JP4274869B2 - Ｘ線透視検査装置 - Google Patents

Description

本発明は非破壊で被検体内部を透視検査するＸ線透視検査装置に関し、特に、入力装置を用いて、透過画像を目視しながら透過画像の視野移動を行うことができるＸ線透視検査装置に関する。

近年、電子部品を実装した基板などの内部配線状態等を非破壊で透視検査する検査装置としてＸ線透視検査装置が用いられている。Ｘ線透視検査装置は、Ｘ線管とこのＸ線管から照射されるＸ線を２次元の分解能で検出するＸ線検出器とを有し、この間に被検体を配置して、被検体を透過したＸ線を２次元検出することで被検体の透過画像を得るものである。

このようなＸ線透視検査装置は、高分解能を得るためにＸ線焦点Ｆが数μｍのマイクロフォーカスＸ線管を用いる。このＸ線焦点Ｆに被検体を近づけて透視検査を行なうと、狭い範囲の透過画像を十分拡大率を上げて得ることができる。また、Ｘ線焦点Ｆから被検体を離して検査を行なうと、拡大率を下げて十分広い範囲の透過画像を得ることができる。

図４は、このようなＸ線透視検査装置の一般的な概略構成図である。このＸ線透視検査装置は、Ｘ線管１と、このＸ線管１に対向配置されるＸ線検出器３と、Ｘ線管１とＸ線検出器３の間に配置される試料テーブル５と、この試料テーブル５上に載置される被検体４と、試料テーブル５をＸＹ方向に移動させるＸＹ機構７と、試料テーブル５をＺ方向に昇降させる昇降機構８と、これら機構部等を制御する制御部（パーソナルコンピュータ）９と、Ｘ線検出器３で検出された画像データに基づいて制御部９で処理された被検体４の透過画像１４を表示する表示部１０とを備え、制御部９の接続されたマウス１１やキーボード１２等の外部入力手段を用い、表示部１０に表示された透過画像１４の視野移動等を行うことができる。

この表示部１０の画面１３には、被検体４の透過画像１４と、十字型のスイッチ１６とが表示されており、指標（以下、カーソル１７という）でスイッチ１６の任意位置を選択すると、その方向に透過画像１４の視野６が移動する。

このような構成において、被検体４をＸ方向又はＹ方向に移動させると、被検体４に照射されるＸ線ビーム２の視野６が移動するので、これに連動して画面１３に表示される透過画像１４も視野移動（スクロール）する。操作者がこの透過画像１４を観察しながら、マウス１１（又はキーボード１２）を用い、画面１３上に表示されているカーソル１７をスイッチ１６の任意位置に配置すると共にクリックすると、クリックしている間、透過画像１４は選択された方向に移動する。この時の視野移動速さは、カーソル１７を当てたスイッチ１６のエリアにより変化する。つまりスイッチの中心部１８をクリックした場合はゆっくりと移動し、中心部１８から離れたエリアをクリックした場合は速く移動する。

ここで特許文献１には、選択した方向に視野を移動させる機能としてジョイスティック装置を用い、ジョイスティック装置の搖動量に対応する速度でＸ線の透視方向を変化させるＸ線透視検査装置が開示されている。

また、特許文献２には、画面上に表示されているスイッチをマウスカーソルでクリックし、選択されたスイッチのエリアにより速度を変えてＸＹステージを移動させて視野を変えることができる透過型電子顕微鏡が開示されている。

更に、特許文献３には、試料像（透過画像）上でマウスカーソルをダブルクリックすると、そのカーソル位置が画像中央に移動するように試料ステージを移動させる荷電粒子ビーム走査型画像表示装置（電子顕微鏡）が開示されている。
特開平１０−１８０６６６号公報 特開２０００−３４０１５５号公報 特開２０００−１０６１１９号公報

