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JP4444885B2 - Cylinder with lock mechanism - Google Patents
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Description

本発明は、固定部材内での可動部材の移動を規制するロック機構を有するシリンダに関する。   The present invention relates to a cylinder having a lock mechanism for restricting movement of a movable member within a fixed member.

例えば、両面実装基板を片面実装後にハンダ印刷する場合には、安定したスキージ圧を得るために、実装済み面(支持面)の凹凸に合わせて該基板を支持する必要がある。基板を支持する支持装置としては、基台上に多数のピンを立設し、実装基板の凹凸に合わせて前記ピンの高さ位置(基台からの突出長さ)を設定し、複数のピンで基板を多点支持する多点支持装置が用いられている。しかしながら、この種の支持装置を多品種少量生産のワーク(基板など)を対象として用いる場合には、その品質に対応した専用の装置を製造したり、手作業によって多数のピンの配置を変更するなどの段取り替えが必要となる。このため、従来においては、製造コスト削減のために多品種に対応でき、自動化された多点支持装置が望まれている。この種の多点支持装置としては、例えば、特許文献1で提案されている。特許文献1には、コイルばねのばね力によりロッド(ピン)を出没動作させて高さ位置を調整する構成が開示されており、ロッドの高さ位置を保持するために鋼球とテーパリングによるロック機構が設けられている。
特開2002−323014号公報
For example, when solder printing is performed on a double-sided mounting board after single-sided mounting, it is necessary to support the board according to the unevenness of the mounted surface (support surface) in order to obtain a stable squeegee pressure. As a support device for supporting a substrate, a plurality of pins are erected on a base, and the height position of the pin (projection length from the base) is set according to the unevenness of the mounting substrate. A multi-point support device for supporting the substrate at multiple points is used. However, when this type of support device is used for workpieces (such as substrates) for high-mix low-volume production, a dedicated device corresponding to the quality is manufactured or the arrangement of a large number of pins is changed manually. It is necessary to change the setup. For this reason, conventionally, an automated multi-point support device that can cope with a wide variety of products in order to reduce manufacturing costs is desired. As this type of multi-point support device, for example, Patent Document 1 has proposed. Patent Document 1 discloses a configuration in which a rod (pin) is moved in and out by a spring force of a coil spring to adjust a height position, and a steel ball and a taper ring are used to maintain the height position of the rod. A locking mechanism is provided.
JP 2002-323014 A

ところで、多点支持装置では、ロッドの推力を強く設定すると、ワークに働くロッドからの押圧力によって当該ワークの搭載部品が損傷したり、基板などを保持する場合には前記押圧力によって基板が撓み、当該基板を安定した状態で保持できない虞がある。このようなことから、ワーク(基板など)を支持するピンの推力は、極力弱く設定することが好ましい。しかしながら、ピンの推力を弱く設定した場合には、ロック機構によるロック解除時に鋼球とロッドとの間に働く摩擦抵抗の影響を受けて、ロッドが滑らかに作動せず(元の状態に戻らない)、途中で停止してしまうなどの誤動作が発生する虞がある。このため、ロッドの推力を弱く設定するためには、ロック解除時におけるロック機構の摩擦抵抗を小さくする必要がある。   By the way, in the multi-point support device, when the thrust of the rod is set to be strong, the component mounted on the workpiece is damaged by the pressing force from the rod acting on the workpiece, or when the substrate is held, the substrate is bent by the pressing force. The substrate may not be held in a stable state. For this reason, it is preferable to set the thrust of the pins that support the workpiece (substrate or the like) as weak as possible. However, when the thrust of the pin is set weak, the rod does not operate smoothly due to the frictional resistance that acts between the steel ball and the rod when the lock is released by the lock mechanism (it does not return to its original state). ), There is a risk of malfunction such as stopping in the middle. For this reason, in order to set the thrust of the rod weak, it is necessary to reduce the frictional resistance of the lock mechanism at the time of unlocking.

この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものであり、その目的は、ロック機構と可動部材との間に生じる摩擦抵抗を低減させ、ロック解除時に可動部材を滑らかに動作させることができるロック機構付きシリンダを提供することにある。   The present invention has been made paying attention to such problems existing in the prior art, and its purpose is to reduce the frictional resistance generated between the lock mechanism and the movable member, and to move the movable member when the lock is released. It is an object of the present invention to provide a cylinder with a lock mechanism that can smoothly operate a cylinder.

上記問題点を解決するために、請求項1に記載のロック機構付きシリンダは、筒状をなす固定部材内に軸状の可動部材が出没動作可能に挿通され、前記固定部材内での前記可動部材の移動を規制するロック機構を備えたロック機構付きシリンダにおいて、前記ロック機構は、筒状本体内に前記可動部材が挿通され、当該可動部材の没動作方向に沿って縮径するテーパ面又は円弧面が内面に形成されたケーシング部材と、前記ケーシング部材の前記内面と前記可動部材の外面との間に挿入される複数個の球体と、前記可動部材のロック時に前記球体を前記可動部材の没動作方向に押し出して前記テーパ面又は円弧面と前記可動部材の外面との間に圧接させる第1の押出部材と、前記可動部材のロック解除時に前記球体を前記可動部材の出動作方向に押し出して圧接状態を解除させる第2の押出部材とを有し、前記第1の押出部材又は第2の押出部材が前記球体を押し出す際に接触する接触面をテーパ状又は円弧状に形成し、前記第1の押出部材の接触面を前記テーパ状又は円弧状とする場合には該接触面が前記没動作方向に下るように形成する一方で、前記第2の押出部材の接触面を前記テーパ状又は円弧状とする場合には該接触面を前記出動作方向に下るように形成したことを要旨とする。   In order to solve the above-described problem, in the cylinder with a lock mechanism according to claim 1, a shaft-shaped movable member is inserted into a tubular fixed member so as to be able to move in and out, and the movable member within the fixed member is inserted. In the cylinder with a lock mechanism provided with a lock mechanism for restricting the movement of the member, the lock mechanism includes a tapered surface or a tapered surface in which the movable member is inserted into a cylindrical main body and the diameter of the movable member is reduced along the direction in which the movable member is retracted. A casing member having an arc surface formed on the inner surface; a plurality of spheres inserted between the inner surface of the casing member and the outer surface of the movable member; and A first push-out member that is pushed out in the submerged operation direction to press-contact between the tapered surface or the arc surface and the outer surface of the movable member; and a method of ejecting the movable member when the movable member is unlocked And a second pushing member that releases the pressure contact state, and a contact surface that contacts when the first pushing member or the second pushing member pushes the sphere is formed in a taper shape or an arc shape. When the contact surface of the first push member is tapered or arcuate, the contact surface is formed so as to be lowered in the submerged operation direction, while the contact surface of the second push member is In the case of a taper shape or an arc shape, the gist is that the contact surface is formed so as to be lowered in the above-described ejection direction.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のロック機構付きシリンダにおいて、前記接触面には、前記球体を各別に係止して該球体の位置を保持する複数の保持溝が形成されており、当該複数の保持溝により前記可動部材の外面に対して前記球体が等間隔で配置されていることを要旨とする。   According to a second aspect of the present invention, in the cylinder with a lock mechanism according to the first aspect, the contact surface is formed with a plurality of holding grooves that hold the spheres separately to hold the positions of the spheres. The gist is that the spheres are arranged at equal intervals with respect to the outer surface of the movable member by the plurality of holding grooves.

請求項3に記載の発明は、請求項1に記載のロック機構付きシリンダにおいて、前記第1の押出部材には、前記複数の球体を連結して該球体の位置を保持する保持部材が設けられており、当該保持部材により前記可動部材の外面に対して前記球体が等間隔で配置されていることを要旨とする。   According to a third aspect of the present invention, in the cylinder with a lock mechanism according to the first aspect, the first pushing member is provided with a holding member that connects the plurality of spheres and holds the positions of the spheres. The gist is that the spherical bodies are arranged at equal intervals with respect to the outer surface of the movable member by the holding member.

