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JP4384582B2 - 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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JP4384582B2 - 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents

染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)等に用いられるカラーフィルタを構成する着色画像の形成に好適な染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに該染料含有ネガ型硬化性組成物を用いたカラーフィルタおよびその製造方法に関する。
液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法および顔料分散法が知られている。
このうち、顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルタを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。
顔料分散法によりカラーフィルタを作製する場合、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布し乾燥させて塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光・現像することによって着色された画素が形成され、この操作を各色ごとに繰り返し行なうことでカラーフィルタを得ることができる。
前記の顔料分散法としては、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物が記載されたものがある(例えば、特許文献1〜4参照。)。
また、近年固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては更なる高精細化が望まれている。しかしながら、従来の顔料分散系では解像度を更に向上させることは困難であり、顔料の粗大粒子により色ムラが発生する等の問題がある。このため、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。
かかる問題を解決すべく、従来から顔料に代えて染料を使用する技術が提案されている(例えば、特許文献5参照。)。しかしながら、一般的に染料を含有する硬化性組成物は、例えば、耐光性、耐熱性、溶解性、塗布均一性など様々な性能につき、顔料を用いた硬化性組成物に比べて劣るという問題があった。特に固体撮像素子用カラーフィルタ作製用途の場合には1.5μm以下の膜厚が要求されるため、硬化性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、これにより基板との密着が不充分となったり、十分な硬化が得られなかったり、露光部でも染料が抜けてしまうなど、パターン形成性が著しく困難であるといった問題も生じていた。
特開平2−181704号公報 特開平2−199403号公報 特開平5−273411号公報 特開平7−140654号公報 特開平6−75375号公報
したがって、本発明の目的は、染料を使用するのに好適な染料含有ネガ型硬化性組成物を提供することであり、具体的には、高感度で未露光部分に残渣がなく、矩形な微細パターン形成が可能で熱堅牢性および光堅牢性に優れた染料含有ネガ型硬化性組成物およびこれを用いたカラーフィルタを提供することにある。また同時に、パターン形成性に優れ、コストパフォーマンスの高いカラーフィルタ、特には固体撮像素子用のカラーフィルタおよびその製造方法を提供することを目的とする。
前記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
<1>(A)アルカリ可溶性バインダーと、(B)有機溶剤可溶性染料と、(C)光重合開始剤と、(D)ラジカル重合性モノマーと、(E)有機溶剤と、を少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物であって、前記(B)有機溶剤可溶性染料が、下記一般式(A)で表される色素の少なくとも1種と、下記一般式(1)で表されるキノフタロン系色素とを含有することを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物である。
Figure 0004384582
〔一般式(A)中、M1は金属類を表し、Z1、Z2、Z3、およびZ4は各々独立に、炭素原子および窒素原子より選ばれる原子で構成された6員環を形成する原子群を表す。〕
Figure 0004384582
〔一般式(1)中、R1〜R4は各々独立して、水素原子、ハロゲン原子、−S−R5または−S−R6を表す。Sは硫黄原子を表し、R5は酸素原子をエーテル結合の形で含むアルキル基を表し、更に置換基としてヒドロキシ基を有してもよい。R6はヒドロキシ基を有するアルキル基を表す。ただしR1〜R4のうち少なくとも1つは−S−R5を表す。〕
<2> 前記一般式(A)で表される色素が、下記一般式(B)で表されるフタロシアニン色素であることを特徴とする前記<1>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
Figure 0004384582
〔一般式(B)中、M1は金属類を表し、R101〜R116は各々独立して、水素原子または置換基を表す。〕
<3> 前記(C)光重合開始剤が、オキシム系化合物であることを特徴とする前記<1>または<2>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<4> 前記(A)アルカリ可溶性バインダーが、側鎖に不飽和二重結合を有する樹脂であることを特徴とする前記<1>〜<3>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<5> 前記(E)有機溶剤が環状ケトン溶剤を含有することを特徴とする前記<1>〜<4>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<6> 前記<1>〜<5>の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタである。
<7> 前記<1>〜<5>の染料含有ネガ型硬化性組成物を、支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
本発明によれば、高感度で、矩形なパターン形成が可能(特にステッパー露光によりパターン形成した時)であり、且つ、未露光部分に残渣がなく、熱堅牢性および光堅牢性に優れた染料含有ネガ型硬化性組成物を提供することができる。また、本発明によれば、パターン形成性に優れ、コストパフォーマンスの高いカラーフィルタおよびその製造方法を提供することができる。
以下、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに該染料含有ネガ型硬化性組成物を用いて構成されるカラーフィルタおよびその製造方法について詳述する。
《染料含有ネガ型硬化性組成物》
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、(A)アルカリ可溶性バインダーと、(B)有機溶剤可溶性染料と、(C)光重合開始剤と、(D)ラジカル重合性モノマーと、(E)有機溶剤と、を少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物であって、前記(B)有機溶剤可溶性染料が、後述する一般式(A)で表される色素の少なくとも1種と、後述する一般式(1)で表されるキノフタロン系色素とを含有(以下、これらを総じて「本発明における色素」という場合がある。)することを特徴とする。本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、本発明における色素を含むことで、これを用いて形成されるパターンの熱堅牢性および光堅牢性を向上させることができる。更に、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、高感度化が図れ、矩形なパターン形成が可能となり、且つ、未露光部分に残渣をなくすことができる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、プロキシミティ方式、ミラープロジェクション方式、およびステッパー方式のいずれの方式で露光をおこなってもよいが、特に、ステッパー方式(縮小投影露光機を用いた縮小投影露光方式)で露光をおこなうのが好ましい。かかるステッパー方式は、露光量を段階的に変動しながら露光をおこなうことによってパターンを形成するものであり、かかるステッパー露光を行った際に特に本発明の効果の一つであるパターンの矩形性を良好にすることができる。
また、前記ステッパー露光に用いる露光装置としては、例えば、i線ステッパー(商品名:FPA−3000i5+、キャノン(株)製)等を用いることができる。
−(A)アルカリ可溶性バインダー−
まず、本発明におけるアルカリ可溶性バインダーについて説明する。本発明におけるアルカリ可溶性バインダーは、アルカリ可溶性であれば特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
