JP4287938B2 - Mobile device - Google Patents
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- 239000004519 grease Substances 0.000 claims description 105
- 210000002445 nipple Anatomy 0.000 claims description 16
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 claims description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
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- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、移動体を移動せしめる駆動手段にグリスを自動供給せしめるグリス自動供給装置を備えた移動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えばレーザ加工機などでワークを一方向へ移動せしめるキャレッジの駆動手段(駆動系)にグリスを供給するには、駆動手段を停止した後、人力でグリスガンにてグリスを供給している。または、市販の電動・空圧手段で駆動する給油装置をキャレッジに取付けてこの給油装置を駆動せしめて駆動手段にグリスを供給することが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の人力でグリスを給油する手段では、手間がかかりメンテナンスが怠りがちとなって、駆動手段(駆動系)が早期消耗するという問題があった。また、給油装置をキャレッジに取付けてグリスを給油する手段では、給油装置が給油用モータ又はソレノイドを備えているため、移動物(キャレッジ+給油装置)が重くなり、高速移動には不向きである。キャレッジに給油装置を乗せなくても、給油口までの配管処理が難しい。しかも、金属管は不可能で、樹脂チューブではグリスの圧力で破裂してしまうという問題があった。
【0004】
この発明の目的は、駆動手段に電気、エアを使わずにグリスを自動供給せしめて移動体を軽くし、高速、高精度化が図られると共に配線、配管を不要にしたグリス自動供給装置を備えた移動装置を供給することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1によるこの発明の移動装置は、固定部材上に駆動手段によって一方向へ移動自在な移動体を設け、この移動体の一端側にグリス自動給油装置を設け、このグリス自動給油装置が前記移動体側に設けた給油用パイプと、この給油用パイプと第1逆止弁を介して連通した第1給油室と、この第1給油室と第2逆止弁を介して連通した第2給油室と、この第2給油室に第1付勢手段で常時付勢して連通したグリスタンクと、前記第1給油室に第2付勢手段で常時前記給油用パイプとは反対側に付勢したピストンと、前記固定部材上に固定されたダンパと、で構成されていることを特徴とするものである。
【0006】
したがって、固定部材上を移動体が駆動手段によって一方向へ往復動される。前記移動体が例えば一方向のプラス側の端まで移動されるたびに、ピストンがダンパに当り第2付勢手段の付勢力に抗して押されて第1給油室にあるグリスが第1逆止弁の順方向にグリスが押し出されて給油用パイプに流れ込み、次いでこの給油用パイプから駆動手段へ送られて給油される。
【0007】
移動体が例えば一方向のマイナス側へ移動すると、ダンパから離れたピストンが第2付勢手段の付勢力でピストンがダンパ側へ移動し、第2逆止弁の順方向にグリスが移動する。このときグリスが流れやすいようにグリスタンクを第1付勢手段の付勢力で押しておくものである。
【0008】
而して、グリス自動供給装置には電気又はエアなどの駆動源なしで自動給油が行われると共に、移動体が軽くなり、高速、高精度化が図られる。さらに、配線、配管が不要となる。
【0009】
請求項2によるこの発明の移動装置は、固定部材上に駆動手段によって一方向へ移動自在な移動体を設け、この移動体の一端側に給油用パイプを固定せしめると共にこの給油用パイプ中に第1逆止弁を備え、かつ給油用パイプの一端側にグリスニップルを設け、前記固定部材上にグリス自動給油装置を設け、このグリス自動給油装置内に前記グリスニップル側へ常時第1付勢手段で付勢したグリスタンクを設けると共に前記グリスニップル側へ常時第2付勢手段で付勢し、前記グリスニップルに係脱可能なピストンを給油室内に設け、前記グリス自動給油装置内におけるグリスタンクと第2付勢手段との間に第2逆止弁を設けてなることを特徴とするものである。
【0010】
