JP4446382B2

JP4446382B2 - Substrate transfer device

Info

Publication number: JP4446382B2
Application number: JP2004219247A
Authority: JP
Inventors: 智隆西本; 保孝坪井; 裕一高倉
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-07-27
Filing date: 2004-07-27
Publication date: 2010-04-07
Anticipated expiration: 2024-07-27
Also published as: JP2006041194A

Description

本発明は、例えば液晶パネルなどの基板を搬送する基板搬送方法に関する。 The present invention relates to a substrate carrying method for carrying a substrate such as a liquid crystal panel.

従来より、液晶パネルなどの基板に対して半導体チップなどの部品を実装するための作業を行い、作業完了後に、その基板を搬送する基板搬送装置が提供されている。
このような基板搬送装置は、複数台が一列に連なるように配列されて用いられる場合がある。この場合、各基板搬送装置は、基板に対してそれぞれ互いに異なる作業を行い、作業完了後には、その基板を隣の基板搬送装置に搬送する。これにより、基板に対する生産ラインが構成される。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been provided a substrate transport apparatus that performs an operation for mounting a component such as a semiconductor chip on a substrate such as a liquid crystal panel and transports the substrate after the operation is completed.
In some cases, such a substrate transfer apparatus is arranged and used in such a manner that a plurality of substrates are arranged in a line. In this case, each board | substrate conveyance apparatus performs a mutually different operation | work with respect to a board | substrate, and after completion | finish of an operation | work, conveys the board | substrate to the adjacent board | substrate conveyance apparatus. Thus, a production line for the substrate is configured.

具体的に、基板搬送装置は、基板に対する作業が完了すると、生産ラインの下流の基板搬送装置に対して、基板を下流に搬送しても良いかを問い合わせ、搬送しても良いとの応答を得た後に、基板を下流に搬送する。そして、基板搬送装置は、上流から次の作業対象となる基板が搬送されていれば、その基板に対する作業を実行する。また、基板搬送装置は、生産ラインの上流の基板搬送装置から、基板を自らに搬送しても良いかといった問い合わせを受けたときには、自らに基板が搬入されて載置されるスペースがあることを確認して、搬入しても良いとの応答を上流に行う。このように各基板搬送装置は、それぞれ下流に基板が載置されるスペースが確保されているか否かを確認して、作業完了後の基板を下流に搬送する。したがって、上記従来の基板搬送装置では、一生産ラインにおける作業時間又は搬送時間が長くなってしまう。 Specifically, when the work on the substrate is completed, the substrate transfer device inquires of the substrate transfer device downstream of the production line whether the substrate may be transferred downstream, and responds that the substrate may be transferred. After being obtained, the substrate is transported downstream. And if the board | substrate used as the next work object is conveyed from upstream, the board | substrate conveyance apparatus will perform the operation | work with respect to the board | substrate. In addition, when the substrate transfer device receives an inquiry from the substrate transfer device upstream of the production line as to whether or not the substrate may be transferred to itself, the substrate transfer device has a space where the substrate is transferred and placed. Confirm and respond upstream that you can carry in. In this way, each substrate transport device confirms whether or not a space for placing the substrate is secured downstream, and transports the substrate after the work is completed downstream. Therefore, in the conventional substrate transfer apparatus, the work time or transfer time in one production line becomes long.

また近年、液晶パネルなどの基板は拡大の傾向にある。したがって、上記従来の基板搬送装置では、自らの上記スペースに液晶パネルが載置されたときには、その載置された液晶パネルが作業中の液晶パネルに接触してしまい、不具合を生じさせてしまうことがある。 In recent years, substrates such as liquid crystal panels have been expanding. Therefore, in the conventional substrate transfer device, when the liquid crystal panel is placed in the space, the placed liquid crystal panel comes into contact with the working liquid crystal panel, causing a problem. There is.

一方、上述のような作業を行うユニットを複数備え、基板を各ユニット間で搬送する基板搬送装置も提案されている（例えば、特許文献１参照。）。つまり、このような特許文献１の基板搬送装置は、１台の装置で上述の生産ラインを構成している。 On the other hand, a substrate transport apparatus that includes a plurality of units that perform the above operations and transports a substrate between the units has also been proposed (see, for example, Patent Document 1). That is, such a substrate transfer apparatus of Patent Document 1 constitutes the above-described production line with one apparatus.

このような特許文献１の基板搬送装置は、各ユニットにおける作業が完了すると、その各ユニットで作業された複数の基板を下流のユニットへ同時に搬送する。
したがって、上記特許文献１の基板搬送装置では、上記従来の基板搬送装置のように下流に基板を載置するためのスペースが確保されていることを確認することなく、そのスペースが確保されるのを見越すように、各ユニットで作業された複数の基板を下流に同時に搬送するため、一生産ラインにおける作業時間又は搬送時間を短縮し、基板の接触による不具合も抑えることができる。
特開２００１−２２８４５２号公報 When the operation of each unit is completed, the substrate transfer apparatus disclosed in Patent Document 1 simultaneously transfers a plurality of substrates operated in each unit to downstream units.
Therefore, in the substrate transport apparatus of Patent Document 1, the space is secured without confirming that the space for placing the substrate downstream is secured as in the conventional substrate transport apparatus. In order to anticipate, since the plurality of substrates worked in each unit are simultaneously transported downstream, the work time or transport time in one production line can be shortened, and problems caused by contact of the substrates can be suppressed.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-228452

しかしながら、上記特許文献１の基板搬送装置では、各ユニットのレイアウトを変更するときには、基板を搬送するための制御内容を、その変更後のレイアウトに応じた制御内容に変更する必要があり、レイアウトの変更に手間がかかるという問題がある。 However, in the substrate transport apparatus of Patent Document 1, when changing the layout of each unit, it is necessary to change the control content for transporting the substrate to the control content corresponding to the layout after the change. There is a problem that it takes time to change.

例えば、上記特許文献１の基板搬送装置は、ユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣ、及びユニットＤを備え、これらのユニットがそれぞれ一列に互いに接続したレイアウトを有している。ここで、そのレイアウトを、ユニットＡ及びユニットＢと、ユニットＣ及びユニットＤとが分離したレイアウトに変更すると、ユニットＡ及びユニットＢと、ユニットＣ及びユニットＤとのそれぞれに対して制御内容の変更を要する。即ち、各ユニットの合計４つの基板を同時に搬送するといった制御内容を、２つの基板を同時に搬送するといった制御内容に変更する必要がある。その結果、ユニットＡ及びユニットＢと、ユニットＣ及びユニットＤとは非同期に、それぞれ独立して基板の搬送を行う。一方、そのユニットＡ及びユニットＢと、ユニットＣ及びユニットＤとを接続して、元のレイアウトに戻す場合には、４つの全てのユニットの同期を取るように、制御内容も元に戻す必要がある。 For example, the substrate transfer apparatus of Patent Document 1 includes a unit A, a unit B, a unit C, and a unit D, and these units have a layout in which they are connected to each other in a row. Here, when the layout is changed to a layout in which the units A and B, the units C and D are separated, the control contents are changed for the units A and B, the units C and D, respectively. Cost. That is, it is necessary to change the control content such that a total of four substrates of each unit are simultaneously transferred to the control content such that two substrates are simultaneously transferred. As a result, the units A and B and the units C and D carry the substrates independently and asynchronously. On the other hand, when the unit A and the unit B are connected to the unit C and the unit D and the original layout is restored, it is necessary to restore the control contents so that all four units are synchronized. is there.

そこで本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであって、基板の搬送時間が長くなるのを防ぎつつ、設備のレイアウトを容易に変更可能な基板搬送方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of such a problem, and an object thereof is to provide a substrate transport method capable of easily changing the layout of equipment while preventing the substrate transport time from becoming long. To do.

