JP4311925B2 - Diffuse reflector - Google Patents
Diffuse reflector Download PDFInfo
- Publication number
- JP4311925B2 JP4311925B2 JP2002300676A JP2002300676A JP4311925B2 JP 4311925 B2 JP4311925 B2 JP 4311925B2 JP 2002300676 A JP2002300676 A JP 2002300676A JP 2002300676 A JP2002300676 A JP 2002300676A JP 4311925 B2 JP4311925 B2 JP 4311925B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- concavo
- light
- reflective film
- substrate
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示器に用いられる拡散反射板に関する。
【0002】
【従来の技術】
バックライトなどの光源を必要としない表示器として、反射板と表示素子に入射する光および反射板で反射された光の光量を制御する光制御手段(電極、液晶層など)と、偏光板と組み合わせて表示を行う反射型液晶表示器が知られている(例えば特許文献1、2)。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−337935号公報
【特許文献2】
特開2000−180616号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来の反射型液晶表示器にあっては、一般的に、どの角度から見ても明るく且つ鮮明な表示が得られるものが好ましいとされている。しかし、消費電力が小さく、また、背景光が強いほど鮮明に見えるという利点を有する反射型液晶表示器は携帯用の機器に利用されることが多く、このような用途の場合は周囲の人に覗き見されるおそれがある。
【0005】
本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであり、観察者が反射型液晶表示器を正面から見たときには明るく鮮明な表示を与え、且つ観察者以外の者が斜め方向から該液晶表示器を見たときの視認性を低下させることが可能な拡散反射板を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の拡散反射板は、反射型液晶表示器に用いられる拡散反射板において、基板と、基板表面上に形成され基板から遠い側に凹凸面を有する凹凸層と、凹凸層の凹凸面上に形成され金属膜を含む反射膜と、を備え、基板表面の法線に対する入射角30°で反射膜側から光を入射させたときに、正反射方向から反射膜側に15°ずれた方向に反射される反射光の光強度値が、正反射方向から反射膜側に25°ずれた方向に反射される反射光の光強度値の6倍以上であり、凹凸層が、基板表面に感光波長域に対する単位厚さ当たりの透過率が1〜30%/μmであるポジ型フォトレジストを塗布した後、内側に拡散反射領域形成用パターン、外側に透明パターンがそれぞれ形成されたフォトマスクを介して前記フォトレジストにプロキシミティー露光を施した後、現像・熱処理を行うことにより形成されたものであることを特徴とする。
【0007】
本発明の拡散反射板によれば、凹凸面を有するフォトレジスト及び反射膜を基板上に形成し、基板表面の法線に対する入射角30°で反射膜側から光を入射させたときに、正反射方向から反射膜側に15°ずれた方向に反射される反射光の光強度値を、正反射方向から反射膜側に25°ずれた方向に反射される反射光の光強度値の6倍以上とすることで、観察者が反射型液晶表示器を正面から見たときには明るく鮮明な表示を与え、且つ観察者以外の者が斜め方向から該液晶表示器を見たときの視認性を低下させることが可能となる。また、凹凸層が、基板表面に上記特定のポジ型フォトレジストを塗布した後、内側に拡散反射領域形成用パターン、外側に透明パターンがそれぞれ形成されたフォトマスクを介してフォトレジストにプロキシミティー露光を施した後、現像・熱処理を行うことにより形成されたものであることによって、反射光の光強度値が上記の条件を満たすための凹凸層を容易に且つ確実に形成することができる。なお、ポジ型レジストの当該透過率が1%/μm未満であると加工性が不十分となって多くの露光エネルギーが必要となる傾向にある。また、当該透過率が30%/μmを超えると、加工深さが露光条件や現像条件に対して急激に変化するため、所定形状の凹凸面を安定的に形成することが困難となる傾向にある。
【0009】
また、本発明の拡散反射板は、凹凸層が、感光波長域に対して遮光性を有する遮光性材料を含有するポジ型フォトレジストからなることを特徴としてもよい。遮光性材料を含有するポジ型フォトレジストを用いることで、上記特定の凹凸層を容易に且つ確実に形成することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付することとし、重複する説明は省略する。
【0011】
図1は本発明の拡散反射板の一例を示す模式断面図である。図1中、透明基板1の表面上には、基板1から遠い側に微細な凹凸曲面を有する凹凸層2が設けられている。凹凸層2の表面上には蒸着等の手法でアルミニウムなど高反射率の金属膜を含む反射膜3が形成される。
【0012】
凹凸層2は、フォトレジスト(感光性樹脂)などの有機材料からなる。フォトレジストは、露光工程、現像工程後の加熱工程で硬化する性質を有する。フォトレジストは、加熱工程での硬化にともなって溶融軟化し、膜表面が平滑化する性質を有する。ここでいう加熱工程は、フォトレジストが軟化する温度まで加熱する軟化工程と、フォトレジストを硬化させるベーキング工程とを含むものである。
