JP4384582B2 - 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
<1>(A)アルカリ可溶性バインダーと、(B)有機溶剤可溶性染料と、(C)光重合開始剤と、(D)ラジカル重合性モノマーと、(E)有機溶剤と、を少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物であって、前記(B)有機溶剤可溶性染料が、下記一般式(A)で表される色素の少なくとも1種と、下記一般式(1)で表されるキノフタロン系色素とを含有することを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物である。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、(A)アルカリ可溶性バインダーと、(B)有機溶剤可溶性染料と、(C)光重合開始剤と、(D)ラジカル重合性モノマーと、(E)有機溶剤と、を少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物であって、前記(B)有機溶剤可溶性染料が、後述する一般式(A)で表される色素の少なくとも1種と、後述する一般式(1)で表されるキノフタロン系色素とを含有(以下、これらを総じて「本発明における色素」という場合がある。)することを特徴とする。本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、本発明における色素を含むことで、これを用いて形成されるパターンの熱堅牢性および光堅牢性を向上させることができる。更に、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、高感度化が図れ、矩形なパターン形成が可能となり、且つ、未露光部分に残渣をなくすことができる。
また、前記ステッパー露光に用いる露光装置としては、例えば、i線ステッパー(商品名:FPA−3000i5+、キャノン(株)製)等を用いることができる。
まず、本発明におけるアルカリ可溶性バインダーについて説明する。本発明におけるアルカリ可溶性バインダーは、アルカリ可溶性であれば特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、下記一般式(A)で表される色素の少なくとも1種と、下記一般式(1)で表されるキノフタロン系色素の少なくとも1種と、を含有する。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、下記一般式(A)で表される色素の少なくとも一種を含有する。この染料は、透過率特性の高い良好なシアン色相を呈し、液状調製物若しくは塗布された塗布膜の状態としたときの経時析出がなく安定性に優れており、特に熱や光に対する優れた耐性を有する。
前記一般式(B)中、R101〜R116は各々独立に、水素原子または置換基を表し、R101〜R116で表される置換基は、既述の一般式(A)における6員環が有する置換基と同義である。また、R101〜R116で表される置換基が置換可能な基である場合は、R101〜R116で表される置換基は更に既述の一般式(A)における6員環が有する置換基を有していてもよく、2以上の置換基を有している場合、複数の置換基は同一でも異なっていてもよい。
前記一般式(B)は、α位の置換体(αジ置換体)として、(R101とR104)、(R105とR108)、(R109とR112)、および(R113とR116)の組合わせの少なくとも1組に置換基を有しているか、β位の置換体(βジ置換体)として、(R102とR103)、(R106とR107)、(R110とR111)、および(R114とR115)の組合わせの少なくとも1組に置換基を有しているか、或いはα位およびβ位の置換体(α位,β位置換体)として、(R101とR103および/またはR102とR104)、(R105とR107および/またはR106とR108)、(R109とR111および/またはR110とR112)、および(R113とR115および/またはR114とR116)の組合わせの少なくとも1組に置換基を有していることが好ましい。
また、M1としては、Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co、Fe、TiO、VO等が挙げられる。
この場合において好ましい置換基には、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスフィノイルアミノ基が挙げられ、M1には、Zn、Pd、Cu、Ni、Co、TiO、VO等が挙げられる。
この場合において好ましい置換基には、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基が挙げられ、M1には、Zn、Pd、Cu、Ni、Co、VO等が挙げられる。
次に、前記一般式(A)または(B)で表される色素の合成例について、前記の例示化合物である色素C−1の合成を一例に下記スキームAを参照して詳述する。
3−ニトロフタロニトリル25.0g(0.144モル)およびメルカプトプロピオン酸−2−エチルヘキシルエステル34.7g(0.159モル)にジメチルスルホキシド100mlを加えて室温で攪拌した。これに更に炭酸ナトリウム17.0gを少しづつ添加し、添加終了後、室温で2時間攪拌を行ない反応を完結した。得られた反応液を水500ml中に注いだ後、酢酸エチル300mlで抽出した。そして、酢酸エチル相を水洗し、無水硫酸マグネシウムで乾燥させ、酢酸エチルを減圧下で留去し、油状の中間体Aを定量的に得た。
前記のようにして得た中間体B34.4g(0.081モル)および炭酸アンモニウム6.7g(0.070モル)に、ブタノール150mlを加えて50℃で加熱攪拌した。次いでこれに、塩化第二銅4.7g(0.035モル)を添加し、100〜110℃に加熱して7時間攪拌した。反応終了後、ブタノールを留去した後、残留物をクロロホルムに溶解し、シリカゲルカラムクロマトグラフィー(溶離液:クロロホルム/メタノール=10/1)で分離、精製し、粉末状の色素C−1を25g得た(収率72.7%)。
下記一般式(1)で表される化合物は、従来に無い、高い耐光性と高い耐熱性とを同時に満足し、かつ、必要であれば水または溶剤に自由に溶解することができる化合物である。
R1〜R4が−S−R5である場合において、R5としては酸素原子をエーテル結合の形で1〜6個含む総炭素数2〜16個のアルキル基が好ましく、特に酸素原子をエーテル結合の形で2〜4個含む総炭素数2〜12個のアルキル基が好ましい。ここでアルキル基は直鎖または分岐鎖であってもよく、環を形成した部分を有していてもよい。
また、ヒドロキシ基に含まれる酸素原子を含めたR1〜R4に含まれる酸素原子の総数としては、2〜24個であることが好ましく、3〜16個であることが特に好ましい。
また、色素の吸収特性の点から一般式(1)で表されるキノフタロン系色素およびその互変異性体は、R2および/またはR3に−S−R5が導入された構造のものが好ましい。
