は、温度変動があったときにも第1レンズおよび第2レンズそれぞれの透明部材側の集光位置を光フィルタ上に存在させ得るものであるのが好適である。この場合には、入力ポートから出力ポートへの光結合の効率の温度依存性が低減され得る。   In the optical power monitoring device according to the present invention, the linear expansion coefficient of the transparent member can cause the condensing position on the transparent member side of each of the first lens and the second lens to be present on the optical filter even when the temperature fluctuates. It is suitable. In this case, the temperature dependence of the efficiency of optical coupling from the input port to the output port can be reduced.

本発明に係る光パワーモニタ装置は、光フィルタが特定波長の光をパワー分岐するのが好適であり、この場合には、その特定波長の光のパワーをモニタする上で好都合である。   In the optical power monitoring apparatus according to the present invention, it is preferable that the optical filter branches the light of a specific wavelength. In this case, it is convenient to monitor the power of the light of the specific wavelength.

本発明に係る光パワーモニタ装置は、特定波長における光フィルタの透過率の偏波依存性が5%以下であるのが好適であり、この場合には、入力ポートに入力する光の偏波状態に拘わらず、安定して特定波長の光のパワーをモニタすることができる。   In the optical power monitoring device according to the present invention, it is preferable that the polarization dependency of the transmittance of the optical filter at a specific wavelength is 5% or less. In this case, the polarization state of light input to the input port Regardless of this, the power of light of a specific wavelength can be monitored stably.

本発明に係る光パワーモニタ装置は、光フィルタの透過率の波長依存性が5%以下であるのが好適であり、この場合には、入力ポートに入力する光の波長が多少変動したとしても、安定して特定波長の光のパワーをモニタすることができる。   In the optical power monitoring device according to the present invention, it is preferable that the wavelength dependency of the transmittance of the optical filter is 5% or less. In this case, even if the wavelength of light input to the input port varies slightly. The power of light of a specific wavelength can be monitored stably.

本発明に係る光パワーモニタ装置は、入力ポート、出力ポート、第1レンズ、第2レンズおよび受光素子が複数組設けられ、複数組の第1レンズおよび第2レンズが1つの透明部材の表面に配列されて形成されているのが好適である。この場合には、これら複数組それぞれにおいて、各々の入力ポートに入力した光のパワーがモニタされる。また、複数組の第1レンズおよび第2レンズが1つの透明部材の表面に配列されて形成されていることにより、この光パワーモニタ装置は容易に作製され得る。   In the optical power monitoring device according to the present invention, a plurality of sets of input ports, output ports, first lenses, second lenses and light receiving elements are provided, and the plurality of sets of first lenses and second lenses are provided on the surface of one transparent member. It is preferable that they are formed in an array. In this case, the power of light input to each input port is monitored in each of the plurality of sets. In addition, since the plurality of sets of the first lens and the second lens are arranged on the surface of one transparent member, the optical power monitoring device can be easily manufactured.

本発明に係る光パワーモニタ装置は、複数組の入力ポートおよび出力ポートそれぞれの間の相対的位置関係を固定する第1位置固定手段を更に備えるのが好適である。また、本発明に係る光パワーモニタ装置は、複数個の受光素子それぞれの間の相対的位置関係を固定する第2位置固定手段を更に備えるのが好適である。これらの場合には、光パワーモニタ装置は更に容易に作製され得る。   The optical power monitoring device according to the present invention preferably further includes first position fixing means for fixing the relative positional relationship between each of the plurality of sets of input ports and output ports. The optical power monitoring device according to the present invention preferably further includes a second position fixing means for fixing the relative positional relationship between each of the plurality of light receiving elements. In these cases, the optical power monitor device can be more easily manufactured.

本発明に係る光パワーモニタ装置は、複数組それぞれについて個々に光フィルタが設けられていてもよいが、複数組の第1レンズおよび第2レンズに対して共通に光フィルタが設けられているのが好適であり、後者の場合には、透明部材の表面に光フィルタを容易に形成することができる。   In the optical power monitoring apparatus according to the present invention, an optical filter may be provided for each of the plurality of sets, but the optical filter is provided in common for the plurality of sets of the first lens and the second lens. In the latter case, an optical filter can be easily formed on the surface of the transparent member.

本発明によれば、受光感度の温度依存性および偏波依存性が低減され得る。   According to the present invention, the temperature dependency and polarization dependency of the light receiving sensitivity can be reduced.

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図において説明の便宜の為にxyz直交座標系が示されている。   The best mode for carrying out the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. In each figure, an xyz rectangular coordinate system is shown for convenience of explanation.