上記目的を達成するために、本発明に係る基板搬送方法は、複数の装置が一連に接続することで構成される基板の生産ラインにおける、１つの前記装置が前記基板に対して所定の作業を行って前記基板を下流に搬送する方法であって、前記所定の作業の完了を検知する作業完了検知ステップと、前記装置が、前記生産ラインの最上流、中流及び最下流のうち何れの位置にあるかを特定する位置特定ステップと、前記作業完了検知ステップで作業の完了が検知された後に、前記位置特定ステップで特定された位置が最下流である場合には、作業が完了したことを上流に通知し、前記位置特定ステップで特定された位置が中流である場合には、下流の作業完了を確認した上で、作業が完了したことを上流に通知する作業完了通知ステップと、前記位置特定ステップで特定された位置が中流又は最下流である場合には、前記作業完了通知ステップの後に基板を下流に搬送し、前記位置特定ステップで特定された位置が最上流である場合には、前記作業完了検知ステップで作業の完了が検知された後に、下流からの通知に基づいて下流の作業完了を確認した上で、基板を下流に搬送する搬送ステップとを含むことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a substrate transport method according to the present invention is a substrate transport method in which a plurality of devices are connected in series, and one device in the substrate production line performs a predetermined operation on the substrate. A method of carrying the substrate downstream, the operation completion detection step for detecting completion of the predetermined operation, and the apparatus at any position among the most upstream, middle and downstream of the production line. If the position specified in the position specifying step is the most downstream after the completion of the work is detected in the work specifying detection step and the work completion detecting step, it is determined that the work has been completed upstream. When the position specified in the position specifying step is in the middle, after confirming the downstream work completion, the work completion notification step for notifying the upstream that the work has been completed, When the position specified in the position specifying step is the middle stream or the most downstream, the substrate is transported downstream after the work completion notifying step, and when the position specified in the position specifying step is the most upstream And a conveyance step of conveying the substrate downstream after confirming the completion of the downstream operation based on a notification from the downstream after the completion of the operation is detected in the operation completion detection step.

これにより、複数の装置を接続して生産ラインを構成した場合に、例えば、最下流の装置から上流の装置へと順に最上流の装置にまで作業完了の通知がなされて、最上流の装置での作業が完了しているときには、生産ラインの全ての装置は、作業完了の通知が行われたときを適当なタイミングとして基板を下流に搬送するため、全ての装置で同期して基板を下流に搬送することができ、生産ラインの基板の搬送時間が長くなるのを防ぐことができる。また、作業完了の通知が最下流の装置から上流の装置へと順になされて、中流の装置が作業中であるときには、作業完了の通知はその中流の装置より上流には行われないこととなるが、その中流の装置よりも下流の全ての装置が、作業完了の通知が行われたときを適当なタイミングとして基板を下流に搬送するため、これらの装置で同期を取り、上述と同様に、基板の搬送時間が長くなるのを防ぐことができる。さらに、各装置が生産ラインのどの位置にあるかを特定してその位置に応じた動作を行うため、各装置の制御内容を変更することなく生産ラインのレイアウトを容易に変更することができる。例えば、４つの装置から生産ラインを構成したときには、これら４つの装置に上述のような同期を取った動作を実行させることができる一方で、その生産ラインのレイアウトを変更して、それぞれ２つの装置からなる２つの生産ラインを構成したときには、各装置の制御内容を変更することなく、各生産ラインで装置間の同期を取った動作を実行させることができる。 As a result, when a production line is configured by connecting a plurality of devices, for example, notification of work completion is made from the most downstream device to the most upstream device in order to the most upstream device. When all the operations are completed, all the devices on the production line transport the substrates downstream at the appropriate timing when the notification of the completion of operations is performed. Therefore, it is possible to prevent the substrate transfer time of the production line from increasing. Also, when work completion notifications are made in order from the most downstream apparatus to the upstream apparatus, and when the middle-stream apparatus is working, the work completion notification is not sent upstream from the middle-stream apparatus. However, all the devices downstream from the middle-stream device convey the substrate downstream at an appropriate timing when the notification of the completion of work is performed. It is possible to prevent the substrate transfer time from becoming long. Furthermore, since the position of each device is specified on the production line and the operation is performed according to the position, the layout of the production line can be easily changed without changing the control content of each device. For example, when a production line is composed of four devices, these four devices can execute the above-described synchronized operation, while the layout of the production line is changed to two devices each. When two production lines consisting of the above are configured, it is possible to execute an operation that synchronizes the apparatuses in each production line without changing the control content of each apparatus.

また、前記搬送ステップは、前記位置特定ステップで特定された位置が最上流である場合には、下流からの通知に基づいて下流の作業完了を確認した後に、基板の搬送を下流と同期して実行するための同期信号を下流に出力し、位置特定ステップで特定された位置が中流である場合には、上流からの同期信号を取得して前記同期信号を下流に出力する同期信号伝送サブステップと、前記位置特定ステップで特定された位置が最上流又は中流である場合には、前記同期信号伝送サブステップで前記同期信号が下流に出力された後に、基板を下流に搬送し、前記位置特定ステップで特定された位置が最下流である場合には、上流から同期信号を取得した後に、基板を下流に搬送する同期搬送サブステップとを含むことを特徴としても良い。 In the transport step, when the position specified in the position specifying step is the most upstream, after confirming the completion of the downstream operation based on the notification from the downstream, the transport of the substrate is synchronized with the downstream. A synchronization signal transmission sub-step for outputting a synchronization signal for execution downstream, and obtaining a synchronization signal from upstream and outputting the synchronization signal downstream when the position identified in the position identification step is a middle stream When the position specified in the position specifying step is the uppermost stream or the middle stream, after the synchronization signal is output downstream in the synchronization signal transmission sub-step, the substrate is transported downstream, and the position specification is performed. In the case where the position specified in the step is the most downstream, a synchronization transport sub-step of transporting the substrate downstream after acquiring the synchronization signal from the upstream may be included.

これにより、複数の装置を接続して生産ラインを構成した場合に、例えば、最下流の装置から上流の装置へと順に上流の装置まで作業完了の通知がなされて、最上流の装置で作業が完了しているときには、最上流の装置から下流の装置へ順に最下流の装置にまで同期信号が伝送され、生産ラインの全ての装置は、その同期信号の伝送を適当なタイミングとして基板を下流に搬送するため、上述と同様、全ての装置で基板搬送の同期を取ることができ、基板の搬送時間が長くなるのを防ぐことができる。また、作業完了の通知が最上流の装置に通知されて全ての装置の作業が完了した後に、同期信号が伝送されるため、確実に全ての装置の同期を取ることができる。 Thus, when a production line is configured by connecting a plurality of devices, for example, work completion notification is made from the most downstream device to the upstream device in order to the upstream device, so that the work can be performed by the most upstream device. When completed, a synchronization signal is transmitted from the most upstream device to the downstream device in order from the most downstream device to the most downstream device, and all the devices on the production line take the substrate downstream with the transmission of the synchronization signal at an appropriate timing. Since the substrate is transferred, the substrate transfer can be synchronized in all apparatuses as described above, and the substrate transfer time can be prevented from becoming longer. In addition, since the synchronization signal is transmitted after the completion of work is notified to the most upstream device and the work of all devices is completed, all devices can be reliably synchronized.

なお、本発明は、上述の基板搬送方法のプログラムや、そのプログラムを格納する記憶媒体、その基板搬送方法を用いた基板搬送装置並びにシステムとしても実現することができる。 The present invention can also be realized as a program for the above-described substrate transfer method, a storage medium for storing the program, a substrate transfer apparatus and a system using the substrate transfer method.

本発明の基板搬送方法は、基板の搬送時間が長くなるのを防ぎつつ、設備のレイアウトを容易に変更することができるという作用効果を奏する。 The substrate transfer method of the present invention has an effect that the layout of the equipment can be easily changed while preventing the substrate transfer time from becoming long.

以下、本発明の実施の形態における基板搬送装置について図面を参照しながら説明する。
本実施の形態における基板搬送装置は、液晶パネルの基板にＴＣＰ（Tape Carrier Package）といった部品を実装するための作業を行ってその基板を搬送するものであって、他の基板搬送装置と接続されることで、その基板に対する生産ラインを構成する。 Hereinafter, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The substrate transport apparatus in the present embodiment performs work for mounting components such as TCP (Tape Carrier Package) on the substrate of the liquid crystal panel and transports the substrate, and is connected to other substrate transport apparatuses. Thus, a production line for the substrate is configured.

