JP4243766B2

JP4243766B2 - 非接触搬送装置

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Publication number: JP4243766B2
Application number: JP2006270735A
Authority: JP
Inventors: 清海楊; 克彰高橋; 正行細野; 和夫中野
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2006-10-02
Filing date: 2006-10-02
Publication date: 2009-03-25
Anticipated expiration: 2026-10-02
Also published as: CN101172540B; TWI331981B; KR20080030945A; CN101172540A; TW200817262A; DE102007045854B4; US20080079208A1; US7690869B2; DE102007045854A1; JP2008087910A; KR100916673B1

Description

本発明は、ワークを圧力流体によって非接触状態で保持して搬送することが可能な非接触搬送装置に関する。

従来、半導体ウェハの搬送や、液晶、プラズマディスプレイ等の表示装置を構成するシート状部品からなるワークを、気体の流れによって生じるベルヌーイ効果を利用して非接触で搬送することが可能な非接触搬送装置が知られている。

例えば、この非接触搬送装置は、内周面が円周状の凹部と、該凹部の開口側に形成されワークと対向する平坦面と、凹部の内周面に臨む噴出孔から凹部内へ供給流体を吐出させる流体通路を有し、流体導入口から供給されるエアによって平坦面とワークとの間に気流を流通させることにより、ベルヌーイ効果により負圧を発生させて前記ワークをリフトすると共に、前記平坦面とワークとの間を流通する高速の正圧の気流により両者を非接触で保持して移送する（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−６４１３０号公報

このような非接触搬送装置では、エアの供給量（圧力）を一定とし、様々な重量及び大きさのワークを搬送している。そのため、ワークの保持力をさらに増大させてより重量の大きいワークを保持して搬送させたいという要請があると共に、同時に、薄くて軽量のワークを安定的に保持して搬送させたいという要請がある。すなわち、一定のエアの供給量（圧力）に対するワークの保持範囲を拡大させ、より様々なワークに対応させて保持・搬送可能な非接触搬送装置が望まれている。

本発明は、前記の課題を考慮してなされたものであり、エア供給量に対するワークの保持範囲を拡大させ、前記ワークを確実且つ安定的に保持して移送することが可能な非接触搬送装置を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本発明は、ボディと、
前記ボディの内部に形成され、エア供給部から供給されたエアが流通する通路と、
前記ボディの端部に設けられ、ワークに臨む保持面と、
前記保持面の半径内方向に設けられ、前記ワークに臨んで開口すると共に前記ワーク側に向かって徐々に拡径した第１傾斜面を有する環状の旋回室と、
前記旋回室の第１傾斜面に接続され、該旋回室と通路とを連通して前記エアを前記旋回室へと導出する導出孔と、
前記旋回室の略中央部に設けられ、前記ワーク側に向かって徐々に縮径するように膨出し、外周側に前記第１傾斜面に臨んだ第２傾斜面を有する突部と、
を備え、
前記導出孔が、前記保持面と略平行に延在し、前記第１傾斜面に対して前記旋回室の接線方向に接続されることを特徴とする。

本発明によれば、ボディのエア供給部から通路へと導入されたエアを、ワークに臨んで開口した旋回室に接続された導出孔から導出させる。この導出孔は、環状の旋回室において外周側に設けられた第１傾斜面に対して接線方向に接続され、且つ、保持面と略平行に延在しているため、導出されたエアが前記旋回室内を旋回するように流通し、前記保持面側に向かって徐々に拡径した第１傾斜面に沿って前記保持面へと流通する。

従って、旋回室に導入されたエアを、テーパ状に形成された第１及び第２傾斜面を介して保持面へと円滑に導くことができるため、高速に流れるエアが前記第１及び第２傾斜面から剥離するように流通することがなく、スムーズに大気側へと導出させることができる。これにより、従来の鉛直な周面を有する円筒状の旋回室と比較し、高速で流れるエアが傾斜面から離間することがないため、非接触搬送装置とワークとの間により低い負圧（圧力分布）が得られることとなる。その結果、同一のエア供給量に対するワークの保持力を増大させることが可能となる。