図1は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置1の斜視図である。この図に示される光パワーモニタ装置1は、光ファイバアレイ部10、透明部材20、フォトダイオードアレイ部30、ガイドピン41〜44およびスペーサ51〜58を備える。なお、この図ではスペーサ53,57は現れていない。この光パワーモニタ装置1は、光ファイバ911〜914,921〜924とともに用いられる。 FIG. 1 is a perspective view of an optical power monitor device 1 according to the present embodiment. The optical power monitoring device 1 shown in this figure includes an optical fiber array section 10, a transparent member 20, a photodiode array section 30, guide pins 41 to 44, and spacers 51 to 58. In this figure, the spacers 53 and 57 do not appear. The optical power monitor device 1 is used in conjunction with optical fibers 91 1 to 91 4, 92 1 to 92 4.

光ファイバアレイ部10、透明部材20およびフォトダイオードアレイ部30それぞれは、概略形状が直方体であり、各々の4隅に4本のガイドピン41〜44を互いに平行に貫通させる貫通孔を有している。棒状のガイドピン41〜44それぞれが延在する方向をz軸方向とする。光ファイバアレイ部10、透明部材20およびフォトダイオードアレイ部30それぞれは、各辺がx軸,y軸およびz軸の何れかと平行となるよう配置されている。   Each of the optical fiber array unit 10, the transparent member 20, and the photodiode array unit 30 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and has through holes through which four guide pins 41 to 44 penetrate in parallel with each other at four corners. Yes. A direction in which each of the rod-shaped guide pins 41 to 44 extends is a z-axis direction. Each of the optical fiber array unit 10, the transparent member 20, and the photodiode array unit 30 is arranged such that each side is parallel to any of the x-axis, y-axis, and z-axis.

光ファイバアレイ部10と透明部材20との間には4つのスペーサ51〜54が設けられている。4つのスペーサ51〜54それぞれは、パイプ形状のものであって、長さが互いに等しい。スペーサ51はガイドピン41が貫通しており、スペーサ52はガイドピン42が貫通しており、スペーサ53はガイドピン43が貫通しており、また、スペーサ54はガイドピン44が貫通している。   Four spacers 51 to 54 are provided between the optical fiber array unit 10 and the transparent member 20. Each of the four spacers 51 to 54 has a pipe shape and has the same length. The spacer 51 is penetrated by the guide pin 41, the spacer 52 is penetrated by the guide pin 42, the spacer 53 is penetrated by the guide pin 43, and the spacer 54 is penetrated by the guide pin 44.

透明部材20とフォトダイオードアレイ部30との間には4つのスペーサ55〜58が設けられている。4つのスペーサ55〜58それぞれは、パイプ形状のものであって、長さが互いに等しい。スペーサ55はガイドピン41が貫通しており、スペーサ56はガイドピン42が貫通しており、スペーサ57はガイドピン43が貫通しており、また、スペーサ58はガイドピン44が貫通している。   Four spacers 55 to 58 are provided between the transparent member 20 and the photodiode array unit 30. Each of the four spacers 55 to 58 has a pipe shape and has the same length. The guide pin 41 penetrates the spacer 55, the guide pin 42 penetrates the spacer 56, the guide pin 43 penetrates the spacer 57, and the guide pin 44 penetrates the spacer 58.

光ファイバアレイ部10は、8本の光ファイバ911〜914,921〜924を2次元配列する為の貫通孔を有している。8本の光ファイバ911〜914,921〜924のうち光ファイバアレイ部10により保持されている部分はz軸方向に平行であり、光ファイバ911〜914がxz平面に平行な面上に配列され、光ファイバ921〜924がxz平面に平行な面上に配列され、光ファイバ911および光ファイバ921がyz平面に平行な面上に配列され、光ファイバ912および光ファイバ922がyz平面に平行な面上に配列され、光ファイバ913および光ファイバ923がyz平面に平行な面上に配列され、また、光ファイバ914および光ファイバ924がyz平面に平行な面上に配列されている。光ファイバアレイ部10は、透明部材20に対向する面上に、光ファイバ911〜914,921〜924それぞれの端面が位置している。 The optical fiber array unit 10 has a through hole for arranging eight optical fibers 91 1 to 91 4, 92 1 to 92 4 2D. Eight optical fibers 91 1 to 91 4, 92 parts held by the inner optical fiber array unit 10 of 1-92 4 is parallel to the z-axis direction, parallel optical fibers 91 1 to 91 4 in the xz plane such is arranged on the surface, the optical fiber 92 1 to 92 4 are arranged on a plane parallel to the xz plane, the optical fiber 91 1 and the optical fiber 92 1 is arranged on a plane parallel to the yz plane, the optical fiber 91 2 and the optical fiber 92 2 are arranged on a plane parallel to the yz plane, the optical fiber 91 3 and the optical fiber 92 3 are arranged on a plane parallel to the yz plane, and the optical fiber 91 4 and the optical fiber 92 4 are arranged. Are arranged on a plane parallel to the yz plane. The optical fiber array unit 10, on a surface facing the transparent member 20, the optical fiber 91 1 to 91 4, 92 1 to 92 4 each of the end faces are located.

