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JP4487142B2 - Solder ball mounting method and apparatus - Google Patents
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Description

本発明は、半田ボール搭載方法及びその装置の改良に関するもので、詳しくは、真空手段により内部が真空にされた吸着ヘッドの下端面に吸着された半田ボールを基板上の所定の位置に搭載する半田ボール搭載方法及びその装置の改良に関するものである。   The present invention relates to an improvement of a solder ball mounting method and an apparatus therefor, and more specifically, a solder ball adsorbed on a lower end surface of a suction head whose inside is evacuated by a vacuum means is mounted at a predetermined position on a substrate. The present invention relates to a solder ball mounting method and an improvement of the apparatus.

真空手段により内部が真空にされた吸着ヘッドの下端面に吸着された半田ボールを基板上の所定の位置に搭載する半田ボール搭載方法及びその装置は、特許文献1に示されるように従来より存在した。   A solder ball mounting method and apparatus for mounting a solder ball attracted to a lower end surface of a suction head whose inside is evacuated by a vacuum means at a predetermined position on a substrate, and a device therefor exist as disclosed in Patent Document 1 did.

しかし、特許文献1に示される従来の方法及び装置では、半田ボールが基板やパッドに着地した後に、基板やパッド上で停止待機し、そこで真空吸引を中止している。従って、着地したときに半田ボールと吸着ヘッドの吸引口とに隙間があると、エアー漏れが生じ、フラックスが半田ボールと吸着ヘッドの吸引口の隙間から吸引され、その隙間近傍に付着してしまうことがあった。これは半田ボール搭載後に吸着ヘッドが上昇する際に、半田ボールが吸着ヘッドから離れないという問題を伴っていた。   However, in the conventional method and apparatus disclosed in Patent Document 1, after the solder ball has landed on the substrate or the pad, the solder ball is stopped on the substrate or the pad, and the vacuum suction is stopped there. Therefore, if there is a gap between the solder ball and the suction port of the suction head when landing, air leakage occurs, and the flux is sucked from the gap between the solder ball and the suction head of the suction head and adheres to the vicinity of the gap. There was a thing. This is accompanied by a problem that when the suction head is lifted after mounting the solder ball, the solder ball is not separated from the suction head.

特許3228140号公報Japanese Patent No. 3228140

本発明は、半田ボールが基板に着地する直前に吸着ヘッドの真空を解除して、フラックスが吸着ヘッドの吸引口などの吸着部に付着することを防止し、半田ボールが吸着ヘッドから離れないことを防止する半田ボール搭載方法及びその装置を提供することを目的とする。   The present invention releases the vacuum of the suction head immediately before the solder ball lands on the substrate to prevent the flux from adhering to the suction part such as the suction port of the suction head, and the solder ball does not leave the suction head. It is an object of the present invention to provide a solder ball mounting method and apparatus for preventing the above.

第1の発明は、上記課題を解決するため、真空手段により内部が真空にされた吸着ヘッドの下端面に設けられ、下端側にテーパ面が形成された吸引口に吸着された半田ボールを吸着ヘッドを昇降して基板上の所定の位置に搭載する半田ボール搭載方法において、半田ボールを基板に載置するに際して、半田ボールが基板に着地する位置より上方であって、基板と吸着ヘッドの下端面との距離が半田ボールの直径以下の位置にて吸着ヘッド内の真空を解除した後、吸着ヘッドを当該位置より下方の下降端まで下降することを特徴とする半田ボール搭載方法である。

In order to solve the above-mentioned problem, the first invention adsorbs a solder ball adsorbed to a suction port which is provided on a lower end surface of an adsorption head whose inside is evacuated by a vacuum means and has a tapered surface formed on the lower end side. In the solder ball mounting method in which the head is lifted and mounted at a predetermined position on the substrate, when the solder ball is placed on the substrate, the solder ball is positioned above the position where the solder ball lands on the substrate and below the substrate and the suction head. after the distance between the end face the vacuum was released in the adsorption head in diameter following positions of the solder balls, a solder ball mounting method characterized by lowering the suction head to the lowered end below the relevant position.