上述したＸ線透視検査装置は、拡大率が大きく変化でき、狭い範囲の透過画像から数十倍の広い範囲の透過画像まで得ることができるという利点を有してる。

しかしながら従来のＸ線透視検査装置は、操作者が透過画像のスケールを考慮して速度を加減し視野移動を行わなければならないため、視野移動の操作が煩わしく、ときには速度を上げ過ぎてしまい、視野中の観察部位（例えば基板中の特定部品）を見失ってしまうことがあるという問題がある。

また、透過画像を見ながら小刻みに方向転換して位置合わせする時など、スイッチ１６上のカーソル１７を動かすために操作者は視線をスイッチ１６に何度も移動させる必要があり、透過画像１４とスイッチ１６間での視線移動が煩わしいという問題がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、視野の移動を操作性よく行うことができるＸ線透視検査装置を提供することにある。

以上の課題を解決するために請求項１記載の本発明に係るＸ線透視検査装置は、Ｘ線管と、前記Ｘ線管のＸ線焦点Ｆから発生し被検体を透過したＸ線ビームを２次元検出するＸ線検出器と、検出された被検体の透過画像を表示する表示手段とを少なくとも備えるＸ線透視検査装置であって、前記被検体とＸ線ビームを透過方向に相対移動させる拡大率変更手段と、前記被検体と前記Ｘ線ビームを透過方向に直交する直交方向に相対移動させる移動手段と、前記表示手段に表示された透過画像の視野を移動させる視野移動指令を受け、前記拡大率変更手段を透過方向に相対移動させて拡大率を設定し、該拡大率で表示される被検体の視野の大きさに基づき算出される移動速さで前記移動手段を直交方向に相対移動させる制御部とを有することを要旨とする。

本発明にあっては、視野の大きさを変更して視野移動をさせたとき、観察している透過画像の視野の大きさに関連させた速さに自動的に設定されて視野移動が行なわれるので、視野の移動を操作性よく行なうことができる。

請求項２記載の本発明に係るＸ線透視検査装置は、Ｘ線管と、Ｘ線管のＸ線焦点Ｆから発生し被検体を透過したＸ線ビームを２次元検出するＸ線検出器と、検出された被検体の透過画像を表示する表示手段とを少なくとも備えるＸ線透視検査装置であって、被検体とＸ線ビームを透過方向に相対移動させる拡大率変更手段と、被検体とＸ線ビームを透過方向に直交する直交方向に相対移動させる移動手段と、拡大率変更手段を透過方向に移動させて任意拡大率を設定し、この拡大率で表示される表示手段の画面上で、指標を第１任意点から第２任意点に移動させ、この指標の移動距離に基づき算出される移動速さで、且つ、この指標の移動方向に移動手段を相対移動させる制御部とを備えることを要旨とする。

本発明にあっては、マウスを用いてカーソルをドラッグして、ドラッグに関連した速さで視野移動させるので、透過画像を観察しながら視野移動させる時など、（カーソルはほとんど見なくて済むので）視線を透過画像から離さずに、速さの変更や方向転換を操作性よく行なうことができる。

請求項３記載の本発明に係るＸ線透視検査装置は、請求項２に記載のＸ線透視検査装置において、前記制御部は、前記指標の移動距離に基づくと共に、前記拡大率変更手段で設定された任意拡大率で表示された被検体の視野の大きさに基づき算出される移動速さで前記移動手段を相対移動させることを要旨とする。

本発明にあっては、請求項１及び請求項２の効果を合わせもった効果を得ることができる。

請求項４記載の本発明に係るＸ線透視検査装置は、請求項２及び３記載のＸ線透視検査装置において、制御部は、表示手段に表示された透過画像上で指標が移動されると、前記移動手段を相対移動させることを要旨とする。

本発明にあっては、表示手段の画面上の更に限定された領域である透過画像の上でドラッグを行なうことで、（透過画像とドラッグが重なるので）操作性を更によくすることができる。

請求項５記載の本発明に係るＸ線透視検査装置は、請求項１乃至４記載のＸ線透視検査装置において、制御部は、表示手段に表示された透過画像上で指標がダブルクリックされると、このダブルクリックされた位置がこの透過画像の中央に移動するように移動手段を相対移動させることを要旨とする。