請求項4に記載のロック機構付きシリンダは、筒状をなす固定部材内に軸状の可動部材が出没動作可能に挿通され、前記固定部材内での前記可動部材の移動を規制するロック機構を備えたロック機構付きシリンダにおいて、前記ロック機構は、筒状本体内に前記可動部材が挿通され、当該可動部材の没動作方向に沿って縮径するテーパ面又は円弧面が内面に形成されたケーシング部材と、前記ケーシング部材の前記内面と前記可動部材の外面との間に挿入される複数個の球体と、前記可動部材のロック時に前記球体を前記可動部材の没動作方向に押し出して前記テーパ面又は円弧面と前記可動部材の外面との間に圧接させる第1の押出部材と、前記可動部材のロック解除時に前記球体を前記可動部材の出動作方向に押し出して圧接状態を解除させる第2の押出部材とを有し、前記第1の押出部材又は第2の押出部材が前記球体を押し出す際に接触する接触部位を、前記球体の中心位置と前記ロック時に前記可動部材の外面に当接する前記球体の当接位置との間に設定したことを要旨とする。   The cylinder with a lock mechanism according to claim 4 is provided with a lock mechanism for restricting the movement of the movable member in the fixed member, with a shaft-shaped movable member inserted into the tubular fixed member so as to be able to move in and out. In the cylinder with a lock mechanism provided, the lock mechanism includes a casing in which the movable member is inserted into a cylindrical main body, and a tapered surface or an arc surface is formed on the inner surface to reduce the diameter along the direction in which the movable member is retracted. A member, a plurality of spheres inserted between the inner surface of the casing member and the outer surface of the movable member, and the tapered surface by extruding the sphere in a direction in which the movable member is retracted when the movable member is locked. Alternatively, the first push-out member press-contacted between the arc surface and the outer surface of the movable member, and when the movable member is unlocked, the spherical body is pushed out in the moving-out direction of the movable member to release the press-contact state. A second push-out member that contacts the first push-out member or the second push-out member when the second push-out member pushes out the sphere, and a center position of the sphere and an outer surface of the movable member at the time of locking. The gist is that it is set between the contact position of the sphere and the contact position.

請求項5に記載の発明は、請求項1〜請求項4のうちいずれか一項に記載のロック機構付きシリンダにおいて、前記ケーシング部材には、前記テーパ面又は円弧面に連接して非圧接状態の球体を退避させる退避部が形成されていることを要旨とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the cylinder with a lock mechanism according to any one of the first to fourth aspects, the casing member is connected to the taper surface or the arc surface in a non-pressure contact state. The gist of the invention is that a retracting portion for retracting the sphere is formed.

請求項6に記載の発明は、請求項1〜請求項5のうちいずれか一項に記載のロック機構付きシリンダにおいて、前記固定部材と前記可動部材に磁石を対向配置し、その対向する磁石同士が異なる磁極で着磁された磁気ばね機構を備えたことを要旨とする。   According to a sixth aspect of the present invention, in the cylinder with a lock mechanism according to any one of the first to fifth aspects, a magnet is disposed opposite to the fixed member and the movable member, and the opposed magnets Is provided with a magnetic spring mechanism magnetized with different magnetic poles.

本発明によれば、ロック機構と可動部材との間に生じる摩擦抵抗を低減させ、ロック解除時に可動部材を滑らかに動作させることができる。   According to the present invention, the frictional resistance generated between the lock mechanism and the movable member can be reduced, and the movable member can be operated smoothly when the lock is released.

(第1の実施形態)
以下、本発明を具体化した第1の実施形態を図1及び図2にしたがって説明する。
図1は、本実施形態のロック機構付きシリンダ(以下、単に「シリンダ」という)10の断面図である。シリンダ10は、両側が開口した円筒状(筒状)の固定部材としての本体ケース11内に、該本体ケース11の軸方向に沿って移動可能な可動部材としての可動軸12が収容されている。可動軸12は、本体ケース11に対して出没動作可能に収容(挿通)されている。可動軸12は、円柱状に形成されている。また、可動軸12の両端部には、止め輪12aが取着されており、当該止め輪12aにより抜け止めされている。また、本実施形態の可動軸12は、高炭素クロム軸受鋼(SUJ2)で形成され、高周波焼入れ処理とクロムメッキ処理が施されている。図1に示す「X」は、可動軸12の最大ストローク長を示し、可動軸12は、ストローク長「X」の範囲内で出没動作するようになっている。
(First embodiment)
A first embodiment embodying the present invention will be described below with reference to FIGS.
FIG. 1 is a cross-sectional view of a cylinder with a lock mechanism (hereinafter simply referred to as “cylinder”) 10 according to the present embodiment. The cylinder 10 accommodates a movable shaft 12 as a movable member movable along the axial direction of the main body case 11 in a main body case 11 as a cylindrical (tubular) fixing member that is open on both sides. . The movable shaft 12 is accommodated (inserted) with respect to the main body case 11 so as to be movable in and out. The movable shaft 12 is formed in a cylindrical shape. Further, a retaining ring 12a is attached to both ends of the movable shaft 12, and is prevented from coming off by the retaining ring 12a. In addition, the movable shaft 12 of the present embodiment is made of high carbon chromium bearing steel (SUJ2), and is subjected to induction hardening treatment and chromium plating treatment. “X” shown in FIG. 1 indicates the maximum stroke length of the movable shaft 12, and the movable shaft 12 moves in and out within the range of the stroke length “X”.

また、本体ケース11内には、磁気ばね機構13の各種構成部材とロック機構14の各種構成部材が、可動軸12を包囲するように該可動軸12の移動方向(軸線方向)に沿って並設されている。なお、図1においてロック機構14は、中心線Yを基準とした上側半分が可動軸12をロックした状態を示し、下側半分が可動軸12のロックを解除した状態を示している。ロック機構14は、可動軸12が没方向に移動したとき(二点鎖線で示す)にロック状態となり、出方向に移動したとき(実線で示す)にロック解除状態となる。   Further, in the main body case 11, various constituent members of the magnetic spring mechanism 13 and various constituent members of the lock mechanism 14 are arranged along the moving direction (axial direction) of the movable shaft 12 so as to surround the movable shaft 12. It is installed. In FIG. 1, the lock mechanism 14 shows a state in which the upper half with respect to the center line Y is locked to the movable shaft 12, and the lower half shows a state in which the movable shaft 12 is unlocked. The lock mechanism 14 is locked when the movable shaft 12 moves in the sunk direction (indicated by a two-dot chain line), and is unlocked when moved in the outward direction (indicated by a solid line).

本体ケース11内には、磁気ばね機構13を収容する筒状の収容ケース15が設けられている。収容ケース15は、本体ケース11の内周面に固定されている。収容ケース15の内周面には、磁石としてのマグネット(永久磁石)16が設けられているとともに、可動軸12の外周面には、磁石としてのマグネット(永久磁石)17がマグネット16と対向するように設けられている。マグネット16,17は、円筒状に形成されている。また、本実施形態においてマグネット16は収容ケース15の内周面に接着固定され、マグネット17は可動軸12の外周面に接着固定されている。また、マグネット16,17は、収容ケース15と可動軸12の径方向に間隔を空けて配置されている。マグネット16とマグネット17により、磁気ばね機構13が構成される。   A cylindrical housing case 15 for housing the magnetic spring mechanism 13 is provided in the main body case 11. The housing case 15 is fixed to the inner peripheral surface of the main body case 11. A magnet (permanent magnet) 16 as a magnet is provided on the inner peripheral surface of the housing case 15, and a magnet (permanent magnet) 17 as a magnet faces the magnet 16 on the outer peripheral surface of the movable shaft 12. It is provided as follows. The magnets 16 and 17 are formed in a cylindrical shape. In this embodiment, the magnet 16 is bonded and fixed to the inner peripheral surface of the housing case 15, and the magnet 17 is bonded and fixed to the outer peripheral surface of the movable shaft 12. Further, the magnets 16 and 17 are arranged with a space in the radial direction between the housing case 15 and the movable shaft 12. The magnet 16 and the magnet 17 constitute a magnetic spring mechanism 13.

マグネット16とマグネット17は、軸方向の長さ寸法が同一長さとなるように形成されている。また、マグネット16,17は、図1に図示するB−B線断面図に示すように、円周方向に4分割され、90度の幅で帯状に形成されたN極帯16N,17NとS極帯16S,17Sとを交互に配列して構成されている。そして、マグネット16とマグネット17は、異なる磁極同士を交互に対向配置させて構成されている。磁気ばね機構13は、マグネット16とマグネット17が、本体ケース11と可動軸12との相対変位に引き合うように作用する磁力を発生させることにより、ばね機能を発揮させる。また、収容ケース15の内周面には、マグネット16に隣接して軸受18が設けられている。   The magnet 16 and the magnet 17 are formed so that the lengths in the axial direction are the same length. Further, the magnets 16 and 17 are divided into four in the circumferential direction as shown in the cross-sectional view along the line BB shown in FIG. 1, and the N pole bands 16N, 17N and S formed in a band shape with a width of 90 degrees. The pole bands 16S and 17S are alternately arranged. The magnet 16 and the magnet 17 are configured such that different magnetic poles are alternately arranged opposite to each other. The magnetic spring mechanism 13 exerts a spring function by generating a magnetic force that acts so that the magnet 16 and the magnet 17 attract the relative displacement between the main body case 11 and the movable shaft 12. A bearing 18 is provided on the inner peripheral surface of the housing case 15 adjacent to the magnet 16.

