JP4528569B2

JP4528569B2 - Metal mask, its mounting adjustment jig and its mounting adjustment method

Info

Publication number: JP4528569B2
Application number: JP2004207151A
Authority: JP
Inventors: 博行枦川; 哲朗佐藤
Original assignee: Molex LLC
Current assignee: Molex LLC
Priority date: 2004-07-14
Filing date: 2004-07-14
Publication date: 2010-08-18
Anticipated expiration: 2024-07-14
Also published as: JP2006027000A

Description

本発明は、メタルマスクの取付け調整治具および調整方法に関するものである。 The present invention relates to a metal mask attachment adjusting jig and an adjusting method.

従来、例えばメタルマスクの機能パターンを調整するにあたり、様々な技術が用いられている。例えば特許文献1には、スクリーン版枠の内側にスクリーンメッシュをＸＹ方向に緊張させた状態で貼り付け、該スクリーンメッシュの中央部に、接着剤を介してメタルマスクを貼り付け、該メタルマスクの貼り付けシロの内側部分に位置するスクリーンメッシュを該メタルマスクの縁部に沿って切り抜くことによって、メタルマスクにスクリーンメッシュによってＸＹ方向の張力を導入し、この張力によってメタルマスクを張設する技術が記載されている。この技術によれば、メタルマスクがスクリーンメッシュによって引っ張られているので、メタルマスクにしわやたるみを発生させることなく、メタルマスクを所定の寸法形状および機能パターン通りに作製できる。
特開２００３−６４４６８号公報 Conventionally, for example, various techniques are used to adjust a functional pattern of a metal mask. For example, in Patent Document 1, the screen mesh is attached to the inside of the screen plate in a state of being tensioned in the XY direction, and a metal mask is attached to the center of the screen mesh via an adhesive. A technique for introducing a tension in the XY direction to the metal mask by the screen mesh by cutting out the screen mesh located in the inner part of the attaching white along the edge of the metal mask, and stretching the metal mask by this tension. Are listed. According to this technique, since the metal mask is pulled by the screen mesh, the metal mask can be manufactured according to a predetermined dimensional shape and functional pattern without generating wrinkles or sagging in the metal mask.
JP 2003-64468 A

ところが、特許文献１に記載の技術では、スクリーン版枠の内側にスクリーンメッシュをＸＹ方向に緊張させた状態で貼り付けているので、このスクリーンメッシュの寸法を落ち着かせる時間が７時間程度必要となる。したがって、スクリーン版枠にスクリーンメッシュを貼り付けてからメタルマスクを該スクリーンメッシュに貼り付けるまでに、非常に時間がかかり、このため、機能パターンの調整終了までに非常に時間がかかるという問題がある。また、メタルマスクごとにスクリーンメッシュが必要となり、その分製造コストがかかるという問題がある。さらに、一々スクリーンメッシュにメタルマスクを接着固定しなければならないため、一度メタルマスクの調整に失敗すると、該メタルマスクのパターンは２度と再調整不可能であるという問題がある。 However, in the technique described in Patent Document 1, since the screen mesh is affixed to the inside of the screen plate frame in a tensioned state in the XY direction, it takes about 7 hours to settle the dimensions of the screen mesh. . Therefore, it takes a very long time to apply the metal mask to the screen mesh after the screen mesh is applied to the screen plate frame. Therefore, there is a problem that it takes a very long time to complete the function pattern adjustment. . In addition, a screen mesh is required for each metal mask, and there is a problem that the manufacturing cost increases accordingly. Furthermore, since the metal mask must be bonded and fixed to the screen mesh one by one, once the metal mask adjustment fails, there is a problem that the pattern of the metal mask cannot be readjusted again.

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、機能パターン調整に要する手間と時間を低減できるとともに、製造コストを低減できるメタルマスクおよびその取付け調整治具、並びにその取付け調整方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a metal mask, its mounting adjustment jig, and its mounting adjustment method that can reduce the labor and time required for functional pattern adjustment and reduce the manufacturing cost. It is aimed.

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、中央部に設けられた機能パターンと前記機能パターンの外周に沿って設けられた弾性領域とを有する薄板状のメタルマスクと、下枠、上枠および弾性変形付与手段を具備した保持部材とよりなるメタルマスクおよびその取付け調整治具であって、前記下枠は、その中央に開口部を、また前記開口部の外周に沿い且つ前記メタルマスクの外周に略等しく立設された位置決め固定ピンを具備し、前記上枠は、その中央に開口部を、また前記開口部の外周に沿い且つ前記位置決めピンに対応する位置に形成された固定ピン挿通穴を具備し、前記弾性変形付与手段は、可とう性を有し前記弾性領域と同形同大に形成された押え枠と、前記上枠に形成され前記押え枠３１に重なり合う位置に設けられたボルト穴および前記ボルト穴に螺号されたボルトからなり、前記下枠上に前記位置決め固定ピンに当接させつつメタルマスクをセットし、その上に、押さえ枠を載置し、上枠を前記下枠に対して載置するとともに前記下枠に立設した位置決め固定ピンを前記上枠に設けられた固定ピン挿通穴に挿通することにより位置決めをした上で、一体化し、さらに、前記弾性変形付与手段のボルトを調整することにより前記上枠９の下面からのその突出長さを変化させ、押え枠３１に作用して前記機能パターンの位置を修正することを特徴とする。
を特徴とする。 In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a sheet metal mask having a functional pattern provided in the central portion and an elastic region provided along the outer periphery of the functional pattern; A metal mask comprising a holding member having a frame, an upper frame, and an elastic deformation imparting means, and a mounting adjustment jig for the metal mask, wherein the lower frame has an opening at the center and along the outer periphery of the opening. It has a positioning fixing pin that is erected substantially equally on the outer periphery of the metal mask, and the upper frame is formed with an opening at the center thereof, at a position along the outer periphery of the opening and corresponding to the positioning pin. The elastic deformation applying means includes a holding frame having flexibility and having the same shape and the same size as the elastic region, and overlapping the holding frame 31 formed on the upper frame. Provided in position The metal mask is set while abutting the positioning fixing pin on the lower frame, the holding frame is placed thereon, and the upper frame is mounted on the lower frame. It is placed on the lower frame and positioned by inserting a positioning fixing pin erected on the lower frame through a fixing pin insertion hole provided in the upper frame, and then integrated, and further, the elastic deformation The protrusion length from the lower surface of the upper frame 9 is changed by adjusting the bolt of the applying means, and the position of the function pattern is corrected by acting on the presser frame 31 .
It is characterized by.

ここで、前記メタルマスク本体は、厚みが２０〜１００μｍと非常に薄く、メタルマスク本体だけでは所定の形状を維持することが出来ず、容易にしわ、たるみを生じるようなものである。また、機能パターンとは、電子部品を構成する基板に、例えば、回路パターン、スイッチパターン、抵抗体パターン、有機エレクトロルミネッセンス素子のパターン等の電子部品に機能上必要なパターンのことを意味する。有機エレクトロルミネッセンス素子のパターンは、該素子を製造する際に用いられるような、ファイン化したライン幅１０〜１００μｍ、ライン間隔１０〜５００μｍ、ライン長０．１〜１００ｍｍの機能パターンである。さらに、前記弾性領域とは、これを例えば押圧することによって、弾性変形し、その弾性復帰力によって、その内側に位置する機能パターンを引っ張って、機能パターンの位置および形状を調整する機能を有する領域のことを意味する。例えば、弾性領域は、機能パターン外周に略口字型のゴム等の弾性を持つ物質を置くことでも設けられるが、メッシュ状のパターンが好適である。メッシュ状のパターンとしては、スリット、三角形、四角形、ひし形、六角形等の多角形および円形、楕円形または、それらの組み合わせによるパターンが挙げられる。また、多角形の場合、各頂角に当たる部分は微小Ｒがついている（微小円弧形状となっている）。スリットの場合、その両端部に微小Ｒがついている（微小円弧形状となっている）。さらに、メッシュ状のパターンは、メッシュを別途形成しておき、これを接着等によってメタルマスク本体に接着することによって設けてもよい。 Here, the metal mask main body is very thin with a thickness of 20 to 100 μm, and the metal mask main body alone cannot maintain a predetermined shape, and easily causes wrinkles and sagging. The functional pattern means a pattern functionally necessary for an electronic component such as a circuit pattern, a switch pattern, a resistor pattern, and a pattern of an organic electroluminescence element on a substrate constituting the electronic component. The pattern of the organic electroluminescence element is a functional pattern having a refined line width of 10 to 100 μm, a line interval of 10 to 500 μm, and a line length of 0.1 to 100 mm as used in manufacturing the element. Further, the elastic region is a region having a function of adjusting the position and shape of the functional pattern by elastically deforming the elastic region by, for example, pressing it, and pulling the functional pattern located inside by the elastic return force. Means that. For example, the elastic region may be provided by placing a material having elasticity such as a substantially square-shaped rubber on the outer periphery of the functional pattern, but a mesh-like pattern is preferable. Examples of the mesh pattern include slits, triangles, quadrilaterals, rhombuses, hexagons, and other polygons and circles, ellipses, or combinations thereof. In the case of a polygon, a portion corresponding to each apex angle has a minute R (a minute arc shape). In the case of the slit, minute R is attached to both end portions thereof (small arc shape). Further, the mesh pattern may be provided by separately forming a mesh and bonding it to the metal mask main body by bonding or the like.