したがって、固定部材上を移動体が駆動手段によって一方向へ往復動される。前記移動体が例えば一方向のプラス側に移動されると、グリスニップルがグリス自動供給装置のピストンに係合しそのままピストンが押し込まれて第2付勢手段が縮み、グリスタンク内のグリスは第2逆止弁を介して給油室へ送られているので、この給油室から第1逆止弁を介して給油用パイプに流れ込み、次いでこの給油用パイプから駆動手段へ送られて給油される。
【0011】
前記移動体が例えば一方向のマイナス側へ移動すると、ピストンが第2付勢手段の付勢力により給油用パイプ側へ伸び、第2逆止弁の順方向にグリスタンクからグリスが給油室に送り込まれる。また、グリスニップルはピストンから外れて離れる。このときグリスが流れやすいようにグリスタンクは第1付勢手段の付勢力で給油室側へ押された状態にある。
【0012】
而して、グリス自動供給装置には電気又はエアなどの駆動源なしで自動給油が行われると共に、移動体が軽くなり、高速、高精度化が図られる。さらに、配線、配管が不要となる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基いて詳細に説明する。
【0014】
図3を参照するに、レーザ加工機1は固定された固定部材としての一例テーブル3を備えており、このテーブル3のX軸方向(図3において左右方向)のほぼ中央部にはY軸方向(図3において前後方向)へ延伸して例えば矩形状の加工用溝5が形成されている。また、前記テーブル3の上方には図示省略のフレームが設けられており、前記加工用溝5の上方におけるフレームにはレーザ加工ヘッド7がY軸方向へ移動自在に設けられている。
【0015】
前記テーブル3上の後部にはX軸方向へ延伸したリニアガイド9が敷設されていると共に、このリニアガイド9には複数のガイド部材11を介して移動体としての一例のキャレッジ13がX軸方向へ移動可能に設けられている。前記テーブル3上の後端における左端にはX軸用駆動モータ15が設けられており、このX軸用駆動モータ15にはX軸方向へ延伸して設けられたボールねじ17の一端が連結されていると共に、このボールねじ17の他端は回転自在に支承されている。
【0016】
ボールねじ17にはナット部材19が螺合されていると共にこのナット部材19は前記キャレッジ13に一体化されている。このキャレッジ13は複数のワーククランプ20が備えられている。上記構成により、ワークWをワーククランプ20にクランプせしめた状態でキャレッジ13をX軸方向へ移動せしめると共に、レーザ加工ヘッド7をY軸方向へ移動せしめることによってワークWの所定位置にレーザ加工が行われることになる。
【0017】
前記キャレッジ13の図3において右側にはグリス自動給油装置21が固定されている。また、テーブル3の後端における右端にはダンパ23が固定されている。前記グリス自動給油装置21は図1に示されているように、給油本体25を備えており、この給油本体25のキャレッジ13側には給油用パイプ27を備えており、この給油用パイプ27には前記ボールねじ17,ナット部材19,リニアガイド9およびガイド部材11へそれぞれグリスを給油するための複数のパイプ27A〜27Dが設けられている。
【0018】
前記給油用パイプ27の基部内には第1逆止弁29が設けられていると共に給油用パイプ27には第1給油室31が連通されている。この第1給油室31には第2逆止弁33を介して第2給油室35が連通されている。この第2給油室35には第1付勢手段としての一例のスプリング37により常時第2給油室35側へ付勢したグリスタンク39が連通されている。
【0019】
前記第1給油室29にはピストン41の図1において左端部41Lが入っており、それ以外は図1において右方へ突出されている。しかも、ピストン41の図1において右端部41Rと給油本体25の側壁との間には第2付勢手段としての一例のスプリング43が介在されており、このスプリング43の付勢力で図1においてピストン41が図1において右側へ常時付勢されている。
【0020】
上記構成により、固定部材としてのテーブル3上を移動体としてのキャレッジ13がX軸用駆動モータ15によって一方向へ往復動される。前記キャレッジ13が例えば図3において一方向のプラス側の端まで移動されるたびに、ピストン41の右端部41Rがダンパ23に当りスプリング43の付勢力に抗して押されて第1給油室31にあるグリスが第1逆止弁29の順方向にグリスが押し出されて給油用パイプ27に流れ込み、次いでこの給油用パイプ27からパイプ27A〜27Dを経て駆動手段のボールねじ17,ナット部材19,リニアガイド9,ガイド部材11へ送られて給油される。
【0021】
キャレッジ13が図3において例えば一方向のマイナス側へ移動すると、ダンパ23から離れたピストン41がスプリング43の付勢力でピストン41がダンパ23側へ移動し、第2逆止弁33の順方向にグリスが第2給油室35から第1給油室31へ移動する。このときグリスが流れやすいようにグリスタンク39をスプリング37の付勢力で押し、グリスはグリスタンク39から第2給油室35が自動的に流れ込まれる。