また、本体ケース11内には、ロック機構14を収容する筒状のプッシャケース19と筒状のケーシング部材としてのテーパリング20とが設けられている。プッシャケース19とテーパリング20は、本体ケース11の内周面に固定されている。そして、プッシャケース19とテーパリング20の各中央部位には可動軸12が挿通され、プッシャケース19とテーパリング20は可動軸12の軸方向に並設されている。図2は、プッシャケース19とテーパリング20の要部を拡大した拡大断面図である。なお、図2においてロック機構14は、中心線Yを基準とした上側半分が可動軸12をロックした状態を示し、下側半分が可動軸12のロックを解除した状態を示している。   In the main body case 11, a cylindrical pusher case 19 that houses the lock mechanism 14 and a tapered ring 20 as a cylindrical casing member are provided. The pusher case 19 and the taper ring 20 are fixed to the inner peripheral surface of the main body case 11. The movable shaft 12 is inserted through each central portion of the pusher case 19 and the taper ring 20, and the pusher case 19 and the taper ring 20 are juxtaposed in the axial direction of the movable shaft 12. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view in which main parts of the pusher case 19 and the taper ring 20 are enlarged. In FIG. 2, the lock mechanism 14 shows a state in which the upper half with respect to the center line Y is locked with the movable shaft 12, and the lower half shows a state in which the movable shaft 12 is unlocked.

プッシャケース19には、可動軸12の外周面から隔絶するように円環状の収容室21が形成されている。収容室21には、ゴム製のパッキン(弾性体)22と第2の押出部材としてのプッシャ23の一部(パッキン22の押圧力を受ける受圧部分)が収容されている。パッキン22は、収容室21に収容されることにより、可動軸12の外周面に対して非接触状態で配置される。この配置により、可動軸12とパッキン22との間には、摩擦が生じない。また、プッシャケース19には、本体ケース11に貫通形成されたエアポート24と収容室21とを連通させるエア導入通路25が形成されている。そして、収容室21では、パッキン22がエア導入通路25を介して導入されたエアを受けるように当該エア導入通路25に対向配置され、そのパッキン22と隣接してプッシャ23が配置されている。パッキン22は、エア(空気圧)を受けて移動し、エアを受けなくなるとコイルばね28により元の位置に戻る。そして、プッシャ23は、パッキン22がエアを受けると、当該パッキン22で押圧され、プッシャケース19(収容室21)内を可動軸12の出動作方向に移動する。   The pusher case 19 is formed with an annular storage chamber 21 so as to be isolated from the outer peripheral surface of the movable shaft 12. The accommodating chamber 21 accommodates a rubber packing (elastic body) 22 and a part of a pusher 23 as a second pushing member (a pressure receiving portion that receives the pressing force of the packing 22). The packing 22 is disposed in a non-contact state with respect to the outer peripheral surface of the movable shaft 12 by being housed in the housing chamber 21. With this arrangement, friction does not occur between the movable shaft 12 and the packing 22. Further, the pusher case 19 is formed with an air introduction passage 25 that allows the air port 24 formed through the main body case 11 to communicate with the storage chamber 21. In the storage chamber 21, the packing 22 is disposed to face the air introduction passage 25 so as to receive the air introduced through the air introduction passage 25, and a pusher 23 is disposed adjacent to the packing 22. The packing 22 receives air (air pressure) and moves. When the packing 22 stops receiving air, the packing 22 returns to the original position. When the packing 22 receives air, the pusher 23 is pressed by the packing 22 and moves in the pusher case 19 (accommodating chamber 21) in the direction in which the movable shaft 12 moves out.

テーパリング20は、その一方の開口側(図1及び図2において左側(プッシャケース19側)がプッシャケース19の内側に嵌合されている。テーパリング20内には、前記開口側から順に複数個の球体としての鋼球26と、第1の押出部材としての座金(ワッシャ)27と、コイルばね28と、リニアブッシュ29が収容されている。鋼球26は、可動軸12の軸方向において、プッシャ23と座金27との間に設けられている。本実施形態において鋼球26は、可動軸12と同種材料(SUJ2)で形成されている。そして、複数個の鋼球26は、図1に図示するC−C線断面図に示すように、テーパリング20の内周面と可動軸12の外周面との間に、該可動軸12の外周を包囲するように挿入され、配列されている。また、複数個の鋼球26は、所定の力を受けて、テーパリング20の内周面(テーパ面34を含む)を該テーパリング20の軸方向に沿って移動可能に設けられている。   The one side of the taper ring 20 (the left side in FIG. 1 and FIG. 2 (the pusher case 19 side) is fitted inside the pusher case 19. In the taper ring 20, a plurality of taper rings 20 are arranged in order from the opening side. A steel ball 26 as a single sphere, a washer 27 as a first pushing member, a coil spring 28, and a linear bush 29 are accommodated in the axial direction of the movable shaft 12. , The pusher 23 and the washer 27. In this embodiment, the steel ball 26 is formed of the same material (SUJ2) as the movable shaft 12. The plurality of steel balls 26 are shown in FIG. 1 is inserted and arranged between the inner peripheral surface of the taper ring 20 and the outer peripheral surface of the movable shaft 12 so as to surround the outer periphery of the movable shaft 12. And more than one Steel ball 26 is subjected to a predetermined force, and the inner peripheral surface of the tapered ring 20 (including the tapered surfaces 34) provided movably along the axial direction of the tapered ring 20.

以下、プッシャ23と、座金27と、テーパリング20の構成についてさらに詳しく説明する。
プッシャ23は、筒状の胴体部30と、当該胴体部30の基端側に一体形成された鍔部31とから構成され、その中央部位には可動軸12が挿通されるようになっている。胴体部30の外径は、テーパリング20の内径よりも小径に形成されている一方で、鍔部31の外径は、プッシャケース19の内径よりも小径に形成されている。すなわち、プッシャ23は、胴体部30がテーパリング20に収容されるとともに鍔部31がプッシャケース19に収容され、プッシャケース19とテーパリング20との間に配置されている。プッシャ23は、所定の力を受けて、プッシャケース19とテーパリング20の内周面を可動軸12の軸方向に沿って移動可能に収容されている。
Hereinafter, the configuration of the pusher 23, the washer 27, and the taper ring 20 will be described in more detail.
The pusher 23 includes a cylindrical body portion 30 and a flange portion 31 integrally formed on the base end side of the body portion 30, and the movable shaft 12 is inserted through a central portion thereof. . The outer diameter of the body portion 30 is smaller than the inner diameter of the taper ring 20, while the outer diameter of the flange portion 31 is smaller than the inner diameter of the pusher case 19. That is, the pusher 23 is disposed between the pusher case 19 and the taper ring 20, while the body portion 30 is accommodated in the taper ring 20 and the flange portion 31 is accommodated in the pusher case 19. The pusher 23 receives a predetermined force and is accommodated so as to be movable along the axial direction of the movable shaft 12 on the inner peripheral surfaces of the pusher case 19 and the taper ring 20.

プッシャ23(胴体部30)には、当該プッシャ23の中心に向かって縮径する接触面としてのプッシャ側テーパ面32が形成されている。プッシャ側テーパ面32は、図1に示すように、当該プッシャ側テーパ面32と胴体部30の先端面によって形成される角度が角度α(本実施形態では20度)となるように形成されている。プッシャ側テーパ面32は、プッシャ23が本体ケース11に収容された場合に可動軸12の出動作方向に下るように形成されている。   A pusher-side tapered surface 32 is formed on the pusher 23 (body portion 30) as a contact surface that decreases in diameter toward the center of the pusher 23. As shown in FIG. 1, the pusher-side tapered surface 32 is formed such that an angle formed by the pusher-side tapered surface 32 and the distal end surface of the body portion 30 is an angle α (20 degrees in this embodiment). Yes. The pusher-side tapered surface 32 is formed so as to be lowered in the moving-out direction of the movable shaft 12 when the pusher 23 is accommodated in the main body case 11.

座金27には、当該座金27の中心に向かって縮径する接触面としての座金側テーパ面33が形成されている。座金側テーパ面33は、図1に示すように、当該座金側テーパ面33と座金27の先端面によって形成される角度が角度β(本実施形態では10度)となるように形成されている。座金側テーパ面33は、座金27が本体ケース11に収容された場合に可動軸12の没動作方向に下るように形成されている。   The washer 27 is formed with a washer-side tapered surface 33 as a contact surface whose diameter is reduced toward the center of the washer 27. As shown in FIG. 1, the washer-side tapered surface 33 is formed such that an angle formed by the washer-side tapered surface 33 and the tip surface of the washer 27 is an angle β (10 degrees in the present embodiment). . The washer-side tapered surface 33 is formed so as to be lowered in the direction in which the movable shaft 12 is retracted when the washer 27 is accommodated in the main body case 11.