図１は、本実施の形態の基板搬送装置を用いて生産ラインが構成された状態を示す図である。
この図１に示すように、４つの基板搬送装置１００は一列に接続されて生産ラインＬを構成する。 FIG. 1 is a diagram illustrating a state in which a production line is configured using the substrate transfer apparatus of the present embodiment.
As shown in FIG. 1, the four substrate transfer apparatuses 100 are connected in a line to form a production line L.

以下、４つの基板搬送装置１００をそれぞれ区別するために、生産ラインＬの最も上流に位置する基板搬送装置１００を最上流機１０１、その最上流機１０１の次に下流に位置する基板搬送装置１００を第１中流機１０２、その第１中流機１０２の次に下流に位置する基板搬送装置１００を第２中流機１０３、生産ラインＬの最も下流に位置する基板搬送装置１００を最下流機１０４とする。 Hereinafter, in order to distinguish the four substrate transfer apparatuses 100 from each other, the substrate transfer apparatus 100 located on the most upstream side of the production line L is defined as the most upstream machine 101, and the substrate transfer apparatus 100 located on the downstream next to the most upstream machine 101. The first intermediate flow machine 102, the substrate transfer apparatus 100 located downstream of the first intermediate flow machine 102 as the second intermediate flow machine 103, and the substrate transfer apparatus 100 located most downstream of the production line L as the most downstream machine 104. To do.

最上流機１０１は、生産ラインＬで作業対象となる基板１を最初に受け取って、その基板１に対してＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）を貼り付け、その基板１を下流の第１中流機１０２に搬送する。第１中流機１０２は、最上流機１０１から搬送された基板１に対して部品を仮圧着し、その基板１を第２中流機１０３に搬送する。第２中流機１０３は、第１中流機１０２から搬送された基板１に仮圧着された一部の部品を本圧着し、その基板１を最下流機１０４に搬送する。最下流機１０４は、第２中流機１０３から搬送された基板１に仮圧着された残りの部品を本圧着して、下流に基板１を搬送する。 The most upstream machine 101 first receives the substrate 1 to be worked on the production line L, attaches an ACF (Anisotropic Conductive Film) to the substrate 1, and attaches the substrate 1 to the downstream first middle stream machine 102. Transport. The first middle-stream machine 102 temporarily presses components to the board 1 conveyed from the most upstream machine 101 and conveys the board 1 to the second middle-stream machine 103. The second middle-stream machine 103 performs final pressure-bonding on a part of the parts temporarily bonded to the board 1 conveyed from the first middle-stream machine 102 and conveys the board 1 to the most downstream machine 104. The most downstream machine 104 finally press-bonds the remaining parts temporarily bonded to the substrate 1 conveyed from the second middle-stream machine 103 and conveys the substrate 1 downstream.

このように生産ラインＬでは、基板１は、上流から下流へと、最上流機１０１、第１中流機１０２、第２中流機１０３、及び最下流機１０４の順に各基板搬送装置１００に搬送され、各基板搬送装置１００によって作業される。 As described above, in the production line L, the substrate 1 is transported from the upstream to the downstream by the substrate transport apparatuses 100 in the order of the most upstream machine 101, the first middle stream machine 102, the second middle stream machine 103, and the most downstream machine 104. The work is performed by each substrate transfer apparatus 100.

図２は、本実施の形態における基板搬送装置１００の構成を示す構成図である。
このような基板搬送装置１００は、上述の作業を行う作業部１１０と、作業対象となる基板１が載置されることで、生産ラインＬの上流からその基板１を受け取る基板受け部１２０と、基板受け部１２０に載置された基板１を作業部１１０や下流などに搬送する搬送部１３０と、下流に接続される他の基板搬送装置との間で信号の入出力を行う下流入力部１４１及び下流出力部１４２と、上流に接続される他の基板搬送装置との間で信号の入出力を行う上流入力部１５１及び上流出力部１５２と、搬送部１３０などを制御する制御部１６０とを備えている。 FIG. 2 is a configuration diagram showing the configuration of the substrate transfer apparatus 100 in the present embodiment.
Such a substrate transport apparatus 100 includes a working unit 110 that performs the above-described operation, a substrate receiving unit 120 that receives the substrate 1 from the upstream of the production line L, by placing the substrate 1 to be worked on, A downstream input unit 141 that inputs and outputs signals between the transport unit 130 that transports the substrate 1 placed on the substrate receiving unit 120 to the working unit 110 or the downstream, and another substrate transport apparatus connected downstream. And an upstream input unit 151 and an upstream output unit 152 that input and output signals between the downstream output unit 142 and other substrate transfer apparatuses connected upstream, and a control unit 160 that controls the transfer unit 130 and the like. I have.

本実施の形態における基板搬送装置１００は、生産ラインＬが構成されたときに、その生産ラインＬにおける基板１の搬送時間が長くなるのを防ぎつつ、その生産ラインＬのレイアウトを容易に変更することができる点に特徴がある。 When the production line L is configured, the substrate transfer apparatus 100 according to the present embodiment easily changes the layout of the production line L while preventing an increase in the transfer time of the substrate 1 in the production line L. There is a feature in that it can.

作業部１１０は、例えば液晶パネルの基板１にＡＣＦを貼り付けたり、その基板１にＴＣＰを仮圧着又は本圧着したりするといった作業を行う。そして、作業部１１０は、作業が行われているか、又は完了しているかといった作業状況を示す作業状況信号を制御部１６０に出力する。 The working unit 110 performs, for example, operations such as attaching an ACF to the substrate 1 of the liquid crystal panel, or temporarily bonding or main-bonding TCP to the substrate 1. Then, the work unit 110 outputs a work status signal indicating a work status such as whether the work is being performed or completed to the control unit 160.

搬送部１３０は、基板１を載せるための円盤１３１を有し、制御部１６０からの制御に応じてその円盤１３１を移動させることで、その円盤１３１に載せられた基板１を搬送する。具体的に、搬送部１３０は、基板受け部１２０にある基板１をその円盤１３１に載せ変えて吸着させる。そして、搬送部１３０は、円盤１３１を基板１に沿った方向に移動させることで、円盤１３１に載置された基板１を作業部１１０に搬送する。作業部１１０で基板１に対する作業が完了すると、搬送部１３０は、円盤１３１を移動させることで、その基板１を下流に搬送する。即ち、基板搬送装置１００よりも下流に他の基板搬送装置が接続されていれば、搬送部１３０は、その他の基板搬送装置の基板受け部に基板１を搬送し、基板搬送装置１００よりも下流に他の基板搬送装置が接続されていなければ、搬送部１３０は、生産ラインＬ外に基板１を搬送する。 The transport unit 130 includes a disk 131 for placing the substrate 1, and transports the substrate 1 placed on the disk 131 by moving the disk 131 in accordance with control from the control unit 160. Specifically, the transport unit 130 places the substrate 1 in the substrate receiving unit 120 on the disk 131 and sucks it. Then, the transport unit 130 transports the substrate 1 placed on the disk 131 to the working unit 110 by moving the disk 131 in the direction along the substrate 1. When the work on the substrate 1 is completed in the working unit 110, the transport unit 130 transports the substrate 1 downstream by moving the disk 131. That is, if another substrate transport apparatus is connected downstream from the substrate transport apparatus 100, the transport unit 130 transports the substrate 1 to the substrate receiving part of the other substrate transport apparatus and is downstream from the substrate transport apparatus 100. If no other substrate transfer device is connected to the substrate, the transfer unit 130 transfers the substrate 1 outside the production line L.

下流入力部１４１は、下流に接続される他の基板搬送装置から、その下流の基板搬送装置での作業が完了していることを、ＯＮの状態で知らせる作業完了信号と、下流の基板搬送装置が稼動中であることを、ＯＮの状態で知らせる稼動中信号とを取得する。 The downstream input unit 141 includes an operation completion signal informing that the operation of the downstream substrate transfer apparatus is completed from another substrate transfer apparatus connected downstream, and a downstream substrate transfer apparatus. And an in-operation signal informing that it is in an ON state.