本発明にあっては、ダブルクリックするだけでクリック位置が透過画像の中央にくるよう視野移動ができる。また、ダブルクリックを用いることでドラッグと区別できるので、２つの移動機能をモード切替えなしで混在できる。ダブルクリックによる移動は（ドラッグによる移動よりも）透過画像内での視野移動に便利であり、他方、ドラッグによる移動は（ダブルクリックによる移動ではできない）透過画像の外にまで及ぶ視野移動に使えることから、使い分けにより操作性をより向上させることができる。

以上説明したように本発明によれば、視野の大きさを変更して視野移動をさせたときに、観察している透過画像の視野の大きさに関連させた速さに自動的に設定して視野移動を行うことができる。これにより視野の移動を操作性よく行なうことができるＸ線透視検査装置を提供することができる。

以下、本発明を適用した実施の形態について図面を用いて説明する。

[第１の実施の形態]
図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の概略構成図である。図１（ｂ）は、被検体４を側面から見た側面図であり、図１（ｃ）は、被検体４を上面（Ｚ方向）から見た上面図である。

本発明のＸ線透視検査装置は、Ｘ線管１と、このＸ線管１のＸ線焦点Ｆから発生し被検体４を透過したＸ線ビーム２を２次元検出するＸ線検出器３と、検出された被検体４の透過画像１４を表示する表示部１０と、被検体４が載置された試料テーブル５をＸ線ビーム２の透過方向に移動させる拡大率変更手段（昇降機構）８と、試料テーブル５をＸ線ビーム２の透過方向に直交する直交方向に移動させる移動手段（ＸＹ機構）７と、ＸＹ機構７及び昇降機構８の移動制御を行う制御部９と、外部入力装置であるマウス１１とキーボード１２を少なくとも備え、制御部９は、昇降指令に基づき昇降機構８をＸ線ビーム２の透過方向に移動させる拡大率制御部９ａと、昇降により設定された拡大率に基づく移動速度でＸＹ機構７を移動させる視野移動制御部９ｂとを備えている。

ここで被検体４（電子部品が実装された基板等）は、試料テーブル５上に載置されＸ線ビーム２中に位置決めされる。ＸＹ機構７は、被検体４を、テーブル５ごとＸ線ビーム２の照射方向に対して直行する方向に移動させ、Ｘ線検出器３に投影される被検体４の透過像を視野移動（スクロール）させる。すなわち、被検体４の位置を移動させることで、表示部１０に表示される透過画像１４の視野６を移動させる。Ｘ線ビーム２が照射される被検体４の照射エリアを、以下、単に視野６と呼ぶ。

ここで試料テーブル５とＸＹ機構７は、昇降機構８でＸ線ビーム２の照射方向（Ｚ方向）に移動され、撮影距離ＦＯＤ（Focus to Object Distance）が変更される。またＸ線検出器３も昇降機構８で移動され、ＦＤＤ（Focus to Detector Distance）が変更される。このＦＯＤとＦＤＤの変更により被検体４の撮影倍率（拡大率）＝ＦＤＤ／ＦＯＤが変更される。

Ｘ線検出器３は、Ｘ線Ｉ．Ｉ．とテレビカメラの組み合わせか、若しくはＸ線フラットパネルセンサを用いる。Ｘ線検出器３で検出された画像データは、制御部９に送信され、デジタル画像に変換された後、画像処理される。画像処理後の透過画像１４あるいは未処理のライブ画像（リアルタイム透過画像）は、表示部１０に表示される。またこの制御部９には、マウス１１とキーボード１２が接続されている。

制御部９は、通常のパーソナルコンピュータであり、ＣＰＵ、メモリ、ディスク、インターフェース等で構成され、内蔵される不揮発性メモリには各種ソフトウエアが記憶されている。操作者は、表示部１０に表示される手続指示命令に従い、マウス１１とキーボード１２を用いて、Ｘ線条件設定、Ｘ線のＯＮ／ＯＦＦ、機構部手動操作、透過画像の観察、記録、画像処理などを行なう。

