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JP4474376B2 - Magnetic disk evaluation method - Google Patents
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JP4474376B2 - Magnetic disk evaluation method - Google Patents

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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Description

本発明は、ハードディスクドライブ等の磁気ディスク装置に搭載される磁気ディスクの特性を評価する磁気ディスクの評価方法に関する。   The present invention relates to a magnetic disk evaluation method for evaluating characteristics of a magnetic disk mounted on a magnetic disk device such as a hard disk drive.

今日、情報記録技術、特に、磁気記録技術は、いわゆるIT産業の発達に伴って飛躍的な技術革新が要請されている。そして、コンピュータ用ストレージとして用いられる磁気ディスク装置であるハードディスクドライブ(HDD)に搭載される磁気ディスクにおいては、磁気テープやフレキシブルディスクなどの他の磁気記録媒体と異なり、急速な情報記録密度の増大化が続けられている。パーソナルコンピュータ装置に収納することのできる情報容量は、このような磁気ディスクの情報記録密度の増大に支えられて、飛躍的に増加している。   Today, information recording technology, particularly magnetic recording technology, is required to undergo dramatic technological innovation with the development of the so-called IT industry. Unlike other magnetic recording media such as magnetic tapes and flexible disks, the magnetic disk mounted on a hard disk drive (HDD), which is a magnetic disk device used as a computer storage, is rapidly increasing in information recording density. Has been continued. The information capacity that can be stored in the personal computer device has been dramatically increased, supported by such an increase in the information recording density of the magnetic disk.

このような磁気ディスクは、ガラスディスク基板やアルミニウム系合金ディスク基板などの基板上に、磁性層等が成膜されて構成されている。特に、近年においては、ハードディスクドライブを携帯用機器(いわゆる「ノート型パーソナルコンピュータ装置」など)に搭載する要求が高まったことに伴い、高強度、かつ、高剛性であって高い耐衝撃性を有するガラスディスク基板を用いた磁気ディスクが注目されている。   Such a magnetic disk is configured by forming a magnetic layer or the like on a substrate such as a glass disk substrate or an aluminum alloy disk substrate. In particular, in recent years, with increasing demand for mounting hard disk drives in portable devices (so-called “notebook personal computer devices”, etc.), they have high strength, high rigidity, and high impact resistance. A magnetic disk using a glass disk substrate has attracted attention.

そして、ハードディスクドライブにおいては、高速回転される磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上飛行させながら、この磁気ヘッドにより、磁性層に対し磁化パターンとして情報信号を記録し、また、再生を行なう。ガラスディスク基板を用いた磁気ディスクにおいては、平滑な表面が得られるので、磁気ヘッドの浮上量を狭隘化することが可能であり、高い情報記録密度を実現することができる。つまり、ガラスディスク基板を用いることにより、磁気ヘッドの低浮上量対応性に優れた磁気ディスクを作製することができる。   In the hard disk drive, an information signal is recorded and reproduced as a magnetization pattern on the magnetic layer by the magnetic head while flying over the magnetic disk rotated at high speed. In a magnetic disk using a glass disk substrate, since a smooth surface can be obtained, the flying height of the magnetic head can be reduced, and a high information recording density can be realized. In other words, by using a glass disk substrate, it is possible to manufacture a magnetic disk that is excellent in low head flying height compatibility.

一方、磁気ディスクにおける情報記録容量を増大させるためには、この磁気ディスクにおいて情報信号の記録がなされない無駄な領域の面積を小さくすることが必要である。そこで、ハードディスクドライブの起動停止方式として、従来より用いられているCSS方式(「コンタクトスタートストップ(Contact Start Stop)方式」)に代えて、情報記録容量の増大が可能なLUL方式(「ロードアンロード(Load Unload)方式」、別名「ランプロード方式」ともいう。)の導入が進められている。   On the other hand, in order to increase the information recording capacity of the magnetic disk, it is necessary to reduce the area of a useless area where information signals are not recorded on the magnetic disk. Therefore, instead of the conventionally used CSS method (“Contact Start Stop method”), the LUL method (“load unload”) that can increase the information recording capacity is used as a hard disk drive start / stop method. (Load Unload) method, also known as “ramp load method”) is being introduced.

CSS方式においては、磁気ディスクの非使用状態(停止状態)において磁気ヘッドが載置されるCSSゾーンを磁気ディスク上に設ける必要があり、このCSSゾーンには情報信号の記録ができないため、その分、磁気ディスクにおいて情報信号の記録がなされる領域の面積が減少する。   In the CSS system, it is necessary to provide a CSS zone on the magnetic disk on which the magnetic head is placed when the magnetic disk is not used (stopped), and information signals cannot be recorded in the CSS zone. The area of the magnetic disk where information signals are recorded is reduced.

これに対し、LUL方式においては、磁気ディスクの非使用状態(停止状態)においては、磁気ヘッドは磁気ディスクの外周側に移動され磁気ディスク上より退避されて支持されるので、磁気ディスク上にCSSゾーンのような情報信号の記録ができない領域を設ける必要がなく、磁気ディスクにおいて情報信号の記録がなされる領域の面積を最大限確保することができる。   On the other hand, in the LUL method, when the magnetic disk is not in use (stopped), the magnetic head is moved to the outer peripheral side of the magnetic disk and is retracted and supported from the magnetic disk. It is not necessary to provide an area where information signals cannot be recorded such as a zone, and the area of the area where information signals are recorded on the magnetic disk can be secured to the maximum.

また、LUL方式においては、CSS方式と異なり、磁気ヘッドと磁気ディスクとが接触することがないので、磁気ディスク上にCSSゾーンにおけるような吸着防止用の凸凹形状を設ける必要がなく、磁気ディスクの主表面を極めて平滑化することが可能となる。したがって、LUL方式用の磁気ディスクにおいては、CSS方式用の磁気ディスクに比較して、磁気ヘッドの浮上量を一段と狭隘化させることができ、記録信号のS/N比(Signal Noise Ratio)の向上を図ることができ、高記録密度化が図られるという利点もある。   In the LUL method, unlike the CSS method, the magnetic head and the magnetic disk do not come into contact with each other. Therefore, it is not necessary to provide the magnetic disk with an uneven shape for preventing adsorption as in the CSS zone. The main surface can be extremely smoothed. Therefore, in the magnetic disk for LUL system, the flying height of the magnetic head can be further narrowed compared to the magnetic disk for CSS system, and the S / N ratio (Signal Noise Ratio) of the recording signal is improved. There is also an advantage that a high recording density can be achieved.

