JP4290612B2

JP4290612B2 - Pinhole test equipment

Info

Publication number: JP4290612B2
Application number: JP2004207164A
Authority: JP
Inventors: 勝井口; 正幸稲田; 長之金岡; 浩相馬; 雄二内藤; 敏小松
Original assignee: Honda Motor Co Ltd; JSR Corp
Current assignee: Honda Motor Co Ltd; JSR Corp
Priority date: 2004-07-14
Filing date: 2004-07-14
Publication date: 2009-07-08
Anticipated expiration: 2024-07-14
Also published as: JP2006029909A

Description

本発明は、薄いフィルムに存在するピンホールの有無の測定を確実に行えるピンホール試験装置に関する。 The present invention relates to a pinhole test apparatus that can reliably measure the presence or absence of pinholes present in a thin film.

従来から行われているフィルムのピンホール試験方法には、光学式ピンホール検査方法、通電式ピンホール試験方法がある。
このような光学式ピンホール検査方法としては、ＣＣＤカメラなどで、フィルムに存在するピンホールを電気信号として検知する方法がある。しかしながら、この方法では、検出可能なピンホールの大きさに限度がある。 Conventional pinhole test methods for films include an optical pinhole inspection method and an energization type pinhole test method.
As such an optical pinhole inspection method, there is a method in which a pinhole existing in a film is detected as an electric signal by a CCD camera or the like. However, this method has a limit on the size of pinholes that can be detected.

このため、光学式ピンホール検出機の検出感度を高めるために、特許文献１（特開平８−３３８８１４号公報）に開示されているように、紫外線を用いるなど、数多くの提案がなされている。 For this reason, in order to increase the detection sensitivity of the optical pinhole detector, many proposals have been made such as using ultraviolet rays as disclosed in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 8-338814).

しかしながら、一般に市販されている光学式ピンホール検出システムでは、通常検出されるピンホールの大きさは、約２００μｍ以上、ＣＣＤカメラ数台使用しても約５０μｍ程度にとどまっているのが現状である。 However, in the optical pinhole detection system that is generally commercially available, the size of the pinhole that is usually detected is about 200 μm or more, and even if several CCD cameras are used, the size is only about 50 μm. .

また、透過光強度の差でピンホールを検出する方式であるため、特許文献２（特開平８−２７９１３９号公報）において課題とされている凹みまで検出してしまい、ピンホールとの区別ができないという問題があった。 In addition, since the pinhole is detected based on the difference in transmitted light intensity, it is detected at the recess, which is a problem in Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-279139), and cannot be distinguished from the pinhole. There was a problem.

また、特許文献３（特開平６−１８４４５号公報）には、フィルムの両側面に、さらに偏光子を特定の傾きで挿入配置して、ピンホール部分の明暗差を拡大する方法が提案されている。 Patent Document 3 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-18445) proposes a method of further increasing the difference in brightness of the pinhole portion by inserting polarizers on both sides of the film with a specific inclination. Yes.

しかしながら、この方法をさらに応用して、ピンホールや異物周辺でフィルムの構造歪による複屈折を、偏光子により明暗として拡大して検知することで、微細な欠点を検出することができるが、欠点の種類がピンホールかどうかが判別できない問題がある。 However, by further applying this method, it is possible to detect fine defects by enlarging and detecting birefringence due to structural distortion of the film around the pinhole and foreign matter as light and dark with a polarizer. There is a problem that it cannot be determined whether or not the type of pinhole is a pinhole.

一方、通電式ピンホール試験方法は、フィルムの両面に電圧を加え、電気が流れることによって、ピンホールの有無を検出するピンホール試験である。
このような通電検出方式では、検出用電圧を高めることによって、小さなピンホールまで検出できるため、電気絶縁用途や隔膜用途分野で用いられている。 On the other hand, the energization type pinhole test method is a pinhole test in which the presence or absence of a pinhole is detected by applying voltage to both surfaces of the film and causing electricity to flow.
In such an energization detection system, even a small pinhole can be detected by increasing the detection voltage, and thus it is used in the fields of electrical insulation and diaphragm applications.

しかしながら、フィルムに僅かに薄い部位や気泡が存在すると、電圧が高いことから絶縁破壊を起こすおそれがある。また、この場合、フィルムが導電性フィルムや吸湿性の高いフィルムの場合には、常に通電状態となり、ピンホール検査ができない状態となってしまう。
特開平８−３３８８１４号公報特開平８−２７９１３９号公報特開平６−１８４４５号公報 However, if there are slightly thin portions or bubbles in the film, the voltage is high, which may cause dielectric breakdown. Moreover, in this case, when the film is a conductive film or a highly hygroscopic film, it is always in an energized state and cannot be subjected to pinhole inspection.
JP-A-8-338814 JP-A-8-279139 Japanese Patent Laid-Open No. 6-18445

本発明は、このような現状に鑑み、フィルムの特性に影響されずに、フィルムに存在するピンホールを確実に検出することができるピンホール試験装置を提供することを目的とする。
In view of such a current situation, an object of the present invention is to provide a pinhole test apparatus capable of reliably detecting pinholes existing in a film without being affected by the characteristics of the film.