本発明におけるアルカリ可溶性バインダーとしては、線状有機高分子重合体であり、有機溶剤に可溶性で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号等の明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が特に有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール等も有用である。
また、本発明におけるアルカリ可溶性バインダーとしては、親水性基を有するモノマーを共重合した重合体を用いることもできる。前記親水基を有するモノマーの例としては、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級および3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリノ(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
その他親水性基を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、4級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホニルエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
また、本発明におけるアルカリ可溶性バインダーは、架橋効率を向上させるために、不飽和二重結合を側鎖に有することが好ましい。本発明におけるアルカリ可溶性バインダーの側鎖に結合される不飽和二重結合としては、例えば、アリル基、(メタ)アクリル基、ビニル基などが挙げられ、アリル基、(メタ)アクリル基が好ましい。これら不飽和二重結合は、該不飽和二重結合を有するユニットを共重合して導入してもよいし、後からポリマー反応で導入してもよい。前記不飽和二重結合を側鎖に有するアルカリ可溶性バインダーとしては、例えば、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が好適に用いられる。
また、本発明におけるアルカリ可溶性バインダーとしては、前記各種バインダーの中でも、アクリル系樹脂が好ましく、アクリル系樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、およびKS−レジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーP−シリーズ等が好ましい。
前記アルカリ可溶性バインダーとしては、現像性、液粘度等の観点から重量平均分子量(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)が1000〜2×105の重合体が好ましく、2000〜1×105の重合体がより好ましく、5000〜5×104の重合体が特に好ましい。
前記アルカリ可溶性バインダーの含有量は、現像性等の観点から、組成物中の全固形分に対して10〜90質量%が好ましく、20〜80質量%がさらに好ましく、30〜70質量%が特に好ましい。
−(B)有機溶剤可溶性染料−
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、下記一般式(A)で表される色素の少なくとも1種と、下記一般式(1)で表されるキノフタロン系色素の少なくとも1種と、を含有する。
−一般式(A)で表される色素−
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、下記一般式(A)で表される色素の少なくとも一種を含有する。この染料は、透過率特性の高い良好なシアン色相を呈し、液状調製物若しくは塗布された塗布膜の状態としたときの経時析出がなく安定性に優れており、特に熱や光に対する優れた耐性を有する。
Figure 0004384582
前記一般式(A)中、M1は金属類を表し、Z1、Z2、Z3およびZ4は各々独立に、炭素原子および窒素原子より選ばれる原子で構成された6員環を形成する原子群を表す。
前記一般式(A)中、M1は金属類を表し、該金属類としては、Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co、およびFe等、並びにAlCl、InCl、FeCl、TiCl2、SnCl2、SiCl2、GeCl2等の金属塩化物、TiO,VO等の金属酸化物、およびSi(OH)2等の金属水酸化物が含まれる。
前記一般式(A)中、Z1、Z2、Z3、およびZ4は、各々独立に、炭素原子、窒素原子より選ばれる原子で構成された6員環を形成するために必要な原子群を表す。該6員環は、飽和環であっても不飽和環であってもよく、無置換であっても置換基を有していてもよく、更に他の5員若しくは6員の環が縮合していてもよい。6員環には、ベンゼン環、シクロヘキサン環などが含まれる。前記6員環が有する置換基としては、後述する置換基が挙げられる。また、前記6員環が2個以上の置換基を有している場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
前記6員環が有する置換基としては、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子)、アルキル基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜18の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキル基である。例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、t−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、2−エチルヘキシル、ドデシル、ヘキサデシル、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、1−ノルボルニル、1−アダマンチル)、アルケニル基(好ましくは炭素数2〜48、より好ましくは2〜18のアルケニル基である。例えば、ビニル、アリル、3−ブテン−1−イル)、アリール基(好ましくは炭素数6〜48、より好ましくは6〜12のアリール基である。例えば、フェニル、ナフチル)、ヘテロ環基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のヘテロ環基である。例えば、2−チエニル、4−ピリジル、2−フリル、2−ピリミジニル、1−ピリジル、2−ベンゾチアゾリル、1−イミダゾリル、1−ピラゾリル、ベンゾトリアゾール−1−イル)、シリル基(好ましくは炭素数3〜38、より好ましくは3〜12のシリル基である。例えば、トリメチルシリル、トリエチルシリル、トリブチルシリル、t−ブチルジメチルシリル、t−ヘキシルジメチルシリル)、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、
アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜12のアルコキシ基である。例えば、メトキシ、エトキシ、1−ブトキシ、2−ブトキシ、イソプロポキシ、t−ブトキシ、ドデシルオキシ、シクロアルキルオキシ基(例えば、シクロペンチルオキシ、シクロヘキシルオキシ))、アリールオキシ基(好ましくは炭素数6〜48、より好ましくは6〜12のアリールオキシ基である。例えば、フェノキシ、1−ナフトキシ)、ヘテロ環オキシ基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のヘテロ環オキシ基である。例えば、1−フェニルテトラゾール−5−オキシ、2−テトラヒドロピラニルオキシ)、シリルオキシ基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のシリルオキシ基である。例えば、トリメチルシリルオキシ、t−ブチルジメチルシリルオキシ、ジフェニルメチルシリルオキシ)、アシルオキシ基(好ましくは炭素数2〜48、より好ましくは2〜12のアシルオキシ基である。例えば、アセトキシ、ピバロイルオキシ、ベンゾイルオキシ、ドデカノイルオキシ)、アルコキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数2〜48、より好ましくは2〜12のアルコキシカルボニルオキシ基である。例えば、エトキシカルボニルオキシ、t−ブトキシカルボニルオキシ、シクロアルキルオキシカルボニルオキシ基(例えばシクロヘキシルオキシカルボニルオキシ))、
アリールオキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数7〜32、より好ましくは7〜18のアリールオキシカルボニルオキシ基である。例えばフェノキシカルボニルオキシ)、カルバモイルオキシ基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜12のカルバモイルオキシ基である。例えば、N,N−ジメチルカルバモイルオキシ、N−ブチルカルバモイルオキシ、N−フェニルカルバモイルオキシ、N−エチル−N−フェニルカルバモイルオキシ)、スルファモイルオキシ基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のスルファモイルオキシ基である。例えば、N,N−ジエチルスルファモイルオキシ、N−プロピルスルファモイルオキシ)、アルキルスルホニルオキシ基(好ましくは炭素数1〜38、より好ましくは1〜12のアルキルスルホニルオキシ基である。例えば、メチルスルホニルオキシ、ヘキサデシルスルホニルオキシ、シクロヘキシルスルホニルオキシ)、アリールスルホニルオキシ基(好ましくは炭素数6〜32、より好ましくは6〜12のアリールスルホニルオキシ基である。例えばフェニルスルホニルオキシ)、