下流出力部１４２は、制御部１６０からの制御に応じて、同期した動作を開始する旨を知らせる内容の同期信号と、基板搬送装置１００が稼働中であることを、ＯＮの状態で知らせる稼働中信号とを、下流に接続される他の基板搬送装置に出力する。 In response to control from the control unit 160, the downstream output unit 142 is operating to notify the synchronization signal indicating that the synchronized operation is to be started and the substrate transfer apparatus 100 is operating in an ON state. The signal is output to another substrate transfer device connected downstream.

上流入力部１５１は、上流に接続される他の基板搬送装置から、上述と同様の同期信号と、その上流の基板搬送装置が稼働中であることを、ＯＮの状態で知らせる稼働中信号とを取得する。 The upstream input unit 151 receives a synchronization signal similar to that described above from another substrate transfer device connected upstream, and an operating signal informing that the upstream substrate transfer device is operating in an ON state. get.

上流出力部１５２は、制御部１６０からの制御に応じて、作業部１１０での作業が完了したことを、ＯＮの状態で知らせる作業完了信号と、基板搬送装置１００が稼働中であることを、ＯＮの状態で知らせる稼働中信号とを、上流に接続される他の基板搬送装置に出力する。 In response to control from the control unit 160, the upstream output unit 152 indicates that the work in the work unit 110 has been completed in an ON state, and that the substrate transfer apparatus 100 is in operation. An operating signal informed in the ON state is output to another substrate transfer apparatus connected upstream.

制御部１６０は、作業部１１０からの作業状況信号に基づいて、作業部１１０での作業の完了を検知する作業完了検知部１６１と、基板搬送装置１００が生産ラインＬの最上流、中流、及び最下流のうち何れの位置にあるかを特定する位置特定部１６２と、上流に接続される他の基板搬送装置に、作業の完了を通知する作業完了通知部１６３と、下流出力部１４２を制御して同期信号を下流に出力させる同期信号伝送部１６４と、同期信号の入出力に基づいて搬送部１３０に基板１を搬送させる搬送制御部１６５とを備えている。 The control unit 160 includes a work completion detection unit 161 that detects the completion of work in the work unit 110 based on a work status signal from the work unit 110, and the substrate transport apparatus 100 is connected to the most upstream, middle stream, and Controls a position specifying unit 162 that specifies which position is the most downstream, a work completion notifying unit 163 that notifies other substrate transfer apparatuses connected upstream, and a downstream output unit 142. Then, a synchronization signal transmission unit 164 that outputs the synchronization signal downstream, and a conveyance control unit 165 that conveys the substrate 1 to the conveyance unit 130 based on the input and output of the synchronization signal are provided.

制御部１６０の位置特定部１６２は、下流入力部１４１及び上流入力部１５１で取得された稼動中信号に基づいて、生産ラインＬにおける基板搬送装置１００の位置が最上流、中流、及び最下流の何れであるかを特定する。 The position specifying unit 162 of the control unit 160 determines whether the position of the substrate transfer apparatus 100 in the production line L is the most upstream, middle, or most downstream based on the operating signal acquired by the downstream input unit 141 and the upstream input unit 151. Specify which one.

即ち、位置特定部１６２は、下流及び上流の基板搬送装置からの稼動中信号がＯＮのときには、基板搬送装置１００の位置が中流であること、即ち基板搬送装置１００が上述の第１中流機１０２又は第２中流機１０３であることを特定する。また、位置特定部１６２は、下流の基板搬送装置からの稼働中信号のみがＯＮのときには、基板搬送装置１００の位置が最上流であること、即ち基板搬送装置１００が上述の最上流機１０１であることを特定する。さらに、位置特定部１６２は、上流の基板搬送装置からの稼働中信号のみがＯＮのときには、基板搬送装置１００の位置が最下流であること、即ち基板搬送装置１００が上述の最下流機１０４であることを特定する。また、位置特定部１６２は、下流及び上流の基板搬送装置からの稼働中信号がＯＦＦのときには、基板搬送装置１００が他の基板搬送装置と接続されていない単独機であることを特定する。 That is, the position specifying unit 162 determines that the position of the substrate transfer apparatus 100 is in the middle stream when the operation signal from the downstream and upstream substrate transfer apparatuses is ON, that is, the substrate transfer apparatus 100 is in the above-described first middle flow machine 102. Alternatively, the second middle-stream machine 103 is specified. Further, when only the operating signal from the downstream substrate transfer apparatus is ON, the position specifying unit 162 indicates that the position of the substrate transfer apparatus 100 is the most upstream, that is, the substrate transfer apparatus 100 is the most upstream machine 101 described above. Identify that there is. Further, when only the operating signal from the upstream substrate transfer device is ON, the position specifying unit 162 indicates that the position of the substrate transfer device 100 is the most downstream, that is, the substrate transfer device 100 is the most downstream machine 104 described above. Identify that there is. In addition, when the operating signal from the downstream and upstream substrate transfer apparatuses is OFF, the position specifying unit 162 specifies that the substrate transfer apparatus 100 is a single machine that is not connected to another substrate transfer apparatus.

制御部１６０の作業完了通知部１６３は、位置特定部１６２で特定された位置が最下流である場合には、作業完了検知部１６１で作業の完了が検知された後に、上流出力部１５２から出力される作業完了信号をＯＮにする。また、作業完了通知部１６３は、位置特定部１６２で特定された位置が中流である場合には、作業完了検知部１６１で作業の完了が検知された後に、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであることを確認した上で、上流出力部１５２から出力される作業完了信号をＯＮにする。これにより、基板搬送装置１００から上流の他の基板搬送装置に対して作業の完了が通知される。 When the position specified by the position specifying unit 162 is the most downstream, the work completion notification unit 163 of the control unit 160 outputs from the upstream output unit 152 after the completion of the operation is detected by the work completion detection unit 161. The work completion signal to be turned on is turned ON. In addition, when the position specified by the position specifying unit 162 is in the middle position, the work completion notifying unit 163 can obtain the work acquired by the downstream input unit 141 after the work completion detecting unit 161 detects the completion of the work. After confirming that the completion signal is ON, the work completion signal output from the upstream output unit 152 is turned ON. Thereby, the completion of the work is notified from the substrate transport apparatus 100 to the other substrate transport apparatuses upstream.

制御部１６０の同期信号伝送部１６４は、位置特定部１６２で特定された位置が最上流である場合には、作業完了検知部１６１で作業の完了が検知された後に、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであることを確認した上で、同期信号を下流出力部１４２から下流に出力させる。また、同期信号伝送部１６４は、位置特定部１６２で特定された位置が中流である場合には、上流からの同期信号が上流入力部１５１に取得されると、同期信号を下流出力部１４２から下流に出力させる。これにより、基板搬送装置１００から下流の他の基板搬送装置に対して同期信号が伝送される。 When the position specified by the position specifying unit 162 is the most upstream position, the synchronization signal transmission unit 164 of the control unit 160 is acquired by the downstream input unit 141 after the completion of the operation is detected by the operation completion detection unit 161. After confirming that the work completion signal to be performed is ON, a synchronization signal is output downstream from the downstream output unit 142. In addition, when the position specified by the position specifying unit 162 is the middle stream, the synchronization signal transmission unit 164 receives the synchronization signal from the downstream output unit 142 when the synchronization signal from the upstream is acquired by the upstream input unit 151. Output downstream. As a result, the synchronization signal is transmitted from the substrate transport apparatus 100 to another substrate transport apparatus downstream.

