JP4365982B2 - 傾斜センサ - Google Patents
傾斜センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4365982B2 JP4365982B2 JP2000111542A JP2000111542A JP4365982B2 JP 4365982 B2 JP4365982 B2 JP 4365982B2 JP 2000111542 A JP2000111542 A JP 2000111542A JP 2000111542 A JP2000111542 A JP 2000111542A JP 4365982 B2 JP4365982 B2 JP 4365982B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- common electrode
- circuit board
- printed circuit
- electrode plate
- differential electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 34
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 51
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 29
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 20
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 17
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 3
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば重力方向に垂直な面に対する傾斜角度を検出し、検出された傾斜角度が所定値を超えたときに、警報を発したり、所定の制御を行わせるために用いて好適な静電容量式の傾斜センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の静電容量式の傾斜センサとして、例えば図9、図10に示すような構造の傾斜検出素子を使用するものが知られている(例えば実公平4−53528号公報、実公平5−14168号公報など参照)。
【0003】
図9は、この例の傾斜センサの傾斜検出素子の分解斜視図である。また、図10は、この傾斜検出素子を、その正面に垂直な面で切断した場合の断面図を示すものである。
【0004】
これらの図において、1はプリント基板で、例えばガラス布基材エポキシ樹脂積層板等の耐熱性部材からなる。このプリント基板1は、傾斜センサが傾斜検出対象物に取り付けられる時に、傾斜測定の基準面に対して垂直に配置される。図9では、この基準面は、二点鎖線で示す仮想線L0を含む面として示した。この基準面が、被測定面となる。この場合、傾斜角が0度とは、基準面が重力方向に垂直な線を含む状態である。
【0005】
このプリント基板1には、1対の差動電極2a,2bが、銅泊パターンによって、基準面およびプリント基板1面の両方に垂直な面と、プリント基板1との交差線(図9で二点鎖線で示す仮想線L1)により左右に分割される領域に、互いに電気的に独立に形成される。
【0006】
プリント基板1の差動電極2a,2bが形成される面(以下、この面をプリント基板の表面という)とは反対側の面(以下、この面をプリント基板の裏面という)には、後述する傾斜センサの信号処理回路部が、プリント配線パターンと必要な電子部品とによって構成されて設けられる。差動電極2a,2bのそれぞれは、図9の電極点2c,2dからスルーホールを介してプリント基板1の信号処理回路部が形成される面の銅泊パターン(配線パターン)に、半田付けされて接続されるようにされている。電極点2c,2dのスルーホールは、半田付けにより孔埋めされて、封止される。
【0007】
そして、1対の差動電極2a,2bは、前記仮想線L1を対称軸として互いに線対称となる形状の電極パターンとして設けられる。また、この1対の差動電極2a,2bのそれぞれは、仮想線L1に垂直な仮想線L2を対称軸とした線対称な電極パターン形状ともされる。図9の例の場合には、差動電極2a,2bの形状は横向きの扇形に構成されている。
【0008】
図9の例の場合、差動電極2aおよび2bの円弧状周縁は、仮想線L1と仮想線L2との交点を中心とした円の一部の円弧とされている。この例の場合、その円の直径は、30mmとされている。
【0009】
3は共通電極板で、適当な剛性を持つ導電性部材で形成されている。この共通電極板3は、この板3と一体で、この板3から直角に折り曲げられて形成された複数個の端子片3a,3b,3c,3dが、プリント基板1に設けられている端子孔4a,4b,4c,4dに挿入され、プリント基板1の信号処理回路部が形成される裏面において半田付け固定されることにより、図10に示すように、差動電極2a,2bに対して一定の間隔を持って平行に保持される状態でプリント基板1に取り付けられる。
【0010】
5はオイルケースで、適当な柔軟性を有するプラスチックからなる。このケース5は、図10に示すように、断面がコ字状を有し、その端面がプリント基板1に、例えば両面テープ5Bなどの接着手段により接着されることにより、プリント基板1と共に密閉空間を形成する。
【0011】
この場合、差動電極2a,2bの周端縁と、共通電極板3の周端縁と、ケース5の端面の内周縁は同心円状に形成され、また、差動電極2a,2bと共通電極板3とケース5の対向面はそれぞれ平行に形成されている。
【0012】
ケース5とプリント基板1とで形成される密閉空間内には、プリント基板1に設けられた貫通孔6からシリコン・オイル等の誘電性液体7が、密閉空間内の有効容積のほぼ1/2のレベル、すなわち図9の仮想線L2のレベルまで充填される。
【0013】