本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明のピンホール試験装置は、
一対の相互に離接可能に対峙して配置され、被測定フィルムを上下方向から挟持する上側試験用プレートと下側試験用プレートとを備え、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、前記被測定フィルムを上下方向から挟持するとともに、
一方の試験用プレートからピンホール試験用ガスを前記被測定フィルムの一方の表面に供給し、前記被測定フィルムを通過して被測定フィルムの他方の面に漏洩する前記ピンホール試験用ガスのガス流量を、他方の試験用プレートを介して測定することによって、
前記被測定フィルムのピンホールの有無を測定するように構成したピンホール試験装置であって、
前記ピンホール試験装置は、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートに、それぞれガス供給口とガス排出口とが形成され、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持してピンホール試験を行う前に、
これらの前記ガス供給口とガス排出口を開閉し、前記上側試験用プレートと被測定フィルムとの間および前記下側試験用プレートと被測定フィルムとの間に存在するガスを、前記ピンホール試験用ガスと置換するガス流路切り替え制御装置を備えるとともに、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に前記被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、
前記一方の試験用プレートを他方の試験用プレートに接近する方向に押圧付勢する圧力負荷装置と、
前記上側試験用プレートの上面の略中央部分に加圧ガスを供給することで、前記上側試験用プレートの撓みを防止する撓み防止装置と、
を備えることを特徴とする。
The present invention was invented in order to achieve the above-described problems and objects in the prior art, and the pinhole test apparatus of the present invention is
A pair of upper test plate and lower test plate that are arranged so as to be detachable from each other and sandwich the film to be measured from above and below,
Between said upper test plate and the lower test plate, while clamping the measured film from above and below,
One of the test plate from the pinhole test gas is supplied to one surface of the measured film, said of the pinhole test gas leaking through the measured film on the other surface of the measured film gas By measuring the flow rate through the other test plate,
A pinhole test apparatus configured to measure the presence or absence of pinholes in the film to be measured ,
The pinhole test apparatus is
A gas supply port and a gas discharge port are formed in the upper test plate and the lower test plate , respectively .
Between the upper test plate and the lower test plate, before performing a pinhole test by sandwiching the film to be measured from above and below,
Open and close these the gas inlet and gas outlet, the gas present between the measured film and between said lower for side test plate and said upper test plate and the measured film, the pinhole test A gas flow path switching control device that replaces the working gas,
When sandwiching the measured film from the vertical direction between said upper test plate and the lower test plates,
A pressure loading device which presses and biases in a direction toward said one of the test plate to the other of the test plate,
An anti-bending device that prevents the upper test plate from bending by supplying a pressurized gas to a substantially central portion of the upper surface of the upper test plate;
It is characterized by providing.

このように構成することによって、ピンホール試験用ガスを被測定フィルムの一方の表面に供給することによって、フィルムに存在するピンホールを介して被測定フィルムを通過して、被測定フィルムの他方の面に漏洩するピンホール試験用ガスのガス流量を測定するだけでよいので、フィルムの特性に影響されずに、フィルムに存在するピンホールの大小にかかわらず、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。 By comprising in this way, by supplying the pinhole test gas to one surface of the film to be measured, it passes through the film to be measured through the pinhole existing in the film, and the other of the films to be measured. Since it is only necessary to measure the gas flow rate of the pinhole test gas leaking to the surface, the presence or absence of pinholes can be reliably and accurately determined regardless of the size of the pinholes present in the film, regardless of the film characteristics. Can be detected.

また、このように、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持することによって、被測定フィルムを位置がずれることなく保持することができる。
In addition, the film to be measured can be held without being displaced by sandwiching the film to be measured from above and below between the upper test plate and the lower test plate.

そして、この状態で、一方の試験用プレートから、ピンホール試験用ガスを被測定フィルムの一方の表面に供給し、フィルムに存在するピンホールを介して被測定フィルムを通過して、被測定フィルムの他方の面に漏洩するピンホール試験用ガスのガス流量を、他方の試験用プレートを介して測定することによって、フィルムの特性に影響されずに、フィルムに存在するピンホールの大小にかかわらず、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。
In this state, the pinhole test gas is supplied from one test plate to one surface of the film to be measured, passes through the film to be measured through the pinhole existing in the film, and the film to be measured Regardless of the size of the pinholes present in the film, the gas flow rate of the pinhole test gas leaking to the other side of the film can be measured through the other test plate without affecting the properties of the film. The presence or absence of pinholes can be reliably and accurately detected.

さらに、このようにガス流路切り替え制御装置によって、ピンホール試験を行う前に、これらのガス供給口とガス排出口を開閉して、これらの試験用プレートと被測定フィルムとの間に存在するガスを、ピンホール試験用ガスと置換することができるので、ピンホール試験用ガスのみでピンホール試験を行うことができ、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。
また圧力負荷装置によって、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持して、一方の試験用プレートを他方の試験用プレートに接近する方向に押圧付勢するので、被測定フィルムを位置がずれることなく保持することができるとともに、ピンホール試験用ガスが外部に漏洩することがないので、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。
さらに撓み防止装置によって、上側試験用プレートの撓みを防止するので、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、上側試験用プレートの反りやダメージを防止することができ、その結果、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に挟持される被測定フィルムを破損損傷することがない。
Further, before the pinhole test is performed by the gas flow path switching control device, the gas supply port and the gas discharge port are opened and closed, and exist between the test plate and the film to be measured. Since the gas can be replaced with the pinhole test gas , the pinhole test can be performed only with the pinhole test gas, and the presence or absence of the pinhole can be reliably and accurately detected.
In addition, the film to be measured is sandwiched between the upper test plate and the lower test plate from above and below by the pressure load device, and one test plate is pressed in the direction approaching the other test plate. As a result, the film to be measured can be held without being displaced, and the pinhole test gas does not leak to the outside, so that the presence or absence of a pinhole can be detected reliably and accurately. .
Furthermore, since the upper test plate is prevented from being bent by the bend prevention device, the upper test plate is warped when the measured film is sandwiched between the upper test plate and the lower test plate from above and below. As a result, the film to be measured sandwiched between the upper test plate and the lower test plate is not damaged.

また、本発明のピンホール試験装置は、
前記被測定フィルムを前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとで上下方向から挟持する際に、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、
前記被測定フィルムの位置決めを行うための位置決め装置を備え、
前記位置決め装置は、
一方の試験用プレートの隅角部に配設された位置決めピンと、
他方の試験用プレートの隅角部に、前記位置決めピンが嵌合する位置に配設された位置決め穴と、を有し、
両試験用プレートが接近した際に、前記位置決め穴に位置決めピンが嵌合することで前記被測定フィルムの位置決めがなされるように構成されていることを特徴とする。
Moreover, the pinhole test apparatus of the present invention is
When sandwiching the film to be measured between the upper test plate and the lower test plate from above and below,
Between the upper test plate and the lower test plate,
A positioning device for positioning the film to be measured ;
The positioning device includes:
Locating pins disposed at the corners of one test plate;
A positioning hole disposed at a position where the positioning pin is fitted in a corner portion of the other test plate;
When the two test plates are approached, the film to be measured is positioned by fitting a positioning pin into the positioning hole .

