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JP4240474B2 - Thermocompression bonding apparatus and thermocompression bonding method - Google Patents
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Description

この発明は、フレキシブル回路基板(FPC=Flexible Printed Circuit)に形成された電極配線面に対して、異方性導電膜(ACF=Anisotropic Conductive Film )を熱圧着手段により仮固定する技術に関し、特にその仮固定の工程において利用される熱圧着装置および熱圧着方法に関する。 The present invention relates to a technique for temporarily fixing an anisotropic conductive film (ACF = Anisotropic Conductive Film) to an electrode wiring surface formed on a flexible circuit board (FPC = Flexible Printed Circuit) by means of a thermocompression bonding means. about the thermocompression bonding device and thermocompression bonding how is utilized in the temporary fixing process.

携帯電話機や携帯情報端末機(PDA)などの普及によって、高精細な画像表示機能を有し、薄型かつ低消費電力を実現することができる表示パネルが求められており、従来より液晶表示パネルがその要求を満たす表示パネルとして多くの製品に採用されている。また昨今においては、自発光型表示素子であるという特質を生かした有機EL(エレクトロルミネッセンス)表示パネルも前記したような一部の電子機器に採用されており、これが従来の液晶表示パネルに代わる次世代の表示パネルとして注目されている。   With the widespread use of mobile phones and personal digital assistants (PDAs), a display panel having a high-definition image display function and capable of realizing a thin shape and low power consumption has been demanded. It is used in many products as a display panel that satisfies this requirement. In recent years, organic EL (electroluminescence) display panels that take advantage of the characteristic of being self-luminous display elements have also been adopted in some electronic devices as described above, which replaces conventional liquid crystal display panels. It is attracting attention as a generation display panel.

このような表示パネルにおいては、パネルを構成する例えばガラス等の透明基板上にストライプ状に多数のデータ線と、これに直交するようにして多数の走査線とが配列され、これらデータ線と走査線との交差位置に、それぞれ表示画素が例えばマトリクス状に形成される。そして、前記各データ線および各走査線は、表示パネルを構成する前記した透明基板の直交する各端部において、前記したフレキシブル回路基板(以下、FPCともいう。)に接続され、このFPCに配列された多数の電極配線を介して画素駆動用のデータドライバおよび走査ドライバなどからの駆動信号を受けることができるように構成されている。   In such a display panel, a large number of data lines and a large number of scanning lines are arranged in a stripe pattern on a transparent substrate such as glass constituting the panel, and these data lines and scans are arranged. Display pixels are formed in a matrix, for example, at the intersections with the lines. The data lines and the scanning lines are connected to the flexible circuit board (hereinafter also referred to as FPC) at the orthogonal ends of the transparent substrate constituting the display panel, and are arranged in the FPC. It is configured to receive drive signals from a pixel driver data driver, a scan driver, and the like through the numerous electrode wirings.

前記したように、例えば表示パネルを構成する透明基板上のデータ線および走査線に対して、それぞれフレキシブル回路基板における各電極配線を接続する手段として、従来より異方性導電膜(以下、ACFともいう。)を介して熱圧着により相互に接続する手段が採用されている。   As described above, for example, an anisotropic conductive film (hereinafter also referred to as ACF) has been conventionally used as a means for connecting each electrode wiring in a flexible circuit board to a data line and a scanning line on a transparent substrate constituting a display panel. Means for connecting to each other by thermocompression bonding.

このACFは、熱可塑性もしくは熱硬化性樹脂フィルム内に多数の導電粒子を分散させたものであり、熱圧着ヘッドを所定の圧力により当接させることにより、対峙する端子間において導電粒子がつながって単一方向の導電性を示し、これにより端子間同士の導通をとることができると共に機械的な接続も果たすことができる。したがって、このACFを利用した熱圧着手段は、前記したように多数の端子間同士を一括して接続する場合において好適に利用することができる。   This ACF is obtained by dispersing a large number of conductive particles in a thermoplastic or thermosetting resin film. When the thermocompression bonding head is brought into contact with a predetermined pressure, the conductive particles are connected between facing terminals. It exhibits electrical conductivity in a single direction, which allows conduction between terminals and mechanical connection. Therefore, the thermocompression bonding means using the ACF can be suitably used when a large number of terminals are connected together as described above.

前記したようにACFを利用して、FPCを例えば表示パネルを構成する透明基板上のデータ線もしくは走査線に対して熱圧着させるには、まずFPCにおける電極配線面に対してACFを仮固定する工程が実行される。次にFPCに仮固定された前記ACFを、透明基板上のデータ線もしくは走査線に対して当接させて、FPCの裏面よりヘッドをさらに熱圧着(本圧着)することで、前記ACFを介して透明基板上のデータ線もしくは走査線に対してFPCにおける各電極配線を接続させることができる。   As described above, in order to thermocompression-bond an FPC to, for example, a data line or a scanning line on a transparent substrate constituting a display panel using the ACF, first, the ACF is temporarily fixed to the electrode wiring surface in the FPC. The process is executed. Next, the ACF temporarily fixed to the FPC is brought into contact with the data line or the scanning line on the transparent substrate, and the head is further thermocompression-bonded (main-compression bonding) from the back surface of the FPC. Thus, each electrode wiring in the FPC can be connected to the data line or the scanning line on the transparent substrate.

