JP4369107B2

JP4369107B2 - Glass substrate heat treatment equipment

Info

Publication number: JP4369107B2
Application number: JP2002307404A
Authority: JP
Inventors: 晃弘藤野; 繁義谷川
Original assignee: Showa Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Showa Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2002-10-22
Filing date: 2002-10-22
Publication date: 2009-11-18
Anticipated expiration: 2022-10-22
Also published as: JP2004144337A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス基板用熱処理装置に関し、例えば、液晶パネル用のガラス基板や、同液晶パネルに取付けられるカラーフィルター用のガラス基板の焼成や乾燥などに用いられる熱処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、配向膜や偏向膜が形成された液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のガラス基板Ｂや同ＬＣＤに用いられるカラーフィルター(ＣＦ)用のガラス基板Ｂなどの焼成や乾燥に用いる電子具品用の熱処理装置として、図１０に示すような熱の放射伝導を利用した遠赤外線放射加熱方式の熱処理装置Ｘがあった（特許文献１参照。）。
【０００３】
上記熱処理装置Ｘにおいては、内周面に断熱材(図示せず)を貼設した箱型の炉本体101を設けて、同炉本体101の内部に、赤外線放射板111により面状ヒータ112を両側から挟んで形成した面状ヒータ複合体を、炉本体101の側壁101aから所定の間隔を空けて立設していた。
【０００４】
また、かかる立設した面状ヒータ複合体を縦面状ヒータ1 02とすると、対向する左右側の縦面状ヒータ102,102の一方には給気孔103を、他方には排気孔104を複数穿設しており、かかる給・排気孔103,104と方向が対応するように、前記炉本体101の対向する左右側壁101a,101aの一方には給気口105を、他方には排気口106を設けていた。
【０００５】
また、対向する左右側の縦面状ヒータ102,102には、それぞれ前後方向に伸延する正面視コ字状のヒータ支持体107を多段に配設して、同ヒータ支持体107によって、水平に寝かせた状態の面状ヒータ複合体（以下、横面状ヒータ10 8という）を挿脱自在に支持し、各横面状ヒータ108,108間にガラス基板加熱空間ｔを形成していた。
【０００６】
さらに、各ガラス基板加熱空間ｔにおいては、ガラス基板Ｂを水平に支持するための石英管109を前後方向に伸延させて、同石英管109を横面状ヒータ108の上方に配設した石英管支持体110により支持していた。
【０００７】
そして、上記構成よりなる熱処理装置Ｘにおいては、給・排気口105,106、及び給・排気孔103,104を介して炉本体101の内部の空気を少量ずつ入れ換えて、ガラス基板Ｂからの揮発性塵類を排出しつつ、各ガラス基板加熱空間ｔ内のガラス基板Ｂを加熱処理していた。
【０００８】
【特許文献１】
実用新案登録第３０６６３８７号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の熱処理装置においては、炉本体の内部に横面状ヒータを多段に設けているため、最上段や最下段の横面状ヒータのように、片側方向にしか他の横面状ヒータが位置しない横面状ヒータにおいては、両側方向に他の横面状ヒータが位置する横面状ヒータに比べて熱が逃げやすく、温度が上昇しにくくかった。
【００１０】
そのため、炉本体内部の温度分布にむらが生じてしまい、最上段や最下段の横面状ヒータの近傍に位置するガラス基板加熱空間においては、他のガラス基板加熱空間に比べて内部に収容されたガラス基板を十分に加熱することができず、ガラス基板の品質にばらつきが生じてしまっていた。
【００１１】
そこで、温度が上昇しにくい最下段や最上段や最下段の横面状ヒータに関しては、最初から面状ヒータの温度を高く設定することも考えられるが、制御回路が複雑になるとともに、消費電力も増加するので、コストがかかってしまう。従って、低コストで最上段や最下段の横面状ヒータの温度を他の面状ヒータと同様に上昇させることができる熱処理装置が望まれていた。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
そこで、請求項１記載の本発明では、炉体内部に面状ヒータを多段に設けたガラス基板用熱処理装置において、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータの外側面四隅に、放熱を防止するために面状ヒータからの熱を内部に蓄積できるように一端開口の箱状に形成した放熱防止用被覆体を設けた。
【００１３】
また、請求項２記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、断熱性素材から形成した。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明は、炉体内部に面状ヒータを多段に設けたガラス基板用熱処理装置において、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータの外側面四隅に、放熱を防止するために面状ヒータからの熱を内部に蓄積できるように一端開口の箱状に形成した放熱防止用被覆体を設けたものである。
【００１７】
すなわち、炉体内部に面状ヒータを多段に設けた場合には、最上段や最下段の面状ヒータが他の面状ヒータに比べて温度が上昇しにくく、炉体内部の温度分布にむらが生じてしまうので、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータの外側面四隅に対して面状ヒータからの放熱を防止するために面状ヒータからの熱を内部に蓄積できるように一端開口の箱状に形成した放熱防止用被覆体を配設し、面状ヒータから熱が逃げないようにするのである。
【００１８】
このように、面状ヒータからの放熱を防止することにより、最上段や最下段の面状ヒータも他の面状ヒータと同様に温度を上昇させることができ、炉体内部の温度分布にむらが生じるのを防止することができる。特に温度が上昇しにくい最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータの外側面四隅に設けることによって、効率よく最上段や最下段の面状ヒータ全体の温度を上昇させることができると共に、最上段や最下段の面状ヒータにおける温度分布のむらを防止することができる。従って、炉体内部に収容された全てのガラス基板を、特に最上段や最下段の面状ヒータの近傍に位置するガラス基板の一側面全体も均一に加熱して、温度差による品質のばらつき（温度差によるガラス基板の撓みや歪み）を防止することができ、効率よく歩留まりを向上させることができる。また、面状ヒータからの熱を効率よく放熱防止用被覆体の内部に蓄積することができ、面状ヒータの温度を一層効率よく上昇させることができる。しかも、単純な構造なので、コストをかけることなく簡単に機能性の高い放熱防止用被覆体を設けることができる。
