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JP4240665B2 - Calibration gas preparation device and gas analyzer - Google Patents
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JP4240665B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、校正用ガス調製装置、及び校正用ガスを用いて分析部の校正を行うガス分析装置に関し、さらに詳しくは、高圧容器に充填された高濃度の標準ガスを希釈してスパン校正用のスパンガスとする校正用ガス調製装置及びガス分析装置に関する。なお、本明細書においてスパン校正とは、分析装置の所定の測定レンジにおける最大目盛付近の目盛値の校正だけでなく、最大目盛と最小目盛との間の目盛値の校正を含むものとし、係るスパン校正に用いる標準ガスをスパンガスとする。
【0002】
【従来の技術】
環境大気中の汚染物質等、ガス中の微量成分を分析するガス分析装置では、分析部をゼロガス及び濃度既知のスパンガスにより定期的に校正することが行われている。この内、スパンガスについては、試料ガス中の分析対象成分が通常とりうる濃度範囲内またはそれに近い濃度とすることが求められる。
【0003】
しかし、一般に、低濃度の標準ガスを保管することは安定性の点から困難なので、通常、高圧容器に充填した高濃度の標準ガスを、ゼロガスで希釈して用いることが行われている。例えば、環境基準が40ppbである硫黄酸化物や窒素酸化物の分析装置では、45ppm又は90ppm程度の標準ガスを90ppbにまで希釈してスパンガスとして用いることが行われている。
【0004】
図1は、このようにしてスパンガスを得るガス分析装置1の基本的な構成を示すものである。図1において、10はゼロガス供給ライン、20は標準ガス供給ライン、30は校正用ガス供給ラインで、これら3つのラインで校正用ガス調製装置が基本的に構成されている。また、40は試料ガス導入ライン、50は三方弁等の切替部材、60は分析部である。
【0005】
ゼロガス供給ライン10は、ポンプ11、精製器12、流量コントローラ13とを有し、材料ガス入口14からポンプ11により導入されたゼロガスの材料となるガスが精製器12によって精製されて、所定流量のゼロガスが供給できるようになっている。なお、ゼロガスの材料ガスとしては、試料ガスと同じガス、例えば大気分析装置であれば大気を用いるのが簡便である。
【0006】
標準ガス供給ライン20は高圧容器21、圧力調整器22、開閉弁23、流量コントローラ24とを有し、高圧容器21中の標準ガスを、開閉弁23を開いたときに所定流量で供給できるようになっている。
【0007】
校正用ガス供給ライン30は、ゼロガス供給ライン10と標準ガス供給ライン20とが合流したもので、ポンプ11を作動させたときの開閉弁23の開閉状態により、ゼロガスと標準ガスが混合したスパンガス、又はゼロガスのみが校正用ガスとして供給できるようになっている。なお、31は、校正用ガス供給ライン30に設けられたオーバーフロー管で、切替部材50を介して分析部60に供給された残りの校正用ガスが排出されるようになっている。
【0008】
試料ガス導入ライン40は、試料ガス入口41から、フィルタやサンプリングポンプ等(図示せず)を介して、試料ガスを導入できるようになっている。切替部材50は、校正用ガス供給ライン30と試料ガス導入ライン40のいずれか一方のラインを選択して分析部60側にガスを流通させるようになっている。
【0009】
図1のガス分析装置において分析部の校正を行う場合、従来図6のようにポンプ11、開閉弁23、切替部材50を動作させていた。すなわち、ゼロガスによる校正では、図6(a)に示すように、開閉弁23を閉じたまま、校正開始時には、ポンプ11をオンにするのと、切替部材50を校正用ガスライン側にするのとを同時に行い、校正終了時には、ポンプ11をオフにするのと、切替部材50を試料ガスライン側にするのとを同時に行っていた。
【0010】
また、スパンガスによる校正では、図6(b)に示すように、校正開始時には、ポンプ11をオンにするのと、開閉弁23を開くのと、切替部材50を校正用ガスライン側にするのとをすべて同時に行い、また、校正終了時には、ポンプ11をオフにするのと、開閉弁23を閉じるのと、切替部材50を試料ガスライン側にするのとをすべて同時に行っていた。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上記図6のようにして図1のガス分析装置を動作させる場合、以下のような問題点があった。
【0012】
▲1▼スパン校正を開始する際、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが分析部60に供給されてしまうことがあった。その結果、校正用ガス濃度が安定するまでに時間かかるだけでなく、校正用ガス供給ライン30や分析部60内に高濃度標準ガスが吸着されて、その後の校正や測定に誤差を与える虞があった。本発明者らが検討した結果、その原因は、ポンプ能力の劣化や一定の容量を有する精製器を通過する際の抵抗に起因して、ポンプを作動させて
も直ちにはゼロガスの供給圧が上がらないことにあることを見いだした。
【0013】
▲2▼校正は、ゼロ校正を最後に行ってから終了するのが望ましい。しかし、手動校正の場合、時として、スパン校正を行ったまま校正を終了してしまうことがある。その場合、スパンガスが校正用ガス供給ライン30や分析部60内に残留
して、その後の測定や次回のゼロ校正に誤差を与える虞があった。
【0014】
▲3▼校正している間試料ガスの測定ができなくなるので、できるだけ短時間で校正作業を終了させたいという要望がある。校正は、校正用ガスを導入したときの分析部60の指示値が安定しないと行えないが、指示値が安定するまでの時間
が、必ずしも充分短いとは言えなかった。
【0015】
▲4▼試料ガス測定中には、校正用ガス調製装置の配管内の気体が流動しないため、例えば配管材質から放出される微量の不純物等により校正用ガス調製装置の配管内の気体が徐々に汚染される懸念があった。
【0016】
▲5▼標準ガスが開閉弁23を閉じているにもかかわらず極僅かづつ漏洩している場合(いわゆるスローリーク)、極めて発見しにくい。このように僅かな漏洩であっても、校正用ガス調製装置の配管内の気体が流動していない試料ガス測定の間に、次回校正に影響を与える濃度の標準ガスが充満する虞がある。
【0017】
▲6▼校正用ガス調製装置の配管内の気体が流動していない試料ガス測定中に、標準ガス供給ラインに残留する高濃度の標準ガスが、拡散によりゼロガス供給ライ
ンに入り、精製器12を汚染する虞があった。
【0018】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、校正用ガス調製装置や分析部が汚染されることを防ぐと共に、仮に汚染された場合にも、ガス分析装置の測定精度に影響を与えない校正用ガス調製装置及びガス分析装置を提供することを課題とする。
【0019】
本発明は上記課題を解決するために、ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを備え、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプ作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製装置であって、以下のような特徴を有する校正用ガス調製装置を提供する。