8及び9は、外部ノイズなどの影響を遮断するための静電シールド板で、静電シールド板8は、ケース5およびその周辺を覆うようにプリント基板1の表面側に取り付けられ、静電シールド板9は、後述する信号処理回路部分を覆うようにプリント基板1の裏面側に取り付けられる。
【0014】
次に、この傾斜センサの製造方法について説明する。まず、前述したようにして、表面側に、裏面側の銅泊パターンと電極点2c,2dを通じて電気的に接続された差動電極2a,2bが形成されているとともに、端子孔4a,4b,4c,4dおよび貫通孔6が設けられたプリント基板1が用意される。
【0015】
このプリント基板1に、共通電極板3が、差動電極2a,2bに対して所定の間隔を持って平行に保持される状態でプリント基板1に取り付けられる。このとき、共通電極板3とプリント基板1の差動電極2a,2bとの距離が、予め定めた所定のものとなるようにするため、厚さゲージを共通電極板3とプリント基板1との間に挟んで、共通電極板3の複数個の端子片3a,3b,3c,3dを、プリント基板1の端子孔4a,4b,4c,4dに挿入する。
【0016】
そして、厚さゲージにより、共通電極板3とプリント基板1の差動電極2a,2bとの距離を所定のものに保持した状態で、端子片3a,3b,3c,3dの先端部を、プリント基板1の裏面側の配線パターンに半田付けするようにする。なお、端子孔4a,4b,4c,4dは、この半田付けにより、孔埋めされて、封止される。プリント基板1に対して共通電極板3の取り付けを終了したら、厚さゲージは取り除く。
【0017】
次に、オイルケース5の端面に両面テープ5Bを貼付し、あるいは、プリント基板1の差動電極2a,2bの周囲のオイルケース5の端面に対する部位に予め両面テープ5Bを貼付しておき、オイルケース5を、この両面テープ5Bを用いてプリント基板1に接着して固定する。これにより、プリント基板1とオイルケース5との間には、共通電極板3を保持した状態で密閉空間が形成される。
【0018】
次に、プリント基板1の貫通孔6から、シリコン・オイル等の誘電性液体7を、密閉空間内の有効容積のほぼ1/2のレベル、すなわち図9の仮想線L2のレベルまで充填する。その後、プリント基板1の貫通孔6を半田により、封止する。
【0019】
そして、静電シールド板8にて、プリント基板1の表面側のオイルケース5をも含んで覆うと共に、静電シールド板9にて、プリント基板1の裏面側を覆う。その後、図11に示すように、以上のようにして構成した傾斜検出素子および信号処理回路部分を、直方体形状で一面が開口とされた筐体10内に収納する。そして、樹脂のシール剤11を筐体10内に充填する。
【0020】
このとき、シール剤11がシールド板9の内側のプリント基板1内に入り込むことにより、傾斜検出素子の特性が変化してしまうため、筐体10内に一杯にシール剤11を充填する前に、プリント基板1に取り付けられた特性調整用トリマー12によって、特性を所期のものに調整した後、さらにシール剤11を筐体10内に充填して、傾斜センサを完成させるようにする。
【0021】
図12は、この例の傾斜センサの信号処理回路部分の構成を示すものである。
図12において、21は発振器であり、その発振信号の出力端子が、前述した図9および図10で説明した構成の傾斜検出素子20の共通電極板3に接続される。また、傾斜検出素子20の1対の差動電極2a,2bのそれぞれは、容量−電圧変換回路22a,22bの入力端子に接続される。
【0022】
これら容量−電圧変換回路22aおよび22bの出力端子は、それぞれ差動増幅回路23の一方および他方の入力端子に接続される。この差動増幅回路23からは傾斜センサの出力端子24が導出される。なお、信号処理回路部には電源安定化回路25が含まれており、この電源安定化回路25を通じた安定化電圧が発振器21や差動増幅回路23に、その電源電圧として供給される。
【0023】
信号処理回路部は、上述のように構成されているので、発振器21からの一定周波数の発振出力信号は、差動電極2aと共通電極板3とで構成される第1のコンデンサを通じて容量−電圧変換回路22aに供給されると共に、差動電極2bと共通電極板3とで構成される第2のコンデンサを通じて容量−電圧変換回路22bに供給される。このとき、容量−電圧変換回路22aおよび22bのそれぞれには、第1のコンデンサの容量値および第2のコンデンサの容量値のそれぞれに応じた波高値の信号が、それぞれ入力される。
【0024】
容量−電圧変換回路22aおよび22bは、それぞれの入力信号を整流し、平滑した電圧を出力する。したがって、容量−電圧変換回路22aおよび22bの出力電圧は、それぞれの入力信号の波高値、すなわち、第1のコンデンサの容量値および第2のコンデンサの容量値のそれぞれに応じた大きさとなる。
【0025】
したがって、差動増幅回路23からは、容量−電圧変換回路22aの出力電圧と、容量−電圧変換回路22bの出力電圧との差の電圧が得られ、それが傾斜センサの出力として、出力端子24に導出される。すなわち、差動増幅回路23からは、第1のコンデンサと第2のコンデンサの容量値の差に応じた出力電圧が得られる。
【0026】
以上のような構成の傾斜検出素子20および信号処理回路部を備える傾斜センサを、前述したように被測定物の傾斜測定の基準面となる面(以下、この面を被測定面という)上に設置する。このとき、傾斜検出素子20のプリント基板1面が、被測定面の被測定傾斜方向を含む面となるように設置する。
【0027】
なお、この明細書において、被測定面の被測定傾斜方向とは、測定しようとする傾斜の方向に被測定面が傾斜するときの被測定面の法線の移動方向であり、被測定面が測定しようとする傾斜の方向に順次傾斜するときに、各傾斜位置にある被測定面の法線の全てを含む面に沿う方向をいう。
【0028】
被測定面が、前記被測定傾斜方向に傾斜していなければ(すなわち、重力方向に垂直な線を含む面となっているとき)、誘電性液体7は、差動電極2aと2bとのそれぞれほぼ半分を等しく浸漬する状態となる。したがって、差動電極2aと共通電極板3とで構成される第1のコンデンサの容量値と、差動電極2bと共通電極板3とで構成される第2のコンデンサの容量値とは等しくなり、容量−電圧変換回路22a,22bの出力電圧の差は零となる。このとき、差動増幅回路23の出力電圧は、それに応じた電圧Voとなる。
