JP4282083B2 - マイクロクラック検査方法及び装置 - Google Patents

Description

本発明は、主として弾性体表面上に導体部が所定のパターンで配設されて成るゴムコネクタ等の検査対象物における導体部に生じるマイクロクラックを検査するためのマイクロクラック検査方法及び装置に関する。

従来、一般的な導体部を有する検査対象物のマイクロクラックを検査するための周知技術としては、例えば太陽電池製造時において、内部割れのある太陽電池を選別するために太陽電池セル自体を強制的に湾曲させ、マイクロクラックが生じている場合に生じる振動波（アコースティクエミッションと呼ばれる）を検知するようにした太陽電池の内部割れ検査方法およびその検査装置（特許文献１参照）が挙げられる。

この特許文献１に係る検査対象物（ワーク）となる太陽電池セルは、開示されているように押し込み棒等を用いて隅部を押し込めば或る程度撓ませることが可能であるものの、太陽電池セル自体は弾性を持つものではないため、ゴムコネクタ等の弾性を持つ検査対象物に適用することは困難である。このため、ゴムコネクタ等を検査する場合には、別途検査基板等を当てて行う必要がある。

図１０は、検査対象物としてゴム製のコネクタ１１における導体部１１ａに生じるマイクロクラックを検査する場合の一例（文献公知に係る発明でないが、一般的に実施されている周知な手法）を示した概略斜視図であり、同図（ａ）はコネクタ１１の外観構成に関するもの，同図（ｂ）はプローブ板２，３によるコネクタ１１に対する押圧の様子を示した外観構成に関するものである。

ここでは、図１０（ａ）を参照すれば、コネクタ１１として、棒状のゴム基材に対してその外径よりも局所が突出するように所定の間隔で断面カマボコ状の略凸部を形成した弾性体１１ａにおける略凸部の平坦面を除く表面にそれぞれ帯状に導体部１１ａを配設した構造のものを用い、図１０（ｂ）に示されるように、一方のプローブ板３上にコネクタ１１の一端側を載せ、コネクタ１１における導体部１１ａの一端側に対してプローブ板３の図示されない端子が接触されるようにし、更に他方のプローブ板２によりコネクタ１１の他端側を押圧し、プローブ板２の図示されない端子がコネクタ１１における導体部１１ａの他端側に対して押圧接触される状態とすること、即ち、プローブ板２，３の端子がそれぞれコネクタ１１の導体部１１ａを対向する鉛直方向で挟み込む押圧接触状態とした上、プローブ板２，３の端子を通電させることによって、導体部１１ａに生じるマイクロクラックを電気検査する様子を示している。

特開２００２−３４３９９２号公報（第３頁、段落［００１３］〜［００１４］）

上述した図１０（ｂ）に示すマイクロクラックの電気検査の場合、一対のプローブ板の端子がそれぞれゴム製のコネクタの導体部を対向する鉛直方向で挟み込む押圧接触状態を得て端子を通電させる手法であり、コネクタの導体部における押圧変形が或る程度の規則性を持つのに対し、導体部に生じるマイクロクラックの形状はまちまちであって、その形状によっては押圧変形時に裂け目が繋がって導電性での検査結果が誤認されてしまうことが起こり得るため、必ずしも精度良く安定して適確にマイクロクラックを検査できないという問題がある。

その他、検査対象物をフレキシブル基板（ＦＰＣ）とした場合には、一般に撮像カメラを用いて導体部を撮像して得た撮像画像を画像処理したものをモニタ表示して検査する画像処理検査が適用されており、こうした画像処理検査についてもゴム製のコネクタの検査に適用することが可能であるが、こうした場合においても同様に、押圧変形時に裂け目が繋がって誤認されてしまうことが起こり得るため、必ずしも精度良く安定して適確にマイクロクラックを検査できないという問題がある。

本発明は、このような問題点を解決すべくなされたもので、その技術的課題は、簡易に精度良く安定して適確に検査対象物の導体部に生じるマイクロクラックを検査し得るマイクロクラック検査方法及び装置を提供することにある。

本発明によれば、所定の形状の弾性体表面上に所定のパターンにより導体部が配設されて成る検査対象物における該導体部に生じるマイクロクラックを検査するためのマイクロクラック検査方法において、検査対象物における弾性体及び導体部を異なる方向から押圧変形させたときの該導体部の表面状態に基づいてマイクロクラックを検査する多方向押圧検査段階を有するマイクロクラック検査方法が得られる。

又、本発明によれば、上記マイクロクラック検査方法において、多方向押圧検査段階は、検査対象物の延在方向に沿って延在する第１の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧段階と、少なくとも導体部のパターンに合致すると共に、該導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有する一対の第２の押圧手段を用いて弾性体及び該導体部を鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する第２の押圧段階と、導体部を通電させた上で第２の押圧段階で変形された該導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を一対の第２の押圧手段における端子から検出してマイクロクラックを検査する電気検出段階とを有するマイクロクラック検査方法が得られる。

