JP4246642B2 - マイクロ流体システム - Google Patents

Description

本発明は、マイクロ流体システムに係り、特に、マイクロチップに試料処理部を備えたマイクロ流体システムに好適なものである。

化学反応を微小空間で行なうための集積化技術が化学反応の高速性や微小量での反応、分析等の観点から注目されている。化学反応の集積化技術の１つであるマイクロチップを用いたマイクロ化学システムは、マイクロチップに試料を導入する導入口と、この導入口に接続されたマイクロチャネルとが設けられ、このマイクロチャネルの中で試料の反応、分離、抽出、検出、混合、合成、分析などの処理が行なわれる。マイクロ化学システムで行なう反応の例としては、ジアゾ化反応、ニトロ化反応および抗原抗体反応などがあり、抽出や分離の例としては、溶媒抽出、電気泳動分離およびカラム分離などがある。

従来のマイクロ流体システムとしては、極微量のタンパクや核酸等を分析する電気泳動装置が提案されており、例えば特開平８−１７８８９７号公報（特許文献１）に示されたものがある。

この特許文献１の電気泳動装置は、第１基板と第２基板とを接合することにより板状部材が一体に形成され、第１基板には両端部分にバッファ溜部を備えた分析用溝および試料注入用溝が形成され、第２基板には第１基板のバッファ溜部に対向する位置に貫通孔が形成されるとともに、この貫通孔内壁および貫通孔の両面周辺に電圧印加のための電極膜が形成されたものである。この電気泳動装置では、電極膜を介して電気泳動装置本体の高圧電源との接続を行って電圧を印加し、泳動を行なわせるようになっている。

他の従来のマイクロ流体システムとしては、シリンジポンプ、ローラポンプ等を用いて試料の性質に左右されずに試料をマイクロチップに輸送するものが提案されており、例えば特開２００３−１１４２２９号公報（特許文献２）に示されたものがある。

この特許文献２のマイクロチップを使用した測定装置は、検体を流通させる微小な第１流路と、標識物質を流通させる微小な第２流路と、第１流路及び第２流路が集合して形成される微小な反応流路と、反応流路に設けられ特異的結合物質が固定された反応部位とを備えたマイクロチップを有している。そして、このマイクロチップの第１流路および第２流路にシリコンチューブを介してシリンジポンプを接続し、このシリンジポンプから検体および標識物質を供給するようにしている。

特開平８−１７８８９７号公報

特開２００３−１１４２２９号公報

前記特許文献１では、試料の輸送方法として電気泳動法を用いているため、この電気泳動法で取り扱える流体は電圧を印加することにより泳動することが可能な水溶液に制限されることとなり、無極性有機溶媒等の試料を取り扱うことができなかった。

また、前記特許文献２では、試料を輸送するシリンジポンプからマイクロチップ接続するシリコンチューブがマイクロチップの微小な流路と比較すると遥かに大きい流路であるため、ポンプ吐出口からマイクロチップの試料導入口までを接続するチューブ内を満たす多量の試料を必要としていた。更には、この試料がこのチューブ内に留まっている時間が長くなることにより、試料の品質が経時変化により劣化する恐れがあった。

本発明の目的は、処理可能な試料の適用範囲の拡大、試料の使用量低減、及び試料の経時変化による劣化の防止を図ることができるマイクロ流体システムを得ることにある。

前記目的を達成するために、本発明は、複数の試料を処理部に供給して所定の処理を行なうマイクロチップを備えたマイクロ流体システムにおいて、前記各試料を貯留する複数の試料サーバを前記マイクロチップに設け、前記各試料サーバの出口側にそれぞれ設けた毛細流路を介して前記各試料サーバと前記処理部とを接続し、前記各試料サーバ内の試料を加圧して前記処理部に供給するための加圧装置を設けたことにある。