【0029】
そして、被測定面が、前記被測定傾斜方向に傾斜したとき、誘電性液体7の液面位置は、差動電極2a,2bの一方は、その傾斜角だけ誘電性液体7内に余分に浸漬し、他方は、その傾斜角だけ電極が液面から露呈するようになる状態になり、その傾斜角に応じた容量差が第1のコンデンサと第2のコンデンサとの間に生じる。
【0030】
このとき、図9において、傾斜角が0度の位置から被測定面が+θ方向(例えば反時計方向)に傾斜した場合には、第1のコンデンサの容量値が小さくなり、第2のコンデンサの容量値が大きくなるため、容量−電圧変換回路22aの出力電圧が、容量−電圧変換回路22bの出力電圧よりも大きくなる。したがって、差動増幅回路23の出力電圧は、電圧Voよりも+θ方向の傾斜角に応じた分だけ、大きくなるように変化する。
【0031】
一方、図9において、傾斜角が0度の位置から被測定面が−θ方向(例えば時計方向)に傾斜した場合には、第2のコンデンサの容量値が小さくなり、第1のコンデンサの容量値が大きくなるため、容量−電圧変換回路22aの出力電圧が、容量−電圧変換回路22bの出力電圧よりも小さくなる。したがって、差動増幅回路23の出力電圧は、電圧Voよりも−θ方向の傾斜角に応じた分だけ、小さくなるように変化する。
【0032】
したがって、差動増幅回路23からは、容量−電圧変換回路22a,22bの出力電圧の差分、つまり、2個のコンデンサの容量値の差分、に応じた電圧が出力電圧として得られる。この差動増幅回路23の出力電圧は、図9のように、傾斜角=0の面位置からの傾斜方向も含めて、傾斜角=0の面位置からの被測定面の傾斜角に比例して直線状に変化する直流電圧となる。
【0033】
なお、この場合、差動電極2a,2b及び共通電極板3の前記扇形形状は、この差動増幅回路23の出力電圧の変化が、図9に示すように、傾斜角の変化にリニアに対応するように定めたものである。
【0034】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の傾斜センサは、小型かつ高精度で、被測定面の傾斜角を測定することが可能であるが、製造上、また、特性上、以下のような問題があった。
【0035】
第1に、上述の従来の傾斜センサでは、前述もしたように、筐体10内にシール剤11を充填したときに、誘電体であるシール剤が、シールド板9で覆われたプリント基板1の部分の、その反対面側の差動電極2a,2bが形成されている部分に対応する部分にも入り込み、このため、傾斜検出素子の特性が変化してしまう問題がある。
【0036】
この問題点を解決するために、前述したように、従来の傾斜センサでは、シール工程を2段階にして、第1段階のシール工程により、ほぼ傾斜検出素子の部分までのシール剤の充填を行ない、その後、シール剤の充填により変わってしまった特性を、特性調整用トリマー12によって、所期のものに調整した後、第2のシール工程を行って、シール剤の充填を完了するようにしなければならず、シール工程が複雑になってしまう問題があった。
【0037】
また、第2に、従来の傾斜検出素子の共通電極板3と差動電極2a,2bとの間の空隙は、所定のものとする必要があるが、従来は、上述のように、共通電極板3は複数個の端子片3a,3b,3c,3dにより、プリント基板1の孔4a,4b,4c,4dに挿入され、半田付けされて取り付けられる構造になっているため、共通電極板3と差動電極2a,2bとの間の空隙に厚さゲージを挿入して、共通電極板3をプリント基板に取り付けることにより、共通電極板3と差動電極2a,2bとの間の空隙を所定のものに設定する必要があり、手数がかかる問題がある。
【0038】
また、第3に、共通電極板3が複数個の端子片3a,3b,3c,3dによりプリント基板1に取り付けられており、少なくとも端子部が上下の2か所あることにより、被測定面の傾斜角度を90度近くまで傾けて水平に戻したとき、傾き角が大きくなる方向のときと、傾き角が小さくなる方向のときとで、図13に示すように、特性が異なってしまうヒステリシスが発生する問題がある。
【0039】
すなわち、被測定面の傾斜角度が徐々に大きくなって、90度近傍になると、それまで、誘電性液体7に浸っていなかった上側の端子片が誘電性液体7に浸る状態になる。
【0040】
逆に、90度近傍の傾斜角度から被測定面の傾斜が徐々に小さくなる場合には、誘電性液体7に浸っていた上側の端子片が誘電性液体7に浸らなくなるが、このとき、端子片には、誘電性液体7が若干付着したままの状態になる。このため、図13のようなヒステリシスが生じることとなる。
【0041】
この発明は、以上の問題点を解決する傾斜センサを提供することを目的とするものである。
【0042】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1の発明による傾斜センサは、
傾斜測定の基準面に対して垂直方向に配置されるプリント基板と、
前記プリント基板の一面側において、互いに電気的に独立に設けられ、かつ、前記プリント基板の他面側に設けられる配線パターンに電気的に接続される1対の差動電極と、
前記1対の差動電極に対して所定の空隙を隔てて対向する共通電極板を備え、この共通電極板から導出される端子片により、前記プリント基板の前記他面側の配線パターンと電気的に接続される共通電極と、
前記1対の差動電極と前記共通電極板とを、前記プリント基板との間で形成する密閉空間内に収納するようにするケース部材と、
前記密閉空間内に、液面が前記基準面の傾斜に応じて変化するような状態で封入された誘電性液体と、
を備え、
前記共通電極は、前記共通電極板から前記端子片が導出される方向とは反対方向側に導出される複数個の爪部を有するとともに、前記ケース部材は、前記共通電極の前記複数個の爪部が嵌合する凹部を具備し、前記複数個の爪部が、前記凹部に嵌合されることにより、前記共通電極が前記ケース部材に固定される
ことを特徴とする。
【0044】
また、請求項3の発明は、