このような、LUL方式の導入に伴う磁気ヘッド浮上量の非連続的な一段の狭隘化により、近年においては、10nm未満の極狭な浮上量においても、磁気ヘッドが安定して動作することが求められるようになってきた。しかしなかがら、磁気ディスクの表面を平滑化し磁気ヘッドの浮上量を狭隘化させることにより、磁気ヘッドの浮上特性が不安定となり、フライスティクション障害などの様々なHDI障害が引き起され得ることが判明した。   As a result of such a non-continuous narrowing of the flying height of the magnetic head accompanying the introduction of the LUL method, the magnetic head can be stably operated even in an extremely narrow flying height of less than 10 nm in recent years. It has come to be required. However, by smoothing the surface of the magnetic disk and narrowing the flying height of the magnetic head, the flying characteristics of the magnetic head become unstable, and various HDI failures such as a fly stiction failure can be caused. found.

通常、磁気ディスクは、ディスク基板製造工程、成膜工程、検査工程という順次一連の製造工程を経て完成され、梱包されて市場に出荷される。そこで、磁気ヘッドの浮上量を狭隘化してもフライスティクション障害などを生じない磁気ディスクを選別するため、磁気ディスクを回転させた状態で、気圧を所定気圧(TDP(Touch Down Pressure)という。)まで減少させることにより磁気ヘッドを磁気ディスクに接触させた後に、気圧を増加させることにより磁気ディスクから磁気ヘッドを浮上させ、磁気ヘッドが浮上したときの気圧(TOP(Take Off Pressure)という。)を測定することにより、磁気ヘッドに対する浮上特性を検査することが行われている。このようなTOPの測定は、特許文献1に記載されているように、いわゆる定点浮上検査として行われ、磁気ヘッドを磁気ディスクに対する所定箇所、例えば、磁気ディスクの回転中心より22mmの箇所に設置して行われる。   Usually, a magnetic disk is completed through a series of manufacturing processes of a disk substrate manufacturing process, a film forming process, and an inspection process, and is packed and shipped to the market. Therefore, in order to select a magnetic disk that does not cause fly stiction failure even if the flying height of the magnetic head is narrowed, the pressure is set to a predetermined pressure (referred to as TDP (Touch Down Pressure)) while the magnetic disk is rotated. After the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk by decreasing the pressure, the magnetic head is lifted from the magnetic disk by increasing the atmospheric pressure, and the atmospheric pressure (TOP (Take Off Pressure)) when the magnetic head is lifted. By measuring, the flying characteristics of the magnetic head are inspected. As described in Patent Document 1, such TOP measurement is performed as a so-called fixed point flying test, and a magnetic head is installed at a predetermined position with respect to the magnetic disk, for example, at a position 22 mm from the rotation center of the magnetic disk. Done.

このようなTOPの測定による選別は、迅速に行える検査でありながら、その結果においてロードアンロード耐久試験と相関があるので、安定した品質を備えた磁気ディスクを安定的に迅速に市場に供給することができる。なお、ロードアンロード耐久試験は、磁気ディスクをハードディスクドライブに搭載し、例えば、60万回以上というような多数回に亘って連続してロードアンロード動作を繰り返すものであるので、結果を得るために長時間を要する試験である。   Such sorting by TOP measurement is a test that can be performed quickly, but the result correlates with the load / unload durability test, so that magnetic disks with stable quality are stably and quickly supplied to the market. be able to. Note that the load / unload endurance test involves loading a magnetic disk on a hard disk drive and repeating the load / unload operation continuously for a number of times, for example, 600,000 times or more. This test takes a long time.

特開2001−291218公報JP 2001-291218 A

ところで、近年の磁気ディスクにおいては、前述したように、磁気ディスクと磁気ヘッドとの間のスペーシングロスを改善し、記録信号のS/N比を向上させた結果、情報記録密度が1平方インチあたり60ギガビットを超えるまでに至っており、さらに、1平方インチ当たり100ギガビットを超えるような超好記録密度をも実現されようとしている。   Incidentally, in recent magnetic disks, as described above, the spacing loss between the magnetic disk and the magnetic head has been improved and the S / N ratio of the recording signal has been improved, resulting in an information recording density of 1 square inch. It has reached 60 gigabits per second, and an ultra-high recording density exceeding 100 gigabits per square inch is also being realized.

このように高い情報記録密度が実現できるようになった近年の磁気ディスクにおいては、従来の磁気ディスクに比較してずっと小さなディスク面積であっても、実用上十分な情報量を収納できるという特徴を有している。また、磁気ディスクは、他の情報記録媒体に比較して、情報の記録速度や再生速度(応答速度)が極めて敏速であり、情報の随時書き込み及び読み出しが可能であるという特徴も有している。   In recent magnetic disks that can realize such a high information recording density, it is possible to store a practically sufficient amount of information even if the disk area is much smaller than that of a conventional magnetic disk. Have. In addition, the magnetic disk has a feature that information recording speed and reproduction speed (response speed) are extremely fast compared with other information recording media, and information can be written and read at any time. .

このような磁気ディスクの種々の特徴が注目された結果、近年においては、携帯型のいわゆるMP3音楽プレーヤー、携帯電話、デジタルカメラ、携帯情報機器(例えば、PDA(personal digital assistant):パーソナルデジタルアシスタント、)、あるいは、「カーナビゲーションシステム」などのように、パーソナルコンピュータ装置よりも筐体がずっと小さく、かつ、高い応答速度が求められる機器に搭載できる小型のハードディスクドライブが求められるようになってきている。具体的には、例えば、外形が50mm以下(1.8インチ以下)、板厚が0.5mm以下のディスク基板を用いて製造した磁気ディスクを搭載した小型のハードディスクドライブが求められている。   As a result of attention paid to various features of such magnetic disks, in recent years, portable so-called MP3 music players, mobile phones, digital cameras, portable information devices (for example, PDA (personal digital assistant): personal digital assistant, ), Or a small hard disk drive that can be mounted on a device that is much smaller than a personal computer device and requires a high response speed, such as a “car navigation system”. . Specifically, for example, there is a demand for a small hard disk drive equipped with a magnetic disk manufactured using a disk substrate having an outer shape of 50 mm or less (1.8 inches or less) and a plate thickness of 0.5 mm or less.

