JP4362758B2

JP4362758B2 - Transport device

Info

Publication number: JP4362758B2
Application number: JP2003297475A
Authority: JP
Inventors: 淑照池畑; 隆佳大野; 雄一森本
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2003-08-21
Filing date: 2003-08-21
Publication date: 2009-11-11
Anticipated expiration: 2023-08-21
Also published as: JP2005067770A

Description

本発明は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置に関するものである。 The present invention supplies the clean air toward the lower surface of the conveyed product, and supports the conveyed product in a non-contact state in a horizontal posture or a substantially horizontal posture, and is supported by the blower-type supporting device. The present invention relates to a transport device provided with propulsive force applying means for applying a propulsive force in the transport direction to the transported object.

かかる搬送装置は、搬送装置は、液晶用のガラス基板などの搬送物を搬送するためのものであり、送風式支持手段にて非接触状態で支持されている搬送物に対して、推進力付与手段にて推進力を付与することにより、搬送物を搬送するものである。 Such a transport device is for transporting a transported object such as a glass substrate for liquid crystal, and imparts propulsive force to the transported object supported in a non-contact state by a blower-type support means. By applying a propelling force by means, the conveyed product is conveyed.

そして、従来の搬送装置では、推進力付与手段を、搬送物における搬送方向と直交する横幅方向の両端側に対して推進力を付与する両側駆動式に構成し、水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を搬送するように構成していた（例えば、特許文献１参照。）。 In the conventional transport device, the propulsive force applying means is configured to be a double-side drive type that applies a propulsive force to both ends in the width direction orthogonal to the transport direction of the transported object, and transports in a horizontal posture or a substantially horizontal posture. It was comprised so that a thing might be conveyed (for example, refer patent document 1).

特開２００２−３２１８２０号公報JP 2002-321820 A

上記特許文献１における搬送装置では、推進力付与手段が、搬送物における搬送方向と直交する横幅方向の両端側に対して推進力を付与する両側駆動式に構成されており、搬送方向と直交する横幅方向の一端側と他端側との両側に対して推力を付与する構成であり、推進力付与手段に、搬送物の横幅方向での一端側に推進力を付与する機構と一端側の横幅方向での反対側の他端側に推進力を付与する機構との一対の機構を備える必要があったり、その一対の機構の一方から他方に動力を伝達する機構が必要であったりして、推進力付与手段の構成が複雑なものとなり、推進力付与手段の重量が重いものとなっていた。 In the transport apparatus in Patent Document 1, the propulsive force applying means is configured as a double-sided drive type that applies a propulsive force to both ends in the width direction orthogonal to the transport direction of the transported object, and is orthogonal to the transport direction. A structure that applies thrust to both sides of one end side and the other end side in the lateral width direction, and a mechanism that applies propulsive force to one end side in the lateral width direction of the conveyed product and the lateral width on one end side. It is necessary to provide a pair of mechanisms with a mechanism for applying a propulsive force to the other end side opposite to the direction, or a mechanism for transmitting power from one of the pair of mechanisms to the other, The configuration of the propulsion force applying means is complicated, and the weight of the propulsion force applying means is heavy.

本発明の目的は、推進力付与手段の構成を簡素なものとして推進力付与手段の重量を軽くすることのできる搬送装置を提供する点にある。 An object of the present invention is to provide a transport device capable of reducing the weight of the propulsive force applying means by simplifying the configuration of the propulsive force applying means.

本願発明に係る搬送装置の第１特徴構成は、ガラス基板の下面に向けて清浄空気を供給して、前記ガラス基板を非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記ガラス基板に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置であって、
前記送風式支持手段が、前記ガラス基板を搬送方向視にて傾けた姿勢で支持するように構成され、
前記推進力付与手段が、前記ガラス基板における前記搬送方向と直交する横幅方向の傾斜下方側となる一端側に対して推進力を付与する片側駆動式に構成され、且つ、前記ガラス基板の下面を接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部を備えて構成され、
前記駆動部が、前記ガラス基板における推進力が付与される一端側の側面に接当して、前記横幅方向に移動する前記ガラス基板を受け止める受け止め部を備えて構成され、
前記送風式支持手段が、搬送経路を搬送される前記ガラス基板の下方に、そのガラス基板の下面に沿う姿勢で配置されて塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記ガラス基板の下面に向けて清浄空気を供給する電動式の複数の送風ファンとを、前記複数の送風ファンが並ぶ状態でかつ前記除塵フィルタが前記複数の送風ファンの上方を覆う状態で備え、前記ガラス基板の下面に供給される清浄空気の量を搬送方向においても横幅方向においても同量とするべく、前記複数の送風ファンが同等の回転速度で駆動するように構成され、且つ、前記ガラス基板を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも前記横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持するように、前記推進力付与手段にて推進力が付与される前記ガラス基板の一端側に対応する側ほど下方に位置する傾斜姿勢で設けられている点を特徴とする。 The first characteristic configuration of the transport device according to the present invention is the blow-type support means for supplying clean air toward the lower surface of the glass substrate and supporting the glass substrate in a non-contact state, and the blow-type support means. A transport device provided with a propulsive force applying means for applying a propulsive force in the transport direction to the glass substrate to be supported;
The blower-type support means is configured to support the glass substrate in a tilted position as viewed in the conveyance direction,
The propulsive force applying means is configured to be a one-side drive type that applies a propulsive force to one end side that is an inclined lower side in the lateral width direction orthogonal to the transport direction in the glass substrate, and the lower surface of the glass substrate is Consists of a contact-type drive unit that supports and applies propulsive force,
The drive unit is configured to include a receiving portion that receives the glass substrate that moves in the lateral width direction in contact with a side surface on one end side to which a driving force is applied in the glass substrate,
The blower-type support means is disposed below the glass substrate that is transported along the transport path in a posture along the lower surface of the glass substrate, and removes dust, and through the dust filter to the lower surface of the glass substrate. A plurality of electric blower fans for supplying clean air toward the glass substrate in a state where the plurality of blower fans are lined up and in a state where the dust filter covers the top of the plurality of blower fans , The plurality of blower fans are configured to be driven at the same rotational speed so that the amount of clean air supplied is the same in both the conveying direction and the lateral width direction, and the glass substrate is provided with the propulsive force. Propulsion by the propulsive force applying means so that the other end side in the lateral width direction is positioned so as to be located above the one end side to which the propulsive force is applied by the means. There characterized that provided in an inclined position which is located downward and the side corresponding to one side of the glass substrate applied.

