Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP4301555B2 - 小型磁気センサモジュール - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP4301555B2 - 小型磁気センサモジュール - Google Patents

小型磁気センサモジュール Download PDF

Info

Publication number
JP4301555B2
JP4301555B2 JP2003388589A JP2003388589A JP4301555B2 JP 4301555 B2 JP4301555 B2 JP 4301555B2 JP 2003388589 A JP2003388589 A JP 2003388589A JP 2003388589 A JP2003388589 A JP 2003388589A JP 4301555 B2 JP4301555 B2 JP 4301555B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic sensor
sensor module
conductive members
substrate
insulating substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003388589A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005147963A (ja
Inventor
新 下澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Citizen Electronics Co Ltd
Asahi Kasei Microdevices Corp
Original Assignee
Citizen Electronics Co Ltd
Asahi Kasei EMD Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Citizen Electronics Co Ltd, Asahi Kasei EMD Corp filed Critical Citizen Electronics Co Ltd
Priority to JP2003388589A priority Critical patent/JP4301555B2/ja
Publication of JP2005147963A publication Critical patent/JP2005147963A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4301555B2 publication Critical patent/JP4301555B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)

Description

本発明は低背型で、且つ、磁気感知方向が側面方向である小型磁気センサモジュールに関する。
従来、小型の磁気センサはホール効果を応用した半導体によって成るホール素子を用いたものが多く、フロッピーディスク(登録商標)、CD−ROM、DVD等のスピンドルモータの回転位置検出センサやロータリエンコーダ用センサ等として幅広く利用されている。また、近年の電子機器の小型化薄型化要求に伴い、モータやエンコーダの小型化薄型化の技術開発が進み、磁気センサに対しても益々小型化薄型化の要求が高まっている。これらの要求に応じて、ホール素子をリードフレーム上に実装し、樹脂封止した表面実装可能な小型の磁気センサモジュールが提案されている。(例えば特許文献1参照)。以下、図10と図11に基づいて従来の磁気センサモジュールを説明する。
図10は従来のリードフレームを用いた磁気センサモジュールの平面透視図であり、図11は同じく従来の磁気センサモジュールの側面透視図である。図10と図11に於いて、1は従来の表面実装可能な磁気センサモジュールである。2は磁気センサとしてのホール素子であり、3a〜3dは導電性部材によって成るリードフレームである。ホール素子2はリードフレーム3a上に実装され固着されている。4a〜4dは金属細線によってなるワイヤーであり、ホール素子2の4つの電極(図示せず)とリードフレーム3a〜3dを電気的に接続する。5はホール素子2とワイヤー4a〜4dとリードフレーム3a〜3dの一部を封止する封止部材である。6はプリント基板であり、7はプリント基板6の表面に形成される導電パターンである。ここで、磁気センサモジュール1はリードフレーム3a〜3dを用いて半田8によってプリント基板6に表面実装することが出来るので、比較的小型で実装が容易な磁気センサモジュールを実現している。
特開平11−121830号公報(特許請求の範囲、第1図、第2図)
しかしながら、図10と図11で示した磁気センサモジュール1は更に小型化を実現しようとすると、封止部材5より大きく露出しているリードフレーム3a〜3dの先端部が障害となり、更なる小型化は困難である。また、リードフレーム3a〜3dの材料は、一般的に鉄ニッケル系合金が幅広く使用されているが、これらの材料は強磁性体であるためにホール素子2の磁気検出特性に少なからず悪影響を及ぼすので、磁気センサモジュールとしては好ましい構成ではない。
