JP4241666B2 - ヘッドアクチュエータ及びそれを利用したディスク装置 - Google Patents

Description

本発明は情報処理装置用大容量記憶装置などに適用できるディスク装置用ヘッドアクチュエータおよびこれを使用したディスク装置に関する。詳しくは、磁気ディスク、光ディスクなどのディスクを使用してデータの書き込み、読み出しを行うヘッドアクチュエータとして、浮上スライダが取り付けられたサスペンションを屈曲型のサスペンションとすると共に、この屈曲部近傍に第２の駆動部を設け、これをトラッキング制御などとして使用することによって、浮上スライダに取り付けられた磁気ヘッドの追従性を良好にしたヘッドアクチュエータおよびこれを使用したディスク装置に関する。

データの書き込み、読み出し用の媒体として磁気ディスクや光ディスクなどを使用した大容量の記憶装置の中でハードディスク装置（ＨＤＤ）が知られている。このハードディスク装置の中でもディスクを着脱自在に構成したリムーバブル型のハードディスク装置が知られている。

リムーバブル型ハードディスク装置では、図１０に示すように装置本体２０内にヘッドアクチュエータ１およびスピンドルモータ２１が配され、スピンドルモータ２１にはチャッキング用のマグネット２２が装着されている。

ヘッドアクチュエータ１は支点（ピボット）５を中心に矢印Ｋ方向に回動自在に装置本体２０に軸支されている。ヘッドアクチュエータ１としては図示するような屈曲型のヘッドアクチュエータが使用されているが、これは後述するようにディスクカートリッジに形成される窓孔（ヘッドを挿入する孔）を小さくできることおよびヘッドのアクセス性が改善されることなどを狙ったものである。

図１１はこの屈曲型ヘッドアクチュエータ１の構成図である。
Ｌ字状に折れ曲がった屈曲型ヘッドアクチュエータ１は、ピボット５を中心に回動する回動アーム６を有し、回動アーム６の先端部の両面には互いに対向するようにサスペンション２（２ａ、２ｂ）が取り付けられ、サスペンション２の先端部には浮上スライダ（浮上ヘッドスライダ）１２（１２ａ、１２ｂ）がそれぞれ取り付けられている。浮上スライダ１２には周知のように磁気ヘッド（図示はしない）が取り付けられ、これによってデータの記録再生処理が行われる。サスペンション２は周知のように浮上スライダ１２をディスクに押しつけるバネとして作用する。またこのサスペンション２にはダイナミックロード／アンロード時にランプと接触摺動するディンプル２３が取り付けられている。

回動アーム６の他端部には回動アーム６を回動させるための駆動部（第１の駆動部）４が設けられる。駆動部４は図示するように、回動アーム６に取り付けられた駆動コイル３を有し、その下面側には下ヨーク１０に取り付けられた駆動マグネット８が配され、その上面には上ヨーク９が配されて、全体として磁気回路が構成される。

駆動コイル３に電流を流せば、その電磁力によって回動アーム６が時計方向若しくは反時計方向（矢印Ｊ）に回動する。したがってこの駆動部４はボイスコイルモータ（ＶＣＭ）として作用するものである。

図１０において、ヘッドアクチュエータ１がディスク側に回動すると、ドライブに固定されたダイナミックロード／アンロード用ランプ１５に設けられた滑り台状の斜面上をディンプル２３が降下（アンロード）する。このアンロードおよびこれとは逆の上昇（ロード）は何れもディスク（図示せず）最外周側において行われる。

図１２はリムーバブル型ハードディスク装置２０に装着されて使用されるディスクカートリッジ１９の概要を示す。ディスクカートリッジ１９は樹脂製の上ハーフ２８と下ハーフ２９を溶着などで貼り合わせたものである。上ハーフ２８および下ハーフ２９にはヘッドアクチュエータ１を出し入れするための挿入孔２４が、下ハーフ２９にはハブ用の孔２５が設けられている。挿入孔２４およびハブ用孔２５から塵埃が進入ないようにするため、カートリッジの非使用時にはシャッター２６がスライドして両者を塞ぐ構造となっている。

ディスクカートリッジ１９の中には記録再生用磁気ディスク１８が収納され、このディスク１８の中心部には強磁性体で作成されたチャッキング用のハブ２７が接着などによって固定されている。ディスクカートリッジ１９がリムーバブルハードディスク装置２０に装着されると、ハブ２７がスピンドルモータ２１のチャッキングマグネット２２にチャッキング（吸着）される。