係る構成において、さらに好ましくは次のように構成することである。
（１）前記マイクロチップをマイクロチップ本体と試料ホルダとを上下に備えて構成し、前記マイクロチップ本体に前記処理部を形成し、前記試料ホルダに前記試料サーバを形成したこと。
（２）前記毛細流路を前記試料サーバに貯留された試料が自重で流出しない表面張力を有するように形成したこと。
（３） 前記各試料サーバから試料を導入する試料導入部とこの試料導入部から前記処理部に試料を導くチャネル導入部と前記処理部から延びるチャネル分離部とを前記マイクロチップ本体に形成したこと。
（４）前記試料サーバに形成した開口を閉鎖する可撓部材を設け、前記可撓部材を前記試料サーバ内に変形させて試料を加圧する前記加圧装置としたこと。
（５）前記各試料サーバを前記試料ホルダの上面に開口して設け、可撓部材を薄板状に形成して前記試料サーバの開口を閉鎖および開放可能に前記試料ホルダ上に設置したこと。
（６）前記マイクロチップと前記加圧装置とが離れたり密着したりするように少なくと一方を可動可能とした。
（７）前記可撓部材の反試料サーバ側に流体圧力を加えて可撓部材を前記試料サーバ内に変形させる前記加圧装置としたこと。
（８）前記試料サーバと前記処理部とが連通するように前記試料ホルダと前記マイクロチップ本体との位置を決めるための位置決め手段を備えたこと。
（９）前記処理部および前記試料サーバを複数組設けたこと。

本発明マイクロ流体システムによれば、試料サーバ内を加圧をしたときに毛細流路を通して試料サーバから処理部に試料を供給することができ、処理可能な試料の適用範囲の拡大、試料の使用量低減、及び試料の経時変化による劣化の防止を図ることができる。

以下、本発明の複数の実施例について図を用いて説明する。各実施例の図における同一符号は同一物または相当物を示す。

本発明の第１実施例のマイクロ流体システムを図１から図３を用いて説明する。

本実施例のマイクロ流体システム１００の全体構成に関して、図１を参照しながら説明する。図１は本発明の第１実施例のマイクロ流体システムを示す構成図である。

マイクロ流体システム１００は、マイクロチップ５０、加圧装置６０、温度制御装置７０、処理状態検出装置８０、ステージ９０を備えて構成されている。このマイクロ流体システム１００における処理は、試料の反応、分離、抽出、検出、混合、合成、分析などを含む。その反応の例としては、ジアゾ化反応、ニトロ化反応および抗原抗体反応などがあり、その抽出や分離の例としては、溶媒抽出、カラム分離などがある。

マイクロチップ５０は、マイクロチップ本体１、試料ホルダ２、ドレン１１、ベース３を備えて構成されている。試料ホルダ２は複数の試料ホルダで構成されており、図示例では第１試料ホルダ２ａ及び第２試料ホルダ２ｂで構成されている。マイクロチップ本体１は、第１試料ホルダ２ａ、第２試料ホルダ２ｂおよびドレン１１と、ベース３との間に挟持されて固定されている。

また、マイクロチップ５０は上下動するステージ９０に載置されており、ステージ９０の上下動に伴ってマイクロチップ５０も上下動されるようになっている。ステージ９０を上昇させることによって、第１試料ホルダ２ａおよび第２試料ホルダ２ｂは加圧装置６０の下面（具体的は第１加圧部７ａ、第２加圧部７ｂの下面）に密着される。ステージ９０を下降させることによって、第１試料ホルダ２ａおよび第２試料ホルダ２ｂは加圧装置６０の下面との間に空間が形成される。

ドレン１１は、マイクロチップ本体１内で行った反応後の試料を貯蔵するためのものであり、チャネル分離部１３の出口側に連通されている。ドレン１１内に液体の吸収材或いは流体取り出し口を設けて本発明装置以外の場所へ排出するようにしても良い。