すなわち、推進力付与手段が、送風式支持手段にて非接触状態で支持されているガラス基板に対して、ガラス基板における搬送方向と直交する横幅方向の一端側に対して推進力を付与する片側駆動式に構成されているので、推進力付与手段としては、ガラス基板における横幅方向における一端側に対して推進力を付与する構成でよく、前記一端側の横幅方向での反対側の他端側に推進力を付与する必要がない。従って、前記一端側の横幅方向での反対側の他端側に推進力を付与する機構を備える必要がなかったり、その機構に対して動力を伝達する必要がなかったりするので、推進力付与手段の構成を簡素なものとして推進力付与手段の重量を軽くすることのできる搬送装置を提供できるに至った。
また、送風式支持手段は、ガラス基板を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持するため、ガラス基板は、ガラス基板の自重によって斜め下方に推進力が付与されてガラス基板の傾きに沿って移動しようとするが、そのガラス基板の斜め下方への移動を、受け止め部がガラス基板の側面に接当することにより受け止めることができる。
従って、ガラス基板の横幅方向での一方側への移動を受け止め部にて規制することができ、ガラス基板の横幅方向の他端側への移動をガラス基板の自重によって移動しにくくすることができるので、ガラス基板を搬送する際にガラス基板が横幅方向にずれてしまったり、傾いたりする可能性が少なくなり、ガラス基板を円滑に搬送することができる。
また、推進力付与手段における接触式の駆動部にて、ガラス基板の下面を支持しながら推進力を付与するものであるため、送風式支持手段との協同によってガラス基板を支持することによってガラス基板をより安定した状態で支持することができ、また、ガラス基板の厚さ方向の自重によりガラス基板の下面が駆動部に押し付けられるので摩擦力が高まり、ガラス基板に対する推進力の付与も確実に行うことができて、ガラス基板を円滑に搬送することができる。
また、受け止め部は駆動部に備えられているので、受け止め部を別途設ける必要がなくなり、それほど搬送装置の構成を複雑化させずに受け止め部を備えることができ、また、ガラス基板の厚さ方向の自重によりガラス基板の下面が駆動部に押し付けられ、ガラス基板の横幅方向の自重によりガラス基板の側面が駆動部に押し付けられるので摩擦力がさらに高まり、ガラス基板に対する推進力の付与もより確実に行うことができて、ガラス基板を円滑に搬送することができる。 That is, one side propulsion force applying means, that the glass substrate is supported in a non-contact state by blowing type support means for imparting a propulsion force to one end of the horizontal width direction orthogonal to the conveying direction of the glass substrate Since it is configured to be driven, the propulsive force applying means may be configured to apply a propulsive force to one end side in the width direction of the glass substrate , and the other end side on the opposite side in the width direction of the one end side There is no need to give propulsion to Therefore, it Tsu Naka necessary to provide a mechanism for imparting a propulsion force to the opposite side the other end of the lateral width direction of the one end side, so or did not need to transmit power for the mechanism, propulsion force imparting It has become possible to provide a transport device that can reduce the weight of the propulsion force applying means by simplifying the structure of the means.
Further, the blower support means supports the glass substrate in an inclined posture so that the other end side in the lateral width direction is located above the one end side to which the propulsive force is applied by the propulsive force applying means. In this case, a propulsive force is applied obliquely downward due to the weight of the glass substrate and attempts to move along the inclination of the glass substrate, but the receiving portion contacts the side surface of the glass substrate. You can catch it.
Therefore, the movement to the one side in the horizontal width direction of the glass substrate can be restricted by the catching portion, and the movement of the glass substrate to the other side in the horizontal width direction can be made difficult to move by the weight of the glass substrate. Therefore, the possibility that the glass substrate is displaced in the lateral width direction or tilted when the glass substrate is conveyed is reduced, and the glass substrate can be smoothly conveyed.
In addition, since the contact-type drive unit in the propulsive force applying means applies the propulsive force while supporting the lower surface of the glass substrate, the glass substrate is supported by supporting the glass substrate in cooperation with the blower-type support means. Can be supported in a more stable state, and the lower surface of the glass substrate is pressed against the driving portion by its own weight in the thickness direction of the glass substrate, so that the frictional force is increased and the propulsive force is reliably applied to the glass substrate. And the glass substrate can be transported smoothly.
In addition, since the receiving portion is provided in the driving portion, it is not necessary to provide the receiving portion separately, and the receiving portion can be provided without complicating the configuration of the transport device so much, and the thickness direction of the glass substrate The lower surface of the glass substrate is pressed against the driving unit by its own weight, and the side surface of the glass substrate is pressed against the driving unit by its own weight in the width direction of the glass substrate. The glass substrate can be smoothly transported.

第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタと前記送風ファンとを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されている点を特徴とする。 The second characteristic feature, in addition to the first feature structure, the blower type support means, a blower unit assembled integrally with said blower fan and the dust filter is configured by arranging in the transport direction Features a point.

従って、送風ファンと除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットをガラス基板の搬送方向に並べて備えるだけで、搬送されるガラス基板の下面に向けて清浄空気を供給してガラス基板を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる搬送装置を提供することができる。 Thus, the blower fan and dust filter and blower unit assembled integrally with the only provided side by side in the conveying direction of the glass substrate, a non-contact state of the glass substrate by supplying clean air toward the bottom surface of the glass substrate to be transported Therefore, it is possible to provide a conveying apparatus that can be easily manufactured.

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

〔本発明の実施の形態〕
図１に示すように、搬送装置Ｈは、上下２段の搬送ユニット１を、ガラス基板２の搬送方向に並べて使用するものであり、搬送上手側に位置する搬送ユニット１に移載されたガラス基板２を搬送下手側に位置する搬送ユニット１に搬送すべく、送風式支持手段３で支持しながら、推進力付与手段４にて推進力を付与して搬送上手側から搬送下手側に向けて搬送するものである。尚、他の箇所から搬送上手側に位置する搬送ユニット１へのガラス基板２の移載や搬送下手側に位置する搬送ユニット１から他の箇所への移載は、図示しない移載機にて行われる。また、上側の搬送ユニット１は、搬送方向に沿う横軸芯Ｐ周りに揺動自在に構成されている。 [Shape condition of the present invention]
As shown in FIG. 1, the transport apparatus H, the transport unit 1 of the upper and lower stages, is intended to be used side by side in the conveying direction of the glass substrate 2, which is transferred to the transport unit 1 located in the transport upstream side In order to transport the glass substrate 2 to the transport unit 1 located on the lower transport side, while supporting by the blower-type support means 3, the propulsive force is applied by the propulsion force applying means 4 from the upper transport side toward the lower transport side. Transported. In addition, transfer of the glass substrate 2 to the conveyance unit 1 located on the conveyance upper side from other places, and transfer from the conveyance unit 1 located on the conveyance lower side to other places are performed by a transfer machine (not shown). Done. The upper transport unit 1 is configured to be swingable around a horizontal axis P along the transport direction.

