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JP4334822B2 - Method for producing melted and solidified europium halide - Google Patents
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JP4334822B2 - Method for producing melted and solidified europium halide - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高純度のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法に関する。本発明は特に、蒸着法によって基板上にハロゲン化ユーロピウム堆積層を形成する場合において蒸発源として有用なハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ハロゲン化ユーロピウムは、ユーロピウムで付活した蛍光体の原料として知られている。例えば、WO第01/0356 A1号公報には、ユーロピウム付活ハロゲン化セシウム輝尽性蛍光体からなる蛍光体スクリーンを製造する方法として、ハロゲン化セシウムとハロゲン化ユーロピウム等のユーロピウム化合物とからなる二つの蒸発源を用いて基板上に二元蒸着させる方法が開示されている。この方法によれば、蛍光体の母体成分であるハロゲン化セシウムと付活剤成分であるユーロピウム化合物は同時に加熱されて蒸発、飛散し、そして反応を生じて蛍光体を形成するとともに基板表面に堆積して蛍光体の蒸着膜が形成される。
【0003】
一般に、ハロゲン化ユーロピウムは市販品を含めて粉末状であり、このままで蒸着に使用すると、吸湿性が強いために、含有されている水分や加熱により遊離したハロゲンなどによって突沸が生じやすく、蛍光体の組成が均一で形状の良好な蒸着膜が形成されにくい。また、ハロゲン化ユーロピウムには臭酸化物などの酸化ハロゲン化物も混入している。
【0004】
ハロゲン化ユーロピウムは水や酸素の存在下で加熱すると、酸化ハロゲン化ユーロピウムが容易に生成するために、純粋なハロゲン化ユーロピウムを得難いことが知られている。すなわち、ハロゲン化ユーロピウムを単に加熱溶融して冷却しただけでは、純粋なハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を得ることが困難である。
【0005】
一方、上記輝尽性蛍光体などの蓄積性蛍光体は、X線などの放射線が照射されると放射線エネルギーの一部を吸収蓄積し、そののち可視光線や赤外線などの電磁波(励起光)の照射を受けると蓄積した放射線エネルギーに応じて発光を示す性質を有する。放射線像変換パネル(蓄積性蛍光体シートともいう)は蓄積性蛍光体を含有するシートであり、基本構造として支持体とその上に設けられた蛍光体層とからなるものである。ただし、蛍光体層が自己支持性である場合には必ずしも支持体を必要としない。また、蛍光体層の上面(支持体に面していない側の面)には通常、保護層が設けられていて、蛍光体層を化学的な変質あるいは物理的な衝撃から保護している。
【0006】
特に、放射線像変換パネルの蛍光体層を前記蒸着法により形成した場合には、蛍光体層は結合剤を含有せず、蛍光体のみからなり、蛍光体の柱状結晶と柱状結晶の間には空隙(クラック)が存在する。このため、励起光の進入効率や発光光の取出し効率を上げることができるので高感度であり、また励起光の平面方向への散乱を防ぐことができるので高鮮鋭度の画像を与えることができる。
【0007】
放射線像変換パネルは、放射線画像記録再生方法に有利に用いられる。放射線画像記録再生方法は、放射線像変換パネルに被検体を透過したあるいは被検体から発せられた放射線を照射して、被検体の放射線画像情報を一旦蓄積記録した後、パネルにレーザ光などの励起光を走査して順次発光光として放出させ、そしてこの発光光を光電的に読み取って画像信号を得ることからなる方法であり、近年広く実用に共されている。読み取りを終えたパネルは、残存する放射線エネルギーの消去が行われた後、次の撮影のために備えられて繰り返し使用される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
放射線像変換パネルの蛍光体層を蒸着法により形成する際に、蒸発源として、酸化物を多く含むハロゲン化ユーロピウムを用いると、蒸着レート(蒸発流の速度)が安定せず、結果として所望のユーロピウム濃度を有し、蛍光体組成の均一な蒸着膜を形成できないことがこの度分かった。また、不純物の混入により均質な蒸着膜を形成することができない。さらには、このような蛍光体層を有する放射線像変換パネルは、画質の低下した放射線画像を与えがちである。
【0009】
また、蒸発源であるハロゲン化ユーロピウムの水分含量が一定値以上であると、蒸着時に蒸発源の突沸などのトラブルが発生しやすくなり、そして蒸着雰囲気中の水分圧が高くなって不安定になる。その結果、得られた蒸着膜の柱状結晶の形状が損なわれたり、蛍光体層全面を励起したときに発光量が局所的に不均一になるいわゆる「発光ムラ」が生じることになる。
【0010】
従って、本発明は、高純度のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を製造する方法を提供することにある。
また、本発明は、蒸発源として有用な高純度のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を提供することにもある。
【0011】
さらに、本発明は、柱状結晶性が良好で、発光量の均一な蛍光体層を有する放射線像変換パネルの製造方法を提供することにもある。すなわち、本発明は、高画質の放射線画像を与える放射線像変換パネルの製造方法を提供する。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ハロゲン化ユーロピウムを、ハロゲン源の存在下で、加熱溶融させたのち冷却することからなるハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法にある。
【0013】
本発明において、ハロゲン化ユーロピウムは、下記一般式(I)で表される化合物を意味する。
EuXm ‥‥(I)
[ただし、XはF、Cl、BrおよびIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表し、mは2.0≦m≦3.0の範囲の数値を表す]
【0014】
本発明はまた、蒸着法の蒸発源として使用するための酸化ハロゲン化ユーロピウムの含有量が10重量%以下であるハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体にもある。
【0015】
本発明はさらに、少なくとも蛍光体の母体成分と付活剤成分を別々に含む複数の蒸発源それぞれに電子線の照射および/または抵抗加熱を施すことによって発生する物質を基板上に多元蒸着させることにより、蛍光体層を形成する工程を含む放射線像変換パネルの製造方法において、該蛍光体の付活剤成分を含む蒸発源として、上記ハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を用いることを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法にもある。
【0016】
【発明の実施の形態】
本発明のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法において、ハロゲン源としてハロゲン化アンモニウムを、ハロゲン化ユーロピウムに添加混合することが好ましい。ハロゲン化アンモニウムは、ハロゲン化ユーロピウムに対して10:0.1乃至10:10(後者:前者)の範囲の重量比で添加することが好ましく、両化合物のハロゲンは同一であることが好ましい。特に、ハロゲンは臭素であることが好ましい。
【0017】
ハロゲン化ユーロピウムとハロゲン化アンモニウムの混合物を、水分量が5.0×10-5モル/L以下、酸素濃度が1.0×10-5モル/L以下の雰囲気中で加熱溶融することが好ましく、そして不活性ガス雰囲気中もしくは還元性ガス雰囲気中で加熱溶融することが好ましい。溶融したハロゲン化ユーロピウムは真空下、不活性ガス雰囲気下もしくは還元性ガス雰囲気下で冷却することが好ましい。
【0018】
この混合物を含む反応系は加熱溶融前に乾燥することが好ましく、特に100Paもしくはそれより高真空度側の真空度で50乃至400℃の温度で加熱することにより乾燥することが好ましい。
【0019】
両者はそれぞれ混合前に乾燥することが好ましく、特に、真空下で50乃至400℃の温度で加熱することにより乾燥することが好ましい。
【0020】
あるいは、ハロゲンとしてハロゲンガスもしくはハロゲン化水素ガスを含む雰囲気中で、ハロゲン化ユーロピウムを加熱溶融することが好ましい。ハロゲンガスもしくはハロゲン化水素ガスは、溶融雰囲気中に1×10-6乃至1×105Paの範囲で含まれることが好ましく、ハロゲンガスもしくはハロゲン化水素ガスのハロゲンとハロゲン化ユーロピウムのハロゲンは同一であることが好ましい。特に、ハロゲンは臭素であることが好ましい。
【0021】
ハロゲン化ユーロピウムを、水分量が5.0×10-5モル/L以下、酸素濃度が1.0×10-5以下の雰囲気中で加熱溶融することが好ましく、そしてハロゲンガスもしくはハロゲン化水素ガスを含む不活性ガス雰囲気中もしくは還元性ガス雰囲気中で加熱溶融することが好ましい。溶融したハロゲン化ユーロピウムは真空下、不活性ガス雰囲気下もしくは還元性ガス雰囲気下で冷却することが好ましい。
【0022】
ハロゲン化ユーロピウムを含む反応系は加熱溶融前に乾燥することが好ましく、特に100Paもしくはそれより高真空度側の真空度で50乃至400℃の温度で加熱することにより乾燥することが好ましい。
【0023】
ハロゲン化ユーロピウムを加熱溶融前に乾燥することが好ましく、特に真空下で50乃至400℃の温度で加熱することにより乾燥することが好ましい。
【0024】
上記方法によって製造されたハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体は、酸化ハロゲン化ユーロピウムの含有量が10重量%以下であることが好ましく、また含水量が0.5重量%以下であることが好ましい。
【0025】
本発明のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体において、酸化ハロゲン化ユーロピウムの含有量は、3重量%以下であることが好ましく、特に好ましくは1重量%以下である。また、含水量が0.5重量%以下であることが好ましい。
【0026】
本発明の放射線像変換パネルの製造方法において、蛍光体は、付活剤としてユーロピウムを含む蛍光体であることが好ましく、特に、下記基本組成式(II)を有するユーロピウム付活アルカリ金属ハロゲン化物系輝尽性蛍光体であることが好ましい。
【0027】
IX・aMIIX’2・bMIIIX”3:zEu ‥‥(II)
[ただし、MIはLi、Na、K、Rb及びCsからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属を表し;MIIはBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Ni、Cu、Zn及びCdからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属又は二価金属を表し;MIIIはSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInからなる群より選ばれる少なくとも一種の希土類元素又は三価金属を表し;X、X’及びX”はそれぞれ、F、Cl、Br及びIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表し;そしてa、b及びzはそれぞれ、0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<z<1.0の範囲内の数値を表す]
【0028】
以下に、本発明のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法について詳細に述べる。
【0029】
本発明に用いられるハロゲン化ユーロピウム原料は、下記一般式(I)で表される化合物であり、ユーロピウムは二価であっても三価であってもよく、あるいはそれらの混合物であってもよい。このハロゲン化ユーロピウム原料は一般には粉末である。
EuXm ‥‥(I)
[ただし、XはF、Cl、BrおよびIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表し、mは2.0≦m≦3.0の範囲の数値を表す]
【0030】
本発明においてハロゲン源としては、ハロゲン化アンモニウム(NH4X’、ただしX’はF、Cl、Brおよび/またはIである)、ハロゲン単体(F、Cl、Brおよび/またはI)、またはハロゲン化水素ガス(HX’)を用いることができる。ハロゲン化アンモニウムは、固体のまま使用してもよいし、あるいは気化させてガスとして使用してもよい。ハロゲン単体は、その種類および操作条件によりガス状、液体状もしくは固体状で使用することができる。このハロゲン化アンモニウム、ハロゲン化水素ガスのハロゲンあるいはハロゲン単体と、ハロゲン化ユーロピウムのハロゲンとは同一であることが好ましい。特に好ましいハロゲンは、臭素(X、X’=Br)である。
【0031】
ハロゲン源として、固体のハロゲン化アンモニウムを使用する場合には、EuXm原料およびNH4X’はいずれも、予め乾燥処理することによって水分をできる限り除去しておくことが好ましい。乾燥処理は、例えば各化合物を真空乾燥機などを用いて、真空下、50乃至400℃の温度で約1乃至10時間加熱することにより行うことができる。
【0032】
次いで、乾燥処理した粉末状のEuXm原料およびNH4X’を混合する。混合はドライエア下で行うことが望ましい。NH4X’は、EuXm原料に対して10:0.1乃至10:10(後者:前者)の範囲の重量比で添加することが好ましく、特に好ましいのは10:1乃至10:5(後者:前者)の範囲の重量比である。