【００１９】
なお、本熱処理装置の熱処理対象となるガラス基板は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やＬＣＤ用のカラーフィルター(ＣＦ)などであり、本熱処理装置は、かかる電子部品用途のものを熱処理する場合に好適に用いることができる。また、面状ヒータとしては、例えば遠赤外線を放射する面状ヒータを用いる。
【００２１】
また、前記放熱防止用被覆体は、断熱性素材により形成すれば、面状ヒータからの熱を効率よく遮断して外方に逃げないようにすることができ、放熱防止用被覆体の厚みを薄くしたり、形状をコンパクトにしたりすることが可能となる。
【００２３】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を、図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１は、本発明に係るガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉Ａの正面断面図であり、図示するように、本実施例における焼成炉Ａでは、箱型に形成した炉本体１の内周面に断熱材(図示せず)を貼設し、しかも、同炉本体１の内部に炉本体１の側壁1aから所定の間隔を空けて面状ヒータを立設している。
【００２５】
かかる立設させた面状ヒータを縦面状ヒータ２とすると、対向する左右側の縦面状ヒータ２,２の一方には給気孔３を、他方には排気孔４を複数穿設しており、かかる給・排気孔３,４と方向が対応するように、前記炉本体１の対向する左右側壁1a,1aの一方には給気口５を、他方には排気口６を設けている。
【００２６】
また、上記左右側の縦面状ヒータ２,２には、それぞれ前後方向に伸延するレール状のヒータ支持体７を多段に配設し、同ヒータ支持体７によって、水平に寝かせた状態の面状ヒータ（以下、横面状ヒータ８という）を挿脱自在に支持し、各横面状ヒータ８,８間にガラス基板加熱空間Ｔを形成している。なお、図示するように、各ガラス基板加熱空間Ｔには、前記縦面状ヒータ２に穿設した給・排気口５,６がそれぞれ開口している。
【００２７】
さらに、各ガラス基板加熱空間Ｔにおいては、ガラス基板Ｂを水平に支持するための石英管を前後方向に伸延させており、同石英管は、横面状ヒータの上方に配設した石英管支持体により支持している。なお、石英管と石英管支持体の構造は、前記図１０に示すものと同様であり、図１では図示を省略している。
【００２８】
本実施例における焼成炉Ａは上記構成からなり、ここで、本発明の要旨ともなる横面状ヒータ８からの放熱を防止する放熱防止用被覆体25についてさらに詳説する。
【００２９】
図１〜図３に示すように、放熱防止用被覆体25は、ステンレスを下端開口の箱状に形成したものであり、最上段に設けた横面状ヒータ８の外側面四隅にそれぞれ配置している。各放熱防止用被覆体25の下端開口縁には、最上段の横面状ヒータ８の外側面に沿ってフランジ状に伸延させた取付部25aを形成しており、同取付部25aをボルト26で横面状ヒータ８に固定している。
【００３０】
このように、本実施例では、最上段の横面状ヒータ８に放熱防止用被覆体25を設けているので、下方にしか他の横面状ヒータ８が存在しておらず、上下両側を別の横面状ヒータ８によって挟まれた横面状ヒータ８と比べて温度が上昇しにくい最上段の横面状ヒータ８においても、放熱を防いで他の横面状ヒータ８と同様に温度を上昇させることができる。そして、炉本体１の内部の温度分布にむらが生じるのを防止して、炉本体１の内部に収容された全てのガラス基板Ｂを均一に加熱し、温度差によってガラス基板Ｂの品質にばらつきが生じるのを防止することができる。
【００３１】
特に、本実施例では、放熱防止用被覆体25を下端開口の箱状に形成しているので、横面状ヒータ８からの熱を効率よく放熱防止用被覆体25の内部に蓄積して、横面状ヒータ８の温度を効率よく上昇させることができる。しかも、単純な構造なので、例えば既存のガラス基板熱処理用装置に対しても、上記放熱防止用被覆体25を低コストで且つ簡単に付設することができる。
【００３２】
また、本実施例では、放熱防止用被覆体25は、横面状ヒータ８の四隅に設けているが、これは、図４に示すように、横面状ヒータ８を１〜３０の部位に分けた場合、四隅となる１、５、２６、３０の部位が他の部位と比べて温度が上昇しにくいからであり、本実施例のように、最上段の横面状ヒータ８において、四隅からの放熱を重点的に防止した場合には、効率よく最上段の横面状ヒータ８の温度を上昇させることができると共に、最上段の横面状ヒータ８における温度分布のむらを防止することができる。
【００３３】
また、本実施例では、前述の通り放熱防止用被覆体25をステンレスにより形成しているが、放熱防止用被覆体25の素材としてはこれに限らない。例えば耐熱性樹脂のような断熱性のある素材で放熱防止用被覆体25を形成すれば、横面状ヒータ８からの熱を効率よく遮断して外方に逃げないようにすることができ、放熱防止用被覆体25の厚みを薄くしたり、形状をコンパクトにしたりすることが可能となる。
【００３４】
さらに、本実施例では、最上段の横面状ヒータ８にのみ放熱防止用被覆体25を設けているが、これに限らず、放熱防止用被覆体25は、最上段の横面状ヒータ８と同じく温度が上昇しにくい最下段の横面状ヒータ８にも設けることができる。そして、最上段の横面状ヒータ８と最下段の横面状ヒータ８とのどちらか一方にのみ、或いは両方に放熱防止用被覆体25を設けることができる。
【００３５】
ところで、本実施例では、上述した構成以外にも、その他の構成として横面状ヒータ８のスライド・収容構造を設けている。横面状ヒータ８のスライド・収容構造とは、すなわち、横面状ヒータ８と、同横面状ヒータ８を支持するヒータ支持体７との構造のことであり、以下においてかかる横面状ヒータ８とヒータ支持体７との構造を詳説する。
【００３６】
なお、横面状ヒータ８は、炉本体１の内部への挿入時に最初に挿入される側を先端部8a、他端側を後端部8bとし、ヒータ支持体７は、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に収容したときに同横面状ヒータ８の先端部8aを支持する側を奥側部7a、他端側を前側部7bとして説明する。
【００３７】
横面状ヒータ８は、図７、図８に示すように、矩形板状に形成した面状ヒータ２４を、同じく矩形板状に形成した上下２枚の赤外線放射板２３，２３によって両側から挟むと共に、かかる面状ヒータ２４及び両赤外線放射板２３，２３の周縁部を断面視略コ字状のヒータ固定枠１１で共に挟んでボルト１２で固定することにより、単一の横面状ヒータ８となしている。