更に、本発明によれば、上記マイクロクラック検査方法において、多方向押圧検査段階は、検査対象物の延在方向に沿って延在する透明材料による第１の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧段階と、検査対象物に対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される一対の第２の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する第２の押圧段階と、第２の押圧段階を経て変形された検査対象物における導体部の表面状態を第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、該撮像情報を表示してマイクロクラックを検査する撮像表示段階とを有するマイクロクラック検査方法が得られる。

加えて、本発明によれば、上記マイクロクラック検査方法において、多方向押圧検査段階は、検査対象物の延在方向に沿って延在する透明材料による第１の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧段階と、少なくとも導体部のパターンに合致すると共に、該導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有する一対の第２の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する第２の押圧段階と、導体部を通電させた上で第２の押圧段階で変形された導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を一対の第２の押圧手段における端子から検出してマイクロクラックを検査する電気検出段階と、第２の押圧段階を経て変形された検査対象物における導体部の表面状態を第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、該撮像情報を表示してマイクロクラックを検査する撮像表示段階とを有するマイクロクラック検査方法が得られる。

一方、本発明によれば、所定の形状の弾性体表面上に所定のパターンにより導体部が配設されて成る検査対象物における該導体部に生じるマイクロクラックを検査するためのマイクロクラック検査装置において、検査対象物における弾性体及び導体部を異なる方向から押圧変形させるための可動な多方向押圧手段と、多方向押圧手段による弾性体及び導体部の押圧変形時における該導体部の表面状態情報に基づいてマイクロクラックを検査する検査手段とを備えたマイクロクラック検査装置が得られる。

又、本発明によれば、上記マイクロクラック検査装置において、多方向押圧手段は、検査対象物の延在方向に沿って延在すると共に、弾性体及び導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧手段と、検査対象物に対してそれぞれ対向する方向から押圧接触されると共に、弾性体及び導体部を鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する一対の第２の押圧手段とを備えたマイクロクラック検査装置が得られる。

更に、本発明によれば、上記マイクロクラック検査装置において、一対の第２の押圧手段は、少なくとも導体部のパターンに合致すると共に、該導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有しており、検査手段は、導体部を通電させる通電手段を含むと共に、表面状態情報として第１の押圧手段及び一対の第２の押圧手段により変形された該導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を該一対の第２の押圧手段における端子から検出してマイクロクラックを検査する電気検出手段であるマイクロクラック検査装置が得られる。

加えて、本発明によれば、上記マイクロクラック検査装置において、第１の押圧手段は、透明材料から成り、検査手段は、表面状態情報として第１の押圧手段及び一対の第２の押圧手段により変形された検査対象物における導体部の表面状態を第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、該撮像情報を表示してマイクロクラックを検査する撮像表示手段であるマイクロクラック検査装置が得られる。

又、本発明によれば、上記マイクロクラック検査装置において、第１の押圧手段は、透明材料から成り、一対の第２の押圧手段は、少なくとも導体部のパターンに合致すると共に、該導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有しており、検査手段は、導体部に通電させる通電手段を含むと共に、表面状態情報として第１の押圧手段及び一対の第２の押圧手段により変形された導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を該一対の第２の押圧手段における端子から検出してマイクロクラックを検査する電気検出手段、並びに該表面状態情報として該第１の押圧手段及び該一対の第２の押圧手段により変形された検査対象物における導体部の表面状態を第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、該撮像情報を表示してマイクロクラックを検査する撮像表示手段であるマイクロクラック検査装置が得られる。

本発明によれば、検査対象物における弾性体表面上の導体部に生じるマイクロクラックを検査する際、弾性体及び導体部を異なる方向から押圧変形させたときの導体部の表面状態に基づいて検査するため、周知の対向する方向のみで押圧変形させる場合とは異なり、マイクロクラックが微小部分で繋がることはあっても、全体的には強調されて露呈される傾向となるため、簡易に精度良く安定して適確に検査対象物の導体部に生じるマイクロクラックを検査することができる。

本発明の最良の形態に係るマイクロクラック検査方法は、基本的な技術概要として、所定形状の弾性体表面上に所定のパターンにより導体部が配設されて成る検査対象物における導体部に生じるマイクロクラックを検査する際、検査対象物における弾性体及び導体部を異なる方向から押圧変形させたときの導体部の表面状態に基づいてマイクロクラックを検査する多方向押圧検査段階を有するものである。

その好ましい形態の一例は、多方向押圧検査段階において、検査対象物の延在方向に沿って延在する第１の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧段階と、少なくとも導体部のパターンに合致すると共に、導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有する一対の第２の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する第２の押圧段階と、導体部に通電させた上で第２の押圧段階で変形された導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を一対の第２の押圧手段における端子から検出してマイクロクラックを検査する電気検出段階とを有するようにしたものである。