前記したACFを例えばFPCに対して仮固定するプロセス、および仮固定したACFを利用して、FPCを表示パネル面に本圧着させるプロセスを実行することについては、本件の出願人においてすでに出願した特許文献1に開示されている。
特開2003−86999号公報
Patents already filed by the applicant of the present application for executing the process of temporarily fixing the ACF to, for example, the FPC and the process of permanently pressing the FPC to the display panel surface using the temporarily fixed ACF. It is disclosed in Document 1.
JP 2003-86999 A

ところで、前記したACFを介して、例えば表示パネルの基板面に回路接続される前記FPCは、フレキシブルなフィルム状のベース部材面に銅泊のパターン(電極配線)を形成して、さらにその上に絶縁レジストを塗布した構成になされている。そして、前記したACFを仮固定させる領域には絶縁レジストを塗布せずに、前記電極配線を露出させた構成になされている。   By the way, for example, the FPC circuit-connected to the substrate surface of the display panel through the ACF described above forms a copper stay pattern (electrode wiring) on a flexible film-like base member surface, and further thereon An insulating resist is applied. The region where the ACF is temporarily fixed is configured such that the electrode wiring is exposed without applying an insulating resist.

図1は、その例を示したものであり、FPC1の端部を拡大して示している。符号2はFPC1を構成するフィルム状のベース部材を示している。このベース部材2上には破線で示したように銅泊による電極配線3が互いに平行にストライプ状に形成されており、この電極配線3が形成された面には、後述する一部を除いた全面にさらに絶縁レジストが塗布されて、絶縁レジスト層4が形成されている。   FIG. 1 shows an example thereof, and shows an enlarged end portion of the FPC 1. Reference numeral 2 denotes a film-like base member constituting the FPC 1. On the base member 2, as shown by broken lines, electrode wirings 3 made of copper are formed in parallel with each other in a stripe shape, and a part of the surface on which the electrode wirings 3 are formed is excluded later. An insulating resist is further applied to the entire surface to form an insulating resist layer 4.

符号5で示す鎖線に囲まれた矩形状の領域は、ACF(同じく符号5で示す)が仮固定される領域を示しており、前記した絶縁レジスト層4はACF5が仮固定される領域内における前記電極配線3の部分を、レジスト層の未形成(未塗装)部分にしている。すなわち、符号3aで示すハッチングを施した領域において電極配線3を露出させた状態に形成している。そして、電極配線の露出部分3aにはハッチングを白抜き状態で示したように、必要に応じて金メッキ3bが施されている。   A rectangular area surrounded by a chain line indicated by reference numeral 5 indicates an area where ACF (also indicated by reference numeral 5) is temporarily fixed, and the insulating resist layer 4 described above is in the area where ACF 5 is temporarily fixed. The portion of the electrode wiring 3 is an unformed (unpainted) portion of the resist layer. That is, the electrode wiring 3 is exposed in the hatched area indicated by reference numeral 3a. The exposed portion 3a of the electrode wiring is gold-plated 3b as necessary, as shown by hatching in white.

前記したようにACF5は、電極配線の露出部分3aの全体をカバーすると共に、さらにその周辺の絶縁レジスト層4が施された部分もカバーするように仮固定される。これは絶縁レジスト層4の境界部付近は力学的にストレスが集中しやすく、繰り返し折り曲げ等の力が作用すると、この部分にクラックなどが発生しやすい。したがって、前記した問題を回避するためにACF5は、電極配線3の露出部分3aを含む絶縁レジスト層4の形成位置を広くカバーする領域に固定される。   As described above, the ACF 5 is temporarily fixed so as to cover the entire exposed portion 3a of the electrode wiring and also cover the portion provided with the insulating resist layer 4 in the periphery thereof. This is because stress tends to concentrate mechanically in the vicinity of the boundary portion of the insulating resist layer 4, and when a force such as repeated bending is applied, a crack or the like is likely to occur in this portion. Therefore, in order to avoid the above-described problem, the ACF 5 is fixed to a region that widely covers the formation position of the insulating resist layer 4 including the exposed portion 3 a of the electrode wiring 3.

図2および図3は、図1に示した構成のFPC1に対してACF5を仮固定させる様子を示したものである。すなわち、図2および図3におけるFPC1は、図1に示すA部分を拡大した断面図で示している。なお、図2および図3においては、図1に示す各部に対応する部分を同一符号で示している。   2 and 3 show how the ACF 5 is temporarily fixed to the FPC 1 having the configuration shown in FIG. That is, the FPC 1 in FIGS. 2 and 3 is shown in an enlarged cross-sectional view of a portion A shown in FIG. In FIGS. 2 and 3, parts corresponding to the parts shown in FIG.