【0020】
まず、請求項1の校正用ガス調製装置は、前記スパンガス供給を開始する際に、前記開閉弁は、前記ポンプ所定時間作動した後に開くことを特徴とする。これにより、ゼロガスの供給圧が充分上がってから、標準ガスが合流するので、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが分析部に供給されてしまうという問題を回避することができる。また、ゼロガス供給ラインや校正用ガス供給ラインに不純物や標準ガスの成分等が充満していても、スパンガス供給に先立ち装置外に流し出してきれいにしておくことができる。
【0021】
また、請求項2の校正用ガス調製装置は、前記スパンガス供給を終了する際に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた後も引き続き所定時間作動を続けることを特徴とする。これにより、手動校正で、誤ってスパン校正を行ったまま校正を終了してしまった場合にも、スパンガスが校正用ガス供給ライン30に残留して、次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【0022】
また、本発明は上記課題を解決するために、ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材とを備え、切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガスを前記分析部に供給してスパン校正をするガス分析装置であって、以下のような特徴を有するガス分析装置を提供する。
【0023】
まず、請求項3のガス分析装置は、前記スパンガスの供給を開始するする際に、前記開閉弁は、前記ポンプ所定時間作動した後に開くことを特徴とする。これにより、ゼロガスの供給圧が充分上がってから、標準ガスが合流するので、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが分析部に供給されてしまうという問題を回避することができる。また、ゼロガス供給ラインや校正用ガス供給ラインに不純物や標準ガスの成分等が充満していても、スパン校正に先立ち装置外に流し出してきれいにしておくことができる。
【0024】
また、請求項4のガス分析装置は、前記スパンガスの供給を終了する際に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた後も引き続き所定時間作動を続けることを特徴とする。これにより、手動校正で、誤ってスパン校正を行ったまま校正を終了してしまった場合にも、スパンガスが校正用ガス供給ライン30に残留して、次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【0025】
また、本発明は上記課題を解決するために、請求項5に記載の如く、ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材と、前記校正用ガス調製部の下流かつ前記切替部材の上流に配置されたオーバーフロー管とを備え、前記切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガス又は前記ゼロガス前記分析部に供給してスパン校正又はゼロ校正するガス分析装置において、前記スパン校正又はゼロ校正を開始する際に、前記切替部材は、前記ポンプ所定時間作動した後に前記校正用ガス供給ライン側を選択することを特徴とするガス分析装置を提供する。
【0026】
これにより、ゼロガス供給ラインや校正用ガス供給ラインに不純物や標準ガスの成分等が充満していても、校正用ガスを分析部に供給するのに先立って、装置外に流し出してきれいにしておくことができる。このため、校正用ガスをその性状が安定してから分析部に導入できるので、切替部材により校正用ガス供給ライン側を選択した後、分析部の指示値が安定するまでの時間を短縮でき、ひいては校正作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。
【0027】
さらに、本発明は上記課題を解決するために、請求項6に記載の如く、ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材と、前記校正用ガス調製部の下流かつ前記切替部材の上流に配置されたオーバーフロー管とを備えたガス分析装置において、前記切替部材が前記試料ガス導入ライン側を選択することにより前記分析部が前記試料ガスの分析を行っている期間に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた状態で定期的に所定時間作動ることを特徴とするガス分析装置を提供する。
【0028】
これにより、試料ガス測定中にも校正用ガス調製装置の配管内や精製器内の気体を定期的に流動させ、かつ排出することができる。そのため、配管材質から放出される微量の不純物や、標準ガスのスローリーク、標準ガス供給ラインに残留する高濃度の標準ガスの拡散等によってゼロガス供給ライン等が汚染されても、次回校正時の校正用ガスの濃度や純度に影響を与えないように定期的にきれいにすることができる。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。なお、以下の図はいずれも図1に示すガス分析装置1の動作状態を説明するタイムチャートである。
図2は本発明の1実施形態であり、手動でゼロ校正を指示したときのガス分析装置1の動作内容を示すタイムチャートである。図2に示すように、切替部材50により試料ガス導入ライン40から校正用ガス供給ライン30に切り替えるタイミングは、ポンプ11を作動させるタイミングよりも若干、例えば10秒程度遅らせるようになっている。なお、校正用ガス供給ライン30側に切替部材50を設定して、ゼロガスを分析部60に供給する時間は、通常約20分程度である。
【0030】
この実施形態によれば、ゼロガス供給ライン10や校正用ガス供給ライン30に不純物や標準ガスの成分等が充満していても、ポンプ11を作動させている間に、オーバーフロー管31から装置外に流し出してきれいにしておくことができる。このため、分析部60側に校正用ガス供給ラインを流通させるように切替部材50により切り替えるときまでには、ゼロガスの純度が高まるので、ゼロガスに対する分析部の指示値が安定するまでの時間を短縮でき、ひいてはゼロ校正の作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。
【0031】
図3は本発明の他の実施形態であり、手動でスパン校正を指示したときのガス分析装置1の動作内容を示すタイムチャートである。図3に示すように、開閉弁23を開とするタイミングは、ポンプ11を作動させるタイミングよりも若干、例えば10秒程度遅らせるようになっている。また、切替部材50により試料ガス導入ライン40から校正用ガス供給ライン30に切り替えるタイミングは、さらに若干、例えば10秒程度送らせるようになっている。その後例えば20分程度経過してから、開閉弁23を閉とすると共に、切替部材50により校正用ガス供給ライン30から試料ガス導入ライン40に切り替えるが、ポンプ11は、同時には停止させず、さらに5分程度継続して作動させるようになっている。
【0032】
この実施形態によれば、ゼロガスの供給圧が充分上がってから、標準ガスが合流するので、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが校正用ガス供給ライン30や分析部60に供給されてしまうという問題を回避することができる。
【0033】