その好ましい形態の他例は、多方向押圧検査段階において、検査対象物の延在方向に沿って延在する透明材料による第１の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧段階と、検査対象物に対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される一対の第２の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する第２の押圧段階と、第２の押圧段階を経て変形された検査対象物における導体部の表面状態を第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、撮像情報を表示してマイクロクラックを検査する撮像表示段階とを有するようにしたものである。

その好ましい形態の別例は、多方向押圧検査段階において、上記二つの例を併用したものであり、検査対象物の延在方向に沿って延在する透明材料による第１の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧段階と、少なくとも導体部のパターンに合致すると共に、導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有する一対の第２の押圧手段を用いて弾性体及び導体部を鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する第２の押圧段階と、導体部を通電させた上で第２の押圧段階で変形された導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を一対の第２の押圧手段における端子から検出してマイクロクラックを検査する電気検出段階と、第２の押圧段階を経て変形された検査対象物における導体部の表面状態を第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、撮像情報を表示してマイクロクラックを検査する撮像表示段階とを有するようにしたものである。

これらのマイクロクラック検査方法を適用したマイクロクラック検査装置では、所定の形状の弾性体表面上に所定のパターンにより導体部が配設されて成る検査対象物における導体部に生じるマイクロクラックを検査するためのものにおいて、検査対象物における弾性体及び導体部を異なる方向から押圧変形させるための可動な多方向押圧手段と、多方向押圧手段による弾性体及び導体部の押圧変形時における導体部の表面状態情報に基づいてマイクロクラックを検査する検査手段とを備えたものである。

但し、このマイクロクラック検査装置の場合、多方向押圧手段については、検査対象物の延在方向に沿って延在すると共に、弾性体及び導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧手段と、検査対象物に対してそれぞれ対向する方向から押圧接触されると共に、弾性体及び導体部を鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する一対の第２の押圧手段とを備えることを基本とする。

こうした基本構成において、一対の第２の押圧手段については、少なくとも導体部のパターンに合致すると共に、導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有するものとした上、検査手段については、導体部を通電させる通電手段を含むと共に、表面状態情報として第１の押圧手段及び一対の第２の押圧手段により変形された導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を一対の第２の押圧手段における端子から検出してマイクロクラックを検査する電気検出手段であるようにしたり、或いは第１の押圧手段については、透明材料から成るものとした上、検査手段については、表面状態情報として第１の押圧手段及び一対の第２の押圧手段により変形された検査対象物における導体部の表面状態を第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、撮像情報を表示してマイクロクラックを検査する撮像表示手段であるようにしたり、或いはこれらを併合した構成、即ち、第１の押圧手段については、透明材料から成るものとすると共に、一対の第２の押圧手段については、少なくとも導体部のパターンに合致すると共に、導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有するものとした上、検査手段については、導体部に通電させる通電手段を含むと共に、表面状態情報として第１の押圧手段及び一対の第２の押圧手段により変形された導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を一対の第２の押圧手段における端子から検出してマイクロクラックを検査する電気検出手段、並びに表面状態情報として第１の押圧手段及び一対の第２の押圧手段により変形された検査対象物における導体部の表面状態を第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、撮像情報を表示してマイクロクラックを検査する撮像表示手段であるようにすることが好適となる。

以下は、幾つかの実施例を挙げ、本発明の磁力コネクタについて、図面を参照して具体的な説明する。

図１は、本発明の実施例１に係るマイクロクラック検査装置における検査前期工程を工程順に従って示した模式図であり、同図（ａ）は対向するプローブ板２，３間にゴム製のコネクタ１を配置した状態の平面図に関するもの，同図（ｂ）は同図（ａ）の状態におけるコネクタ１上に押込みツール５を配置した状態の平面図に関するもの，同図（ｃ）は同図（ｂ）の状態における側面図に関するもの，同図（ｄ）はコネクタ１を押込みツール５により押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。

この実施例１に係るマイクロクラック検査装置は、長さ方向に対して垂直な面方向での断面形状が略カマボコ状の弾性体１ｂ表面上に対し、長さ方向で所定の間隔を成して互いに平行となり、且つ長さ方向と垂直な幅方向に帯状に延在するように所定数（図示するものでは５本）の導体部１ａが底面側の平坦面を除いて配設されて成る検査対象物であるゴム製のコネクタ１における導体部１ａに生じるマイクロクラックを検査するためのもので、コネクタ１における弾性体１ｂ及び導体部１ａを異なる方向から押圧変形させるための可動な多方向押圧手段と、この多方向押圧手段による弾性体１ｂ及び導体部１ａの押圧変形時における導体部１ａの表面状態情報に基づいてマイクロクラックを検査する検査手段とを備えている。

