JP4255017B2 - 自動校正器、校正方法、プログラムおよび記録媒体 - Google Patents

Description

技術分野
本発明は、被測定物の回路パラメータを演算計測するネットワークアナライザに関する。
背景技術
従来より、被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）の回路パラメータ（例えば、Ｓパラメータ）を測定することが行われている。従来技術にかかる被測定物（ＤＵＴ）の回路パラメータの測定法を図２０を参照して説明する。
信号源１１０から周波数ｆ１の信号をＤＵＴ２００を介して受信部１２０に送信する。この信号は受信部１２０により受信される。受信部１２０により受信された信号の周波数をｆ２とする。受信部１２０により受信された信号を測定することによりＤＵＴ２００のＳパラメータや周波数特性を取得することができる。
このとき、信号源１１０等の測定系とＤＵＴ２００との不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。周波数ｆ１＝ｆ２の場合の信号源１１０に関するシグナルフローグラフを図２１に示す。ＲＦ ＩＮは、信号源１１０からＤＵＴ２００等に入力する信号、Ｓ１１ｍはＤＵＴ２００等から反射されてきた信号から求められたＤＵＴ２００等のＳパラメータ、Ｓ１１ａは測定系誤差の無い真のＤＵＴ２００等のＳパラメータである。
周波数ｆ１＝ｆ２の場合は、例えば特開平１１−３８０５４号に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源１１０に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータ（Ｓ１１ｍ）を求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求める。
しかしながら、周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合がある。例えば、ＤＵＴ２００がミキサ等の周波数変換機能を有するデバイスである場合である。このような場合は、上記のようなキャリブレーションでは誤差を補正できない。周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合の信号源１１０に関するシグナルフローグラフを図２２に示す。Ｅｄ、Ｅｓは周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しい場合と同様であるが、ＥｒはＥｒ１およびＥｒ２に分かれてしまう。上記のようなキャリブレーションでは三種類のＳパラメータ（Ｓ１１ｍ）しか求めないため、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２しか求めることができない。よって、Ｅｒ１およびＥｒ２を求めることができない。
さらに、周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合は、受信部１２０による測定系誤差も無視できない。信号源１１０と受信部１２０とを直結した場合のシグナルフローグラフを図２３に示す。Ｓ２１ｍは、受信部１２０が受信した信号から求められたＤＵＴ２００等のＳパラメータである。図２３に示すように、Ｅｔ、ＥＬという受信部１２０による測定系誤差が生ずる。これについても、上記のようなキャリブレーションでは求めることができない。
よって、周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合は、測定系誤差を求めることができず、誤差を含んだおよその値を測定することになる。
そこで、本発明は、被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合であっても測定系の誤差を補正することができるようにすることを課題とする。
発明の開示
請求項１に記載の発明は、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段とを備えるように構成される。
信号出力取得手段は、入力信号に関する所定のパラメータを測定系誤差要因の生じた後に取得する。これにより、周波数トラッキングに起因する誤差などを向きに応じて分離することができる。
被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合は、周波数トラッキングに起因する誤差などが向きによって異なる。よって、向きに応じて測定系誤差要因を分離することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明であって、反射信号測定手段は、ネットワークアナライザに接続された校正用具から入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるように構成される。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明であって、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、受信手段は、受信信号に関する所定のパラメータを測定する受信信号測定手段を有し、測定系誤差要因取得手段は、入力信号測定手段、反射信号測定手段、信号出力取得手段および受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するように構成される。
受信信号測定手段が、受信信号に関する所定のパラメータ（例えばＳパラメータ）を測定するため、受信手段における測定系誤差要因を取得できる。
被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合は、受信手段における測定系誤差要因を無視できない。よって、受信手段における測定系誤差要因を取得することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明であって、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果および測定系誤差要因に基づき被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定手段を備えたように構成される。
向きに応じて測定系誤差要因を分離し、しかも受信手段における測定系誤差要因を取得したので、入力信号測定手段、反射信号測定手段および受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と組み合わせれば、被測定物に関する所定のパラメータ（例えばＳパラメータ）を誤差を補正しながら測定できる。
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の発明であって、受信手段は、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段とを備えるように構成される。
受信側信号出力取得手段は、入力信号に関する所定のパラメータ（例えばＳパラメータ）を測定系誤差要因の生じた後に取得する。これにより、受信側において周波数トラッキングに起因する誤差などを向きに応じて分離することができる。
被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合は、受信側においても周波数トラッキングに起因する誤差などが向きによって異なる。よって、向きに応じて受信側においても測定系誤差要因を分離することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明であって、受信側反射信号測定手段は受信信号測定手段であるように構成される。
請求項７に記載の発明は、請求項５または６に記載の発明であって、受信側反射信号測定手段は、ネットワークアナライザに接続された校正用具から入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるように構成される。
請求項８に記載の発明は、請求項５ないし７のいずれか一項に記載の発明であって、反射信号測定手段は入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータを測定し、受信側測定系誤差要因取得手段は、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段、受信側信号出力取得手段および反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するように構成される。
反射信号測定手段が、入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータ（例えばＳパラメータ）を測定するため、信号出力手段側において信号を受信した場合の測定系誤差要因を取得できる。
被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合は、信号出力手段側において信号を受信した場合の測定系誤差要因を無視できない。よって、信号出力手段側において信号を受信した場合の測定系誤差要因を取得することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の発明であって、入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時に、受信側反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定し、反射信号測定手段は、入力信号が受信手段から出力された後に被測定物を介して入力信号を受信して所定のパラメータを測定し、入力信号が直接に被測定物に与えられる時の入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時の受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段ならびに反射信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、測定系誤差要因とに基づき被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定手段を備えるように構成される。
入力信号が信号出力手段から直接に被測定物に与えられる時は、向きに応じて測定系誤差要因を分離し、しかも受信手段における測定系誤差要因を取得する。さらに、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時は、受信側においても測定系誤差要因を分離し、しかも信号出力手段側において信号を受信した場合の測定系誤差要因を取得する。よって、被測定物に関する測定結果と組み合わせれば、被測定物に関する所定のパラメータ（例えばＳパラメータ）を誤差を補正しながら測定できる。
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の発明であって、入力信号を直接に被測定物に与えるか、あるいは受信手段を介して被測定物に与えるかを選択する選択手段を備えるように構成される。
請求項１１に記載の発明は、請求項４、９および１０のいずれか一項に記載の発明であって、被測定物の入力周波数と出力周波数とが異なるように構成される。
請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の発明であって、被測定物がミキサであるように構成される。
請求項１３に記載の発明は、請求項１ないし１２のいずれか一項に記載の発明であって、所定のパラメータはＳパラメータあるいはパワーであるように構成される。
請求項１４に記載の発明は、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定工程と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定工程と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得工程と、入力信号測定工程、反射信号測定工程および信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得工程とを備えるように構成される。
請求項１５に記載の発明は、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段を有するネットワークアナライザによってネットワーク解析を行う請求項１４に記載の発明であって、受信手段において受信信号に関する所定のパラメータを測定する受信信号測定工程を有し、測定系誤差要因取得工程は、入力信号測定工程、反射信号測定工程、信号出力取得工程および受信信号測定工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するように構成される。
請求項１６に記載の発明は、請求項１５に記載の発明であって、反射信号測定工程は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号測定工程、反射信号測定工程ならびに受信信号測定工程の被測定物に関する測定結果および測定系誤差要因に基づき被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定工程を備えたように構成される。
請求項１７に記載の発明は、請求項１５に記載の発明であって、受信手段において、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定工程と、入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定工程と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得工程と、受信側入力信号測定工程、受信側反射信号測定工程および受信側信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得工程とを備えるように構成される。
