JP4328862B2 - パターン形成体及びパターン形成方法 - Google Patents
パターン形成体及びパターン形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4328862B2 JP4328862B2 JP2005323846A JP2005323846A JP4328862B2 JP 4328862 B2 JP4328862 B2 JP 4328862B2 JP 2005323846 A JP2005323846 A JP 2005323846A JP 2005323846 A JP2005323846 A JP 2005323846A JP 4328862 B2 JP4328862 B2 JP 4328862B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrophobic
- substance
- pattern
- light
- pattern forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Description
Analytical Chemistry,Vol.71,No.6,1125(1999)
2−ヒドロキシルエチルメチルメタクリレート(HEMA)2g、オリゴエチレンオキシドメチルエーテルアクリレート(日本油脂製、商品名ブレンマーPME−200)2.8g、エチレングリコールジメタクリレート(EGDM)0.024g、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン0.024gを混合し、光重合性モノマー混合液を調製した。ガラス基板(30mm×30mm,t=1)上にこの混合液をキャストし、窒素気流下、UV35ガラスフィルター(東芝ガラス製)を介した水銀キセノンランプ(SAN−EI製、SUPER CURE−203S)の光を約2J/cm2(40mW/cm2)で50秒間室温にて照射して光重合を行った。その後、未反応のモノマーをアセトンで洗浄し、ハイドロゲルプレカーサ薄膜を得た。このハイドロゲルプレカーサ薄膜にスパチュラにてガラス基板まで傷を付け、その断面における膜厚を原子間力顕微鏡(セイコーインスツルメンツ社製、Nanopics 2100)にて測定したところ、その膜厚は約1μmであった。
ヘキシルアニリンとフェノールからアゾカップリングにより4−[(ヘキシル)アゾ]フェノールを合成した。また、11−ブロモウンデカン酸を3,4−ジヒドロ−2H−ピランにて保護し、4−[(ヘキシル)アゾ]フェノールとN,N−ジメチルホルムアミド中炭酸カリウムにてウィリアムソンエーテル合成を行った。反応物をジエチルエーテルにて抽出したのちに水で洗浄し、テトラヒドロフラン(THF)中にて塩酸で脱保護反応を行った。濃縮後再びエーテルで抽出し、水で洗浄した後に無水硫酸マグネシウムにて乾燥した。その後、溶媒を除去し、ベンゼン−クロロホルム混合溶媒にて再結晶を行い、11−{4−[(4−ヘキシルフェニル)アゾ]フェノキシ}ウンデカン酸を得た。この11−{4−[(4−ヘキシルフェニル)アゾ]フェノキシ}ウンデカン酸と塩化チオニルとを反応させたのち未反応の塩化チオニルを減圧留去し、11−{4−[(4−ヘキシルフェニル)アゾ]フェノキシ}ウンデカン酸クロライド(下記式の化合物(8)参照)を得た。
合成した11−{4−[(4−ヘキシルフェニル)アゾ]フェノキシ}ウンデカン酸クロライド(化合物(8))40mg、トリエチルアミン11.9mg、4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)1mgを乾燥トルエン3ml中で溶かした。先に作製したハイドロゲルプレカーサ薄膜をこの溶液中に4時間浸漬し、ハイドロゲルプレカーサ薄膜の表面のヒドロキシル基に化合物(8)をエステル化により化学結合させ、ハイドロゲルプレカーサ薄膜を化合物(8)により表面修飾した。その後、トルエン及びTHFにて洗浄し、化合物(8)によって表面修飾されたハイドロゲルプレカーサ薄膜(パターン形成体)を得た。ハイドロゲルプレカーサ薄膜が化合物(8)によって表面修飾されているか否かを確認するためにこの薄膜の吸収スペクトルをダイオードアレイ紫外可視吸収スペクトル分光器(ヒューレットパッカード社製、製品番号8452)にて調べたところ、アゾベンゼンのトランス体に由来する約350nmでの吸光度は約0.1〜0.15であった。文献(T.Sekiら,Phys.Chem.B,102,5313−5321(1998))によると、使用したアゾベンゼンとほぼ同様の電子状態を持つ高分子の単分子膜の示す吸光度は0.015でありその分子長が約2nmである。このことから概算すると、作製されたパターン形成体は、ハイドロゲルプレカーサ薄膜の表面から20〜40nmの領域でアゾベンゼンが表面処理されていることが推察される。