透明部材20は、光ファイバ911〜914,921〜924の端面から入出射する光に対して透明な材料(例えば石英ガラス)からなる。透明部材20は、光ファイバアレイ部10に対向する面上にレンズ211〜214,221〜224が形成されている。レンズ211〜214,221〜224それぞれは、透明部材20の表面が成形されたものであり、互いに同等の形状を有し、互いに同等の光学特性を有する。なお、この図ではレンズ214,221〜223は現れていない。透明部材20上のレンズ211は光ファイバ911の端面に略対向する位置にあり、透明部材20上のレンズ212は光ファイバ912の端面に略対向する位置にあり、透明部材20上のレンズ213は光ファイバ913の端面に略対向する位置にあり、透明部材20上のレンズ214は光ファイバ914の端面に略対向する位置にあり、透明部材20上のレンズ221は光ファイバ921の端面に略対向する位置にあり、透明部材20上のレンズ222は光ファイバ922の端面に略対向する位置にあり、透明部材20上のレンズ223は光ファイバ923の端面に略対向する位置にあり、また、透明部材20上のレンズ224は光ファイバ924の端面に略対向する位置にある。 The transparent member 20 is made of a transparent material from the end face of the optical fiber 91 1 to 91 4, 92 1 to 92 4 to light incidence and emission (e.g. quartz glass). The transparent member 20 has lenses 21 1 to 21 4 and 22 1 to 22 4 formed on the surface facing the optical fiber array section 10. Each of the lenses 21 1 to 21 4 and 22 1 to 22 4 is formed by molding the surface of the transparent member 20, has the same shape, and has the same optical characteristics. In this figure, the lenses 21 4 and 22 1 to 22 3 do not appear. The lens 21 1 on the transparent member 20 is at a position substantially opposite to the end face of the optical fiber 91 1 , and the lens 21 2 on the transparent member 20 is at a position substantially opposite to the end face of the optical fiber 91 2 , the lens 21 3 in a position substantially facing the end face of the optical fiber 91 3, lens 21 4 of the transparent member 20 is located at a position substantially facing the end face of the optical fiber 91 4, the lens 22 1 on the transparent member 20 Is at a position substantially opposite to the end face of the optical fiber 92 1 , the lens 22 2 on the transparent member 20 is at a position substantially opposite to the end face of the optical fiber 92 2 , and the lens 22 3 on the transparent member 20 is at the optical fiber 92. located substantially opposite positions on the end surface of 3, also, the lens 22 4 of the transparent member 20 is positioned substantially facing the end face of the optical fiber 92 4.

透明部材20は、フォトダイオードアレイ部30に対向する面上に光フィルタ23が形成されている。光フィルタ23は、入力する光の少なくとも一部を透過させ、他の光を反射させるものであり、例えば誘電体多層膜からなる。光フィルタ23は、特定波長の光をパワー分岐するのが好適であり、例えば、特定波長において透過率が10%で反射率が90%であるのが好適である。また、特定波長における光フィルタ23の透過率の偏波依存性が5%以下であるのが好適であり、この場合には、入力ポートに入力する光の偏波状態に拘わらず、安定して特定波長の光のパワーをモニタすることができる。また、光フィルタ23の透過率の波長依存性が5%以下であるのが好適であり、この場合には、入力ポートに入力する光の波長が多少変動したとしても、安定して光のパワーをモニタすることができる。   In the transparent member 20, an optical filter 23 is formed on a surface facing the photodiode array unit 30. The optical filter 23 transmits at least part of the input light and reflects other light, and is made of, for example, a dielectric multilayer film. The optical filter 23 preferably splits power of light of a specific wavelength. For example, it is preferable that the transmittance is 10% and the reflectance is 90% at the specific wavelength. In addition, it is preferable that the polarization dependency of the transmittance of the optical filter 23 at a specific wavelength is 5% or less. In this case, the transmission is stable regardless of the polarization state of the light input to the input port. The power of light of a specific wavelength can be monitored. Further, it is preferable that the wavelength dependency of the transmittance of the optical filter 23 is 5% or less. In this case, even if the wavelength of the light input to the input port slightly varies, the power of the light is stabilized. Can be monitored.