加圧装置６０は、可撓部材１８（図３参照）、加圧部７、加圧制御バルブ８および加圧流体レギュレータ９を備えて構成されている。加圧部７は試料ホルダ２に対応する複数の加圧部で構成されており、図示例では第１加圧部７ａ、第２加圧部７ｂで構成されている。加圧部７は可撓部材１８に加圧流体、例えば空気やその他のガスの圧力を加える部分である。

加圧制御バルブ８は複数の加圧部７への流通路にそれぞれ設けられた複数の加圧制御バルブで構成され、図示例では、第１加圧部７ａ，第２加圧部７ｂへの流通路に設けられた第１加圧制御バルブ８ａ、第２加圧制御バルブ８ｂで構成されている。尚、加圧制御バルブ８は電磁開閉弁で構成され、弁を開閉することにより第１加圧部７ａ、第２加圧部７ｂへの流体の供給有無を制御する。

加圧流体レギュレータ９は、加圧部７へ供給する流体の圧力を任意に変えることができるように調整するためのものである。

温度制御装置７０はヒータ５および温度検出センサ６を備えて構成されている。ヒータ５はマイクロチップ５０内の反応や抽出や分離などの処理を行なうのに必要な温度に試料を制御するために設けられ、マイクロチップ本体１とステージ９０との間に配置されている。このヒータ５はペルチェ素子等が用いられ、加熱或いは冷却する機能を有している。

温度検出センサ６はマイクロチップ５０の温度を検出するものであり、具体的にはマイクロチップ本体１の表面温度を測定するものである。温度検出センサ６の測定結果に基づいて、ヒータ５をコントロールしてマイクロチップ本体１を試料の処理に必要な所定温度に制御する。すなわち、図示されていない温度調節器が温度検出センサ６に接続されており、この温度調節器によりヒータ５の電源供給を制御するようになっている。

また、温度検出センサ６は、ヒータ５の上側の離れたところに設置され、ステージ９０が上昇した時にマイクロチップ本体１の表面と接触して温度測定が可能となる。温度検出センサ６にバネ等を取り付けておくことにより、温度検出センサ６がバネによりマイクロチップ本体１の表面に押し付けられ、確実な温度検出が可能となる。尚、温度検出センサ６の他の設置方式としては、温度検出センサ６をヒータ５の表面に設置してマイクロチップ本体１の表面温度を測定することが考えられる。

処理状態検出装置８０は、マイクロチップ本体１内の化学システムにおいて、反応後の状態を測定するために用いられる。尚、処理状態検出装置８０をマイクロチップ１上の所望測定場所に移動させるための移動機構を設けても良い。

次に、マイクロチップ本体１の具体的な構成に関して、図２を参照しながら説明する。図２は図１のマイクロ流体システムに用いられるマイクロチップ本体の斜視説明図である。

マイクロチップ本体１はガラス、シリコン、樹脂等の材料で板状に製作されている。図示例のマイクロチップ本体１は、免疫分析用マイクロチップ用途向けのマイクロ流体システムに用いられる場合のものである。このマイクロチップ本体１は、反応固相として直径１ｍｍ以下の固体微粒子１２を収納するマイクロチップ反応槽部１４と、固体微粒子１２の直径よりも小さい横幅の断面積を有するチャネル分離部１３とを備えている。マイクロチップ反応槽部１４は処理部を構成するものである。

さらには、マイクロチップ本体１は、複数のマイクロチップ試料導入部１５を備えており、図示例では第１試料である標識抗体をマイクロチップ反応槽部１４へと導くマイクロチップ標識抗体導入部１５ａと、第２試料である抗原をマイクロチップ反応槽部１４へと導くマイクロチップ抗原導入部１５ｂとを有している。標識抗体導入部１５ａおよび抗原導入部１５ｂは、チャネル導入部２７を介してマイクロチップ反応槽部１４に連通されている。

尚、図２では、マイクロチップ反応槽部１４、マイクロチップ抗原導入部１５ｂ、マイクロチップ標識抗体導入部１５ａからなる１組のみが示されているが、これらが平行して複数組設けられていても良い。更には、反応に必要な試料の種類或いは試料の導入の回数によりマイクロチップ導入部１５を複数設けても良い。