傾斜測定の基準面に対して垂直方向に配置されるプリント基板と、
前記プリント基板の一面側において、互いに電気的に独立に設けられ、かつ、前記プリント基板の他面側に設けられる配線パターンに電気的に接続される1対の差動電極と、
前記1対の差動電極に対して所定の空隙を隔てて対向する共通電極板を備え、この共通電極板から導出される1個の端子片により、前記プリント基板の前記他面側の配線パターンと電気的に接続される共通電極と、
前記1対の差動電極と前記共通電極板とを、前記プリント基板との間で形成する密閉空間内に収納するようにするケース部材と、
前記密閉空間内に、液面が前記基準面の傾斜に応じて変化するような状態で封入された誘電性液体と、
を備え、
前記共通電極は、前記共通電極板から前記端子片が導出される方向とは反対方向側に導出される複数個の爪部を有するとともに、前記ケース部材は、前記共通電極の前記複数個の爪部が嵌合する凹部を具備し、前記複数個の爪部が、前記凹部に嵌合されることにより、前記共通電極が前記ケース部材に固定されるとともに、
前記共通電極板から導出される1個の端子片は、前記1対の差動電極から等距離であり、かつ、前記誘電性液体に浸漬される下側に設けられることを特徴とする。
【0047】
【作用】
上述の構成の請求項1の発明による傾斜センサによれば、共通電極板は、この共通電極板からプリント基板側とは反対方向側に導出される複数個の爪部が、ケース部材の凹部に嵌合されることにより、ケース部材に固定される。この嵌合により、共通電極板は、ケース部材に対して予め定められた深さ位置に固定される。
【0048】
そして、この請求項1の発明の場合には、ケース部材をプリント基板の所定位置に取り付けることにより、共通電極板は、対の差動電極との間に、予め定められた所定の空言を保って、取り付けられる。したがって、請求項1の発明によれば、共通電極板と差動電極との間に介挿する従来のような厚さゲージが不要となり、共通電極板の取り付け作業が簡単になる。
【0049】
さらに、上述の構成の請求項3の発明によれば、共通電極板はプリント基板に対して、傾斜角が小さいときには、誘電性液体内に浸漬される位置に設けられる1個の端子片により電気的に接続されるので、傾斜−検出出力特性に、従来のようなヒステリシスは生じない。
【0050】
【発明の実施の形態】
以下、この発明による傾斜センサの実施の形態を、図を参照しながら説明する。
【0051】
[第1の実施の形態](図1〜図3)
図1は、第1の実施の形態の傾斜センサの傾斜検出素子30の分解斜視図である。また、図2は、この第1の実施の形態の傾斜センサの傾斜検出素子30を、その正面に垂直な面で切断した場合の断面図を示すものである。図3は、シール剤を充填した状態の、この第1の実施の形態の傾斜センサの断面図を示すものである。
【0052】
図1および図2に示す傾斜検出素子30の構成は、プリント基板1の差動電極2a,2bが設けられる表面側とは反対側の裏面側に設けられる裏蓋31を除くと、図8および図9に示した従来例と全く同一である。また、信号処理回路部分は、図11に示したものと全く同様に構成される。そこで、前述した従来例と同じ部分については説明を省略することとする。
【0053】
裏蓋31は、オイルケース5と同様の材質の、適当な柔軟性を有するプラスチックからなるもので、図2に示すように、プリント基板1の裏面とシールド板9との間において、プリント基板1の表面側の1対の差動電極2a,2bの部分に対応する部分を少なくとも覆うように構成されている。この例では、図2に示すように、裏蓋31は、プリント基板1の表面側でオイルケース5が覆う部分に対応する裏面側の部分を覆うように構成されている。
【0054】
そして、差動電極2a,2bと、スルーホールを介してのプリント基板1の裏面側の配線パターンとの接続部(半田接合部)や共通電極板から導出される端子片3a,3b,3c,3dとプリント基板1の裏側の配線パターンとの接続部(半田接合部)などの凸部を逃げるための凹部32が、裏蓋31には設けられている。
【0055】
この裏蓋31も、オイルケース5と同様に、例えば両面テープ33などの接着手段により接着されることにより、プリント基板1の裏面側に密着して取り付けられる。
【0056】
そして、この例では、裏蓋31のプリント基板1からの高さは、丁度、シールド板9のプリント基板1に対向する面と、プリント基板1との間の距離に等しく設定され、図2に示すように、裏蓋31がシールド板9に密着するようにされている。これにより、シール工程において、シール剤が、シールド板9のプリント基板1との対向面と裏蓋31との間に入り込むことがなくなり、シール工程の前後での傾斜センサの特性の変化を、さらに強力に防止することができる。
【0057】
なお、図2に示すように、この第1の実施の形態では、オイルケース5の外平面には、導電性板34が取り付けられる。この導電性板34は、導電性の取り付けピン35により、オイルケース5を貫通してプリント基板1に固定されて取り付けられる。そして、導電性の取り付けピン35の先端は、プリント基板1の接地導体に接続されることにより、導電性板34が電気的に接地されている。
【0058】
また、この例では、オイルケース5の端面が当接するプリント基板1の両面テープ5Bが張り付けられる部分は、表面を平坦にするために、オイルケース5の端面に対応する形状に銅泊パターンが形成されている。この銅泊パターンは、プリント基板5の裏面側のアースパターンに、ピン35が挿入される孔を介して接続されて、接地されている。
【0059】
この実施の形態では、この接地される導電性板34の存在により、オイルケース5側のプリント基板1と平行な上面と、シールド板8との間に隙間に、シール工程でシール剤が侵入しても、そのシール剤により傾斜センサの特性が変化することが、より確実に防止される。
【0060】
以上説明したようにして、この第1の実施の形態では、裏蓋31がプリント基板1に対して取り付けられて、傾斜検出素子が形成される。そして、シールド板9は、その裏蓋31をも覆う状態で取り付けられる。
【0061】