請求項１に記載の発明によれば、メタルマスク本体に、弾性領域が機能パターンの外周に沿って設けられているので、この弾性領域の所定箇所をボルトにより押え枠を介して押圧して弾性変形させることによって、機能パターンを引っ張って、該機能パターンの位置および形状を調整することができる。したがって、従来のように、スクリーン版枠にスクリーンメッシュを貼ってから、更にそのスクリーンメッシュにメタルマスクを貼り付けるといった時間と手間を必要としないので、パターン調整に要する手間と時間を低減できる。また、メタルマスクごとにスクリーンメッシュが必要となることもなく、しかも、機能パターンの再調整も弾性領域を弾性変形させ直すことによって行え、メタルマスクに無駄が生じることがないので、製造コストも低減できる。 According to the first aspect of the present invention, since the elastic region is provided along the outer periphery of the functional pattern in the metal mask main body, a predetermined portion of the elastic region is pressed by the bolt through the presser frame to be elastic. By deforming, the functional pattern can be pulled and the position and shape of the functional pattern can be adjusted. Therefore, unlike the prior art, the time and labor of pasting the screen mesh on the screen plate frame and then pasting the metal mask onto the screen mesh are not required, so the labor and time required for pattern adjustment can be reduced. In addition, no screen mesh is required for each metal mask, and the functional pattern can be readjusted by elastically deforming the elastic region, which eliminates the waste of the metal mask and reduces manufacturing costs. it can.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成に加え、剛性を有しその上面に溝が形成され、前記下枠の開口部に挿入しうる様に形成された接着用台座と、剛性材料からなり平坦面を有するメタルマスク押えとを更に具備し、下枠内に接着用台座を挿入した後に前記メタルマスクをセットし位置決めを行い、さらにその上からメタルマスク押えを被せ、その後に前記弾性変形付与手段の押え枠を載置することを特徴とする。 In addition to the structure of claim 1 , the invention described in claim 2 is an adhesive pedestal formed so as to be inserted into the opening of the lower frame, having rigidity and having a groove formed on the upper surface thereof. A metal mask presser made of a rigid material and having a flat surface. After inserting the adhesive base into the lower frame, the metal mask is set and positioned, and then the metal mask presser is put on the metal mask presser. The presser frame of the elastic deformation imparting means is placed on.

請求項１および請求項２の両発明において、前記保持部材としては、例えばアルミ等の金属や樹脂等の剛性を持った下枠と上枠でメタルマスクを挟み込み、この状態でボルト等によって下枠と上枠とを締め付け保持出来るものであればよい。また、前記弾性変形付与手段については、上記に述べたとおりであるが、弾性領域の所定箇所を押圧する場合、弾性領域の面と交差する方向（望ましくは垂直な方向）に、該弾性領域の所定箇所を押圧する。また、弾性領域の所定箇所を引っ張る場合、弾性領域の面と交差する方向または平行な方向に、該弾性領域の所定箇所を引っ張る。このような構成によれば、押圧方向の変位量を調整できる。すなわち保持部材に多数のパターン調整用ボルトを螺合しておき、このパターン調整用ボルトを適宜回すことによって弾性領域を押圧すればよい。また、弾性領域に、樹脂等からなる可とう性を持った押え枠を設置し、該押え枠を介して弾性領域の所定箇所を押圧してもよい。 In both of the first and second aspects of the present invention, the holding member includes a metal frame sandwiched between a lower frame having rigidity such as a metal such as aluminum or a resin and an upper frame, and in this state, the lower frame is secured by a bolt or the like. Any material can be used as long as it can fasten and hold the upper frame. The elastic deformation imparting means is as described above. However, when a predetermined portion of the elastic region is pressed, the elastic region is placed in a direction intersecting the surface of the elastic region (preferably a direction perpendicular thereto). Press in place. Further, when pulling a predetermined portion of the elastic region, the predetermined portion of the elastic region is pulled in a direction intersecting or parallel to the surface of the elastic region. According to such a configuration, the amount of displacement in the pressing direction can be adjusted. That is, a large number of pattern adjusting bolts may be screwed onto the holding member, and the elastic region may be pressed by appropriately rotating the pattern adjusting bolts. Alternatively, a flexible presser frame made of resin or the like may be installed in the elastic region, and a predetermined portion of the elastic region may be pressed through the presser frame.

請求項２に記載の発明によれば、上記に加えて、その上面に溝が形成された接着用台座が挿入されている。この台座は回路パターン調整後の工程で蒸着治具枠を接着するときに用いるものであるが、前記溝が設けられていることによってメタルマスク表面の回路等の機能パターンと接着用台座とが直接接触することが無く、メタルマスクの機能パターンにキズがつくことがない。また、メタルマスク押えの平坦な面で、メタルマスクを押えることにより、回路パターン調整中に生じるしわ、たるみ等を防止することができる。According to the second aspect of the present invention, in addition to the above, an adhesion base having a groove formed on the upper surface thereof is inserted. This pedestal is used when adhering the vapor deposition jig frame in the process after adjusting the circuit pattern. By providing the groove, the functional pattern such as the circuit on the surface of the metal mask and the pedestal for bonding are directly connected. There is no contact, and the functional pattern of the metal mask is not damaged. In addition, by holding the metal mask on the flat surface of the metal mask holder, wrinkles, sagging, etc. that occur during circuit pattern adjustment can be prevented.

請求項３に記載の発明は、中央部に設けられた機能パターンと、前記機能パターンの外周に沿って設けられた弾性領域とを有する薄板状のメタルマスクを、下枠および上枠により構成される保持部材に取り付けるメタルマスクの取付け調整方法であって、その中央に開口部を有するとともに前記開口部の外周に沿い且つ前記メタルマスクの外周に略等しく位置決め固定ピンを立設してある下枠に対して、剛性を有しその上面に溝が形成された接着用台座を挿入する第１の工程と、前記下枠上に前記位置決め固定ピンに当接させつつメタルマスクをセットする第２の工程と、前記メタルマスクの上に、剛性を有するメタルマスク押えを被せる第３の工程と、さらにその上に、可とう性を有し前記メタルマスクの弾性領域と同形同大に形成された押さえ枠を載置する第４の工程と、さらに上枠を前記下枠に対して載置するとともに前記下枠に立設した位置決め固定ピンを前記上枠に設けられた固定ピン挿通穴に挿通することにより位置決めをした上で、複数のボルトにより下枠と上枠とを一体化する第５の工程と、前記メタルマスク押えを取り外した上で、前記上枠に備えられ前記弾性領域を押圧しうる位置に、その全周にわたり複数設けられたボルト穴２５、２５、…に螺合されたボルト２６、２６、…により前記機能パターンの位置を修正する第６の工程とを含むことを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, a thin plate-shaped metal mask having a functional pattern provided in the central portion and an elastic region provided along the outer periphery of the functional pattern is configured by a lower frame and an upper frame. A method for adjusting the attachment of a metal mask to be attached to a holding member, wherein the lower frame has an opening at the center thereof, and a positioning fixing pin is erected along the outer periphery of the opening and substantially equal to the outer periphery of the metal mask In contrast, a first step of inserting a bonding base having rigidity and having a groove formed on the upper surface thereof, and a second step of setting a metal mask while abutting the positioning fixing pin on the lower frame A step, a third step of covering the metal mask with a rigid metal mask presser, and further, a flexible and flexible material having the same shape and size as the elastic region of the metal mask. And a fourth step of placing the frame, and further placing the upper frame on the lower frame and inserting the positioning fixing pins erected on the lower frame into the fixing pin insertion holes provided on the upper frame After positioning, the fifth step of integrating the lower frame and the upper frame with a plurality of bolts, and removing the metal mask presser, pressing the elastic region provided in the upper frame And a sixth step of correcting the position of the functional pattern by bolts 26, 26,... Screwed into a plurality of bolt holes 25, 25,. And