次に、マイクロチップ５０および加圧装置６０の具体的な構成に関して、図３を参照しながら説明する。図３は図１のマイクロチップおよび試料ホルダの部分の縦断面図である。尚、試料ホルダ２ａ、２ｂおよび加圧部７ａ、７ｂは同一構造であるので、図３ではそれらの一方のみであっても総称符号で示す。

試料ホルダ２は扱う試料に対して耐薬品性を持つ材料或いは悪影響を及ぼさない材料、例えばピーク材、ガラス、ポリカーボネート等で製作されている。試料ホルダ２とベース３とにまたがって位置決め用ピン１６が複数設置されている。一側の位置決め用ピン１６にマイクロチップ本体１の側端部を当接させることにより、マイクロチップ本体１と試料ホルダ２との位置関係を一致させて、試料ホルダ２とベース３の間にマイクロチップ本体１を挟みこむようになっている。尚、ベース３に位置合わせ用の溝を設け、これにマイクロチップ本体１を一致させて設置することにより、位置決め用ピン１６の代わりとするようにしてもよい。

試料サーバ１７は試料ホルダ２内に上面が開口するように形成されている。試料サーバ１７の大きさは試料を分注する必要量に応じた大きさとしてある。本実施例では試料サーバ１７が円筒状の形をしているが、楕円筒状等の筒状でも良い。また、試料サーバ１７の下側には試料を吐出するφ１ｍｍ以下の毛細流路２２が形成されている。これによって、試料サーバ１７とマイクロチップ反応槽部１４とは、毛細流路２２を介して接続される。試料サーバ１７に充填している試料は、この毛細流路２２による表面張力で、大気圧下では漏れること無く試料サーバ１７内に留まっている。

毛細流路２２は、試料ホルダ２の下面に形成された浅い凹部で形成されたホルダ試料吐出口２３に開口されている。ホルダ試料吐出口２３はマイクロチップ試料導入部１５と対向して連通されている。ホルダ試料吐出口２３内には、パッキン１９が設置されており、ステージ９０が上昇されて試料が供給される際に、試料ホルダ２とマイクロチップ本体１との間で押しつぶされるようになっている。これにより、ホルダ試料吐出口２３とマイクロチップ導入部１５が気密的に接続されるため、試料が漏れ出すことも無い。更には、パッキン１９の内径をマイクロチップ導入部１５の寸法より大きくしておくことにより、ホルダ試料吐出口２３とマイクロチップ導入部１５との位置関係が製作公差により所望の位置に対してずれが発生している場合でも、確実にマイクロチップ１へ試料を導入することが可能となる。

可撓部材１８は試料サーバ１７の上面開口を閉鎖するように設けられている。具体的には、この可撓部材１８は薄板状に形成されて試料サーバ１７の開口を開閉できるように試料ホルダ２の上面に着脱可能に設置されている。このように、試料を試料サーバ１７に分注した後に、可撓部材１８を試料ホルダ２へ設置することにより、試料サーバ１７の中への異物混入を防ぐことができる。

加圧部７は加圧用流体が導入される中央空間２４が形成されている。中央空間２４の上面には加圧流体導入部２５が連通され、下面には加圧流体吐出口２６が連通されている。加圧部７の下面にはパッキン２０が設置されている。このパッキン２０には加圧流体吐出口２６に連通する穴が形成されている。このパッキン２０は、加圧部７の中央空間２４から加圧流体吐出口２６に吐出される加圧用流体が可撓部材１８を加圧する際に、流体が漏れないようにするために設けられている。尚、パッキン２０を可撓部材１８と兼用しても良い。

可撓部材１８が加圧部７より流体で加圧されると、可撓部材１８が変形されて試料サーバ１７に分注されている試料が加圧され、毛細流路２２より微少量吐出される。なお、試料サーバ１７へマイクロチップ５０を用いて行なう化学システムで必要な量のみ試料を分注しておけば、１回の化学反応で全ての試料を使い切るために、試料の経時変化による劣化の恐れも無い。