請求項１８に記載の発明は、請求項１７に記載の発明であって、反射信号測定工程は入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータを測定し、受信側測定系誤差要因取得工程は、受信側入力信号測定工程、受信側反射信号測定工程、受信側信号出力取得工程および反射信号測定工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するように構成される。
請求項１９に記載の発明は、請求項１８に記載の発明であって、入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、反射信号測定工程は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時に、受信側反射信号測定工程は、入力信号が被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定し、反射信号測定工程は、入力信号が受信工程から出力された後に被測定物を介して入力信号を受信して所定のパラメータを測定し、入力信号が直接に被測定物に与えられる時の入力信号測定工程、反射信号測定工程ならびに受信信号測定工程の被測定物に関する測定結果と、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時の受信側入力信号測定工程、受信側反射信号測定工程ならびに反射信号測定工程の被測定物に関する測定結果と、測定系誤差要因とに基づき被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定工程を備えるように構成される。
請求項２０に記載の発明は、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有するネットワークアナライザにおけるネットワーク解析処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
請求項２１に記載の発明は、請求項２０に記載の発明であって、ネットワークアナライザは、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、受信手段は、受信信号に関する所定のパラメータを測定する受信信号測定手段を有し、測定系誤差要因取得処理は、入力信号測定手段、反射信号測定手段、信号出力取得手段および受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するプログラムである。
請求項２２に記載の発明は、請求項２１に記載の発明であって、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果および測定系誤差要因に基づき被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
請求項２３に記載の発明は、請求項２１に記載の発明であって、受信手段は、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段とを有し、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
請求項２４に記載の発明は、請求項２３に記載の発明であって、反射信号測定手段は入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータを測定し、受信側測定系誤差要因取得処理は、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段、受信側信号出力取得手段および反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するプログラムである。
請求項２５に記載の発明は、請求項２４に記載の発明であって、入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時に、受信側反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定し、反射信号測定手段は、入力信号が受信手段から出力された後に被測定物を介して入力信号を受信して所定のパラメータを測定し、入力信号が直接に被測定物に与えられる時の入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時の受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段ならびに反射信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、測定系誤差要因とに基づき被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
請求項２６に記載の発明は、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有するネットワークアナライザにおけるネットワーク解析処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
請求項２７に記載の発明は、請求項２６に記載の発明であって、ネットワークアナライザは、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、受信手段は、受信信号に関する所定のパラメータを測定する受信信号測定手段を有し、測定系誤差要因取得処理は、入力信号測定手段、反射信号測定手段、信号出力取得手段および受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
請求項２８に記載の発明は、請求項２７に記載の発明であって、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果および測定系誤差要因に基づき被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
請求項２９に記載の発明は、請求項２７に記載の発明であって、受信手段は、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段とを有し、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
請求項３０に記載の発明は、請求項２９に記載の発明であって、反射信号測定手段は入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータを測定し、受信側測定系誤差要因取得処理は、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段、受信側信号出力取得手段および反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
請求項３１に記載の発明は、請求項３０に記載の発明であって、入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時に、受信側反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定し、反射信号測定手段は、入力信号が受信手段から出力された後に被測定物を介して入力信号を受信して所定のパラメータを測定し、入力信号が直接に被測定物に与えられる時の入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時の受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段ならびに反射信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、測定系誤差要因とに基づき被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
請求項３２に記載の発明は、（ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、（ｅ）入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具と、校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して入力信号を供給する入力信号供給手段とを備えるように構成される。
請求項３３に記載の発明は請求項３２に記載の発明であって、入力信号供給手段は、校正用具のいずれか一つ、受信手段あるいは信号出力取得手段を自動的に選択して入力信号を供給するように構成される。
請求項３４に記載の発明は請求項３３に記載の発明であって、入力信号供給手段が信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、パワーメータを介して入力信号を供給するように構成される。
請求項３５に記載の発明は請求項３３に記載の発明であって、入力信号供給手段が信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、パワーセンサおよびパワーメータ本体を介して入力信号を供給し、パワーセンサは自動校正器に内蔵され、パワーメータ本体はネットワークアナライザに内蔵されているように構成される。
請求項３６に記載の発明は（ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、受信手段は、（ｅ−１）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ｅ−２）入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、（ｅ−３）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ｅ−４）受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、入力信号の信号源についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具と、第一校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して信号源からの入力信号を供給する第一入力信号供給手段と、第二校正用具のいずれか一つあるいは信号源を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給する第二入力信号供給手段とを備えるように構成される。
請求項３７に記載の発明は請求項３６に記載の発明であって、第一入力信号供給手段は、第一校正用具のいずれか一つ、受信手段あるいは信号出力取得手段を自動的に選択して入力信号を供給し、第二入力信号供給手段は、第二校正用具のいずれか一つ、信号源あるいは受信側信号出力取得手段を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給するように構成される。
請求項３８に記載の発明は請求項３７に記載の発明であって、第一入力信号供給手段が信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、第一パワーメータを介して入力信号を供給し、第二入力信号供給手段が受信側信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、第二パワーメータを介して入力信号を供給するように構成される。
請求項３９に記載の発明は請求項３７に記載の発明であって、第一入力信号供給手段が信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、第一パワーセンサおよび第一パワーメータ本体を介して入力信号を供給し、第二入力信号供給手段が受信側信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、第二パワーセンサおよび第二パワーメータ本体を介して入力信号を供給する、第一および第二パワーセンサは自動校正器に内蔵され、第一および第二パワーメータ本体はネットワークアナライザに内蔵されているように構成される。
請求項４０に記載の発明は（ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定糸誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、（ｅ）入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正方法であって、校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して入力信号を供給する入力信号供給工程を備えるように構成される。
請求項４１に記載の発明は（ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、受信手段は、（ｅ−１）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ｅ−２）入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、（ｅ−３）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ｅ−４）受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、入力信号の信号源についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正方法であって、第一校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して信号源からの入力信号を供給する第一入力信号供給工程と、第二校正用具のいずれか一つあるいは信号源を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給する第二入力信号供給工程と、を備えるように構成される。