図2および図3に示すように、FPC1に対してACF5を仮固定させる場合には、FPC1は熱圧着装置を構成するバックアップステージ10上に載置される。このバックアップステージ10は比較的硬質で熱伝導率の小さな素材により構成され、回路基板の載置面10sはフラット(平面状)になされている。そして、FPC1の上面には図2に示すようにACF5が載置される。このACF5の載置位置は、前記したように電極配線3の露出部分3aを含む絶縁レジスト層4の形成位置をカバーするように載置される。   As shown in FIGS. 2 and 3, when the ACF 5 is temporarily fixed to the FPC 1, the FPC 1 is placed on the backup stage 10 that constitutes the thermocompression bonding apparatus. The backup stage 10 is made of a material that is relatively hard and has low thermal conductivity, and the mounting surface 10s of the circuit board is flat (planar). An ACF 5 is placed on the upper surface of the FPC 1 as shown in FIG. The placement position of the ACF 5 is placed so as to cover the formation position of the insulating resist layer 4 including the exposed portion 3a of the electrode wiring 3 as described above.

この場合、図2に示したようにレジスト層4に厚さが有るために、電極配線の露出部分3aとレジスト層4との間には段差が発生し、この段差部分においてACF5の裏面側に比較的大きな空間13aが発生する。そして、図2に示すように熱圧着装置を構成する熱圧着ヘッド11が降下してACF5を加熱させると共に、これをFPC1側に圧接させる。これにより、ACF5を構成する樹脂素材が熱変形し、ACF5はFPC1上に仮固定される。そして、図3に示すように熱圧着ヘッド11は上昇してFPC1に対してACF5を仮固定する工程が終了する。   In this case, since the resist layer 4 has a thickness as shown in FIG. 2, a step is generated between the exposed portion 3a of the electrode wiring and the resist layer 4, and this step portion has a back surface side of the ACF 5. A relatively large space 13a is generated. Then, as shown in FIG. 2, the thermocompression bonding head 11 constituting the thermocompression bonding apparatus descends to heat the ACF 5 and press-contact it to the FPC 1 side. As a result, the resin material constituting the ACF 5 is thermally deformed, and the ACF 5 is temporarily fixed on the FPC 1. Then, as shown in FIG. 3, the thermocompression bonding head 11 is raised and the process of temporarily fixing the ACF 5 to the FPC 1 is completed.

FPC1に対してACF5を仮固定した状態においては、図3に示されたように電極配線の露出部分3aとレジスト層4との間の段差の存在により、ACF5の裏面側には、なおも密封された空間13bが残されるという問題が発生する。この密封された空間13b内に残された空気は、この後の本圧着を行なう際に熱圧着ヘッドからの熱を受けて膨張し、電極配線の露出部分3aとの間における電気的な接続を疎外させるという問題を発生させることになる。   In the state where the ACF 5 is temporarily fixed to the FPC 1, the back side of the ACF 5 is still sealed due to the presence of a step between the exposed portion 3a of the electrode wiring and the resist layer 4 as shown in FIG. There arises a problem that the space 13b is left. The air left in the sealed space 13b expands by receiving heat from the thermocompression bonding head during the subsequent main pressure bonding, and makes an electrical connection with the exposed portion 3a of the electrode wiring. The problem of alienation will occur.

前記した問題を回避するには、例えば絶縁レジスト層4に予め空気の逃げパターンを作つておくことが考えられる。しかしながら、レジスト層4は一般的にスクリーン印刷で形成されるために0.3mm程度の誤差が生じ、ファインピッチの電極端子に対応した細かい空気の逃げパターンを形成することは困難である。またスクリーン印刷を避けて、マスクを使うなどすればレジスト層4に細かい空気の逃げパターンを作成できる可能はあるものの、このための工程が複雑でコストアップとなり現実的ではない。   In order to avoid the above-described problem, for example, it is conceivable to create an air escape pattern in the insulating resist layer 4 in advance. However, since the resist layer 4 is generally formed by screen printing, an error of about 0.3 mm occurs, and it is difficult to form a fine air escape pattern corresponding to a fine pitch electrode terminal. Although it is possible to create a fine air escape pattern on the resist layer 4 by avoiding screen printing and using a mask, the process for this is complicated and costly, which is not practical.

この発明は、前記した問題点に着目してなされたものであり、フレキシブル回路基板に対して異方性導電膜を仮固定する工程において、回路基板と異方性導電膜との間に密閉空間が形成される度合いを遥かに低減させることができる熱圧着装置および熱圧着方法を提供することを課題とするものであり、これにより、電気的な信頼性を向上させたフレキシブル回路基板およびこれを搭載した電子機器を提供しようとするものである。   The present invention has been made paying attention to the above-described problems, and in the step of temporarily fixing the anisotropic conductive film to the flexible circuit board, a sealed space is provided between the circuit board and the anisotropic conductive film. It is an object of the present invention to provide a thermocompression bonding apparatus and a thermocompression bonding method that can greatly reduce the degree of formation of a flexible circuit board with improved electrical reliability, and a It is intended to provide onboard electronic equipment.