【００３８】
また、横面状ヒータ８の先端側左右端部には、後述するヒータ支持体７のヒータ支持面7c上をスライド可能なステンレス製のヒータ側転動輪13をそれぞれ取り付けている。
【００３９】
すなわち、図７、図８に示すように、断面視略コ字状である前記ヒータ固定枠11の縦片部11aに、ヒータ側転動輪13をステンレス製の回転軸14を介して回転自在に取り付けており、しかも、かかるヒータ側転動輪13の底部を横面状ヒータ８の下端よりも下方に位置させている。なお、ヒータ側転動輪13は、ヒータ支持体７との摩擦や焼き付きを確実に防止すべく、耐熱性樹脂により形成してもよい。
【００４０】
ヒータ支持体７は、ステンレス製であり、図７、図８に示すように、縦面状ヒータ２の内側面に当接する第１縦片部7dと、同第１縦片部7dの下端から炉本体１の中央方向に向かって水平に突出する横片部7eと、同横片部7eの突出先端から下方に向かって垂直に垂下する第２縦片部7fとから正面視段状に形成すると共に、第１縦片部7dをボルト15で固定することにより縦面状ヒータ２に取り付けている。そして、前記横片部7eの上面を、実際に横面状ヒータ８と当接して同横面状ヒータ８を支持するヒータ支持面7cとしている。
【００４１】
また、ヒータ支持体７の前側部7bには、矩形板状の転動輪取付片16を前記第２縦片部7fと平行となるように横片部7eに垂設して、同転動輪取付片1 6と第２縦片部7fとの間に上記横面状ヒータ８を案内可能なステンレス製の支持体側転動輪17を軸架している。なお、支持体側転動輪17は、横面状ヒータ８との摩擦や焼き付きを確実に防止すべく、耐熱性樹脂により形成してもよい。図中、18は支持体側転動輪17との焼き付きを防止すべく耐熱性樹脂により形成したカラー、19は一端に把持部19aを設けたステンレス製の回転軸である。
【００４２】
図５、図６に示すように、前記支持体側転動輪17の回転軸19は、上記転動輪取付片16と第２縦片部7fとにそれぞれ設けられた側面視略門状の軸受け孔20に係止される。すなわち、前記支持体側転動輪17の回転軸19は、略門状を成す軸受け孔20の２つの縦孔部20a,20cのどちらかに係止されるとともに、両縦孔部20a,20cを連絡する横孔部20bを介して両縦孔部20a,20c間を自由に移動可能である。
【００４３】
しかも、両縦孔部20a,20cは、一方（ここでは前側の縦孔部）が他方（ここでは奥側の縦孔部）よりも下方に長く伸延していて段違いになっており、より長い縦孔部を下段縦孔部20a、他方を上段縦孔部20cとすると、前記支持体側転動輪17は、その回転軸19を下段縦孔部20 aと上段縦孔部20cとのどちらに係止するかによって上下位置が変わることとなる。かかる構成により、本実施例では、支持体側転動輪17を上下に自在に移動できるようにしている。
【００４４】
特に、支持体側転動輪17の直上方となるヒータ支持体７の横片部7eは開口させており、回転軸19を上段縦孔部20cに係止したときには、支持体側転動輪17の頂部がヒータ支持面7cよりも上方に位置し、回転軸19を下段縦孔部20aに係止したときには、支持体側転動輪17の頂部がヒータ支持面7cよりも下方に位置するようにしている。
【００４５】
このとき、軸受け孔20を設けた転動輪取付片16と第２縦片部7fとは、支持体側転動輪17の回転軸19を上下移動自在に支持する輪支持部21として作動し、簡単な構成でありながら確実に支持体側転動輪17を上下に移動させることができる。しかも、簡単な構成であるが故に、破損しにくく、且つ低コストで設けることができる。
【００４６】
また、ヒータ支持体７の奥側部７ａには、横片部７ｅの幅員の第１縦片部７ｄ側を奥側部７ａに向かって下方に傾斜させて、ヒータ側転動輪１３を沈降状態に収納するための転動輪収納凹部２２を設けている。
【００４７】
そして、本実施例では、横面状ヒータ８のスライド・収容構造を上述したような構造としたことにより、横面状ヒータ８は、以下のようにして炉本体１の内部に挿脱され（スライドされ）、載置される（収容される）。
【００４８】
すなわち、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に挿入するときには、図５に示すように、まず、支持体側転動輪17の回転軸19を軸受け孔20の上段縦孔部20cに係止して、図７（ａ）に示すように、支持体側転動輪17の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面7cよりも上方に突出させる。そして、図８（ａ）に示すように、ヒータ側転動輪13をヒータ支持体７のヒータ支持面7c上に載置すると共に、図７（ａ）に示すように、前記支持体側転動輪17の頂部に横面状ヒータ８の下面を当接させて、図９（ａ）に示すように、両転動輪13,17を転動させつつ横面状ヒータ８を炉本体１の内部へ挿入する。
【００４９】
このとき、横面状ヒータ８は両転動輪13,17の転動によって炉本体１の内部へと繰り出されるので、横面状ヒータ８の重量が大きかったとしても、大きな抵抗を受けることなく円滑に横面状ヒータ８を炉本体１の内部へ挿入することができる。
【００５０】
そして、横面状ヒータ８が炉本体１の内部へ深く挿入されて、ヒータ側転動輪13がヒータ支持体７の転動輪収納凹部22まで行き着くと、ヒータ側転動輪13は転動輪収納凹部22の傾斜面22aに沿って転動しながら次第に下降し、最終的には、図８（ｂ）に示すように、これまでヒータ側転動輪13によってヒータ支持面7cの上方に持ち上げられていた横面状ヒータ８の先端部8aが、ヒータ支持面7cに当接する。
【００５１】
このように、ヒータ側転動輪13が転動輪収納凹部22に沈降状態に収容されたら、次に、支持体側転動輪17の回転軸19を軸受け孔20の上段縦孔部20cから下段縦孔部20aへと移動させて、図７（ｂ）に示すように、支持体側転動輪17の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面7cよりも下方に沈降させる。これにより、図７（ｂ）、図８（ｂ）、図９（ｂ）に示すように、横面状ヒータ８の下面をヒータ支持体７のヒータ支持面7cにぴったりと密着させて、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に収容・載置することができる。
【００５２】
しかも、前述の如く、横面状ヒータ８の下面とヒータ支持体７のヒータ支持面7cとの間には隙間が発生していないので、各横面状ヒータ８,８間に形成されるガラス基板加熱空間Ｔ同士の間で、空気の流通がほとんど生じず、各ガラス基板加熱空間Ｔにおける温度分布にむらが生じるのを防止することができる。
【００５３】