の発明は、下端側に半田ボールを吸着するためのテーパ面が形成された吸引口を有する吸着ヘッドと、吸着ヘッド内に真空を付与する真空手段と、吸着ヘッドを昇降させる昇降手段とを備え、昇降手段によって吸着ヘッドを昇降させて吸着ヘッドに吸着された半田ボールを基板上の所定位置に搭載する半田ボール搭載装置において、半田ボールを基板に載置するに際して、半田ボールが基板に着地する位置より上方であって、基板と吸着ヘッドの下端面との距離が半田ボールの直径以下の位置にて吸着ヘッド内に付与される真空手段からの真空を解除した後、吸着ヘッドを当該位置より下方の下降端まで下降するように構成したことを特徴とする半田ボール搭載装置である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a suction head having a suction port formed with a tapered surface for sucking a solder ball on the lower end side, a vacuum means for applying a vacuum in the suction head, and an elevating means for raising and lowering the suction head. In a solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball adsorbed by the suction head at a predetermined position on the substrate by raising and lowering the suction head by the lifting means, the solder ball is placed on the substrate when the solder ball is placed on the substrate. After releasing the vacuum from the vacuum means applied in the suction head at a position above the landing position where the distance between the substrate and the lower end surface of the suction head is less than the diameter of the solder ball , the suction head is applied. a solder ball mounting apparatus characterized by being configured so as to descend from said phase location to the lowered end of the lower.

第1の発明では、半田ボールを吸着した吸着ヘッドが下降端まで下降して基板上に半田ボールを載置させるに際して、半田ボールが基板に着地する位置より上方であって、基板と吸着ヘッドの下端面との距離が半田ボールの直径以下の位置にて吸着ヘッド内の真空を解除することを特徴とする半田ボール搭載方法であるので、吸着ヘッドの吸引口にフラックスが吸引されてしまう可能性がある位置では、既に真空が解除されているためフラックスが吸引されて吸着ヘッドの吸引口などの吸着部に付着するおそれがなくなった。
In the first invention, when the suction head that has attracted the solder ball descends to the lower end and places the solder ball on the substrate, the solder ball is positioned above the position where the solder ball lands on the substrate. Since the solder ball mounting method releases the vacuum inside the suction head at a position where the distance to the lower end surface is less than the diameter of the solder ball, the flux may be sucked into the suction head suction port. At a certain position, since the vacuum has already been released, there is no possibility of the flux being sucked and adhering to the suction portion such as the suction port of the suction head.

の発明では、真空を解除する位置が、半田ボールが基板に着地する位置より上方であって、基板と吸着ヘッドの下端面との距離が半田ボールの直径以下の位置としたものであるので、真空解除により吸着ヘッドに吸着されていた半田ボールが吸着ヘッドより脱離してしまった場合でも、半田ボールの上端が吸引口の吸着面下端より上方に位置するため、吸引口の範囲内に止まり、半田ボールが転がっていってしまうことはないものとなった。
Those in the first invention, position you cancel the vacuum, the solder ball is an above the position where the land on the substrate, the distance between the lower end surface of the substrate and the suction head has a diameter following positions of the solder balls Therefore, even if the solder ball that has been attracted to the suction head by releasing the vacuum is detached from the suction head, the upper end of the solder ball is located above the lower end of the suction surface of the suction port. It stopped inside and the solder ball would not roll.

の発明では、下端側に半田ボールを吸着するためのテーパ面が形成された吸引口を有する吸着ヘッドと、吸着ヘッド内に真空を付与する真空手段と、吸着ヘッドを昇降させる昇降手段とを備え、昇降手段によって吸着ヘッドを昇降させて吸着ヘッドに吸着された半田ボールを基板上の所定位置に搭載する半田ボール搭載装置において、半田ボールを基板に載置するに際して、半田ボールが基板に着地する位置より上方であって、基板と吸着ヘッドの下端面との距離が半田ボールの直径以下の位置にて吸着ヘッド内に付与される真空手段からの真空を解除した後、吸着ヘッドを当該位置より下方の下降端まで下降するように構成したものであるので、吸着ヘッドの吸引口にフラックスが吸引されてしまう可能性がある位置では、既に真空が解除されているためフラックスが吸引されて吸着ヘッドの吸引口などの吸着部に付着するおそれがない半田ボール搭載装置となった。
In the second invention, a suction head having a suction port formed with a taper surface for sucking a solder ball on the lower end side, a vacuum means for applying a vacuum in the suction head, a lifting means for raising and lowering the suction head, In a solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball adsorbed by the suction head at a predetermined position on the substrate by raising and lowering the suction head by the lifting means, the solder ball is placed on the substrate when the solder ball is placed on the substrate. After releasing the vacuum from the vacuum means applied in the suction head at a position above the landing position where the distance between the substrate and the lower end surface of the suction head is less than the diameter of the solder ball , the suction head is applied. since from said phase location to the lowered end of the lower those configured to descend, in a position where there is a possibility that flux is sucked to the suction port of the suction head, is already vacuum Possibility of flux because it is divided is attracted to adhere to the suction unit, such as the suction port of the suction head becomes no solder ball mounting device.