制御部１６０の搬送制御部１６５は、位置特定部１６２で特定された位置が最上流又は中流である場合には、前記同期信号伝送部１６４により同期信号が下流に出力された後に、搬送部１３０に基板１を下流に搬送させる。また、搬送制御部１６５は、位置特定部１６２で特定された位置が最下流である場合には、上流からの同期信号が上流入力部１５１で取得された後に、搬送部１３０に基板１を下流に搬送させる。 When the position specified by the position specifying unit 162 is the most upstream or middle stream, the transfer control unit 165 of the control unit 160 outputs the synchronization signal downstream by the synchronization signal transmission unit 164 and then transfers the transfer unit 130. The substrate 1 is transported downstream. In addition, when the position specified by the position specifying unit 162 is the most downstream, the transfer control unit 165 moves the substrate 1 downstream to the transfer unit 130 after the synchronization signal from the upstream is acquired by the upstream input unit 151. To transport.

図３は、制御部１６０の動作を示すフロー図である。
制御部１６０は、作業部１１０から出力される作業状況信号に基づいて、作業部１１０での作業が完了したことを検知すると（ステップＳ１００）、基板搬送装置１００の位置が最上流、中流、及び最下流の何れであるかを特定する（ステップＳ１０２）。 FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the control unit 160.
When the control unit 160 detects that the work in the work unit 110 is completed based on the work status signal output from the work unit 110 (step S100), the position of the substrate transport apparatus 100 is the most upstream, middle stream, and Which is the most downstream is identified (step S102).

制御部１６０は、ステップＳ１０２で基板搬送装置１００の位置が最上流であることを特定すると、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであるか否かを判別する（ステップＳ１０４）。ここで、作業完了信号がＯＦＦであると判別したときには（ステップＳ１０４のＮ）、制御部１６０は、作業完了信号がＯＮとなるまで待機する（ステップＳ１０６）。一方、作業完了信号がＯＮであると判別したときには（ステップＳ１０４のＹ）、下流出力部１４２から同期信号を出力させる（ステップＳ１０８）。そして、制御部１６０は、搬送部１３０の円盤１３１が基板搬送装置１００の下流側に移動するように搬送部１３０を制御することで、作業部１１０から下流の基板搬送装置の基板受け部に基板１を搬送させる（ステップＳ１１０）。 When determining that the position of the substrate transport apparatus 100 is the most upstream in step S102, the control unit 160 determines whether or not the work completion signal acquired by the downstream input unit 141 is ON (step S104). When it is determined that the work completion signal is OFF (N in step S104), the control unit 160 waits until the work completion signal is turned on (step S106). On the other hand, when it is determined that the work completion signal is ON (Y in step S104), a synchronization signal is output from the downstream output unit 142 (step S108). Then, the control unit 160 controls the transport unit 130 so that the disk 131 of the transport unit 130 moves to the downstream side of the substrate transport apparatus 100, so that the substrate is transferred from the working unit 110 to the substrate receiving unit of the downstream substrate transport apparatus. 1 is conveyed (step S110).

また、ステップＳ１０２で基板搬送装置１００の位置が中流であることを特定すると、制御部１６０は、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであるか否かを判別する（ステップＳ１１２）。ここで、作業完了信号がＯＦＦであると判別したときには（ステップＳ１１２のＮ）、制御部１６０は、作業完了信号がＯＮとなるまで待機する（ステップＳ１１４）。一方、作業完了信号がＯＮであると判別したときには（ステップＳ１１２のＹ）、制御部１６０は、上流出力部１５２から出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ１１６）。さらに、制御部１６０は、上流からの同期信号が上流入力部１５１で取得されたか否かを判別する（ステップＳ１１８）。ここで、同期信号が取得されていないと判別したときには（ステップＳ１１８のＮ）、制御部１６０は、同期信号が取得されるまで待機する（ステップＳ１２０）。一方、同期信号が取得されたと判別したときには（ステップＳ１１８のＹ）、制御部１６０は、下流出力部１４２から同期信号を出力させる（ステップＳ１２２）。そして、制御部１６０は、搬送部１３０の円盤１３１が基板搬送装置１００の下流に移動するように搬送部１３０を制御することで、作業部１１０から下流側の基板搬送装置の基板受け部に基板１を搬送させる（ステップＳ１１０）。 If it is determined in step S102 that the substrate transport apparatus 100 is in the middle position, the control unit 160 determines whether the work completion signal acquired by the downstream input unit 141 is ON (step S112). . When it is determined that the work completion signal is OFF (N in step S112), the control unit 160 waits until the work completion signal is turned on (step S114). On the other hand, when it is determined that the work completion signal is ON (Y in step S112), the control unit 160 turns on the work completion signal output from the upstream output unit 152 (step S116). Further, the control unit 160 determines whether or not a synchronization signal from the upstream is acquired by the upstream input unit 151 (step S118). Here, when it is determined that the synchronization signal is not acquired (N in Step S118), the control unit 160 waits until the synchronization signal is acquired (Step S120). On the other hand, when determining that the synchronization signal has been acquired (Y in step S118), the control unit 160 causes the downstream output unit 142 to output the synchronization signal (step S122). Then, the control unit 160 controls the transfer unit 130 so that the disk 131 of the transfer unit 130 moves downstream of the substrate transfer apparatus 100, so that the substrate is placed on the substrate receiving unit of the substrate transfer apparatus downstream from the working unit 110. 1 is conveyed (step S110).

また、ステップＳ１０２で基板搬送装置１００の位置が最下流であることを特定すると、制御部１６０は、上流出力部１５２から出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ１２４）。そして、制御部１６０は、上流からの同期信号が上流入力部１５１で取得されたか否かを判別する（ステップＳ１２６）。ここで、同期信号が取得されていないと判別したときには（ステップＳ１２６のＮ）、制御部１６０は、同期信号が取得されるまで待機する（ステップＳ１２８）。一方、同期信号が取得されたと判別したときには（ステップＳ１２６のＹ）、制御部１６０は、搬送部１３０の円盤１３１が基板搬送装置１００の下流側に移動するように搬送部１３０を制御することで、作業部１１０から下流の生産ラインＬ外に基板１を搬送させる（ステップＳ１１０）。 If it is determined in step S102 that the position of the substrate transport apparatus 100 is the most downstream, the control unit 160 turns on the work completion signal output from the upstream output unit 152 (step S124). And the control part 160 discriminate | determines whether the synchronizing signal from upstream was acquired by the upstream input part 151 (step S126). Here, when it is determined that the synchronization signal has not been acquired (N in step S126), the control unit 160 waits until the synchronization signal is acquired (step S128). On the other hand, when determining that the synchronization signal has been acquired (Y in step S126), the control unit 160 controls the transport unit 130 so that the disk 131 of the transport unit 130 moves to the downstream side of the substrate transport apparatus 100. Then, the substrate 1 is transported out of the production line L downstream from the working unit 110 (step S110).

図４は、生産ラインＬに含まれる各基板搬送装置１００の動作の一例を示すシーケンス図である。
例えば、最上流機１０１、第１中流機１０２、第２中流機１０３、及び最下流機１０４は、それぞれに搬送された基板１に対して作業を開始する（ステップＳ２００）。 FIG. 4 is a sequence diagram showing an example of the operation of each substrate transfer apparatus 100 included in the production line L.
For example, the most upstream machine 101, the first middle stream machine 102, the second middle stream machine 103, and the most downstream machine 104 start work on the substrates 1 transferred to each of them (step S200).

最上流機１０１は、例えば他の基板搬送装置に比べて最も早く作業を完了する（ステップＳ２０２）。しかし、第１中流機１０２から出力される作業完了信号がＯＦＦであるため、最上流機１０１は、その作業完了信号がＯＮとなるまで待機する。 The most upstream machine 101 completes the work earliest compared to, for example, other substrate transfer apparatuses (step S202). However, since the work completion signal output from the first middle flow machine 102 is OFF, the most upstream machine 101 waits until the work completion signal is turned ON.

最下流機１０４は、最上流機１０１の次に早く作業を完了する（ステップＳ２０４）。そこで、最下流機１０４は、第２中流機１０３に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ２０６）。第２中流機１０３は、最下流機１０４から出力される作業完了信号がＯＮの状態となるが、第２中流機１０３での作業が完了していないため、その作業を継続して行う。 The most downstream machine 104 completes the work immediately after the most upstream machine 101 (step S204). Therefore, the most downstream machine 104 turns on the work completion signal output to the second intermediate machine 103 (step S206). Although the work completion signal output from the most downstream machine 104 is in the ON state, the second intermediate machine 103 continues the work because the work in the second intermediate machine 103 is not completed.