請求項３に記載の発明によれば、メタルマスク本体に、弾性領域が機能パターンの外周に沿って設けられているので、第６の工程において、この弾性領域の所定箇所を例えば押圧して弾性変形させることによって、機能パターンを引っ張って、該機能パターンの位置および形状を調整することができる。したがって、従来のように、スクリーン版枠にスクリーンメッシュを貼ってから、更にそのスクリーンメッシュにメタルマスクを貼り付けるといった時間と手間を必要としないので、パターン調整に要する手間と時間を低減できる。また、メタルマスクごとにスクリーンメッシュが必要となることもなく、しかも、機能パターンの再調整も弾性領域を弾性変形させ直すことによって行え、メタルマスクに無駄が生じることがないので、製造コストも低減できる。さらに、第１の工程においては、下枠に対して、剛性を有しその上面に溝が形成された接着用台座を挿入することによって、第６の工程以後、すなわち機能パターンの調整が終了した後において、メタルマスクへの蒸着治具枠の接着が安定して行えると共に、この溝が設けられていることによって、メタルマスク表面の機能パターンと接着用台座上面とが直接接触することがなく、メタルマスクの機能パターンにキズがつくことがない。 According to the third aspect of the present invention, since the elastic region is provided along the outer periphery of the functional pattern in the metal mask main body, in the sixth step, for example, a predetermined portion of the elastic region is pressed to be elastic. By deforming, the functional pattern can be pulled and the position and shape of the functional pattern can be adjusted. Therefore, unlike the prior art, the time and labor of pasting the screen mesh on the screen plate frame and then pasting the metal mask onto the screen mesh are not required, so the labor and time required for pattern adjustment can be reduced. In addition, no screen mesh is required for each metal mask, and the functional pattern can be readjusted by elastically deforming the elastic region, which eliminates the waste of the metal mask and reduces manufacturing costs. it can. Furthermore, in the first step, by inserting a bonding base having rigidity and having a groove formed on the upper surface of the lower frame, after the sixth step, that is, the adjustment of the functional pattern is completed. Later, the adhesion of the vapor deposition jig frame to the metal mask can be stably performed, and by providing this groove, the functional pattern on the surface of the metal mask and the upper surface of the base for bonding are not in direct contact, There is no scratch on the functional pattern of the metal mask.

本発明によれば、メタルマスク本体に、弾性領域が機能パターンの外周に沿って設けられているので、この弾性領域の所定箇所を弾性変形させることによって、機能パターンを引っ張って、該機能パターンの位置および形状を調整することができ、よって、パターン調整に要する手間と時間を低減できる。また、メタルマスクごとにスクリーンメッシュが必要となることもなく、しかも、機能パターンの再調整も弾性領域を弾性変形させ直すことによって行え、メタルマスクに無駄が生じることがないので、製造コストも低減できる。 According to the present invention, since the elastic region is provided along the outer periphery of the functional pattern in the metal mask main body, the functional pattern is pulled by elastically deforming a predetermined portion of the elastic region. The position and shape can be adjusted, and therefore the labor and time required for pattern adjustment can be reduced. In addition, no screen mesh is required for each metal mask, and the functional pattern can be readjusted by elastically deforming the elastic region, which eliminates the waste of the metal mask and reduces manufacturing costs. it can.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明に係るメタルマスクの一例を示す概略平面図である。図１に示すように、メタルマスク１は、薄板状のメタルマスク本体２と、このメタルマスク本体２の表面中央部に形成された機能パターン３とを備えている。メタルマスク本体２は平面視において長方形状に形成されており、その厚さは２０〜１００μｍとなっている。また、メタルマスク本体２には、弾性領域４が機能パターン３の外周に沿って設けられている。弾性領域４は、平面視において略ロ字状に形成されており、その内側に機能パターン３が設けられている。弾性領域４は、メタルマスク本体２に機能パターン３を形成する際に同時に機能パターン３と同様のエッチング加工方法にてメッシュ状に形成されており、メッシュのパターンは、ハニカム形状（正六角形）となっている。但し、各頂角に当たる部分は微小Ｒがついている。また、加工方法としては他にプレス加工、レーザー加工等を用いても良い。このような弾性領域４は、これを押圧することによって、弾性変形し、その弾性復帰力によって、その内側に位置する機能パターン３を引っ張って、機能パターン３の位置および形状を調整する機能を有している。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic plan view showing an example of a metal mask according to the present invention. As shown in FIG. 1, the metal mask 1 includes a thin plate-shaped metal mask body 2 and a functional pattern 3 formed at the center of the surface of the metal mask body 2. The metal mask main body 2 is formed in a rectangular shape in plan view and has a thickness of 20 to 100 μm. Further, the metal mask body 2 is provided with an elastic region 4 along the outer periphery of the functional pattern 3. The elastic region 4 is formed in a substantially square shape in plan view, and the functional pattern 3 is provided on the inside thereof. The elastic region 4 is formed in a mesh shape by the same etching method as the functional pattern 3 at the same time when the functional pattern 3 is formed on the metal mask main body 2, and the mesh pattern has a honeycomb shape (regular hexagonal shape). It has become. However, a portion corresponding to each apex angle has a minute R. In addition, as a processing method, press processing, laser processing, or the like may be used. Such an elastic region 4 has a function of adjusting the position and shape of the functional pattern 3 by being elastically deformed by pressing the elastic region 4 and pulling the functional pattern 3 located inside by the elastic restoring force. is doing.

次に、前記メタルマスク１の機能パターン３を調整するための機能パターン調整用治具について説明する。図２に示すように、機能パターン調整用治具（以下、調整用治具と略称する。）５は、保持部材６と弾性変形付与手段７と備えている。保持部材６は、メタルマスク１を着脱可能に保持するものであり、下枠８と上枠９とを備えている。 Next, a functional pattern adjustment jig for adjusting the functional pattern 3 of the metal mask 1 will be described. As shown in FIG. 2, a functional pattern adjustment jig (hereinafter abbreviated as “adjustment jig”) 5 includes a holding member 6 and an elastic deformation applying means 7. The holding member 6 detachably holds the metal mask 1 and includes a lower frame 8 and an upper frame 9.