また、可撓部材１８は天然ゴム、ポリウレタン、シリコンゴム等の伸び率の大きい素材で０．５ｍｍ以下の厚さのものを使用することにより、加圧部７より導入されたエアー或いは他の気体などの流体で容易に変形させることができる。すなわち、可撓部材１８を加圧することにより、可撓部材１８を試料サーバ１７側に膨らませて、試料サーバ１７に予め分注してある試料を押し出し、マイクロチップ本体１に設けられているマイクロチップ導入部１５より、マイクロチップ１へ試料を容易に導入することができる。

更には、加圧部７は、可撓部材１８を動作させるための流体の圧力を図１に示す加圧流体レギュレータ９により任意に変えることにより、可撓部材１８を介して試料サーバ１７内の試料をマイクロチップ本体１へ導入する時の導入圧力を所望の圧力に制御することができ、単位時間あたりの試料導入量を精度良く制御できる。また、加圧部７は差圧方式のため無極性有機溶媒等の試料もマイクロチップ１へ導入できるため、電気泳動方式と比較して試料の適用範囲が拡大できる。

また、可撓部材１８により試料サーバ１７内の試料と加圧部７で使用する流体は遮られているために、試料への流体混入が発生しない。

また、試料が分注されている試料サーバ１７からマイクロチップ導入部１５までの流路の距離が短く毛細流路２２で形成されているため、この間を接続する従来のようなチューブ等が不要となり、チューブ内を満たすために必要な多量の試料が不要となる。従って、このチューブ内に試料が留まることにより生じる試料の経時変化による劣化も防止できる。

次に、マイクロ流体システムの動作に関して図４を参照しながら説明する。図４は図３の中央断面図で、試料処理時の状態を示す。

加圧部７が可撓部材１８を流体により加圧していない状態では、試料サーバ１７内の各試料はマイクロチップ導入部１５へ導入されることなく、試料サーバ１７内に留まっている。

この状態で、第１加圧制御バルブ８ａが開いて第１加圧部７ａに流体が供給され、可撓部材１８を下方作動させるように流体の圧力が可撓部材１８に加わると、可撓部材１８が変形されて第１試料ホルダ２ａの第１試料サーバ１７ａ内にある抗原はマイクロチップ抗原導入部１５ａへ導入される。この時、第１加圧部７ａの加圧力とマイクロチップ本体１内の流路形状により生じる圧力損失との関係により、加圧力が大きくすればマイクロチップ抗原導入部１５ａへの単位時間あたりの導入送液量を多くでき、反対に加圧力を小さくすればマイクロチップ抗原導入部１５ａへの単位時間あたりの導入送液量を微少量とすることができる。

尚、可撓部材１８を下方作動させ続けた場合、可撓部材１８が試料サーバ１７の底に当たり第１加圧部７ａの流体が加圧し続けていても可撓部材１８はそれ以上進むことはない。

また、この時に導入された抗原はマイクロチップ反応槽部１４へ送液されるが、第２試料ホルダ２ｂへも進もうとする。しかし、第２試料ホルダ２ｂの第２試料サーバ１７ｂは可撓部材１８で閉鎖されており、可撓部材１８の上面はパッキン２０の微小穴しか開いていないため、可撓部材１８は上方へ移動できない。これによって、抗原は第２試料ホルダ２ｂへ進むことはない。

次いで、第２加圧制御バルブ８ｂが開いて第２加圧部７ｂに流体が供給され、可撓部材１８を下方作動させるように流体の圧力が可撓部材１８に加わると、可撓部材１８が変形されて第２試料ホルダ２ｂの第２試料サーバ１７ｂ内にある標識抗体はマイクロチップ標識抗体導入部１５ｂへ導入される。この時に導入された標識抗体はマイクロチップ反応槽部１４へ送液されるが、第１試料ホルダ２ａへも進もうとする。しかし、第１試料ホルダ２ａの第１試料サーバ１７ａを閉鎖する可撓部材１８は第１加圧部７ａで加圧され続けているため、標識抗体が第１試料ホルダ２ａ側へ進むことはない。