ちなみに、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１とにおける搬送方向については、同方向でも逆方向でもよく、適宜変更が可能である。つまり、例えば、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１との搬送方向を同方向として、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１とで同じ工程を行ったり、下側の搬送ユニット１の搬送方向を上側の搬送ユニット１の搬送方向とは逆方向として、上側の搬送ユニット１にて搬送したガラス基板２が不良であった場合に、下側の搬送ユニット１にて搬送元に戻したりすることができる。 Incidentally, the transport direction in the upper transport unit 1 and the lower transport unit 1 may be the same direction or the reverse direction, and can be changed as appropriate. That is, for example, the upper transport unit 1 and the lower transport unit 1 have the same transport direction, and the upper transport unit 1 and the lower transport unit 1 perform the same process, or the lower transport unit 1 If the glass substrate 2 transported by the upper transport unit 1 is defective with the transport direction of 1 as the direction opposite to the transport direction of the upper transport unit 1, Can be returned.

図２、図３に示すように、搬送ユニット１のそれぞれには、ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段３と、その送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３並びに推進力付与手段４を収納するケース体７とを備えて構成されている。そして、推進力付与手段４は、ガラス基板２における搬送方向と直交する横幅方向の一端側に対して推進力を付与する片側駆動式に構成されている。以後、このガラス基板２における搬送方向と直交する横幅方向の一端側を推進一端側２ｂと称する。 As shown in FIGS. 2 and 3, each of the transport units 1 is supplied with clean air toward the lower surface 2 a of the glass substrate 2 to support the glass substrate 2 in a non-contact state in a substantially horizontal posture. Support means 3, propulsion force applying means 4 for applying a propulsive force in the transport direction to the glass substrate 2 supported by the air blow type support means 3, the air blow type support means 3 and the propulsion force applying means 4. And a case body 7 for housing the container. And the propulsive force provision means 4 is comprised by the one side drive type which provides a propulsive force with respect to the one end side of the horizontal width direction orthogonal to the conveyance direction in the glass substrate 2. FIG. Hereinafter, one end side of the glass substrate 2 in the width direction orthogonal to the conveying direction is referred to as a propulsion one end side 2b.

図２に示すように、前記ケース体７は、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略長方形のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向の一端側に搬送方向に沿って備えた収納フレーム８と、その一端側とは反対側の他端側に連結して搬送方向に沿って備えたケース側壁１０と、収納フレーム８の上端部からケース側壁１０の上端部にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。図４に示すように、前記収納フレーム８は、搬送方向視で角筒状に構成されており、ユニット用枠体９と連結する内壁８ａ側とは反対側は開閉可能な収納カバー８ｃにて構成されている。そして、ユニット用枠体９と収納フレーム８とケース側壁１０と搬送カバー２０とによって搬送空間Ａが形成されており、収納フレーム８内に収納空間Ｂが形成されている。また、前記ユニット用枠体９は、フレーム部材を組み付けた支持枠部分９ａと、その支持枠部分９ａより下方に位置して、外部空気を搬送空間Ａ内に導入する空気導入口１１を備えた板状の板状枠部分９ｂとで構成されている。収納フレーム８の下壁８ｂには、収納空間Ｂの空気を外部に排出する外部排出口２１を備えるとともに、この外部排出口２１を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有するサブ送風ユニット２３が備えられており、このサブ送風ユニット２３にて収納空間Ｂ内の空気が外部に排出されるように構成されている。 As shown in FIG. 2, the case body 7 includes a unit frame body 9 having a substantially rectangular shape in plan view for mounting and supporting the blower-type support means 3, and a conveying direction on one end side in the lateral width direction of the unit frame body 9. A storage frame 8 provided along the other side, a case side wall 10 connected to the other end side opposite to the one end side and provided along the transport direction, and an upper end portion of the case side wall 10 from the upper end portion of the storage frame 8. And a transport cover 20 provided thereover. As shown in FIG. 4, the storage frame 8 is formed in a rectangular tube shape when viewed in the transport direction, and the side opposite to the side of the inner wall 8 a connected to the unit frame body 9 is a storage cover 8 c that can be opened and closed. It is configured. A transport space A is formed by the unit frame body 9, the storage frame 8, the case side wall 10 and the transport cover 20, and a storage space B is formed in the storage frame 8. The unit frame 9 includes a support frame portion 9a assembled with a frame member, and an air introduction port 11 which is positioned below the support frame portion 9a and introduces external air into the transport space A. It is comprised by the plate-shaped plate-shaped frame part 9b. The lower wall 8b of the storage frame 8 is provided with an external discharge port 21 for discharging the air in the storage space B to the outside, and a sub blower unit having a blowing function and a dust removing function so as to close the external discharge port 21 23 is provided, and the air in the storage space B is discharged to the outside by the sub blower unit 23.

図２に示すように、前記ケース体７は、搬送方向視にて収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するように、傾斜用支持部材１９にて傾斜状態に支持されている。そして、ケース体７が傾斜状態で支持されることにより、送風式支持手段３も傾斜姿勢でユニット用枠体９に支持されている。尚、図２では、搬送ユニット１の傾きをわかりやすくするために、送風式支持手段３を含めた搬送ユニット１全体を、搬送方向視で収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するように５°傾けて図示したが、本願発明を実施する際には、搬送ユニット１の傾きは０．５°程度のわずかな傾きで良い。 As shown in FIG. 2, the case body 7 is supported in an inclined state by a support member 19 for inclination so that the side having the storage frame 8 as viewed in the transport direction is positioned downward. Then, by supporting the case body 7 in an inclined state, the blower-type support means 3 is also supported by the unit frame body 9 in an inclined posture. In FIG. 2, in order to make it easy to understand the inclination of the transport unit 1, the entire transport unit 1 including the blower-type support means 3 is positioned below the side having the storage frame 8 when viewed in the transport direction. However, when carrying out the present invention, the inclination of the transport unit 1 may be a slight inclination of about 0.5 °.