フォトダイオードアレイ部30は、透明部材20に対向する面上に受光素子として4つのフォトダイオード311〜314を有している。なお、この図ではフォトダイオード312〜314は現れていない。4つのフォトダイオード311〜314はx軸方向に配列されている。フォトダイオード311は、光ファイバ911の端面から出射された光のうちレンズ211および光フィルタ23を経た光を受光し、その光のパワーをモニタする。フォトダイオード312は、光ファイバ912の端面から出射された光のうちレンズ212および光フィルタ23を経た光を受光し、その光のパワーをモニタする。フォトダイオード313は、光ファイバ913の端面から出射された光のうちレンズ213および光フィルタ23を経た光を受光し、その光のパワーをモニタする。また、フォトダイオード314は、光ファイバ914の端面から出射された光のうちレンズ214および光フィルタ23を経た光を受光し、その光のパワーをモニタする。 Photodiode array 30 has four photodiodes 31 1 to 31 4 as a light receiving element on a surface facing the transparent member 20. In this drawing it does not appear photodiode 31 2-31 4. Four photodiodes 31 1 to 31 4 are arranged in the x-axis direction. The photodiode 31 1 receives light that has passed through the lens 21 1 and the optical filter 23 out of light emitted from the end face of the optical fiber 91 1 , and monitors the power of the light. The photodiode 31 2 receives the light that has passed through the lens 21 2 and the optical filter 23 out of the light emitted from the end face of the optical fiber 91 2 , and monitors the power of the light. The photodiode 31 3 receives light that has passed through the lens 21 3 and the optical filter 23 out of light emitted from the end face of the optical fiber 91 3 , and monitors the power of the light. Further, the photodiode 31 4 receives the light passing through the lens 21 4 and the optical filter 23 of the light emitted from the end face of the optical fiber 91 4, monitoring the power of the light.

図2は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置1に含まれる透明部材20の斜視図である。この図に示されるように、透明部材20は、光ファイバアレイ部10に対向する面上にレンズ211〜214,221〜224が形成されている。レンズ211〜214はx軸方向に配列されており、レンズ221〜224もx軸方向に配列されている。 FIG. 2 is a perspective view of the transparent member 20 included in the optical power monitor device 1 according to the present embodiment. As shown in this figure, the transparent member 20 has lenses 21 1 to 21 4 and 22 1 to 22 4 formed on the surface facing the optical fiber array section 10. The lenses 21 1 to 21 4 are arranged in the x-axis direction, and the lenses 22 1 to 22 4 are also arranged in the x-axis direction.

図3は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置1に含まれるフォトダイオードアレイ部30の斜視図である。この図に示されるように、フォトダイオードアレイ部30は、透明部材20に対向する面上に4つのフォトダイオード311〜314を有している。フォトダイオード311〜314はx軸方向に配列されている。 FIG. 3 is a perspective view of the photodiode array unit 30 included in the optical power monitor device 1 according to the present embodiment. As shown in this figure, the photodiode array section 30 has four photodiodes 31 1 to 31 4 on the surface facing the transparent member 20. Photodiode 31 1-31 4 are arranged in the x-axis direction.

図4は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置1のxz断面図であり、光ファイバ911〜914それぞれの光軸を含む面で切断したときの断面を示している。図5は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置1のyz断面図であり、光ファイバ911,921それぞれの光軸を含む面で切断したときの断面を示している。これらの図において、各光ファイバの端面から入出射する光の中心が一点鎖線で示されている。また、以下の説明においてnは1以上4以下の各整数を表す。 Figure 4 is a xz cross-sectional view of an optical power monitor device 1 according to the present embodiment, and shows a cross section when cut by a plane including the optical fiber 91 1 to 91 4 each optical axis. FIG. 5 is a yz cross-sectional view of the optical power monitoring device 1 according to the present embodiment, showing a cross section when cut along a plane including the optical axes of the optical fibers 91 1 and 92 1 . In these drawings, the center of light entering and exiting from the end face of each optical fiber is indicated by a one-dot chain line. In the following description, n represents an integer of 1 to 4.

透明部材20の一方の面に形成されたレンズ21n,22nそれぞれの光軸は、光ファイバ91n,92nそれぞれの光軸と平行である。しかし、レンズ21nおよび光ファイバ91nそれぞれの光軸は、共通の直線上にあるのではなく、y軸方向にずれている。また、レンズ22nおよび光ファイバ92nそれぞれの光軸は、共通の直線上にあるのではなく、y軸方向にずれている。 The optical axes of the lenses 21 n and 22 n formed on one surface of the transparent member 20 are parallel to the optical axes of the optical fibers 91 n and 92 n . However, the optical axes of the lens 21 n and the optical fiber 91 n are not on a common straight line but are shifted in the y-axis direction. Further, the optical axes of the lens 22 n and the optical fiber 92 n are not on a common straight line but are shifted in the y-axis direction.