【0013】
反射膜3は、純アルミニウム、アルミニウム合金(Al−Nd合金など)や銀合金(Ag−Pd−Cu合金)などの材料で構成される。
【0014】
凹凸層2及び反射膜3の形状は、基板1表面の法線l1に対する入射角30°で反射膜3側から光を入射させたときに、正反射方向から15°ずれた位置における反射光の光強度値I15が正反射方向から25°ずれた位置における反射光の光強度値I25の6倍以上(好ましくは14倍以上、より好ましくは60倍以上)となるように設定される。
【0015】
ここで、図1を参照しつつ、光強度値I15及びI25の概念についてさらに説明する。図1中、l1は基板1表面の法線、l2は法線l1に対して30°傾斜させた方向をそれぞれ示している。また、l3はl2に沿って(すなわち法線l1に対する入射角30°で)光を入射させたときの正反射方向を示しており、l4及びl5はそれぞれl3から拡散反射板側に15°及び25°ずれた方向を示している。
【0016】
本発明の拡散反射板においては、l2上に光源101、l4及びl5上に光検出器102a、102bをそれぞれ配置し、法線l1に対する入射角30°で反射膜3側から光を入射させたときに、光検出器102aで検出される反射光の光強度値(正反射方向から反射膜3側に15°ずれた方向に反射される反射光の光強度値)I15が、光検出器102bで検出される反射光の光強度値(正反射方向から反射膜3側に25°ずれた方向に反射される反射光の光強度値)I25の6倍以上となるように設定される。I15/I25≧5とすることで、観察者が反射型液晶表示器を正面から見たときには明るく鮮明な表示を与え、且つ観察者以外の者が斜め方向から該液晶表示器を見たときの視認性を低下させることが可能となる。なお、光検出器102a、102bは、それぞれの受光面が反射膜3と法線l1との交点から等距離に配置される。
【0017】
図2は本発明の実施形態に係る拡散反射板付きカラーフィルタを示す模式断面図である。図2に示したカラーフィルタが備える拡散反射板は図1に示した拡散反射板と同様の構成を有するものであり、凹凸層2及び反射膜3は光散乱層としての機能を有する。
【0018】
光散乱層をカラーフィルタ基板に形成して使用する場合には、光散乱層上に着色樹脂領域4R,4G,4Bが設けられる。着色樹脂領域4R,4G,4B上には必要に応じて透明保護膜6が設けられ、液晶を駆動するための透明電極5が形成される。
【0019】
なお、着色樹脂領域4R,4G,4Bは、液晶中に表示不良の原因となる不純物を溶出しなければ、いかなる材質のものであっても良い。具体的な材質としては、任意の光のみを透過するように膜厚制御された無機膜や、染色、染料分散あるいは顔料分散された樹脂などがある。
【0020】
この樹脂の種類には、特に制限は無いが、アクリル、ポリビニルアルコール、ポリイミドなどを使用することができる。なお、製造プロセスの簡便さや耐候性などの面から、着色樹脂領域4R,4G,4Bには、顔料分散された樹脂膜を用いることが好ましい。
【0021】
図3は、上述の拡散反射板を備えたカラーフィルタの製造方法を説明するための説明図である。このカラーフィルタは以下の工程(a)〜(e)を順次実行することによって製造される。
【0022】
工程(a)
透明な基板1上にポジ型レジストを塗布しフォトレジスト層(凹凸層2の中間体)2を形成する(図3(a))。フォトレジストとしてはポジ型のものを用いる。
【0023】
ここで、フォトレジストの感光波長域に対する単位厚さ当たりの透過率は1〜30%/μmであることが好ましい。当該透過率が1%/μm未満であると加工性が不十分となって多くの露光エネルギーが必要となる傾向にある。また、当該透過率が30%/μmを超えると、加工深さが露光条件や現像条件に対して急激に変化するため、所定形状の凹凸面を安定的に形成することが困難となる傾向にある。
【0024】
工程(b)
フォトマスク7を介して一括露光(プロキシミティー露光)を行う(図3(b))。フォトマスク7には多角形、円形、リング状の透過部Tが規則的又は、ランダムに配置されている。本例では、リング(円環)状の透過部Tを用いることとする。透過部Tは等間隔で複数配列しており、したがって、露光によってフォトレジスト内に潜像濃度分布2aが形成される。
【0025】
プロキシミティー露光時のフォトマスク7とフォトレジスト2との距離をL(μm)、プロキシミティー露光時のフォトマスク7の透過部Tの外形寸法をD(μm)とする。ここで、外形寸法とは透過部が円形又は円環形である場合には、外径の寸法(直径)を意味し、楕円形や多角形である場合には、重心位置から外周までの平均距離の2倍を意味するものとする。
【0026】
フォトマスク7上の透過部Tは外径Dが20μm以下、より好ましくは15μm以下、そして3μm以上が好適である。
【0027】
工程(c)
フォトレジスト2の現像を行うことでパターニングをする(図3(c))。現像はフォトレジストに適した条件を選定すればよく、ナトリウムやカリウムの水酸化物、炭酸塩、炭酸水素塩といった無機アルカリ、有機アンモニウムなどの有機アルカリの溶液中を現像液として使用し、現像液を20℃から40℃での浸漬又はシャワーすることで行われる。現像後の基板は純水で充分に洗浄したのち、熱処理を行う。
【0028】
熱処理工程では、フォトレジストのパターンは硬化に先だって、溶融軟化し、滑らかな凹凸面がフォトレジストの表面に形成される。熱処理温度としては好ましくは120〜250℃、より好ましくは150〜230℃の範囲が好ましい。また、熱処理時間としては10〜60分が好ましい。
【0029】
上記工程(a)〜(c)により形成される凹凸層の形状は、基板1表面の法線に対する入射角30°で反射膜3側から光を入射させたときに、正反射方向から反射膜3側に15°ずれた方向に反射される反射光の光強度値が正反射方向から反射膜側に25°ずれた方向に反射される反射光の光強度値の6倍以上となるように設定される。