このように位置決め装置によって、被測定フィルムを位置がずれることなく保持することができるので、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。
As described above, since the film to be measured can be held without being displaced by the positioning device, the presence or absence of a pinhole can be detected reliably and accurately .

本発明によれば、フィルムの特性に影響されずに、フィルムに存在するピンホールを確実に検出することができるピンホール試験装置を提供することができる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the pinhole test apparatus which can detect the pinhole which exists in a film reliably without being influenced by the characteristic of a film can be provided.

以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明のピンホール試験装置の正面図、図２は、図１のピンホール試験装置の側面図、図３は、図１のピンホール試験装置の上面図、図４は、図１のピンホール試験装置の図１のＡ−Ａ線での上面図である。
Hereinafter, embodiments (examples) of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
1 is a front view of the pinhole test apparatus of the present invention, FIG. 2 is a side view of the pinhole test apparatus of FIG. 1, FIG. 3 is a top view of the pinhole test apparatus of FIG. 1, and FIG. It is a top view in the AA line of FIG. 1 of the pinhole test apparatus of 1. FIG.

図１〜図４において、１０は、全体で本発明のピンホール試験装置を示している。
図１に示したように、本発明のピンホール試験装置１０は、工場などの床に移動自在に載置されるベース基台１２を備えている。 1 to 4, reference numeral 10 denotes a pinhole test apparatus according to the present invention as a whole.
As shown in FIG. 1, the pinhole test apparatus 10 of the present invention includes a base base 12 that is movably mounted on a floor of a factory or the like.

このベース基台１２上には、下側定盤部材１４が固定されており、この下側定盤部材１４の上面には、略矩形状の下側試験用プレート１６が着脱自在に固定されている。
また、この下側定盤部材１４の四隅にはそれぞれ、支柱部材１５が立設されており、これらの支柱部材１５の上端に上端フレーム板部材１８が固定されている。 A lower surface plate member 14 is fixed on the base base 12, and a substantially rectangular lower test plate 16 is detachably fixed to the upper surface of the lower surface plate member 14. Yes.
In addition, column members 15 are erected at the four corners of the lower surface plate member 14, and an upper end frame plate member 18 is fixed to the upper ends of these column members 15.

さらに、これらの支柱部材１５に沿って、上下方向に移動自在に案内される押圧移動部２０を備えている。この押圧移動部２０は、上方フレーム板部材２２と、この上方フレーム板部材２２に対して、接近離反する方向に移動自在に構成された上側定盤部材２４とを備えている。そして、これらの上方フレーム板部材２２と、上側定盤部材２４との間には、支柱部材１５を取り囲むように、上方フレーム板部材２２と、上側定盤部材２４とを相互に離反する方向に付勢する圧力負荷装置として機能するバネ部材２６が介装されている。
Furthermore, a pressing movement unit 20 is provided along the support column members 15 so as to be movable in the vertical direction. The pressing movement unit 20 includes an upper frame plate member 22 and an upper surface plate member 24 configured to be movable in a direction approaching and separating from the upper frame plate member 22. Between the upper frame plate member 22 and the upper surface plate member 24, the upper frame plate member 22 and the upper surface plate member 24 are separated from each other so as to surround the column member 15. A spring member 26 that functions as an urging pressure load device is interposed.

そして、上端フレーム板部材１８の上方には、エアシリンダ２８が固定されており、このエアシリンダ２８の軸部３０の先端が、押圧移動部２０の上方フレーム板部材２２に連結されている。これによって、エアシリンダ２８の作動によって、押圧移動部２０が、上下方向に移動することができるように構成されている。 An air cylinder 28 is fixed above the upper end frame plate member 18, and the tip of the shaft portion 30 of the air cylinder 28 is connected to the upper frame plate member 22 of the pressing movement unit 20. As a result, the pressing movement unit 20 can be moved in the vertical direction by the operation of the air cylinder 28.

また、押圧移動部２０の上側定盤部材２４の下面には、下側試験用プレート１６と一対になった略矩形状の上側試験用プレート３２が着脱自在に固定されている。
このように構成することによって、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを設置した後、エアシリンダ２８を作動させて、押圧移動部２０を下方に移動することによって、上側試験用プレート３２が下側試験用プレート１６に当接して、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを上下方向から挟持するようになっている。
A substantially rectangular upper test plate 32 that is paired with the lower test plate 16 is detachably fixed to the lower surface of the upper surface plate member 24 of the pressing movement unit 20.
With such a configuration, after the film F to be measured is installed between the upper test plate 32 and the lower test plate 16, the air cylinder 28 is operated to move the press moving unit 20 downward. By doing so, the upper test plate 32 comes into contact with the lower test plate 16 so that the film F to be measured is sandwiched between the upper test plate 32 and the lower test plate 16 from above and below. It has become.

この際、バネ部材２６によって、上側定盤部材２４が、上方フレーム板部材２２から離反する方向に付勢されているので、上側定盤部材２４が下方向に付勢されることになる。すなわち、上側定盤部材２４に固定された上側試験用プレート３２が、下側試験用プレート１６側に付勢されて、上側試験用プレート３２を下側試験用プレート１６に接近する方向に押圧付勢するようになっている。
At this time, since the upper surface plate member 24 is urged by the spring member 26 in a direction away from the upper frame plate member 22, the upper surface plate member 24 is urged downward. That is, the upper test plate 32 fixed to the upper platen member 24 is urged toward the lower test plate 16, and presses the upper test plate 32 in a direction approaching the lower test plate 16. It has come to force.