そして、図3に示すように、プリント基板1の裏面側に裏蓋31が取り付けられた傾斜検出素子30および信号処理回路部とが筐体10内に挿入され、特性調整用トリマー12により、特性が調整された後、シール剤が筐体10内に充填されて、傾斜センサが形成される。
【0062】
この第1の実施の形態では、裏蓋31により、プリント基板1の裏面側の、表面側の差動電極2a,2bに対応する部分が覆われているので、シール剤11は、裏蓋31内に入り込むことがない。しかも、裏蓋31とシールド板9のプリント基板1の裏面との対向面との間に隙間がないので、この部分には、シール剤11が入り込むことがない。このため、シール剤11を充填したときに、従来のように傾斜検出素子30の特性が変化してしまうようなことがない。したがって、シール工程は、1工程で済む。
【0063】
なお、上述の説明では、従来と同様に、特性調整トリマー12により、傾斜検出素子の特性を調整するようにしたが、裏蓋31の存在により、シール剤11の充填前と後とで、傾斜検出素子30の特性は変わらないので、この調整は、従来と異なり、シール剤11により、筐体10内を充填する前に行うだけでよい。なお、この第1の実施の形態においては、特性調整用トリマー12は、必ずしも必要ではない。
【0064】
この第1の実施の形態の傾斜センサの特性は、前述した従来例の傾斜センサとほぼ同様のものとなる。
【0065】
また、上述の実施の形態の例では、共通電極板3と、オイルケース5とは、別個のものとしたが、オイルケースを導電体で構成して、オイルケースを共通電極板3と兼用するような構造であってもよい。さらに、オイルケース全体を導電体とするのではなく、オイルケースのプリント基板との対向面に、共通電極板を接着したり、あるいは共通電極板部分を印刷や蒸着して設けることにより、オイルケースと一体的に構成するような構造とすることもできる。
【0066】
[第2の実施の形態](図4〜図8)
この第2の実施の形態の傾斜検出素子40は、差動電極2a,2bが形成されるプリント基板1と、共通電極板3と、オイルケース5と、裏蓋31と、誘電性液体7とで構成されるのは、第1の実施の形態と同様であるが、この第2の実施の形態の場合の傾斜検出素子40は、共通電極板3の固定の仕方および共通電極板3とプリント基板1の配線パターンとの接続の仕方に特徴がある。
【0067】
また、信号処理回路部分は、図11に示したものと全く同様に構成される。そこで、この第2の実施の形態の説明においても、前述した従来例と同じ部分については、その詳細な説明を省略することとする。
【0068】
図4は、この第2の実施の形態の傾斜センサの傾斜検出素子40の分解斜視図である。また、図5は、この第2の実施の形態の場合の傾斜検出素子40のオイルケース5と、共通電極板3との関係を説明するための図である。また、図6は、この第2の実施の形態の場合の傾斜検出素子40を、その正面に垂直な面で切断した場合の断面図を示すものである。図7は、シール剤を充填した状態の、この第2の実施の形態の傾斜センサの断面図を示すものである。さらに図8は、この第2の実施の形態の傾斜センサの特性を示す図である。
【0069】
図4に示すように、この第2の実施の形態の傾斜検出素子40のプリント基板1には、従来例および第1の実施の形態の場合と同様に、1対の差動電極2a,2bが、銅泊パターンによって、基準面およびプリント基板1面の両方に垂直な面と、プリント基板1との交差線(図4で二点鎖線で示す仮想線L1)により左右に分割される領域に、互いに電気的に独立に形成されている。
【0070】
しかし、プリント基板1に設けられる、共通電極板3の端子片が貫通する貫通孔は、前述の例とは異なり、貫通孔4eの1個とされている。このため、プリント基板1の裏面側の配線パターンも簡略化されている。なお、差動電極2a,2bの間の上方に誘電性液体の封入用貫通孔6が設けられている点、その他は、前述の例と同様である。
【0071】
そして、図4、図5、図6および図7に示すように、この第2の実施の形態においては、共通電極板3をプリント基板1の裏面側の配線パターンに接続するために共通電極板3から導出される端子片は、単一の端子片3eとされる。
【0072】
共通電極板3が固定された状態では、端子片3eは貫通孔4eを通じてプリント基板1の裏面側に導かれ、その端子片3eの先端は、プリント基板1の裏面側において配線パターンと半田付けされる。貫通孔4eは、半田付けにより孔埋めされて封止される。
【0073】
この端子片3eの位置および貫通孔4eの位置は、図5に示すように、差動電極2a,2bから等しい位置である対称軸(2点鎖線L1の位置に対応)上に設けられ、かつ、図6、図7に示すように、誘電性液体7が封入されたときに、誘電性液体7により常に浸漬される下側の位置とされる。この第2の実施の形態では、共通電極板3は、図4に示すように、中央部が若干くびれた、いわゆる瓢箪型の形状を有しており、この瓢箪を横においたような状態で差動電極2a,2bと対向するように配置される。端子片3eは、共通電極板3の前記くびれの部分に形成される。
【0074】
この構成によれば、一つの端子片3eが、ほぼ常に、誘電性液体7に浸っているために、この実施の形態の傾斜センサにより、徐々に90度まで大きくなる方向の傾斜を測定したときと、90度から徐々に小さくなる方向の傾斜を測定したときとで、傾斜センサの特性が異なることがなく、この第2の実施の形態の傾斜センサの特性は、図8に示すような特性となる。
【0075】
次に、この第2の実施の形態では、共通電極板3は、プリント基板1に対して固定するのではなく、オイルケース5に固定することにより、プリント基板1と共通電極板3とを所定の空隙を隔てて、平行に保つように構成する。
【0076】
すなわち、共通電極板3からは、端子片3eの導出方向とは逆側のオイルケース5側に向かって、複数個の、この例では4個の圧入脚部3f,3g,3h,3iが導出されている。これらの圧入脚部3f,3g,3h,3iは、共通電極板3と一体の折り曲げ片として構成されている。
【0077】