上述の(1)〜(3)の方法によりハイドロゲルプレカーサ薄膜の表面が化合物(8)によってアゾベンゼン処理されていることを確認するために、直径約0.5mmの半球状のハイドロゲルプレカーサを作製し、このハイドロゲルプレカーサを上述の(1)〜(3)と同様の方法を用いてアゾベンゼン処理した。処理したハイドロゲルプレカーサを輪切りにし、これを疎水性蛍光色素である1,1’−ジオクタデシル−3,3,3’,3’−テトラメチルインドールジカルボシアニンパークロライド(Aldrich社製)の0.5%アセトン溶液に30分浸漬し、アセトンにて洗浄した。その後、ハイドロゲルプレカーサを水に浸漬し、蛍光顕微鏡(オリンパス社製、BX51)を用いて水中にてハイドロゲルプレカーサの断面を観察したところ、表層部において蛍光を示した。これは、化合物(8)によりハイドロゲルプレカーサの表面に疎水部が形成されているためと考えられ、ハイドロゲルプレカーサの表面にアゾベンゼンが修飾されていることが確認された。
化合物(8)によって表面修飾されたハイドロゲルプレカーサ薄膜、つまりパターン形成体を精製水に約30分浸漬した後、約0.01重量%のアミン表面ポリスチレン蛍光微粒子水溶液(モレキュラープローブ製、商品名FluoroSphere F−8765、粒径約1μm)に30分〜1時間浸漬した。続いて、蒸留水中にて5〜15分間超音波洗浄し、蛍光顕微鏡(オリンパス社製、BX51)を用いて倍率10倍でパターン形成体の表面の様子を観察した。このときの様子を撮影した顕微鏡写真を図1に示す。なお、このとき、パターン形成体に光照射していない。図1に示すように、パターン形成体の表面全体は蛍光を発しており、パターン形成体の表面全体にアミン表面ポリスチレン蛍光微粒子が吸着していることが確認された。このように、蛍光微粒子がパターン形成体の表面全体に吸着したのは、比較的疎水的である蛍光微粒子のアミノ末端とパターン形成体の表面との間で疎水−疎水相互作用が生じたことによるものと推察される。このことから、パターン形成体の表面全体は疎水性であることが示唆される。次に、この蛍光微粒子が吸着した状態のパターン形成体に等間隔のスリットを有するフォトマスクと色ガラスフィルター(東芝ガラス製、UV−35及びUVD−36)とを介して水銀キセノンランプ光(紫外光、波長365nm)を約1J/cm2(20mW,50秒)の露光量でパターン露光した。パターン露光した後、パターン形成体を蒸留水に浸漬して軽く洗浄し、蛍光顕微鏡により倍率10倍でパターン形成体の表面の様子を観察した。このときの様子を撮影した顕微鏡写真を図2に示す。図2に示すように、パターン形成体の表面にはフォトマスクと同様のフォトパターンが形成され、露光部から蛍光微粒子が脱離したことが確認された。これにより、紫外光を照射した部分は疎水性から親水性に変化したことが示唆される。次に、このフォトパターンが形成されたパターン形成体に色ガラスフィルター(東芝ガラス製、UV−35及びUVD−36)を介して水銀キセノンランプ光(紫外光、波長365nm)を約1J/cm2(20mW,50秒)の露光量で全面照射した。照射後、パターン形成体を蒸留水に浸漬して軽く洗浄し、蛍光顕微鏡により倍率10倍でパターン形成体の表面の様子を観察した。このときの様子を撮影した顕微鏡写真を図3に示す。図3に示すように、パターン形成体の表面には蛍光像を確認することができなかった。これは、紫外光の照射によりパターン形成体の表面が親水性となったことに起因して蛍光微粒子がパターン形成体から脱離したためと考えられる。更に、この蛍光微粒子が吸着していないパターン形成体に色ガラスフィルター(東芝ガラス製、Y−43及びV−44)を介して水銀キセノンランプ光(可視光、波長436nm)を約1J/cm2(5mW,200秒)の露光量で全面照射した。照射後、パターン形成体を精製水に約30分浸漬し、約0.01重量%のアミン表面ポリスチレン蛍光微粒子に30分〜1時間浸漬した。続いて、蒸留水中にて5〜15分間超音波洗浄し、蛍光顕微鏡を用いて倍率10倍でパターン形成体の表面の様子を観察した。このときの様子を撮影した顕微鏡写真を図4に示す。図4に示すように、パターン形成体の表面に可視光を全面照射すると、図1と同様、パターン形成体の全面に蛍光微粒子が吸着した。このことから、パターン形成体への可視光の照射によってパターン形成体の表面が疎水性になったことが示唆される。また、この一連の操作を繰り返し行ったところ、全ての場合において、可視光が照射された露光部では蛍光微粒子が吸着し、紫外光が照射された露光部では蛍光微粒子が脱着した。