このように構成することによって、被測定フィルムＦを位置がずれることなく保持することができるとともに、ピンホール試験用ガスが外部に漏洩することがないので、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。しかも、上側試験用プレート３２を下側試験用プレート１６に接近する方向に移動させた際に、バネ部材２６がクッション作用をして、衝撃を緩和することができ、上側試験用プレート３２、下側試験用プレート１６、被測定フィルムＦの破損損傷を防止することができるようになっている。
By configuring in this way, the film F to be measured can be held without being misaligned , and the pinhole test gas does not leak to the outside, so the presence or absence of pinholes is ensured and accurately. Can be detected. In addition, when the upper test plate 32 is moved in a direction approaching the lower test plate 16, the spring member 26 can cushion and reduce the impact. The side test plate 16 and the film F to be measured can be prevented from being damaged.

さらに、上方フレーム板部材２２の下面の略中央部分には、一定間隔離間して、２本の撓み防止装置として機能する加圧ガスパイプ３４、３４が、下側試験用プレート１６にその先端が対峙するように垂下するように設けられている。 Furthermore, in the substantially central portion of the lower surface of the upper frame plate member 22, there are two pressurized gas pipes 34, 34 that function as two anti-bending devices, spaced apart from each other, with the tips of the lower test plate 16 facing each other. So that it hangs down.

すなわち、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを上下方向から挟持した際に、図示しない加圧ガス源から、例えば、不活性ガス、空気などの加圧ガスを、加圧ガスパイプ３４、３４を介して、上側試験用プレート３２の上面の略中央部分にかけて加圧するようになっている。 That is, when the film F to be measured is sandwiched between the upper test plate 32 and the lower test plate 16 from above and below, a pressurized gas source (not shown) applies, for example, an inert gas or air. The pressurized gas is pressurized through a pressurized gas pipe 34, 34 over a substantially central portion of the upper surface of the upper test plate 32.

これによって、上側試験用プレート３２の反りやダメージを防止することができ、その結果、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に挟持される被測定フィルムＦを破損損傷することがないようになっている。 As a result, it is possible to prevent the upper test plate 32 from being warped or damaged. As a result, the film F to be measured sandwiched between the upper test plate 32 and the lower test plate 16 is damaged and damaged. There is no such thing.

なお、図示しないが、下側試験用プレート１６の上面には、２箇所の隅角部に位置決めピンが設けられている。また、図示しないが、上側試験用プレート３２の下面には、２箇所の隅角部に下側試験用プレート１６の位置決めピンと対応する位置に、これらの位置決めピンが嵌合する位置決め穴が設けられている。 Although not shown, positioning pins are provided at two corners on the upper surface of the lower test plate 16. Although not shown, the lower surface of the upper test plate 32 is provided with positioning holes for fitting these positioning pins at positions corresponding to the positioning pins of the lower test plate 16 at two corners. ing.

これにより、位置決めピンと位置決め穴が位置決め装置として機能し、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６の間に、被測定フィルムＦを挟持した際に、被測定フィルムを位置がずれることなく保持することができるので、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができるようになっている。
Thereby, the positioning pin and the positioning hole function as a positioning device, and when the film to be measured F is sandwiched between the upper test plate 32 and the lower test plate 16, the film to be measured is held without being displaced. Therefore, the presence or absence of pinholes can be reliably and accurately detected.

また、図５に示したように、下側試験用プレート１６の上面にはその外周に、環状のシ
ール部材４８が装着されている。このようなシール部材４８としては、特に限定されるものではなく、樹脂、ゴムなどが使用でき、例えば、シリコンゴム、フッ素ゴムなどの軟らかいゴムから構成するのが好ましい。 Further, as shown in FIG. 5, an annular seal member 48 is mounted on the outer periphery of the upper surface of the lower test plate 16. Such a seal member 48 is not particularly limited, and resin, rubber, and the like can be used. For example, the seal member 48 is preferably made of soft rubber such as silicon rubber or fluorine rubber.

このように下側試験用プレート１６の外周に環状のシール部材４８が配設されているので、フィルムを破損損傷することがないとともに、ピンホール試験用ガスＧが、外部に漏洩することなく、一定の圧力で被測定フィルムＦの一方の表面（下面）に均一に当接することになって、被測定フィルムＦ全体にわたってピンホールの有無を、確実にかつ正確に検出することができるようになっている。 Since the annular seal member 48 is arranged on the outer periphery of the lower test plate 16 in this way, the film is not damaged and damaged, and the pinhole test gas G does not leak to the outside. By uniformly contacting one surface (lower surface) of the film F to be measured with a constant pressure, it is possible to reliably and accurately detect the presence or absence of pinholes throughout the film F to be measured. ing.

さらに、図５に示したように、上側試験用プレート３２の上面にはその外周に、上記の下側試験用プレート１６のシール部材４８と対峙するように、環状のシール部材６４が装着されている。 Further, as shown in FIG. 5, an annular seal member 64 is mounted on the upper surface of the upper test plate 32 so as to face the seal member 48 of the lower test plate 16 on the outer periphery thereof. Yes.

このように上側試験用プレート３２の上面の外周に環状のシール部材６４が配設されているので、フィルムを破損損傷することがないとともに、ピンホール試験用ガスＧが、外部に漏洩することなく、一定の圧力で被測定フィルムＦの一方の表面（上面）に均一に当接することになって、被測定フィルムＦ全体にわたってピンホールの有無を、確実にかつ正確に検出することができるようになっている。
Since the annular seal member 64 is disposed on the outer periphery of the upper surface of the upper test plate 32 as described above, the film is not damaged and damaged, and the pinhole test gas G does not leak to the outside. In this way, the surface of the film F to be measured is uniformly abutted against the surface (upper surface) of the film F so that the presence or absence of pinholes can be reliably and accurately detected throughout the film F to be measured. It has become.