下枠８は、アルミ等の金属や樹脂等の剛性体からなるものであり矩形枠状に形成されている。この下枠８の矩形状の開口部１０には、図３および図４に示すように、矩形状の接着用台座１１が挿入されている。この接着用台座１１は、アルミ等の金属や樹脂等の剛性体からなり、メタルマスク１の機能パターン３の調整が終了した際、メタルマスク１に図示しない蒸着治具枠を接着するときに用いるものであり、その上面には、矩形状の溝１２が形成されている。この溝１２によってメタルマスク１表面の回路パターンなどからなる機能パターン３と接着用台座１１上面とが直接接触することが無く、メタルマスク１の機能パターン３にキズがつくことが無い。また、接着用台座１１は、その上面が下枠８の上面と面一となるように、前記開口部１０に挿入されている。また、下枠８の上面には、ボルト穴１５が下枠８の外周に沿って所定間隔で多数形成されている。さらに、下枠８の上面には、位置決め固定ピン１６が複数立設されている。これら固定ピン１６は、下枠８の一方の短辺の両端部と、２つの長辺中央部と、他方の短辺の中央部に、合計で５本立設されている。また、下枠８の上面には下枠溝１７が形成されている。この下枠溝１７は平面視において略ロ字状に形成されており、前記メタルマスク１の弾性領域４と平面視においてほぼ同形状に形成されている。 The lower frame 8 is made of a rigid body such as a metal such as aluminum or a resin, and is formed in a rectangular frame shape. As shown in FIGS. 3 and 4, a rectangular bonding base 11 is inserted into the rectangular opening 10 of the lower frame 8. The bonding base 11 is made of a rigid body such as a metal such as aluminum or a resin, and is used when a vapor deposition jig frame (not shown) is bonded to the metal mask 1 when the adjustment of the functional pattern 3 of the metal mask 1 is completed. The rectangular groove | channel 12 is formed in the upper surface. The groove 12 does not directly contact the functional pattern 3 including the circuit pattern on the surface of the metal mask 1 and the upper surface of the bonding base 11, so that the functional pattern 3 of the metal mask 1 is not damaged. The bonding base 11 is inserted into the opening 10 so that the upper surface thereof is flush with the upper surface of the lower frame 8. A number of bolt holes 15 are formed on the upper surface of the lower frame 8 at predetermined intervals along the outer periphery of the lower frame 8. Further, a plurality of positioning fixing pins 16 are provided upright on the upper surface of the lower frame 8. A total of five fixing pins 16 are erected at both ends of one short side of the lower frame 8, two long-side central portions, and the other short-side central portion. A lower frame groove 17 is formed on the upper surface of the lower frame 8. The lower frame groove 17 is formed in a substantially square shape in a plan view, and is formed in substantially the same shape as the elastic region 4 of the metal mask 1 in a plan view.

上枠９は、図２および図５に示すように、下枠８と同様に、アルミ等の金属や樹脂等の剛性体からなるものであり矩形枠状に形成されている。この上枠９の矩形状の開口部１８は、下枠８の開口部１０と同形同大に形成されている。上枠９の上面にはボルト挿通穴２０が上枠９の外周に沿って所定間隔で多数形成されている。これらボルト挿通穴２０はそれぞれ下枠８のボルト穴１５に対向して形成されている。また、上枠９の上面には、固定ピン挿通穴２１が複数形成されている。これら固定ピン挿通穴２１はそれぞれ下枠８の位置決め固定ピン１６に対向して複数形成されている。 As shown in FIGS. 2 and 5, the upper frame 9 is made of a metal such as aluminum or a rigid body such as resin, and is formed in a rectangular frame shape, like the lower frame 8. The rectangular opening 18 of the upper frame 9 is formed in the same shape and size as the opening 10 of the lower frame 8. A number of bolt insertion holes 20 are formed on the upper surface of the upper frame 9 along the outer periphery of the upper frame 9 at predetermined intervals. These bolt insertion holes 20 are formed to face the bolt holes 15 of the lower frame 8 respectively. A plurality of fixing pin insertion holes 21 are formed on the upper surface of the upper frame 9. A plurality of these fixing pin insertion holes 21 are formed facing the positioning fixing pins 16 of the lower frame 8 .

そして、下枠８と上枠９とは、下枠８の位置決め固定ピン１６を上枠９の固定ピン挿通穴２１に挿通することで、下枠８に対する上枠９の位置決めを行い、上枠９のボルト挿通穴２０からボルト３２を挿通して、下枠８のボルト穴１５に螺合して締め付けることによって、着脱可能に接合されるようになっている。また、下枠８と上枠９との間にメタルマスク１を配置したうえで、これら下枠８と上枠９とを上記のようにして接合することによって、メタルマスク１は下枠８と上枠９によって挟みつけられ、これによって、下枠８と上枠９とによって構成される保持部材６が、メタルマスク１を着脱可能に保持できるようになっている。 The lower frame 8 and the upper frame 9 position the upper frame 9 relative to the lower frame 8 by inserting the positioning fixing pins 16 of the lower frame 8 into the fixing pin insertion holes 21 of the upper frame 9. The bolt 32 is inserted from the bolt insertion hole 20 of 9, screwed into the bolt hole 15 of the lower frame 8, and tightened to be detachably joined. In addition, the metal mask 1 is disposed between the lower frame 8 and the upper frame 9 and the lower frame 8 and the upper frame 9 are joined as described above, so that the metal mask 1 is attached to the lower frame 8. The holding member 6 constituted by the lower frame 8 and the upper frame 9 can be held in a detachable manner by being sandwiched by the upper frame 9.

前記弾性変形付与手段７は、前記保持部材６に設けられて、メタルマスク１の弾性領域４の所定箇所を押圧して弾性変形させるものであり、以下のように構成されている。すなわち、保持部材６を構成する上枠９の上面には、図２および図５に示すように、前記ボルト挿通穴２０の内側でかつ開口部１８の外側に、小ボルト穴２５が開口部１８の縁部に沿って所定間隔で多数形成されている。これら小ボルト穴２５は、前記下枠８の下枠溝１７に沿っている。また、各小ボルト穴２５には、パターン調整用ボルト２６が螺合されており、これら調整用ボルト２６はそれを回すことによって、上枠９の下面から突出し、また回転量を調整することによって上枠９の下面からの突出長さ（押圧方向の変位量）を調整できるようになっている。そして、このような構成の弾性変形付与手段７では、下枠８と上枠９とによってメタルマスク１を挟みつけて保持した状態で、所望の調整用ボルト２６を必要量だけ回すことによって、メタルマスク１の弾性領域４の所定箇所を押圧して弾性変形させ、これによって、機能パターン３を引っ張って、該機能パターン３の位置および形状を調整するようになっている。 The elastic deformation imparting means 7 is provided on the holding member 6 and elastically deforms by pressing a predetermined portion of the elastic region 4 of the metal mask 1 and is configured as follows. That is, on the upper surface of the upper frame 9 constituting the holding member 6, as shown in FIGS. 2 and 5, the small bolt hole 25 is formed inside the bolt insertion hole 20 and outside the opening 18. A large number of them are formed at predetermined intervals along the edge. These small bolt holes 25 are along the lower frame groove 17 of the lower frame 8. In addition, pattern adjusting bolts 26 are screwed into the small bolt holes 25, and these adjusting bolts 26 are projected from the lower surface of the upper frame 9 by turning them, and the amount of rotation is adjusted. The protrusion length (displacement amount in the pressing direction) from the lower surface of the upper frame 9 can be adjusted. In the elastic deformation applying means 7 having such a configuration, the metal mask 1 is sandwiched and held between the lower frame 8 and the upper frame 9, and the desired adjustment bolt 26 is rotated by a necessary amount to thereby change the metal. A predetermined portion of the elastic region 4 of the mask 1 is pressed and elastically deformed, whereby the functional pattern 3 is pulled to adjust the position and shape of the functional pattern 3.

次に、上記構成の調整用治具５を用いて、メタルマスク１の機能パターン３を調整する方法について図２０に示すフローチャートも参照して説明する。まず、図３に示すように、下枠８の開口部１０に接着用台座１１を挿入する。次に、図６に示すように、メタルマスク１を下枠８上にセットする。この場合、メタルマスク本体２の外周部の所定箇所を、下枠８の位置決め固定ピン１６にそれぞれ当接することによって、下枠８上におけるメタルマスク１の平面方向の位置決めを行う。 Next, a method for adjusting the functional pattern 3 of the metal mask 1 using the adjusting jig 5 having the above configuration will be described with reference to the flowchart shown in FIG . First, as shown in FIG. 3, the bonding base 11 is inserted into the opening 10 of the lower frame 8. Next, as shown in FIG. 6, the metal mask 1 is set on the lower frame 8. In this case, the metal mask 1 is positioned on the lower frame 8 in the planar direction by contacting predetermined positions on the outer peripheral portion of the metal mask main body 2 with the positioning fixing pins 16 of the lower frame 8 .