【0030】
工程(d)
金属膜反射膜3を形成する(図2(d))。この形成には蒸着法やスパッタ法を用いることができる。反射膜3の厚みは、0.1〜0.3μmの範囲が好適であり、より好ましくは0.15〜0.25μmの範囲が良い。反射膜3に誘電体多層膜を用いることもできる。また、反射膜3が金属膜を含む場合には高反射率を達成することができる。この金属膜は金属アルミニウム、アルミニウム合金又は銀合金を含むが好ましいが、もちろん、特性に悪影響を与えない他の元素を含んでいてもよい。
【0031】
金属反射膜3は、必要に応じてエッチング等により不要部分を除去し、光透過部やマーク類を形成する。
【0032】
工程(e)
必要に応じて、赤、緑、青の着色層を形成し、続いて、保護層6及び透明電極5を形成物の上に堆積し、拡散反射板付カラーフィルタ基板が完成する(図2(e))。
【0033】
図3は、上述の拡散反射板が設けられたカラーフィルタを用いた反射型液晶表示器の断面図である。
【0034】
この液晶表示器は、1枚偏光板方式の反射型カラー液晶表示器である。ガラスからなる基板1及び対向基板10との間には所定の間隙が設けられ、この間隙に液晶が充填された液晶層9と、画素電極11を有する。また、対向基板10の外側には偏光板12が設けられている。
また、同様の方法で形成した光散乱層上に配線や駆動素子を形成し、素子基板として用いることも可能である。
【0035】
【実施例】
以下、実施例及び比較例に基づき本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
【0036】
[実施例1]
先ず、ポジ型フォトレジスト(東京応化工業社性PR−13)にカーボンブラックを添加して吸光性フォトレジストを調製し、この吸光性フォトレジストをガラス基板上に塗布し、100℃で90秒間プリベークしてフォトレジスト層を形成した。フォトレジスト層の膜厚は1.25μm、主感度波長(405nm)に対する透過率は7%/μmであった。
【0037】
次に、このフォトレジスト層について、外径11μm、内径5μmの透過部がランダムに配置されたフォトマスクを介してプロミキシティー露光を行った。露光量は400mJ/cm2、露光ギャップは150μmとした。
【0038】
露光後のフォトレジスト層を0.5%KOH溶液中で70秒間現像した後、200℃に保持したクリーンオーブン中で20分間熱処理して凹凸層を形成した。
【0039】
さらに、凹凸層上にアルミニウム膜を蒸着して目的の拡散反射板を得た。
【0040】
このようにして得られた拡散反射板について、基板表面の法線に対する入射角30°で反射膜側から光を入射させ、正反射方向から反射膜側に15°及び25°ずれた方向に反射される反射光の光強度値I15、I25を測定した。その結果I15は254、I25は4、I15/I25は63であった
【0041】
[実施例2〜3、比較例1〜4]
実施例2〜3及び比較例1〜4においては、それぞれフォトレジスト層の膜厚及び透過率、露光量、並びに露光ギャップを表1に示す通りとしたこと以外は実施例1と同様にして拡散反射板を作製した。得られた拡散反射板のI15、I25及びI15/I25を表1に示す。
【0042】
【表1】
【0043】
[視認性評価試験]
実施例1〜3及び比較例1〜4で得られた各拡散反射板にグリセリンを介してガラス基板を貼り合わせて視認性評価試料(液晶模擬セル)を作製した。
【0044】
これらの液晶模擬セルについて、被験者が正面及び斜め45°から観察し、各方向における視認性を評価した。評価は1(不良)、2(やや不良)、3(普通)、4(やや良好)、5(良好)の5段階とした。得られた結果を表2に示す。
【0045】
【表2】
表2に示したように、実施例1〜3の拡散反射板を使用した場合、正面から見たときの視認性は十分に高く、その反面、斜めから見たときの視認性は十分に低いことが確認された。
【0046】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、観察者が反射型液晶表示器を正面から見たときには明るく鮮明な表示を与え、且つ観察者以外の者が斜め方向から該液晶表示器を見たときの視認性を低下させることが可能な拡散反射板が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の拡散反射板の一例を示す模式断面図である。
【図2】拡散反射板付きカラーフィルタの一例を示す模式断面図である。
【図3】拡散反射板付きカラーフィルタの製造方法の一例を示す説明図である。
【図4】拡散反射板が設けられたカラーフィルタを用いた反射型液晶表示器の一例を示す模式断面図である。
【符号の説明】
1…基板、2…凹凸層(フォトレジスト層)、2a…潜像濃度分布、3…反射膜、4R,4G,4B…着色樹脂領域、5…透明電極、6…保護層、7…フォトマスク、9…液晶層、10…対向基板、11…画素電極、12…偏光板、101…光源、102a、102b…光検出器。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a diffuse reflector used in a liquid crystal display.
[0002]
[Prior art]