また、磁気センサモジュール1の磁気感知方向は図8の矢印Aで図示する如く実装するプリント基板6に対して垂直方向、すなわち、磁気センサモジュール1に対して上面方向である。しかし、薄型化を実現したスピンドルモータ用にこの磁気センサモジュールを用いる場合等では、磁気感知方向が実装するプリント基板に対して水平方向、すなわち、磁気センサモジュールに於いては側面方向であることが望ましい。
図12と図13は、従来のリードフレームを用いた側面方向の磁気感知方向を有する磁気センサモジュールの一例を示しており、図12は側面方向の磁気感知方向を有する磁気センサモジュールの平面透視図であり、図13は同じく側面方向の磁気感知方向を有する磁気センサモジュールの側面透視図である。ここで、図10と図11で示した磁気センサモジュール1と同一要素には同一番号を付し、重複する説明は一部省略する。
図12と図13に於いて、10は側面方向の磁気感知方向を有する磁気センサモジュールである。リードフレーム3a〜3dは封止樹脂5の一方の側面より一列に並んで露出し、その先端はフォーミング加工によってほぼ直角に曲げられている。6はプリント基板であり、7はプリント基板6の表面に形成される導電パターンである。ここで、ほぼ直角に曲げられたリードフレーム3a〜3dの先端を半田8によってプリント基板6の導電パターン7に実装すれば、磁気センサモジュール10はプリント基板6に対してほぼ垂直に実装される。この結果、磁気センサモジュール10の磁気感知方向は矢印Bで示すように側面方向となり、磁気感知方向が側面方向の磁気センサモジュールを実現出来る。
しかし、磁気センサモジュール10の部品高さは、リードフレーム3a〜3dをフォーミング加工するために高さが増える結果となり、低背型の磁気センサモジュールを実現することは出来ない。また、リードフレーム3a〜3dの曲げ角度はある程度の誤差を有し、更には、プリント基板6への実装作業に於いて、リードフレーム3a〜3dの曲げ角度が変化してしまう可能性があるので、矢印Bで示す磁気感知方向の角度は磁気センサモジュール毎にばらつきが生じ、この結果、磁気センサモジュール10の磁気検出感度特性は不安定となる危険性がある。
本発明の目的は、上記課題を解決して、磁気感知方向が側面方向でありながら低背型で、且つ、量産性に優れた磁気センサモジュールを提供することである。また、他の目的は磁気検出特性に悪影響を及ぼさないためにリードフレームを使用しない磁気センサモジュールを提供することである。
上記課題を解決するために、本発明の小型磁気センサモジュールは、下記記載の構成を採用する。
本発明の小型磁気センサモジュールは、複数の導電部材を配設した略直方体形状の絶縁性基板を有し、該絶縁性基板に磁電変換手段としての磁気センサを固着し、該磁気センサと前記複数の導電部材を電気的接続部材によって接続すると共に、前記複数の導電部材は、前記絶縁性基板の長手方向に一列に並んで配設されると共に、該複数の導電部材は前記絶縁性基板の両面に対となって配設され、該対となる複数の導電部材は複数の接続導電部材によって電気的に接続されて一体化し、該一体化した複数の導電部材の片面側の複数の導電部材は前記磁気センサと前記電気的接続部材によって接続され、前記一体化した複数の導電部材の他の片面側の前記複数の導電部材と前記複数の接続導電部材は、前記絶縁性基板の外周の2面に露出して略直角に配設され、更に、前記磁気センサを封止部材で封止するように構成したことを特徴とする。
本発明の小型磁気センサモジュールにより、磁気センサを絶縁性基板に直接実装して封止部材で封止するので、小型、低背型、且つ、量産性に優れた磁気センサモジュールを提供することが出来る。また、磁気センサの電極となる複数の導電部材は、絶縁性基板の長手方向に一列に並び、且つ、絶縁性基板の両面に対となり一体化して配設されるので、電極構造が簡単で量産性に優れた小型磁気センサモジュールを実現できる。
また、前記絶縁性基板の外周の2面に露出して略直角に配設される他の片面側の前記複数の導電部材と前記複数の接続導電部材は、外部の基板部材に実装する為に電気的機械的接続面として機能し、略直角に配設される該電気的機械的接続面のいずれか一方を選択して前記外部の基板部材に実装することにより、前記外部の基板部材に対して上面向き実装と側面向き実装のいずれかの実装方向を選択出来るように構成したことを特徴とする。
これにより、本発明の小型磁気センサモジュールは外部の基板部材に対して上面向き実装と側面向き実装を選択出来るので、磁気センサの磁気感知方向は上面方向又は側面方向の二つの方向を任意に選択することが出来る。
また、前記絶縁性基板に配設される前記複数の導電部材と前記複数の接続導電部材は、前記外部の基板部材に対して表面実装によって固着されることを特徴とする。
これにより、本発明の小型磁気センサモジュールは、外部の基板部材に対して表面実装で固着できるので、実装面積の縮小や実装コストの低減を実現できる。
また、前記絶縁性基板は、ガラスエポキシ基材、又はBTレジン基材によって成ることを特徴とする。
これにより、強度や耐熱性に優れ、コストダウン可能な小型磁気センサモジュールを提供できる。
また、前記磁気センサは前記絶縁性基板の表面素地に非導電性接着剤によって直接固着されることを特徴とする。