また、テーパリング20には、当該テーパリング20の内径が縮径するようにテーパ面34が形成されている。テーパ面34は、可動軸12の没動作方向に沿って縮径する。また、テーパ面34は、テーパリング20の内面(内周面)に形成されている。そして、プッシャ23と座金27は、プッシャ側テーパ面32と座金側テーパ面33とが対向するように配置され、プッシャ側テーパ面32と座金側テーパ面33との間に鋼球26が配置されている。また、テーパリング20のテーパ面34は、プッシャ23と座金27との間に配置されている。また、テーパリング20には、テーパ面34に連接して退避部としての鋼球退避部35が形成されている。鋼球退避部35は、テーパ面34の最大直径をなす側の端部に連設されている。そして、鋼球退避部35は、当該鋼球退避部35と可動軸12との間の距離が鋼球26の直径よりも大きくなるように、テーパ面34の端部からテーパリング20の軸方向に沿って直線状に延設されている。   The taper ring 20 is formed with a taper surface 34 so that the inner diameter of the taper ring 20 is reduced. The tapered surface 34 is reduced in diameter along the direction in which the movable shaft 12 is retracted. Further, the taper surface 34 is formed on the inner surface (inner peripheral surface) of the taper ring 20. The pusher 23 and the washer 27 are disposed such that the pusher side tapered surface 32 and the washer side tapered surface 33 face each other, and the steel ball 26 is disposed between the pusher side tapered surface 32 and the washer side tapered surface 33. ing. Further, the tapered surface 34 of the taper ring 20 is disposed between the pusher 23 and the washer 27. Further, the taper ring 20 is formed with a steel ball retracting portion 35 as a retracting portion connected to the tapered surface 34. The steel ball retracting portion 35 is connected to the end of the tapered surface 34 on the side having the maximum diameter. The steel ball retracting portion 35 extends from the end of the taper surface 34 in the axial direction of the taper ring 20 so that the distance between the steel ball retracting portion 35 and the movable shaft 12 is larger than the diameter of the steel ball 26. Is extended in a straight line.

以下、本実施形態のシリンダ10の作用を説明する。
シリンダ10は、通常の状態(ロック機構14によるロックが解除され、最大ストローク長X分、出動作している状態)では、図1に示すように、可動軸12の止め輪12aが軸受18に当接し、マグネット16とマグネット17とが対面している。すなわち、可動軸12は、マグネット16,17を構成するN極体16N,17N及びS極体16S,17S同士が対面して共に吸引し合い、本体ケース11に対して位置決めされている。また、テーパリング20内の鋼球26は、テーパ面34に噛み合っておらず、可動軸12のロックは解除されている(図1及び図2の下側に示す)。
Hereinafter, the operation of the cylinder 10 of the present embodiment will be described.
In the normal state (the state in which the lock by the lock mechanism 14 is released and the cylinder 10 is moving out for the maximum stroke length X), the retaining ring 12a of the movable shaft 12 is attached to the bearing 18 as shown in FIG. The magnet 16 and the magnet 17 are in contact with each other. That is, the movable shaft 12 is positioned with respect to the main body case 11 with the N pole bodies 16N and 17N and the S pole bodies 16S and 17S constituting the magnets 16 and 17 facing each other and attracting each other. Further, the steel ball 26 in the taper ring 20 does not mesh with the taper surface 34, and the lock of the movable shaft 12 is released (shown on the lower side of FIGS. 1 and 2).

この状態で、可動軸12の先端側(図1では右側の端部)にワークなどを押し付けて押圧力を加えると、可動軸12は、没方向(図1では右から左に向かう方向)に移動する。このとき、可動軸12に設けられたマグネット17は、可動軸12とともに同方向に移動する。可動軸12が移動すると、収容ケース15側のマグネット16と可動軸12側のマグネット17の間には、位置固定されたマグネット16に対して移動したマグネット17を引き戻そうとする吸引力が働く。この吸引力は、可動軸12の変位に反発するように作用するため、可動軸12に対してワークを押し付けたときのクッションとなり、更に可動軸12にワークを押し付ける押圧力となる。すなわち、マグネット16,17は、コイルばねなどと同様にばね力を発揮する。   In this state, when a workpiece or the like is pressed against the distal end side of the movable shaft 12 (right end portion in FIG. 1) and a pressing force is applied, the movable shaft 12 moves in the sunk direction (the direction from right to left in FIG. 1). Moving. At this time, the magnet 17 provided on the movable shaft 12 moves in the same direction together with the movable shaft 12. When the movable shaft 12 moves, an attractive force is exerted between the magnet 16 on the housing case 15 side and the magnet 17 on the movable shaft 12 side to pull back the moved magnet 17 relative to the magnet 16 whose position is fixed. Since this suction force acts so as to repel the displacement of the movable shaft 12, it acts as a cushion when the workpiece is pressed against the movable shaft 12, and further becomes a pressing force that presses the workpiece against the movable shaft 12. That is, the magnets 16 and 17 exhibit a spring force similarly to a coil spring or the like.

また、磁気ばね機構13では、マグネット16,17が『ばね』として作用した場合、可動軸12側のマグネット17を元の位置に戻そうとする軸方向に作用する吸引力(推力)が、所定のストローク間で同一の値を示すようになる。磁気ばね機構13では、マグネット16,17が軸方向にずれた際、各マグネット16,17の端部において斜めに発生する磁力線の軸方向分力によって一定の推力が生じる。すなわち、マグネット16,17がずれて重なっている場合には、各マグネット16,17の端部に斜めの磁力線が一定方向(一定の傾き)に生じ、その間の重なり部分には、軸方向の力に影響しない垂直方向のみの磁力線が生じる。このため、マグネット16,17には、重なり幅に関係なく端部に発生する斜めの磁力線の軸方向分力のみによって軸方向の力が作用する。したがって、磁気ばね機構13は、ワークを常に一定の力で押さえ付ける。   In the magnetic spring mechanism 13, when the magnets 16 and 17 act as “springs”, an attractive force (thrust) acting in the axial direction to return the magnet 17 on the movable shaft 12 side to the original position is predetermined. The same value is shown between the strokes. In the magnetic spring mechanism 13, when the magnets 16 and 17 are displaced in the axial direction, a constant thrust is generated by the axial component of the magnetic lines of force generated obliquely at the ends of the magnets 16 and 17. That is, when the magnets 16 and 17 are displaced and overlapped, oblique magnetic lines of force are generated at the end portions of the magnets 16 and 17 in a certain direction (constant inclination), and an axial force is applied to the overlapping portion therebetween. Magnetic field lines only in the vertical direction that do not affect For this reason, the axial force acts on the magnets 16 and 17 only by the axial component of the oblique lines of magnetic force generated at the end regardless of the overlapping width. Therefore, the magnetic spring mechanism 13 always presses the work with a constant force.

一方、ロック機構14では、可動軸12が没方向に移動すると、その移動に伴って鋼球26が可動軸12の没方向、すなわち、テーパリング20のテーパ面34に向かって転動する。すなわち、可動軸12の移動に伴ってコイルばね28が座金27を押圧し、当該座金27が可動軸12の没動作方向に移動することにより鋼球26が没動作方向に押し出される。そして、鋼球26は、テーパリング20の内径を縮径するように形成されたテーパ面34に向かって転動して当該テーパ面34に噛み合い、該テーパ面34と可動軸12との間で圧接される。この結果、可動軸12は、その外周面とテーパ面34との間に鋼球26が圧接されることによりロックされ、その位置が保持される(移動が規制される)。なお、鋼球26が前述のように転動すると、プッシャ23は、プッシャケース19の収容室21に収容されたパッキン22側に向かって押し出される。   On the other hand, in the lock mechanism 14, when the movable shaft 12 moves in the sinking direction, the steel ball 26 rolls toward the sinking direction of the movable shaft 12, that is, toward the tapered surface 34 of the taper ring 20. That is, the coil spring 28 presses the washer 27 with the movement of the movable shaft 12, and the steel ball 26 is pushed out in the submerging operation direction by moving the washer 27 in the submerging operation direction of the movable shaft 12. The steel ball 26 rolls toward the tapered surface 34 formed so as to reduce the inner diameter of the tapered ring 20 and meshes with the tapered surface 34, and the steel ball 26 is interposed between the tapered surface 34 and the movable shaft 12. Press contact. As a result, the movable shaft 12 is locked by the steel ball 26 being pressed between the outer peripheral surface and the tapered surface 34, and the position thereof is held (movement is restricted). When the steel ball 26 rolls as described above, the pusher 23 is pushed out toward the packing 22 housed in the housing chamber 21 of the pusher case 19.

また、ロック機構14は、可動軸12に押圧力が加わっていない状態において、エアポート24に図示しないエア供給源から所定圧のエア(空気)が供給されることにより、可動軸12のロック状態を解除する。すなわち、エアポート24を介して供給されたエアは、プッシャケース19のエア導入通路25を通って収容室21に導入される。すると、収容室21内のパッキン22は、エア圧(空気圧)を受圧して移動し、プッシャ23を押圧する。そして、押圧されたプッシャ23は、テーパ面32に噛み込んだ鋼球26を可動軸12の出動作方向に押し出す。これにより、鋼球26は、テーパ面34に噛み込んだ状態が解除され、それと同時に可動軸12のロック状態が解除される。   In addition, the lock mechanism 14 locks the movable shaft 12 by supplying a predetermined pressure of air (air) from an air supply source (not shown) to the air port 24 in a state where no pressing force is applied to the movable shaft 12. To release. That is, the air supplied via the air port 24 is introduced into the accommodation chamber 21 through the air introduction passage 25 of the pusher case 19. Then, the packing 22 in the storage chamber 21 receives air pressure (air pressure) and moves to press the pusher 23. Then, the pushed pusher 23 pushes the steel ball 26 bitten into the tapered surface 32 in the moving direction of the movable shaft 12. As a result, the steel ball 26 is released from the state of being bitten by the tapered surface 34, and at the same time, the locked state of the movable shaft 12 is released.