前記した課題を解決するためになされたこの発明にかかる熱圧着装置は、請求項1に記載のとおり、フレキシブル回路基板を載置するバックアップステージと、前記フレキシブル回路基板の電極配線面に対してさらに載置した異方性導電膜に当接する熱圧着ヘッドとを具備した熱圧着装置であって、前記バックアップステージにおける前記フレキシブル回路基板の載置面の一部には、前記フレキシブル回路基板における電極配線の露出部と絶縁レジスト層との境界部が配置されるための、前記フレキシブル回路基板におけるフィルム状ベース部材の厚さの20〜100%の深さを有する凹部を備え、前記凹部は、前記フレキシブル回路基板の端部が入り込むように構成され、前記バックアップステージに形成された前記凹部から前記フレキシブル回路基板の載置面に立ち上がる境界部が、前記凹部の面に対して90度を超える傾斜面になされている点に特徴を有する。 The thermocompression bonding apparatus according to the present invention, which has been made in order to solve the above-described problem, further includes a backup stage on which a flexible circuit board is placed and an electrode wiring surface of the flexible circuit board. A thermocompression bonding apparatus comprising a thermocompression bonding head that abuts on the mounted anisotropic conductive film, wherein electrode wiring in the flexible circuit board is formed on a part of the mounting surface of the flexible circuit board in the backup stage. for a boundary portion between the exposed portion and the insulating resist layer is disposed of, the with a recess having a thickness 20-100% of the depth of the film-shaped base member in the flexible circuit board, the recess, the flexible It is configured so that the end portion of the circuit board enters the flexi from the recess formed in the backup stage Boundary portions raised the mounting surface of Le circuit board, characterized in that it is made in the inclined surface of greater than 90 degrees to the plane of the recess.

また、前記した課題を解決するためになされたこの発明にかかる熱圧着方法は、請求項4に記載のとおり、前記した構成の熱圧着装置を利用してフレキシブル回路基板に形成された電極配線面に対して異方性導電膜を仮固定する熱圧着方法であって、前記フレキシブル回路基板が、フィルム状ベース部材と、このベース部材上に配列された電極配線と、前記電極配線の一部を露出させるようにしてさらに絶縁レジスト層を積層させた構成を備えており、前記電極配線の露出部と前記絶縁レジスト層との境界部を、前記バックアップステージにおける前記凹部の形成位置に配置し、前記電極配線の露出部を前記バックアップステージにおけるフレキシブル回路基板の載置面に配置させると共に、前記電極配線の露出部と絶縁レジスト層との境界部を含む電極配線の露出部の全面を覆うようにして異方性導電膜を載置し、前記異方性導電膜に対して熱圧着ヘッドを当接させることで前記フレキシブル回路基板に対して異方性導電膜を仮固定する点に特徴を有する。 Moreover, the thermocompression bonding method according to the present invention made to solve the above-described problems is the electrode wiring surface formed on the flexible circuit board using the thermocompression bonding apparatus having the above-described configuration, as described in claim 4. A method of temporarily fixing an anisotropic conductive film to the flexible circuit board, wherein the flexible circuit board includes a film-like base member, an electrode wiring arranged on the base member, and a part of the electrode wiring. It further comprises a configuration in which an insulating resist layer is laminated so as to be exposed, and a boundary portion between the exposed portion of the electrode wiring and the insulating resist layer is disposed at a position where the concave portion is formed in the backup stage, and The exposed portion of the electrode wiring is disposed on the mounting surface of the flexible circuit board in the backup stage, and the boundary between the exposed portion of the electrode wiring and the insulating resist layer An anisotropic conductive film is placed so as to cover the entire surface of the exposed portion of the electrode wiring including, and a thermocompression bonding head is brought into contact with the anisotropic conductive film to make a difference with respect to the flexible circuit board. It is characterized in that the isotropic conductive film is temporarily fixed.

以下、この発明にかかる熱圧着装置およびこれを利用した熱圧着方法について、図4以降に示す実施の形態に基づいて説明する。なお、以下に説明するこの発明にかかる熱圧着装置および熱圧着方法においても、図1に示した形態のFPCが用いられる。したがって、図1に示す各部に対応する部分を同一符号で示しており、その詳細な説明は適宜省略する。   Hereinafter, a thermocompression bonding apparatus and a thermocompression bonding method using the same according to the present invention will be described based on embodiments shown in FIG. In the thermocompression bonding apparatus and thermocompression bonding method according to the present invention described below, the FPC having the form shown in FIG. 1 is used. Accordingly, portions corresponding to the respective portions shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted as appropriate.

図4および図5はこの発明にかかる熱圧着装置の第1の実施の形態を示すものであり、この熱圧着装置において採用されるバックアップステージ10においては、フレキシブル回路基板の載置面10sの一部に、凹部14が形成されている。そして、FPC1に対してACF5を仮固定するにあたっては、まず、FPC1における電極配線の露出部3aと絶縁レジスト層4との境界部を、バックアップステージ10における前記凹部14の形成位置に配置し、電極配線の露出部3aを前記バックアップステージにおけるFPCの載置面10s上に位置させるようになされる。   4 and 5 show a first embodiment of the thermocompression bonding apparatus according to the present invention. In the backup stage 10 employed in this thermocompression bonding apparatus, one of the mounting surfaces 10s of the flexible circuit board is shown. A recess 14 is formed in the part. When temporarily fixing the ACF 5 to the FPC 1, first, the boundary portion between the exposed portion 3 a of the electrode wiring in the FPC 1 and the insulating resist layer 4 is disposed at the formation position of the recess 14 in the backup stage 10, and the electrode The exposed portion 3a of the wiring is positioned on the FPC placement surface 10s in the backup stage.