なお、図６に示すような収容状態にある横面状ヒータ８を炉本体１の内部から引き出す場合には、軸受け孔20の下段縦孔部20aに係止されている支持体側転動輪17の回転軸19を上段縦孔部20cへと移動させて、図７（ａ）に示すように、再び支持体側転動輪17の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面7cよりも上方に突出させると共に、ヒータ支持体７の転動輪収納凹部22に沈降状態に収容されているヒータ側転動輪13を、横面状ヒータ８を引き出しながら転動輪収納凹部22の傾斜面22aに沿って転動させて、次第に転動輪収納凹部22の外部に上昇させる。
【００５４】
そして、図８（ａ）に示すように、ヒータ側転動輪13をヒータ支持体７のヒータ支持面7c上に載置すると共に、図７（ａ）に示すように、前記支持体側転動輪17の頂部に横面状ヒータ８の下面を当接させて、図９（ａ）に示すように、両転動輪13,17の転動によって横面状ヒータ８を炉本体１の外部へと繰り出すのである。
【００５５】
このときも、前記横面状ヒータ８の挿入時と同様に、横面状ヒータ８の重量が大きかったとしても、大きな抵抗を受けることなく円滑に横面状ヒータ８を炉本体１の外部へ引き出すことができる。
【００５６】
なお、図７に示すように、支持体側転動輪17とそのカラー1 8とはある程度の接触面積を有するので、既に焼成炉Ａを作動させたことがあり、炉本体１の内部を加熱したことがある場合には、炉本体１の内部から横面状ヒータ８を引き出そうとしても、支持体側転動輪17とカラー18とが焼き付いていて、支持体側転動輪17を転動できないおそれがある。しかし、本実施例では、前述したように、焼き付きを防止すべく支持体側転動輪17のカラー18を耐熱性樹脂製としているので、例え炉本体１の内部を加熱した後であったとしても、支持体側転動輪17を円滑に転動させることができる。
【００５７】
【発明の効果】
本発明は、上記してきた態様で実施されるものであり、下記の効果を奏する。
【００５８】
（１）請求項１記載の本発明では、炉体内部に面状ヒータを多段に設けたガラス基板用熱処理装置において、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータに、放熱を防止するための放熱防止用被覆体を設けたので、他の面状ヒータと比べて温度が上昇しにくい最上段や最下段の面状ヒータも、他の面状ヒータと同様に温度を上昇させることができ、炉体内部の温度分布にむらが生じるのを防止することができる。従って、炉体内部に収容された全てのガラス基板を均一に加熱して、温度差による品質のばらつきを防止することができ、歩留まりを向上させることができる。
【００５９】
（２）請求項２記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータの外側面四隅に設けたので、特に温度が上昇しにくい面状ヒータの四隅からの放熱を効果的に防止して、効率よく最上段や最下段の面状ヒータ全体の温度を上昇させることができると共に、最上段や最下段の面状ヒータにおける温度分布のむらを防止することができる。従って、最上段や最下段の面状ヒータの近傍に位置するガラス基板の一側面全体を均一に加熱して、温度差によるガラス基板の撓みや歪みを防ぐことができ、効率よく歩留まりを向上させることができる。
【００６０】
（３）請求項３記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、断熱性素材から形成したので、面状ヒータからの熱を効率よく遮断して外方に逃げないようにすることができ、放熱防止用被覆体の厚みを薄くしたり、形状をコンパクトにしたりすることが可能となる。
【００６１】
（４）請求項４記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、下端開口の箱状に形成したので、面状ヒータからの熱を効率よく放熱防止用被覆体の内部に蓄積することができ、面状ヒータの温度を一層効率よく上昇させることができる。しかも、単純な構造なので、コストをかけることなく簡単に機能性の高い放熱防止用被覆体を設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉の正面断面図である。
【図２】放熱防止用被覆体を示す正面断面視による説明図である。
【図３】放熱防止用被覆体の取付位置を示す斜視による説明図である。
【図４】横面状ヒータの各部位を示す説明図である。
【図５】本発明にかかるガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉におけるヒータのスライド状態を示す図であり、（ａ）は側面視による全体説明図、（ｂ）はｉの拡大説明図、（ｃ）はiiの拡大説明図である。
【図６】同焼成炉におけるヒータの収容状態を示す図であり、（ａ）は側面視による全体説明図、（ｂ）はiiiの拡大説明図、（ｃ）はivの拡大説明図である。
【図７】同焼成炉におけるヒータのスライド・収容状態を示す図であり、（ａ）はＩ−Ｉ線における断面説明図、（ｂ）はIII−III線における断面説明図である。
【図８】同焼成炉におけるヒータのスライド・収容状態を示す図であり、（ａ）はII−II線における断面説明図、（ｂ）はIV−IV線における断面説明図である。
【図９】ヒータの側面視による説明図であり、（ａ）はスライド状態を示す側面視による模式図、（ｂ）は収容状態を示す側面視による模式図である。
【図１０】従来のガラス基板用熱処理装置の正面断面図である。
【符号の説明】
Ａ焼成炉
Ｂガラス基板
Ｔガラス基板加熱空間
１炉本体
25 放熱防止用被覆体[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a heat treatment apparatus for glass substrates, for example, to a heat treatment apparatus used for firing or drying a glass substrate for a liquid crystal panel or a glass substrate for a color filter attached to the liquid crystal panel.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, heat treatment for electronic components used for baking and drying of a glass substrate B for liquid crystal display (LCD) on which an alignment film and a deflection film are formed and a glass substrate B for color filter (CF) used in the LCD. As an apparatus, there was a far-infrared radiant heating type heat treatment apparatus X using radiant heat conduction as shown in FIG. 10 (see Patent Document 1).