【0022】
上記の動作を繰り返すことによって、グリスの給油を自動的に行うことができる。グリスタンク39にグリスがなくなったときには、リミットスイッチや歪みゲージなどでスプリング43の伸びを検知し、グリスのつめ込み又はグリスタンク39がカートリッジであれば交換するようにクリーニング表示をすればよい。しかも、グリスタンク39をカートリッジにすると簡単にグリスを補給することができる。
【0023】
而して、グリス自動供給装置21には電気又はエアなどの駆動源なしで自動給油が行われると共に、キャレッジ3が軽くなり、高速、高精度化を図ることができる。
【0024】
図2には図1に代る他の実施の形態が示されている。図2において給油用パイプ45がキャレッジ13に固定されていると共に、グリス自動給油装置47がテーブル3に固定されている。前記給油用パイプ45にはボールねじ17,ナット部材19,リニアガイド9,ガイド部材11へそれぞれ給油するための複数のパイプ45A〜45Dが設けられている。
【0025】
前記給油用パイプ27の基部内には第1逆止弁49が設けられていると共に基部の端部にはグリスニップル51が設けられている。前記グリス自動供給装置47は給油本体53を備え、この給油本体53内の前記グリスニップル51側には第2付勢手段としての一例のスプリング55の付勢力によって常時図2において左側へ付勢されたピストン57が前記給油本体53内に設けられた第1給油室59内に備えられている。この第1給油室59には第2逆止弁61を介してグリスタンク63が連通されている。このグリスタンク63は第1付勢手段としての一例のスプリング65の付勢力で常時図2において左側へ付勢されている。
【0026】
上記構成により、テーブル3上をキャレッジ13がX軸用駆動モータ15によって一方向へ往復動される。前記キャレッジ13が例えば図3において一方向のプラス側に移動されると、グリスニップル51がグリス自動供給装置47のピストン57に係合しそのままピストン57が押し込まれてスプリング55が右側へ縮みグリスタンク63内のグリスは第2逆止弁61を介して給油室59へ送られているので、この給油室61から第1逆止弁49を介して給油用パイプ45に流れ込み、次いでこの給油用パイプ45からパイプ45A〜45Dを経て駆動手段のボールねじ17,ナット部材19,リニアガイド9,ガイド部材11へ送られて給油される。
【0027】
前記キャレッジ13が図3において例えば一方向のマイナス側へ移動すると、ピストン57がスプリング55の付勢力により給油用パイプ45側へ伸び、第2逆止弁61の順方向にグリスタンク63からグリスが給油室59に送り込まれる。また、グリスニップル51はピストン57から外れて離れる。このときグリスが流れやすいようにグリスタンク63はスプリング65の付勢力で給油室59側へ押された状態にある。
【0028】
而して、グリス自動供給装置47には電気又はエアなどの駆動源なしで自動給油が行われると共に、キャレッジ13が軽くなり、高速、高精度化を図ることができる。さらに、配線、配管を不要にすることができる。
【0029】
なお、この発明は、前述した発明の実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他の態様で実施し得るものである。図2において、ピストン57内に逆止弁を設けておくことによりグリスの洩れがより一層防止されるものである。
【0030】
【発明の効果】
以上のごとき発明の実施の形態の説明より理解されるように、請求項1の発明によれば、固定部材上を移動体が駆動手段によって一方向へ往復動される。前記移動体が例えば一方向のプラス側の端まで移動されるたびに、ピストンがダンパに当り第2付勢手段の付勢力に抗して押されて第1給油室にあるグリスが第1逆止弁の順方向にグリスが押し出されて給油用パイプに流れ込み、次いでこの給油用パイプから駆動手段へ送られて給油される。
【0031】
移動体が例えば一方向のマイナス側へ移動すると、ダンパから離れたピストンが第2付勢手段の付勢力でピストンがダンパ側へ移動し、第2逆止弁の順方向にグリスが移動する。このときグリスが流れやすいようにグリスタンクを第1付勢手段の付勢力で押しておくものである。
【0032】
而して、グリス自動供給装置には電気又はエアなどの駆動源なしで自動給油を行うことができると共に、移動体が軽くなり、高速、高精度化を図ることができる。さらに、配線、配管を不要にすることができる。
【0033】
請求項2の発明によれば、固定部材上を移動体が駆動手段によって一方向へ往復動される。前記移動体が例えば一方向のプラス側に移動されると、グリスニップルがグリス自動供給装置のピストンに係合しそのままピストンが押し込まれて第2付勢手段が縮み、グリスタンク内のグリスは第2逆止弁を介して給油室へ送られているので、この給油室から第1逆止弁を介して給油用パイプに流れ込み、次いでこの給油用パイプから駆動手段へ送られて給油される。
