JP4402883B2 - 分断装置および分断システム並びに分断方法 - Google Patents

Description

本発明は、２枚の脆性材料基板を貼り合せた貼り合せ脆性材料基板を、スクライブ予定ラインに沿ってスクライブすることにより分断する分断装置に関する。

本明細書において、２枚の脆性材料基板を貼り合せた貼り合せ脆性材料基板には、ガラス基板を互いに貼り合せた液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルと、シリコン基板、サファイヤ基板等にガラス基板を貼り合せた半導体基板とが含まれる。以下、２枚の脆性材料基板を貼り合せた貼り合せ脆性材料基板として液晶パネルを例に挙げて説明する。

図４５は、従来の液晶パネル分断ライン９００のブロック図である。液晶パネル分断ライン９００は、スクライブ装置９０１を備えている。図４６は、スクライブ装置９０１の斜視図である。スクライブ装置９０１は、テーブル９０５を備えている。テーブル９０５には、液晶マザーパネル９０８が載置されている。テーブル９０５は、Ｙ１方向に移動可能に、かつθ１方向に回動可能に設けられている。液晶マザーパネル９０８は、互いに貼り合せられた２枚のガラス基板によって構成されている。

スクライブ装置９０１には、テーブル９０５に載置された液晶マザーパネル９０８を構成する２枚のガラス基板のうち上側のガラス基板（以下「Ａ面側基板」ともいう）の表面をスクライブするためのスクライブヘッド８１１が、Ｘ１方向に沿って摺動自在に設けられている。スクライブヘッド８１１には、チップホルダー８０６が取り付けられており、チップホルダー８０６の下端には、スクライブ予定ラインＳに沿って液晶マザーパネル９０８をスクライブするカッターホイールチップ８０４が回転自在に保持されている。スクライブ装置９０１には、Ｘ１方向に沿ってスクライブヘッド８１１を駆動するためのモータ８１２が設けられている。スクライブ装置９０１は、ＣＣＤカメラ９２９とモニタ９３０とを備えている。ＣＣＤカメラ９２９は、液晶マザーパネル９０８を位置決めするために液晶マザーパネルに形成されたアライメントマークを認識する。モニタ９３０は、ＣＣＤカメラ９２９によって認識されたアライメントマークを表示する。

スクライブ装置９０１の下流側には、ブレイク装置９０２が配置されている。図４７は、ブレイク装置９０２の斜視図である。ブレイク装置９０２は、テーブル９１７を備えている。テーブル９１７には、液晶マザーパネル９０８が、Ａ面側基板が下側になるように載置されている。テーブル９１７は、Ｙ２方向に移動可能に、かつθ２方向に回動可能に設けられている。ブレイク装置９０２には、Ａ面側基板をＡ面側基板に形成されたスクライブラインに沿って分断するためのブレイクバー９１９が、テーブル９１７に載置された液晶マザーパネル９０８の上方に昇降自在に設けられている。ブレイクバー９１９の下側には、その断面がＶ字型形状をした硬質ゴム材９２０が取り付けられている。

ブレイク装置９０２の下流側には、スクライブ装置９０１Ａが配置されている。スクライブ装置９０１Ａは、スクライブ装置９０１と同一の構成を有しており、液晶マザーパネル９０８を構成する２枚のガラス基板のうちＡ面側基板以外の基板（以下「Ｂ面側基板」ともいう）をスクライブする。

スクライブ装置９０１Ａの下流側には、ブレイク装置９０２Ａが配置されている。ブレイク装置９０２Ａは、ブレイク装置９０２と同一の構成を有しており、Ｂ面側基板をＢ面側基板に形成されたスクライブラインに沿ってブレイクする。

図４８は、従来の液晶マザーパネル９０８の平面図である。図４９は、液晶マザーパネル９０８から分断された液晶パネル９０９の斜視図である。液晶マザーパネル９０８は、６分割することによって３行×２列の６個の液晶パネル９０９に分断される。液晶パネル９０９を構成する２枚のガラス基板のうちの下側のガラス基板の２辺には、端子９１３が形成されている。液晶マザーパネル９０８を構成する２枚のガラス基板の間にはシール９１１が設けられている。シール９１１と２枚のガラス基板とによって囲まれたギャップには、注入口９１４から液晶が注入される。

図５０は、液晶マザーパネル９０８に設けられた接着用シール９１５を説明する平面図である。液晶マザーパネル９０８の周縁部および各シール９１１の間には、液晶マザーパネル９０８を分断する際に発生する切り片が飛散しないように２枚のガラス基板を接着するための接着用シール９１５が２枚のガラス基板の間に設けられている。

このような構成を有する液晶パネル分断ライン９００の動作を説明する。図５１は、従来のスクライブ装置９０１の動作を説明する正面図であり、図５２は、従来のブレイク装置９０２の動作を説明する正面図である。図５３は、スクライブ装置９０１Ａの動作を説明する正面図であり、図５４は、ブレイク装置９０２Ａの動作を説明する正面図である。

図４５、図４６および図５１を参照すると、スクライブ装置９０１は、図示しない給材機構によって液晶マザーパネル９０８がＡ面側基板９１０が上側になるようにテーブル９０５に載置されると、カッターホイールチップ８０４によってＡ面側基板９１０にスクライブラインＳ１を形成する。

図４５、図４７および図５２を参照すると、スクライブ装置９０１によってＡ面側基板９１０をスクライブされた液晶マザーパネル９０８が、図示しない反転機構によって反転され、Ａ面側基板９１０が下側になるようにブレイク装置９０２のテーブル９１７に載置されると、ブレイク装置９０２のブレークバー９１９は、スクライブラインＳ１に沿ってＢ面側基板９１２を上方から押圧することによって、Ａ面側基板９１０をスクライブラインＳ１に沿って分断する。

図４５、図４６および図５３を参照すると、ブレイク装置９０２によってＡ面側基板９１０を分断された液晶マザーパネル９０８が、図示しない搬送機構によって搬送され、Ａ面側基板９１０が下側になるようにスクライブ装置９０１Ａのテーブル９０５に載置される。ブレイク装置９０２によって分断された切り片９１６は、接着用シール９１５によってＢ面側基板９１２と接着されているために、液晶マザーパネル９０８とともにテーブル９０５に載置される。スクライブ装置９０１Ａは、カッターホイールチップ８０４によってＢ面側基板９１２にスクライブラインＳ２を形成する。

図４５、図４７および図５４を参照すると、スクライブ装置９０１ＡによってＢ面側基板９１２をスクライブされた液晶マザーパネル９０８が、図示しない反転機構によって反転され、Ｂ面側基板９１２が下側になるようにブレイク装置９０２Ａのテーブル９１７に載置されると、ブレイク装置９０２Ａのブレークバー９１９は、スクライブラインＳ２に沿ってＡ面側基板９１０を上方から押圧することによって、Ｂ面側基板９１２をスクライブラインＳ２に沿って分断する。そして、接着用シール９１５によって接着された切断片をまとめて除去する。

図５５は、従来のさらに他のスクライブ装置９５０の構成図である。スクライブ装置９５０は、液晶マザーパネル９０８の両端を載置するテーブル９５１を備えている。テーブル９５１には、液晶マザーパネル９０８を固定する固定体９５２が取り付けられている。スクライブ装置９５０は、液晶マザーパネル９０８を上下から挟むように設けられた一対のカッターヘッド９５３および９５４を備えている。

このような構成のスクライブ装置９５０においては、液晶マザーパネル９０８が固定体９５２によってテーブル９５１に固定されると、一対のカッターヘッド９５３および９５４は、液晶マザーパネル９０８の表面および裏面を同時にそれぞれスクライブする。

しかしながら、図４５〜図５４を参照して前述した液晶パネル分断ライン９００では、液晶マザーパネル９０８を片面ごとにスクライブおよびブレイクしなければならないために、加工時間が長くなり、装置の設置面積も増大するという問題がある。