パターン形成体の表面に紫外光を露光したときと可視光を露光したときとのアゾベンゼンの立体構造を確認するために、パターン形成体の全面にそれぞれの光を照射したときの吸収スペクトルを調べた。その結果を図5に示す。図5に示すように、パターン形成体を作製したのち光照射していない場合及び可視光が照射された場合には、336nmを最大吸収波長とした幅広い吸収スペクトルが得られた。このスペクトルは、アゾベンゼンのπ−π*励起に伴う光異性体が溶液状態にて示す350nmに帰属するものと考えられる(M.Shimomuraら,Ber.Bunsenges.Phys.Chem.,87,1134(1983),M.Kasha,Spectroscopy of Exited States p.337(Plenum press,1976)等)。このことから、パターン形成体を作製したのち光照射していない場合及び可視光が照射された場合には、アゾベンゼンがトランス体であることが確認された。また、この結果と上述の(5)の蛍光微粒子によるフォトパターニングの結果とから、アゾベンゼンがトランス体のときにパターン形成体の表面が疎水性になることが確認された。なお、パターン形成体において最大吸収波長が350nmよりもわずかに短波長側にシフトしているのは分子間で会合するためであり、この波長付近で幅広い吸収を示すのは様々な会合状態が混在するためと推測される。一方、パターン形成体に紫外光が照射された場合には、450nmに幅広い吸収を示すスペクトルが得られた。このスペクトルは、アゾベンゼンの平面型であるn−π*状態に帰属するものと考えられる(Z.Sekkat,W.Knoll,Photoreactive Organic Thin Films,p.3(Academic Press,2002)等)。このことから、パターン形成体に紫外光が照射された場合には、アゾベンゼンはシス体になることが確認された。また、この結果と上述の(5)の蛍光微粒子によるフォトパターニングの結果とから、アゾベンゼンがシス体のときにパターン形成体の表面が親水性になることが確認された。
実施例3では、上述の実施例1と同様にしてハイドロプレカーサ薄膜を作製し、以下の方法で合成した11−シンナモイルオキシウンデカンイソシアネート(下記式の化合物(10)参照)40mgとジブチルスズジラウレート0.1mlとを乾燥トルエン中に溶かし、遮光下にて60度に加熱したホットプレート上でハイドロプレカーサ薄膜をこの溶液中に3〜5分間浸漬した。浸漬後、トルエン次いでTHFで洗浄した。これにより、11−シンナモイルオキシウンデカンイソシアネートによって表面修飾されたハイドロゲルプレカーサ薄膜であるパターン形成体を得た。ここで、化合物(10)は次のようにして合成した。つまり、まず、シンナモイルクロライド(Aldrich社製)と二等量以上の1,12−ドデカンジオール(東京化成製)をTHF中塩基性下にて反応させ、反応溶液を濃縮、酢酸エチル−クロロホルム混合溶媒にて再結晶し、12−シンナモイルオキシドデカ−1−オールを得た。これをTHF−アセトン混合溶媒に溶解し、炭酸水素ナトリウム飽和水溶液を少量加え、2,2,6,6−テトラメチル−1−ピペリジノオキシ(東京化成製)と臭化ナトリウムとを加えて撹拌した。この水溶液を氷浴し、上述の12−シンナモイルオキシドデカ−1−オールを徐々に滴下した。これを氷浴中で数時間撹拌した後にさらに室温で数時間撹拌し、溶媒を留去した後、塩酸を加え酢酸エチルにて抽出した。この抽出物を水、食塩水にて洗浄し、ヘキサン−酢酸エチル混合溶媒にて再結晶することにより、11−シンナモイルオキシウンデカン酸を得た。この11−シンナモイルオキシウンデカン酸とジフェニルホスホリルアジドとトリエチルアミンとを乾燥ベンゼン中で加熱・環流し、原料のカルボン酸が薄層クロマトグラフィーで消失するまで反応を行った。反応後、溶液を減圧濃縮し、カラムクロマトグラフィーにより化合物(10)の11−シンナモイルオキシウンデカンイソシアネートを得た。