次に、図７に示すように、メタルマスク１の上からメタルマスク押え３０を被せる。このメタルマスク押え３０は、剛性を持った材質で作られており、面は平坦に加工されている。また、メタルマスク押え３０は透明なものが好適であるが、透明でないものでもよい。ここで、前記透明でかつ剛性を持った材質としては、例えばアクリル、塩化ビニール、ポリカーボネート、ガラスが挙げられ、透明でなくかつ剛性を持った材質としてはアルミ等の金属等が挙げられる。そして、このメタルマスク押え３０の平坦な面で、メタルマスク１を押えることにより、回路パターン調整中に生ずるメタルマスク１のしわ、たるみ等を防止することができる。 Next, as shown in FIG. 7, a metal mask presser 30 is put on the metal mask 1. The metal mask presser 30 is made of a material having rigidity, and the surface is processed to be flat. Further, the metal mask presser 30 is preferably transparent, but may not be transparent. Here, examples of the transparent and rigid material include acrylic, vinyl chloride, polycarbonate, and glass, and examples of the non-transparent and rigid material include metals such as aluminum. Then, by pressing the metal mask 1 with the flat surface of the metal mask presser 30, wrinkles, sagging, etc. of the metal mask 1 that occur during circuit pattern adjustment can be prevented.

次に、図８に示すように、メタルマスク１の弾性領域４に合わせて上から押え枠３１を置く。この押え枠３１は、樹脂等の可とう性を持った材質で作られており、平面視において弾性領域４と同形同大に形成されている。さらに、図２および図９に示すように、押え枠３１の上から上枠９を下枠８に対して被せるとともに、下枠８の位置決め固定ピン１６を上枠９の固定ピン挿通穴２１に挿通することで、下枠８に対する上枠９の位置決めを行い、さらに、上枠９のボルト挿通穴２０からボルト３２を挿通して、下枠８のボルト穴１５に螺合して締め付けることによって、上枠９と下枠８とを強固に接合する。これによって、メタルマスク１はその外周部が下枠８と上枠９によって挟みつけられて保持される。なお、ボルト３２は上枠９の長手方向中央部から両端に向かって順に締めていくようにする。メタルマスク１の調整用治具５へのセットが終了したら、メタルマスク押え３０を取り外す。 Next, as shown in FIG. 8, a presser frame 31 is placed from above according to the elastic region 4 of the metal mask 1. The presser frame 31 is made of a flexible material such as resin and is formed in the same shape and size as the elastic region 4 in plan view. Further, as shown in FIGS. 2 and 9, the upper frame 9 is put on the lower frame 8 from above the presser frame 31, and the positioning fixing pins 16 of the lower frame 8 are inserted into the fixing pin insertion holes 21 of the upper frame 9. By inserting, the upper frame 9 is positioned with respect to the lower frame 8, and further, the bolt 32 is inserted from the bolt insertion hole 20 of the upper frame 9 and screwed into the bolt hole 15 of the lower frame 8 and tightened. The upper frame 9 and the lower frame 8 are firmly joined. As a result, the outer periphery of the metal mask 1 is held between the lower frame 8 and the upper frame 9 and held. The bolts 32 are tightened in order from the longitudinal center of the upper frame 9 toward both ends. When the setting of the metal mask 1 to the adjustment jig 5 is completed, the metal mask presser 30 is removed.

次に、上枠９に取り付けたパターン調整用ボルト２６を締め付ける方向に回すと、このパターン調整用ボルト２６の先端部が、上枠９の下面から突出して、前記押え枠３１を介してメタルマスク１の弾性領域４を押圧して弾性変形させる。したがって、このパターン調整用ボルト２６を締めたり緩めたりすることによって、弾性領域４の押圧量（沈み量）を調整することができる。よって、この沈み量の差異から生ずる異方性の張力（弾性復帰力）によって、メタルマスク１は引っ張られ、しわ、たるみのない所定の形状となるとともに、該機能パターン３の位置および形状を調整する。このような調整は、機能パターン３上のＸＹ座標値の所定位置（所定座標）からのズレ量が、所定の範囲内となるまで行い、ズレ量が全て所定の範囲内に入ったところで、調整作業を終了する。その後は、調整された機能パターン３を維持した状態で、図示しない蒸着治具枠へ取り付ける。 Next, when the pattern adjusting bolt 26 attached to the upper frame 9 is turned in the tightening direction, the tip end portion of the pattern adjusting bolt 26 protrudes from the lower surface of the upper frame 9, and the metal mask is interposed via the presser frame 31. 1 elastic region 4 is pressed and elastically deformed. Therefore, the amount of pressing (sinking amount) of the elastic region 4 can be adjusted by tightening or loosening the pattern adjusting bolt 26. Accordingly, the metal mask 1 is pulled by the anisotropic tension (elastic restoring force) resulting from the difference in the amount of sinking and becomes a predetermined shape without wrinkles or sagging, and the position and shape of the functional pattern 3 are adjusted. To do. Such adjustment is performed until the amount of deviation from the predetermined position (predetermined coordinates) of the XY coordinate values on the function pattern 3 is within a predetermined range, and the adjustment is performed when all the amounts of deviation are within the predetermined range. Finish the work. Thereafter, it is attached to a vapor deposition jig frame (not shown) while maintaining the adjusted function pattern 3.

このように、本実施の形態によれば、メタルマスク１を保持部材６によって保持した後、この保持されたメタルマスク１の弾性領域４の所定箇所を弾性変形付与手段７のパターン調整用ボルト２６によって押圧して弾性変形させることによって、機能パターン３を引っ張って、該機能パターン３の位置および形状を調整することができる。つまり、弾性変形付与手段７によって、弾性領域４の所定箇所を押圧する力を強めたり、弱めたりすることで、機能パターン３を引っ張る力を調整できるので、該機能パターン３の位置および形状の調整を容易に行うことができるとともに、調整精度が向上する。したがって、従来のように、スクリーン版枠にスクリーンメッシュを貼ってから、更にそのスクリーンメッシュにメタルマスクを貼り付けるといった時間と手間を必要としないので、パターン調整に要する手間と時間を低減できる。また、メタルマスク１ごとにスクリーンメッシュが必要となることもなく、しかも、機能パターン３の再調整も弾性領域４を弾性変形付与手段７のパターン調整用ボルト２６によって押圧し直す（弾性変形させ直す）ことによって行え、メタルマスク１に無駄が生じることがないので、製造コストも低減できる。さらに、機能パターン３の再調整も機能パターン３を固定しないため、弾性領域４を弾性変形付与手段７によって押圧し直すこ
とによって容易に行える。 Thus, according to the present embodiment, after the metal mask 1 is held by the holding member 6, the pattern adjusting bolt 26 of the elastic deformation applying means 7 is placed at a predetermined location in the elastic region 4 of the held metal mask 1. The functional pattern 3 can be pulled and adjusted by pressing and elastically deforming the position and shape of the functional pattern 3. In other words, the force for pulling the functional pattern 3 can be adjusted by increasing or decreasing the force for pressing the predetermined portion of the elastic region 4 by the elastic deformation applying means 7, so that the position and shape of the functional pattern 3 can be adjusted. Can be easily performed, and the adjustment accuracy is improved. Therefore, unlike the prior art, the time and labor of pasting the screen mesh on the screen plate frame and then pasting the metal mask onto the screen mesh are not required, so the labor and time required for pattern adjustment can be reduced. Further, a screen mesh is not required for each metal mask 1, and the functional pattern 3 is readjusted again by the pattern adjustment bolt 26 of the elastic deformation applying means 7 (reform elastic deformation). ), And the metal mask 1 is not wasted, so that the manufacturing cost can be reduced. Further, the readjustment of the function pattern 3 does not fix the function pattern 3 and can be easily performed by pressing the elastic region 4 with the elastic deformation applying means 7 again.