また、旋回室の内部にワーク側に向かって徐々に縮径する突部を設けることにより、前記旋回室の容積を小さくすることができる。そのため、ワークが保持面に対して接近・離間する際に、前記旋回室内のエアが前記ワークに対する空気ばねとして機能するために、前記旋回室の容積が小さくなるにつれて前記空気ばねの影響が小さくなる。すなわち、突部を設けて旋回室の容積をより小さくすることにより、該旋回室とワークとの間に生じる連成振動が好適に抑制されるため、薄くて軽いワークを保持面を介して安定的に保持することができる。

さらに、突部がワークに向かって徐々に縮径しているため、前記突部を縮径させない場合に比べて旋回するエアに対する前記突部の影響を小さくすることができる。その結果、旋回室の内部にワーク側に向かって徐々に縮径する突部を設けることにより、前記旋回室とワークとの間に生じる連成振動が好適に抑制される。

さらにまた、第２傾斜面の傾斜角度を、該第２傾斜面の起点となる旋回室の壁面に対して３０度以上且つ９０度未満に設定することにより、前記旋回室内に導入されたエアを旋回させながら第２傾斜面に沿って流通させることができるため、前記エアを前記旋回室から外部へと円滑に流通させることができる。そのため、ワークを確実且つ安定的に保持することができる。

またさらに、第１傾斜面の傾斜角度を、該第１傾斜面の起点となる前記旋回室の壁面に対して３０度以上且つ９０度未満に設定することにより、前記旋回室内に導入されたエアを旋回させながら第１傾斜面に沿って流通させ、該第１傾斜面から保持面へと円滑に導くことができる。そのため、エアを円滑に流通させることにより常に安定したワークの保持力を得ることが可能となる。

本発明によれば、以下の効果が得られる。

すなわち、旋回室に導入されたエアを、テーパ状に形成された第１及び第２傾斜面を介して保持面へと円滑に導くことができるため、旋回室内を高速で流れるエアが第１及び第２傾斜面から剥離するように流通することがなく、スムーズに大気側へと導出させることができる。その結果、従来の鉛直な周面を有する円筒状の旋回室と比較し、高速で流れるエアが傾斜面から離間することがないため、非接触搬送装置とワークとの間により低い負圧が得られ、同一のエア供給量に対するワークの保持力を増大させることができる。

また、旋回室の内部にワーク側に向かって徐々に縮径する突部を設けることにより、前記旋回室の容積を小さくすることができるため、該旋回室とワークとの間に生じる連成振動が好適に抑制され、薄くて軽いワークを保持面を介して安定的に保持することができる。すなわち、ワークに対する保持力の範囲を拡大し、様々なワークを確実且つ安定的に保持することが可能となる。

本発明に係る非接触搬送装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

図１において、参照符号１０は、本発明の実施の形態に係る非接触搬送装置を示す。

この非接触搬送装置１０は、図１〜図４に示されるように、断面略Ｕ字状に形成されたハウジング（ボディ）１２と、前記ハウジング１２の内部に装着されるインナ部材（ボディ）１４とを備え、前記ハウジング１２及びインナ部材１４が複数の連結ボルト１６で連結されることによって略円盤状に形成される。

ハウジング１２は、略中央部に形成されインナ部材１４の一部が挿通される孔部１８と、外周部位に設けられ、インナ部材１４側に向かって略鉛直方向に延在する環状のフランジ部２０とを含み、前記フランジ部２０の内周側には前記孔部１８と連通する空間部２２が設けられる。なお、フランジ部２０は、ハウジング１２の軸線と略平行に形成される。

この孔部１８は、略一定直径で形成され、該孔部１８の外周側には連結ボルト１６が挿通される複数のボルト孔２４が設けられると共に、前記ボルト孔２４に対してさらに半径外側に複数の取付穴２６が設けられる。なお、ボルト孔２４及び取付穴２６は、それぞれ孔部１８を中心とした同一直径上に等間隔離間して配置される。この取付穴２６は、例えば、非接触搬送装置１０がロボットアーム等の装置に対して連結される際に用いられる。

また、インナ部材１４に臨むハウジング１２の内壁面には、ボルト孔２４と取付穴２６との間となるように第１シール部材２８が環状溝を介して装着されると共に、前記フランジ部２０の下端面にも同様に環状溝を介して第２シール部材３０が装着される。この第１及び第２シール部材２８、３０は、ハウジング１２とインナ部材１４が連結された際に、該ハウジング１２とインナ部材１４との間を通じたエアの外部への漏出を防止する。