制御部９からの指令でＸＹ機構７と昇降機構８が制御され、同指令によりＸ線制御部（図示せず）によりＸ線管１の管電圧、管電流やＸ線ＯＮ／ＯＦＦが制御される。また、制御部９は装置のステータス情報、例えば昇降機構８のＦＤＤ、ＦＯＤの値などを取り込み、表示や演算に用いる。

次に、第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の作用について説明する。
操作者は、被検体４を試料テーブル５に載置し、Ｘ線照射スイッチをＯＮする。次に、表示部１０の画面１３上に表示される透過画像１４（ライブ画像）を観察しながら、制御部９に指令を出して管電圧、管電流、撮影倍率、視野位置などを変更し、適切な撮影倍率に設定する。

視野位置の変更はマウス１１を用いて、カーソル１７をスイッチ１６に当てクリックして行なう。クリックしている間、画面１３上の透過画像１４視野は指定された方向に移動するが、この時の視野移動速度（速さと方向）は、カーソル１７を当てるスイッチ１６のエリアによって変化し、操作者が任意に選択できる。移動速さは概略スイッチの中心部１８から離れるエリアほど大きく設定されている。

制御部９の視野移動制御部９ｂは、この視野移動の際、スイッチ１６のエリアにより移動速さを変えるとともに、透過画像１４の視野６の大きさ（Ｌ[ｍｍ]）に略比例させて移動速さを変化させる。視野６の大きさに比例することは撮影倍率（＝ＦＤＤ／ＦＯＤ）逆数に比例することであり、ＦＤＤとＦＯＤの値から計算して移動速さを求めることができる。視野移動速さは下記の数式１で表される。
視野移動速さ（ＸＹ移動速さ）Ｖｉ∝（スイッチのエリアに対応する速度Ｖｓ）×（視野の横幅Ｌ[ｍｍ]） ………（数１）
この数式１で視野の横幅Ｌの代わりに縦幅Ｈを用いてもよく、また、対角線長や面積Ｌ×Ｈ、あるいは撮影倍率の逆数ＦＯＤ／ＦＤＤを用いてもよい。
つまり、数式（１）より、ＸＹ機構７をＸ線管１に近づけて検査を行なった場合、画面１３には被検体４の狭い視野６（狭範囲）の透過画像１４が高拡大率で表示されており、このときスイッチ１６をクリックしても、視野６の移動速さは小さい。

一方、ＸＹ機構７をＸ線管１から離して検査を行なった場合、画面１３には被検体４の広い視野６（広範囲）が低拡大率で表示されており、このときスイッチ１６をクリックすると、視野６の移動速さは大きい。

すなわち、同じクリックであっても、拡大率が大きい場合は、視野６の狭さに比例してＸＹ機構７の移動速さが遅くなり、拡大率が小さい場合は、視野６の広さに比例してＸＹ機構７の移動速さが速くなる。

従って、本発明の第１の実施の形態によれば、制御部９は、昇降機構８を適切な検査位置に設定し、この設定距離により決定する被検体４上の照射寸法に比例させて移動速さを算出し、この移動速さでＸＹ機構７を移動させることで、表示部に表示される透過画像の視野移動（スクロール）を画像表示寸法に対して相対的な速さで移動させる（すなわち、画像の幅分スクロールする時間が一定になるようにする）ことができる。これにより視野の大きさを変化させても、観察している透過画像の視野の大きさに略比例する速さに自動的に設定されて視野移動を行なうことができるので、（クリック位置が同じなら）画面上での視野移動速さが略同じになり、視野の移動を操作性よく行なうことができる。