第１中流機１０２は、最下流機１０４の次に作業を完了する（ステップＳ２０８）。しかし、第２中流機１０３から出力される作業完了信号がＯＦＦであるため、第１中流機１０２は、その作業完了信号がＯＮとなるまで待機する。 The first midstream machine 102 completes the work next to the most downstream machine 104 (step S208). However, since the work completion signal output from the second intermediate machine 103 is OFF, the first intermediate machine 102 waits until the work completion signal is turned ON.

そして最後に第２中流機１０３が作業を完了すると（ステップＳ２１０）、第２中流機１０３は、最下流機１０４からの作業完了信号がＯＮになっていることを確認して、第１中流機１０２に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ２１２）。 Finally, when the second middle stream machine 103 completes the work (step S210), the second middle stream machine 103 confirms that the work completion signal from the most downstream machine 104 is ON, and the first middle stream machine 103 The work completion signal output to 102 is turned on (step S212).

第１中流機１０２は、既に作業が完了しているため、第２中流機１０３から出力される作業完了信号がＯＮになったのを確認すると、最上流機１０１に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ２１４）。 Since the first middle-stream machine 102 has already completed the work, when it is confirmed that the work completion signal output from the second middle-stream machine 103 is ON, the work completion signal output to the most upstream machine 101 is output. Turn on (step S214).

最上流機１０１は、既に作業が完了しているため、第１中流機１０２から出力される作業完了信号がＯＮになったのを確認すると、同期信号を第１中流機１０２に出力する（ステップＳ２１６）。 Since the most upstream machine 101 has already completed the work, when it is confirmed that the work completion signal output from the first middle stream machine 102 is turned ON, a synchronization signal is output to the first middle stream machine 102 (step). S216).

第１中流機１０２は、最上流機１０１から同期信号を取得すると、第２中流機１０３に対して同期信号を出力する（ステップＳ２１８）。
第２中流機１０３は、第１中流機１０２から同期信号を取得すると、最下流機１０４に対して同期信号を出力する（ステップＳ２２０）。 When acquiring the synchronization signal from the most upstream machine 101, the first intermediate machine 102 outputs the synchronization signal to the second intermediate machine 103 (step S218).
When obtaining the synchronization signal from the first middle stream machine 102, the second middle stream machine 103 outputs the synchronization signal to the most downstream machine 104 (step S220).

このような同期信号の伝送が行われた後、その同期信号を合図に、最上流機１０１は第１中流機１０２に、第１中流機１０２は第２中流機１０３に、第２中流機１０３は最下流機１０４に、最下流機１０４は生産ラインＬ外に、それぞれ基板１を搬送する（ステップＳ２２２）。 After such a synchronization signal is transmitted, the most upstream machine 101 is sent to the first middle machine 102, the first middle machine 102 is sent to the second middle machine 103, and the second middle machine 103 is sent as a signal. Transports the substrate 1 to the most downstream machine 104 and the most downstream machine 104 outside the production line L (step S222).

図５は、生産ラインＬにおける作業完了信号及び同期信号の流れを模式的に示す図である。
作業完了信号は、図５に示すように、最下流機１０４から最上流機１０１まで、各基板搬送装置１００での作業完了を条件に上流に伝達される。即ち、互いに接続する２つの基板搬送装置１００間において、下流の基板搬送装置１００での作業が完了し、且つ、その下流の基板搬送装置１００よりもさらに下流の基板搬送装置１００がある場合にはそのさらに下流の基板搬送装置１００での作業が完了しているときに、下流の基板搬送装置１００から上流の基板搬送装置１００にＯＮの作業完了信号が出力される。 FIG. 5 is a diagram schematically illustrating the flow of the work completion signal and the synchronization signal in the production line L.
As shown in FIG. 5, the work completion signal is transmitted upstream from the most downstream machine 104 to the most upstream machine 101 on condition that the work in each substrate transport apparatus 100 is completed. That is, when the operation of the downstream substrate transfer apparatus 100 is completed between the two substrate transfer apparatuses 100 connected to each other and there is a substrate transfer apparatus 100 further downstream than the downstream substrate transfer apparatus 100. When the operation in the further downstream substrate transfer apparatus 100 is completed, an ON operation completion signal is output from the downstream substrate transfer apparatus 100 to the upstream substrate transfer apparatus 100.

その後、同期信号は、最上流機１０１から最下流機１０４まで、２つの基板搬送装置１００間で伝送される。即ち、ＯＮの作業完了信号が最上流機１０１にまで伝達され、且つ最上流機１０１での作業が完了すると、全ての基板搬送装置１００での作業が完了したこととなる。そして、最上流機１０１から最下流機１０４まで、互いに接続する２つの基板搬送装置１００間ごとに、同期信号が上流の基板搬送装置１００から下流の基板搬送装置１００に伝送される。この同期信号を合図に、各基板搬送装置１００は基板を下流に搬送する。 Thereafter, the synchronization signal is transmitted between the two substrate transfer apparatuses 100 from the most upstream machine 101 to the most downstream machine 104. That is, when the work completion signal of ON is transmitted to the most upstream machine 101 and the work in the most upstream machine 101 is completed, the work in all the substrate transfer apparatuses 100 is completed. A synchronization signal is transmitted from the upstream substrate transport apparatus 100 to the downstream substrate transport apparatus 100 for each of the two substrate transport apparatuses 100 connected to each other from the most upstream apparatus 101 to the most downstream apparatus 104. In response to this synchronization signal, each substrate transport apparatus 100 transports the substrate downstream.

このように本実施の形態では、全ての基板搬送装置１００での作業完了後に、同期信号を合図に全ての基板搬送装置１００が基板１を下流に搬送するため、基板１の搬送を各基板搬送装置１００で同期を取り、同時に基板１を下流に搬送することができる。その結果、生産ラインＬにおける基板１の作業時間及び搬送時間が長くなるのを防ぐことができる。 As described above, in this embodiment, after all the operations of the substrate transfer apparatuses 100 are completed, all the substrate transfer apparatuses 100 transfer the substrate 1 downstream with the synchronization signal as a cue. The apparatus 100 can synchronize and simultaneously transport the substrate 1 downstream. As a result, it is possible to prevent the working time and transport time of the substrate 1 in the production line L from becoming long.

ここで、本実施の形態における基板搬送装置１００は、図１及び図５に示す生産ラインＬのレイアウトを容易に変更することができる。 Here, the substrate transfer apparatus 100 according to the present embodiment can easily change the layout of the production line L shown in FIGS. 1 and 5.

図６は、４つの基板搬送装置１００のレイアウトが変更された状態を示す図である。 FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which the layouts of the four substrate transfer apparatuses 100 are changed.

生産ラインＬは、例えばそれぞれ２つの基板搬送装置１００から構成される２つの生産ラインＬＡ，ＬＢに分割される。
このようにレイアウトが変更されると、各基板搬送装置１００は、上流及び下流の稼動中信号のＯＮ又はＯＦＦの状態に基づき、生産ラインＬＡ，ＬＢにおける自らの位置が最上流、中流、及び最下流の何れであるかを特定する。具体的に、生産ラインＬにおける第１中流機であった基板搬送装置１００の制御部１６０は、稼動中信号の状態に基づき、最下流であることを特定し、生産ラインＬにおける第２中流機であった基板搬送装置１００の制御部１６０は、稼働中信号の状態に基づき、最上流であることを特定する。その結果、各生産ラインＬＡ，ＬＢでは、元の生産ラインＬと同様、作業完了信号及び同期信号が各基板搬送装置１００間で伝達され、生産ラインＬＡ，ＬＢごとに各基板搬送装置１００が同時に基板１を下流に搬送する。 The production line L is divided into, for example, two production lines LA and LB each including two substrate transfer apparatuses 100.
When the layout is changed in this way, each substrate transport apparatus 100 has its own position in the production lines LA and LB in the most upstream, middle, and most upstream positions based on the ON / OFF state of the upstream and downstream operating signals. Specify which is downstream. Specifically, the control unit 160 of the substrate transfer apparatus 100 that was the first middle-stream machine in the production line L specifies that it is the most downstream based on the state of the operating signal, and the second middle-stream machine in the production line L. The control unit 160 of the substrate transfer apparatus 100 identifies the most upstream based on the state of the operating signal. As a result, in each of the production lines LA and LB, as in the original production line L, the work completion signal and the synchronization signal are transmitted between the substrate transfer apparatuses 100, and each substrate transfer apparatus 100 is simultaneously transmitted for each of the production lines LA and LB. The substrate 1 is transported downstream.