さらに、上記の下側試験用プレート１６のシール部材４８と、上側試験用プレート３２のシール部材６４とによって、被測定フィルムＦを確実にガスの漏れのないように挟持することができるようになっている。 Further, the film F to be measured can be securely clamped by the seal member 48 of the lower test plate 16 and the seal member 64 of the upper test plate 32 so as not to leak gas. ing.

このように構成されるピンホール試験装置１０は、図５に示したように、ピンホール試験システム７０として機能するようになっている。
すなわち、ピンホール試験システム７０は、例えば、Ｈｅガスなどのピンホール試験用ガスＧを貯蔵する圧力ガスボンベ７２を備えている。この圧力ガスボンベ７２には、図示しないが、圧力調整用レギュレータ、圧力計が取付られている。 The pinhole test apparatus 10 configured in this manner functions as a pinhole test system 70 as shown in FIG.
That is, the pinhole test system 70 includes a pressure gas cylinder 72 that stores a pinhole test gas G such as He gas. Although not shown, the pressure gas cylinder 72 is provided with a pressure adjusting regulator and a pressure gauge.

そして、この圧力ガスボンベ７２は、ガス供給ライン７４が接続されており、このガス供給ライン７４は、圧力ガスボンベ７２を開閉する圧力ボンベ開閉バルブ７６と、ガスリークバルブ７８と、オートプレッシャーレギュレータ８０が接続されている。 The pressure gas cylinder 72 is connected to a gas supply line 74. The gas supply line 74 is connected to a pressure cylinder opening / closing valve 76 for opening and closing the pressure gas cylinder 72, a gas leak valve 78, and an auto pressure regulator 80. ing.

このオートプレッシャーレギュレータ８０は、ガス供給ライン７４の圧力を制御するもので、ガス供給ライン７４が所定以上の圧力になった際に、ピンホール試験用ガスＧをガス供給ライン７４から、ガスリークバルブ７８を介してリークさせて所定圧力にするように制御されるようになっている。 The auto pressure regulator 80 controls the pressure of the gas supply line 74. When the gas supply line 74 reaches a predetermined pressure or higher, the pinhole test gas G is supplied from the gas supply line 74 to the gas leak valve 78. It is controlled so as to leak to a predetermined pressure.

そして、このガス供給ライン７４は、さらに、ガス供給バルブ８２を介して、下方側ガス供給ライン８４と、上方側ガス供給ライン８６に分岐している。
また、下方側ガス供給ライン８４は、下側試験用プレート１６のガス供給口４０に接続されている。そして、下側試験用プレート１６のガス排出口４４が、下側ガス排出ライン８８に接続されるようになっている。なお、この下側ガス排出ライン８８には、ガス排出バルブ９０が接続されている。 The gas supply line 74 further branches into a lower gas supply line 84 and an upper gas supply line 86 via a gas supply valve 82.
The lower gas supply line 84 is connected to the gas supply port 40 of the lower test plate 16. The gas discharge port 44 of the lower test plate 16 is connected to the lower gas discharge line 88. A gas discharge valve 90 is connected to the lower gas discharge line 88.

一方、上方側ガス供給ライン８６は、ガス供給バルブ９２を介して、上側試験用プレート３２のガス供給口５６に接続されている。そして、上側試験用プレート３２のガス排出口６０が、上側ガス排出ライン９４に接続されるようになっている。 On the other hand, the upper gas supply line 86 is connected to the gas supply port 56 of the upper test plate 32 via a gas supply valve 92. The gas discharge port 60 of the upper test plate 32 is connected to the upper gas discharge line 94.

上側ガス排出ライン９４は、マスフローメータ供給バルブ９６を介して、ピンホール試験用ガスGのガス流量を測定する流量測定装置として機能するマスフローメータ９８に接続されている。 The upper gas discharge line 94 is connected via a mass flow meter supply valve 96 to a mass flow meter 98 that functions as a flow rate measuring device that measures the gas flow rate of the pinhole test gas G.

一方、上側ガス排出ライン９４は、マスフローメータ供給バルブ９６の上流側で分岐して、ガス排出バルブ１００を介して、ガス排出ライン１０２に接続されている。
このように構成される本発明のピンホール試験装置１０は、以下のようにして、ピンホール試験が実施される。 On the other hand, the upper gas discharge line 94 branches on the upstream side of the mass flow meter supply valve 96 and is connected to the gas discharge line 102 via the gas discharge valve 100.
The pinhole test apparatus 10 of the present invention configured as described above is subjected to the pinhole test as follows.

先ず、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを設置した後、エアシリンダ２８を作動させて、押圧移動部２０を下方に移動することによって、上側試験用プレート３２が下側試験用プレート１６に当接して、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを上下方向から挟持する。 First, after installing the film F to be measured between the upper test plate 32 and the lower test plate 16, the upper test is performed by operating the air cylinder 28 and moving the press moving unit 20 downward. The test plate 32 comes into contact with the lower test plate 16, and the film F to be measured is sandwiched between the upper test plate 32 and the lower test plate 16 from above and below.

この際、バネ部材２６によって、上側定盤部材２４が、上方フレーム板部材２２から離反する方向に付勢されているので、上側定盤部材２４が下方向に付勢され、上側定盤部材２４に固定された上側試験用プレート３２が、下側試験用プレート１６側に付勢されて、上側試験用プレート３２を下側試験用プレート１６に接近する方向に均一に押圧付勢するようになっている。
At this time, the upper surface plate member 24 is urged by the spring member 26 in a direction away from the upper frame plate member 22, so that the upper surface plate member 24 is urged downward and the upper surface plate member 24. The upper test plate 32 fixed to the lower test plate 16 is urged toward the lower test plate 16 so as to uniformly press and urge the upper test plate 32 in the direction approaching the lower test plate 16. ing.

また、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを上下方向から挟持した際に、図示しない加圧ガス源から、例えば、不活性ガス、空気などの加圧ガスを、加圧ガスパイプ３４、３４を介して、上側試験用プレート３２の上面の略中央部分にかけて加圧するようになっている。 Further, when the film F to be measured is sandwiched between the upper test plate 32 and the lower test plate 16 from above and below, for example, an inert gas or air is added from a pressurized gas source (not shown). The pressurized gas is pressurized through a pressurized gas pipe 34, 34 over a substantially central portion of the upper surface of the upper test plate 32.