また、ゼロガス供給ライン10等が汚染されていても、スパン校正に先立ち装置外に流し出してきれいにしておくことができる。さらに、スパンガスをその濃度が安定してから分析部に導入できるので、切替部材により校正用ガス供給ライン30側を選択した後、分析部60の指示値が安定するまでの時間を短縮でき、ひいてはスパン校正の作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。
【0034】
また、誤ってスパン校正を行ったまま校正を終了してしまった場合にも、スパンガスが校正用ガス供給ライン30や分析部60内に残留して、その後の測定や次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【0035】
図4は本発明のさらに別の実施形態であり、分析部60からの校正信号を受けて、一定周期で自動的にゼロスパン校正を行う場合のガス分析装置1の動作内容を示すタイムチャートである。図4に示すように、切替部材50により試料ガス導入ライン40から校正用ガス供給ライン30に切り替えるタイミングは、ポンプ11を作動させるタイミングよりも若干、例えば10秒程度遅らせるようになっている。その後開閉弁23を約20分間ずつ閉から開、そして閉とし、その間に、分析部60において、ゼロ校正、スパン校正、最終的なゼロ確認をできるようになっている。なお、ポンプ11を停止するタイミングと、校正用ガス供給ライン30側から試料ガス導入ライン40側へと切替部材50により切り替えるタイミングは、同時としてある。
【0036】
この実施形態によれば、ゼロガス供給ライン10等が汚染されていても、予めきれいにしておくことができる。このため、分析部60側に校正用ガス供給ラインを流通させるように切替部材50により切り替えるときまでには、ゼロガスの純度が高まるので、ゼロガスに対する分析部の指示値が安定するまでの時間を短縮でき、ひいてはゼロ校正の作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。また、最終的には、開閉弁23を閉じてからもポンプ11を作動させるので、スパンガスが校正用ガス供給ライン30や分析部60内に残留して、その後の測定や次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【0037】
図5は本発明のさらに別の実施形態であり、分析部60からの校正信号を受けて、定期的に自動的にゼロスパン校正を行うガス分析装置1が、校正作業が終了してから、次の校正作業が開始するまでの期間内に、定期的に自動洗浄をする場合の動作内容を示すタイムチャートである。校正作業は、通常1週間か2週間に一度行うが、その校正作業と校正作業との間に、図5に示す如く例えば1日に一度、ポンプ11のみを3分程度動作させるようになっている。
【0038】
本実施形態によれば、切替部材50により試料ガス導入ライン40が選択されている試料ガス測定中にも校正用ガス調製装置の配管内や精製器内の気体を定期的に流動させ、かつ排出することができる。そのため、配管材質から放出される微量の不純物や、標準ガスのスローリーク、標準ガス供給ライン20に残留する高濃度の標準ガスの拡散等によってゼロガス供給ライン10やそこに設けられた精製器12が汚染されても、次回校正時の校正用ガスの濃度や純度に影響を与えないように定期的にきれいにすることができる。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、ゼロガス供給ラインや校正用ガス供給ラインに不純物や標準ガスの成分等が充満していても、スパンガスやゼロガス供給に先立ち装置外に流し出してきれいにしておくことができる。このため、校正用ガスをその性状が安定してから分析部に導入できるので、校正作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。
【0040】
また、スパン校正において、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが分析部に供給されてしまうという問題を回避することができる。
また、手動校正で、誤ってスパン校正を行ったまま校正を終了してしまった場合にも、スパンガスが校正用ガス供給ライン30や分析部60内に残留して、その後の測定や次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【0041】
さらに、試料ガス測定中にも校正用ガス調製装置の配管内や精製器内の気体を定期的に流動させ、かつ排出することができる。そのため、配管材質から放出される微量の不純物や、標準ガスのスローリーク、標準ガス供給ラインに残留する高濃度の標準ガスの拡散等によってゼロガス供給ラインや精製器が汚染されても、次回校正時の校正用ガスの濃度や純度に影響を与えないように定期的にきれいにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るガス分析装置の構成図である。
【図2】本発明の実施形態に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【図3】本発明の他の実施形態に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【図4】本発明の他の実施形態に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【図5】本発明の他の実施形態に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【図6】従来技術に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
10 ゼロガス供給ライン
11 ポンプ
12 精製器
20 標準ガス供給ライン
21 高圧容器
23 開閉弁
30 校正用ガス供給ライン
40 試料ガス導入ライン
50 切替部材
60 分析部
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a calibration gas preparation device and a gas analysis device that calibrates an analysis unit using a calibration gas. More specifically, the present invention relates to span calibration by diluting a high-concentration standard gas filled in a high-pressure vessel. The present invention relates to a calibration gas preparation device and a gas analysis device that are used as span gas. In this specification, span calibration includes not only calibration of the scale value near the maximum scale in the predetermined measurement range of the analyzer, but also calibration of the scale value between the maximum scale and the minimum scale. The standard gas used for calibration is the span gas.