【0033】
次に、EuXm原料とNH4X’の混合物を白金るつぼ、アルミナるつぼ、石英ボートなどの耐熱性容器に充填し、電気炉の炉芯に入れてEuXmの融点以上の温度に加熱して溶融する。加熱に先立って、混合物を装填した炉芯内を乾燥することが好ましい。乾燥は、例えば100Paもしくはそれより高真空度側の真空度、好ましくは10Paもしくはそれより高真空度側の真空度、50乃至400℃の温度で、約10分間乃至12時間加熱することにより行うことができる。
【0034】
溶融温度は一般には500乃至2000℃の範囲にある。溶融雰囲気としては一般に、窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気、もしくは水素ガスなどの還元性ガス雰囲気が用いられる。また、溶融雰囲気中の水分量は、一般には5.0×10-5モル/L以下であって、好ましくは5.0×10-6モル/L以下である。溶融雰囲気中の酸素濃度は、一般には1.0×10-5モル/L以下であり、好ましくは1.0×10-6モル/L以下である。溶融時間は一般に、30分間乃至12時間である。
【0035】
加熱溶融時にEuXmは、反応系内に存在する水や酸素によって酸化ハロゲン化ユーロピウム(EuOX)と平衡状態を形成する。反応系にハロゲン源のNH4X’を存在させることにより、この平衡状態をEuXm側に移行させることができる(NH4X’が存在しなければ、更にEuOXが生成することになる)。すなわち、EuXmとH2O、O2との反応によるEuOXの副生量を制御して低減することができる。ただし、NH4X’が過剰量存在するとEuXmはEuX3に近づく。さらに、ハロゲン源NH4X’は、EuXm原料に含まれていたEuOXをEuX2に変換することができる。
【0036】
次に、溶融したEuXmを冷却して凝固させる。冷却は真空下、不活性ガス雰囲気下もしくは還元性ガス雰囲気下で行うことが好ましい。添加したNH4X’は加熱過程で昇華して気体となり、そして冷却過程で取り除かれる。
【0037】
このようにして、EuXmの溶融凝固体が得られる。但し、得られたEuXm溶融凝固体のEu価数、すなわちmは、NH4X’の量や溶融条件などによって原料のEuXmとは若干異なる可能性がある。使用するるつぼなど耐熱性容器の形状に選ぶことにより、EuXm溶融凝固体をタブレット状など所望の形状とすることができる。また、このEuXm溶融凝固体を乾燥気体雰囲気中でアルミニウムフィルムで真空包装することにより、数週間乃至数ヶ月間保存、貯蔵することができる。
【0038】
前述のように、ハロゲン源としては、気体状、液体状または固体状のハロゲン(F、Cl、Brおよび/またはI)、あるいはハロゲン化水素ガス(HX’)を用いることもできる。
【0039】
この場合には、EuXm原料をX’2ガスもしくはHX’ガスを含む雰囲気中で加熱溶融する。好ましくは、X’2ガスまたはHX’ガスを含む不活性ガス雰囲気中もしくは還元性ガス雰囲気中で加熱溶融する。X’2ガス又はHX’ガスは、溶融雰囲気中に1×10-6乃至1×105Paの範囲で含まれることが好ましい。あるいは、液体状のハロゲン(Br2)または固体状のハロゲン(I2)の存在下で、不活性ガス雰囲気中もしくは還元性ガス雰囲気中でEuXm原料を加熱溶融する。ただし、上記と同様に、溶融雰囲気中の水分量は、一般には5.0×10-5モル/L以下であり、好ましくは5.0×10-6モル/L以下である。溶融雰囲気中の酸素濃度は、一般には1.0×10-5モル/L以下であり、好ましくは1.0×10-6モル/L以下である。
【0040】
EuXm原料を上記と同様の条件および操作により加熱して溶融した後、冷却することによって、EuXm溶融凝固体を得ることができる。また、加熱に先立って、粉末状のEuXm原料を乾燥処理してもよいし、EuXm原料を装填した炉芯内を乾燥してもよい。
【0041】
このようにして、高純度のハロゲン化ユーロピウム(EuXm)溶融凝固体を得ることができる。すなわち、酸化ハロゲン化ユーロピウム(EuOX)の含有量が10重量%以下であり、また含水量が0.5重量%以下であるEuXm溶融凝固体を、好ましく得ることができる。より好ましくは、EuOX含有量が3重量%以下であるEuXm溶融凝固体を得ることができ、特に好ましくは、EuOX含有量が1重量%以下であるEuXm溶融凝固体を得ることができる。ここで、EuOX含有量は、実施例にて後述するように、X線回折法にて、EuOXピーク面積(100面)/EuX2ピーク面積(211面)の比率を算出し、検量線より求めた値である。また、含水量は、実施例にて後述するように、熱重量分析法によって温度50〜150℃での重量減少から算出した値である。
【0042】
以下に、上記のEuXm溶融凝固体を用いた本発明の放射線像変換パネルの製造方法について、蛍光体が蓄積性蛍光体である場合を例にとって述べる。
【0043】
蒸着膜形成のための基板は、通常は放射線像変換パネルの支持体を兼ねるものであり、従来の放射線像変換パネルの支持体として公知の材料から任意に選ぶことができるが、特に好ましい基板は、石英ガラスシート、サファイアガラスシート;アルミニウム、鉄、スズ、クロムなどからなる金属シート;アラミドなどからなる樹脂シートである。公知の放射線像変換パネルにおいて、パネルとしての感度もしくは画質(鮮鋭度、粒状性)を向上させるために、二酸化チタンなどの光反射性物質からなる光反射層、もしくはカーボンブラックなどの光吸収性物質からなる光吸収層などを設けることが知られている。本発明で用いられる基板についても、これらの各種の層を設けることができ、それらの構成は所望の放射線像変換パネルの目的、用途などに応じて任意に選択することができる。さらに、柱状結晶性を高める目的で、基板の蛍光体層側の表面(基板の蛍光体層側の表面に下塗層(接着性付与層)、光反射層あるいは光吸収層などの補助層が設けられている場合には、それらの補助層の表面であってもよい)には微小な凹凸が形成されていてもよい。
【0044】
本発明において蓄積性蛍光体は、少なくともユーロピウムで付活した蛍光体である。一般的には、波長が400〜900nmの範囲の励起光の照射により、300〜500nmの波長範囲に輝尽発光を示す輝尽性蛍光体が好ましい。
【0045】
これらのうちでも、基本組成式(II):
IX・aMIIX’2・bMIIIX”3:zEu ‥‥(II)
で代表されるユーロピウム付活アルカリ金属ハロゲン化物系輝尽性蛍光体は特に好ましい。ただし、MIはLi、Na、K、Rb及びCsからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属を表し、MIIはBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Ni、Cu、Zn及びCdからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属又は二価金属を表し、MIIIはSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInからなる群より選ばれる少なくとも一種の希土類元素または三価金属を表わす。X、X’及びX”はそれぞれ、F、Cl、Br及びIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表す。a、b及びzはそれぞれ、0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<z<1.0の範囲内の数値を表す。
【0046】
上記基本組成式(II)中のMIとしては少なくともCsを含んでいることが好ましい。Xとしては少なくともBrを含んでいることが好ましい。また、基本組成式(II)には、必要に応じて、酸化アルミニウム、二酸化珪素、酸化ジルコニウムなどの金属酸化物を添加物として、MI1モルに対して、0.5モル以下の量で加えてもよい。
【0047】
まず、蒸発源として、蓄積性蛍光体の付活剤成分である前述したハロゲン化ユーロピウム(EuXm)溶融凝固体の他に、少なくとも蛍光体の母体成分を含む蒸発源を用意する。この蒸発源は、所望とする蛍光体の組成に応じて、蛍光体の母体成分のみから構成されていてもよいし、添加物成分などとの混合物であってもよい。また、蛍光体の母体成分は、母体を構成する化合物それ自体であってもよいし、あるいは反応して母体化合物となりうる二以上の原料の混合物であってもよい。さらに、蒸発源は三個以上であってもよい。多元蒸着は、蛍光体の各組成成分の蒸気圧が大きく異なる場合に、その蒸着速度を各々制御することができるので好ましい。
【0048】
本発明において蒸発源として用いるEuXm溶融凝固体は、一般にEuOX含有量が10重量%以下である。好ましくは、EuOX含有量が3重量%以下であり、特に好ましくはEuOX含有量が1重量%以下である。EuOX含有量をこのような低い値に抑えることにより、蒸着レートを安定させることができる。
【0049】
また、EuXm溶融凝固体は、その含水量が0.5重量%以下であることが好ましい。さらに、蒸発源となる蛍光体母体成分などのその他の蛍光体成分もその含水量が0.5重量%以下であることが好ましい。蛍光体の母体成分や付活剤成分が、例えばCsBr、EuBrのように吸湿性である場合には水分を含みやすい。蒸発源の含水量をこのような低い値に抑えることは突沸防止などの点から重要である。蒸発源の脱水は、蛍光体成分を減圧下で100〜300℃の温度範囲で加熱処理したり、あるいは窒素雰囲気などの水分を含まない雰囲気中で、該成分の融点以上の温度で数十分乃至数時間加熱溶融することにより行うことができる。
【0050】
さらに、EuXm溶融凝固体は、Eu2+のモル比が70%以上であることが好ましい。一般に、Eu化合物にはEu2+とEu3+が混合して含まれているが、所望とする輝尽発光(あるいは瞬時発光であっても)はEu2+を付活剤とする蛍光体から発せられるからである。すなわち、mは2.0≦m≦2.3の範囲内の数値であることが好ましい。mは2.0であることが望ましいが、2.0に近づけようとすると酸素が混入しやすくなる。よって、実際にはmは2.2付近でハロゲンXの比率が比較的高い状態が安定している。また、Xは臭素であることが好ましい。
【0051】
蒸発源の相対密度は、80%以上であることが好ましく、より好ましくは90%以上、100%以下である。ここで、相対密度とは、蛍光体またはその原料固有の密度に対する蒸発源の実際の密度の割合を意味する。蒸発源が相対密度の低い粉体状態であると、蒸着の際に粉体が飛散するなどの不都合が生じたり、蒸発源の表面から均一に蒸発しないで蒸着膜の膜厚が不均一となったりする。従って、安定した蒸着を実現するためには蒸発源の密度がある程度高いことが望ましい。上記の相対密度とするには一般に、粉体を20MPa以上の圧力で加圧成形したり、あるいは融点以上の温度にて加熱溶融して、タブレット(錠剤)の形状にする。ただし、蒸発源は必ずしもタブレットの形状である必要はない。
【0052】
蒸発源、特に蛍光体母体成分を含む蒸発源は、アルカリ金属不純物(即ち、蛍光体の構成元素以外のアルカリ金属)の含有量が10ppm以下であり、そしてアルカリ土類金属不純物(即ち、蛍光体の構成元素以外のアルカリ土類金属)の含有量が1ppm以下であることが望ましい。このような蒸発源は、アルカリ金属やアルカリ土類金属など不純物の含有量の少ない原料を使用することにより調製することができる。これによって、不純物の混入が少ない蒸着膜を形成することができるとともに、そのような蒸着膜は発光量が増加する。
【0053】
上記蒸発源、及び基板を蒸着装置内に設置し、装置内を排気して1×10-5〜1×10-2Pa程度の真空度とする。このとき、真空度をこの程度に保持しながら、Arガス、Neガス、N2ガスなどの不活性ガスを導入してもよい。また、装置内の雰囲気中の水分圧を、クライオポンプやディフュージョンポンプとコールドトラップとの組合せなどを用いることにより、7.0×10-3Pa以下にすることが好ましい。
【0054】
蒸着蛍光体層の形成に際しては、例えば、少なくとも蛍光体の母体成分と付活剤成分を別々に含む複数の蒸発源それぞれに、電子線の照射もしくは抵抗加熱を施すか、あるいは一方に電子線の照射を行ない、他の一方に抵抗加熱を施すことによって発生する物質を基板上に多元蒸着させる。なお、一つの蒸発源の加熱に際して電子線の照射と抵抗加熱とを組み合わせて用いてもよい。
【0055】
なお、複数の蒸着源は、母体成分、一種もしくは二種以上の付活剤成分、そして所望により、一種もしくは二種以上の添加剤成分を含む三以上の蒸発源であってもよい。この場合、各蒸発源の加熱方法は全て同一であってもよく、あるいは二もしくは三以上が同一の加熱方法を利用し、他が別の加熱方法を利用してもよい。あるいは、全ての蒸発源を互いに異なる加熱方法で加熱してもよい。なお、加熱に際しては、電子線の照射と抵抗加熱とを組み合わせて用いてもよいことは勿論である。
【0056】
以下の説明では、母体成分の蒸発源と付活剤成分の蒸発源との二つの蒸発源を電子銃を用いる電子線照射により加熱して蒸発させる例をとって説明する。
【0057】
二つの電子銃から電子線をそれぞれ発生させて各蒸発源に照射する。このとき、電子線の加速電圧を1.5kV以上で、5.0kV以下に設定することが望ましい。電子線の照射により、蒸発源である蓄積性蛍光体の母体成分や付活剤成分等は加熱されて蒸発、飛散し、そして反応を生じて蛍光体を形成するとともに基板表面に堆積する。この際に、各電子線の加速電圧などを調整することにより、各蒸発源の蒸発速度を制御してもよい。蛍光体の堆積する速度、すなわち蒸着速度は、一般には0.1〜1000μm/分の範囲にあり、好ましくは1〜100μm/分の範囲にある。あるいは、それぞれの蒸着源を抵抗加熱によって加熱することもできる。また、いずれか一方に電子線照射し、他の一方を抵抗加熱処理することもできる。
【0058】
本発明において、付活剤成分の蒸発源であるEuXm溶融凝固体は、EuOXや水分を殆ど含まない純度の高いものであるので、突沸などのトラブルを生じることがなく、また安定した蒸着速度で堆積させることができる。よって、均質な蒸着膜を形成することができる。
【0059】
電子線の照射を複数回に分けて行い、二層以上の蛍光体層を形成することもできる。また、蒸着の際に必要に応じて被蒸着物(基板)を冷却または加熱してもよく、あるいは蒸着終了後に蛍光体層を熱処理(アニール処理)してもよい。
【0060】