そして、圧力ボンベ開閉バルブ７６を開けて、圧力ガスボンベ７２からピンホール試験用ガスＧを流して、オートプレッシャーレギュレータ８０の制御によって、ガス供給ライン７４の圧力を制御して、ガス供給ライン７４が所定以上の圧力になった際に、ピンホール試験用ガスＧをガス供給ライン７４から、ガスリークバルブ７８を介してリークさせて、ガス供給ライン７４の圧力を所定圧力にするように制御する。 Then, the pressure cylinder open / close valve 76 is opened, the pinhole test gas G is caused to flow from the pressure gas cylinder 72, the pressure of the gas supply line 74 is controlled by the control of the auto pressure regulator 80, and the gas supply line 74 is predetermined. When the above pressure is reached, the pinhole test gas G is controlled to leak from the gas supply line 74 via the gas leak valve 78 so that the pressure of the gas supply line 74 becomes a predetermined pressure.

この状態で、ガス供給ライン７４のガス供給バルブ８２を開けて、下方側ガス供給ライン８４から、下側試験用プレート１６のガス供給口４０を介して、被測定フィルムＦと下側試験用プレート１６との間に形成される空間に、ピンホール試験用ガスＧを供給する。 In this state, the gas supply valve 82 of the gas supply line 74 is opened, and the film F and the lower test plate are measured from the lower gas supply line 84 via the gas supply port 40 of the lower test plate 16. The pinhole test gas G is supplied to the space formed between the two.

そして、被測定フィルムＦと下側試験用プレート１６との間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧを捕集して、ガス排出口４４から、ガス排出バルブ９０を開けて、下側ガス排出ライン８８から排出する。 Then, the pinhole test gas G filled in the space formed between the film F to be measured and the lower test plate 16 is collected, and the gas discharge valve 90 is opened from the gas discharge port 44. The gas is discharged from the lower gas discharge line 88.

この状態を、一定時間行って、被測定フィルムＦと下側試験用プレート１６との間に形成される空間に、ピンホール試験用ガスＧ以外が存在しないようにする。
同様にして、ガス供給ライン７４のガス供給バルブ８２を開けるとともに、上方側ガス供給ライン８６のガス供給バルブ９２を開けて、上方側ガス供給ライン８６から、上側試験用プレート３２のガス供給用口５６を介して、被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間に、ピンホール試験用ガスＧを供給する。 This state is performed for a certain period of time so that there is no gas other than the pinhole test gas G in the space formed between the film F to be measured and the lower test plate 16.
Similarly, the gas supply valve 82 of the gas supply line 74 is opened, the gas supply valve 92 of the upper gas supply line 86 is opened, and the gas supply port of the upper test plate 32 is opened from the upper gas supply line 86. The pinhole test gas G is supplied to the space formed between the film F to be measured and the upper test plate 32 through 56.

そして、被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧを捕集して、ガス排出口６０から、上側ガス排出ライン９４のガス排出バルブ１００を開けて、ガス排出ライン１０２から排出する。なお、この際、マスフローメータ供給バルブ９６は閉止されており、マスフローメータ９８にピンホール試験用ガスＧが流れないようになっている。 Then, the pinhole test gas G filled in the space formed between the film to be measured F and the upper test plate 32 is collected and discharged from the gas discharge port 60 through the upper gas discharge line 94. The valve 100 is opened and discharged from the gas discharge line 102. At this time, the mass flow meter supply valve 96 is closed, so that the pinhole test gas G does not flow into the mass flow meter 98.

この状態を、一定時間行って、被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間に、ピンホール試験用ガスＧ以外が存在しないようにする。
続いて、下側ガス排出ライン８８のガス排出バルブ９０を閉止して、被測定フィルムＦと下側試験用プレート１６との間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧが、下側ガス排出ライン８８から排出するのを停止する。 This state is performed for a certain period of time so that there is no gas other than the pinhole test gas G in the space formed between the film F to be measured and the upper test plate 32.
Subsequently, the gas discharge valve 90 of the lower gas discharge line 88 is closed, and the pinhole test gas G filled in the space formed between the film F to be measured and the lower test plate 16 is Discharging from the lower gas discharge line 88 is stopped.

一方、上側ガス排出ライン９４のガス排出バルブ１００を閉止して、被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧが、ガス排出ライン１０２から排出するのを停止する。 On the other hand, the gas discharge valve 100 of the upper gas discharge line 94 is closed, and the pinhole test gas G filled in the space formed between the film F to be measured and the upper test plate 32 becomes the gas discharge line. Stop discharging from 102.

そして、マスフローメータ供給バルブ９６を開けて、マスフローメータ９８にピンホール試験用ガスＧを流すようにする。この際、ガス供給ライン７４のガス供給バルブ８２を
閉止して、ガス供給ライン７４から被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間にピンホール試験用ガスＧが流入しないようにする。
Then, by opening the mass flow meter supply valve 96, to flow through the pinhole test gas G in the mass flow meter 98. At this time, the gas supply valve 82 of the gas supply line 74 is closed, and the pinhole test gas G does not flow from the gas supply line 74 into the space formed between the film F to be measured and the upper test plate 32. Like that.

この状態で、下側試験用プレート１６と被測定フィルムＦとの間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧが、被測定フィルムＦを透過して、上側試験用プレート３２と被測定フィルムＦとの間に形成される空間に流れるピンホール試験用ガスＧの量を、マスフローメータ９８で追跡する。 In this state, the pinhole test gas G filled in the space formed between the lower test plate 16 and the film F to be measured passes through the film F to be measured, and the upper test plate 32 and The amount of the pinhole test gas G flowing in the space formed between the film to be measured F is tracked by the mass flow meter 98.