この様にしてバックアップステージ10上にFPC1を載置することで、図4に示すようにFPC1の端部は、バックアップステージ10に形成された凹部14に入り込む。すなわちFPC1を構成するフィルム状のベース部材2および電極配線3は、その素材が比較的柔軟性を有しており、その自重により図4に示した状態になされる。したがって、FPC1の端部に積層された絶縁レジスト層4も、図4に示すように変形を受け、当該絶縁レジスト層4と電極配線の露出部3aとの間に形成される段差は、図2に示した例に比較すると非常に小さくなる。   By placing the FPC 1 on the backup stage 10 in this manner, the end portion of the FPC 1 enters the recess 14 formed in the backup stage 10 as shown in FIG. That is, the film-like base member 2 and the electrode wiring 3 constituting the FPC 1 are relatively flexible, and are brought into the state shown in FIG. 4 by their own weight. Therefore, the insulating resist layer 4 laminated on the end portion of the FPC 1 is also deformed as shown in FIG. 4, and the step formed between the insulating resist layer 4 and the exposed portion 3a of the electrode wiring is as shown in FIG. Compared to the example shown in (1), it is very small.

この状態で図4に示すようにACF5が載置された場合、ACF5の裏面側に形成される空間13cは非常に小さなものとなる。したがって、この状態において図5に示すように、ACF5が熱圧着ヘッド11により加熱および圧接を受けた場合には、ACF5の裏面側にはほとんど空気溜まりがない状態で、FPC1の上面にACF5を仮固定させることができる。これにより、ACF5を仮固定したFPC1を、例えば表示パネル等の他の基板等に対して本圧着を行なうに際しても、ACF5の裏面側に存在する空気溜まりにより発生する前記した問題を回避することができる。   When the ACF 5 is placed in this state as shown in FIG. 4, the space 13c formed on the back side of the ACF 5 becomes very small. Therefore, as shown in FIG. 5, when the ACF 5 is heated and pressed by the thermocompression bonding head 11 in this state, the ACF 5 is temporarily placed on the upper surface of the FPC 1 with almost no air remaining on the back side of the ACF 5. Can be fixed. As a result, even when the FPC 1 temporarily fixed with the ACF 5 is subjected to main pressure bonding to another substrate such as a display panel, the above-described problem caused by air accumulation existing on the back side of the ACF 5 can be avoided. it can.

図6は前記したバックアップステージ10の一部を拡大して示したものであり、これは図4において破線で囲まれたCおよびD部分を示している。このバックアップステージ10は、平面状のステージ本体10aに対して板状の補助体10bを重合させて構成されており、補助体10bの上面がFPCの載置面10sになされている。そして補助体の非重合部、すなわち補助体10bが重合されていない部分において前記凹部14を形成している。   FIG. 6 is an enlarged view of a part of the backup stage 10 described above, which shows C and D portions surrounded by a broken line in FIG. The backup stage 10 is configured by superposing a plate-like auxiliary body 10b on a planar stage main body 10a, and the upper surface of the auxiliary body 10b is formed as an FPC mounting surface 10s. And the said recessed part 14 is formed in the non-polymerization part of an auxiliary body, ie, the part in which the auxiliary body 10b is not superposed | polymerized.

前記した凹部14からFPCの載置面10sに立ち上がる境界部には、前記凹部14の面に対して90度を超える角度αを有する傾斜面10cになされている。なお、図6に示す例においては前記αは、130度程度になされている。これは、前記αが90度以下のようなオーバハングの状態になされている場合においては、FPC1が熱圧着ヘッド11の当接圧を受けてダメージを受ける度合いが非常に大きいのに対して、前記した角度αの傾斜面10cになされている場合には、FPC1がダメージを受ける度合いは非常に少ないという理由によるものである。   An inclined surface 10c having an angle α exceeding 90 degrees with respect to the surface of the concave portion 14 is formed at the boundary portion that rises from the concave portion 14 to the mounting surface 10s of the FPC. In the example shown in FIG. 6, the α is about 130 degrees. This is because when the α is in an overhang state of 90 degrees or less, the FPC 1 is very damaged due to the contact pressure of the thermocompression bonding head 11, whereas This is because the degree to which the FPC 1 is damaged is very small when it is formed on the inclined surface 10c having the angle α.