また、スクライブをした後、液晶マザーパネル９０８を反転させる必要があるので、液晶マザーパネル９０８の位置合わせが再度必要になるという問題がある。

さらに、ブレイク装置９０２によってＡ面側基板９１０を分断した際に発生する切り片９１６が取り残されたり、搬送の途中で落下してラインのトラブルを引き起こすことがないように、２枚のガラス基板を接着するための接着用シール９１５を２枚のガラス基板の間に設けなければならない。このため、液晶マザーパネル９０８自体を作製するために余分な工数が要求され、また、シール材の使用量が増大するために、液晶マザーパネル９０８のコストが高くなるという問題がある。

図５５を参照して前述したスクライブ装置９５０では、スクライブ装置９５０によってスクライブされた液晶マザーパネル９０８を分断するためのブレイク装置が別途必要であり、さらに、スクライブ装置９５０によってスクライブされた液晶マザーパネル９０８を反転させてブレイク装置に供給する反転装置が別途必要であるという問題がある。

本発明の目的は、マザーパネルを分断するための加工時間を短縮することができる分断装置および分断ラインを提供することにある。

本発明の他の目的は、設置面積の狭い分断装置および分断ラインを提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、接着用シールを設けていないマザーパネルを分断することができる分断装置および分断ラインを提供することにある。

本発明に係る分断装置は、脆性材料によって構成されたマザー基板の表面および裏面にそれぞれ予め設定されたスクライブラインに沿って該マザー基板の表面および裏面をそれぞれスクライブするために上下にそれぞれ対向して設けられた第１スクライブ手段および第２スクライブ手段と、該マザー基板のスクライブラインが該第１スクライブ手段および第２スクライブ手段の間に位置するように、該マザー基板を保持して搬送する保持搬送手段とを具備することを特徴とし、そのことにより上記目的が達成される。

前記保持搬送手段は、該マザー基板が該第１スクライブ手段および第２スクライブ手段の間を通過することができるように該マザー基板を搬送してもよい。

前記保持搬送手段は、前記マザー基板を吸着して搬送してもよい。

前記保持搬送手段は、前記マザー基板の一端を把持しながら搬送してもよい。

前記マザー基板は、互いに貼り合せられた第１および第２ガラス基板によって構成されており、前記第１スクライブ手段は、該第１ガラス基板をスクライブし、前記第２スクライブ手段は、該第２ガラス基板をスクライブしてもよい。

前記マザー基板は、液晶マザーパネルであり、前記第１および第２ガラス基板の間には、液晶を封入するために設けられたシールのみが形成されていてもよい。

前記保持搬送手段によって前記第１スクライブ手段および第２スクライブ手段の間へ移動される前記マザー基板が載置される第１テーブルをさらに具備し、該第１テーブルの側方に該第１スクライブ手段および第２スクライブ手段が設けられていてもよい。

第１テーブルに対して、前記第１スクライブ手段および第２スクライブ手段を挟んで第２テーブルが設けられており、前記マザー基板が前記保持搬送手段によって該第１および第２テーブルに跨って載置されてもよい。

前記第１スクライブ手段および第２スクライブ手段の少なくとも一方によって前記マザー基板から分断された切り片を除去する除去手段をさらに具備していてもよい。

前記第１スクライブ手段および第２スクライブ手段は、該第１スクライブ手段および第２スクライブ手段によってスクライブラインが形成された前記マザー基板を前記スクライブラインに沿って分断するように、該マザー基板に所定の圧力を加えながら前記スクライブラインに沿って該マザー基板上を転動する第１および第２ローラをそれぞれ有していてもよい。

前記第１ローラと前記第２ローラとは、前記スクライブラインを中心として前記マザー基板に曲げモーメントを作用させるように転動してもよい。

前記第１ローラは、前記スクライブラインに対して前記第２ローラの反対側を転動してもよい。

前記マザー基板を載置するために設けられたテーブルをさらに具備しており、該テーブルには、前記保持搬送手段によって搬送される該マザー基板を案内するためのローラが設けられていてもよい。

前記第１スクライブ手段および第２スクライブ手段は、前記マザー基板をスクライブする第１および第２カッターホイールチップをそれぞれ有しており、該第１および第２カッターホイールチップの刃先は、互いに異なっていてもよい。

前記マザー基板の幅よりも広い幅を有する切り欠き部が形成されたテーブルをさらに具備しており、該切り欠き部には、前記第２スクライブ手段が、該切り欠き部を跨ぐ該マザー基板の裏面をスクライブすることができるように配置されており、前記第１スクライブ手段は、該切り欠き部を跨ぐ該マザー基板の表面をスクライブすることができるように配置されていてもよい。

本発明に係る分断システムは、少なくとも１台の第１分断装置と少なくとも１台の第２分断装置とを具備する分断システムであって、該第１分断装置は、脆性材料によって構成された第１マザー基板の表面および裏面にそれぞれ予め設定された第１スクライブ予定ラインに沿って該第１マザー基板の表面および裏面をそれぞれスクライブするために上下に相互に対向して設けられた第１スクライブ手段および第２スクライブ手段と、該第１マザー基板の第１スクライブ予定ラインが該第１スクライブ手段および第２スクライブ手段の間に位置するように、該第１マザー基板を保持して搬送する第１保持搬送手段とを有しており、該第２分断装置は、該第１分断装置によって該第１マザー基板から分断された該第２マザー基板の表面および裏面に該第１スクライブ予定ラインと交差するようにそれぞれ予め設定された第２スクライブ予定ラインに沿って該第２マザー基板の表面および裏面をそれぞれスクライブするために上下に対向して設けられた第３スクライブ手段および第４スクライブ手段と、該第２マザー基板の第２スクライブラインが該第３スクライブ手段および第４スクライブ手段の間に位置するように、該第２マザー基板を保持して搬送する第２保持搬送手段とを有していることを特徴とし、このことにより上記目的が達成される。

（実施の形態１）
実施の形態１に係る液晶パネル分断ラインは、液晶マザーパネルを液晶パネルに分断する。図１は、実施の形態１に係る液晶パネル分断ライン１００の平面図である。液晶パネル分断ライン１００は、液晶マザーパネル８をストックするローダ１２を備えている。液晶パネル分断ライン１００には、給材ロボット１３が設けられている。給材ロボット１３は、ローダ１２にストックされた液晶マザーパネル８を１枚ずつ吸引して、コンベア１４上に載置する。コンベア１４上に載置された液晶マザーパネル８は、液晶パネル分断ライン１００の前方（図１において右方向）へ搬送され、位置決めされる。

液晶パネル分断ライン１００は、液晶パネル分断装置１を備えている。図２は、液晶パネル分断装置１を説明するための斜視図であり、図３は、図２に示す液晶パネル分断装置１の要部を示す斜視図である。液晶パネル分断装置１は、液晶マザーパネル８を載置するテーブル５を備えている。液晶パネル分断装置１には、吸着搬送機構２が設けられている。吸着搬送機構２は、コンベア１４上に載置され位置決めされた液晶マザーパネル８を吸着して、テーブル５上に載置する。吸着搬送機構２は、矢印Ｙ３に示す水平方向に沿って設けられたガイド２７を有している。ガイド２７には、水平方向に沿って摺動自在に設けられたアームが設けられており、アームの先端には、液晶マザーパネル８を吸着するために設けられた吸着パッド２５と、吸着パッド２５を上下方向に沿って駆動するためのシリンダ２６とが設けられている。

図３を参照すると、液晶パネル分断装置１は、液晶マザーパネル８をスクライブするためのスクライブ機構４を備えている。スクライブ機構４は、テーブル５に対してコンベア１４の反対側に配置されている。スクライブ機構４は、一対の支柱１２２および１２３を有している。一対の支柱１２２および１２３には、吸着搬送機構２によって搬送され、その一端がテーブル５からはみ出した液晶マザーパネル８を表面側および裏面側から挟むように設けられたガイドバー１２４および１２５がそれぞれ接続されている。

ガイドバー１２４には、液晶マザーパネル８の表面をスクライブするためのスクライブ部１０２が矢印Ｘ３によって示される方向に沿って摺動自在に設けられており、ガイドバー１２５には、液晶マザーパネル８の裏面をスクライブするためのスクライブ部１０３が、スクライブ部１０２と対向するように矢印Ｘ３の方向に沿って摺動自在に設けられている。支柱１２２には、スクライブ部１０２および１０３を矢印Ｘ３の方向に沿ってそれぞれ摺動させるためのモータ１１３および１１４が取り付けられている。