フランジ部２０の外周面は略一定直径から形成され、一方、その内周面３２は下端面側に向かって段階的に拡径した段付部３４を有する。

インナ部材１４は、断面略Ｔ字状に形成され、略中央部に形成される円筒状のボス部３６と、前記ボス部３６の端部に形成され、所定半径で拡径したベース部３８と、該ベース部３８に対して半径外方向に配置され、ワークＷ（図４参照）を保持する保持面４０を有するプレート部４２と、前記ベース部３８とプレート部４２とを接続する接合部４４とを含む。

ボス部３６は、ハウジング１２の孔部１８に挿通され、その略中央部にはエアが供給される供給ポート（エア供給部）４６が軸線方向に沿って形成される。この供給ポート４６には、図示しないチューブに接続された継手が螺合され、前記チューブを通じてエア供給源（図示せず）から前記供給ポート４６へとエアが供給される。

ベース部３８は、ハウジング１２の空間部２２に配設され、その外周面がフランジ部２０の内周面３２に臨む。そして、段付部３４を含むフランジ部２０の内周面３２とベース部３８の外周面との間には、エアの流通する環状通路（通路）４８が画成される。すなわち、この環状通路４８は、内周側に配設された第１シール部材２８と、外周側に配設された第２シール部材３０によって気密が保持された空間となる。

また、ベース部３８の内部には、供給ポート４６に接続され、半径外方向に向かって延在した複数（例えば、２本）の連通路（通路）５０が形成される。この連通路５０は、供給ポート４６を中心として周方向に等間隔離間するように配置され、前記ハウジング１２のフランジ部２０に臨むベース部３８の外周面まで貫通している。そして、連通路５０は、供給ポート４６とインナ部材１４の外周側に画成された環状通路４８とを連通している。

このベース部３８には、ハウジング１２のボルト孔２４と対向する位置にそれぞれねじ穴５２が設けられ、前記ボルト孔２４に挿通された連結ボルト１６がそれぞれねじ穴５２に螺合されることにより、前記ハウジング１２とインナ部材１４とが連結される。なお、複数のねじ穴５２は、複数の連通路５０の間となるように形成される。

さらに、ベース部３８には、ハウジング１２の内壁面に装着された第１シール部材２８が当接するため、前記ベース部３８とハウジング１２との間を通じたエアの漏出が防止される。

一方、ベース部３８の下端部には、ボス部３６から離間する方向に向かって断面略台形状に膨出した膨出部（突部）５４が形成される。この膨出部５４は、ベース部３８の略中央に配置されて略円形状に形成され、その外周部には、ベース部３８から離間する方向に向かって徐々に縮径した第１テーパ面（第２傾斜面）５６が形成される。この第１テーパ面５６の傾斜角度θ１は、該第１テーパ面５６の起点となる前記ベース部３８の底壁面（壁面）５８に対して、例えば、３０度以上で９０度未満となるように設定される（３０°≦θ１＜９０°）。なお、ベース部３８の底壁面５８は、後述するプレート部４２の保持面４０と略平行に設けられる。また、第１テーパ面５６の傾斜角度θ１は、例えば、前記ベース部３８の底壁面５８に対して６０°に設定すると最適である。

プレート部４２は、ハウジング１２の外周径と略同一直径で形成されると共に略一定厚さで形成され、ハウジング１２を構成するフランジ部２０の下端面を覆うように配設される。すなわち、プレート部４２は、ハウジング１２に臨む上面がフランジ部２０に当接し、外部に露呈した下面が、ワークＷを保持可能な保持面４０として機能する。

また、この保持面４０は、インナ部材１４における膨出部５４の端面に対して所定高さＴだけ突出するように設けられる。換言すれば、ワークＷに臨む保持面４０に対して膨出部５４の端面が所定高さＴだけ窪んで設けられ、前記ワークＷと膨出部５４との間のクリアランスＣ１が、該ワークＷと保持面４０との間のクリアランス（離間距離）Ｃ２に比べて大きくなる（Ｃ１＞Ｃ２）。

さらに、プレート部４２には、フランジ部２０に装着された第２シール部材３０が当接することにより、前記プレート部４２とハウジング１２との間を通じたエアの漏出が防止される。