二つの電子銃を使用する代わりに、二個の蒸発源を近接して配置し、そして一つの電子銃からの電子線を二ポイントコントローラを用いて制御することによって、各蒸発源に交互に電子線を照射する方法を採用することも可能である。
【0061】
あるいは、上記蓄積性蛍光体からなる蒸着膜を形成するに先立って、蛍光体の母体のみからなる蒸着膜を形成してもよい。これによって、より一層柱状結晶性の良好な蒸着膜を得ることができる。なお、蛍光体からなる蒸着膜中の付活剤など添加物は、特に蒸着時の加熱および/または蒸着後の加熱処理によって、蛍光体母体からなる蒸着膜中に拡散するために、両者の境界は必ずしも明確ではない場合がある。
【0062】
また、抵抗加熱法を利用する場合には、抵抗加熱器を備えた蒸着装置を用いて、抵抗加熱器に電流を流して蒸発源を加熱することにより蒸発源である蓄積性蛍光体の母体成分や付活剤成分等を蒸発、飛散させる。
【0063】
このようにして、蓄積性蛍光体からなる柱状結晶がほぼ厚み方向に成長した層が得られる。蛍光体層の層厚は、通常は50〜1000μmの範囲にあり、好ましくは200μm〜700mmの範囲にある。
【0064】
なお、基板は必ずしも放射線像変換パネルの支持体を兼ねる必要はなく、蛍光体層形成後、蛍光体層を基板から引き剥がし、別に用意した支持体上に接着剤を用いるなどして接合して、支持体上に蛍光体層を設ける方法を利用してもよい。あるいは、蛍光体層に支持体(基板)が付設されていなくてもよい。
【0065】
この蛍光体層の表面には、放射線像変換パネルの搬送および取扱い上の便宜や特性変化の回避のために、保護層を設けることが望ましい。保護層は、励起光の入射や発光光の出射に殆ど影響を与えないように、透明であることが望ましく、また外部から与えられる物理的衝撃や化学的影響から放射線像変換パネルを充分に保護することができるように、化学的に安定で防湿性が高く、かつ高い物理的強度を持つことが望ましい。
【0066】
保護層としては、セルロース誘導体、ポリメチルメタクリレート、有機溶媒可溶性フッ素系樹脂などのような透明な有機高分子物質を適当な溶媒に溶解して調製した溶液を蛍光体層の上に塗布することで形成されたもの、あるいはポリエチレンテレフタレートなどの有機高分子フィルムや透明なガラス板などの保護層形成用シートを別に形成して蛍光体層の表面に適当な接着剤を用いて設けたもの、あるいは無機化合物を蒸着などによって蛍光体層上に成膜したものなどが用いられる。また、保護層中には酸化マグネシウム、酸化亜鉛、二酸化チタン、アルミナ等の光散乱性微粒子、パーフルオロオレフィン樹脂粉末、シリコーン樹脂粉末等の滑り剤、およびポリイソシアネート等の架橋剤など各種の添加剤が分散含有されていてもよい。保護層の層厚は一般に、高分子物質からなる場合には約0.1〜20μmの範囲にあり、ガラス等の無機化合物からなる場合には100〜1000μmの範囲にある。
【0067】
保護層の表面にはさらに、保護層の耐汚染性を高めるためにフッ素樹脂塗布層を設けてもよい。フッ素樹脂塗布層は、フッ素樹脂を有機溶媒に溶解(または分散)させて調製したフッ素樹脂溶液を保護層の表面に塗布し、乾燥することにより形成することができる。フッ素樹脂は単独で使用してもよいが、通常はフッ素樹脂と膜形成性の高い樹脂との混合物として使用する。また、ポリシロキサン骨格を持つオリゴマーあるいはパーフルオロアルキル基を持つオリゴマーを併用することもできる。フッ素樹脂塗布層には、干渉むらを低減させて更に放射線画像の画質を向上させるために、微粒子フィラーを充填することもできる。フッ素樹脂塗布層の層厚は通常は0.5μm乃至20μmの範囲にある。フッ素樹脂塗布層の形成に際しては、架橋剤、硬膜剤、黄変防止剤などのような添加成分を用いることができる。特に架橋剤の添加は、フッ素樹脂塗布層の耐久性の向上に有利である。
【0068】
上述のようにして本発明に係る放射線像変換パネルが得られるが、本発明のパネルの構成は、公知の各種の変形を含むものであってもよい。たとえば、得られる画像の鮮鋭度を向上させることを目的として、少なくともいずれかの層を、励起光を吸収し発光光は吸収しないような着色剤によって着色してもよい。
【0069】
また、本発明において蛍光体は蓄積性蛍光体に限定されるものではなく、そして放射線像変換パネルも特開2001−255610号公報に記載されているような、蓄積性蛍光体(エネルギー蓄積用蛍光体)を含有する放射線像変換パネルと、放射線を吸収して紫外乃至可視領域に発光を示す蛍光体(放射線吸収用蛍光体)を含有する蛍光スクリーンとの組合せであってもよい。
【0070】
【実施例】
以下の実施例において、試料のEuOBr含有量は、X線回折法(XRD)にて、試料のEuOBrピーク面積(100面)/EuBr2ピーク面積(211面)の比率を算出した後、別途調製した既知のEuOBr・EuBr2混合物を用いて作成した下記検量線に基づいて求めた。
【0071】
検量線: EuOBr含有量(重量%) =
52.0 × EuOBrピーク面積(100面)/EuBr2ピーク面積(211面)
【0072】
また、試料の含水量は、熱重量分析法に従って、示差熱熱重量同時測定装置(TG/DTA320型、セイコー電子工業(株)製)を用いて、窒素フロー(200cc/分)雰囲気中、昇温速度10℃/分で室温から300℃まで温度を上げて試料の重量減少を測定することにより求めた。
【0073】
[実施例1]
(1)臭化ユーロピウム溶融凝固体の製造
粉末状の臭化アンモニウム(NH4Br、関東化学(株)製品)を真空乾燥機にて温度150℃で1時間真空乾燥処理した。臭化ユーロピウム(EuBrm、m=2.2、フルウチ化学(株)製品)に、この臭化アンモニウムを10:1の重量比(EuBrm:NH4Br)で添加した後、ドライエア下で混合した。得られた粉末状の混合物の水分量は0.6重量%以上であった。この混合物を二重にした白金るつぼに充填し、これを石英ボート上に載せ、この石英ボートごとチューブ炉の炉芯に置いた。炉芯内を温度200℃、真空度54〜6.6Paで1時間加熱して乾燥して、水分量が0.33重量%以下の乾燥粉末を得た。
【0074】
次いで、炉芯内に窒素ガスを常圧まで導入し、混合物を800℃の温度で1時間溶融した。次に、炉芯内を真空引きしながら、得られた溶融物を30分間自然冷却した。このようにしてタブレット状(直径:30mm、厚み:5mm)の臭化ユーロピウム溶融凝固体を得た。
【0075】
真空乾燥前および後(溶融開始前)における炉芯内雰囲気は、表1に示すとおりであった。ただし、水分量は、炉芯内の残圧が全て水分に基づくと仮定して算出した値であり、酸素量および窒素量は、炉芯内の残圧が全て空気(N2:O2=80:20)であると仮定して算出した値である。
【0076】
【表1】

Figure 0004334822
【0077】
(2)放射線像変換パネルの製造
臭化セシウム(CsBr)粉末75gをジルコニア製粉末成形用ダイス(内径:35mm)に入れ、粉末金型プレス成形機(テーブルプレスTB−5型、エヌピーエーシステム(株)製)にて50MPaの圧力で加圧し、タブレット(直径:35mm、厚み:20mm)に成形した。このとき、CsBr粉末に掛かった圧力は約40MPaであった。次に、このタブレットに真空乾燥機にて温度200℃で2時間の真空乾燥処理を施した。
【0078】
支持体として、順にアルカリ洗浄、純水洗浄、およびIPA洗浄を施した合成石英基板を用意し、蒸着装置内の基板ホルダーに設置した。蒸発源として、上記EuBrmタブレットとCsBrタブレットを装置内の所定位置に配置した。その後、装置内を排気して1×10-3Paの真空度とした。このとき、真空排気装置として、クライオパネルおよびディフュージョンポンプの組合せを用いた。次いで、基板の蒸着面とは反対側に位置したシーズヒータで、石英基板を200℃に加熱した。蒸発源それぞれに、電子銃から加速電圧4.0kVの電子線を照射して、4μm/分の速度で共蒸着させ、CsBr:Eu輝尽性蛍光体を堆積させた。このとき、各々の電子銃のエミッション電流(CsBr:100mA、EuBrm:50mA)を調整して、輝尽性蛍光体におけるEu/Csモル濃度比が0.003/1となるようにした。
【0079】
蒸着終了後に、装置内を大気圧に戻し、装置から基板を取り出した。基板上には、蛍光体の柱状結晶がほぼ垂直方向に密に林立した構造の蛍光体層(層厚:約400μm、面積10cm×10cm)が形成されていた。
このようにして、共蒸着により支持体と蛍光体層とからなる本発明に係る放射線像変換パネルを製造した。
【0080】
[実施例2]
実施例1において、臭化アンモニウムを10:2(EuBrm:NH4Br)の重量比で添加したこと以外は実施例1と同様にして、タブレット状の臭化ユーロピウム溶融凝固体を得た。次いで、このEuBrmタブレットを用いたこと以外は実施例1と同様にして、支持体と蛍光体層とからなる本発明に係る放射線像変換パネルを製造した。
【0081】
[実施例3]
実施例1において、臭化アンモニウムを10:3(EuBrm:NH4Br)の重量比で添加したこと以外は実施例1と同様にして、タブレット状の臭化ユーロピウム溶融凝固体を得た。次いで、このEuBrmタブレットを用いたこと以外は実施例1と同様にして、支持体と蛍光体層とからなる本発明に係る放射線像変換パネルを製造した。
【0082】
[実施例4]
実施例1において、臭化アンモニウムを10:6(EuBrm:NH4Br)の重量比で添加したこと以外は実施例1と同様にして、タブレット状の臭化ユーロピウム溶融凝固体を得た。次いで、このEuBrmタブレットを用いたこと以外は実施例1と同様にして、支持体と蛍光体層とからなる本発明に係る放射線像変換パネルを製造した。
【0083】
[比較例1]
実施例1において、臭化アンモニウムを添加しなかったこと以外は実施例1と同様にして、タブレット状の臭化ユーロピウム溶融凝固体を得た。次いで、このEuBrmタブレットを用いたこと以外は実施例1と同様にして、支持体と蛍光体層とからなる比較のための放射線像変換パネルを製造した。
【0084】
[比較例2]
実施例1において、EuBrm蒸発源として粉末状の臭化ユーロピウム原料を粉末金型プレス成形機でタブレット状に成形したものを用いたこと以外は実施例1と同様にして、支持体と蛍光体層とからなる比較のための放射線像変換パネルを製造した。
【0085】
[臭化ユーロピウム溶融凝固体の性能評価1]
共蒸着の際のEuBrmの蒸着レート(蒸着流の相対速度)を、水晶振動子にて測定した。得られた結果をまとめて表2に示す。
【0086】
【表2】
Figure 0004334822
【0087】
表2の結果から明らかなように、本発明の方法に従ってNH4Brの存在下で製造したEuBrm溶融凝固体(実施例1〜4)はいずれも、NH4Brの不在下で製造した比較のためのEuBrm溶融凝固体(比較例1)に比べて、EuOBrの含有量が極めて少なく、その結果、蒸着時における蒸着レートが顕著に安定した。
【0088】
一方、比較のためのEuBrm溶融凝固体(比較例1)は、中央部と周縁部とで組成が大きく異なり、中央部は主としてEuOBrから構成されていて蒸着レートが安定し難かった。また、溶融しなかった比較のためのEuBrmタブレット(比較例2)も、EuOBrの含有量が多くて蒸着レートの制御が不可能であり、そして含水量が多かったために蒸着中に突沸を生じた。
さらに、比較例1と2の比較により、加熱溶融の際にNH4Brを添加しないと、EuBrmと反応系中に微量存在するH2O、O2との反応でEuOBrが生成するために、返ってEuOBrの含有量が増加することが分かる。
【0089】
[実施例5〜8]
実施例1〜4それぞれにおいて、各蒸発源に電子線を照射する代りに、抵抗加熱器に120Aの電流を流して蒸発源を加熱したこと以外は各実施例と同様にして、支持体と蛍光体層とからなる本発明に係る放射線像変換パネルを製造した。
【0090】
[比較例3、4]
比較例1、2それぞれにおいて、各蒸発源に電子線を照射する代りに、抵抗加熱器に120Aの電流を流して蒸発源を加熱したこと以外は各比較例と同様にして、支持体と蛍光体層とからなる比較のための放射線像変換パネルを製造した。
【0091】
[臭化ユーロピウム溶融凝固体の性能評価2]
共蒸着の際のEuBrmの蒸着レート(蒸着流の相対速度)を、水晶振動子にて測定した。得られた結果をまとめて表3に示す。
【0092】
【表3】
Figure 0004334822
【0093】
表3から明らかなように、蒸着法を抵抗加熱法に変えても同様の結果が得られた。すなわち、本発明の方法に従ってNH4Brの存在下で製造したEuBrm溶融凝固体(実施例5〜8)はいずれも、NH4Brの不在下で製造した比較のためのEuBrm溶融凝固体(比較例3)および溶融しなかった比較のためのEuBrmタブレット(比較例4)に比べて、EuOBrの含有量が極めて少なく、その結果、蒸着時における蒸着レートが顕著に安定した。
【0094】
【発明の効果】
本発明により、ハロゲンの存在下で、特にハロゲン化アンモニウムを用いて、粉末状のハロゲン化ユーロピウムを溶融したのち冷却することにより、酸化ハロゲン化ユーロピウムの混入が顕著に低減した純度の高いハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を得ることができる。そして、この高純度のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を蒸発源として用いて蒸着法により蛍光体層を形成することにより、蛍光体組成が均一で、不純物の混入していない均質な蛍光体層を有する放射線像変換パネルを製造することができる。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for producing a high-purity europium halide melt and solidified body. In particular, the present invention relates to a method for producing a melted and solidified europium halide which is useful as an evaporation source when a deposited europium halide layer is formed on a substrate by vapor deposition.
[0002]
[Prior art]