[0003]
In the heat treatment apparatus X, a box-shaped furnace body 101 having a heat insulating material (not shown) attached to the inner peripheral surface is provided, and a planar heater 112 is provided inside the furnace body 101 by an infrared radiation plate 111. The planar heater complex formed sandwiched from both sides was erected at a predetermined interval from the side wall 101a of the furnace body 101.
[0004]
Further, when such a vertical heater complex is a vertical heater 102, a plurality of air supply holes 103 are provided in one of the opposed left and right vertical heaters 102, 102, and a plurality of exhaust holes 104 are provided in the other. The air supply port 105 is provided on one of the left and right side walls 101a, 101a facing the furnace body 101 and the exhaust port 106 is provided on the other side so that the direction corresponds to the supply / exhaust holes 103, 104. .
[0005]
In addition, the vertical heaters 102, 102 on the left and right sides opposed to each other are provided with multi-stage front U-shaped heater supports 107 that extend in the front-rear direction, and are horizontally laid down by the heater supports 107. The planar heater composite in a state (hereinafter referred to as a horizontal heater 10 8) is supported so as to be detachable, and a glass substrate heating space t is formed between the horizontal heaters 108 and 108.
[0006]
Further, in each glass substrate heating space t, a quartz tube 109 for horizontally supporting the glass substrate B is extended in the front-rear direction, and the quartz tube 109 is disposed above the horizontal heater 108. It was supported by the support 110.
[0007]
In the heat treatment apparatus X having the above-described configuration, the air inside the furnace main body 101 is replaced little by little through the supply / exhaust ports 105, 106 and the supply / exhaust holes 103, 104 to remove volatile dust from the glass substrate B. While being discharged, the glass substrate B in each glass substrate heating space t was heat-treated.
[0008]
[Patent Document 1]
Utility Model Registration No. 30663387 [0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above conventional heat treatment apparatus, since the horizontal heaters are provided in multiple stages inside the furnace main body, other horizontal surface shapes can be formed only in one direction, such as the uppermost and lowermost horizontal heaters. In a horizontal heater in which no heater is located, heat is more likely to escape and the temperature is less likely to rise than in a horizontal heater in which other horizontal heaters are located in both directions.
[0010]
Therefore, the temperature distribution inside the furnace body is uneven, and the glass substrate heating space located near the uppermost and lowermost horizontal heaters is housed inside compared to other glass substrate heating spaces. The glass substrate could not be heated sufficiently, resulting in variations in the quality of the glass substrate.
[0011]
Therefore, for the bottom, top and bottom horizontal heaters, where the temperature does not rise easily, it may be possible to set the temperature of the planar heater higher from the beginning, but the control circuit becomes complicated and the power consumption increases. Will also increase the cost. Accordingly, there has been a demand for a heat treatment apparatus that can raise the temperature of the uppermost and lowermost horizontal sheet heaters in the same manner as other sheet heaters at low cost.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
Therefore, in the present invention according to claim 1, in the heat treatment apparatus for glass substrates in which the planar heaters are provided in multiple stages in the furnace body, heat is dissipated at the four corners of the outer surface of the planar heater provided at the uppermost stage and / or the lowermost stage. In order to prevent this, a heat-radiation-preventing covering body formed in a box shape with one end opening is provided so that heat from the planar heater can be accumulated inside .
[0013]
Moreover, in this invention of Claim 2, the said coating body for heat radiation prevention was formed from the heat insulating material .
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention provides a glass substrate heat treatment apparatus in which a planar heater inside the furnace body in multiple stages, the outer surface corners of the uppermost and / or a planar heater provided at the bottom, planar in order to prevent heat dissipation It is provided with a heat radiation preventing covering formed in a box shape with one end opening so that heat from the heater can be accumulated inside .
[0017]
That is, when the planar heaters are provided in multiple stages in the furnace body, the uppermost and lowermost planar heaters are less likely to rise in temperature than other planar heaters, and the temperature distribution inside the furnace body is uneven. So that heat from the planar heater can be stored inside the four corners of the outer surface of the planar heater provided at the uppermost and / or lowermost stage to prevent heat dissipation from the planar heater. A heat-radiation-preventing covering formed in a box shape with one end opening is provided so that heat does not escape from the planar heater.
[0018]
Thus, by preventing heat dissipation from the planar heater, the uppermost and lowermost planar heaters can increase the temperature in the same manner as other planar heaters, and the temperature distribution in the furnace body is uneven. Can be prevented from occurring. In particular, by providing at the four corners of the outer surface of the planar heater provided at the uppermost and / or lowermost stages, the temperature of the entire uppermost and lowermost planar heaters can be increased efficiently, It is possible to prevent uneven temperature distribution in the uppermost and lowermost planar heaters. Therefore, all the glass substrates accommodated in the furnace body are heated evenly over the entire side surface of the glass substrate , particularly in the vicinity of the uppermost and lowermost planar heaters, and quality variations due to temperature differences ( The glass substrate can be prevented from being bent or distorted due to the temperature difference, and the yield can be improved efficiently . Further, the heat from the planar heater can be efficiently accumulated inside the heat dissipation preventing covering, and the temperature of the planar heater can be increased more efficiently. In addition, since the structure is simple, it is possible to easily provide a highly functional covering for preventing heat dissipation without incurring costs.
[0019]
The glass substrate to be heat-treated by this heat treatment apparatus is a liquid crystal display (LCD), a color filter (CF) for LCD, etc., and this heat treatment apparatus is suitable for heat-treating those used for electronic parts. Can be used. Further, as the planar heater, for example, a planar heater that radiates far infrared rays is used.
[0021]
Further, if the covering for heat radiation is formed of a heat insulating material, it can efficiently block the heat from the planar heater so that it does not escape outward. It becomes possible to make it thin or make the shape compact.
[0023]
【Example】
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0024]
FIG. 1 is a front sectional view of a firing furnace A as one embodiment of a heat treatment apparatus for glass substrates according to the present invention. As shown in the figure, in the firing furnace A in this embodiment, a furnace body formed in a box shape. A heat insulating material (not shown) is attached to the inner peripheral surface of 1, and a planar heater is erected in the furnace body 1 at a predetermined interval from the side wall 1 a of the furnace body 1.