但し、ここでの多方向押圧手段は、コネクタ１の延在方向に沿って延在すると共に、弾性体１ｂ及び導体部１ａを鉛直方向に押圧する第１の押圧手段としての押込みツール５と、コネクタ１に対してそれぞれ対向する方向から押圧接触されると共に、弾性体１ｂ及び導体部１ａを鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する一対の第２の押圧手段としてのプローブ板２，３とを備え成る。又、プローブ板２，３は、少なくとも導体部１ａのパターンに合致すると共に、導体部１ａのパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子２ａ，３ａを有している。更に、検査手段については、導体部１ａを通電させる通電手段を含むと共に、表面状態情報として押込みツール５及びプローブ板２，３により変形された導体部１ａにおける電気出力値の変化を示すパラメータ情報をプローブ板２，３における端子２ａ，３ａから検出してマイクロクラックを検査する電気検出手段となっている。

即ち、このマイクロクラック検査装置では、検査前期工程として、例えば図１（ａ）に示されるようにプローブ板２，３の間にコネクタ１を配置すると共に、図１（ｂ）及び図１（ｃ）に示されるようにコネクタ１上に押込みツール５を配置した状態を検査前の準備段階とした後、図１（ｄ）に示されるように押込みツール５によりコネクタ１を鉛直方向真上から押し込んで弾性変形させる。

図２は、本発明の実施例１に係るマイクロクラック検査装置における検査後期工程を工程順に従って示した模式図であり、同図（ａ）は図１（ｄ）の状態から対向するプローブ板２，３によりコネクタ１を挟み込んで押圧した状態の平面図に関するもの，同図（ｂ）は同図（ａ）の状態における押込みツール５を省図してプローブ板２，３の端子２ａ，３ａに通電した状態の平面図に関するもの，図図（ｃ）は同図（ａ）の状態における側面図に関するもの，図図（ｄ）は同図 （ｂ）の状態における側面図に関するものである。

検査後期工程では、図２（ａ）及び図２（ｃ）に示されるようにプローブ板２，３間でコネクタ１を挟み込むように押圧し、プローブ板２，３の端子２ａ，３ａがコネクタ１における導体部１ａにそれぞれ接触され、この状態で図２（ｂ）及び図２（ｄ）に示されるようにプローブ板２，３の端子２ａ，３ａに通電させて導通不良（導通性）を調べることにより導体部１ａに生じるマイクロクラックを電気検査する。ここでの通電手段は、合わせて通電不良を認知できる機能を持つもので、電気検出手段として働く。

この実施例１に係るマイクロクラック検査装置の場合、検査対象物としてのゴム製のコネクタ１については、弾性体１ｂ表面上の中央に位置される導体部１ａにマイクロクラック４が発生していることを想定しているが、電気検査に先立って導体部１ａ及び弾性体１ｂが押込みツール５により鉛直方向に押圧されて弾性変形されると共に、プローブ板２，３の間に挟まれて水平方向にも押圧されること、即ち、異なる方向で押圧されて弾性変形されているため、仮にマイクロクラック４の形状が水平方向の押圧により塞がれる可能性がある場合でも、コネクタ１自体は押込みツール５により水平方向とは異なる鉛直方向にも押圧されて弾性変形状態を保持しているため、結果としてマイクロクラック４が微小部分で繋がることはあっても、全体的には強調されて露呈される傾向となり、マイクロクラック４が繋がる可能性が極めて低いものとなる。又、この関係が反対な場合、即ち、マイクロクラック４の形状が鉛直方向の押圧で塞がれる可能性がある場合でも、コネクタ１自体はプローブ板２，３により鉛直方向とは異なる水平方向にも押圧されて弾性変形状態を保持しているため、同様に結果としてマイクロクラック４が繋がる可能性が極めて低いものとなる。

従って、この実施例１に係るマイクロクラック検査装置の場合、コネクタ１の導体部１ａに生じたマイクロクラック４の形状が所定の方向の押圧により繋がり易いものであっても、押込みツール５及びプローブ板２，３による多方向押圧機能と、プローブ板２，３における端子２ａ，３ａを導体部１ａへ通電させての電気検査機能とが協働することにより、マイクロクラック４の繋がり発生が防止された上、簡易に精度良く安定して適確にコネクタ１の導体部１ａに生じるマイクロクラック４を検査することができる。

ところで、このマイクロクラック検査装置においては、押込みツール５が垂直方向に可動であり、プローブ板２，３が水平方向に可動なものであるが、こうした機械機構は周知技術を適用することで容易に構成することができる。

図３は、この実施例１に係るマイクロクラック検査装置の基本構成部分を機械機構に組み付けた場合の要部構造を一部透視して例示した部分拡大図である。

この機械機構では、水平方向に可動なプローブ取り付け可動部７，８の対向する端面側の所定箇所にプローブ板２，３を露呈させるように取り付けられるようになっており、鉛直方向に可動なツール取り付け可動部９の先端下側には押込みツール５を露呈させるように取り付けられるようになっている。又、検査対象物（ワーク）としてのコネクタ１を載置させるための鉛直方向に可動な検査台６は、先端上側の端面（ワーク載置面）の中央部分にコネクタ１の弾性変形部分を受け入れるための凹み部が形成され、コネクタ１の平坦な底面が凹み部の周辺部分に載置されるようになっている。