即ち、本実施の形態では、制御部１６０の制御内容を変更することなく、複数の基板搬送装置１００のレイアウトを容易に変更することができる。
また、このような独立した２つの非同期の生産ラインＬＡ，ＬＢを互いに接続して元の生産ラインＬを構成したときには、上述と同様、各基板搬送装置１００は自らの生産ラインＬにおける位置を特定してその位置に応じた動作を行うため、各基板搬送装置１００の制御部１６０の制御内容を変更することなく、４つの基板搬送装置１００は再び同期して基板１を下流に搬送する。 That is, in this embodiment, the layout of the plurality of substrate transfer apparatuses 100 can be easily changed without changing the control content of the control unit 160.
Also, when the original production line L is configured by connecting these two independent asynchronous production lines LA and LB to each other, each substrate transport apparatus 100 specifies the position in its own production line L as described above. In order to perform an operation corresponding to the position, the four substrate transfer apparatuses 100 transfer the substrate 1 downstream in synchronization again without changing the control content of the control unit 160 of each substrate transfer apparatus 100.

さらに、生産ラインＬに基板搬送装置１００をもう一つ接続して新たな生産ラインを構成するような場合であっても、制御内容を変更することなくその新たな生産ラインを構成することができる。また、基板搬送装置１００を単独で動作させることもできる。 Further, even when another substrate transport apparatus 100 is connected to the production line L to form a new production line, the new production line can be configured without changing the control content. . Further, the substrate transfer apparatus 100 can be operated alone.

（変形例１）
ここで、本実施の形態における基板搬送装置１００の変形例について説明する。
本変形例に係る基板搬送装置は、同期信号を出力又は取得することなく基板１を下流に搬送する。つまり、本変形例に係る基板搬送装置の制御部１６０は、同期信号伝送部１６４を備えていない。 (Modification 1)
Here, a modified example of the substrate transfer apparatus 100 in the present embodiment will be described.
The substrate transfer apparatus according to this modification transfers the substrate 1 downstream without outputting or acquiring a synchronization signal. That is, the control unit 160 of the substrate transport apparatus according to this modification does not include the synchronization signal transmission unit 164.

具体的に、制御部の搬送制御部は、位置特定部１６２で特定された位置が中流又は最下流である場合には、作業完了通知部１６３により上流出力部１５２からＯＮの作業完了信号が出力された後に、搬送部１３０に基板１を下流に搬送させる。また、搬送制御部は、位置特定部１６２で特定された位置が最上流である場合には、作業完了検知部１６１で作業完了が検知された後に、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであることを確認した上で、搬送部１３０に基板１を下流に搬送させる。 Specifically, the conveyance control unit of the control unit outputs an ON work completion signal from the upstream output unit 152 by the work completion notification unit 163 when the position specified by the position specifying unit 162 is the middle stream or the most downstream. Then, the substrate 1 is transferred downstream by the transfer unit 130. In addition, when the position specified by the position specifying unit 162 is the most upstream, the transfer control unit receives a work completion signal acquired by the downstream input unit 141 after the completion of the operation is detected by the work completion detection unit 161. Is confirmed to be ON, the substrate 1 is transferred downstream by the transfer unit 130.

即ち、中流及び最下流の基板搬送装置は、上流にＯＮの作業完了信号を出力した後に、基板１を下流に搬送し、最上流の基板搬送装置は、自らの作業が完了して、下流の作業完了を確認した上で、基板１を下流に搬送する。 That is, the middle stream and the most downstream substrate transport apparatus output the upstream operation completion signal, and then transport the substrate 1 downstream. The most upstream substrate transport apparatus completes its own work, and the downstream process is completed. After confirming the completion of the work, the substrate 1 is transported downstream.

例えば、生産ラインＬにおいて、最下流機から上流の基板搬送装置へと順に最上流機にまでＯＮの作業完了信号が出力されて、最上流機での作業が完了しているときには、生産ラインＬの全ての基板搬送装置は、作業完了信号の入出力を合図に基板１を下流に搬送する。その結果、上記実施の形態と同様に、全ての基板搬送装置で基板１の搬送に同期を取ることができる。 For example, in the production line L, when the work completion signal of ON is output in order from the most downstream machine to the upstream substrate transfer apparatus to the most upstream machine, and the work in the most upstream machine is completed, the production line L All of the substrate transfer apparatuses 1 transfer the substrate 1 downstream with an input / output of a work completion signal as a cue. As a result, similar to the above-described embodiment, it is possible to synchronize the transfer of the substrate 1 with all the substrate transfer apparatuses.

また、最下流機から第２中流機に、さらに第２中流機から第１中流機に、ＯＮの作業完了信号が出力され、第１中流機が作業中であるときには、ＯＮの作業完了信号はその第１中流機から最上流機には出力されないこととなる。 Further, an ON work completion signal is output from the most downstream machine to the second intermediate machine, and further from the second intermediate machine to the first intermediate machine, and when the first intermediate machine is working, the ON work completion signal is The first middle stream machine will not output to the most upstream machine.

ここで、本変形例では、上述のように第１中流機及び最下流機は、上流にＯＮの作業完了信号を出力した後に基板１を下流に搬送するため、第１中流機及び最下流機で基板１の搬送に同期を取ることができる。 Here, in the present modified example, as described above, the first middle stream machine and the most downstream machine transfer the substrate 1 downstream after outputting the upstream operation completion signal to the upstream side. Thus, synchronization with the conveyance of the substrate 1 can be achieved.

図７は、本変形例に係る生産ラインＬに含まれる各基板搬送装置の動作の一例を示すシーケンス図である。
例えば、最上流機、第１中流機、第２中流機、及び最下流機は、それぞれに搬送された基板１に対して作業を開始する（ステップＳ３００）。 FIG. 7 is a sequence diagram showing an example of the operation of each substrate transfer apparatus included in the production line L according to this modification.
For example, the most upstream machine, the first middle stream machine, the second middle stream machine, and the most downstream machine start work on the substrate 1 transported to each of them (step S300).

第２中流機は、他の基板搬送装置に比べて最も早く作業を完了する（ステップＳ３０２）。しかし、最下流機から出力される作業完了信号がＯＦＦであるため、第２中流機は、その作業完了信号がＯＮとなるまで待機する。 The second midstream machine completes the work earliest compared to other substrate transfer apparatuses (step S302). However, since the work completion signal output from the most downstream machine is OFF, the second midstream machine waits until the work completion signal is turned ON.

最下流機は、第２中流機の次に早く作業を完了する（ステップＳ３０４）。そこで、最下流機は、第２中流機に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ３０６）。
第２中流機は、既に作業が完了しているため、最下流機から出力される作業完了信号がＯＮになったのを確認すると、第１中流機に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ３０８）。第１中流機は、第２中流機から出力される作業完了信号がＯＮの状態となるが、第１中流機での作業が完了していないため、その作業を継続して行う。 The most downstream machine completes the work immediately after the second middle-stream machine (step S304). Therefore, the most downstream machine turns ON the work completion signal output to the second intermediate machine (step S306).
Since the second intermediate machine has already completed the work, when it is confirmed that the work completion signal output from the most downstream machine is turned ON, the work completion signal output to the first intermediate machine is turned ON. (Step S308). Although the work completion signal output from the second middle-stream machine is in the ON state, the first middle-stream machine continues to perform the work because the work in the first middle-stream machine has not been completed.