一方、前記したバックアップステージ10に形成される凹部14の深さ、換言すれば、この実施の形態においてはステージ本体10aに対して重合される補助体10bの厚さ10dは、FPC1を構成するフィルム状ベース部材2の厚さの20〜100%の範囲にされていることが望ましい。これは凹部14の深さが前記数値よりも浅い場合には、凹部14を設けたことにより得られる前記した効果の度合いが少ない。   On the other hand, the depth of the recess 14 formed in the backup stage 10, in other words, in this embodiment, the thickness 10d of the auxiliary body 10b polymerized with respect to the stage body 10a is the film constituting the FPC 1. The thickness of the base member 2 is preferably in the range of 20 to 100%. This is because the degree of the effect obtained by providing the recess 14 is small when the depth of the recess 14 is shallower than the above numerical value.

前記凹部14の深さが前記数値よりも深い場合においては、熱圧着ヘッド11による圧着時においてFPC1が凹部14側に変形する度合いが大きくなり、一部に熱圧着の不良が発生する。また、凹部14の深さが前記数値よりも深い場合においては、熱圧着ヘッド11の当接圧を受けた場合に、FPC1に配列された電極配線3の切断を招くという別の問題も発生する。   When the depth of the concave portion 14 is deeper than the above numerical value, the degree of deformation of the FPC 1 toward the concave portion 14 at the time of pressure bonding by the thermocompression bonding head 11 is increased, and defective thermocompression bonding occurs in part. Further, when the depth of the concave portion 14 is deeper than the above numerical value, another problem of causing the cutting of the electrode wiring 3 arranged in the FPC 1 occurs when receiving the contact pressure of the thermocompression bonding head 11. .

一例として、前記したFPC1を構成するフィルム状ベース部材2の厚さを25μm、電極配線3の厚さを12μm、絶縁レジスト層4の厚さを5〜25μmとしたFPC1をサンプルとして、バックアップステージ10に形成される凹部14の好ましい深さを求めた実験データを図8に示している。なお、絶縁レジスト層4の厚さに前記したように幅があるのは、レジスト層4は印刷で形成するために一枚の基板内でかなりのばらつきが発生するためである。   As an example, the FPC 1 in which the thickness of the film-like base member 2 constituting the FPC 1 described above is 25 μm, the thickness of the electrode wiring 3 is 12 μm, and the thickness of the insulating resist layer 4 is 5 to 25 μm is used as a sample. FIG. 8 shows experimental data for determining the preferred depth of the recess 14 formed in the above. Note that the thickness of the insulating resist layer 4 has a width as described above, because the resist layer 4 is formed by printing, so that considerable variation occurs in one substrate.

図8に示す実験データは、FPC1を構成するベース部材2の厚さに対する凹部14の深さ(%)に対して、熱圧着の良品率(%)の関係を求めた結果を示すものである。この図8に示したデータから理解できるように、FPCにおけるベース部材の厚さの30〜100%の深さを有する凹部14を備えることが特に好ましく、実用上においては20〜100%の深さを有する凹部14を備えることが望ましい。すなわち、この場合のベース部材2の厚さは前記したとおり25μmであり、このベース部材2の厚さの20〜100%の深さを有する前記凹部14は、実質的に5μm〜25μmの深さを有することになる。 The experimental data shown in FIG. 8 shows the result of obtaining the relationship of the non-defective product rate (%) of thermocompression bonding to the depth (%) of the recess 14 with respect to the thickness of the base member 2 constituting the FPC 1. . As can be understood from the data shown in FIG. 8, it is particularly preferable to provide the recess 14 having a depth of 30 to 100% of the thickness of the base member in the FPC, and practically a depth of 20 to 100%. It is desirable to have a recess 14 having That is, the thickness of the base member 2 in this case is 25 μm as described above, and the concave portion 14 having a depth of 20 to 100% of the thickness of the base member 2 is substantially 5 to 25 μm deep. Will have.

次に図7はこの発明にかかる熱圧着装置の第2の実施の形態を断面図で示したものであり、これはすでに説明した第1の実施の形態を示す図4に対応するものである。この図7に示す第2の実施の形態においては、バックアップステージ10に形成された凹部14に複数の吸引孔16が形成されている。これにより、バックアップステージ10に載置されたFPC1の裏面を凹部14側に吸引し固定させることができる。   FIG. 7 is a sectional view showing a second embodiment of the thermocompression bonding apparatus according to the present invention, which corresponds to FIG. 4 showing the first embodiment already described. . In the second embodiment shown in FIG. 7, a plurality of suction holes 16 are formed in the recess 14 formed in the backup stage 10. Thereby, the back surface of the FPC 1 placed on the backup stage 10 can be sucked and fixed to the concave portion 14 side.

したがって、図7に示した熱圧着装置を構成するバックアップステージ10の形態によると、FPC1の裏面を凹部14側に負圧により吸引するように作用するので、FPC1上にACF5を載置した場合、ACF5の裏面側に形成される空間13cの容積をより小さくさせることができる。これにより、ACF5を熱圧着ヘッド11により加熱圧接することでFPC1上に仮固定させた場合、FPC1とACF5との間に空気が残される確率を一層低くさせることができる。   Therefore, according to the form of the backup stage 10 constituting the thermocompression bonding apparatus shown in FIG. 7, the back surface of the FPC 1 acts so as to be sucked by the negative pressure to the concave portion 14 side. Therefore, when the ACF 5 is placed on the FPC 1, The volume of the space 13c formed on the back side of the ACF 5 can be further reduced. Thereby, when the ACF 5 is temporarily fixed on the FPC 1 by heat-pressing with the thermocompression bonding head 11, the probability that air remains between the FPC 1 and the ACF 5 can be further reduced.