図４は、本発明の実施例２に係るマイクロクラック検査装置における画像処理検査前期工程を工程順に従って示した模式図であり、同図（ａ）は対向するプローブ板２０，３０間にゴム製のコネクタ１を配置した状態の平面図に関するもの，同図（ｂ）は同図（ａ）の状態におけるコネクタ１上に押込みツール５０を配置した状態の平面図に関するもの，同図（ｃ）は同図（ｂ）の状態における側面図に関するもの，同図（ｄ）はコネクタ１を押込みツール５０により押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。

この実施例２に係るマイクロクラック検査装置の場合、先の実施例１に係るものと比べ、プローブ板２０，３０が端子を持たないものであり、光学的な特性を問わない（不透明であって良い）材質の押込みツール５に代えて特に透明板として光学的に透過撮像可能な材質の押込みツール５０とした以外は、同様な構成であるので、細部の説明は省略する。

このマイクロクラック検査装置では、検査前期工程として、例えば図４（ａ）に示されるようにプローブ板２０，３０の間にコネクタ１を配置すると共に、図４（ｂ）及び図４（ｃ）に示されるようにコネクタ１上に押込みツール５０を配置した状態を検査前の準備段階とした後、図４（ｄ）に示されるように押込みツール５０によりコネクタ１を鉛直方向真上から押し込んで弾性変形させる。

図５は、本発明の実施例２に係るマイクロクラック検査装置における画像処理検査後期工程を工程順に従って示した模式図であり、同図（ａ）は図４（ｄ）の状態から対向するプローブ板２０，３０によりコネクタ１を挟み込んで押圧した状態の平面図に関するもの，同図（ｂ）は同図（ａ）の状態における押込みツール５０を省図した状態の平面図に関するもの，図図（ｃ）は同図（ａ）の状態における側面図に関するもの，図図（ｄ）は同図（ｃ）の状態で真上に設置された撮像カメラ１０を含む側面図に関するものである。

検査後期工程では、図５（ａ）〜（ｃ）に示されるようにプローブ板２０，３０間でコネクタ１を挟み込むように押圧し、この状態で図５（ｄ）に示されるように撮像カメラ１０で導体部１ａを撮像して図示されない画像処理装置において画像処理して得られる画像処理情報を図示されないモニタ上に表示することにより導体部１ａに生じるマイクロクラック４を画像処理検査する。即ち、ここでの撮像カメラ１０，画像処理装置，モニタは撮像表示手段として機能する。

この実施例２に係るマイクロクラック検査装置の場合においても、実施例１のものと同様に、画像処理検査に先立ってコネクタ１における導体部１ａ及び弾性体１ｂが異なる方向で押圧されて弾性変形されているため、コネクタ１の導体部１ａに生じたマイクロクラック４の形状が所定の方向の押圧により繋がり易いものであっても、押込みツール５０及びプローブ板２０，３０による多方向押圧機能と、この多方向押圧機能により弾性変形された導体部１ａを撮像する撮像カメラ１０による画像処理検査機能とが協働することにより、マイクロクラック４の繋がり発生が防止された上、簡易に精度良く安定して適確にコネクタ１の導体部１ａに生じるマイクロクラック４を検査することができる。

因みに、ここでの撮像カメラ１０を図３で説明した機械機構に適用する場合には、先端下側の押込みツール５とは所定の距離を隔てて配置されるようにツール取り付け可動部９の内部に組み込めば良い。このとき、必要に応じて照明手段を撮像カメラ１０と一緒に組み込むようにしても有効である。

図６は、本発明の実施例３に係るマイクロクラック検査装置における検査前期工程を工程順に従って示した模式図であり、同図（ａ）は対向するプローブ板２，３間にゴム製のコネクタ１を配置した状態の平面図に関するもの，同図（ｂ）は同図（ａ）の状態におけるコネクタ１上に押込みツール５０を配置した状態の平面図に関するもの，同図（ｃ）は同図（ｂ）の状態における側面図に関するもの，同図（ｄ）はコネクタ１を押込みツール５０により押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。

この実施例３に係るマイクロクラック検査装置の場合、先の実施例１に係るものと比べ、光学的な特性を問わない押込みツール５に代えて実施例２で説明した光学的に透明な材質（光透過可能であるもの）による押込みツール５０とした以外は、同様な構成であるので、細部の説明は省略する。

即ち、このマイクロクラック検査装置では、検査前期工程として、例えば図６（ａ）に示されるようにプローブ板２，３の間にコネクタ１を配置すると共に、図６（ｂ）及び図６（ｃ）に示されるようにコネクタ１上に押込みツール５０を配置した状態を検査前の準備段階とした後、図６（ｄ）に示されるように押込みツール５０によりコネクタ１を鉛直方向真上から押し込んで弾性変形させる。