これにより、磁気センサの周辺には導電性部材や磁性体が存在しないので、磁気検出特性に悪影響を及ぼさない小型磁気センサモジュールを提供することが出来る。
また、前記磁気センサはホール素子によって成ることを特徴とする。
これにより、小型で低背型の高性能な磁気センサモジュールを提供することが出来る。
また、前記絶縁性基板は、薄板形状の集合基板上に多数個形成され、前記接続導電部材に沿ってダイシング加工することにより分離し単体化されることを特徴とする。
これにより、絶縁性基板が多数個形成された集合基板に、一括してホール素子を実装し、その後、接続導電部材に沿ってダイシング加工で絶縁性基板を分離し単体化出来るので、量産性に優れ品質の安定した小型磁気センサモジュールを提供できる。
上記の如く本発明によれば、磁気センサであるホール素子を絶縁性基板の表面素地に直接実装し、絶縁性基板に配設された複数の導電部材はホール素子と電気的に接続されると共に、外部の基板部材に直接実装される構成であるので、低背型で、且つ、磁気感知方向が側面方向である小型磁気センサモジュールを提供することが出来る。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールの背面斜視図であり、図2は本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールの正面斜視図である。図3は図2の矢印Cから封止部材25を透視して見た小型磁気センサモジュール20の正面透視図である。
図1と図2に於いて、20は本発明の小型磁気センサモジュールである。21は略直方体形状のガラスエポキシ又はBTレジン等によって成る絶縁性基板としての基板である。22a〜22dは、略正方形形状の銅箔等によって成る導電部材としての電極であり、基板21の長手方向の片面に一列に並んで固着し配設される。
23a〜23dは、銅箔等によってなる導電部材としての電極であり、基板21の長手方向の他の片面に一列に並んで固着し、電極22a〜22dと対となって基板21の両面に配設される。尚、電極23a〜23dの形状は後に図3で説明する。24a〜24dは基板21の円弧部の内面を覆う接続導電部材としてのスルホール電極であり、基板21の両面に対となって配設される電極22a〜22dと電極23a〜23dを電気的に接続する。
この結果、電極22aと電極23aとスルホール電極24a、電極22bと電極23bとスルホール電極24b、電極22cと電極23cとスルホール電極24c、及び電極22dと電極23dとスルホール電極24dは、基板21を挟んで電気的に接続されて一体化した電極となる。25は絶縁性樹脂によって成る封止部材であり、基板21の片面側を覆い、図示しないが後述する磁気センサを封止する。また、基板21の表面に露出している電極22a〜22dとスルホール電極24a〜24dは、基板21の外周の2面に略直角で配設されており、後述する外部の基板部材と電気的機械的に接続するための電気的機械的接続面として機能する。
次に図3に於いて、26は略立方体形状の磁気センサとしてのホール素子であり、基板21の表面素地に非導電性接着剤としての非導電ペースト27によって直接固着される。電極23a〜23dは図1と図2で説明した如く基板21の片面に配設される複数の電極であり、それぞれの電極23a〜23dの先端は図示する如くホール素子26に近接している。28a〜28dは電気的接続部材としての金属細線によって成るワイヤーであり、電極23a〜23dの先端とホール素子26の4つの端子電極(図示せず)を電気的に接続する。
次に本発明の実施形態である小型磁気センサモジュール20の動作を説明する。図3に於いて、ホール素子26はホール効果によって二つの入力端子間に電圧を印加して電流を流すと、ホール素子26に垂直に作用する磁界の強さに比例して他の二つの出力端子間にホール電圧Vhが発生する。例えば、ホール素子26の4つの端子電極(図示せず)にそれぞれ接続する基板21の電極23a〜23dに於いて、電極23bと電極23dがホール素子26入力端子であり、電極23aと電極23cがホール素子26の出力端子であるとする。
ここで、入力端子である基板21の電極23bと電極23dの間に電圧を印加して電流を流すと、ホール素子26に垂直に作用する磁界の強さに比例して出力端子である電極23aと電極23c間にホール電圧Vhが発生する。この結果、このホール電圧Vhの値を知ることにより、磁界の強さや磁界の有無を検出することが出来る。
次に図4と図5に基づいて、本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールの二つの実装方式を説明する。図4は本発明の実施形態である小型磁気センサモジュール20を側面向き実装した側面透視図である。図4に於いて30は外部の基板部材としてのプリント基板であり、31はプリント基板30の表面に配設される導電パターンである。
小型磁気センサモジュール20は内蔵するホール素子26がプリント基板30に対して垂直になるように配置され、接続導電部材であるスルホール電極24a〜24dが電気的機械的接続面として機能し、半田32によって導電パターン31と電気的機械的に結合される。尚、ホール素子26は前述した如く、封止部材25によって封止され機械的に保護されている。