作製したパターン形成体を精製水に30分ほど浸漬した後、パターン形成体の表面に等間隔のスリットを有するフォトマスクと色ガラスフィルター(東芝ガラス製、UV−29)とを介して水銀キセノンランプ光(紫外光、波長313nm)を約3J/cm2(30mW,100秒)の露光量でパターン露光した。照射後、パターン形成体を約0.01重量%のアミン表面ポリスチレン蛍光微粒子水溶液(モレキュラープローブ製、商品名FluoroSphere F−8765、粒径約1μm)に30分〜1時間浸漬した。その後、蒸留水中にて5〜15分間超音波洗浄し、蛍光顕微鏡(オリンパス社製、BX51)を用いて倍率10倍でパターン形成体の表面の様子を観察した。このときの様子を撮影した顕微鏡写真を図6に示す。図6に示すように、パターン形成体の表面にはフォトマスクに対してネガティブなフォトパターンが形成され、露光部に蛍光微粒子が吸着したことが確認された。これにより、紫外光を照射した露光部は疎水性であり、非露光部は親水性であることが確認された。
パターン形成体の全面に紫外光を照射したときの吸収スペクトルを調べた。その結果を図7に示す。図7に示すように、パターン形成体を作製したのち光照射していない場合には、274nmを最大吸収波長とする吸収スペクトルが得られた。このスペクトルは、シンナモイル基の吸収に帰属するものと考えられる(Guptaら,Macromolecules,37,9211(2004)等)。このことから、パターン形成体を作製したのち光照射していない場合には、パターン形成体中にシンナモイル基が存在していることが確認された。また、この結果と上述の(2)の蛍光微粒子によるフォトパターニングの結果とから、光応答性物質としての化合物(10)で架橋を形成していない状態のときにパターン形成体の表面が親水性になることが確認された。一方、パターン形成体に紫外光を照射した場合には、シンナモイル基に帰属する274nmでの吸収がほとんど認められなかった。このことから、パターン形成体に紫外光を照射した場合には、シンナモイル基はほとんど消失し、良好に光架橋化が進行したことが確認された。また、この結果と上述の(2)の蛍光微粒子によるフォトパターニングの結果とから、光応答性物質としての化合物(10)で架橋を形成した状態のときにパターン形成体の表面が疎水性になることが確認された。
実施例1〜3のパターン形成体において、光照射によるパターン形成体表面の水濡れ性の変化にハイドロゲルが関与しているか否かを確認するために、アゾベンゼンを有するがゲル状態ではないポリマーとして、共重合比約1:1の10−{4−[(4’−ヘキシルフェニル)アゾ]フェノキシ}デシルアクリレートとPME−200とのランダムコポリマーをラジカル重合によって合成し、このポリマーをトルエンを溶媒としてガラス基板上にスピンコートすることにより薄膜を形成した。この薄膜を実施例1の(5)と同様にして蛍光微粒子を含む溶液に浸漬し、蛍光顕微鏡を用いて倍率10倍でこの薄膜の表面を観察した。しかし、薄膜に蛍光微粒子は吸着されなかった。また、この薄膜にフォトマスクを介して紫外光を照射したのち蛍光微粒子を含む溶液に浸漬し、蛍光顕微鏡を用いて倍率10倍でパターン形成体の表面を観察した。この様子を図8に示す。図8に示すように、紫外光を照射しても薄膜の表面にパターンを確認することができなかった。これらのことから、実施例1〜3のパターン形成体の表面の水濡れ性の変化にはハイドロゲルが重要な役割を果たしていることが推察される。
比較例1と同様の趣旨から、ポリ10−{4−[(4’−ペンチルフェニル)アゾ]フェノキシ}デシルメタクリレートをラジカル重合によって合成し、このポリマーをトルエンを溶媒としてガラス基板上にスピンコートすることにより薄膜を形成した。この薄膜を比較例1と同様にして蛍光微粒子によるパターニングを行ったところ、比較例1と同様、薄膜の表面にはパターンを確認することができなかった。
Claims (4)
- 光照射したときの露光部と非露光部との水濡れ性の相違を利用してパターン形成可能なパターン形成体であって、
ハイドロゲルと、
光照射によって会合状態が変化する疎水性の光応答性物質を前記ハイドロゲルの表面に化学結合させてなる表面修飾部と、
を備え、
前記表面修飾部は、水と接触させた状態では、前記疎水性の光応答性物質が互いに弱く会合しているときに前記ハイドロゲルによって覆われて親水性となり、前記疎水性の光応答性物質が互いに強く会合しているときに該疎水性の光応答性物質に覆われて疎水性となり、
前記疎水性の光応答性物質は、光照射によってシス体とトランス体とが変化するアゾベンゼン構造を含み、第1の波長範囲の光を照射すると前記アゾベンゼン構造が前記シス体となって互いに弱く会合し、第2の波長範囲の光を照射すると前記アゾベンゼン構造が前記トランス体となって互いに強く会合する物質である、
パターン形成体。 - 前記表面修飾部は、エステル結合、ウレタン結合、エーテル結合、アミド結合、アミノ結合及びカーボネート結合のうちいずれかの化学結合によって前記疎水性の光応答性物質を前記ハイドロゲルの表面に化学結合させてなる、