Europium halide is known as a raw material of a phosphor activated with europium. For example, WO 01/0356 A1 discloses, as a method for producing a phosphor screen made of europium-activated cesium halide stimulable phosphor, two kinds of europium compounds such as cesium halide and europium halide. A method of binary deposition on a substrate using two evaporation sources is disclosed. According to this method, the cesium halide, which is the matrix component of the phosphor, and the europium compound, which is the activator component, are simultaneously heated to evaporate and scatter, and react to form the phosphor and deposit on the substrate surface. Thus, a vapor deposition film of the phosphor is formed.
[0003]
In general, europium halides are in powder form, including commercial products, and when used for vapor deposition as they are, they are highly hygroscopic, so bumping easily occurs due to contained moisture and halogens liberated by heating. It is difficult to form a vapor deposition film having a uniform composition and a good shape. Europium halide is also mixed with oxide halides such as odor oxides.
[0004]
It is known that when europium halide is heated in the presence of water or oxygen, it is difficult to obtain pure europium halide because europium oxide halide is easily formed. That is, it is difficult to obtain a pure europium halide melt solidified body simply by heating and melting and cooling the europium halide.
[0005]
On the other hand, the stimulable phosphor such as the stimulable phosphor absorbs and accumulates part of the radiation energy when irradiated with radiation such as X-rays, and then emits electromagnetic waves (excitation light) such as visible light and infrared light. When irradiated, it has the property of emitting light in accordance with the accumulated radiation energy. A radiation image conversion panel (also referred to as a stimulable phosphor sheet) is a sheet containing a stimulable phosphor, and includes a support and a phosphor layer provided thereon as a basic structure. However, a support is not necessarily required when the phosphor layer is self-supporting. In addition, a protective layer is usually provided on the upper surface of the phosphor layer (the surface not facing the support) to protect the phosphor layer from chemical alteration or physical impact.
[0006]
In particular, when the phosphor layer of the radiation image conversion panel is formed by the vapor deposition method, the phosphor layer does not contain a binder and is composed only of the phosphor, and between the columnar crystals of the phosphor. There are voids (cracks). For this reason, it is possible to increase the entrance efficiency of the excitation light and the extraction efficiency of the emitted light, so that the sensitivity is high, and scattering of the excitation light in the plane direction can be prevented, so that a high sharpness image can be provided. .
[0007]
The radiation image conversion panel is advantageously used in a radiation image recording / reproducing method. In the radiation image recording / reproducing method, the radiation image conversion panel is irradiated with radiation transmitted through the subject or emitted from the subject, and the radiation image information of the subject is once accumulated and recorded, and then excitation of laser light or the like is performed on the panel. This method consists of scanning light and emitting it sequentially as emitted light, and reading the emitted light photoelectrically to obtain an image signal, which has been widely used in recent years. After the reading of the panel is completed, the remaining radiation energy is erased, and then the panel is prepared and used repeatedly for the next imaging.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
When the phosphor layer of the radiation image conversion panel is formed by the vapor deposition method, if the europium halide containing a large amount of oxide is used as the evaporation source, the vapor deposition rate (evaporation flow rate) is not stable, and as a result It has now been found that a vapor deposited film having a europium concentration and a uniform phosphor composition cannot be formed. In addition, a homogeneous vapor deposition film cannot be formed due to the mixing of impurities. Furthermore, a radiation image conversion panel having such a phosphor layer tends to give a radiation image with a lowered image quality.
[0009]
Also, if the moisture content of the evaporation source europium halide exceeds a certain value, troubles such as bumping of the evaporation source during vapor deposition are likely to occur, and the moisture pressure in the vapor deposition atmosphere increases and becomes unstable. . As a result, the shape of the columnar crystals of the obtained deposited film is impaired, or so-called “light emission unevenness” is generated in which the amount of light emission is locally non-uniform when the entire phosphor layer is excited.
[0010]
Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method for producing a high purity europium halide melt solidified body.
Another object of the present invention is to provide a high-purity europium halide solidified body useful as an evaporation source.
[0011]
Furthermore, the present invention also provides a method for producing a radiation image conversion panel having a phosphor layer having good columnar crystallinity and a uniform light emission amount. That is, this invention provides the manufacturing method of the radiographic image conversion panel which gives a high quality radiographic image.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The present invention lies in a method for producing a europium halide melt solidified body comprising heating and melting europium halide in the presence of a halogen source and then cooling.
[0013]
In the present invention, europium halide means a compound represented by the following general formula (I).
EuX m (I)
[Wherein X represents at least one halogen selected from the group consisting of F, Cl, Br and I, and m represents a numerical value in the range of 2.0 ≦ m ≦ 3.0]
[0014]
The present invention also resides in a melted solidified europium halide having a content of europium halide halide of 10% by weight or less for use as an evaporation source in a vapor deposition method.