【0034】
前記移動体が例えば一方向のマイナス側へ移動すると、ピストンが第2付勢手段の付勢力により給油用パイプ側へ伸び、第2逆止弁の順方向にグリスタンクからグリスが給油室に送り込まれる。また、グリスニップルはピストンから外れて離れる。このときグリスが流れやすいようにグリスタンクは第1付勢手段の付勢力で給油室側へ押された状態にある。
【0035】
而して、グリス自動供給装置には電気又はエアなどの駆動源なしで自動給油を行うことができると共に、移動体が軽くなり、高速、高精度化を図ることができる。さらに、配線、配管を不要にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図3におけるグリス自動供給装置の拡大正面断面図である。
【図2】図1に代る他の実施の形態の正面断面図である。
【図3】レーザ加工機の一例の斜視図である。
【符号の説明】
1 レーザ加工機
3 テーブル(固定部材)
9 リニアガイドレール
11 ガイド部材
13 キャレッジ(移動体)
15 X軸用駆動モータ(駆動手段)
17 ボールねじ
19 ナット部材
21 グリス自動供給装置
23 ダンパ
25 給油本体
27 給油用パイプ
29 第1逆止弁
31 第1給油室
33 第2逆止弁
35 第2給油室
37 スプリング(第1付勢手段)
39 グリスタンク
41 ピストン
43 スプリング(第2付勢手段)[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a moving device provided with an automatic grease supplying device for automatically supplying grease to a driving means for moving a moving body.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in order to supply grease to a carriage driving means (driving system) that moves a workpiece in one direction using, for example, a laser processing machine, the grease is manually supplied by a grease gun after the driving means is stopped. Alternatively, it is known to supply a grease to the driving means by attaching a fueling device driven by a commercially available electric / pneumatic means to the carriage and driving the oiling device.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, the above-described conventional means for supplying grease by human power has a problem that it takes time and maintenance tends to be negligible, and the drive means (drive system) is consumed quickly. Further, the means for attaching grease to the carriage and supplying grease is not suitable for high-speed movement because the oil supply device includes an oil supply motor or solenoid, and the moving object (carriage + oil supply device) becomes heavy. Even if the oil supply device is not placed on the carriage, it is difficult to process the piping to the oil supply port. In addition, a metal tube is impossible, and the resin tube has a problem that it bursts due to the pressure of grease.