なお、本実施の形態では、メタルマスク本体２に設ける弾性領域４を構成するメッシュのパターンは、図１０に示すような、ハニカム形状（正六角形）となっているが、これに限ることなく、例えば、以下に示すようなメッシュパターンであってもよい。図１１は、メタルマスク本体２に、弾性領域４を平面視においてロ字状に設けたものを示している。なお、図１１においては、符号３ａで示す矩形状の領域内に機能パターンが形成されている。弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１２に示すように、正方形状のパターンとなっている。すなわち、正方形状の微小孔４ａが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ａは対向する角が上下左右方向を向くようにして配置されている。図１２は図１１におけるＡ円部の拡大図である。そして、多数の正方形状の微小孔４ａからなるメッシュパターンは、弾性領域４全体に亙って同様に形成されている。なお、前記各微小孔４ａを正方形から菱形に変更してもよい。この場合、菱形の対向する鋭角が左右方向を向くようにして、各微小孔４ａを配置してもよいし、菱形の対向する鋭角が上下方向を向くようにして、各微小孔４ａを配置してもよい。 In the present embodiment, the mesh pattern constituting the elastic region 4 provided in the metal mask main body 2 has a honeycomb shape (regular hexagonal shape) as shown in FIG. For example, a mesh pattern as shown below may be used. FIG. 11 shows the metal mask main body 2 provided with the elastic region 4 in a square shape in plan view. In FIG. 11, a functional pattern is formed in a rectangular area indicated by reference numeral 3a. As shown in FIG. 12, the mesh pattern constituting the elastic region 4 is a square pattern. That is, a large number of square-shaped micro holes 4a are regularly arranged at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions, and the micro holes 4a are arranged so that opposing corners face in the vertical and horizontal directions. FIG. 12 is an enlarged view of the A circle in FIG. And the mesh pattern which consists of many square-shaped micropores 4a is similarly formed over the elastic region 4 whole. In addition, you may change each said micropore 4a from a square to a rhombus. In this case, each microhole 4a may be arranged such that the acute angle of the rhombus facing in the left-right direction, or each microhole 4a is arranged so that the acute angle of the rhombus facing in the vertical direction. May be.

また、弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１３に示すようなパターンであってもよい。このパターンでは、正方形状の微小孔４ｂが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｂは対向する辺が上下左右方向を向くようにして配置されている。そして、多数の正方形状の微小孔４ｂからなるメッシュパターンは、弾性領域４全体に亙って同様に形成されている。 Further, the mesh pattern constituting the elastic region 4 may be a pattern as shown in FIG. In this pattern, a large number of square-shaped micro holes 4b are regularly arranged at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions, and the micro holes 4b are arranged so that opposing sides face in the vertical and horizontal directions. And the mesh pattern which consists of many square-shaped micropores 4b is similarly formed over the elastic region 4 whole.

さらに、弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１４に示すようなパターンであってもよい。このパターンでは、円形状の微小孔４ｃが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されている。そして、多数の円形状の微小孔４ｃからなるメッシュパターンは、弾性領域４全体に亙って同様に形成されている。また、弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１５に示すようなパターンであってもよい。このパターンでは、楕円形状の微小孔４ｄが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｄはその長軸が上下方向を向くようにして配置されている。そして、多数の楕円形状の微小孔４ｄからなるメッシュパターンは、弾性領域４全体に亙って同様に形成されている。なお、微小孔４ｄを、その長軸が左右方向を向くようして配置してもよい。 Further, the mesh pattern constituting the elastic region 4 may be a pattern as shown in FIG. In this pattern, a large number of circular holes 4c are regularly arranged at predetermined intervals vertically and horizontally. A mesh pattern composed of a large number of circular minute holes 4 c is similarly formed over the entire elastic region 4. Further, the mesh pattern constituting the elastic region 4 may be a pattern as shown in FIG. In this pattern, a large number of elliptical microholes 4d are regularly arranged at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions, and each microhole 4d is arranged such that its long axis is directed in the vertical direction. And the mesh pattern which consists of many ellipse-shaped minute holes 4d is similarly formed over the whole elastic region 4. The micro holes 4d may be arranged such that the major axis thereof is directed in the left-right direction.

また、上記の例では、メタルマスク本体２の弾性領域４を平面視においてロ字状に形成したが、これに限ることなく、例えば、図１６に示すように、ロ字型の角部を面取りして形成された、平面視略八角形状に形成してもよい。この場合、弾性領域４は、対向する辺部を構成する４つの第１弾性領域４０と、対向する角部を構成する４つの第２弾性領域４１とから構成される。弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１７に示すように、菱形形状のパターンとなっている。すなわち、上下方向に沿う第１弾性領域４０においては、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｅは対向する鋭角が上下方向を向くようにして配置されている。また、左右方向に沿う第１弾性領域４０においては、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｅは対向する鋭角が左右方向を向くようにして配置されている。さらに、第２弾性領域４１では、対向する角が上下左右方向に対して４５度傾斜する方向を向くように、かつ対向する鈍角の一方がメタルマスク本体の中央部を向くようにして配置されている。このようにして各微小孔４ｅを配置することによって、全ての微小孔４ｅは、その対向する鈍角の一方がメタルマスク本体の内側を向くようにして配置されている。図１７は図１６におけるＢ円部の拡大図である。そして、多数の菱形形状の微小孔４ｅからなるメッシュパターンは、４つの第１弾性領域４０、４つの第２弾性領域４１に亙ってそれぞれ同様に形成されている。 In the above example, the elastic region 4 of the metal mask body 2 is formed in a square shape in plan view. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. It may be formed in a substantially octagonal shape in plan view. In this case, the elastic region 4 is composed of four first elastic regions 40 that constitute opposing sides and four second elastic regions 41 that constitute opposing corners. The mesh pattern constituting the elastic region 4 is a rhombus-shaped pattern as shown in FIG. That is, in the first elastic region 40 along the vertical direction, a large number of rhombus-shaped micro holes 4e are regularly arranged at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions, and the acute angles of the micro holes 4e are directed in the vertical direction. It is arranged like that. In the first elastic region 40 along the left-right direction, a large number of rhombus-shaped minute holes 4e are regularly arranged at predetermined intervals in the upper, lower, left, and right directions, and the acute angles of the minute holes 4e face the left-right direction. It is arranged like that. Further, in the second elastic region 41, the opposing corners are arranged so as to face the direction inclined by 45 degrees with respect to the vertical and horizontal directions, and one of the opposing obtuse angles faces the central portion of the metal mask body. Yes. By arranging each microhole 4e in this way, all the microholes 4e are arranged such that one of the opposing obtuse angles faces the inside of the metal mask main body. FIG. 17 is an enlarged view of the B circle in FIG. And the mesh pattern which consists of many rhombus-shaped micropores 4e is similarly formed over the four 1st elastic regions 40 and the 4th 2nd elastic regions 41, respectively.

また、弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１８に示すようなパターンであってもよい。このパターンでは、図１７と同様に、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されている。但し、図１７と異なるのは、菱形形状の微小孔４ｅの向きである。すなわち、上下方向に沿う第１弾性領域４０においては、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｅは対向する鈍角が上下方向を向くようにして配置されている。また、左右方向に沿う第１弾性領域４０においては、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｅは対向する鈍角が左右方向を向くようにして配置されている。さらに、第２弾性領域４１では、対向する角が上下左右方向に対して４５度傾斜する方向を向くように、かつ対向する鋭角の一方がメタルマスク本体の中央部を向くようにして配置されている。このようにして各微小孔４ｅを配置することによって、全ての微小孔４ｅは、その対向する鋭角の一方が内側を向くようにして配置されている。そして、多数の菱形形状の微小孔４ｅからなるメッシュパターンは、４つの第１弾性領域４０、４つの第２弾性領域４１に亙ってそれぞれ同様に形成されている。 Further, the mesh pattern constituting the elastic region 4 may be a pattern as shown in FIG. In this pattern, as in FIG. 17, a large number of rhombus-shaped minute holes 4e are regularly arranged at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions. However, the difference from FIG. 17 is the direction of the diamond-shaped microhole 4e. That is, in the first elastic region 40 along the vertical direction, a large number of rhombus-shaped micro holes 4e are regularly arranged at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions, and the obtuse angles of the micro holes 4e face the vertical direction. It is arranged like that. In the first elastic region 40 along the left-right direction, a large number of rhombus-shaped minute holes 4e are regularly arranged at predetermined intervals in the upper, lower, left, and right directions, and the obtuse angles of the minute holes 4e face the left-right direction. It is arranged like that. Furthermore, in the second elastic region 41, the opposing corners are arranged so that they face in a direction inclined by 45 degrees with respect to the vertical and horizontal directions, and one of the opposing acute angles faces the central portion of the metal mask body. Yes. By arranging the micro holes 4e in this way, all the micro holes 4e are arranged so that one of the opposing acute angles faces the inside. And the mesh pattern which consists of many rhombus-shaped micropores 4e is similarly formed over the four 1st elastic regions 40 and the 4th 2nd elastic regions 41, respectively.