[0015]
The present invention further provides a multi-source deposition on a substrate of a substance generated by irradiating an electron beam and / or resistance heating each of a plurality of evaporation sources separately containing at least a phosphor base material component and an activator component. Thus, in the method for manufacturing a radiation image conversion panel including the step of forming a phosphor layer, the above-mentioned europium halide molten solidified body is used as an evaporation source containing an activator component of the phosphor. There is also a method for manufacturing a conversion panel.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
In the method for producing a europium halide melt-solidified body of the present invention, it is preferable to add and mix ammonium halide as a halogen source to europium halide. The ammonium halide is preferably added at a weight ratio in the range of 10: 0.1 to 10:10 (the latter: the former) with respect to the europium halide, and the halogens of both compounds are preferably the same. In particular, the halogen is preferably bromine.
[0017]
It is preferable to heat and melt a mixture of europium halide and ammonium halide in an atmosphere having a moisture content of 5.0 × 10 −5 mol / L or less and an oxygen concentration of 1.0 × 10 −5 mol / L or less. And it is preferable to heat and melt in an inert gas atmosphere or a reducing gas atmosphere. The molten europium halide is preferably cooled in a vacuum, in an inert gas atmosphere or in a reducing gas atmosphere.
[0018]
The reaction system containing this mixture is preferably dried before being melted by heating, and particularly preferably dried by heating at a temperature of 50 to 400 ° C. at a vacuum degree of 100 Pa or higher.
[0019]
Both are preferably dried before mixing, and particularly preferably dried by heating at a temperature of 50 to 400 ° C. under vacuum.
[0020]
Alternatively, it is preferable to heat and melt europium halide in an atmosphere containing halogen gas or hydrogen halide gas as halogen. The halogen gas or hydrogen halide gas is preferably contained in the melting atmosphere in the range of 1 × 10 −6 to 1 × 10 5 Pa, and the halogen of the halogen gas or hydrogen halide gas and the halogen of europium halide are the same. It is preferable that In particular, the halogen is preferably bromine.
[0021]
Europium halide is preferably melted by heating in an atmosphere having a moisture content of 5.0 × 10 −5 mol / L or less and an oxygen concentration of 1.0 × 10 −5 or less, and halogen gas or hydrogen halide gas It is preferable to heat and melt in an inert gas atmosphere or a reducing gas atmosphere. The molten europium halide is preferably cooled in a vacuum, in an inert gas atmosphere or in a reducing gas atmosphere.
[0022]
The reaction system containing the europium halide is preferably dried before heating and melting, and particularly preferably dried by heating at a temperature of 50 to 400 ° C. at a vacuum degree of 100 Pa or higher.
[0023]
It is preferable to dry the europium halide before heating and melting, and it is particularly preferable to dry by heating at a temperature of 50 to 400 ° C. under vacuum.
[0024]
In the europium halide melt solidified body produced by the above method, the content of europium oxide halide is preferably 10% by weight or less, and the water content is preferably 0.5% by weight or less.
[0025]
In the melted and solidified europium halide of the present invention, the content of the europium oxide halide is preferably 3% by weight or less, particularly preferably 1% by weight or less. Further, the water content is preferably 0.5% by weight or less.
[0026]
In the method for producing a radiation image conversion panel of the present invention, the phosphor is preferably a phosphor containing europium as an activator, and in particular, a europium activated alkali metal halide system having the following basic composition formula (II): A stimulable phosphor is preferred.
[0027]
M I X · aM II X ' 2 · bM III X " 3 : zEu (II)
[Wherein M I represents at least one alkali metal selected from the group consisting of Li, Na, K, Rb, and Cs; M II represents Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Ni, Cu, Zn, and Cd. M III represents Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, and at least one alkaline earth metal or divalent metal selected from the group consisting of Represents at least one rare earth element or trivalent metal selected from the group consisting of Tm, Yb, Lu, Al, Ga and In; X, X ′ and X ″ are from the group consisting of F, Cl, Br and I, respectively. Represents at least one selected halogen; and a, b, and z represent numerical values in the range of 0 ≦ a <0.5, 0 ≦ b <0.5, and 0 <z <1.0, respectively.
[0028]
Below, the manufacturing method of the europium halide melt-solidified body of this invention is described in detail.
[0029]
The europium halide raw material used in the present invention is a compound represented by the following general formula (I), and europium may be divalent, trivalent, or a mixture thereof. . This europium halide raw material is generally a powder.
EuX m (I)
[Wherein X represents at least one halogen selected from the group consisting of F, Cl, Br and I, and m represents a numerical value in the range of 2.0 ≦ m ≦ 3.0]
[0030]
In the present invention, the halogen source includes ammonium halide (NH 4 X ′, where X ′ is F, Cl, Br and / or I), halogen alone (F, Cl, Br and / or I), or halogen Hydrogen fluoride gas (HX ′) can be used. The ammonium halide may be used as a solid or may be vaporized and used as a gas. Halogen alone can be used in gaseous, liquid or solid form depending on the type and operating conditions. It is preferable that the halogen of the ammonium halide, the hydrogen halide gas or the halogen simple substance is the same as the halogen of the europium halide. A particularly preferred halogen is bromine (X, X ′ = Br).
[0031]
When solid ammonium halide is used as the halogen source, it is preferable that the EuX m raw material and NH 4 X ′ are preliminarily dried to remove moisture as much as possible. The drying treatment can be performed, for example, by heating each compound at a temperature of 50 to 400 ° C. for about 1 to 10 hours under vacuum using a vacuum dryer or the like.
[0032]
Next, the dried EuX m raw material and NH 4 X ′ are mixed. The mixing is preferably performed under dry air. NH 4 X ′ is preferably added at a weight ratio in the range of 10: 0.1 to 10:10 (the latter: the former) with respect to the EuX m raw material, and particularly preferably 10: 1 to 10: 5 ( The latter is the weight ratio in the range of the former.
[0033]
The mixture was then platinum crucible of EuX m feedstock and NH 4 X ', an alumina crucible was filled in a heat resistant vessel such as a quartz boat, and heated to a temperature above the melting point of EuX m placed in the furnace core of the electric furnace Melt. Prior to heating, the inside of the furnace core loaded with the mixture is preferably dried. For example, drying is performed by heating at a vacuum degree of 100 Pa or higher, preferably 10 Pa or higher, at a temperature of 50 to 400 ° C. for about 10 minutes to 12 hours. Can do.
[0034]
The melting temperature is generally in the range of 500 to 2000 ° C. As the melting atmosphere, an inert gas atmosphere such as nitrogen gas or a reducing gas atmosphere such as hydrogen gas is generally used. The water content in the molten atmosphere is generally 5.0 × 10 −5 mol / L or less, preferably 5.0 × 10 −6 mol / L or less. The oxygen concentration in the molten atmosphere is generally 1.0 × 10 −5 mol / L or less, preferably 1.0 × 10 −6 mol / L or less. The melting time is generally from 30 minutes to 12 hours.
[0035]
EuX during heat melting m forms a equilibrium with oxides europium halide (EuOX) by water or oxygen present in the reaction system. By allowing the halogen source NH 4 X ′ to be present in the reaction system, this equilibrium state can be shifted to the EuX m side (if there is no NH 4 X ′, EuOX is further generated). That is, it is possible to reduce by controlling the by-product amount of EuOX by reaction of EuX m and H 2 O, and O 2. However, if there is an excessive amount of NH 4 X ′, EuXm approaches EuX 3 . Furthermore, the halogen source NH 4 X ′ can convert EuOX contained in the EuX m raw material into EuX 2 .
[0036]
Next, the melted EuX m is cooled and solidified. Cooling is preferably performed under vacuum, in an inert gas atmosphere, or in a reducing gas atmosphere. The added NH 4 X ′ sublimates into a gas during the heating process and is removed during the cooling process.
[0037]
In this manner, melting and solidification of EuX m is obtained. However, the Eu valence of the obtained EuX m melted solidified body, that is, m , may be slightly different from the raw material EuX m depending on the amount of NH 4 X ′, melting conditions, and the like. By selecting the shape of the heat-resistant container such as a crucible to be used, the EuX m melted solidified body can be formed into a desired shape such as a tablet. Further, the EuX m melted solidified body can be stored and stored for several weeks to several months by vacuum packaging with an aluminum film in a dry gas atmosphere.
[0038]
As described above, gaseous, liquid or solid halogen (F, Cl, Br and / or I) or hydrogen halide gas (HX ′) can be used as the halogen source.
[0039]
In this case, the heating and melting the EuX m feedstock in an atmosphere containing X '2 gas or HX' gas. Preferably, it is melted by heating in an inert gas atmosphere containing X ′ 2 gas or HX ′ gas or in a reducing gas atmosphere. X ′ 2 gas or HX ′ gas is preferably contained in the melting atmosphere in the range of 1 × 10 −6 to 1 × 10 5 Pa. Alternatively, in the presence of a liquid halogen (Br 2) or solid silver (I 2), is heated and melted EuX m raw materials or reducing gas atmosphere in an inert gas atmosphere. However, similarly to the above, the amount of water in the molten atmosphere is generally 5.0 × 10 −5 mol / L or less, preferably 5.0 × 10 −6 mol / L or less. The oxygen concentration in the molten atmosphere is generally 1.0 × 10 −5 mol / L or less, preferably 1.0 × 10 −6 mol / L or less.
[0040]
An EuX m melted solidified body can be obtained by heating and melting the EuX m raw material under the same conditions and operations as described above and then cooling. Also, prior to heating, to a powdery EuX m feedstock may be dried, it may be dried in a furnace core loaded with EuX m feedstock.
[0041]
In this way, a high purity europium halide (EuX m ) melt-solidified body can be obtained. In other words, is not less than 10% by weight oxide content of europium halide (EuOX), also the water content is a EuX m melt solidified body is 0.5 wt% or less, can be preferably obtained. More preferably, can EuOX content obtain EuX m melt solidified body is 3 wt% or less, particularly preferably, may EuOX content obtain EuX m melt solidified body is not more than 1 wt%. Here, EuOX content, as described later in Examples, by X-ray diffraction method, and calculates the ratio of EuOX peak area (100 plane) / EuX 2 peak area (211 plane), obtained from the calibration curve Value. The water content is a value calculated from the weight loss at a temperature of 50 to 150 ° C. by thermogravimetric analysis, as will be described later in Examples.
[0042]
Hereinafter, a method for producing the radiation image conversion panel of the present invention using the EuX m melted solidified body will be described by taking as an example the case where the phosphor is a storage phosphor.
[0043]
The substrate for forming the vapor deposition film usually serves also as a support for the radiation image conversion panel, and can be arbitrarily selected from known materials as a support for the conventional radiation image conversion panel. A quartz glass sheet, a sapphire glass sheet; a metal sheet made of aluminum, iron, tin, chromium or the like; a resin sheet made of aramid or the like. In a known radiation image conversion panel, in order to improve the sensitivity or image quality (sharpness, graininess) of the panel, a light reflecting layer made of a light reflecting material such as titanium dioxide, or a light absorbing material such as carbon black It is known to provide a light absorption layer made of or the like. These various layers can also be provided for the substrate used in the present invention, and the configuration thereof can be arbitrarily selected according to the desired purpose and application of the radiation image conversion panel. Further, for the purpose of enhancing the columnar crystallinity, an auxiliary layer such as a surface on the phosphor layer side of the substrate (an undercoat layer (adhesion imparting layer) on the surface of the phosphor layer side of the substrate, a light reflecting layer or a light absorbing layer) is provided. If it is provided, the surface of those auxiliary layers may be finely formed).