図７は、本発明の実施例３に係るマイクロクラック検査装置における検査後期工程を工程順に従って示した模式図であり、同図（ａ）は図６（ｄ）の状態から対向するプローブ板２，３によりコネクタ１を挟み込んで押圧した状態の平面図に関するもの，同図（ｂ）は同図（ａ）の状態から押込みツール５０を省図してプローブ板２，３の端子２ａ，３ａに通電した状態の平面図に関するもの，同図（ｃ）は同図（ａ）の状態における側面図に関するもの，同図（ｄ）は同図（ｃ）の状態で真上に設置された撮像カメラ１０を含むにおける側面図に関するものである。

検査後期工程では、図７（ａ）及び図７（ｃ）に示されるようにプローブ板２，３間でコネクタ１を挟み込むように押圧し、プローブ板２，３の端子２ａ，３ａがコネクタ１における導体部１ａにそれぞれ接触され、この状態で図７（ｂ）及び図７（ｄ）に示されるようにプローブ板２，３の端子２ａ，３ａに通電させて導通不良（導通性）を調べることにより導体部１ａに生じるマイクロクラックを電気検査すると共に、図７（ｄ）に示されるように撮像カメラ１０で導体部１ａを撮像して図示されない画像処理装置において画像処理した画像処理情報を図示されないモニタ上に表示することにより導体部１ａに生じるマイクロクラック４を画像処理検査する。尚、ここでの通電不良を認知可能な電気検出手段としての通電手段において得られる通電不良の有無の結果は、モニタ上に表示させることも可能である。

従って、この実施例３に係るマイクロクラック検査装置の場合、先の実施例１及び実施例２のものを組み合わせたものであり、電気検査及び画像処理検査に先立ってコネクタ１における導体部１ａ及び弾性体１ｂが異なる方向で押圧されて弾性変形されているため、コネクタ１の導体部１ａに生じたマイクロクラック４の形状が所定の方向の押圧により繋がり易いものであっても、押込みツール５０及びプローブ板２，３による多方向押圧機能と、プローブ板２，３における端子２ａ，３ａを導体部１ａへ通電させての電気検査機能、並びに多方向押圧機能により弾性変形された導体部１ａを撮像する撮像カメラ１０による画像処理検査機能とが協働することにより、マイクロクラック４の繋がり発生が防止された上、簡易に精度良く一層安定して適確にコネクタ１の導体部１ａに生じるマイクロクラック４を検査することができる。

ところで、上述した実施例１〜実施例３の何れのマイクロクラック検査装置が備える押込みツール５，５０についても、コネクタ１の延在方向と垂直な面方向の断面形状が鉛直方向でコネクタ１と対向する側の先端部分を含んで略馬蹄形である場合を例示したが、この断面形状自体は略凸状であればその他の形態に任意に変更することが可能である。

図８は、実施例２のマイクロクラック検査装置における押込みツール５０について、断面形状を変更した一例として逆三角形の押込みツール５０′を示したもので、同図（ａ）は対向するプローブ板２０，３０によりコネクタ１を挟み込んで押圧した状態の側面図に関するもの，同図（ｂ）は同図（ａ）の状態からコネクタ１を押込みツール５０′により押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。

この押込みツール５０′は、断面形状が逆三角形で先端が尖っていることにより、略馬蹄形の場合よりもコネクタ１を局部的に鋭利に弾性変形させることができるので、マイクロクラック４がコネクタ１の中心付近で狭い範囲で生じている可能性がある場合の検査時に用いるのが有効である。

図９は、実施例２のマイクロクラック検査装置における押込みツール５０について、断面形状を変更した他例として逆さ台形の押込みツール５０″を示したもので、同図（ａ）は対向するプローブ板２０，３０によりコネクタ１を挟み込んで押圧した状態の側面図に関するもの，同図（ｂ）は同図（ａ）の状態からコネクタ１を押込みツール５０″により押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。

この押込みツール５０″は、断面形状が逆さ台形で角部分がコネクタ１の両側方向（幅方向）へに隔たって位置されているため、マイクロクラック４がコネクタ１の中心付近よりもやや隔たった周囲部分で生じている可能性がある場合の検査時に用いるのが有効である。

尚、各実施例では、押込みツール５，５０でコネクタ１を鉛直方向で押し込んだ後、対向するプローブ板２０，３０によりコネクタ１を挟み込むように押圧する手順を説明したが、この関係は反対であっても良い（図８や図９で説明した押込みツール５０′，５０″の場合も同様）。又、押込みツール５，５０，５０′，５０″の先端部分を略凸状としたことにより、検査対象物であるコネクタ１についても、各実施例中では鉛直方向で押込みツール５，５０，５０′，５０″と対向する側の先端部分を含んで略カマボコ状である場合を例示したが、延在方向と垂直な面方向の断面形状はその他の略凸状であっても良い。