[0002]
[Prior art]
In a gas analyzer that analyzes trace components in gas, such as pollutants in the environmental atmosphere, the analyzer is periodically calibrated with zero gas and a span gas with a known concentration. Of these, the span gas is required to have a concentration within or close to the concentration range that the analysis target component in the sample gas can normally take.
[0003]
However, since it is generally difficult to store a low-concentration standard gas from the viewpoint of stability, usually, a high-concentration standard gas filled in a high-pressure vessel is diluted with zero gas and used. For example, in a sulfur oxide or nitrogen oxide analyzer having an environmental standard of 40 ppb, a standard gas of about 45 ppm or 90 ppm is diluted to 90 ppb and used as a span gas.
[0004]
FIG. 1 shows a basic configuration of a gas analyzer 1 for obtaining span gas in this way. In FIG. 1, 10 is a zero gas supply line, 20 is a standard gas supply line, 30 is a calibration gas supply line, and these three lines basically constitute a calibration gas preparation apparatus. Reference numeral 40 denotes a sample gas introduction line, 50 denotes a switching member such as a three-way valve, and 60 denotes an analysis unit.
[0005]
The zero gas supply line 10 includes a pump 11, a purifier 12, and a flow rate controller 13, and a gas that becomes a material of zero gas introduced by the pump 11 from the material gas inlet 14 is purified by the purifier 12, and has a predetermined flow rate. Zero gas can be supplied. As the zero gas material gas, it is easy to use the same gas as the sample gas, for example, the atmosphere if it is an atmospheric analyzer.
[0006]
The standard gas supply line 20 includes a high-pressure vessel 21, a pressure regulator 22, an on-off valve 23, and a flow rate controller 24 so that the standard gas in the high-pressure vessel 21 can be supplied at a predetermined flow rate when the on-off valve 23 is opened. It has become.
[0007]
The calibration gas supply line 30 is a combination of the zero gas supply line 10 and the standard gas supply line 20, and a span gas in which the zero gas and the standard gas are mixed depending on the open / close state of the on-off valve 23 when the pump 11 is operated. Alternatively, only zero gas can be supplied as calibration gas. Reference numeral 31 denotes an overflow pipe provided in the calibration gas supply line 30 so that the remaining calibration gas supplied to the analysis unit 60 via the switching member 50 is discharged.
[0008]
The sample gas introduction line 40 can introduce the sample gas from the sample gas inlet 41 via a filter, a sampling pump or the like (not shown). The switching member 50 selects any one of the calibration gas supply line 30 and the sample gas introduction line 40 and distributes the gas to the analysis unit 60 side.
[0009]
In the gas analyzer shown in FIG. 1, when the analyzer is calibrated, the pump 11, the on-off valve 23, and the switching member 50 are operated as shown in FIG. That is, in calibration with zero gas, as shown in FIG. 6A, with the on-off valve 23 closed, at the start of calibration, the pump 11 is turned on and the switching member 50 is set to the calibration gas line side. At the end of calibration, the pump 11 is turned off and the switching member 50 is set to the sample gas line side at the same time.
[0010]
In the calibration with span gas, as shown in FIG. 6B, at the start of calibration, the pump 11 is turned on, the on-off valve 23 is opened, and the switching member 50 is set to the calibration gas line side. At the end of calibration, the pump 11 was turned off, the on-off valve 23 was closed, and the switching member 50 was moved to the sample gas line side at the same time.
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
When the gas analyzer shown in FIG. 1 is operated as shown in FIG. 6, there are the following problems.
[0012]
(1) When starting span calibration, a high-concentration standard gas may be supplied to the analysis unit 60 prior to a span gas having an appropriate concentration. As a result, not only does it take time for the calibration gas concentration to stabilize, but also the high-concentration standard gas is adsorbed in the calibration gas supply line 30 or the analysis unit 60, which may cause errors in subsequent calibration and measurement. there were. As a result of investigations by the present inventors, the cause is that the supply pressure of zero gas immediately increases even when the pump is operated due to the deterioration of the pump capacity and the resistance when passing through the purifier having a certain capacity. I found that there was nothing.
[0013]
{Circle around (2)} Calibration is preferably completed after the last zero calibration. However, in the case of manual calibration, calibration sometimes ends with span calibration being performed. In this case, the span gas may remain in the calibration gas supply line 30 or the analysis unit 60, which may cause an error in subsequent measurement or the next zero calibration.