接合部４４は、ベース部３８の外周部位から半径外方向に延在し、該ベース部３８とプレート部４２の内周部位とを接続するように環状に形成される。この接合部４４の内周部には、ベース部３８からプレート部４２側に向かって徐々に拡径した第２テーパ面（第１傾斜面）６０が形成されると共に、該接合部４４の外周部は、インナ部材１４の軸線に対して平行な略一定直径で形成される。この第２テーパ面６０の傾斜角度θ２は、該第２テーパ面６０の起点となる前記ベース部３８の底壁面５８に対して、例えば、３０度以上で９０度未満となるように設定される（３０°≦θ２＜９０°）。この第２テーパ面６０の傾斜角度θ２は、例えば、前記ベース部３８の底壁面５８に対して６０°に設定すると最適である。

すなわち、インナ部材１４には、ベース部３８の底壁面５８、膨出部５４の第１テーパ面５６、接合部４４の第２テーパ面６０によって環状凹部６２が画成される。この環状凹部６２は、ベース部３８から離間する方向に向かって徐々に幅広となる断面略台形状に形成される。

また、接合部４４の内部には、該接合部４４の外周面と内周側となる第２テーパ面６０とを連通させる複数の導出孔６４が形成される。この導出孔６４は、略一定直径で一直線状に形成され、環状凹部６２側となる端部が傾斜した第２テーパ面６０に開口している。

導出孔６４は、接合部４４と膨出部５４との間に形成された環状凹部６２に対して接線方向となるように設けられる。これにより、導出孔６４を介して環状通路４８と環状凹部６２とが連通される。

さらに、第２テーパ面６０は、プレート部４２の内周部に形成された第３テーパ面６６に隣接して配置される。この第３テーパ面６６は、第２テーパ面６０側から保持面４０側に向かって徐々に拡径するように傾斜し、前記第３テーパ面６６の傾斜角度は、前記ベース部３８の底壁面５８に対する第２テーパ面６０の傾斜角度θ２に対して小さくなるように設定される。すなわち、環状凹部６２を流通するエアが第２及び第３テーパ面６０、６６に沿って保持面４０側へと流通する際、該第２テーパ面６０、第３テーパ面６６と段階的に拡径するように形成されているため、前記エアを徐々に保持面４０へと導くことができ、該エアを滑らかに流通させることができる。

そして、インナ部材１４の下部には、膨出部５４、ベース部３８の底壁面５８、接合部４４の第２テーパ面６０及びプレート部４２の第３テーパ面６６に囲まれた旋回室６８が画成される。この旋回室６８は、環状凹部６２を含むように形成され、その外周面が保持面４０側に向かって徐々に拡径するテーパ状に形成され、且つ、内周面がインナ部材１４の中心側に向かって徐々に縮径するテーパ状に形成されると共に、その略中央部が前記保持面４０に対して所定長だけ窪んで形成される。

本発明の実施の形態に係る非接触搬送装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。

図示しないエア供給源からチューブを介して供給ポート４６へとエアが供給され、前記供給ポート４６に供給されたエアが、複数の連通路５０を通じて環状通路４８へと導入される。そして、環状通路４８に連通した複数の導出孔６４を介して環状凹部６２へと導出される。この際、導出孔６４が環状凹部６２に対して接線方向となるように配置されているため、該導出孔６４から導出されたエアが旋回室６８へと供給されて環状凹部６２に沿って旋回するように流通する。これにより、旋回室６８においてエアによる旋回流が発生し、該エアは断面略台形状に窪んだ環状凹部６２に沿ってその流速を増大させながら流通する。

この場合、旋回室６８側に開口した複数の導出孔６４は、いずれも前記旋回室６８を構成する環状凹部６２に対して接線方向となるように接続されているため、前記環状凹部６２に導出されるエアの流通方向が周方向に沿った同一方向となる。

そして、インナ部材１４の保持面４０と対向する位置に配置されたワークＷと該保持面４０との間を旋回室６８で旋回流となったエアが保持面４０に沿って高速で外周側へと流通することにより、前記保持面４０とワークＷとの間が負圧となる。この場合、エアは、旋回室６８において環状凹部６２の外周側となる第２テーパ面６０から第３テーパ面６６に沿って流通し、保持面４０へと滑らかに流通する。