レンズ21nは、光ファイバアレイ部10の表面に位置する光ファイバ91nの端面(入力ポート)から発散光として出力された光を入力し、その光を光フィルタ23上に集光する。透明部材20の他方の面に形成された光フィルタ23は、レンズ21nにより集光されて到達した光を入力して、その光のうちの少なくとも一部を透過させ、他の光をレンズ22nへ反射させる。レンズ22nは、光フィルタ23により反射されて到達した光を入力して集光し、光ファイバアレイ部10の表面に位置する光ファイバ92nの端面(出力ポート)に該光を入力させる。フォトダイオード31nは、光フィルタ23を透過して透明部材20の外部に出た一部の光を受光して、その光のパワーをモニタする。 The lens 21 n receives light output as divergent light from the end face (input port) of the optical fiber 91 n located on the surface of the optical fiber array unit 10, and condenses the light on the optical filter 23. The optical filter 23 formed on the other surface of the transparent member 20 inputs the light that has been collected and reached by the lens 21 n , transmits at least part of the light, and transmits the other light to the lens 22. Reflect to n . The lens 22 n receives and collects the light that has been reflected by the optical filter 23 and collects the light, and inputs the light to the end face (output port) of the optical fiber 92 n located on the surface of the optical fiber array unit 10. The photodiode 31 n receives a portion of the light that has passed through the optical filter 23 and has exited the transparent member 20, and monitors the power of the light.

次に、本実施形態に係る光パワーモニタ装置1の動作について説明する。光ファイバ21nを導波してきた光は、その光ファイバ21nの端面から出力されて、光パワーモニタ装置1の入力ポートに入力する。光ファイバ21nの端面から出力された光は、発散しながらz軸に平行に進んでレンズ21nに入力し、レンズ21nにより収斂される。レンズ21nにより収斂された光は、z軸方向に対して或る角度をなす方向に透明部材20内を進み、光フィルタ23上に集光される。光フィルタ23上に集光された光の一部は光フィルタ23を透過し、残部の光は光フィルタ23により反射される。 Next, the operation of the optical power monitor device 1 according to this embodiment will be described. Light optical fiber 21 n has been guided is output from the end face of the optical fiber 21 n, input to the input port of the optical power monitor device 1. Light outputted from the end face of the optical fiber 21 n is input to the lens 21 n proceed parallel to the z-axis while diverging, it is converging by the lens 21 n. The light converged by the lens 21 n travels through the transparent member 20 in a direction that forms an angle with respect to the z-axis direction, and is condensed on the optical filter 23. A part of the light collected on the optical filter 23 passes through the optical filter 23, and the remaining light is reflected by the optical filter 23.

光フィルタ23により反射された光は、発散しながらz軸方向に対して或る角度をなす方向に透明部材20内を進んでレンズ22nに入力し、レンズ22nにより収斂される。レンズ22nにより収斂された光は、z軸に平行に進んで光ファイバ92nの端面に集光され、光パワーモニタ装置1の出力ポートから出力されて光ファイバ92nの端面に入力する。一方、光フィルタ23を透過した光は、透明部材20の外部に出て、透明部材20とフォトダイオードアレイ部30との間の空間を経てフォトダイオード31nに入力し、フォトダイオード31nによりパワーがモニタされる。 The light reflected by the optical filter 23 is input to the lens 22 n advances through the transparent member 20 in the direction forming an angle to the z-axis direction while diverging, it is converging by the lens 22 n. The light converged by the lens 22 n travels parallel to the z-axis, is condensed on the end face of the optical fiber 92 n , is output from the output port of the optical power monitor device 1 and is input to the end face of the optical fiber 92 n . On the other hand, the light that has passed through the optical filter 23 exits from the transparent member 20 and enters the photodiode 31 n through the space between the transparent member 20 and the photodiode array section 30, and is powered by the photodiode 31 n. Is monitored.

以上のように、本実施形態に係る光パワーモニタ装置1では、光ファイバ91nの端面(入力ポート)から光フィルタ23へ至るまでの光路(以下「第1光路」という。)においてレンズ21nが集光光学系をなしており、光フィルタ23から光ファイバ92nの端面(出力ポート)へ至るまでの光路(以下「第2光路」という。)においてレンズ22nが集光光学系をなしている。光フィルタ23からフォトダイオード31nへ至るまでの光路(以下「第3光路」という。)において界面が存在しない。また、第1光路,第2光路および第3光路それぞれにおいて、接着剤その他の光を散乱させる媒体が設けられることは無い。したがって、本実施形態に係る光パワーモニタ装置1は、受光感度の温度依存性および偏波依存性が低減され得る。 As described above, in the optical power monitoring device 1 according to the present embodiment, the lens 21 n in the optical path from the end face (input port) of the optical fiber 91 n to the optical filter 23 (hereinafter referred to as “first optical path”). Constitutes a condensing optical system, and the lens 22 n constitutes a condensing optical system in the optical path from the optical filter 23 to the end face (output port) of the optical fiber 92 n (hereinafter referred to as “second optical path”). ing. There is no interface in the optical path from the optical filter 23 to the photodiode 31 n (hereinafter referred to as “third optical path”). Further, an adhesive or other medium that scatters light is not provided in each of the first optical path, the second optical path, and the third optical path. Therefore, the optical power monitoring device 1 according to the present embodiment can reduce the temperature dependency and polarization dependency of the light receiving sensitivity.

