JP4464649B2 - Microscope rotation stage and polarization microscope - Google Patents
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Description
本発明は、例えば教育用・検査用等の安価な偏光顕微鏡に適用可能な顕微鏡に係り、回転ステージの回転精度を向上しかつこれを確保するための顕微鏡の回転ステージ及びこれを用いた偏光顕微鏡に関する。 The present invention relates to a microscope that can be applied to an inexpensive polarization microscope, for example, for education and inspection, and to improve the rotation accuracy of the rotation stage and ensure the same, and a polarization microscope using the same About.
かかる偏光顕微鏡の回転ステージは、様々な場面で用いられる基本的かつ重要な構成要素の1つである。例えばオルソスコープにおける観察試料の角度変更やリターデーション測定における消光位(観察試料が最も暗くなる位置)や対角位(観察試料が最も明るくなる位置)の検出などを行う場合、偏光顕微鏡にとって回転ステージによる観察試料の回転は不可欠な主機能である。 The rotating stage of such a polarizing microscope is one of the basic and important components used in various situations. For example, when the angle of the observation sample in an orthoscope is changed, or when the extinction position (position where the observation sample becomes darkest) or the diagonal position (position where the observation sample becomes brightest) is detected in the retardation measurement, a rotating stage is used for the polarization microscope. Rotation of the observation sample by is an essential function.
このような回転ステージに求められる性能は、偏光顕微鏡の観察視野内において、観察試料の観察したい任意の部位の位置を変えることなく滑らかに回転させることである。そのための条件として、先ず、回転ステージの回転中心位置と対物レンズの光軸(すなわち視野中心)とを完全に一致させることが必要である。これら回転ステージの回転中心位置と対物レンズの光軸との調整のためには、通常、何らかの調整機構を備えている。 The performance required for such a rotary stage is to smoothly rotate the observation specimen without changing the position of an arbitrary part to be observed within the observation field of the polarizing microscope. As a condition for this, first, it is necessary to completely match the rotation center position of the rotary stage with the optical axis of the objective lens (that is, the center of the visual field). In order to adjust the rotation center position of these rotary stages and the optical axis of the objective lens, some kind of adjustment mechanism is usually provided.
次の条件として、回転ステージの回転中心位置と対物レンズの光軸とを一致させた状態で、如何に回転ステージの回転中心が振れなく高精度に回転させるかということである。 The next condition is how to rotate the rotation center of the rotation stage with high accuracy with the rotation center position of the rotation stage coincident with the optical axis of the objective lens.
回転ステージには、回転中心の振れを無くして高精度な回転を維持するために、高精度なラジアルベアリングを用いた高価なものがある。このような回転ステージは、一般的に研究用途等の高価な顕微鏡に適用される場合が多く、低価格が求められる教育用・実習用の顕微鏡に適用されるケースは少ない。 Some rotary stages are expensive using high-precision radial bearings in order to maintain high-precision rotation by eliminating the rotation center. Such a rotation stage is generally often applied to an expensive microscope for research use or the like, and is rarely applied to an educational / practical microscope requiring low cost.
このような各条件を必要とする偏光顕微鏡の回転ステージとしては、例えば、特許文献1に摺動嵌合によるすべり軸受方式の回転ステージの構成が記載されている。 As a rotating stage of a polarizing microscope that requires each of these conditions, for example, Patent Document 1 describes a configuration of a sliding bearing type rotating stage by sliding fitting.
特許文献2には、偏光顕微鏡の観察試料の位置調整に用いられる顕微鏡ステージにおいて、円周部付近に角度表示目盛を付した自在に回転可能な円板状ステージの上に互いに直交するスライドグラス保持具とスライドグラス押えとを配置し、これらスライドグラス保持具とスライドグラス押えとによってスライドグラス上の観察試料を顕微鏡の視野内に入るよう移動調節することが記載されている。
In
特許文献3には、XY軸可動ステージの回動及び傾斜を可能にした顕微鏡のステージにおいて、基台上に回動可能な回転テーブルを設け、この回転テーブル上に上方への突出量を調整可能な3つの支持ピン部材を介してXY軸可動ステージを支持する構造として、XY軸可動ステージの回動及び傾斜を調整することが記載されている。 In Patent Document 3, in a microscope stage that enables rotation and tilting of an XY-axis movable stage, a rotatable table is provided on a base, and an upward protrusion amount can be adjusted on the rotary table. As a structure for supporting the XY-axis movable stage through three support pin members, it is described that the rotation and inclination of the XY-axis movable stage are adjusted.