以上説明した図4〜図7に示す実施の形態は、図1に示すフレキシブル回路基板1の端部、すなわち図1に示すフレキシブル回路基板のA部分を処理する熱圧着装置の部分構成を示している。しかしながら、図1に示すB部分においてもすでに説明した同様の問題を抱えており、したがって図1に示すB部分を処理するバックアップステージにおいても同様の凹部14が対照的に形成されることになる。   The embodiment shown in FIGS. 4 to 7 described above shows a partial configuration of a thermocompression bonding apparatus that processes the end portion of the flexible circuit board 1 shown in FIG. 1, that is, the portion A of the flexible circuit board shown in FIG. Yes. However, the B portion shown in FIG. 1 has the same problem as described above. Therefore, the similar recess 14 is formed in the backup stage for processing the B portion shown in FIG.

この発明にかかる熱圧着装置および熱圧着方法を採用して異方性導電膜を熱圧着させたフレキシブル回路基板によると、回路基板と異方性導電膜との間に密閉空間が形成される度合いを遥かに低減させることができるので、電気的な信頼性を向上させたフレキシブル回路基板およびこれを搭載した電子機器を提供することができる。   According to the flexible circuit board in which the anisotropic conductive film is thermocompression-bonded by employing the thermocompression bonding apparatus and the thermocompression bonding method according to the present invention, the degree to which a sealed space is formed between the circuit board and the anisotropic conductive film Therefore, it is possible to provide a flexible circuit board with improved electrical reliability and an electronic device equipped with the flexible circuit board.

なお、前記したフレキシブル回路基板が採用される電子機器については、背景技術の欄において、ディスプレイの表示パネルを一例として挙げたが、この発明は前記したような特定のものに採用されるだけでなく、他に半導体集積回路におけるバンプとフレキシブル回路基板との接続に、また同じフレキシブル回路基板同士の接続などにも採用することができ、これらを採用した電子機器における信頼性を向上させることに寄与できる。   As for the electronic apparatus using the flexible circuit board described above, the display panel of the display is given as an example in the background art section, but the present invention is not only applied to the specific one as described above. In addition, it can be used for the connection between the bump and the flexible circuit board in the semiconductor integrated circuit, the connection between the same flexible circuit boards, etc., and can contribute to the improvement of the reliability in the electronic apparatus using these. .

FPCの端部の構成とACFを仮固定する位置を説明する平面図である。It is a top view explaining the structure of the edge part of FPC, and the position which fixes ACF temporarily. 従来の熱圧着装置においてFPCにACFを仮固定する状況を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the condition which temporarily fixes ACF to FPC in the conventional thermocompression bonding apparatus. 同じく仮固定が終了した状況を説明する断面図である。It is a sectional view explaining the situation where temporary fixation ended similarly. この発明にかかる熱圧着装置の第1の実施の形態においてFPCにACFを仮固定する状況を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the condition which temporarily fixes ACF to FPC in 1st Embodiment of the thermocompression-bonding apparatus concerning this invention. 同じく仮固定が終了した状況を説明する断面図である。It is a sectional view explaining the situation where temporary fixation ended similarly. 図4におけるCおよびD部分を拡大して示した断面図である。It is sectional drawing which expanded and showed the C and D part in FIG. この発明にかかる熱圧着装置の第2の実施の形態においてFPCにACFを仮固定する状況を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the condition which temporarily fixes ACF to FPC in 2nd Embodiment of the thermocompression-bonding apparatus concerning this invention. この発明にかかる熱圧着装置におけるバックアップステージに形成される凹部の好ましい深さを求めた実験結果を示す図である。It is a figure which shows the experimental result which calculated | required the preferable depth of the recessed part formed in the backup stage in the thermocompression bonding apparatus concerning this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 フレキシブル回路基板(FPC)
2 ベース部材
3 電極配線
3a 電極配線の露出部分
3b 金メッキ部分
4 絶縁レジスト層
5 異方性導電膜(ACF)
10 バックアップステージ(熱圧着装置)
10a ステージ本体
10b 補助体
10c 傾斜面
10s 回路基板(FPC)の載置面
11 熱圧着ヘッド(熱圧着装置)
13a〜13c 空間
14 凹部
16 吸引孔
1 Flexible circuit board (FPC)
2 Base member 3 Electrode wiring 3a Exposed portion of electrode wiring 3b Gold-plated portion 4 Insulating resist layer 5 Anisotropic conductive film (ACF)
10 Backup stage (thermocompression bonding equipment)
10a Stage body 10b Auxiliary body 10c Inclined surface 10s Mounting surface of circuit board (FPC) 11 Thermocompression bonding head (thermocompression bonding apparatus)
13a to 13c space 14 recess 16 suction hole

Claims (5)