（第１の実施の形態の変形）
第１の実施の形態では、ＦＯＤとして、Ｘ線焦点Ｆと試料テーブル５の上面との距離を採用しているが、被検体の厚みが予め知られている場合は、Ｘ線焦点Ｆと被検体４の中心までの距離としてもよい。つまり、視野寸法Ｌの基準を被検体の最下部にする代わりに中心にしてもよい。

また、第１の実施の形態では、視野移動速さを、視野の大きさに比例させていたが、必ずしも比例でなくても、視野が大きくなるにつれ速さが大きくなりさえすれば（下降がなければ）効果を得ることができる。例えば、階段状に移動速さを上げたり、比例より強めに移動速さを上げるようにしてもよい。

また、第１の実施の形態では、撮影倍率に幾何倍率（ＦＤＤ／ＦＯＤ）のみを考慮しているが、電気系での拡大率Ｅを含めるようにしてもよい。（例えばＸ線検出器３のＸ線Ｉ．Ｉ．では内部電極の電圧変更でＥを切換えることができるので、このような構成の場合に適用可能である。）
この場合は、撮影倍率＝ＦＤＤ×Ｅ／ＦＯＤとなり、これより数式（１）を使用して、移動速さを計算することができる。

また、第１の実施の形態及び変形例では、スイッチ１ｂがクリックされている間、求めた速さＶｉで視野移動を続けるが、１クリック１ステップ移動としてもよい。この場合は１回クリックされる毎に、移動速さＶｉに比例したステップ移動量で視野移動を行なう。これは、第１の実施の形態と同様の効果があり、視野移動を操作性よく行なうことができる。

尚、第１の実施の形態においては、被検体４をＸＹ移動させているが、視野移動は被検体４を移動させる代わりに、Ｘ線管１とＸ線検出器３を移動させるようにしてもよい。また拡大率変更も、被検体４を昇降させる代わりに、Ｘ線管１を昇降させるようにしてもよい。

[第２の実施の形態]
図２は、本発明の第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の概略構成図である。

このＸ線透視検査装置は、第１の実施の形態とほぼ同構成を有しているが、表示部１０に表示される画面１３と、表示部１０上で移動させたカーソル１７の移動量（ドラッグ長）を算出し、このドラッグ長に相当する量をＸＹ機構７に出力し、カーソル１７の移動に連動してＸＹ機構７も移動させるドラッグ長制御部９ｄを制御部９に備えることを特徴とする。尚、拡大率制御部９ｃは、図１の拡大率制御部９ａと同機能を有するものである。

次に、第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の作用について説明する。
先ず、視野位置の変更はマウス１１を用いて、カーソル１７をドラッグして行なう。すなわち左クリック１１ａを押したままマウス１１を移動させる。例えば、図２の画面１３に示すように、カーソル１７ａから点線のカーソル１７ｂまでドラッグさせると、ドラッグ長制御部９ｄは、ドラッグ線１９の長さに略比例した速度（速さと方向）でこの方向に視野移動させる。ドラッグを終えた時（左クリック１１ａを離した時）、視野移動が停止する。ドラッグを続けながら（左クリック１１ａを押したまま）カーソル１７ｂを動かすと、速度（含方向）を変えながら視野移動を続ける。

ドラッグ長制御部９ｄは、この視野移動の際、第１の実施の形態と同様に、ドラッグ線１９の長さに略比例させて移動速度を変えるとともに、透過画像１４の視野６の大きさに略比例させて移動速さを変化させる。すなわち、視野移動速さは下記の数式２で示されるように、
視野移動速さ（ＸＹ移動速さ）∝（ドラッグの長さ）×（視野の横幅Ｌ[ｍｍ]） ………（数２）
で表される。
この数式２で視野の横幅Ｌにかわりに縦幅Ｈ、対角線長、面積Ｌ×Ｈ、撮影倍率の逆数のどれを用いてもよい。

ここで、ドラッグを行なう領域は画面１３上であれば、特に所定領域内に限定されるものではない。しかし他の操作と紛れないようにドラッグ領域を特別設けるようにしてもよい。特に、透過画像１４の領域をドラッグ領域とすると、透過画像１４から眼を離さずに操作することができて好ましい。