[0004]
An object of the present invention is to provide an automatic grease supply device that automatically supplies grease to the drive means without using electricity and air, lightens the moving body, achieves high speed and high accuracy, and eliminates wiring and piping. To provide a moving device.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the moving device of the present invention according to claim 1 is provided with a moving body movable in one direction by a driving means on a fixed member, and an automatic grease supply device is provided on one end side of the moving body, The grease automatic oil supply device includes an oil supply pipe provided on the movable body side, a first oil supply chamber communicated with the oil supply pipe via a first check valve, and the first oil supply chamber and the second check valve. A second oil supply chamber communicated via the first oil supply chamber, a grease tank that is always energized and communicated with the second oil supply chamber by the first energizing means, and the oil supply pipe that is always connected to the first oil supply chamber by the second energizing means. It is comprised by the piston urged | biased on the opposite side, and the damper fixed on the said fixing member, It is characterized by the above-mentioned.
[0006]
Therefore, the movable body is reciprocated in one direction by the driving means on the fixed member. Whenever the movable body is moved to the positive end in one direction, for example, the piston hits the damper and is pushed against the urging force of the second urging means, so that the grease in the first oil supply chamber is reversed in the first direction. Grease is pushed out in the forward direction of the stop valve and flows into the oil supply pipe, and is then sent from the oil supply pipe to the drive means for oil supply.
[0007]
When the moving body moves, for example, to the minus side in one direction, the piston away from the damper moves to the damper side by the urging force of the second urging means, and the grease moves in the forward direction of the second check valve. At this time, the grease tank is pushed by the urging force of the first urging means so that the grease easily flows.
[0008]
Thus, automatic lubrication is performed in the grease automatic supply device without a driving source such as electricity or air, and the moving body is lightened, and high speed and high accuracy are achieved. Furthermore, wiring and piping are unnecessary.
[0009]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a moving device according to the present invention, wherein a movable body movable in one direction by a driving means is provided on a fixed member, an oil supply pipe is fixed to one end side of the movable body, and 1 is provided with a check valve, a grease nipple is provided on one end of the oil supply pipe, a grease automatic oil supply device is provided on the fixing member, and a first biasing means is always provided in the grease automatic oil supply device toward the grease nipple side. And a grease tank that is always urged by the second urging means toward the grease nipple side, a piston that can be engaged with and disengaged from the grease nipple is provided in the oil supply chamber, and a grease tank in the grease automatic oil supply device; A second check valve is provided between the second urging means and the second urging means.
[0010]
Therefore, the movable body is reciprocated in one direction by the driving means on the fixed member. When the moving body is moved to the plus side in one direction, for example, the grease nipple engages with the piston of the automatic grease supply device, the piston is pushed in as it is, the second urging means contracts, and the grease in the grease tank is 2 Since the oil is fed to the oil supply chamber via the check valve, the oil flows from the oil supply chamber to the oil supply pipe via the first check valve, and is then sent from the oil supply pipe to the driving means for oil supply.
[0011]
For example, when the moving body moves to the minus side in one direction, the piston extends to the oil supply pipe side by the urging force of the second urging means, and the grease is fed from the grease tank to the oil supply chamber in the forward direction of the second check valve. It is. Also, the grease nipple is separated from the piston. At this time, the grease tank is pushed toward the oil supply chamber by the urging force of the first urging means so that the grease easily flows.