このロック解除時、鋼球26には、プッシャ23のプッシャ側テーパ面32が接触(当接)し、その接触により可動軸12の軸方向に沿う力と当該軸方向と直交する方向に沿う力が加わることになる。このため、鋼球26には、前述した2方向の力の合成力として、出動作方向(可動軸12の軸線方向)に対して斜め上方へ向かう力が加わる(図2に矢示する)。この結果、鋼球26には、可動軸12の外周面から離間させる力が積極的に作用され、当該力によって可動軸12から離間するように押し出される。また、鋼球26は、座金27の座金側テーパ面33にも接触する。そして、鋼球26は、座金27との接触により、可動軸12の外周面から離間する方向に逃される。そして、鋼球26は、テーパ面34を転動し、鋼球退避部35に到達する。この結果、鋼球退避部35に到達した鋼球26と可動軸12の外周面との間には、図2の下側に示すように隙間が形成される。すなわち、ロック機構14によるロック状態が解除された場合には、鋼球26が可動軸12に対して非接触状態となり、可動軸12との間に生じる摩擦抵抗が軽減される。   When the lock is released, the pusher-side tapered surface 32 of the pusher 23 comes into contact (contact) with the steel ball 26, and the force along the axial direction of the movable shaft 12 and the force along the direction orthogonal to the axial direction due to the contact. Will be added. For this reason, the steel ball 26 is subjected to a diagonally upward force with respect to the moving-out operation direction (the axial direction of the movable shaft 12) as indicated by the arrow in FIG. As a result, a force for separating the steel ball 26 from the outer peripheral surface of the movable shaft 12 is positively applied, and the steel ball 26 is pushed away from the movable shaft 12 by the force. The steel ball 26 also contacts the washer-side tapered surface 33 of the washer 27. Then, the steel ball 26 escapes in a direction away from the outer peripheral surface of the movable shaft 12 by contact with the washer 27. The steel ball 26 rolls on the tapered surface 34 and reaches the steel ball retracting portion 35. As a result, a gap is formed between the steel ball 26 that has reached the steel ball retracting portion 35 and the outer peripheral surface of the movable shaft 12 as shown in the lower side of FIG. That is, when the lock state by the lock mechanism 14 is released, the steel ball 26 is brought into a non-contact state with respect to the movable shaft 12, and the frictional resistance generated between the steel ball 26 and the movable shaft 12 is reduced.

その後、可動軸12は、ワークを取り外すことにより、磁気ばね機構13の作用(マグネット16を吸引する吸引力)で出方向に移動する。このとき、可動軸12は、鋼球26との間に隙間が形成され、鋼球26が離間した状態とされている。このため、可動軸12は、鋼球26との摩擦抵抗を受けることなく出方向に移動し得る。   Thereafter, the movable shaft 12 moves in the outgoing direction by the action of the magnetic spring mechanism 13 (attraction force for attracting the magnet 16) by removing the workpiece. At this time, a gap is formed between the movable shaft 12 and the steel ball 26, and the steel ball 26 is in a separated state. For this reason, the movable shaft 12 can move in the outgoing direction without receiving frictional resistance with the steel ball 26.

本実施形態のシリンダ10は、基台上に複数整列配置させることにより、多点支持装置を構成し得る。多点支持装置は、例えば、シリンダ10を縦方向と横方向に各4基ずつ所定の間隔(等間隔)で並べることで構成される。   A plurality of cylinders 10 according to the present embodiment can be arranged on a base to constitute a multipoint support device. The multipoint support device is configured, for example, by arranging four cylinders 10 in the vertical direction and the horizontal direction at predetermined intervals (equal intervals).

このように構成された多点支持装置では、各シリンダ10の可動軸12の先端側にワーク(例えば、基板)が置かれる。そして、各シリンダ10の可動軸12は、ワークに当接し、該ワークの凹凸に応じて没方向に移動する。すなわち、ワークの凸部に当接したシリンダ10の可動軸12は没移動量が多くなり、ワークの凹部に当接したシリンダ10の可動軸12は没移動量が少なくなる。多点支持装置では、シリンダ10の可動軸12がワークの凹凸に合わせて移動し、該可動軸12の高さ位置(基台からの突出長さ)が自動調整され、ワークが支持される。そして、本実施形態のシリンダ10は、磁気ばね機構13を備えているので、該磁気ばね機構13により可動軸12のストローク量に関係なく常にワークが一定の力で押さえ付けられる。   In the multipoint support device configured as described above, a workpiece (for example, a substrate) is placed on the distal end side of the movable shaft 12 of each cylinder 10. Then, the movable shaft 12 of each cylinder 10 abuts on the work and moves in the sinking direction according to the unevenness of the work. That is, the movable shaft 12 of the cylinder 10 in contact with the convex portion of the workpiece has a large amount of submerged movement, and the movable shaft 12 of the cylinder 10 in contact with the concave portion of the workpiece has a small amount of submerged movement. In the multipoint support device, the movable shaft 12 of the cylinder 10 moves in accordance with the unevenness of the workpiece, the height position (projection length from the base) of the movable shaft 12 is automatically adjusted, and the workpiece is supported. Since the cylinder 10 of this embodiment includes the magnetic spring mechanism 13, the workpiece is always pressed by a constant force regardless of the stroke amount of the movable shaft 12 by the magnetic spring mechanism 13.

また、各可動軸12は、ロック機構14により、ワークの凹凸に合わせて移動し、その状態で保持される。そして、ロック解除は、ワークを可動軸12より外した後にエア供給路を介して各エア導入路にエアを供給することにより行われる。   Further, each movable shaft 12 is moved by the lock mechanism 14 according to the unevenness of the work and is held in that state. Unlocking is performed by removing air from the movable shaft 12 and then supplying air to each air introduction path via the air supply path.

したがって、本実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
(1)プッシャ23と座金27に鋼球26が接触する部位にプッシャ側テーパ面32と座金側テーパ面33とを設けた。これらのプッシャ側テーパ面32と座金側テーパ面33とにより、ロック解除時には、鋼球26に対して可動軸12の外周面から離間する力が積極的に付与される。したがって、ロック機構14と可動軸12との間に生じる摩擦抵抗を低減させ、ロック解除時に可動軸12を滑らかに動作させることができる。すなわち、シリンダ10の推力を弱く設定しても、摩擦抵抗を軽減させることで、可動軸12は鋼球26との接触による摩擦抵抗の影響を受け難く、滑らかに動作させることができる。本実施形態のシリンダ10は、摩擦抵抗が980.7mN(100gf)程度に設定される低摩擦シリンダとなる。
Therefore, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) A pusher-side tapered surface 32 and a washer-side tapered surface 33 are provided at a portion where the steel ball 26 contacts the pusher 23 and the washer 27. The pusher-side tapered surface 32 and the washer-side tapered surface 33 positively apply a force that separates the steel ball 26 from the outer peripheral surface of the movable shaft 12 when the lock is released. Therefore, the frictional resistance generated between the lock mechanism 14 and the movable shaft 12 can be reduced, and the movable shaft 12 can be operated smoothly when the lock is released. That is, even if the thrust of the cylinder 10 is set to be weak, by reducing the frictional resistance, the movable shaft 12 can be operated smoothly without being affected by the frictional resistance due to the contact with the steel ball 26. The cylinder 10 of the present embodiment is a low friction cylinder whose frictional resistance is set to about 980.7 mN (100 gf).

(2)プッシャ23と座金27の両方にテーパ面(プッシャ側テーパ面32、座金側テーパ面33)を設けた。このため、ロック解除時において鋼球26を可動軸12の外周面からさらに離間させ易くすることができる。   (2) Both the pusher 23 and the washer 27 are provided with tapered surfaces (the pusher-side tapered surface 32 and the washer-side tapered surface 33). For this reason, the steel ball 26 can be further easily separated from the outer peripheral surface of the movable shaft 12 at the time of unlocking.

(3)テーパ面34と連接するように鋼球退避部35を設けた。このため、ロック解除時に、可動軸12と鋼球26との間の隙間を広げることができ、確実な非接触構造とすることができる。   (3) A steel ball retracting portion 35 is provided so as to be connected to the tapered surface 34. For this reason, when unlocking, the gap between the movable shaft 12 and the steel ball 26 can be widened, and a reliable non-contact structure can be obtained.