この結果、小型磁気センサモジュール20の磁気感知方向は、ホール素子26がプリント基板30に対して垂直に配置されているので、矢印Dで示すようにプリント基板30に対して水平方向、すなわち、小型磁気センサモジュール20の磁気感知方向は側面方向となる。また、小型磁気センサモジュール20の部品高さは、図示する如くプリント基板30の導電パターン31から0.6mm程度とすることが出来た。これは、基板21に配設されるスルホール電極24a〜24dを用いて、プリント基板30の導電パターン31に表面実装することが出来るからである。
以上のように、本発明の実施形態に於ける実装方式によれば、ホール素子26がプリント基板30に対して垂直になるように小型磁気センサモジュール20を表面実装できるので、磁気感知方向を側面方向とすることが出来、プリント基板30に対して水平方向の磁界を効率良く検出することが可能となる。また、図12で示した従来例のようなリードフレームを使用せず、基板21に配設されるスルホール電極24a〜24dを電気的機械的接続面としてプリント基板30に直接実装できるので、低背型の小型磁気センサモジュールを実現することが出来る。
図5は本発明の実施形態である小型磁気センサモジュール20を上面向き実装した側面透視図である。図4と同一要素には同一番号を付加し、重複する説明は省略する。図5に於いて小型磁気センサモジュール20はホール素子26がプリント基板30に対して水平になるように配置され、電極22a〜22dが電気的機械的接続面として機能し、半田32によって導電パターン31と電気的機械的に結合される。
この結果、小型磁気センサモジュール20の磁気感知方向は、ホール素子26がプリント基板30に対して水平に配置されているので、矢印Eで示すようにプリント基板30に対して垂直方向、すなわち、小型磁気センサモジュール20の磁気感知方向は上面方向となる。また、小型磁気センサモジュール20の部品高さは、図示する如くプリント基板30から0.65mm程度にすることが出来た。これは、基板21に配設される電極22a〜22dを用いて、プリント基板30の導電パターン31に表面実装することが出来るからである。
以上のように、本発明の実施形態に於ける実装方式よれば、ホール素子26がプリント基板30に対して水平になるように小型磁気センサモジュール20を表面実装できるので、磁気感知方向を上面方向とすることが出来、プリント基板30に対して垂直方向の磁界を効率良く検出することが可能となる。また、基板21に配設される電極22a〜22dを電気的機械的接続面としてプリント基板30に直接実装できるので、低背型の小型磁気センサモジュールを実現することが出来る。
次に図6は、本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールを側面向き実装した場合の応用例を示す。40は図示しないが回転機構と直結する回転軸であり、41は回転軸40に直結するロータリエンコーダであって、円周に沿ってN極42とS極43が多数交互に配設されている。小型磁気センサモジュール20はプリント基板45に側面実装され、ロータリエンコーダ41の円周にあるN極42、S極43に近接して配置される。
ここで、ロータリエンコーダ41のN極42からS極43への磁力線(図示せず)はプリント基板45に対して水平に、すなわち、小型磁気センサモジュール20に対して側面方向に放出されるが、小型磁気センサモジュール20は側面向き実装されているのでその磁気感知方向は側面方向であり、この結果、小型磁気センサモジュール20はロータリエンコーダ41からの磁界の変化を効率よく検出することが出来る。
すなわち、ロータリエンコーダ41が矢印Fの方向に回転すると、小型磁気センサモジュール20のホール素子26には、N極42からS極43への磁力線(図示せず)が交互に通過し、この磁力線の変化に応じてホール素子26からホール電圧Vhがパルス状に出力される。このパルス状のホール電圧Vhの周期を計数すれば、回転軸40の回転速度等を高精度に測定することが出来る。
また、小型磁気センサモジュール20は前述した如く、側面向き実装されても部品高さが低いので、ロータリエンコーダ41が薄型であれば、エンコーダ全体の薄型化を容易に実現できる。尚、この応用例ではロータリエンコーダを取り上げて説明したが、これに限定されず、例えば、薄型のスピンドルモータに近接して回転位置検出用に本発明の小型磁気センサモジュールを側面向き実装して配置すれば、極めて薄いモータシステムを提供することが可能となる。
また、本発明のモジュール構造はホール素子に限定されず、他の方式の磁気センサや、一般的な半導体モジュール構造として幅広く応用することが出来る。また、本発明の実施形態に於いては、磁気センサとしてのホール素子の数を一つとして説明したが、ホール素子数は一つに限定されず複数のホール素子を配設した磁気センサモジュールとしても良い。
以上のように本発明の実施形態によれば、小型磁気センサモジュールはリードフレームを使用せず、基板の表面素地に直接ホール素子を実装し、また、基板に配設される電極とスルホール電極が基板外周の2面に露出して略直角に配置され、これらの電極を電気的機械的接続面として外部のプリント基板に直接実装する構造であるので、外部のプリント基板に対して上面向き実装又は側面向き実装を選択することが可能であり、この結果、小型磁気センサモジュールの磁気感知方向は上面方向又は側面方向のいずれかを任意に選択することが出来る。