特許文献4には、凸状マウントを有するステージホルダと、これに対応する凹状部を有すると共にステージホルダに対して位置調整・固定可能な回転ガイドリングと、回転ガイドリングをガイドとして光軸と直交する面内で回転可能な回転部材とを備え、厚さの薄い構成によって心出しを調整可能とする回転ステージが記載されている。
しかしながら、特許文献1は、回転ステージの軸と穴との一般的な嵌め合い寸法による嵌合、若しくは穴寸法に合わせて回転ステージの軸の加工を行ってガタの極小化を行う合わせ加工を行う必要がある。このため、回転ステージの軸と穴との寸法を幾ら極小に詰めたとしても、回転ステージを回転させる為には、微小な隙間が必要で、その隙間が回転ステージを操作したときのガタとなって現れる。 However, Patent Document 1 performs fitting by minimizing the backlash by fitting with a general fitting dimension between the shaft and hole of the rotary stage or by processing the shaft of the rotary stage according to the hole size. There is a need. For this reason, no matter how small the axis and hole dimensions of the rotary stage are, a small gap is required to rotate the rotary stage, and this gap becomes a backlash when the rotary stage is operated. Appear.
通常の生産レベルでは、回転ステージの軸と穴との隙間を10μm以下にすることは困難で、仮に出来たとしても、多大な時間と費用を費やすことになる。例えば10μmのガタのある回転ステージで偏光観察を行った場合、特に高倍率の対物レンズで観察した際に、回転ステージを回転したときに観察試料の見たい部位が回転に応じて観察視野内で一定の位置に存在しないために、正確な回転による偏光特性の変化を捉えられないことが生じる可能性を有する。
At a normal production level, it is difficult to make the clearance between the shaft and the hole of the
一方、回転ガタを減らす構成としては、市販ベアリング、ボール方式を用いることも考えられるが、部品の高価格、組立工数のアップにより、安価な偏光顕微鏡には適用できない。特に高倍率の対物レンズで観察した際に、回転ステージを回転したときに観察試料中の観察したい部位の位置が観察視野内で回転に応じて一定しないために、正確な回転による偏光特性の変化を捉えられないことも生じる可能性を有する。 On the other hand, it is conceivable to use a commercially available bearing or ball system as a configuration for reducing the rotation play, but it cannot be applied to an inexpensive polarizing microscope due to the high cost of parts and the increase in the number of assembly steps. Especially when observing with a high-magnification objective lens, the position of the part to be observed in the observation sample is not constant according to the rotation in the observation field when the rotary stage is rotated. May not be able to be captured.
特許文献2は、回転ステージの回動を可能にする具体的な構成、例えば摺動嵌合若しくはベアリングといったガイド機構について何ら開示されていない。
特許文献3は、操作ダイヤルの操作によりピニオンとギヤを介して回転テーブルを回動させる機構が開示されているが、やはり具体的な構成、例えば摺動嵌合若しくはベアリングといったガイド機構について何ら示されていない。 Patent Document 3 discloses a mechanism for rotating a rotary table via a pinion and a gear by operating an operation dial. However, a specific configuration, for example, a guide mechanism such as a sliding fitting or a bearing is disclosed. Not.
特許文献4は、ガイド部材としての回転ガイドリングと回転部材との間に、複数の転動体、例えばボール、ローラ等を配することが記載されているが、転動体を組み込んでガタなく滑らかに回転させるための具体的な構成、例えば予圧をかける構成などは開示されていない。又、転動体を用いた転がり方式の回転ステージであるために、部品に要求される真円度などの精度を高くする必要がある。このため、部品に係る価格が高くなり、結果的に回転ステージを安価に製作することができない。
本発明は、中央部に開口部が形成されたステージ座と、観察試料を載置し、かつステージ座の開口部内に対して回転可能に嵌合された回転ステージ軸と、回転ステージ軸をステージ座に対して回転可能な状態で支持する止め部材と、ステージ座に設けられ、回転ステージ軸をステージ座の開口部内における一方向に押し付けて固定する調整部材とを具備した顕微鏡の回転ステージである。 The present invention relates to a stage seat having an opening formed at the center, a rotary stage shaft on which an observation sample is placed and rotatably fitted in the opening of the stage seat, and the rotary stage shaft as a stage. The microscope rotation stage includes a stop member that supports the seat in a rotatable state, and an adjustment member that is provided on the stage seat and presses and fixes the rotary stage shaft in one direction within the opening of the stage seat. .
本発明は、上記顕微鏡の回転ステージを用いた偏光顕微鏡である。 The present invention is a polarizing microscope using the rotating stage of the microscope.
本発明は、安価でありながら、回転時の回転中心の振れがなく精度高く回転可能な顕微鏡の回転ステージ及びこれを用いた偏光顕微鏡を提供できる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can provide a rotating stage of a microscope that can be rotated with high accuracy without being shaken at the center of rotation while being inexpensive, and a polarizing microscope using the same.
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は顕微鏡の回転ステージを適用した偏光顕微鏡の全体構成図である。顕微鏡本体1は、コ字形状に形成されている。この顕微鏡本体1の下部には、透過照明光源2が設けられている。この透過照明光源2から放射される透過照明光の光路上(光軸P上)には、コレクタレンズ3が設けられている。このコレクタレンズ3は、透過照明光源2から放射された透過照明光を集光する。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of a polarization microscope to which a microscope rotation stage is applied. The microscope main body 1 is formed in a U shape. A transmitted
顕微鏡本体1の中間部には、ステージ受け部4が上下動可能に設けられている。このステージ受け部4の端部5には、コンデンサ受け6がハンドル7の回転操作により上下動可能に設けられている。コンデンサ受け6には、コンデンサレンズ8が挿入されて固定されている。このコンデンサレンズ8は、透過照明光源2から放射された透過照明光をスライドガラス(観察試料)Sに集光する。コンデンサ受け6の下部には、ポラライザユニット9が回転可能に取り付けられている。このポラライザユニット9内には、ポラライザ(偏光板)10が設けられている。これらコンデンサレンズ8及びポラライザ10は、光軸P上に設けられている。
A
ステージ受け部4は、粗微動ハンドル11の回転操作により顕微鏡本体1に対して上下動する。このステージ受け部4には、ステージ台12が設けられている。このステージ台12は、中央部に開口部13が形成されている。このステージ台12上には、回転ステージユニット14が設けられている。この回転ステージユニット14上には、観察試料を保持するスライドガラス(観察試料)Sが載せられる。
The
ステージ台12上の1箇所には、押しピン15が摺動可能に挿入されている。この押しピン15は、コイルバネ16を介してネジ17によってステージ台12に押さえられている。
A push pin 15 is slidably inserted into one place on the
又、ステージ台12上における押しピン15を取り付けた箇所に対してステージ台12の中心を介して点対称の箇所と、この箇所に対してステージ台12の中心から開口角120°の箇所との計2箇所には、それぞれ心ネジ18が設けられている。これら心ネジ18は、回転操作により回転ステージユニット14をXY方向に移動させる。
Further, a point symmetric with respect to the location where the push pin 15 is attached on the
顕微鏡本体1の上部には、レボルバ19が回転自在に設けられている。このレボルバ19は、複数の対物レンズ20を取り付け・取り外し可能に装着する。このレボルバ19は、顕微鏡本体1に対して回転することにより所望の対物レンズ20を光軸P上に切り替え配置可能とする。
A
顕微鏡本体1の上面には、中間鏡筒21が設けられている。この中間鏡筒21は、図示しないがアナライザ及び対物レンズ20の瞳を接眼レンズ22の焦点面に投影させる為のベルトランレンズ23を内蔵する。なお、中間鏡筒21には、スロット24が設けられている。
An
中間鏡筒21上には、鏡筒25が設けられている。この鏡筒25内には、結像レンズ26と、光路を接眼レンズ22の方へ折り返す為のプリズム27とを有する。
A
図2及び図3は回転ステージユニット14の構成図であって、図2は断面図、図3は下面図である。ステージ座30は、環状に形成され、その側面31は傾斜している。この側面31には、押しピン15及び各心ネジ18が当接する。このステージ座30には、回転ステージ軸32が当該回転ステージ軸32の開口部34の縁に沿って形成された凸状の嵌合片33を介して回転可能に嵌合している。
2 and 3 are configuration diagrams of the
この回転ステージ軸32は、中央部に円形の開口部34を有する環状に形成されている。この回転ステージ軸32には、その厚みを開口部34に向って薄くするテーパ部35を形成する。
The
図4はステージ座30と回転ステージ軸32との嵌合部の拡大図を示す。回転ステージ軸32におけるステージ座30との各接触面には、それぞれ凹形状の各逃げ部36、37が設けられている。これら回転ステージ軸32とステージ座30とは、止め部材38により支持されている。この止め部材38は、一部断面がL字形状でかつ環状に形成され、回転ステージ軸32の嵌合片33の内壁面に対して螺合している。これにより、回転ステージ軸32は、ステージ座30に対して回転可能でかつ回転軸方向に動かないように固定されている。
FIG. 4 shows an enlarged view of a fitting portion between the
図3に示すようにステージ座30には、すべりタイプの各調整部材39、40が設けられている。これら調整部材39、40は、ステージ座30の中心に対して任意の角度θ、例えばθ=120°の間隔で設けられている。これら調整部材39、40は、それぞれ各調節片41、42と、固定部材として各ネジ43、44とを有する。各調節片41、42は、回転ステージ軸32の嵌合片33の外壁面と接触する各端面41a、42aの形状を、嵌合片33の外周縁の曲率と同一の曲率を有する円弧に形成されている。又、これら調節片41、42は、ステージ座30の中心に向う方向(A)に向って摺動可能に設けられている。
As shown in FIG. 3, the
これら調整部材39、40は、各調節片41、42をステージ座30に対して中心方向(A)に摺動させることにより各端面41a、42aを回転ステージ軸32の嵌合片33の外壁面に接触し、回転ステージ軸32をステージ座30の一方向に押し付けて、ステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くすように調整する。そして、これら調整された各調節片41、42は、各ネジ43、44により締め付けられてステージ座30に固定される。
The adjusting
次に、上記の如く構成された顕微鏡の回転ステージの動作について説明する。 Next, the operation of the rotating stage of the microscope configured as described above will be described.
偏光特性測定(リタデーション測定)は、オルソスコープ観察により行う。この観察では、偏光観察用の中間鏡筒21における図示しないターレットを切り換えて、ベルトランレンズ23を対物レンズ20の光軸P上に位置しない空穴位置にする。又、中間鏡筒21における図示しない操作ツマミを操作してアナライザを取り外す(アナライザOUT状態)。ポラライザユニット9は、取り外しておく。なお、ポラライザ10は、取り付けておいてもよいが、照明が少し暗くなる。
Polarization characteristic measurement (retardation measurement) is performed by orthoscope observation. In this observation, the turret (not shown) in the
通常の明視野等の観察方法と同様に、粗微動ハンドル11を回転操作して対物レンズ20に対してスライドガラス(観察試料)Sに対してピントを概略合わせる。次に、ハンドル7を回転操作してコンデンサレンズ8の位置を最適に調節する。再度、スライドガラス(観察試料)Sに対してピントを正確に合わせる。
In the same manner as in an ordinary observation method such as bright field, the coarse / fine adjustment handle 11 is rotated to roughly focus the
次に、中間鏡筒21における図示しない操作ツマミを操作して、アナライザを挿入(アナライザIN状態)してから、アナライザの回転位置を目盛り「0」に合わす。次に、ポラライザユニット9を装着する。ここで、一旦、スライドガラス(観察試料)Sを回転ステージ軸32上から取り外してからアナライザとポラライザ10とを直交させた状態(クロスニコル)にする。実際の操作としては、ポラライザユニット9を回転させてアナライザとポラライザ10とをクロスニコルにする。
Next, an operation knob (not shown) in the
再度、スライドガラス(観察試料)Sを回転ステージ軸32上に載置することでオルソスコープ観察が可能になる。この操作は、アナライザの回転角度に応じた観察を行う場合、基準が欲しい為である。
By placing the slide glass (observation sample) S on the
次に、スライドガラス(観察試料)Sを観察したい位置に回転ステージ軸32の中心位置を合わせる。例えば、対物レンズ20を倍率10倍等の低倍にセットする。観察試料Sを観察したい位置にスライドガラス(観察試料)Sを直接動かすか、又は心ネジ18を回転操作することで回転ステージユニット14の全体をXY方向に移動して、回転ステージ軸32の中心位置をスライドガラス(観察試料)Sの観察位置に調整する。
Next, the center position of the
この状態で、回転ステージ軸32を回転させると、接眼レンズ22の観察視野内におけるスライドガラス(観察試料)Sの観察視野の中心に対する動きが確認される。スライドガラス(観察試料)Sは、例えば観察視野の中心を動きの中心として円の軌跡を描いて移動する。そこで、スライドガラス(観察試料)S中の観察したいポイントの軌跡(円)の中心を観察視野の中心位置になるように、心ネジ18を回転操作して回転ステージユニット14をXY方向に移動する。この状態で、スライドガラス(観察試料)Sのみを移動して観察試料中の観察したいポイントを観察視野中心に合わせ直す。以上の調整を低倍(10倍)〜高倍(40倍)の各対物レンズ20に順次切り替えて観察試料を観察したい位置に回転ステージ軸32の中心位置を合わせる。
When the
中間鏡筒21のスロット24に各種コンペンセータを挿入すると、観察試料のリタデーションの測定をすることができる。
When various compensators are inserted into the
次に、ステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタの調整について図5及び図6を参照して説明する。なお、図5及び図6はステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタ量を強調して示す。
Next, adjustment of backlash between the
図5は各調整部材39、40を設ける前のステージ座30と回転ステージ軸32との嵌合状態を示す。これらステージ座30と回転ステージ軸32とのガタ量は、ステージ座30と回転ステージ軸32と隙間がΔxであれば、2×xにより示される。
FIG. 5 shows a fitting state between the
通常の加工精度では、隙間Δxは5〜10μm(直径では2・Δx=10〜20μm)である。隙間Δxには、回転ステージ軸32の回転を円滑にすると共に耐久性を向上させるために潤滑材としてグリス等が施されている。このグリスの粘性特性によつて回転ステージ軸32を回転させるための力量も変化する。グリスの静・動摩擦係数によっても回転ステージ軸32を回転させるときの始動時力量、作動力量も変化する。
With normal machining accuracy, the gap Δx is 5 to 10 μm (2 · Δx = 10 to 20 μm in diameter). Grease or the like is applied to the gap Δx as a lubricant for smooth rotation of the
図6は各調整部材39、40を設けた構成を示す。これら調整部材39、40は、各調節片41、42をステージ座30に対して中心に向う方向(A)に摺動させる。これにより、各調節片41、42の各端面41a、42aは、回転ステージ軸32の嵌合片33の外壁面に接触し、回転ステージ軸32をステージ座30の一方向(矢印B方向)に押し付ける。
FIG. 6 shows a configuration in which the
この結果、ステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタは、極小又は無くすように調整される。これら調整された各調節片41、42は、各ネジ43、44により締め付けられてステージ座30に固定される。
As a result, the backlash between the
このように各調整部材39、40により回転ステージ軸32は、ガタ分だけステージ座30に寄せられる。これにより、回転ステージ軸32は、外周の一部と各調整部材39、40とに接触してステージ座30内に嵌合される。このとき、回転ステージ軸32の回転心ガタは、回転ステージ軸32の軸真円度に依存して決められ、例えば1〜2μmまで可能である。但し、回転ステージ軸32をステージ座30に組付けた後にラッピング等を施すことにより回転心ガタを更に減らすことが可能である。
In this way, the
このように上記第1の実施の形態によれば、回転ステージ軸32を回転可能に嵌合するステージ座30に各調整部材39、40を設け、これら調整部材39、40の各調節片41、42をステージ座30に対して中心方向(A)に摺動させることにより、回転ステージ軸32をガタ量分だけステージ座30に寄せてステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くすように調整する。
As described above, according to the first embodiment, the
これにより、ステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くなった状態で、スライドガラス(観察試料)Sが載置された回転ステージユニット14を回転させることができる。ステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタの調整は、各調整部材39、40による簡単な構成で行うことができ、安価に実現できる。従って、これら調整部材39、40によるステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタの調整は、教育用・実習用の顕微鏡に好適である。
Thereby, the
又、ステージ座30と回転ステージ軸32との嵌合精度は高めることなく、既存の嵌合精度でステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くすように調整できる。
Further, it is possible to adjust the play between the
さらに、原価的には、各調整部材39、40に要する費用と、これら調整部材39、40の組立時間に係る費用との分だけ高くなるだけで、大幅な価格アップには繋がらない。
Furthermore, in terms of cost, the cost is increased only by the cost required for each
又、ステージ座30と回転ステージ軸32との嵌合と、各調整部材39、40による調整との併用によりガタをなくすので、各調整部材39、40に対する負担を最小に抑えることができ、耐久性を向上できる。
Further, since the play is eliminated by the combined use of the fitting between the
このような偏光顕微鏡の回転ステージユニット14であれば、例えばオルソスコープにおけるスライドガラス(観察試料)Sの角度変更やリターデーション測定における消光位と対角位との検出などを行うときに、スライドガラス(観察試料)Sを載せた回転ステージユニット14を回転させても、観察視野内においてスライドガラス(観察試料)Sの観察したい任意の部位の位置を変えることなく観察できる。
With the
次に、上記第1の実施の形態の変形例について説明する。 Next, a modification of the first embodiment will be described.
図7及び図8は回転ステージユニット14に設けられた各調整部材の変形例を示す構成図であって、図7は断面図、図8は回転ステージユニットの下面図である。各調整部材50、51は、上記第1の実施の形態における各調整部材39、40の回転ステージ軸32との接触幅及びその接触高さ寸法よりも、これら回転ステージ軸32との接触幅が大きく形成され、かつ接触高さ寸法が高く形成されている。ステージ座52は、各調整部材50、51の接触幅及び接触高さ寸法の変更に応じて形状を変更してもよい。
7 and 8 are configuration diagrams showing modifications of the respective adjustment members provided in the
各調整部材39、40及び50、51の形状は、回転ステージ軸32との接触巾及び接触高さ寸法について特に規定しない。回転ステージ軸32との接触面積が増加すれば、単位面積辺りの面圧が小さくなるので、磨耗等の耐久性上有利になる。
The shape of each
各調整部材39、40及び50、51の材質は、精度を保ち、かつ回転ステージ軸32の回転時における抵抗に対する強度を有すれば、如何なるものでよく、例えばアルミニウム、黄銅、鉄、樹脂などでもよい。なお、各調整部材39、40及び50、51は、回転ステージ軸32との相性が存在しており、例えば回転ステージ軸32がアルミニウムにより形成されていれば、各調整部材39、40及び50、51は、同じアルミニウム、若しくは同等の機械的性質を有する材質であることが好ましい。
The material of each
各調整部材39、40及び50、51は、すべりタイプであるが、回転ステージ軸32の2点を規制できれば良いので、ベアリング、コロ、ボール、ピン形状のものでもよい。
Each of the
上記第1の実施の形態では、それぞれ2箇所に各調整部材39、40及び50、51を設けているが、2箇所に限らず、3箇所以上の複数箇所に設けてもよい。
In the first embodiment, the
次に、本発明の第2の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図2及び図3と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 2 and 3 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
図9及び図10は回転ステージユニット14の構成図であって、図9は断面図、図10は下面図である。なお、図9中における光軸Pよりも右側は、図10のB−B断面図である。ステージ座30の内周部には、例えば角度120毎の等間隔で3箇所に各ベアリング60、61、62が設けられている。これらベアリング60、61、62は、例えば4級程度の小径玉軸受又は深溝玉軸受に相当する。これらベアリング60、61、62は、それぞれステージ座30に固定された各軸63、64、65に回転可能に軸支されている。そして、これらベアリング60、61、62は、回転ステージ軸32の嵌合片33に接触している。
9 and 10 are configuration diagrams of the
このうちベアリング62は、板バネ状の弾性部材66に回転可能に支持されている。この弾性部材66は、各ピン67によりステージ座30に固定されている。この弾性部材66は、ステージ座30の中心方向に向って付勢力を与える。この弾性部材66の力量は、ベアリング62自体に有する微小なガタを片側に寄せられる程度で、回転ステージ軸32の回転操作時に例えば指に掛けて回転させたときにも、影響を受けないように大きめな力量が設定されている。
Of these, the
このように上記第2の実施の形態によれば、ステージ座30の内周部の例えば3箇所に各ベアリング60、61、62を設け、このうちベアリング62を弾性部材66によってステージ座30の中心方向に向って付勢力を与えるようにした。
As described above, according to the second embodiment, the
これにより、回転ステージ軸32をガタ量分だけステージ座30に寄せてステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くすように調整でき、この調整によりステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くなった状態で、スライドガラス(観察試料)Sが載置された回転ステージユニット14を回転させることができる。
As a result, the
ここで、各ベアリング60、61、62と接触する回転ステージ軸32の軸の真円度は、高精度(1〜2μm程度)に抑えられている。各ベアリング60、61、62には微小なガタが存在するが、弾性部材66の作用により常にステージ座30の中心方向に向って寄せられているので、回転ステージ軸32の中心は、自身の真円度によるバラツキ分と各ベアリング60、61、62自体の回転偏心分程度しか偏心が発生しない。
Here, the roundness of the axis of the
上記第1の実施の形態と比較すると、回転ガイドとして各ベアリング60、61、62を用いているので、回転力量が小さくて済み、操作性の向上が図れる。又、嵌合摺動が無いので、更に安価である。
Compared with the first embodiment, since the
耐久性は、各ベアリング60、61、62によるころがりを用いているので、上記第1の実施の形態における各調整部材39、40と回転ステージ軸32との間の滑りと比較して明らかに向上できる。
The durability is clearly improved compared to the slip between the adjusting
次に、上記第2の実施の形態の変形例について説明する。 Next, a modification of the second embodiment will be described.
上記第2の実施の形態では、各ベアリング60、61、62を弾性部材66に支持して回転ステージ軸32に押付けているが、位置決め固定することも容易に可能である。又、弾性部材66は、板バネ状に形成しているが、圧縮・引張りコイルバネやゴム等を用いても良い。
In the second embodiment, the
又、各ベアリング60、61、62に代えてボール、コロでもよい。又、各ベアリング60、61、62は、回転ステージ軸32に対して水平方向に接触させているが、軸方向のガタが存在すれば、図11に示すように軸方向に回転ステージ軸32を押し付けるために角度を付けて接触させてもよい。
Further, instead of the
各ベアリング60、61、62は、ステージ座30に対して傾いて取り付けられている。これにより、各ベアリング60、61、62は、回転ステージ軸32の軸面に対して垂直に転がるように配置されている。このうちベアリング62は、傾いた状態で板バネ状の弾性部材66によってステージ座30の中心方向に向って付勢力を与えている。これにより、回転ステージ軸32は、Z方向に常に力が働き、結果的に一方向の面に常に突き当たることになり、回転軸方向のガタを減らすことができる。
Each bearing 60, 61, 62 is attached to the
上記第2の実施の形態では、それぞれ3箇所に各ベアリング60、61、62を設けているが、3箇所以上の複数箇所に設けてもよい。
In the second embodiment, the
又、各調整部材39、40、50、51は、それぞれ2つに限らず、1つ又は2つ以上設けてもよい。例えば、1つの調整部材39を設け、この調整部材39における調節片41をステージ座30に対して中心方向に摺動させて回転ステージ軸32をステージ座30における調整部材39の対向側に押し付けてステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くすように調整するようにしてもよい。
Further, the number of adjusting
又、例えば、2つのベアリング62、62を所定の間隔で設け、これらベアリング62、62をステージ座30に対して中心方向に摺動させて回転ステージ軸32をステージ座30における調整部材39の対向側に押し付けてステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くすように調整するようにしてもよい。
Further, for example, two
又、例えば、1つの調整部材39と、この調整部材39と対向側に2つの固定された基準片を所定間隔だけ離して設け、1つの調整部材39における調節片41をステージ座30に対して中心方向に摺動させて回転ステージ軸32を2つの基準片に押し付けてステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くすように調整するようにしてもよい。
In addition, for example, one
又、例えば、1つの調整部材39と、この調整部材39と対向側に2つの固定されたベアリングを所定間隔だけ離して設け、1つの調整部材39における調節片41をステージ座30に対して中心方向に摺動させて回転ステージ軸32を2つのベアリングに押し付けてステージ座30と回転ステージ軸32との間のガタを極小又は無くすように調整するようにしてもよい。
Further, for example, one
1:顕微鏡本体、2:透過照明光源、3:コレクタレンズ、4:ステージ受け部、5:ステージ受け部の端部、6:コンデンサ受け、7:ハンドル、8:コンデンサレンズ、9:ポラライザユニット、10:ポラライザ(偏光板)、11:粗微動ハンドル、12:ステージ台、13:開口部、14:回転ステージユニット、15:押しピン、16:コイルバネ、17:ネジ、18:心ネジ、19:レボルバ、20:対物レンズ、21:中間鏡筒、22:接眼レンズ、23:ベルトランレンズ、24:スロット、25:鏡筒、26:結像レンズ、27:プリズム、30:ステージ座、31:ステージ座の側面、32:回転ステージ軸、33:嵌合片、34:開口部、35:テーパ部、36,37:逃げ部、38:止め部材、39,40:調整部材、41,42:調節片、43,44:ネジ、50,51:調整部材、52:ステージ座、60〜62:ベアリング、63,64,65:軸、66:弾性部材。 1: microscope body, 2: transmitted illumination light source, 3: collector lens, 4: stage receiver, 5: end of stage receiver, 6: condenser receiver, 7: handle, 8: condenser lens, 9: polarizer unit, 10: Polarizer (polarizing plate), 11: Coarse / fine movement handle, 12: Stage base, 13: Opening, 14: Rotating stage unit, 15: Push pin, 16: Coil spring, 17: Screw, 18: Core screw, 19: Revolver, 20: objective lens, 21: intermediate lens barrel, 22: eyepiece lens, 23: belt run lens, 24: slot, 25: lens barrel, 26: imaging lens, 27: prism, 30: stage seat, 31: stage Side face of seat, 32: rotary stage shaft, 33: fitting piece, 34: opening, 35: taper part, 36, 37: relief part, 38: stop member, 39, 40: adjustment part , 41: adjusting piece, 43: screw, 50, 51: adjustment member, 52: Stage seat, 60-62: Bearing, 63, 64 and 65: Axis 66: elastic member.
Claims (13)
観察試料を載置し、かつ前記ステージ座の前記開口部内に対して回転可能に嵌合された回転ステージ軸と、
前記回転ステージ軸を前記ステージ座に対して回転可能な状態で支持する止め部材と、
前記ステージ座に設けられ、前記回転ステージ軸を前記ステージ座の前記開口部内における一方向に押し付けて固定する調整部材と、
を具備したことを特徴とする顕微鏡の回転ステージ。 A stage seat with an opening in the center,
A rotating stage shaft on which an observation sample is placed and rotatably fitted in the opening of the stage seat;
A stop member that supports the rotary stage shaft in a rotatable state with respect to the stage seat;
An adjustment member provided on the stage seat and pressing and fixing the rotary stage shaft in one direction within the opening of the stage seat;
A microscope rotation stage characterized by comprising:
前記調節片を前記ステージ座に固定する固定部材と、
を有することを特徴とする請求項1又は2記載の顕微鏡の回転ステージ。 The adjustment member is an adjustment piece slidable in the center direction of the stage seat with respect to the stage seat;
A fixing member for fixing the adjustment piece to the stage seat;
The rotation stage of the microscope according to claim 1 or 2, characterized by comprising:
これら調節片を前記ステージ座に固定する複数の固定部材と、
を有することを特徴とする請求項2記載の顕微鏡の回転ステージ。 The plurality of adjustment members are respectively a plurality of adjustment pieces that can slide in the center direction of the stage seat with respect to the stage seat;
A plurality of fixing members for fixing the adjusting pieces to the stage seat;
The microscope rotation stage according to claim 2, further comprising:
前記軸に対して回転可能に設けられたベアリングと、
を有することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡の回転ステージ。 The adjusting member includes a shaft provided on the stage seat,
A bearing provided rotatably with respect to the shaft;
The microscope rotation stage according to claim 1, comprising:
前記回転ステージユニットは、心ネジの操作によりステージ台上にXY方向に移動可能に設けたことを特徴とする請求項1記載の顕微鏡の回転ステージ。 A rotary stage unit is formed by rotatably fitting the rotary stage shaft into the opening of the stage seat,
2. The microscope rotation stage according to claim 1, wherein the rotation stage unit is provided on the stage base so as to be movable in the X and Y directions by operation of a core screw.
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