その後、スピンドルモータ２１が回転し、一定の角速度となったところで浮上スライダ１２がディスク１８上に緩やかにロードする。ロードすると、浮上スライダ１２は空気力学的な効果により数十ｍｍだけディスク１８の面上より浮上する。

ところで、上述したようなヘッドアクチュエータでは、一般的な回動型アクチュエータであるインライン型アクチュエータと比較してサスペンション２のねじれモードの影響を受けにくいため優れたＩ−θ特性（シーク方向の周波数特性）を呈する。

しかしながら、磁気ヘッドと駆動コイル３が非常に離れて配置されているために、駆動力が駆動コイル３から浮上スライダ１２に伝達されるまでに各構造物の構造共振を拾ってしまうことがあり、磁気ヘッドを超精密に位置決めすることが困難になる問題がある。つまり浮上スライダ１２の追従性に改良の余地がある。

また、回動型アクチュエータである屈曲型アクチュエータでは、レイアウト上、駆動部４を構成する駆動コイル３が並進力を発生してしまうために、この駆動コイル３が発生する並進力がピボット５の並進モードの原因となっているという問題も発生する。これは、駆動コイル３への通電によって発生する電磁力と同じ力がピボット５にその反作用として作用し、これが加振源となる共振作用で並進モードが発生することになるからである。

そこで、この発明では少なくとも浮上スライダの追従性を改善できるヘッドアクチュエータおよびこれを使用したディスク装置を提案するものである。

上述した問題を解決するため、本発明に係るヘッドアクチュエータは、ピボットを中心に回動する回動アームと、回動アームの先端部にサスペンションを介して設けられた磁気ヘッドを有する浮上スライダと、回動アームのピボット側に設けられた回動アームを回動させる第１の駆動部と、浮上スライダの近傍に取り付けられる第２の駆動部とを備え、第１の駆動部で発生する駆動力のベクトルと、第２の駆動部で発生する駆動力のベクトルとは、回動アームが回動する面と略同一平面上で、互いに逆向きの駆動力を与えるように第１および第２の駆動部が配置される。

上述した問題を解決するため、本発明に係るディスク装置は、ピボットを中心に回動する回動アームと、回動アームの先端部にサスペンションを介して設けられた磁気ヘッドを有する浮上スライダと、回動アームのピボット側に設けられた回動アームを回動させる第１の駆動部と、浮上スライダの近傍に取り付けられる第２の駆動部とを備え、第１の駆動部で発生する駆動力のベクトルと、第２の駆動部で発生する駆動力のベクトルとは、回動アームが回動する面と略同一平面上で、互いに逆向きの駆動力を与えるように第１および第２の駆動部が配置される。

本発明では、屈曲したサスペンションの取り付け基部近傍に第２のＶＣＭとも言うべき第２の駆動部を配置し、トラッキングなどの微細制御をこの第２の駆動部によって行う。こうすると、この第２の駆動部が浮上スライダの近傍であるため追従性が極めて良好になる。したがって精密なヘッドの位置制御が可能になる。

第２の駆動部に対し、ピボットに作用する電磁力の反力を打ち消す回動力を第１の駆動部から与えることによって、ピボットでの並進モードを除去できる。

したがって、この発明を備えた固定型若しくはリムーバブル型ディスク装置ではアクセスに対する追従性の良好なディスク装置を実現できる。

本発明に係るヘッドアクチュエータによれば、第２の駆動部を磁気ヘッドの近傍に配置しているために、第２の駆動部からの駆動力が磁気ヘッドにいたるまでに構造的共振を拾いにくくなり、磁気ヘッドの超精密な位置決め動作が容易となるという効果が得られる。

また、第１と第２の駆動部に対して逆向きの駆動力を与えることができ、第１の駆動部で発生する駆動力のベクトルと第２の駆動部で発生する駆動力のベクトルが、回動アームが回動する面と平行な同一平面上になるように、第１及び第２の駆動部が配置されることによって、回動アームを倒すようなモーメントの発生を防ぐことができ、有害な共振である軸倒れモードの発生を防止でき、これら２つの駆動部が発生する並進力を相殺することができるようになり、大きなピークを持つ共振であるピボットに関する並進モードが発生しにくいという効果が得られる。

したがってこのようなヘッドアクチュエータを用いて固定型若しくはリムーバブル型のディスク装置を構成すると、追従性の良好なディスク装置を実現できる。

以下に、本発明に係るヘッドアクチュエータおよびこれを使用したディスク装置の一実施態様を、リムーバブル型のディスク装置に適用した場合について図面を参照して詳細に説明する。