本発明の実施例１に係るマイクロクラック検査装置における検査前期工程を工程順に従って示した模式図であり、（ａ）は対向するプローブ板間にゴム製のコネクタを配置した状態の平面図に関するもの，（ｂ）は（ａ）の状態におけるコネクタ上に押込みツールを配置した状態の平面図に関するもの，（ｃ）は（ｂ）の状態における側面図に関するもの，（ｄ）はコネクタを押込みツールにより押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。 本発明の実施例１に係るマイクロクラック検査装置における検査後期工程を工程順に従って示した模式図であり、（ａ）は図１（ｄ）の状態から対向するプローブ板によりコネクタを挟み込んで押圧した状態の平面図に関するもの，（ｂ）は（ａ）の状態における押込みツールを省図してプローブ板の端子に通電した状態の平面図に関するもの，（ｃ）は（ａ）の状態における側面図に関するもの，（ｄ）は（ｂ）の状態における側面図に関するものである。 図１（ａ）〜（ｄ）及び図２（ａ）〜（ｄ）に示すマイクロクラック検査装置の基本構成部分を機械機構に組み付けた場合の要部構造を一部透視して例示した部分拡大図である。 本発明の実施例２に係るマイクロクラック検査装置における検査前期工程を工程順に従って示した模式図であり、（ａ）は対向するプローブ板間にゴム製のコネクタを配置した状態の平面図に関するもの，（ｂ）は（ａ）の状態におけるコネクタ上に押込みツールを配置した状態の平面図に関するもの，（ｃ）は（ｂ）の状態における側面図に関するもの，（ｄ）はコネクタを押込みツールにより押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。 本発明の実施例２に係るマイクロクラック検査装置における検査後期工程を工程順に従って示した模式図であり、（ａ）は図４（ｄ）の状態から対向するプローブ板によりコネクタを挟み込んで押圧した状態の平面図に関するもの，（ｂ）は（ａ）の状態における押込みツールを省図した状態の平面図に関するもの，（ｃ）は（ａ）の状態における側面図に関するもの，（ｄ）は（ｃ）の状態で真上に撮像カメラを設置した状態の側面図に関するものである。 本発明の実施例３に係るマイクロクラック検査装置における検査前期工程を工程順に従って示した模式図であり、（ａ）は対向するプローブ板間にゴム製のコネクタを配置した状態の平面図に関するもの，（ｂ）は（ａ）の状態におけるコネクタ上に押込みツールを配置した状態の平面図に関するもの，（ｃ）は（ｂ）の状態における側面図に関するもの，（ｄ）はコネクタを押込みツールにより押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。 本発明の実施例３に係るマイクロクラック検査装置における検査後期工程を工程順に従って示した模式図であり、（ａ）は図６（ｄ）の状態から対向するプローブ板によりコネクタを挟み込んで押圧した状態の平面図に関するもの，（ｂ）は（ａ）の状態における押込みツールを省図してプローブ板の端子に通電した状態の平面図に関するもの，（ｃ）は（ａ）の状態における側面図に関するもの，（ｄ）は（ｃ）の状態で真上に撮像カメラを設置した状態の側面図に関するものである。 実施例２のマイクロクラック検査装置における押込みツールの断面形状を変更した一例を示したもので、（ａ）は対向するプローブ板によりコネクタを挟み込んで押圧した状態の側面図に関するもの，（ｂ）は（ａ）の状態からコネクタを押込みツールにより押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。 実施例２のマイクロクラック検査装置における押込みツールの断面形状を変更した他例を示したもので、（ａ）は対向するプローブ板によりコネクタを挟み込んで押圧した状態の側面図に関するもの，（ｂ）は（ａ）の状態からコネクタを押込みツールにより押し込んで弾性変形させた状態における側面図に関するものである。 周知の検査対象物としてゴム製のコネクタにおける導体部に生じるマイクロクラックを検査する場合の一例を示した概略斜視図であり、（ａ）はコネクタの外観構成に関するもの，同図（ｂ）はプローブ板によるコネクタに対する押圧の様子を示した外観構成に関するものである。

符号の説明

１，１１ コネクタ
１ａ，１１ａ 導体部
１ｂ，１１ｂ 弾性体
２，３，２０，３０ プローブ板
２ａ，３ａ 端子
４ マイクロクラック
５，５０，５０′，５０″ 押し込みツール
６ 検査台
７，８ プローブ取り付け可動部
９ ツール取り付け可動部
１０ 撮像カメラ

Claims (9)