これにより、インナ部材１４の保持面４０と対向する位置に配置されたワークＷ（例えば、ウェハ等）が旋回室６８において発生する負圧により吸引され、一方、インナ部材１４の保持面４０とワークＷとの間に介在するエア（正圧）により反発力を受け、前記負圧と正圧とのバランスによってワークＷが非接触状態で保持される。その結果、非接触搬送装置１０の保持面４０においてワークＷを保持した状態で所定位置に搬送される。

なお、このワークＷに作用する正圧及び負圧は、インナ部材１４の保持面４０とワークＷとの間のクリアランスＣ２により変化する。すなわち、このクリアランスが小さくなると負圧が減少すると共に正圧が増大し、一方、前記クリアランスＣ２が大きくなると負圧が増大すると共に正圧が減少する。この場合、リフトされるワークＷは、該ワークＷ自体の自重と正圧及び負圧のバランスによって最適なクリアランスとなる。そのため、例えば、ウェハや可撓性を有するフィルム状のワークＷを歪ませることなく搬送することができる。

図７及び図８は、非接触搬送装置１０におけるワークＷと保持面４０との間のクリアランスＣ２と前記ワークＷを保持可能な保持力Ｆとの関係を示した特性曲線図である。なお、図７中に示される実線Ａは、本実施の形態に係る非接触搬送装置１０の特性を示し、破線ａは、旋回室の外周面が鉛直方向に延在した円筒状に形成された場合の特性を示している。一方、図８中に示される実線Ｂは、上述した本実施の形態に係る非接触搬送装置１０の特性を示し、破線ｂは、前記膨出部が設けられていない非接触搬送装置の特性を示している。

図７に示されるように、エアがワークＷに向かって導出される旋回室６８の外周面に、保持面４０側に向かって拡径する第２及び第３テーパ面６０、６６を設けることにより、前記ワークＷを保持する際の保持力Ｆの最大値Ａ１が、旋回室の外周面が保持面に対して略鉛直な円筒形状とした場合の保持力Ｆの最大値ａ１と比較して大きくなっていることが諒解される（Ａ１＞ａ１）。

すなわち、旋回室６８の外周面に、保持面４０側に向かって拡径するテーパ状の第２及び第３テーパ面６０、６６を設けることにより、前記旋回室６８で旋回しているエアが、第２テーパ面６０から第３テーパ面６６へと徐々に流通して保持面４０へと滑らかに流通する。このように、旋回室６８のエアを、テーパ状の外周面に沿って円滑に保持面４０へと導くことができる。換言すれば、旋回室６８で高速に流れるエアが第２及び第３テーパ面６０、６６から剥がれることなく、円滑に保持面４０側へと導かれて大気側へと導出される。

従って、旋回室６８の外周面を、保持面４０側に向かって拡径するようにテーパ状とすることにより、ワークＷを保持する保持力Ｆを増大させることができるため、より重量の大きなワークＷを一定のエア供給量で確実且つ安定的に保持して搬送することが可能となる。

図８に示されるように、エアが流通する旋回室６８内にワークＷに向かって膨出した膨出部５４を設けることにより、前記ワークＷを保持する際の保持力Ｆの最小値Ｂ１が、前記膨出部５４を設けていない場合の最小値ｂ１と比較して小さくなっていることが諒解される（Ｂ１＜ｂ１）。なお、一般的に、保持力Ｆの最小値Ｂ１、ｂ１で保持されるワークＷより軽いワークを搬送しようとした場合には、前記ワークが発振してしまうことが懸念される。

このように、膨出部５４を設けることにより保持力Ｆの最小値Ｂ１を小さくすることができるため、より軽量のワークＷを確実且つ安定的に保持して搬送することができる。

すなわち、図７及び図８から諒解されるように、旋回室６８内に膨出部５４を設けることによってワークＷを保持可能な保持力Ｆの最小値Ｂ１をより小さくすることができると共に、前記旋回室６８の外周面に、保持面４０側に向かって拡径する第２及び第３テーパ面６０、６６を設けることにより、前記保持力Ｆの最大値Ａ１をより大きくすることができる。その結果、ワークＷを保持可能な保持力Ｆの範囲（Ｂ１〜Ａ１）を拡大させることができ、前記ワークＷを保持面４０に対してより確実且つ安定的に保持することが可能となる。