本発明における一般式(1)で表されるキノフタロン系色素(キノフタロン化合物)の製造方法を以下に説明する。代表的な製造方法の概略(第一および第二の製造方法)は、次の通りである。
第一の製造方法としては、まず、有機溶媒中で、下記化合物(A)の1モル量に対して、アルカリ化合物を1〜16モル量用いて、下記化合物(B)を1〜8モル量と共に、20〜200℃で1〜8時間反応させる。
〔化合物(B)中、R5は、前記一般式(1)におけるものと同様である。〕
第二の製造方法としては、まず、有機溶媒中で前記化合物(A)1モル量に対して、アルカリ化合物を1〜16モル量用いて、下記化合物(C)の1〜8モル量と共に20〜200℃で1〜24時間反応させる。
〔化合物(C)中、R6は一般式(1)におけるものと同様のものを表す。〕
〔化合物(E)中、Zはハロゲン原子、トルエンスルホニルオキシ基或いはメタンスルホニルオキシ基を表し、R9は、酸素原子を、エーテル結合の形、或いはヒドロキシ基の形で含んでもよいアルキル基を表す。〕
また、前記化合物(D)のR6がα,β−ジヒドロキシ基を有するアルキル基である場合、有機溶媒中、下記化合物(F)とp−トルエンスルホン酸等の酸触媒とを脱水還流することにより、目的とする一般式(1)で表されるキノフタロン系色素を得ることができる。
次に、光重合開始剤について説明する。光重合開始剤は、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物に後述のラジカル重合性モノマーと共に含有される。前記光重合開始剤としては、前記ラジカル重合性モノマーを重合させ得るものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。
その具体例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリールイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
次に、前記ラジカル重合性モノマーについて説明する。本発明において用いられるラジカル重合性モノマーとしては、少なくとも1つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有し、且つ、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物が好ましい。上述の光重合開始剤等と共に含有することにより、本発明の組成物をネガ型に構成することができる。
本発明においては、補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得ることも可能である。以下、架橋剤について説明する。
本発明に使用可能な架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
以下、前記(b)のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物およびウレア化合物を総じて、(b)に係る(メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有)化合物ということがある。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
これら(b)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
前記ナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記(c)に係るアルコキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記(c)に係るアシロキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
これら(c)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、以上のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
本発明に用いることのできる有機溶剤は、各成分の溶解性や染料含有ネガ型硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましく、例えば、環状ケトン溶剤が好ましい。また、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製する際には、少なくとも2種類の有機溶剤を含む混合溶剤を用いることが好ましい。更に、環状ケトン溶剤を単独で用いることも好ましい。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば充填剤、前記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
次に、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物が用いられる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ネガ型の着色パターンを形成する(画像形成工程)。また、必要により、形成された着色パターンを加熱および/または露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
本発明においては、前記露光の際、上述のステッパー露光によって露光を行うことが好ましい。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
以下に示す組成で各化合物を混合して溶解し、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製した。
〔組成〕
・乳酸エチル(有機溶剤) 67.3g
・樹脂C 7.9g
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=60/40〔モル比〕)
・モノマーA 4.8g
(ラジカル重合性モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬(株)製)
・前記例示化合物C−1 6.6g
(一般式(A)で表される色素)
・前記具体例番号39 2.2g
(一般式(1)で表されるキノフタロン系色素)
・光重合開始剤 2.1g
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
シリコンウェハー基板に、レジスト溶液(商品名:CT−2000L、富士フイルムアーチ(株)製)を膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥し、硬化膜(下塗り層)を形成し、下塗り層付シリコンウェハー基板を作製した。
前記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を、前記2)で得られた下塗り層付シリコンウェハー基板上に膜厚が1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークし、基板上にレジスト層が形成されたサンプルを作製した。
実施例1において、染料含有ネガ型硬化性組成物に含まれる各組成を下記表1に示す組成にそれぞれ変更した以外は実施例1と同様にして、染料含有ネガ型硬化性組成物を調製し、各サンプルを形成した。
実施例1において、染料含有ネガ型硬化性組成物に含まれる各組成を下記表1に示す組成にそれぞれ変更した以外は実施例1と同様にして、比較用の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製し、サンプルを形成した。
・樹脂A:商品名 ACA250、ダイセル化学工業(株)製
(化合物名:メタクリル酸−4−アクリロイルオキシメチル−2−ヒドロキシシクロヘキシルエステル/メタクリル酸アルキル共重合体)
・樹脂B:商品名 ACA300、ダイセル化学工業(株)製
(化合物名:メタクリル酸−4−アクリロイルオキシメチル−2−ヒドロキシシクロヘキシルエステル/メタクリル酸アルキル共重合体)
・樹脂C:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=60/40〔モル比〕)
※ラジカル重合性モノマー
・モノマーA:日本化薬(株)製、DPHA(主成分:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)
※有機溶剤可溶性染料
・有機溶剤可溶性染料の欄の記号(比較例を除く)は、一般式(A)で表わされる色素の例示化合物番号、および、一般式(1)で表わされるキノフタロン系色素の具体例番号に対応する。
・VB−2620:オリエント化学工業(株)製
※光重合開始剤
・「TAZ−107」:みどり化学(株)製
・オキシムA:2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン〔チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製〕
・オキシムB:1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン〔チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製〕
(1)感度
各実施例および比較例において形成したサンプルについて、i線縮小投影露光装置を使用して、塗布膜に365nmの波長で縦2μm×横2μmのマスクを通して露光量をふって照射した。照射後、現像液(商品名:CD−2000、100%、富士フイルムアーチ(株)製)を使用して、23℃で60秒間現像した。次いで、流水で20秒間リンスした後、スプレー乾燥して、パターン画像を得た。画像形成は、光学顕微鏡およびSEM写真観察により通常の方法で確認した。
この際、縦2μm×横2μmの画素パターンと、該画素パターン間のスペースと、の幅が1:1になる露光量を適正露光量とし、その露光量を感度とした。数字が小さい方が高感度となり好ましい。結果を下記表2に示す。
前記(1)において、適正露光量時に形成された画素パターンについて、SEM画像にてパターン断面を観察した。この際、良好な矩形なプロファイルであるものを「〇」と評価し、ややラウンドトップ(頭が丸い)形状であるものを「△」と評価し、完全にラウンドトップ形状のものを「×」と評価した。結果を下記表2に示す。
前記(1)において、適正露光量時に形成された画素パターンについて、SEM画像にてパターン断面を観察した。この際、未露光部に残査が全く認められないものを「〇」と評価し、未露光部に残査がやや認められるものの実用上問題はないものを「△」と評価し、未露光部に残渣が明らかに認められるものを「×」と評価した。結果を下記表2に示す。
別途作成したガラス基板上に、前記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を膜厚1μmになるように塗布した。塗布膜が形成されたガラス基板を200℃のホットプレート上に1時間放置し、その後分光光度計(商品名:MS−1500、島津製作所(株)製)を用いて分光変化を測定した。かかる測定値から、カラー解析プログラムにてΔE*abを算出し、耐熱性の評価とした。結果を下記表2に示す。
別途作成したガラス基板上に、前記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を膜厚1μmになるように塗布し、塗布膜をキセノン照射ウェザーメーター(商品名:SX75、スガ試験機(株)製)にて20時間照射し(20万lux・h)、その後、分光光度計(商品名:MS−1500、島津製作所(株)製)を用いて分光変化を測定した。かかる測定値から、カラー解析プログラムにてΔE*abを算出し、耐光性の評価とした。結果を下記表2に示す。
Claims (7)
- (A)アルカリ可溶性バインダーと、(B)有機溶剤可溶性染料と、(C)光重合開始剤と、(D)ラジカル重合性モノマーと、(E)有機溶剤と、を少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物であって、前記(B)有機溶剤可溶性染料が、下記一般式(A)で表される色素の少なくとも1種と、下記一般式(1)で表されるキノフタロン系色素とを含有することを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物。
〔一般式(A)中、M1は金属類を表し、Z1、Z2、Z3、およびZ4は各々独立に、炭素原子および窒素原子より選ばれる原子で構成された6員環を形成する原子群を表す。〕
〔一般式(1)中、R1〜R4は各々独立して、水素原子、ハロゲン原子、−S−R5または−S−R6を表す。Sは硫黄原子を表し、R5は酸素原子をエーテル結合の形で含むアルキル基を表し、更に置換基としてヒドロキシ基を有してもよい。R6はヒドロキシ基を有するアルキル基を表す。ただしR1〜R4のうち少なくとも1つは−S−R5を表す。〕 - 前記(C)光重合開始剤が、オキシム系化合物であることを特徴とする請求項1または2に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 前記(A)アルカリ可溶性バインダーが、側鎖に不飽和二重結合を有する樹脂であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 前記(E)有機溶剤が環状ケトン溶剤を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタ。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を、支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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