(4)パッキン22を設け、該パッキン22をエア圧で移動させることによりテーパ面32に噛み込んだ鋼球26を押し出し、可動軸12のロックを解除させるようにした。このため、ロックを解除させる機構を簡素化でき、シリンダ10の構造を簡素化できる。また、構造を簡素化することにより、シリンダ10の製造コスト低減に貢献できる。   (4) The packing 22 is provided, and the steel ball 26 engaged with the tapered surface 32 is pushed out by moving the packing 22 by air pressure, so that the movable shaft 12 is unlocked. For this reason, the mechanism for releasing the lock can be simplified, and the structure of the cylinder 10 can be simplified. In addition, by simplifying the structure, the manufacturing cost of the cylinder 10 can be reduced.

(5)また、パッキン22は、可動軸12の外周面に接触しないように配設した。このため、ロックが解除され、可動軸12が出方向に動作する際には、該可動軸12とパッキン22との間に摩擦が生じることなく、可動軸12をさらに滑らかに動作させることができる。   (5) The packing 22 is disposed so as not to contact the outer peripheral surface of the movable shaft 12. Therefore, when the lock is released and the movable shaft 12 moves in the outward direction, the movable shaft 12 can be operated more smoothly without friction between the movable shaft 12 and the packing 22. .

(6)シリンダ10に、磁気ばね機構13とロック機構14とを備えた。シリンダ10は、磁気ばね機構13を構成するマグネット16とマグネット17の作用により、コイルばねと同様にばね力を発生させ、そのばね力が可動軸12のストローク変化に関係なく一定の値とされる。したがって、可動軸12にワーク(例えば、基板など)を押し付けた場合でも、該ワークに対して一定の押圧力を付与することができる。また、シリンダ10は、ロック機構14の作用により、可動軸12が没方向に移動しても、マグネット17の吸引力に抗して可動軸12が保持され、該可動軸12のストローク長をワークの形状に合わせた長さで確実に維持できる。   (6) The cylinder 10 is provided with a magnetic spring mechanism 13 and a lock mechanism 14. The cylinder 10 generates a spring force in the same manner as the coil spring by the action of the magnet 16 and the magnet 17 constituting the magnetic spring mechanism 13, and the spring force is set to a constant value regardless of the stroke change of the movable shaft 12. . Therefore, even when a workpiece (for example, a substrate) is pressed against the movable shaft 12, a constant pressing force can be applied to the workpiece. In addition, the cylinder 10 holds the movable shaft 12 against the attractive force of the magnet 17 even if the movable shaft 12 moves in the sunk direction by the action of the lock mechanism 14, and the stroke length of the movable shaft 12 is set to the workpiece length. It can be reliably maintained with a length that matches the shape.

(7)ロック機構14を、鋼球26と該鋼球26が噛み合うテーパリング20のテーパ面34とで構成した。すなわち、鋼球26をテーパ面34と可動軸12の外周面との間に圧接することにより、可動軸12をロックさせるようにした。このため、可動軸12の保持力を増加させ、可動軸12のストローク長をワークの形状に合わせた長さで確実に維持できる。   (7) The lock mechanism 14 includes a steel ball 26 and a tapered surface 34 of the taper ring 20 with which the steel ball 26 is engaged. That is, the movable shaft 12 is locked by pressing the steel ball 26 between the tapered surface 34 and the outer peripheral surface of the movable shaft 12. For this reason, the holding force of the movable shaft 12 can be increased, and the stroke length of the movable shaft 12 can be reliably maintained at a length that matches the shape of the workpiece.

(8)また、本実施形態のシリンダ10を多点支持装置に適用した場合、推力を弱く設定できることにより、ワークの変形(損傷)や、基板の撓みを抑制することができる。その結果、ワークを安定した状態で保持することができる。   (8) Moreover, when the cylinder 10 of this embodiment is applied to a multipoint support device, deformation (damage) of the workpiece and bending of the substrate can be suppressed because the thrust can be set weak. As a result, the workpiece can be held in a stable state.

(第2の実施形態)
次に、本発明を具体化した第2の実施形態を図3にしたがって説明する。なお、以下に説明する実施形態では、既に説明した実施形態と同一構成については同一符号を付すなどして、その重複する説明を省略又は簡略する。図3においてロック機構14は、中心線Yを基準とした上側半分が可動軸12をロックした状態を示し、下側半分が可動軸12のロックを解除した状態を示している。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the embodiments described below, the same components as those in the embodiments already described are denoted by the same reference numerals, and the redundant description thereof is omitted or simplified. In FIG. 3, the lock mechanism 14 shows a state in which the upper half with the center line Y as a reference locks the movable shaft 12, and the lower half shows a state in which the movable shaft 12 is unlocked.

本実施形態では、本体ケース11内にプッシャ40と座金41が設けられている。プッシャ40は、筒状の胴体部42と、鍔部43とから構成されている。さらに、本実施形態においてプッシャ40には、胴体部42の先端に厚みを薄くした突起部44が形成されている。また、座金41の先端には、プッシャ40の突起部44と同様の突起部45が形成されている。   In the present embodiment, a pusher 40 and a washer 41 are provided in the main body case 11. The pusher 40 includes a cylindrical body part 42 and a flange part 43. Further, in the present embodiment, the pusher 40 is formed with a protrusion 44 having a reduced thickness at the tip of the body portion 42. Further, a protrusion 45 similar to the protrusion 44 of the pusher 40 is formed at the tip of the washer 41.

そして、本実施形態においては、ロック解除時に突起部44,45と鋼球26とが接触する接触部位(接触位置)を、鋼球26の中心位置よりも下方側(可動軸12の軸中心側)に設定している。具体的に言えば、接触部位は、鋼球26の中心位置とロック時に可動軸12の外面に当接する鋼球の当接位置との間に設定されている。   In the present embodiment, the contact portion (contact position) where the protrusions 44 and 45 and the steel ball 26 come into contact with each other when the lock is released is lower than the center position of the steel ball 26 (the axial center side of the movable shaft 12). ) Is set. Specifically, the contact portion is set between the center position of the steel ball 26 and the contact position of the steel ball that contacts the outer surface of the movable shaft 12 when locked.

このように構成した場合、ロック解除時には、鋼球26の下方側に力が加わることになるので、第1の実施形態と同様に、鋼球26には出動作方向(可動軸12の軸線方向)に対して斜め上方へ向かう力が加わることとなる(図3に矢示する)。このため、鋼球26には、可動軸12の外周面から離間させる力が積極的に作用され、当該力によって可動軸12から離間するように押し出される。また、鋼球26は、座金41にも接触することにより、可動軸12の外周面から離間する方向に逃がされる。本実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。   When configured in this manner, when the lock is released, a force is applied to the lower side of the steel ball 26. Therefore, as in the first embodiment, the steel ball 26 has a moving-out direction (the axial direction of the movable shaft 12). ) Will be applied obliquely upward (indicated by arrows in FIG. 3). For this reason, a force for separating the steel ball 26 from the outer peripheral surface of the movable shaft 12 is positively applied, and the steel ball 26 is pushed away from the movable shaft 12 by the force. Further, the steel ball 26 is also released in a direction away from the outer peripheral surface of the movable shaft 12 by contacting the washer 41. According to this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

(第3の実施形態)
次に、本発明を具体化した第3の実施形態を図4にしたがって説明する。図4においてロック機構14は、可動軸12をロックした状態を示す。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 4, the lock mechanism 14 shows a state where the movable shaft 12 is locked.

本実施形態では、プッシャ23のプッシャ側テーパ面32に等間隔を空けて(本実施形態では90度間隔を空けて)、鋼球26の位置を保持する複数(本実施形態では4つ)の保持溝48が形成されている。また、座金27の座金側テーパ面33には、プッシャ側テーパ面32と同様に等間隔を空けて(本実施形態では90度間隔を空けて)、鋼球26の位置を保持する複数(本実施形態では4つ)の保持溝49が形成されている。本実施形態では、各保持溝49に各1個の鋼球26が保持され、本体ケース11内には4つの鋼球26が挿入されている。   In the present embodiment, a plurality of (four in this embodiment) holding the positions of the steel balls 26 with an equal interval (90 ° interval in the present embodiment) at the pusher side tapered surface 32 of the pusher 23. A holding groove 48 is formed. Further, the washer-side tapered surface 33 of the washer 27 has a plurality of (this book) that holds the positions of the steel balls 26 at regular intervals (in the present embodiment, at 90-degree intervals) in the same manner as the pusher-side tapered surface 32. In the embodiment, four holding grooves 49 are formed. In the present embodiment, one steel ball 26 is held in each holding groove 49, and four steel balls 26 are inserted into the main body case 11.