マイクロチップ反応槽部１４に導入された抗原および標識抗体は固体微粒子１２上での反応を行い、未反応物をチャネル分離部１３で分離し、ドレン１１に貯留する。

次に、本発明の第２実施例について図５を用いて説明する。図５は本発明の第２実施例のマイクロ流体システムの要部縦断面図である。この第２実施例は、次に述べる通り第１実施例と相違するものであり、その他の点については第１実施例と基本的には同一である。

この第２実施例において、加圧部７は、エアー或いは電気等でピストン２８を加圧部シリンダ２９内で動作するように構成されたものである。このピストン２８の動作により加圧部シリンダ２９内の流体を加圧して可撓部材１８を動作させ、試料サーバ１７内の試料をマイクロチップ導入部１５へ供給するものである。なお、ここで、可撓部材１８を無くして、このピストンそのものを可撓部材としても良い。

次に、本発明の第３実施例について図６を用いて説明する。図６は本発明の第３実施例のマイクロ流体システムの要部縦断面図である。この第３実施例は、次に述べる通り第１実施例と相違するものであり、その他の点については第１実施例と基本的には同一である。

この第３実施例では、マイクロチップ本体１に複数組の試料導入部１５を設け、試料ホルダ２に複数組の試料サーバ１７を設け、１つの加圧部７に各試料サーバ１７に対応する加圧部吐出口２６を設けたものである。各試料導入部１５に対応してチャネル導入部、マイクロチップ反応槽部１４およびチャネル分離部１３がマイクロチップ本体１に設けられている。本実施例によれば、一度に複数の試料をマイクロチップ本体１へ導入することができる。

なお、導入したい試料の量をそれぞれ異なる量としたい場合には、試料サーバ１７の径を変えたり、或いは試料サーバ１７への試料分注量を変えたりすることにより達成することができる。

次に、本発明の第４実施例について図７を用いて説明する。図７は本発明の第４実施例のマイクロ流体システムの要部縦断面図である。この第４実施例は、次に述べる通り第１実施例と相違するものであり、その他の点については第１実施例と基本的には同一である。

この第４実施例では、マイクロチップ本体１と試料ホルダ２とを接着或いは一体として製作しておき、試料を試料サーバ１７へ分注後に可撓部材１８を設置し、これら全てを一体化構造としたマイクロチップ５０としたものである。これにより、マイクロチップ５０を極めて容易に取り扱うことができる。

次に、本発明の第５実施例について図８を用いて説明する。図８は本発明の第５実施例のマイクロ流体システムに用いるマイクロチップ本体の斜視図である。この第５実施例は、次に述べる通り第１実施例と相違するものであり、その他の点については第１実施例と基本的には同一である。

この第５実施例では、マイクロチップ本体１を立体構造として、複数設けられたマイクロチップ導入部１５へ相対した加圧部（図示せず）を複数設置することにより、マイクロチップ本体１の小型化を図ったものである。

本発明の第１実施例のマイクロ流体システムを示す構成図である。 図１のマイクロ流体システムに用いられるマイクロチップ本体の斜視説明図である。 図１のマイクロチップおよび試料ホルダの部分の縦断面図である。 図３の中央断面図である。 本発明の第２実施例のマイクロ流体システムの要部縦断面図である。 本発明の第３実施例のマイクロ流体システムの要部縦断面図である。 本発明の第４実施例のマイクロ流体システムの要部縦断面図である。 本発明の第５実施例のマイクロ流体システムに用いるマイクロチップ本体の斜視図である。