請求項４２に記載の発明は（ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、（ｅ）入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して入力信号を供給する入力信号供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
請求項４３に記載の発明は（ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、受信手段は、（ｅ−１）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ｅ−２）入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、（ｅ−３）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ｅ−４）受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、入力信号の信号源についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、第一校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して信号源からの入力信号を供給する第一入力信号供給処理と、第二校正用具のいずれか一つあるいは信号源を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給する第二入力信号供給処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
請求項４４に記載の発明は（ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、（ｅ）入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して入力信号を供給する入力信号供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
請求項４５に記載の発明は（ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、受信手段は、（ｅ−１）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ｅ−２）入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、（ｅ−３）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ｅ−４）受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、入力信号の信号源についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、第一校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して信号源からの入力信号を供給する第一入力信号供給処理と、第二校正用具のいずれか一つあるいは信号源を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給する第二入力信号供給処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
第一の実施形態
図１は、第一の実施の形態に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブロック図である。ネットワークアナライザ１には、ＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ：被測定物）２が接続されている。ネットワークアナライザ１は、ＤＵＴ２の回路パラメータ、例えばＳパラメータを測定する。ＤＵＴ２は入力端子２ａ、出力端子２ｂを有する。入力端子２ａにおける信号の周波数ｆ１と、出力端子２ｂにおける信号の周波数ｆ２とは異なっていてもよい。例えば、ＤＵＴ２が周波数変化機能を有するもの（例、ミキサ）であればｆ１≠ｆ２である。
ネットワークアナライザ１は、信号源１０、受信手段２０、測定系誤差要因記録部３０、回路パラメータ測定部４０、測定系誤差要因取得部５０、パワーメータ用端子６０、信号出力取得部６２を備える。
信号源１０は、ＤＵＴ２に信号を供給する。信号源１０は、信号出力部１２、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、出力端子１８を有する。
信号出力部１２は、所定の周波数ｆ１の入力信号を出力する。なお、所定の周波数は変更可能である。
ブリッジ１４ａは、信号出力部１２から出力された信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａに供給する。ブリッジ１４ａが供給する信号は、信号源１０による測定系誤差要因の影響を受けていない信号といえる。ブリッジ１４ｂは、入力信号が出力端子１８から出力され、さらに反射して戻ってきた反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂに供給する。なお、ブリッジ１４ａ、１４ｂはパワースプリッタでもよい。以後において説明する、その他のブリッジについてもパワースプリッタで代用可能である。
レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）は、ブリッジ１４ａを介して受けた信号のＳパラメータを測定する。よって、レシーバ（ＲＳ）１６ａは、信号源１０による測定系誤差要因の影響の生ずる前に、入力信号に関するＳパラメータを測定する。
レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）は、ブリッジ１４ｂを介して受けた信号のＳパラメータを測定する。よって、レシーバ（ＴＳ）１６ｂは、反射信号に関するＳパラメータを測定する。
出力端子１８は、入力信号を出力するための端子である。
受信手段２０は、入力信号が出力端子１８から出力された後に、入力信号を受信信号として受信する。図１の例ではＤＵＴ２を介して入力信号を受信信号として受信する。受信手段２０は、ブリッジ２４ａ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ、入力端子２８を有する。
ブリッジ２４ａは、入力端子２８から入力された信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａに供給する。レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信信号測定手段）は、受信信号のＳパラメータを測定する。入力端子２８は、受信手段２０が信号を受けるための端子である。図１に示すような場合は、入力端子２８は、ＤＵＴ２を介して入力信号を受ける。
測定系誤差要因記録部３０は、ネットワークアナライザ１の測定系誤差要因を記録する。測定系誤差要因は、Ｅｄ（ブリッジの方向性に起因する誤差）、Ｅｒ１、Ｅｒ２（周波数トラッキングに起因する誤差）、Ｅｓ（ソースマッチングに起因する誤差）、Ｅｔがある。図１に示す状態をシグナルフローグラフで表現したものを図２に示す。Ｓ１１ａ、Ｓ２１ａ、Ｓ１２ａ、Ｓ２２ａはＤＵＴ２の真の（測定系誤差要因の影響を排除した）Ｓパラメータであり、ＥＬはさらなる測定系誤差要因である。ただし、Ｓ１２ａ、Ｓ２２ａ、ＥＬは第一の実施形態においては無視する。
回路パラメータ測定部４０は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データ（Ｓパラメータ）と、測定系誤差要因記録部３０の記録する測定系誤差要因とに基づき、ＤＵＴ２の真の（測定系誤差要因の影響を排除した）Ｓパラメータ（Ｓ１１ａ、Ｓ２１ａ）を測定する。ただし、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データはＲ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データはＳ１１ｍ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データはＳ２１ｍである（図２参照）。
なお、レシーバ（ＲＳ）１６ａ等のＤＵＴ２に関する測定データとは、ネットワークアナライザ１にＤＵＴ２が接続された時の、レシーバ（ＲＳ）１６ａ等により測定されるデータを意味する。
レシーバ（ＲＳ）１６ａのＤＵＴ２に関する測定データは、ネットワークアナライザ１にＤＵＴ２が接続された時の、レシーバ（ＲＳ）１６ａにより測定されるデータである。レシーバ（ＴＳ）１６ｂのＤＵＴ２に関する測定データは、
ネットワークアナライザ１にＤＵＴ２が接続された時の、入力信号がＤＵＴ２から反射された反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定したデータである。また、入力信号が出力端子１８から出力された後に、ＤＵＴ２を介して入力信号を受信信号として受信手段２０が受信する。この受信信号に関するレシーバ（ＴＲ）２６ａによる測定データが、レシーバ（ＴＲ）２６ａのＤＵＴ２に関する測定データである。
回路パラメータ測定部４０は、下記の数式にのっとってＳ１１ａ、Ｓ２１ａを測定する。
【数１】

測定系誤差要因取得部５０は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信信号測定手段）および信号出力取得部６２の測定結果に基づき測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２、Ｅｓ、Ｅｔ）を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、信号源１０に校正用具４、パワーメータ６、受信手段２０を順々に接続していく。
測定系誤差要因取得部５０の構成を図３に示す。測定系誤差要因取得部５０は、切替器５２、第一測定系誤差要因取得部５４、第二測定系誤差要因取得部５６、第三測定系誤差要因取得部５８を有する。
切替器５２は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）およびレシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）から測定データ（例えばＳパラメータ）を受け、信号源１０に接続されるものの種類に応じ、これらの信号を、第一測定系誤差要因取得部５４、第二測定系誤差要因取得部５６および第三測定系誤差要因取得部５８のいずれか一つに出力する。
すなわち、切替器５２は、信号源１０に校正用具４が接続されている時は第一測定系誤差要因取得部５４に、信号源１０にパワーメータ６が接続されている時は第二測定系誤差要因取得部５６に、信号源１０に受信手段２０が接続されている時は第三測定系誤差要因取得部５８に、レシーバ（ＲＳ）１６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂから受けた測定データ（例えばＳパラメータ）を出力する。ただし、第二測定系誤差要因取得部５６および第三測定系誤差要因取得部５８にはレシーバ（ＴＳ）１６ｂから受けた測定データを出力しなくてもよい。
第一測定系誤差要因取得部５４は、信号源１０に校正用具４が接続されている時に、レシーバ（ＲＳ）１６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定データを受け、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２（Ｅｒ１とＥｒ２との積）を取得する。信号源１０に校正用具４が接続されている状態を図４（ａ）に示す。校正用具４の端子４ａと信号源１０の出力端子１８とが接続されている。なお、ネットワークアナライザ１の信号源１０以外の部分は図４（ａ）においては省略している。校正用具４は、特開平１１−３８０５４号に記載のようにオープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現する周知のものである。
校正用具４の外観は図４（ｂ）に示すようなものであり、校正用具４は、コネクタ４ａ、本体４ｂを有する。図４（ｃ）はオープン素子で端末４ｃは開放されているが浮遊容量Ｃが存在する。図４（ｄ）はショート素子で端末４ｄは短絡されている。図４（ｅ）はロード素子で端末４ｅは標準負荷（インピーダンス）Ｚ０で終端されている。
信号源１０に校正用具４が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現したものを図５に示す。ここで、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データはＲ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定データはＴである。
ＲとＴとの関係は、下記の数式の通りである
【数２】