保持溝48と保持溝49は、プッシャ23と座金27が本体ケース11に収容された状態において対向配置されるようになっている。そして、鋼球26は、保持溝48と保持溝49にそれぞれ係止され、可動軸12の周方向に対する位置が保持されるようになっている。また、保持溝48と保持溝49は、プッシャ23と座金47の中心側から外方に向かって直線状に形成されている。このため、鋼球26は、可動軸12のロック時及びロック解除時において、保持溝48又は保持溝49に案内されながら転動する。   The holding groove 48 and the holding groove 49 are arranged to face each other when the pusher 23 and the washer 27 are accommodated in the main body case 11. And the steel ball 26 is latched by the holding groove 48 and the holding groove 49, respectively, and the position with respect to the circumferential direction of the movable shaft 12 is hold | maintained. The holding groove 48 and the holding groove 49 are linearly formed outward from the center side of the pusher 23 and the washer 47. For this reason, the steel ball 26 rolls while being guided by the holding groove 48 or the holding groove 49 when the movable shaft 12 is locked and unlocked.

したがって、本実施形態によれば、第1の実施形態の効果(1)〜(8)と同様の効果に加えて以下に示す効果を得ることができる。
(9)鋼球26を保持溝48及び保持溝49によって保持することにより、鋼球26を可動軸12のストローク方向(出没動作方向)に同一位置で保持できるとともに可動軸12の円周方向にも同一位置で保持できる。すなわち、鋼球26を可動軸12の外周に沿って隙間無く配置させなくても、鋼球26の位置を保持することができ、シリンダ10の使用時などにおいて鋼球26の位置が偏ることを防止できる。このため、ロック解除時には可動軸12と鋼球26との非接触状態を安定して得られるとともに、ロック時には鋼球26が均等に配置されることで安定したロック力(ブレーキ力)を得ることができる。また、鋼球26の数を必要以上に増加させる必要がないので、シリンダ10の製造コスト低減に貢献することができる。さらに、可動軸12のXY方向の位置再現性を向上させることができる。
Therefore, according to this embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects (1) to (8) of the first embodiment.
(9) By holding the steel ball 26 by the holding groove 48 and the holding groove 49, the steel ball 26 can be held at the same position in the stroke direction (intrusion operation direction) of the movable shaft 12 and in the circumferential direction of the movable shaft 12. Can be held in the same position. That is, the position of the steel ball 26 can be maintained without arranging the steel ball 26 along the outer periphery of the movable shaft 12 without any gap, and the position of the steel ball 26 is biased when the cylinder 10 is used. Can be prevented. For this reason, the non-contact state between the movable shaft 12 and the steel ball 26 can be stably obtained when the lock is released, and a stable locking force (braking force) can be obtained by arranging the steel balls 26 evenly when locked. Can do. Moreover, since it is not necessary to increase the number of the steel balls 26 more than necessary, it is possible to contribute to the manufacturing cost reduction of the cylinder 10. Furthermore, the position reproducibility of the movable shaft 12 in the XY directions can be improved.

(第4の実施形態)
次に、本発明を具体化した第4の実施形態を図5にしたがって説明する。図5においてロック機構14は、可動軸12をロックした状態を示す。
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment embodying the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 5, the lock mechanism 14 shows a state where the movable shaft 12 is locked.

本実施形態では、本体ケース11内にプッシャ50と鋼球26を保持する保持部材51が設けられている。保持部材51は、第1保持部材52と第2保持部材53から構成され、両保持部材52,53で鋼球26を挟持するようになっている。また、第1保持部材52には、第1,第3の実施形態で説明したプッシャ側テーパ面32と同一構成をなすテーパ面54が形成されており、当該テーパ面54には、第3の実施形態で説明した保持溝48と同一構成をなす保持溝55が形成されている。そして、保持部材51は、複数の鋼球26を連結し、該鋼球26の位置を保持するようになっている。複数の鋼球26は、保持部材51に保持されることで一体化された状態で本体ケース11内に収容される。   In the present embodiment, a holding member 51 that holds the pusher 50 and the steel ball 26 is provided in the main body case 11. The holding member 51 includes a first holding member 52 and a second holding member 53, and the steel ball 26 is sandwiched between the holding members 52 and 53. The first holding member 52 is formed with a tapered surface 54 having the same configuration as the pusher-side tapered surface 32 described in the first and third embodiments, and the tapered surface 54 has a third surface. A holding groove 55 having the same configuration as the holding groove 48 described in the embodiment is formed. And the holding member 51 connects the some steel ball 26, and hold | maintains the position of this steel ball 26. FIG. The plurality of steel balls 26 are accommodated in the main body case 11 in an integrated state by being held by the holding member 51.

したがって、本実施形態では、第1の実施形態の効果(1)〜(8)と第3の実施形態の効果(9)と同様の効果に加えて、以下に示す効果を得ることができる。
(10)本体ケース11内から可動軸12を脱着し、本体ケース11内をメンテナンスする場合でも、保持部材51で複数の鋼球26が一体化されているので、メンテナンス性を向上させることができる。また、可動軸12を脱着した場合であっても、鋼球26が保持部材51によって一体的に管理されるので、鋼球26が本体ケース11内から脱落することを防止できる。
Therefore, in this embodiment, in addition to the effects (1) to (8) of the first embodiment and the effects (9) of the third embodiment, the following effects can be obtained.
(10) Even when the movable shaft 12 is detached from the main body case 11 and the inside of the main body case 11 is maintained, since the plurality of steel balls 26 are integrated by the holding member 51, the maintainability can be improved. . Even when the movable shaft 12 is detached, the steel ball 26 is integrally managed by the holding member 51, so that the steel ball 26 can be prevented from dropping out of the main body case 11.

なお、各実施形態は以下のように変更してもよい。
○ 各実施形態では、可動軸12の移動力を付与する構成として磁気ばね機構13を設けているが、磁気ばね機構13に代えて図6に示すように本体ケース11内にコイルばね61を収容し、当該コイルばね61により可動軸12の移動力を付与するようにしても良い。図6においてロック機構14は、中心線Yを基準とした上側半分が可動軸12をロックした状態を示し、下側半分が可動軸12のロックを解除した状態を示している。ロック機構14の構成は、第1の実施形態で説明したロック機構14と同一である。
Each embodiment may be changed as follows.
In each embodiment, the magnetic spring mechanism 13 is provided as a configuration for applying the moving force of the movable shaft 12, but the coil spring 61 is accommodated in the main body case 11 as shown in FIG. 6 instead of the magnetic spring mechanism 13. Then, the moving force of the movable shaft 12 may be applied by the coil spring 61. In FIG. 6, the lock mechanism 14 indicates a state in which the upper half with respect to the center line Y is locked with the movable shaft 12, and the lower half indicates a state in which the movable shaft 12 is unlocked. The configuration of the lock mechanism 14 is the same as that of the lock mechanism 14 described in the first embodiment.

○ 第1の実施形態において、プッシャ23のプッシャ側テーパ面32や座金27の座金側テーパ面33の角度α、βを変更しても良い。角度α,βは、3度〜60度の範囲で設定すると良い。なお、第2,第4の実施形態も同様である。   In the first embodiment, the angles α and β of the pusher side tapered surface 32 of the pusher 23 and the washer side tapered surface 33 of the washer 27 may be changed. The angles α and β are preferably set in the range of 3 degrees to 60 degrees. The same applies to the second and fourth embodiments.

○ 第1の実施形態において、プッシャ23や座金27に形成されるテーパ面を円弧面に変更しても良い。なお、第2,第4の実施形態も同様である。
○ 第1,第2の実施形態において、鋼球退避部35を省略しても良い。
In the first embodiment, the tapered surface formed on the pusher 23 and the washer 27 may be changed to an arc surface. The same applies to the second and fourth embodiments.
In the first and second embodiments, the steel ball retracting portion 35 may be omitted.

○ 第1〜第3の実施形態において、ロック機構14を構成するプッシャ23,40と座金27,41の組み合わせを変更しても良い。例えば、プッシャ23と座金41を組み合わせても良いし、プッシャ40と座金27を組み合わせても良い。また、第1,第3の実施形態において、プッシャ23又は座金27のいずれか一方のみにテーパ面を形成しても良い。また、第2の実施形態において、プッシャ40又は座金41のいずれか一方のみに突起部を設けても良い。   In the first to third embodiments, the combination of the pushers 23 and 40 and the washers 27 and 41 constituting the lock mechanism 14 may be changed. For example, the pusher 23 and the washer 41 may be combined, or the pusher 40 and the washer 27 may be combined. Further, in the first and third embodiments, only one of the pusher 23 and the washer 27 may be formed with a tapered surface. In the second embodiment, only one of the pusher 40 and the washer 41 may be provided with a protrusion.

○ 各実施形態において、鋼球26の数(本体ケース11内に挿入する数)や大きさは変更しても良い。
○ 各実施形態において、テーパリング20のテーパ面34を円弧面にしても良い。
In each embodiment, the number of steel balls 26 (the number inserted in the main body case 11) and the size may be changed.
In each embodiment, the taper surface 34 of the taper ring 20 may be an arc surface.