しかしながら、このような小型のハードディスクドライブにおいて使用される外径が50mm以下というような径の小さい磁気ディスク、特に、1インチ型ディスクや0.85インチ型ディスク等においては、前述のような定点浮上検査によっては、ロードアンロード耐久試験と相関のある選別が行えないという問題が生じた。すなわち、径の小さい磁気ディスクにおいては、特に、磁気ディスクの回転中心からの距離が10mm以下というような内周側において、磁気ディスクと磁気ヘッドとの間の相対的な線速度が遅くなるため、これら磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きくなり、前述のような検査によっては、摺動状態から浮上状態への移行が円滑に行われず、正しい評価がされなていないことがわかった。   However, the fixed-point levitation as described above is used for such a small-sized magnetic disk as used in such a small hard disk drive, such as a 1-inch type disk or a 0.85-inch type disk. Depending on the inspection, there was a problem that the selection could not be correlated with the load / unload durability test. That is, in the case of a magnetic disk with a small diameter, the relative linear velocity between the magnetic disk and the magnetic head becomes slow particularly on the inner peripheral side where the distance from the rotation center of the magnetic disk is 10 mm or less. It was found that the interaction between these magnetic heads and the magnetic disk became large, and the transition from the sliding state to the floating state was not performed smoothly by the above-described inspection, and the correct evaluation was not performed.

そこで、本発明は、前述のような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、1インチ型ディスクや0.85インチ型ディスクなどの小型の磁気ディスクについても、TDP(Touch Down Pressure)及びTOP(Take Off Pressure)の測定によって、ロードアンロード耐久試験と相関のある正しい評価、選別を行うことができる磁気ディスクの評価方法を提供することにある。   Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described circumstances, and the object thereof is TDP (Touch Down Pressure) even for small magnetic disks such as 1-inch disks and 0.85-inch disks. It is another object of the present invention to provide a magnetic disk evaluation method capable of performing correct evaluation and selection correlated with a load / unload endurance test by measuring TOP (Take Off Pressure).

そして、本発明は、このような磁気ディスクの評価方法を提供することにより、高記録密度化に好適であって、例えば、携帯型のいわゆるMP3プレーヤー、携帯電話などの携帯情報機器、あるいは、カーナビゲーションシステムなどの車載用機器など、非常に可搬性の高い機器に搭載できる小型のハードディスクドライブに用いることができるように小型化した場合においても、高度な品質保証を付与することができ、フライスティクション障害の発生を十分に防止できるようになされた磁気ディスクの安定的、かつ、迅速な市場への供給を実現することを目的とする。   The present invention is suitable for increasing the recording density by providing such a magnetic disk evaluation method. For example, the present invention is suitable for portable information devices such as portable so-called MP3 players and mobile phones, Even when miniaturized so that it can be used for small hard disk drives that can be mounted on highly portable equipment such as navigation systems and other in-vehicle equipment, it is possible to provide advanced quality assurance and It is an object of the present invention to provide a stable and quick supply of a magnetic disk that can sufficiently prevent the occurrence of a failure in the market.

本発明者は、前記課題を解決すべく研究を進めた結果、以下のような事実を見出した。すなわち、従来の評価方法においては、定点浮上による測定であるため、特に小型の磁気ディスクにおいては、磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きく、摺動状態から浮上状態への移行がしにくく、正しい評価ができていないことに鑑み、磁気ヘッドをロードさせ磁気ディスクに接触させた後に、磁気ヘッドを磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動(シーク動作)をさせることにより、摺動状態から浮上状態への円滑な移行がなされることがわかった。   As a result of researches to solve the above-mentioned problems, the present inventor has found the following facts. That is, in the conventional evaluation method, since the measurement is performed by floating at a fixed point, particularly in a small magnetic disk, the interaction between the magnetic head and the magnetic disk is large, and the transition from the sliding state to the floating state is difficult. In view of the fact that correct evaluation has not been performed, after the magnetic head is loaded and brought into contact with the magnetic disk, the magnetic head is reciprocated at a predetermined amplitude and frequency in the radial direction of the magnetic disk (seek operation), It was found that a smooth transition from the sliding state to the floating state was made.

すなわち、本発明に係る磁気ディスクの評価方法は、以下の構成のいずれか一を有するものである。   That is, the magnetic disk evaluation method according to the present invention has any one of the following configurations.

〔構成1〕
磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び/又は再生を行う磁気ディスクを評価する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ディスクを回転させた状態で、気圧を減少させることにより磁気ヘッドを磁気ディスクに接触させた後に、気圧を増加させることにより磁気ディスクから磁気ヘッドを浮上させ磁気ヘッドが浮上したときの気圧を測定するときに、磁気ヘッドを磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させることを特徴とするものである。
[Configuration 1]
A magnetic disk evaluation method for evaluating a magnetic disk for recording and / or reproducing by flying a magnetic head on the magnetic disk by rotating the magnetic disk, wherein the atmospheric pressure is reduced while the magnetic disk is rotated. After the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk, the magnetic head is lifted from the magnetic disk by increasing the atmospheric pressure, and when measuring the atmospheric pressure when the magnetic head is lifted, the magnetic head is moved in the radial direction of the magnetic disk. It is characterized by reciprocating at a predetermined amplitude and frequency.

〔構成2〕
磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び/又は再生を行う磁気ディスクを評価する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ディスクを回転させた状態で、この回転速度を減少させることにより磁気ヘッドを磁気ディスクに接触させた後に、磁気ディスクの回転速度を増加させることにより磁気ディスクから磁気ヘッドを浮上させ磁気ヘッドが浮上したときの磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を測定するときに、磁気ヘッドを磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させることを特徴とするものである。
[Configuration 2]
A magnetic disk evaluation method for evaluating a magnetic disk that records and / or reproduces by floating a magnetic head on the magnetic disk by rotating the magnetic disk, wherein the rotation speed is set while the magnetic disk is rotated. After the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk by decreasing the magnetic head, the rotational speed of the magnetic disk is increased, and then the magnetic head is levitated from the magnetic disk, and the peripheral speed of the magnetic disk when the magnetic head is levitated Is measured, the magnetic head is reciprocated at a predetermined amplitude and frequency in the radial direction of the magnetic disk.

〔構成3〕
構成1、または、構成2を有する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ヘッドを、磁気ディスクの回転中心から10mm以下の箇所に設置して行うことを特徴とするものである。
[Configuration 3]
A method for evaluating a magnetic disk having Configuration 1 or Configuration 2, wherein the magnetic head is installed at a location of 10 mm or less from the center of rotation of the magnetic disk.

〔構成4〕
構成1乃至構成3のいずれか一を有する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ディスクは、ロードアンロード方式の磁気ディスクであることを特徴とするものである。
[Configuration 4]
A method of evaluating a magnetic disk having any one of Structures 1 to 3, wherein the magnetic disk is a load / unload magnetic disk.

〔構成5〕
構成1乃至構成4のいずれか一を有する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ディスクは、直径が1.8インチ以下であることを特徴とするものである。
[Configuration 5]
A method for evaluating a magnetic disk having any one of Structures 1 to 4, wherein the magnetic disk has a diameter of 1.8 inches or less.