なお、ガイドピン41〜44は、光ファイバ911〜914の端面(入力ポート)、光ファイバ921〜924の端面(出力ポート)、透明部材20およびフォトダイオード311〜314それぞれの間の相対的方位関係を固定するものであり、方位固定手段として作用する。スペーサ51〜58は、光ファイバ911〜914の端面(入力ポート)と透明部材20との間の距離、光ファイバ921〜924の端面(出力ポート)と透明部材20との間の距離、および、透明部材20とフォトダイオード311〜314との間の距離、それぞれを固定するものであり、距離固定手段として作用する。光ファイバアレイ部10は、4組の入力ポートおよび出力ポートそれぞれの間の相対的位置関係を固定する第1位置固定手段として作用する。フォトダイオードアレイ部30は、4個のフォトダイオードフォトダイオード311〜314それぞれの間の相対的位置関係を固定する第2位置固定手段として作用する。光パワーモニタ装置1は、このような方位固定手段、距離固定手段、第1位置固定手段または第2位置固定手段を備えることにより、組み立ての際に各構成部品の位置決めや光軸調整が不要または容易となって、高精度のものが容易に作製され得る。 The guide pins 41 to 44, the end face of the optical fiber 91 1 to 91 4 (input port), the end face of the optical fiber 92 1 to 92 4 (output port), the transparent member 20 and the photodiode 31 1-31 4 each It fixes the relative azimuth relationship between them and acts as an azimuth fixing means. The spacer 51 to 58, between the end faces of the optical fibers 91 1 to 91 4 (input port) and the transparent member 20 a distance, between the end face of the optical fiber 92 1 to 92 4 (output port) and the transparent member 20 distance, and the distance between the transparent member 20 and the photodiode 31 1-31 4, which fixes the respective acts as a distance fixing means. The optical fiber array unit 10 functions as first position fixing means for fixing the relative positional relationship between each of the four sets of input ports and output ports. The photodiode array section 30 functions as second position fixing means for fixing the relative positional relationship between the four photodiode photodiodes 31 1 to 31 4 . The optical power monitoring device 1 includes such azimuth fixing means, distance fixing means, first position fixing means, or second position fixing means, so that positioning of each component and adjustment of the optical axis are not required during assembly. It becomes easy and a high-precision thing can be produced easily.

また、透明部材20の線膨張係数は、温度変動があったときにもレンズ21nおよびレンズ22nそれぞれの透明部材20側の集光位置を光フィルタ23上に存在させ得るものであるのが好適である。すなわち、温度変動があったときに、レンズ21nおよびレンズ22nそれぞれの透明部材20側の集光位置のz軸方向の変動の量と、透明部材20のz軸方向の熱膨張または熱収縮の量とが、互いに同程度であるのが好適である。 Further, the linear expansion coefficient of the transparent member 20 is such that the condensing position on the transparent member 20 side of each of the lens 21 n and the lens 22 n can exist on the optical filter 23 even when the temperature varies. Is preferred. That is, when there is a temperature variation, the lens 21 n and the lens 22 n and the amount of z-axis direction of the fluctuation of the focusing position of each of the transparent member 20 side, of the z-axis direction of the transparent member 20 thermal expansion or contraction It is preferable that the amounts of the two are substantially equal to each other.

レンズ21nおよびレンズ22nそれぞれの透明部材20側の焦点距離(各レンズが形成されている面と透明部材20側の集光位置との間の距離)fは、透明部材20の屈折率nおよび各レンズのレンズ面の曲率βを変数とする関数で表される。透明部材20の屈折率nは、温度Tを変数とする関数で表される。各レンズのレンズ面の曲率βも、温度Tを変数とする関数で表される。また、透明部材20のz軸方向の厚み(各レンズが形成されている面と光フィルタ23との間の距離)も、温度Tを変数とする関数で表される。 The focal length of each of the lens 21 n and the lens 22 n on the transparent member 20 side (the distance between the surface on which each lens is formed and the condensing position on the transparent member 20 side) f is the refractive index n of the transparent member 20. And a function having the curvature β of the lens surface of each lens as a variable. The refractive index n of the transparent member 20 is expressed by a function having the temperature T as a variable. The curvature β of the lens surface of each lens is also expressed by a function having the temperature T as a variable. Further, the thickness of the transparent member 20 in the z-axis direction (the distance between the surface on which each lens is formed and the optical filter 23) is also expressed by a function having the temperature T as a variable.