[0025]
When the vertical heater 2 is the vertical heater 2, a plurality of air supply holes 3 are formed in one of the opposed vertical heaters 2, 2, and a plurality of exhaust holes 4 are formed in the other. In addition, an air supply port 5 is provided on one of the opposed left and right side walls 1a, 1a of the furnace body 1 and an exhaust port 6 is provided on the other side so that the direction corresponds to the supply / exhaust holes 3, 4. .
[0026]
The left and right vertical heaters 2 and 2 are each provided with a plurality of rail-like heater supports 7 extending in the front-rear direction, and the heater supports 7 are placed in a horizontal state. A flat heater (hereinafter referred to as a horizontal heater 8) is detachably supported, and a glass substrate heating space T is formed between the horizontal heaters 8 and 8. As shown in the drawing, in each glass substrate heating space T, supply / exhaust ports 5 and 6 formed in the vertical heater 2 are opened.
[0027]
Further, in each glass substrate heating space T, a quartz tube for horizontally supporting the glass substrate B is extended in the front-rear direction, and the quartz tube is supported by a quartz tube disposed above the horizontal heater. It is supported by the body. The structure of the quartz tube and the quartz tube support is the same as that shown in FIG. 10, and is not shown in FIG.
[0028]
The firing furnace A in the present embodiment has the above-described configuration. Here, the heat radiation prevention covering 25 for preventing heat radiation from the horizontal heater 8 which is the gist of the present invention will be described in more detail.
[0029]
As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the heat dissipation covering 25 is made of stainless steel in a box shape with a lower end opening, and is disposed at each of the four corners of the outer surface of the horizontal heater 8 provided at the top. ing. A mounting portion 25a extending in a flange shape along the outer surface of the uppermost horizontal heater 8 is formed at the lower end opening edge of each heat radiation preventing covering 25. The mounting portion 25a is connected to the bolt 26 And fixed to the horizontal heater 8.
[0030]
Thus, in the present embodiment, since the heat radiation prevention covering 25 is provided on the uppermost horizontal heater 8, there are no other horizontal heaters 8 only on the lower side, so Even in the uppermost horizontal heater 8, the temperature of which is less likely to rise compared to the horizontal heater 8 sandwiched between the other horizontal heaters 8, the heat is prevented and the temperature is the same as that of the other horizontal heaters 8. Can be raised. Then, uneven temperature distribution inside the furnace body 1 is prevented, all the glass substrates B accommodated in the furnace body 1 are heated uniformly, and the quality of the glass substrate B varies due to the temperature difference. Can be prevented from occurring.
[0031]
In particular, in the present embodiment, the heat radiation preventing covering 25 is formed in a box shape with a lower end opening, so that heat from the lateral heater 8 is efficiently accumulated inside the heat radiation preventing covering 25, The temperature of the horizontal heater 8 can be raised efficiently. In addition, since the structure is simple, for example, the heat radiation preventing covering 25 can be easily attached to an existing glass substrate heat treatment apparatus at low cost.
[0032]
Further, in this embodiment, the heat radiation preventing covering 25 is provided at the four corners of the horizontal heater 8, but this is because the horizontal heater 8 is placed at 1 to 30 as shown in FIG. This is because the four corners 1, 5, 26, and 30 are less likely to rise in temperature than the other parts, and in the uppermost horizontal heater 8 as in this embodiment, the four corners In the case where heat dissipation from the heat is mainly prevented, the temperature of the uppermost horizontal heater 8 can be increased efficiently, and uneven temperature distribution in the uppermost horizontal heater 8 can be prevented. it can.
[0033]
In the present embodiment, as described above, the heat radiation prevention covering body 25 is made of stainless steel, but the material of the heat radiation prevention covering body 25 is not limited thereto. For example, if the heat-dissipating covering 25 is formed of a heat-insulating material such as a heat-resistant resin, the heat from the horizontal heater 8 can be efficiently blocked so that it does not escape to the outside. It is possible to reduce the thickness of the heat dissipation prevention covering 25 or to make the shape compact.
[0034]
Furthermore, in the present embodiment, the heat radiation prevention covering 25 is provided only on the uppermost horizontal heater 8. However, the heat dissipation prevention covering 25 is not limited to this, and the uppermost horizontal heater 8 is not limited to this. Similarly, it is also possible to provide the lowermost horizontal heater 8 where the temperature does not easily rise. Then, the heat radiation preventing covering 25 can be provided only on one or both of the uppermost horizontal heater 8 and the lowermost horizontal heater 8.
[0035]
By the way, in this embodiment, in addition to the above-described configuration, a slide / housing structure for the horizontal heater 8 is provided as another configuration. The sliding / accommodating structure of the horizontal heater 8 is a structure of the horizontal heater 8 and the heater support 7 that supports the horizontal heater 8, and will be described below. 8 and the heater support 7 will be described in detail.
[0036]
Note that the lateral heater 8 has a front end 8a and a rear end 8b at the first insertion side when inserted into the furnace body 1, and the heater support 7 is a lateral heater 8. The side that supports the front end portion 8a of the horizontal heater 8 is described as the back side portion 7a and the other end side as the front side portion 7b.
[0037]
As shown in FIGS. 7 and 8, the horizontal heater 8 is sandwiched from two sides of a planar heater 24 formed in a rectangular plate shape by two upper and lower infrared radiation plates 23 , 23 that are also formed in a rectangular plate shape. At the same time, the peripheral portions of the planar heater 24 and the two infrared radiation plates 23 , 23 are sandwiched together by the heater fixing frame 11 having a substantially U-shaped cross-sectional view and fixed with the bolts 12, thereby providing a single lateral heater 8. It is done.
[0038]
Further, stainless-side heater-side rolling wheels 13 slidable on a heater support surface 7c of a heater support 7 to be described later are attached to the left and right ends of the front surface side of the horizontal heater 8.
[0039]
That is, as shown in FIGS. 7 and 8, the heater-side rolling wheel 13 can be freely rotated through a stainless steel rotating shaft 14 in the vertical piece portion 11 a of the heater fixing frame 11 having a substantially U-shaped cross section. In addition, the bottom of the heater-side rolling wheel 13 is positioned below the lower end of the horizontal heater 8. The heater-side rolling wheel 13 may be formed of a heat-resistant resin so as to reliably prevent friction and seizure with the heater support 7.
