JP4438800B2 - 液滴吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、液滴吐出装置に関する。

表示装置や半導体装置の製造工程には、基板上に堆積した膜を所望の形状にパターニングして膜パターンを形成するパターン形成工程が数多く含まれる。

近年、この種のパターン形成工程では、生産性を向上させるために、基板上に吐出した液滴を固化させて自己整合的に膜パターンを形成させるインクジェット法が利用されている。インクジェット法は、液滴形状に対応した膜パターンを基板上に形成できるために、パターニングするためのマスク形成を不要にして、パターン形成工程の工程数を削減させることができる。

しかし、インクジェット法を利用して膜パターンを形成させる場合、着弾した液滴が基板表面で濡れ広がらないと、液滴の凹凸形状がパターン形状に反映されて、膜パターンの平坦性や膜厚均一性を損なう虞があった。

そこで、こうしたインクジェット法では、従来、着弾した液滴の濡れ広がりを拡大させる提案がなされている（例えば、特許文献１）。特許文献１では、液滴の吐出方向を基板の法線に対して傾斜させて、吐出する液滴に、基板の反走査方向に沿う成分を付与している。これによれば、基板の法線方向と吐出方向のなす角度（傾斜角）分だけ、着弾する液滴を、基板の接線方向に沿って濡れ広がらせることができる。
特開２００５−１３１４９８号公報

ところで、上記インクジェット法では、異なる膜厚の膜パターンを形成する場合、すなわち単位面積当たりの総吐出量を変更する場合、図９に示すように、各液滴Ｆｃの容量を一定に維持させて、液滴Ｆｃの吐出する間隔（吐出ピッチＷ）を増減させている。例えば、薄膜の膜パターンＦＰを形成する場合には、１滴当りの液滴容量を一定に維持させるとともに、基板Ｓｂの走査速度を増加させたり、吐出動作の動作周期を長くしたりして、液滴Ｆｃの吐出ピッチＷを拡大させる。これによって、液滴吐出動作の安定化を図り、総吐出量の再現性、すなわち膜パターンの膜厚再現性を確保させている。

しかしながら、基板Ｓｂの法線方向（Ｚ矢印方向）から見て、その法線に対して傾斜する吐出方向Ａが基板Ｓｂの走査方向（Ｘ矢印方向）と平行になると、着弾する各液滴Ｆｃの形状が、走査方向（Ｘ矢印方向）に沿って延びる長径と、ノズルＮの配列方向（Ｙ矢印方向）に沿う短径を有した略楕円形状を呈するようになる。そのために、以下の問題を招いていた。

すなわち、吐出方向Ａに沿って楕円形状に広がる各液滴Ｆｃは、その厚さが薄いために流動性が低くなる。そして、短径方向（Ｙ矢印方向）での接合が浅くなり、隣接するノズルＮ間に相対する領域で、液滴Ｆｃのない部分（凹部Ｂ）を形成するようになる。その結果、膜パターンＦＰは、凹部Ｂに対応する領域の膜厚が極端に薄くなり、その膜厚均一性を著しく損なう問題を招いていた。

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴からなるパターンの膜厚均一性を向上させた液滴吐出装置を提供することである。

本発明の液滴吐出装置は、パターン形成材料の液滴を基板に吐出して前記基板にパターンを形成する液滴吐出装置であって、前記基板の法線に対して傾斜する第１吐出方向に沿って第１液滴を吐出する複数の第１吐出口を前記基板の一面に対して一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する第１吐出口形成面と、着弾した前記第１液滴の間の領域に第２吐出方向に沿って第２液滴を吐出する複数の第２吐出口を前記一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する第２吐出口形成面と、前記一方向に沿う第１傾動軸を中心にして前記第１吐出口形成面を傾動する第１傾動機構と、前記第１吐出方向が前記基板の法線に対して傾斜するように前記第１吐出口形成面を傾動するための第１傾動情報を生成する第１傾動情報生成手段と、前記第１傾動情報に基づいて前記第１傾動機構を駆動制御する制御手段とを備えた。

本発明の液滴吐出装置によれば、第１吐出方向に沿って濡れ広がる第１液滴の間の領域を、第２吐出方向に沿って濡れ広がる第２液滴によって充填させることができる。従って、第１液滴の間の領域を第２液滴で充填させる分だけ、液滴からなるパターンの膜厚均一性を向上させることができる。
また、この液滴吐出装置によれば、第１傾動機構の傾動によって、各第１液滴に共通した第１吐出方向を設定させることができる。従って、第１吐出方向のバラツキを低減させることができ、第１液滴間の着弾形状のバラツキを低減させることができる。

本発明の液滴吐出装置は、パターン形成材料の液滴を基板に吐出して前記基板にパターンを形成する液滴吐出装置であって、前記基板の法線に対して傾斜する第１吐出方向に沿って第１液滴を吐出する複数の第１吐出口を前記基板の一面に対して一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する第１吐出口形成面と、着弾した前記第１液滴の間の領域に第２吐出方向に沿って第２液滴を吐出する複数の第２吐出口を前記一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する第２吐出口形成面と、前記一方向に沿う第２傾動軸を中心にして前記第２吐出口形成面を傾動する第２傾動機構と、前記第２吐出方向が前記第１吐出方向と交差するように前記第２吐出口形成面を傾動するための第２傾動情報を生成する第２傾動情報生成手段と、前記第２傾動情報に基づいて前記第２傾動機構を駆動制御する制御手段と、を備えた。
本発明の液滴吐出装置によれば、第１吐出方向に沿って濡れ広がる第１液滴の間の領域
を、第２吐出方向に沿って濡れ広がる第２液滴によって充填させることができる。従って、第１液滴の間の領域を第２液滴で充填させる分だけ、液滴からなるパターンの膜厚均一性を向上させることができる。
また、この液滴吐出装置によれば、第２傾動機構の傾動によって、各第２液滴に共通した第２吐出方向を設定させることができる。従って、第２吐出方向のバラツキを低減させることができ、第２液滴間の着弾形状のバラツキを低減させることができる。

この液滴吐出装置において、前記第２吐出口形成面は、前記第１吐出方向と交差する前記第２吐出方向に沿って第２液滴を吐出する複数の第２吐出口を有してもよい。
この液滴吐出装置によれば、第１液滴の間の領域を、第１液滴と異なる着弾形状の第２液滴によって充填させることができる。従って、第２液滴の形状範囲を拡張させる分だけ、第１液滴の間の領域を、より均一に充填させることができる。その結果、液滴からなるパターンの膜厚均一性を、さらに向上させることができる。

また、この液滴吐出装置において、前記第２傾動情報生成手段は、着弾する前記第２液滴が前記第１液滴の間の領域に対応するように、前記第１吐出方向に基づいて前記第２傾動情報を生成するようにしてもよい。

この液滴吐出装置によれば、第１液滴の間の領域に対応した第２液滴を吐出させることができる。従って、第１液滴の間の領域を、同領域に対応した第２液滴によって、より確実に充填させることができる。

以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図８に従って説明する。まず、パターン形成方法によって形成した配向膜を有する電気光学装置としての液晶表示装置１０について説明する。図１は、液晶表示装置１０の斜視図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。

図１において、液晶表示装置１０の下側には、ＬＥＤなどの光源１１を有して四角板状に形成されたエッジライト型のバックライト１２が備えられている。バックライト１２の上方には、バックライト１２と略同じサイズに形成された四角板状の液晶パネル１３が備えられている。そして、光源１１から出射される光が、液晶パネル１３に向かって照射されるようになっている。

液晶パネル１３には、相対向する素子基板１４と対向基板１５が備えられている。これら素子基板１４と対向基板１５は、図２に示すように、光硬化性樹脂からなる四角枠状のシール材１６を介して貼り合わされている。そして、これら素子基板１４と対向基板１５との間の間隙に、液晶１７が封入されている。

素子基板１４の下面（バックライト１２側の側面）には、偏光板や位相差板などの光学基板１８が貼り合わされている。光学基板１８は、バックライト１２からの光を直線偏光にして液晶１７に出射するようになっている。素子基板１４の上面（対向基板１５側の側面：素子形成面１４ａ）には、一方向（Ｘ矢印方向）略全幅にわったって延びる複数の走査線Ｌｘが配列形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側に配設される走査線駆動回路１９に電気的に接続されるとともに、走査線駆動回路１９からの走査信号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。また、素子形成面１４ａには、Ｙ矢印方向略全幅にわたって延びる複数のデータ線Ｌｙが配列形成されている。各データ線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４の他側に配設されるデータ線駆動回路２１に電気的に接続されるとともに、データ線駆動回路２１からの表示データに基づくデータ信号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。素子形成面１４ａであって、走査線Ｌｘとデータ線Ｌｙの交差する位置には、対応する走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙに接続されてマトリックス状に配列される複数の画素２２が形成されている。各画素２２には、それぞれＴＦＴなどの図示しない制御素子や、透明導電膜などからなる光透過性の画素電極２３が備えられている。

図２において、各画素２２の上側全体には、ラビング処理などによる配向処理の施された配向膜２４が積層されている。配向膜２４は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子か
らなる薄膜パターンであって、対応する画素電極２３の近傍で、液晶１７の配向を所定の配向に設定するようになっている。この配向膜２４は、インクジェット法によって形成されている。すなわち、配向膜２４は、配向性高分子を所定の溶媒に溶解したパターン形成材料としての配向膜形成材料Ｆ（図６参照）を第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂ（図６参照）として各画素２２の上側全体に吐出し、着弾した第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂを乾燥させることによって形成されている。

前記対向基板１５の上面には、光学基板１８からの光と直交する直線偏光の光を外方（図２における上方）に出射する偏光板２５が配設されている。対向基板１５の下面（素子基板１４側の側面：電極形成面１５ａ）全体には、各画素電極２３と相対向するように形成された光透過性の導電膜からなる対向電極２６が積層されている。対向電極２６は、前記データ線駆動回路２１に電気的に接続されるとともに、そのデータ線駆動回路２１からの所定の共通電位が付与されるようになっている。対向電極２６の下面全体には、ラビング処理などによる配向処理の施された配向膜２７が積層されている。この配向膜２７は、前記配向膜２４と同じく、インクジェット法によって形成されるとともに、前記対向電極２６の近傍で、液晶１７の配向を所定の配向に設定するようになっている。

そして、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミングで選択して、各画素２２の制御素子を、それぞれ選択期間中だけオン状態にする。すると、各制御素子に対応する各画素電極２３に、対応するデータ線Ｌｙからの表示データに基づくデータ信号が出力される。各画素電極２３にデータ信号が出力されると、各画素電極２３と対向電極２６との間の電位差に基づいて、対応する液晶１７の配向状態が変調される。すなわち、光学基板１８からの光の偏光状態が画素２２ごとに変調される。そして、変調された光が偏光板２５を通過するか否かによって、表示データに基づく画像が、液晶パネル１３の上側に表示される。

次に、上記配向膜２７（配向膜２４）を形成するための液滴吐出装置３０を図３〜８に従って説明する。
図３において、液滴吐出装置３０は本実施形態では配向膜形成装置であって、液滴吐出装置３０には、直方体形状に形成された基台３１が備えられるとともに、その基台３１の上面には、その長手方向（Ｘ矢印方向）に沿って延びる一対の案内溝３２が形成されている。その基台３１の上方には、基台３１に設けられたＸ軸モータＭＸ（図８の左下参照）の出力軸に駆動連結される基板ステージ３３が備えられるとともに、その基板ステージ３３が、前記案内溝３２に沿って、所定の速度（搬送速度Ｖ）でＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復動する（Ｘ矢印方向に沿って走査される）ようになっている。

基板ステージ３３の上面には、前記対向電極２６を上側にした対向基板１５を載置可能にする載置面３４が形成されて、載置された状態の対向基板１５を基板ステージ３３に対して位置決め固定するようになっている。尚、本実施形態では、載置面３４に対向基板１５を載置する構成にしているが、これに限らず、前記各画素電極２３を上側にした素子基板１４を載置する構成にしてもよい。

基台３１のＹ矢印方向両側には、門型に形成されたガイド部材３５が配設されるとともに、そのガイド部材３５には、Ｙ矢印方向に延びる上下一対のガイドレール３６が形成されている。また、ガイド部材３５には、ガイド部材３５に設けられたＹ軸モータＭＹ（図８の左下参照）の出力軸に駆動連結されるキャリッジ３７が備えられるとともに、そのキャリッジ３７が、ガイドレール３６に沿ってＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に往復動する（Ｙ矢印方向に沿って走査される）ようになっている。キャリッジ３７の内部には、前記配向膜形成材料Ｆ（図６参照）を導出可能に収容するインクタンク３８が配設されるとともに、そのインクタンク３８の収容する配向膜形成材料Ｆが、キャリッジ３７の下方に搭載
される第１ヘッドユニットＨａ及び第２ヘッドユニットＨｂに導出されるようになっている。

図４は、第１ヘッドユニットＨａ及び第２ヘッドユニットＨｂを下方（対向基板１５）から見た概略斜視図である。図５は、第１ヘッドユニットＨａ及び第２ヘッドユニットＨｂをＹ矢印方向から見た概略側面図である。

図４において、キャリッジ３７の下側（図４における上側）には、その反Ｘ矢印方向側から順に、第１ヘッドユニットＨａと第２ヘッドユニットＨｂが配設されている。第１ヘッドユニットＨａ及び第２ヘッドユニットＨｂのキャリッジ３７側には、それぞれＹ矢印方向に延びる直方体形状の支持ステージ３９ａ及び並進ステージ３９ｂが配設されている。

支持ステージ３９ａの下面（図４における上面）には、断面円弧状の凹曲面（第１ガイド面Ｐ１ａ）が支持ステージ３９ａのＹ矢印方向略全幅にわたって形成されている。第１ガイド面Ｐ１ａの曲率中心Ｃａ（図５の左下参照）は、支持ステージ３９ａの直下であって、かつ、基板ステージ３３に載置された状態の対向電極２６の上面に沿うように形成されている。

並進ステージ３９ｂは、その下面（図４における上面）に形成された断面円弧状の凹曲面（第２ガイド面Ｐ１ｂ）をＸ矢印方向及びＹ矢印方向に並進するＸＹステージである。この並進ステージ３９ｂは、キャリッジ３７に内設される並進モータＭＴ（図８の下側中央参照）の出力軸に駆動連結されるとともに、その並進モータＭＴの駆動力を受けて、その第２ガイド面Ｐ１ｂをＸＹ方向に沿って並進させるようになっている。第２ガイド面Ｐ１ｂは、第１ガイド面Ｐ１ａと同じく、その曲率中心Ｃｂ（図５の左下参照）の位置が、並進ステージ３９ｂの直下であって、かつ、基板ステージ３３に載置された状態の対向電極２６の上面に沿うように形成されている。

図４において、これら支持ステージ３９ａと並進ステージ３９ｂには、それぞれＹ矢印方向に延びる蒲鉾状に形成された第１傾動機構を構成する第１傾動ステージ４０ａと第２傾動機構を構成する第２傾動ステージ４０ｂが配設されている。第１傾動ステージ４０ａ及び第２傾動ステージ４０ｂの一側面であって、そのキャリッジ３７側の側面（図４における下面）には、それぞれ第１ガイド面Ｐ１ａ及び第２ガイド面Ｐ１ｂに対応する凸曲面（第１摺動面Ｐ２ａ及び第２摺動面Ｐ２ｂ）が形成されている。また、第１傾動ステージ４０ａ及び第２傾動ステージ４０ｂの他側面であって、第１摺動面Ｐ２ａ及び第２摺動面Ｐ２ｂと相対向する側面（図４における上面）には、それぞれ対向基板１５に沿う平面（第１取着面Ｐ３ａ及び第２取着面Ｐ３ｂ）が形成されている。

これら第１傾動ステージ４０ａ及び第２傾動ステージ４０ｂは、それぞれキャリッジ３７に内設される第１傾動モータＭＤａ及び第２傾動モータＭＤｂ（図８参照）の出力軸に駆動連結されている。そして、第１傾動ステージ４０ａ及び第２傾動ステージ４０ｂは、それぞれ第１傾動モータＭＤａ及び第２傾動モータＭＤｂの駆動力を受けて、対応する第１摺動面Ｐ２ａ及び第２摺動面Ｐ２ｂを、それぞれ第１ガイド面Ｐ１ａ及び第２ガイド面Ｐ１ｂに沿って摺動（回動）させるようになっている。

つまり、第１傾動ステージ４０ａは、第１摺動面Ｐ２ａと第１ガイド面Ｐ１ａが面一になるように、対向電極２６上に位置する曲率中心Ｃａを傾動軸（第１傾動軸）にして、対応する第１取着面Ｐ３ａを、対向基板１５に対して傾動させるようになっている。また、第２傾動ステージ４０ｂは、第２摺動面Ｐ２ｂと第２ガイド面Ｐ１ｂが面一になるように、対向電極２６上に位置する曲率中心Ｃｂを傾動軸（第２傾動軸）にして、対応する第２
取着面Ｐ３ｂを、対向基板１５に対して傾動させるようになっている。

そして、第１取着面Ｐ３ａを傾動させるための信号を第１傾動モータＭＤａに供給する。すると、第１傾動モータＭＤａが所定の回転数だけ正転駆動又は逆転駆動して、第１傾動ステージ４０ａの第１取着面Ｐ３ａを、曲率中心Ｃａを中心にして傾動させる。また、第２取着面Ｐ３ｂを傾動させるための信号を第２傾動モータＭＤｂに供給する。すると、第２傾動モータＭＤｂが所定の回転数だけ正転駆動又は逆転駆動して、第２傾動ステージ４０ｂの第２取着面Ｐ３ｂを、曲率中心Ｃｂを中心にして傾動させる。

尚、本実施形態では、図５の実線で示すように、第１傾動ステージ４０ａの配置位置であって、第１取着面Ｐ３ａの法線方向（以下単に、第１吐出方向Ａａという。）と対向基板１５の法線方向（Ｚ矢印方向）が平行になる配置位置を、「初期位置」という。また、図５の二点鎖線で示すように、第１傾動ステージ４０ａの配置位置であって、第１吐出方向ＡａがＺ矢印方向に対して右回りに所定の角度（第１傾斜角θａ）だけ傾斜する状態の配置位置を、「傾斜位置」という。

さらに、図５の実線で示すように、第２傾動ステージ４０ｂの配置位置であって、第２取着面Ｐ３ｂの法線方向（以下単に、第２吐出方向Ａｂという。）と対向基板１５の法線方向（Ｚ矢印方向）が平行になる配置位置を、「初期位置」という。また、図５の二点鎖線で示すように、第２傾動ステージ４０ｂの配置位置であって、第２吐出方向ＡｂがＺ矢印方向に対して右回りに所定の角度（第２傾斜角θｂ）だけ傾斜する状態の配置位置を、「傾斜位置」という。

図４において、第１取着面Ｐ３ａ及び第２取着面Ｐ３ｂには、それぞれＹ矢印方向に沿って延びる直方体形状に形成された第１液滴吐出ヘッド（以下単に、第１吐出ヘッドという。）４１ａ及び第２液滴吐出ヘッド（以下単に、第２吐出ヘッドという。）４１ｂが備えられている。第１吐出ヘッド４１ａ及び第２吐出ヘッド４１ｂの下側（図４において上側）には、それぞれ第１ノズルプレート４２ａ及び第２ノズルプレート４２ｂが備えられている。これら第１ノズルプレート４２ａ及び第２ノズルプレート４２ｂの対向基板１５側（図４における上側）には、それぞれ第１取着面Ｐ３ａ及び第２取着面Ｐ３ｂと平行な第１吐出口形成面としての第１ノズル形成面Ｐ４ａ及び第２吐出口形成面としての第２ノズル形成面Ｐ４ｂが形成されている。これら第１ノズル形成面Ｐ４ａ及び第２ノズル形成面Ｐ４ｂには、それぞれ第１吐出口としての複数の第１ノズルＮａ及び第２吐出口としての複数の第２ノズルＮｂが、Ｙ矢印方向に沿って等ピッチ（ノズルピッチＮＷ）で配列形成されている。尚、図４では、並進ステージ３９ｂの並進によって、各第２ノズルＮｂが、Ｘ矢印方向から見て、第１ノズルＮａのＹ矢印方向側にノズルピッチＮＷの半分だけ変位している。

図５において、第１ノズルＮａ及び第２ノズルＮｂは、それぞれ第１ノズル形成面Ｐ４ａ及び第２ノズル形成面Ｐ４ｂの法線方向、すなわち前記第１吐出方向Ａａ及び第２吐出方向Ａｂに沿って貫通形成されている。また、これら第１ノズルＮａ及び第２ノズルＮｂは、それぞれ第１傾動ステージ４０ａ及び第２傾動ステージ４０ｂが「初期位置」に位置するときに、曲率中心Ｃａ及び曲率中心ＣｂのＺ矢印方向（第１吐出方向Ａａ及び第２吐出方向Ａｂの反対側）に位置するように配設されている。本実施形態では、曲率中心Ｃａであって、かつ、各第１ノズルＮａの第１吐出方向Ａａに対応する位置を、それぞれ第１着弾位置Ｐａという。また、曲率中心Ｃｂであって、かつ、各第２ノズルＮｂの第２吐出方向Ａｂに対応する位置を、それぞれ第２着弾位置Ｐｂという。

そして、第１傾動モータＭＤａ（第２傾動モータＭＤｂ）を正転駆動して、第１傾動ステージ４０ａ（第２傾動ステージ４０ｂ）を「初期位置」から「傾斜位置」に配置移動す
る。すると、第１ノズルＮａ（第２ノズルＮｂ）は、図６に示すように、それぞれ第１着弾位置Ｐａ（第２着弾位置Ｐｂ）を回動中心にして右回りに回動する。そして、その形成方向を、対向基板１５の法線（Ｚ矢印方向）に対して第１傾斜角θａ（第２傾斜角θｂ）だけ傾斜させる。これによって、各第１ノズルＮａ（第２ノズルＮｂ）は、その形成方向を傾斜させる際に、対応する第１着弾位置Ｐａ（第２着弾位置Ｐｂ）の位置を維持させることができ、対応する第１着弾位置Ｐａ（第２着弾２着Ｐｂ）との間の距離を所定の距離（飛行距離Ｌ）に維持させることができる。すなわち、液滴吐出装置３０は、第１吐出方向Ａａ（第２吐出方向Ａｂ）を変更する場合に、第１ノズルＮａから吐出する第１液滴Ｆａ（第２液滴Ｆｂ）の着弾精度を維持できるように構成されている。

図６において、第１ノズルＮａの第１吐出方向Ａａ（第２ノズルＮｂの第２吐出方向Ａｂ）の反対側には、前記インクタンク３８に連通するキャビティ４３が形成されて、インクタンク３８からの配向膜形成材料Ｆを、対応する第１ノズルＮａ（第２ノズルＮｂ）に供給させるようになっている。各キャビティ４３の第１吐出方向Ａａ（第２吐出方向Ａｂ）の反対側には、第１吐出方向Ａａ（第２吐出方向Ａｂ）及びその反対方向に振動可能な振動板４４が貼り付けて、キャビティ４３内の容積を拡大・縮小させるようになっている。振動板４４の上側には、各第１ノズルＮａ（第２ノズルＮｂ）に対応する複数の第１圧電素子ＰＺａ（第２圧電素子ＰＺｂ）が配設されている。第１圧電素子ＰＺａ及び第２圧電素子ＰＺｂは、それぞれ第１圧電素子ＰＺａ及び第２圧電素子ＰＺｂを駆動制御するための信号（圧電素子駆動信号ＣＯＭ：図８参照）を受けて収縮・伸張し、対応する振動板４４を振動させるようになっている。

そして、第１傾動モータＭＤａ（第２傾動モータＭＤｂ）を駆動制御して、第１傾動ステージ４０ａ（第２傾動ステージ４０ｂ）を所定の「傾斜位置」に配置移動し、第１圧電素子ＰＺａ（第２圧電素子ＰＺｂ）に対して圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給する。すると、対応するキャビティ４３の容積が拡大・縮小して、対応する第１ノズルＮａ（第２ノズルＮｂ）内のメニスカス（配向膜形成材料Ｆの界面）が振動する。第１ノズルＮａ（第２ノズルＮａ）内のメニスカスが振動すると、図６に示すように、圧電素子駆動信号ＣＯＭに対応する所定重量の配向膜形成材料Ｆが、対応する第１ノズルＮａ（第２ノズルＮｂ）から、第１液滴Ｆａ（第２液滴Ｆｂ）として吐出される。吐出される第１液滴Ｆａ（第２液滴Ｆｂ）は、それぞれ第１ノズルＮａ（第２ノズルＮｂ）の形成方向、すなわち第１吐出方向Ａａ（第２吐出方向Ａｂ）に沿って、所定の速度（吐出速度Ｖｆ）で飛行して、やがて、対向電極２６上の第１着弾位置Ｐａ（第２着弾位置Ｐｂ）の領域に着弾する。

この際、着弾する第１液滴Ｆａ（第２液滴Ｆｂ）には、それぞれ反Ｘ矢印方向に沿って、第１吐出方向Ａａ（第２吐出方向Ａｂ）に対応する第１接線速度Ｖｆａ（第２接線速度Ｖｆｂ）が付与される。しかも、着弾する第１液滴Ｆａ（第２液滴Ｆｂ）には、それぞれ反Ｘ矢印方向に沿って、搬送速度Ｖに対応する相対速度が付与される。そのため、着弾する第１液滴Ｆａ（第２液滴Ｆｂ）は、それぞれ第１接線速度Ｖｆａ（第２接線速度Ｖｆｂ）と前記相対速度を合成した速度に従って、対応する第１着弾位置Ｐａ（第２着弾位置Ｐｂ）から反Ｘ矢印方向に沿って濡れ広がる。

すなわち、着弾する第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂは、それぞれ対応する第１吐出方向Ａａ（傾斜角θａ）及び第２吐出方向Ａｂ（傾斜角θｂ）に基づいた着弾形状を呈するようになっている。

ここで、図７に示すように、対向電極２６上であって、前記配向膜２７を形成する領域に、前記第１液滴Ｆａを着弾させるための格子点（第１目標位置Ｔａ）と、前記第２液滴Ｆｂを着弾させるための格子点（第２目標位置Ｔｂ）を設定する。

詳述すると、対向電極２６上であって、Ｙ矢印方向の間隔が前記ノズルピッチＮＷになるように、かつ、Ｘ矢印方向の間隔が所定の間隔（吐出ピッチＷ）になるように、第１目標位置Ｔａを設定する。また、その第１目標位置ＴａのＹ矢印方向側であって、前記ノズルピッチＮＷの半分の距離だけ離間する位置に、それぞれ第２目標位置Ｔｂを設定する。

尚、前記吐出ピッチＷは、配向膜２７の目標膜厚と第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂの容量から算出される第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂの数量（目標吐出数量）に基づいて、配向膜２７の形成領域に、その目標吐出数量分の第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂが吐出されるように設定する。

続いて、Ｙ軸モータＭＹを駆動制御して、対向基板１５がＸ矢印方向に搬送されるときに、各第１着弾位置Ｐａが、それぞれ前記第１目標位置Ｔａの経路上に位置するように、キャリッジ３７をセットする。また、並進モータＭＴを駆動制御して、対向基板１５がＸ矢印方向に搬送されるときに、各第２着弾位置Ｐｂが、それぞれ前記第２目標位置Ｔｂの経路上に位置するように、並進ステージ３９ｂをセットする。

また、第１傾動モータＭＤａ及び第２傾動モータＭＤｂを駆動制御して、第１傾動ステージ４０ａ及び第２傾動ステージ４０ｂを、それぞれ所定の「傾斜位置」及び「初期位置」にセットする。この際、着弾した第１液滴ＦａのＸ矢印方向の着弾径が前記吐出ピッチＷよりも大きくなるように、かつ、着弾した第１液滴ＦａのＹ矢印方向の着弾径が前記ノズルピッチＮＷよりも大きくなるように、予め試験等に基づいて、第１傾動ステージ４０ａの「傾斜位置」（傾斜角θａ）を設定する。

そして、Ｘ軸モータＭＸを駆動制御して基板ステージ３３（対向電極２６）をＸ矢印方向に搬送し、第１目標位置Ｔａが、それぞれ第１着弾位置Ｐａに位置するたびに、各第１圧電素子ＰＺａに対して圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給する。

すると、図７に示すように、各第１ノズルＮａから吐出された第１液滴Ｆａが、それぞれ対応する第１目標位置Ｔａに順次着弾し、着弾する各第１液滴Ｆａが、それぞれ第１吐出方向Ａａ（傾斜角θａ）に対応する方向に広がって、反Ｘ矢印方向に延びる楕円形状を呈する。楕円形状に広がる各第１液滴Ｆａは、その厚さが薄いために流動性が低くなる。そのため、着弾する各第１液滴Ｆａは、それぞれ短径方向（Ｙ矢印方向）での接合が浅くなり、Ｙ矢印方向に沿って隣り合う第１液滴Ｆａの間の領域、すなわち前記第２目標位置Ｔｂの領域に、第１液滴Ｆａのない略菱形形状の領域（凹部Ｂ）を形成する。

そして、第２目標位置Ｔｂが、それぞれ第２着弾位置Ｐｂに位置するたびに、各第２圧電素子ＰＺｂに対して圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給する。
すると、図７に示すように、各第２ノズルＮｂから吐出された第２液滴Ｆｂが、それぞれ対応する第２目標位置Ｔｂに順次着弾し、着弾する各第２液滴Ｆｂが、それぞれ第２吐出方向Ａｂに対応して、前記凹部Ｂを覆うように、第２目標位置Ｔｂを中心とする半球状を呈する。半球状を呈する第２液滴Ｆｂは、その高い流動性によって、凹部Ｂ及び凹部Ｂ近傍の各第１液滴Ｆａの領域を平坦化させる。そして、対向電極２６に着弾する各第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂは、凹部Ｂに対応した第２液滴Ｆｂの充填によって、均一な膜厚からなる液状膜ＬＦを形成する。

次に、上記のように構成した液滴吐出装置３０の電気的構成を図８に従って説明する。
図８において、第１傾動情報生成手段及び第２傾動情報生成手段を構成する制御装置５１には、制御手段を構成するＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどが備えられている。そして、制御装置５１は、ＲＡＭやＲＯＭなどに格納された各種データ及び各種プログラムに従って、基板ステージ３３及びキャリッジ３７を走査させるとともに，第１ヘッドユニットＨａ
及び第２ヘッドユニットＨｂを駆動制御させるようになっている。

その制御装置５１には、波形データＶＤ、吐出ピッチデータＷＤ、傾斜角データＲＤ、第１描画データＢＭａ、第２描画データＢＭｂ、第１傾動データＤａＤ、第２傾動データＤｂＤ及び並進データＴＤが格納されている。

波形データＶＤは、第１圧電素子ＰＺａ及び第２圧電素子ＰＺｂに供給する圧電素子駆動信号ＣＯＭの電圧波形を規定したデータである。この波形データＶＤは、予め試験等に基づいて設定されて、第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂの重量を、それぞれ所定重量に安定させるためのデータである。

吐出ピッチデータＷＤは、配向膜２７の目標膜厚を吐出ピッチＷに対応させたデータであって、目標膜厚に基づいて吐出ピッチＷを決定するために利用される。この吐出ピッチデータＷＤは、吐出ピッチＷで吐出される第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂの数量が、目標膜厚に基づいて算出される前記目標吐出数量になるように設定されている。

傾斜角データＲＤは、吐出ピッチＷを第１傾斜角θａ及び第２傾斜角θｂに対応させたデータであって、吐出ピッチＷに基づいて第１傾斜角θａ及び第２傾斜角θｂを決定するために利用される。この傾斜角データＲＤは、予め試験等に基づいて設定されて、第１傾斜角θａで着弾する第１液滴Ｆａの長径及び短径が、それぞれ吐出ピッチＷ及びノズルピッチＮＷよりも長くなるように設定されている。また、この傾斜角データＲＤは、第１傾斜角θａの第１液滴Ｆａによって形成される凹部Ｂに対して、同凹部Ｂに対応する着弾形状の第２液滴Ｆｂを吐出させるための第２傾斜角θｂに関するデータである。

第１描画データＢＭａ及び第２描画データＢＭｂは、第１目標位置Ｔａ及び第２目標位置Ｔｂを含む対向電極２６上の格子点に、それぞれ各ビットの値（０あるいは１）を対応させたデータであって、各ビットの値に応じて、それぞれ第１圧電素子ＰＺａ及び第２圧電素子ＰＺｂのオンあるいはオフを規定したものである。そして、第１描画データＢＭａは、第１着弾位置Ｐａが、対応する第１目標位置Ｔａに位置するたびに、第１液滴Ｆａを吐出させるように規定されている。また、第２描画データＢＭｂは、第２着弾位置Ｐｂが、対応する第２目標位置Ｔｂに位置するたびに、第２液滴Ｆｂを吐出させるように規定されている。

第１傾動データＤａＤ及び第２傾動データＤｂＤは、それぞれ第１傾斜角θａ及び第２傾斜角θｂを第１傾動モータＭＤａ及び第２傾動モータＭＤｂの回転数に対応させたデータであって、第１傾斜角θａ及び第２傾斜角θｂに基づいて第１傾動モータＭＤａ及び第２傾動モータＭＤｂを駆動するために利用される。

並進データＴＤは、第２吐出ヘッド４１ｂ（第２ノズルＮｂ）の並進量を並進モータＭＴの回転数に対応させたデータであって、第２吐出ヘッド４１ｂを並進させるために利用される。尚、本実施形態の並進データＴＤは、Ｙ矢印方向から見た第２ノズルＮｂの位置が、それぞれ第１ノズルＮａのＹ矢印方向にノズルピッチＮＷの半分だけ変位するように設定されている。

制御装置５１には、入力装置５２、Ｘ軸モータ駆動回路５３、Ｙ軸モータ駆動回路５４、第１傾動機構駆動回路５５、第１ヘッド駆動回路５６、並進機構駆動回路５７、第２傾動機構駆動回路５８及び第２ヘッド駆動回路５９が接続されている。

入力装置５２は、起動スイッチ、停止スイッチなどの操作スイッチを有して各種操作信号を制御装置５１に入力するとともに、対向基板１５に形成する配向膜２７の目標膜厚に
関する情報を、既定形式の膜厚情報Ｉｔとして制御装置５１に入力するようになっている。そして、膜厚情報Ｉｔを入力装置５２から制御装置５１に入力すると、制御装置５１は、吐出ピッチデータＷＤに基づいて、目標膜厚に対応する吐出ピッチＷ、すなわち第１目標位置Ｔａ及び第２目標位置Ｔｂの位置座標を演算するようになっている。また、制御装置５１は、第１目標位置Ｔａ及び第２目標位置Ｔｂの位置座標を演算すると、第１目標位置Ｔａ及び第２目標位置Ｔｂの位置座標に基づいて、第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂを吐出させるための第１描画データＢＭａ、第２描画データＢＭｂ，第１傾動データＤａＤ及び第２傾動データＤｂＤを生成して格納するようになっている。

Ｘ軸モータ駆動回路５３は、制御装置５１からのＸ軸モータ駆動回路５３に対応する駆動制御信号に応答して、基板ステージ３３を往復移動させるＸ軸モータＭＸを正転又は逆転させるようになっている。そのＸ軸モータ駆動回路５３には、Ｘ軸モータＭＸに備えられるＸ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号が入力されるようになっている。Ｘ軸モータ駆動回路５３は、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号に基づいて、基板ステージ３３（対向基板１５）の移動方向及び移動量を演算するとともに、基板ステージ３３の現在位置に関する情報を基板位置情報ＳＰＩとして生成するようになっている。そして、制御装置５１は、Ｘ軸モータ駆動回路５３からの基板位置情報ＳＰＩを受けて、各種信号を出力するようになっている。

Ｙ軸モータ駆動回路５４は、制御装置５１からのＹ軸モータ駆動回路５４に対応する駆動制御信号に応答して、キャリッジ３７を往復移動させるＹ軸モータＭＹを正転又は逆転させるようになっている。そのＹ軸モータ駆動回路５４には、Ｙ軸モータＭＹに備えられたＹ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号が入力されるようになっている。Ｙ軸モータ駆動回路５４は、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号に基づいて、キャリッジ３７（第１ヘッドユニットＨａ及び第２ヘッドユニットＨｂ）の移動方向及び移動量を演算するとともに、キャリッジ３７の現在位置に関する情報をキャリッジ位置情報ＣＰＩとして生成するようになっている。そして、制御装置５１は、Ｙ軸モータ駆動回路５４からのキャリッジ位置情報ＣＰＩを受けて、各種駆動信号を出力するようになっている。

詳述すると、制御装置５１は、基板位置情報ＳＰＩ及びキャリッジ位置情報ＣＰＩに基づいて、対向基板１５がキャリッジ３７の直下に侵入する前に、対向基板１５の走査分（往動もしくは復動）に対応する第１描画データＢＭａに基づいて所定のクロック信号に同期させた第１吐出制御信号ＳＩａを生成するようになっている。また、制御装置５１は、対向基板１５の走査分（往動もしくは復動）に対応する第２描画データＢＭｂに基づいて所定のクロック信号に同期させた第２吐出制御信号ＳＩｂを生成するようになっている。そして、制御装置５１は、キャリッジ３７を配置移動して対向基板１５を走査するたびに、生成した第１吐出制御信号ＳＩａ及び第２吐出制御信号ＳＩｂを、それぞれ第１ヘッド駆動回路５６及び第２ヘッド駆動回路５９に順次シリアル転送するようになっている。

また、制御装置５１は、基板位置情報ＳＰＩに基づいて、第１着弾位置Ｐａが第１目標位置Ｔａに位置するたびに、対応する第１圧電素子ＰＺａを駆動させるための信号（第１吐出タイミング信号ＬＰａ）を生成するようになっている。また、制御装置５１は、基板位置情報ＳＰＩに基づいて、第２着弾位置Ｐｂが第２目標位置Ｔｂに位置するたびに、対応する第２圧電素子ＰＺｂを駆動させるための信号（第２吐出タイミング信号ＬＰｂ）を生成するようになっている。そして、制御装置５１は、生成した第１吐出タイミング信号ＬＰａ及び第２吐出タイミング信号ＬＰｂを、それぞれ第１ヘッド駆動回路５６及び第２ヘッド駆動回路５９に逐次出力するようになっている。

第１傾動機構駆動回路５５は、制御装置５１からの第１傾動データＤａＤに応答して、第１傾動ステージ４０ａを傾動させる第１傾動モータＭＤａを正転又は逆転させるように
なっている。

第１ヘッド駆動回路５６には、第１圧電素子ＰＺａが接続されるとともに、制御装置５１からの波形データＶＤ、第１吐出制御信号ＳＩａ及び第１吐出タイミング信号ＬＰａが供給されるようになっている。第１ヘッド駆動回路５６は、制御装置５１からの第１吐出制御信号ＳＩａを受けて、その第１吐出制御信号ＳＩａを、各第１圧電素子ＰＺａに対応させて順次シリアル／パラレル変換するようになっている。そして、第１ヘッド駆動回路５６は、制御装置５１からの第１吐出タイミング信号ＬＰａを受けるたびに、シリアル／パラレル変換した第１吐出制御信号ＳＩａに基づいて、波形データＶＤに基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭを、選択された第１圧電素子ＰＺａに供給するようになっている。すなわち、第１ヘッド駆動回路５６は、各第１着弾位置Ｐａが第１目標位置Ｔａに位置するたびに、対応する第１圧電素子ＰＺａに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給するようになっている。

並進機構駆動回路５７は、制御装置５１からの並進データＴＤに応答して、並進ステージ３９ｂを並進させる並進モータＭＴを正転又は逆転させるようになっている。
第２傾動機構駆動回路５８は、制御装置５１からの第２傾動データＤｂＤに応答して、第２傾動ステージ４０ｂを傾動させる第２傾動モータＭＤｂを正転又は逆転させるようになっている。

第２ヘッド駆動回路５９には、第２圧電素子ＰＺｂが接続されるとともに、制御装置５１からの波形データＶＤ、第２吐出制御信号ＳＩｂ及び第２吐出タイミング信号ＬＰｂが供給されるようになっている。第２ヘッド駆動回路５９は、制御装置５１からの第２吐出制御信号ＳＩｂを受けて、その第２吐出制御信号ＳＩｂを、各第２圧電素子ＰＺｂに対応させて順次シリアル／パラレル変換するようになっている。そして、第２ヘッド駆動回路５９は、制御装置５１からの第２吐出タイミング信号ＬＰｂを受けるたびに、シリアル／パラレル変換した第２吐出制御信号ＳＩｂに基づいて、波形データＶＤに基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭを、選択された第２圧電素子ＰＺｂに供給するようになっている。すなわち、第２ヘッド駆動回路５９は、各第２着弾位置Ｐｂが第２目標位置Ｔｂに位置するたびに、対応する第２圧電素子ＰＺｂに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給するようになっている。

次に、上記する液滴吐出装置３０を使用して対向基板１５に配向膜２７を形成する方法について説明する。
まず、図３に示すように、基板ステージ３３上に、対向基板１５を載置する。このとき、基板ステージ３３は、キャリッジ３７よりも反Ｘ矢印方向側に配置されて、キャリッジ３７は、ガイド部材３５の最も反Ｙ矢印方向に配置されている。

この状態から、入力装置５２を操作して膜厚情報Ｉｔを制御装置５１に入力する。すると、制御装置５１は、吐出ピッチデータＷＤを参照して、膜厚情報Ｉｔ（目標膜厚）に対応する吐出ピッチＷ、すなわち第１目標位置Ｔａ及び第２目標位置Ｔｂの位置座標を演算する。また、制御装置５１は、第１目標位置Ｔａ及び第２目標位置Ｔｂの位置座標に基づいて、第１描画データＢＭａ、第２描画データＢＭｂ、第１傾動データＤａＤ及び第２傾動データＤｂＤを生成して格納する。

第１傾動データＤａＤ及び第２傾動データＤｂＤを生成すると、制御装置５１は、第１傾動機構駆動回路５５及び第２傾動機構駆動回路５８を介し、第１傾動データＤａＤ及び第２傾動データＤｂＤに基づいて、第１傾動ステージ４０ａ及び第２傾動ステージ４０ｂを、それぞれ「傾斜位置」及び「初期位置」にセットする。第１傾動ステージ４０ａ及び第２傾動ステージ４０ｂをセットすると、制御装置５１は、並進機構駆動回路５７を介し
、Ｙ矢印方向から見た第２ノズルＮｂの位置が、それぞれ第１ノズルＮａのＹ矢印方向にノズルピッチＮＷの半分だけ変位するように並進ステージ３９ｂをセットする。

第１傾動ステージ４０ａ、第２傾動ステージ４０ｂ及び並進ステージ３９ｂをセットすると、制御装置５１は、Ｙ軸モータＭＹを駆動制御し、対向基板１５がＸ矢印方向に搬送されるときに、各第１着弾位置Ｐａ及び各第２着弾位置Ｐｂが、それぞれ対応する第１目標位置Ｔａ及び第２目標位置Ｔｂの経路上に位置するように、キャリッジ３７をセットする。キャリッジ３７をセットすると、制御装置５１は、Ｘ軸モータＭＸを駆動制御して、基板ステージ３３（対向基板１５）のＸ矢印方向への走査を開始する。

この際、制御装置５１は、波形データＶＤを所定のクロック信号に同期させて、第１ヘッド駆動回路５６及び第２ヘッド駆動回路５９に出力する。また、制御装置５１は、対向基板１５の走査分に対応する第１描画データＢＭａ及び第２描画データＢＭｂを所定のクロック信号に同期させて、それぞれ第１吐出制御信号ＳＩａ及び第２吐出制御信号ＳＩｂを生成する。さらに、制御装置５１は、生成した第１吐出制御信号ＳＩａ及び第２吐出制御信号ＳＩｂを、それぞれ第１ヘッド駆動回路５６及び第２ヘッド駆動回路５９にシリアル転送する。

そして、制御装置５１は、基板位置情報ＳＰＩ及びキャリッジ位置情報ＣＰＩに基づいて、第１着弾位置Ｐａが、対応する第１目標位置Ｔａに位置するたびに、第１ヘッド駆動回路５６に対して第１吐出タイミング信号ＬＰａを出力する。また、制御装置５１は、第２着弾位置Ｐｂが、対応する第２目標位置Ｔｂに位置するたびに、第２ヘッド駆動回路５９に対して第２吐出タイミング信号ＬＰｂを出力する。

第１吐出タイミング信号ＬＰａを出力すると、制御装置５１は、第１ヘッド駆動回路５６を介して、第１吐出制御信号ＳＩａに基づく液滴吐出動作を実行する。すなわち、制御装置５１は、第１着弾位置Ｐａが、対応する第１目標位置Ｔａに位置するたびに、対応する第１圧電素子ＰＺａに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給し、対応する第１ノズルＮａから第１液滴Ｆａを吐出させる。吐出された各第１液滴Ｆａは、それぞれ対応する第１目標位置Ｔａに順次着弾し、第１吐出方向Ａａ（傾斜角θａ）に対応する方向に広がって、第２目標位置Ｔｂの領域に凹部Ｂを形成する。

そして、第２吐出タイミング信号ＬＰｂを出力すると、制御装置５１は、第２ヘッド駆動回路５９を介して、第２吐出制御信号ＳＩｂに基づく液滴吐出動作を実行する。すなわち、制御装置５１は、第２着弾位置Ｐｂが、対応する第２目標位置Ｔｂ（凹部Ｂの領域）に位置するたびに、対応する第２圧電素子ＰＺｂに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給し、対応する第２ノズルＮｂから第２液滴Ｆｂを吐出させる。吐出された各第２液滴Ｆｂは、それぞれ対応する第２目標位置Ｔｂ、すなわち凹部Ｂの領域に順次着弾し、同凹部Ｂを覆う半球状を呈して凹部Ｂを充填する。これによって、均一な膜厚からなる液状膜ＬＦを形成することができ、該液状膜ＬＦを乾燥させることによって均一な膜厚からなる配向膜２７を形成することができる。

対向基板１５に配向膜２７が形成されると、該配向膜２７に対して公知のラビング処理がなされる。一方、同様な方法で、素子基板１４においても配向膜２４が、液滴吐出装置３０にて形成され、該配向膜２４に対して同様にラビング処理される。そして、素子基板１４にシール材１６が形成され、シール材１６に囲まれた領域内に液晶１７を配置して、素子基板１４と対向基板１５を貼り合わせることによって、液晶表示パネル１３が形成される。

次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、対向基板１５上に設けられた各第１目標位置Ｔａに向かって、それぞれ対向基板１５の法線に対して第１傾斜角θａだけ傾斜する第１吐出方向Ａａの第１液滴Ｆａを吐出させるようにした。そして、第１目標位置Ｔａの間に設けられた各第２目標位置Ｔｂに向かって、それぞれ第２吐出方向Ａｂの第２液滴Ｆｂを吐出させるようにした。

従って、第１吐出方向Ａａに沿って濡れ広がる各第１液滴Ｆａによって形成された凹部Ｂを、第２液滴Ｆｂによって充填させることができる。その結果、凹部Ｂを充填させる分だけ、凹部Ｂ及び凹部Ｂ近傍の領域を平坦化させることができる。そのため、凹部Ｂ及び凹部Ｂ近傍を平坦化させる分だけ、配向膜２７の膜厚均一性を向上させることができる。（２）しかも、第１吐出方向Ａａと交差する第２吐出方向Ａｂの第２液滴Ｆｂを吐出して、凹部Ｂの領域を、半球状の第２液滴Ｆｂによって充填させるようにした。従って、凹部Ｂの近傍で濡れ広がる第２液滴Ｆｂによって、凹部Ｂ及び凹部Ｂ近傍の領域を、より平坦化させることができる。その結果、配向膜２７の膜厚均一性を、さらに向上させることができる。
（３）上記実施形態によれば、傾斜角データＲＤに基づいて、第１傾斜角θａ（第１吐出方向Ａａ）に対応した第２傾斜角θｂ（第２吐出方向Ａｂ）を設定するようにした。そして、第２目標位置Ｔｂの領域に、凹部Ｂに対応した第２液滴Ｆｂを着弾させるようにした。

従って、凹部Ｂの形状やサイズに関わらず、凹部Ｂ及び凹部Ｂ近傍の領域を、確実に平坦化させることができる。その結果、配向膜２７の膜厚均一性を、確実に向上させることができる。
（４）上記実施形態によれば、並進ステージ３９ｂを設けて、第２ノズル形成面Ｐ４ｂを第１ノズル形成面Ｐ４ａに対して並進させるようにした。そして、対向基板１５を走査するときに、第１着弾位置Ｐａ及び第２着弾位置Ｐｂを、それぞれ第１目標位置Ｔａ及び第２目標位置Ｔｂの経路上に位置させるようにした。従って、第２ノズル形成面Ｐ４ｂを併進させるだけで、各第２ノズルＮｂからの第２液滴Ｆｂを、それぞれ対応する第１液滴Ｆａの間の領域（第２目標位置Ｔｂ）に着弾させることができる。その結果、凹部Ｂごとのバラツキを回避して、各凹部Ｂ及び各凹部Ｂ近傍の領域を、均一に平坦化させることができる。
（５）上記実施形態によれば、対向基板１５の法線方向から見て、第１吐出方向Ａａの反対側（Ｘ矢印方向）に沿って、対向基板１５を走査するようにした。従って、対向基板１５の搬送速度Ｖの分だけ、各第１液滴ＦａをＸ矢印方向に濡れ広がらせることができる。その結果、各第１液滴Ｆａを、より平坦化させることができ、配向膜２７の膜厚均一性を、さらに向上させることができる。
（６）上記実施形態によれば、第１ノズル形成面Ｐ４ａ及び第２ノズル形成面Ｐ４ｂを、それぞれ第１傾動軸（第１曲率中心Ｃａ）及び第２傾動軸（第２曲率中心Ｃｂ）を中心に傾動して、各第１ノズルＮａに対応する第１吐出方向Ａａ及び各第２ノズルＮｂに対応する第２吐出方向Ａｂを設定するようにした。

従って、各第１液滴Ｆａに共通した第１吐出方向Ａａ及び各第２液滴Ｆｂに共通した第２吐出方向Ａｂを設定させることができる。その結果、第１吐出方向Ａａ及び第２吐出方向Ａｂのバラツキを低減させることができ、第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂごとの着弾形状のバラツキを低減させることができる。そのため、配向膜２７の膜厚均一性を、さらに向上させることができる。
（７）上記実施形態によれば、第１傾動データＤａＤ及び第２傾動データＤｂＤに基づいて、第１傾動ステージ４０ａ及び第２傾動ステージ４０ｂを駆動制御するようにした。従って、第１傾動データＤａＤ及び第２傾動データＤｂＤに基づいて、第１吐出方向Ａａ及び第２吐出方向Ａｂを設定させることができる。その結果、第１吐出方向Ａａ及び第２吐
出方向Ａｂのバラツキを低減させることができ、第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂ間の着弾形状のバラツキを低減させることができる。

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、第２傾動ステージ４０ｂを「初期位置」に配置して、半円球状の第２液滴Ｆｂを着弾させるようにした。これに限らず、例えば、第２傾動ステージ４０ｂを「傾斜位置」に配置して、Ｘ矢印方向に沿って延びる楕円形状の第２液滴Ｆｂを着弾させるようにしてもよい。すなわち、凹部Ｂの領域に第２液滴Ｆｂを着弾させて、同凹部Ｂの領域を充填可能にする構成であればよい。
・上記実施形態では、対向基板１５の法線方向から見て、第１吐出方向Ａａの反対側に沿って、基板ステージ３３を走査するようにした。これに限らず、対向基板１５の法線から見て、第１吐出方向Ａａに沿うように、基板ステージ３３を走査する構成であってもよい。
・上記実施形態では、第１圧電素子ＰＺａ及び第２圧電素子ＰＺｂに、それぞれ共通する波形データＶＤからなる圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給して、所定容量の第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂを吐出させるようにした。これに限らず、例えば、異なる波形データＶＤからなる圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給して、異なる重量の第１液滴Ｆａ及び第２液滴Ｆｂを吐出させる構成にしてもよい。この際、凹部Ｂのサイズに対応した重量の第２液滴Ｆｂを吐出させるのが好ましい。
・上記実施形態では、ノズルＮを一列だけ備える構成にした。これに限らず、ノズルＮを複数列備える構成にしてもよい。
・上記実施形態では、パターンを、液晶表示装置１０の配向膜２７に具体化した。これに限らず、例えば、液晶表示装置１０や、電子放出素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型装置（ＦＥＤやＳＥＤなど）に設けられる各種薄膜、金属配線、カラーフィルタなどに具体化してもよい。すなわち、着弾した液滴によって形成するパターンであればよい。
・上記実施形態では、基板を、液晶表示装置１０の対向基板１５に具体化した。これに限らず、基板を、シリコン基板やフレキシブル基板、あるいは金属基板などに具体化してもよい。
・上記実施形態では、電気光学装置を、液晶表示装置１０に具体化した。これに限らず、例えば、電気光学装置を、エレクトロルミネッセンス装置に具体化してもよい。

本実施形態における液晶表示装置を示す斜視図。 同じく、液晶表示装置を示す断面図。 同じく、液滴吐出装置を示す斜視図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す斜視図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す平面図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す側面図。 同じく、液滴吐出動作を説明する説明図。 同じく、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。 従来例の液滴吐出装置を示す概略側面図。

符号の説明

Ａａ…第１吐出方向、Ａｂ…第２吐出方向、Ｆａ…第１液滴、Ｆ…パターン形成材料と
しての配向膜形成材料、Ｆｂ…第２液滴、Ｎａ…第１吐出口としての第１ノズル、Ｎｂ…第２吐出口としての第２ノズル、ＤａＤ…第１傾動情報としての第１傾動データ、ＤｂＤ…第２傾動情報としての第２傾動データ、１０…電気光学装置としての液晶表示装置、１５…基板としての対向基板、２７…パターンとしての配向膜、３０…液滴吐出装置、４０ａ…第１傾動機構を構成する第１傾動ステージ、４０ｂ…第２傾動機構を構成する第２傾動ステージ、Ｐ４ａ…第１吐出口形成面としての第１ノズル形成面、Ｐ４ｂ…第２吐出口形成面としての第２ノズル形成面。

Claims (4)

1. パターン形成材料の液滴を基板に吐出して前記基板にパターンを形成する液滴吐出装置であって、
   前記基板の法線に対して傾斜する第１吐出方向に沿って第１液滴を吐出する複数の第１吐出口を前記基板の一面に対して一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する第１吐出口形成面と、
   着弾した前記第１液滴の間の領域に第２吐出方向に沿って第２液滴を吐出する複数の第２吐出口を前記一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する第２吐出口形成面と、
   前記一方向に沿う第１傾動軸を中心にして前記第１吐出口形成面を傾動する第１傾動機構と、
   前記第１吐出方向が前記基板の法線に対して傾斜するように前記第１吐出口形成面を傾動するための第１傾動情報を生成する第１傾動情報生成手段と、
   前記第１傾動情報に基づいて前記第１傾動機構を駆動制御する制御手段と、
   を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
2. パターン形成材料の液滴を基板に吐出して前記基板にパターンを形成する液滴吐出装置であって、
   前記基板の法線に対して傾斜する第１吐出方向に沿って第１液滴を吐出する複数の第１吐出口を前記基板の一面に対して一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する第１吐出口形成面と、
   着弾した前記第１液滴の間の領域に第２吐出方向に沿って第２液滴を吐出する複数の第２吐出口を前記一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する第２吐出口形成面と、
   前記一方向に沿う第２傾動軸を中心にして前記第２吐出口形成面を傾動する第２傾動機構と、
   前記第２吐出方向が前記第１吐出方向と交差するように前記第２吐出口形成面を傾動するための第２傾動情報を生成する第２傾動情報生成手段と、
   前記第２傾動情報に基づいて前記第２傾動機構を駆動制御する制御手段と、
   を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
3. 請求項１又は２に記載の液滴吐出装置において、
   前記第２吐出口形成面は、前記第１吐出方向と交差する前記第２吐出方向に沿って第２液滴を吐出する複数の第２吐出口を有したことを特徴とする液滴吐出装置。
4. 請求項２に記載の液滴吐出装置において、
   前記第２傾動情報生成手段は、着弾する前記第２液滴が前記第１液滴の間の領域に対応するように、前記第１吐出方向に基づいて前記第２傾動情報を生成することを特徴とする液滴吐出装置。

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