そして、透明部材20の線膨張係数をαとし、基準温度T0における透明部材20のz軸方向の厚みをd0とすると、使用温度範囲(例えば−20℃〜+80℃)内の任意の温度T(=T0+ΔT)において、レンズ21nおよびレンズ22nそれぞれの透明部材20側の焦点距離と透明部材20のz軸方向の厚みとが互いに略等しいのが好適であり、すなわち、上記の各パラメータの間に
f(β(T),n(T))=d0(1+αΔT) …(1)
なる関係式が成り立つのが好適である。このような条件を満たす材料からなる透明部材20を用いることにより、本実施形態に係る光パワーモニタ装置1は、光ファイバ91nの端面(入力ポート)から光ファイバ92nの端面(出力ポート)への光結合の効率の温度依存性が低減され得る。
When the linear expansion coefficient of the transparent member 20 is α and the thickness of the transparent member 20 in the z-axis direction at the reference temperature T 0 is d 0 , any temperature within the operating temperature range (for example, −20 ° C. to + 80 ° C.). At T (= T 0 + ΔT), it is preferable that the focal length of the lens 21 n and the lens 22 n on the transparent member 20 side and the thickness of the transparent member 20 in the z-axis direction are substantially equal to each other. Between each parameter, f (β (T), n (T)) = d 0 (1 + αΔT) (1)
It is preferable that the following relational expression holds. By using the transparent member 20 made of a material satisfying such conditions, the optical power monitoring device 1 according to the present embodiment can be used from the end face (input port) of the optical fiber 91 n to the end face (output port) of the optical fiber 92 n. The temperature dependence of the efficiency of optical coupling to can be reduced.

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態に係る光パワーモニタ装置1では4チャンネルに対して共通に光フィルタ23が透明部材20の表面に形成されていたが、4チャンネルそれぞれについて個々に光フィルタが設けられていてもよい。前者の場合には、透明部材20の表面に光フィルタ23を容易に形成することができる。一方、後者の場合には、チャンネル毎に光フィルタの透過波長を異なるものとすることで、チャンネル毎にモニタする光の波長を異なるものとすることが容易にできる。また、上記実施形態に係る光パワーモニタ装置1は4チャンネルのものであったが、本発明ではチャンネル数は任意である。   The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, in the optical power monitor device 1 according to the above embodiment, the optical filter 23 is formed on the surface of the transparent member 20 in common for the four channels, but the optical filter may be provided for each of the four channels. Good. In the former case, the optical filter 23 can be easily formed on the surface of the transparent member 20. On the other hand, in the latter case, the wavelength of light to be monitored can be easily made different for each channel by making the transmission wavelength of the optical filter different for each channel. Moreover, although the optical power monitoring apparatus 1 according to the above embodiment has four channels, in the present invention, the number of channels is arbitrary.

本実施形態に係る光パワーモニタ装置1の斜視図である。1 is a perspective view of an optical power monitor device 1 according to the present embodiment. 本実施形態に係る光パワーモニタ装置1に含まれる透明部材20の斜視図である。It is a perspective view of the transparent member 20 contained in the optical power monitor apparatus 1 which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る光パワーモニタ装置1に含まれるフォトダイオードアレイ部30の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a photodiode array unit 30 included in the optical power monitor device 1 according to the present embodiment. 本実施形態に係る光パワーモニタ装置1のxz断面図である。It is xz sectional drawing of the optical power monitor apparatus 1 which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る光パワーモニタ装置1のyz断面図である。It is yz sectional drawing of the optical power monitor apparatus 1 which concerns on this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…光パワーモニタ装置、10…光ファイバアレイ部、20…透明部材、211〜214,221〜224…レンズ、23…光フィルタ、30…フォトダイオードアレイ部、311〜314…フォトダイオード、41〜44…ガイドピン、51〜58…スペーサ、911〜914,921〜924…光ファイバ。 1 ... optical power monitor device, 10 ... optical fiber array unit, 20 ... transparent member, 21 1 to 21 4, 22 1 to 22 4 ... lens, 23 ... optical filter, 30 ... photodiode array unit, 31 1-31 4 ... Photodiode, 41 to 44... Guide pin, 51 to 58. Spacer, 91 1 to 91 4 , 92 1 to 92 4 .