また、リードフレームを使用せず、基板に配設された電極を電気的機械的接続面として外部のプリント基板に表面実装する構造であるので、側面向き実装であっても極めて低背型の小型磁気センサモジュールを実現できる。また、磁気センサであるホール素子は、絶縁性基板の表面素地に直接非導電ペーストによって実装されるので、ホール素子の近傍には、磁気検出特性に悪影響を及ぼす強磁性体等の導電性材料が存在しないので、優れた磁気検出特性を実現できる。更には、製造が容易な基板ベースのモジュールであるので、量産性に優れてコストの安い小型磁気センサモジュールを提供することが可能である。
次に、本発明の小型磁気センサモジュールの製造方法の概略を図7〜図9に基づいて説明する。図7に於いて、50はガラスエポキシ又はBTレジン等を材料とした薄板形状の集合基板である。51は接続導電部材としての複数のスルホールであり、集合基板50の長手方向に一定間隔で形成される。52a〜52gは集合基板50の表面に形成される銅箔等によってなる電極であり、各電極52a〜52gの略中央付近に前記複数のスルホール51が配置される。これらの電極52a〜52gは、図3で示した本発明の小型磁気センサモジュール20の電極23a〜23dに相当するものである。また、図示しないが、集合基板50の裏面には、図1で示した小型磁気センサモジュール20の電極22a〜22dに相当する電極が形成される。
次に、図8に於いて、集合基板50に対しホール素子53a〜53dが非導電ペースト(図示せず)によって実装される。すなわち、ホール素子53a、53bは電極52a〜52dが対向するエリアに実装され、ワイヤー54によって電極52a〜52dに電気的に接続される。また、ホース素子53c、53dは電極52d〜52gが対向するエリアに実装され、ワイヤー54によって電極52d〜52gに電気的に接続される。
次に、ホール素子53a〜53dの実装が完了したならば、ダイシング加工が実施される。すなわち、図8に示す如く、ダイシングライン55aは一列に形成される複数のスルホール51の略中心に沿った長手方向のラインであり、該ダイシングライン55aを基準としてスルホール51に沿ってダイシング加工が実施される。また、ダイシングライン55b〜55dはダイシングライン55aに対して略直角で、且つ、スルホール51の略中心に沿った短手方向のラインであり、該ダイシングライン55b〜55dを基準として短手方向にダイシング加工が実施される。
次に、図9は集合基板50のダイシング加工後を示し、図示する如く、ホール素子53a〜53dがそれぞれ1つずつ実装された基板21が完成する。ここで、基板21の上面に図示しないが封止部材25(図1、図2参照)を充填し封止すれば、本発明の小型磁気センサモジュール20が完成する。尚、封止部材25は、ダイシング加工前に充填しても良い。また、集合基板50は、基板21を4個形成する大きさであるが、この形態に限定されるものではなく、更に多数の基板21を形成するために大きなサイズの集合基板を用いて良い。以上のように、集合基板にスルホールを形成し、該スルホールに沿ってダイシング加工することにより、多数の基板を完成することが出来るので、量産性に優れ品質の安定した小型磁気センサモジュールを提供することが出来る。
本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールの背面斜視図である。 本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールの正面斜視図である。 本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールの正面透視図である。 本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールを側面向き実装した側面透視図である。 本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールを上面向き実装した側面透視図である。 本発明の実施形態である小型磁気センサモジュールを側面向き実装した応用例を示す斜視図である。 本発明の小型磁気センサモジュールを多数個形成する集合基板の斜視図である。 本発明の小型磁気センサモジュールを多数個形成する集合基板の実装工程及びダイシングラインを示す斜視図である。 本発明の小型磁気センサモジュールを多数個形成する集合基板のダイシング加工後を示す斜視図である。 従来の磁気センサモジュールの平面透視図である。 従来の磁気センサモジュールの側面透視図である。 従来の側面方向の磁気感知方向を有する磁気センサモジュールの平面透視図である。 従来の側面方向の磁気感知方向を有する磁気センサモジュールの側面透視図である。
符号の説明
1、10 磁気センサモジュール
2、26、53a〜53d ホール素子
3a〜3d リードフレーム
4a〜4d、28a〜28d、54 ワイヤー
5、25 封止部材
6、30、45 プリント基板
7、31 導電パターン
8、32 半田
20 小型磁気センサモジュール
21 基板
22a〜22d、23a〜23d、52a〜52g 電極
24a〜24d スルホール電極
27 非導電ペースト
40 回転軸
41 ロータリエンコーダ
42 N極
43 S極
50 集合基板
51 スルホール
55a〜55d ダイシングライン