[0044]
In the present invention, the stimulable phosphor is a phosphor activated with at least europium. In general, a stimulable phosphor that exhibits stimulated emission in a wavelength range of 300 to 500 nm when irradiated with excitation light having a wavelength in the range of 400 to 900 nm is preferable.
[0045]
Among these, basic composition formula (II):
M I X · aM II X ' 2 · bM III X " 3 : zEu (II)
The europium activated alkali metal halide photostimulable phosphor represented by the formula (1) is particularly preferred. M I represents at least one alkali metal selected from the group consisting of Li, Na, K, Rb, and Cs, and M II consists of Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Ni, Cu, Zn, and Cd. at least one rare earth element or trivalent metal selected from the group, M III is Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm Represents at least one rare earth element or trivalent metal selected from the group consisting of Yb, Lu, Al, Ga and In. X, X ′ and X ″ each represent at least one halogen selected from the group consisting of F, Cl, Br and I. a, b and z are 0 ≦ a <0.5 and 0 ≦ b <, respectively. It represents a numerical value within the range of 0.5 and 0 <z <1.0.
[0046]
M I in the basic composition formula (II) preferably contains at least Cs. X preferably contains at least Br. In addition, in the basic composition formula (II), if necessary, a metal oxide such as aluminum oxide, silicon dioxide, zirconium oxide or the like is added in an amount of 0.5 mol or less with respect to 1 mol of M I. May be added.
[0047]
First, as an evaporation source, an evaporation source including at least a matrix component of the phosphor is prepared in addition to the above-described europium halide (EuX m ) molten solidified body that is an activator component of the stimulable phosphor. This evaporation source may be composed of only a host component of the phosphor or a mixture with an additive component or the like according to the desired phosphor composition. Further, the matrix component of the phosphor may be a compound itself constituting the matrix, or may be a mixture of two or more raw materials that can react to become a matrix compound. Further, the number of evaporation sources may be three or more. Multi-source vapor deposition is preferable because the vapor deposition rate can be controlled when the vapor pressures of the respective components of the phosphor are greatly different.
[0048]
EuX m melt solidified body used as the evaporation source in the present invention is generally EuOX content of 10 wt% or less. Preferably, the EuOX content is 3% by weight or less, and particularly preferably, the EuOX content is 1% by weight or less. By suppressing the EuOX content to such a low value, the deposition rate can be stabilized.
[0049]
Further, EuX m melt solidified body preferably has a water content of 0.5 wt% or less. Furthermore, it is preferable that other phosphor components such as a phosphor matrix component serving as an evaporation source have a water content of 0.5% by weight or less. In the case where the matrix component and the activator component of the phosphor are hygroscopic such as CsBr and EuBr, for example, they easily contain moisture. It is important from the standpoint of preventing bumping to keep the water content of the evaporation source at such a low value. The dehydration of the evaporation source is several tens of minutes at a temperature equal to or higher than the melting point of the phosphor component by heat-treating the phosphor component in a temperature range of 100 to 300 ° C. under reduced pressure or in an atmosphere not containing moisture such as a nitrogen atmosphere It can be carried out by heating and melting for several hours.
[0050]
Furthermore, EuX m melt-solidified body is preferably a molar ratio of Eu 2+ is 70% or more. In general, Eu compounds contain a mixture of Eu 2+ and Eu 3+, but the desired stimulating luminescence (or even instantaneous luminescence) is a phosphor using Eu 2+ as an activator. Because it is emitted from. That is, m is preferably a numerical value within a range of 2.0 ≦ m ≦ 2.3. Although m is desirably 2.0, oxygen tends to be mixed when trying to approach 2.0. Therefore, in practice, the state where m is around 2.2 and the ratio of halogen X is relatively high is stable. X is preferably bromine.
[0051]
The relative density of the evaporation source is preferably 80% or more, more preferably 90% or more and 100% or less. Here, the relative density means the ratio of the actual density of the evaporation source to the density specific to the phosphor or its raw material. If the evaporation source is in a powder state with a low relative density, there will be inconveniences such as powder scattering during vapor deposition, or the film thickness of the vapor deposition film will be non-uniform without evaporating uniformly from the surface of the evaporation source. Or Therefore, in order to realize stable vapor deposition, it is desirable that the density of the evaporation source is high to some extent. In order to obtain the above relative density, generally, the powder is pressure-molded at a pressure of 20 MPa or more, or is heated and melted at a temperature of the melting point or more to form a tablet (tablet). However, the evaporation source is not necessarily in the form of a tablet.
[0052]
An evaporation source, particularly an evaporation source including a phosphor matrix component, has an alkali metal impurity (that is, an alkali metal other than the constituent elements of the phosphor) of 10 ppm or less, and an alkaline earth metal impurity (that is, a phosphor). The content of (alkaline earth metal other than the constituent elements) is preferably 1 ppm or less. Such an evaporation source can be prepared by using a raw material having a low impurity content such as an alkali metal or an alkaline earth metal. As a result, it is possible to form a vapor-deposited film with few impurities and to increase the amount of light emitted from such a vapor-deposited film.
[0053]
The evaporation source and the substrate are installed in a vapor deposition apparatus, and the inside of the apparatus is evacuated to a vacuum degree of about 1 × 10 −5 to 1 × 10 −2 Pa. At this time, an inert gas such as Ar gas, Ne gas, or N 2 gas may be introduced while maintaining the degree of vacuum at this level. Further, the moisture pressure in the atmosphere in the apparatus is preferably set to 7.0 × 10 −3 Pa or less by using a cryopump, a combination of a diffusion pump and a cold trap or the like.
[0054]
In forming the vapor-deposited phosphor layer, for example, each of a plurality of evaporation sources separately containing at least a phosphor base component and an activator component is irradiated with an electron beam or resistance-heated, or one of the electron beam Irradiation is performed, and a substance generated by applying resistance heating to the other is vapor-deposited on the substrate. Note that, when heating one evaporation source, electron beam irradiation and resistance heating may be used in combination.
[0055]
The plurality of vapor deposition sources may be three or more evaporation sources including a base component, one or more activator components, and, optionally, one or more additive components. In this case, the heating methods of the respective evaporation sources may be the same, or two or three or more may use the same heating method, and others may use different heating methods. Alternatively, all evaporation sources may be heated by different heating methods. Needless to say, in heating, electron beam irradiation and resistance heating may be used in combination.
[0056]
In the following description, an example of heating and evaporating two evaporation sources, ie, a matrix component evaporation source and an activator component evaporation source, by electron beam irradiation using an electron gun will be described.
[0057]
Electron beams are generated from two electron guns, respectively, and irradiated to each evaporation source. At this time, it is desirable to set the acceleration voltage of the electron beam to 1.5 kV or more and 5.0 kV or less. By irradiation with an electron beam, the matrix component, activator component, and the like of the stimulable phosphor that is the evaporation source are heated to evaporate and scatter, and react to form the phosphor and deposit on the substrate surface. At this time, the evaporation rate of each evaporation source may be controlled by adjusting the acceleration voltage of each electron beam. The deposition rate of the phosphor, that is, the deposition rate is generally in the range of 0.1 to 1000 μm / min, and preferably in the range of 1 to 100 μm / min. Alternatively, each deposition source can be heated by resistance heating. Alternatively, either one can be irradiated with an electron beam and the other can be subjected to resistance heating treatment.
[0058]
In the present invention, the EuX m melted and solidified body, which is the evaporation source of the activator component, has a high purity containing almost no EuOX or moisture, and therefore does not cause trouble such as bumping and has a stable deposition rate. Can be deposited. Therefore, a uniform vapor deposition film can be formed.
[0059]
Two or more phosphor layers can be formed by performing electron beam irradiation in a plurality of times. Further, the deposition target (substrate) may be cooled or heated as necessary during vapor deposition, or the phosphor layer may be heat-treated (annealed) after vapor deposition.
[0060]
Instead of using two electron guns, two evaporation sources are placed in close proximity, and the electron beam from one electron gun is controlled using a two-point controller, so that each evaporation source has an electron alternately. It is also possible to employ a method of irradiating a line.
[0061]
Alternatively, prior to forming the deposited film made of the stimulable phosphor, a deposited film made only of the phosphor base material may be formed. As a result, it is possible to obtain a vapor deposition film with even better columnar crystallinity. Note that additives such as an activator in the vapor-deposited film made of the phosphor diffuse into the vapor-deposited film made of the phosphor matrix, particularly by heating during vapor deposition and / or heat treatment after vapor deposition. May not always be clear.
[0062]
In addition, when using the resistance heating method, a vapor deposition apparatus equipped with a resistance heater is used to heat the evaporation source by passing an electric current through the resistance heater to form the matrix component of the stimulable phosphor that is the evaporation source. And activator components are evaporated and scattered.
[0063]
In this way, a layer is obtained in which columnar crystals made of a stimulable phosphor are grown substantially in the thickness direction. The layer thickness of the phosphor layer is usually in the range of 50 to 1000 μm, preferably in the range of 200 μm to 700 mm.
[0064]
The substrate does not necessarily have to serve as a support for the radiation image conversion panel. After forming the phosphor layer, the phosphor layer is peeled off from the substrate and bonded to the prepared support using an adhesive or the like. A method of providing a phosphor layer on a support may be used. Alternatively, the support (substrate) may not be attached to the phosphor layer.
[0065]
It is desirable to provide a protective layer on the surface of the phosphor layer in order to facilitate transportation and handling of the radiation image conversion panel and avoid characteristic changes. It is desirable that the protective layer be transparent so that it does not affect the incidence of excitation light and emission of emitted light, and the radiation image conversion panel is sufficiently protected from physical impacts and chemical effects given from the outside. It is desirable to be chemically stable, highly moisture-proof, and have high physical strength.
[0066]
As the protective layer, a solution prepared by dissolving a transparent organic polymer substance such as cellulose derivative, polymethyl methacrylate, organic solvent-soluble fluorine-based resin in an appropriate solvent is applied on the phosphor layer. Formed, or separately formed a protective layer forming sheet such as an organic polymer film such as polyethylene terephthalate or a transparent glass plate, and provided with an appropriate adhesive on the surface of the phosphor layer, or inorganic A compound formed on the phosphor layer by vapor deposition or the like is used. In addition, in the protective layer, various additives such as light scattering fine particles such as magnesium oxide, zinc oxide, titanium dioxide and alumina, slipping agents such as perfluoroolefin resin powder and silicone resin powder, and crosslinking agents such as polyisocyanate. May be dispersed and contained. The thickness of the protective layer is generally in the range of about 0.1 to 20 μm when it is made of a polymer substance, and is in the range of 100 to 1000 μm when it is made of an inorganic compound such as glass.
[0067]
A fluororesin coating layer may be further provided on the surface of the protective layer in order to increase the stain resistance of the protective layer. The fluororesin coating layer can be formed by coating a fluororesin solution prepared by dissolving (or dispersing) a fluororesin in an organic solvent on the surface of the protective layer and drying. Although the fluororesin may be used alone, it is usually used as a mixture of a fluororesin and a resin having a high film forming property. In addition, an oligomer having a polysiloxane skeleton or an oligomer having a perfluoroalkyl group can be used in combination. The fluororesin coating layer can be filled with a fine particle filler in order to reduce interference unevenness and further improve the image quality of the radiation image. The thickness of the fluororesin coating layer is usually in the range of 0.5 μm to 20 μm. In forming the fluororesin coating layer, additive components such as a cross-linking agent, a hardener, and a yellowing inhibitor can be used. In particular, the addition of a crosslinking agent is advantageous for improving the durability of the fluororesin coating layer.