スクライブ部１０２は、矢印Ｘ３に示す方向に沿って摺動自在に設けられた移動体１０９を有している。移動体１０９の下面には、スクライブヘッド１１１が矢印Ｙ３に示す方向に沿って摺動自在に設けられている。スクライブヘッド１１１の下面には、チップホルダ１０６が設けられている。チップホルダ１０６の下端には、カッターホイールチップ１０４が回転自在に設けられている。

スクライブ部１０３は、前述したスクライブ部１０２と同一の構成を有しており、スクライブ部１０２と対向するように設けられている。スクライブ部１０３は、矢印Ｘ３に示す方向に沿って摺動自在に設けられた移動体１０９を有している。移動体１０９の上面には、スクライブヘッド１１１が矢印Ｙ３に示す方向に沿って摺動自在に設けられている。スクライブヘッド１１１の上面には、チップホルダ１０７が設けられている。チップホルダ１０７の上端には、カッターホイールチップ１０５が回転自在に設けられている。

液晶パネル分断装置１は、ＣＣＤカメラ２９とモニタ３０とを備えている。ＣＣＤカメラ２９は、液晶マザーパネル８に形成されたアライメントマークを認識する。モニタ３０は、ＣＣＤカメラ２９によって認識されたアライメントマークを表示する。

スクライブヘッド１１１を矢印Ｙ３方向に沿って摺動自在に構成したことにより、スクライブ部１０２のスクライブ位置とスクライブ部１０３のスクライブ位置とを互いにずらしてスクライブすることもできる。又、液晶マザーパネル８に記されたアライメントマークの中心を、ＣＣＤカメラ２９によってとらえた画像を処理して求め、テーブル５にセットした液晶マザーパネル８が斜めにずれていた場合に、液晶マザーパネル８の斜めにずれた傾きと、スクライブ部１０２および１０３にそれぞれ設けられたカッターホイールチップ１０４および１０５の液晶マザーパネル８への切り込み開始位置を演算により求める。そして、スクライブ時に、液晶マザーパネル８のずれをキャンセルするように、スクライブ部１０２および１０３にそれぞれ設けられたスクライブヘッド１１１を矢印Ｙ３方向に沿って移動させつつスクライブする。このようなスクライブ方法を直線補間によるスクライブという。後述する実施の形態２および３においても同様に直線補間によるスクライブが実施される。

このような画像処理および演算は１回のスクライブ毎に実施されることが好ましいが、液晶マザーパネル８の分断精度が要求されない場合、または、吸着搬送機構２がテーブル５へ液晶マザーパネル８をセットする精度が良い場合には、最初に液晶マザーパネル８がセットされた時のみ画像処理および演算を実施すればよい。

再び図２を参照すると、液晶パネル分断装置１は、捕捉機構３１を備えている。捕捉機構３１は、テーブル５の上面からはみ出した液晶マザーパネル８の一端を掴むように把持する。捕捉機構３１には、図２における矢印１２７に示す方向から見て略Ｙ字形状をした捕捉器３２が設けられている。捕捉器３２は、シリンダ３３の動作によって開閉自在に構成されており、テーブル５の上面からはみ出した液晶マザーパネル８の一端を掴むように把持する。捕捉器３２には、一対のマット３４が、把持した液晶マザーパネル８の両面と当接する位置にそれぞれ貼り付けられている。捕捉器３２の上側には、吸引パッド３７が設けられている。吸引パッド３７は、上下用シリンダ３８によって上下動自在に設けられており、シリンダ３３の上側に設けられたシリンダ３９によって矢印Ｙ３方向にも移動自在になっている。

捕捉機構３１は、上下動自在に捕捉器３２を支持する支柱３５を備えている。支柱３５の上には、捕捉器３２を上下動させるためのモータ３６が設けられている。支柱３５は、図示しないモータによって矢印Ｙ３に示す方向に沿って前後動自在に設けられている。

再び図１を参照すると、液晶パネル分断ライン１００は、コンベア１５を備えている。コンベア１５は、液晶パネル分断装置１によって分断された１列分の液晶マザーパネル８Ａを下流の位置決め位置まで搬送し、位置決めする。コンベア１５には、回転テーブル１６が設けられている。回転テーブル１６は、位置決め位置において位置決めされた液晶マザーパネル８Ａを９０度回転させる。

液晶パネル分断ライン１００は、液晶パネル分断装置１Ａを備えている。液晶パネル分断装置１Ａは、幅方向の寸法が前述した液晶パネル分断装置１よりも狭い点を除いて液晶パネル分断装置１と同一の構成を有している。従って、液晶パネル分断装置１Ａの構成の詳細な説明は省略する。液晶パネル分断装置１Ａは、回転テーブル１６によって９０度回転した液晶マザーパネル８Ａを液晶パネル９に分断する。液晶パネル分断装置１Ａによって分断された液晶パネル９は、除材ロボット１７によって製品ストック１８に搬出される。

図４は、図２および図３に示す液晶パネル分断装置１によって分断される液晶マザーパネル８の平面図であり、図５は、図４に示す液晶マザーパネル８の正面図である。図６は、スクライブ後の液晶マザーパネル８の正面図であり、図７は、液晶マザーパネル８から２個に分断された１列分の液晶マザーパネル８Ａの正面図である。液晶マザーパネル８は、６分割することによって３行×２列の６個の液晶パネル９に分断される。液晶マザーパネル８を構成する２枚のガラス基板の間には、シール１１が設けられている。シール１１と２枚のガラス基板とによって囲まれたギャップには、注入口から液晶が注入される。

液晶マザーパネル８には、下側のガラス基板を分断するためのスクライブ予定ラインＳ３と、上側のガラス基板を分断するためのスクライブ予定ラインＳ４と、上側および下側のガラス基板を分断するためのスクライブ予定ラインＳ５とが設定されている。液晶マザーパネル８には、図５０を参照して前述した液晶マザーパネル９０８のように接着用シール９１５は設けられておらず、液晶を注入するためのシール１１のみが設けられている。

このような構成を有する液晶パネル分断ライン１００の動作を説明する。給材ロボット１３がローダ１２にストックされた液晶マザーパネル８を１枚ずつ吸引して、コンベア１４上に載置すると、コンベア１４上に載置された液晶マザーパネル８は、液晶パネル分断ライン１００の前方（図１において右方向）へ搬送され、位置決めされる。

図８〜図１６は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置１の動作を説明するための正面図である。図５に示す領域６１におけるスクライブ予定ラインＳ５およびＳ４をスクライブする動作を説明する。図８を参照すると、液晶パネル分断装置１に設けられた吸着搬送機構２の吸着パッド２５は、コンベア１４上において位置決めされた液晶マザーパネル８を吸引し、液晶マザーパネル８上に予め設定されたスクライブ予定ラインＳ５がスクライブ部１０２に設けられたカッターホイールチップ１０４とスクライブ部１０３に設けられたカッターホイールチップ１０５との間に位置するように、液晶マザーパネル８の一端がテーブル５からはみ出す位置へ液晶マザーパネル８を搬送する。カッターホイールチップ１０４および１０５は、ともに、スクライブ予定ラインＳ５上において対向している。テーブル５は、搬送された液晶マザーパネル８を吸引固定する。捕捉機構３１に設けられた捕捉器３２は、液晶マザーパネル８の一端を把持する。

カッターホイールチップ１０４および１０５は、スクライブ予定ラインＳ５に沿って液晶マザーパネル８を構成するガラス基板１０Ａおよび１０Ｂをそれぞれ同時に前述した直線補間によってスクライブする。カッターホイールチップ１０４および１０５がガラス基板１０Ａおよび１０Ｂへそれぞれ乗り上げるときのカッターホイールチップ１０４および１０５の移動速度を、スクライブ時における移動速度よりも小さくすると、乗り上げ時のショックによってガラス基板１０Ａおよび１０Ｂに欠けが生じることを防止することができる。実施の形態に係るカッターホイールチップ１０４および１０５によれば、ガラス基板１０Ａおよび１０Ｂの内側の表面にまで到達する深い垂直クラックを形成することができる。このようなカッターホイールチップ１０４および１０５としては、本出願人らによる日本国特許第３、０７４、１４３号において開示されているガラスカッターホイールチップを使用する。

