JP4455577B2 - Inkjet recording head - Google Patents
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Description
本発明は、インク吐出口からインク滴を吐出することで記録を行うインクジェット記録ヘッドに関するものである。 The present invention relates to an ink jet recording head that performs recording by ejecting ink droplets from an ink ejection port.
インクジェット記録ヘッドの基板に構成したトランジスタ部の動作確認は、トランジスタ部等の抵抗を測定することによって行われる。そのような動作確認は、その基板上にノズル形成部材を形成する前に行う必要がある。 Confirmation of the operation of the transistor portion formed on the substrate of the ink jet recording head is performed by measuring the resistance of the transistor portion or the like. Such an operation check needs to be performed before the nozzle forming member is formed on the substrate.
トランジスタ部の抵抗測定は、インクジェット記録ヘッド基板に設けられた、記録装置本体に接続される電気接続端子を用いて行うことも可能である。しかし、その電気接続端子はインクジェット記録ヘッド基板に設けられたエネルギ発生素子に接続されているため、その電気接続端子を用いて測定を行う場合にはトランジスタ部のみの抵抗を測定することができない。トランジスタ部を直接測定するためには、トランジスタ部の前後に、上記の電気接続端子とは別個のテスト端子を設ける必要がある。 The resistance measurement of the transistor portion can also be performed using an electrical connection terminal provided on the ink jet recording head substrate and connected to the recording apparatus main body. However, since the electrical connection terminal is connected to an energy generating element provided on the ink jet recording head substrate, when the measurement is performed using the electrical connection terminal, the resistance of only the transistor portion cannot be measured. In order to directly measure the transistor portion, it is necessary to provide a test terminal separate from the electrical connection terminal before and after the transistor portion.
図10は、インクジェット記録ヘッドの基板上に構成されたトランジスタ部の前後にテスト端子が設けられた配線構造を示す図である。 FIG. 10 is a diagram showing a wiring structure in which test terminals are provided before and after the transistor portion formed on the substrate of the ink jet recording head.
通常のインク吐出駆動時には、端子1(電源)から端子2(GND)に向けて電流を流すことでエネルギ発生素子が加熱され、これによってインクが発泡されてインク吐出口から吐出される。その際、エネルギ発生素子の駆動素子であるトランジスタ部の抵抗値が所定値であるかどうかを測定し、正常に駆動しているかどうかを判断する必要がある。図10に示した構成によれば、テスト端子Aとテスト端子Bとの間での抵抗値を測定することでトランジスタの抵抗値を直接測定し、駆動動作の良否判定を行うことができる。記録装置本体に接続される電気接続端子とは別個のテスト端子を設けることは、特許文献1に開示されている。 During normal ink ejection driving, the energy generating element is heated by passing a current from the terminal 1 (power supply) toward the terminal 2 (GND), whereby the ink is foamed and ejected from the ink ejection port. At this time, it is necessary to measure whether or not the resistance value of the transistor portion, which is a driving element of the energy generating element, is a predetermined value, and determine whether or not the driving is normally performed. According to the configuration shown in FIG. 10, by measuring the resistance value between the test terminal A and the test terminal B, the resistance value of the transistor can be directly measured to determine whether the driving operation is good or bad. Patent Document 1 discloses that a test terminal separate from an electrical connection terminal connected to the recording apparatus main body is provided.
テスト端子105は、図11に示すように、ノズル形成部材106の下に配置される。これにより、テスト端子105がインクから保護される。さらに、テスト端子105の周囲が、特許文献2に示されているように熱硬化型の封止材で封止されている場合もある。
しかしながら、上述した従来の技術では以下のような問題がある。 However, the conventional techniques described above have the following problems.
図12は、従来のインクジェット記録ヘッドにおけるノズル形成部材が基板から剥がれる様子を示す模式図である。図12において、符号101はエネルギ発生素子(不図示)を有する基板、符号102は記録装置本体と電気的に接続される配線基板が接合される電気接続端子、符号103は記録装置本体に電気的に接続される配線基板を示している。さらに、符号104は配線基板103と電気接続端子102とをつなぐリード、符号5は基板101上に設けられた、電気接続端子102とは別個のテスト端子、符号106はノズル形成部材をそれぞれ示している。さらに、符号100はインク供給部材あるいはインク供給補助部材を示し、符号201は封止材を示している。
FIG. 12 is a schematic diagram showing a state in which a nozzle forming member in a conventional ink jet recording head is peeled off from a substrate. In FIG. 12,
図12(a)に示すように、ノズル形成部材106が形成された基板101は、その電気接続端子102と配線基板103のリード104とが接合された状態で、インク供給部材あるいはインク供給補助部材100に貼り付けられている。この状態で、図12(b)に示すように、リード104と電気接続端子102をインクから保護するために、それらを封止するように封止材201を塗布する。封止材201は熱硬化型の封止材であるため、図12(b)に示す状態で加熱される。
As shown in FIG. 12A, the
すると図12(c)に示すようにインク供給部材あるいはインク供給補助部材100が図示矢印方向に熱膨張する。この状態で封止材201を硬化させ、その後に冷却による収縮が開始すると、図12(d)に示すように、部材100によって封止材201が図示矢印方向に押圧され、封止材201が基板101及びノズル形成部材106を図示矢印方向に押圧する。すると、図12(e)に示すように、封止材201がノズル形成部材106を基板101から引き剥がし、その結果、テスト端子105が露出してしまう。テスト端子105が露出し、その露出部にインクが侵入すると、電気的な不良を生じることがある。
Then, as shown in FIG. 12C, the ink supply member or the ink supply
テスト端子105は基板101の外周領域に配置されることが多い。これは、基板101の中央部にテスト端子105を配置すると、エネルギ発生素子等その他の必要な電気配線をテスト端子105を迂回するように配線しなくてはならず、基板101の大きさを必要以上に大きくしてしまうためである。そのため、たとえノズル形成部材106の剥がれがノズル形成部材106の周囲のわずかな領域に生じた場合であっても、その剥離領域がテスト端子105に達してしまい、テスト端子105が露出することがある。
The
そこで本発明は、ノズル形成部材で覆われた基板上のテスト端子が露出することを防ぐことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an ink jet recording head capable of preventing exposure of test terminals on a substrate covered with a nozzle forming member.
本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク吐出口からインク滴を吐出するインク吐出エネルギを発生するエネルギ発生素子と該エネルギ発生素子を駆動する駆動素子とが設けられた基板を有する。さらに、本発明のインクジェット記録ヘッドは、該基板上に設けられ、該基板上に前記インク吐出口と前記インク吐出口に連通するインク流路とを形成するノズル形成部材を有する。前記基板の外周領域には前記駆動素子を検査するための複数のテスト端子が設けられている。前記ノズル形成部材は、前記複数のテスト端子が形成された領域に対向する部分に形成される凹部と、該凹部の前記複数のテスト端子に対向する部分に形成される貫通口とを備え、前記凹部の内部は封止材で封止されている。 The ink jet recording head of the present invention includes a substrate on which an energy generating element that generates ink discharge energy for discharging ink droplets from an ink discharge port and a drive element that drives the energy generating element are provided. Furthermore, the ink jet recording head of the present invention includes a nozzle forming member that is provided on the substrate and forms the ink discharge port and an ink flow path communicating with the ink discharge port on the substrate. A plurality of test terminals for inspecting the drive element are provided in the outer peripheral area of the substrate. It said nozzle forming member comprises a recess previous SL plurality of test terminals are formed on opposite portions formed region and a through hole which is formed in a portion opposed to the plurality of test terminals of the recess, The inside of the recess is sealed with a sealing material.
本発明によれば、ノズル形成部材で覆われた基板上のテスト端子が露出することを防ぐことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the inkjet recording head which can prevent the test terminal on the board | substrate covered with the nozzle formation member being exposed can be provided.
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明の一実施形態に係るインクジェット記録ヘッドにおけるノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。 FIG. 1 is a schematic perspective view showing the shape of a nozzle forming member in an ink jet recording head according to an embodiment of the present invention.
図1において、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、エネルギ発生素子(不図示)と、そのエネルギ発生素子を駆動するトランジスタ等からなる駆動素子(不図示)とを有する基板1を有している。基板1上には、記録装置本体側の端子(不図示)と電気的に接続される配線基板3が電気的に接続される電気接続端子2が形成されている。電気接続端子2と配線基板3とはリード4によって接続されている。基板1上には、電気接続端子2とは別個のテスト端子5が形成されている。テスト端子5は、上述した駆動素子(不図示)の動作確認のための検査に用いられる端子である。さらに、基板1上には、基板1上にインク流路(不図示)およびこれに連通するインク吐出口6aを形成するノズル形成部材6が形成されている。
In FIG. 1, the ink jet recording head of this embodiment has a substrate 1 having an energy generating element (not shown) and a driving element (not shown) composed of a transistor or the like for driving the energy generating element. On the substrate 1, there are formed
ノズル形成部材6は、基板1上のテスト端子5が形成された領域に対向する部分に、基板1とノズル形成部材6との間に空隙を形成する凹部6bが形成されている。そのため、当該部分のノズル形成部材6は、厚みが他の領域よりも薄くなっており、基板1上のテスト端子5が形成された領域の上方に張り出した庇状の形状を成している。
In the
本実施形態におけるノズル形成部材6は、以下のようにして作製することができる。まず、基板1上にインク流路を成す型材を塗布する工程中において、基板1上のテスト端子5が形成された領域の上にも型材を塗布する。その後、型材のうちインク流路を成す部分と凹部6bを成す部分とを残し、型材のその他の部分を除去するように、型材をパターニングする。その後、上記のように型材が形成された基板1の上にノズル形成部材6を形成する。さらに、ノズル形成部材6にはインク流路に連通するインク吐出口6aを形成する。最後に、エッチング液を用いて上記の型材を除去する。基板1上にインク流路を成す型材は、インク吐出口6a等を通じてノズル形成部材6の外部に除去される。凹部6bを成す型材もこの除去工程中に除去され、その結果、ノズル形成部材6には、基板1とノズル形成部材6との間に空隙を形成する凹部6bが形成される。
The
このようなノズル形成部材6を備えた基板1に対して熱硬化の封止材20(図2参照)を塗布すると、封止材20は凹部6b内に流入し、テスト端子5を封止する。
When a thermosetting sealing material 20 (see FIG. 2) is applied to the substrate 1 provided with such a
図2は、図1に示したインクジェット記録ヘッドのテスト端子付近の断面模式図である。図2に示すように、ノズル形成部材6が構成された基板1と、インク供給部材あるいはインク供給補助部材10との間に塗布された封止材20は、凹部6b内に流入し、テスト端子5を封止している。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the test terminals of the ink jet recording head shown in FIG. As shown in FIG. 2, the sealing
本実施形態のインクジェット記録ヘッドでは、基板1上のテスト端子5が、基板1と部材10との間を封止する封止材20によって封止されている。封止材20を加熱して硬化させた後の冷却によって収縮が開始すると、部材10が封止材20を図示左方向に押圧する力が発生する。しかしながら、この場合であっても、封止材20はテスト端子5を覆った状態が保たれるので、テスト端子5が露出してテスト端子5にインクが付着することはない。仮に、そのような押圧力によってノズル形成部材6の一部が基板1から剥離したとしても、本実施形態の構成ではテスト端子5が露出することはない。
In the inkjet recording head of this embodiment, the
また、ノズル形成部材6の、基板1上のテスト端子5が形成された領域の上方に張り出した庇状の部分の表面は、ノズル形成部材6のインク吐出口6aが形成されている領域の表面(インク吐出口形成面)と同一面を形成している。したがって、インクジェット記録ヘッドのインク吐出口形成面をワイピングブレード(不図示)でワイピングする際に、ノズル形成部材6の庇状の部分がそのワイピング性能を低下させることはない。
Further, the surface of the ridge-like portion of the
なお、本実施形態では、テスト端子5を封止して保護する封止材20として、基板1と部材10との間に塗布され、基板1の切断端面の保護に用いる熱硬化型の封止材を使用した例を示した。しかし、テスト端子5の封止に適用可能な封止材はこれに限られず、電気接続端子2とリード4との電気接続部を保護するための熱硬化型の封止材を使用してもよい。ただし、基板1とノズル形成部材6との間の凹部6b内に流入可能な粘度を有する封止材を使用することが望ましい。
In this embodiment, the sealing
続いて、本実施形態のいくつかの変形例を示す。 Subsequently, some modified examples of the present embodiment will be described.
<第1の変形例>
図3は、図1等に示したインクジェット記録ヘッドの第1の変形例に係るテスト端子付近の断面模式図である。
<First Modification>
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of a test terminal according to a first modification of the ink jet recording head shown in FIG.
本変形例では、ノズル形成部材6の凹部6bが形成された部分に、貫通口6cが形成されている。この貫通口6cは、ノズル形成部材6にインク吐出口6aを形成する工程において、インク吐出口6aと同様に形成することができる。凹部6b内に流入した封止材20は貫通口6c内にも流入し、ノズル形成部材6の最表面における開口面でメニスカス力によって保持されている。
In this modification, the through-
封止材20を凹部6b内に流入させる際に、封止材20が空気を抱き込んで封止材20中に気泡が存在すると、封止材20がテスト端子5を保護する能力が低下したり、封止材封止材20の熱硬化中に封止材封止材20中の気泡が破裂することが懸念される。これに対し、本変形例のようにノズル形成部材6に貫通口6cを形成することにより、凹部6b内に封止材20が流入する際に凹部6b内に残されていた気泡を貫通口6cを通じて外部に排出することができる。したがって、封止材20を凹部6b内により確実に流入させることが可能になる。
When the sealing
<第2の変形例>
図4は、図1等に示したインクジェット記録ヘッドの第2の変形例に係るノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。
<Second Modification>
FIG. 4 is a schematic perspective view showing the shape of a nozzle forming member according to a second modification of the ink jet recording head shown in FIG.
封止材20を凹部6b内に流入させる際に、封止材20が空気を抱き込んで封止材20中に気泡が存在すると、封止材20がテスト端子5を保護する能力が低下したり、封止材封止材20の熱硬化中に封止材封止材20中の気泡が破裂することが懸念される。このことは、上述した通りである。
When the sealing
これに対し、図4(a)に示す第2の変形例では、ノズル形成部材6の凹部6bを形成する側壁の隅部が、面取り形状あるいは円弧形状に形成されている。これにより、凹部6b内に流入する封止材の流入性が向上し、かつ凹部6bの奥部の隅部に気泡が残存することを防ぐことが可能になる。さらに、図3に示した構成と同様に、ノズル形成部材6の凹部6bが形成された部分に、貫通口6cが形成されていてもよい。
On the other hand, in the second modification shown in FIG. 4A, the corner of the side wall forming the recess 6b of the
なお、図4(a)に示す例では、ノズル形成部材6の凹部6bを形成する側壁の全ての角部が面取り形状あるいは円弧形状に形成されているが、その全ての角部がそのように形成されていなくてもよい。たとえば、図4(b)に示すように、凹部6bの奥部の隅部にのみ、面取り形状あるいは円弧形状が形成されている構成であってもよい。
In the example shown in FIG. 4 (a), all the corners of the side wall forming the recess 6b of the
<第3の変形例>
図5は、図1等に示したインクジェット記録ヘッドの第3の変形例に係るノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。
<Third Modification>
FIG. 5 is a schematic perspective view showing the shape of a nozzle forming member according to a third modification of the ink jet recording head shown in FIG.
ノズル形成部材6の凹部6bが形成された部分は厚さが薄くなっており、基板1の切断、洗浄および分離などを行う際に破損することが懸念される。そのため、ノズル形成部材6の凹部6bが形成された部分を補強することが望ましい。
The portion of the
本変形例では、ノズル形成部材6の凹部6bが形成された部分の裏面に、基板1に接する柱状あるいは壁状の補強部6dが形成されている。補強部6dは、基板1上のテスト端子5以外の領域において基板1に接している。補強部6dは、ノズル形成部材6の凹部6bが形成された部分を支持し、基板1の切断、洗浄および分離などを行う際にその庇状の部分が破損することを防ぐ。
In this modification, a columnar or wall-shaped reinforcing portion 6 d that is in contact with the substrate 1 is formed on the back surface of the portion where the recess 6 b of the
特に、図5に示すように補強部6dを庇状部分の隅部に設けることにより、封止材が凹部6b内に流入する際に補強部6dがその妨げになることを抑えることができる。 In particular, by providing the reinforcing portion 6d at the corner of the bowl-shaped portion as shown in FIG. 5, it is possible to suppress the reinforcing portion 6d from hindering when the sealing material flows into the recess 6b.
(他の実施形態)
以下に、電気接続にフライングリードを有する電気配線部材を用いたインクジェット記録ヘッドの一例を示す。
(Other embodiments)
Hereinafter, an example of an ink jet recording head using an electrical wiring member having flying leads for electrical connection will be described.
後述するインクジェット記録ヘッドH1000は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギを生成するエネルギ発生素子としての電気熱変換体を用いたバブルジェット(登録商標)方式のインクジェット記録ヘッドである。インクジェット記録ヘッドH1000は、電気熱変換体とインク吐出口とが対向するように配置された、いわゆるサイドシュータ型のインクジェット記録ヘッドである。 An ink jet recording head H1000, which will be described later, is a bubble jet (registered trademark) ink jet that uses an electrothermal transducer as an energy generating element that generates thermal energy for causing film boiling in ink in response to an electrical signal. It is a recording head. The ink jet recording head H1000 is a so-called side shooter type ink jet recording head arranged so that the electrothermal transducer and the ink discharge port face each other.
図6はインクジェット記録ヘッドH1000の斜視図であり、図7はインクジェット記録ヘッドH1000の分解斜視図である。インクジェット記録ヘッドH1000は、エネルギ発生素子を有する記録素子基板H1100、フライングリードを有する電気配線部材H1300、およびインク供給保持部材H1500を有している。さらに、インクジェット記録ヘッドH1000は、フィルタH1700、インク吸収体H1600、蓋部材H1900、およびシール部材H1800を有している。 6 is a perspective view of the ink jet recording head H1000, and FIG. 7 is an exploded perspective view of the ink jet recording head H1000. The ink jet recording head H1000 includes a recording element substrate H1100 having energy generating elements, an electric wiring member H1300 having flying leads, and an ink supply holding member H1500. Further, the ink jet recording head H1000 includes a filter H1700, an ink absorber H1600, a lid member H1900, and a seal member H1800.
(1)エネルギ発生素子を有する記録素子基板H1100
図8は、エネルギ発生素子を有する記録素子基板H1100の構成を説明するための図で、一部破断して示す斜視図である。記録素子基板H1100は、例えば、厚さ0.5mm〜1mmのSi基板H1110に、インク流路である長溝状の貫通口のインク供給口H1102をSiの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で形成したものである。
(1) Recording element substrate H1100 having energy generating elements
FIG. 8 is a diagram for explaining the configuration of the recording element substrate H1100 having energy generating elements, and is a partially broken perspective view. The recording element substrate H1100 is, for example, an Si substrate H1110 having a thickness of 0.5 mm to 1 mm. It is formed by the method.
Si基板H1110には、インク供給口H1102を挟んでその両側に、エネルギ発生素子である電気熱変換素子H1103が1列ずつ並べて配置されており、さらに電気熱変換素子H1103に電力を供給するAl等からなる不図示の電気配線が形成されている。これら電気熱変換素子H1103と電気配線は、既存の成膜技術を利用して形成することができる。各列の電気熱変換素子H1103は、互いに千鳥状になるように配列されている。すなわち、各列の吐出口の位置が、その列方向に直交する方向に並ばないように、少しずれて配置されている。 In the Si substrate H1110, electrothermal conversion elements H1103 as energy generating elements are arranged side by side on both sides of the ink supply port H1102, and Al or the like that supplies electric power to the electrothermal conversion element H1103 is arranged. An electric wiring (not shown) made of is formed. These electrothermal conversion elements H1103 and electrical wiring can be formed by using an existing film forming technique. The electrothermal conversion elements H1103 in each column are arranged in a staggered manner. In other words, the positions of the ejection ports in each row are slightly shifted so as not to line up in a direction orthogonal to the row direction.
記録素子基板H1100では、インク流路H1102から供給されたインクは、各電気熱変換素子H1103の発熱によって発生した気泡の圧力によって、各電気熱変換素子H1103に対向する吐出口1107から吐出される。 In the recording element substrate H1100, the ink supplied from the ink flow path H1102 is ejected from the ejection port 1107 facing the electrothermal conversion elements H1103 by the pressure of the bubbles generated by the heat generated by the electrothermal conversion elements H1103.
(2)フライングリードを有する電気配線部材H1300
フライングリードを有する電気配線部材H1300は、記録素子基板H1100に対してインクを吐出するための電気信号を印加する電気信号経路を形成するものであり、ポリイミドのベース基材上に銅箔の配線パターンを形成することで構成されている。また、記録素子基板H1100を組み込むための開口部H1303が形成されており、この開口部の縁付近には、記録素子基板H1100の電気接続端子部H1104に接続されるフライングリード部H1304が形成されている。さらに、電気配線部材H1300には、本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子H1302が形成されており、この外部信号入力端子H1302とフライングリード部H1304が連続した銅箔の配線パターンでつながれている。
(2) Electric wiring member H1300 having flying leads
The electrical wiring member H1300 having flying leads forms an electrical signal path for applying an electrical signal for ejecting ink to the recording element substrate H1100, and a wiring pattern of copper foil on a polyimide base substrate. It is comprised by forming. Further, an opening H1303 for incorporating the recording element substrate H1100 is formed, and a flying lead portion H1304 connected to the electrical connection terminal portion H1104 of the recording element substrate H1100 is formed near the edge of the opening. Yes. Further, the electric wiring member H1300 is formed with an external signal input terminal H1302 for receiving an electric signal from the main unit, and the external signal input terminal H1302 and the flying lead portion H1304 are a continuous copper foil wiring pattern. It is connected.
電気配線部材H1300と記録素子基板H1100との電気的接続は、以下のようになされる。例えば、記録素子基板H1100の電気接続端子部H1104に形成されたバンプH1105と、電気接続端子部H1104に対応する電気配線部材H1300のフライングリード部H1304とが図9に示す位置関係で電気接合されることでなされている。 The electrical connection between the electrical wiring member H1300 and the recording element substrate H1100 is made as follows. For example, the bump H1105 formed on the electrical connection terminal portion H1104 of the recording element substrate H1100 and the flying lead portion H1304 of the electrical wiring member H1300 corresponding to the electrical connection terminal portion H1104 are electrically joined in the positional relationship shown in FIG. It is made by that.
(3)インク供給保持部材H1500
インク供給保持部材H1500は、例えば、樹脂成形により形成されている。樹脂材料には、形状的剛性を向上させるためにガラスフィラーを5〜40%混入した樹脂材料を使用することが望ましい。図7に示すように、インク供給保持部材H1500は、内部にインクを保持し負圧を発生するための吸収体H1600を有している。これにより、インクタンクの機能を、記録素子基板H1100にそのインクを導くためのインク流路を形成することでインク供給の機能をそれぞれ実現している。インク吸収体H1600としては、PP繊維を圧縮したものが使われているが、これに代えてウレタン繊維を圧縮したものを用いても良い。
(3) Ink supply holding member H1500
The ink supply holding member H1500 is formed by, for example, resin molding. As the resin material, it is desirable to use a resin material mixed with 5 to 40% of glass filler in order to improve the shape rigidity. As shown in FIG. 7, the ink supply holding member H1500 has an absorber H1600 for holding ink therein and generating negative pressure. Thus, the ink supply function is realized by forming an ink flow path for guiding the ink to the recording element substrate H1100. As the ink absorber H1600, a compressed PP fiber is used. Alternatively, a compressed urethane fiber may be used.
インク流路の上流部に位置するインク吸収体H1600からのインクが供給される部分とインク流路との境界部には、エネルギ発生素子を有する基板H1100内部へのゴミの進入を防ぐためのフィルタH1700が溶着により接合されている。フィルタH1700は、ステンレススチールからなる金属メッシュタイプでも良いが、ステンレススチールからなる金属繊維焼結タイプの方が好ましい。 A filter for preventing dust from entering the inside of the substrate H1100 having an energy generating element at a boundary portion between a portion where ink is supplied from the ink absorber H1600 located upstream of the ink flow path and the ink flow path H1700 is joined by welding. The filter H1700 may be a metal mesh type made of stainless steel, but is preferably a metal fiber sintered type made of stainless steel.
インク流路の下流部には、記録素子基板H1100にブラックのインクを供給するためのインク供給口H1200が形成されている。記録素子基板H1100のインク供給口1102がインク供給保持部材H1500のインク供給口H1200に連通するよう、記録素子基板H1100がインク供給保持部材H1500に対して位置精度良く接着固定される。この接着に用いられる第1の接着剤は、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後は、比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。この第1の接着剤としては、例えばエポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤がある。この熱硬化接着剤を用いた場合、その接着層の厚みは50μm程度が望ましい。 An ink supply port H1200 for supplying black ink to the recording element substrate H1100 is formed in the downstream portion of the ink flow path. The recording element substrate H1100 is adhesively fixed to the ink supply holding member H1500 with high positional accuracy so that the ink supply port 1102 of the recording element substrate H1100 communicates with the ink supply port H1200 of the ink supply holding member H1500. The first adhesive used for the bonding is desirably a low viscosity, low curing temperature, cured in a short time, and has a relatively high hardness after curing and ink resistance. As this 1st adhesive agent, there exists a thermosetting adhesive agent which has an epoxy resin as a main component, for example. When this thermosetting adhesive is used, the thickness of the adhesive layer is desirably about 50 μm.
また、記録素子基板H1100の接着面周囲の平面には、電気配線部材H1300の一部の裏面が第2の接着剤により接着固定される。記録素子基板H1100と電気配線部材H1300との電気接続部分は、第1の封止剤H1307および第2の封止剤H1308(図9参照)により封止され、これにより電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。第1の封止剤H1307は、主に電気配線部材H1300のフライングリード部H1302と記録素子基板H1100のバンプH1105との接続部の裏面側と、記録素子基板H1100の外周部分を封止ししている。第2の封止剤H1308は、上述の接続部の表側を封止している。そして、電気配線部材H1300の未接着部は折り曲げられ、インク供給保持部材H1500の記録素子基板H1100の接着面にほぼ垂直な側面に熱カシメもしくは接着等で固定される。 In addition, a part of the back surface of the electric wiring member H1300 is bonded and fixed to the plane around the bonding surface of the recording element substrate H1100 by the second adhesive. The electrical connection portion between the recording element substrate H1100 and the electrical wiring member H1300 is sealed with a first sealant H1307 and a second sealant H1308 (see FIG. 9), whereby the electrical connection portion is corroded by ink. And protects against external impacts. The first sealant H1307 mainly seals the back side of the connecting portion between the flying lead portion H1302 of the electric wiring member H1300 and the bump H1105 of the recording element substrate H1100 and the outer peripheral portion of the recording element substrate H1100. Yes. The 2nd sealing agent H1308 has sealed the front side of the above-mentioned connection part. The unbonded portion of the electric wiring member H1300 is bent and fixed to the side surface of the ink supply holding member H1500 that is substantially perpendicular to the bonding surface of the recording element substrate H1100 by heat caulking or bonding.
なお、インク供給保持部材H1500は図2及び図3に示した部材10に相当するものである。図2等に示された部材10は、インク供給保持部材H1500の記録素子基板H1100が搭載される部分を表している。
The ink supply holding member H1500 corresponds to the
(4)蓋部材H1900
蓋部材H1900は、インク供給保持部材H1500の上部開口部に溶着されることで、インク供給保持部材H1500内部を密閉するものである。蓋部材H1900には、インク供給保持部材H1500内部の圧力変動を逃がすための細口H1910とそれに連通した微細溝H1920が設けられている。細口H1910と微細溝H1920のほとんどをシール部材H1800で覆い、微細溝H1920の一端部を開口することで、大気連通口H1924を形成している。また、蓋部材H1900は、インクジェット記録ヘッドH1000をインクジェット記録装置に固定するための係合部H1930を有している。
(4) Lid member H1900
The lid member H1900 seals the inside of the ink supply holding member H1500 by being welded to the upper opening of the ink supply holding member H1500. The lid member H1900 is provided with a narrow opening H1910 for releasing pressure fluctuation inside the ink supply holding member H1500 and a fine groove H1920 communicating with the narrow opening H1910. Most of the narrow opening H1910 and the fine groove H1920 are covered with a seal member H1800, and one end of the fine groove H1920 is opened to form an air communication opening H1924. The lid member H1900 has an engaging portion H1930 for fixing the ink jet recording head H1000 to the ink jet recording apparatus.
1 基板
5 テスト端子
6 ノズル形成部材
6a インク吐出口
6b 凹部
20 封止材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board |
Claims (7)
前記基板の外周領域には前記駆動素子を検査するための複数のテスト端子が設けられており、
前記ノズル形成部材は、前記複数のテスト端子が形成された領域に対向する部分に形成される凹部と、該凹部の前記複数のテスト端子に対向する部分に形成される貫通口とを備え、前記凹部の内部は封止材で封止されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 A substrate provided with an energy generating element for generating ink discharge energy for discharging ink droplets from the ink discharge port and a drive element for driving the energy generating element, and provided on the substrate, and the ink discharger on the substrate. In an ink jet recording head having an outlet and a nozzle forming member that forms an ink flow path communicating with the ink discharge port,
A plurality of test terminals for inspecting the driving element is provided in the outer peripheral region of the substrate,
It said nozzle forming member comprises a recess previous SL plurality of test terminals are formed on opposite portions formed region and a through hole which is formed in a portion opposed to the plurality of test terminals of the recess, An ink jet recording head, wherein the inside of the recess is sealed with a sealing material.
前記封止材には前記第1の封止材が用いられている、請求項1から5のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。 The cut end surface of the substrate is protected by a thermosetting first sealing material,
Wherein the sealing material the first sealing material is used, the ink jet recording head according to any one of claims 1 to 5.
前記封止材には前記第2の封止材が用いられている、請求項1から6のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。 The board is provided with an electrical connection terminal connected to a wiring board, and the electrical connection terminal is protected by a thermosetting second sealing material,
Wherein the sealing member and the second sealing material is used, the ink jet recording head according to any one of claims 1 to 6.
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