Claims (7)

  1. 複数の導電部材を配設した略直方体形状の絶縁性基板を有し、該絶縁性基板に磁電変換手段としての磁気センサを固着し、該磁気センサと前記複数の導電部材を電気的接続部材によって接続すると共に、
    前記複数の導電部材は、前記絶縁性基板の長手方向に一列に並んで配設されると共に、該複数の導電部材は前記絶縁性基板の両面に対となって配設され、該対となる複数の導電部材は複数の接続導電部材によって電気的に接続されて一体化し、該一体化した複数の導電部材の片面側の複数の導電部材は前記磁気センサと前記電気的接続部材によって接続され、前記一体化した複数の導電部材の他の片面側の前記複数の導電部材と前記複数の接続導電部材は、前記絶縁性基板の外周の2面に露出して略直角に配設され、更に、前記磁気センサを封止部材で封止するように構成したことを特徴とする小型磁気センサモジュール。
  2. 前記絶縁性基板の外周の2面に露出して略直角に配設される他の片面側の前記複数の導電部材と前記複数の接続導電部材は、外部の基板部材に実装する為に電気的機械的接続面として機能し、略直角に配設される該電気的機械的接続面のいずれか一方を選択して前記外部の基板部材に実装することにより、前記外部の基板部材に対して上面向き実装と側面向き実装のいずれかの実装方向を選択出来るように構成したことを特徴とする請求項1に記載の小型磁気センサモジュール。
  3. 前記絶縁性基板に配設される前記複数の導電部材と前記複数の接続導電部材は、前記外部の基板部材に対して表面実装によって固着されることを特徴とする請求項1または2に記載の小型磁気センサモジュール。
  4. 前記絶縁性基板は、ガラスエポキシ基材、又はBTレジン基材によって成ることを特徴とする請求項1乃至いずれかに記載の小型磁気センサモジュール。
  5. 前記磁気センサは前記絶縁性基板の表面素地に非導電性接着剤によって直接固着されることを特徴とする請求項1乃至いずれかに記載の小型磁気センサモジュール。
  6. 前記磁気センサはホール素子によって成ることを特徴とする請求項1乃至いずれかに記載の小型磁気センサモジュール。
  7. 前記絶縁性基板は、薄板形状の集合基板上に多数個形成され、前記接続導電部材に沿ってダイシング加工することにより分離し単体化されることを特徴とする請求項1乃至いずれかに記載の小型磁気センサモジュール。
JP2003388589A 2003-11-18 2003-11-18 小型磁気センサモジュール Expired - Fee Related JP4301555B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003388589A JP4301555B2 (ja) 2003-11-18 2003-11-18 小型磁気センサモジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003388589A JP4301555B2 (ja) 2003-11-18 2003-11-18 小型磁気センサモジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005147963A JP2005147963A (ja) 2005-06-09
JP4301555B2 true JP4301555B2 (ja) 2009-07-22

