JP4497524B2 - 除電装置 - Google Patents
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Description
空気供給路における空気流を測定することで、空気の供給状況の異常を検出するようにしたから、従来のように温度を測定したものと比較すると、使用環境に左右されることなく、空気が滞留しているか否かを確実に検出することができる。
放電電極の周囲で発生するオゾンにより放電電極が腐食するような事態を防ぐことができる。
空気が滞留した状態でコロナ放電を発生させるのを防ぐようにしたから、オゾンの発生を抑制することができる。
空気の供給状況に異常が生じたことを外部へ出力することで、例えば作業者にメンテナンスなどの適切な処置を行うよう促すことができる。
仮に空気流測定手段として感熱素子を用いた場合と比較すると、構成を簡単にすることができ、また装置の小型化にも好適となる。さらには、従来のように温度を測定するものと比較すると、空気の供給状況の変化に対する応答性が高いので、検出精度の向上を図ることができる。
本発明の実施形態1を図1ないし図3によって説明する。この実施形態1では、正極性及び負極性の直流高電圧が交互に印加される例えば1本の放電電極21(以下、共通放電電極21という)と接地電極23とを備えた、いわゆる交流電圧印加タイプの除電装置10を例示する。
上記した実施形態1の変形例を図4によって説明する。この変形例では、可動部12(イオン生成室20)を3つ備えた除電装置10において、圧電素子24の配置を上記実施形態1とは異ならせたものを例示する。なおこの変形例では、最も下流側の可動部12に関しては、他の2つの可動部12と区別するために符号に添え字Aを付すものとする。
本発明の実施形態2を図5または図6によって説明する。この実施形態2では、上記した実施形態1における圧電素子24に代えて熱式流量センサである感熱素子25,26を用い、空気の流量を測定するようにした場合を示す。なおこの実施形態2では、上記した実施形態1と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
15…空気流通路(空気供給路)
20…イオン生成室(空気供給路)
21…共通放電電極(放電電極)
22…空気放出口
24…圧電素子(空気流測定手段)
25,26…感熱素子(空気流測定手段)
27…加熱手段(空気流測定手段)
30…制御回路(異常検出手段、制御手段)
31a,31b…交流電圧電源(電圧電源)
37…出力回路(出力手段)
Claims (5)
- 空気が供給される空気供給路と、
周囲が覆われるとともに、電圧電源により電圧が印加されることでコロナ放電を発生して正負のイオンを生成可能な放電電極と、
前記放電電極で生成されたイオンを前記空気供給路から外部に放出するための空気放出口と、
前記空気供給路における空気の流量または流圧を測定するための空気流測定手段と、
空気流測定手段の測定結果に基づいて空気の供給状況の異常を検出するための異常検出手段とを備え、
前記空気放出口及び前記放電電極は、前記空気供給路における上流側と下流側とに複数設けられており、
前記空気流測定手段は、空気供給路における最も下流側の空気放出口の近傍に配されていることを特徴とする除電装置。 - 前記異常検出手段は、前記空気流測定手段によって測定した空気流が、前記放電電極の周囲で発生するオゾンが前記放電電極を腐食させるような量に達する所定レベル以下のときに空気の供給に異常が生じたことを検出するようにしたことを特徴とする請求項1記載の除電装置。
- 前記異常検出手段によって異常が検出されたとき、前記放電電極への電圧の印加を停止させる制御手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の除電装置。
- 前記異常検出手段によって異常が検出されたとき、外部へ異常検出の出力をするための出力手段を備えていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の除電装置。
- 前記空気流測定手段は、前記空気流の流圧を測定する圧電素子により構成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の除電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004106648A JP4497524B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 除電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004106648A JP4497524B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 除電装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005294004A JP2005294004A (ja) | 2005-10-20 |
| JP4497524B2 true JP4497524B2 (ja) | 2010-07-07 |
Family
ID=35326712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004106648A Expired - Lifetime JP4497524B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 除電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4497524B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007305403A (ja) * | 2006-05-11 | 2007-11-22 | Omron Corp | コロナ放電型イオナイザ、ファンユニット、およびクリーンルームシステム |
| JP4842151B2 (ja) * | 2007-01-10 | 2011-12-21 | パナソニック電工Sunx株式会社 | 除電装置 |
| JP5085433B2 (ja) * | 2008-05-30 | 2012-11-28 | パナソニック デバイスSunx株式会社 | 除電除塵装置 |
| JP2010000484A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Sunx Ltd | 除電除塵装置 |
| JP5784331B2 (ja) * | 2011-03-02 | 2015-09-24 | 春日電機株式会社 | 放電装置 |
| JP6467715B2 (ja) * | 2016-03-01 | 2019-02-13 | Smc株式会社 | 高電圧発生回路 |
| GB2611697B (en) * | 2020-07-22 | 2026-03-25 | Hitachi High Tech Corp | DC high-voltage source device and charged particle beam device |
| CN121077225A (zh) * | 2025-10-31 | 2025-12-05 | 益能电焰科技(深圳)有限公司 | 电焰灶用的高压电路 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3079478B2 (ja) * | 1991-06-20 | 2000-08-21 | 高砂熱学工業株式会社 | 帯電物体の中和装置 |
| JPH06152004A (ja) * | 1992-11-13 | 1994-05-31 | Komatsu Ltd | パルスレーザ装置 |
| JPH09108313A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-04-28 | Mitsubishi Electric Corp | 微生物繁殖防止方法およびその装置 |
| JP2001297854A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Keyence Corp | コロナ放電装置 |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004106648A patent/JP4497524B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2005294004A (ja) | 2005-10-20 |
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| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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