請求項1に記載のパターン形成体。 - 前記疎水性の光応答性物質は、炭素数2〜12の直鎖アルキレン鎖、1〜3個のエチレンオキサイドによって構成されるエチレンオキサイドユニット又はその組み合わせからなるスペーサ構造を介して前記ハイドロゲルに化学結合している、
請求項1又は2に記載のパターン形成体。 - 光照射したときの露光部と非露光部との水濡れ性の相違を利用してパターン形成が可能なパターン形成方法であって、
請求項1〜3のいずれかに記載のパターン形成体に対し、一部に光照射することによって露光部と非露光部とを設けたのち疎水性物質又は親水性物質を吸着させることによりパターンを形成するか、全体に疎水性物質又は親水性物質を吸着させたのち一部に光照射することによって露光部に吸着した疎水性物質又は親水性物質を脱着することによりパターンを形成するか、又は前記第1及び前記第2の波長範囲の光のうち一方の光を全体に照射したのち疎水性物質又は親水性物質を吸着させてから前記第1及び前記第2の波長範囲の光のうち他方の光を一部に照射することによって露光部と非露光部とを設けたのち露光部に吸着した疎水性物質又は親水性物質を脱着することによりパターンを形成する、
パターン形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005323846A JP4328862B2 (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | パターン形成体及びパターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005323846A JP4328862B2 (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | パターン形成体及びパターン形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007133020A JP2007133020A (ja) | 2007-05-31 |
| JP4328862B2 true JP4328862B2 (ja) | 2009-09-09 |
Family
ID=38154757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005323846A Expired - Lifetime JP4328862B2 (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | パターン形成体及びパターン形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4328862B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4811650B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2011-11-09 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 感温性高分子化合物 |
| JP5760332B2 (ja) * | 2010-06-04 | 2015-08-05 | 大日本印刷株式会社 | インプリント用基板およびインプリント方法 |
| JPWO2025052769A1 (ja) * | 2023-09-08 | 2025-03-13 |
-
2005
- 2005-11-08 JP JP2005323846A patent/JP4328862B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2007133020A (ja) | 2007-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ITTO991042A1 (it) | Reticolante per fotoresist e composizione fotoresist comprendente lo stesso. | |
| JPH10182744A (ja) | ビニル4−テトラヒドロピラニルオキシベンザル−ビニルテトラヒドロピラニルエーテル−ビニルアセテート共重合体、ビニル4−テトラヒドロピラニルオキシベンザル−ビニル4−ヒドロキシベンザル−ビニルテトラヒドロピラニルエーテル−ビニルアセテート共重合体、これらの製造方法、及びフォトレジスト | |
| KR100520183B1 (ko) | 두 개의 이중결합을 가지는 가교제를 단량체로 포함하는 포토레지스트용 공중합체 | |