前記搬送空間Ａ及び前記収納空間Ｂは、搬送方向に並べて設けた搬送上手側の搬送ユニット１と搬送下手側の搬送ユニット１とで互いに連通しており、搬送装置Ｈにおける最も搬送上手側に位置する搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送上手側端部が図示しない閉塞部材にて閉塞され、最も搬送下手側に位置する搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送下手側端部が閉塞部材にて閉塞されている。従って、搬送空間Ａは、ユニット用枠体１５と前記収納フレーム８の内壁８ａと搬送カバー２０と閉塞部材とによって略密閉状態に形成され、収納空間Ｂは、収納フレーム８と閉塞部材とによって略密閉状態に形成されている。 The transport space A and the storage space B communicate with each other between the transport unit 1 on the upper transport side and the transport unit 1 on the lower transport side arranged side by side in the transport direction, and are located on the most transport upper side in the transport device H. The transport unit 1 to be transported is closed at the transport upper end of the transport space A and the storage space B by a closing member (not shown), and the transport unit 1 located closest to the transport lower side is transported in the transport space A and the storage space B. The lower side end is closed by a closing member. Accordingly, the transfer space A is formed in a substantially sealed state by the unit frame 15, the inner wall 8 a of the storage frame 8, the transfer cover 20, and the closing member, and the storage space B is substantially closed by the storage frame 8 and the closing member. It is formed in a sealed state.

図２に示すように、前記送風式支持手段３は、搬送空間Ａに設けられており、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段としての送風ファン１３とを一体的に組み付けたファンフィルタユニット１４を、搬送方向と搬送方向に直交する横幅方向とに並べて構成されている。そして、図６に示すように、横幅方向に２つ並べたファンフィルタユニット１４を搬送方向に３列並べられており、送風式支持手段３には計６つのファンフィルタユニット１４が備えられている。 As shown in FIG. 2, the blowing type support means 3 is provided in the transfer space A, and supplies clean air toward the lower surface of the glass substrate 2 through the dust removal filter 12 that removes dust and the dust removal filter 12. The fan filter unit 14 integrally assembled with the blower fan 13 as the blowing means is arranged in the transport direction and the lateral width direction orthogonal to the transport direction. As shown in FIG. 6, two fan filter units 14 arranged in the width direction are arranged in three rows in the transport direction, and the blowing type support means 3 is provided with a total of six fan filter units 14. .

前記送風式支持手段３について詳述すると、図３、図４に示すように、前記ファンフィルタユニット１４が、１つの送風ファン１３と、この１つの送風ファン１３の上方を覆う１つの除塵フィルタ１２とを一体的に組み付けて構成されており、そのファンフィルタユニット１４の上部側に位置されて前記ガラス基板２の下面２ａに供給される清浄空気の整風を行う清浄空気供給部としての整風板１５が、図１、図６に示すように、６つのファンフィルタユニット１４の上方を覆うように備えられている。つまり、送風式支持手段３は、６つのファンフィルタユニット１４と１つの整風板１５とで構成されている。尚、送風ファン１３は、この送風ファン１３に備えた電動モータによりファンが回転駆動する電動式に構成されており、整風板１５には、ファンフィルタユニットの真上に位置する箇所にパンチングにより形成された通気孔１５ａが備えられている。また、送風式支持手段３に備えられる６つの送風ファンが同等の回転速度で駆動するように構成されており、整風板１５を通過してガラス基板２の裏面２ａに供給される清浄空気の量が搬送方向においても横幅方向においても略同量の清浄空気を供給するように送風式支持手段３が構成されている。 The blower support means 3 will be described in detail. As shown in FIGS. 3 and 4, the fan filter unit 14 includes one blower fan 13 and one dust filter 12 that covers the top of the single blower fan 13. Are arranged in an integrated manner, and are located on the upper side of the fan filter unit 14 and are used as a clean air supply unit 15 for regulating the clean air supplied to the lower surface 2a of the glass substrate 2. However, as shown in FIG. 1 and FIG. 6, it is provided so as to cover the upper part of the six fan filter units 14. That is, the blower-type support means 3 is composed of six fan filter units 14 and one air conditioning plate 15. The blower fan 13 is configured to be electrically driven so that the fan is rotationally driven by an electric motor provided in the blower fan 13, and the air conditioning plate 15 is formed by punching at a position directly above the fan filter unit. The vent hole 15a is provided. Further, the six blower fans provided in the blower-type support means 3 are configured to be driven at an equivalent rotational speed, and the amount of clean air that passes through the air conditioning plate 15 and is supplied to the back surface 2a of the glass substrate 2 However, the blower-type support means 3 is configured to supply substantially the same amount of clean air both in the transport direction and in the lateral width direction.

そして、上記したように、前記搬送ユニット１を、搬送方向視で収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するような傾斜状態で支持することにより、その搬送ユニット１における送風式支持手段３は、搬送方向視にて、ガラス基板２の推進一端側２ｂに対応する側ほど下方に位置させるように設けられている。よって、図２〜図４に示すように、送風式支持手段３に横幅方向に沿って設けられる整風板１５も、搬送方向視にて、ガラス基板２の推進一端側２ｂに対応する側ほど下方に位置させるように設けられている。 And as above-mentioned, by supporting the said conveyance unit 1 in the inclined state which is located below so that the side provided with the storage frame 8 by the conveyance direction view, the ventilation type support means 3 in the conveyance unit 1 Is provided so that the side corresponding to the propulsion one end 2b of the glass substrate 2 is positioned lower in the conveyance direction view. Therefore, as shown in FIGS. 2 to 4, the air conditioning plate 15 provided along the lateral width direction on the blower-type support means 3 is also lower as the side corresponding to the propulsion one end side 2 b of the glass substrate 2 in the transport direction view. It is provided so that it may be located in.

次に、前記推進力付与手段４について説明する。図２に示すように、前記ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４は、ガラス基板２の推進一端側２ｂに対して推進力を付与する片側駆動式に構成されており、推進力付与手段４には、ガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部としての駆動ローラ２４が備えられている。そして、この駆動ローラ２４には、図４、図９に示すように、ガラス基板２の推進一端側２ｂの側面に接当して、横幅方向に移動するガラス基板２を受け止める受け止め部としての大径部２４ａが備えられている。 Next, the propulsion force applying means 4 will be described. As shown in FIG. 2, the driving force applying means 4 for applying a driving force in the transport direction to the glass substrate 2 is a one-side drive type that applies a driving force to the driving one end 2 b of the glass substrate 2. The driving force applying means 4 is provided with a driving roller 24 as a contact type driving unit that supports and supports the lower surface 2a of the glass substrate 2 to apply a driving force. As shown in FIGS. 4 and 9, the driving roller 24 is in contact with the side surface of the propulsion end side 2b of the glass substrate 2, and serves as a large receiving portion for receiving the glass substrate 2 moving in the lateral width direction. A diameter portion 24a is provided.