[0068]
Although the radiation image conversion panel according to the present invention is obtained as described above, the configuration of the panel of the present invention may include various known modifications. For example, for the purpose of improving the sharpness of the obtained image, at least one of the layers may be colored with a colorant that absorbs excitation light and does not absorb emitted light.
[0069]
Further, in the present invention, the phosphor is not limited to the stimulable phosphor, and the radiation image conversion panel is also a stimulable phosphor (energy storing fluorescence) as described in JP-A-2001-255610. And a phosphor screen containing a phosphor (radiation absorbing phosphor) that absorbs radiation and emits light in the ultraviolet to visible region.
[0070]
【Example】
In the following examples, the EuOBr content of the sample was prepared separately after calculating the ratio of the EuOBr peak area (100 planes) / EuBr 2 peak area (211 planes) of the sample by X-ray diffraction (XRD). was determined based on the following calibration curve prepared using a known EuOBr · EuBr 2 mixture was.
[0071]
Calibration curve: EuOBr content (% by weight) =
52.0 × EuOBr peak area (100 faces) / EuBr 2 peak area (211 faces)
[0072]
The moisture content of the sample was increased in a nitrogen flow (200 cc / min) atmosphere using a differential thermothermal gravimetric simultaneous measurement device (TG / DTA320 type, manufactured by Seiko Denshi Kogyo Co., Ltd.) according to thermogravimetric analysis. The temperature was increased from room temperature to 300 ° C. at a temperature rate of 10 ° C./min, and the weight loss of the sample was measured.
[0073]
[Example 1]
(1) Production of europium bromide melt solidified powder Ammonium bromide (NH 4 Br, product of Kanto Chemical Co., Inc.) was vacuum dried at 150 ° C. for 1 hour in a vacuum dryer. This ammonium bromide was added to europium bromide (EuBr m , m = 2.2, manufactured by Furuuchi Chemical Co., Ltd.) at a weight ratio of 10: 1 (EuBr m : NH 4 Br) and then mixed under dry air did. The water content of the obtained powdery mixture was 0.6% by weight or more. This mixture was filled in a double platinum crucible, placed on a quartz boat, and this quartz boat was placed together with the core of the tube furnace. The inside of the furnace core was heated for 1 hour at a temperature of 200 ° C. and a degree of vacuum of 54 to 6.6 Pa, and dried to obtain a dry powder having a moisture content of 0.33% by weight or less.
[0074]
Next, nitrogen gas was introduced into the furnace core to normal pressure, and the mixture was melted at a temperature of 800 ° C. for 1 hour. Next, the obtained melt was naturally cooled for 30 minutes while evacuating the inside of the furnace core. Thus, a tablet-like (diameter: 30 mm, thickness: 5 mm) europium bromide melt-solidified body was obtained.
[0075]
The atmosphere in the furnace core before and after vacuum drying (before the start of melting) was as shown in Table 1. However, the moisture content is a value calculated on the assumption that the residual pressure in the furnace core is entirely based on moisture, and the oxygen content and the nitrogen content are all air (N 2 : O 2 = 80:20) and calculated.
[0076]
[Table 1]
Figure 0004334822
[0077]
(2) Production of Radiation Image Conversion Panel 75 g of cesium bromide (CsBr) powder was placed in a zirconia powder molding die (inner diameter: 35 mm), and a powder mold press molding machine (table press TB-5, NPA system ( The product was manufactured under the pressure of 50 MPa and formed into a tablet (diameter: 35 mm, thickness: 20 mm). At this time, the pressure applied to the CsBr powder was about 40 MPa. Next, this tablet was vacuum dried at a temperature of 200 ° C. for 2 hours with a vacuum dryer.
[0078]
As a support, a synthetic quartz substrate subjected to alkali cleaning, pure water cleaning, and IPA cleaning in order was prepared and placed on a substrate holder in a vapor deposition apparatus. As the evaporation source was placed at a predetermined position in the apparatus the EuBr m tablet and CsBr tablet. Thereafter, the inside of the apparatus was evacuated to a vacuum degree of 1 × 10 −3 Pa. At this time, a combination of a cryopanel and a diffusion pump was used as an evacuation apparatus. Next, the quartz substrate was heated to 200 ° C. with a sheathed heater located on the side opposite to the deposition surface of the substrate. Each of the evaporation sources was irradiated with an electron beam with an acceleration voltage of 4.0 kV from an electron gun and co-evaporated at a rate of 4 μm / min to deposit a CsBr: Eu stimulable phosphor. At this time, the emission current (CsBr: 100 mA, EuBr m : 50 mA) of each electron gun was adjusted so that the Eu / Cs molar concentration ratio in the photostimulable phosphor was 0.003 / 1.
[0079]
After vapor deposition, the inside of the apparatus was returned to atmospheric pressure, and the substrate was taken out from the apparatus. On the substrate, a phosphor layer (layer thickness: about 400 μm, area 10 cm × 10 cm) having a structure in which the columnar crystals of the phosphor were densely planted substantially vertically was formed.
Thus, the radiation image conversion panel which concerns on this invention which consists of a support body and a fluorescent substance layer by co-evaporation was manufactured.
[0080]
[Example 2]
In the same manner as in Example 1 except that ammonium bromide was added at a weight ratio of 10: 2 (EuBr m : NH 4 Br) in Example 1, a tablet-like europium bromide melt solidified body was obtained. Then, except for the use of this EuBr m tablet in the same manner as in Example 1, to produce a radiation image storage panel according to the present invention comprising a support and a phosphor layer.
[0081]
[Example 3]
In the same manner as in Example 1 except that ammonium bromide was added at a weight ratio of 10: 3 (EuBr m : NH 4 Br) in Example 1, a tablet-like europium bromide melt solidified body was obtained. Then, except for the use of this EuBr m tablet in the same manner as in Example 1, to produce a radiation image storage panel according to the present invention comprising a support and a phosphor layer.
[0082]
[Example 4]
In the same manner as in Example 1 except that ammonium bromide was added at a weight ratio of 10: 6 (EuBr m : NH 4 Br) in Example 1, a tablet-like europium bromide melt solidified body was obtained. Then, except for the use of this EuBr m tablet in the same manner as in Example 1, to produce a radiation image storage panel according to the present invention comprising a support and a phosphor layer.
[0083]
[Comparative Example 1]
In Example 1, a tablet-like europium bromide melt solidified body was obtained in the same manner as in Example 1 except that ammonium bromide was not added. Then, except for the use of this EuBr m tablet in the same manner as in Example 1, to produce a radiation image storage panel for comparison comprising a support and a phosphor layer.
[0084]
[Comparative Example 2]
In Example 1, a support and a phosphor were used in the same manner as in Example 1 except that a powdery europium bromide raw material formed into a tablet shape by a powder mold press molding machine was used as the EuBr m evaporation source. A comparative radiation image conversion panel consisting of layers was produced.
[0085]
[Performance Evaluation 1 of Europium Bromide Melt Solids]
Evaporation rate of EuBr m during co-evaporation (relative rate of vapor deposition flow) was measured by a crystal oscillator. The results obtained are summarized in Table 2.
[0086]
[Table 2]
Figure 0004334822
[0087]
As is clear from the results in Table 2, all EuBr m melted solids (Examples 1 to 4) produced in the presence of NH 4 Br according to the method of the present invention were compared in the absence of NH 4 Br. Compared with the EuBr m melted solidified body for comparison (Comparative Example 1), the content of EuOBr was extremely small, and as a result, the deposition rate during deposition was remarkably stabilized.
[0088]
On the other hand, the EuBr m solidified solid for comparison (Comparative Example 1) has a composition that differs greatly between the central part and the peripheral part, and the central part is mainly composed of EuOBr, and the deposition rate is difficult to stabilize. In addition, the EuBr m tablet for comparison that did not melt (Comparative Example 2) also had a high EuOBr content, and the deposition rate could not be controlled, and because of the high water content, bumping occurred during the deposition. It was.
Further, according to the comparison between Comparative Examples 1 and 2, if NH 4 Br is not added at the time of heating and melting, EuOBr is produced by the reaction of EuBr m with H 2 O and O 2 present in a very small amount in the reaction system. In return, the content of EuOBr increases.
[0089]
[Examples 5 to 8]
In each of Examples 1 to 4, in the same manner as in each Example, except that the evaporation source was heated by supplying a current of 120 A to the resistance heater instead of irradiating each evaporation source with the electron beam, the support and the fluorescence were supplied. A radiation image conversion panel according to the present invention comprising a body layer was produced.
[0090]
[Comparative Examples 3 and 4]
In each of Comparative Examples 1 and 2, in the same manner as in each Comparative Example except that the evaporation source was heated by supplying a current of 120 A to the resistance heater instead of irradiating each evaporation source with an electron beam, A comparative radiation image conversion panel comprising a body layer was produced.
[0091]
[Performance Evaluation 2 of Europium Bromide Solidified Solids]
Evaporation rate of EuBr m during co-evaporation (relative rate of vapor deposition flow) was measured by a crystal oscillator. The results obtained are summarized in Table 3.
[0092]
[Table 3]
Figure 0004334822
[0093]
As is clear from Table 3, the same result was obtained even when the vapor deposition method was changed to the resistance heating method. That is, the EuBr m melted solids produced in the presence of NH 4 Br according to the method of the present invention (Examples 5 to 8) were all EuBr m melted solids for comparison produced in the absence of NH 4 Br. (Comparative example 3) and compared to EuBr m tablet for comparison that did not melt (Comparative example 4), the content of EuOBr is extremely small, as a result, deposition rate during deposition was remarkably stable.
[0094]
【The invention's effect】
According to the present invention, high-purity europium halide in which contamination of europium oxide is remarkably reduced by melting powdery europium halide in the presence of halogen, in particular using ammonium halide, and then cooling. A melt-solidified body can be obtained. Then, by forming a phosphor layer by vapor deposition using this high-purity europium halide melt and solidified body as an evaporation source, the phosphor composition is uniform and has a homogeneous phosphor layer free of impurities A radiation image conversion panel can be manufactured.