アシル基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜12のアシル基である。例えば、ホルミル、アセチル、ピバロイル、ベンゾイル、テトラデカノイル、シクロヘキサノイル)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2〜48、より好ましくは2〜12のアルコキシカルボニル基である。例えば、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、オクタデシルオキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル)、アリールオキシカルボニル基(好ましくは炭素数7〜32、より好ましくは7〜12のアリールオキシカルボニル基である。例えばフェノキシカルボニル)、カルバモイル基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜12のカルバモイル基である。例えば、カルバモイル、N,N−ジエチルカルバモイル、N−エチル−N−オクチルカルバモイル、N,N−ジブチルカルバモイル、N−プロピルカルバモイル、N−フェニルカルバモイル、N−メチル−N−フェニルカルバモイル、N,N−ジシクロへキシルカルバモイル)、
アミノ基(好ましくは炭素数32以下、より好ましくは12以下のアミノ基である。例えば、アミノ、メチルアミノ、N,N−ジブチルアミノ、テトラデシルアミノ、2−エチルへキシルアミノ、シクロヘキシルアミノ)、アニリノ基(好ましくは炭素数6〜32、より好ましくは6〜12のアニリノ基である。例えば、アニリノ、N−メチルアニリノ)、ヘテロ環アミノ基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のヘテロ環アミノ基である。例えば4−ピリジルアミノ)、カルボンアミド基(好ましくは炭素数2〜48、より好ましくは2〜12のカルボンアミド基である。例えば、アセトアミド、ベンズアミド、テトラデカンアミド、ピバロイルアミド、シクロヘキサンアミド)、ウレイド基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のウレイド基である。例えば、ウレイド、N,N−ジメチルウレイド、N−フェニルウレイド)、イミド基(好ましくは炭素数20以下、より好ましくは12以下のイミド基である。例えば、N−スクシンイミド、N−フタルイミド)、アルコキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数2〜48、より好ましくは2〜12のアルコキシカルボニルアミノ基である。例えば、メトキシカルボニルアミノ、エトキシカルボニルアミノ、t−ブトキシカルボニルアミノ、オクタデシルオキシカルボニルアミノ、シクロヘキシルオキシカルボニルアミノ)、
アリールオキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数7〜32、より好ましくは7〜12のアリールオキシカルボニルアミノ基である。例えばフェノキシカルボニルアミノ)、スルホンアミド基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜12のスルホンアミド基である。例えば、メタンスルホンアミド、ブタンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、ヘキサデカンスルホンアミド、シクロヘキサンスルホンアミド)、スルファモイルアミノ基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜12のスルファモイルアミノ基である。例えば、N、N−ジプロピルスルファモイルアミノ、N−エチル−N−ドデシルスルファモイルアミノ)、アゾ基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜24のアゾ基である。例えば、フェニルアゾ、3−ピラゾリルアゾ)、アルキルチオ基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜12のアルキルチオ基である。例えば、メチルチオ、エチルチオ、オクチルチオ、シクロヘキシルチオ)、アリールチオ基(好ましくは炭素数6〜48、より好ましくは6〜12のアリールチオ基である。例えばフェニルチオ)、ヘテロ環チオ基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のヘテロ環チオ基である。例えば、2−ベンゾチアゾリルチオ、2−ピリジルチオ、1−フェニルテトラゾリルチオ)、アルキルスルフィニル基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のアルキルスルフィニル基である。例えばドデカンスルフィニル)、アリールスルフィニル基(好ましくは炭素数6〜32、より好ましくは6〜12のアリールスルフィニル基である。例えばフェニルスルフィニル)、アルキルスルホニル基(好ましくは炭素数1〜48、より好ましくは1〜12のアルキルスルホニル基である。例えば、メチルスルホニル、エチルスルホニル、プロピルスルホニル、ブチルスルホニル、イソプロピルスルホニル、2−エチルヘキシルスルホニル、ヘキサデシルスルホニル、オクチルスルホニル、シクロヘキシルスルホニル)、
アリールスルホニル基(好ましくは炭素数6〜48、より好ましくは6〜12のアリールスルホニル基である。例えば、フェニルスルホニル、1−ナフチルスルホニル)、スルファモイル基(好ましくは炭素数32以下、より好ましくは16以下のスルファモイル基である。例えば、スルファモイル、N,N−ジプロピルスルファモイル、N−エチル−N−ドデシルスルファモイル、N−エチル−N−フェニルスルファモイル、N−シクロヘキシルスルファモイル)、スルホ基、ホスホニル基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のホスホニル基である。例えば、フェノキシホスホニル、オクチルオキシホスホニル、フェニルホスホニル)、ホスフィノイルアミノ基(好ましくは炭素数1〜32、より好ましくは1〜12のホスフィノイルアミノ基である。例えば、ジエトキシホスフィノイルアミノ、ジオクチルオキシホスフィノイルアミノ)、等が挙げられる。
前記一般式(A)で表される色素の中でも、特に下記一般式(B)で表されるフタロシアニン色素が好ましい。
Figure 0004384582
前記一般式(B)において、M1は前記一般式(A)におけるM1と同義であり、その好ましい態様も同様である。
前記一般式(B)中、R101〜R116は各々独立に、水素原子または置換基を表し、R101〜R116で表される置換基は、既述の一般式(A)における6員環が有する置換基と同義である。また、R101〜R116で表される置換基が置換可能な基である場合は、R101〜R116で表される置換基は更に既述の一般式(A)における6員環が有する置換基を有していてもよく、2以上の置換基を有している場合、複数の置換基は同一でも異なっていてもよい。
以下に前記R101〜R116で表される置換基の例(T−1〜T139)を示す。但し、本発明においては、これらに限定されるものではない。
Figure 0004384582
Figure 0004384582
Figure 0004384582
次に、前記一般式(A)で表される色素の好ましい範囲について説明する。一般式(A)は、好ましくは前記一般式(B)で表される。
前記一般式(B)は、α位の置換体(αジ置換体)として、(R101とR104)、(R105とR108)、(R109とR112)、および(R113とR116)の組合わせの少なくとも1組に置換基を有しているか、β位の置換体(βジ置換体)として、(R102とR103)、(R106とR107)、(R110とR111)、および(R114とR115)の組合わせの少なくとも1組に置換基を有しているか、或いはα位およびβ位の置換体(α位,β位置換体)として、(R101とR103および/またはR102とR104)、(R105とR107および/またはR106とR108)、(R109とR111および/またはR110とR112)、および(R113とR115および/またはR114とR116)の組合わせの少なくとも1組に置換基を有していることが好ましい。
ここで、前記R101〜R116で表される置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、シリルオキシ基、アシルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、カルバモイルオキシ基、スルファモイルオキシ基、アルキルスルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、ホスフィノイルアミノ基が挙げられる。
また、M1としては、Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co、Fe、TiO、VO等が挙げられる。
更に好ましくは、前記一般式(B)は、α位置換体(モノ置換体)として、(R101またはR104)、(R105またはR108)、(R109またはR112)、および(R113またはR116)のうちの少なくとも1つに置換基を有するか、またはβ位置換体(モノ置換体)として、(R102またはR103)、(R106またはR107)、(R110またはR111)、および(R114またはR115)のうちの少なくとも1つに置換基を有する化合物である。
この場合において好ましい置換基には、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスフィノイルアミノ基が挙げられ、M1には、Zn、Pd、Cu、Ni、Co、TiO、VO等が挙げられる。
更に好ましくは、前記一般式(B)は、α位置換体として、(R101またはR104)、(R105またはR108)、(R109またはR112)、および(R113またはR116)のうちの少なくとも3つに置換基を有するか、またはβ位置換体として、(R102またはR103)、(R106またはR107)、(R110またはR111)、および(R114またはR115)のうちの少なくとも3つに置換基を有する化合物である。
この場合において好ましい置換基には、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基が挙げられ、M1には、Zn、Pd、Cu、Ni、Co、VO等が挙げられる。
更に好ましくは、前記一般式(B)は、α位置換体として、(R101またはR104)、(R105またはR108)、(R109またはR112)、および(R113またはR116)のうちの少なくとも3つに同一の置換基を有するか、またはβ位置換体として(R102またはR103)、(R106またはR107)、(R110またはR111)、および(R114またはR115)のうちの少なくとも3つに同一の置換基を有する化合物であって、好ましい置換基がハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、スルホンアミド基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、またはスルホ基であって、M1がZn、Pd、Cu、Ni、Co、またはVO等である化合物である。
更に好ましくは、前記一般式(B)は、α位置換体として、(R101またはR104)、(R105またはR108)、(R109またはR112)、および(R113またはR116)のうちの少なくとも3つに置換基を有するか、またはβ位置換体として、(R102またはR103)、(R106またはR107)、(R110またはR111)、および(R114またはR115)のうちの少なくとも3つに置換基を有し、その置換基が全て同一の化合物であって、かつ該置換基がハロゲン原子、アルキル基、ヘテロ環基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、またはスルホ基であって、M1がZn、Pd、Cu、Ni、Co、またはVO等である化合物である。
最も好ましくは、前記一般式(B)は、α位置換体として、(R101またはR104)、(R105またはR108)、(R109またはR112)、および(R113またはR116)のうちの少なくとも3つに置換基を有するか、またはβ位置換体として、(R102またはR103)、(R106またはR107)、(R110またはR111)、および(R114またはR115)のうちの少なくとも3つに置換基を有し、その置換基が全て同一の化合物であって、該置換基がハロゲン原子、アルキル基、ヘテロ環基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、またはスルホ基であって、M1がZn、Cu、Co、またはVO等である化合物である。
以下、一般式(A)で表される色素(一般式(B)で表されるフタロシアニン色素を含む。)の具体例〔例示化合物C−1〜C−88、Cb−1〜Cb−50、並びにCc−1〜Cc−4〕を示す。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。
Figure 0004384582
Figure 0004384582
Figure 0004384582
Figure 0004384582
Figure 0004384582
−合成例−
次に、前記一般式(A)または(B)で表される色素の合成例について、前記の例示化合物である色素C−1の合成を一例に下記スキームAを参照して詳述する。
Figure 0004384582
(1)中間体の合成
3−ニトロフタロニトリル25.0g(0.144モル)およびメルカプトプロピオン酸−2−エチルヘキシルエステル34.7g(0.159モル)にジメチルスルホキシド100mlを加えて室温で攪拌した。これに更に炭酸ナトリウム17.0gを少しづつ添加し、添加終了後、室温で2時間攪拌を行ない反応を完結した。得られた反応液を水500ml中に注いだ後、酢酸エチル300mlで抽出した。そして、酢酸エチル相を水洗し、無水硫酸マグネシウムで乾燥させ、酢酸エチルを減圧下で留去し、油状の中間体Aを定量的に得た。
得られた中間体A50g(0.144モル)およびタングステン酸ナトリウム1.0gに、エタノール200mlと酢酸1mlとを加えて加熱攪拌した。次いで、この溶液に30%過酸化水素水溶液36.5g(0.288モル)を滴下した。滴下終了後、65〜70℃で4時間さらに加熱攪拌して反応を完結した。反応終了後、室温に冷却して亜硫酸ナトリウム10gと水700mlとを加え、室温で攪拌することで結晶を析出した。この結晶を濾過して水洗し、メタノール200mlで再結晶して精製し、中間体B32.5gを得た(収率60%)。
(2)色素C−1の合成
前記のようにして得た中間体B34.4g(0.081モル)および炭酸アンモニウム6.7g(0.070モル)に、ブタノール150mlを加えて50℃で加熱攪拌した。次いでこれに、塩化第二銅4.7g(0.035モル)を添加し、100〜110℃に加熱して7時間攪拌した。反応終了後、ブタノールを留去した後、残留物をクロロホルムに溶解し、シリカゲルカラムクロマトグラフィー(溶離液:クロロホルム/メタノール=10/1)で分離、精製し、粉末状の色素C−1を25g得た(収率72.7%)。
得られた色素の酢酸エチル中における極大吸収波長(λmax)およびモル吸光係数(ε)の分光光度計UV−2400PC(島津製作所(株)製)による測定を行なったところ、最大吸収波長λmax706.8nm、モル吸光係数ε55,600であった。
なお、前記した色素C−1以外の他の例示化合物についても、前記と同様な方法により合成することができる。
−一般式(1)で表されるキノフタロン系色素−
下記一般式(1)で表される化合物は、従来に無い、高い耐光性と高い耐熱性とを同時に満足し、かつ、必要であれば水または溶剤に自由に溶解することができる化合物である。
Figure 0004384582
一般式(1)中、R1〜R4は各々独立して、水素原子、ハロゲン原子、−S−R5または−S−R6を表す。Sは硫黄原子を表し、R5は酸素原子をエーテル結合の形で含むアルキル基を表し、更に置換基としてヒドロキシ基を有してもよい。R6はヒドロキシ基を有するアルキル基を表す。ただしR1〜R4のうち少なくとも1つは−S−R5を表す。
さらに前記一般式(1)においては、R5が酸素原子をエーテル結合の形で1〜6個含む総炭素数2〜16のアルキル基であることが好ましく、R2およびR3が−S−R5であり、R1およびR4が水素原子またはハロゲン原子であることが好ましい。なお、本発明における一般式(1)で表されるキノフタロン系色素の構造上の特徴のひとつは、キノフタロン骨格のフタロイル側のベンゼン環にエーテル結合を有するアルキル基を少なくとも1つ有する点にある。
前記一般式(1)において、R1〜R4で表わされるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、好ましくは、塩素原子および臭素原子である。
1〜R4が−S−R5である場合において、R5としては酸素原子をエーテル結合の形で1〜6個含む総炭素数2〜16個のアルキル基が好ましく、特に酸素原子をエーテル結合の形で2〜4個含む総炭素数2〜12個のアルキル基が好ましい。ここでアルキル基は直鎖または分岐鎖であってもよく、環を形成した部分を有していてもよい。
前記R5の例としては、2−メトキシエチル基、2−エトキシエチル基、2−ブトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、3−エトキシプロピル基、2−エトキシ−1−メチルプロピル基、3−プロポキシプロピル基、2−メトキシプロピル基、2−エトキシプロピル基、4−メトキシブチル基、4−プロポキシブチル基、6−メトキシヘキシル基、6−エトキシヘキシル基、2,3−ジメトキシプロピル基、2,3−ジエトキシプロピル基、2,3−ジプロポキシプロピル基、2,3−ジイソプロポキシプロピル基、2,3−ジブトキシプロピル基、2,3−ジシクロヘキシルプロピル基、
2,3−ジ(2−エトキシエトキシ)プロピル基、2,3−ジ(2−エトキシエトキシエトキシ)プロピル基、2−(2−エトキシエトキシ)−3−(2−エトキシエトキシエトキシ)プロピル基、2−(2−エトキシエトキシエトキシ)−3−(2−プロポキシエトキシエトキシ)プロピル基、2,3−ジ(1,3−ジオキソラン−2−イル−エトキシ)プロピル基、(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラン−4−イル)メチル基、(2−エチル−2−メチル−1,3−ジオキソラン−4−イル)メチル基、(2,2−ジエチル−1,3−ジオキソラン−4−イル)メチル基、(2−プロピル−1,3−ジオキソラン−4−イル)メチル基、(2,2−ジプロピル−1,3−ジオキソラン−4−イル)メチル基、(2−プロピル−1,3−ジオキソラン−4−イル)メチル基、(2−ペンチル−1,3−ジオキソラン−4−イル)メチル基、
2−(テトラハイドロフルフリルオキシ)エチル基、2−(1,3−ジオキソラン−2−イルメチルオキシ)エチル基、2−(1,3−ジオキソラン−2−イルエチルオキシ)エチル基、2−(1,3−ジオキソラン−2−イルメチルオキシ)プロピル基、2−(テトラハイドロピラン−2−メチルオキシ)エチル基、2−(1,3−ジオキサン−2−イルエチルオキシ)エチル基、2−(1,3−ジオキサン−2−イルエチルオキシ)プロピル基、ヒドロキシエトキシエチル基、ヒドロキシエトキシエトキシエチル基、2−(ヒドロキシエトキシ)プロピル基、2−ヒドロキシ−3−メトキシプロピル基、2−ヒドロキシ−3−エトキシプロピル基、2−ヒドロキシ−3−ブトキシプロピル基、2−ヒドロキシ−3−(エトキシエトキシ)プロピル基等が挙げられる。
1〜R4が−S−R6である場合において、R6としてはヒドロキシ基を1〜4個含む総炭素数2〜12個のアルキル基が好ましく、色素の光学濃度の点から、ヒドロキシ基を1〜3個含む総炭素数2〜8個のアルキル基が特に好ましい。
前記R6の例としては、2−ヒドロキシエチル基、3−ヒドロキシプロピル基、2−ヒドロキシプロピル基、2,3−ジヒドロキシプロピル基、2−ヒドロキシ−1−メチルプロピル基、4−ヒドロキシブチル基、2,3,4−トリヒドロキシブチル基、2,3,4,5−テトラヒドロキペンチル基、6−ヒドロキシヘキシル基、11−ヒドロキシウンデカニル基、12−ヒドロキシドデカニル基等が挙げられる。
一般式(1)で表されるキノフタロン系色素およびその互変異性体において、R1〜R4に含まれるエーテル結合としての酸素原子の総数は、1〜16個であることが好ましく、溶解性および色素の光学濃度の点から、2〜12個であることが特に好ましい。
また、ヒドロキシ基に含まれる酸素原子を含めたR1〜R4に含まれる酸素原子の総数としては、2〜24個であることが好ましく、3〜16個であることが特に好ましい。
また、色素の吸収特性の点から一般式(1)で表されるキノフタロン系色素およびその互変異性体は、R2および/またはR3に−S−R5が導入された構造のものが好ましい。
一般式(1)で表されるキノフタロン系色素(下記化合物(1))には、以下に示す化合物(1’)および(1″)等の構造の互変異性体が存在するが、これらの互変異性体についても本発明の範疇に含まれる。
Figure 0004384582
以下、本発明における一般式(1)で表されるキノフタロン系色素(キノフタロン化合物)の具体例(具体例1〜227)を表に示す。但し、これらの具体例は本発明における化合物の範囲を限定するものではない。
Figure 0004384582
Figure 0004384582
Figure 0004384582
Figure 0004384582
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Figure 0004384582
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Figure 0004384582
Figure 0004384582
Figure 0004384582
(一般式(1)で表されるキノフタロン系色素の製造方法)
本発明における一般式(1)で表されるキノフタロン系色素(キノフタロン化合物)の製造方法を以下に説明する。代表的な製造方法の概略(第一および第二の製造方法)は、次の通りである。
−第一の製造方法−
第一の製造方法としては、まず、有機溶媒中で、下記化合物(A)の1モル量に対して、アルカリ化合物を1〜16モル量用いて、下記化合物(B)を1〜8モル量と共に、20〜200℃で1〜8時間反応させる。
Figure 0004384582
〔化合物(A)中、R7はハロゲン原子を表し、R8は水素原子を表す。aはR7の導入個数を表し、1〜4の整数を表す。bはR8の導入個数を表し、0〜3の整数を表わす。但し、a+bは4である。〕
HS−R5 (B)
〔化合物(B)中、R5は、前記一般式(1)におけるものと同様である。〕
この際、前記有機溶媒としては、N−メチルピロリドン、DMI、スルホラン、DMF,DMAC、トルエンおよび酢酸エチル等が使用され、前記アルカリ化合物としては、炭酸カリウム、炭酸カルシウム、水酸化ナトリウムおよび水酸化カリウム等が使用される。反応後、反応溶液を水中に排出し、酢酸エチル等の有機溶媒で抽出、水洗、濃縮後、必要に応じてカラムクロマトグラフィーにて精製することにより、目的とする一般式(1)で表されるキノフタロン系色素を得ることができる。
−第二の製造方法−
第二の製造方法としては、まず、有機溶媒中で前記化合物(A)1モル量に対して、アルカリ化合物を1〜16モル量用いて、下記化合物(C)の1〜8モル量と共に20〜200℃で1〜24時間反応させる。
HS−R6 (C)
〔化合物(C)中、R6は一般式(1)におけるものと同様のものを表す。〕
次いで、溶液を水中に排出し、希塩酸或いは酢酸等で中和し、濾取、水洗し、下記化合物(D)を得る。この際、前記反応に用いる有機溶媒およびアルカリ化合物としては、前記第一の製造方法で用いたものと同様のものが使用される。
Figure 0004384582
〔化合物(D)中、R7とR8とは前記化合物(A)におけるものと同様ものを表し、R6は一般式(1)におけるものと同様のものを表す。また、a−cは0〜3を表し、bは0〜3を表し、cは1〜4を表す。但し、(a−c)+c+bは4である。〕
次に、前記化合物(D)を有機溶媒中で、アルカリ化合物を1〜24モル量用いて、下記化合物(E)の1〜24モル量と共に20〜200℃で1〜24時間反応させることにより、目的とする一般式(1)で表されるキノフタロン系色素が得られる。前記有機溶媒および前記アルカリ化合物としては、前記第一の製造方法で用いたものと同様のものが使用される。
Z−R9 (E)
〔化合物(E)中、Zはハロゲン原子、トルエンスルホニルオキシ基或いはメタンスルホニルオキシ基を表し、R9は、酸素原子を、エーテル結合の形、或いはヒドロキシ基の形で含んでもよいアルキル基を表す。〕
また、前記化合物(D)と前記化合物(E)とを有機溶媒中で、相間移動触媒とアルカリ水溶液とを用いた2相系で反応させても同様に一般式(1)で表されるキノフタロン系色素を製造することができる。前記反応に用いる有機溶媒としては、前記第一の製造方法で用いたものと同様のものが使用される。前記アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウム水溶液および水酸化カリウム水溶液等が挙げられる。また、前記相間移動触媒としては、テトラブチルアンモニウムブロマイド、テトラメチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド、テトラブチルアンモニウム硫酸水素塩等が使用される。
また、前記化合物(D)のR6がα,β−ジヒドロキシ基を有するアルキル基である場合、有機溶媒中、下記化合物(F)とp−トルエンスルホン酸等の酸触媒とを脱水還流することにより、目的とする一般式(1)で表されるキノフタロン系色素を得ることができる。
Figure 0004384582
〔化合物(F)中、R10は、水素原子またはアルキル基を表し、R11はアルキル基を表し、R10とR11とは互いに結合して環を形成していてもよい。〕
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物においては、既述の一般式(A)で表される色素の1種または複数種と、既述の一般式(1)で表されるキノフタロン系色素の1種または複数種とを併用して構成され、必要に応じて更に公知のキサンテン系色素やトリアリールメタン系色素などを併用することができる。
本発明における色素の染料含有ネガ型硬化性組成物中における総濃度は、分子量およびモル吸光係数により異なるが、該組成物の全固形成分に対して、0.5〜80質量%が好ましく、10〜60質量%がより好ましい。
また、一般式(A)で表される色素と、一般式(1)で表されるキノフタロン系色素とを混合して調色する場合においては、添加する色素のうち最も少量添加する色素の添加量は、全色素の添加量のうち少なくとも10%以上であることが好ましく、10〜80%がより好ましくい。
−(C)光重合開始剤−
次に、光重合開始剤について説明する。光重合開始剤は、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物に後述のラジカル重合性モノマーと共に含有される。前記光重合開始剤としては、前記ラジカル重合性モノマーを重合させ得るものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。
前記光重合開始剤としては、例えば、ハロメチルオキサジアゾール化合物およびハロメチル−s−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。
前記ハロメチルオキサジアゾール化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭57−6096号公報に記載の2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4−オキサジアゾール化合物等や、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、等が挙げられる。
ハロメチル−s−トリアジン系化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭59−1281号公報に記載のビニル−ハロメチル−s−トリアジン化合物、特開昭53−133428号公報に記載の2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン化合物および4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物、等が挙げられる。
前記ハロメチル−s−トリアジン系化合物として、具体的には、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(3,4−メチレンジオキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル−1,3−ブタジエニル)−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−4−アミノ−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−メトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、
2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−エトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、
4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルカルボニルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)カルボニルアミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
4−(o−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。
その他、光重合開始剤としては、みどり化学(株)製のTAZシリーズ(例えば、TAZ−107、TAZ−110、TAZ−104、TAZ−109、TAZ−140、TAZ−204、TAZ−113、TAZ−123)、PANCHIM社製のTシリーズ(例えば、T−OMS、T−BMP、T−R、T−B)、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアシリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア184、イルガキュア500、イルガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア819、イルガキュア261)、ダロキュアシリーズ(例えばダロキュア1173)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、
2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル、等も有用に用いられる。
これらの中でも本発明における光重合開始剤としては、オキシム系化合物が好ましい。該オキシム系化合物としては、例えば、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、および、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンが特に好ましい。
また、これら光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、上述の光重合開始剤のほかに他の公知の光重合開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリールイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
前記光重合開始剤の総含有量としては、後述するラジカル重合性モノマーの固形分(質量)に対して、0.01質量%〜50質量%が好ましく、1質量%〜30質量%がより好ましく、1質量%〜20質量%が特に好ましい。前記光重合開始剤の含有量が0.01〜50質量%の範囲内にあると、重合が進み易く、膜強度を十分向上させることができる。また、前記オキシム系化合物と他の光重合開始剤とを併用する場合、前記オキシム系化合物の光重合開始剤の総量に対する含有量は、30質量%以上が好ましく、50質量%以上がさらに好ましい。
−(D)ラジカル重合性モノマー−
次に、前記ラジカル重合性モノマーについて説明する。本発明において用いられるラジカル重合性モノマーとしては、少なくとも1つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有し、且つ、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物が好ましい。上述の光重合開始剤等と共に含有することにより、本発明の組成物をネガ型に構成することができる。
前記ラジカル重合性モノマーの例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、
トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの;特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートおよびこれらの混合物;を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものも挙げることができる。本発明におけるラジカル重合性モノマーとしては、多官能(メタ)アクリル化合物であることが好ましい。
前記ラジカル重合性モノマーの含有量としては、組成物中の全固形分に対して、1〜60質量%であることが好ましく、10〜50質量%であることが更に好ましい。前記ラジカル重合性モノマーの含有量が1〜60質量%の範囲内にあると、露光部の硬化性が十分であり、未露光部の耐溶出性を向上させることができる。
−架橋剤−
本発明においては、補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得ることも可能である。以下、架橋剤について説明する。
本発明に使用可能な架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
前記(a)エポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれであってもよく、例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、N,N−ジグリシジルアニリン等の2価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、TrisP−PAトリグリシジルエーテル等に代表される3価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールAテトラグリシジルエーテル等に代表される4価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物、ポリグリシジル(メタ)アクリレート、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。
前記架橋剤(b)に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換している数としては、メラミン化合物の場合2〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は2〜4であるが、好ましくはメラミン化合物の場合5〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は3〜4である。
以下、前記(b)のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物およびウレア化合物を総じて、(b)に係る(メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有)化合物ということがある。
前記(b)に係るメチロール基含有化合物は、(b)に係るアルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。前記(b)に係るアシロキシメチル基含有化合物は、(b)に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。
以下、前記置換基を有する(b)に係る化合物の具体例を挙げる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
前記グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
前記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
前記ウレア化合物として、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
これら(b)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
前記(c)の架橋剤、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物は、前記架橋剤(b)の場合と同様、熱架橋により上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、これら化合物を総じて、(c)に係る(メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有)化合物ということがある。
前記架橋剤(c)に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基またはアルコキシメチル基の数としては、一分子当り最低2個必要であり、熱架橋性および保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の2位,4位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、OH基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。前記フェノール化合物の3位または5位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記ナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記(c)に係るメチロール基含有化合物は、フェノール性OH基の2位または4位が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることにより得られる。
前記(c)に係るアルコキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記(c)に係るアシロキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
架橋剤(c)における骨格化合物としては、フェノール性OH基のオルト位またはパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、2,3−キシレノ−ル、2,5−キシレノ−ル、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、ビスフェノールAなどのビスフェノール類、4,4’−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。
前記架橋剤(c)の具体例としては、フェノール化合物として、例えば、トリメチロールフェノール、トリ(メトキシメチル)フェノール、トリメチロールフェノールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−3−クレゾール、トリ(メトキシメチル)−3−クレゾール、トリメチロール−3−クレゾールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、2,6−ジメチロール−4−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、テトラメトキシメチルビスフェノールA、テトラメチロールビスフェノールAの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−4,4’−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−4,4’−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PAのヘキサメチロール体、TrisP−PAのヘキサメトキシメチル体、TrisP−PAのヘキサメチロール体の1〜5個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。
また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、1,6−ジヒドロキシメチル−2,7−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、前記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。
これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−p−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)のヘキサメチロール体またはそれらのメチロール基がアルコキシメチル基およびメチロール基とアルコキシメチル基との両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら(c)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
前記架橋剤の染料含有ネガ型硬化性組成物における総含有量としては、素材により異なるが、硬化性を向上させる観点から、該硬化性組成物の固形分(質量)に対して、1〜70質量%が好ましく、5〜50質量%がより好ましく、7〜30質量%が特に好ましい。
−熱重合防止剤−
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、以上のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
−(E)有機溶剤−
本発明に用いることのできる有機溶剤は、各成分の溶解性や染料含有ネガ型硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましく、例えば、環状ケトン溶剤が好ましい。また、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製する際には、少なくとも2種類の有機溶剤を含む混合溶剤を用いることが好ましい。更に、環状ケトン溶剤を単独で用いることも好ましい。
2種類以上の有機溶剤を混合した混合溶剤を用いる場合、該混合溶剤としては、環状ケトン溶剤とさらに別の1種の有機溶剤との混合溶剤であることが好ましい。前記環状ケトン溶剤としては、例えば、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、シクロヘプタノンなどが挙げられ、シクロヘキサノンが特に好ましい。
前記環状ケトン以外の溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等;
3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等の3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、等;2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等の2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、等;ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、等;
エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、等;芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等が好ましい。
これらの中でも前記環状ケトン溶剤と併用する他の有機溶剤としては、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテートが好ましく、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、が特に好ましい。
前記環状ケトン溶剤と他の有機溶剤とを混合した場合、混合溶媒の総量に占める前記環状ケトン溶剤の含有量は、40質量%以上であることが好ましく、60質量%以上であることが更に好ましい。
本発明における有機溶剤の使用量は、塗布性の観点から、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の全固形分濃度が5〜80質量%になる量とすることが好ましく、5〜60質量%が更に好ましく、10〜50質量%が特に好ましい。
<各種添加物>
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば充填剤、前記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。
前記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
また、非硬化部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
《カラーフィルタおよびその製造方法》
次に、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物が用いられる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ネガ型の着色パターンを形成する(画像形成工程)。また、必要により、形成された着色パターンを加熱および/または露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
本発明においては、前記露光の際、上述のステッパー露光によって露光を行うことが好ましい。
カラーフィルタの作製においては、前記画像形成工程(および必要により硬化工程)を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタを作製することができる。この際に使用される光若しくは放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。
前記支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
前記現像液としては、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の未硬化部を溶解する一方、照射部は溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。前記有機溶剤としては、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製する際に使用される前述の有機溶剤が挙げられる。
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。尚、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。
本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
1)染料含有ネガ型硬化性組成物の調製
以下に示す組成で各化合物を混合して溶解し、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製した。
〔組成〕
・乳酸エチル(有機溶剤) 67.3g
・樹脂C 7.9g
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=60/40〔モル比〕)
・モノマーA 4.8g
(ラジカル重合性モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬(株)製)
・前記例示化合物C−1 6.6g
(一般式(A)で表される色素)
・前記具体例番号39 2.2g
(一般式(1)で表されるキノフタロン系色素)
・光重合開始剤 2.1g
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
2)下塗り層付シリコンウェハー基板の作製
シリコンウェハー基板に、レジスト溶液(商品名:CT−2000L、富士フイルムアーチ(株)製)を膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥し、硬化膜(下塗り層)を形成し、下塗り層付シリコンウェハー基板を作製した。
3)染料含有ネガ型硬化性組成物の露光・現像(画像形成工程)
前記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を、前記2)で得られた下塗り層付シリコンウェハー基板上に膜厚が1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークし、基板上にレジスト層が形成されたサンプルを作製した。
[実施例2〜10]
実施例1において、染料含有ネガ型硬化性組成物に含まれる各組成を下記表1に示す組成にそれぞれ変更した以外は実施例1と同様にして、染料含有ネガ型硬化性組成物を調製し、各サンプルを形成した。
[比較例1]
実施例1において、染料含有ネガ型硬化性組成物に含まれる各組成を下記表1に示す組成にそれぞれ変更した以外は実施例1と同様にして、比較用の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製し、サンプルを形成した。
Figure 0004384582
※アルカリ可溶性バインダー
・樹脂A:商品名 ACA250、ダイセル化学工業(株)製
(化合物名:メタクリル酸−4−アクリロイルオキシメチル−2−ヒドロキシシクロヘキシルエステル/メタクリル酸アルキル共重合体)
・樹脂B:商品名 ACA300、ダイセル化学工業(株)製
(化合物名:メタクリル酸−4−アクリロイルオキシメチル−2−ヒドロキシシクロヘキシルエステル/メタクリル酸アルキル共重合体)
・樹脂C:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=60/40〔モル比〕)
※ラジカル重合性モノマー
・モノマーA:日本化薬(株)製、DPHA(主成分:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)
※有機溶剤可溶性染料
・有機溶剤可溶性染料の欄の記号(比較例を除く)は、一般式(A)で表わされる色素の例示化合物番号、および、一般式(1)で表わされるキノフタロン系色素の具体例番号に対応する。
・VB−2620:オリエント化学工業(株)製
※光重合開始剤
・「TAZ−107」:みどり化学(株)製
・オキシムA:2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン〔チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製〕
・オキシムB:1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン〔チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製〕
4)評価
(1)感度
各実施例および比較例において形成したサンプルについて、i線縮小投影露光装置を使用して、塗布膜に365nmの波長で縦2μm×横2μmのマスクを通して露光量をふって照射した。照射後、現像液(商品名:CD−2000、100%、富士フイルムアーチ(株)製)を使用して、23℃で60秒間現像した。次いで、流水で20秒間リンスした後、スプレー乾燥して、パターン画像を得た。画像形成は、光学顕微鏡およびSEM写真観察により通常の方法で確認した。
この際、縦2μm×横2μmの画素パターンと、該画素パターン間のスペースと、の幅が1:1になる露光量を適正露光量とし、その露光量を感度とした。数字が小さい方が高感度となり好ましい。結果を下記表2に示す。
(2)プロファイル
前記(1)において、適正露光量時に形成された画素パターンについて、SEM画像にてパターン断面を観察した。この際、良好な矩形なプロファイルであるものを「〇」と評価し、ややラウンドトップ(頭が丸い)形状であるものを「△」と評価し、完全にラウンドトップ形状のものを「×」と評価した。結果を下記表2に示す。
(3)未露光部残渣
前記(1)において、適正露光量時に形成された画素パターンについて、SEM画像にてパターン断面を観察した。この際、未露光部に残査が全く認められないものを「〇」と評価し、未露光部に残査がやや認められるものの実用上問題はないものを「△」と評価し、未露光部に残渣が明らかに認められるものを「×」と評価した。結果を下記表2に示す。
(4)耐熱性
別途作成したガラス基板上に、前記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を膜厚1μmになるように塗布した。塗布膜が形成されたガラス基板を200℃のホットプレート上に1時間放置し、その後分光光度計(商品名:MS−1500、島津製作所(株)製)を用いて分光変化を測定した。かかる測定値から、カラー解析プログラムにてΔE*abを算出し、耐熱性の評価とした。結果を下記表2に示す。
(5)耐光性
別途作成したガラス基板上に、前記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を膜厚1μmになるように塗布し、塗布膜をキセノン照射ウェザーメーター(商品名:SX75、スガ試験機(株)製)にて20時間照射し(20万lux・h)、その後、分光光度計(商品名:MS−1500、島津製作所(株)製)を用いて分光変化を測定した。かかる測定値から、カラー解析プログラムにてΔE*abを算出し、耐光性の評価とした。結果を下記表2に示す。
Figure 0004384582
前記表2から、一般式(A)で表わされる色素および一般式(1)で表わされるキノフタロン系色素を用いた実施例においては、耐熱性および耐光性が優れており、更に、感度に優れ、パターンの矩形性も良好であり、未露光部に残渣も確認されなかった。これに対し、本発明における色素以外の色素を用いた比較例においては、耐熱性および耐光性が顕著に劣っており、また、感度およびパターンの矩形性が共に悪く、更に、未露光部に残渣が認められた。

Claims (7)

  1. (A)アルカリ可溶性バインダーと、(B)有機溶剤可溶性染料と、(C)光重合開始剤と、(D)ラジカル重合性モノマーと、(E)有機溶剤と、を少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物であって、前記(B)有機溶剤可溶性染料が、下記一般式(A)で表される色素の少なくとも1種と、下記一般式(1)で表されるキノフタロン系色素とを含有することを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物。
    Figure 0004384582
    〔一般式(A)中、M1は金属類を表し、Z1、Z2、Z3、およびZ4は各々独立に、炭素原子および窒素原子より選ばれる原子で構成された6員環を形成する原子群を表す。〕
    Figure 0004384582
    〔一般式(1)中、R1〜R4は各々独立して、水素原子、ハロゲン原子、−S−R5または−S−R6を表す。Sは硫黄原子を表し、R5は酸素原子をエーテル結合の形で含むアルキル基を表し、更に置換基としてヒドロキシ基を有してもよい。R6はヒドロキシ基を有するアルキル基を表す。ただしR1〜R4のうち少なくとも1つは−S−R5を表す。〕
  2. 前記一般式(A)で表される色素が、下記一般式(B)で表されるフタロシアニン色素であることを特徴とする請求項1に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
    Figure 0004384582
    〔一般式(B)中、M1は金属類を表し、R101〜R116は各々独立して、水素原子または置換基を表す。〕
  3. 前記(C)光重合開始剤が、オキシム系化合物であることを特徴とする請求項1または2に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
  4. 前記(A)アルカリ可溶性バインダーが、側鎖に不飽和二重結合を有する樹脂であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
  5. 前記(E)有機溶剤が環状ケトン溶剤を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
  6. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタ。
  7. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を、支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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