ここで、校正用具４が三種類接続されるため、ＲとＴとの組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２という三種類の変数である。
第二測定系誤差要因取得部５６は、信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている時に、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データ、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２（第一測定系誤差要因取得部５４の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部６２の出力（パワーＰ）を受け、Ｅｒ１、Ｅｒ２を取得する。
信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている状態を図６に示す。なお、ネットワークアナライザ１の信号源１０およびパワーメータ用端子６０以外の部分は図６においては省略している。パワーメータ６の端子６ａは信号源１０の出力端子１８に接続されている。パワーメータ６の端子６ｂはパワーメータ用端子６０に接続されている。パワーメータ６は、端子６ａを介して受けた信号のパワーを測定する。信号出力取得部６２はパワーメータ用端子６０および端子６ｂを介して、パワーＰを取得し、第二測定系誤差要因取得部５６に出力する。
信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現したものを図７に示す。ここで、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データはＲ、パワーメータ６の測定データはＰである。図７から明らかなように、Ｐは入力信号に関するパラメータであり、測定系誤差要因が生じた後に取得されたものである。ＲとＰとの関係は、下記の数式の通りである
【数３】

ここで、Ｅｓは既知、Ｅｐは測定可能なので、Ｅｒ１を求めることができる。Ｅｒ１・Ｅｒ２は既知なので、Ｅｒ２もまた求めることができる。このように、Ｅｒ１・Ｅｒ２から、シグナルフローグラフ（図７参照）においては互いに逆向きのＥｒ１、Ｅｒ２を求めることができる。いわば、Ｅｒ１・Ｅｒ２において一体となっていたＥｒ１およびＥｒ２を分離できる。
第一測定系誤差要因取得部５４は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）およびレシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）の測定データを受け、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２を取得する。第二測定系誤差要因取得部５６は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）および信号出力取得部６２の測定データを受け、Ｅｒ１、Ｅｒ２を取得する。よって、第一測定系誤差要因取得部５４および第二測定系誤差要因取得部５６は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）および信号出力取得部６２の測定データに基づき測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１、Ｅｒ２）を取得する。
第三測定系誤差要因取得部５８は、信号源１０に受信手段２０が接続されている時に、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データ、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１、Ｅｒ２（第二測定系誤差要因取得部５６の取得した測定系誤差要因）、およびレシーバ（ＴＲ）２６ａの測定データを受け、Ｅｔを取得する。
信号源１０に受信手段２０が接続されている状態を図８に示す。信号源１０の出力端子１８と、受信手段２０の入力端子２８とが接続されている。なお、ネットワークアナライザ１の信号源１０および受信手段２０以外の部分は図８においては省略している。
信号源１０に受信手段２０が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現したものを図９に示す。ここで、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データはＲ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信信号測定手段）の測定データはＴＲ／Ｓである。ＲとＴＲ／Ｓとの関係は、下記の数式の通りである
【数４】

ここで、Ｅｒ１は既知なので、Ｅｔを求めることができる。第三測定系誤差要因取得部５８は、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１、Ｅｒ２、Ｅｔを測定系誤差要因記録部３０に出力する。
パワーメータ用端子６０は、パワーメータ６の端子６ｂに接続される。信号出力取得部６２は、パワーメータ用端子６０および端子６ｂを介して、パワーＰを取得し、第二測定系誤差要因取得部５６に出力する。
次に、第一の実施形態の動作を説明する。図１０は、第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。
まず、ネットワークアナライザ１は、測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１、Ｅｒ２、Ｅｔ）を測定する（Ｓ１０）。測定された測定系誤差要因は、測定系誤差要因記録部３０に記録される。測定系誤差要因の測定の際の動作を図１１のフローチャートを参照して説明する。
まず、信号源１０に三種類の校正用具４を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。入力信号は、出力端子１８を介して校正用具４に入力される。そして、校正用具４から反射された反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定する。第一測定系誤差要因取得部５４はレシーバ（ＲＳ）１６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定データを受け、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２（Ｅｒ１とＥｒ２との積）を取得する（Ｓ１０２）。
次に、信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。入力信号は、出力端子１８および端子６ａを介してパワーメータ６に入力される。パワーメータ６は、この入力信号のパワーＰを測定する。そして、信号出力取得部６２はパワーメータ用端子６０および端子６ｂを介して、パワーＰを取得し、第二測定系誤差要因取得部５６に出力する。第二測定系誤差要因取得部５６は、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データ、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２（第一測定系誤差要因取得部５４の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部６２の出力（パワーＰ）を受け、Ｅｒ１、Ｅｒ２を取得する（Ｓ１０４）。
最後に、信号源１０に受信手段２０を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。入力信号は、出力端子１８および入力端子２８を介して、受信手段２０に受信信号として受信される。レシーバ（ＴＲ）２６ａは、この受信信号を測定する。そして、第三測定系誤差要因取得部５８は、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データ、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１、Ｅｒ２（第二測定系誤差要因取得部５６の取得した測定系誤差要因）、およびレシーバ（ＴＲ）２６ａの測定データを受け、Ｅｔを取得する（Ｓ１０６）。
ここで、図１０に戻り、ネットワークアナライザ１にはＤＵＴ２が接続され（図１参照）、ＤＵＴ２のＳパラメータ等（Ｒ、Ｓ１１ｍ、Ｓ２１ｍ）が実測される（Ｓ２０）。すなわち、信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。この測定により得られたデータがＲである。入力信号は、出力端子１８を介してＤＵＴ２に入力される。そして、ＤＵＴ２から反射された反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定する。この測定により得られたデータがＳ１１ｍである。入力信号が出力端子１８から出力された後に、ＤＵＴ２を介して入力信号を受信信号として受信手段２０が受信する。この受信信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａが測定する。この測定により得られたデータがＳ２１ｍである。これらの実測されたデータは、回路パラメータ測定部４０に送られる。
最後に、回路パラメータ測定部４０が、レシーバ（ＲＳ）１６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａのＤＵＴ２に関するＳパラメータと、測定系誤差要因記録部３０の記録する測定系誤差要因とに基づき、ＤＵＴ２の真のＳパラメータ（Ｓ１１ａ、Ｓ２１ａ）を測定する（Ｓ３０）。
第一の実施形態によれば、信号出力取得部６２は、入力信号に関するパワーＰを測定系誤差要因の生じた後に取得する。これにより、周波数トラッキングに起因する誤差Ｅｒ１、Ｅｒ２などを（シグナルフローグラフにおける）向きに応じて分離することができる。ＤＵＴ２の入力信号の周波数ｆ１と出力信号の周波数ｆ２とが異なる場合は、周波数トラッキングに起因する誤差Ｅｒ１、Ｅｒ２などが向きによって異なる。よって、向きに応じて測定系誤差要因を分離することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。
また、レシーバ（ＴＲ）２６ａが、受信信号に関するＳパラメータを測定するため、受信手段２０における測定系誤差要因Ｅｔを取得できる。ＤＵＴ２の入力信号の周波数ｆ１と出力信号の周波数ｆ２とが異なる場合は、受信手段２０における測定系誤差要因Ｅｔを無視できない。よって、受信手段２０における測定系誤差要因Ｅｔを取得することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。
このように、向きに応じて測定系誤差要因Ｅｒ１、Ｅｒ２を分離し、しかも受信手段２０における測定系誤差要因Ｅｔを取得したので、レシーバ（ＲＳ）１６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂおよびレシーバ（ＴＲ）２６ａのＤＵＴ２に関する測定結果と組み合わせれば、ＤＵＴ２に関するＳパラメータを誤差を補正しながら測定できる。
第二の実施形態
第二の実施形態は、第一の実施形態において無視したＤＵＴ２の真の（測定系誤差要因の影響を排除した）ＳパラメータＳ１２ａ、Ｓ２２ａをも測定可能とした点が第一の実施形態と異なる。
図１２は、第二の実施の形態に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブロック図である。ネットワークアナライザ１は、信号源１０、受信手段２０、測定系誤差要因記録部３０、回路パラメータ測定部４０、測定系誤差要因取得部５０、パワーメータ用端子６０、信号出力取得部６２、受信側測定系誤差要因記録部７０を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
信号源１０は、信号出力部１２、スイッチ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、出力端子１８を有する。スイッチ１３以外は、第一の実施形態と同様である。
スイッチ１３は、信号出力部１２の出力する入力信号を直接にＤＵＴ２に与えるか、受信手段２０を介してＤＵＴ２に与えるかを選択するためのスイッチである。スイッチ１３は、端子１３ａ、１３ｂ、１３ｃを有する。端子１３ａは出力端子１８に、端子１３ｂは受信手段２０に、端子１３ｃは信号出力部１２に接続されている。端子１３ａと端子１３ｃとを接続する、すなわちスイッチ１３を端子１３ａの側にすれば入力信号を直接にＤＵＴ２に与えることになる。このとき、信号生成部１２は周波数ｆ１の信号を出力する。端子１３ａと端子１３ｂとを接続する、すなわちスイッチ１３を端子１３ｂの側にすれば入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与えることになる。このとき、信号生成部１２は周波数ｆ２の信号を出力する。
なお、入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える場合は、出力端子１８から信号が信号源１０に入力されることになる。ここで、ブリッジ１４ｂは、この信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂに供給する。
受信手段２０は、ブリッジ２４ａ、２４ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ、レシーバ（ＲＲ）２６ｂ、入力端子２８を有する。入力端子２８は、第一の実施形態と同様である。なお、ブリッジ２４ａ、レシーバ（ＴＲ）２６ａは、入力信号を直接にＤＵＴ２に与える場合は、第一の実施形態と同様の機能を果たす。しかし、ブリッジ２４ａ、レシーバ（ＴＲ）２６ａは、入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える場合は、第一の実施形態とは異なった機能を果たす。これについては後述する。