図９を参照すると、カッターホイールチップ１０４および１０５によって、ガラス基板１０Ａおよび１０Ｂの内側の表面にまで到達する深い垂直クラックがスクライブ予定ラインＳ５に沿って形成されているために、液晶マザーパネル８の一端を把持している捕捉器３２をそのまま図９において右方向へ移動させると、形成したスクライブラインに沿って液晶マザーパネル８から分断された切り片６３を除去することができる。

図１０を参照すると、捕捉器３２を開いて切り片６３を廃棄する。そして、テーブル５は、液晶マザーパネル８の吸引固定を解除する。吸着パッド２５は、スクライブ予定ラインＳ４がスクライブ部１０２に設けられたカッターホイールチップ１０４の下に移動するように、液晶マザーパネル８を吸着して搬送する。スクライブ部１０３は、邪魔にならないように紙面に対して垂直な方向に沿って移動させており、図１０〜図１３においては図示しない。

図１１を参照すると、捕捉器３２は、液晶マザーパネル８の一端を把持する。そして、カッターホイールチップ１０４は、スクライブ予定ラインＳ４に沿ってガラス基板１０Ａをスクライブする。

図１２を参照すると、捕捉器３２は液晶マザーパネル８の一端を放し、図１２において右方向である後方へ後退する。捕捉機構３１に設けられた吸引パッド３７は、カッターホイールチップ１０４によってスクライブ予定ラインＳ２に沿って液晶マザーパネル８から分断された切り片６４を吸引する。

図１３を参照すると、切り片６４を吸引した吸引パッド３７は、上方または図１３において右方向である後方へ移動する。このようにして、カッターホイールチップ１０４によって液晶マザーパネル８から分断された切り片６４が除去される。

次に、図５に示す領域６２におけるスクライブラインＳ３、Ｓ４およびＳ５をスクライブする動作を説明する。図１４を参照すると、吸着搬送機構２の吸着パッド２５は、液晶マザーパネル８上に予め設定されたスクライブ予定ラインＳ５がカッターホイールチップ１０４とカッターホイールチップ１０５との間に位置するように液晶マザーパネル８を搬送する。捕捉器３２は、液晶マザーパネル８の一端を把持する。カッターホイールチップ１０４および１０５は、スクライブ予定ラインＳ５に沿って液晶マザーパネル８を構成するガラス基板１０Ａおよび１０Ｂをそれぞれ同時にスクライブする。液晶マザーパネル８の一端を把持している捕捉器３２をそのまま図１４において右方向へ移動させると、スクライブ予定ラインＳ５に沿って液晶マザーパネル８から１列分の液晶マザーパネル８Ａを分断することができる。捕捉器３２は、分断した液晶マザーパネル８Ａを図１に示すコンベア１５に載置する。

図１５を参照すると、吸着パッド２５は、スクライブ予定ラインＳ３がカッターホイール１０５の上へ移動し、スクライブ予定ラインＳ４がカッターホイール１０４の下へ位置するように、液晶マザーパネル８を搬送する。スクライブ部１０２に設けられたカッターホイールチップ１０４は、スクライブ予定ラインＳ３とＳ４との間の水平方向に沿った距離だけ図１５において左方向に向かって移動している。カッターホイールチップ１０４は、ガラス基板１０Ａをスクライブ予定ラインＳ４に沿ってスクライブし、カッターホイールチップ１０５は、ガラス基板１０Ｂをスクライブ予定ラインＳ３に沿ってスクライブする。

図１６を参照すると、液晶マザーパネル８の一端を把持している捕捉器３２をそのまま図１６において右方向へ移動させると、スクライブ予定ラインＳ３およびＳ４に沿って液晶マザーパネル８から分断された切り片６５を除去することができる。

再び図１を参照すると、コンベア１５は、捕捉器３２によって載置された液晶マザーパネル８Ａを下流の位置決め位置まで搬送し、位置決めする。回転テーブル１６は、位置決め位置において位置決めされた液晶マザーパネル８Ａを９０度回転させる。液晶パネル分断装置１Ａは、前述した液晶パネル分断装置１の動作と同様の動作によって、液晶マザーパネル８Ａを液晶パネル９に分断する。液晶パネル分断装置１Ａによって分断された液晶パネル９は、除材ロボット１７によって製品ストック１８に搬出される。

なお、２枚の脆性材料基板を貼り合せた貼り合せ脆性材料基板として液晶パネルを例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ガラス基板を互いに貼り合せたプラズマディスプレイパネル、有機ＥＬディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルと、シリコン基板、サファイヤ基板等にガラス基板を貼り合せた半導体基板とに対しても本発明を適用することができる。後述する実施の形態２および３においても同様である。

また、液晶パネル分断装置１が液晶マザーパネル８から分断した液晶マザーパネル８Ａを、液晶パネル分断装置１Ａが液晶パネル９に分断する例を示したが、本発明はこれに限定されない。液晶パネル分断装置１が液晶マザーパネル８から分断した液晶マザーパネル８Ａは、次工程における液晶注入装置へ捕捉機構３１によって搬送されてもよい。

また、液晶パネル分断装置１Ａが分断した液晶パネル９を製品ストックに搬出する例を示したが、液晶パネル分断装置１Ａに設けられた捕捉器３１Ａによって次工程における検査装置、液晶注入装置等へ搬送してもよい。

さらに、スクライブ機構４がテーブル５と捕捉機構３１との間に配置されている例を示したが、本発明はこれに限定されない。液晶マザーパネル８の幅よりも広い幅を有する切り欠き部をテーブル５に形成し、この切り欠き部の中に、切り欠き部を跨ぐ液晶マザーパネル８の裏面をスクライブすることができるようにスクライブ部１０３を配置し、切り欠き部を跨ぐ液晶マザーパネル８の表面をスクライブすることができるようにスクライブ部１０２を配置するようにしてもよい。

以上のように実施の形態１によれば、吸着搬送機構２は、液晶マザーパネル８のスクライブ予定ラインがスクライブ部１０２および１０３にそれぞれ設けられたカッターホイールチップ１０４および１０５の間へ位置するように、液晶マザーパネル８を保持して搬送する。カッターホイールチップ１０４および１０５は、スクライブ予定ラインがカッターホイールチップ１０４および１０５の間へ位置するように吸着搬送機構２によって搬送された液晶マザーパネル８を、スクライブ予定ラインに沿ってスクライブすることによって分断する。

このため、２枚のガラス基板によって構成される液晶マザーパネルを両面同時に分断することができるので、液晶マザーパネルを片面ごとにスクライブおよびブレイクする必要がなくなる。その結果、反転工程およびブレイク工程が不要になるので、液晶マザーパネルを分断するための加工時間を短縮することができるとともに、液晶マザーパネルを分断するための装置の設置面積を大幅に減少させることができる。

（実施の形態２）
実施の形態２に係る液晶パネル分断ラインは、実施の形態１と同様に液晶マザーパネルを液晶パネルに分断する。図１７は、実施の形態２に係る液晶パネル分断ライン２００の平面図である。実施の形態１に係る液晶パネル分断ライン１００の構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は省略する。

液晶パネル分断ライン２００は、液晶マザーパネル８をストックするローダ１２を備えている。液晶パネル分断ライン２００には、給材ロボット１３が設けられている。給材ロボット１３は、ローダ１２にストックされた液晶マザーパネル８を１枚ずつ吸引して、位置決めテーブル１９上に載置する。

液晶パネル分断ライン２００は、液晶パネル分断装置１Ｂを備えている。図１８は、液晶パネル分断装置１Ｂの正面図である。図１７および図１８を参照すると、液晶パネル分断装置１Ｂは、液晶マザーパネル８を載置するために設けられた上流テーブル５Ｂおよび下流テーブル６Ｂを備えている。上流テーブル５Ｂおよび下流テーブル６Ｂは、矢印７１に示す水平方向に沿って移動可能になっている。液晶パネル分断装置１Ｂには、吸着搬送機構２Ｂが設けられている。吸着搬送機構２Ｂは、位置決めテーブル１９上に載置された液晶マザーパネル８を吸着して、上流テーブル５Ｂ上に載置する。

液晶パネル分断装置１Ｂは、液晶マザーパネル８をスクライブするためのスクライブ機構４Ｂを備えている。スクライブ機構４Ｂは、上流テーブル５Ｂおよび下流テーブル６Ｂの間に配置されている。スクライブ機構４Ｂは、図示しない一対の支柱を有しており、一対の支柱には、上流テーブル５Ｂおよび下流テーブル６Ｂの上方において、吸着搬送機構２Ｂによって搬送された液晶マザーパネル８を跨ぐように設けられたガイドバー４０が接続されている。ガイドバー４０の下面には、一対のレール４１が形成されている。ガイドバー４０には、液晶マザーパネル８を構成する２枚のガラス基板のうち上側のガラス基板をスクライブするために設けられたスクライブ部４２がレール４１に沿って摺動自在に設けられている。

スクライブ部４２は、レール４１に沿って摺動自在に設けられた移動体４４を有している。移動体４４の下面には、矢印７１の方向に沿ってレールが設けられており、移動体４７がモータＭ１によって矢印７１の方向に移動可能に設けられている。移動体４７には、台座４８が固定されており、台座４８には、モータＭ２とボールネジによって上下方向に移動可能に設けられたホルダ支持体５０とが取り付けられている。ホルダ支持体５０の下端には、カッターホイールチップ５１を回転自在に支持するスクライブヘッド５２が設けられている。

図１９は、図１８における矢印Ｊの方向から見たスクライブヘッド５２およびその周辺の機構の構成図である。ホルダ支持体５０には、シリンダ５３が固定され、ローラ取り付け金具５４を上下動可能としている。ローラ取り付け金具５４の下端には、ローラＲが回転自在に取り付けられている。ローラＲは、カッターホイールチップ５１と一列に整列するように配置されている。ローラＲとカッターホイールチップ５１とは、モータＭ２によって上下方向に沿って一体となって昇降する。ローラＲは、シリンダ５３によって昇降可能となっている。ローラＲは、テフロン（登録商標）、ジュラコン等のエンジニアリングプラスチック、硬質ゴム等の弾性体によって構成されている。ローラＲの直径は、５ｍｍ以上１５ｍｍ以下、厚みは、２ｍｍ以上５ｍｍ以下である。ローラＲを構成するエンジニアリングプラスチック、弾性体は、静電気を防止する観点から、導電性を有していることが好ましい。

上流テーブル５Ｂの下側には、液晶マザーパネル８を構成する２枚のガラス基板のうち下側のガラス基板をスクライブするために設けられたスクライブ部４３が設けられている。スクライブ部４３は、前述したスクライブ部４２と同一の構成を有しており、スクライブ部４２と対向するように配置されている。

下流テーブル６Ｂの下側には、切り片除去機構７が設けられている。切り片除去機構７は、矢印７１によって示される水平方向に沿って台座５６を駆動するロボットシリンダ５５を備えている。ロボットシリンダ５５には、ロボットシリンダ５５を駆動するモータＭ３が取り付けられている。台座５６には、シリンダ５７が上下方向に沿って設けられている。シリンダ５７の上端には、保持装置５８が昇降自在に取り付けられている。保持装置５８は、矢印５９に示す方向に沿って回動自在になっている。

再び図１７を参照すると、液晶パネル分断ライン２００は、吸着搬送部２０を備えている。吸着搬送部２０は、液晶パネル分断装置１Ｂによって分断された液晶マザーパネル８Ａを吸着して、搬送テーブル２３へ搬送する。吸着搬送部２０によって液晶マザーパネル８Ａが載置された搬送テーブル２３は、９０度回転し、液晶パネル分断装置１Ｃに隣接する位置へ液晶マザーパネル８Ａを搬送する。

液晶パネル分断ライン２００は、液晶パネル分断装置１Ｃを備えている。液晶パネル分断装置１Ｃは、幅方向の寸法が前述した液晶パネル分断装置１Ｂよりも狭い点を除いて液晶パネル分断装置１Ｂと同一の構成を有している。従って、液晶パネル分断装置１Ｃの構成の詳細な説明は省略する。液晶パネル分断装置１Ｃは、搬送テーブル２３によって搬送された液晶マザーパネル８Ａを液晶パネル９に分断する。液晶パネル分断装置１Ｃによって分断された液晶パネル９は、除材ロボット１７によって製品ストック１８に搬出される。

このような構成を有する液晶パネル分断ライン２００の動作を説明する。給材ロボット１３は、ローダ１２にストックされた液晶マザーパネル８を１枚ずつ吸引して、位置決めテーブル１９上に載置する。

図２０〜図３５は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置１Ｂの動作を説明するための正面図である。図２０を参照すると、液晶パネル分断装置１Ｂに設けられた吸着搬送機構２Ｂの吸引パッドは、位置決めテーブル１９上に載置された液晶マザーパネル８を吸引し、液晶マザーパネル８上に予め設定されたスクライブ予定ラインがスクライブ部４２に設けられたカッターホイールチップ５１とスクライブ部４３に設けられたカッターホイールチップ５１との間に位置するように、液晶マザーパネル８の一端がテーブル５Ｂからはみ出す位置へ液晶マザーパネル８を搬送する。

スクライブ部４２に設けられたホルダ支持体５０は、モータＭ２によって駆動されて下降する。スクライブ部４２に設けられたカッターホイールチップ５１は、液晶マザーパネル８を構成する２枚のガラス基板のうちの上側のガラス基板に所定の切り込み圧によって当接する。スクライブ部４２に設けられたローラＲは、上側のガラス基板に所定の接触圧によって当接する。スクライブ部４３においても同様に、ホルダ支持体５０は、モータＭ２によって駆動されて上昇する。スクライブ部４３に設けられたカッターホイールチップ５１は、液晶マザーパネル８を構成する２枚のガラス基板のうちの下側のガラス基板に所定の切り込み圧によって当接する。スクライブ部４３に設けられたローラＲは、下側のガラス基板に所定の接触圧によって当接する。

図２０における拡大図に示すように、スクライブ部４２および４３にそれぞれ設けられたカッターホイールチップ５１は、上下方向に沿って並ぶ。２個のカッターホイールチップ５１は、スクライブ予定ラインに沿って液晶マザーパネル８を構成する上側ガラス基板および下側ガラス基板をそれぞれ同時に前述した直線補間によってスクライブする。このスクライブ時において、スクライブ部４２および４３にそれぞれ設けられたローラＲが液晶マザーパネル８を常に保持しているために、上下のカッターホイールチップ５１による切込み圧を均等にすることができる。

図２１を参照すると、スクライブを終了したスクライブ部４２においては、ホルダ支持体５０が所定量上昇する。このため、カッターホイールチップ５１およびローラＲは、上側ガラス基板から離れる。そして、台座４８が図２１において右方向へ所定量移動する。その後、シリンダ５３がローラＲを降下させる。この結果、ローラＲのみが上側ガラス基板と所定圧で当接する。

スクライブを終了したスクライブ部４３においては、ホルダ支持体５０が所定量下降する。このため、カッターホイールチップ５１およびローラＲは、下側ガラス基板から離れる。そして、台座４８が図２１において左方向へ所定量移動する。その後、シリンダ５３がローラＲを上昇させる。この結果、ローラＲのみが下側ガラス基板と所定圧で当接する。

このような状態において、スクライブを終了したスクライブ部４２および４３にそれぞれ設けられたローラＲが、スクライブを開始する前の元の位置へ戻る時に、上側ガラス基板および下側ガラス基板の上をそれぞれ転動すると、スクライブラインを中心として液晶マザーパネル８に曲げモーメントが作用する。ローラＲが、スクライブを開始する前の元の位置へ戻ると、スクライブ部４２に設けられたローラＲは上昇し、スクライブ部４３に設けられたローラＲは下降する。

なお、スクライブ部４２に設けられたローラＲを右方向へ移動させ、スクライブ部４３に設けられたローラＲを左方向へ移動させる例を示したが、逆に、スクライブ部４２に設けられたローラＲを左方向へ移動させ、スクライブ部４３に設けられたローラＲを右方向へ移動させてもよい。

実施の形態に係るカッターホイールチップ５１によれば、ガラス基板の板厚の約９０％の深さを有する深い垂直クラックを形成することができる。各カッターホイールチップ５１によって、深い垂直クラックがスクライブラインに沿って形成されているために、ローラＲの転動に基づく曲げモーメントの作用によって液晶マザーパネルをスクライブラインに沿って実質的に分断が完了する。従って、図２１に示す工程はブレイク工程となる。

図２２を参照すると、保持装置５８は、図２２において左方向へ移動し、保持装置５８に設けられたチャック部は、液晶マザーパネル８の切り片を把持する。図２３を参照すると、液晶マザーパネル８を載置した上流テーブル５Ｂは、左方向に移動する。切り片は保持装置５８に設けられたチャック部に把持されている。このように、切片と液晶マザーパネル８とが離れる。

図２４を参照すると、切片を把持したチャック部が設けられた保持装置５８が下降する。図２５を参照すると、保持装置５８は図２５の矢印によって示される反時計回り方向に回動し、保持装置５８に設けられたチャック部が開き、チャック部に把持されていた切り片が落下し、廃棄される。図２６を参照すると、保持装置５８は元の位置へ戻る。

図２７を参照すると、下流テーブル６Ｂが左方向へ移動する。吸着搬送機構２Ｂに設けられた吸着パッドは、上流テーブル５Ｂに載置された液晶マザーパネル８を吸着する。図２８を参照すると、液晶マザーパネル８を吸着した吸着パッドは、液晶マザーパネル８の他のスクライブ予定ラインがスクライブ部４２および４３の間へ位置するように、液晶マザー基板８が上流テーブル５Ｂおよび下流テーブル６Ｂに跨って載置される位置へ液晶マザー基板８を搬送する。

図２９を参照すると、図２０に示した場合と同様にして、２個のカッターホイールチップ５１は、他のスクライブ予定ラインに沿って液晶マザーパネル８を構成する上側ガラス基板および下側ガラス基板をそれぞれ同時に前述した直線補間によってスクライブする。

図３０を参照すると、図２１に示した場合と同様にして、スクライブを終了したスクライブ部４２および４３にそれぞれ設けられたローラＲは、スクライブを開始する前の元の位置へ戻る時に、上側ガラス基板および下側ガラス基板の上をそれぞれ転動する。

図３１を参照すると、液晶マザーパネル８から分断された液晶マザーパネル８Ａの一部を載置した下流テーブル６Ｂは、右方向へ移動する。下流テーブル６Ｂに載置された液晶マザーパネル８Ａは、上流テーブル５Ｂに載置された液晶マザーパネル８から離れる。下流テーブル６Ｂに載置された液晶マザーパネル８Ａは、吸着搬送部２０によって搬送テーブル２３へ搬送される。

図２８〜図３１に示す工程を繰り返すことによって、液晶マザーパネル８から液晶マザーパネル８Ａがさらに分断され、搬送テーブル２３へ搬送される。
図３２を参照すると、上流テーブル５Ｂに最後の液晶マザーパネル８が残される。図３３を参照すると、吸着搬送部２０は、液晶マザーパネル８の左端に設定されたさらに他のスクライブ予定ラインが、スクライブ部４２に設けられたカッターホイールチップ５１とスクライブ部４３に設けられたカッターホイールチップ５１との間に位置するように、液晶マザーパネル８の左端が下流テーブル６Ｂからはみ出す位置へ液晶マザーパネル８を搬送する。

そして、図２０に示した場合と同様にして、２個のカッターホイールチップ５１は、上記のスクライブ予定ラインに沿って液晶マザーパネル８を構成する上側ガラス基板および下側ガラス基板をそれぞれ同時に前述した直線補間によってスクライブする。その後、図２１に示した場合と同様にして、スクライブを終了したスクライブ部４２および４３にそれぞれ設けられたローラＲは、スクライブを開始する前の元の位置へ戻る時に上側ガラス基板および下側ガラス基板の上をそれぞれ転動する。

図３４を参照すると、保持装置５８が上昇する。図３５を参照すると、保持装置５８は、チャック部が下流テーブル６Ｂを向くように旋回する。そして、保持装置５８に設けられたチャック部は、液晶マザーパネル８の切り片を把持する。その後、液晶マザーパネル８Ａを載置した下流テーブル６Ｂは、右方向に移動する。切り片は保持装置５８に設けられたチャック部に把持されている。このように、切片と液晶マザーパネル８Ａとが離れる。その後、切片を把持したチャック部が設けられた保持装置５８が下降する。そして、保持装置５８は切り片を廃棄する。下流テーブル６Ｂに載置された液晶マザーパネル８Ａは、吸着搬送部２０によって搬送テーブル２３へ搬送される。

再び図１７を参照すると、吸着搬送部２０によって液晶マザーパネル８Ａが搬送テーブル２３へ搬送されると、搬送テーブル２３は、９０度回動して、液晶パネル分断装置１Ｃに隣接する位置へ液晶マザーパネル８Ａを搬送する。液晶パネル分断装置１Ｃは、前述した液晶パネル分断装置１Ｂの動作と同様の動作によって、液晶マザーパネル８Ａを液晶パネル９に分断する。液晶パネル分断装置１Ｃによって分断された液晶パネル９は、除材ロボット１７によって製品ストック１８に搬出される。

以上のように実施の形態２によれば、吸着搬送機構２Ｂは、液晶マザーパネル８のスクライブ予定ラインがスクライブ部４２および４３にそれぞれ設けられたカッターホイールチップ５１の間へ位置するように、液晶マザーパネル８を保持して搬送する。カッターホイールチップ５１は、スクライブ予定ラインがカッターホイールチップ５１の間へ位置するように吸着搬送機構２Ｂによって搬送された液晶マザーパネル８を、スクライブ予定ラインに沿ってスクライブする。

このため、２枚のガラス基板によって構成される液晶マザーパネルを両面同時に分断することができるので、液晶マザーパネルを片面ごとにスクライブおよびブレイクする必要がなくなる。その結果、液晶マザーパネルを分断するための加工時間を短縮することができるとともに、液晶マザーパネルを分断するための装置の設置面積を減少させることができる。

図３６は、実施の形態２に係る他の液晶パネル分断ライン２００Ａの平面図である。前述した液晶パネル分断ライン２００の構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は省略する。

液晶パネル分断ライン２００Ａは、液晶パネル分断装置１Ｂを備えている。液晶パネル分断装置１Ｂは、給材ロボット１３によって供給された液晶マザーパネル８を液晶マザーパネル８Ａに分断し、搬送ロボット２３に供給する。搬送ロボット２３は、液晶パネル分断装置１Ｂによって分断された液晶マザーパネルを２台の液晶パネル分断装置１Ｃに与える。各液晶パネル分断装置１Ｃは、搬送ロボット２３から供給された液晶マザーパネル８Ａを液晶パネル９にそれぞれ分断して、搬送ロボット２３Ａに供給する。搬送ロボット２３Ａは、各液晶パネル分断装置１Ｃによってそれぞれ分断された液晶パネル９を２台の面取り装置６７に供給する。各面取り装置６７は、搬送ロボット２３Ａによって供給された液晶パネル９を面取りして、除材ロボット１７に供給する。除材ロボット１７は、各面取り装置６７によって面取りされた液晶パネル９を次工程へ搬送する。

このように、液晶パネル分断装置１Ｃを並列に配置すると、タクトタイムが一層向上する。また、液晶パネル分断装置１Ｃの一方が故障した場合であっても、他方の液晶パネル分断装置１Ｃによって分断作業を継続することができる。

図３７は、実施の形態２に係るさらに他の液晶パネル分断ライン２００Ｂの平面図である。図３６を参照して前述した液晶パネル分断ライン２００Ａと同一の構成要素には同一の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は省略する。液晶パネル分断ライン２００Ａと異なる点は、液晶パネル分断装置１Ｂも２台設けて並列に配置した点、給材カセット６８、搬送ロボット２３Ｂを設けた点である。

このように、液晶パネル分断装置１Ｂも並列に配置すると、タクトタイムがより一層向上する。また、液晶パネル分断装置１Ｂの一方が故障した場合であっても、他方の液晶パネル分断装置１Ｂによって分断作業を継続することができる。

（実施の形態３）
実施の形態３に係る液晶パネル分断装置は、液晶マザーパネルをスクライブする工程のタクトタイムを短縮する。

図３８は、実施の形態３に係る液晶パネル分断装置１Ｄの斜視図であり、図３９は、液晶パネル分断装置１Ｄにおける要部を説明する平面図である。液晶パネル分断装置１Ｄは、略長方体の形状をしたテーブル５Ｄを備えている。テーブル５Ｄの上面には、液晶マザーパネル８が、その一端がテーブル５Ｄの上面からはみ出すように載置されている。

液晶パネル分断装置１Ｄは、把持搬送機構３を備えている。把持搬送機構３は、テーブル５Ｄの上面からはみ出した液晶マザーパネル８の一端を掴むように把持し、テーブル５Ｄの上面において液晶マザーパネル８を搬送するように、液晶マザーパネル８をテーブル５Ｄの上面に沿って押す。把持搬送機構３には、図３８における矢印１３１に示す方向から見て略Ｙ字形状をした捕捉器１１７が設けられている。捕捉器１１７は、シリンダ１１６の動作によって開閉自在に構成されており、テーブル５Ｄの上面からはみ出した液晶マザーパネル８の一端を掴むように把持する。捕捉器１１７には、一対のマット１１８が、把持した液晶マザーパネル８の両面と当接する位置にそれぞれ貼り付けられている。把持搬送機構３は、上下動自在に捕捉器１１７を支持する支柱１２０を備えている。支柱１２０の上には、捕捉器１１７を上下動させるためのモータ１１９が設けられている。支柱１２０は、図示しないモータによって矢印Ｙ５に示す方向に沿って前後動自在に設けられている。

テーブル５Ｄは、液晶マザーパネル８を把持して液晶マザーパネル８を押す捕捉器１１７が進入することができるように、捕捉器１１７が液晶マザーパネル８を押す方向に沿って形成された捕捉器案内溝１２６を有している。捕捉器案内溝１２６の両側には、その上に液晶マザーパネル８が載置される複数のローラ１１５が、捕捉器１１７が液晶マザーパネル８を押す方向に沿ってそれぞれ設けられている。

テーブル５Ｄに対して把持搬送機構３の反対側には、液晶マザーパネル８をスクライブするためのスクライブ機構４Ｄが設けられている。スクライブ機構４Ｄは、一対の支柱１２２および１２３を有している。一対の支柱１２２および１２３には、把持搬送機構３によって搬送され、その他端がテーブル５Ｄからはみ出した液晶マザーパネル８を表面側および裏面側から挟むように設けられたガイドバー１２４および１２５がそれぞれ接続されている。

ガイドバー１２４には、液晶マザーパネル８の表面をスクライブするためのスクライブ機構１０２が矢印Ｘ４によって示される方向に沿って摺動自在に設けられており、ガイドバー１２５には、液晶マザーパネル８の裏面をスクライブするためのスクライブ部１０３が、スクライブ部１０２と対向するように矢印Ｘ４の方向に沿って摺動自在に設けられている。支柱１２２には、スクライブ部１０２および１０３を矢印Ｘ４の方向に沿ってそれぞれ摺動させるためのモータ１１３および１１４が取り付けられている。

図４０は、スクライブ部１０２および１０３にそれぞれ設けられた第１および第２カッターホイールチップを説明する正面図である。図３８および図４０を参照すると、スクライブ部１０２は、矢印Ｘ４に示す方向に沿って摺動自在に設けられた移動体１０９を有している。移動体１０９の下面には、スクライブヘッド１１１がガイドバー１２４に対してテーブル５Ｄの反対側へ向って突出するように設けられている。スクライブヘッド１１１の下面には、チップホルダ１０６が設けられている。チップホルダ１０６の下端には、カッターホイールチップ１０４が設けられている。

スクライブ部１０３は、前述したスクライブ部１０２と同一の構成を有しており、スクライブ部１０２と対向するように設けられている。スクライブ部１０３は、矢印Ｘ４に示す方向に沿って摺動自在に設けられた移動体１０９を有している。移動体１０９の上面には、スクライブヘッド１１１がガイドバー１２４に対してテーブル５Ｄの反対側へ向って突出するように設けられている。スクライブヘッド１１１の上面には、チップホルダ１０７が設けられている。チップホルダ１０７の上端には、カッターホイールチップ１０５が設けられている。

スクライブ部１０２に設けられたカッターホイールチップ１０４は、チップホルダ１０６の回転中心１２８から矢印１３０に示す方向に向って偏心して取り付けられている。スクライブ部１０３に設けられたカッターホイールチップ１０５は、チップホルダ１０７の回転中心１２９から矢印１３０に示す方向に向って偏心して取り付けられている。

切断対象の種類に応じて、スクライブ部１０２に設けられたカッターホイールチップ１０４の刃先とスクライブ部１０３に設けられたカッターホイールチップ１０５の刃先とは、種類が異なっている。このため、切断対象である液晶マザーパネル８の種類に応じて柔軟に対応することができる。

このような構成を有する液晶パネル分断装置１Ｄの動作を説明する。図４１ないし図４４は、液晶パネル分断装置１Ｄのスクライブ動作を説明する図である。液晶マザーパネル８が、テーブル５Ｄに対してスクライブ機構４Ｄの反対側に、その一端がはみ出すように、図示しない吸着機構によってテーブル５Ｄに載置されると、図４１に示すように、把持搬送機構３に設けられた捕捉部１１７は、テーブル５Ｄからはみ出した液晶マザーパネル８の一端を掴むように把持する。そして、把持搬送機構３に設けられた支柱１２０は、矢印Ｙ５に示す方向に沿ってスクライブ機構４Ｄに向って移動し、支柱１２０に取り付けられた捕捉部１１７は、把持している液晶マザーパネル８を押す。液晶マザーパネル８は、テーブル５Ｄの上面に設けられた複数のローラ１１５の上を転がるようにしてスクライブ機構４Ｄに向かって搬送される。液晶マザーパネル８のスクライブ予定ラインが、スクライブ機構４Ｄに設けられたスクライブ部１０２および１０３のカッターホイールチップ１０４および１０５に対応する位置まで移動するように液晶マザーパネル８が搬送されると、支柱１２０は移動を停止する。

次に、スクライブ機構４Ｄの支柱１２２に設けられたモータ１１３は、ガイドバー１２４に沿ってスクライブ部１０２を駆動し、図４２に示すように、スクライブ部１０２に設けられたチップホルダ１０６に取り付けられたカッターホイールチップ１０４は、液晶マザーパネル８の表面をスクライブ予定ラインに沿ってスクライブする。モータ１１４は、ガイドバー１２５に沿ってスクライブ部１０３を駆動し、図４２に示すように、スクライブ部１０３に設けられたチップホルダ１０７に取り付けられたカッターホイールチップ１０５は、液晶マザーパネル８の裏面をスクライブラインに沿ってスクライブする。

その後、把持搬送機構３に設けられた支柱１２０は、さらに、矢印Ｙ５に示す方向に沿ってスクライブ機構４Ｄに向って移動し、支柱１２０に取り付けられた捕捉部１１７は、さらに、把持している液晶マザーパネル８を押して、図４３に示すように、テーブル５Ｄに設けられた捕捉器案内溝１２６へ進入する。液晶マザーパネル８は、テーブル５Ｄの上面に設けられた複数のローラ１１５の上をさらに搬送される。液晶マザーパネル８の他のスクライブ予定ラインが、スクライブ部１０２のカッターホイールチップ１０４に対応する位置まで移動するように液晶マザーパネル８が搬送されると、支柱１２０は、再び、移動を停止する。

そして、スクライブ機構４Ｄの支柱１２２に設けられたモータ１１３は、ガイドバー１２４に沿ってスクライブ部１０２を駆動し、図４３に示すように、チップホルダ１０６に取り付けられたカッターホイールチップ１０４は、液晶マザーパネル８の表面を他のスクライブ予定ラインに沿ってスクライブする。

その後、把持搬送機構３に設けられた支柱１２０は、さらに、矢印Ｙ５に示す方向に沿ってスクライブ機構４Ｄに向って移動し、支柱１２０に取り付けられた捕捉部１１７は、さらに、把持している液晶マザーパネル８を押す。液晶マザーパネル８のさらに他のスクライブ予定ラインが、スクライブ部１０２および１０３のカッターホイールチップ１０４および１０５に対応する位置まで移動するように液晶マザーパネル８が搬送されると、支柱１２０は、再び、移動を停止する。

次に、モータ１１３は、図４２を参照して前述したように、ガイドバー１２４に沿ってスクライブ部１０２を駆動し、図４４に示すように、カッターホイールチップ１０４は、液晶マザーパネル８の表面を上記スクライブ予定ラインに沿ってスクライブする。モータ１１４は、ガイドバー１２５に沿ってスクライブ部１０３を駆動し、図４４に示すように、カッターホイールチップ１０５は、液晶マザーパネル８の裏面を上記スクライブ予定ラインに沿ってスクライブする。

以上のように実施の形態３によれば、把持搬送機構３は、液晶マザーパネル８のスクライブ予定ラインがカッターホイールチップに対応する位置まで移動するように液晶マザーパネル８を把持して搬送し、液晶マザーパネル８を把持した状態で、液晶マザーパネル８をスクライブ予定ラインに沿ってスクライブし、液晶マザーパネル８の他のスクライブ予定ラインがカッターホイールチップに対応する位置まで移動するように液晶マザーパネル８を順次搬送する。

従って、カッターホイールチップが液晶マザーパネル８をスクライブする前後において、把持搬送機構３は液晶マザーパネル８を把持し続ける。このため、カッターホイールチップが液晶マザーパネル８をスクライブする前後において、液晶マザーパネル８を放す動作と、再び液晶マザーパネル８を保持する動作が不要になる。この結果、液晶マザーパネル８をスクライブする工程のタクトタイムを短縮することができる。

以上のように本発明によれば、マザーパネルを分断するための加工時間を短縮することができる分断装置および分断ラインを提供することができる。

また本発明によれば、設置面積の狭い分断装置および分断ラインを提供することができる。

さらに本発明によれば、接着用シールを設けていないマザーパネルを分断することができる分断装置および分断ラインを提供することができる。

図１は、実施の形態１に係る液晶パネル分断ラインの平面図である。 図２は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置を説明するための斜視図である。 図３は、図２に示す液晶パネル分断装置の要部を示す斜視図である。 図４は、図２に示す液晶パネル分断装置によって分断される液晶マザーパネルの平面図である。 図５は、図４に示す液晶マザーパネルの正面図である。 図６は、スクライブ後の液晶マザーパネルの正面図である。 図７は、液晶マザーパネルから分断された液晶パネルの正面図である。 図８は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図９は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図１０は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図１１は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図１２は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図１３は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図１４は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図１５は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図１６は、実施の形態１に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図１７は、実施の形態２に係る液晶パネル分断ラインの平面図である。 図１８は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の正面図である。 図１９は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置に設けられたスクライブヘッド部の構成図である。 図２０は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図２１は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図２２は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図２３は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図２４は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図２５は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図２６は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図２７は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図２８は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図２９は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図３０は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図３１は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図３２は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図３３は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図３４は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図３５は、実施の形態２に係る液晶パネル分断装置の動作を説明するための正面図である。 図３６は、実施の形態２に係る他の液晶パネル分断ラインの平面図である。 図３７は、実施の形態２に係るさらに他の液晶パネル分断ラインの平面図である。 図３８は、実施の形態３に係るガラススクライバーの斜視図である。 図３９は、実施の形態３に係るガラススクライバーにおける要部を説明する平面図である。 図４０は、実施の形態３に係る第１および第２スクライブ機構にそれぞれ設けられた第１および第２カッターホイールチップを説明する正面図である。 図４１は、実施の形態３に係るガラススクライバーのスクライブ動作を説明する図である。 図４２は、実施の形態３に係るガラススクライバーのスクライブ動作を説明する図である。 図４３は、実施の形態３に係るガラススクライバーのスクライブ動作を説明する図である。 図４４は、実施の形態３に係るガラススクライバーのスクライブ動作を説明する図である。 図４５は、従来の液晶パネル分断ラインのブロック図である。 図４６は、従来の液晶パネル分断ラインを構成するスクライブ装置の斜視図である。 図４７は、従来の液晶パネル分断ラインを構成するブレイク装置の斜視図である。 図４８は、従来の液晶マザーパネルの平面図である。 図４９は、従来の液晶マザーパネルから分断された液晶パネルの斜視図である。 図５０は、従来の液晶マザーパネルに設けられたシールを説明する平面図である。 図５１は、従来のスクライブ装置の動作を説明する正面図である。 図５２は、従来のブレイク装置の動作を説明する正面図である。 図５３は、従来の他のスクライブ装置の動作を説明する正面図である。 図５４は、従来の他のブレイク装置の動作を説明する正面図である。 図５５は、従来のさらに他のスクライブ装置の構成図である。

Claims (7)

1. 脆性材料によって構成されたマザー基板の表面および裏面をそれぞれスクライブするために上下にそれぞれ対向して設けられた第１スクライブ手段および第２スクライブ手段と、
   該マザー基板のスクライブ予定ラインが該第１スクライブ手段および第２スクライブ手段の間に位置するように、該マザー基板を保持して搬送する保持搬送手段と、
   該保持搬送手段によって該第１スクライブ手段および第２スクライブ手段の間へ移動される該マザー基板が戴置される第１テーブルと
   を備え、
   該第１スクライブ手段および第２スクライブ手段は、該第１スクライブ手段および第２スクライブ手段によってスクライブラインが形成された該マザー基板を該スクライブラインに沿って分断するように、該マザー基板に所定の圧力を加えながら該スクライブラインに沿って該マザー基板上を転動する第１および第２ローラをそれぞれ有している分断装置。
2. 前記第１ローラと前記第２ローラとは、前記スクライブラインを中心として前記マザー基板に曲げモーメントを作用させるように転動する、請求項１記載の分断装置。
3. 前記第１ローラは、前記スクライブラインに対して前記第２ローラの反対側を転動する、請求項１記載の分断装置。
4. 前記第１スクライブ手段および第２スクライブ手段は、前記マザー基板をスクライブする第１および第２カッターホイールチップをそれぞれ有している、請求項１記載の分断装置。
5. 両面が脆性材料によって構成されたマザー基板を保持搬送手段によって保持する工程と、
   上下に対向して設けられた第１スクライブ手段と第２スクライブ手段との間に前記マザー基板のスクライブ予定ラインが位置するように、前記保持搬送手段によって前記マザー基板を搬送して第１テーブルにセットする工程と、
   前記マザー基板上のスクライブ予定ラインに沿って前記第１スクライブ手段および前記第２スクライブ手段を移動させ、前記第１スクライブ手段および前記第２スクライブ手段によって前記マザー基板にスクライブラインを形成する工程と、
   前記第１スクライブ手段および前記第２スクライブ手段に備えられた第１ローラおよび第２ローラを、前記マザー基板の前記スクライブラインに沿って所定の圧力を加えるように転動させて分断するブレイク工程と
   を包含することを特徴とする分断方法。
6. 前記第１ローラと前記第２ローラとは、前記スクライブラインを中心として前記マザー基板に曲げモーメントを作用させるように転動する、請求項５記載の分断方法。
7. 前記第１ローラは、前記スクライブラインに対して前記第２ローラの反対側を転動する、請求項５記載の分断方法。

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