実施例の効果ではあるが、吸着ヘッド内の真空が解除された後、吸着ヘッド内に正圧を付与するものであるので、たとえ真空解除により半田ボールが吸着ヘッドの吸引口より脱離しない場合でも、正圧により半田ボールを強制的に脱離させることが可能となった。これにより半田ボールを基板に載置した後に吸着ヘッドを上昇させる際には、半田ボールを吸着ヘッドから確実に離脱させることができるものとなった。Although it is an effect of the embodiment, since the positive pressure is applied to the suction head after the vacuum in the suction head is released, even if the solder ball does not detach from the suction port of the suction head by releasing the vacuum. However, the solder ball can be forcibly detached by positive pressure. As a result, when the suction head is raised after placing the solder ball on the substrate, the solder ball can be reliably detached from the suction head.

同様に実施例の効果ではあるが、吸着ヘッドを下降端で所定時間待機させた後、吸着ヘッドを上昇させるという手段を付加しているので、真空解除の効果を確実に発揮できるものとなった。Similarly, although it is an effect of the embodiment, since a means for raising the suction head after waiting for a predetermined time at the lowering end is added, the effect of releasing the vacuum can be surely exhibited. .

以下、図面に従って、実施例と共に本発明の実施の形態について説明する。図1は、半田ボール搭載装置1の全体を示す概略説明図であり、該半田ボール搭載装置1は、図1中左方より、半田ボール2が多数貯留されているボール供給装置3と、半田ボール2を真空吸引して吸着保持する吸引口41を有する吸着ヘッド4と、吸着ヘッド4の横移動装置となるX軸移動装置6(図1中左右への移動装置)と、やはり吸着ヘッド4の昇降装置となるZ軸移動装置7(図1中上下方向への移動装置)と、基板21が所定の位置に位置決めされて載置されるテーブル22とが設けられている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described together with examples according to the drawings. FIG. 1 is a schematic explanatory view showing the entire solder ball mounting apparatus 1. The solder ball mounting apparatus 1 includes, from the left side in FIG. A suction head 4 having a suction port 41 for sucking and holding the ball 2 by vacuum suction, an X-axis moving device 6 (moving device to the left and right in FIG. 1) serving as a lateral movement device of the suction head 4, and the suction head 4 again A Z-axis moving device 7 (moving device in the vertical direction in FIG. 1) and a table 22 on which the substrate 21 is positioned and placed at a predetermined position are provided.

尚、半田ボール搭載装置は、基板21を載置するテーブル22をXY軸方向及びΘ軸方向に移動可能なものとして、基板21の位置を上方のカメラで観察し、自動で位置合わせを行うなど別の構成であっても良い。   Note that the solder ball mounting apparatus assumes that the table 22 on which the substrate 21 is placed can be moved in the XY axis direction and the Θ axis direction, and the position of the substrate 21 is observed with an upper camera and automatically aligned. Another configuration may be used.

X軸移動装置6及びZ軸移動装置7での吸着ヘッド4の移動は、ボール供給装置3上方への移動、ボール吸着のための上下移動、テーブル22上方への移動、及びボール搭載動作のための上下移動がある。   The movement of the suction head 4 in the X-axis moving device 6 and the Z-axis moving device 7 is for upward movement of the ball supply device 3, upward and downward movement for ball adsorption, upward movement of the table 22, and ball mounting operation. There is up and down movement.