| JP2001226430A (ja) | 再溶解性酸架橋型高分子及び該高分子と光酸発生剤とを組み合わせた感光性樹脂組成物 | |
| CN103980417A (zh) | 新型树枝状聚合物类正性光刻胶树脂及其制备方法与应用 | |
| JPH0548270B2 (ja) | ||
| WO2009084373A1 (ja) | 含フッ素化合物、含フッ素重合体、並びに該重合体を含む組成物および膜 | |
| Fudickar et al. | Imaging by sensitized oxygenations of photochromic anthracene films: Examination of effects that improve performance and reversibility | |
| JP2006307166A (ja) | 高分子化合物前駆体、高透明性ポリイミド前駆体、高分子化合物、これらを用いた樹脂組成物及び物品 | |
| JP4978137B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及び物品 | |
| JP4328862B2 (ja) | パターン形成体及びパターン形成方法 | |
| JPH09235326A (ja) | アセタール基を含有するアルコキシ−スチレン重合体とその製造方法及びアルコキシ−スチレン重合体を主要成分とする化学増幅型フォトレジスト材料 | |
| JP5011649B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及び物品 | |
| US5998089A (en) | Photosensitive resin composition comprising fullerene | |
| CN113156765A (zh) | 一种紫外纳米压印用光刻胶组合物及其制备与应用 | |
| JP4130330B2 (ja) | 光微細加工及び多機能センサ用感光性高分子及びこれを含む感光性樹脂組成物 | |
| JP4761989B2 (ja) | ポリアミド酸エステル組成物 | |
| JP4294988B2 (ja) | 光ラジカル重合開始剤及び感光性樹脂組成物 | |
| JPH0379670A (ja) | ネガ型放射線感応性樹脂組成物 | |
| JP4059323B2 (ja) | ネガ型ホトレジスト組成物 | |
| JP2003332199A (ja) | 感光性組成物、高分子構造物およびパターン形成方法 | |
| JP2003082033A (ja) | 光表面レリーフ形成用感光性材料および感光性薄膜、並びにその感光性材料を用いたレリーフ形成方法 | |
| EP4610726A2 (en) | Resist composition for photolithography and method for manufacturing semiconductor devices using the same | |
| JP5282357B2 (ja) | ポリイミド前駆体、ポリイミド、これらを用いた樹脂組成物及び物品 | |
| CN116165844B (zh) | 高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081104 |
|
| A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20081104 |
|
| A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20081209 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090106 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090304 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090331 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090410 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090519 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4328862 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |