JP4398262B2

JP4398262B2 - 基板処理装置

Info

Publication number: JP4398262B2
Application number: JP2004002670A
Authority: JP
Inventors: 悟史山本; 泰正志摩
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2004-01-08
Filing date: 2004-01-08
Publication date: 2010-01-13
Anticipated expiration: 2024-01-08
Also published as: TW200527503A; CN100350555C; TWI283013B; KR100731420B1; KR20050073420A; JP2005197487A; CN1638033A

Description

この発明は、半導体ウエハ、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、プリント基板等の基板を搬送しつつ、超音波・高圧ジェット洗浄処理、水洗処理、エアーナイフ乾燥処理、エッチング処理、現像処理、剥離処理等の各種処理を基板に対して施す基板処理装置に関する。

半導体ウエハやＦＰＤ用ガラス基板等の基板に対して超音波・高圧ジェット洗浄処理、水洗処理、エッチング処理等のウエット処理を施す場合には、超音波・高圧ジェット洗浄装置、水洗装置、エッチング装置等の処理ツールが内部に配設されたチャンバを備えた基板処理装置が使用される。そして、ローラコンベア等の搬送機構によって基板を搬送しつつ、チャンバ内において基板へ純水やエッチング液等の薬液を供給し、基板に対して所定の処理を施すようにする。このように、基板は、チャンバ内を搬送されつつ、チャンバ内においてウェット処理される。

また、チャンバを備えないでノズル構成体からなる処理ツールを備えた基板処理装置が提案されている。すなわち、一端に処理液を導入するための導入口を有する導入通路と一端にウェット処理後のウェット処理液を系外へ排出するための排出口を有する排出通路とを形成し、導入通路と排出通路とをそれぞれの他端において交差させて交差部を形成して、その交差部に、基板に向けて開口する開口部を設けたノズル構成体からなる処理ツールを備えた基板処理装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
特開平１０−１６３１５３号公報（第７−８頁、図１１、図１２）

超音波・高圧ジェット洗浄装置、水洗装置、エッチング装置等の処理ツールが内部に配設されたチャンバを備えた基板処理装置では、チャンバ内から基板入口や基板出口を通して周辺雰囲気へ処理液の飛沫や蒸発気体が拡散する恐れがある。

一方、チャンバを備えないでノズル構成体からなる処理ツールを備えた基板処理装置は、排出通路外への薬液や純水の流出や飛散を防止するための手段や制御が必要であり、装置構成や制御機構が複雑化する。また、ノズル構成体の開口部から周辺雰囲気へ処理液の飛沫や蒸発気体が拡散する恐れもある。

この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、処理ツールが内部に配設されたチャンバを備えた構成を有する装置であって、チャンバの内部雰囲気と外部雰囲気とを常時、確実に隔絶して、処理液の流出や飛散を確実に防止することができ、周辺雰囲気へ処理液の飛沫や蒸発気体が拡散する恐れもない基板処理装置を提供することを目的とする。

請求項１に係る発明は、基板入口および基板出口を有する密閉型のチャンバと、このチャンバの内部に配設され基板に対して所定の処理を施す処理ツールと、この処理ツールに対し基板を相対的に移動させる移動手段とを備えた基板処理装置において、前記処理ツールが配設されたチャンバと基板とを相対的に移動させるようにし、前記チャンバの基板入口に基板の相対的移動路を挟んでその上方側および下方側にそれぞれに配設され、基板の相対的移動路に近接して対向する気体吐出口をそれぞれ有し、その気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてカーテン用気体をそれぞれ吐出する上・下一対の入口側気体吐出手段と、前記チャンバの基板入口に基板の相対的移動路を挟んでその上方側および下方側にそれぞれに配設され、基板の相対的移動路に近接して対向する気体吸入口をそれぞれ有し、その気体吸入口を通してカーテン用気体をそれぞれ吸入する上・下一対の入口側気体吸入手段と、前記チャンバの基板出口に基板の相対的移動路を挟んでその上方側および下方側にそれぞれに配設され、基板の相対的移動路に近接して対向する気体吐出口をそれぞれ有し、その気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてカーテン用気体をそれぞれ吐出する上・下一対の出口側気体吐出手段と、前記チャンバの基板出口に基板の相対的移動路を挟んでその上方側および下方側にそれぞれに配設され、基板の相対的移動路に近接して対向する気体吸入口をそれぞれ有し、その気体吸入口を通してカーテン用気体をそれぞれ吸入する上・下一対の出口側気体吸入手段と、前記チャンバの基板入口に基板が存在するときは、前記上・下一対の入口側気体吐出手段と前記上・下一対の入口側気体吸入手段とをそれぞれ作動させ、前記チャンバの基板出口に基板が存在するときは、前記上・下一対の出口側気体吐出手段と前記上・下一対の出口側気体吸入手段とをそれぞれ作動させ、前記チャンバの基板入口に基板が存在しないときは、前記上方側または下方側の入口側気体吐出手段と前記下方側または上方側の入口側気体吸入手段とをそれぞれ作動させ、前記チャンバの基板出口に基板が存在しないときは、前記上方側または下方側の出口側気体吐出手段と前記下方側または上方側の出口側気体吸入手段とをそれぞれ作動させるように切り替える切替手段とを備えたことを特徴とする。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の基板処理装置において、前記チャンバが、基板の相対的移動方向に複数連設されたことを特徴とする。

請求項１に係る発明の基板処理装置においては、基板に対して所定の処理を施す処理ツールが密閉型のチャンバの内部に配設され、チャンバの内部雰囲気と外部雰囲気とが、それぞれ上・下一対の入口側気体吐出手段および入口側気体吸入手段ならびに出口側気体吐出手段および出口側気体吸入手段によって確実に隔絶されるので、処理液の流出や飛散を確実に防止することができ、また、周辺雰囲気への処理液の飛沫や蒸発気体の拡散も防止することができる。

すなわち、チャンバ内に基板が存在しないときは、チャンバの基板入口および基板出口においてそれぞれ、上方側または下方側の気体吐出手段の気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてカーテン用気体が吐出されるとともに、下方側または上方側の気体吸入手段の気体吸入口を通してカーテン用気体が吸入されることにより、気体のカーテンが形成される。

チャンバ内に基板の一部が相対的に移動してきて、チャンバの基板入口に基板が存在し基板出口に基板が存在しないときは、チャンバの基板入口において、上・下一対の入口側気体吐出手段の気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてそれぞれカーテン用気体が吐出され、各カーテン用気体が、基板の上面および下面でそれぞれはね返って、上・下一対の入口側気体吸入手段の気体吸入口を通してそれぞれ吸入されることにより、基板の上・下両面側にそれぞれ気体のカーテンが形成される。一方、チャンバの基板出口においては、上方側または下方側の出口側気体吐出手段の気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてカーテン用気体が吐出されるとともに、下方側または上方側の出口側気体吸入手段の気体吸入口を通してカーテン用気体が吸入されることにより、気体のカーテンが形成される。

チャンバ内に基板が相対的に移動してきて、チャンバの基板入口および基板出口に基板が存在するときは、チャンバの基板入口および基板出口においてそれぞれ、上・下一対の気体吐出手段の気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてそれぞれカーテン用気体が吐出され、各カーテン用気体が、基板の上面および下面でそれぞれはね返って、上・下一対の気体吸入手段の気体吸入口を通してそれぞれ吸入されることにより、基板の上・下両面側にそれぞれ気体のカーテンが形成される。

また、チャンバの基板入口に基板が存在しないで基板出口に基板が存在するときは、チャンバの基板入口において、上方側または下方側の入口側気体吐出手段の気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてカーテン用気体が吐出されるとともに、下方側または上方側の入口側気体吸入手段の気体吸入口を通してカーテン用気体が吸入されることにより、気体のカーテンが形成される。一方、チャンバの基板出口においては、上・下一対の出口側気体吐出手段の気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてそれぞれカーテン用気体が吐出され、各カーテン用気体が、基板の上面および下面でそれぞれはね返って、上・下一対の出口側気体吸入手段の気体吸入口を通してそれぞれ吸入されることにより、基板の上・下両面側にそれぞれ気体のカーテンが形成される。
以上のような作用により、チャンバの内部雰囲気と外部雰囲気とを常時、確実に隔絶することができる。

請求項２に係る発明の基板処理装置では、複数連設されたチャンバにより基板に対して複数種類の処理、例えばエッチング処理、水洗処理および乾燥処理が連続して施される。

図１ないし図８を参照しながら、この発明を実施するための最良の形態について説明する。
図１は、この発明の実施形態の１例を示し、基板処理装置の概略構成を模式的に示す図である。なお、図１においては（図３においても）、エアー、窒素ガス等の気体供給機構や気体排出機構についての図示を省略している。

この基板処理装置は、基板搬入口１２および基板搬出口１４を有する密閉型のチャンバ１０を備えている。チャンバ１０の内部には、基板Ｗに対し所定の処理を施す処理ツールとして超音波・高圧ジェット洗浄・水洗処理部１６およびエアーナイフ乾燥処理部１８が配設されている。超音波・高圧ジェット洗浄・水洗処理部１６およびエアーナイフ乾燥処理部１８は、基板Ｗの搬送路を挟んでその上方側および下方側にそれぞれ設置されている。また、基板Ｗの、チャンバ１０内への搬入、チャンバ１０内での搬送およびチャンバ１０内からの搬出を行うためのローラコンベア２０を備えている。

チャンバ１０は、図２に概略平面図を示すように、その幅が基板Ｗの搬送方向と直交する方向における寸法と同等もしくはそれより大きくされており、その長さが基板Ｗの搬送方向における寸法より小さくされている。このため、基板Ｗは、その一部がチャンバ１０内に収容された状態で、その収容部分に対して超音波・高圧ジェット洗浄・水洗処理やエアーナイフ乾燥処理が施される。そして、基板Ｗは、ローラコンベア２０により搬送されて各部が順次チャンバ１０内を通過していき、基板Ｗの全体がチャンバ１０内を通過し終わることにより、基板Ｗの全面に対する処理が終了する。このように、チャンバ１０の平面形状が基板Ｗより小さくされていることにより、装置全体を小型化することができる。また、チャンバ１０には、基板搬入口１２および基板搬出口１４にそれぞれ気体供給手段および気体排出手段が設けられているが、それについては後述する。なお、チャンバ１０には排水口も設けられているが、その図示は省略する。

図３は、この発明の別の実施形態である基板処理装置の概略構成を模式的に示す図である。この基板処理装置は、図１に示した基板処理装置におけるチャンバ１０と同様のチャンバ１０（図３においても、図１に示した基板処理装置と共通する構成部材には図１で使用した符号と同一符号を付して、それらについての説明を省略する）を備えているとともに、チャンバ１０の上流側に別のチャンバ３２が設置されている。チャンバ３２も、基板搬入口３４および基板搬出口３６を有する密閉型であり、チャンバ３２の内部には、基板Ｗの上面に対してエッチング処理を施すエッチング処理部３８が配設されている。また、チャンバ３２の内部には、基板Ｗを搬送するためのローラコンベア２２が配設されている。

チャンバ１０と同様にチャンバ３２も、その幅が基板Ｗの搬送方向と直交する方向における寸法と同等もしくはそれより大きくされ、その長さが基板Ｗの搬送方向における寸法より小さくされている。このため、基板Ｗは、その一部がチャンバ３２内に収容された状態で、その収容部分に対してエッチング処理が施され、基板Ｗがローラコンベア２２により搬送されて各部が順次チャンバ３２内を通過していくことにより、基板Ｗの全面に対しエッチング処理が行われる。この基板処理装置では、２つ連設されたチャンバ３２、１０により基板Ｗに対してエッチング処理ならびに超音波・高圧ジェット洗浄・水洗処理およびエアーナイフ乾燥処理が連続して施されるが、各チャンバ３２、１０は、その長さが基板Ｗの搬送方向における寸法よりそれぞれ小さくされているので、装置全体を小型化することができる。また、チャンバ３２にも、基板搬入口３４および基板搬出口３６にそれぞれ気体供給手段および気体排出手段が設けられている。

図４ないし図７により、チャンバの基板搬入口および基板搬出口にそれぞれ配設された気体供給手段および気体排出手段について説明する。図４ないし図７は、チャンバの概略構成を示す基板搬送方向に沿った断面図である。なお、図ないし図７において、符号８０で示すチャンバは、図１および図３に示したチャンバ１０、３２に対応し、符号８２および８４でそれぞれ示す基板搬入口８２および基板搬出口８４は、図１および図３に示した基板搬入口１２、３４および基板搬出口１４、３６にそれぞれ対応し、符号８６で示す処理ツールは、図１および図３に示した超音波・高圧ジェット洗浄・水洗処理部１６やエアーナイフ乾燥処理部１８、エッチング処理部３８といった処理ツールに対応するものとして、以下に説明する。

チャンバ８０の基板搬入口８２に基板搬送路を挟んでその上方側および下方側に、基板搬送路に近接して対向するようにエアー吐出口が開口した上・下一対のエアー吐出通路８８ａ、８８ｂが形設されており、各エアー吐出通路８８ａ、８８ｂに、エアー供給源（図示せず）に流路接続されたエアー供給管９０ａ、９０ｂがそれぞれ連通接続されている。また、基板搬送路を挟んでその上方側および下方側に、エアー吐出通路８８ａ、８８ｂに隣接し、基板搬送路に近接して対向するようにエアー吸入口が開口した上・下一対のエアー吸入通路９２ａ、９２ｂが形設されており、各エアー吸入通路９２ａ、９２ｂに、真空排気ポンプ（図示せず）に流路接続された排気管９４ａ、９４ｂがそれぞれ連通接続されている。エアー吐出通路８８ａ、８８ｂおよびエアー吸入通路９２ａ、９２ｂは、それぞれ基板搬入口８２の開口幅（基板搬送方向と直交する方向における開口幅）の全体にわたって配設されている。そして、エアー吐出通路８８ａ、８８ｂからは、そのエアー吐出口から基板搬送路に向けてカーテン用エアーが吐出され、その吐出されたエアーがエアー吸入口を通ってエアー吸入通路９２ａ、９２ｂ内へ吸入されて、後述するように基板搬入口８２にエアーカーテンが形成されるようになっている。

また、チャンバ８０の基板搬出口８４にも同様に、基板搬送路を挟んでその上方側および下方側に、基板搬送路に近接して対向するようにエアー吐出口が開口した上・下一対のエアー吐出通路９６ａ、９６ｂが形設されており、各エアー吐出通路９６ａ、９６ｂに、エアー供給源（図示せず）に流路接続されたエアー供給管９８ａ、９８ｂがそれぞれ連通接続されている。また、基板搬送路を挟んでその上方側および下方側に、エアー吐出通路９６ａ、９６ｂに隣接し、基板搬送路に近接して対向するようにエアー吸入口が開口した上・下一対のエアー吸入通路１００ａ、１００ｂが形設されており、各エアー吸入通路１００ａ、１００ｂに、真空排気ポンプ（図示せず）に流路接続された排気管１０２ａ、１０２ｂがそれぞれ連通接続されている。

図示していないが、各エアー供給管９０ａ、９０ｂ、９８ａ、９８ｂおよび各排気管９４ａ、９４ｂ、１０２ａ、１０２ｂには開閉制御弁がそれぞれ介挿されている。そして、各開閉制御弁を制御装置によりそれぞれ切替え制御することにより、基板搬入口８２および基板搬出口８４に常にエアーカーテンが形成され、チャンバ８０の内部雰囲気と外部雰囲気とが常時、確実に隔絶されるように構成されている。この切替え動作は、以下のようにして行われる。

まず、図４に示すように、チャンバ８０内に基板Ｗが存在するときは、チャンバ８０の基板搬入口８２および基板搬出口８４においてそれぞれ、上・下一対のエアー吐出通路８８ａ、８８ｂ；９６ａ、９６ｂのエアー吐出口から基板搬送路に向けてそれぞれエアーが吐出され、その吐出された各エアーは、基板Ｗの上面および下面でそれぞれはね返って、上・下一対のエアー吸入通路９２ａ、９２ｂ；１００ａ、１００ｂ内へエアー吸入口を通ってそれぞれ吸入され排気される。これにより、チャンバ８０の基板搬入口８２および基板搬出口８４における基板Ｗの上・下両面側にそれぞれエアーカーテンが形成される。

次に、図５に示すように、チャンバ８０内に基板Ｗが存在しないときは、チャンバ８０の基板搬入口８２および基板搬出口８４においてそれぞれ、上方側または下方側（図示例では上方側）のエアー吐出通路８８ａ、９６ａのエアー吐出口から基板搬送路に向けてエアーが吐出され、その吐出されたエアーは、下方側または上方側（図示例では下方側）のエアー吸入通路９２ｂ、１００ｂ内へエアー吸入口を通って吸入され排気される。このように、上・下一対のエアー吐出通路８８ａ、８８ｂ；９６ａ、９６ｂのうち一方側のみのエアー吐出口からエアーを吐出し、上・下一対のエアー吸入通路９２ａ、９２ｂ；１００ａ、１００ｂのうち、エアーが吐出されるエアー吐出通路と対向する側のみのエアー吸入口にエアーを吸入することにより、チャンバ８０の基板搬入口８２および基板搬出口８４にそれぞれエアーカーテンが形成される。

また、図６に示すように、基板Ｗの先端がチャンバ８０内に位置するときは、チャンバ８０の基板搬入口８２において、上・下一対のエアー吐出通路８８ａ、８８ｂのエアー吐出口から基板搬送路に向けてそれぞれエアーが吐出され、その吐出された各エアーは、基板Ｗの上面および下面でそれぞれはね返って、上・下一対のエアー吸入通路９２ａ、９２ｂ内へエアー吸入口を通ってそれぞれ吸入され排気される。これにより、チャンバ８０の基板搬入口８２における基板Ｗの上・下両面側にそれぞれエアーカーテンが形成される。一方、チャンバ８０の基板搬出口８４においては、上方側または下方側（図示例では上方側）のエアー吐出通路９６ａのエアー吐出口から基板搬送路に向けてエアーが吐出され、その吐出されたエアーは、下方側または上方側（図示例では下方側）のエアー吸入通路１００ｂ内へエアー吸入口を通って吸入され排気される。これにより、チャンバ８０の基板搬出口８４にエアーカーテンが形成される。

また、図７に示すように、基板Ｗの後端がチャンバ８０内に位置するときは、チャンバ８０の基板搬入口８２において、上方側または下方側（図示例では上方側）のエアー吐出通路８８ａのエアー吐出口から基板搬送路に向けてエアーが吐出され、その吐出されたエアーは、下方側または上方側（図示例では下方側）のエアー吸入通路９２ｂ内へエアー吸入口を通って吸入され排気される。これにより、チャンバ８０の基板搬入口８２にエアーカーテンが形成される。一方、チャンバ８０の基板搬出口８４においては、上・下一対のエアー吐出通路９６ａ、９６ｂのエアー吐出口から基板搬送路に向けてそれぞれエアーが吐出され、その吐出された各エアーは、基板Ｗの上面および下面でそれぞれはね返って、上・下一対のエアー吸入通路１００ａ、１００ｂ内へエアー吸入口を通ってそれぞれ吸入され排気される。これにより、チャンバ８０の基板搬出口８４における基板Ｗの上・下両面側にそれぞれエアーカーテンが形成される。

以上説明したような各動作により、チャンバ８０の基板搬入口８２および基板搬出口８４における基板Ｗの上・下両面側にそれぞれエアーカーテンが形成される。これにより、チャンバ８０の内部雰囲気と外部雰囲気とが常時、確実に隔絶されるので、処理液の流出や飛散が確実に防止され、洗浄に使用された純水の飛沫やエアーナイフによって基板Ｗ上から除去され蒸発した気体がチャンバ８０外へ拡散することも防止される。

上記した実施形態における説明では、チャンバ１０、３２、８０が固定されて、基板Ｗを搬送するようにしているが、チャンバと基板とは相対的に移動して基板の処理が行われるようにすればよい。図８の（ａ）に模式図を示した装置は、上記実施形態に係る基板処理装置のように、内部に処理ツール１０４が配設されたチャンバ１０６を固定し、基板Ｗを搬送するようにしたものである。図８の（ｂ）に示した装置は、基板Ｗを固定し、チャンバ１０６を基板Ｗに対して移動させるようにしたものである。図８の（ｃ）に示した装置は、基板Ｗとチャンバ１０６とを同一方向へそれぞれ移動させ、チャンバ１０６の移動速度を基板Ｗの搬送速度より遅くしたものである。なお、基板Ｗとチャンバ１０６とを互いに反対方向へそれぞれ移動させるようにしてもよい。図８の（ｄ）に示した装置は、処理ツール１０４ａが配設されたチャンバ１０６ａと処理ツール１０４ｂが配設されたチャンバ１０６ｂとを基板搬送方向に連設して固定し、それらのチャンバ１０６ａ、１０６ｂに対して基板Ｗを搬送するようにした構成例である。もちろん、図８の（ｂ）や（ｃ）と同様に、基板Ｗを固定し、チャンバ１０６ａ、１０６ｂを基板Ｗに対して移動させたり、チャンバ１０６ａ、１０６ｂを基板Ｗと同一方向へ基板搬送速度より遅い速度で移動させるようにしてもよい。また、図８の（ｅ）に示した装置は、基板搬送路を挟んでその上方および下方にそれぞれ処理ツール１０８ａ、１０８ｂが配設されたチャンバ１１０を固定し、そのチャンバ１１０に対して基板Ｗを搬送するようにした構成例である。もちろん、図８の（ｂ）や（ｃ）と同様に、基板Ｗを固定し、チャンバ１１０を基板Ｗに対して移動させたり、チャンバ１１０を基板Ｗと同一方向へ基板搬送速度より遅い速度で移動させるようにしてもよい。

この発明の実施形態の１例を示し、基板処理装置の概略構成を模式的に示す図である。図１に示した基板処理装置のチャンバの概略平面図である。この発明の別の実施形態である基板処理装置の概略構成を模式的に示す図である。この発明に係る基板処理装置のチャンバの概略構成を示す基板搬送方向に沿った断面図であって、チャンバの基板搬入口および基板搬出口にそれぞれ配設された気体供給手段および気体排出手段について説明するための図である。同じくチャンバの断面図であって、図４に示した状態と異なる状態を示す図である。同じくチャンバの断面図であって、図４および図５に示した状態と異なる状態を示す図である。同じくチャンバの断面図であって、図４ないし図６に示した状態と異なる状態を示す図である。（ａ）ないし（ｅ）は、基板とチャンバとの相対的移動の態様をそれぞれ示す模式図である。

Ｗ基板
１０、３２、８０、１０６，１０６ａ、１０６ｂ、１１０チャンバ
１２、３４、８２チャンバの基板搬入口
１４、３６、８４チャンバの基板搬出口
１６超音波・高圧ジェット洗浄・水洗処理部
１８エアーナイフ乾燥処理部
２０、２２ローラコンベア
９０ａ、９０ｂ、９８ａ、９８ｂエアー供給管
９４ａ、９４ｂ、１０２ａ、１０２ｂ排気管
３８エッチング処理部
８６、１０４，１０４ａ、１０４ｂ、１０８ａ、１０８ｂ処理ツール
８８ａ、８８ｂ、９６ａ、９６ｂエアー吐出通路
９２ａ、９２ｂ、１００ａ、１００ｂエアー吸入通路

Claims

基板入口および基板出口を有する密閉型のチャンバと、
このチャンバの内部に配設され基板に対して所定の処理を施す処理ツールと、
この処理ツールに対し基板を相対的に移動させる移動手段と、
を備えた基板処理装置において、
前記処理ツールが配設されたチャンバと基板とを相対的に移動させるようにし、
前記チャンバの基板入口に基板の相対的移動路を挟んでその上方側および下方側にそれぞれに配設され、基板の相対的移動路に近接して対向する気体吐出口をそれぞれ有し、その気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてカーテン用気体をそれぞれ吐出する上・下一対の入口側気体吐出手段と、
前記チャンバの基板入口に基板の相対的移動路を挟んでその上方側および下方側にそれぞれに配設され、基板の相対的移動路に近接して対向する気体吸入口をそれぞれ有し、その気体吸入口を通してカーテン用気体をそれぞれ吸入する上・下一対の入口側気体吸入手段と、
前記チャンバの基板出口に基板の相対的移動路を挟んでその上方側および下方側にそれぞれに配設され、基板の相対的移動路に近接して対向する気体吐出口をそれぞれ有し、その気体吐出口から基板の相対的移動路に向けてカーテン用気体をそれぞれ吐出する上・下一対の出口側気体吐出手段と、
前記チャンバの基板出口に基板の相対的移動路を挟んでその上方側および下方側にそれぞれに配設され、基板の相対的移動路に近接して対向する気体吸入口をそれぞれ有し、その気体吸入口を通してカーテン用気体をそれぞれ吸入する上・下一対の出口側気体吸入手段と、
前記チャンバの基板入口に基板が存在するときは、前記上・下一対の入口側気体吐出手段と前記上・下一対の入口側気体吸入手段とをそれぞれ作動させ、前記チャンバの基板出口に基板が存在するときは、前記上・下一対の出口側気体吐出手段と前記上・下一対の出口側気体吸入手段とをそれぞれ作動させ、前記チャンバの基板入口に基板が存在しないときは、前記上方側または下方側の入口側気体吐出手段と前記下方側または上方側の入口側気体吸入手段とをそれぞれ作動させ、前記チャンバの基板出口に基板が存在しないときは、前記上方側または下方側の出口側気体吐出手段と前記下方側または上方側の出口側気体吸入手段とをそれぞれ作動させるように切り替える切替手段と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記チャンバが、基板の相対的移動方向に複数連設されたことを特徴とする基板処理装置。