フレキシブル回路基板を載置するバックアップステージと、前記フレキシブル回路基板の電極配線面に対してさらに載置した異方性導電膜に当接する熱圧着ヘッドとを具備した熱圧着装置であって、
前記バックアップステージにおける前記フレキシブル回路基板の載置面の一部には、前記フレキシブル回路基板における電極配線の露出部と絶縁レジスト層との境界部が配置されるための、前記フレキシブル回路基板におけるフィルム状ベース部材の厚さの20〜100%の深さを有する凹部を備え、
前記凹部は、前記フレキシブル回路基板の端部が入り込むように構成され、
前記バックアップステージに形成された前記凹部から前記フレキシブル回路基板の載置面に立ち上がる境界部が、前記凹部の面に対して90度を超える傾斜面になされていることを特徴とする熱圧着装置。
A thermocompression bonding apparatus comprising a backup stage for mounting a flexible circuit board, and a thermocompression bonding head that contacts an anisotropic conductive film further mounted on the electrode wiring surface of the flexible circuit board,
In the part of the mounting surface of the flexible circuit board in the backup stage , a boundary between the exposed portion of the electrode wiring and the insulating resist layer in the flexible circuit board is disposed, and the film shape in the flexible circuit board Comprising a recess having a depth of 20 to 100% of the thickness of the base member ;
The recess is configured such that an end of the flexible circuit board enters,
The thermocompression bonding apparatus characterized in that a boundary portion rising from the concave portion formed on the backup stage to the mounting surface of the flexible circuit board is an inclined surface exceeding 90 degrees with respect to the surface of the concave portion.
前記バックアップステージは、平面状のステージ本体に対して板状の補助体を重合させて構成され、前記補助体の上面が前記フレキシブル回路基板の載置面になされ、前記補助体の非重合部が前記凹部を形成していることを特徴とする請求項1に記載の熱圧着装置。 The backup stage is configured by superimposing a plate-like auxiliary body on a planar stage main body, the upper surface of the auxiliary body is made a mounting surface of the flexible circuit board, and the non-polymerized portion of the auxiliary body is The thermocompression bonding apparatus according to claim 1, wherein the recess is formed. 前記バックアップステージに形成された前記凹部には、前記フレキシブル回路基板の一部を吸引することができる吸引孔が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の熱圧着装置。 3. The thermocompression bonding apparatus according to claim 1, wherein a suction hole capable of sucking a part of the flexible circuit board is formed in the recess formed in the backup stage. . 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の熱圧着装置を利用してフレキシブル回路基板に形成された電極配線面に対して異方性導電膜を仮固定する熱圧着方法であって、 前記フレキシブル回路基板が、フィルム状ベース部材と、このベース部材上に配列された電極配線と、前記電極配線の一部を露出させるようにしてさらに絶縁レジスト層を積層させた構成を備えており、
前記電極配線の露出部と前記絶縁レジスト層との境界部を、前記バックアップステージにおける前記凹部の形成位置に配置し、前記電極配線の露出部を前記バックアップステージにおけるフレキシブル回路基板の載置面に配置させると共に、
前記電極配線の露出部と絶縁レジスト層との境界部を含む電極配線の露出部の全面を覆うようにして異方性導電膜を載置し、前記異方性導電膜に対して熱圧着ヘッドを当接させることで前記フレキシブル回路基板に対して異方性導電膜を仮固定することを特徴とする熱圧着方法。
A thermocompression bonding method for temporarily fixing an anisotropic conductive film to an electrode wiring surface formed on a flexible circuit board using the thermocompression bonding apparatus according to any one of claims 1 to 3. The flexible circuit board comprises a film-like base member, an electrode wiring arranged on the base member, and a structure in which an insulating resist layer is further laminated so as to expose a part of the electrode wiring. ,
A boundary portion between the exposed portion of the electrode wiring and the insulating resist layer is disposed at a position where the concave portion is formed in the backup stage, and the exposed portion of the electrode wiring is disposed on a mounting surface of the flexible circuit board in the backup stage. As well as
An anisotropic conductive film is placed so as to cover the entire surface of the exposed portion of the electrode wiring including the boundary portion between the exposed portion of the electrode wiring and the insulating resist layer, and a thermocompression bonding head is applied to the anisotropic conductive film. A thermocompression bonding method characterized in that an anisotropic conductive film is temporarily fixed to the flexible circuit board by contacting the substrate.
前記バックアップステージにおける凹部に形成された吸引孔より空気を吸引することで、前記凹部に配置されたフレキシブル回路基板をバックアップステージに吸引固定し、吸引固定した状態で前記フレキシブル回路基板に対して異方性導電膜を、前記熱圧着ヘッドにより仮固定することを特徴とする請求項4に記載の熱圧着方法。 By sucking air from the suction holes formed in the recesses in the backup stage, the flexible circuit board disposed in the recesses is sucked and fixed to the backup stage, and is anisotropic with respect to the flexible circuit boards in the suction-fixed state. The thermocompression bonding method according to claim 4 , wherein the conductive film is temporarily fixed by the thermocompression bonding head.
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CN113296319A (en) * 2020-02-21 2021-08-24 华为技术有限公司 Display module assembly and display device
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