以上のように、本実施の形態では、インナ部材１４の下部にワークＷに臨むように突出した膨出部５４を設け、該膨出部５４を断面略台形状とすることにより、前記膨出部５４を備えていない従来の非接触搬送装置と比較し、ワークＷを保持可能な保持力Ｆの範囲を拡大させることができるため、前記ワークＷを保持面４０に対してより確実且つ安定的に保持することが可能となる。

また、ワークＷが保持面４０に対して接近・離間する際に、前記旋回室６８内のエアが前記ワークＷに対して空気ばねとして機能している。そのため、膨出部５４を旋回室６８の内部に設けることにより、前記旋回室６８の容積を小さくすることができるため、前記旋回室６８の容積が小さくなるにつれて前記空気ばね機能に起因した該旋回室６８とワークＷとの間に生じる連成振動が好適に抑制される。

さらに、ワークＷと保持面４０との間のクリアランスＣ２を小さく設定することができるため、前記ワークＷをより一層確実且つ安定的に保持することが可能となる。

さらにまた、インナ部材１４の下部側に設けられ、複数の導出孔６４からエアが導出される旋回室６８を、膨出部５４、ベース部３８の底壁面５８、接合部４４の内周側に形成された第２テーパ面６０及びプレート部４２の内周側に形成された第３テーパ面６６とから画成し、前記第２及び第３テーパ面６０、６６を保持面４０側に向かって徐々に拡径するように形成している。

これにより、旋回室６８内を高速で流れるエアが第２テーパ面６０及び第３テーパ面６６から剥がれることなくスムーズに保持面４０側へと導いて大気側へと流通させることができる。これにより、従来の鉛直な周面を有する円筒状の旋回室と比較し、非接触搬送装置１０の保持面４０とワークＷとの間により低い負圧（圧力分布）が得られ、同一のエア供給量に対するワークＷの保持力を増大させることが可能となる。その結果、非接触搬送装置１０において保持面４０を介してワークＷを安定的に保持して搬送することができる。

本発明に係る非接触搬送装置は、上述の本実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

本発明の第１の実施の形態に係る非接触搬送装置を示す全体斜視図である。図１に示す非接触搬送装置の分解斜視図である。図２に示す非接触搬送装置を別の方向から見た分解斜視図である。図１に示す非接触搬送装置の縦断面図である。図４の非接触搬送装置における環状凹部近傍を示す拡大断面図である。図４のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。図１の非接触搬送装置における旋回室の形状に対するワークの保持力と該ワークと保持面との間のクリアランスとの関係を示す特性曲線図である。図１の非接触搬送装置における膨出部の有無に対するワークの保持力と該ワークと保持面との間のクリアランスとの関係を示す特性曲線図である。

符号の説明

１０…非接触搬送装置１２…ハウジング
１４…インナ部材１８…孔部
２０…フランジ部３６…ボス部
３８…ベース部４０…保持面
４２…プレート部４４…接合部
４６…供給ポート４８…環状通路
５０…連通路５４…膨出部
５６…第１テーパ面６０…第２テーパ面
６２…環状凹部６４…導出孔
６６…第３テーパ面６８…旋回室

Claims

ボディと、
前記ボディの内部に形成され、エア供給部から供給されたエアが流通する通路と、
前記ボディの端部に設けられ、ワークに臨む保持面と、
前記保持面の半径内方向に設けられ、前記ワークに臨んで開口すると共に前記ワーク側に向かって徐々に拡径した第１傾斜面を有する環状の旋回室と、
前記旋回室の第１傾斜面に接続され、該旋回室と通路とを連通して前記エアを前記旋回室へと導出する導出孔と、
前記旋回室の略中央部に設けられ、前記ワーク側に向かって徐々に縮径するように膨出し、外周側に前記第１傾斜面に臨んだ第２傾斜面を有する突部と、
を備え、
前記導出孔が、前記保持面と略平行に延在し、前記第１傾斜面に対して前記旋回室の接線方向に接続されることを特徴とする非接触搬送装置。
請求項１記載の非接触搬送装置において、
前記第２傾斜面の傾斜角度は、該第２傾斜面の起点となる前記旋回室の壁面に対して３０度以上且つ９０度未満に設定されることを特徴とする非接触搬送装置。
請求項１又は２記載の非接触搬送装置において、
前記第１傾斜面の傾斜角度は、該第１傾斜面の起点となる前記旋回室の壁面に対して３０度以上且つ９０度未満に設定されることを特徴とする非接触搬送装置。