As a display that does not require a light source such as a backlight, light control means (electrodes, liquid crystal layer, etc.) for controlling the amount of light incident on the reflective plate and the display element and the light reflected by the reflective plate, a polarizing plate, A reflection type liquid crystal display that performs display in combination is known (for example,
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 11-337935 [Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 2000-180616
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the above-described conventional reflective liquid crystal display, it is generally preferable that a bright and clear display can be obtained from any angle. However, reflective liquid crystal displays, which have the advantages of low power consumption and a clearer background light, are often used for portable devices. There is a risk of peeping.
[0005]
The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a bright and clear display when an observer views the reflective liquid crystal display from the front, and a person other than the observer can view the liquid crystal display from an oblique direction. An object of the present invention is to provide a diffusive reflector that can reduce the visibility when viewing the screen.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, a diffusive reflector of the present invention is a diffusive reflector used in a reflective liquid crystal display, and includes a substrate and a concavo-convex layer formed on the substrate surface and having a concavo-convex surface on the side far from the substrate. A reflective film formed on the concave-convex surface of the concave-convex layer and including a metal film, and when the light is incident from the reflective film side at an incident angle of 30 ° with respect to the normal of the substrate surface, the reflective film from the regular reflection direction light intensity value of the reflected light reflected in the direction deviated 15 ° to the side is state, and are six times more light intensity value of the reflected light from the specular reflection direction is reflected in a direction deviated 25 ° to the reflective film side, After the concave / convex layer is coated on the substrate surface with a positive photoresist having a transmittance per unit thickness of 1 to 30% / μm with respect to the photosensitive wavelength region, a diffuse reflection region forming pattern is formed on the inner side, and a transparent pattern is formed on the outer side. The photo through each photomask formed It was subjected to proximity exposure to resist, characterized in that one formed by performing development and heat treatment.