スイッチ１３を端子１３ｂの側にすれば、信号出力部１２の出力する入力信号がスイッチ１３を介して受信手段２０に送られる。ブリッジ２４ｂは、この入力信号をレシーバ（ＲＲ）２６ｂに供給する。ブリッジ２４ｂが供給する信号は、受信手段２０における測定系誤差要因の影響を受けていない信号といえる。ブリッジ２４ａは、入力信号が入力端子２８から出力されさらに反射して戻ってきた受信側反射信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａに供給する。
レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信側反射信号測定手段）は、ブリッジ２４ａを介して受けた受信側反射信号のＳパラメータを測定する。レシーバ（ＴＲ）２６ａは、受信信号測定手段と受信側反射信号測定手段との機能を果たす。
レシーバ（ＲＲ）２６ｂ（受信側入力信号測定手段）は、ブリッジ２４ｂを介して受けた入力信号のＳパラメータを測定する。よって、レシーバ（ＲＲ）２６ｂは、受信手段２０における測定系誤差要因の影響の生ずる前に、入力信号に関するＳパラメータを測定する。
測定系誤差要因記録部３０は、ネットワークアナライザ１の測定系誤差要因を記録する。測定系誤差要因は、Ｅｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２、Ｅｓ、Ｅｔ、ＥＬがある。ただし、入力信号を直接にＤＵＴ２に与える場合と、入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える場合とがあり、前者の場合をｆ（ｆｏｒｗａｒｄ）、後者の場合をｒ（ｒｅｖｅｒｓｅ）という添字を付して区別する。すなわち、測定系誤差要因は、Ｅｄｆ、Ｅｒ１ｆ、Ｅｒ２ｆ、Ｅｓｆ、Ｅｔｆ、ＥＬｆおよびＥｄｒ、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒ、Ｅｓｒ、Ｅｔｒ、ＥＬｒがある。
図１２に示す状態をシグナルフローグラフで表現したものを図１３に示す。図１３（ａ）は入力信号を直接にＤＵＴ２に与える状態を示し、図１３（ｂ）は入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える状態を示す。
回路パラメータ測定部４０は、
（１）入力信号を直接にＤＵＴ２に与える場合のレシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データ（Ｓパラメータ）、
（２）入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える場合のレシーバ（ＲＲ）２６ｂ（受信側入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信側反射信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データ（Ｓパラメータ）、
（３）測定系誤差要因記録部３０の記録する測定系誤差要因、
とに基づき、ＤＵＴ２の真の（測定系誤差要因の影響を排除した）Ｓパラメータ（Ｓ１１ａ、Ｓ２１ａ、Ｓ１２ａ、Ｓ２２ａ）を測定する。
ただし、入力信号を直接にＤＵＴ２に与える場合の、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データはＲ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データはＳ１１ｍ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データはＳ２１ｍである（図１３（ａ）参照）。
また、入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える場合の、レシーバ（ＲＲ）２６ｂ（受信側入力信号測定手段）に関する測定データはＲ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信側反射信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データはＳ２２ｍ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）のＤＵＴ２に関する測定データはＳ１２ｍである（図１３（ｂ）参照）。
なお、レシーバ（ＲＳ）１６ａ等のＤＵＴ２に関する測定データとは、ネットワークアナライザ１にＤＵＴ２が接続された時の、レシーバ（ＲＳ）１６ａ等により測定されるデータを意味する。
レシーバ（ＲＳ）１６ａのＤＵＴ２に関する測定データは、ネットワークアナライザ１にＤＵＴ２が接続された時の、レシーバ（ＲＳ）１６ａにより測定されるデータである。レシーバ（ＴＳ）１６ｂのＤＵＴ２に関する測定データは、
ネットワークアナライザ１にＤＵＴ２が接続された時の、入力信号がＤＵＴ２から反射された反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定したデータである。また、入力信号が出力端子１８から出力された後に、ＤＵＴ２を介して入力信号を受信信号として受信手段２０が受信する。この受信信号に関するレシーバ（ＴＲ）２６ａによる測定データが、レシーバ（ＴＲ）２６ａのＤＵＴ２に関する測定データである。これらは、信号出力部１２の出力する入力信号を直接にＤＵＴ２に与える場合のことである。
レシーバ（ＲＲ）２６ｂのＤＵＴ２に関する測定データは、ネットワークアナライザ１にＤＵＴ２が接続された時の、レシーバ（ＲＲ）２６ｂにより測定されるデータである。レシーバ（ＴＲ）２６ａのＤＵＴ２に関する測定データは、
ネットワークアナライザ１にＤＵＴ２が接続された時の、入力信号がＤＵＴ２から反射された反射信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａが測定したデータである。また、入力信号が入力端子２８から出力された後に、ＤＵＴ２を介して入力信号を信号源１０が受信する。この信号に関するレシーバ（ＴＳ）１６ｂによる測定データが、レシーバ（ＴＳ）１６ｂのＤＵＴ２に関する測定データである。これらは、信号出力部１２の出力する入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える場合のことである。
回路パラメータ測定部４０は、下記の数式にのっとってＳ１１ａ、Ｓ２１ａ、Ｓ１２ａ、Ｓ２２ａを測定する。
【数５】

測定系誤差要因取得部５０は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信信号測定手段）および信号出力取得部６２の測定結果に基づき測定系誤差要因（Ｅｄｆ、Ｅｒ１ｆ、Ｅｒ２ｆ、Ｅｓｆ、Ｅｔｆ、ＥＬｆ）を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、信号源１０に校正用具４、パワーメータ６、受信手段２０を順々に接続していく。
測定系誤差要因取得部５０の構成は第一の実施形態と同様である（図３参照）。ただし、切替器５２は、第三測定系誤差要因取得部５８にはレシーバ（ＴＳ）１６ｂから受けた測定データをも出力する。また、第三測定系誤差要因取得部５８は、ＥｔｆのみならずＥＬｆをも求める。
信号源１０に受信手段２０が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現したものを図９に示した通りである。ここで、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データはＲ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信信号測定手段）の測定データはＴＲ／Ｓ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）の測定データはＴＳ／Ｒである。ＲとＴＲ／Ｓとの関係およびＲとＴＳ／Ｒとの関係は、下記の数式の通りである。ただし、添字ｆは省略してある。
【数６】

ＲとＴＳ／Ｒとの関係からＥＬｆが求められ、ＲとＴＲ／Ｓとの関係にＥＬｆを代入すればＥｔｆが求められる。
パワーメータ用端子６０は、パワーメータ６の端子６ｂに接続される。信号出力取得部６２（受信側信号出力手段）は、パワーメータ用端子６０および端子６ｂを介して、パワーＰを取得し、第二測定系誤差要因取得部５６および後述する第二受信側測定系誤差要因取得部７６に出力する。
受信側測定系誤差要因取得部７０は、レシーバ（ＲＲ）２６ｂ（受信側入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信側反射信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）および信号出力取得部６２の測定結果に基づき測定系誤差要因（Ｅｄｒ、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒ、Ｅｓｒ、Ｅｔｒ、ＥＬｒ）を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、受信手段２０の入力端子２８に校正用具４、パワーメータ６、信号源１０を順々に接続していく。
受信側測定系誤差要因取得部７０の構成を図１４に示す。受信側測定系誤差要因取得部７０は、切替器７２、第一受信側測定系誤差要因取得部７４、第二受信側測定系誤差要因取得部７６、第三受信側測定系誤差要因取得部７８を有する。
切替器７２は、レシーバ（ＲＲ）２６ｂ（受信側入力信号測定手段）およびレシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信側反射信号測定手段）から測定データ（例えばＳパラメータ）を受け、受信手段２０に接続されるものの種類に応じ、これらの信号を、第一受信側測定系誤差要因取得部７４、第二受信側測定系誤差要因取得部７６および第三受信側測定系誤差要因取得部７８のいずれか一つに出力する。
すなわち、切替器７２は、受信手段２０に校正用具４が接続されている時は第一受信側測定系誤差要因取得部７４に、受信手段２０にパワーメータ６が接続されている時は第二受信側測定系誤差要因取得部７６に、受信手段２０に信号源１０が接続されている時は第三受信側測定系誤差要因取得部７８に、レシーバ（ＲＲ）２６ｂおよびレシーバ（ＴＲ）２６ａから受けた測定データ（例えばＳパラメータ）を出力する。ただし、第二受信側測定系誤差要因取得部７６にはレシーバ（ＴＲ）２６ａから受けた測定データを出力しなくてもよい。
第一受信側測定系誤差要因取得部７４は、受信手段２０に校正用具４が接続されている時に、レシーバ（ＲＲ）２６ｂおよびレシーバ（ＴＲ）２６ａの測定データを受け、Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ・Ｅｒ２ｒ（Ｅｒ１ｒとＥｒ２ｒとの積）を取得する。Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ・Ｅｒ２ｒの取得法は第一の実施形態における第一測定系誤差要因取得部５４と同様である。
第二受信側測定系誤差要因取得部７６は、受信手段２０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている時に、レシーバ（ＲＲ）２６ｂの測定データ、Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ・Ｅｒ２ｒ（第一受信側測定系誤差要因取得部７４の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部６２の出力（パワーＰ）を受け、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒを取得する。Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒの取得法は第一の実施形態における第二測定系誤差要因取得部５６と同様である。
第一受信側測定系誤差要因取得部７４は、レシーバ（ＲＲ）２６ｂ（受信側入力信号測定手段）およびレシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信側反射信号測定手段）の測定データを受け、Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ・Ｅｒ２ｒを取得する。第二受信側測定系誤差要因取得部７６は、レシーバ（ＲＲ）２６ｂ（受信側入力信号測定手段）および信号出力取得部６２の測定データを受け、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒを取得する。よって、第一受信側測定系誤差要因取得部７４および第二受信側測定系誤差要因取得部７６は、レシーバ（ＲＲ）２６ｂ（受信側入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＲ）２６ａ（受信側反射信号測定手段）および信号出力取得部６２（受信側信号出力取得手段）の測定データに基づき受信側の測定系誤差要因（Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒ）を取得する。
第三受信側測定系誤差要因取得部７８は、受信手段２０に信号源１０が接続されている時に、レシーバ（ＲＲ）２６ｂおよびレシーバ（ＴＲ）２６ａの測定データ、Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒ（第二受信側測定系誤差要因取得部７６の取得した測定系誤差要因）、およびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定データを受け、Ｅｔｒ、ＥＬｒを取得する。Ｅｔｒ、ＥＬｒの取得法は、第二の実施形態における第三測定系誤差要因取得部５８と同様である。