符号の説明

１…マイクロチップ本体、２…試料ホルダ、２ａ…第１試料ホルダ、２ｂ…第２試料ホルダ、３…ベース、４…ステージ、５…ヒータ、６…温度検出センサ、７…加圧部、７ａ…第１加圧部、７ｂ…第２加圧部、８…加圧制御バルブ、８ａ…第１加圧制御バルブ、８ｂ…第２加圧制御バルブ、９…加圧流体レギュレータ、１１…ドレン、１２…固体微粒子、１３…チャネル分離部、１４…マイクロチップ反応槽部（処理部）、１５…マイクロチップ試料導入部、１５ａ… マイクロチップ抗原導入部、１５ｂ…マイクロチップ標識抗体導入部、１６…位置決め用ピン、１７…試料サーバ、１７ａ…第１試料サーバ、１７ｂ…第２試料サーバ、１８…可撓部材、１９…パッキン、２０…パッキン、２１…加圧部シリンダ、２２…毛細流路、２３…ホルダ試料吐出口、２４…中央空間、２５…加圧流体導入部、２６…加圧流体吐出口、２７…チャネル導入部、５０…マイクロチップ、６０…加圧装置、７０…温度制御装置、８０…処理状態検出装置、９０…ステージ、１００…マイクロ流体システム。

Claims (10)

1. 複数の試料を処理部に供給して所定の処理を行なうマイクロチップを備えたマイクロ流体システムにおいて、
   前記各試料を貯留する複数の試料サーバを前記マイクロチップに設け、前記各試料サーバの出口側にそれぞれ設けた毛細流路を介して前記各試料サーバと前記処理部とを接続し、前記各試料サーバ内の試料を加圧して前記処理部に供給するための加圧装置を設けたことを特徴とするマイクロ流体システム。
2. 請求項１に記載のマイクロ流体システムにおいて、前記マイクロチップをマイクロチップ本体と試料ホルダとを上下に備えて構成し、前記マイクロチップ本体に前記処理部を形成し、前記試料ホルダに前記試料サーバを形成したことを特徴とするマイクロ流体システム。
3. 請求項１または２に記載のマイクロ流体システムにおいて、前記毛細流路を前記試料サーバに貯留された試料が自重で流出しない表面張力を有するように形成したことを特徴とするマイクロ流体システム。
4. 請求項２に記載のマイクロ流体システムにおいて、 前記各試料サーバから試料を導入する試料導入部とこの試料導入部から前記処理部に試料を導くチャネル導入部と前記処理部から延びるチャネル分離部とを前記マイクロチップ本体に形成したことを特徴とするマイクロ流体システム。
5. 請求項１または２に記載のマイクロ流体システムにおいて、前記試料サーバに形成した開口を閉鎖する可撓部材を設け、前記可撓部材を前記試料サーバ内に変形させて試料を加圧する前記加圧装置としたことを特徴とするマイクロ流体システム。
6. 請求項４に記載のマイクロ流体システムにおいて、前記各試料サーバを前記試料ホルダの上面に開口して設け、可撓部材を薄板状に形成して前記試料サーバの開口を閉鎖および開放可能に前記試料ホルダ上に設置したことを特徴とするマイクロ流体システム。
7. 請求項５に記載のマイクロ流体システムにおいて、前記マイクロチップと前記加圧装置とが離れたり密着したりするように少なくと一方を可動可能としたことを特徴とするマイクロ流体システム。
8. 請求項４に記載のマイクロ流体システムにおいて、可撓部材の反試料サーバ側に流体圧力を加えて前記可撓部材を前記試料サーバ内に変形させる前記加圧装置としたことを特徴とするマイクロ流体システム。
9. 請求項２に記載のマイクロ流体システムにおいて、前記試料サーバと前記処理部とが連通するように前記試料ホルダと前記マイクロチップ本体との位置を決めるための位置決め手段を備えたことを特徴とするマイクロ流体システム。
10. 請求項２に記載のマイクロ流体システムにおいて、前記処理部および前記試料サーバを複数組設けたことを特徴とするマイクロ流体システム。

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