[0040]
The heater support 7 is made of stainless steel, as shown in FIGS. 7 and 8, from the first vertical piece 7d that contacts the inner surface of the vertical heater 2 and from the lower end of the first vertical piece 7d. Formed in a frontal step shape from a horizontal piece 7e that protrudes horizontally toward the center of the furnace body 1 and a second vertical piece 7f that hangs vertically downward from the protruding tip of the horizontal piece 7e. At the same time, the first vertical piece 7d is fixed to the vertical heater 2 by fixing with a bolt 15. The upper surface of the horizontal piece 7e is a heater support surface 7c that actually contacts the horizontal heater 8 and supports the horizontal heater 8.
[0041]
Further, a rectangular plate-shaped rolling wheel mounting piece 16 is suspended from the horizontal piece portion 7e so as to be parallel to the second vertical piece portion 7f on the front side portion 7b of the heater support 7 so as to be mounted on the rolling wheel. Between the piece 16 and the second vertical piece 7f, a support-side rolling wheel 17 made of stainless steel capable of guiding the horizontal heater 8 is pivoted. The support-side rolling wheel 17 may be formed of a heat-resistant resin in order to reliably prevent friction and seizure with the horizontal heater 8. In the figure, 18 is a collar formed of a heat-resistant resin to prevent seizure with the support-side rolling wheel 17, and 19 is a stainless steel rotating shaft provided with a grip portion 19a at one end.
[0042]
As shown in FIGS. 5 and 6, the rotation shaft 19 of the support-side rolling wheel 17 is a bearing hole 20 having a substantially portal shape in side view provided in the rolling wheel mounting piece 16 and the second vertical piece portion 7 f, respectively. It is locked to. That is, the rotating shaft 19 of the support-side rolling wheel 17 is locked to one of the two vertical hole portions 20a and 20c of the bearing hole 20 having a substantially gate shape, and the vertical hole portions 20a and 20c are connected to each other. It is possible to move freely between the vertical hole portions 20a and 20c via the horizontal hole portion 20b.
[0043]
In addition, both the vertical hole portions 20a and 20c have a step difference in which one side (here, the front side vertical hole portion) extends longer than the other side (here, the back side vertical hole portion). Assuming that the vertical hole portion is the lower vertical hole portion 20a and the other is the upper vertical hole portion 20c, the support-side rolling wheel 17 has its rotation shaft 19 associated with either the lower vertical hole portion 20a or the upper vertical hole portion 20c. The vertical position will change depending on whether to stop. With this configuration, in this embodiment, the support-side rolling wheel 17 can be freely moved up and down.
[0044]
In particular, the horizontal piece 7e of the heater support 7 that is directly above the support-side rolling wheel 17 is opened, and when the rotary shaft 19 is locked in the upper vertical hole 20c, the top of the support-side rolling wheel 17 is When positioned above the heater support surface 7c and the rotary shaft 19 is locked in the lower vertical hole portion 20a, the top of the support-side rolling wheel 17 is positioned below the heater support surface 7c.
[0045]
At this time, the rolling wheel mounting piece 16 provided with the bearing hole 20 and the second vertical piece portion 7f operate as a wheel support portion 21 that supports the rotating shaft 19 of the support-side rolling wheel 17 so as to be movable up and down. Although it is a structure, the support body side rolling wheel 17 can be moved up and down reliably. And since it is a simple structure, it is hard to be damaged and can be provided at low cost.
[0046]
Further, the heater side rolling wheel 13 is set in a sinking state on the back side portion 7a of the heater support 7 by inclining the first vertical piece 7d side of the width of the horizontal piece portion 7e downward toward the back side portion 7a. A rolling wheel storage recess 22 is provided for storage.
[0047]
In the present embodiment, the horizontal heater 8 is inserted into and removed from the furnace body 1 in the following manner by adopting the structure as described above for the slide / housing structure of the horizontal heater 8 ( Slided) and placed (accommodated).
[0048]
That is, when the horizontal heater 8 is inserted into the furnace body 1, first, as shown in FIG. 5, the rotating shaft 19 of the support-side rolling wheel 17 is locked to the upper vertical hole portion 20 c of the bearing hole 20. Then, as shown in FIG. 7A, the top of the support-side rolling wheel 17 is protruded upward from the heater support surface 7 c of the heater support 7. As shown in FIG. 8A, the heater-side rolling wheel 13 is placed on the heater support surface 7c of the heater support 7, and as shown in FIG. As shown in FIG. 9A, the horizontal heater 8 is inserted into the furnace main body 1 while rolling the rolling wheels 13 and 17 as shown in FIG. To do.
[0049]
At this time, since the horizontal heater 8 is drawn out into the furnace body 1 by the rolling of the rolling wheels 13 and 17, even if the weight of the horizontal heater 8 is large, it is smoothly received without receiving a large resistance. The horizontal heater 8 can be inserted into the furnace body 1.
[0050]
Then, when the horizontal heater 8 is inserted deeply into the furnace body 1 and the heater side rolling wheel 13 reaches the rolling wheel storage recess 22 of the heater support 7, the heater side rolling wheel 13 becomes the rolling wheel storage recess 22. As shown in FIG. 8 (b), the roller gradually descends while rolling along the inclined surface 22 a, and has finally been lifted above the heater support surface 7 c by the heater-side rolling wheel 13. The tip 8a of the planar heater 8 abuts on the heater support surface 7c.
[0051]
As described above, when the heater-side rolling wheel 13 is housed in the rolling-wheel housing recess 22 in a settled state, the rotation shaft 19 of the support-side rolling wheel 17 is then moved from the upper vertical hole portion 20c of the bearing hole 20 to the lower vertical hole portion. It moves to 20a, and as shown in FIG.7 (b), the top part of the support body side rolling wheel 17 is settled below rather than the heater support surface 7c of the heater support body 7. FIG. As a result, as shown in FIGS. 7B, 8B, and 9B, the lower surface of the horizontal heater 8 is brought into close contact with the heater support surface 7c of the heater support 7 so that the The planar heater 8 can be accommodated and placed inside the furnace body 1.
[0052]
Moreover, as described above, since no gap is generated between the lower surface of the horizontal heater 8 and the heater support surface 7c of the heater support 7, the glass formed between the horizontal heaters 8 and 8 is formed. Air flow hardly occurs between the substrate heating spaces T, and it is possible to prevent uneven temperature distribution in each glass substrate heating space T.
[0053]
When the horizontal heater 8 in the accommodated state as shown in FIG. 6 is pulled out from the inside of the furnace body 1, the support-side rolling wheel 17 locked to the lower vertical hole portion 20 a of the bearing hole 20 is used. The rotary shaft 19 is moved to the upper vertical hole portion 20c, and the top of the support-side rolling wheel 17 is again protruded above the heater support surface 7c of the heater support 7 as shown in FIG. Then, the heater-side rolling wheel 13 accommodated in the sinking state in the rolling wheel housing recess 22 of the heater support 7 is rolled along the inclined surface 22a of the rolling wheel housing recess 22 while the horizontal heater 8 is pulled out. Then, it is gradually raised to the outside of the rolling wheel housing recess 22.
[0054]
As shown in FIG. 8A, the heater-side rolling wheel 13 is placed on the heater support surface 7c of the heater support 7, and as shown in FIG. The lower surface of the horizontal heater 8 is brought into contact with the top of the horizontal heater 8, and the horizontal heater 8 is fed out of the furnace body 1 by the rolling of both rolling wheels 13, 17 as shown in FIG. It is.
[0055]
At this time, similarly to the insertion of the horizontal heater 8, even if the weight of the horizontal heater 8 is large, the horizontal heater 8 can be smoothly moved to the outside of the furnace body 1 without receiving a large resistance. It can be pulled out.
[0056]
As shown in FIG. 7, since the support-side rolling wheel 17 and its collar 18 have a certain contact area, the firing furnace A has already been operated and the interior of the furnace body 1 has been heated. If there is, the support-side rolling wheel 17 and the collar 18 are seized even if it tries to pull out the horizontal heater 8 from the inside of the furnace body 1, and the support-side rolling wheel 17 may not roll. However, in this embodiment, as described above, since the collar 18 of the support-side rolling wheel 17 is made of a heat-resistant resin so as to prevent seizure, even after the inside of the furnace body 1 is heated, The support-side rolling wheel 17 can be smoothly rolled.
[0057]
【The invention's effect】
The present invention is carried out in the mode described above, and has the following effects.
[0058]
(1) In the present invention described in claim 1, in the heat treatment apparatus for glass substrates in which the planar heaters are provided in multiple stages in the furnace body, heat radiation is prevented in the planar heaters provided in the uppermost stage and / or the lowermost stage. Because the heat-dissipation-preventing covering is provided for the uppermost and lowermost planar heaters, the temperature of which is less likely to rise compared to other planar heaters, as well as other planar heaters. It is possible to prevent unevenness in the temperature distribution inside the furnace body. Therefore, all the glass substrates accommodated in the furnace body can be uniformly heated to prevent the quality variation due to the temperature difference, and the yield can be improved.
[0059]
(2) In the present invention described in claim 2, since the heat radiation preventing covering is provided at the four corners of the outer surface of the sheet heater provided at the uppermost stage and / or the lowermost stage, the surface shape in which the temperature is not particularly likely to rise. Heat from the four corners of the heater can be effectively prevented, the temperature of the entire uppermost and lowermost planar heaters can be increased efficiently, and uneven temperature distribution in the uppermost and lowermost planar heaters can be prevented. Can be prevented. Therefore, the entire one side surface of the glass substrate located in the vicinity of the uppermost and lowermost planar heaters can be uniformly heated to prevent the glass substrate from being bent or distorted due to a temperature difference, thereby efficiently improving the yield. be able to.
[0060]
(3) In the present invention according to claim 3, since the heat radiation preventing covering is formed of a heat insulating material, it is necessary to efficiently block the heat from the planar heater so as not to escape outward. It is possible to reduce the thickness of the heat dissipation covering and to make the shape compact.
[0061]
(4) In the present invention according to claim 4, since the heat radiation prevention covering body is formed in a box shape having a lower end opening, heat from the planar heater is efficiently accumulated inside the heat radiation prevention covering body. And the temperature of the planar heater can be increased more efficiently. In addition, since the structure is simple, it is possible to easily provide a highly functional covering for preventing heat dissipation without incurring costs.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front sectional view of a firing furnace as an embodiment of a heat treatment apparatus for glass substrates according to the present invention.
FIG. 2 is an explanatory view in front sectional view showing a cover for heat radiation prevention.
FIG. 3 is a perspective view illustrating a mounting position of a heat dissipation preventing covering.
FIG. 4 is an explanatory view showing each part of a horizontal heater.
FIGS. 5A and 5B are diagrams showing a sliding state of a heater in a firing furnace as an embodiment of the heat treatment apparatus for glass substrates according to the present invention, FIG. 5A is an overall explanatory view in a side view, and FIG. An explanatory view, (c) is an enlarged explanatory view of ii.
6A and 6B are diagrams showing a housing state of the heater in the firing furnace, in which FIG. 6A is an overall explanatory view in a side view, FIG. 6B is an enlarged explanatory view of iii, and FIG. .
7A and 7B are views showing a sliding / accommodating state of the heater in the firing furnace, where FIG. 7A is a cross-sectional explanatory view taken along line II, and FIG. 7B is a cross-sectional explanatory view taken along line III-III.
FIGS. 8A and 8B are views showing a sliding / accommodating state of the heater in the firing furnace, wherein FIG. 8A is a cross-sectional explanatory view taken along line II-II, and FIG. 8B is a cross-sectional explanatory view taken along line IV-IV.
FIGS. 9A and 9B are explanatory views of the heater as viewed from the side, FIG. 9A is a schematic diagram of the sliding state as viewed from the side, and FIG. 9B is a schematic diagram of the housing as viewed from the side.
FIG. 10 is a front sectional view of a conventional glass substrate heat treatment apparatus.
[Explanation of symbols]
A firing furnace B glass substrate T glass substrate heating space 1 furnace body
25 Heat shield

Claims

In the heat treatment apparatus for glass substrates provided with multi-stage planar heaters inside the furnace body,
Heat dissipation prevention coating formed in a box shape with one end opening so that heat from the planar heater can be stored inside the four corners of the outer surface of the planar heater provided at the top and / or bottom. A heat treatment apparatus for a glass substrate, characterized in that a body is provided.

2. The glass substrate heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the heat radiation preventing covering is made of a heat insulating material .