第三受信側測定系誤差要因取得部７８は、Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒ、Ｅｔｒ、ＥＬｒを測定系誤差要因記録部３０に出力する。
次に、第二の実施形態の動作を説明する。図１５は、第二の実施形態の動作を示すフローチャートである。
まず、ネットワークアナライザ１は、測定系誤差要因（Ｅｄｆ、Ｅｓｆ、Ｅｒ１ｆ、Ｅｒ２ｆ、Ｅｔｆ、ＥＬｆ）を測定する（Ｓ１０）。測定された測定系誤差要因は、測定系誤差要因記録部３０に記録される。測定系誤差要因の測定の際の動作を図１６のフローチャートを参照して説明する。
まず、スイッチ１３を端子１３ａの側にする（Ｓ１０１）。そして、信号源１０に三種類の校正用具４を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。入力信号は、出力端子１８を介して校正用具４に入力される。そして、校正用具４から反射された反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定する。第一測定系誤差要因取得部５４はレシーバ（ＲＳ）１６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定データを受け、Ｅｄｆ、Ｅｓｆ、Ｅｒ１ｆ・Ｅｒ２ｆ（Ｅｒ１ｆとＥｒ２ｆとの積）を取得する（Ｓ１０２）。
次に、信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。入力信号は、出力端子１８および端子６ａを介してパワーメータ６に入力される。パワーメータ６は、この入力信号のパワーＰを測定する。そして、信号出力取得部６２はパワーメータ用端子６０および端子６ｂを介して、パワーＰを取得し、第二測定系誤差要因取得部５６に出力する。第二測定系誤差要因取得部５６は、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データ、Ｅｄｆ、Ｅｓｆ、Ｅｒ１ｆ・Ｅｒ２ｆ（第一測定系誤差要因取得部５４の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部６２の出力（パワーＰ）を受け、Ｅｒ１ｆ、Ｅｒ２ｆを取得する（Ｓ１０４）。
最後に、信号源１０に受信手段２０を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。入力信号は、出力端子１８および入力端子２８を介して、受信手段２０に受信信号として受信される。レシーバ（ＴＲ）２６ａは、この受信信号を測定する。また、入力信号が受信手段２０から反射された反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定する。そして、第三測定系誤差要因取得部５８は、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データ、Ｅｄｆ、Ｅｓｆ、Ｅｒ１ｆ、Ｅｒ２ｆ（第二測定系誤差要因取得部５６の取得した測定系誤差要因）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂおよびレシーバ（ＴＲ）２６ａの測定データを受け、Ｅｔｆ、ＥＬｆを取得する（Ｓ１０７）。
次に、ネットワークアナライザ１は、測定系誤差要因（Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒ、Ｅｔｒ、ＥＬｒ）を測定する（Ｓ１２）。測定された測定系誤差要因は、測定系誤差要因記録部３０に記録される。測定系誤差要因の測定の際の動作を図１７のフローチャートを参照して説明する。
まず、スイッチ１３を端子１３ｂの側にする（Ｓ１２１）。そして、受信手段２０に三種類の校正用具４を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＲ）２６ｂが測定する。入力信号は、入力端子２８を介して校正用具４に入力される。そして、校正用具４から反射された反射信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａが測定する。第一受信側測定系誤差要因取得部７４はレシーバ（ＲＲ）２６ｂおよびレシーバ（ＴＲ）２６ａの測定データを受け、Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ・Ｅｒ２ｒ（Ｅｒ１ｒとＥｒ２ｒとの積）を取得する（Ｓ１２２）。
次に、受信手段２０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＲ）２６ｂが測定する。入力信号は、入力端子２８および端子６ａを介してパワーメータ６に入力される。パワーメータ６は、この入力信号のパワーＰを測定する。そして、信号出力取得部６２はパワーメータ用端子６０および端子６ｂを介して、パワーＰを取得し、第二受信側測定系誤差要因取得部７６に出力する。第二受信側測定系誤差要因取得部７６は、レシーバ（ＲＲ）２６ｂの測定データ、Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ・Ｅｒ２ｒ（第一受信側測定系誤差要因取得部７４の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部６２の出力（パワーＰ）を受け、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒを取得する（Ｓ１２４）。
最後に、信号源１０に受信手段２０を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＲ）２６ｂが測定する。入力信号は、入力端子２８および出力端子１８を介して、信号源１０が受信する。レシーバ（ＴＳ）１６ｂは、この信号を測定する。そして、信号源１０から反射された反射信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａが測定する。そして、第三測定系誤差要因取得部５８は、レシーバ（ＲＲ）２６ｂの測定データ、Ｅｄｒ、Ｅｓｒ、Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒ（第二受信側測定系誤差要因取得部７６の取得した測定系誤差要因）、レシーバ（ＴＲ）２６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定データを受け、Ｅｔｒ、ＥＬｒを取得する（Ｓ１２７）。
ここで、図１５に戻り、ネットワークアナライザ１にはＤＵＴ２が接続され（図１参照）、ＤＵＴ２のＳパラメータ等（Ｒ、Ｓ１１ｍ、Ｓ２１ｍ、Ｓ１２ｍ、Ｓ２２ｍ）が実測される（Ｓ２０）。
すなわち、スイッチ１３を端子１３ａの側にする。このとき、信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。この測定により得られたデータがＲである。入力信号は、出力端子１８を介してＤＵＴ２に入力される。そして、ＤＵＴ２から反射された反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定する。この測定により得られたデータがＳ１１ｍである。入力信号が出力端子１８から出力された後に、ＤＵＴ２を介して入力信号を受信信号として受信手段２０が受信する。この受信信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａが測定する。この測定により得られたデータがＳ２１ｍである（図１３（ａ）参照）。
また、スイッチ１３を端子１３ｂの側にする。このとき、信号出力部１２は入力信号を出力し、受信手段２０に供給する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＲ）２６ｂが測定する。この測定により得られたデータがＲである。入力信号は、入力端子２８を介してＤＵＴ２に入力される。そして、ＤＵＴ２から反射された反射信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａが測定する。この測定により得られたデータがＳ２２ｍである。入力信号が入力端子２８から出力された後に、ＤＵＴ２を介して信号源１０が受信する。この信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定する。この測定により得られたデータがＳ１２ｍである（図１３（ｂ）参照）。
これらの実測されたデータは、回路パラメータ測定部４０に送られる。
最後に、回路パラメータ測定部４０が、入力信号を直接にＤＵＴ２に与える場合のレシーバ（ＲＳ）１６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａのＤＵＴ２に関するＳパラメータと、入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える場合のレシーバ（ＲＲ）２６ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂのＤＵＴ２に関するＳパラメータと、測定系誤差要因記録部３０の記録する測定系誤差要因とに基づき、ＤＵＴ２の真のＳパラメータ（Ｓ１１ａ、Ｓ２１ａ、Ｓ１２ａ、Ｓ２２ａ）を測定する（Ｓ３０）。
第二の実施形態によれば、信号出力取得部６２は、入力信号に関するパワーＰを受信側の測定系誤差要因の生じた後に取得する。これにより、周波数トラッキングに起因する誤差Ｅｒ１ｒ、Ｅｒ２ｒ（Ｅｒ１ｆ、Ｅｒ２ｆ）を（シグナルフローグラフにおける）向きに応じて分離することができる。ＤＵＴ２の入力信号の周波数ｆ１と出力信号の周波数ｆ２とが異なる場合は、周波数トラッキングに起因する誤差Ｅｒ１、Ｅｒ２などが向きによって異なる。よって、向きに応じて受信側の測定系誤差要因を分離することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。
また、レシーバ（ＴＳ）１６ｂが、信号源１０が受信した信号に関するＳパラメータを測定するため、信号源１０における測定系誤差要因Ｅｔｒ、ＥＬｒを取得できる。ＤＵＴ２の入力信号の周波数ｆ１と出力信号の周波数ｆ２とが異なる場合は、信号源１０における測定系誤差要因Ｅｔｒ、ＥＬｒを無視できない。よって、信号源１０における測定系誤差要因Ｅｔｒ、ＥＬｒを取得することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。なお、レシーバ（ＴＲ）２６ａが受信信号関するＳパラメータを測定するため、受信手段２０における測定系誤差要因Ｅｔｆ、ＥＬｆも取得できる。
このように、向きに応じて測定系誤差要因Ｅｒ１ｒ・Ｅｒ２ｒ（Ｅｒ１ｆ、Ｅｒ２ｆ）を分離し、しかも信号源１０における測定系誤差要因Ｅｔｒ、ＥＬｒおよび受信手段２０における測定系誤差要因Ｅｔｆ、ＥＬｆを取得したので、入力信号を直接にＤＵＴ２に与える場合のレシーバ（ＲＳ）１６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂおよびレシーバ（ＴＲ）２６ａのＤＵＴ２に関する測定結果と、入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える場合のレシーバ（ＲＲ）２６ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂのＤＵＴ２に関する測定結果と組み合わせれば、ＤＵＴ２に関するＳパラメータを誤差を補正しながら測定できる。
なお、図１２においては、スイッチ１３をブリッジ１４ａと信号出力部１２との間に配置してある。しかし、スイッチ１３をブリッジ１４ａとブリッジ１４ｂとの間に配置することも可能である。スイッチ１３をブリッジ１４ａとブリッジ１４ｂとの間に配置した場合の構成を図１８に示す。端子１３ｃはブリッジ１４ａを介して信号出力部１２に接続されている。
また、ＤＵＴ２としては図１９に示すようなミキサを用いることができる。ＤＵＴ２は、入力端子２ａ、出力端子２ｂ、ローカル信号発生器２ｃ、乗算器２ｄを有する。入力端子２ａおよび出力端子２ｂは上述の通りである。ローカル信号発生器２ｃは周波数ｆＬｏ（可変）のローカル信号を乗算器２ｄに供給する。乗算器２ｄは、入力端子２ａから供給される信号（周波数ｆ１）とローカル信号（周波数ｆＬｏ）とを乗算して出力端子２ｂに供給する。このような場合は、ｆ２＝ｆ１±ｆＬｏとなるため、ｆ１≠ｆ２となる。このような場合にも上記の実施形態は適合する。
なお、上記の実施形態において、ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピーディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、ネットワークアナライザを実現できる。
また、第一の実施形態においては、信号源１０に校正用具４、パワーメータ６、受信手段２０を順々に接続していくこととしている。しかし、校正用具４等を順々に接続していくことは多大な労力を要する。そこで、以下のように、第一の実施形態について、様々な変形例が考えられる。
第一の実施形態の変形例（その１）
図２４は、直結（信号源１０と受信手段２０）、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の四種類の状態を実現できるキャリブレーションキット８０を、信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。なお、図２４においては、信号源１０の構成要素は、出力端子１８を除いて、図示省略している。また、受信手段２０の構成要素は、入力端子２８を除いて、図示省略している。