Claims (11)

入力ポートに入力する光のパワーをモニタする光パワーモニタ装置であって、
前記入力ポートに入力した光を集光する第1レンズと、前記第1レンズによる光の集光位置に設けられ前記入力ポートに入力した光の少なくとも一部を透過させ他の光を反射させる光フィルタと、前記光フィルタにより反射された光を集光して前記出力ポートから出力させる第2レンズと、が表面に形成されている透明部材と、
前記透明部材の表面に形成された前記光フィルタを透過して前記透明部材の外部に出た光のパワーをモニタする受光素子と、
を備え、
前記第1レンズおよび前記第2レンズが前記透明部材の第1面に形成され、
前記光フィルタが前記透明部材の前記第1面に平行な他の第2面に形成されている、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
An optical power monitoring device for monitoring the power of light input to an input port,
A first lens that condenses light input to the input port, and light that is provided at a light condensing position of the first lens and transmits at least part of the light input to the input port and reflects other light. A transparent member formed on the surface of a filter and a second lens that collects the light reflected by the optical filter and outputs the light from the output port;
A light receiving element that monitors the power of light that has passed through the optical filter formed on the surface of the transparent member and has exited the transparent member;
Bei to give a,
The first lens and the second lens are formed on a first surface of the transparent member;
The optical filter is formed on another second surface parallel to the first surface of the transparent member;
An optical power monitor device characterized by that.
前記入力ポート、前記出力ポート、前記透明部材および前記受光素子それぞれの間の相対的方位関係を固定する方位固定手段を備えることを特徴とする請求項1記載の光パワーモニタ装置。   2. The optical power monitoring apparatus according to claim 1, further comprising azimuth fixing means for fixing a relative azimuth relationship among the input port, the output port, the transparent member, and the light receiving element. 前記入力ポートと前記透明部材との間の距離、前記出力ポートと前記透明部材との間の距離、および、前記透明部材と前記受光素子との間の距離、それぞれを固定する距離固定手段を備えることを特徴とする請求項1記載の光パワーモニタ装置。   Distance fixing means for fixing the distance between the input port and the transparent member, the distance between the output port and the transparent member, and the distance between the transparent member and the light receiving element are provided. The optical power monitoring apparatus according to claim 1. 前記透明部材の線膨張係数が、温度変動があったときにも前記第1レンズおよび前記第2レンズそれぞれの前記透明部材側の集光位置を前記光フィルタ上に存在させ得るものである、ことを特徴とする請求項1記載の光パワーモニタ装置。   The linear expansion coefficient of the transparent member can cause the condensing position on the transparent member side of each of the first lens and the second lens to be present on the optical filter even when the temperature varies. The optical power monitor apparatus according to claim 1. 前記光フィルタが特定波長の光をパワー分岐することを特徴とする請求項1記載の光パワーモニタ装置。   The optical power monitoring apparatus according to claim 1, wherein the optical filter branches power of light having a specific wavelength. 前記特定波長における前記光フィルタの透過率の偏波依存性が5%以下であることを特徴とする請求項1記載の光パワーモニタ装置。   2. The optical power monitor device according to claim 1, wherein the polarization dependency of the transmittance of the optical filter at the specific wavelength is 5% or less. 前記光フィルタの透過率の波長依存性が5%以下であることを特徴とする請求項1記載の光パワーモニタ装置。   2. The optical power monitor device according to claim 1, wherein the wavelength dependency of the transmittance of the optical filter is 5% or less. 前記入力ポート、前記出力ポート、前記第1レンズ、前記第2レンズおよび前記受光素子が複数組設けられ、
複数組の前記第1レンズおよび前記第2レンズが1つの前記透明部材の表面に配列されて形成されている、
ことを特徴とする請求項1記載の光パワーモニタ装置。
A plurality of sets of the input port, the output port, the first lens, the second lens, and the light receiving element;
A plurality of sets of the first lens and the second lens are formed on the surface of one transparent member,
The optical power monitoring apparatus according to claim 1.
複数組の前記入力ポートおよび前記出力ポートそれぞれの間の相対的位置関係を固定する第1位置固定手段を更に備えることを特徴とする請求項8記載の光パワーモニタ装置。   9. The optical power monitoring apparatus according to claim 8, further comprising first position fixing means for fixing a relative positional relationship between each of the plurality of sets of the input port and the output port. 複数個の前記受光素子それぞれの間の相対的位置関係を固定する第2位置固定手段を更に備えることを特徴とする請求項8記載の光パワーモニタ装置。   9. The optical power monitoring apparatus according to claim 8, further comprising second position fixing means for fixing a relative positional relationship between each of the plurality of light receiving elements. 複数組の前記第1レンズおよび前記第2レンズに対して共通に前記光フィルタが設けられていることを特徴とする請求項8記載の光パワーモニタ装置。


9. The optical power monitoring apparatus according to claim 8, wherein the optical filter is provided in common for the plurality of sets of the first lens and the second lens.


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