なお、上記の例では、略八角形状の弾性領域４を構成するメッシュパターンを菱形形状としたが、これに限ることなく、例えば、ハニカム形状（正六角形）、正方形状、円形状、楕円形状としてもよい。また、正方形状の場合、その向きを９０度回転させて配置してもよい。 In the above example, the mesh pattern constituting the substantially octagonal elastic region 4 is a rhombus shape, but is not limited to this, for example, a honeycomb shape (regular hexagon), a square shape, a circular shape, or an oval shape Also good. In the case of a square shape, the direction may be rotated by 90 degrees.

本発明のメタルマスクと機能パターン調整用治具を用いてメタルマスクの機能パターンの調整を行なうために、まず、所定の形状より小さくメタルマスクを作成する。次に、該メタルマスク１を本発明の機能パターン調整用治具にセットする。次に、予め作成しておいた測定プログラムを使って、（株）ソキア社製精密自動２次元座標測定機ＡＭＩＣ−７００でメタルマスクのパターンの座標を測定し、測定ポイント２２箇所のＸＹ座標値の所定位置（所定座標）からのズレ量を確認した。 In order to adjust the functional pattern of the metal mask using the metal mask and the functional pattern adjustment jig of the present invention, first, a metal mask smaller than a predetermined shape is created. Next, the metal mask 1 is set on the functional pattern adjustment jig of the present invention. Next, using a measurement program prepared in advance, the coordinates of the pattern of the metal mask are measured with a precision automatic two-dimensional coordinate measuring machine AMIC-700 manufactured by Sokkia Co., Ltd., and XY coordinate values at 22 measurement points are measured. The amount of deviation from a predetermined position (predetermined coordinates) was confirmed.

次に、（株）ソキア社製精密自動２次元座標測定機ＡＭＩＣー７００を手動運転モードに切り替え、調整するポイントのＸＹ座標値を入力すると、入力した座標ポイントに検出部カメラが異動し、画像モニターの中心に先程入力したＸＹ座標値が来る。まず、図１９に示すように、メタルマスク１上端部のパターン１９２のＸＹ座標値を入力、検出部カメラを異動させ、画像モニターで目視確認しながら、メタルマスク１延長線上に配置されているパターン調整用ボルト１４０で締め込み調整を行う。なお、図１９では、多数のパターン調整用ボルト２６の位置を特定するために、パターン調整用ボルトには、符号７０〜１４８の偶数番号を付してある。パターン１９２のＸＹ座標値のズレが目視確認で修正されている事を確認したら、次に反対側のパターン１９０のＸＹ座標値を入力し、検出部カメラを異動させる。画像モニターでパターンとのズレを目視確認しながら、Ｙ方向ズレをメタルマスク１延長線上に配置されているパターン調整用ボルト１００で調整を行なう。パターン１９０のＸＹ座標値のズレが目視確認でほぼ修正されている事を確認したら、再度パターン１９２のＸＹ座標値のズレが目視確認でほぼ修正されている事を確認する。 Next, when the precision automatic two-dimensional coordinate measuring machine AMIC-700 manufactured by Sokkia Co., Ltd. is switched to the manual operation mode and the XY coordinate value of the point to be adjusted is input, the detection unit camera moves to the input coordinate point, and the image The previously entered XY coordinate value comes to the center of the monitor. First, as shown in FIG. 19, the XY coordinate value of the pattern 192 at the upper end of the metal mask 1 is input, the detection unit camera is moved, and the pattern arranged on the extension line of the metal mask 1 while visually checking on the image monitor. Tightening adjustment is performed with the adjusting bolt 140. In FIG. 19, in order to specify the positions of a large number of pattern adjustment bolts 26, even numbers 70 to 148 are assigned to the pattern adjustment bolts. If it is confirmed that the deviation of the XY coordinate value of the pattern 192 is corrected by visual confirmation, the XY coordinate value of the pattern 190 on the opposite side is input next, and the detection unit camera is moved. While visually confirming the deviation from the pattern on the image monitor, the Y-direction deviation is adjusted with the pattern adjusting bolt 100 arranged on the extension line of the metal mask 1. When it is confirmed that the deviation of the XY coordinate values of the pattern 190 is substantially corrected by visual confirmation, it is confirmed again that the deviation of the XY coordinate values of the pattern 192 is substantially corrected by visual confirmation.

同様の調整方法で、測定個所１６４、１６６、１８４、１８６の延長線上にあるパターン調整用ボルト２６を使用し、画像モニターでズレを確認しながら調整を行なう。以上のパターンの調整を終了したら、開口パターン四隅１５０、１７０、１６０、１８０のＸＹ方向の調整を延長線上にあるパターン調整用ボルト２６を用い、対角の順番で行ない、１回目の調整を終了する。以下、図２０に示す処理フローに従い、寸法測定→調整個所検討→調整の手順を全部で３回行なった結果、最終的なズレの量はＸ方向が−２．７〜＋１．２μｍ、Ｙ方向が−２．８〜＋２．２μｍであった。またズレ量の平均はＸ方向が−０．８μｍ、Ｙ方向が−０．５μｍであった。またばらつきはＸ方向σ＝１．３μｍ、Ｙ方向σ＝１．３μｍであった。また、全ての調整、測定、測定データ確認に要した時間は９５分であった。 Using the same adjustment method, the pattern adjustment bolts 26 on the extension lines of the measurement points 164, 166, 184, and 186 are used, and adjustment is performed while checking the deviation on the image monitor. When the above pattern adjustment is completed, the opening pattern four corners 150, 170, 160, 180 are adjusted in the XY directions in the diagonal order using the pattern adjustment bolts 26 on the extension line, and the first adjustment is completed. To do. Hereinafter, as a result of performing the procedure of dimension measurement → adjustment location → adjustment procedure three times in total according to the processing flow shown in FIG. 20, the final deviation amount is −2.7 to +1.2 μm in the X direction and Y direction. Was −2.8 to +2.2 μm. The average amount of misalignment was −0.8 μm in the X direction and −0.5 μm in the Y direction. The variation was X direction σ = 1.3 μm and Y direction σ = 1.3 μm. The time required for all adjustments, measurements, and confirmation of measurement data was 95 minutes.

前示した調整前および１回目、２回目、３回目の調整結果を表１（ａ）に示す。（表中の数字は各調整ポイントの所定座標位置からのズレ量を示す。） Table 1 (a) shows the adjustment results before and the first, second and third adjustments shown above. (The numbers in the table indicate the amount of deviation of each adjustment point from the predetermined coordinate position.)

[比較例1] 次に比較例として特許文献１に記載の技術を使ってパターン調整を行った結果を示す。特許文献１の第一過程においてスクリーン版枠に接着固定されたスクリーンメッシュにコンビネーション用メタルマスクを接着固定し、次に第二過程において、メタルマスクのパターン内のスクリーンメッシュを切り離した。次に、予め作成しておいた測定プログラムを使って、（株）ソキア社製精密自動２次元座標測定機ＡＭＩＣ−７００でメタルマスクのパターンの座標を測定し、測定ポイント２９箇所のＸＹ座標値の所定位置（所定座標）からのズレ量を確認した。図２１に、メタルマスクの寸法測定箇所を符号２００〜２５８の偶数番号で示している。ズレの量はＸ方向が−３．７〜＋３．６μｍ、Ｙ方向が−４．２〜＋２．０μｍであった。またズレ量の平均はＸ方向が＋０．２μｍ、Ｙ方向が−０．1μｍであった。またばらつきはＸ方向σ＝１．７μｍ、Ｙ方向σ＝１．７μｍであった。特許文献１に記載の技術では、第一過程に要する時間が約７．５時間、第二過程に要する時間が約０．５時間であるが、調整は一度だけに限られ、やり直し及び微調整は不可能である。また、調整の度に新しいスクリーン版枠とメッシュを必要とするため、それらを準備する手間、時間および経費が別途発生する。調整結果を表１（ｂ）に示す。（表中の数字は各調整ポイントの所定座標位置からのズレ量を示す。）

[Comparative Example 1] Next, as a comparative example, the result of pattern adjustment using the technique described in Patent Document 1 is shown. In the first process of Patent Document 1, a combination metal mask was bonded and fixed to the screen mesh that was bonded and fixed to the screen frame, and in the second process, the screen mesh in the pattern of the metal mask was cut off. Next, using a measurement program prepared in advance, the coordinates of the pattern of the metal mask are measured with a precision automatic two-dimensional coordinate measuring machine AMIC-700 manufactured by Sokkia Co., Ltd., and XY coordinate values at 29 measurement points are measured. The amount of deviation from a predetermined position (predetermined coordinates) was confirmed. In FIG. 21, the metal mask dimension measurement locations are indicated by even numbers 200 to 258. The amount of misalignment was −3.7 to +3.6 μm in the X direction and −4.2 to +2.0 μm in the Y direction. The average amount of misalignment was +0.2 μm in the X direction and −0.1 μm in the Y direction. The variation was X direction σ = 1.7 μm and Y direction σ = 1.7 μm. In the technique described in Patent Document 1, the time required for the first process is approximately 7.5 hours and the time required for the second process is approximately 0.5 hours. However, the adjustment is limited to one time, and redo and fine adjustment. Is impossible. In addition, since a new screen plate frame and mesh are required for each adjustment, labor, time and cost for preparing them are separately generated. The adjustment results are shown in Table 1 (b). (The numbers in the table indicate the amount of deviation of each adjustment point from the predetermined coordinate position.)

本発明に係るメタルマスクの一例を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows an example of the metal mask which concerns on this invention. 本発明に係る機能パターン調整用治具の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the jig | tool for functional pattern adjustment which concerns on this invention. 本発明に係る機能パターン調整方法を説明するためのもので、接着用台座を回路パターン調整用治具にセットした状態を示す平面図である。It is a top view for demonstrating the function pattern adjustment method which concerns on this invention, and shows the state which set the base for adhesion to the jig for circuit pattern adjustment. 同、接着用台座を示す平面図である。It is a top view which shows the base for adhesion similarly. 同、上枠を示す平面図である。It is a top view showing an upper frame same as the above. 同、下枠にメタルマスクをセットした状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which set the metal mask to the lower frame equally. 同、メタルマスク上にメタルマスク押えをセットした状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which set the metal mask presser on the metal mask similarly. 同、メタルマスク上に押え枠をセットした状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which set the presser frame on the metal mask similarly. 同、上枠をセットした状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which set the upper frame similarly. 本発明に係るメタルマスクの弾性領域の一部を示すもので、そのメッシュパターンの拡大図である。FIG. 4 is a magnified view of a mesh pattern showing a part of an elastic region of a metal mask according to the present invention. 本発明に係るメタルマスクの一例を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows an example of the metal mask which concerns on this invention. 本発明に係るメタルマスクの弾性領域の一部を示すもので、そのメッシュパターンの第１例を示す拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view showing a part of an elastic region of a metal mask according to the present invention and showing a first example of the mesh pattern. 同、メッシュパターンの第２例を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the 2nd example of a mesh pattern similarly. 同、メッシュパターンの第３例を示す拡大図である。FIG. 6 is an enlarged view showing a third example of the mesh pattern. 同、メッシュパターンの第４例を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the 4th example of a mesh pattern similarly. 本発明に係るメタルマスクの他の一例を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows another example of the metal mask which concerns on this invention. 本発明に係るメタルマスクの弾性領域の一部を示すもので、そのメッシュパターンの第５例を示す拡大図である。FIG. 10 is an enlarged view showing a part of the elastic region of the metal mask according to the present invention and showing a fifth example of the mesh pattern. 同、メッシュパターンの第６例を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the 6th example of a mesh pattern similarly. 同、機能パターン調整用治具にセットされたメタルマスクを、寸法測定箇所とともに示す平面図である。It is a top view which shows the metal mask set to the jig | tool for function pattern adjustments with a dimension measurement location similarly. 同、機能パターン調整方法のフローチャートである。3 is a flowchart of a function pattern adjustment method. 従来のメタルマスクをその寸法測定箇所とともに示す平面図である。It is a top view which shows the conventional metal mask with the dimension measurement location.

１メタ
ルマスク２メタルマスク本体３機能パターン４弾性領域５機能パターン調整用治具６保持部材７弾性変形付与手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Metal mask 2 Metal mask main body 3 Function pattern 4 Elastic area 5 Function pattern adjustment jig 6 Holding member 7 Elastic deformation imparting means

Claims

A thin plate-shaped metal mask 1 having a functional pattern 3 provided in the center and an elastic region 4 provided along the outer periphery of the functional pattern 3, a lower frame 8, an upper frame 9, and an elastic deformation applying means 7 are provided. A metal mask composed of the holding member 6 and a mounting adjustment jig thereof,
The lower frame 8 includes an opening 10 at the center thereof, and positioning fixing pins 16, 16,... That are erected along the outer periphery of the opening 10 and substantially equal to the outer periphery of the metal mask 1.
The upper frame 9 has an opening 18 at the center thereof, and fixed pin insertion holes 21, 21,... Formed along the outer periphery of the opening 18 and corresponding to the positioning pins 16, 16,. Equipped,
The elastic deformation imparting means 7 is provided at a position that is flexible and has a presser frame 31 that is formed in the same shape and size as the elastic region 4, and is formed on the upper frame 9 and overlaps the presser frame 31. .. And bolts 26, 26,... Screwed into the bolt holes 25, 25,.
The metal mask 1 is set on the lower frame 8 while being in contact with the positioning fixing pins 16, 16,..., The pressing frame 31 is placed thereon, and the upper frame 9 is attached to the lower frame 8. The positioning fixing pins 16, 16,... Placed on the lower frame 8 are positioned and inserted into the fixing pin insertion holes 21, 21,. And
Further, by adjusting the bolts 26, 26,... Of the elastic deformation applying means 7, the protruding length from the lower surface of the upper frame 9 is changed, and the position of the functional pattern 3 is changed by acting on the presser frame 31. A metal mask and its mounting adjustment jig characterized by being modified.

A groove 12 is formed on the upper surface of the adhesive frame 11 and has an adhesive base 11 formed so as to be inserted into the opening 10 of the lower frame 8 and a metal mask presser 30 made of a rigid material and having a flat surface. Further, after the bonding base 11 is inserted into the lower frame 8, the metal mask 1 is set and positioned, and a metal mask presser 30 is placed thereon, and then the presser frame of the elastic deformation applying means 7 is provided. The metal mask and its mounting adjustment jig according to claim 1, wherein 31 is placed.

A thin plate-shaped metal mask 1 having a functional pattern 3 provided at the center and an elastic region 4 provided along the outer periphery of the functional pattern 3 is formed by a lower frame 8 and an upper frame 9. 6 is a metal mask mounting adjustment method to be attached to
It has an opening 10 at its center and has rigidity with respect to the lower frame 8 along which the positioning fixing pins 16, 16,... Are erected along the outer periphery of the opening and substantially equal to the outer periphery of the metal mask 1. A first step of inserting a bonding base 11 having a groove 12 formed on the upper surface thereof;
A second step of setting the metal mask 1 in contact with the positioning fixing pins 16, 16, ... on the lower frame 8,
A third step of covering the metal mask 1 with a rigid metal mask presser 30;
Furthermore, a fourth step of placing a pressing frame 31 having flexibility and having the same shape and the same size as the elastic region 4 of the metal mask 1;
Further, the upper frame 9 is placed on the lower frame 8, and positioning fixing pins 16, 16,... Standing on the lower frame 8 are fixed pin insertion holes 21, 21,. A fifth step of integrating the lower frame 8 and the upper frame 9 with a plurality of bolts 32, 32,.
After the metal mask presser 30 is removed, bolts screwed into a plurality of bolt holes 25, 25,... Provided on the upper frame 9 at positions where the elastic region 4 can be pressed over the entire circumference. 26. A sixth step of correcting the position of the functional pattern 3 by 26, 26,...