[0007]
According to the diffusive reflector of the present invention, when a photoresist having a concavo-convex surface and a reflective film are formed on a substrate and light is incident from the reflective film side at an incident angle of 30 ° with respect to the normal of the substrate surface, The light intensity value of the reflected light reflected in the direction deviated by 15 ° from the reflection direction to the reflection film side is 6 times the light intensity value of the reflected light reflected in the direction deviated by 25 ° from the regular reflection direction to the reflection film side. By doing so, a bright and clear display is given when the observer sees the reflective liquid crystal display from the front, and visibility when a person other than the observer sees the liquid crystal display from an oblique direction is lowered. It becomes possible to make it. In addition, after applying the above-mentioned specific positive type photoresist on the substrate surface, the uneven layer is exposed to the photoresist through a photomask having a diffuse reflection area forming pattern on the inside and a transparent pattern on the outside. After performing the above, it is possible to easily and reliably form a concavo-convex layer for the light intensity value of the reflected light to satisfy the above-described conditions. If the transmittance of the positive resist is less than 1% / μm, the processability becomes insufficient and a lot of exposure energy tends to be required. Further, when the transmittance exceeds 30% / μm, the processing depth changes rapidly with respect to the exposure conditions and the development conditions, so that it is difficult to stably form an uneven surface with a predetermined shape. is there.
[0009]
In the diffusive reflector of the present invention, the concavo-convex layer may be made of a positive photoresist containing a light-shielding material having a light-shielding property with respect to the photosensitive wavelength region. By using a positive photoresist containing a light-shielding material, the specific concavo-convex layer can be easily and reliably formed.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
[0011]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the diffuse reflector of the present invention. In FIG. 1, an
[0012]
The
[0013]
The
[0014]
The shapes of the concavo-
[0015]
Here, the concept of the light intensity values I 15 and I 25 will be further described with reference to FIG. In FIG. 1, l 1 indicates a normal line of the surface of the
[0016]
In diffuse reflector of the present invention, the
[0017]
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a color filter with a diffuse reflector according to an embodiment of the present invention. The diffusive reflector provided in the color filter shown in FIG. 2 has the same configuration as that of the diffusive reflector shown in FIG. 1, and the concavo-
[0018]
When the light scattering layer is formed on the color filter substrate and used, the
[0019]
The
[0020]
Although there is no restriction | limiting in particular in the kind of this resin, Acrylic, polyvinyl alcohol, a polyimide, etc. can be used. In view of simplicity of the manufacturing process and weather resistance, it is preferable to use a pigment-dispersed resin film for the
[0021]
FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining a method of manufacturing a color filter including the above-described diffuse reflector. This color filter is manufactured by sequentially executing the following steps (a) to (e).
[0022]
Step (a)
A positive resist is applied on the
[0023]
Here, the transmittance per unit thickness with respect to the photosensitive wavelength region of the photoresist is preferably 1 to 30% / μm. When the transmittance is less than 1% / μm, processability is insufficient and a lot of exposure energy tends to be required. Further, when the transmittance exceeds 30% / μm, the processing depth changes rapidly with respect to the exposure conditions and the development conditions, so that it is difficult to stably form an uneven surface with a predetermined shape. is there.
[0024]
Step (b)
Collective exposure (proximity exposure) is performed through the photomask 7 (FIG. 3B). Polygonal, circular, and ring-shaped transmission portions T are regularly or randomly arranged on the
[0025]
Let L (μm) be the distance between the
[0026]
The transmission part T on the
[0027]
Step (c)
Patterning is performed by developing the photoresist 2 (FIG. 3C). The development can be performed by selecting conditions suitable for the photoresist. The developer is a solution of an inorganic alkali such as sodium or potassium hydroxide, carbonate or hydrogencarbonate, or an organic alkali such as organic ammonium. Is carried out by dipping or showering at 20 ° C. to 40 ° C. The substrate after development is thoroughly washed with pure water and then heat-treated.
[0028]
In the heat treatment step, the photoresist pattern is melted and softened before being cured, and a smooth uneven surface is formed on the surface of the photoresist. The heat treatment temperature is preferably 120 to 250 ° C, more preferably 150 to 230 ° C. Further, the heat treatment time is preferably 10 to 60 minutes.