推進力付与機構４について詳述すると、図４、図８、図９、図１０に示すように、電動モータ２５と、この電動モータ２５の出力ギヤと噛み合う平歯車２８を備えた伝動軸２７と、伝動軸２７に備えられた出力ギヤ２９と噛み合う入力ギヤ３０を備えた多数の出力軸２６とを備えて構成されている。そして、伝動モータ２５及び伝動軸２７は前記搬送空間Ｂ内に配備されており、前記出力軸２６は、収納空間Ｂ側並びに搬送空間Ａ側にそれぞれ突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持されている。出力軸２６の収納空間Ｂに突出する部分には前記入力ギヤ３０が備えられており、出力軸２６の搬送空間Ａに突出する部分には前記駆動ローラ２４が備えられている。 The propulsion force imparting mechanism 4 will be described in detail. As shown in FIGS. 4, 8, 9, and 10, an electric motor 25 and a transmission shaft 27 that includes a spur gear 28 that meshes with an output gear of the electric motor 25. , And a plurality of output shafts 26 each having an input gear 30 that meshes with an output gear 29 provided on the transmission shaft 27. The transmission motor 25 and the transmission shaft 27 are disposed in the transport space B, and the output shaft 26 is rotatably supported on the inner wall 8a in a state of projecting to the storage space B side and the transport space A side. Has been. The input gear 30 is provided in a portion of the output shaft 26 protruding into the storage space B, and the drive roller 24 is provided in a portion of the output shaft 26 protruding into the transport space A.

従って、送風式支持手段３にて、送風ファン１３の送風作用により、送風ファン１３の下方から吸引した空気を、除塵フィルタ１２を通り、整風板１６の通気孔１６ａを通って清浄空気としてガラス基板２の下面２ａに供給し、その供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域が支持されている。また、推進力付与手段４にて、ガラス基板２の推進一端側２ｂの下面が駆動ローラ２４にて接触支持されている。そして、そのガラス基板２を接触支持している駆動ローラ２４が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、推進一端側２ｂに対して搬送方向への推進力が付与されてガラス基板２が搬送される。 Accordingly, the air that is sucked from the lower side of the blower fan 13 by the blower fan 13 by the blower support means 3 passes through the dust filter 12 and passes through the ventilation holes 16a of the air conditioning plate 16 as clean air. 2 is supplied to the lower surface 2a of the glass substrate 2, and substantially the entire area of the lower surface 2a of the glass substrate 2 is supported by the supplied clean air. Further, the lower surface of the propulsion one end 2 b of the glass substrate 2 is contacted and supported by the driving roller 24 by the propulsive force applying means 4. The driving roller 24 that contacts and supports the glass substrate 2 is driven and rotated by the electric motor 25, whereby a propulsive force in the conveying direction is applied to the propulsion one end side 2b, and the glass substrate 2 is conveyed. Is done.

そして、搬送方向においても横幅方向においても整風板１５から略同量の清浄空気がガラス基板２の下面２ａに供給されて、ガラス基板２は整風板１５に対して略一定の間隔をもって支持されることとなる。よって、整風板１５がガラス基板２の推進一端側２ｂに対応する側ほど下方に位置させるように設けられているので、ガラス基板２も推進一端側２ｂよりも他端側２ｃが上方に位置するように傾けた姿勢で支持されている。尚、この傾けた姿勢のガラス基板２は、０．５°程度のわずかな傾きであり、略水平姿勢に含まれる。
従って、ガラス基板２は傾けた姿勢で支持することにより、ガラス基板２の自重により横幅方向における傾斜下方側となる推進力付与手段４を備えた側に移動しようとするが、そのガラス基板２の移動は駆動ローラ２４の大径部２４ａにて受け止められる。よって、ガラス基板２の横幅方向の一方側への移動は駆動ローラ２４の大径部２４ａにて規制され、ガラス基板２の横幅方向の他端側へはガラス基板２の自重によって移動しにくくなるので、搬送終了時にガラス基板を制動させる際等に、ガラス基板が横幅方向にずれてしまったり搬送方向に対して姿勢が斜めになってしまったりすることを防ぐことができる。また、ガラス基板２の自重によってガラス基板２が駆動ローラ２４に押し付けられるので、駆動ローラが空回りする可能性が少ない状態でガラス基板２を搬送することができる。 Then, substantially the same amount of clean air is supplied from the air conditioning plate 15 to the lower surface 2a of the glass substrate 2 both in the transport direction and in the lateral width direction, and the glass substrate 2 is supported at an approximately constant interval with respect to the air conditioning plate 15. It will be. Therefore, since the air conditioning plate 15 is provided so as to be positioned downward as the side corresponding to the propulsion one end side 2b of the glass substrate 2, the other end side 2c of the glass substrate 2 is positioned above the propulsion one end side 2b. Is supported in a tilted posture. Note that the tilted glass substrate 2 has a slight inclination of about 0.5 ° and is included in a substantially horizontal attitude.
Accordingly, by supporting the glass substrate 2 in an inclined posture, the glass substrate 2 tends to move to the side provided with the propelling force imparting means 4 that is on the lower side in the lateral width direction due to its own weight. The movement is received by the large diameter portion 24 a of the drive roller 24. Therefore, the movement of the glass substrate 2 to one side in the lateral width direction is restricted by the large diameter portion 24a of the driving roller 24, and the glass substrate 2 is less likely to move to the other end side in the lateral width direction of the glass substrate 2 due to its own weight. Therefore, when the glass substrate is braked at the end of conveyance, the glass substrate can be prevented from being displaced in the lateral width direction or being inclined in the conveyance direction. Further, since the glass substrate 2 is pressed against the driving roller 24 by its own weight, the glass substrate 2 can be transported with a low possibility that the driving roller is idle.

〔参考の実施の形態１〕
上記本発明の実施の形態では、送風式支持手段３にてガラス基板２を傾けた姿勢で支持し、駆動ローラ２４に大径部２４ａを備えることにより、ガラス基板２が横幅方向へ移動することを防止したが、次のように構成して、送風式支持手段３にて水平姿勢で支持したガラス基板２の横幅方向への移動を防止するように構成してもよい。尚、実施の形態１と同様に構成されるものについては、本発明の実施の形態と同じ符号を付け、説明は省略する。 [ Reference Embodiment 1 ]
In the form status of implementation of the present invention, the mobile support in a posture tilted glass substrate 2 at the blower type support means 3, by providing the large diameter portion 24a on the driving roller 24, the glass substrate 2 in the lateral width direction However, the glass substrate 2 supported in a horizontal posture by the blower-type support means 3 may be prevented from moving in the lateral width direction. Incidentally, what is the same structure as the first embodiment, with the shape on purpose same reference numerals of the present invention, description thereof is omitted.

つまり、図１０に示すように、ケース体７が、搬送方向視で水平用支持部材３７にて水平状態に支持されおり、そのケース体７に支持される送風式支持手段３も水平姿勢で支持されている。よって、清浄空気供給部１５も水平姿勢で設けられている。
よって、搬送方向においても横幅方向においても整風板１５から略同量の清浄空気がガラス基板２の下面２ａに供給されて、ガラス基板２は整風板１５に対して略一定の間隔をもって支持されることとなる。よって、整風板１５が水平状態に設けられているので、ガラス基板２は水平姿勢で支持されている。 That is, as shown in FIG. 10, the case body 7 is supported in a horizontal state by the horizontal support member 37 when viewed in the transport direction, and the blower-type support means 3 supported by the case body 7 is also supported in a horizontal posture. Has been. Therefore, the clean air supply unit 15 is also provided in a horizontal posture.
Therefore, substantially the same amount of clean air is supplied from the air conditioning plate 15 to the lower surface 2a of the glass substrate 2 both in the transport direction and in the lateral width direction, and the glass substrate 2 is supported at an approximately constant interval with respect to the air conditioning plate 15. It will be. Therefore, since the air conditioning plate 15 is provided in a horizontal state, the glass substrate 2 is supported in a horizontal posture.

そして、搬送空間Ａに、ガラス基板２における推進一端側２ｂとは横幅方向において反対側の他端側２ｃの側面に接当して、ガラス基板２ｃの横幅方向への移動を規制する規制部としての多数の規制ローラ３３が備えられており、この規制ローラ３３のそれぞれは、前記横幅方向に位置調節可能に構成されている。 And as a regulation part which contacts the conveyance space A and the side surface of the other end side 2c opposite to the propulsion one end side 2b in the glass substrate 2 in the width direction, and restricts the movement of the glass substrate 2c in the width direction. A large number of regulating rollers 33 are provided, and each of the regulating rollers 33 is configured to be position-adjustable in the lateral width direction.

前記規制ローラ３３の位置調節構造について説明すると、図１１に示すように、前記規制ローラ３３がローラ支持枠３４に縦軸芯周りに回転自在に支持されており、そのローラ支持枠３４がユニット用枠体９に載置支持された電動式のモータ３５にて横幅方向にスライド移動自在に構成されている。従って、モータ３５にてローラ支持体３４を横幅方向にスライド移動させることによって、規制ローラ３３が横幅方向に位置調節されるように構成されている。そして、前記ローラ支持枠３４と送風式支持手段３とが干渉しないように、送風式支持手段３にはローラ支持枠３４の縦枠部３４ａに対応する箇所に凹入部３ａを形成してある。 The position adjusting structure of the regulating roller 33 will be described. As shown in FIG. 11, the regulating roller 33 is supported by a roller support frame 34 so as to be rotatable around a vertical axis, and the roller support frame 34 is used for a unit. The electric motor 35 mounted and supported on the frame body 9 is configured to be slidable in the lateral width direction. Therefore, the position of the regulating roller 33 is adjusted in the horizontal width direction by sliding the roller support 34 in the horizontal width direction with the motor 35. In order to prevent the roller support frame 34 and the blower support means 3 from interfering with each other, the blower support means 3 is formed with a recessed portion 3a at a location corresponding to the vertical frame portion 34a of the roller support frame 34.

従って、ガラス基板２の横幅方向の一方側への移動は駆動ローラ２４の大径部２４ａにて規制され、ガラス基板２の横幅方向の他端側への移動は規制ローラ３３にて規制されているので、搬送終了時にガラス基板２を制動させる際等に、ガラス基板２が横幅方向にずれてしまったり搬送方向に対して姿勢が斜めになってしまったりすることを防ぐことができる。
そして、図１２、図１３に示すように、規制ローラ３３の横幅方向での位置を調節して、駆動ローラ２４の大径部２４ａと規制ローラ３３との間隔をガラス基板２の横幅方向の大きさに合わせることによって、搬送されるガラス基板２が回転したり横幅方向にずれたりすることがなくなり、ガラス基板２の横幅方向の大きさに拘わらず円滑に搬送することができる。 Accordingly, the movement of the glass substrate 2 to one side in the lateral width direction is restricted by the large-diameter portion 24a of the driving roller 24, and the movement of the glass substrate 2 to the other side in the lateral width direction is restricted by the restriction roller 33. Therefore, when the glass substrate 2 is braked at the end of the conveyance, the glass substrate 2 can be prevented from being displaced in the lateral width direction or being inclined in the conveyance direction.
Then, as shown in FIGS. 12 and 13, the position of the regulating roller 33 in the lateral width direction is adjusted so that the distance between the large diameter portion 24 a of the driving roller 24 and the regulating roller 33 is large in the lateral width direction of the glass substrate 2. By adjusting the thickness, the transported glass substrate 2 does not rotate or shift in the lateral width direction, and can be transported smoothly regardless of the size of the glass substrate 2 in the lateral width direction.

〔参考の実施の形態２〕
上記本発明の実施の形態では、搬送方向視にて、送風式支持手段３を傾斜姿勢に支持して、清浄空気供給部５をガラス基板２の他端側２ｃに対応する側ほど下方に位置する傾斜姿勢に設けて、ガラス基板２を傾けた姿勢で支持するように構成したが、整風板１５を、前記推進力付与手段４にて推進力が付与される推進一端側２ｂより前記横幅方向の他端側２ｃの方が清浄空気を多く供給するように設けて、ガラス基板２を前記傾けた姿勢で支持するように構成してもよい。尚、本発明の実施の形態と同様に構成されるものについては、本発明の実施の形態と同じ符号を付け、説明は省略する。 [ Reference Embodiment 2 ]
In the form status of implementation of the present invention, in the transport direction as viewed, by supporting the blower-type supporting means 3 in inclined position, the lower the clean air supply unit 5 as the side corresponding to the other end 2c of the glass substrate 2 Although the glass substrate 2 is configured to be supported in an inclined posture, the air conditioning plate 15 is supported from the propulsion one end side 2b to which propulsive force is applied by the propulsive force applying means 4. The other end 2c in the lateral width direction may be provided so as to supply more clean air, and the glass substrate 2 may be supported in the inclined posture. Note that those forms on purpose similarly configured embodiment of the present invention, with the shape on purpose same reference numerals of the present invention, description thereof is omitted.

つまり、図１４に示すように、前記ケース体７は、搬送方向視にて、水平用支持部材３７により水平状態に支持されており、ケース体７が水平状態で支持されることにより、送風式支持手段３も水平姿勢でユニット用枠体９に支持されている。よって、送風式支持手段３に横幅方向に沿って設けられる整風板１５も、搬送方向視にて、水平姿勢に設けられている。つまり、送風式支持手段３を含めた搬送ユニット１全体が水平状態に備えられている。 That is, as shown in FIG. 14, the case body 7 is supported in a horizontal state by the horizontal support member 37 when viewed in the conveyance direction, and the case body 7 is supported in the horizontal state, thereby blowing air. The support means 3 is also supported by the unit frame 9 in a horizontal posture. Therefore, the air conditioning plate 15 provided along the lateral width direction on the blower-type support means 3 is also provided in a horizontal posture as viewed in the conveyance direction. That is, the entire transport unit 1 including the blower-type support means 3 is provided in a horizontal state.

そして、送風式支持手段３に備えられる６つの送風ファン１３において、横幅方向で推進力付与手段４を備えている側に位置する３つの送風ファン１３より、反対側に位置する３つの送風ファン１３が速い回転速度で駆動して送風量が多くなるように構成されている。そして、整風板１５を、搬送方向視にて横幅方向に並ぶ２つの送風ファンに対して同じ間隔を隔てて設けられている。つまり、送風式支持手段４が、横幅方向に沿って設けられる整風板１５を、前記推進一端側２ｂより横幅方向の他端側２ｃの方が清浄空気を多く供給するように設けて、ガラス基板２を傾けた姿勢で支持するように構成されている。
要するに、図１５に示すように、ガラス基板２の推進一端側２ｂより他端側２ｃの方に多くの清浄空気を供給して、ガラス基板２の推進一端側２ｂより他端側２ｃを大きく浮き上がらせることによってガラス基板２を傾けた姿勢としている。 And in the six ventilation fans 13 with which the ventilation type support means 3 is equipped, the three ventilation fans 13 located in the opposite side rather than the three ventilation fans 13 located in the side provided with the propulsive force provision means 4 in the width direction. Is driven at a high rotational speed to increase the amount of blown air. The air conditioning plate 15 is provided at the same interval with respect to the two blower fans arranged in the lateral width direction when viewed in the conveyance direction. That is, the air blowing type support means 4 is provided with the air conditioning plate 15 provided along the lateral width direction so that more clean air is supplied to the other end side 2c in the lateral width direction than the propulsion one end side 2b. It is configured to support 2 in a tilted posture.
In short, as shown in FIG. 15, more clean air is supplied from the propulsion one end 2 b of the glass substrate 2 toward the other end 2 c, and the other end 2 c of the glass substrate 2 is lifted more greatly than the propulsion one end 2 b. By doing so, the glass substrate 2 is inclined.

従って、本発明の実施の形態と同様に、ガラス基板２の横幅方向の一方側への移動は駆動ローラ２４の大径部２４ａにて規制され、ガラス基板２の横幅方向の他端側へはガラス基板２の自重によって移動しにくくなるので、搬送終了時にガラス基板２を制動させる際等に、ガラス基板２が横幅方向にずれてしまったり搬送方向に対して姿勢が斜めになってしまったりすることを防ぐことができる。また、ガラス基板２の自重によってガラス基板２が駆動ローラ２４に押し付けられるので、駆動ローラ１７が空回りする可能性が少ない状態でガラス基板２を搬送することができる。 Accordingly, exemplary forms on purpose likewise of the present invention, movement to one side in the width direction of the glass substrate 2 is restricted by the large diameter portion 24a of the drive roller 24, the lateral width direction of the glass substrate 2 to the other end Since the glass substrate 2 is difficult to move due to its own weight, when the glass substrate 2 is braked at the end of conveyance, the glass substrate 2 is displaced in the horizontal width direction or the posture is inclined with respect to the conveyance direction. Can be prevented. Further, since the glass substrate 2 is pressed against the driving roller 24 by its own weight, the glass substrate 2 can be transported in a state where there is little possibility that the driving roller 17 is idle.

〔別実施の形態〕
（１）上記本発明の実施の形態では、搬送方向視にて、送風式支持手段を傾斜姿勢に支持するのに、搬送ユニット全体を傾斜姿勢としたが、図１６に示すように、ケース体７を水平式支持部材３７にて水平姿勢となるように支持し、そのケース体７におけるユニット用枠体９に送風式支持手段３を傾斜姿勢に支持させるように構成してもよい。 [Another embodiment]
(1) In the form status of implementation of the present invention, in the transport direction as viewed, for supporting the blower-type supporting means in an inclined position, although the entire transport unit with inclined posture, as shown in FIG. 16, The case body 7 may be supported by the horizontal support member 37 so as to be in a horizontal posture, and the blower support means 3 may be supported by the unit frame 9 in the case body 7 in an inclined posture.

（２）上記本発明の実施の形態並びに参考の実施の形態１及び２では、駆動部を複数の駆動ローラで構成したが、タイミングベルト等の無端帯状体にて構成してもよい。尚、駆動部を、無端帯状体にて構成する場合には、無端帯状態の作用面に長手方向に沿って一連の突起部を形成し、その突起部を横幅方向に移動するガラス基板を受け止める受け止め部としてもよい。 (2) In the embodiment of the present invention and the reference embodiments 1 and 2 , the drive unit is configured by a plurality of drive rollers, but may be configured by an endless belt-like body such as a timing belt. When the drive unit is configured by an endless strip, a series of projections are formed along the longitudinal direction on the working surface in the endless strip state, and the glass substrate that moves the projections in the lateral width direction is received. It is good also as a receiving part.

（３）上記参考の実施の形態１では、規制部を複数の規制ローラで構成したが、回転自在な無端帯状体にて構成してもよく、また、規制部を、ケース体に横幅方向へ位置変更可能に支持させてもよい。つまり、例えば、規制部を規制ローラで構成し、その規制ローラをケース体のケース側壁に支持させた場合では、図１７に示すように、ケース側壁１０に固定した支持枠３９に電動シリンダ４０を支持させ、その電動シリンダ４０の先端部に規制ローラ３３を回転自在に支持させてもよい。 (3) In Embodiment 1 of the above reference , the restricting portion is constituted by a plurality of restricting rollers. However, the restricting portion may be constituted by a rotatable endless belt-like body, and the restricting portion is formed in the lateral width direction on the case body. You may support so that a position change is possible. That is, for example, constitutes a regulating portion in regulating roller, when obtained by supporting the regulating roller case side wall of the case body, as shown in FIG. 1 7, the electric cylinder 40 to the support frame 39 which is fixed to the case side wall 10 The restriction roller 33 may be rotatably supported at the tip of the electric cylinder 40.