一方、図5に示すように、これらの圧入脚部3f,3g,3h,3iに対応して、オイルケース5の、誘電性液体7を封入する部分となる、共通電極板3の形状に応じた凹部51には、共通電極板3のオイルケース5側の面の周縁部が衝合する段部52が設けられている。この段部52は、オイルケース5のプリント基板1と衝合する端面5tからの深さが、(共通電極板3と差動電極2a,2bとの距離)+(共通電極板3の厚さ)となる位置に設けられている。
【0078】
そして、共通電極板3の圧入脚部3f,3g,3h,3iの位置に対応する、オイルケース5の段部52の部分には、圧入脚部3f,3g,3h,3iのそれぞれが圧入嵌合される溝穴52f,52g,52h,52iが形成されている。この場合、溝穴52f,52g,52h,52iの深さは、圧入脚部3f,3g,3h,3iの長さよりもわずかに短く形成されている。
【0079】
この第2の実施の形態の傾斜センサの製造方法について説明する。まず、前述したようにして、裏面側の銅泊パターンと電極点2c,2dを通じて電気的に接続された差動電極2a,2bが、その表面側に形成されるとともに、端子孔4eおよび貫通孔6が設けられたプリント基板1が用意される。
【0080】
次に、オイルケース5の凹部51内に、共通電極板3を、圧入脚部3f,3g,3h,3iを、オイルケース5の溝穴52f,52g,52h,52iのそれぞれに圧入嵌合することにより、装着固定する。この状態では、図6にも示すように、共通電極板3のプリント基板1側を向く面と、オイルケース5のプリント基板1と衝合する端面5tとの距離が、共通電極板3と、差動電極2a,2bとの間の空隙の大きさに、丁度、一致するものとなる。なお、図6に示すように、共通電極板3のオイルケース5側の面と、オイルケース5の底部との間には、段部52の高さ分の空隙53が生じている。
【0081】
次に、上述のように共通電極板3を装着固定したオイルケース5の端面5tに両面テープ5Bを貼付し、あるいは、プリント基板1の差動電極2a,2bの周囲の端面5tが衝合する部位に予め両面テープ5Bを貼付しておき、オイルケース5を、この両面テープ5Bを用いてプリント基板1に接着して固定する。これにより、プリント基板1とオイルケース5との間には、共通電極板3を保持した状態で密閉空間が形成される。
【0082】
このオイルケース5のプリント基板1に対する取り付けの際に、共通電極板3からプリント基板1側に向かって導出されている端子片3eがプリント基板1の貫通孔4eを通じて裏面側に導出される。そして、端子片3eの先端部は、プリント基板1の裏面側の配線パターンと半田付けされて、電気的に接続される。この半田付けにより、貫通孔4eは孔埋めされて封止される。
【0083】
オイルケース5が、プリント基板1に対して両面テープ5Bにより取り付けられると、共通電極板3と差動電極2a,2bとは、上述したことから明らかなように、予め定められた所定長の空隙を隔てて、平行に配置される状態になる。
【0084】
次に、プリント基板1に設けられた貫通孔6からシリコン・オイル等の誘電性液体7が、ケース5とプリント基板1とで形成される密閉空間内に、その有効容積のほぼ1/2のレベル、すなわち図4の仮想線L2のレベルまで充填される。なお、この場合に、図6に示すように、ケース5とプリント基板1とで形成される密閉空間内に封入された誘電性液体7は、共通電極板3とプリント基板1との間の空隙だけでなく、共通電極板3とオイルケース5の底部との空隙53にも入り込む。
【0085】
次に、前述の第1の実施の形態と同様にして、プリント基板1の裏面側の、表面側の差動電極2a,2bに対応する部分を覆うように、裏蓋31が、例えば両面テープ33などの接着剤により、プリント基板1に取り付けられる。
【0086】
そして、静電シールド板8にて、プリント基板1の表面側のオイルケース5をも含んで覆うと共に、静電シールド板9にて、プリント基板1の裏面側を覆う。そして、図6に示すように、この第2の実施の形態では、第1の実施の形態の場合と同様にして、オイルケース5の外平面には、導電性板34が取り付けられる。この導電性板34は、導電性の取り付けピン35により、オイルケース5を貫通してプリント基板1に固定されて取り付けられる。そして、導電性の取り付けピン35の先端は、プリント基板1の接地導体に接続されることにより、導電性板34が電気的に接地されている。
【0087】
また、この例では、オイルケース5の端面が当接するプリント基板1の両面テープ5Bが張り付けられる部分は、表面を平坦にするために、オイルケース5の端面に対応する形状に銅泊パターンが形成されている。この銅泊パターンは、プリント基板5の裏面側のアースパターンに、ピン35が挿入される孔を介して接続されて、接地されている。
【0088】
次に、以上のようにして構成した傾斜検出素子40および信号処理回路部分を、図7に示すように、直方体形状で一面が開口とされた筐体10内に収納する。そして、特性調整用トリマー12により、特性を調整した後、樹脂などのシール剤11を筐体10内に充填する。
【0089】
以上のように、この第2の実施の形態の傾斜センサによれば、共通電極板3はオイルケース5に固定されるものであり、この共通電極板3が固定されたオイルケース5がプリント基板1に取り付けられることにより、共通電極板3と差動電極2a,2bとが所定の空隙を隔てて配置される。したがって、従来のように、厚さゲージを、共通電極板3とプリント基板1との間に挿入して、両者間の空隙を設定する必要がなく、共通電極板3の取り付けが容易になると共に、厚さゲージなどの治具が不要となる。
【0090】
また、上述した第2の実施の形態の傾斜センサによれば、共通電極板3とプリント基板1の配線パターンとを電気的に接続する部位は、単一の端子片3eであるので、図8に示すような特性となり、従来のようなヒステリシスがなくなり、被測定面の傾斜が大きくなる方向でも、小さくなる方向でも、同一の傾斜検出出力が得られるようになる。
【0091】
また、この第2の実施の形態においても、裏蓋31を設けたことにより、シール剤11の充填前と後とで、傾斜検出素子40の特性は変わらない。したがって、特性調整用トリマー12による調整は、従来と異なり、シール剤11により、筐体10内を充填する前に行うだけでよい。また、この第2の実施の形態においても、特性調整用トリマー12は、必ずしも必要ではない。