ここで、ステップＳ３０６及びステップＳ３０８で作業完了信号がＯＮになったことにより、第２中流機及び最下流機は、それぞれ基板１を下流に搬送する（ステップＳ３１０）。即ち、ステップＳ３０６及びステップＳ３０８での動作は、基板の搬送と比べて極めて短時間に行われるため、第２中流機及び最下流機による基板１の搬送は、同期して行われる。 Here, when the work completion signal is turned ON in step S306 and step S308, the second middle-stream machine and the most downstream machine respectively transport the substrate 1 downstream (step S310). That is, since the operations in step S306 and step S308 are performed in a very short time compared with the transport of the substrate, the transport of the substrate 1 by the second middle stream machine and the most downstream machine is performed in synchronization.

次に、最上流機は作業を完了し（ステップＳ３１２）、第１中流機からの作業完了信号がＯＮとなるまで待機する。そして、第１中流機が作業を完了し（ステップＳ３１４）、第２中流機からの作業完了信号がＯＮとなっていることを確認した上で、最上流機に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ３１６）。 Next, the most upstream machine completes the work (step S312) and waits until the work completion signal from the first middle stream machine turns ON. Then, after the first middle-stream machine completes the work (step S314) and confirms that the work completion signal from the second middle-stream machine is ON, the work completion signal output to the most upstream machine is turned on. (Step S316).

このように作業完了信号がＯＮになったことにより、最上流機及び第１中流機は、それぞれ基板１を下流に搬送する（ステップＳ３１８）。このとき、上述と同様に、最上流機及び第１中流機による基板１の搬送は、同期して行われる。 As the work completion signal is turned on in this way, the most upstream machine and the first intermediate machine each transfer the substrate 1 downstream (step S318). At this time, similarly to the above, the conveyance of the substrate 1 by the most upstream machine and the first middle machine is performed synchronously.

また、このような本変形例に係る基板搬送装置は、上述の基板搬送装置１００と同様に、自らが生産ラインのどの位置にあるかを特定してその位置に応じた動作を行うため、生産ラインのレイアウトを容易に変更することができる。 In addition, the substrate transfer apparatus according to this modification example, like the above-described substrate transfer apparatus 100, specifies the position on the production line and performs an operation according to the position. The line layout can be easily changed.

以上、本発明に係る基板搬送装置やその動作方法について実施の形態及び変形例を用いて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、本実施の形態及び変形例の基板搬送装置では、液晶パネルを基板として扱ったが、他の基板であっても良いことは言うまでもない。 As described above, the substrate transfer apparatus and the operation method thereof according to the present invention have been described using the embodiment and the modification, but the present invention is not limited to these.
For example, in the substrate transfer apparatus of the present embodiment and the modified example, the liquid crystal panel is handled as the substrate, but it goes without saying that another substrate may be used.

また、本実施の形態及び変形例の基板搬送装置では、作業が完了してから、下流に同期信号を出力するまで、又は上流に対する作業完了信号をＯＮにするまで、作業完了後の基板を作業部１１０で待機させておいたが、その間に、作業部から下流の他の基板搬送装置の基板受け部付近に移動させておいても良い。 Further, in the substrate transfer apparatus of the present embodiment and the modified example, after the work is completed, the work is performed on the substrate after the work is completed until the synchronization signal is output downstream or the work completion signal for the upstream is turned ON. Although it was made to stand by in the part 110, in the meantime, you may move to the board | substrate receiving part vicinity of the other board | substrate conveyance apparatus downstream from a working part.

本発明の基板搬送方法は、基板の搬送時間が長くなるのを防ぎつつ、設備のレイアウトを容易に変更することができるという効果を有し、例えば基板に部品を実装するための装置や、その装置を複数接続して構成される生産ラインなどに適用することができる。 The board transfer method of the present invention has an effect that the layout of the equipment can be easily changed while preventing the board transfer time from becoming long, for example, an apparatus for mounting components on a board, The present invention can be applied to a production line configured by connecting a plurality of devices.

本発明の実施の形態における基板搬送装置を用いて生産ラインが構成された状態を示す図である。It is a figure which shows the state by which the production line was comprised using the board | substrate conveyance apparatus in embodiment of this invention. 同上の基板搬送装置の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of a board | substrate conveyance apparatus same as the above. 同上の制御部の動作を示すフロー図である。It is a flowchart which shows operation | movement of a control part same as the above. 同上の生産ラインに含まれる各基板搬送装置の動作の一例を示すシーケンス図である。It is a sequence diagram which shows an example of operation | movement of each board | substrate conveyance apparatus contained in a production line same as the above. 同上の生産ラインにおける作業完了信号及び同期信号の流れを模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the flow of the work completion signal and synchronous signal in a production line same as the above. 同上の４つの基板搬送装置のレイアウトが変更された状態を示す図である。It is a figure which shows the state from which the layout of four board | substrate conveyance apparatuses same as the above was changed. 同上の変形例に係る生産ラインに含まれる各基板搬送装置の動作の一例を示すシーケンス図である。It is a sequence diagram which shows an example of operation | movement of each board | substrate conveyance apparatus contained in the production line which concerns on a modification same as the above.

Explanation of symbols

１基板
１００基板搬送装置
１０１最上流機
１０２第１中流機
１０３第２中流機
１０４最下流機
１１０作業部
１２０基板受け部
１３０搬送部
１３１円盤
１４１下流入力部
１４２下流出力部
１５１上流入力部
１５２上流出力部
１６０制御部
１６１作業完了検知部
１６２位置特定部
１６３作業完了通知部
１６４同期信号伝送部
１６５搬送制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 100 Substrate conveyance apparatus 101 Most upstream machine 102 First middle stream machine 103 Second middle stream machine 104 Most downstream machine 110 Working part 120 Substrate receiving part 130 Conveying part 131 Disc 141 Downstream input part 142 Downstream output part 151 Upstream input part 152 Upstream Output unit 160 Control unit 161 Work completion detection unit 162 Position specifying unit 163 Work completion notification unit 164 Synchronization signal transmission unit 165 Conveyance control unit

Claims

In the substrate production line configured by connecting a plurality of substrate transfer devices in series, one substrate transfer device that performs a predetermined operation on the substrate and transfers the substrate downstream,
Working means for performing the predetermined work;
Transport means for transporting the substrate by holding and moving the substrate;
Work completion detection means for detecting completion of work in the work means;
Position specifying means for specifying whether the substrate transfer device is in the most upstream, middle or most downstream position of the production line;
After the completion of the work is detected by the work completion detection means, if the position specified by the position specifying means is the most downstream, it notifies the upstream that the work has been completed and specified by the position specifying means. If the position that has been set is in the middle, after confirming the completion of the downstream work, work completion notification means for notifying the upstream that the work has been completed,
If the position specified by the position specifying means is the most downstream, after the notification by the work completion notifying means, the substrate is transferred out of the production line by the transfer means and specified by the position specifying means. When the position is in the middle stream, after the notification by the work completion notifying means, the substrate is transported downstream by the transport means, and when the position specified by the position specifying means is the most upstream, the work After completion of the operation is detected by the completion detection unit, the conveyance control unit is configured to convey the substrate downstream to the conveyance unit after confirming the completion of the downstream operation based on the notification from the downstream. Substrate transport device.

The substrate transfer device further includes:
When the position specified by the position specifying means is the most upstream, after confirming the completion of the downstream operation based on the notification from the downstream, a synchronization signal for executing the substrate transport in synchronization with the downstream If the position specified by the position specifying means is output downstream, the synchronization signal transmission means for acquiring the synchronization signal from the upstream and outputting the synchronization signal downstream,
The transport control means includes
When the position specified by the position specifying means is the uppermost stream or the middle stream, after the synchronization signal is output downstream by the synchronization signal transmission means, the substrate is transferred downstream by the transfer means, and the position It has been if the position is the most downstream identified by identification means, after acquiring the synchronization signal from the upstream, a substrate transport according to claim 1, wherein the conveying the substrate to the transport means outside the production line apparatus.