[0014]
(3) Since the sample gas cannot be measured during calibration, there is a demand to finish the calibration work in as short a time as possible. The calibration cannot be performed unless the indicated value of the analysis unit 60 when the calibration gas is introduced is stable, but the time until the indicated value is stabilized is not necessarily short enough.
[0015]
(4) During the measurement of the sample gas, the gas in the piping of the calibration gas preparation device does not flow. For example, the gas in the piping of the calibration gas preparation device gradually increases due to a small amount of impurities released from the piping material. There was a concern of contamination.
[0016]
(5) When the standard gas leaks very little even though the on-off valve 23 is closed (so-called slow leak), it is extremely difficult to detect. Even in such a slight leak, there is a possibility that the standard gas having a concentration that affects the next calibration is filled during the measurement of the sample gas in which the gas in the piping of the calibration gas preparation apparatus is not flowing.
[0017]
(6) During the measurement of the sample gas in which the gas in the piping of the calibration gas preparation device is not flowing, the high-concentration standard gas remaining in the standard gas supply line enters the zero gas supply line due to diffusion, and the purifier 12 There was a risk of contamination.
[0018]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and prevents the calibration gas preparation device and the analysis unit from being contaminated, and also does not affect the measurement accuracy of the gas analyzer even if it is contaminated. It is an object of the present invention to provide a gas preparation device for gas and a gas analyzer.
[0019]
In order to solve the above-described problems, the present invention provides a zero gas supply line that supplies a gas that has passed through a purifier by a pump as a zero gas, a standard gas supply line that supplies a standard gas of a high-pressure vessel via an on-off valve, and a zero gas A calibration gas supply line formed by joining a supply line and a standard gas supply line, and supplying the zero gas from the calibration gas supply line by operating the pump with the on- off valve closed; or, an the calibration gas preparation device or we subjected to feed the calibration gas supply line span gas prepared by diluting the standard gas in the zero gas by the pump in a state of opening the opening and closing valve is actuated A calibration gas preparation device having the following characteristics is provided.
[0020]
First, the calibration gas preparation device of claim 1, when starting the supply of the span gas, the on-off valve is characterized in that opening after the pump has operated for a predetermined time. Thus, since the standard gas is merged after the supply pressure of the zero gas is sufficiently increased, the problem that the high concentration standard gas is supplied to the analysis unit prior to the span gas having an appropriate concentration can be avoided. it can. Even if the zero gas supply line or the calibration gas supply line is filled with impurities, standard gas components, or the like, the gas can be flushed out of the apparatus prior to the span gas supply.
[0021]
Further, calibration gas preparation device according to claim 2, at the time of terminating the supply of the span gas, the pump is characterized in that subsequently continued operation a predetermined time even after the on-off valve is closed. As a result, even if the calibration is terminated while performing the manual span calibration, the span gas remains in the calibration gas supply line 30 and gives an error to the next zero calibration. Can be resolved.
[0022]
In order to solve the above problems, the present invention provides a zero gas supply line that supplies, as a zero gas, a gas that has passed through a purifier by a pump, and a standard gas supply line that supplies a standard gas of a high-pressure vessel via an on-off valve A calibration gas supply line formed by joining the zero gas supply line and the standard gas supply line, and the zero gas is removed from the calibration gas supply line by operating the pump with the open / close valve closed. A calibration gas preparation unit that supplies or supplies a span gas prepared by diluting the standard gas with the zero gas by operating the pump with the open / close valve open; and from the calibration gas supply line; an analysis unit for analyzing the supplied gas, the sample gas introduction line that sample gas is introduced, the sample gas introduction line and the calibration gas supply line And a switching member for circulating either a gas line to the analysis unit side by selecting of the span gas is supplied to the analyzer by selecting the calibration gas supply line side by the switching member A gas analyzer that performs span calibration and has the following characteristics is provided.
[0023]
First, the gas analyzer according to claim 3, when starting the supply of the span gas, the on-off valve is characterized in that opening after the pump has operated for a predetermined time. Thus, since the standard gas is merged after the supply pressure of the zero gas is sufficiently increased, the problem that the high concentration standard gas is supplied to the analysis unit prior to the span gas having an appropriate concentration can be avoided. it can. Even if the zero gas supply line or the calibration gas supply line is filled with impurities, standard gas components, or the like, it can be flushed out of the apparatus prior to span calibration and cleaned.
[0024]
The gas analyzer according to claim 4, when to terminate the supply of the span gas, the pump is characterized in that subsequently continued operation a predetermined time even after the on-off valve is closed. As a result, even if the calibration is terminated while performing the manual span calibration, the span gas remains in the calibration gas supply line 30 and gives an error to the next zero calibration. Can be resolved.
[0025]
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a zero gas supply line for supplying, as zero gas, a gas passed through a purifier by a pump, and a standard gas in a high-pressure vessel through an on-off valve. And a calibration gas supply line formed by joining the zero gas supply line and the standard gas supply line, and the zero gas is generated by operating the pump with the open / close valve closed. Is supplied from the calibration gas supply line, or the span gas prepared by diluting the standard gas with the zero gas by operating the pump with the open / close valve opened is supplied from the calibration gas supply line. a calibration gas preparation unit that, the analysis unit for analyzing the supplied gas, the sample gas introduction line that sample gas is introduced, the calibration gas supply line A switching member for flowing gas to the analyzer side by selecting one line of the sample gas introduction line, and a overflow pipe located upstream of the downstream and the switching member of said calibration gas preparation unit comprising, before SL gas analyzer by the switching member to supply the span gas or the zero gas by selecting the calibration gas supply line side to said analyzing unit for span calibration or zero calibration, the span calibration or zero calibration When starting the operation, the switching member selects the calibration gas supply line after the pump has been operated for a predetermined time.
[0026]
As a result, even if the zero gas supply line or the calibration gas supply line is full of impurities, standard gas components, etc., before the calibration gas is supplied to the analyzer, it is flushed out of the equipment and cleaned. I can leave. For this reason, since the calibration gas can be introduced into the analysis section after its properties are stabilized, the time until the indicated value of the analysis section is stabilized can be shortened after the calibration gas supply line side is selected by the switching member. As a result, the time during which the sample gas cannot be measured by the calibration operation can be shortened as much as possible.
[0027]
Further, in order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a zero gas supply line for supplying a gas passed through a purifier by a pump as a zero gas and a standard gas in a high-pressure vessel through an on-off valve. And a calibration gas supply line formed by joining the zero gas supply line and the standard gas supply line, and the zero gas is generated by operating the pump with the open / close valve closed. Is supplied from the calibration gas supply line, or the span gas prepared by diluting the standard gas with the zero gas by operating the pump with the open / close valve opened is supplied from the calibration gas supply line. a calibration gas preparation unit that, the analysis unit for analyzing the supplied gas, the sample gas introduction line that sample gas is introduced, the calibration gas supply line And a switching member for flowing gas to the analyzer side by selecting one line of the sample gas introduction line, and an overflow pipe located upstream of the downstream and the switching member of said calibration gas preparation unit in the gas analyzer including a state wherein the analysis unit by said switching member to select the sample gas introduction line side during a period in which analyzed for the sample gas, the pump, said opening and closing valve is closed in to provide a gas analyzer apparatus characterized that you operate regularly Jo Tokoro time.
[0028]
Thereby, the gas in the piping of the calibration gas preparation device and the purifier can be periodically flowed and discharged even during the measurement of the sample gas. Therefore, even if the zero gas supply line is contaminated due to trace impurities released from the piping material, slow leak of standard gas, diffusion of high concentration standard gas remaining in the standard gas supply line, etc., calibration at the next calibration It can be cleaned regularly so as not to affect the concentration and purity of the working gas.
[0029]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Each of the following figures is a time chart for explaining the operating state of the gas analyzer 1 shown in FIG.
FIG. 2 is a time chart showing an operation content of the gas analyzer 1 when one embodiment of the present invention is instructed to manually perform zero calibration. As shown in FIG. 2, the timing of switching from the sample gas introduction line 40 to the calibration gas supply line 30 by the switching member 50 is slightly delayed, for example, about 10 seconds from the timing of operating the pump 11. The time for setting the switching member 50 on the calibration gas supply line 30 side and supplying the zero gas to the analysis unit 60 is usually about 20 minutes.
[0030]
According to this embodiment, even if the zero gas supply line 10 or the calibration gas supply line 30 is filled with impurities, components of standard gas, or the like, while the pump 11 is being operated, the overflow pipe 31 is removed from the apparatus. It can be washed out and kept clean. For this reason, the purity of the zero gas is increased by the time when switching is performed by the switching member 50 so that the calibration gas supply line is circulated to the analysis unit 60 side. As a result, the time during which the sample gas cannot be measured by the zero calibration operation can be shortened as much as possible.
[0031]
FIG. 3 is another embodiment of the present invention, and is a time chart showing the operation content of the gas analyzer 1 when manual span calibration is instructed. As shown in FIG. 3, the timing for opening the on-off valve 23 is slightly delayed, for example, about 10 seconds from the timing for operating the pump 11. In addition, the timing of switching from the sample gas introduction line 40 to the calibration gas supply line 30 by the switching member 50 is further slightly sent, for example, about 10 seconds. Thereafter, for example, after about 20 minutes, the on-off valve 23 is closed and the switching member 50 switches from the calibration gas supply line 30 to the sample gas introduction line 40. However, the pump 11 does not stop at the same time, It is designed to operate continuously for about 5 minutes.
[0032]
According to this embodiment, since the standard gas is merged after the supply pressure of the zero gas is sufficiently increased, the high concentration standard gas is preceded by the span gas having an appropriate concentration, and the calibration gas supply line 30 and the analysis unit 60 are used. The problem of being supplied to can be avoided.
[0033]
Further, even if the zero gas supply line 10 or the like is contaminated, it can be flowed out of the apparatus prior to span calibration and kept clean. Furthermore, since the span gas can be introduced into the analysis section after its concentration is stabilized, the time until the indicated value of the analysis section 60 is stabilized after the calibration gas supply line 30 side is selected by the switching member can be shortened. The time during which the sample gas cannot be measured by the span calibration operation can be shortened as much as possible.
[0034]
In addition, even if the calibration is ended while performing the span calibration by mistake, the span gas remains in the calibration gas supply line 30 or the analysis unit 60, and an error is caused in the subsequent measurement or the next zero calibration. The problem of giving can be solved.
[0035]
FIG. 4 is still another embodiment of the present invention, and is a time chart showing the operation content of the gas analyzer 1 when the calibration signal from the analysis unit 60 is received and zero span calibration is automatically performed at a constant period. . As shown in FIG. 4, the timing of switching from the sample gas introduction line 40 to the calibration gas supply line 30 by the switching member 50 is slightly delayed, for example, about 10 seconds from the timing of operating the pump 11. Thereafter, the on-off valve 23 is opened from closed for about 20 minutes, and then closed. During this time, the analyzer 60 can perform zero calibration, span calibration, and final zero confirmation. The timing at which the pump 11 is stopped and the timing at which the switching member 50 switches from the calibration gas supply line 30 side to the sample gas introduction line 40 side are the same.
[0036]
According to this embodiment, even if the zero gas supply line 10 or the like is contaminated, it can be cleaned in advance. For this reason, the purity of the zero gas is increased by the time when switching is performed by the switching member 50 so that the calibration gas supply line is circulated to the analysis unit 60 side. As a result, the time during which the sample gas cannot be measured by the zero calibration operation can be shortened as much as possible. Finally, since the pump 11 is operated even after the on-off valve 23 is closed, the span gas remains in the calibration gas supply line 30 and the analysis unit 60, and an error occurs in the subsequent measurement and the next zero calibration. Can solve the problem of giving.
[0037]
FIG. 5 shows still another embodiment of the present invention. The gas analyzer 1 that automatically performs zero-span calibration periodically in response to a calibration signal from the analysis unit 60 performs the following after the calibration operation is completed. It is a time chart which shows the operation | movement content at the time of carrying out an automatic washing | cleaning regularly within the period until the calibration operation | work of this starts. The calibration work is usually performed once a week or two weeks, but only the pump 11 is operated for about 3 minutes once a day as shown in FIG. 5 between the calibration work and the calibration work. Yes.
[0038]
According to the present embodiment, the gas in the piping of the calibration gas preparation device and the purifier is periodically flowed and discharged even during sample gas measurement in which the sample gas introduction line 40 is selected by the switching member 50. can do. For this reason, the zero gas supply line 10 and the purifier 12 provided in the zero gas supply line 10 due to a small amount of impurities released from the piping material, a slow leak of the standard gas, a diffusion of the high concentration standard gas remaining in the standard gas supply line 20, etc. Even if it is contaminated, it can be periodically cleaned so as not to affect the concentration and purity of the calibration gas at the next calibration.
[0039]
【The invention's effect】
According to the present invention, even if the zero gas supply line or the calibration gas supply line is filled with impurities, components of standard gas, or the like, it can be flowed out of the apparatus prior to the supply of the span gas or zero gas and cleaned. For this reason, since the calibration gas can be introduced into the analysis section after its properties are stabilized, the time during which the sample gas cannot be measured by the calibration operation can be shortened as much as possible.
[0040]
Further, in the span calibration, it is possible to avoid the problem that the high concentration standard gas is supplied to the analysis unit prior to the span gas having an appropriate concentration.
In addition, even if the calibration is terminated while performing the manual span calibration by mistake, the span gas remains in the calibration gas supply line 30 or the analysis unit 60 and the subsequent measurement or the next zero is performed. The problem of giving an error to calibration can be solved.
[0041]
Further, the gas in the piping of the calibration gas preparation device and the purifier can be periodically flowed and discharged during the sample gas measurement. Therefore, even if the zero gas supply line or the purifier is contaminated due to trace impurities released from the piping material, slow leak of standard gas, or diffusion of high concentration standard gas remaining in the standard gas supply line, the next calibration It can be cleaned regularly so as not to affect the concentration and purity of the calibration gas.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a gas analyzer according to the present invention.
FIG. 2 is a time chart showing an operation content according to the embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a time chart showing operation contents according to another embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a time chart showing the operation content according to another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a time chart showing operation contents according to another embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a time chart showing the operation content according to the prior art.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Zero gas supply line 11 Pump 12 Purifier 20 Standard gas supply line 21 High pressure vessel 23 On-off valve 30 Gas supply line for calibration 40 Sample gas introduction line 50 Switching member 60 Analysis part

Claims (6)

ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを備え、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプ作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製装置において、前記スパンガス供給を開始する際に、前記開閉弁は、前記ポンプ所定時間作動した後に開くことを特徴とする校正用ガス調製装置。The zero gas supply line that supplies the gas that has passed through the purifier by the pump as zero gas, the standard gas supply line that supplies the standard gas of the high-pressure vessel via the on-off valve, the zero gas supply line, and the standard gas supply line merge. A gas supply line for calibration, wherein the zero gas is supplied from the gas supply line for calibration by operating the pump with the open / close valve closed, or the open valve is opened with the open / close valve open. in the calibration gas preparation device or we subjected to feed the calibration gas supply line span gas prepared by diluting the standard gas in the zero gas by the pump is operated, when starting the supply of the span gas, the opening and closing A calibration gas preparation apparatus , wherein the valve is opened after the pump has been operated for a predetermined time. ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを備え、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプ作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製装置において、前記スパンガス供給を終了する際に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた後も引き続き所定時間作動を続けることを特徴とする校正用ガス調製装置。The zero gas supply line that supplies the gas that has passed through the purifier by the pump as zero gas, the standard gas supply line that supplies the standard gas of the high-pressure vessel via the on-off valve, the zero gas supply line, and the standard gas supply line merge. A gas supply line for calibration, wherein the zero gas is supplied from the gas supply line for calibration by operating the pump with the open / close valve closed, or the open valve is opened with the open / close valve open. in the calibration gas preparation device or we subjected to feed the calibration gas supply line span gas prepared by diluting the standard gas in the zero gas by the pump is operated, when to terminate the supply of the span gas, the pump Is a calibration gas preparation device that continues to operate for a predetermined time after the on- off valve is closed . ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材とを備え、切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガスを前記分析部に供給してスパン校正をするガス分析装置において、前記スパンガスの供給を開始するする際に、前記開閉弁は、前記ポンプ所定時間作動した後に開くことを特徴とするガス分析装置。The zero gas supply line that supplies the gas that has passed through the purifier by the pump as zero gas, the standard gas supply line that supplies the standard gas of the high-pressure vessel via the on-off valve, the zero gas supply line, and the standard gas supply line merge. A calibration gas supply line, and the zero gas is supplied from the calibration gas supply line by operating the pump with the open / close valve closed, or the open / close valve is opened. A calibration gas preparation unit for supplying a span gas prepared by diluting the standard gas with the zero gas by operating the pump from the calibration gas supply line, an analysis unit for analyzing the supplied gas, and a sample gas the amount but by selecting a sample gas inlet line to be introduced, either of lines of the the calibration gas supply line the sample gas inlet line And a switching member for flowing gas into the part side, the gas analyzer for span calibration by supplying the span gas to the analyzer by selecting the calibration gas supply line side by the switching member, the span The gas analyzer according to claim 1, wherein when the gas supply is started, the on- off valve opens after the pump has been operated for a predetermined time. ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材とを備え、切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガスを前記分析部に供給してスパン校正をするガス分析装置において、前記スパンガスの供給を終了する際に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた後も引き続き所定時間作動を続けることを特徴とするガス分析装置。The zero gas supply line that supplies the gas that has passed through the purifier by the pump as zero gas, the standard gas supply line that supplies the standard gas of the high-pressure vessel via the on-off valve, the zero gas supply line, and the standard gas supply line merge. A calibration gas supply line, and the zero gas is supplied from the calibration gas supply line by operating the pump with the open / close valve closed, or the open / close valve is opened. A calibration gas preparation unit for supplying a span gas prepared by diluting the standard gas with the zero gas by operating the pump from the calibration gas supply line, an analysis unit for analyzing the supplied gas, and a sample gas the amount but by selecting a sample gas inlet line to be introduced, either of lines of the the calibration gas supply line the sample gas inlet line And a switching member for flowing gas into the part side, the gas analyzer for span calibration by supplying the span gas to the analyzer by selecting the calibration gas supply line side by the switching member, the span When the gas supply is terminated, the pump continues to operate for a predetermined time after the on- off valve is closed . ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動す ることにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材と、前記校正用ガス調製部の下流かつ前記切替部材の上流に配置されたオーバーフロー管とを備え、前記切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガス又は前記ゼロガス前記分析部に供給してスパン校正又はゼロ校正するガス分析装置において、前記スパン校正又はゼロ校正を開始する際に、前記切替部材は、前記ポンプ所定時間作動した後に前記校正用ガス供給ライン側を選択することを特徴とするガス分析装置。The zero gas supply line that supplies the gas that has passed through the purifier by the pump as zero gas, the standard gas supply line that supplies the standard gas of the high-pressure vessel via the on-off valve, the zero gas supply line, and the standard gas supply line merge. A calibration gas supply line, and the zero gas is supplied from the calibration gas supply line by operating the pump with the open / close valve closed, or the open / close valve is opened. a calibration gas preparation unit supplying a span gas prepared by diluting from the calibration gas supply line in the zero gas of the standard gas by Rukoto the pump is to operate, an analysis unit for analyzing the supplied gas, the sample a sample gas inlet line which the gas is introduced, the content by selecting one line of the a calibration gas supply line the sample gas inlet line A switching member for flowing gas into the section side, and a overflow pipe located upstream of the downstream and the switching member of said calibration gas preparation section, by pre-Symbol switching member for selecting the calibration gas supply line side a gas analyzer for span calibration or zero calibration by supplying the span gas or the zero gas to the analyzer by, when starting the span calibration or zero calibration, the switching member is actuated the pump for a predetermined time After that, the calibration gas supply line side is selected. ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材と、前記校正用ガス調製部の下流かつ前記切替部材の上流に配置されたオーバーフロー管とを備えたガス分析装置において、前記切替部材が前記試料ガス導入ライン側を選択することにより前記分析部が前記試料ガスの分析を行っている期間に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた状態で定期的に所定時間作動ることを特徴とするガス分析装置。The zero gas supply line that supplies the gas that has passed through the purifier by the pump as zero gas, the standard gas supply line that supplies the standard gas of the high-pressure vessel via the on-off valve, the zero gas supply line, and the standard gas supply line merge. A calibration gas supply line, and the zero gas is supplied from the calibration gas supply line by operating the pump with the open / close valve closed, or the open / close valve is opened. A calibration gas preparation unit for supplying a span gas prepared by diluting the standard gas with the zero gas by operating the pump from the calibration gas supply line, an analysis unit for analyzing the supplied gas, and a sample gas the amount but by selecting a sample gas inlet line to be introduced, either of lines of the the calibration gas supply line the sample gas inlet line A switching member for flowing gas into the part side, the gas analyzer and a downstream and an overflow tube arranged upstream of the switching member of said calibration gas preparation unit, wherein the switching member is the sample gas introduction line side during a period in which the analysis unit is performing an analysis of the sample gas by selecting the pump, gas analyzer, it characterized that you operate regularly Jo Tokoro time in a state where the on-off valve is closed .
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