1. 所定の形状の弾性体表面上に所定のパターンにより導体部が配設されて成る検査対象物における該導体部に生じるマイクロクラックを検査するためのマイクロクラック検査方法において、前記検査対象物における前記弾性体及び前記導体部を異なる方向から押圧変形させたときの該導体部の表面状態に基づいて前記マイクロクラックを検査する多方向押圧検査段階を有することを特徴とするマイクロクラック検査方法。
2. 請求項１記載のマイクロクラック検査方法において、前記多方向押圧検査段階は、前記検査対象物の延在方向に沿って延在する第１の押圧手段を用いて前記弾性体及び前記導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧段階と、少なくとも前記導体部のパターンに合致すると共に、該導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有する一対の第２の押圧手段を用いて前記弾性体及び該導体部を前記鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する第２の押圧段階と、前記導体部を通電させた上で前記第２の押圧段階で変形された該導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を前記一対の第２の押圧手段における前記端子から検出して前記マイクロクラックを検査する電気検出段階とを有することを特徴とするマイクロクラック検査方法。
3. 請求項１記載のマイクロクラック検査方法において、前記多方向押圧検査段階は、前記検査対象物の延在方向に沿って延在する透明材料による第１の押圧手段を用いて前記弾性体及び前記導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧段階と、前記検査対象物に対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される一対の第２の押圧手段を用いて前記弾性体及び前記導体部を前記鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する第２の押圧段階と、前記第２の押圧段階を経て変形された前記検査対象物における前記導体部の表面状態を前記第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、該撮像情報を表示して前記マイクロクラックを検査する撮像表示段階とを有することを特徴とするマイクロクラック検査方法。
4. 請求項１記載のマイクロクラック検査方法において、前記多方向押圧検査段階は、前記検査対象物の延在方向に沿って延在する透明材料による第１の押圧手段を用いて前記弾性体及び前記導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧段階と、少なくとも前記導体部のパターンに合致すると共に、該導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有する一対の第２の押圧手段を用いて前記弾性体及び前記導体部を前記鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する第２の押圧段階と、前記導体部を通電させた上で前記第２の押圧段階で変形された前記導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を前記一対の第２の押圧手段における前記端子から検出して前記マイクロクラックを検査する電気検出段階と、前記第２の押圧段階を経て変形された前記検査対象物における前記導体部の表面状態を前記第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、該撮像情報を表示して前記マイクロクラックを検査する撮像表示段階とを有することを特徴とするマイクロクラック検査方法。
5. 所定の形状の弾性体表面上に所定のパターンにより導体部が配設されて成る検査対象物における該導体部に生じるマイクロクラックを検査するためのマイクロクラック検査装置において、前記検査対象物における前記弾性体及び前記導体部を異なる方向から押圧変形させるための可動な多方向押圧手段と、前記多方向押圧手段による前記弾性体及び前記導体部の押圧変形時における該導体部の表面状態情報に基づいて前記マイクロクラックを検査する検査手段とを備えたことを特徴とするマイクロクラック検査装置。
6. 請求項５記載のマイクロクラック検査装置において、前記多方向押圧手段は、前記検査対象物の延在方向に沿って延在すると共に、前記弾性体及び前記導体部を鉛直方向に押圧する第１の押圧手段と、前記検査対象物に対してそれぞれ対向する方向から押圧接触されると共に、前記弾性体及び前記導体部を前記鉛直方向とは垂直な水平方向で挟み込むように押圧する一対の第２の押圧手段とを備えたことを特徴とするマイクロクラック検査装置。
7. 請求項６記載のマイクロクラック検査装置において、前記一対の第２の押圧手段は、少なくとも前記導体部のパターンに合致すると共に、該導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有しており、前記検査手段は、前記導体部を通電させる通電手段を含むと共に、前記表面状態情報として前記第１の押圧手段及び前記一対の第２の押圧手段により変形された該導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を該一対の第２の押圧手段における前記端子から検出して前記マイクロクラックを検査する電気検出手段であることを特徴とするマイクロクラック検査装置。
8. 請求項６記載のマイクロクラック検査装置において、前記第１の押圧手段は、透明材料から成り、前記検査手段は、前記表面状態情報として前記第１の押圧手段及び前記一対の第２の押圧手段により変形された前記検査対象物における前記導体部の表面状態を前記第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、該撮像情報を表示して前記マイクロクラックを検査する撮像表示手段であることを特徴とするマイクロクラック検査装置。
9. 請求項６記載のマイクロクラック検査装置において、前記第１の押圧手段は、透明材料から成り、前記一対の第２の押圧手段は、少なくとも前記導体部のパターンに合致すると共に、該導体部のパターンに対してそれぞれ対向する方向から押圧接触される端子を有しており、前記検査手段は、前記導体部を通電させる通電手段を含むと共に、前記表面状態情報として前記第１の押圧手段及び前記一対の第２の押圧手段により変形された前記導体部における電気出力値の変化を示すパラメータ情報を該一対の第２の押圧手段における前記端子から検出して前記マイクロクラックを検査する電気検出手段、並びに該表面状態情報として該第１の押圧手段及び該一対の第２の押圧手段により変形された前記検査対象物における該導体部の表面状態を該第１の押圧手段を通して光学的に撮像して撮像情報を得ると共に、該撮像情報を表示して該マイクロクラックを検査する撮像表示手段であることを特徴とするマイクロクラック検査装置。
   

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