測定初期は、ライン中のピンホール試験用ガスＧが急激にマスフローメータ９８を通過するため、高い値を示すが、安定的にピンホール試験用ガスＧが透過すると一定値を示す。この値によりピンホールを判定する。すなわち、ピンホールがある場合は流量が安定しないか、流量が多く測定値オーバーとなる。 In the initial stage of measurement, the pinhole test gas G in the line abruptly passes through the mass flow meter 98, and thus shows a high value. However, when the pinhole test gas G stably permeates, it shows a constant value. A pinhole is determined by this value. That is, when there is a pinhole, the flow rate is not stable, or the flow rate is large and the measured value is exceeded.

なお、以上の操作は、手動で行ってもよく、また、制御装置を用いて、自動で行うことも可能である。 The above operation may be performed manually or automatically using a control device.

２４０ｍｍ×２４０ｍｍ×４０μｍのスルホン酸基を有するポリアリーレンからなる被測定フィルムＦを、図１〜図４に示した本発明のピンホール試験装置１０を用いて、ピンホール試験を実施した。 A pinhole test was performed on the film F to be measured made of polyarylene having sulfonic acid groups of 240 mm × 240 mm × 40 μm using the pinhole test apparatus 10 of the present invention shown in FIGS.

圧力ガスボンベ７２から、ガス供給ライン７４、下方側ガス供給ライン８４から、下側試験用プレート１６のガス供給口４０に、ピンホール試験用ガスＧとしてＨｅガスを５０ＫＰａのガス圧で供給した。 He gas as a pinhole test gas G was supplied at a gas pressure of 50 KPa from the pressure gas cylinder 72 to the gas supply port 40 of the lower test plate 16 from the gas supply line 74 and the lower gas supply line 84.

そして、被測定フィルムＦの膜厚方向を透過するＨｅガスのリーク量を、上側試験用プレート３２のガス排出口６０から、上側ガス排出ライン９４を介して流れるＨｅガスの流量を、マスフローメータ９８で測定することにより、ピンホール試験を行った。 Then, the amount of He gas that passes through the film thickness direction of the film F to be measured is measured, the flow rate of He gas that flows from the gas discharge port 60 of the upper test plate 32 through the upper gas discharge line 94, A pinhole test was performed by measuring at.

このようにして、１００枚の被測定フィルムＦについて、ピンホール試験を行った。この際、図６に示したグラフに示したように、０．３ｃｃ／ｍｉｎ以下で一定のＨｅガス透
過量を示した被測定フィルムＦを、良品と判定した。 In this way, a pinhole test was performed on 100 films F to be measured. Under the present circumstances, as shown in the graph shown in FIG. 6, the to-be-measured film F which showed fixed He gas permeation | transmission amount at 0.3 cc / min or less was determined to be non-defective.

また、被測定フィルムＦに亀裂が入っていた場合では、一定のガスリーク量を示さないで、２ｃｃ／ｍｉｎ以上は、不良品と判定した。
一方、０．３ｃｃ／ｍｉｎ以上で一定値を示さない場合は、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６の間の隙間からガスリークが発生しているため、シール部材４８、シール部材６４の交換を行い、配管のもれなどを確認する必要があると判定した。
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、上記実施例では、下側試験用プレート１６，上側試験用プレート３２に、長手方向に平行に延び、一定間隔離間して配設された複数の溝としてガス排出用溝（図示せず）を形成していることを想定しているが、この溝の形状は、例えば同心円弧状、螺旋状、斜めに平行に配置するなどしても良く、さらには一つの溝とすることも可能である。
Further, when the film to be measured F was cracked, a certain amount of gas leak was not shown, and 2 cc / min or more was judged as a defective product.
On the other hand, when a constant value is not shown at 0.3 cc / min or more, a gas leak is generated from the gap between the upper test plate 32 and the lower test plate 16, so that the seal member 48 and the seal member 64 It was determined that it was necessary to replace the pipes and check for leaks.
The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to this. In the above embodiment, the lower test plate 16 and the upper test plate 32 are parallel to the longitudinal direction. It is assumed that gas discharge grooves (not shown) are formed as a plurality of grooves that are spaced apart from each other by a predetermined distance, and the shape of the grooves is, for example, concentric arcs or spirals. Further, they may be arranged obliquely and in parallel, and it is also possible to form a single groove.

また、上記実施例では、被測定フィルムＦをバッチ式に一枚ずつ、本発明のピンホール試験装置１０に適用するようにしたが、いわゆるロールツーロールで連続的に被測定フィルムＦにピンホール試験を行うようにしてもよい。 Moreover, in the said Example, although the film F to be measured was applied to the pinhole test apparatus 10 of this invention one by one batchwise, pinholes are continuously formed on the film F to be measured by so-called roll-to-roll. You may make it perform a test.

さらに、被測定フィルムＦとしては、特に限定されるものではなく、ポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、イオン交換膜、プロトン伝導膜その他の周知のフィルムに適用することが可能である。 Furthermore, the film F to be measured is not particularly limited, and can be applied to a polyimide film, a polyester film, an ion exchange membrane, a proton conductive membrane, and other known films.

また、上記実施例では、ピンホール試験用ガスとして、Ｈｅガスを用いたが、特に限定されるものではなく、Ａｒガス、Ｏ₂ガス、Ｎ₂ガスなどを用いることができる。また、ピンホール試験用ガスのガス圧力としては、被測定フィルムＦの種類、厚さにもよるが、１０〜１００ＫＰａ、好ましくは、３０〜７０ＫＰａとするのが望ましい。 In the above embodiment, as a pin-hole test gas, although using He gas, is not particularly limited, Ar gas, O ₂ gas, such as N ₂ gas can be used. The gas pressure of the pinhole test gas is 10 to 100 KPa, preferably 30 to 70 KPa, although it depends on the type and thickness of the film F to be measured.