Family

ID=34695576

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003388589A Expired - Fee Related JP4301555B2 (ja) 2003-11-18 2003-11-18 小型磁気センサモジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4301555B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100901810B1 (ko) 2007-11-14 2009-06-08 주식회사 아모센스 자기센서 패키지 및 자기센서 패키지의 제조방법
JP2011002312A (ja) * 2009-06-18 2011-01-06 Hitachi Automotive Systems Ltd インダクタンス式回転角度検出装置及びそれを備えたモータ駆動式の絞り弁制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005147963A (ja) 2005-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4274051B2 (ja) 回転検出装置及び回転検出装置の製造方法
JP2006300779A (ja) 回転検出装置
JPH0783082B2 (ja) 半導体装置
JP4301555B2 (ja) 小型磁気センサモジュール
JP4980600B2 (ja) 磁気センサ
CN207067372U (zh) 霍尔传感器以及镜头模块
JP2005127750A (ja) 半導体センサおよびその製造方法
EP4328607A1 (en) Magnetic sensor device, and method of producing same
KR100832185B1 (ko) 압전 장치 및 전자기기
JP2004061380A (ja) 磁気センサおよび磁気センサの製造方法
JP4835218B2 (ja) センサ装置
JP5879025B2 (ja) ホール素子
JP4881041B2 (ja) 磁気センサ装置
JP5030135B2 (ja) 圧電単結晶振動子および圧電振動ジャイロ
JP2010243196A (ja) ジャイロセンサー
JP4786986B2 (ja) 電子部品
JPS62267637A (ja) 圧力変換器
JPH0843435A (ja) 加速度センサ
JP2005121471A (ja) 電流センサ
JP2005005473A (ja) ホール素子
JP3348171B2 (ja) モータ回転制御用デバイス
JP2007163501A (ja) 半導体センサおよびその製造方法
JPH09297038A (ja) ホール素子
JPH07174783A (ja) 加速度検出装置
JP2022149643A (ja) 磁気検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20061011

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061019

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20061013

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20070402

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070427

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090113

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090122

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090319

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090416

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090420

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130501

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140501

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees