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JP4448834B2 - 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 - Google Patents
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Description

本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、及び該電気光学装置を備えた、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。
この種の電気光学装置では、例えば、一対の基板が所定の隙間を介してシール領域においてシール材によって貼り合わされ、これらの基板間に液晶等の電気光学物質が封入される。一対の基板のうち素子基板上の表示領域に、画素電極、該画素電極の選択的な駆動を行うための走査線、データ線、及び画素スイッチング用素子としてのTFT(Thin Film Transistor)が層間絶縁膜を介して積層構造として作り込まれ、アクティブマトリクス駆動可能に構成される。また、素子基板上の表示領域の周囲の周辺領域(シール領域を含む)には、画像信号を供給するための画像信号線等が積層構造として作り込まれる。
また、電気光学物質の配向状態に乱れが生じてしまう可能性を低減するために、上述した積層構造に起因して素子基板の表面に生じる凹凸に対し、化学的研磨処理(Chemical Mechanical Polishing:CMP)等の平坦化処理が施される。
一方、この種の電気光学装置では、N本のデータ線に供給すべき画像信号を時分割で入力すると共に、時分割でN本のデータ線を複数本ずつ選択して供給する駆動方式(即ち、ハイブリッド方式或いはデマルチプレクサ方式)が採用されることがある(例えば特許文献1参照)。
特開2005−43417号公報
しかしながら、上述した電気光学装置では、表示領域に積層される配線等の数と比較して、シール領域に積層される配線の数が少ないため、素子基板の表面に生じる凹凸に対し平坦化処理を施したとしても、素子基板の表面を均一に平坦化することは困難であるという技術的問題点がある。更に、上述したハイブリッド方式が採用された電気光学装置では、N本のデータ線毎に1本の画像信号線が対応することとなるため、表示領域とシール領域との配線の数の差が大きくなり、素子基板の表面を均一に平坦化することが、より一層、困難になってしまうという問題点もある。加えて、画像信号線は、シール領域における素子基板の一辺に沿った領域にのみ配線されることが多く、シール領域内において偏った凹凸の分布が生じてしまい、シール材によって素子基板と対向基板とを所定の間隔で保持することが困難になってしまうという技術的問題点もある。
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、基板表面の平坦性を高めることができ、高品位な画像表示の可能な電気光学装置及び該電気光学装置を備えた電子機器を提供することを課題とする。
本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、第1基板と、該第1基板上に所定画素ピッチで配列された複数の画素電極と、該複数の画素電極が配列された画素領域に、前記画素電極よりも層間絶縁膜を介して下層側に配置されると共に前記画素電極と電気的に接続された電子素子と、前記第1基板と対向して配置された第2基板と、前記画素領域の周囲に沿ったシール領域において、前記第1及び第2基板を相互に貼り合わせるシール材と、前記第1基板上の前記画素領域に、前記画素電極よりも下層側に配置されると共に前記電子素子に電気的に接続された複数の走査線と、該複数の走査線と互いに交差するように、前記画素電極よりも下層側に配置されると共に、N(但し、Nは2以上の整数)本毎にブロック化された複数のデータ線と、前記第1基板上に、前記第1基板の一辺に沿って設けられ、外部回路からの画像信号が供給される複数の画像信号端子と、該複数の画像信号端子に夫々電気的に接続されると共に、前記シール領域のうち前記一辺に沿った領域において前記一辺に交わる方向に沿って配置された配線部分を有する複数の画像信号線と、前記第1基板上に、前記複数のデータ線に夫々対応する複数のスイッチを含み、前記ブロック毎に1本のデータ線を選択して、前記複数の画像信号線のうち前記選択したデータ線が属するブロックに対応する画像信号線から供給される前記画像信号を、前記選択したデータ線に出力する選択回路と、前記第1基板上における前記複数の画像信号線のうち互いに隣り合う画像信号線の前記配線部分間に設けられると共に前記複数のデータ線、前記複数の走査線及び前記電子素子を構成する導電膜のうち少なくとも一の導電膜と同一膜からなる複数のダミー配線とを備え、前記複数のダミー配線は前記画素領域と前記画像信号端子との間に、前記シール領域に重なるように配置され、且つ前記シール領域の外側に沿って配置された定電位線に電気的に接続されると共に、該定電位線から前記シール領域側へ夫々突出するように且つ前記定電位線から前記画像信号端子側へ夫々突出しないように配置されている。
本発明の電気光学装置では、例えばガラス基板、石英基板等からなる第1基板上の画素領域に例えば透明導電膜からなる画素電極が所定画素ピッチで例えばマトリクス状に配列される。本発明に係る「所定画素ピッチ」とは、相隣接する画素電極における中心間の間隔或いは距離を意味し、画素電極が平面的に配列される場合において、第1基板の一辺に沿ったX方向及びこれに交わるY方向の各方向に沿った間隔が異なるときには、その各々の間隔を意味する。更に、第1基板上の画素領域には、例えば、互いに交差するように配設された複数の走査線及びデータ線等の信号線、並びに各画素電極に対応する画素スイッチング用の電子素子が、画素電極よりも層間絶縁膜を介して下層側に形成される。即ち、第1基板上には信号線及び電子素子が層間絶縁膜を介して積層され、それらの上層側に画素電極が積層される。このように画素電極等が形成された第1基板と、例えば対向電極等が形成された例えばガラス基板からなる第2基板とは、画素電極と対向電極とが対向するように、所定間隔(即ち基板間ギャップ)を介してシール領域において例えば光硬化性樹脂からなるシール材によって貼り合わされる。シール材には、第1及び第2基板間の所定間隔を規定するための例えばビーズ状やファイバー状のギャップ材が混入される。このように貼り合わされた第1及び第2基板間に液晶等の電気光学物質が封入される。電気光学装置の動作時には、例えば画像信号線から供給される画像信号等に基づいて、画素電極及び対向電極間の液晶等の電気光学物質に電圧が印加され、画素領域において画像表示が行われる。
本発明では特に、信号線及び電子素子を構成する導電膜のうち少なくとも一の導電膜と同一膜からなる複数のダミー配線が、第1基板上のシール領域の少なくとも一部に、画素領域の周囲に沿って所定画素ピッチと等しい配列ピッチで配列される。本発明に係る「同一膜」とは、製造工程における同一機会に成膜される膜を意味し、同一種類の膜である。尚、「同一膜からなる」とは、一枚の膜として連続していることまでも要求する趣旨ではなく、基本的に、同一膜のうち相互に分断されている膜部分であれば足りる趣旨である。また、「所定画素ピッチと等しい配列ピッチで配列」とは、複数のダミー配線が所定画素ピッチと完全に等しい配列ピッチで配列される場合の他、複数のダミー配線の配列ピッチと所定画素ピッチとの差が実践上問題とならない程度にある場合も含む趣旨である。
即ち、例えば、画素領域の周囲を囲むシール領域のうちX方向に沿ったシール領域において、Y方向に延びるダミー配線がX方向の所定画素ピッチと等しい配列ピッチでX方向に沿って配列され、画素領域の周囲を囲むシール領域のうちY方向に沿ったシール領域において、X方向に延びるダミー配線がY方向の所定画素ピッチと等しい配列ピッチでY方向に沿って配列される。
よって、シール領域における第1基板の表面に生じ得る凹凸と、画素領域における第1基板の表面に生じ得る凹凸との差を小さくすることができる。即ち、シール領域内に所定画素ピッチと等しい配列ピッチで配列された複数のダミー配線によって、画素領域内における積層構造に起因する凹凸を模擬することができる。言い換えれば、複数のダミー配線によって、第1基板上のシール領域及び画素領域における表面の凹凸を殆ど或いは完全に均一に生じさせることができる。従って、第1基板の表面(或いは、第1基板上に積層された画素電極より下層側の層間絶縁膜の表面)に生じた凹凸に対し、CMP等の平坦化処理を施すことによって凹凸を除去した後の、第1基板の表面の平坦性を高めることができる。これにより、液晶等の電気光学物質の配向状態に乱れが生じてしまう可能性を低減できる。更に第1基板上のシール領域における表面の凹凸に起因して、シール材によって(言い換えれば、シール材に含まれるギャップ材によって)第1基板と第2基板とを所定の間隔で保持することが困難になる事態を回避できる。
更に、本発明では特に、複数のダミー配線は所定画素ピッチと等しい配列ピッチで配列されているので、例えば光硬化性樹脂からなるシール材を、例えば紫外線(UV光)等の光を第1基板側から照射することにより硬化させる際に、シール材を均一に硬化させることができる。即ち、相隣接するダミー配線間に所定画素ピッチ毎に設けられた隙間を介して第1基板側から照射される光を殆ど或いは実践的に完全に均一に透過してシール材を硬化させることができる。
以上説明したように、本発明の電気光学装置によれば、第1基板上のシール領域に、複数のダミー配線が所定画素ピッチと等しい配列ピッチで配列されるので、画素領域内における積層構造に起因する凹凸を模擬することができ、第1基板の表面の平坦性を高めることができる。よって、電気光学物質の配向状態に乱れが生じる可能性を低減できると共にシール材によって第1基板と第2基板とを所定の間隔で確実に保持することができる。
本発明の電気光学装置の一態様では、前記複数のダミー配線は、互いに隣り合う前記配線部分間において、前記所定画素ピッチと等しい配列ピッチで配列される。
この態様によれば、シール領域において、複数のダミー配線のうち少なくとも一部は、画像信号線における一辺に交わる方向(即ち、Y方向)に沿った配線部分との配列ピッチが所定画素ピッチと等しくなるように配列される。即ち、複数のダミー配線の一部は、画像信号線におけるY方向に沿った配線部分と共に、所定画素ピッチと等しい配列ピッチで配列される。よって、画像信号線の配線部分が形成されたシール領域において、画素領域における表面の凹凸を模擬することができる。従って、第1基板の表面の平坦性を高めることができる。
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記第1基板上に、前記画素領域に設けられた複数の走査線と、前記複数の走査線と互いに交差するように設けられると共に、N(但し、Nは2以上の整数)本毎にブロック化された複数のデータ線と、前記複数のデータ線に夫々対応する複数のスイッチを含み、前記ブロック毎に1本のデータ線を選択して、前記複数の画像信号線のうち前記選択したデータ線が属するブロックに対応する画像信号線から供給される前記画像信号を、前記選択したデータ線に出力する選択回路とを備える。
この態様によれば、シール領域における、相隣接する画像信号線におけるY方向に沿った配線部分間の間隔は、所定画素ピッチよりも大きい。よって、相隣接する画像信号線におけるY方向に沿った配線部分間に、ダミー配線を配列することによって第1基板の表面の平坦性を効果的に高めることができる。
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記配線部分は、層間絶縁膜を介して互いに異なる層に配置された複数の導電膜から夫々形成され、前記複数のダミー配線は夫々、前記複数の導電膜と同一膜から形成される。
この態様によれば、ダミー配線は、画像信号線における前記配線部分を構成する複数の導電膜と同一膜から形成される。即ち、例えば、画像信号線の前記配線部分が2つの導電膜によって二重配線として形成されている場合には、ダミー配線も該2つの導電膜からなる二重配線として形成される。よって、第1基板上のシール領域における前記配線部分による凹凸とダミー配線による凹凸との差を小さくすることができ、第1基板の表面の平坦性を、より一層、高めることができる。
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記複数のダミー配線の配線幅は、前記複数の画像信号線の配線幅と互いに等しくなるように形成される。
この態様によれば、第1基板上のシール領域における前記配線部分による凹凸とダミー配線による凹凸との差を、より一層、小さくすることができる。これにより、第1基板の表面の平坦性を、より一層、高めることができる。
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記第1基板上に一定電位を供給するための定電位線を備え、前記複数のダミー配線は、前記定電位線と電気的に接続される。
この態様によれば、複数のダミー配線は、例えば接地電位等の一定電位を供給する定電位線と電気的に接続される。よって、複数のダミー配線は、相隣接する信号線間、例えば相隣接する画像信号線間の電磁的な干渉を低減させるシールド膜として機能する。従って、例えば相隣接する画像信号線が互いに電磁ノイズによる悪影響を及ぼし合うことを低減或いは防止できる。
尚、定電位線は、例えば、走査線を駆動するための走査線駆動回路に電源を供給するための電源電位線や対向電極に所定電位を供給するための対向電極電位線としてもよい。
尚、複数のダミー配線は、信号の電位が一定時間毎に所定電位へと変化する、例えば一定周期で反転するような所定電位信号を供給するための所定電位線と電気的に接続されるようにしてもよい。この場合にも、各一定時間について見れば、信号の電位は一定であるので、上記と同様の電磁的な干渉を低減する効果が相応に得られる。
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置を具備してなる。
本発明の電子機器によれば、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるので、高品位の表示が可能な、投射型表示装置、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置等も実現することが可能である。
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態では、本発明の電気光学装置の一例であるTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
<第1実施形態>
第1実施形態に係る液晶装置について、図1から図6を参照して説明する。
先ず、本実施形態に係る液晶装置の全体構成について、図1及び図2を参照して説明する。ここに図1は、本実施形態に係る液晶装置の全体構成を示す平面図であり、図2は、図1のH−H´線での断面図である。
図1及び図2において、本実施形態に係る液晶装置100では、TFTアレイ基板10と対向基板20とが対向配置されている。尚、TFTアレイ基板10は、本発明に係る「第1基板」の一例であり、対向基板20は、本発明に係る「第2基板」の一例である。TFTアレイ基板10と対向基板20との間に液晶層50が封入されており、TFTアレイ基板10と対向基板20とは、本発明に係る「画素領域」の一例としての画像表示領域10aの周囲に位置するシール領域52aに設けられたシール材52により相互に接着されている。シール材52は、両基板を貼り合わせるための、紫外線硬化樹脂からなり、製造プロセスにおいてTFTアレイ基板10上に塗布された後、紫外線照射により硬化させられたものである。また、シール材52中には、TFTアレイ基板10と対向基板20との間隔(基板間ギャップ)を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
図1において、シール材52が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域10aの額縁領域53aを規定する遮光性の額縁遮光膜53が、対向基板20側に設けられている。周辺領域のうち、シール材52が配置されたシール領域52aの外側に位置する領域には、画像信号が供給される画像信号端子を含む外部回路接続端子102がTFTアレイ基板10の一辺に沿って設けられている。この一辺に沿ったシール領域よりも内側に、本発明に係る「選択回路」の一例としてのデマルチプレクサ7が額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。また、走査線駆動回路104は、この一辺に隣接する2辺に沿ったシール領域52aの内側に、額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。また、TFTアレイ基板10上には、対向基板20の4つのコーナー部に対向する領域に、両基板間を上下導通材107で接続するための上下導通端子106が配置されている。これらにより、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的な導通をとることができる。
TFTアレイ基板10上には、外部回路接続端子102と、デマルチプレクサ7、走査線駆動回路104、上下導通端子106等とを電気的に接続するための引回配線90が形成されている。
図2において、TFTアレイ基板10上には、駆動素子である画素スイッチング用TFTや走査線、データ線等の配線が作り込まれた積層構造が形成される。画像表示領域10aには、画素スイッチング用TFTや走査線、データ線等の配線の上層に画素電極9aが設けられている。画素電極9a上には、配向膜が形成されている。また、シール領域52aには、後述する複数のダミー配線が設けられている。他方、対向基板20におけるTFTアレイ基板10との対向面上に、遮光膜23が形成されている。そして、遮光膜23上に、ITO等の透明材料からなる対向電極21が複数の画素電極9aと対向して形成されている。対向電極21上には配向膜が形成されている。また、液晶層50は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
尚、ここでは図示しないが、TFTアレイ基板10上には、デマルチプレクサ7、走査線駆動回路104の他に、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路、検査用パターン等が形成されていてもよい。
次に、本実施形態に係る液晶装置の電気的な構成について、図3を参照して説明する。ここに図3は、本実施形態に係る液晶装置の電気的な構成を示す回路図である。
図3において、液晶装置100は、TFTアレイ基板10上に、デマルチプレクサ7及び走査線駆動回路104を備えている。更に、TFTアレイ基板10上には、上下導通端子106に対向電極電位LCCOMを供給するための、本発明に係る「定電位線」の一例としての対向電極電位線91が形成されている。TFTアレイ基板10上の外部回路接続端子102のうち画像信号端子102vに外部回路としての画像信号供給回路400が接続されている。
TFTアレイ基板10上の画像表示領域10aには、320行の走査線11aが行方向(即ち、X方向)に延在するように設けられ、また、4本毎にグループ化された480(=120×4)列のデータ線6aが列方向(即ち、Y方向)に延在するように、且つ、各走査線11aと互いに電気的な絶縁を保つように、設けられている。尚、走査線11a及びデータ線6aの本数はそれぞれ320本及び480本に限定されるものではない。1グループを構成するデータ線数は、本実施形態では「4」としたが、「2」以上であればよい。
画素電極9aは、320本の走査線11aと480本のデータ線6aとの交差部に対応して、それぞれ配列されている。従って、本実施形態では、画素電極9aは、縦320行×横480列で、所定の画素ピッチでマトリクス状に配列することになる。尚、ここでは図示しないが、各画素電極9aとデータ線6aとの間には、走査線11aを介して夫々供給される走査信号に応じて夫々の導通状態及び非導通状態が制御される画素スイッチング用TFTや、画素電極9aに印加した電圧を長く維持する蓄積容量のための容量配線が形成されている。
ここで本実施形態では、1グループを構成する4列のデータ線6aを区別するために、左から順にそれぞれa、b、c、d系列と呼ぶ場合がある。詳細には、a系列とは1、5、9、…、477列目のデータ線6aであり、b系列とは2、6、10、…、478列目のデータ線6aであり、c系列とは3、7、11、…、479列目のデータ線6aであり、d系列とは4、8、12、…、480列目のデータ線6aである。
図3において、走査線駆動回路104は、1、2、3、…、320行目の走査線11aに、走査信号G1、G2、G3、…、G320を供給する。詳細には、走査線駆動回路104は、1フレームの期間にわたって1、2、3、…、320行目の走査線11aを順番に選択するとともに、選択した走査線への走査信号を選択電圧に相当するHレベルとし、それ以外の走査線への走査信号を非選択電圧に相当するLレベルとする。本実施形態では、走査線駆動回路104には、外部電源から、低電源電位線93を介して対向電極電位LCCOMよりも低い低電源電位VSS(例えば0ボルト)が供給され、高電源電位線92を介して対向電極電位LCCOMよりも高い高電源電位VDD(例えば15ボルト)が供給される。即ち、走査信号のLレベルは低電源電位VSSであり、走査信号のHレベルは高電源電位VDDである。尚、低電源電位線93は、本発明に係る「定電位線」の一例である。
画像信号供給回路140は、TFTアレイ基板10とは別体構成であり、表示動作の際には、画像信号端子102vを介してTFTアレイ基板10と接続される。画像信号供給回路140は、走査線駆動回路104によって選択された走査線11aと、各グループに属する4列のデータ線6aのうち、デマルチプレクサ7によって選ばれるデータ線6aとに対応する画素電極9aに対し、当該画素電極9aが含まれる画素の階調に応じた電圧の画像信号を出力する。
尚、本実施形態では、上述したように、データ線6aの列数は「480」であり、これらが4列毎にグループ化されているので、画像信号端子102vの個数は「120」である。
デマルチプレクサ7は、データ線6a毎に設けられたTFT71を含んで構成されている。ここで、TFT71はnチャネル型であり、各ドレインはデータ線6aの一端に接続され、同一グループに属するデータ線6aに対応する4個のTFT71のソースは共通接続されて、当該グループに対応する画像信号が供給される。
即ち、m番目(但し、mは1以上120以下の整数)のグループは、a系列の(4m−3)列目、b系列の(4m−2)列目、c系列の(4m−1)列目およびd系列の(4m)列目のデータ線6aから構成されるので、これら4列のデータ線6aに対応するTFT71のソースは共通接続されて、画像信号VID(m)が供給される。(4m−3)列目のデータ線6aに対応するTFT71のゲートには、制御信号Sel1が供給され、同様に(4m−2)列目、(4m−1)列目および(4m)列目のデータ線6aに対応するTFT71のゲートには、制御信号Sel2、Sel3およびSel4が供給される。尚、制御信号Sel1、Sel2、Sel3及びSel4は、図示しない外部回路としてのタイミング制御回路から外部回路接続端子102を介して供給される。
ここで、上述のように構成された液晶装置の動作について説明する。
走査線駆動回路104は、ある1フレーム(nフレーム)の期間にわたって走査信号G1、…、G320を1水平期間毎に順次排他的にHレベル(即ち、選択電圧)とする。
ここで、1水平期間では、タイミング制御回路から供給される制御信号Sel1、Sel2、Sel3及びSel4は、この順番で排他的にHレベルとなり、この供給に合わせて画像信号供給回路400は、画像信号VID1、VID2、VID3、…、VID120を供給する。
詳細には、画像信号供給回路400は、i行目の走査信号GiがHレベルとなる期間において、制御信号Sel1がHレベルとなったとき、i行目の走査線11aとa系列のデータ線6aとの交差に対応する画素の階調に応じた電圧だけ対向電極電位LCCOMに対して高位または低位の画像信号VID1、VID2、VID3、…、VID120を、1、2、3、…、120番目のグループに対応させて一斉に出力する。この際、制御信号Sel1だけがHレベルであるので、a系列のデータ線6aが選択される(即ち、a系列のデータ線6aに対応するTFT71だけがオンする)結果、画像信号VID1、VID2、VID3、…、VID120は、それぞれa系列(1、5、9、…、477列目)のデータ線6aに供給される。一方、走査信号GiがHレベルであると、i行目に位置する画素のすべてにおいて、画素スイッチング用TFTがオン(導通)状態となるので、a系列のデータ線6aに供給された画像信号VID1、VID2、VID3、…、VID120は、それぞれi行1列、i行5列、i行9列、…、i行477列の画素電極9aに印加されることになる。
次に、画像信号供給回路400は、制御信号Sel2がHレベルとなったとき、今度はi行目の走査線11aとb系列のデータ線6aとの交差に対応する画素の階調に応じた電圧の画像信号VID1、VID2、VID3、…、VID120を、1、2、3、…、120番目のグループに対応させて一斉に出力する。この際、制御信号Sel2だけがHレベルであるため、b系列のデータ線6aが選択される結果、画像信号VID1、VID2、VID3、…、VID120は、それぞれb系列(2、6、10、…、478列目)のデータ線6aに供給されて、それぞれi行2列、i行6列、i行10列、…、i行478列の画素電極9aに印加されることになる。
同様に、画像信号供給回路400は、i行目の走査信号GiがHレベルとなる期間において、制御信号Sel3がHレベルとなったときには、i行目の走査線11aとc系列のデータ線6aとの交差に対応する画素、制御信号Sel4がHレベルとなったときには、i行目の走査線11aとd系列のデータ線6aとの交差に対応する画素、の階調に応じた電圧の画像信号VID1、VID2、VID3、…、VID120を、それぞれ1、2、3、…、120番目のグループに対応させて一斉に出力し、これにより、c系列(3、7、11、…、479列目)のデータ線6aに供給されて、それぞれi行3列、i行7列、i行11列、…、i行479列の画素電極9aに印加され、引き続き、d系列(4、8、12、…、480列目)のデータ線6aに供給されて、それぞれi行4列、i行8列、i行12列、…、i行480列の画素電極9aに印加される。
これにより、i行目の画素に対して、階調に応じた画像信号の電圧を書き込む動作が完了する。尚、画素電極9aに印加された電圧は、走査信号GiがLレベルになっても、液晶容量によって次の(n+1)フレームの書き込みまで保持されることになる。
次に、本実施形態に係る液晶装置のダミー配線について、図3に加えて、図4から図6を参照して、詳細に説明する。ここに図4は、図1の領域C1におけるダミー配線のレイアウトを示す平面図であり、図5は、図1の領域C2におけるダミー配線のレイアウトを示す平面図である。図6は、図5のB−B´線での断面図である。
図3から図5に示すように、本実施形態では特に、TFTアレイ基板10上に複数のダミー配線95、96及び97を備えている。複数のダミー配線95、96及び97はそれぞれ、少なくとも部分的にシール領域52aに重なるように形成されている。
より具体的には、図3及び図4において、複数のダミー配線96は、例えばデータ線6a等を構成する導電膜と同一膜から形成されている。複数のダミー配線96は、画像表示領域10aを囲むシール領域52aのうちY方向に沿った領域(即ち、図1中、シール領域52aのうち画像表示領域10aの左右側に位置する領域)内において、それぞれX方向に延びるように形成されており、画素電極9aがY方向に沿って配列される画素ピッチL2と等しい配列ピッチD2で、Y方向に沿って配列されている。本実施形態では、画素ピッチL2及び配列ピッチD2並びに後述する画素ピッチL1及び配列ピッチD1はいずれも、約10umであり、複数のダミー配線96の配線幅W2及び後述する複数のダミー配線97の配線幅W1はいずれも、約5umである。複数のダミー配線96は、対向電極電位線91と接続されており、対向電極電位LCCOMが供給されている。
複数のダミー配線97は、例えばデータ線6a等を構成する導電膜と同一膜から形成されている。複数のダミー配線97は、画像表示領域10aを囲むシール領域52aのうち画像表示領域10aに対して外部回路接続端子102とは反対側に位置するX方向に沿った領域(即ち、図1中、シール領域52aのうち画像表示領域10aの上側に位置する領域)内において、Y方向に沿って延びるように形成されており、画素電極9aがX方向に沿って配列される画素ピッチL1と等しい配列ピッチD1で、X方向に沿って配列されている。複数のダミー配線97は、対向電極電位線91と接続されており、対向電極電位LCCOMが供給されている。
図3及び図5において、複数のダミー配線95は、画像信号線99を構成する複数の導電膜と同一膜から形成されている。
詳細には、図5及び図6に示すように、画像信号線99は、層間絶縁膜を介して互いに異なる層に配置された3つの配線層99a、99b及び99cとからなる。配線層99cは、走査線11aを構成する導電膜と同一膜から構成されており、TFTアレイ基板10上の下地絶縁膜12上に形成されている。配線層99bは、層間絶縁膜41を介して配線層99cの上層側に配置された導電膜から構成されており、配線層99cと、層間絶縁膜41に開孔されたコンタクトホール83を介して、互いに電気的に接続されている。配線層99aは、層間絶縁膜42を介して配線層99bの上層側に配置された導電膜から構成されており、配線層99bと、層間絶縁膜42に開孔されたコンタクトホール81を介して、互いに電気的に接続されている。配線層99a及び配線層99bは、他の配線(例えば配線層99aと同一膜からなる低電源電位線93)と電気的に絶縁状態を保ちつつ交差するために、シール領域52aよりも外部回路接続端子102(図1参照)側においては形成されていない(図5参照)。このように、画像信号線99は、シール領域52a内において、互いに電気的に接続された3つの配線層99a、99b及び99cからなる三重配線として形成されている。
ダミー配線95は、シール領域52a内において、画像信号線99と同様の積層構造を有している。即ち、ダミー配線95は、3つの配線層95a、95b及び95cからなる。配線層95cは、配線層99cと同一膜から構成されている。配線層95bは、配線層99bと同一膜から構成されており、配線層95cと、層間絶縁膜41に開孔されたコンタクトホール84を介して、互いに電気的に接続されている。配線層95aは、配線層99aと同一膜から構成されており、配線層95bと、層間絶縁膜42に開孔されたコンタクトホール82を介して、互いに電気的に接続されている。このように、ダミー配線95は、シール領域52a内において、互いに電気的に接続された3つの配線層95a、95b及び95cからなる三重配線として形成されている。
図3及び図5において、複数のダミー配線95は、画像表示領域10aを囲むシール領域52aのうち画像表示領域10aに対して外部回路接続端子102とは同じ側に位置するX方向に沿った領域(即ち、図1中、シール領域52aのうち画像表示領域10aの下側に位置する領域)内の相隣接する画像信号線99間において、画素電極9aがX方向に沿って配列される画素ピッチL1(図4参照)と等しい配列ピッチD3で、X方向に沿って配列されている。本実施形態では、複数のダミー配線95の配線幅W3、及び画像信号線99の配線幅W4は、約5umである。複数のダミー配線95は、低電源電位線93と接続されており、低電源電位VSSが供給されている。
即ち、本実施形態では特に、例えばデータ線6a等を構成する導電膜と同一膜からなる複数のダミー配線95、96及び97が、シール領域52a内において、画像表示領域10aの周囲に沿って画素ピッチL1(即ち、本実施形態では、これに等しい画素ピッチL2)と等しい配列ピッチで配列されている。よって、シール領域52aにおけるTFTアレイ基板10の表面に生じ得る凹凸と、画像表示領域10aにおけるTFTアレイ基板10の表面に生じ得る凹凸との差を小さくすることができる。即ち、シール領域52a内に画素ピッチL1と等しい配列ピッチで配列された複数のダミー配線95、96及び97によって、画像表示領域10a内における積層構造に起因する凹凸を模擬することができる。言い換えれば、複数のダミー配線95、96及び97によって、TFTアレイ基板10上のシール領域52a及び画像表示領域10aにおける表面の凹凸を殆ど或いは完全に均一に生じさせることができる。従って、TFTアレイ基板10の表面(或いは、TFTアレイ基板10上に積層された画素電極9aより下層側の層間絶縁膜の表面)に生じた凹凸に対し、CMP等の平坦化処理を施すことによって凹凸を除去した後の、TFTアレイ基板10の表面の平坦性を高めることができる。これにより、液晶層50(図2参照)の配向状態に乱れが生じてしまう可能性を低減できる。更にTFTアレイ基板10上のシール領域52aにおける表面の凹凸に起因して、シール材52によって(言い換えれば、シール材52に含まれるギャップ材によって)TFTアレイ基板10と対向基板20とを所定の間隔で均一に保持できなくなってしまうことを低減或いは防止できる。
更に、本実施形態では特に、複数のダミー配線95、96及び97は画素ピッチL1(或いは、画素ピッチL2)と等しい配列ピッチで配列されているので、光硬化性樹脂からなるシール材52を、紫外線(UV光)をTFTアレイ基板10側から照射することにより硬化させる際に、シール材52を均一に硬化させることができる。即ち、TFTアレイ基板10側から照射される光を、相隣接するダミー配線95、96及び97間に画素ピッチ毎に設けられた隙間を介して、殆ど或いは実践的に完全に均一に透過してシール材52を硬化させることができる。よって、シール材52の密着力を高めることができる。従って、TFTアレイ基板10及び対向20基板間をシール材52によって強固に接着することが可能となる。これにより、装置外部から侵入する水分等の異物によって画像表示領域10aに形成された例えば配向膜が劣化してしまうことを低減でき、装置の信頼性を高めることができる。
加えて、図5に示すように、本実施形態では特に、複数のダミー配線95は、シール領域52a内において、相隣接する画像信号線99間に、画像信号線99との配列ピッチD4が画素ピッチL1と等しくなるように配列されている。即ち、複数のダミー配線95は、画像信号線99におけるシール領域52a内のY方向に沿った配線部分と共に、画素ピッチL1と等しい配列ピッチで配列されている。よって、シール領域52aのうち画像信号線99が形成された領域(即ち、シール領域52aのうち画像表示領域10aの下側に位置する領域)において、画像表示領域10aにおける表面の凹凸を、より一層確実に、模擬することができる。従って、TFTアレイ基板10の表面の平坦性を、より一層、高めることができる。特に、本実施形態のようにデマルチプレクサ7を用いたハイブリッド方式として液晶装置100を構成する場合には、1つのグループを構成するN本(本実施形態では4本)のデータ線6aに対して画像信号線99が1本対応するので、シール領域52a内における、相隣接する画像信号線99のY方向に沿った配線部分間の間隔は、画素ピッチL1よりも大きくなる。よって、シール領域52a内における、相隣接する画像信号線99のY方向に沿った配線部分間に複数のダミー配線95を設けることによって、TFTアレイ基板10の表面の平坦性を高めることは、本実施形態の如きハイブリッド方式の液晶装置において特に有効である。
図5及び図6を参照して上述したように、本実施形態では特に、ダミー配線95は、シール領域52a内における画像信号線99と同様の積層構造を有している。即ち、ダミー配線95は、シール領域52a内において配線層99a、99b及び99cから三重配線として構成される画像信号線99と同様に、配線層95a、95b及び95cから三重配線として構成されている。よって、シール領域52aにおける画像信号線99による層間絶縁膜43の表面に生じる凹凸とダミー配線95による層間絶縁膜43の表面に生じる凹凸との差を小さくすることができ、CMP等の平坦化処理を施した後のTFTアレイ基板10の表面(言い換えれば、層間絶縁膜43の表面43b)の平坦性を、より一層、高めることができる。より具体的には、本実施形態では、TFTアレイ基板10上に層間絶縁膜43までの積層構造が形成された後、CMP等の平坦化処理が施される。その後、層間絶縁膜43の表面における画像表示領域10aに画素電極9aが形成され、更にシール領域52aにシール材52が配置されて対向基板20と貼り合わされる。ここで、層間絶縁膜43までの積層構造が形成された直後(即ちCMP等の平坦化処理が施される前)には、層間絶縁膜43の表面には、層間絶縁膜43よりも下層側に配置された画像信号線99及びダミー配線95に起因した凹凸43aが形成される。ここで本実施形態では、ダミー配線95は、画像信号線99と同様の積層構造を有しているので、凹凸43aは、画像信号線99に起因する凹凸とダミー配線に起因する凹凸とが揃った凹凸として形成される。よって、凹凸43aを、CMP等の平坦化処理によって、より一層、殆ど或いは完全に均一に除去することができ、より平坦性の高い表面43bを形成することができる。
更に、図3及び図5を参照して上述したように、本実施形態では特に、複数のダミー配線95はそれぞれ、低電源電位VSSが供給される低電源電位線93と電気的に接続されている。よって、複数のダミー配線95は、シール領域52a内において相隣接する画像信号線99間の電磁的な干渉を低減させるシールド膜として機能する。従って、シール領域52a内において相隣接する画像信号線99が互いに電磁ノイズによる悪影響を及ぼし合うことを低減できる。
以上説明したように、本実施形態に係る液晶装置100によれば、TFTアレイ基板10上のシール領域52aに、複数のダミー配線95、96及び97が画素ピッチL1(或いは画素ピッチL2)と等しい配列ピッチで配列されるので、画像表示領域10a内における積層構造に起因する凹凸を模擬することができ、TFTアレイ基板10の表面の平坦性を高めることができる。よって、液晶層50の配向状態に乱れが生じる可能性を低減できると共にシール材52によってTFTアレイ基板10と対向基板20とを所定の間隔で確実に保持することができる。
<電子機器>
次に、上述した電気光学装置である液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。
先ず、この液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図7は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。この図7に示されるように、プロジェクタ1100内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット1102が設けられている。このランプユニット1102から射出された投射光は、ライトガイド1104内に配置された4枚のミラー1106及び2枚のダイクロイックミラー1108によってRGBの3原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル1110R、1110B及び1110Gに入射される。
液晶パネル1110R、1110B及び1110Gの構成は、上述した液晶装置と同等であり、画像信号処理回路から供給されるR、G、Bの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム1112に3方向から入射される。このダイクロイックプリズム1112においては、R及びBの光が90度に屈折する一方、Gの光が直進する。従って、各色の画像が合成される結果、投射レンズ1114を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。
ここで、各液晶パネル1110R、1110B及び1110Gによる表示像について着目すると、液晶パネル1110Gによる表示像は、液晶パネル1110R、1110Bによる表示像に対して左右反転することが必要となる。
尚、液晶パネル1110R、1110B及び1110Gには、ダイクロイックミラー1108によって、R、G、Bの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。
尚、図7を参照して説明した電子機器の他にも、モバイル型のパーソナルコンピュータや携帯電話、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた装置等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
また本発明は、上述の実施形態で説明した液晶装置以外にも、シリコン基板上に素子を形成する反射型液晶装置(LCOS)、プラズマディスプレイ(PDP)、電界放出型ディスプレイ(FED、SED)、有機ELディスプレイ、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)、電気泳動装置等にも適用可能である。
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及び該電気光学装置を備えてなる電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
第1実施形態に係る液晶装置の全体構成を示す平面図である。 図1のH−H´線断面図である。 第1実施形態に係る液晶装置の電気的な構成を示す回路図である。 図1の領域C1におけるダミー配線のレイアウトを示す平面図である。 図1の領域C2におけるダミー配線のレイアウトを示す平面図である。 図5のB−B´線断面図である。 電気光学装置を適用した電子機器の一例たるプロジェクタの構成を示す平面図である。
符号の説明
6a…データ線、7…デマルチプレクサ、9a…画素電極、10…TFTアレイ基板、10a…画像表示領域、11a…走査線、20…対向基板、21…対向電極、23…遮光膜、50…液晶層、52…シール材、52a…シール領域、53…額縁遮光膜、53a…額縁領域、90…引回配線、95、96、97…ダミー配線、99…画像信号線、102…外部回路接続端子、102v…画像信号端子、104…走査線駆動回路、106…上下導通端子、107…上下導通材、400…画像信号供給回路、L1、L2…画素ピッチ

Claims (5)

  1. 第1基板と、
    該第1基板上に所定画素ピッチで配列された複数の画素電極と、
    該複数の画素電極が配列された画素領域に、前記画素電極よりも層間絶縁膜を介して下層側に配置されると共に前記画素電極と電気的に接続された電子素子と、
    前記第1基板と対向して配置された第2基板と、
    前記画素領域の周囲に沿ったシール領域において、前記第1及び第2基板を相互に貼り合わせるシール材と、
    前記第1基板上の前記画素領域に、前記画素電極よりも下層側に配置されると共に前記電子素子に電気的に接続された複数の走査線と、
    該複数の走査線と互いに交差するように、前記画素電極よりも下層側に配置されると共に、N(但し、Nは2以上の整数)本毎にブロック化された複数のデータ線と、
    前記第1基板上に、前記第1基板の一辺に沿って設けられ、外部回路からの画像信号が供給される複数の画像信号端子と、
    該複数の画像信号端子に夫々電気的に接続されると共に、前記シール領域のうち前記一辺に沿った領域において前記一辺に交わる方向に沿って配置された配線部分を有する複数の画像信号線と、
    前記第1基板上に、前記複数のデータ線に夫々対応する複数のスイッチを含み、前記ブロック毎に1本のデータ線を選択して、前記複数の画像信号線のうち前記選択したデータ線が属するブロックに対応する画像信号線から供給される前記画像信号を、前記選択したデータ線に出力する選択回路と、
    前記第1基板上における前記複数の画像信号線のうち互いに隣り合う画像信号線の前記配線部分間に設けられると共に前記複数のデータ線、前記複数の走査線及び前記電子素子を構成する導電膜のうち少なくとも一の導電膜と同一膜からなる複数のダミー配線と
    を備え、
    前記複数のダミー配線は前記画素領域と前記画像信号端子との間に、前記シール領域に重なるように配置され、且つ前記シール領域の外側に沿って配置された定電位線に電気的に接続されると共に、該定電位線から前記シール領域側へ夫々突出するように且つ前記定電位線から前記画像信号端子側へ夫々突出しないように配置されている
    ことを特徴とする電気光学装置。
  2. 前記複数のダミー配線は、互いに隣り合う前記配線部分間において、前記所定画素ピッチと等しい配列ピッチで配列される
    ことを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
  3. 前記配線部分は、層間絶縁膜を介して互いに異なる層に配置された複数の導電膜から夫々形成され、
    前記複数のダミー配線は夫々、前記複数の導電膜と同一膜から形成される
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置。
  4. 前記複数のダミー配線の配線幅は、前記複数の画像信号線の配線幅と互いに等しくなるように形成されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学装置。
  5. 請求項1から4のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
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