以下に述べる実施例は、本発明の好適な具体例であるから技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載が無い限り、これらの態様に限られるものではない。

本発明でもヘッドアクチュエータとしては、ほぼＬ字状に折り曲げられた屈曲型のアクチュエータを対象とする。したがってこの発明に係るヘッドアクチュエータ１も図１に示すように、ピボット５を中心に回動する回動アーム６を有し、その先端部側に回動アーム先端を挟むようにその両面から一対のサスペンション２（２ａ、２ｂ）が取り付けられている。サスペンション２の先端には浮上スライダ１２（１２ａ、１２ｂ）が設けられている。サスペンション２は図示するようにほぼＬ字状に屈曲した屈曲型のものが使用される。

回動アーム６の他端部には駆動部（第１の駆動部）４が設けられる。駆動部４も従来例と同じく駆動コイル３を始めとしてマグネット８および磁気回路を構成する一対のヨーク９、１０などで構成される。

この発明では屈曲したサスペンション２の基部近傍に第２の駆動部１３が設けられる。第２の駆動部１３はサスペンション２の基部、この例では回動アーム６の先端部側面に貼着されたマグネット（可動マグネット）１４と、図２に示すようにこの可動マグネット１４を挟み込むようにその上下両面に所定の距離を隔てて配された上下の固定コイル１１ａ、１１ｂとで構成される。固定コイル１１ａ、１１ｂの平面形状は図１に示すように回動アーム６の回動軌跡に沿った形状に湾曲している。

固定コイル１１ａ、１１ｂに対しては任意の方向に駆動電流（制御電流）を流すことができる。図２のように可動マグネット１４からの磁束は矢印Ｃとなるので、例えば矢印Ａ、Ｂの方向に同量の電流を流すと、可動マグネット１４の磁束と、固定コイル１１ａ、１１ｂに流れる電流とに基づいてサスペンション２には電磁力が作用する。ここで、
コイル１１ａ下面を貫く磁束＞＞コイル１１ａのその他の面を貫く磁束
となるので、固定コイル１１ａの下面を流れる電流が支配的となり、フレミングの左手の法則により、紙面に対して奥に進む方向に可動マグネット１４は電磁力（駆動力）が発生する。同様に、他方の固定コイル１１ｂによっても、可動マグネット１４は紙面に対して奥に進む方向に駆動力が発生する。そして、それらの総合した駆動力（合力）により、ヘッドアクチュエータ１はディスク１８側に駆動される。駆動力は第１の駆動部４側の方が第２の駆動部１３側よりも大きい。

したがって、シーク動作は第１の駆動部４に与える制御信号によって行い、最終的な微調整（トラッキング調整）は第２の駆動部１３に与える制御信号（トラッキング制御信号）によって行う。このように第２の駆動部１３がサスペンション２先端の浮上スライダ１２の近傍に配置されているために、上述した駆動力をダイレクトに浮上スライダ１２に伝達することができる。これによって、浮上スライダ１２の追従性を大幅に改善できる。

因みに、図３（ａ）は、精密な位置決め時などのときに第２の駆動部１３のみを使用したときに、ヘッドアクチュエータ１のピボット５にかかる力（矢印図示）を示したものである。第２の駆動部１３からは並進力Ｆ２のみが発生するので、それに対する反力−Ｆ２をピボット５が受けることになる。この反力−Ｆ２は、大きなピークを持つ有害な並進剛体モードの原因となる。

そこで、精密な位置決め時などのときにも、図３（ｂ）のように第２の駆動部１３と逆相で、かつほぼ同等な駆動力Ｆ１が第１の駆動部４で発生するように、この第１の駆動部４を駆動すれば、反力は実用上問題ない程度に相殺される。

しかしながら、第１の駆動部４を駆動することで、これによって今度は他の構造の共振を浮上スライダ１２に伝えてしまう可能性がある。したがって実際には力Ｆ１は、ある程度並進剛体モードを抑えつつ、他の構造共振もそれほど目立たないようで済むような大きさとするのが好ましい。

図４（ａ）は、図１に示すヘッドアクチュエータ１の主要部を側面から見た図であって、同図のように第１の駆動部４における駆動コイル３、第２の駆動部１３を構成するマグネット１４およびヘッドアクチュエータ１の重心ＣＧを、ピボット５の軸芯に対して直交する同一平面上（細線図示）に配置することで、ピボット５を倒すようなモーメントの発生を防ぐことができる。これによって、有害な共振である軸倒れモードの発生を防止できる。