従って、第２の実施の形態によれば、マウスを用いてカーソルをドラッグして、ドラッグに略比例した速度で視野移動させるので、透過画像を観察しながら視野移動させる時など、（カーソルはほとんど見なくて済むので）視線を透過画像から離さずに、速さの変更や方向転換を操作性よく行なうことができる。特に、透過画像の上でドラッグを行なうことで、操作性が更によくなる。

また、視野の大きさを変化させても、観察している透過画像の視野の大きさに略比例する速度に自動的に設定されて視野移動が行なわれるので、（ドラッグ長さが同じなら）画面上での視野移動速さが略同じになり、視野の移動を操作性よく行なうことができる。

（第２の実施の形態の変形）
第２の実施の形態では、ドラッグの方向に視野を移動させたので、画像上ではドラッグの方向と逆方向に透過画像が移動し（流れ）たが、逆に、ドラッグ方向に透過画像が移動する（流れる）ようにしてもよい。

また第２の実施の形態では、視野移動速さをドラッグの大きさに比例させているが、必ずしも比例である必要はなく、ドラッグが大きくなるにつれ速さが大きくなりさえすれば（下降がなければ）、第２の実施の形態と同様の効果を得ることができる。例えば、階段状に移動速さを上げたり、比例より強めに移動速さを上げたりしてもよい。
また更に、第２の実施の形態に次の機能を追加するようにしてもよい。

図３は、本発明の第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の追加機能説明図である。
例えば図３に示すように、マウス１１でカーソル１７を透過画像１４の注目位置に動かし、ここでダブルクリック（左クリックを２度押す）する。制御部９のカーソル位置読取部９ｅは、画面１３上のダブルクリックされた位置の画面上の座標（ｉ，ｊ）を読み取る。これとは別に、画素サイズ算出部９ｆは、画素サイズを下記の数式３より算出する。
Ｌｇ（ｍｍ／画素）＝Ｌ（ｍｍ）／Ｎ（画素） ・・・（数３）
ここで、Ｌは視野の大きさであり、Ｎは画素数を指している。

そして、移動量算出部９ｇは、クリックされた位置の座標（ｉ，ｊ）と、透過画像中央の画面上の座標（ｉ₀，ｊ₀）との差分Δｉ、Δｊを求め、下記の数式４より、実空間での移動量ΔＸ，ΔＹを算出する。
ΔＸ＝Ｌｇ×Δｉ
ΔＹ＝Ｌｇ×Δｊ ・・・（数４）
この移動量ΔＸ，ΔＹでＸＹ機構７を移動させることで、クリックした位置が視野の中心になるよう視野移動させることができる。このようにダブルクリックを用いることで、ドラッグの操作と区別でき、二つの機能を（モード切替なしで）混在することができる。

また、このダブルクリックによる移動は透過画像１４内での視野移動に便利であり、他方、ドラッグによる移動は透過画像１４の外にまで及ぶ視野移動に便利であり、使い分けて操作性をよりよくすることができる。

その他、第１の実施の形態の場合と同様の変形が可能である。
例えば、ＦＯＤとして、Ｘ線焦点Ｆと試料テーブル５の上面との距離を採用しているが、被検体の厚みが予め知られている場合は、Ｘ線焦点Ｆと被検体の中心までの距離としてもよい。つまり、被検体４の最もＸ線管に近い（最も高拡大率の）部分を視野寸法Ｌの基準にする代わりに、平均的な部分を基準としてもよい。

また、第２の実施の形態では、視野移動速さを、視野の大きさに比例させているが、必ずしも比例でなくても、視野が大きくなるにつれ速さが大きくなりさえすれば（下降がなければ）効果を得ることができる。例えば、階段状に移動速さを上げたり、比例より強めに移動速さを上げるようにしてもよい。