さらに、上記実施例では、０．３ｃｃ／ｍｉｎ以下で一定のＨｅガス透過量を示した被測定フィルムＦを、良品と判定したが、この判定指標は、被測定フィルムＦの種類、厚さにもよるが、１０〜１００μｍ、好ましくは、２０〜５０μｍとするのが望ましい。 Furthermore, in the said Example, although the to-be-measured film F which showed fixed He gas permeation amount at 0.3 cc / min or less was determined to be non-defective, this determination index is based on the type and thickness of the to-be-measured film F. However, it is desirable that the thickness is 10 to 100 μm, preferably 20 to 50 μm.

さらに、上記実施例では、上側試験用プレート３２の方を移動させて、下側試験用プレート１６に対して接近離反するようにしたが、下側試験用プレート１６を上側試験用プレート３２に対して接近離反するようにすることも、また、これらの両試験用プレート１６、３２を相互に接近離反するようにすることも可能である。 Further, in the above embodiment, the upper test plate 32 is moved so as to approach and separate from the lower test plate 16. However, the lower test plate 16 is moved away from the upper test plate 32. The test plates 16 and 32 can be moved closer to and away from each other.

また、上記実施例では、いわゆる縦置き型のピンホール試験装置１０について説明したが、横置き型のピンホール試験装置とすることも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 In the above-described embodiments, the so-called vertical pinhole test apparatus 10 has been described. However, various modifications can be made without departing from the object of the present invention, such as a horizontal pinhole test apparatus. Is possible.

図１は、本発明のピンホール試験装置の正面図である。FIG. 1 is a front view of the pinhole test apparatus of the present invention. 図２は、図１のピンホール試験装置の側面図である。FIG. 2 is a side view of the pinhole test apparatus of FIG. 図３は、図１のピンホール試験装置の上面図である。FIG. 3 is a top view of the pinhole test apparatus of FIG. 図４は、図１のピンホール試験装置の図１のＡ−Ａ線での上面図である。4 is a top view of the pinhole test apparatus of FIG. 1 taken along line AA of FIG. 図５は、ピンホール試験装置１０のシステム全体の概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram of the entire system of the pinhole test apparatus 10. 図６は、実施例１のピンホール試験の結果を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing the results of the pinhole test of Example 1.

Explanation of symbols

１０ピンホール試験装置
１２ベース基台
１４下側定盤部材
１５支柱部材
１６下側試験用プレート
１８上端フレーム板部材
２０押圧移動部
２２上方フレーム板部材
２４上側定盤部材
２６バネ部材
２８エアシリンダ
３０軸部
３２上側試験用プレート
３４加圧ガスパイプ
４０ガス供給口
４４ガス排出口
４８シール部材
５６ガス供給口
６０ガス排出口
６４シール部材
７０ピンホール試験システム
７２圧力ガスボンベ
７４ガス供給ライン
７６圧力ボンベ開閉バルブ
７８ガスリークバルブ
８０オートプレッシャーレギュレータ
８２ガス供給バルブ
８４下方側ガス供給ライン
８６上方側ガス供給ライン
８８下側ガス排出ライン
９０ガス排出バルブ
９２ガス供給バルブ
９４上側ガス排出ライン
９６マスフローメータ供給バルブ
９８マスフローメータ
１００ガス排出バルブ
１０２ガス排出ライン
Ｆ被測定フィルム
Ｇピンホール試験用ガス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Pinhole test apparatus 12 Base base 14 Lower surface plate member 15 Support | pillar member 16 Lower test plate 18 Upper end frame plate member 20 Press moving part 22 Upper frame plate member
24 Upper surface plate member 26 Spring member 28 Air cylinder 30 Shaft portion 32 Upper test plate 34 Pressurized gas pipe 40 Gas supply port 44 Gas discharge port 48 Seal member 56 Gas supply port 60 Gas discharge port 64 Seal member 70 Pinhole test system 72 Pressure gas cylinder 74 Gas supply line 76 Pressure cylinder opening / closing valve 78 Gas leak valve 80 Auto pressure regulator 82 Gas supply valve 84 Lower gas supply line 86 Upper gas supply line 88 Lower gas discharge line 90 Gas discharge valve 92 Gas supply valve 94 Upper gas discharge line 96 Mass flow meter supply valve 98 Mass flow meter 100 Gas discharge valve 102 Gas discharge line F Film to be measured G Gas for pinhole test

Claims

A pair of upper test plate and lower test plate that are arranged so as to be detachable from each other and sandwich the film to be measured from above and below,
Between said upper test plate and the lower test plate, while clamping the measured film from above and below,
One of the test plate from the pinhole test gas is supplied to one surface of the measured film, said of the pinhole test gas leaking through the measured film on the other surface of the measured film gas By measuring the flow rate through the other test plate,
A pinhole test apparatus configured to measure the presence or absence of pinholes in the film to be measured ,
The pinhole test apparatus is
A gas supply port and a gas discharge port are formed in the upper test plate and the lower test plate , respectively .
Between the upper test plate and the lower test plate, before performing a pinhole test by sandwiching the film to be measured from above and below,
Open and close these the gas inlet and gas outlet, the gas present between the measured film and between said lower for side test plate and said upper test plate and the measured film, the pinhole test A gas flow path switching control device that replaces the working gas,
When sandwiching the measured film from the vertical direction between said upper test plate and the lower test plates,
A pressure loading device which presses and biases in a direction toward said one of the test plate to the other of the test plate,
An anti-bending device that prevents the upper test plate from bending by supplying a pressurized gas to a substantially central portion of the upper surface of the upper test plate;
A pinhole testing apparatus comprising:

When sandwiching the film to be measured between the upper test plate and the lower test plate from above and below,
Between the upper test plate and the lower test plate,
A positioning device for positioning the film to be measured ;
The positioning device includes:
Locating pins disposed at the corners of one test plate;
A positioning hole disposed at a position where the positioning pin is fitted in a corner portion of the other test plate;
2. The pinhole according to claim 1 , wherein when the two test plates approach each other, the positioning film is positioned by fitting a positioning pin into the positioning hole. Test equipment.