○ 各実施形態において、パッキン22は、Yパッキンでも良いし、Vパッキンでも良い。
○ 第3の実施形態において、プッシャ23及び座金27に形成する保持溝48と保持溝49の数は変更しても良い。但し、保持溝48と保持溝49の数は同数である。
In each embodiment, the packing 22 may be a Y packing or a V packing.
In the third embodiment, the number of holding grooves 48 and holding grooves 49 formed in the pusher 23 and the washer 27 may be changed. However, the number of holding grooves 48 and holding grooves 49 is the same.

次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
(イ)請求項1〜請求項6のうちいずれか一項に記載のロック機構付きシリンダを基台上に複数整列配置したことを特徴とする多点支持装置。
Next, a technical idea that can be grasped from the above embodiment and another example will be added below.
(A) A multi-point support device in which a plurality of cylinders with a lock mechanism according to any one of claims 1 to 6 are arranged on a base.

第1の実施形態におけるロック機構付きシリンダの断面図。Sectional drawing of the cylinder with a lock mechanism in 1st Embodiment. 同じく、ロック機構付きシリンダの要部拡大断面図。Similarly, the principal part expanded sectional view of a cylinder with a lock mechanism. 第2の実施形態におけるロック機構付きシリンダの要部拡大断面図。The principal part expanded sectional view of the cylinder with a lock mechanism in 2nd Embodiment. 第3の実施形態におけるロック機構付きシリンダの要部拡大断面図。The principal part expanded sectional view of the cylinder with a lock mechanism in 3rd Embodiment. 第4の実施形態におけるロック機構付きシリンダの要部拡大断面図。The principal part expanded sectional view of the cylinder with a lock mechanism in 4th Embodiment. 別例におけるロック機構付きシリンダの断面図。Sectional drawing of the cylinder with a lock mechanism in another example.

符号の説明Explanation of symbols

10…ロック機構付きシリンダ、11…本体ケース、12…可動軸、13…磁気ばね機構、14…ロック機構、20…テーパリング、26…鋼球、23,40…プッシャ、27,41…座金、32…プッシャ側テーパ面、33…座金側テーパ面、34…テーパ面、35…鋼球退避部、44,45…突起部、48,49…保持溝、50…保持部材。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Cylinder with a lock mechanism, 11 ... Main body case, 12 ... Movable shaft, 13 ... Magnetic spring mechanism, 14 ... Lock mechanism, 20 ... Tapering, 26 ... Steel ball, 23, 40 ... Pusher, 27, 41 ... Washer, 32 ... Pusher side taper surface, 33 ... Washer side taper surface, 34 ... Tapered surface, 35 ... Steel ball retracting part, 44, 45 ... Projection part, 48, 49 ... Holding groove, 50 ... Holding member.

Claims (6)

筒状をなす固定部材内に軸状の可動部材が出没動作可能に挿通され、前記固定部材内での前記可動部材の移動を規制するロック機構を備えたロック機構付きシリンダにおいて、
前記ロック機構は、筒状本体内に前記可動部材が挿通され、当該可動部材の没動作方向に沿って縮径するテーパ面又は円弧面が内面に形成されたケーシング部材と、前記ケーシング部材の前記内面と前記可動部材の外面との間に挿入される複数個の球体と、前記可動部材のロック時に前記球体を前記可動部材の没動作方向に押し出して前記テーパ面又は円弧面と前記可動部材の外面との間に圧接させる第1の押出部材と、前記可動部材のロック解除時に前記球体を前記可動部材の出動作方向に押し出して圧接状態を解除させる第2の押出部材とを有し、
前記第1の押出部材又は第2の押出部材が前記球体を押し出す際に接触する接触面をテーパ状又は円弧状に形成し、前記第1の押出部材の接触面を前記テーパ状又は円弧状とする場合には該接触面が前記没動作方向に下るように形成する一方で、前記第2の押出部材の接触面を前記テーパ状又は円弧状とする場合には該接触面を前記出動作方向に下るように形成したことを特徴とするロック機構付きシリンダ。
In a cylinder with a lock mechanism, a shaft-shaped movable member is inserted into a cylindrical fixed member so as to be able to appear and retract, and includes a lock mechanism that restricts movement of the movable member in the fixed member.
The locking mechanism includes a casing member in which the movable member is inserted into a cylindrical main body, and a taper surface or a circular arc surface that is reduced in diameter along a direction in which the movable member is retracted, and the casing member includes the casing member. A plurality of spheres inserted between an inner surface and an outer surface of the movable member; and when the movable member is locked, the spheres are pushed out in a direction in which the movable member is retracted, and the tapered surface or the arc surface and the movable member A first extruding member that is in pressure contact with an outer surface, and a second extruding member that releases the pressure contact state by pushing out the sphere in the moving-out direction of the movable member when unlocking the movable member,
A contact surface that contacts when the first push member or the second push member extrudes the sphere is formed in a taper shape or an arc shape, and a contact surface of the first push member is formed in the taper shape or the arc shape. When the contact surface is formed so as to be lowered in the submerged operation direction, the contact surface of the second push-out member is formed in the taper shape or the arc shape. A cylinder with a lock mechanism, characterized in that it is formed so as to be lowered.
前記接触面には、前記球体を各別に係止して該球体の位置を保持する複数の保持溝が形成されており、当該複数の保持溝により前記可動部材の外面に対して前記球体が等間隔で配置されていることを特徴とする請求項1に記載のロック機構付きシリンダ。 A plurality of holding grooves are formed on the contact surface to hold the spheres separately to hold the positions of the spheres, and the spheres are formed on the outer surface of the movable member by the plurality of holding grooves. The cylinder with a lock mechanism according to claim 1, wherein the cylinders are arranged at intervals. 前記第1の押出部材には、前記複数の球体を連結して該球体の位置を保持する保持部材が設けられており、当該保持部材により前記可動部材の外面に対して前記球体が等間隔で配置されていることを特徴とする請求項1に記載のロック機構付きシリンダ。 The first pusher member is provided with a holding member that connects the plurality of spheres to hold the position of the spheres, and the spheres are equidistant from the outer surface of the movable member by the holding members. The cylinder with a lock mechanism according to claim 1, wherein the cylinder is provided with a lock mechanism. 筒状をなす固定部材内に軸状の可動部材が出没動作可能に挿通され、前記固定部材内での前記可動部材の移動を規制するロック機構を備えたロック機構付きシリンダにおいて、
前記ロック機構は、筒状本体内に前記可動部材が挿通され、当該可動部材の没動作方向に沿って縮径するテーパ面又は円弧面が内面に形成されたケーシング部材と、前記ケーシング部材の前記内面と前記可動部材の外面との間に挿入される複数個の球体と、前記可動部材のロック時に前記球体を前記可動部材の没動作方向に押し出して前記テーパ面又は円弧面と前記可動部材の外面との間に圧接させる第1の押出部材と、前記可動部材のロック解除時に前記球体を前記可動部材の出動作方向に押し出して圧接状態を解除させる第2の押出部材とを有し、
前記第1の押出部材又は第2の押出部材が前記球体を押し出す際に接触する接触部位を、前記球体の中心位置と前記ロック時に前記可動部材の外面に当接する前記球体の当接位置との間に設定したことを特徴とするロック機構付きシリンダ。
In a cylinder with a lock mechanism, a shaft-shaped movable member is inserted into a cylindrical fixed member so as to be able to appear and retract, and includes a lock mechanism that restricts movement of the movable member in the fixed member.
The locking mechanism includes a casing member in which the movable member is inserted into a cylindrical main body, and a taper surface or a circular arc surface that is reduced in diameter along a direction in which the movable member is retracted, and the casing member includes the casing member. A plurality of spheres inserted between an inner surface and an outer surface of the movable member; and when the movable member is locked, the spheres are pushed out in a direction in which the movable member is retracted, and the tapered surface or the arc surface and the movable member A first extruding member that is in pressure contact with an outer surface, and a second extruding member that releases the pressure contact state by pushing out the sphere in the moving-out direction of the movable member when unlocking the movable member,
The contact portion that contacts when the first push-out member or the second push-out member pushes out the sphere is defined by a center position of the sphere and a contact position of the sphere that contacts the outer surface of the movable member at the time of locking. Cylinder with lock mechanism, characterized by being set in between.
前記ケーシング部材には、前記テーパ面又は円弧面に連接して非圧接状態の球体を退避させる退避部が形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項4のうちいずれか一項に記載のロック機構付きシリンダ。 The said casing member is formed with the retraction | saving part connected with the said taper surface or circular arc surface, and retreat | retreating the spherical body of a non-pressure-contact state. Cylinder with locking mechanism as described. 前記固定部材と前記可動部材に磁石を対向配置し、その対向する磁石同士が異なる磁極で着磁された磁気ばね機構を備えた請求項1〜請求項5のうちいずれか一項に記載のロック機構付きシリンダ。 The lock according to any one of claims 1 to 5, further comprising a magnetic spring mechanism in which magnets are arranged opposite to the fixed member and the movable member, and the magnets facing each other are magnetized with different magnetic poles. Cylinder with mechanism.
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