【0092】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の傾斜センサによれば、プリント基板の他面側の、少なくとも1対の差動電極が形成されている部分に対応する部分は裏蓋により覆われた後、シールド板により遮蔽されるようにされるので、裏蓋の存在により、シール剤は、プリント基板の1対の差動電極が形成されている部分に対応する部分には入り込まず、傾斜センサの特性が変化することが防止される。
【0093】
このため、従来のような特性調整用トリマーは不要となって、シール工程は1工程でよくなり、簡略化できる。
【0094】
また、この発明による傾斜センサによれば、共通電極板は、ケース部材に対して、予め定められた深さ位置に固定されるので、ケース部材をプリント基板に取り付けるだけで、対の差動電極との間に、予め定められた所定の空隙を保った位置に配置される。したがって、共通電極板と差動電極との間に挿入する従来のような厚さゲージが不要となり、共通電極板の取り付け作業が簡単になる。
【0095】
また、この発明による傾斜センサによれば、共通電極板はプリント基板に対して、通常は、誘電性液体内に浸漬される位置に設けられる1個の端子片により電気的に接続されるので、傾斜−検出出力特性に、従来のようなヒステリシスは生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による第1の実施の形態の傾斜センサの分解図である。
【図2】第1の実施の形態の傾斜センサの断面図である。
【図3】第1の実施の形態の傾斜センサのシールされた状態の断面図である。
【図4】この発明による第2の実施の形態の傾斜センサの分解図である。
【図5】第2の実施の形態の要部を説明するための図である。
【図6】第2の実施の形態の傾斜センサの断面図である。
【図7】第2の実施の形態の傾斜センサのシールされた状態の断面図である。
【図8】実施の形態の傾斜センサの出力電圧特性を示す図である。
【図9】従来の傾斜センサの一例の分解図である。
【図10】従来の傾斜センサの一例の断面図である。
【図11】従来の傾斜センサの一例のシールされた状態の断面図である。
【図12】従来の傾斜センサの信号処理回路部の構成を示す図である。
【図13】従来の傾斜センサの出力電圧特性を示す図である。
【符号の説明】
1 プリント基板
2a,2b 差動電極
3 共通電極板
3a,3b,3c,3d,3e 端子片
3f,3g,3h,3i 嵌合脚部
4a,4b,4c,4d,4e 貫通孔
5 オイルケース
5f,5g,5h,5i 嵌合凹溝
5t オイルケース5の端面
6 誘電性液体の注入用貫通孔
7 誘電性液体
8、9 シールド板
10 筐体
11 シール剤
12 特性調整用トリマー
31 裏蓋
Claims (3)
- 傾斜測定の基準面に対して垂直方向に配置されるプリント基板と、
前記プリント基板の一面側において、互いに電気的に独立に設けられ、かつ、前記プリント基板の他面側に設けられる配線パターンに電気的に接続される1対の差動電極と、
前記1対の差動電極に対して所定の空隙を隔てて対向する共通電極板を備え、この共通電極板から導出される端子片により、前記プリント基板の前記他面側の配線パターンと電気的に接続される共通電極と、
前記1対の差動電極と前記共通電極板とを、前記プリント基板との間で形成する密閉空間内に収納するようにするケース部材と、
前記密閉空間内に、液面が前記基準面の傾斜に応じて変化するような状態で封入された誘電性液体と、
を備え、
前記共通電極は、前記共通電極板から前記端子片が導出される方向とは反対方向側に導出される複数個の爪部を有するとともに、前記ケース部材は、前記共通電極の前記複数個の爪部が嵌合する凹部を具備し、前記複数個の爪部が、前記凹部に嵌合されることにより、前記共通電極が前記ケース部材に固定される
ことを特徴とする傾斜センサ。 - 請求項1に記載の傾斜センサにおいて、
前記プリント基板の他面側の、少なくとも前記1対の差動電極が形成されている部分に対応する部分を覆う裏蓋を備える
ことを特徴とする傾斜センサ。 - 傾斜測定の基準面に対して垂直方向に配置されるプリント基板と、
前記プリント基板の一面側において、互いに電気的に独立に設けられ、かつ、前記プリント基板の他面側に設けられる配線パターンに電気的に接続される1対の差動電極と、
前記1対の差動電極に対して所定の空隙を隔てて対向する共通電極板を備え、この共通電極板から導出される1個の端子片により、前記プリント基板の前記他面側の配線パターンと電気的に接続される共通電極と、
前記1対の差動電極と前記共通電極板とを、前記プリント基板との間で形成する密閉空間内に収納するようにするケース部材と、
前記密閉空間内に、液面が前記基準面の傾斜に応じて変化するような状態で封入された誘電性液体と、
を備え、
前記共通電極は、前記共通電極板から前記端子片が導出される方向とは反対方向側に導出される複数個の爪部を有するとともに、前記ケース部材は、前記共通電極の前記複数個の爪部が嵌合する凹部を具備し、前記複数個の爪部が、前記凹部に嵌合されることにより、前記共通電極が前記ケース部材に固定されるとともに、
前記共通電極板から導出される1個の端子片は、前記1対の差動電極から等距離であり、かつ、前記誘電性液体に浸漬される下側に設けられることを特徴とする傾斜センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000111542A JP4365982B2 (ja) | 2000-04-13 | 2000-04-13 | 傾斜センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000111542A JP4365982B2 (ja) | 2000-04-13 | 2000-04-13 | 傾斜センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001296123A JP2001296123A (ja) | 2001-10-26 |