（４）上記本発明の実施の形態並びに参考の実施の形態１及び２では、除塵フィルタと送風手段とを一体的に組付けた送風ユニットを例示したが、必ずしも除塵フィルタと送風ファンとを一体的に取り付ける必要はなく、送風ファンにて送風される空気を除塵フィルタに案内する案内路などを設けて、除塵フィルタと送風ファンとを別体にて構成して実施することも可能である。 ( 4 ) In the embodiment of the present invention and the reference embodiments 1 and 2 , the air blowing unit in which the dust removing filter and the air blowing means are integrally assembled is illustrated. However, the dust removing filter and the air blowing fan are not necessarily integrated. However, it is also possible to provide a guide path for guiding the air blown by the blower fan to the dust filter, and the dust filter and the blower fan can be configured separately.

（５）上記本発明の実施の形態や参考の実施の形態２では、清浄空気供給部を０．５°傾けたが、対象となるガラス基板等に応じて適宜変更して傾けてもよい。尚、図２、図３、図４、図８、図１６においては、清浄空気供給部１５の傾きをわかりやすくするために５°傾けて図示している。 (5) above in the second embodiment forms status and reference of the present invention have been tilted 0.5 ° clean air supply unit may be tilted appropriately changed depending on the glass substrate of interest . 2, 3, 4, 8, and 16, the clean air supply unit 15 is illustrated with an inclination of 5 ° for easy understanding.

（６）ガラス基板の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。 ( 6 ) The shape and size of the glass substrate are not limited to the embodiment.

本発明の実施の形態における板状体搬送装置の斜視図Perspective view of the plate-like body conveying device definitive to form state of the present invention 本発明の実施の形態における搬送ユニットの正面断面図Front sectional view of the transport unit definitive to form state of the present invention 本発明の実施の形態における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図Partially enlarged view of the front section of the transport unit definitive to form state of the present invention 本発明の実施の形態における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図Partially enlarged view of the front section of the transport unit definitive to form state of the present invention 本発明の実施の形態における搬送ユニットの側面断面図Side cross-sectional view of a transport unit definitive to form state of the present invention 本発明の実施の形態における搬送ユニットの平面図Plan view of a transport unit definitive to form state of the present invention 本発明の実施の形態における収納フレームの側面断面図Side cross-sectional view of the magazine frame that definitive to form state of the present invention 本発明の実施の形態における推進力付与手段の正面断面図Front sectional view of the driving force providing means definitive to form state of the present invention 本発明の実施の形態における推進力付与手段の側面断面図Side cross-sectional view of a propulsion force applying means definitive to form state of the present invention 参考の実施の形態１における搬送ユニットの正面断面図Front sectional view of the transport unit in Reference Embodiment 1 参考の実施の形態１における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図Partial enlarged view of the front cross-section of the transport unit in Reference Embodiment 1 . 参考の実施の形態１における搬送ユニットの平面図Plan view of the transport unit in Reference Embodiment 1 参考の実施の形態１における搬送ユニットの平面図Plan view of the transport unit in Reference Embodiment 1 参考の実施の形態２における搬送ユニットの正面断面図Front sectional view of a transport unit in Reference Embodiment 2 参考の実施の形態２におけるガラス基板を傾けた姿勢で支持する作用図Action diagram for supporting the glass substrate in a tilted posture in the second embodiment for reference 別実施の形態（１）における搬送ユニットの正面断面図Front sectional view of a conveyance unit in another embodiment (1) 別実施の形態（３）における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図 Partially enlarged view of the front section of the transport unit in another embodiment (3)

Explanation of symbols

２ガラス基板
２ｂ推進一端側（一端側）
２ｃ他端側
３送風式支持手段
４推進力付与手段
１２除塵フィルタ
１３送風ファン（送風手段）
１４ファンフィルタユニット（送風ユニット）
１５整風板（清浄空気供給部）
２４駆動ローラ（駆動部）
２４ａ大径部（受け止め部）
３３規制ローラ（規制部） 2 glass board 2b promote one end side (one end side)
2c Other end side 3 Ventilation support means 4 Propulsion force imparting means 12 Dust removal filter 13 Blower fan (blower means)
14 Fan filter unit (Blower unit)
15 Air conditioning plate (clean air supply part)
24 Drive roller (drive unit)
24a Large diameter part (receiving part)
33 Regulation roller (regulation section)

Claims

Supplying clean air toward the lower surface of the glass substrate to support the glass substrate in a non-contact state, and to the glass substrate supported by the air blowing support means in the transport direction A conveying device provided with a propulsive force applying means for applying a propulsive force,
The blower-type support means is configured to support the glass substrate in a tilted position as viewed in the conveyance direction,
The propulsive force applying means is configured to be a one-side drive type that applies a propulsive force to one end side that is an inclined lower side in the lateral width direction orthogonal to the transport direction in the glass substrate, and the lower surface of the glass substrate is Consists of a contact-type drive unit that supports and applies propulsive force,
The drive unit is configured to include a receiving portion that receives the glass substrate that moves in the lateral width direction in contact with a side surface on one end side to which a driving force is applied in the glass substrate,
The blower-type support means is disposed below the glass substrate that is transported along the transport path in a posture along the lower surface of the glass substrate, and removes dust, and through the dust filter to the lower surface of the glass substrate. A plurality of electric blower fans for supplying clean air toward the glass substrate in a state where the plurality of blower fans are lined up and in a state where the dust filter covers the top of the plurality of blower fans , The plurality of blower fans are configured to be driven at the same rotational speed so that the amount of clean air supplied is the same in both the conveying direction and the lateral width direction, and the glass substrate is provided with the propulsive force. Propulsion by the propulsive force applying means so that the other end side in the lateral width direction is positioned so as to be located above the one end side to which the propulsive force is applied by the means. Conveying apparatus There is provided in an inclined position which is located downward and the side corresponding to one side of the glass substrate applied.

The conveying apparatus according to claim 1, wherein the blowing type support unit is configured by arranging blowing units in which the dust removing filter and the blowing fan are integrally assembled in the conveying direction.