[0012]
Thus, automatic lubrication is performed in the grease automatic supply device without a drive source such as electricity or air, and the moving body is lightened, and high speed and high accuracy are achieved. Furthermore, wiring and piping are unnecessary.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0014]
Referring to FIG. 3, the laser beam machine 1 includes an example table 3 as a fixed member that is fixed, and the Y-axis direction is substantially at the center of the table 3 in the X-axis direction (left-right direction in FIG. 3). For example, a rectangular processing groove 5 is formed by extending in the front-rear direction in FIG. A frame (not shown) is provided above the table 3, and a
[0015]
A
[0016]
A
[0017]
A grease automatic
[0018]
A
[0019]
The first
[0020]
With the above configuration, the
[0021]
3, for example, when the
[0022]
By repeating the above operation, grease can be automatically supplied. When there is no grease in the
[0023]
Thus, the automatic
[0024]
FIG. 2 shows another embodiment in place of FIG. In FIG. 2, an
[0025]
A
[0026]
With the above configuration, the
[0027]
When the
[0028]
Thus, the automatic
[0029]
In addition, this invention is not limited to embodiment of invention mentioned above, It can implement in another aspect by making an appropriate change. In FIG. 2, a check valve is provided in the
[0030]
【The invention's effect】
As can be understood from the description of the embodiment of the invention as described above, according to the invention of claim 1, the moving body is reciprocated in one direction by the driving means on the fixed member. Whenever the movable body is moved to the positive end in one direction, for example, the piston hits the damper and is pushed against the urging force of the second urging means, so that the grease in the first oil supply chamber is reversed in the first direction. Grease is pushed out in the forward direction of the stop valve and flows into the oil supply pipe, and is then sent from the oil supply pipe to the drive means for oil supply.
[0031]
When the moving body moves, for example, to the minus side in one direction, the piston away from the damper moves to the damper side by the urging force of the second urging means, and the grease moves in the forward direction of the second check valve. At this time, the grease tank is pushed by the urging force of the first urging means so that the grease easily flows.
[0032]
Thus, the automatic grease supply apparatus can be automatically refueled without a driving source such as electricity or air, and the moving body can be lightened to achieve high speed and high accuracy. Furthermore, wiring and piping can be eliminated.
[0033]
According to the invention of claim 2, the moving body is reciprocated in one direction on the fixed member by the driving means. When the moving body is moved to the plus side in one direction, for example, the grease nipple engages with the piston of the automatic grease supply device, the piston is pushed in as it is, the second urging means contracts, and the grease in the grease tank is 2 Since the oil is fed to the oil supply chamber via the check valve, the oil flows from the oil supply chamber to the oil supply pipe via the first check valve, and is then sent from the oil supply pipe to the driving means for oil supply.
[0034]
For example, when the moving body moves to the minus side in one direction, the piston extends to the oil supply pipe side by the urging force of the second urging means, and the grease is fed from the grease tank to the oil supply chamber in the forward direction of the second check valve. It is. Also, the grease nipple is separated from the piston. At this time, the grease tank is pushed toward the oil supply chamber by the urging force of the first urging means so that the grease easily flows.
[0035]
Thus, the automatic grease supply apparatus can be automatically refueled without a driving source such as electricity or air, and the moving body can be lightened to achieve high speed and high accuracy. Furthermore, wiring and piping can be eliminated.
[Brief description of the drawings]
1 is an enlarged front cross-sectional view of the grease automatic supply device in FIG. 3;
FIG. 2 is a front sectional view of another embodiment instead of FIG.
FIG. 3 is a perspective view of an example of a laser processing machine.
[Explanation of symbols]
1 Laser processing machine 3 Table (fixing member)
9
15 X axis drive motor (drive means)
17
39
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03329999A JP4287938B2 (en) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | Mobile device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03329999A JP4287938B2 (en) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | Mobile device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000230694A JP2000230694A (en) | 2000-08-22 |
| JP4287938B2 true JP4287938B2 (en) | 2009-07-01 |
Family
ID=12382682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03329999A Expired - Fee Related JP4287938B2 (en) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | Mobile device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4287938B2 (en) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003083498A (en) | 2001-09-10 | 2003-03-19 | Nsk Ltd | Grease supply device |
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| JP2017150648A (en) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 日本精工株式会社 | Greasing device for linear motion device |
| JP6387175B1 (en) * | 2017-11-08 | 2018-09-05 | 株式会社 正和 | Lubricating oil supply device |
| JP2020203328A (en) * | 2019-06-14 | 2020-12-24 | 株式会社ディスコ | Processing apparatus |
| CN117267590A (en) * | 2022-06-13 | 2023-12-22 | 长鑫存储技术有限公司 | Refueling device, semiconductor equipment refueling system and its control system |
-
1999
- 1999-02-10 JP JP03329999A patent/JP4287938B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000230694A (en) | 2000-08-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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