キャリブレーションキット８０は、第一切替器（第一入力信号供給手段）８２、直結部８４ａ、第一オープン部８４ｂ、第一ショート部８４ｃ、第一ロード部８４ｄを有する。
第一切替器（第一入力信号供給手段）８２は、直結部８４ａ、第一オープン部８４ｂ、第一ショート部８４ｃおよび第一ロード部８４ｄのいずれか一つと、信号源１０の出力端子１８とを接続する。出力端子１８と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。ここでいう、「自動的」とは、利用者が手動で切替動作を行わなくても切替が行われることを意味する。
直結部８４ａは、受信手段２０の入力端子２８と、第一切替器８２とを直結する。第一オープン部８４ｂは、校正用具４のうち、オープン（開放）を実現するためのものである。第一ショート部８４ｃは、校正用具４のうち、ショート（短絡）を実現するためのものである。第一ロード部８４ｄは、校正用具４のうち、ロード（標準負荷Ｚ０）を実現するためのものである。
第一切替器８２が出力端子１８と直結部８４ａとを接続すれば、信号源１０と受信手段２０とが直結される。第一切替器８２が出力端子１８と第一オープン部８４ｂとを接続し、次に出力端子１８と第一ショート部８４ｃとを接続し、さらに出力端子１８と第一ロード部８４ｄとを接続すれば、三種類の校正用具４が信号源１０と接続されることになる。
第一切替器８２は、出力端子１８と接続するものを切り替えると、切替器５２に、出力端子１８と何を接続しているかを示す情報を送るようにするとよい。これにより、切替器５２は、第一切替器８２による出力端子１８と接続するものの切り替えに応じて動作できる。
このようにすれば、信号源１０に校正用具４および受信手段２０を接続していくことが自動化できる。
第一の実施形態の変形例（その２）
図２５は、図２４に示したキャリブレーションキット８０に（第一）パワーメータ６を常に接続したままとしたものを信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。以下、図２４に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。
第一切替器８２は、直結部８４ａ、第一オープン部８４ｂ、第一ショート部８４ｃ、第一ロード部８４ｄおよびパワーメータ６のいずれか一つと、信号源１０の出力端子１８とを接続する。出力端子１８と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。
なお、（第一）パワーメータ６の端子６ａは第一切替器８２に、パワーメータ６の端子６ｂはパワーメータ用端子６０に接続されている。
第一切替器８２が出力端子１８と端子６ａとを接続すれば、信号源１０とパワーメータ６とが接続される。
このようにすれば、信号源１０に校正用具４、（第一）パワーメータ６および受信手段２０を接続していくことが自動化できる。
第一の実施形態の変形例（その３）
図２６は、図２４に示したキャリブレーションキット８０に第一パワーセンサ６ｄを含めたものを信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。以下、図２４および図２５に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。
第一切替器８２は、直結部８４ａ、第一オープン部８４ｂ、第一ショート部８４ｃ、第一ロード部８４ｄおよび第一パワーセンサ６ｄのいずれか一つと、信号源１０の出力端子１８とを接続する。出力端子１８と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。
なお、第一パワーセンサ６ｄは、受けた信号のパワーを所定の物理量（例えば、電圧など）に変換するためのものである。第一パワーセンサ６ｄの出力は第一パワーメータ本体６ｅにより処理され、第一パワーセンサ６ｄが受けた信号のパワーが測定される。これは、第一パワーセンサ６ｄおよび第一パワーメータ本体６ｅが、（第一）パワーメータ６の機能を果たすことを意味する。
キャリブレーションキット８０に内蔵された第一パワーセンサ６ｄはパワーメータ用端子６０を介して第一パワーメータ本体６ｅに接続されている。第一パワーメータ本体６ｅは、ネットワークアナライザ１の内部に設けられ、信号出力取得部６２に接続されている。
第一切替器８２が出力端子１８と第一パワーセンサ６ｄとを接続すれば、信号源１０と、第一パワーセンサ６ｄおよび第一パワーメータ本体６ｅ（パワーメータ６の機能を果たす）とが接続される。
このようにすれば、信号源１０に校正用具４、（第一）パワーメータ６および受信手段２０を接続していくことが自動化できる。しかも、（第一）パワーメータ６そのものをキャリブレーションキット８０に接続し続ける必要もない。
また、第二の実施形態においては、信号源１０に校正用具４、パワーメータ６、受信手段２０を順々に接続していくことに加え、受信手段２０に校正用具４、パワーメータ６、信号源１０を順々に接続していくこととしている。しかし、校正用具４等を順々に接続していくことは多大な労力を要する。そこで、以下のように、第二の実施形態について、様々な変形例が考えられる。
第二の実施形態の変形例（その１）
図２７は、直結（信号源１０と受信手段２０）と、信号源１０および受信手段２０についてオープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の状態を実現できるキャリブレーションキット８０を、信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。なお、図２７においては、信号源１０の構成要素は、出力端子１８を除いて、図示省略している。また、受信手段２０の構成要素は、入力端子２８を除いて、図示省略している。
キャリブレーションキット８０は、第一切替器８２、第二切替器８８、直結部８４ａ、第一オープン部８４ｂ、第二オープン部８６ｂ、第一ショート部８４ｃ、第二ショート部８６ｃ、第一ロード部８４ｄ、第二ロード部８６ｄを有する。
第一切替器８２、直結部８４ａ、第一オープン部８４ｂ、第一ショート部８４ｃ、第一ロード部８４ｄは図２４に示したものと同様であり説明を省略する。ただし、直結部８４ａは、第一切替器８２と第二切替器８８とを直結する。
第二オープン部８６ｂは、校正用具４のうち、オープン（開放）を実現するためのものである。第二ショート部８６ｃは、校正用具４のうち、ショート（短絡）を実現するためのものである。第二ロード部８６ｄは、校正用具４のうち、ロード（標準負荷Ｚ０）を実現するためのものである。
切替器８８は、直結部８４ａ、第二オープン部８６ｂ、第二ショート部８６ｃおよび第二ロード部８６ｄのいずれか一つと、受信手段２０の入力端子２８とを接続する。入力端子２８と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。また、切替器８２が出力端子１８と直結部８４ａとを接続したときは、切替器８８もまた入力端子２８と直結部８４ａとを接続するようにする。
切替器８２が出力端子１８と直結部８４ａとを接続すれば、切替器８８も入力端子２８と直結部８４ａとを接続するため、信号源１０と受信手段２０とが直結される。切替器８２が出力端子１８と第一オープン部８４ｂとを接続し、次に出力端子１８と第一ショート部８４ｃとを接続し、さらに出力端子１８と第一ロード部８４ｄとを接続すれば、三種類の校正用具４が信号源１０と接続されることになる。
切替器８２は、出力端子１８と接続するものを切り替えると、切替器５２に、出力端子１８と何を接続しているかを示す情報を送るようにするとよい。これにより、切替器５２は、切替器８２による出力端子１８と接続するものの切り替えに応じて動作できる。
このようにすれば、信号源１０に校正用具４および受信手段２０を接続していくことが自動化できる。
切替器８８が入力端子２８と第二オープン部８６ｂとを接続し、次に入力端子２８と第二ショート部８６ｃとを接続し、さらに入力端子２８と第二ロード部８６ｄとを接続すれば、三種類の校正用具４が受信手段２０と接続されることになる。
切替器８８は、に入力端子２８と接続するものを切り替えると、切替器７２に、入力端子２８と何を接続しているかを示す情報を送るようにするとよい。これにより、切替器７２は、切替器８８による入力端子２８と接続するものの切り替えに応じて動作できる。
このようにすれば、受信手段２０に校正用具４および信号源１０を接続していくことが自動化できる。
第二の実施形態の変形例（その２）
図２８は、図２７に示したキャリブレーションキット８０に第一パワーメータ６、第二パワーメータ６’を常に接続したままとしたものを信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。以下、図２７に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。
切替器８２は、直結部８４ａ、第一オープン部８４ｂ、第一ショート部８４ｃ、第一ロード部８４ｄおよび第一パワーメータ６のいずれか一つと、信号源１０の出力端子１８とを接続する。出力端子１８と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。
なお、第一パワーメータ６の端子６ａは切替器８２に、第一パワーメータ６の端子６ｂはパワーメータ用端子６０ａに接続されている。
切替器８８は、直結部８４ａ、第二オープン部８６ｂ、第二ショート部８６ｃ、第二ロード部８６ｄおよび第二パワーメータ６’のいずれか一つと、受信手段２０の入力端子２８とを接続する。入力端子２８と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。また、切替器８２が出力端子１８と直結部８４ａとを接続したときは、切替器８８もまた入力端子２８と直結部８４ａとを接続するようにする。
なお、第二パワーメータ６’の端子６ａ’は切替器８８に、第二パワーメータ６’の端子６ｂ’はパワーメータ用端子６０ｂに接続されている。なお、端子６ａ’、６ｂ’の機能は端子６ａ、６ｂの機能と同様である。
また、パワーメータ用端子６０ａ、ｂは、信号出力取得部６２に接続されている。
切替器８２が出力端子１８と端子６ａとを接続すれば、信号源１０とパワーメータ６とが接続される。切替器８８が入力端子２８と端子６ａ’とを接続すれば、受信手段２０と第二パワーメータ６’とが接続される。
このようにすれば、信号源１０に校正用具４、パワーメータ６および受信手段２０を接続していくことが自動化できる。さらに、受信手段２０に校正用具４、パワーメータ６および信号源１０を接続していくことが自動化できる。
第二の実施形態の変形例（その３）
図２９は、図２７に示したキャリブレーションキット８０にパワーセンサ６ｄ、６ｄ’を含めたものを信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。以下、図２７および図２８に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。
切替器８８は、直結部８４ａ、第二オープン部８６ｂ、第二ショート部８６ｃ、第二ロード部８６ｄおよび第二パワーセンサ６ｄ’のいずれか一つと、受信手段２０の入力端子２８とを接続する。入力端子２８と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。
なお、第二パワーセンサ６ｄ’は、受けた信号のパワーを所定の物理量（例えば、電圧など）に変換するためのものである。第二パワーセンサ６ｄ’の出力は第二パワーメータ本体６ｅ’により処理され、第二パワーセンサ６ｄ’が受けた信号のパワーが測定される。これは、第二パワーセンサ６ｄ’および第二パワーメータ本体６ｅ’が、パワーメータ６の機能を果たすことを意味する。
キャリブレーションキット８０に内蔵された第二パワーセンサ６ｄ’はパワーメータ用端子６０ｂを介して第二パワーメータ本体６ｅ’に接続されている。第二パワーメータ本体６ｅ’は、ネットワークアナライザ１の内部に設けられ、信号出力取得部６２に接続されている。
なお、パワーセンサ６ｄはパワーメータ用端子６０ａを介してパワーメータ本体６ｅに接続されている。パワーメータ本体６ｅは、ネットワークアナライザ１の内部に設けられ、信号出力取得部６２に接続されている。
切替器８２が出力端子１８とパワーセンサ６ｄとを接続すれば、信号源１０と、パワーセンサ６ｄおよびパワーメータ本体６ｅ（パワーメータ６の機能を果たす）とが接続される。
このようにすれば、信号源１０に校正用具４、パワーメータ６および受信手段２０を接続していくことが自動化できる。しかも、パワーメータ６そのものをキャリブレーションキット８０に接続し続ける必要もない。
切替器８８が入力端子２８と第二パワーセンサ６ｄ’とを接続すれば、受信手段２０と、第二パワーセンサ６ｄ’および第二パワーメータ本体６ｅ’（パワーメータ６の機能を果たす）とが接続される。
このようにすれば、受信手段２０に校正用具４、パワーメータ６および信号源１０を接続していくことが自動化できる。しかも、パワーメータ６そのものをキャリブレーションキット８０に接続し続ける必要もない。
本発明によれば、向きに応じて測定系誤差要因を分離し、しかも受信手段における測定系誤差要因を取得したので、入力信号測定手段、反射信号測定手段および受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と組み合わせれば、被測定物に関する所定のパラメータ（例えばＳパラメータ）を誤差を補正しながら測定できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、第一の実施の形態に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブロック図である。
第２図は、図１に示す状態をシグナルフローグラフで表現した図である。
第３図は、測定系誤差要因取得部５０の構成を示すブロック図である。