[0029]
The shape of the concavo-convex layer formed by the above steps (a) to (c) is such that when light is incident from the
[0030]
Step (d)
A metal film
[0031]
The metal
[0032]
Step (e)
If necessary, colored layers of red, green, and blue are formed, and subsequently, a
[0033]
FIG. 3 is a cross-sectional view of a reflective liquid crystal display using a color filter provided with the above-described diffuse reflector.
[0034]
This liquid crystal display is a reflection type color liquid crystal display of a single polarizer type. A predetermined gap is provided between the
Moreover, it is also possible to form a wiring or a driving element on a light scattering layer formed by the same method and use it as an element substrate.
[0035]
【Example】
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example at all.
[0036]
[Example 1]
First, carbon black is added to a positive photoresist (PR-13, Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) to prepare a light-absorbing photoresist, which is then coated on a glass substrate and pre-baked at 100 ° C. for 90 seconds. Thus, a photoresist layer was formed. The film thickness of the photoresist layer was 1.25 μm, and the transmittance with respect to the main sensitivity wavelength (405 nm) was 7% / μm.
[0037]
Next, this photoresist layer was subjected to proximity exposure through a photomask in which transmission portions having an outer diameter of 11 μm and an inner diameter of 5 μm were randomly arranged. The exposure amount was 400 mJ / cm 2 and the exposure gap was 150 μm.
[0038]
The exposed photoresist layer was developed in a 0.5% KOH solution for 70 seconds, and then heat treated for 20 minutes in a clean oven maintained at 200 ° C. to form an uneven layer.
[0039]
Furthermore, an aluminum film was vapor-deposited on the concavo-convex layer to obtain a target diffuse reflector.
[0040]
With respect to the diffuse reflector thus obtained, light is incident from the reflective film side at an incident angle of 30 ° with respect to the normal of the substrate surface, and reflected in a direction shifted by 15 ° and 25 ° from the regular reflection direction to the reflective film side. The light intensity values I 15 and I 25 of the reflected light were measured. As a result, I 15 was 254, I 25 was 4, and I 15 / I 25 was 63.
[Examples 2 to 3 and Comparative Examples 1 to 4]
In Examples 2 to 3 and Comparative Examples 1 to 4, diffusion was performed in the same manner as in Example 1 except that the thickness and transmittance of the photoresist layer, the exposure amount, and the exposure gap were as shown in Table 1. A reflector was produced. Table 1 shows I 15 , I 25 and I 15 / I 25 of the obtained diffuse reflector.
[0042]
[Table 1]
[0043]
[Visibility evaluation test]
A glass substrate was bonded to each of the diffuse reflectors obtained in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4 via glycerin to prepare a visibility evaluation sample (liquid crystal simulation cell).
[0044]
About these liquid crystal simulation cells, the test subject observed from the front and 45 degrees diagonally, and the visibility in each direction was evaluated. Evaluation was made into 5 grades, 1 (bad), 2 (slightly bad), 3 (normal), 4 (slightly good), and 5 (good). The obtained results are shown in Table 2.
[0045]
[Table 2]
As shown in Table 2, when the diffusive reflectors of Examples 1 to 3 are used, the visibility when viewed from the front is sufficiently high, while the visibility when viewed from the diagonal is sufficiently low. It was confirmed.