図2は、吸着ヘッド4とZ軸移動装置7の関係を示す拡大側面説明図である。 Z軸移動装置7は、Z軸駆動モータ5と、Z軸駆動モータ5により回転させられる送りねじ8と、送りねじ8の回転により昇降させられるナット部材9からなるものである。   FIG. 2 is an enlarged side view illustrating the relationship between the suction head 4 and the Z-axis moving device 7. The Z-axis moving device 7 includes a Z-axis drive motor 5, a feed screw 8 that is rotated by the Z-axis drive motor 5, and a nut member 9 that is raised and lowered by the rotation of the feed screw 8.

ナット部材9には、ベース10が一体的に取り付けられており、昇降機構となるZ軸移動装置7の動作部を構成している。該ベース10には、吸着ヘッド4が取付具11を介して吊り下げ保持されている。   A base 10 is integrally attached to the nut member 9 and constitutes an operating portion of the Z-axis moving device 7 serving as a lifting mechanism. The suction head 4 is suspended from the base 10 via a fixture 11.

吸着ヘッド4は、半田ボール2を吸引口41で吸着保持し、基板21に半田ボール2を搭載するもので、下面の所定位置に半田ボール2を直接吸着するための吸引口41が多数整列して開けられている。各吸引口の下端側には、テーパ面41aが形成されており、吸着された半田ボール2は、テーパ面41aに接触するようになっている。また、吸着ヘッド4には、吸着ヘッド4の内部空間43に真空を付与する真空手段12と、吸着ヘッド4の内部空間43に正圧付与する加圧手段13とが接続されている。   The suction head 4 sucks and holds the solder ball 2 by the suction port 41 and mounts the solder ball 2 on the substrate 21. A number of suction ports 41 for directly sucking the solder ball 2 are arranged at predetermined positions on the lower surface. Open. A tapered surface 41a is formed on the lower end side of each suction port, and the adsorbed solder balls 2 come into contact with the tapered surface 41a. The suction head 4 is connected to a vacuum means 12 that applies a vacuum to the internal space 43 of the suction head 4 and a pressurizing means 13 that applies a positive pressure to the internal space 43 of the suction head 4.

真空手段12は、真空源14(たとえばブロアや真空ポンプ)と、真空源14と内部空間43の間に設けられる電磁開閉弁15を備え、電磁開閉弁15を開閉することで吸着ヘッド4の内部空間43に真空を付与または解除するようになっている。更に、真空手段12には真空源14と電磁開閉弁15との間から分岐して電磁開閉弁16と絞り弁17が設けられ、真空吸引時にこの電磁開閉弁16を開くことによって吸着ヘッド4の内部空間43に作用する真空圧を低減し、絞り弁17によって真空圧を調節することができるようになっている。   The vacuum means 12 includes a vacuum source 14 (for example, a blower or a vacuum pump) and an electromagnetic opening / closing valve 15 provided between the vacuum source 14 and the internal space 43, and the inside of the suction head 4 is opened and closed by opening and closing the electromagnetic opening / closing valve 15. A vacuum is applied to or released from the space 43. Further, the vacuum means 12 is provided with an electromagnetic on-off valve 16 and a throttle valve 17 which are branched from between the vacuum source 14 and the electromagnetic on-off valve 15, and by opening the electromagnetic on-off valve 16 during vacuum suction, The vacuum pressure acting on the internal space 43 can be reduced, and the vacuum pressure can be adjusted by the throttle valve 17.

加圧手段13は、圧縮気体源18(例えばコンプレッサ)と、圧縮気体源18と内部空間43との間に設けられる電磁開閉弁19を備え、電磁開閉弁19の開閉で内部空間43に正圧を付与または解除するようになっている。そして、電磁開閉弁15を開放させることにより、真空源14により吸着ヘッド4の内部を真空吸引して半田ボール2を吸引口41に吸着保持し、電磁開閉弁15を閉じ、電磁開閉弁19を開くことにより、吸着ヘッド4の内部に圧縮気体源18にて圧縮気体を供給することにより正圧を付与し、半田ボール2を吸引口41から確実に解放するようになっている。   The pressurizing means 13 includes a compressed gas source 18 (for example, a compressor) and an electromagnetic on-off valve 19 provided between the compressed gas source 18 and the internal space 43, and positive pressure is applied to the internal space 43 by opening and closing the electromagnetic on-off valve 19. Is granted or released. Then, by opening the electromagnetic opening / closing valve 15, the inside of the suction head 4 is vacuum sucked by the vacuum source 14 to suck and hold the solder ball 2 at the suction port 41, the electromagnetic switching valve 15 is closed, and the electromagnetic switching valve 19 is opened. By opening, a positive pressure is applied by supplying a compressed gas from the compressed gas source 18 to the inside of the suction head 4, and the solder ball 2 is reliably released from the suction port 41.

尚、図2中符号20は、制御装置であり、図示されていないタイマーを備えており、各々所定のタイミングでZ軸駆動モータ5、電磁開閉弁15,16,19に動作指令を与えている。   Reference numeral 20 in FIG. 2 denotes a control device, which is provided with a timer (not shown), and gives operation commands to the Z-axis drive motor 5 and the electromagnetic on-off valves 15, 16, 19 at predetermined timings. .

以下、実施例の動作について図3のフロー図及び図4の位置説明図に従って説明する。まず、第1工程として、図示されていない基板搬送装置にて搬送されてきた基板21が、テーブル22上の所定位置に保持される。   In the following, the operation of the embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG. First, as a first step, the substrate 21 transported by a substrate transport device (not shown) is held at a predetermined position on the table 22.

第2工程として、図示されていないフラックス塗布装置により、基板21の所定位置にフラックス23が塗布される。第2工程と並行して第3工程として、X軸移動装置6が作動し、吸着ヘッド4が、ボール溜まりであるボール供給装置3の上方に移動して停止し、Z軸移動装置7の作動により下降し、ボール供給装置3内に入る。この際、電磁開閉弁16が閉じた状態で電磁開閉弁15が開き、真空源14により吸着ヘッド4の内部空間43には、真空が付与され、吸着ヘッド4の吸引口41に半田ボール2を吸着保持する。   As a second step, the flux 23 is applied to a predetermined position of the substrate 21 by a flux application device (not shown). In parallel with the second step, as the third step, the X-axis moving device 6 operates, the suction head 4 moves above the ball supply device 3 that is a ball pool and stops, and the Z-axis moving device 7 operates. To descend into the ball supply device 3. At this time, the electromagnetic on / off valve 15 is opened with the electromagnetic on / off valve 16 closed, a vacuum is applied to the internal space 43 of the suction head 4 by the vacuum source 14, and the solder ball 2 is placed in the suction port 41 of the suction head 4. Hold by adsorption.

第4工程として、吸着ヘッド4の全ての吸引口41が半田ボール2を吸着してしまうと、強い吸引力は必要なくなるため、電磁開閉弁16を開いて吸着ヘッド4の内部空間43の真空圧を低減する。   As a fourth step, if all the suction ports 41 of the suction head 4 suck the solder balls 2, a strong suction force is no longer necessary, so the electromagnetic on-off valve 16 is opened and the vacuum pressure in the internal space 43 of the suction head 4 is opened. Reduce.

第5工程として、吸着ヘッド4は、Z軸移動装置7により上昇し、X軸移動装置6により、テーブル22に載置された基板21の半田ボール搭載位置の上方に移動する。   As a fifth step, the suction head 4 is raised by the Z-axis moving device 7 and moved by the X-axis moving device 6 to above the solder ball mounting position of the substrate 21 placed on the table 22.

第6工程として、吸着ヘッド4は、Z軸移動装置7により、下降端に向かって下降を開始する。ここでの下降端とは、図4の二点鎖線で示される半田ボール2の最も下の位置が基板21の電極24に接すると設定した位置であり、半田ボール2のボール径の製造誤差などによってわずかに基板21から離れる場合もある。このときの吸着ヘッド4の下端面42と基板21との距離をL1とする。   As a sixth step, the suction head 4 starts to descend toward the descending end by the Z-axis moving device 7. Here, the descending end is a position set so that the lowest position of the solder ball 2 indicated by a two-dot chain line in FIG. 4 is in contact with the electrode 24 of the substrate 21, such as a manufacturing error in the ball diameter of the solder ball 2. May be slightly away from the substrate 21. At this time, the distance between the lower end face 42 of the suction head 4 and the substrate 21 is L1.

続いて、第7工程として、吸着ヘッド4に吸着している半田ボール2が、基板21に着地する直前位置(図4中吸着ヘッド4の下端面42と基板21との距離がL2となる位置)で、電磁開閉弁15が閉じて、真空源14からの真空付与が停止され、吸着ヘッド4内の真空が解除される。真空を解除する直前位置とは、基板21と吸着ヘッド4の下端面42との距離L2が半田ボールの直径d以下の位置としてある。尚、第7工程で真空が解除された際に、吸着ヘッド4から半田ボール2が脱落したとしても吸着ヘッド4の下端面42と基板21との距離L2が半田ボール2の直径dより小さいので、半田ボール2がどこかに転がっていくことはない。   Subsequently, as a seventh step, the position immediately before the solder ball 2 attracted to the suction head 4 lands on the substrate 21 (the position where the distance between the lower end surface 42 of the suction head 4 and the substrate 21 in FIG. 4 is L2). ), The electromagnetic on-off valve 15 is closed, the vacuum application from the vacuum source 14 is stopped, and the vacuum in the suction head 4 is released. The position immediately before releasing the vacuum is a position where the distance L2 between the substrate 21 and the lower end surface 42 of the suction head 4 is equal to or less than the diameter d of the solder ball. Even when the solder ball 2 is removed from the suction head 4 when the vacuum is released in the seventh step, the distance L2 between the lower end surface 42 of the suction head 4 and the substrate 21 is smaller than the diameter d of the solder ball 2. The solder ball 2 does not roll anywhere.

第8工程として、吸着ヘッド4の下降が継続し、吸着されている半田ボール2が、基板21に着地すると同時に、電磁開閉弁19が開き、圧縮気体源18から吸着ヘッド4の内部空間43に正圧が付与される。この第8工程で吸着ヘッド4が、半田ボール2と基板21とが接する位置まで、下降を継続することにより、第7工程で吸着ヘッド4から半田ボール2が脱落した際に正しい位置からずれていたとしても、吸引口41のテーパ面41aにより半田ボール2は所定の正しい位置に位置決めされる。   As the eighth step, the lowering of the suction head 4 continues, and the attracted solder ball 2 lands on the substrate 21, and at the same time, the electromagnetic on-off valve 19 opens, and the compressed gas source 18 enters the inner space 43 of the suction head 4. Positive pressure is applied. In this eighth step, the suction head 4 continues to descend to a position where the solder ball 2 and the substrate 21 are in contact with each other, so that the solder ball 2 is displaced from the correct position when the solder ball 2 is dropped from the suction head 4 in the seventh step. Even so, the solder ball 2 is positioned at a predetermined correct position by the tapered surface 41 a of the suction port 41.

第9工程として、吸着ヘッド4は、吸着ヘッド4の内部空間43が大気圧に戻るまで、下降端で待機する。続いて、第10工程として、吸着ヘッド4の内部空間43が大気圧に戻ると、吸着ヘッド4は、Z軸移動装置7により上昇し、一つのサイクルを終了する。ここで吸着ヘッド4にはフラックス23の付着がなく、次回の半田ボールの吸着時にダブルボールといった不要な半田ボールが付着することがなくなる。本実施例における半田ボール搭載装置1は、以上の工程からなるサイクルを繰り返し、半田ボール2の搭載が行われるのである。   As a ninth step, the suction head 4 stands by at the descending end until the internal space 43 of the suction head 4 returns to atmospheric pressure. Subsequently, as the tenth step, when the internal space 43 of the suction head 4 returns to atmospheric pressure, the suction head 4 is raised by the Z-axis moving device 7 and one cycle is completed. Here, the flux 23 does not adhere to the suction head 4, and unnecessary solder balls such as double balls do not adhere at the next suction of the solder balls. The solder ball mounting apparatus 1 in the present embodiment repeats the cycle consisting of the above steps, and the solder ball 2 is mounted.

本実施例では、複数の半田ボール2を搭載する半田ボール搭載装置1を前提としているが、本発明は、1個の半田ボール搭載装置においても利用可能であることは当然である。   In the present embodiment, the solder ball mounting apparatus 1 on which a plurality of solder balls 2 are mounted is assumed. However, the present invention is naturally applicable to a single solder ball mounting apparatus.

本実施例に係る半田ボール搭載装置の全体を示す概略説明図Schematic explanatory diagram showing the entire solder ball mounting apparatus according to the present embodiment 吸着ヘッドとZ軸移動装置との関係を示す部分拡大側面説明図Partially enlarged side view showing the relationship between the suction head and the Z-axis moving device 半田ボール搭載動作を示すフロー図Flow diagram showing solder ball mounting operation 直前位置を示す拡大説明図Enlarged explanatory diagram showing the previous position

符号の説明Explanation of symbols

1......半田ボール搭載装置
2......半田ボール
3......ボール供給装置
4......吸着ヘッド
5......Z軸駆動モータ
6......X軸移動装置
7......Z軸移動装置
8......送りねじ
9......ナット部材
10.....ベース
11.....取付具
12.....真空手段
14.....真空源
15,16,19.....電磁開閉弁
17.....絞り弁
18.....圧縮気体源
20....コントローラ
21......基板
22......テーブル
23......フラックス
41.....吸引口
41a....テーパ面
42.....下端面
43.....内部空間
1. . . . . . Solder ball mounting device . . . . . 2. Solder balls . . . . . 3. Ball supply device . . . . . 4. Suction head . . . . . Z-axis drive motor . . . . . X-axis moving device 7. . . . . . Z-axis moving device 8. . . . . . Lead screw 9. . . . . . Nut member 10. . . . . Base 11. . . . . Attachment 12. . . . . Vacuum means 14. . . . . Vacuum source 15, 16, 19. . . . . Electromagnetic on-off valve 17. . . . . Throttle valve 18. . . . . Compressed gas source 20. . . . Controller 21. . . . . . Substrate 22. . . . . . Table 23. . . . . . Flux 41. . . . . Suction port 41a. . . . Tapered surface 42. . . . . Lower end surface 43. . . . . Interior space

Claims (2)

真空手段により内部が真空にされた吸着ヘッドの下端面に設けられ、下端側にテーパ面が形成された吸引口に吸着された半田ボールを吸着ヘッドを昇降して基板上の所定の位置に搭載する半田ボール搭載方法において、半田ボールを基板に載置するに際して、半田ボールが基板に着地する位置より上方であって、基板と吸着ヘッドの下端面との距離が半田ボールの直径以下の位置にて吸着ヘッド内の真空を解除した後、吸着ヘッドを当該位置より下方の下降端まで下降することを特徴とする半田ボール搭載方法。 Mounted at a predetermined position on the substrate by moving the suction head up and down the solder ball, which is provided on the lower end surface of the suction head whose inside is evacuated by vacuum means, and the suction port has a tapered surface on the lower end side In the solder ball mounting method, when placing the solder ball on the substrate, the solder ball is positioned above the position where the solder ball lands on the substrate, and the distance between the substrate and the lower end surface of the suction head is equal to or smaller than the diameter of the solder ball. after releasing the vacuum in the suction head Te, solder ball mounting method characterized by lowering the suction head to the lowered end of the lower than the position. 下端側に半田ボールを吸着するためのテーパ面が形成された吸引口を有する吸着ヘッドと、吸着ヘッド内に真空を付与する真空手段と、吸着ヘッドを昇降させる昇降手段とを備え、昇降手段によって吸着ヘッドを昇降させて吸着ヘッドに吸着された半田ボールを基板上の所定位置に搭載する半田ボール搭載装置において、半田ボールを基板に載置するに際して、半田ボールが基板に着地する位置より上方であって、基板と吸着ヘッドの下端面との距離が半田ボールの直径以下の位置にて吸着ヘッド内に付与される真空手段からの真空を解除した後、吸着ヘッドを当該位置より下方の下降端まで下降するように構成したことを特徴とする半田ボール搭載装置。 A suction head having a suction port formed with a tapered surface for sucking a solder ball on the lower end side, a vacuum means for applying a vacuum in the suction head, and a lifting means for raising and lowering the suction head. In a solder ball mounting apparatus that mounts a solder ball adsorbed by the suction head at a predetermined position on the substrate by raising and lowering the suction head, when the solder ball is placed on the substrate, the solder ball is positioned above the position where the solder ball lands on the substrate. there are, after releasing the vacuum from the vacuum means for the distance between the substrate and the lower end surface of the suction head is applied to the suction head at the diameter following positions of the solder balls, a suction head from below those said phase location A solder ball mounting device configured to descend to a descending end.
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