第４図は、信号源１０に校正用具４が接続されている状態を示すブロック図（図４（ａ））、校正用具４の外観を示す図（図４（ｂ）〜（ｅ））である。
第５図は、信号源１０に校正用具４が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現した図である。
第６図は、信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている状態を示す図である。
第７図は、信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現した図である。
第８図は、信号源１０に受信手段２０が接続されている状態を示す図である。
第９図は、信号源１０に受信手段２０が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現した図である。
第１０図は、第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。
第１１図は、測定系誤差要因の測定の際の動作を示すフローチャートである。
第１２図は、第二の実施の形態に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブロック図である。
第１３図は、図１２に示す状態をシグナルフローグラフで表現した図であり、入力信号を直接にＤＵＴ２に与える状態（図１３（ａ））、入力信号を受信手段２０を介してＤＵＴ２に与える状態（図１３（ｂ））を示す図である。
第１４図は、受信側測定系誤差要因取得部７０の構成を示すブロック図である。
第１５図は、第二の実施形態の動作を示すフローチャートである。
第１６図は、測定系誤差要因の測定の際の動作を示すフローチャートである。
第１７図は、測定系誤差要因の測定の際の動作を示すフローチャートである。
第１８図は、スイッチ１３をブリッジ１４ａとブリッジ１４ｂとの間に配置した場合の構成を示すブロック図である。
第１９図は、ＤＵＴ２としてミキサを用いた場合のＤＵＴ２の構成を示す図である。
第２０図は、従来技術にかかる被測定物（ＤＵＴ）の回路パラメータの測定法を説明する図である。
第２１図は、従来技術にかかる周波数ｆ１＝ｆ２の場合の信号源１１０に関するシグナルフローグラフである。
第２２図は、従来技術にかかる周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合の信号源１１０に関するシグナルフローグラフである。
第２３図は、従来技術にかかる信号源１１０と受信部１２０とを直結した場合のシグナルフローグラフである。
第２４図は、第一の実施形態の変形例（その１）におけるキャリブレーションキット８０を、信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。
第２５図は、第一の実施形態の変形例（その２）におけるキャリブレーションキット８０を、信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。
第２６図は、第一の実施形態の変形例（その３）におけるキャリブレーションキット８０を、信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。
第２７図は、第二の実施形態の変形例（その１）におけるキャリブレーションキット８０を、信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。
第２８図は、第二の実施形態の変形例（その２）におけるキャリブレーションキット８０を、信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。
第２９図は、第二の実施形態の変形例（その３）におけるキャリブレーションキット８０を、信号源１０および受信手段２０に接続した状態を示す図である。

Claims (9)

1. （ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、（ｅ）前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、
   それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具と、
   前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給手段と、
   を備え、
   前記入力信号供給手段は、前記校正用具のいずれか一つ、前記受信手段あるいは前記信号出力取得手段を自動的に選択して前記入力信号を供給し、
   前記入力信号供給手段が前記信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、パワーメータを介して前記入力信号を供給する、
   自動校正器。
2. （ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、（ｅ）前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、
   それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具と、
   前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給手段と、
   を備え、
   前記入力信号供給手段は、前記校正用具のいずれか一つ、前記受信手段あるいは前記信号出力取得手段を自動的に選択して前記入力信号を供給し、
   前記入力信号供給手段が前記信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、パワーセンサおよびパワーメータ本体を介して前記入力信号を供給し、
   前記パワーセンサは前記自動校正器に内蔵され、
   前記パワーメータ本体は前記ネットワークアナライザに内蔵されている、
   自動校正器。
3. （ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、前記受信手段は、（ｅ−１）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ｅ−２）前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、（ｅ−３）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ｅ−４）前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、
   前記入力信号の信号源についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、
   前記受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具と、
   前記第一校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記信号源からの前記入力信号を供給する第一入力信号供給手段と、
   前記第二校正用具のいずれか一つあるいは前記信号源を自動的に選択して、前記受信手段を経由した前記入力信号を供給する第二入力信号供給手段と、
   を備えた自動校正器。
4. 請求項３に記載の自動校正器であって、
   前記第一入力信号供給手段は、前記第一校正用具のいずれか一つ、前記受信手段あるいは前記信号出力取得手段を自動的に選択して前記入力信号を供給し、
   前記第二入力信号供給手段は、前記第二校正用具のいずれか一つ、前記信号源あるいは前記受信側信号出力取得手段を自動的に選択して、前記受信手段を経由した前記入力信号を供給する、
   自動校正器。
5. 請求項４に記載の自動校正器であって、
   前記第一入力信号供給手段が前記信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、第一パワーメータを介して前記入力信号を供給し、
   前記第二入力信号供給手段が前記受信側信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、第二パワーメータを介して前記入力信号を供給する、
   自動校正器。
6. 請求項４に記載の自動校正器であって、
   前記第一入力信号供給手段が前記信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、第一パワーセンサおよび第一パワーメータ本体を介して前記入力信号を供給し、
   前記第二入力信号供給手段が前記受信側信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、第二パワーセンサおよび第二パワーメータ本体を介して前記入力信号を供給する、
   前記第一および第二パワーセンサは前記自動校正器に内蔵され、
   前記第一および第二パワーメータ本体は前記ネットワークアナライザに内蔵されている、
   自動校正器。
7. （ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、前記受信手段は、（ｅ−１）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ｅ−２）前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、（ｅ−３）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ｅ−４）前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、前記入力信号の信号源についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、前記受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正方法であって、
   前記第一校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記信号源からの前記入力信号を供給する第一入力信号供給工程と、
   前記第二校正用具のいずれか一つあるいは前記信号源を自動的に選択して、前記受信手段を経由した前記入力信号を供給する第二入力信号供給工程と、
   を備えた校正方法。
8. （ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、前記受信手段は、（ｅ−１）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ｅ−２）前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、（ｅ−３）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ｅ−４）前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、前記入力信号の信号源についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、前記受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
   前記第一校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記信号源からの前記入力信号を供給する第一入力信号供給処理と、
   前記第二校正用具のいずれか一つあるいは前記信号源を自動的に選択して、前記受信手段を経由した前記入力信号を供給する第二入力信号供給処理と、
   をコンピュータに実行させるためのプログラム。
9. （ａ）入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（ｂ）前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、（ｃ）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（ｄ）前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、前記受信手段は、（ｅ−１）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ｅ−２）前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、（ｅ−３）前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ｅ−４）前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、前記入力信号の信号源についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、前記受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
   前記第一校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記信号源からの前記入力信号を供給する第一入力信号供給処理と、
   前記第二校正用具のいずれか一つあるいは前記信号源を自動的に選択して、前記受信手段を経由した前記入力信号を供給する第二入力信号供給処理と、
   をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。

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