| JP4365982B2 true JP4365982B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=18623852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000111542A Expired - Lifetime JP4365982B2 (ja) | 2000-04-13 | 2000-04-13 | 傾斜センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4365982B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7024947B2 (en) | 2002-03-07 | 2006-04-11 | Alps Electric Co., Ltd. | Detection device including circuit component |
| JP2009264909A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Nanocreate Co Ltd | 静電デバイスの製造方法及び静電デバイス |
| CN102564398B (zh) * | 2011-12-29 | 2013-09-18 | 东南大学 | 一种微机械电容式顷角传感器 |
-
2000
- 2000-04-13 JP JP2000111542A patent/JP4365982B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001296123A (ja) | 2001-10-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5092174A (en) | Capacitance accelerometer | |
| US5303589A (en) | Capacitive accelerometer with cantilever mount | |
| JP3659855B2 (ja) | 傾斜センサ | |
| JPS60169719A (ja) | 物理量検出装置 | |
| US6212955B1 (en) | Capacitance-type pressure sensor unit | |
| JP4365982B2 (ja) | 傾斜センサ | |
| JP2004093226A (ja) | 静電容量式センサ | |
| JPH10300609A (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
| JP3622505B2 (ja) | 傾斜センサ | |
| JP4386519B2 (ja) | 傾斜検出ユニット | |
| JPH0992108A (ja) | 静電容量型近接センサ | |
| JP3269269B2 (ja) | 振動検知センサ | |
| JPH05340962A (ja) | 静電容量型加速度センサ | |
| JP2517819Y2 (ja) | コンデンサーの静電容量測定装置 | |
| JP2975077B2 (ja) | 表面実装用水晶発振器 | |
| JPS6310534Y2 (ja) | ||
| JP2606288Y2 (ja) | 赤外線検出器 | |
| JPH09260948A (ja) | 水晶発振器 | |
| JPH0231713Y2 (ja) | ||
| JPH1078485A (ja) | 地震波検出装置 | |
| JP2580659Y2 (ja) | 水晶発振器 | |
| JPH10170543A (ja) | 静電容量式センサ | |
| JPS6042514Y2 (ja) | 圧電振動子の保持装置 | |
| JP2000321057A (ja) | 傾斜センサ | |
| JP2002090405A (ja) | 表面実装型電子部品及びその測定治具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070221 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090422 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090430 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090526 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090812 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090824 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120828 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4365982 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120828 Year of fee payment: 3 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120828 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120828 Year of fee payment: 3 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130828 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |