JP4378247B2

JP4378247B2 - 圧子先端検査装置及び圧子先端検査方法

Info

Publication number: JP4378247B2
Application number: JP2004252653A
Authority: JP
Inventors: 健司澤
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2004-08-31
Filing date: 2004-08-31
Publication date: 2009-12-02
Anticipated expiration: 2024-08-31
Also published as: JP2006071352A

Description

本発明は、圧子先端検査装置及び圧子先端検査方法に関する。

従来から、圧子を使用して、試料表面に荷重を負荷し、くぼみを形成させることによって、試料の硬さを測定する硬さ試験機が使用されている。具体的には、例えば、硬さ試験機は、荷重レバーを有しており、荷重レバーの一方の端部には圧子が備えられ、もう一方の端部には電磁力を発生させるフォースコイルが備えられている。フォースコイルで発生した力は、荷重レバーを介して圧子に伝達される。この荷重レバーを介して伝達された力によって、圧子は、試料を押圧し、試料にくぼみを形成させる。このときの圧子の押し込み深さや、このとき形成したくぼみの大きさなどから、試料の硬さや強度特性などを求めることができる（例えば、特許文献１参照）。
特開２００１−１２４６８１

ところで、圧子の先端部は、円錐形状や、三角錐形状、四角錐形状などを成している。上述のような硬さ試験機において、正確性の高い測定結果、再現性の高い測定結果を得るためには、圧子の先端部の形状（先端形状）が常に一定であることが望ましい。その一方で、圧子の先端部は、試料を直接押し付ける部分であり、さらに、尖っているため、磨耗したり、損傷したりしやすい。そのため、これまで、光学顕微鏡で観察する方法やナイフエッジ法など、様々な方法によって圧子の先端形状の検査が行われてきた。また、最近では、原子間力顕微鏡で観察する方法なども試みられている。しかしながら、これらの方法では、検査装置の性能の面から、又は、検査装置の操作性の面から、ナノメートルオーダの微小な磨耗、損傷を検出するのが困難であるという問題点がある。

本発明の課題は、より簡易に、微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査装置及び圧子先端検査方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、圧子先端検査装置であって、圧子を略鉛直方向に上下移動させる圧子移動部と、上面が開口し、内部に粘性流体を貯留する貯留部と、前記貯留部の重量を測定する重量測定部と、前記圧子移動部を鉛直下方向に移動させて、当該圧子の先端部を前記貯留部が有する粘性流体に押し込み、次いで、前記圧子移動部を鉛直上方向に移動させて、当該圧子の先端部を前記貯留部が有する粘性流体から引き上げる移動制御を行う移動制御部と、を備えることを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の圧子先端検査装置であって、前記重量測定部は、前記貯留部の重量の経時変化を測定することを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の圧子先端検査装置であって、前記重量測定部による測定結果が予め設定された許容範囲内の値か否かに基づいて、圧子の先端形状の合否を判定する判定部を備えることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、圧子先端検査方法であって、圧子を略鉛直下方向に移動させて、当該圧子の先端部を、内部に粘性流体を貯留する貯留部に押し込み、次いで、前記圧子を略鉛直上方向に移動させて、当該圧子の先端部を前記貯留部が有する粘性流体から引き上げる際の前記貯留部の重量変化を測定することを特徴とする。

請求項１に記載の発明によれば、移動制御部による圧子移動部の移動制御によって、圧子の先端部を貯留部が有する粘性流体に押し込み、次いで、貯留部が有する粘性流体から引き上げることができる。そして、重量測定部によって当該貯留部の重量が測定されているため、移動制御部によって圧子移動部を移動制御するだけで、圧子の先端部を粘性流体から引き上げる際に、圧子の先端部に吸着してくる粘性流体の重量を測定することができる。したがって、圧子の先端形状の変化に伴い変化する、圧子の先端部に吸着してくる粘性流体の量を簡単に測定することができることとなって、より簡易に、圧子の先端部における微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査装置を提供することができる。

請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、圧子の先端部を、貯留部が有する粘性流体に押し込み、その後、貯留部が有する粘性流体から引き上げるといった、移動制御部による圧子移動部の移動制御に付き従って起こる貯留部の重量の変化を、経時変化として取得することができる。したがって、圧子の先端形状の変化に伴い変化する、圧子の先端部に吸着してくる粘性流体の量をより詳細に把握することができることとなって、より正確に、圧子の先端部における微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査装置を提供することができる。

請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、判定部によって、自動的に、圧子の先端部に吸着してきた粘性流体の量の測定結果が、予め設定された許容範囲内の値か否かに基づいて、圧子の先端形状の合否が判定されるため、オペレータの労力を軽減することができることとなる。さらに、圧子の先端形状の合否の判定を客観的に行うことができることとなって、より簡易に、且つ、より正確に、圧子の先端部における微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査装置を提供することができる。

請求項４に記載の発明によれば、圧子の先端部を貯留部が有する粘性流体から引き上げる際に、圧子の先端部に吸着してくる粘性流体の重量を測定するため、圧子の先端形状の変化に伴い変化する、圧子の先端部に吸着してくる粘性流体の量を簡単に測定することができることとなって、より簡易に、圧子の先端部における微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査方法を提供することができる。

以下、図を参照して、本発明にかかる圧子先端検査装置及び当該圧子先端検査装置における圧子先端検査方法の最良の形態を詳細に説明する。

圧子先端検査装置１００は、例えば、図１に示すように、圧子Ａの先端形状を測定する測定部１と、測定部１から得たデータを処理する処理部５とを備えて構成される。測定部１と処理部５とは、電気的に接続されている。

測定部１は、例えば、図１及び図２に示すように、圧子Ａを略鉛直方向に上下移動させる圧子移動部１０と、圧子移動部１０を上下移動させる駆動部２０と、圧子Ａの下方に配置され、上面が開口し、内部に粘性流体３１を貯留する貯留部３０と、貯留部３０の重量を測定する重量測定部４０とを備えて構成される。

圧子移動部１０は、その先端に圧子Ａが取り付けられており、略鉛直方向に上下移動できるようになっている。ここで、圧子Ａは、例えば、硬さ試験機などから取り外され、圧子Ａの軸が略鉛直方向に対して平行となるように、且つ、圧子Ａの先端部ａが下方を向くように、圧子移動部１０の先端に取り付けられる。また、圧子Ａの先端部ａは、理想的には、円錐形状や、三角錐形状、四角錐形状などを成している。

駆動部２０は、圧子Ａが取り付けられた圧子移動部１０を略鉛直方向に上下移動させるものであって、駆動源（図示略）として、例えば、圧電素子やフォースコイルなどを備えている。この駆動部２０の駆動源から発生する力を用いて圧子移動部１０を上下移動させることによって、圧子Ａの先端部ａを、貯留部３０が有する粘性流体３１に押し込んだり、粘性流体３１から引き上げたりできるようになっている。

貯留部３０は、圧子移動部１０に取り付けられた圧子Ａの下方に配置されている。貯留部３０が貯留する粘性流体３１としては、例えば、水やオイルなどが挙げられるが、圧子Ａに対するぬれ性がよく、ある程度の粘度があり、揮発性が低いものが好ましい。

重量測定部４０は、貯留部３０の重量を測定するためのものであって、例えば、電子天秤などによって構成されている。

処理部５は、例えば、図１に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５１や、ＲＡＭ（Random Access Memory）５２、入力部５３、表示部５４、記憶部５５などを備えている。

ＣＰＵ５１は、記憶部５５に記憶された圧子先端検査装置１００用の各種処理プログラムに従って各種の制御動作を行う。なお、本発明におけるＣＰＵ５１は、測定部１の駆動部２０に駆動信号を出力したり、測定部１の重力測定部４０から重量測定データを取り込んだりする。

ＲＡＭ５２は、ＣＰＵ５１によって実行される処理プログラムなどをＲＡＭ５２内のプログラム格納領域に展開するとともに、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果などをデータ格納領域に格納する。

入力部５３は、例えば、カーソルキー、文字／数字キー、各種機能キーなどから構成され、オペレータのキー操作に伴う押下信号をＣＰＵ５１に出力する。また、入力部５３は、必要に応じてマウス、タッチパネルなどのポインティングデバイスや、その他の入力装置を備えるものとしても良い。なお、本発明における入力部５３は、例えば、オペレータが、ＣＰＵ５１に対して、圧子Ａの先端部ａを測定するよう指示したり、圧子Ａの先端形状の合否を判定するよう指示したりする際などに使用される。

表示部５４は、例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）パネルなどから構成され、ＣＰＵ５１から入力される表示信号に従って所要の表示処理を行う。なお、本発明における表示部５４は、例えば、測定によって得られた重量測定データをグラフ化したものなどを表示する。

記憶部５５は、圧子先端検査装置１００で実行可能なシステムプログラム、当該システムプログラムで実行可能な各種処理プログラム、これら各種処理プログラムを実行する際に使用されるデータ、ＣＰＵ５１によって演算処理された処理結果のデータなどを記憶する。なお、プログラムは、コンピュータが読み取り可能なプログラムコードの形で記憶部５５に記憶されている。具体的には、本発明における記憶部５５には、合否判定基準データベース５５１、圧子先端形状測定プログラム５５２、圧子先端形状判定プログラム５５３などが記憶されている。

合否判定基準データベース５５１は、圧子Ａの先端形状の合否を判定するための基準となる合否判定基準データと、圧子Ａの種類データとを対応付けて記憶している。具体的には、合否判定基準データには、例えば、圧子先端検査装置１００を用いて、理想の先端形状を有する圧子Ａの先端部ａを測定することによって得た、理想の重量測定データが含まれている。当該合否判定基準データをグラフ化すると、例えば、図３の破線で示したような曲線（基準曲線）を描く。圧子Ａの種類データは、圧子Ａをその形状別に分類したものであり、圧子Ａの種類として、例えば、円錐圧子や、三角錐圧子、四角錐圧子などが挙げられる。合否判定基準データは、圧子Ａの種類によって異なるため、合否判定基準データベース５５１には、圧子Ａの種類データと、それに対応する合否判定基準データとが、圧子Ａの種類ごとに記憶されている。

圧子先端形状測定プログラム５５２は、ＣＰＵ５１に、圧子Ａの先端部ａを測定する機能を実現させる。具体的には、オペレータによる入力部５３の操作によって、圧子Ａの先端部ａの測定が指示されると、ＣＰＵ５１は、圧子先端形状測定プログラム５５２を実行して、駆動部２０に駆動信号を出力すると共に、重量測定部４０から重量測定データを時系列的に取り込む。
ＣＰＵ５１からの駆動信号によって、駆動部２０は、圧子Ａが取り付けられた圧子移動部１０を、所定の速度で略鉛直下方向に移動させ、次いで、所定の速度で略鉛直上方向に移動させる。圧子移動部１０の略鉛直下方向の移動によって、圧子Ａの先端部ａは粘性流体３１の表面と接触し、所定の荷重で粘性流体３１に押し込まれる。その後、圧子移動部１０の略鉛直上方向の移動によって、粘性流体３１に押し込まれた圧子Ａの先端部ａは、粘性流体３１から引き上げられる。

圧子移動部１０が一往復した時点で、ＣＰＵ５１は、駆動部２０への駆動信号の出力を停止すると共に、重量測定部４０からの重量測定データの取り込みを停止する。そして、重量測定部４０から取り込んだ時系列的重量測定データを、例えば、グラフ化して表示部５４に表示させる。このとき、表示部５４には、例えば、図３の実線で示したような曲線（測定曲線）が表示される。ここで、ＣＰＵ５１は、かかる圧子先端形状測定プログラム５５２を実行することによって、移動制御部として機能する。

圧子先端形状判定プログラム５５３は、ＣＰＵ５１に、時系列的重量測定データ、すなわち、圧子先端形状測定プログラム５５２を実行することによって得た圧子Ａの先端部ａの測定結果から、当該圧子Ａの先端形状の合否を判定する機能を実現させる。具体的には、オペレータによる入力部５３の操作によって、圧子Ａの先端形状の合否判定が指示されると、ＣＰＵ５１は、圧子先端形状判定プログラム５５３を実行して、合否判定基準データベース５５１から圧子Ａの種類データを読み出し、合否判定基準データベース５５１に記憶されている全ての圧子Ａの種類を表示部５４に表示させる。表示部５４に表示された圧子Ａの種類の中から、オペレータによる入力部５３の操作によって、測定に使用した圧子Ａの種類が選択されると、ＣＰＵ５１は、合否判定基準データベース５５１から、オペレータが選択した圧子Ａの種類に対応する合否判定基準データを読み出し、読み出した合否判定基準データを、例えば、グラフ化して表示部５４に表示させる。このとき、表示部５４には、例えば、図３に示すように、測定曲線と共に基準曲線が表示される。

さらに、ＣＰＵ５１は、オペレータが選択した圧子Ａの種類に対応する合否判定基準データと、圧子先端形状測定プログラム５５２を実行することによって得た時系列的重量測定データとを対比して、時系列的重量測定データが予め設定された合格許容範囲内に入っているか否かを判定し、その判定結果を表示部５４に表示させる。
具体的には、例えば、合否判定基準データから描かれる基準曲線と、時系列的重量測定データから描かれる測定曲線との間の乖離部分の面積を算出し、その乖離面積が合格許容範囲内の値か否かによって判断する。また、例えば、合否判定基準データの最小値と時系列的重量測定データの最小値との差が、合格許容範囲内の値か否かによって判断する。ここで、ＣＰＵ５１は、かかる圧子先端形状判定プログラム５５３を実行することによって、判定部として機能する。

次いで、図４、５を参照して、圧子先端検査装置１００を用いた検査における、圧子Ａの先端部ａの時系列的な様子を説明する。
圧子Ａの先端部ａの測定における圧子Ａの先端部ａ及び粘性流体３１の表面付近の時系列的な様子は、理想の先端形状を有する圧子Ａ（理想の圧子Ａ）、すなわち、全く磨耗、損傷していない圧子Ａを用いて測定を行った場合、例えば、図４に示すようになり、磨耗、損傷した圧子Ａを用いて測定を行った場合、例えば、図５に示すようになる。そして、理想の圧子Ａの先端部ａを測定することによって、例えば、図３の破線で示すような曲線（基準曲線）が得られ、磨耗、損傷した圧子Ａの先端部ａを測定することによって、例えば、図３の実線で示すような曲線（測定曲線）が得られる。ここで、図３の横軸は測定時間を示し、縦軸は重量変化、すなわち、測定中の貯留部３０の重量から測定前の貯留部３０の重量を引いた差を示す。また、図３の基準曲線及び測定曲線において、図４（ａ）〜（ｆ）、図５（ａ）〜（ｆ）のそれぞれの様子に対応する位置を示す。なお、図３、図４及び図５は、概念的に示した図であり、実測値を示した図ではない。

圧子Ａの先端部ａの測定は、圧子Ａの先端部ａと粘性流体３１とが、完全に離れた状態から始める（図４（ａ）、図５（ａ））。

まず、駆動部２０によって、圧子Ａを備えた圧子移動部１０は、所定の速度で、略鉛直下方向に移動する。すると、圧子Ａの先端部ａは、粘性流体３１の表面に近づいてゆき、やがて、粘性流体３１の表面に接触する。このとき、圧子Ａの先端部ａと粘性流体３１との接触面積は、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、理想の圧子Ａと比較して大きくなる（図４（ｂ）、図５（ｂ））。また、接触までに要する時間は、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、理想の圧子Ａと比較して長くなる（図３）。これは、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、磨耗したり損傷したりして長さが短くなっており、その分だけ移動距離が長くなるためである。

圧子Ａの先端部ａが、粘性流体３１の表面に接触すると、駆動部２０によって、圧子Ａの先端部ａは、所定の荷重で粘性流体３１に押し込まれ、やがて、圧子Ａの先端部ａに作用する鉛直下向きの力と、圧子Ａの先端部ａに作用する鉛直上向きの力とが釣り合う。このとき、粘性流体３１に押し込まれた深さは、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、理想の圧子Ａと比較して小さくなる（図４（ｃ）、図５（ｃ））。これは、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、粘性流体３１との接触面積が大きいためである。また、釣り合った際の貯留部３０の重量の増加は、磨耗、損傷した圧子Ａと、理想の圧子Ａのとで同一となる（図３）。これは、磨耗、損傷した圧子Ａの先端部ａ、理想の圧子Ａの先端部ａ、共に同一の荷重で粘性流体３１に押し込まれるためである。

圧子Ａの先端部ａに作用する鉛直下向きの力と、圧子Ａの先端部ａに作用する鉛直上向きの力とが釣り合うと、次に、駆動部２０によって、圧子Ａを備えた圧子移動部１０は、所定の速度で、略鉛直上方向に移動する。すると、圧子Ａの先端部ａは、粘性流体３１から引き上げられはじめる。このとき、圧子Ａの先端部ａに吸着してくる粘性流体３１の量は、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、理想の圧子Ａと比較して多くなる（図４（ｄ）、図５（ｄ））。これは、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、粘性流体３１との接触面積がより大きいためである。したがって、貯留部３０の重量の減少は、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、理想の圧子Ａと比較して大きくなる（図３）。

さらに、圧子Ａが引き上げられると、やがて、圧子Ａの先端部ａに吸着してきた粘性流体３１に作用する鉛直下向きの力と、圧子Ａの先端部ａに吸着してきた粘性流体３１に作用する鉛直上方向の力とが釣り合う（図４（ｅ）、図５（ｅ））。釣り合った際の貯留部３０の重量の減少は、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、理想の圧子Ａと比較して大きくなり、釣り合うまでに要する時間は、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、理想の圧子Ａと比較して長くなる（図３）。これは、磨耗、損傷した圧子Ａの方が、粘性流体３１との接触面積がより大きく、吸着してきた粘性流体３１の量がより多かったためである。

圧子Ａの先端部ａに吸着してきた粘性流体３１に作用する鉛直下向きの力と、圧子Ａの先端部ａに吸着してきた粘性流体３１に作用する鉛直上方向の力とが釣り合うと、その直後に、圧子Ａの先端部ａと粘性流体３１とが離れる。そして、圧子Ａの先端部ａが、粘性流体３１から完全に引き上げられる（図４（ｆ）、図５（ｆ））。

以上説明した本発明の圧子先端検査装置１００によれば、ＣＰＵ５１が圧子先端形状測定プログラム５５２を実行することによる圧子移動部１０の移動制御によって、圧子Ａの先端部ａを貯留部３０が有する粘性流体３１に押し込み、次いで、貯留部３０が有する粘性流体３１から引き上げることができる。そして、重量測定部４０によって当該貯留部３０の重量が測定されているため、ＣＰＵ５１が圧子先端形状測定プログラム５５２を実行して圧子移動部１０を移動制御するだけで、圧子Ａの先端部ａを粘性流体３１から引き上げる際に、圧子Ａの先端部ａに吸着してくる粘性流体３１の重量を測定することができる。したがって、圧子Ａの先端形状の変化に伴い変化する、圧子Ａの先端部ａに吸着してくる粘性流体３１の量を簡単に測定することができることとなって、より簡易に、圧子Ａの先端部ａにおける微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査装置１００を提供することができる。

また、圧子Ａの先端部ａを、貯留部３０が有する粘性流体３１に押し込み、その後、貯留部３０が有する粘性流体３１から引き上げるといった、ＣＰＵ５１が圧子先端形状測定プログラム５５２を実行することによる圧子移動部１０の移動制御に付き従って起こる貯留部３０の重量の変化を、経時変化として取得することができる。したがって、圧子Ａの先端形状の変化に伴い変化する、圧子Ａの先端部ａに吸着してくる粘性流体３１の量をより詳細に把握することができることとなって、より正確に、圧子Ａの先端部ａにおける微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査装置１００を提供することができる。

さらに、ＣＰＵ５１が圧子先端形状判定プログラム５５３を実行することによって、自動的に、圧子Ａの先端部ａに吸着してきた粘性流体３１の量の測定結果が、予め設定された許容範囲内の値か否かに基づいて、圧子Ａの先端形状の合否が判定されるため、オペレータの労力を軽減することができることとなる。さらに、圧子Ａの先端形状の合否の判定を客観的に行うことができることとなって、より簡易に、且つ、より正確に、圧子Ａの先端部ａにおける微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査装置１００を提供することができる。

また、以上説明した本発明の圧子先端検査方法によれば、圧子Ａの先端部ａを貯留部３０が有する粘性流体３１から引き上げる際に、圧子Ａの先端部ａに吸着してくる粘性流体３１の重量を測定するため、圧子Ａの先端形状の変化に伴い変化する、圧子Ａの先端部ａに吸着してくる粘性流体３１の量を簡単に測定することができることとなって、より簡易に、圧子Ａの先端部ａにおける微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査方法を提供することができる。

なお、本発明は、上記した実施の形態のものに限るものではない。
処理部２に代えて、ＣＰＵ５１や、ＲＡＭ５２、入力部５３、表示部５４、記憶部５５などを備えた外部機器を備えても良い。この場合、測定部１の駆動部２０と重量測定部４０とは、外部機器のＣＰＵ５１と、ケーブルによって接続される。

圧子Ａを形状別に分類した圧子Ａの種類と、合否判定基準データとを対応付けて、合否判定基準データベース５５１に記憶したが、圧子Ａの種類の分類方法は、検査する圧子Ａを特定することができれば、特に制限はなく、例えば、圧子Ａの製品番号などによって分類しても良い。
また、合否判定基準データにおいては、圧子Ａの種類が同一であれば、合否判定基準データも同一であると仮定しても良いし、例えば、圧子先端検査装置１００を用いて、硬さ試験に全く使用していない段階、すなわち、全く磨耗、損傷していない段階の圧子Ａの先端部ａを、個別に測定して、合否判定基準データを取得しても良い。

本発明においては、ＣＰＵ５１が、圧子先端形状判定プログラム５６１を実行することによって、測定によって得られた時系列的重量測定データが予め設定された合格許容範囲内の値か否かを判定するとしたが、例えば、合格許容範囲のデータを圧子Ａの種類と対応付けて記憶したデータベースを記憶部５５に記憶しておいても良い。この場合、合格許容範囲をより自由に変更できるという利点がある。
また、合格許容範囲は予め設定されている必要はなく、例えば、圧子Ａの先端形状の判定を行うごとに、オペレータの入力部５３の操作によって設定されても良い。
さらに、処理部２によって、圧子Ａの先端形状の合否を判定する必要はなく、例えば、オペレータが、表示部５４に表示されたグラフ化された合否判定基準データと、グラフ化された時系列的重量測定データとを対比して、圧子Ａの先端形状の合否の判定を行っても良い。

表示部５４に表示される合否判定基準データや測定によって得られた時系列的重量測定データなどは、グラフ化される必要はない。合否判定基準データと、測定によって得られた時系列的重量測定データとが比較できるのであれば、例えば、値が列挙されているだけでも良い。
また、重量測定データは、時系列的なものである必要はなく、例えば、最小値だけであっても良い。

本発明の実施の形態である圧子先端検査装置の要部構成を示すブロック図である。圧子先端検査装置の検査部の要部構成を示す図である。圧子先端検査によって得られる重量の経時変化を示す概念図である。理想の先端形状を有する圧子を用いた圧子先端検査における、圧子の先端部と粘性流体の表面付近を時系列的（ａ）〜（ｆ）に示す概念図である。磨耗、損傷した圧子を用いた圧子先端検査における、圧子の先端部と粘性流体の表面付近を時系列的（ａ）〜（ｆ）に示す概念図である。

符号の説明

１測定部
５処理部
１０圧子移動部
２０駆動部
３０貯留部
３１粘性流体
４０重量測定部
５１ＣＰＵ（移動制御部、判定部）
５５記憶部
１００圧子先端検査装置
５５２圧子先端形状測定プログラム（移動制御部）
５５３圧子先端形状判定プログラム（判定部）
Ａ圧子
ａ圧子Ａの先端部

Claims

圧子を略鉛直方向に上下移動させる圧子移動部と、
上面が開口し、内部に粘性流体を貯留する貯留部と、
前記貯留部の重量を測定する重量測定部と、
前記圧子移動部を鉛直下方向に移動させて、当該圧子の先端部を前記貯留部が有する粘性流体に押し込み、次いで、前記圧子移動部を鉛直上方向に移動させて、当該圧子の先端部を前記貯留部が有する粘性流体から引き上げる移動制御を行う移動制御部と、
を備えることを特徴とする圧子先端検査装置。
前記重量測定部は、前記貯留部の重量の経時変化を測定することを特徴とする請求項１に記載の圧子先端検査装置。
前記重量測定部による測定結果が予め設定された許容範囲内の値か否かに基づいて、圧子の先端形状の合否を判定する判定部を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧子先端検査装置。
圧子を略鉛直下方向に移動させて、当該圧子の先端部を、内部に粘性流体を貯留する貯留部に押し込み、
次いで、前記圧子を略鉛直上方向に移動させて、当該圧子の先端部を前記貯留部が有する粘性流体から引き上げる際の前記貯留部の重量変化を測定することを特徴とする圧子先端検査方法。