しかし、実際には設計自由度の問題などからヘッドアクチュエータ１を図４（ｂ）あるいは図４（ｃ）のように構成することも考えられる。

図４（ｂ）の場合は、回動アーム６のうちサスペンション２側に段差を持たせた構造となっており、この場合には固定コイル１１ａ、１１ｂの駆動力によって発生するモーメントを相殺できれば、軸倒れモードは発生しない。

具体的には、固定コイル１１ａの駆動力をＦ２ａ、固定コイル１１ｂの駆動力をＦ２ｂ、ピボット５の軸と直交し、重心ＣＧを通る平面（細線図示）とマグネット１４の上下端面（サスペンション２ａ、２ｂ）までの距離をそれぞれＬ２ａ、Ｌ２ｂすると、
Ｆ２ａ×Ｌ２ａ＋Ｆ２ｂ×Ｌ２ｂ＝０
となるようにＦａ、Ｆｂを出力するよう制御することによって、軸倒れモーメントの発生を防止できる。

図４（ｃ）のように、駆動コイル３が重心ＣＧよりも下側に位置する場合には、駆動コイル３、固定コイル１１ａ、１１ｂの駆動力によって発生するモーメントを相殺すれば、軸倒れモードは発生しない。

そのためには、駆動コイル３の駆動力をＦ１、ピボット５の軸芯と直交し、重心ＣＧを通る平面（細線図示）から駆動コイル３の中心までの距離をＬ１とすると、
Ｆ１×Ｌ１＋Ｆ２ａ×Ｌ２ａ＋Ｆ２ｂ×Ｌ２ｂ＝０
となるように、力Ｆ、Ｆａ、Ｆｂが得られるように制御すればよい。

ところで、図１に示す構成ではサスペンション２の近傍に第２の駆動部１３が配置される関係で、サスペンション２の屈曲点近傍にはマグネット１４が常に存在することになる。

そのため、設計によっては、マグネット１４の発生する磁束がサスペンション２の内部を通って、その先端部に取り付けられた磁気ヘッドを通過する可能性がある。磁気ヘッドとしてはＭＲヘッド（Magneto Resistive Head）が使用されることが多く、このＭＲヘッドを使用すると外部磁界の影響を受けやすくなるからである。外部磁界の影響を受けやすいのは、サスペンション２として強磁性のステンレス鋼が使用されているためである。因みに、サスペンション２の材料は非磁性体であるが、圧延等の工程を経ることによって強磁性を帯びたものに変わることが多いからである。

磁気ディスク装置では、読み込みヘッドにＭＲヘッドが用いられることが多いが、ＭＲヘッドは外部磁界に弱いため上述磁束により障害が生じる可能性がある。そのため、条件にもよるが、サスペンション２の材質としては非磁性体を使用するのが望ましい。

図５はこの発明に係る他の実施態様を示す要部の斜視図である。このヘッドアクチュエータ１の基本構成は図１と同じであるが、この実施態様では、図示するように屈曲したサスペンション２の屈曲点近傍に設けられる第２の駆動部１３として、可動コイル型のものが使用される。因みに図１の例は可動マグネット型構成である。

したがってこの第２の駆動部１３はサスペンション２の側面部に取り付けられた可動コイル３１と、この可動コイル３１を挟むようにその上下に設けられた一対のマグネット３０ａ、３０ｂとで構成される。可動コイル３１はサスペンション２の回動角の範囲内で移動するものであるから、この移動範囲内をマグネット３０ａ、３０ｂでカバーする関係で、これらマグネット３０ａ、３０ｂは図５のように円弧状をなすマグネットが使用される。そしてこれらマグネット３０ａ、３０ｂは上下のハーフ９、１０をそれぞれサスペンション２と同じような形状で延長した延長端９ａ、１０ａにそれぞれ取り付け固定されている。

図６のように可動コイル３１に矢印Ｄ方向の電流を流したときには、マグネット３０ａ、３０ｂの磁束Ｅによって、フレミングの左手の法則により、紙面に対して奥に進む方向に可動コイル３１には駆動力が生ずる。この駆動力でヘッドアクチュエータ１はディスク１６方向に摺動する。

サスペンション２の近傍には固定マグネット３０ａ、３０ｂが存在するので、サスペンション２が磁性体であると、これが固定マグネット３０ａ、３０ｂに吸着され、所定の能力が発揮できない可能性がある。そのため、サスペンション２は非磁性体を使用するのが望ましい。