[0046]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, when an observer views the reflective liquid crystal display from the front, a bright and clear display is given, and when a person other than the observer views the liquid crystal display from an oblique direction. There is provided a diffusive reflector that can reduce the visibility.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a diffuse reflector of the present invention.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of a color filter with a diffuse reflector.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of a method for producing a color filter with a diffuse reflector.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing an example of a reflective liquid crystal display using a color filter provided with a diffuse reflector.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (2)
基板と、前記基板表面上に形成され前記基板から遠い側に凹凸面を有する凹凸層と、前記凹凸層の凹凸面上に形成され金属膜を含む反射膜と、を備え、
前記基板表面の法線に対する入射角30°で前記反射膜側から光を入射させたときに、正反射方向から前記反射膜側に15°ずれた方向に反射される反射光の光強度値が、正反射方向から前記反射膜側に25°ずれた方向に反射される反射光の光強度値の6倍以上であり、
前記凹凸層が、前記基板表面に感光波長域に対する単位厚さ当たりの透過率が1〜30%/μmであるポジ型フォトレジストを塗布した後、内側に拡散反射領域形成用パターン、外側に透明パターンがそれぞれ形成されたフォトマスクを介して前記フォトレジストにプロキシミティー露光を施した後、現像・熱処理を行うことにより形成されたものであることを特徴とする拡散反射板。In the diffuse reflector used in the reflective liquid crystal display,
A substrate, a concavo-convex layer having a concavo-convex surface on a side far from the substrate formed on the substrate surface, and a reflective film including a metal film formed on the concavo-convex surface of the concavo-convex layer,
When light is incident from the reflective film side at an incident angle of 30 ° with respect to the normal of the substrate surface, the light intensity value of the reflected light reflected in a direction shifted by 15 ° from the regular reflection direction to the reflective film side is , der 6 times more light intensity value of the reflected light from the specular reflection direction is reflected in a direction deviated 25 ° to the reflective film side is,
The concavo-convex layer is coated with a positive photoresist having a transmittance per unit thickness of 1 to 30% / μm with respect to the photosensitive wavelength region on the substrate surface, and then a diffuse reflection region forming pattern on the inside and transparent on the outside A diffusive reflector formed by subjecting the photoresist to proximity exposure through a photomask on which a pattern is formed, followed by development and heat treatment .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002300676A JP4311925B2 (en) | 2002-10-15 | 2002-10-15 | Diffuse reflector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002300676A JP4311925B2 (en) | 2002-10-15 | 2002-10-15 | Diffuse reflector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004138657A JP2004138657A (en) | 2004-05-13 |
| JP4311925B2 true JP4311925B2 (en) | 2009-08-12 |
Family
ID=32449296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002300676A Expired - Fee Related JP4311925B2 (en) | 2002-10-15 | 2002-10-15 | Diffuse reflector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4311925B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2434333A4 (en) * | 2009-05-18 | 2013-05-01 | Sharp Kk | Active matrix substrate and liquid crystal display device using the same |
| JP5403422B2 (en) * | 2009-11-02 | 2014-01-29 | 住友化学株式会社 | Method for producing mold for antiglare film and method for producing antiglare film |
-
2002
- 2002-10-15 JP JP2002300676A patent/JP4311925B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004138657A (en) | 2004-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2003104861A1 (en) | Semi-transparent semi-reflective liquid crystal display device color filter | |
| JPH11237625A (en) | Photomask and production of rugged body using the phtomask | |
| JP4311925B2 (en) | Diffuse reflector | |
| JP2001242452A (en) | Liquid crystal display | |
| JP4223840B2 (en) | Photomask and diffuse reflector | |
| TWI250330B (en) | Manufacturing method of electro-optical device substrate and manufacturing method of electro-optical device | |
| JP3394925B2 (en) | Manufacturing method of liquid crystal display device | |
| JPH0915420A (en) | Color filter for color liquid crystal projector and manufacturing method thereof | |
| TWI304156B (en) | Scattering reflective plate and manufacturing method thereof and proximity exposure method | |
| JP4336521B2 (en) | Manufacturing method of diffuse reflector | |
| JP2000241809A (en) | Reflective liquid crystal display | |
| JPH07248412A (en) | Color filter and method of manufacturing color filter | |
| JP2003345029A (en) | Photomask, diffusing reflector and method for manufacturing same | |
| JP4206209B2 (en) | Method for manufacturing substrate with metal pattern, substrate with metal pattern, method for manufacturing substrate with metal pattern for liquid crystal display device, substrate with metal pattern for liquid crystal display device, and liquid crystal display device | |
| JP4028290B2 (en) | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof | |
| JP4512328B2 (en) | Photomask, diffuse reflector, manufacturing method thereof, and color filter | |
| JP4918827B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| TWI281577B (en) | Manufacturing method of substrate for optoelectronic device, manufacturing method for optoelectronic device, substrate for optoelectronic device, optoelectronic device, and electronic machine | |
| JP4636573B2 (en) | Method for forming light diffusion layer of reflective liquid crystal display device | |
| JP4512378B2 (en) | Manufacturing method of diffuse reflector | |
| JP3078538B1 (en) | Manufacturing method of reflective liquid crystal display | |
| JP2004347990A (en) | Diffused reflection board, color filter, photomask and manufacturing method of diffused reflection board | |
| JP3537712B2 (en) | Reflective liquid crystal display | |
| JP4232950B2 (en) | Method for manufacturing substrate of transflective color liquid crystal display element | |
| JP2004212675A (en) | Color filter for transflective color liquid crystal display |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050707 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060609 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080111 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080122 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080319 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080617 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080812 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090428 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090512 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140522 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |