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JP4440656B2 - Data creation method, data creation apparatus, screen printing inspection method, screen printing inspection apparatus, and screen printing machine - Google Patents
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JP4440656B2 - Data creation method, data creation apparatus, screen printing inspection method, screen printing inspection apparatus, and screen printing machine - Google Patents

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Description

本発明は、スクリーン印刷の検査に関し、特にクリームハンダ等がスクリーン印刷された電子回路基板またはスクリーン印刷に用いるマスクの検査に用いるデータの作成方法および作成装置、そのデータを用いて検査を行うスクリーン印刷検査方法およびスクリーン印刷検査装置並びにクリームハンダ等を電子回路基板に印刷するスクリーン印刷機に関するものである。   The present invention relates to an inspection of screen printing, and in particular, a method and an apparatus for creating data used for inspecting an electronic circuit board on which cream solder or the like is screen-printed or a mask used for screen printing, and screen printing for performing inspection using the data The present invention relates to an inspection method, a screen printing inspection apparatus, and a screen printer that prints cream solder or the like on an electronic circuit board.

パッケージやチップ等のデバイスを電子回路基板(以下、基板という)に実装する場合、ハンダの不足・過多・ずれ・ブリッジなどの印刷不良が生じた基板に部品を実装すると、部品の浮き・立ち・ブリッジ・傾き・ずれなどのハンダ付け不良が発生する。このようなハンダ付け不良を回避するためにも、スクリーン印刷機によりハンダが印刷された基板の検査(印刷検査)およびハンダを印刷するのに不可欠なスクリーンマスクの検査(マスク検査)は重要である。このため、近年では、検査工程を実装したスクリーン印刷機や、印刷装置とは独立した印刷検査装置を備えた基板の実装ラインが提案されている(例えば、特許文献1参照)。   When a device such as a package or chip is mounted on an electronic circuit board (hereinafter referred to as a board), if the component is mounted on a printed circuit board with insufficient or excessive solder, misalignment, or bridges, Soldering defects such as bridges, tilts, and misalignments occur. In order to avoid such soldering defects, inspection of the substrate on which the solder is printed by the screen printer (printing inspection) and inspection of the screen mask that is indispensable for printing the solder (mask inspection) are important. . For this reason, in recent years, a board mounting line including a screen printing machine on which an inspection process is mounted and a printing inspection apparatus independent of the printing apparatus has been proposed (for example, see Patent Document 1).

従来の印刷検査工程においては、印刷された基板を撮像し、この撮像データから検査すべき箇所(検査ポイント)に印刷されたハンダの2次元形状や印刷位置を抽出し、この抽出したハンダの形状と基準となるハンダの形状や印刷位置とをパターンマッチングすることで、正常に印刷されたか否かを判定している。
また、同様にマスク検査工程においても、印刷後のスクリーンマスクを撮像し、この撮像データから検査ポイントの状態を抽出し、この抽出したスクリーンマスクの状態と、基準となるスクリーンマスクの状態とをパターンマッチングすることで、スクリーンマスクの清掃が必要か否かを判定している。
なお、印刷後の印刷基板の印刷要否を検査する印刷検査も、スクリーンマスクの開口裏側へハンダが回って付着した状態で印刷すると印刷不良を起こすので、スクリーンマスクを撮像するマスク検査によっても、間接的に印刷良否を検査することができる。すなわち、印刷後の印刷基板を撮像し直接的に印刷良否を検査する印刷検査も、マスク検査も広義の印刷検査と言うことができる。
In the conventional print inspection process, the printed board is imaged, and the two-dimensional shape and print position of the solder printed at the location to be inspected (inspection point) are extracted from the image data, and the extracted solder shape And the reference solder shape and printing position are subjected to pattern matching to determine whether printing has been performed normally.
Similarly, in the mask inspection process, the screen mask after printing is imaged, the state of the inspection point is extracted from the imaged data, and the state of the extracted screen mask and the state of the reference screen mask are patterned. By matching, it is determined whether or not the screen mask needs to be cleaned.
In addition, a print inspection for inspecting the necessity of printing of the printed substrate after printing also causes a printing defect when printing with the solder rotating around and attached to the back side of the opening of the screen mask, so even by a mask inspection for imaging the screen mask, The print quality can be inspected indirectly. That is, a print inspection in which a printed board after printing is imaged and a print quality is directly inspected and a mask inspection can be said to be a broad print inspection.

このような印刷検査やマスク検査では、基板の印刷パターンの特徴的な部分やスクリーンマスクの開口部など、検査をすべき箇所(以下、検査ポイントという)毎に各検査ポイントの印刷パターンまたはスクリーンマスクの開口パターンに関するデータ(以下、基本データという)を設定し、この基本データを基準としてパターンマッチングを行っている。また、画像処理やパターンマッチングに必要な条件や検査の判定条件等に関するデータ(以下、条件データという)などの各種データを検査ポイント毎に設定しなければならない。以下、検査ポイント毎に基本データおよび条件データ(以下、両者を併せて「検査データ」という)を設定する。設定方法について以下に説明する。   In such print inspection and mask inspection, the print pattern or screen mask of each inspection point is provided for each portion to be inspected (hereinafter referred to as inspection point), such as a characteristic portion of the printed pattern of the substrate and an opening of the screen mask. Data on the aperture pattern (hereinafter referred to as basic data) is set, and pattern matching is performed based on the basic data. In addition, various data such as data relating to conditions necessary for image processing and pattern matching and inspection determination conditions (hereinafter referred to as condition data) must be set for each inspection point. Hereinafter, basic data and condition data (hereinafter collectively referred to as “inspection data”) are set for each inspection point. The setting method will be described below.

印刷検査の場合、まず、基板上に検査ポイントを設定し、この検査ポイント全ての基本データ、例えば印刷ハンダの位置やサイズ等に関するデータを、印刷検査に先行して基準となる印刷基板上のハンダパターンやスクリーンマスクを撮像し、この撮像データのうち検査ポイントに対応するハンダやマスク開口について画像処理し、あるいはマスクの作成に用いたデータからのデータ変換等により取得する。続いて、印刷検査におけるその検査ポイントを撮像する際の照明設定、画像処理に関連する各種しきい値、判定をする際に用いる許容値等の条件データを、実際の検査と修正を繰り返しながらユーザの手入力により設定する。
マスク検査の場合も同様に、スクリーンマスク上に検査ポイントを設定し、この検査ポイント全ての基本データ、例えばマスクの開口位置や開口サイズ等に関するデータを、マスク検査に先行して実施するスクリーンマスクの撮像データに基づく画像処理、あるいはマスクの作成に用いたデータからのデータ変換等により取得する。続いて、その検査ポイントを撮像する際の照明設定、画像処理に関連する各種しきい値、判定をする際に用いる許容値等の条件データを、実際の検査と修正を繰り返しながらユーザの手入力により設定する。
なお、出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を出願時までに発見するには至らなかった。
特開平8−118596号公報
In the case of print inspection, first, inspection points are set on the board, and basic data of all of the inspection points, for example, data on the position and size of the print solder, is printed on the solder on the print board which becomes a reference prior to the print inspection. A pattern or a screen mask is imaged, and the solder or mask opening corresponding to the inspection point in the imaged data is subjected to image processing, or acquired by data conversion from data used for creating the mask. Subsequently, the user repeats the actual inspection and correction on the condition data such as the illumination setting when imaging the inspection point in the print inspection, various threshold values related to the image processing, and the allowable value used for the determination. Set manually.
Similarly, in the case of mask inspection, an inspection point is set on the screen mask, and basic data of all of the inspection points, for example, data on the opening position and the opening size of the mask, is applied to the screen mask to be executed prior to the mask inspection. Acquired by image processing based on imaging data or data conversion from data used to create a mask. Subsequently, condition data such as illumination settings when imaging the inspection point, various threshold values related to image processing, and allowable values used for determination are manually input while repeating actual inspection and correction. Set by.
The applicant has not yet found prior art documents related to the present invention by the time of filing other than the prior art documents specified by the prior art document information described in this specification.
JP-A-8-118596

しかしながら、上述した検査データのうち条件データの設定は、実際の検査と修正を繰り返しながらユーザの手入力により行われている。条件データに含まれる照明設定、画像処理に関連する各種しきい値、判定をする際に用いる許容値等は、それぞれ詳細な設定が必要である。したがって、全ての検査ポイントの条件データを設定するには、かなりの手間と時間がかかっていた。
そこで、本発明は、上述したような課題を解決するためになされたものであり、検査データを容易に作成することができるデータ作成方法、データ作成装置、スクリーン印刷検査方法、スクリーン印刷検査装置およびスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
However, the setting of the condition data among the above-described inspection data is performed manually by the user while repeating the actual inspection and correction. The illumination settings included in the condition data, various threshold values related to image processing, allowable values used for determination, etc. need to be set in detail. Therefore, it takes a lot of time and effort to set condition data for all inspection points.
Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and a data creation method, a data creation device, a screen printing inspection method, a screen printing inspection device, and a screen printing inspection device capable of easily creating inspection data. An object is to provide a screen printing machine.

上述したような課題を解決するために、本発明にかかるデータ作成方法は、スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板の検査に用いるデータの作成方法において、基板上に設定された検査ポイントに印刷するハンダのサイズおよび形状に関する基本データと、検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶手段に記憶する第1のステップと、検査対象となる任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと、任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける第2のステップとを備えることを特徴とする。
ここで、基本データとは、検査ポイントに印刷されたハンダの位置やサイズ等に関するデータのことを意味する。また、条件データとは、検査ポイントを撮像するカメラの照明の設定や2値化レベル等の画像処理に関するパラメータ、面積許容値や位置許容値等の検査判定に関するパラメータ等のことを意味する。
In order to solve the above-described problems, the data creation method according to the present invention is a data used for inspecting a substrate printed with a predetermined printing material through an opening formed in a screen mask by a screen printer. In this method, basic data relating to the size and shape of the solder to be printed on the inspection point set on the board, parameters relating to the imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to the inspection determination of the inspection point When the basic data of an arbitrary inspection point to be inspected is set, and basic data similar to this basic data is set. Is extracted from the storage means, and the extracted condition data , Characterized in that it comprises a second step for associating the basic data of any test point.
Here, the basic data means data relating to the position and size of the solder printed on the inspection point. The condition data means parameters relating to image processing such as setting of illumination of a camera that images an inspection point and binarization level, parameters relating to inspection determination such as area allowance value and position allowance value, and the like.

本発明にかかる他の形態のデータ作成方法は、所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機のスクリーンマスクの検査に用いるデータの作成方法において、スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの印刷孔のサイズおよび形状に関する基本データと、検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶手段に記憶する第1のステップと、検査対象となる任意の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと、任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける第2のステップとを備えることを特徴とする。
ここで、基本データとは、検査ポイントのマスクの開口位置や開口サイズ等に関するデータのことを意味する。また、条件データとは、検査ポイントを撮像するカメラの照明設定や2値化レベル等の画像処理に関連するパラメータ、面積許容値や位置許容値等の検査判定に関するパラメータ等のことを意味する。
Another aspect of the data creation method according to the present invention is a data creation method used for inspection of a screen mask of a screen printing machine that prints a predetermined printing material on a substrate through an opening formed in the screen mask. Condition data including basic data regarding the size and shape of the print hole of the inspection point set on the screen mask, parameters regarding imaging of the inspection point , image processing of the imaging data by this imaging, and parameters regarding inspection determination of the inspection point Is stored in the storage means in association with each inspection point, and when basic data of any arbitrary inspection point to be inspected is set, it is associated with basic data similar to this basic data. The extracted condition data is extracted from the storage means, and the extracted condition data and Characterized in that it comprises a second step for associating the basic data of the inspection points will.
Here, the basic data means data related to the opening position and opening size of the inspection point mask. The condition data means parameters relating to image processing such as illumination setting of the camera that images the inspection point and binarization level, parameters relating to inspection determination such as area allowance and position allowance, and the like.

また、本発明にかかるデータ作成装置は、スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板の検査に用いるデータの作成装置において、基板上に設定された検査ポイントに印刷するハンダのサイズおよび形状に関する基本データと、検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶する記憶手段と、検査対象となる基板上の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける共用判定手段とを備えることを特徴とする。 In addition, a data creation device according to the present invention is set on a substrate in a data creation device used for inspecting a substrate printed with a predetermined printing material through an opening formed in a screen mask by a screen printer. Basic data relating to the size and shape of the solder to be printed on the inspection point , condition data including parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point When the storage means for storing the data in association with each other and the basic data of an arbitrary inspection point on the substrate to be inspected are set, the condition data associated with the basic data similar to the basic data is stored from the storage means. And extract the condition data and the basic data of an arbitrary inspection point. Characterized in that it comprises a common determination means for attaching.

本発明にかかる他の形態のデータ作成装置は、所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機のスクリーンマスクの検査に用いるデータの作成装置において、スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの印刷孔のサイズおよび形状に関する基本データと、検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶する記憶手段と、検査対象となるスクリーンマスク上の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける共用判定手段とを備えることを特徴とする。 Another embodiment of the data creation apparatus according to the present invention is a data creation apparatus for use in inspection of a screen mask of a screen printer that prints a predetermined printing material on a substrate through an opening formed in the screen mask. Condition data including basic data regarding the size and shape of the print hole of the inspection point set on the screen mask, parameters regarding imaging of the inspection point , image processing of the imaging data by this imaging, and parameters regarding inspection determination of the inspection point Is stored in association with each inspection point, and when basic data of an arbitrary inspection point on the screen mask to be inspected is set, a condition associated with basic data similar to this basic data Data is extracted from the storage means, and the extracted condition data and optional Characterized in that it comprises a common determination unit for associating the basic data of the inspection points.

また、本発明にかかるスクリーン印刷検査方法は、スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板を検査するスクリーン印刷検査方法において、基板上に設定された検査ポイントに印刷するハンダのサイズおよび形状に関する基本データと、検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶手段に記憶する第1のステップと、検査対象となる任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと、任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける第2のステップと、対応付けられた任意の検査ポイントの基本データと条件データに基づいて、基板の印刷状態を検査する第3のステップとを備えることを特徴とする。 The screen printing inspection method according to the present invention is a screen printing inspection method for inspecting a substrate on which a predetermined printing material is printed through an opening formed in a screen mask by a screen printing machine. Basic data relating to the size and shape of the solder to be printed on the inspection point , condition data including parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point When first data stored in the storage means in association with each other and basic data of an arbitrary inspection point to be inspected are set, condition data associated with basic data similar to this basic data is stored. Extracted from the means, this extracted condition data and any inspection points A second step for associating the basic data, based on the basic data and the condition data of any test point associated, characterized in that it comprises a third step of inspecting the printed state of the substrate.

上記スクリーン印刷検査方法において、第2のステップで対応付けられた任意の検査ポイントの基本データと条件データを記憶手段に記憶させる第4のステップをさらに備えるようにしてもよい。   The screen printing inspection method may further include a fourth step of storing basic data and condition data of an arbitrary inspection point associated in the second step in the storage unit.

また、本発明にかかる他の形態のスクリーン印刷検査方法は、所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機のスクリーンマスクを検査するスクリーン印刷検査方法において、スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの印刷孔のサイズおよび形状に関する基本データと、検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶手段に記憶する第1のステップと、検査対象となる任意の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと、任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける第2のステップと、対応付けられた任意の検査ポイントの基本データと条件データに基づいて、スクリーンマスクの状態を検査する第3のステップとを備えることを特徴とする。 Another aspect of the screen printing inspection method according to the present invention is a screen printing inspection method for inspecting a screen mask of a screen printer that prints a predetermined printing material on a substrate through an opening formed in the screen mask. Including basic data relating to the size and shape of the print hole of the inspection point set on the screen mask, parameters relating to imaging of the inspection point, image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point A first step of storing data in the storage means in association with each inspection point, and when basic data of any arbitrary inspection point to be inspected is set, basic data similar to this basic data, The associated condition data is extracted from the storage means, and the extracted A second step of associating the condition data with the basic data of an arbitrary inspection point, and a third step of inspecting the state of the screen mask based on the basic data of the arbitrary arbitrary inspection point associated with the condition data and the condition data; It is characterized by providing.

上記スクリーン印刷検査方法において、第2のステップで対応付けられた任意の検査ポイントの基本データと条件データを記憶手段に記憶させる第4のステップをさらに備えるようにしてもよい。   The screen printing inspection method may further include a fourth step of storing basic data and condition data of an arbitrary inspection point associated in the second step in the storage unit.

本発明にかかるスクリーン印刷検査装置は、スクリーン印刷機により所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板を検査するスクリーン印刷検査装置おいて、基板上に設定された検査ポイントに印刷するハンダのサイズおよび形状に関する基本データと、検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶する記憶手段と、検査対象となる基板上の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける共用判定手段と、対応付けられた任意の検査ポイントの基本データと条件データに基づいて基板の印刷状態を検査する検査手段と、を備えることを特徴とする。
ここで、共用判定手段は、対応付けた任意の検査ポイントの基本データと条件データを、記憶手段に記憶させるようにしてもよい。
A screen printing inspection apparatus according to the present invention is set on a substrate in a screen printing inspection apparatus that inspects a printed substrate through an opening formed in a screen mask with a predetermined printing material by a screen printer. Basic data relating to the size and shape of the solder to be printed at the inspection point , condition data including parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point, for each inspection point When the storage means for storing in association with the basic data of any inspection point on the substrate to be inspected is set, the condition data associated with the basic data similar to this basic data is extracted from the storage means The extracted condition data and the basic data of any inspection point A common determination unit attaching response, characterized in that it comprises a checking means for checking the printed state of the substrate based on the basic data and the condition data of any test point associated.
Here, the common determination means may store the basic data and the condition data of any associated inspection point in the storage means.

上記スクリーン印刷検査装置において、記憶手段と共用判定手段とをスクリーン印刷検査装置本体とは別の情報処理装置に搭載するようにしてもよい。スクリーン印刷検査装置本体に搭載された検査手段は、スクリーン印刷検査装置本体とは別の情報処理装置に搭載された記憶手段と共用判定手段により対応付けされた任意の検査ポイントの基本データと条件データに基づいて、基板の印刷状態を検査する。   In the screen printing inspection apparatus, the storage unit and the common determination unit may be mounted on an information processing apparatus different from the screen printing inspection apparatus body. The inspection means mounted on the screen printing inspection apparatus main body is the basic data and condition data of any inspection point associated with the storage means and the shared determination means mounted on the information processing apparatus different from the screen printing inspection apparatus main body. Based on the above, the printed state of the substrate is inspected.

また、上記スクリーン印刷検査装置において、基本データと条件データは、検査手段の検査結果に基づいて修正されるようにしてもよい。全ての検査ポイントの基本データと条件データが設定され、検査手段により検査の試行がされると、この検査結果に基づいて基本データと条件データの修正が行われる。この修正は、ユーザによりキーボードやマウス等の公知の入力装置により、または、記憶手段に記憶されたプログラムに基づいて自動的に行われる。   In the screen printing inspection apparatus, the basic data and the condition data may be corrected based on the inspection result of the inspection means. When basic data and condition data for all inspection points are set and an inspection is attempted by the inspection means, the basic data and condition data are corrected based on the inspection result. This correction is automatically performed by a user using a known input device such as a keyboard or a mouse, or based on a program stored in the storage unit.

本発明にかかる他の形態のスクリーン印刷検査装置は、所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機のスクリーンマスクを検査するスクリーン印刷検査装置おいて、スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの印刷孔のサイズおよび形状に関する基本データと、検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶する記憶手段と、検査対象となるスクリーンマスク上の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける共用判定手段と、対応付けられた任意の検査ポイントの基本データと条件データに基づいてスクリーンマスクの状態を検査する検査手段とを備えることを特徴とする。
ここで、共用判定手段は、対応付けた任意の検査ポイントの条件データと任意の検査ポイントを、記憶手段に記憶させるようにしてもよい。
According to another aspect of the present invention, there is provided a screen printing inspection apparatus for inspecting a screen mask of a screen printing machine for printing a predetermined printing material on a substrate through an opening formed in the screen mask. Condition data including basic data relating to the size and shape of the printing hole of the inspection point set on the screen mask, parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point Is stored in association with each inspection point, and when basic data of an arbitrary inspection point on the screen mask to be inspected is set, the basic data similar to this basic data is associated The condition data is extracted from the storage means, and the extracted condition data And a common determination means for associating the basic data of an arbitrary inspection point, and an inspection means for inspecting the state of the screen mask based on the basic data of the arbitrary arbitrary inspection point and the condition data. .
Here, the common determination means may store the condition data of any associated inspection point and any inspection point in the storage means.

上記スクリーン印刷検査装置において、記憶手段と共用判定手段とをスクリーン印刷検査装置本体とは別の情報処理装置に搭載するようにしてもよい。スクリーン印刷検査装置本体に搭載された検査手段は、スクリーン印刷検査装置本体とは別の情報処理装置に搭載された記憶手段と共用判定手段により対応付けされた任意の検査ポイントの基本データと条件データに基づいて、基板の印刷状態を検査する。   In the screen printing inspection apparatus, the storage unit and the common determination unit may be mounted on an information processing apparatus different from the screen printing inspection apparatus body. The inspection means mounted on the screen printing inspection apparatus main body is the basic data and condition data of any inspection point associated with the storage means and the shared determination means mounted on the information processing apparatus different from the screen printing inspection apparatus main body. Based on the above, the printed state of the substrate is inspected.

また、上記スクリーン印刷検査装置において、基本データと条件データは、検査手段の検査結果に基づいて再設定されるようにしてもよい。全ての検査ポイントの基本データと条件データが修正され、検査手段により検査の試行がされると、この検査結果に基づいて基本データと条件データの修正が行われる。この修正は、ユーザによりキーボードやマウス等の公知の入力装置により、または、記憶手段に記憶されたプログラムに基づいて自動的に行われる。   In the screen printing inspection apparatus, the basic data and the condition data may be reset based on the inspection result of the inspection unit. When the basic data and the condition data of all the inspection points are corrected and the inspection is attempted by the inspection means, the basic data and the condition data are corrected based on the inspection result. This correction is automatically performed by a user using a known input device such as a keyboard or a mouse, or based on a program stored in the storage unit.

本発明にかかるスクリーン印刷機は、上記スクリーン印刷検査装置を備えることを特徴とする。   A screen printer according to the present invention includes the screen print inspection apparatus.

本発明によれば、広義の印刷検査において、任意の検査ポイントが設定されると、この検査ポイントの基本データに類似する基本データを記憶手段から抽出し、抽出された基本データと対応付けられた条件データと、設定された検査ポイントの基本データとを対応付ける。これにより、条件データを作り込む必要がなくなるので、検査データを容易に作成することが可能となる。また、検査データの作り込み時間を大幅に短縮することも可能になる。   According to the present invention, when an arbitrary inspection point is set in the print inspection in a broad sense, basic data similar to the basic data of the inspection point is extracted from the storage unit and associated with the extracted basic data. The condition data is associated with the basic data of the set inspection point. As a result, there is no need to create condition data, so that inspection data can be created easily. In addition, it is possible to greatly reduce the time for creating inspection data.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機を備えた電子回路基板の実装ラインの構成を示す模式図である。
図1において、実装ライン1は、基板にクリームハンダを印刷するスクリーン印刷機2と、このスクリーン印刷機2によりハンダが印刷された基板上にチップやパッケージ等の各種デバイスを搭載するマウンター3,4と、このマウンター3,4によりデバイスが搭載された基板を加熱するリフロー炉5と、基板を順送りにする基板搬送コンベア6とから構成される。ここで、スクリーン印刷機2、マウンター3,4およびリフロー炉5は、それぞれネットワークにより接続されている。また、マウンター3,4の数量は適宜自由に設定することができる。
本実施の形態は、このような実装ライン1において、スクリーン印刷機2の印刷検査またはマスク検査に用いる検査データの作成方法に特徴を有するものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an electronic circuit board mounting line provided with a screen printer according to the present embodiment.
In FIG. 1, a mounting line 1 includes a screen printer 2 for printing cream solder on a substrate, and mounters 3 and 4 for mounting various devices such as chips and packages on the substrate on which the solder is printed by the screen printer 2. And a reflow furnace 5 for heating the substrate on which the device is mounted by the mounters 3 and 4 and a substrate transfer conveyor 6 for sequentially feeding the substrate. Here, the screen printer 2, the mounters 3 and 4, and the reflow furnace 5 are connected by a network. Moreover, the quantity of the mounters 3 and 4 can be set freely as appropriate.
The present embodiment is characterized by a method of creating inspection data used for printing inspection or mask inspection of the screen printer 2 in such a mounting line 1.

次に、図2、3を参照して、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2の構成について説明する。図2は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2の要部構成を示す斜視図、図3は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2のハードウェア構成を示すブロック図である。
本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2は、基板10を規正して所定の位置まで移動させるテーブル20と、基板10に印刷するハンダの印刷パターンに対応して開口部が形成されたスクリーンマスク30と、スクリーンマスク30の開口部へクリームハンダを充填するためのスキージ装置40と、テーブル20上方に配設され、印刷前の基板を撮像する基板認識カメラ50と、テーブル20上方に配設され、印刷後の基板10を撮像する印刷検査カメラ60と、スクリーン印刷機2全体の動作を制御する制御装置70とを少なくとも備える。
Next, the configuration of the screen printer 2 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a perspective view showing a main configuration of the screen printing machine 2 according to the present embodiment, and FIG. 3 is a block diagram showing a hardware configuration of the screen printing machine 2 according to the present embodiment.
The screen printing machine 2 according to the present embodiment includes a table 20 that regulates and moves the substrate 10 to a predetermined position, and a screen mask 30 in which openings are formed corresponding to the solder printing pattern to be printed on the substrate 10. A squeegee device 40 for filling cream solder into the opening of the screen mask 30, a substrate recognition camera 50 that is disposed above the table 20 and images the substrate before printing, and is disposed above the table 20. At least a print inspection camera 60 that images the printed substrate 10 and a control device 70 that controls the operation of the entire screen printing machine 2 are provided.

テーブル20は、基板10を規正して所定の位置まで移動させるものである。このようなテーブル20は、図2に示すように、スクリーン印刷機2の下部を構成し工場床に設置される基台21上において、第1Y軸モータ26によりY方向に移動可能に配設されるベース22と、このベース22の上方において、第1Z軸モータ27によりベース22と平行のままZ方向に移動可能に配設される第1中間プレート23と、この第1中間プレート23上において、X軸モータ28によりX方向に移動可能に配設される第2中間プレート24と、この第2中間プレート24上にθ軸モータ29によりθ方向に回動可能に支持されるステージ25とから構成される。このステージ25上には、基板10を固定するための公知の機構が設けられている。
ここで、X方向とは、基板10の搬送に沿った方向、すなわち図2における横方向とし、図2を正面視した状態で右側を正の方向、左側を負の方向とする。また、Y方向とは、基板10の搬送方向に対向する方向、すなわち図2における奥行き方向とし、図2を正面視した状態で奥側を正の方向、手前側を負の方向とする。また、Z方向とは、鉛直方向、すなわち図2における縦方向とし、図2を正面視した状態で上側を正の方向、下側を負の方向とする。また、θ方向とは、Z軸回りに回転する方向であり、上方を見て右回りを正の方向とする。
なお、ベース22と第1中間プレート23の間、第1中間プレート23と第2中間プレート24の間、第2中間プレート24とステージ25にそれぞれ順々に配置するモータの組合せは、上記のように、Z軸モータ、X軸モータ、θ軸モータの順のみの組合せだけでなく、例えば、X軸モータ、θ軸モータ、Z軸モータの順等、自由な順番の組合せが可能である。
また、ステージ25上には、基板10を搭載する位置とは別の所定の位置に、スクリーンマスク30の裏面を撮像するマスク認識カメラ80が取り付けられている。このマスク認識カメラ80は、公知のCCD(Charge Coupled Device)カメラ等から構成されており、スクリーンマスク30を撮像し、この撮像データを制御装置70に送出する。
The table 20 regulates the substrate 10 and moves it to a predetermined position. As shown in FIG. 2, such a table 20 is disposed on a base 21 that forms the lower part of the screen printing machine 2 and is installed on the factory floor so as to be movable in the Y direction by a first Y-axis motor 26. A first base plate 23 disposed above the base 22 so as to be movable in the Z direction while being parallel to the base 22 by the first Z-axis motor 27; and on the first intermediate plate 23, The second intermediate plate 24 is disposed so as to be movable in the X direction by the X-axis motor 28, and the stage 25 is supported on the second intermediate plate 24 so as to be rotatable in the θ direction by the θ-axis motor 29. Is done. A known mechanism for fixing the substrate 10 is provided on the stage 25.
Here, the X direction is the direction along the conveyance of the substrate 10, that is, the horizontal direction in FIG. 2, and the right side is the positive direction and the left side is the negative direction in FIG. Further, the Y direction is a direction facing the transport direction of the substrate 10, that is, a depth direction in FIG. 2, and a back side is a positive direction and a near side is a negative direction in a state where FIG. 2 is viewed from the front. Further, the Z direction is the vertical direction, that is, the vertical direction in FIG. 2, and the upper side is a positive direction and the lower side is a negative direction in a state where FIG. 2 is viewed from the front. The θ direction is a direction that rotates about the Z axis, and when viewed from the top, the clockwise direction is the positive direction.
The combinations of motors arranged in order between the base 22 and the first intermediate plate 23, between the first intermediate plate 23 and the second intermediate plate 24, and on the second intermediate plate 24 and the stage 25 are as described above. Furthermore, not only the combination of the order of the Z-axis motor, the X-axis motor and the θ-axis motor but also the combination of any order such as the order of the X-axis motor, the θ-axis motor and the Z-axis motor is possible.
On the stage 25, a mask recognition camera 80 for imaging the back surface of the screen mask 30 is attached at a predetermined position different from the position where the substrate 10 is mounted. The mask recognition camera 80 is constituted by a known CCD (Charge Coupled Device) camera or the like, images the screen mask 30, and sends the image data to the control device 70.

スクリーンマスク30は、図2に示すように、例えばアルミニウム合金等の金属の略矩形の薄板からなり、テーブル20の上方において水平に取り付けられている。このようなスクリーンマスク30には、基板10に印刷するハンダの印刷パターンに対応した開口からなる印刷孔31が多数形成されている。印刷範囲は大きなものでは380mm×330mm程度であり、印刷孔31の寸法は小さなものでは0.2mm×0.2mm程度であり、各印刷孔31間のX方向またはY方向のピッチは小さなものでは0.1mm程度である。   As shown in FIG. 2, the screen mask 30 is made of a substantially rectangular thin plate of a metal such as an aluminum alloy, and is attached horizontally above the table 20. In such a screen mask 30, a large number of printing holes 31 each having an opening corresponding to a solder printing pattern to be printed on the substrate 10 are formed. The large printing range is about 380 mm × 330 mm, the size of the printing holes 31 is about 0.2 mm × 0.2 mm, and the pitch between the printing holes 31 is small in the X direction or Y direction. It is about 0.1 mm.

スキージ装置40は、スクリーン印刷機2の上部に配置され、基台21に連結固定されるフレーム部材41に対し、第2Y軸モータ46によりY方向に移動可能に支持されるブラケット部材42と、このブラケット部材42に、Y方向両側において各々第2Z軸モータ47、第3Z軸モータ48によりZ方向に移動可能に支持される第1スキージヘッド43、第2スキージヘッド44とから構成される。第1スキージヘッド43および第2スキージヘッド44の下部は、それぞれX方向左右に伸びた形状をし、下端に可撓性を有する高分子や、ステンレス製のへらである不図示のスキージがそれぞれ取り付けられている。このようなスキージ装置40は、第1,2スキージヘッド43,44がスクリーンマスク30の上面に沿って移動することにより、スクリーンマスク30上に供給されたクリームハンダをスクリーンマスク30の印刷孔31を介して基板10上の各ランド(部品をハンダ付けする電極部分)に供給して印刷するものである。   The squeegee device 40 is disposed above the screen printing machine 2, and a bracket member 42 that is supported by a second Y-axis motor 46 so as to be movable in the Y direction with respect to a frame member 41 that is connected and fixed to the base 21. The bracket member 42 includes a first squeegee head 43 and a second squeegee head 44 that are supported by the second Z-axis motor 47 and the third Z-axis motor 48 so as to be movable in the Z direction on both sides in the Y direction. The lower portions of the first squeegee head 43 and the second squeegee head 44 have shapes extending left and right in the X direction, and a flexible polymer or a stainless steel spatula (not shown) is attached to the lower end. It has been. In such a squeegee device 40, the first and second squeegee heads 43 and 44 move along the upper surface of the screen mask 30, so that the cream solder supplied on the screen mask 30 is removed from the printing holes 31 of the screen mask 30. Then, it supplies to each land (electrode part which solders components) on the board | substrate 10, and prints.

基板認識カメラ50は、テーブル20をY方向における正の方向に移動しスクリーンマスク30下方域から外れた状態におけるステージ25上方に設けられた公知のCCDカメラ等から構成されており、印刷前の基板10を撮像し、この撮像データを制御装置70に送出する。
印刷検査カメラ60は、テーブル20をY方向における正の方向に移動しスクリーンマスク30下方域から外れた状態におけるステージ25上方に設けられた公知のCCDカメラ等から構成されており、クリームハンダが印刷された基板10を撮像し、この撮像データを制御装置70に送出する。
なお、基盤認識カメラ50,印刷検査カメラ60,マスク認識カメラ80には、それぞれ照明が併せて設けられており、撮像時の照明の設定については、条件データに基づいて行われる。
The substrate recognition camera 50 is composed of a known CCD camera or the like provided above the stage 25 in a state in which the table 20 is moved in the positive direction in the Y direction and is out of the lower area of the screen mask 30. 10 is imaged, and this imaged data is sent to the control device 70.
The print inspection camera 60 is composed of a known CCD camera or the like provided above the stage 25 in a state in which the table 20 is moved in the positive direction in the Y direction and is out of the lower area of the screen mask 30. The substrate 10 thus picked up is imaged, and this imaged data is sent to the control device 70.
The base recognition camera 50, the print inspection camera 60, and the mask recognition camera 80 are also provided with illumination, and the illumination setting at the time of imaging is performed based on the condition data.

制御装置70は、CPU等の演算装置と、メモリ、HDD(Hard Disc Drive)等の記憶装置と、キーボード、マウス、ポインティングデバイス、ボタン、タッチパネル等の外部から情報の入力を検出する入力装置と、外部との情報の送受を行うI/F装置と、CRT(Cathode Ray Tube)、LCD(Liquid Crystal Display)またはFED(Field Emission Display)等の表示装置を備えたコンピュータまたはコントローラーと、このコンピュータまたはコントローラーにインストールされたプログラムとから構成される。すなわちハードウェア資源とソフトウェアとが協働することによって、上記ハードウェア資源がプログラムによって制御され、図3に示すモータ駆動部71、記憶部72、画像処理部73、I/O処理部74、検査判定部75、表示部76、I/F77、共用判定部78および制御部79が実現される。   The control device 70 includes an arithmetic device such as a CPU, a storage device such as a memory and an HDD (Hard Disc Drive), an input device that detects input of information from the outside, such as a keyboard, a mouse, a pointing device, a button, and a touch panel. A computer or controller having an I / F device for sending and receiving information to and from the outside, a display device such as a CRT (Cathode Ray Tube), LCD (Liquid Crystal Display) or FED (Field Emission Display), and the computer or controller And the program installed on the computer. That is, the hardware resources and software cooperate to control the hardware resources by a program, and the motor drive unit 71, storage unit 72, image processing unit 73, I / O processing unit 74, inspection shown in FIG. A determination unit 75, a display unit 76, an I / F 77, a common determination unit 78, and a control unit 79 are realized.

モータ駆動部71は、第1Y軸モータ26、第1Z軸モータ27、X軸モータ28、θ軸モータ29、第2Y軸モータ46、第2Z軸モータ47および第3Z軸モータ48を含むスクリーン印刷機2が有する各モータと接続されており、制御部77の指示に基づいて各モータに制御信号を送出し、各モータの駆動を制御する。
なお、第1Y軸モータ26、第1Z軸モータ27、X軸モータ28、θ軸モータ29、第2Y軸モータ46、第2Z軸モータ47および第3Z軸モータ48の各々にはエンコーダが組み込まれており、回転位置を制御装置70にフィードバックして、基板10や第1スキージヘッド43、第2スキージヘッド44を正確に位置決めできるようにしている。
The motor driving unit 71 includes a first Y-axis motor 26, a first Z-axis motor 27, an X-axis motor 28, a θ-axis motor 29, a second Y-axis motor 46, a second Z-axis motor 47, and a third Z-axis motor 48. 2 is connected to each motor, and a control signal is sent to each motor based on an instruction from the control unit 77 to control driving of each motor.
Each of the first Y-axis motor 26, the first Z-axis motor 27, the X-axis motor 28, the θ-axis motor 29, the second Y-axis motor 46, the second Z-axis motor 47, and the third Z-axis motor 48 is incorporated with an encoder. The rotational position is fed back to the control device 70 so that the substrate 10, the first squeegee head 43, and the second squeegee head 44 can be accurately positioned.

記憶部72は、スクリーン印刷機2の動作に関する各種プログラム、印刷検査またはマスク検査を行うための検査データが登録されるライブラリ72a等を記憶する。また、記憶部72は、後述する画像処理部73から入力される認識データを記憶してもよい。
ここで、検査データとは、印刷検査の場合、基板10の印刷パターン単位で、少なくとも検査すべきハンダが存在する基板10上の位置に関する情報である検査ポイントと、この検査ポイントに印刷すべきハンダの形状やサイズ等に関するデータである基本データと、その検査ポイントを撮像するカメラの照明の設定や2値化レベル等の画像処理に関するパラメータおよび面積許容値や位置許容値等の検査判定に関するパラメータ等からなる条件データとを検査ポイント毎に対応付けて設定したものである。また、マスク検査の場合の検査データとは、スクリーンマスク30単位で、少なくとも検査をすべき印刷孔31のスクリーンマスク30上の位置に関する情報である検査ポイントと、この検査ポイントの開口形状や開口サイズ等に関するデータである基本データと、その検査ポイントを撮像するカメラの照明の設定や2値化レベル等の画像処理に関連するパラメータおよび面積許容値や一許容値等の検査判定に関するパラメータ等からなる条件データとを、検査ポイント毎に対応付けて設定したものである。
ライブラリ72aには、以前に作成した検査データが登録されている。この検査データの登録は、検査データを作成する度、または、作成した検査データのうちユーザが選択した任意の検査データのみを登録するようにできる。なお、ライブラリ72aには、任意の検査ポイント単位、すなわち任意の検査ポイントと、この検査ポイントに対応付けられた基本データおよび条件データとを1つの単位として、登録するようにしてもよい。以下、その単位をポイントデータと呼ぶ。
The storage unit 72 stores various programs relating to the operation of the screen printer 2, a library 72a in which inspection data for performing a print inspection or a mask inspection is registered, and the like. The storage unit 72 may store recognition data input from an image processing unit 73 described later.
Here, in the case of a print inspection, the inspection data is an inspection point that is information on a position on the substrate 10 where at least the solder to be inspected exists, and a solder to be printed on the inspection point in a print pattern unit of the substrate 10. Basic data that is data related to the shape, size, etc. of the camera, parameters related to image processing such as the illumination setting and binarization level of the camera that images the inspection point, and parameters related to inspection determination such as area tolerance and position tolerance Are set in association with each inspection point. The inspection data in the case of mask inspection is an inspection point which is information on the position of the printing hole 31 to be inspected on the screen mask 30 in units of the screen mask 30, and the opening shape and opening size of the inspection point. Basic data that is data related to the image, parameters related to image processing such as the illumination setting of the camera that images the inspection point and binarization level, and parameters related to inspection determination such as area tolerance and one tolerance Condition data is set in association with each inspection point.
In the library 72a, previously created inspection data is registered. The registration of the inspection data can be performed every time the inspection data is created or only arbitrary inspection data selected by the user among the created inspection data. In the library 72a, an arbitrary inspection point unit, that is, an arbitrary inspection point, and basic data and condition data associated with the inspection point may be registered as one unit. Hereinafter, the unit is referred to as point data.

画像処理部73は、基板認識カメラ50、印刷検査カメラ60およびマスク認識カメラ80と接続されており、制御部79の指示に基づいてこれらのカメラに撮像指示を出す。また、この指示に基づいて各カメラにより撮像された撮像データから、基板10上に設けられている位置決めマーク、基板10に印刷されたハンダの状態、スクリーンマスク30上に設けられている位置決めマーク、スクリーンマスク30の状態等を抽出した認識データを生成し、制御部79に送出する。これらの画像処理部73の動作は、条件データに基づいて行われる。
なお、画像処理部73が抽出した認識データは、記憶部72に記憶されるようにしてもよい。
The image processing unit 73 is connected to the substrate recognition camera 50, the print inspection camera 60, and the mask recognition camera 80, and issues an imaging instruction to these cameras based on instructions from the control unit 79. Further, from the imaging data imaged by each camera based on this instruction, a positioning mark provided on the substrate 10, a solder state printed on the substrate 10, a positioning mark provided on the screen mask 30, Recognition data obtained by extracting the state of the screen mask 30 is generated and sent to the control unit 79. These operations of the image processing unit 73 are performed based on the condition data.
Note that the recognition data extracted by the image processing unit 73 may be stored in the storage unit 72.

I/O処理部74は、スクリーン印刷機2に設けられているエアシリンダやレギュレータなどの各種アクチュエータ81や各種センサ82と接続されており、センサ82から入力されるデータを制御部79に送出するとともに、制御部79の指示に基づいてアクチュエータ81に対して制御信号を送出する。この制御信号に基づいて、アクチュエータ81は動作する。   The I / O processing unit 74 is connected to various actuators 81 such as an air cylinder and a regulator provided in the screen printing machine 2 and various sensors 82, and sends data input from the sensor 82 to the control unit 79. At the same time, a control signal is sent to the actuator 81 based on an instruction from the control unit 79. Based on this control signal, the actuator 81 operates.

検査判定部75は、印刷検査およびマスク検査における判定動作を行う。
印刷検査の場合、検査判定部75は、制御部79の指示により、印刷検査カメラ60の撮像データに基づいて画像処理部73が生成した認識データと、記憶部72に記憶されている検査データとに基づいて判定動作を行う。例えば、検査判定部75は、認識データから検査ポイントに印刷されたハンダのサイズおよび平面形状等を検出し、この検出したハンダとその検査ポイントと対応付けられた基本データと比較し、この比較結果をその基本データと対応付けられた条件データと照らし合わせることにより、正常にハンダが印刷されたか否かを判定する。
マスク検査の場合、検査判定部75は、制御部79の指示により、マスク認識カメラ80の撮像データに基づいて画像処理部73が生成した認識データと、記憶部72に記憶されている検査データとに基づいて判定動作を行う。例えば、検査判定部75は、認識データから検査ポイントのスクリーンマスク30の印刷孔31のサイズおよび平面形状等の状態を検出し、この検出した印刷孔31の状態とその検査ポイントと対応付けられた基本データとを比較し、この比較結果をその基本データと対応付けられた条件データと照らし合わせることにより、スクリーンマスク30の清掃が必要か否かを判定する。
The inspection determination unit 75 performs determination operations in print inspection and mask inspection.
In the case of the print inspection, the inspection determination unit 75 receives the recognition data generated by the image processing unit 73 based on the imaging data of the print inspection camera 60 and the inspection data stored in the storage unit 72 according to an instruction from the control unit 79. The determination operation is performed based on the above. For example, the inspection determination unit 75 detects the size and planar shape of the solder printed on the inspection point from the recognition data, compares it with the basic data associated with the detected solder and the inspection point, and the comparison result Is compared with the condition data associated with the basic data to determine whether the solder has been printed normally.
In the case of mask inspection, the inspection determination unit 75 receives the recognition data generated by the image processing unit 73 based on the imaging data of the mask recognition camera 80 and the inspection data stored in the storage unit 72 according to an instruction from the control unit 79. The determination operation is performed based on the above. For example, the inspection determination unit 75 detects the state of the printing hole 31 of the screen mask 30 at the inspection point from the recognition data, such as the size and planar shape, and associates the detected state of the printing hole 31 with the inspection point. It is determined whether or not the screen mask 30 needs to be cleaned by comparing with the basic data and comparing the comparison result with the condition data associated with the basic data.

表示部76は、CRT、LCDまたはFED等の公知の表示装置83と接続されており、制御部79の指示に基づいて、検査データおよび検査データの作成工程を含むスクリーン印刷機2の動作に関する各種情報を表示する。   The display unit 76 is connected to a known display device 83 such as a CRT, LCD, or FED, and based on instructions from the control unit 79, various types of operations related to the operation of the screen printing machine 2 including the inspection data and the process of creating the inspection data. Display information.

I/F77は、LAN(Local Area Network)等の公知のネットワークにより接続された実装ライン1を構成するマウンター3,4およびリフロー炉5と接続され、各種情報の送受信を行う。なお、I/F77は、基板搬送コンベア6と接続することもできる。   The I / F 77 is connected to the mounters 3 and 4 and the reflow furnace 5 constituting the mounting line 1 connected by a known network such as a LAN (Local Area Network), and transmits and receives various types of information. The I / F 77 can also be connected to the substrate transfer conveyor 6.

共用判定部78は、検査データの作成時に、検査ポイントの基本データが入力されると、記憶部72に格納されているライブラリ72aの中から入力された基本データに類似する基本データを有する検査データまたはポイントデータを抽出する。そして、この検査データまたはポイントデータの条件データを、入力された基本データの条件データと設定して、検査データを作成する。   When the basic data of the inspection point is input when the inspection data is created, the common determination unit 78 has the basic data similar to the basic data input from the library 72a stored in the storage unit 72. Or extract point data. Then, the inspection data is created by setting the condition data of the inspection data or point data as the condition data of the input basic data.

制御部79は、記憶部72に記憶された各種プログラムに基づいて、検査データまたはポイントデータの作成、基板の搬入、基板とスクリーンマスクの位置決め、印刷、検査、基板の搬出等のスクリーン印刷機2の各動作を制御する。   Based on various programs stored in the storage unit 72, the control unit 79 generates inspection data or point data, carries in a substrate, positions a substrate and a screen mask, prints, inspects, carries out the substrate, etc. Control each operation.

次に、図1〜図4を参照して、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2の印刷検査を伴う各動作について説明する。図4は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2の印刷検査を伴う各動作を示すフローチャートである。   Next, with reference to FIGS. 1-4, each operation | movement with the printing inspection of the screen printer 2 concerning this Embodiment is demonstrated. FIG. 4 is a flowchart showing each operation involving the print inspection of the screen printer 2 according to the present embodiment.

[基板の搬入]
まず、基板10にハンダを印刷する場合、スクリーン印刷機2は、第1Y軸モータ26、第1Z軸モータ27およびX軸モータ28を駆動してステージ25を所定の位置に移動させ、例えばスクリーン印刷機2の図2におけるX方向における正の方向側に設けられた図示しない搬送コンベアから、基板10をステージ25上に搬入し、固定する(ステップS401)。
[Loading board]
First, when printing solder on the substrate 10, the screen printing machine 2 drives the first Y-axis motor 26, the first Z-axis motor 27, and the X-axis motor 28 to move the stage 25 to a predetermined position, for example, screen printing. The substrate 10 is carried onto the stage 25 and fixed from a transport conveyor (not shown) provided on the positive direction side in the X direction in FIG. 2 of the machine 2 (step S401).

[位置決め]
ステージ25上に基板10を固定すると、スクリーン印刷機2は、第1Y軸モータ26を駆動して、ステージ25をY方向における正の方向に移動させるとともに、必要に応じてX軸モータ28を駆動させることにより、ステージ25を基板認識カメラ50下方の所定の位置、例えば基板認識カメラ50の撮像範囲に基板10全体が含まれる位置に配置する。続いて、基板認識カメラ50により基板10を撮像し、この撮像データに基づく認識データから基板10に設けられている位置決めマークの位置を認識し、基板10をステージ25上に固定する基準となる位置と、実際に基板10がステージ25上に固定された位置とのずれ(基板固定ずれ)を検出する(ステップS402)。
基板固定ずれを検出すると、スクリーン印刷機2は、第1Y軸モータ26を駆動して、ステージ25をY方向における負の方向に移動させるとともに、必要に応じて第1Z軸モータ27、あるいは、およびX軸モータ28を駆動させることにより、ステージ25上に設けられているマスク認識カメラ80を、スクリーンマスク30下方の所定の位置、例えばマスク認識カメラ80の撮像範囲にスクリーンマスク30全体が含まれる位置に配置する。続いて、マスク認識カメラ80によりスクリーンマスク30を撮像し、この撮像データに基づく認識データからスクリーンマスク30に設けられている位置決めマークの位置を認識し、スクリーンマスク30が固定されるべき基準となる位置と、実際にスクリーンマスク30が固定されている位置とのずれ(マスク固定ずれ)を検出する(ステップS403)。スクリーン印刷機2は、第1Y軸モータ26を所定量駆動するとともに、検出された基板固定ずれとマスク固定ずれに基づいて、必要に応じてX軸モータ28およびθ軸モータ29のうち少なくとも1つを駆動し、場合によっては第1Y軸モータ26をさらに駆動して、基板10の回路パターンとスクリーンマスク30の開口とが一致するスクリーンマスク30下方の所定の位置へステージ25を移動させ、第1Z軸モータ27を駆動してステージ25をZ方向における正の方向に移動させる、すなわちステージ25を上昇させることにより、基板10とスクリーンマスク30とを当接させる(ステップS404)。
[Positioning]
When the substrate 10 is fixed on the stage 25, the screen printing machine 2 drives the first Y-axis motor 26 to move the stage 25 in the positive direction in the Y direction, and also drives the X-axis motor 28 as necessary. As a result, the stage 25 is arranged at a predetermined position below the substrate recognition camera 50, for example, at a position where the entire substrate 10 is included in the imaging range of the substrate recognition camera 50. Subsequently, the board 10 is imaged by the board recognition camera 50, the position of the positioning mark provided on the board 10 is recognized from the recognition data based on this imaging data, and a position serving as a reference for fixing the board 10 on the stage 25 A deviation (substrate fixation deviation) from the position where the substrate 10 is actually fixed on the stage 25 is detected (step S402).
When the substrate fixing deviation is detected, the screen printing machine 2 drives the first Y-axis motor 26 to move the stage 25 in the negative direction in the Y direction, and the first Z-axis motor 27 or By driving the X-axis motor 28, the mask recognition camera 80 provided on the stage 25 is moved to a predetermined position below the screen mask 30, for example, the position where the entire screen mask 30 is included in the imaging range of the mask recognition camera 80. To place. Subsequently, the screen mask 30 is imaged by the mask recognition camera 80, the position of the positioning mark provided on the screen mask 30 is recognized from the recognition data based on the imaging data, and the screen mask 30 becomes a reference to be fixed. A deviation (mask fixation deviation) between the position and the position where the screen mask 30 is actually fixed is detected (step S403). The screen printing machine 2 drives the first Y-axis motor 26 by a predetermined amount, and at least one of the X-axis motor 28 and the θ-axis motor 29 as necessary based on the detected substrate fixing deviation and mask fixing deviation. In some cases, the first Y-axis motor 26 is further driven to move the stage 25 to a predetermined position below the screen mask 30 where the circuit pattern of the substrate 10 and the opening of the screen mask 30 coincide with each other. By driving the shaft motor 27 and moving the stage 25 in the positive direction in the Z direction, that is, by raising the stage 25, the substrate 10 and the screen mask 30 are brought into contact with each other (step S404).

[印刷]
基板10とスクリーンマスク30とが当接されると、スクリーン印刷機2は、図示しないハンダ供給口からスクリーンマスク30上にクリームハンダを供給し、スキージ装置40をスクリーンマスク30上面に沿って所定方向(本実施の形態ではY方向)に往復移動させて、クリームハンダをスクリーンマスク30の印刷孔31に充填する(ステップS405)。
[printing]
When the substrate 10 and the screen mask 30 are brought into contact with each other, the screen printing machine 2 supplies cream solder onto the screen mask 30 from a solder supply port (not shown), and moves the squeegee device 40 along the upper surface of the screen mask 30 in a predetermined direction. The cream solder is filled in the printing holes 31 of the screen mask 30 by reciprocating in the Y direction (in this embodiment) (step S405).

具体的には、例えば、スクリーン印刷機2は、第2Y軸モータ46および第2Z軸モータ47を駆動して、第1スキージヘッド43をスクリーンマスク30上の所定の位置、図2に示すスクリーンマスク30のY方向における負の方向側の端部近傍に、この端部の辺と第1スキージヘッド43の長手方向が平行になるように下端のスキージを当接させる。このとき、第2スキージヘッド44は、上方に位置されている。
続いて、スクリーン印刷機2は、スクリーンマスク30上の第1スキージヘッド43が当接している位置と印刷孔31が設けられている位置の間に、クリームハンダを供給する。クリームハンダが供給されると、スクリーン印刷機2は、第2Y軸モータ46を駆動して、第1スキージヘッド43下端のスキージを、スクリーンマスク30に当接させた状態で図2のY方向における正の方向に移動させる。これにより、スクリーンマスク30上に供給されたクリームハンダは、第1スキージヘッド43によりスクリーンマスク30上においてY方向における正の方向に移動させられることにより、印刷孔31に充填される。なお、このとき第2スキージヘッド44は、上方位置されているので、クリームハンダに接触しない。
Specifically, for example, the screen printing machine 2 drives the second Y-axis motor 46 and the second Z-axis motor 47 to move the first squeegee head 43 to a predetermined position on the screen mask 30, as shown in FIG. A squeegee at the lower end is brought into contact with the vicinity of the end portion on the negative direction side in the Y direction of 30 so that the side of the end portion is parallel to the longitudinal direction of the first squeegee head 43. At this time, the second squeegee head 44 is positioned above.
Subsequently, the screen printing machine 2 supplies cream solder between the position where the first squeegee head 43 abuts on the screen mask 30 and the position where the printing holes 31 are provided. When the cream solder is supplied, the screen printing machine 2 drives the second Y-axis motor 46 to bring the squeegee at the lower end of the first squeegee head 43 into contact with the screen mask 30 in the Y direction of FIG. Move in the positive direction. Thereby, the cream solder supplied onto the screen mask 30 is moved in the positive direction in the Y direction on the screen mask 30 by the first squeegee head 43, thereby filling the printing holes 31. At this time, since the second squeegee head 44 is positioned above, it does not contact the cream solder.

第1スキージヘッド43がスクリーンマスク30に設けられた全ての印刷孔31を通過すると、第2Y軸モータ46が停止させられるとともに、スクリーン印刷機2は、第3Z軸モータ48を駆動して、第2スキージヘッド44を下降させ、スクリーンマスク30上の所定の位置、図2に示すスクリーンマスク30のY方向における正の方向側の端部近傍に、この端部の辺と第2スキージヘッド44の長手方向が平行になるようにし、下端のスキージを当接させる。このとき、スクリーン印刷機2は、第2Z軸モータ47を駆動し、第1スキージヘッド43を上方位置まで移動させる。
続いて、スクリーン印刷機2は、第2Y軸モータ46を駆動して、第2スキージヘッド44の下端のスキージをスクリーンマスク30に当接させた状態で図2のY方向における負の方向に移動させる。これにより、第1スキージヘッド43により移動させられたクリームハンダは、第2スキージヘッド44によりスクリーンマスク30上においてY方向における負の方向に移動させられることにより、印刷孔31に充填される。なお、このとき第1スキージヘッド43は、上方に位置されているので、クリームハンダに接触しない。
When the first squeegee head 43 passes through all the printing holes 31 provided in the screen mask 30, the second Y-axis motor 46 is stopped and the screen printing machine 2 drives the third Z-axis motor 48 to 2 The squeegee head 44 is lowered, and the edge of the second squeegee head 44 and the side of the second squeegee head 44 are placed at a predetermined position on the screen mask 30 near the end of the screen mask 30 shown in FIG. The longitudinal direction is made parallel and the squeegee at the lower end is brought into contact. At this time, the screen printing machine 2 drives the second Z-axis motor 47 to move the first squeegee head 43 to the upper position.
Subsequently, the screen printing machine 2 drives the second Y-axis motor 46 to move in the negative direction in the Y direction of FIG. 2 with the squeegee at the lower end of the second squeegee head 44 in contact with the screen mask 30. Let Thus, the cream solder moved by the first squeegee head 43 is filled in the printing holes 31 by being moved in the negative direction in the Y direction on the screen mask 30 by the second squeegee head 44. At this time, since the first squeegee head 43 is positioned above, it does not contact the cream solder.

このようにしてクリームハンダがスクリーンマスク30の印刷孔31に充填押圧されて印刷された後、スクリーン印刷機2は、第1Z軸モータ27を駆動してステージ25をZ方向における負の方向に降下させ、基板10とスクリーンマスク30とを離間させて(ステップS406)、印刷が完了する。   After the cream solder is filled and pressed in the printing holes 31 of the screen mask 30 and printed in this way, the screen printing machine 2 drives the first Z-axis motor 27 to lower the stage 25 in the negative direction in the Z direction. Then, the substrate 10 and the screen mask 30 are separated from each other (step S406), and printing is completed.

[検査]
印刷を終えると、スクリーン印刷機2は、第1Y軸モータ26を駆動して、ステージ25をY方向における正の方向に移動させるとともに、必要に応じて第1Z軸モータ27、X軸モータ28およびθ軸モータ29のうち少なくとも1つを駆動させることにより、ステージ25を印刷検査カメラ60下方の所定の位置、例えば印刷検査カメラ60の撮像範囲に基板10全体が含まれる位置に移動させて、印刷検査を行う(ステップS407)。本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2は、この印刷検査に用いる検査データやポイントデータの作成方法に特徴を有するものである。
[Inspection]
When printing is completed, the screen printing machine 2 drives the first Y-axis motor 26 to move the stage 25 in the positive direction in the Y direction, and if necessary, the first Z-axis motor 27, the X-axis motor 28, and By driving at least one of the θ-axis motors 29, the stage 25 is moved to a predetermined position below the print inspection camera 60, for example, a position where the entire substrate 10 is included in the imaging range of the print inspection camera 60. An inspection is performed (step S407). The screen printer 2 according to the present embodiment is characterized by a method for creating inspection data and point data used for the print inspection.

まず、スクリーン印刷機2は、図5に示すように、印刷検査カメラ60によりクリームハンダが印刷された基板10を撮像する。この撮像する際の照明等の各種設定は、条件データに基づいてなされる。
撮像データは、例えば図6に示すように、基板10に搭載されるデバイスや検査ポイント毎に視野11a〜11fが割り付けられる。このような撮像データと記憶部72のライブラリ72aに予め記憶された基板10を検査するためのの条件データに基づいて、画像処理部73は、それぞれの検査ポイントの印刷ハンダのサイズや平面形状状態を含む認識データを作成する。
ここで、検査ポイントは、ハンダ単位やデバイス単位など適宜自由に設定することができる。
First, as shown in FIG. 5, the screen printing machine 2 images the substrate 10 on which the cream solder is printed by the print inspection camera 60. Various settings such as illumination at the time of imaging are made based on condition data.
As shown in FIG. 6, for example, visual fields 11 a to 11 f are assigned to the imaging data for each device and inspection point mounted on the substrate 10. Based on the imaging data and the condition data for inspecting the substrate 10 stored in advance in the library 72a of the storage unit 72, the image processing unit 73 determines the size of the printing solder and the planar shape state of each inspection point. Create recognition data including.
Here, the inspection point can be freely set as appropriate, such as a solder unit or a device unit.

検査判定部75は、認識データから検査ポイントに印刷されたハンダのサイズや平面形状を抽出する。また、記憶部72に予め記憶されたその基板10の印刷検査に用いる検査データまたはポイントデータから、基本データを抽出する。そして、検査ポイントそれぞれについて、認識データから抽出したハンダのサイズおよび形状と、その基本データに基づく検査ポイントに印刷されるべきハンダのサイズおよび形状に関する情報とを比較やパターンマッチングし、この結果をその検査ポイントと対応付けられた条件データと照らし合わせることにより、印刷が正常になされたか否かを判定する。   The inspection determination unit 75 extracts the size and planar shape of the solder printed on the inspection point from the recognition data. Further, basic data is extracted from inspection data or point data used for printing inspection of the substrate 10 stored in advance in the storage unit 72. Then, for each inspection point, the size and shape of the solder extracted from the recognition data and the information on the size and shape of the solder to be printed on the inspection point based on the basic data are compared or pattern-matched, and the result is It is determined whether printing has been performed normally by comparing with the condition data associated with the inspection point.

[基板の搬出]
上述した印刷検査により印刷不良が発見されない、すなわち正常に印刷された場合(ステップS408:NO)、スクリーン印刷機2は、第1Y軸モータ26と、必要に応じてさらに第1Z軸モータ27、X軸モータ28およびθ軸モータ29を駆動してステージ25を所定の位置に移動させ、例えば図2におけるX方向の負の方向側に設けられたマウンター3に搬出する。搬出された基板10は、マウンター3、4およびリフロー炉5に続く工程、すなわちデバイスの搭載および焼成がなされる。
一方、印刷検査により印刷不良が発見されると(ステップS408:YES)、スクリーン印刷機2は、印刷不良が発見された基板10をスクリーン印刷機2外部に搬出し(ステップS410)、その基板の撤去を要請する旨の指示を表示装置83に表示させる(ステップS411)。ここで、スクリーン印刷機2は、印刷不良が発見された基板のみを収集する容器を備えるようにしてもよい。この場合、印刷不良が発見されると、スクリーン印刷機2は、その印刷不良が発見された基板を、自動的にその容器に搬出する。これにより、印刷不良が発見された基板を取り除くオペレータの手間を省くことができるので、とても使い勝手がよい。
[Board unloading]
When no printing failure is found by the above-described print inspection, that is, when printing is performed normally (step S408: NO), the screen printing machine 2 includes the first Y-axis motor 26 and, if necessary, the first Z-axis motor 27, X The shaft motor 28 and the θ-axis motor 29 are driven to move the stage 25 to a predetermined position and, for example, are carried out to the mounter 3 provided on the negative direction side in the X direction in FIG. The unloaded substrate 10 is subjected to processes following the mounters 3 and 4 and the reflow furnace 5, that is, mounting and firing of devices.
On the other hand, when a printing failure is found by the print inspection (step S408: YES), the screen printing machine 2 carries out the substrate 10 in which the printing failure is found to the outside of the screen printing machine 2 (step S410). An instruction to request removal is displayed on the display device 83 (step S411). Here, the screen printer 2 may be provided with a container that collects only the substrates on which printing defects are found. In this case, when a printing failure is found, the screen printing machine 2 automatically carries the substrate on which the printing failure is found to the container. As a result, it is possible to save the trouble of an operator who removes a substrate in which a printing defect is found, which is very convenient.

次に、図7を参照して、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2のマスク検査を伴う各動作について説明する。図7は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2のマスク検査を伴う各動作を示すフローチャートである。
図7において、基板の搬入、位置決め、印刷および基板の搬出の工程を示すステップS701〜S706は、図4を参照して説明した印刷検査と同一であるので、説明を省略する。
Next, with reference to FIG. 7, each operation | movement with the mask test | inspection of the screen printer 2 concerning this Embodiment is demonstrated. FIG. 7 is a flowchart showing each operation involving the mask inspection of the screen printer 2 according to the present embodiment.
In FIG. 7, steps S701 to S706 showing the steps of substrate loading, positioning, printing, and substrate unloading are the same as the print inspection described with reference to FIG.

[検査]
ハンダを印刷した基板10を次の工程に搬出すると(ステップS707)、スクリーン印刷機2は、マスク検査を行う(ステップS708)。
[Inspection]
When the substrate 10 on which the solder is printed is carried out to the next process (step S707), the screen printing machine 2 performs a mask inspection (step S708).

スクリーン印刷機2は、第1Y軸モータ26を駆動して、ステージ25をY方向における正の方向に移動させるとともに、必要に応じて第1Z軸モータ27、X軸モータ28およびθ軸モータ29のうち少なくとも1つを駆動させることにより、ステージ25をスクリーンマスク30下方の所定の位置、例えばマスク認識カメラ80の撮像範囲に基板10全体が含まれる位置に移動させて、マスク認識カメラ80により、スクリーンマスク30を撮像する。この撮像する際の照明設定等の各種設定は、条件データに基づいてなされる。
マスク認識カメラ80による撮像データとそのスクリーンマスク30を検査するための条件データに基づいて、画像処理部73は、例えば図6を参照して説明した基板10の場合と同様の方法で、認識データを作成する。検査判定部75は、検査ポイントのスクリーンマスク30の状態、特に印刷孔31のサイズや形状を抽出する。また、記憶部72に予め記憶されたそのスクリーンマスク30のマスク検査に用いる検査データまたはポイントデータから、基本データを抽出する。検査判定部75は、検査ポイントそれぞれについて、認識データから抽出したスクリーンマスク30の印刷孔31の形状およびサイズと、その基本データに基づく検査ポイントの印刷孔31の形状およびサイズに関する情報と比較やパターンマッチングし、この結果をその基本データと対応付けられた条件データと照らし合わせることにより、スクリーンマスク30の状態が正常か否かを判定する。この判定は、例えば、スクリーンマスク30の開口への異物やハンダの詰まり、スクリーンマスク30裏面のフラックスやハンダのにじみ等が検出された場合、検査判定部75は、スクリーンマスク30の状態が異常であると判定する。
The screen printing machine 2 drives the first Y-axis motor 26 to move the stage 25 in the positive direction in the Y direction and, if necessary, the first Z-axis motor 27, the X-axis motor 28, and the θ-axis motor 29. By driving at least one of them, the stage 25 is moved to a predetermined position below the screen mask 30, for example, to a position where the entire substrate 10 is included in the imaging range of the mask recognition camera 80. The mask 30 is imaged. Various settings such as the illumination setting at the time of imaging are made based on the condition data.
Based on the image data taken by the mask recognition camera 80 and the condition data for inspecting the screen mask 30, the image processing unit 73 uses the same method as that for the substrate 10 described with reference to FIG. Create The inspection determination unit 75 extracts the state of the screen mask 30 at the inspection point, particularly the size and shape of the printing hole 31. Further, basic data is extracted from inspection data or point data used for mask inspection of the screen mask 30 stored in advance in the storage unit 72. For each inspection point, the inspection determination unit 75 compares and compares the shape and size of the printing hole 31 of the screen mask 30 extracted from the recognition data and information on the shape and size of the printing hole 31 of the inspection point based on the basic data. By matching and comparing the result with condition data associated with the basic data, it is determined whether or not the state of the screen mask 30 is normal. This determination is made when, for example, foreign matter or solder clogging in the opening of the screen mask 30, flux on the back of the screen mask 30, solder bleeding, or the like is detected, the inspection determination unit 75 determines that the state of the screen mask 30 is abnormal. Judge that there is.

[マスク清掃]
上述したマスク検査によりスクリーンマスク30の異常が発見されると(ステップS709:YES)、スクリーン印刷機2は、スクリーンマスク30を清掃する旨の指示を表示装置83に表示させる(ステップS710)。ここで、スクリーン印刷機2は、スクリーンマスク30を自動的に清掃する機構を設けるようにしてもよい。この場合、マスクの異常が発見されると、スクリーン印刷機2は、自動的にスクリーンマスク30の清掃を行うようにしてもよい。これにより、スクリーンマスク30を清掃するオペレータの手間を省くことができるので、とても使い勝手がよい。
マスク検査によりスクリーンマスク30の異常が発見されない場合(ステップS709:YES)、スクリーン印刷機2は、ステップS701に戻り、次の基板10の印刷を行う。
[Mask cleaning]
If an abnormality of the screen mask 30 is found by the mask inspection described above (step S709: YES), the screen printing machine 2 displays an instruction to clean the screen mask 30 on the display device 83 (step S710). Here, the screen printer 2 may be provided with a mechanism for automatically cleaning the screen mask 30. In this case, the screen printer 2 may automatically clean the screen mask 30 when a mask abnormality is found. As a result, the operator's trouble of cleaning the screen mask 30 can be saved, which is very convenient.
If no abnormality of the screen mask 30 is found by the mask inspection (step S709: YES), the screen printing machine 2 returns to step S701 to print the next substrate 10.

次に、上述したような印刷検査またはマスク検査に用いられる検査データまたはポイントデータの作成方法について図8を参照して説明する。図8は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機2の検査データまたはポイントデータの作成動作を示すフローチャートである。
ここで、記憶部72が記憶するライブラリ72aには、以前に作成された検査データまたはポイントデータが少なくとも1つ登録されているものとする。なお、以下において、ライブラリ72aには、ポイントデータ単位で登録がなされるものとして説明するが、検査データ単位で登録することも可能である。
Next, a method of creating inspection data or point data used for the print inspection or mask inspection as described above will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a flowchart showing an operation of creating inspection data or point data of the screen printer 2 according to the present embodiment.
Here, it is assumed that at least one inspection data or point data previously created is registered in the library 72a stored in the storage unit 72. In the following description, it is assumed that registration is performed in the library 72a in units of point data, but registration in units of inspection data is also possible.

[基本データ取得]
印刷検査またはマスク検査の検査データを作成する場合、まず、ユーザが基板10またはスクリーンマスク30上に検査ポイントを設定し、この検査ポイントの位置や形状に関する基本データを作成する(ステップS801)。この基本データは、スクリーンマスク30を作成する際に用いたデータからデータ変換によって取得する方法、実際にハンダが正しく印刷された基準となる基板10上のハンダパターンを撮影し、この撮影画像を画像処理して検出する方法、スクリーンマスク30の印刷孔31を撮影し、この撮影画像を画像処理して検出して取得する方法等により取得することが可能である。
[Get basic data]
When creating inspection data for print inspection or mask inspection, the user first sets inspection points on the substrate 10 or the screen mask 30, and creates basic data regarding the position and shape of the inspection points (step S801). This basic data is obtained by data conversion from the data used when the screen mask 30 is created, a solder pattern on the substrate 10 that is a reference on which the solder is actually printed is photographed, and this photographed image is imaged. It can be obtained by a method of processing and detecting, a method of photographing the printing hole 31 of the screen mask 30, and detecting and obtaining this photographed image.

[検査視野割り付け]
次に、複数の検査ポイントを同じ撮像データで一括して検査判定するために、図6で示すように、検査ポイント毎に検査視野の割り付けを行う(ステップS802)。
[Inspection field assignment]
Next, in order to collectively inspect and inspect a plurality of inspection points with the same imaging data, as shown in FIG. 6, an inspection visual field is assigned for each inspection point (step S802).

[共用設定]
ここで、共用判定部78は、入力された検査ポイントに対して、共用可能なポイントデータが、ライブラリ72aに登録されているか否かを判定する(ステップS803)。具体的には、共用判定部78は、入力された検査ポイントの基本データと、ライブラリ72aに登録されているポイントデータの基本データとを対比する。
なお、入力された基本データと、ライブラリ72aに登録されている複数のポイントデータの基本データのうち何れかのポイントデータの基本データと対比する順番については、適宜自由に設定することができる。
[Shared settings]
Here, the sharing determination unit 78 determines whether or not sharable point data is registered in the library 72a for the input inspection point (step S803). Specifically, the sharing determination unit 78 compares the input basic data of the inspection point with the basic data of the point data registered in the library 72a.
Note that the order in which the input basic data is compared with the basic data of any point data among the basic data of the plurality of point data registered in the library 72a can be set as appropriate.

共用可能なポイントデータがライブラリ72aに存在する場合(ステップS803:YES)、共用判定部78は、そのポイントデータに基づいて入力された検査ポイントのポイントデータを設定する(ステップS811)。具体的には、入力された検査ポイントの基本データに類似する基本データを有するポイントデータがライブラリ72aに登録されている場合、共用判定部78は、その類似する基本データと対応付けられている条件データを、入力された検査ポイントの条件データとして設定する。これにより、入力された検査ポイントの条件データが自動的に生成されることになる。
ここで、基本データの類似とは、印刷するハンダのサイズや形状、または、スクリーンマスクの印刷孔31のサイズや形状を比較した際に、その値が所定の範囲内に収まっている場合または同一の場合、共用判定部78は、基本データが類似していると判定する。その所定の範囲等は、記憶部72に記憶されており、適宜自由に設定することが可能である。
When sharable point data exists in the library 72a (step S803: YES), the sharing determination unit 78 sets the point data of the inspection point input based on the point data (step S811). Specifically, when the point data having basic data similar to the basic data of the input inspection point is registered in the library 72a, the sharing determination unit 78 determines that the condition is associated with the similar basic data. Data is set as condition data for the input inspection point. As a result, the condition data of the input inspection point is automatically generated.
Here, the similarity of the basic data means that when the size or shape of the solder to be printed or the size or shape of the printing hole 31 of the screen mask is compared, the value is within a predetermined range or the same. In this case, the sharing determination unit 78 determines that the basic data is similar. The predetermined range or the like is stored in the storage unit 72, and can be freely set as appropriate.

なお、この類似は、認識データから抽出したハンダの形状およびサイズまたは印刷孔31の形状および31の情報と、基本データから抽出したハンダの形状およびサイズまたは印刷孔31の形状および31の情報とを、それぞれベクトルの表現し、内積をとることにより判定するようにしてもよい。ここで、ベクトル表現の設定については、適宜自由に設定することができ、この設定条件は条件データに含むようにすることができる。   Note that this similarity is based on the solder shape and size extracted from the recognition data or the information on the shape and 31 of the printing hole 31, and the solder shape and size extracted from the basic data or the information on the shape and 31 of the printing hole 31. Alternatively, the determination may be made by expressing each vector and taking the inner product. Here, the vector expression can be set freely as appropriate, and the setting condition can be included in the condition data.

[条件データ設定]
共用可能なポイントデータがライブラリ72aに存在しない場合(ステップS803:NO)、ユーザは、入力された検査ポイントに対応する条件データを手入力等により設定する(ステップS804)。
このような条件データの設定は、全ての検査ポイントの設定が終了するまで行われる。
[Condition data setting]
If no sharable point data exists in the library 72a (step S803: NO), the user sets condition data corresponding to the input inspection point by manual input or the like (step S804).
Such setting of the condition data is performed until the setting of all the inspection points is completed.

[検査実行条件設定]
全ての検査ポイントの条件データの設定が終了すると(ステップS805:YES)、共用判定部78は、作成した検査データの印刷検査またはマスク検査を、連続生産中にどのような条件で実行するかを決定する(ステップS806)。この条件としては、例えば間引きして行う、スクリーンマスク30の清掃後に行う等が挙げられる。
[Examination execution condition setting]
When the setting of the condition data for all the inspection points is completed (step S805: YES), the common determination unit 78 determines under what conditions the print inspection or mask inspection of the created inspection data is executed during continuous production. Determination is made (step S806). As this condition, for example, it is performed by thinning or after cleaning of the screen mask 30.

[検査試行]
ここまでのステップで検査データの作成は完了するが、この検査データが正しく作成されたか否かを確認するために、実際にスクリーン印刷機2で印刷を行った場合の印刷状態のばらつきを検査データに反映させて適切なデータに修正する目的で、作成した検査データによる検査の試行を行う(ステップS807)。
この試行により、検査データが正しく作成されていないことが判明した場合(ステップS812:NO)、ユーザにより検査データを修正する(ステップS812)。この検査データの修正は、共用判定部78が検査試行結果に基づいて記憶部72に予め記憶されたプログラムにより自動的に行うようにしてもよい。
[Inspection trial]
Although the creation of the inspection data is completed by the steps so far, in order to confirm whether or not the inspection data has been correctly created, the inspection data indicates the variation in the printing state when printing is actually performed by the screen printer 2. For the purpose of reflecting the error in the data and correcting it to appropriate data, an inspection trial is performed using the generated inspection data (step S807).
If it is determined by this trial that the inspection data is not correctly created (step S812: NO), the user corrects the inspection data (step S812). The correction of the inspection data may be automatically performed by the common determination unit 78 using a program stored in advance in the storage unit 72 based on the inspection trial result.

[検査データ登録]
この試行により作成した検査データが正しく作成されたことが確認されると(ステップS808)、検査判定部75は、作成した検査データに含まれる全てのポイントデータまたは作成した検査データのうち任意のポイントデータを記憶部72に格納されているライブラリ72aに登録する(ステップS809)。
[Inspection data registration]
When it is confirmed that the examination data created by this trial has been created correctly (step S808), the examination determination unit 75 selects all point data included in the created examination data or any point of the created examination data. Data is registered in the library 72a stored in the storage unit 72 (step S809).

このように、作成したポイントデータをライブラリ72aに登録することにより、ポイントデータおよび検査データの作成が容易になる。
例えば、図9(a)に示すように、基板10に同等の検査ポイント12a〜12eが存在する場合、その検査ポイント12a〜12eのうち何れか1つのポイントデータを作成してライブラリ72aに登録する。一例として、検査ポイント12aのポイントデータをライブラリ72aに登録したとする。すると、本実施の形態によれば、共用判定部78は、図9(b)に示すように、その検査ポイント12aのポイントデータを検査ポイント12b〜12eそれぞれに共用する、すなわち検査ポイント12aのポイントデータに含まれる条件データ、例えばしきい値、面積許容値、位置許容値等を、検査ポイント12b〜12eのそれぞれの基本データと対応付けてポイントデータ作成し、検査データに登録する。これにより、基板10の検査データのうち、検査ポイント12b〜12eのポイントデータが、それぞれの条件データをユーザが作り込まずに自動的に作成される。したがって、本実施の形態によれば、検査データおよびポイントデータの作成を容易に行うことができると言える。
なお、マスク検査の検査データを作成する場合も、同様の方法で容易に行うことができる。
Thus, by registering the created point data in the library 72a, creation of point data and inspection data becomes easy.
For example, as shown in FIG. 9A, when equivalent inspection points 12a to 12e exist on the substrate 10, any one of the inspection points 12a to 12e is created and registered in the library 72a. . As an example, it is assumed that the point data of the inspection point 12a is registered in the library 72a. Then, according to the present embodiment, as shown in FIG. 9B, the sharing determination unit 78 shares the point data of the inspection point 12a with each of the inspection points 12b to 12e, that is, the point of the inspection point 12a. Condition data included in the data, for example, threshold values, area allowance values, position allowance values, and the like are associated with each basic data of the inspection points 12b to 12e to create point data and register it in the inspection data. Thereby, the point data of the inspection points 12b to 12e among the inspection data of the substrate 10 are automatically created without the user creating each condition data. Therefore, according to this embodiment, it can be said that inspection data and point data can be easily created.
Note that the inspection data for the mask inspection can be easily performed by the same method.

また、別の例として、本実施の形態によれば、図10に示すように基板10Aと基板10Bに同じデバイスの検査ポイントが存在する場合についても、容易に検査データおよびポイントデータの作成を行うことが可能となる。
この場合、基板10Aの検査データAを作成した際に、デバイスQFP1の検査ポイント12fのポイントデータをライブラリ72aに登録しておく。すると、共用判定部78は、基板10Bの検査データBを作成する際に、基板10Aと同じデバイスQFP1の検査ポイント12gのポイントデータについては、ライブラリ72aに既に登録されているデバイスQFP1のポイントデータを共用する、すなわちデバイスQFP1のポイントデータに含まれる条件データを検査ポイント12gの基本データと対応付けて基板10Bの検査データBに登録する。これにより、基板10Bの検査データBのうち、検査ポイント12gのポイントデータが、条件データをユーザが作り込まずに自動的に作成される。したがって、本実施の形態によれば、検査データBおよび検査ポイント12gのポイントデータの作成を容易に行うことができると言える。
なお、マスク検査の検査データを作成する場合も、同様の方法で容易に行うことができる。
As another example, according to the present embodiment, inspection data and point data are easily created even when inspection points of the same device exist on the substrate 10A and the substrate 10B as shown in FIG. It becomes possible.
In this case, when the inspection data A of the substrate 10A is created, the point data of the inspection point 12f of the device QFP1 is registered in the library 72a. Then, when creating the inspection data B of the substrate 10B, the common determination unit 78 uses the point data of the device QFP1 already registered in the library 72a for the point data of the inspection point 12g of the same device QFP1 as the substrate 10A. The condition data that is shared, that is, included in the point data of the device QFP1, is registered in the inspection data B of the substrate 10B in association with the basic data of the inspection point 12g. Thereby, the point data of the inspection point 12g among the inspection data B of the substrate 10B is automatically created without the user creating condition data. Therefore, according to the present embodiment, it can be said that the point data of the inspection data B and the inspection point 12g can be easily created.
Note that the inspection data for the mask inspection can be easily performed by the same method.

さらに、別の例として、既にライブラリ72aに登録されたポイントデータを、検査ポイントのサイズ、形状、隣接する検査ポイントとの距離などの条件でグループ分けし、このグループに基づいてポイントデータを共用することによっても、検査データの作成が容易になる。
例えば、図11に示すように、検査ポイントをその平面サイズでグループ分けした場合、基板10C上の検査ポイント12h〜12jがそれぞれ#1〜3のポイントデータに対応するので、共用判定部78は、基板10Cの検査データに、ライブラリ72aに登録されている#1〜3のポイントデータを共用する。すなわち、#1〜3のポイントデータに含まれる条件データを、検査ポイント12h〜12jの基本データとそれぞれ対応付けて基板10Cの検査データに登録する。これにより、基板10Cの検査データについては、ライブラリ72aに登録されているポイントデータを共用するだけで、容易に作成することが可能となる。
なお、マスク検査の検査データを作成する場合も、同様の方法で容易に行うことができる。
As another example, the point data already registered in the library 72a is grouped according to conditions such as the size and shape of the inspection point, the distance to the adjacent inspection point, and the point data is shared based on this group. This also facilitates the creation of inspection data.
For example, as shown in FIG. 11, when the inspection points are grouped according to the plane size, the inspection points 12h to 12j on the substrate 10C correspond to the point data # 1 to # 3, respectively. The point data # 1 to # 3 registered in the library 72a are shared with the inspection data of the substrate 10C. That is, the condition data included in the point data # 1 to # 3 is registered in the inspection data of the substrate 10C in association with the basic data of the inspection points 12h to 12j. Thereby, the inspection data of the substrate 10C can be easily created only by sharing the point data registered in the library 72a.
Note that the inspection data for the mask inspection can be easily performed by the same method.

また、検査データやポイントデータは、作成する度に、ライブラリ72aに登録するようにしてもよい。このようにするとライブラリ72aは、自動的に成長するとともに、充実してゆく。すると、新たに検査データを作成する際に、ライブラリ72aに登録されている検査データが充実している場合には、共用可能な検査データが存在する確率も高くなる。したがって、新たな検査データまたはポイントデータを、ライブラリ72aに既に登録されている検査データまたはポイントデータのみから作成することも可能となる。これによって、ユーザは、新たに検査データまたはポイントデータを作成する際に、条件データを作り込む必要がなくなるので、容易に検査データまたはポイントデータの作成を行うことができる。
なお、マスク検査の検査データを作成する場合も、同様の方法で容易に行うことができる。
Also, the inspection data and point data may be registered in the library 72a every time they are created. In this way, the library 72a is automatically grown and enriched. Then, when new inspection data is created, if the inspection data registered in the library 72a is enriched, the probability that inspection data that can be shared is high is also increased. Therefore, new inspection data or point data can be created only from inspection data or point data already registered in the library 72a. This eliminates the need for the user to create condition data when creating new inspection data or point data, so that the user can easily create inspection data or point data.
Note that the inspection data for the mask inspection can be easily performed by the same method.

上述したような検査データの作成方法は、本実施の形態のようにスクリーン印刷機2に内蔵した形態のみならず、スクリーン印刷機とは独立した装置、実装ライン1全体を制御する装置、マウンター3,4、リフロー炉5および基板搬送コンベア6のような実装ライン1を構成するスクリーン印刷機2以外の装置に適用することが可能である。   The method for creating inspection data as described above is not limited to the form built in the screen printer 2 as in the present embodiment, but is an apparatus independent of the screen printer, an apparatus for controlling the entire mounting line 1, and the mounter 3. , 4, the reflow furnace 5 and the substrate transfer conveyor 6 can be applied to apparatuses other than the screen printer 2 constituting the mounting line 1.

基板検査のデータ作成における基礎データ取得のために実施される印刷された基準となる基板10の撮像や、マスク検査の検査データの作成における基礎データ取得のために実施されるスクリーンマスク30の撮像は、検査工程を実装したスクリーン印刷機2や、印刷装置とは別の独立した印刷検査装置により行うようにしてもよい。この場合、印刷後の印刷検査のように、ステージ25に基準となる基板10を載置固定し、基板認識カメラ50または印刷検査カメラ60で基板上のハンダパターンを撮像することにより可能となる。また、スクリーン印刷機2や印刷装置とは独立した別の印刷検査装置にスクリーンマスク30を設置し、印刷検査装置に設けたマスク認識カメラ80でスクリーンマスク30を撮像する。これらにより得られる撮像データは、スクリーン印刷機2や印刷検査装置の制御装置70の記憶部72に記憶され、制御装置70により図8のステップS801〜S806およびS811が実施される。   Imaging of the substrate 10 serving as a printed reference performed for acquiring basic data in the production of substrate inspection data, and imaging of the screen mask 30 performed for acquiring basic data in creating inspection data of mask inspection Alternatively, it may be performed by the screen printing machine 2 in which the inspection process is mounted, or by an independent print inspection apparatus different from the printing apparatus. In this case, it is possible to mount and fix the reference substrate 10 on the stage 25 and to image the solder pattern on the substrate with the substrate recognition camera 50 or the print inspection camera 60 as in the print inspection after printing. Further, the screen mask 30 is installed in another print inspection apparatus independent of the screen printer 2 and the printing apparatus, and the screen mask 30 is imaged by a mask recognition camera 80 provided in the print inspection apparatus. The imaging data obtained by these is stored in the storage unit 72 of the control device 70 of the screen printing machine 2 or the print inspection apparatus, and steps S801 to S806 and S811 of FIG.

なお、マスクの作成に用いるデータからのデータ変換等により基板10やスクリーンマスク30上の検査ポイントの基本データおよび条件データの設定をする場合、上記ステップS801〜S806およびS811は、スクリーン印刷機2や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置のみならず、これらとは別の独立したコンピュータなどの情報処理装置で実施するようにしてもよい。この場合、情報処理装置は、上述した制御装置70の記憶部72、ライブラリ72a、画像処理部73、表示部76、共用判定部78および制御部79と同等の構成を少なくとも有し、マスク作成に用いるデータに基づいて、基板10やスクリーンマスク30上の各検査ポイントの基本データと条件データとを設定する。これにより、スクリーン印刷機2や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置のみならず、これらとは別の独立した情報処理装置により検査ポイントの基本データと条件データの設定が可能となる。   When the basic data and condition data of the inspection points on the substrate 10 and the screen mask 30 are set by data conversion from data used for creating the mask, the above steps S801 to S806 and S811 are performed by the screen printer 2 It may be implemented not only by an independent print inspection apparatus different from the printing apparatus but also by an information processing apparatus such as an independent computer other than these. In this case, the information processing apparatus has at least the same configuration as the storage unit 72, the library 72a, the image processing unit 73, the display unit 76, the common determination unit 78, and the control unit 79 of the control device 70 described above. Based on the data to be used, basic data and condition data for each inspection point on the substrate 10 and the screen mask 30 are set. Thereby, not only the independent printing inspection apparatus different from the screen printer 2 and the printing apparatus but also the basic data and condition data of the inspection point can be set by an independent information processing apparatus different from these.

撮像データを利用して基板10やスクリーンマスク30の検査ポイントの基本データおよび条件データの設定をする場合も、スクリーン印刷機2や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置のみならず、上述した情報処理装置で実施するようにしてもよい。この場合、スクリーン印刷機2あるいは印刷装置とは別の独立した印刷検査装置からLAN等の通信回線により撮像データを情報処理装置に送信する、あるいは、スクリーン印刷機2や印刷検査装置とは独立した撮像装置で標準となる印刷基板10やスクリーンマスク30を撮像し、この撮像データを情報処理装置に送信する。すると、情報処理装置は、受信した撮像データに基づいて、基板10やスクリーンマスク30上の各検査ポイントの基本データと条件データとを設定する。これにより、撮像データを利用する場合であっても、スクリーン印刷機2や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置のみならず、これらとは別の独立した情報処理装置により検査ポイントの基本データと条件データの設定が可能となる。   When setting the basic data and condition data of the inspection points of the substrate 10 and the screen mask 30 using the imaging data, not only the print inspection apparatus independent of the screen printing machine 2 and the printing apparatus but also the above-described one. You may make it implement with information processing apparatus. In this case, image data is transmitted to the information processing apparatus via a communication line such as a LAN from a printing inspection apparatus independent of the screen printing machine 2 or the printing apparatus, or independent of the screen printing machine 2 or the printing inspection apparatus. The imaging device captures an image of the standard printed circuit board 10 and the screen mask 30, and transmits this imaging data to the information processing device. Then, the information processing apparatus sets basic data and condition data for each inspection point on the substrate 10 and the screen mask 30 based on the received imaging data. Thereby, even when imaging data is used, not only the independent printing inspection apparatus different from the screen printer 2 and the printing apparatus, but also the basic data of the inspection point by an independent information processing apparatus different from these. And condition data can be set.

上述した情報処理装置によりステップS801〜S806、S811を実施して得られる検査データは、相変化型光ディスク、磁気テープ、光磁気ディスク、磁気ディスク、フラッシュメモリ等の記憶媒体やLAN等の通信回線などにより、スクリーン印刷機2に取り込まれ、制御装置70の記憶部72に記憶される。   The inspection data obtained by performing steps S801 to S806 and S811 by the information processing apparatus described above is a storage medium such as a phase change optical disk, a magnetic tape, a magneto-optical disk, a magnetic disk, or a flash memory, or a communication line such as a LAN. Thus, the data is taken into the screen printer 2 and stored in the storage unit 72 of the control device 70.

また、図8のステップS807〜S809およびS812は、スクリーン印刷機2または印刷装置とは別の独立した印刷検査装置において実施される。すなわち、スクリーン印刷機2または印刷検査装置に備えられている表示装置に検査試行結果を表示し、スクリーン印刷機2または印刷検査装置に備えられているキーボードやマウス等の公知の入力装置を介してユーザにより検査データが修正されるか、検査試行結果に基づき記憶部72に予め記憶されたプログラムにより自動的に検査データの修正が実施される。最終的に修正が終了した検査データは、ライブラリ72aに登録され、図4や図7に示す印刷工程および広義の印刷検査が実施される。   Further, steps S807 to S809 and S812 in FIG. 8 are performed in a print inspection apparatus independent of the screen printing machine 2 or the printing apparatus. That is, an inspection trial result is displayed on a display device provided in the screen printing machine 2 or the print inspection apparatus, and is input via a known input device such as a keyboard or a mouse provided in the screen printing machine 2 or the print inspection apparatus. The inspection data is corrected by the user, or the inspection data is automatically corrected by a program stored in advance in the storage unit 72 based on the inspection trial result. The inspection data finally corrected is registered in the library 72a, and the printing process shown in FIGS. 4 and 7 and the printing inspection in a broad sense are performed.

さらに、検査工程を実施するスクリーン印刷機2、印刷装置とは別の独立した印刷検査装置、実装装置およびリフロー炉のうち複数を制御する情報処理装置で図8のステップS801〜S806およびS811を実施し、その情報処理装置がスクリーン印刷機2や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置も制御する場合、図8のステップS807〜S809、ステップS812や、図4や図7に示す印刷工程および広義の印刷検査も、その情報処理装置で実施するようにしてもよい。   Further, Steps S801 to S806 and S811 of FIG. 8 are performed by the screen printing machine 2 that performs the inspection process, an independent print inspection apparatus different from the printing apparatus, a mounting apparatus, and an information processing apparatus that controls a plurality of reflow furnaces. However, when the information processing apparatus also controls an independent print inspection apparatus different from the screen printing machine 2 and the printing apparatus, steps S807 to S809 and step S812 in FIG. 8, the printing process shown in FIGS. A wide-range print inspection may also be performed by the information processing apparatus.

本実施の形態にかかるスクリーン印刷機を備えた電子回路基板の実装ラインの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the mounting line of the electronic circuit board provided with the screen printer concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機の要部構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the principal part structure of the screen printer concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機のハードウェア構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the hardware constitutions of the screen printer concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機の印刷検査を伴う各動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows each operation | movement accompanied by the printing test | inspection of the screen printer concerning this Embodiment. 印刷検査カメラの視野サイズを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the visual field size of a printing inspection camera. 基板の検査ポイントを説明する図である。It is a figure explaining the inspection point of a board | substrate. 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機のマスク検査を伴う各動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows each operation | movement accompanying the mask test | inspection of the screen printer concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機の検査データまたはポイントデータの作成動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the production | generation operation | movement of the test | inspection data or point data of the screen printer concerning this Embodiment. (a)基板10の印刷パターンの一例を示す図、(b)ライブラリと検査データの模式図である。(A) The figure which shows an example of the printing pattern of the board | substrate 10, (b) It is a schematic diagram of a library and test | inspection data. 基板10Bの検査データを作成する様子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a mode that the test | inspection data of the board | substrate 10B are created. 基板10Cの検査データを作成する様子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a mode that the test | inspection data of the board | substrate 10C are created.

符号の説明Explanation of symbols

1…実装ライン、2…スクリーン印刷機、3,4…マウンター、5…リフロー炉、6…基板搬送コンベア、10,10A,10B,10C…基板、11a〜11f…視野、12,12a〜12j…検査ポイント、20…テーブル、21…基台、22…ベース、23…第1中間プレート、24…第2中間プレート、25…ステージ、26…第1Y軸モータ、27…第1Z軸モータ、28…X軸モータ、29…θ軸モータ、30…スクリーンマスク、31…印刷孔、40…スキージ装置、41…フレーム部材、42…ブランケット部材、43…第1スキージヘッド、44…第2スキージヘッド、46…第2Y軸モータ、47…第2Z軸モータ、48…第3Z軸モータ、50…基板認識カメラ、60…印刷検査カメラ、70…制御装置、71…モータ駆動部、72…記憶部、72a…ライブラリ、73…画像処理部、74…I/O処理部、75…検査判定部、76…表示部、77…I/F、78…共用判定部、79…制御部、80…マスク認識カメラ、81…アクチュエータ、82…センサ、83…表示装置。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mounting line, 2 ... Screen printer, 3, 4 ... Mounter, 5 ... Reflow furnace, 6 ... Substrate conveyance conveyor 10, 10A, 10B, 10C ... Substrate, 11a-11f ... View field, 12, 12a-12j ... Inspection point, 20 ... table, 21 ... base, 22 ... base, 23 ... first intermediate plate, 24 ... second intermediate plate, 25 ... stage, 26 ... first Y-axis motor, 27 ... first Z-axis motor, 28 ... X axis motor, 29 ... θ axis motor, 30 ... screen mask, 31 ... printing hole, 40 ... squeegee device, 41 ... frame member, 42 ... blanket member, 43 ... first squeegee head, 44 ... second squeegee head, 46 ... 2nd Y-axis motor, 47 ... 2nd Z-axis motor, 48 ... 3rd Z-axis motor, 50 ... Board recognition camera, 60 ... Print inspection camera, 70 ... Control device, 71 ... Motor Drive unit, 72 ... storage unit, 72 a ... library, 73 ... image processing unit, 74 ... I / O processing unit, 75 ... inspection determination unit, 76 ... display unit, 77 ... I / F, 78 ... common determination unit, 79 ... Control unit, 80 ... Mask recognition camera, 81 ... Actuator, 82 ... Sensor, 83 ... Display device.

Claims (15)

スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板の検査に用いるデータの作成方法において、
基板上に設定された検査ポイントに印刷するハンダのサイズおよび形状に関する基本データと、前記検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶手段に記憶する第1のステップと、
検査対象となる任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを前記記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと、前記任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける第2のステップと
を備えることを特徴とするデータ作成方法。
In a method for creating data used for inspecting a substrate printed with a predetermined printing material through an opening formed in a screen mask by a screen printer,
Condition data including basic data relating to the size and shape of the solder to be printed on the inspection point set on the substrate, parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point And the first step of storing in the storage means in association with each inspection point,
When basic data of an arbitrary inspection point to be inspected is set, condition data associated with basic data similar to this basic data is extracted from the storage means, and the extracted condition data and the arbitrary data A data creation method comprising: a second step of associating basic data of inspection points.
所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機の前記スクリーンマスクの検査に用いるデータの作成方法において、
スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの印刷孔のサイズおよび形状に関する基本データと、前記検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶手段に記憶する第1のステップと、
検査対象となる任意の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを前記記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと、前記任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける第2のステップと
を備えることを特徴とするデータ作成方法。
In a method of creating data used for inspection of the screen mask of a screen printing machine that prints a predetermined printing material on a substrate through an opening formed in the screen mask,
Condition data including basic data relating to the size and shape of the print hole of the inspection point set on the screen mask, parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point And the first step of storing in the storage means in association with each inspection point,
When the basic data of any arbitrary inspection point to be inspected is set, the condition data associated with the basic data similar to this basic data is extracted from the storage means, the extracted condition data, A data creating method comprising: a second step of associating basic data of an arbitrary inspection point.
スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板の検査に用いるデータの作成装置において、
基板上に設定された検査ポイントに印刷するハンダのサイズおよび形状に関する基本データと、前記検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶する記憶手段と、
検査対象となる基板上の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを前記記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと前記任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける共用判定手段と
を備えることを特徴とするデータ作成装置。
In a data creation device used for inspecting a substrate printed with a predetermined printing material through an opening formed in a screen mask by a screen printer,
Condition data including basic data relating to the size and shape of the solder to be printed on the inspection point set on the substrate, parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point And a storage means for storing in association with each inspection point;
When basic data of an arbitrary inspection point on a substrate to be inspected is set, condition data associated with basic data similar to this basic data is extracted from the storage means, and the extracted condition data and the A data creation apparatus comprising: a shared determination unit that associates basic data of an arbitrary inspection point.
所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機の前記スクリーンマスクの検査に用いるデータの作成装置において、
スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの印刷孔のサイズおよび形状に関する基本データと、前記検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶する記憶手段と、
検査対象となるスクリーンマスク上の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを前記記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと前記任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける共用判定手段と
を備えることを特徴とするデータ作成装置。
In a data creation apparatus used for inspection of the screen mask of a screen printer that prints a predetermined printing material on a substrate through an opening formed in the screen mask,
Condition data including basic data relating to the size and shape of the print hole of the inspection point set on the screen mask, parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point And a storage means for storing in association with each inspection point;
When basic data of an arbitrary inspection point on the screen mask to be inspected is set, condition data associated with basic data similar to this basic data is extracted from the storage means, and the extracted condition data and A data creation device comprising: a shared determination unit that associates the basic data of the arbitrary inspection point.
スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板を検査するスクリーン印刷検査方法において、
基板上に設定された検査ポイントに印刷するハンダのサイズおよび形状に関する基本データと、前記検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶手段に記憶する第1のステップと、
検査対象となる任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを前記記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと、前記任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける第2のステップと、
対応付けられた前記任意の検査ポイントの前記基本データと前記条件データに基づいて、前記基板の印刷状態を検査する第3のステップと
を備えることを特徴とするスクリーン印刷検査方法。
In a screen printing inspection method for inspecting a substrate on which a predetermined printing material is printed through an opening formed in a screen mask by a screen printer,
Condition data including basic data relating to the size and shape of the solder to be printed on the inspection point set on the substrate, parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point And the first step of storing in the storage means in association with each inspection point,
When basic data of an arbitrary inspection point to be inspected is set, condition data associated with basic data similar to this basic data is extracted from the storage means, and the extracted condition data and the arbitrary data A second step of associating basic data of inspection points;
A screen printing inspection method comprising: a third step of inspecting a printed state of the substrate based on the basic data and the condition data of the arbitrary inspection point associated with each other.
前記第2のステップで対応付けられた前記任意の検査ポイントの前記基本データと前記条件データを前記記憶手段に記憶させる第4のステップ
をさらに備えることを特徴とする請求項5記載のスクリーン印刷検査方法。
The screen printing inspection according to claim 5, further comprising a fourth step of storing the basic data and the condition data of the arbitrary inspection point associated in the second step in the storage unit. Method.
所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機の前記スクリーンマスクを検査するスクリーン印刷検査方法において、
スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの印刷孔のサイズおよび形状に関する基本データと、前記検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶手段に記憶する第1のステップと、
検査対象となる任意の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを前記記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと、前記任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける第2のステップと、
対応付けられた前記任意の検査ポイントの前記基本データと前記条件データに基づいて、前記スクリーンマスクの状態を検査する第3のステップと
を備えることを特徴とするスクリーン印刷検査方法。
In a screen printing inspection method for inspecting the screen mask of a screen printing machine that prints a predetermined printing material on a substrate through an opening formed in the screen mask,
Condition data including basic data relating to the size and shape of the print hole of the inspection point set on the screen mask, parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point And the first step of storing in the storage means in association with each inspection point,
When the basic data of any arbitrary inspection point to be inspected is set, the condition data associated with the basic data similar to this basic data is extracted from the storage means, the extracted condition data, A second step of associating basic data of an arbitrary inspection point;
A screen printing inspection method comprising: a third step of inspecting the state of the screen mask based on the basic data and the condition data of the arbitrary inspection point associated with each other.
前記第2のステップで対応付けられた前記任意の検査ポイントの前記基本データと前記条件データを前記記憶手段に記憶させる第4のステップ
をさらに備えることを特徴とする請求項7記載のスクリーン印刷検査方法。
The screen printing inspection according to claim 7, further comprising a fourth step of storing the basic data and the condition data of the arbitrary inspection point associated in the second step in the storage unit. Method.
スクリーン印刷機により所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板を検査するスクリーン印刷検査装置おいて、
基板上に設定された検査ポイントに印刷するハンダのサイズおよび形状に関する基本データと、前記検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶する記憶手段と、
検査対象となる基板上の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを前記記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと前記任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける共用判定手段と、
対応付けられた前記任意の検査ポイントの前記基本データと前記条件データに基づいて前記基板の印刷状態を検査する検査手段と
を備えることを特徴とするスクリーン印刷検査装置。
In a screen printing inspection apparatus for inspecting a printed substrate through an opening formed in a screen mask with a predetermined printing material by a screen printer,
Condition data including basic data relating to the size and shape of the solder to be printed on the inspection point set on the substrate, parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point And a storage means for storing in association with each inspection point;
When basic data of an arbitrary inspection point on a substrate to be inspected is set, condition data associated with basic data similar to this basic data is extracted from the storage means, and the extracted condition data and the Shared judgment means for associating basic data of an arbitrary inspection point;
A screen printing inspection apparatus comprising: inspection means for inspecting a printed state of the substrate based on the basic data and the condition data of the arbitrary inspection point associated with each other.
所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機の前記スクリーンマスクを検査するスクリーン印刷検査装置おいて、
スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの印刷孔のサイズおよび形状に関する基本データと、前記検査ポイントの撮像およびこの撮像による撮像データの画像処理に関するパラメータならびに当該検査ポイントの検査判定に関するパラメータを含む条件データとを前記検査ポイント毎に対応付けて記憶する記憶手段と、
検査対象となるスクリーンマスク上の任意の検査ポイントの基本データが設定されると、この基本データと類似する基本データと対応付けられた条件データを前記記憶手段から抽出し、この抽出した条件データと前記任意の検査ポイントの基本データとを対応付ける共用判定手段と、
対応付けられた前記任意の検査ポイントの前記基本データと前記条件データに基づいて前記スクリーンマスクの状態を検査する検査手段と
を備えることを特徴とするスクリーン印刷検査装置。
In a screen printing inspection apparatus for inspecting the screen mask of a screen printing machine that prints a predetermined printing material on a substrate through an opening formed in the screen mask.
Condition data including basic data relating to the size and shape of the print hole of the inspection point set on the screen mask, parameters relating to imaging of the inspection point , image processing of the imaging data obtained by this imaging, and parameters relating to inspection determination of the inspection point And a storage means for storing in association with each inspection point;
When basic data of an arbitrary inspection point on the screen mask to be inspected is set, condition data associated with basic data similar to this basic data is extracted from the storage means, and the extracted condition data and Shared judgment means for associating the basic data of the arbitrary inspection point;
A screen printing inspection apparatus comprising: inspection means for inspecting a state of the screen mask based on the basic data and the condition data of the arbitrary inspection point associated with each other.
前記記憶手段と前記共用判定手段とをスクリーン印刷検査装置本体とは別の情報処理装置に搭載する
ことを特徴とする請求項9記載のスクリーン印刷検査装置。
The screen printing inspection apparatus according to claim 9, wherein the storage unit and the common determination unit are mounted in an information processing apparatus different from the screen printing inspection apparatus main body.
前記記憶手段と前記共用判定手段とをスクリーン印刷検査装置本体とは別の情報処理装置に搭載する
ことを特徴とする請求項10記載のスクリーン印刷検査装置。
The screen printing inspection apparatus according to claim 10, wherein the storage unit and the sharing determination unit are mounted in an information processing apparatus different from the screen printing inspection apparatus main body.
前記基本データと前記条件データは、前記検査手段の検査結果に基づいて修正される
ことを特徴とする請求項9記載のスクリーン印刷検査装置。
The screen printing inspection apparatus according to claim 9, wherein the basic data and the condition data are corrected based on an inspection result of the inspection unit.
前記基本データと前記条件データは、前記検査手段の検査結果に基づいて修正される
ことを特徴とする請求項10記載のスクリーン印刷検査装置。
The screen printing inspection apparatus according to claim 10, wherein the basic data and the condition data are corrected based on an inspection result of the inspection unit.
請求項9乃至14の何れか1項に記載されたスクリーン印刷検査装置を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。   A screen printing machine comprising the screen printing inspection apparatus according to any one of claims 9 to 14.
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JP2000200355A (en) * 1999-01-08 2000-07-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Inspection program creation method for cream solder printing inspection machine
JP3750484B2 (en) * 2000-05-09 2006-03-01 松下電器産業株式会社 Screen printing method

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