図７はこの発明に係るヘッドアクチュエータをリムーバブル型ディスク装置に適用した場合の概要を示す。なお説明の都合上、この図においては固定コイル１１ａを外した状態で示してある。

図７（ａ）は、浮上スライダ１２がディスク１８の最内周に位置しているときの図で、同図（ｂ）は、浮上スライダ１２がディスク１８の最外周に位置しているときの図である。そして、同図（ｃ）は、浮上スライダ１２がカートリッジ１９に挿入される前の待機状態を示し、これは装置本体２０に装着された直後の状態と同じである。

同図（ｃ）に示すように、ランプ１５は２本のシャフト１６に保持されたダイナミックアンロード・ロードシステムが採用される。ランプ１５はバネ１７により矢印Ｈ側に常に引っ張られている。磁気ヘッドをディスク１８内で微小移動させるときこの第２の駆動力を利用して行う。

バネ１７が設けられている関係でヘッドアクチュエータ１が同図（ｃ）に示す待機位置に移動するときには、第２の駆動力がバネ１７のバネ力に打ち勝つ必要がある。ヘッドアクチュエータ１が待機位置にあるときは装置本体２０側に設けられた鉄片４０によって可動マグネット１４が吸着されるため、これによってヘッドアクチュエータ１が待機位置にロックされる。

なお、図７の構成からも明らかなように、ヘッドアクチュエータ１がどのようなポジションにあろうとも、可動マグネット１４は常にカートリッジ１９の外側に位置する構成となっている。

図７に示す構成では、第２の駆動力のみでランプ１５を動作させながらヘッドアクチュエータ１を待機位置に移動させる必要があるので、単純にトラッキングをとるための駆動力よりも大きなものとなる。

そこで、固定コイル１１を、待機位置からディスクの最外周位置に持ち来すまでの範囲と、ディスク内でのシーク範囲およびトラッキング範囲の２つの範囲でそれぞれ別々に駆動できるように、固定コイル１１（１１ａ、１１ｂ）を二分することも考えられる。そしてディスク内でのシークおよびトラッキング用のコイルは低消費電力、低出力用とし、待機位置からディスクまで持ち来すコイルとしては高消費電力、高出力用とすることで、全体的に駆動力の効率を高めることができる。

したがって高加速動作のときは主として第１の駆動部４で発生する駆動力で行い、精密動作の時は主として第２の駆動部１３で発生する駆動力で行うようにしている。より具体的には、高加速動作が必要なときには、第１の駆動部４で発生する駆動力に比較して、第２の駆動部１３で発生する駆動力が小さくなるように制御される。これとは反対に精密に磁気ヘッドの位置決めが必要なときには、第１の駆動部４で発生する駆動力に比較して、第２の駆動部１３で発生する駆動力がほぼ等しいか若しくはこれよりも大きくなるように制御される。

図８は図５に示すヘッドアクチュエータ１をリムーバブル型のディスク装置に適用した場合の実施態様を示すもので、同図（ａ）は、浮上スライダ１２がディスク１８の最内周に位置しているときの図で、同図（ｂ）は、浮上スライダ１２がディスク１８の最外周に位置しているときの図である。

また、同図は通常のハードディスク装置と同様にＣＳＳ（Contact Start and Stop）システムを採用した場合である。同図に示すように、ヘッドアクチュエータ１がどのような位置にあっても、第２の駆動部１３は常にディスク１８の外側に位置するように構成されている。

なお、この発明ではヘッドアクチュエータ１として屈曲構成のものを使用し、これに第２の駆動部１３を適用した。従来から知られているいわゆるインライン構成のヘッドアクチュエータに、この発明の主要部である第２の駆動部を適用することも考えられる。

しかし、インライン型のヘッドアクチュエータに適用する場合には図９のように第２の駆動部１３を構成する可動コイル１４若しくは可動マグネット３１を常にディスクカートリッジ１９の外側に位置させるためには、可動コイル１４などをかなり回動アーム６の根本側に配置しなくてはならない。また、サスペンション２もインライン配置のためシーク方向に共振が生じやすい。

そのため、第２の駆動力をダイレクトに浮上スライダ１２及び磁気ヘッドに伝達することが極めて困難になる。つまりヘッドアクチュエータ１に第２の駆動部１３を設けるメリットが殆どなくなってしまう。屈曲型のヘッドアクチュエータ１に適用することが最も好ましい。