また、第２の実施の形態では、撮影倍率に幾何倍率（ＦＤＤ／ＦＯＤ）のみを考慮しているが電気系での拡大率Ｅを含めて考えるようにしてもよい。（例えばＸ線検出器のＸ線Ｉ．Ｉ．では内部電極の電圧変更でＥを切換えることができるため、このような場合に適用可能である。）
この場合は、撮影倍率＝ＦＤＤ・Ｅ／ＦＯＤとなり、これより数式１を使用して、移動速度を計算することができる。

尚、第２の実施の形態においては、被検体４を移動させているが、視野移動は被検体４を移動させる代わりに、Ｘ線管１とＸ線検出器３を移動させるようにしてもよい。また拡大率変更も、被検体４を昇降させる代わりに、Ｘ線管１を昇降させるようにしてもよい。

本発明の第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の概略構成図である。 本発明の第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の概略構成図である。 本発明の第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の追加機能説明図である。 従来のＸ線透視検査装置の概略構成図である。

符号の説明

１…Ｘ線管
２…Ｘ線ビーム
３…Ｘ線検出器
４…被検体
５…試料テーブル
６…視野
７…ＸＹ機構
８…昇降機構
９…制御部
９ａ…拡大率制御部
９ｂ…視野移動制御部
９ｃ…拡大率制御部
９ｄ…ドラッグ長制御部
９ｅ…カーソル位置読取部
１０…表示部
１１…マウス
１１ａ…左クリック
１２…キーボード
１３…画面
１４…透過画像
１６…スイッチ
１７…カーソル
１７ａ…カーソル
１７ｂ…カーソル
１８…中心部
１９…ドラッグ線

Claims (5)

1. Ｘ線管と、前記Ｘ線管のＸ線焦点Ｆから発生し被検体を透過したＸ線ビームを２次元検出するＸ線検出器と、検出された被検体の透過画像を表示する表示手段とを少なくとも備えるＸ線透視検査装置であって、
   前記被検体とＸ線ビームを透過方向に相対移動させる拡大率変更手段と、
   前記被検体と前記Ｘ線ビームを透過方向に直交する直交方向に相対移動させる移動手段と、
   前記表示手段に表示された透過画像の視野を移動させる視野移動指令を受け、前記拡大率変更手段を透過方向に相対移動させて拡大率を設定し、該拡大率で表示される被検体の視野の大きさに基づき算出される移動速さで前記移動手段を直交方向に相対移動させる制御部と、
   を備えることを特徴とするＸ線透視検査装置。
2. Ｘ線管と、前記Ｘ線管のＸ線焦点Ｆから発生し被検体を透過したＸ線ビームを２次元検出するＸ線検出器と、検出された被検体の透過画像を表示する表示手段とを少なくとも備えるＸ線透視検査装置であって、
   前記被検体とＸ線ビームを透過方向に相対移動させる拡大率変更手段と、
   前記被検体と前記Ｘ線ビームを透過方向に直交する直交方向に相対移動させる移動手段と、
   前記拡大率変更手段を透過方向に相対移動させて任意拡大率を設定し、該拡大率で表示される前記表示手段の画面上で、指標を第１任意点から第２任意点に移動させ、該指標の移動距離に基づき算出される移動速さで、且つ、該指標の移動方向に前記移動手段を相対移動させる制御部と、
   を備えることを特徴とするＸ線透視検査装置。
3. 前記制御部は、
   前記指標の移動距離に基づくと共に、前記拡大率変更手段で設定された任意拡大率で表示された被検体の視野の大きさに基づき算出される移動速さで前記移動手段を相対移動させることを特徴とする請求項２に記載のＸ線透視検査装置。
4. 前記制御部は、
   前記表示手段に表示された透過画像上で指標が移動されると、前記移動手段を相対移動させることを特徴とする請求項２又は３に記載のＸ線透視検査装置。
5. 前記制御部は、
   前記表示手段に表示された透過画像上で指標がダブルクリックされると、該ダブルクリックされた位置が該透過画像の中央に移動するように前記移動手段を相対移動させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のＸ線透視検査装置。

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