Claims (37)

ハロゲン化ユーロピウムを、ハロゲン源の存在下で、加熱溶融させたのち冷却することからなるハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。A method for producing a europium halide melt solidified body comprising heating and melting europium halide in the presence of a halogen source and then cooling. ハロゲン化ユーロピウムを実質的に水及び酸素の不在下で加熱溶融させる請求項1に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a europium halide melt solidified body according to claim 1, wherein the europium halide is heated and melted substantially in the absence of water and oxygen. ハロゲン源としてハロゲン化アンモニウムを用い、これをハロゲン化ユーロピウムに予め添加混合する請求項1または2に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a solidified europium halide solidified body according to claim 1 or 2, wherein ammonium halide is used as a halogen source, and this is added to and mixed in advance with europium halide. ハロゲン化アンモニウムをハロゲン化ユーロピウムに対して10:0.1乃至10:10(後者:前者)の範囲の重量比で添加する請求項3に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a europium halide melt solidified body according to claim 3, wherein the ammonium halide is added to the europium halide in a weight ratio in the range of 10: 0.1 to 10:10 (the latter: the former). ハロゲン化ユーロピウムのハロゲンとハロゲン化アンモニウムのハロゲンとが同一である請求項3または4に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a europium halide melt solidified body according to claim 3 or 4, wherein the halogen of europium halide and the halogen of ammonium halide are the same. ハロゲン化ユーロピウムとハロゲン化アンモニウムとの混合物を、水分量を5.0×10-5モル/L以下とした雰囲気中で加熱溶融する請求項3乃至5のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The europium halide according to any one of claims 3 to 5, wherein a mixture of the europium halide and the ammonium halide is heated and melted in an atmosphere having a moisture content of 5.0 x 10 -5 mol / L or less. A method for producing a melt-solidified body. ハロゲン化ユーロピウムとハロゲン化アンモニウムとの混合物を、酸素濃度を1.0×10-5モル/L以下とした雰囲気中で加熱溶融する請求項3乃至6のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The europium halide according to any one of claims 3 to 6, wherein a mixture of europium halide and ammonium halide is heated and melted in an atmosphere having an oxygen concentration of 1.0 x 10 -5 mol / L or less. A method for producing a melt-solidified body. ハロゲン化ユーロピウムとハロゲン化アンモニウムの混合物を不活性ガス雰囲気中もしくは還元性ガス雰囲気中で加熱溶融する請求項3乃至7のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a melted solidified europium halide solid body according to any one of claims 3 to 7, wherein a mixture of europium halide and ammonium halide is heated and melted in an inert gas atmosphere or a reducing gas atmosphere. 溶融したハロゲン化ユーロピウムを真空下、不活性ガス雰囲気下もしくは還元性ガス雰囲気下で冷却する請求項3乃至8のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a melted and solidified europium halide solid body according to any one of claims 3 to 8, wherein the melted europium halide is cooled in a vacuum, in an inert gas atmosphere or in a reducing gas atmosphere. ハロゲン化ユーロピウムとハロゲン化アンモニウムの混合物を含む反応系を加熱溶融前に乾燥する請求項3乃至9のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a melted solidified europium halide solid body according to any one of claims 3 to 9, wherein a reaction system containing a mixture of europium halide and ammonium halide is dried before heating and melting. ハロゲン化ユーロピウムとハロゲン化アンモニウムの混合物を含む反応系を、100Paもしくはそれより高真空側の真空度で50乃至400℃の温度で加熱することにより乾燥する請求項10に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。11. The europium halide melt solidification according to claim 10, wherein the reaction system containing a mixture of europium halide and ammonium halide is dried by heating at a temperature of 50 to 400 ° C. at a vacuum degree of 100 Pa or higher. Body manufacturing method. ハロゲン化ユーロピウムおよび/またはハロゲン化アンモニウムをそれぞれ混合前に乾燥する請求項3乃至11のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a solidified europium halide solidified body according to any one of claims 3 to 11, wherein the europium halide and / or ammonium halide is dried before mixing. ハロゲン化ユーロピウムおよび/またはハロゲン化アンモニウムをそれぞれ、真空下で50乃至400℃の温度で加熱することにより乾燥する請求項12に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a europium halide melt solidified body according to claim 12, wherein the europium halide and / or ammonium halide is dried by heating at a temperature of 50 to 400 ° C under vacuum. ハロゲン化ユーロピウムが臭化ユーロピウムである請求項3乃至13のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a europium halide melt solidified body according to any one of claims 3 to 13, wherein the europium halide is europium bromide. ハロゲン源としてハロゲンガスもしくはハロゲン化水素ガスを含む雰囲気中で、ハロゲン化ユーロピウムを加熱溶融する請求項1または2に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a solidified europium halide solidified body according to claim 1 or 2, wherein the europium halide is heated and melted in an atmosphere containing a halogen gas or a hydrogen halide gas as a halogen source. ハロゲンガスもしくはハロゲン化水素ガスが溶融雰囲気中に1×10-6乃至1×105Paの範囲で含まれる請求項15に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a melted and solidified europium halide solid body according to claim 15, wherein the halogen gas or hydrogen halide gas is contained in the molten atmosphere in the range of 1 x 10 -6 to 1 x 10 5 Pa. ハロゲン化ユーロピウムのハロゲンとハロゲンガスもしくはハロゲン化水素ガスのハロゲンとが同一である請求項15または16に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a solidified europium halide solidified body according to claim 15 or 16, wherein the halogen of the europium halide is the same as the halogen gas or the halogen of the hydrogen halide gas. ハロゲン化ユーロピウムを水分量が5.0×10-5モル/L以下の雰囲気中で加熱溶融する請求項15乃至17のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。18. The method for producing a europium halide melt solidified body according to claim 15, wherein the europium halide is heated and melted in an atmosphere having a moisture content of 5.0 × 10 −5 mol / L or less. ハロゲン化ユーロピウムを酸素濃度が1.0×10-5モル/L以下の雰囲気中で加熱溶融する請求項15乃至18のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。19. The method for producing a europium halide melt solidified body according to claim 15, wherein the europium halide is heated and melted in an atmosphere having an oxygen concentration of 1.0 × 10 −5 mol / L or less. ハロゲン化ユーロピウムをハロゲンガスもしくはハロゲン化水素ガスを含む不活性ガス雰囲気中もしくは還元性ガス雰囲気中で加熱溶融する請求項15乃至19のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a solidified europium halide solidified body according to any one of claims 15 to 19, wherein the europium halide is heated and melted in an inert gas atmosphere containing a halogen gas or a hydrogen halide gas or in a reducing gas atmosphere. . 溶融したハロゲン化ユーロピウムを真空下、不活性ガス雰囲気下もしくは還元性ガス雰囲気下で冷却する請求項15乃至20のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。21. The method for producing a solidified europium halide solidified body according to any one of claims 15 to 20, wherein the melted europium halide is cooled in a vacuum, under an inert gas atmosphere or under a reducing gas atmosphere. ハロゲン化ユーロピウムを含む反応系を加熱溶融前に乾燥する請求項15乃至21のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a melted and solidified europium halide solid body according to any one of claims 15 to 21, wherein the reaction system containing the europium halide is dried before heating and melting. ハロゲン化ユーロピウムを含む反応系を100Paもしくはそれより高真空度側の真空度で50乃至400℃の温度で加熱することにより乾燥する請求項22に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。23. The method for producing a europium halide melt solidified body according to claim 22, wherein the reaction system containing the europium halide is dried by heating at a temperature of 50 to 400 ° C. at a vacuum degree of 100 Pa or higher. ハロゲン化ユーロピウムを加熱溶融前に乾燥する請求項15乃至23のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a europium halide melt solidified body according to any one of claims 15 to 23, wherein the europium halide is dried before heating and melting. ハロゲン化ユーロピウムを真空下で50乃至400℃の温度で加熱することにより乾燥する請求項24に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。The method for producing a europium halide melt solidified body according to claim 24, wherein the europium halide is dried by heating at a temperature of 50 to 400 ° C under vacuum. ハロゲン化ユーロピウムが臭化ユーロピウムである請求項15乃至25のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。26. The method for producing a melted solidified europium halide according to any one of claims 15 to 25, wherein the europium halide is europium bromide. 酸化ハロゲン化ユーロピウムの含有量が10重量%以下のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を得る請求項1乃至26のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。27. The method for producing a europium halide melt solidified body according to any one of claims 1 to 26, wherein a europium halide melt solidified body having a europium oxide content of 10% by weight or less is obtained. 含水量が0.5重量%以下のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を得る請求項1乃至27のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体の製造方法。28. The method for producing a europium halide melt solidified body according to any one of claims 1 to 27, wherein a molten europium halide solidified body having a water content of 0.5% by weight or less is obtained. 蒸着法の蒸発源として使用するための酸化ハロゲン化ユーロピウムの含有量が10重量%以下であるハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体。A europium halide melt solidified body having a content of europium oxide halide of 10% by weight or less for use as an evaporation source in a vapor deposition method. 酸化ハロゲン化ユーロピウムの含有量が3重量%以下である請求項29に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体。30. The europium halide melt solidified body according to claim 29, wherein the content of europium oxide halide is 3% by weight or less. 酸化ハロゲン化ユーロピウムの含有量が1重量%以下である請求項30に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体。The europium halide melt-solidified product according to claim 30, wherein the content of europium oxide halide is 1% by weight or less. 含水量が0.5重量%以下である請求項29乃至31のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体。32. The europium halide melt-solidified body according to any one of claims 29 to 31, wherein the water content is 0.5% by weight or less. 少なくとも蛍光体の母体成分と付活剤成分を別々に含む複数の蒸発源それぞれに電子線の照射および/または抵抗加熱を施すことによって発生する物質を基板上に多元蒸着させることにより、蛍光体層を形成する工程を含む放射線像変換パネルの製造方法において、該蛍光体の付活剤成分を含む蒸発源として、請求項29乃至32のいずれかの項に記載のハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を用いることを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。A phosphor layer is formed by subjecting a plurality of evaporation sources including at least a phosphor base material component and an activator component to each of a plurality of evaporation sources and performing a multi-source vapor deposition on the substrate. A method for producing a radiation image conversion panel including a step of forming a solidified europium halide solidified body according to any one of claims 29 to 32 as an evaporation source including an activator component of the phosphor. A method of manufacturing a radiation image conversion panel. ハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体が請求項3乃至14のいずれかの項に記載の方法により製造されたものである請求項33に記載の放射線像変換パネルの製造方法。35. The method for producing a radiation image conversion panel according to claim 33, wherein the europium halide melt-solidified body is produced by the method according to any one of claims 3 to 14. ハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体が請求項15乃至26のいずれかの項に記載の方法により製造されたものである請求項33に記載の放射線像変換パネルの製造方法。34. The method for producing a radiation image conversion panel according to claim 33, wherein the europium halide melt-solidified body is produced by the method according to any one of claims 15 to 26. 蛍光体が付活剤としてユーロピウムを含む蛍光体である請求項33乃至35のいずれかの項に記載の放射線像変換パネルの製造方法。36. The method for producing a radiation image conversion panel according to any one of claims 33 to 35, wherein the phosphor is a phosphor containing europium as an activator. 蛍光体が、基本組成式(II):
IX・aMIIX’2・bMIIIX”3:zEu ‥‥(II)
[ただし、MIはLi、Na、K、Rb及びCsからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属を表し;MIIはBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Ni、Cu、Zn及びCdからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属又は二価金属を表し;MIIIはSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInからなる群より選ばれる少なくとも一種の希土類元素又は三価金属を表し;X、X’及びX”はそれぞれ、F、Cl、Br及びIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表し;そしてa、b及びzはそれぞれ、0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<z<1.0の範囲内の数値を表す]
を有するユーロピウム付活アルカリ金属ハロゲン化物系輝尽性蛍光体である請求項36に記載の放射線像変換パネルの製造方法。
The phosphor has the basic composition formula (II):
M I X · aM II X ' 2 · bM III X " 3 : zEu (II)
[Wherein M I represents at least one alkali metal selected from the group consisting of Li, Na, K, Rb and Cs; M II represents Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Ni, Cu, Zn and Cd. Represents at least one alkaline earth metal or divalent metal selected from the group consisting of: M III represents Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Represents at least one rare earth element or trivalent metal selected from the group consisting of Tm, Yb, Lu, Al, Ga and In; X, X ′ and X ″ are from the group consisting of F, Cl, Br and I, respectively. Represents at least one selected halogen; and a, b, and z represent numerical values in the range of 0 ≦ a <0.5, 0 ≦ b <0.5, and 0 <z <1.0, respectively.
37. The method for producing a radiation image conversion panel according to claim 36, which is a europium-activated alkali metal halide-based stimulable phosphor having the following.
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