上述した図６の実施態様の中で、例えば駆動コイル３１の中心部に相当する一対のサスペンション２ａ、２ｂの間に貫通孔を設け、ここに磁気回路形成用の弓なり状のヨークを通すように構成することもできる。こうすることによって、磁束を効率よく駆動コイル３１側に収束させることができるので、駆動効率が改善される。

この変形例は、特に磁気ヘッドが２個以上設けられたいわゆるマルチプラッタ方式のヘッドアクチュエータに適用して好適である。これは複数のサスペンションを設ける関係で、サスペンション自体の厚みが厚くなるため、そのほぼ中央部を貫通させてここに磁気回路用ヨークを設けた方が磁束を効率よく駆動コイル側に収束させることができるようになるからである。

この発明に係るディスク装置はディスクカートリッジを使用したリムーバブル型のディスク装置のみならず、ディスクを単数若しくは複数枚積層してシリンダ構成となされた固定のディスクを用いた固定型のディスク装置にも適用できることは明らかである。その構成は使用するディスクがカートリッジタイプから固定式になること、使用するディスクは１枚に限らないこと以外にはリムーバブル型のディスク装置とその構成が同じである。したがって図面を用いた説明およびその構成と作用の詳細な説明は省略する。ディスクは両面を利用できる両面型や、片側のみを使用する片面型の何れでも利用できる。使用するヘッドアクチュエータは上述したものが利用されることは当然である。

本発明は情報処理装置用大容量記憶装置などに適用できるディスク装置用ヘッドアクチュエータおよびこれを使用したディスク装置に適用される。

本発明の第１の実施態様を示すヘッドアクチュエータの構成図である これに使用される第２の駆動部の具体例を示す要部の構成図である。 第１と第２の駆動力の関係を示す図である。 図３の側面図である。 本発明の第２の実施態様を示すヘッドアクチュエータの構成図である。 これに使用される第２の駆動部の具体例を示す要部の構成図である。 本発明の第１の実施態様を示すディスク装置の構成図である。 本発明の第２の実施態様を示すディスク装置の構成図である。 インライン型アクチュエータに第２の駆動部を搭載したときの一例を示すディスク装置の構成図である 屈曲型アクチュエータを採用したディスク装置の構成図である。 屈曲型アクチュエータの構成を示した構成図である。 ディスクカートリッジの構成を示した構成図である。

符号の説明

１・・・ ヘッドアクチュエータ、２・・・サスペンション、３・・・駆動コイル、４・・・第１の駆動部（ＶＣＭ）、６・・・回動アーム、１１・・・固定コイル、１２・・・浮上スライダ、１３・・・第２の駆動部(ＶＣＭ）、１４・・・マグネット、１８・・・ディスク、１９・・・カートリッジ、３１・・・可動コイル

Claims (4)

1. ピボットを中心に回動する回動アームと、
   上記回動アームの先端部にサスペンションを介して設けられた磁気ヘッドを有する浮上スライダと、
   上記回動アームのピボット側に設けられた上記回動アームを回動させる第１の駆動部と、
   上記浮上スライダの近傍に取り付けられる第２の駆動部とを備え、
   上記第１の駆動部で発生する駆動力のベクトルと、上記第２の駆動部で発生する駆動力のベクトルとは、上記回動アームが回動する面と略同一平面上で、互いに逆向きの駆動力を与えるように上記第１および第２の駆動部が配置されるヘッドアクチュエータ。
2. 上記回動アームの重心が、上記回動アームが回動する面と略同一平面上になるように配置された請求項１記載のヘッドアクチュエータ。
3. 上記回動アームの先端部に屈曲型サスペンションを有し、上記第２の駆動部は上記屈曲型サスペンションの近傍に設けられている請求項１記載のヘッドアクチュエータ。
4. ピボットを中心に回動する回動アームと、
   上記回動アームの先端部にサスペンションを介して設けられた磁気ヘッドを有する浮上スライダと、
   上記回動アームのピボット側に設けられた上記回動アームを回動させる第１の駆動部と、
   上記浮上スライダの近傍に取り付けられる第２の駆動部とを備え、
   上記第１の駆動部で発生する駆動力のベクトルと、上記第２の駆動部で発生する駆動力のベクトルとは、上記回動アームが回動する面と略同一平面上で、互いに逆向きの駆動力を与えるように上記第１および第２の駆動部が配置されるヘッドアクチュエータを有するディスク装置。

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