本発明に係る磁気ディスクの評価方法においては、磁気ディスクを回転させた状態で、気圧、または、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を減少させることにより磁気ヘッドを磁気ディスクに接触させた後に、気圧、または、磁気ディスクの周速を増加させることにより磁気ディスクから磁気ヘッドを浮上させ磁気ヘッドが浮上したときの気圧、または、磁気ディスクの周速を測定するときに、磁気ヘッドを磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させるので、磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きい場合であっても、摺動状態から浮上状態への移行が円滑に行われ、正しい評価、選別を行うことができる。   In the magnetic disk evaluation method according to the present invention, after the magnetic disk is rotated, the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk by reducing the atmospheric pressure or the peripheral speed of the magnetic disk at the position of the magnetic head. The magnetic head is lifted from the magnetic disk by increasing the atmospheric pressure or the peripheral speed of the magnetic disk. Since the reciprocating movement is performed in the radial direction with a predetermined amplitude and frequency, even when the interaction between the magnetic head and the magnetic disk is large, the transition from the sliding state to the floating state is performed smoothly, and the correct evaluation is performed. Sorting can be performed.

また、磁気ヘッドを、磁気ディスクの回転中心から10mm以下の箇所に設置して行うようにすることにより、1インチ型ディスクや0.85インチ型ディスクなど、直径が1.8インチ以下の小型の磁気ディスクについても適用することができる。   In addition, by installing the magnetic head at a position 10 mm or less from the center of rotation of the magnetic disk, a small-sized disk having a diameter of 1.8 inches or less, such as a 1-inch disk or a 0.85-inch disk. The present invention can also be applied to a magnetic disk.

さらに、この磁気ディスクの評価方法をロードアンロード方式の磁気ディスクに適用することにより、ロードアンロード耐久試験と相関のある正しい評価、選別を行うことができる。   Further, by applying this magnetic disk evaluation method to a load / unload type magnetic disk, correct evaluation and selection correlated with the load / unload durability test can be performed.

すなわち、本発明は、1インチ型ディスクや0.85インチ型ディスクなど、直径が1.8インチ以下の小型の磁気ディスクについても、TDP(Touch Down Pressure)及びTOP(Take Off Pressure)の測定によって、ロードアンロード耐久試験と相関のある正しい評価、選別を行うことができる磁気ディスクの評価方法を提供することができるものである。   In other words, the present invention can measure a TDP (Touch Down Pressure) and a TOP (Take Off Pressure) even for a small magnetic disk having a diameter of 1.8 inches or less, such as a 1-inch disk or a 0.85-inch disk. It is possible to provide a magnetic disk evaluation method capable of performing correct evaluation and selection correlated with the load / unload durability test.

そして、本発明は、このような磁気ディスクの評価方法を提供することにより、高記録密度化に好適であって、例えば、携帯型のいわゆるMP3プレーヤー、携帯電話などの携帯情報機器、あるいは、カーナビゲーションシステムなどの車載用機器など、非常に可搬性の高い機器に搭載できる小型のハードディスクドライブに用いることができるように小型化した場合においても、高度な品質保証を付与することができ、フライスティクション障害の発生を十分に防止できるようになされた磁気ディスクの安定的、かつ、迅速な市場への供給を実現することができるものである。   The present invention is suitable for increasing the recording density by providing such a magnetic disk evaluation method. For example, the present invention is suitable for portable information devices such as portable so-called MP3 players and mobile phones, Even when miniaturized so that it can be used for small hard disk drives that can be mounted on highly portable equipment such as navigation systems and other in-vehicle equipment, it is possible to provide advanced quality assurance and It is possible to realize a stable and quick supply to the market of a magnetic disk that can sufficiently prevent the occurrence of a failure.

以下、本発明に係る磁気ディスクの評価方法の最良の実施の形態について、詳細に説明する。   The best mode of the magnetic disk evaluation method according to the present invention will be described below in detail.

この磁気ディスクの評価方法は、磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び/又は再生を行う磁気ディスクを評価する方法であって、磁気ディスクを回転させた状態で気圧を減少させることにより、TDP(Touch Down Pressure)において磁気ヘッドを備えたヘッドスライダを磁気ディスクに接触させた後に、気圧を増加させることにより、TOP(Take Off Pressure)において磁気ディスクからヘッドスライダを浮上させ、ヘッドスライダが浮上したときの気圧(TOP)を測定して、磁気ディスクの評価、選別を行う方法である。   This magnetic disk evaluation method is a method for evaluating a magnetic disk on which recording and / or reproduction is performed by floating a magnetic head on the magnetic disk by rotating the magnetic disk. By reducing the pressure, the head slider with the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk in TDP (Touch Down Pressure), and then the air pressure is increased to raise the head slider from the magnetic disk in TOP (Take Off Pressure). The magnetic disk is evaluated and selected by measuring the atmospheric pressure (TOP) when the head slider floats.

また、この磁気ディスクの評価方法は、磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び/又は再生を行う磁気ディスクを評価する方法であって、磁気ディスクを回転させた状態で磁気ディスクの回転速度を減少させることにより、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速がTDV(Touch Down Velocity)において磁気ヘッドを備えたヘッドスライダを磁気ディスクに接触させた後に、磁気ディスクの回転速度 を増加させることにより、周速がTOV(Take Off Velocity)において磁気ディスクからヘッドスライダを浮上させ、ヘッドスライダが浮上したときの周速(TOV)を測定して、磁気ディスクの評価、選別を行う方法である。   Further, this magnetic disk evaluation method is a method of evaluating a magnetic disk for recording and / or reproduction by floating a magnetic head on the magnetic disk by rotating the magnetic disk, and the magnetic disk is rotated. The rotational speed of the magnetic disk is reduced by rotating the magnetic disk after the head slider provided with the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk when the peripheral speed of the magnetic disk at the magnetic head position is TDV (Touch Down Velocity). By increasing the speed, the head slider is lifted from the magnetic disk when the peripheral speed is TOV (Take Off Velocity), and the peripheral speed (TOV) when the head slider is lifted is measured to evaluate and sort the magnetic disk. How to do it.

まず、TDP及びTOPについて説明する。前述したように、近年、磁気ディスクの記録密度向上に伴い、ヘッドスライダの浮上量の低下が図られ、ヘッドスライダと磁気ディスクとの接触頻度が増加することが懸念されている。そこで、磁気ディスクのヘッドスライダに対する浮上特性の評価として、TDP測定及びTOP測定が行われている。   First, TDP and TOP will be described. As described above, in recent years, with the improvement of the recording density of the magnetic disk, there is a concern that the flying height of the head slider is reduced and the contact frequency between the head slider and the magnetic disk increases. Therefore, TDP measurement and TOP measurement are performed as evaluation of flying characteristics of the magnetic disk with respect to the head slider.

図1は、TDP及びTOPの概念を示すグラフである。   FIG. 1 is a graph showing the concept of TDP and TOP.

TDPとは、図1に示すように、ハードディスクドライブ内の気圧を序々に下げていった時(図1の横軸において左側に移行したとき)に、ヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの気圧の値をいう。そして、TOPとは、TDPを確認した後に、ハードディスクドライブ内の気圧を序々に上げていった時(図1の横軸において右側に移行したとき)に、ヘッドスライダが摺動状態から浮上状態へ移行するときの気圧の値をいう。   As shown in FIG. 1, TDP means that the head slider moves from a floating state to a sliding state when the atmospheric pressure in the hard disk drive is gradually lowered (when it moves to the left side on the horizontal axis in FIG. 1). The value of atmospheric pressure when doing. TOP indicates that the head slider moves from the sliding state to the floating state when the atmospheric pressure in the hard disk drive is gradually increased after confirming the TDP (when it moves to the right side in the horizontal axis in FIG. 1). The value of the atmospheric pressure at the time of transition.

これらTDP及びTOPの測定は、ハードディスクドライブを気圧コントロールが可能な容器中に設置して行う。そして、これらTDP及びTOPは、磁気ヘッドからの出力を計測するAE(Acoustic Emission)センサを用いて、このAEセンサからの出力(図1における縦軸)をみることによって確認することができる。   These TDP and TOP are measured by installing the hard disk drive in a container capable of controlling the atmospheric pressure. The TDP and TOP can be confirmed by using an AE (Acoustic Emission) sensor that measures the output from the magnetic head and viewing the output from the AE sensor (vertical axis in FIG. 1).

TDPの値は、ヘッドスライダの磁気ディスクへの接触のしにくさを示しており、TOPの値は、磁気ディスクに接触して磁気ディスクに対する摺動状態となったヘッドスライダが磁気ディスクから離れるときの離れやすさを示している。したがって、磁気ディスクには、TDPの値及びTOPの値ともに、小さいことが求められる。また、磁気ディスクには、TDPの値とTOPの値の差であるΔPが小さいことが望まれる。このΔPが小さいことは、ヘッドスライダの浮上特性が良好であるといえる。   The value of TDP indicates the difficulty of contact of the head slider with the magnetic disk, and the value of TOP is when the head slider that is in contact with the magnetic disk and is in a sliding state with respect to the magnetic disk leaves the magnetic disk. It shows the ease of leaving. Therefore, it is required for the magnetic disk that both the TDP value and the TOP value are small. In addition, it is desirable for the magnetic disk to have a small ΔP, which is the difference between the TDP value and the TOP value. If this ΔP is small, it can be said that the flying characteristics of the head slider are good.

次に、TDV及びTOVについて説明する。   Next, TDV and TOV will be described.

図2は、TDV及びTOVの概念を示すグラフである。   FIG. 2 is a graph showing the concept of TDV and TOV.

TDVとは、図2に示すように、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を序々に下げていった時(図2の横軸において左側に移行したとき)に、ヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの周速の値をいう。そして、TOVとは、TDVを確認した後に、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を序々に上げていった時(図2の横軸において右側に移行したとき)に、ヘッドスライダが摺動状態から浮上状態へ移行するときの周速の値をいう。   As shown in FIG. 2, TDV means that when the peripheral speed of the magnetic disk at the position of the magnetic head is gradually lowered (when it moves to the left in the horizontal axis in FIG. 2), the head slider moves from the floating state. The value of the peripheral speed when shifting to the sliding state. The TOV means that the head slider slides when the peripheral speed of the magnetic disk at the magnetic head position is gradually increased after the TDV is confirmed (when the magnetic disk moves to the right side in the horizontal axis in FIG. 2). The value of the peripheral speed when shifting from the state to the floating state.

これらTDV及びTOVの測定は、磁気ディスクの回転速度のコントロールが可能な浮上特性測定装置を用いて行う。そして、これらTDV及びTOVは、ピエゾ素子(PZT)センサを用いてオシロスコープの出力波形(図2における縦軸)をみることによって確認することができる。   These TDV and TOV measurements are performed using a flying characteristic measuring apparatus capable of controlling the rotational speed of the magnetic disk. These TDV and TOV can be confirmed by observing the output waveform of the oscilloscope (vertical axis in FIG. 2) using a piezo element (PZT) sensor.

TDVの値は、ヘッドスライダの磁気ディスクへの接触のしにくさを示しており、TOVの値は、磁気ディスクに接触して磁気ディスクに対する摺動状態となったヘッドスライダが磁気ディスクから離れるときの離れやすさを示している。したがって、磁気ディスクには、TDVの値及びTOVの値ともに、小さいことが求められる。また、磁気ディスクには、TDVの値とTOVの値の差であるΔVが小さいことが望まれる。このΔVが小さいことは、ヘッドスライダの浮上特性が良好であるといえる。   The value of TDV indicates the difficulty of contact of the head slider with the magnetic disk, and the value of TOV is when the head slider that is in contact with the magnetic disk and is in a sliding state with respect to the magnetic disk moves away from the magnetic disk. It shows the ease of leaving. Therefore, the magnetic disk is required to have a small value for both TDV and TOV. Further, it is desirable for the magnetic disk to have a small ΔV, which is the difference between the TDV value and the TOV value. If this ΔV is small, it can be said that the flying characteristics of the head slider are good.

従来の評価方法において、2.5インチ型気ディスクについては、TDPの確認後に、常気圧以内でヘッドスライダが浮上していた。しかし、1インチ型ディスクや0.85インチ型ディスク等、小型の磁気ディスクにおいては、前述したように、磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きく、摺動状態から浮上状態への移行が円滑に行われず、正しい評価が行えない。   In the conventional evaluation method, with respect to the 2.5 inch type air disk, the head slider floated within the atmospheric pressure after the TDP was confirmed. However, in small magnetic disks such as 1-inch disks and 0.85-inch disks, as described above, the interaction between the magnetic head and the magnetic disk is large, and the transition from the sliding state to the floating state is smooth. The correct evaluation cannot be performed.

また、従来の評価方法において、2.5インチ型気ディスクについては、TDVの確認後に、測定開始時の周速でヘッドスライダが浮上していた。しかし、1インチ型ディスクや0.85インチ型ディスク等、小型の磁気ディスクにおいては、前述したように、磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きく、摺動状態から浮上状態への移行が円滑に行われず、正しい評価が行えない。   Further, in the conventional evaluation method, for the 2.5 inch type air disk, the head slider floated at the peripheral speed at the start of measurement after confirming TDV. However, in small magnetic disks such as 1-inch disks and 0.85-inch disks, as described above, the interaction between the magnetic head and the magnetic disk is large, and the transition from the sliding state to the floating state is smooth. The correct evaluation cannot be performed.

そこで、本発明に係る磁気ディスクの評価方法においては、ヘッドスライダ及び磁気ディスク間の相互作用を緩和するため、TDP、TDVの確認後、TOP、TOVの測定において、ヘッドスライダのシーク動作、すなわち、ヘッドスライダの径方向への所定の振幅及び周波数によるヘッドスライダの往復移動をさせる。このようなヘッドスライダのシーク動作の振幅(ピッチ)は、10μm乃至100μm程度とすることが好ましい。また、このシーク動作におけるヘッドスライダの速度は、7mm/sec乃至70mm/sec程度とすることが好ましい。したがって、このシーク動作の周波数は、35Hz乃至3500Hz程度とすることが好ましい。   Therefore, in the magnetic disk evaluation method according to the present invention, in order to alleviate the interaction between the head slider and the magnetic disk, after the TDP and TDV are confirmed, the head slider seek operation in the measurement of TOP and TOV, that is, The head slider is reciprocated at a predetermined amplitude and frequency in the radial direction of the head slider. The amplitude (pitch) of the seek operation of such a head slider is preferably about 10 μm to 100 μm. Further, the speed of the head slider in this seek operation is preferably about 7 mm / sec to 70 mm / sec. Therefore, the frequency of this seek operation is preferably about 35 Hz to 3500 Hz.

この評価方法において、ヘッドスライダは、小型の磁気ディスクにおいては、磁気ディスクの回転中心から10mm以下、例えば、7mmの箇所に設置する。なお、この評価方法は、ロードアンロード方式の磁気ディスクに適用して好適である。   In this evaluation method, in a small magnetic disk, the head slider is installed at a position of 10 mm or less, for example, 7 mm from the rotation center of the magnetic disk. This evaluation method is preferably applied to a load / unload type magnetic disk.

以下、本発明の実施例及び比較例を挙げることにより、具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by giving examples and comparative examples of the present invention.

〔第1の実施例〕
表面粗さの異なる磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCについて、これら磁気ディスクを浮上特性測定装置に装着し、気圧コントロールが可能な容器内において、浮上特性測定装置内の気圧を序々に下げてゆき、磁気ヘッドを備えたヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの気圧(TOP)を測定した。このTOPについては、0.65気圧(atm)以下を合格とする。
[First embodiment]
For magnetic disk A, magnetic disk B, and magnetic disk C with different surface roughnesses, these magnetic disks are mounted on a flying characteristic measuring device, and the atmospheric pressure in the flying characteristic measuring device is gradually lowered in a container capable of controlling atmospheric pressure. Then, the atmospheric pressure (TOP) when the head slider provided with the magnetic head transited from the floating state to the sliding state was measured. About this TOP, 0.65 atm (atm) or less is accepted.

この実施例においては、TOPを測定するときに、ヘッドスライダのシーク動作を行った。このシーク動作は、振幅(ピッチ)を10μmとし、磁気ヘッドの速度を7mm/sec、周波数を35Hzとして行った。   In this embodiment, the head slider seek operation was performed when measuring TOP. This seek operation was performed with an amplitude (pitch) of 10 μm, a magnetic head speed of 7 mm / sec, and a frequency of 35 Hz.

また、ヘッドスライダは、各磁気ディスクA,B,Cの回転中心から7mmの箇所に設置した。そして、各磁気ディスクA,B,Cの回転速度を、毎分3600回転(rpm)としたので、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速は、秒速2.6mとした。   The head slider was installed at a position 7 mm from the rotation center of each magnetic disk A, B, C. Since the rotation speed of each of the magnetic disks A, B, and C was 3600 rotations (rpm) per minute, the peripheral speed of the magnetic disk at the position of the magnetic head was 2.6 m / s.

図3は、第1の実施例におけるTDP及びTOPのヒステリシスデータを示すグラフである。   FIG. 3 is a graph showing hysteresis data of TDP and TOP in the first embodiment.

測定の結果においては、以下の〔表1〕に示すように、磁気ディスクA及び磁気ディスクBは、TOPの値がいずれも0.65気圧以下であり、合格している。また、TDPの値とTOPの値の差であるΔPについても、磁気ディスクA及び磁気ディスクBは、ΔPが既定値よりも小さく、合格している。   As a result of the measurement, as shown in [Table 1] below, the magnetic disk A and the magnetic disk B both have a TOP value of 0.65 atm or less and pass. As for ΔP, which is the difference between the TDP value and the TOP value, the magnetic disk A and the magnetic disk B are acceptable because ΔP is smaller than the predetermined value.

一方、磁気ディスクCについては、TOPの値が0.80気圧となっており、不合格となっている。ΔPについても、磁気ディスクCは、ΔPが既定値よりも大きく、不合格となっている。磁気ディスクCは、表面粗さが低すぎるために不合格となったと思われる。   On the other hand, with respect to the magnetic disk C, the TOP value is 0.80 atm. Regarding ΔP, the magnetic disk C is rejected because ΔP is larger than a predetermined value. It seems that the magnetic disk C failed because the surface roughness was too low.

Figure 0004474376
Figure 0004474376

〔第1の比較例〕
第1の実施例において使用した磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCについて、これら磁気ディスクを浮上特性測定装置に装着し、実施例と同様に、気圧コントロールが可能な容器内において、浮上特性測定装置内の気圧を序々に下げてゆき、磁気ヘッドが浮上状態から摺動状態へ移行するときの気圧(TOP)を測定した。このTOPについては、0.70気圧(atm)以下を合格とする。
[First Comparative Example]
With respect to the magnetic disk A, magnetic disk B, and magnetic disk C used in the first embodiment, these magnetic disks are mounted on a floating characteristic measuring device, and the floating characteristics are measured in a container capable of controlling the atmospheric pressure as in the first embodiment. The atmospheric pressure (TOP) when the magnetic head moved from the floating state to the sliding state was measured by gradually decreasing the atmospheric pressure in the measuring apparatus. About this TOP, 0.70 atm (atm) or less is accepted.

この比較例においては、TOPを測定するときに、磁気ヘッドのシーク動作を行わなかった。   In this comparative example, the seek operation of the magnetic head was not performed when measuring TOP.

また、ヘッドスライダは、各磁気ディスクA,B,Cの回転中心から7mmの箇所に設置した。そして、各磁気ディスクA,B,Cの回転速度を、毎分3600回転(rpm)としたので、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速は、秒速2.6mとした。   The head slider was installed at a position 7 mm from the rotation center of each magnetic disk A, B, C. Since the rotation speed of each of the magnetic disks A, B, and C was 3600 rotations (rpm) per minute, the peripheral speed of the magnetic disk at the position of the magnetic head was 2.6 m / s.

図4は、第1の比較例におけるTDP及びTOPのヒステリシスデータを示すグラフである。   FIG. 4 is a graph showing hysteresis data of TDP and TOP in the first comparative example.

測定の結果においては、以下の〔表2〕に示すように、磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCは、TOPの値がいずれも0.65気圧以上となっており、いずれも不合格となっている。また、TDPの値とTOPの値の差であるΔPについても、磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCは、ΔPが既定値よりも大きく、いずれも不合格となっている。   In the measurement results, as shown in [Table 2] below, the magnetic disk A, the magnetic disk B, and the magnetic disk C all have a TOP value of 0.65 atm. It has become. Further, regarding ΔP which is the difference between the TDP value and the TOP value, the magnetic disk A, the magnetic disk B, and the magnetic disk C have ΔP larger than the predetermined value, and all are unacceptable.

この比較例においては、TOPの値及びΔPの値のいずれについても、磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCについて、ほぼ等しい値となってしまっている。   In this comparative example, the value of TOP and the value of ΔP are substantially equal for the magnetic disk A, the magnetic disk B, and the magnetic disk C.

Figure 0004474376
Figure 0004474376

〔第2の実施例〕
表面粗さの異なる磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCについて、これら磁気ディスクを磁気ディスクの回転速度のコントロールが可能な浮上特性測定装置に装着し、気圧コントロール(維持)が可能な容器内において、磁気ディスクの回転速度を序々に下げてゆき、磁気ヘッドを備えたヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速(TOV)を測定した。このTOVについては、秒速8m以下を合格とする。
[Second Embodiment]
For magnetic disk A, magnetic disk B, and magnetic disk C having different surface roughnesses, these magnetic disks are mounted on a flying characteristic measuring device capable of controlling the rotational speed of the magnetic disk, and inside a container capable of atmospheric pressure control (maintenance). Then, the rotational speed of the magnetic disk was gradually decreased, and the peripheral speed (TOV) of the magnetic disk at the position of the magnetic head when the head slider provided with the magnetic head transitioned from the floating state to the sliding state was measured. About this TOV, 8m or less per second is set as the pass.

この実施例においては、TOVを測定するときに、ヘッドスライダのシーク動作を行った。このシーク動作は、振幅(ピッチ)を10μmとし、磁気ヘッドの速度を7mm/sec、周波数を35Hzとして行った。   In this embodiment, the head slider seek operation was performed when measuring the TOV. This seek operation was performed with an amplitude (pitch) of 10 μm, a magnetic head speed of 7 mm / sec, and a frequency of 35 Hz.

また、ヘッドスライダは、各磁気ディスクA,B,Cの回転中心から7mmの箇所に設置した。そして、浮上特性測定装置内の気圧を0.91気圧(atm)に維持した。   The head slider was installed at a position 7 mm from the rotation center of each magnetic disk A, B, C. The atmospheric pressure in the levitation characteristic measuring apparatus was maintained at 0.91 atm (atm).

図5は、第2の実施例におけるTDV及びTOVのヒステリシスデータを示すグラフである。   FIG. 5 is a graph showing hysteresis data of TDV and TOV in the second embodiment.

測定の結果においては、以下の〔表2〕に示すように、磁気ディスクA及び磁気ディスクBは、TOVの値がいずれも秒速8m以下であり、合格している。また、TDVの値とTOVの値の差であるΔVについても、磁気ディスクA及び磁気ディスクBは、ΔVが既定値よりも小さく、合格している。   As a result of the measurement, as shown in [Table 2] below, the magnetic disk A and the magnetic disk B both pass the TOV value of 8 m / second or less. In addition, regarding ΔV, which is the difference between the value of TDV and the value of TOV, ΔV is smaller than the predetermined value and the magnetic disk A and the magnetic disk B are passing.

一方、磁気ディスクCについては、TOVの値が秒速12mとなっており、不合格となっている。ΔVについても、磁気ディスクCは、ΔVが既定値よりも大きく、不合格となっている。磁気ディスクCは、表面粗さが低すぎるために不合格となったと思われる。   On the other hand, regarding the magnetic disk C, the value of TOV is 12 m / s, which is rejected. Regarding ΔV, the magnetic disk C is rejected because ΔV is larger than a predetermined value. It seems that the magnetic disk C failed because the surface roughness was too low.

Figure 0004474376
Figure 0004474376

〔第2の比較例〕
第2の実施例において使用した磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCについて、これら磁気ディスクを磁気ディスクの回転速度のコントロールが可能な浮上特性測定装置に装着し、気圧コントロール(維持)が可能な容器内において、磁気ディスクの回転速度を序々に下げてゆき、磁気ヘッドを備えたヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速(TOV)を測定した。このTOVについては、秒速8m以下を合格とする。
[Second Comparative Example]
About the magnetic disk A, magnetic disk B, and magnetic disk C used in the second embodiment, these magnetic disks are mounted on a flying characteristic measuring device capable of controlling the rotation speed of the magnetic disk, and atmospheric pressure control (maintenance) is possible. In such a container, the rotational speed of the magnetic disk is gradually decreased, and the peripheral speed (TOV) of the magnetic disk at the position of the magnetic head when the head slider provided with the magnetic head shifts from the floating state to the sliding state is set. It was measured. About this TOV, 8m or less per second is set as the pass.

この比較例においては、TOPを測定するときに、磁気ヘッドのシーク動作を行わなかった。   In this comparative example, the seek operation of the magnetic head was not performed when measuring TOP.

また、ヘッドスライダは、各磁気ディスクA,B,Cの回転中心から7mmの箇所に設置した。そして、浮上特性測定装置内の気圧を0.91気圧(atm)に維持した。   The head slider was installed at a position 7 mm from the rotation center of each magnetic disk A, B, C. The atmospheric pressure in the levitation characteristic measuring apparatus was maintained at 0.91 atm (atm).

図6は、第2の比較例におけるTDV及びTOVのヒステリシスデータを示すグラフである。   FIG. 6 is a graph showing hysteresis data of TDV and TOV in the second comparative example.

測定の結果においては、以下の〔表4〕に示すように、磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCは、TOVの値がいずれも秒速12mとなっており、いずれも不合格となっている。また、TDVの値とTOVの値の差であるΔPについても、磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCは、ΔVが既定値よりも大きく、いずれも不合格となっている。   In the measurement results, as shown in Table 4 below, the magnetic disk A, the magnetic disk B, and the magnetic disk C all have a TOV value of 12 m / s and all fail. Yes. Regarding ΔP, which is the difference between the TDV value and the TOV value, ΔV is larger than the predetermined value for the magnetic disk A, the magnetic disk B, and the magnetic disk C, and all of them are rejected.

この比較例においては、TOVの値及びΔVの値のいずれについても、磁気ディスクA、磁気ディスクB及び磁気ディスクCについて、ほぼ等しい値となってしまっている。   In this comparative example, the values of TOV and ΔV are almost equal for the magnetic disk A, the magnetic disk B, and the magnetic disk C.

Figure 0004474376
Figure 0004474376

〔各実施例と各比較例との検証〕
各実施例において合格となった磁気ディスクA及び磁気ディスクBを、LUL(ロードアンロード)方式のハードディスクドライブに搭載し、磁気ヘッドの浮上量を10nmとして、LUL耐久性試験を行なった。
[Verification of each example and each comparative example]
The magnetic disk A and magnetic disk B that passed each example were mounted on a LUL (load / unload) type hard disk drive, and the magnetic head flying height was set to 10 nm, and the LUL durability test was performed.

その結果、LUL耐久回数は、60万回を超えることができ、合格となった。なお、通常のハードディスクドライブの使用状況において、LUL回数が40万回を超えるには、概ね10年程度の使用が必要と言われており、磁気ディスクA及び磁気ディスクBは、高い信頼性と品質保証を付与できる磁気ディスクであることが分かった。   As a result, the number of LUL endurances could exceed 600,000 times and passed. It should be noted that it is said that the use of about 10 years is necessary for the number of LULs to exceed 400,000 times under normal usage conditions of hard disk drives, and magnetic disk A and magnetic disk B have high reliability and quality. It turns out that the magnetic disk can be guaranteed.

一方、実施例において不合格となった磁気ディスクCについても、LUL(ロードアンロード)方式のハードディスクドライブに搭載し、磁気ヘッドの浮上量を10nmとして、LUL耐久性試験を行なった。その結果、LUL耐久回数が60万回に至る前にクラッシュし、不合格となった。   On the other hand, the magnetic disk C which failed in the examples was also mounted on a LUL (load unload) type hard disk drive, and a magnetic head flying height was set to 10 nm, and a LUL durability test was performed. As a result, it crashed before the number of LUL endurances reached 600,000, and it failed.

すなわち、本発明に係る磁気ディスクの評価方法による結果が、LUL耐久性試験による結果と相関があることが確認され、この磁気ディスクの評価方法によって検査された磁気ディスクは、高い信頼性と品質保証を付与できる磁気ディスクであることが確認された。   That is, it is confirmed that the result of the magnetic disk evaluation method according to the present invention has a correlation with the result of the LUL durability test, and the magnetic disk inspected by this magnetic disk evaluation method has high reliability and quality assurance. It was confirmed that the magnetic disk can be provided with a magnetic disk.

一方、比較例における磁気ディスクの評価方法による結果は、LUL耐久性試験による結果と相関がないことが確認された。   On the other hand, it was confirmed that the result by the magnetic disk evaluation method in the comparative example had no correlation with the result by the LUL durability test.

TDP及びTOPの概念を示すグラフである。It is a graph which shows the concept of TDP and TOP. TDV及びTOVの概念を示すグラフである。It is a graph which shows the concept of TDV and TOV. 第1の実施例におけるTDP及びTOPのヒステリシスデータを示すグラフである。It is a graph which shows the hysteresis data of TDP and TOP in a 1st Example. 第1の比較例におけるTDP及びTOPのヒステリシスデータを示すグラフである。It is a graph which shows the hysteresis data of TDP and TOP in a 1st comparative example. 第2の実施例におけるTDV及びTOVのヒステリシスデータを示すグラフである。It is a graph which shows the hysteresis data of TDV and TOV in a 2nd Example. 第2の比較例におけるTDV及びTOVのヒステリシスデータを示すグラフである。It is a graph which shows the hysteresis data of TDV and TOV in a 2nd comparative example.

Claims (5)

磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び/又は再生を行う磁気ディスクを評価する磁気ディスクの評価方法であって、
磁気ディスクを回転させた状態で、気圧を減少させることにより磁気ヘッドを前記磁気ディスクに接触させた後に、気圧を増加させることにより前記磁気ディスクから前記磁気ヘッドを浮上させ、前記磁気ヘッドが浮上したときの気圧を測定するときに、前記磁気ヘッドを前記磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させる
ことを特徴とする磁気ディスクの評価方法。
A magnetic disk evaluation method for evaluating a magnetic disk for recording and / or reproducing by floating a magnetic head on the magnetic disk by rotating the magnetic disk,
With the magnetic disk rotated, the magnetic head was brought into contact with the magnetic disk by decreasing the atmospheric pressure, and then the magnetic head was levitated from the magnetic disk by increasing the atmospheric pressure, and the magnetic head was levitated When measuring the atmospheric pressure, the magnetic head is reciprocated at a predetermined amplitude and frequency in the radial direction of the magnetic disk.
磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び/又は再生を行う磁気ディスクを評価する磁気ディスクの評価方法であって、
磁気ディスクを回転させた状態で、この回転速度を減少させることにより磁気ヘッドを前記磁気ディスクに接触させた後に、前記磁気ディスクの回転速度を増加させることにより前記磁気ディスクから前記磁気ヘッドを浮上させ、前記磁気ヘッドが浮上したときの磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を測定するときに、前記磁気ヘッドを前記磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させる
ことを特徴とする磁気ディスクの評価方法。
A magnetic disk evaluation method for evaluating a magnetic disk for recording and / or reproducing by floating a magnetic head on the magnetic disk by rotating the magnetic disk,
After rotating the magnetic disk, the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk by decreasing the rotation speed, and then the magnetic head is levitated from the magnetic disk by increasing the rotation speed of the magnetic disk. The magnetic head is reciprocated at a predetermined amplitude and frequency in the radial direction of the magnetic disk when measuring the peripheral speed of the magnetic disk at the position of the magnetic head when the magnetic head is levitated. To evaluate magnetic disk.
前記磁気ヘッドを、前記磁気ディスクの回転中心から10mm以下の箇所に設置して行う
ことを特徴とする請求項1、または、請求項2記載の磁気ディスクの評価方法。
The method for evaluating a magnetic disk according to claim 1, wherein the magnetic head is installed at a position of 10 mm or less from the rotation center of the magnetic disk.
前記磁気ディスクは、ロードアンロード方式の磁気ディスクである
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一に記載の磁気ディスクの評価方法。
The magnetic disk evaluation method according to any one of claims 1 to 3, wherein the magnetic disk is a load / unload type magnetic disk.
前記磁気ディスクは、直径が1.8インチ以下である
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一に記載の磁気ディスクの評価方法。
The magnetic disk evaluation method according to any one of claims 1 to 4, wherein the magnetic disk has a diameter of 1.8 inches or less.
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