JP4530352B2 - 基板載置装置 - Google Patents

Description

本発明は、ステージ上に基板を載置する基板載置装置に関し、より特定的には、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）材料等を基板に塗布する装置に用いられる基板載置装置に関する。

従来、ステージ上に基板を載置して、当該基板に所定の処理を施す装置が各種開発されている。例えば、有機ＥＬ表示装置を製造する装置では、ステージ上に載置されたガラス基板等の基板の主面に有機ＥＬ材料が塗布される。一般的に、基板に所定の処理を施す工程と、基板をステージ上に搬入／搬出する工程とが異なる位置であることが多く、この場合、上記ステージが移動可能に構成される。そして、搬入工程でステージ上に基板が載置され、搬出工程でステージ上に載置された基板が受け渡しされる。

ここで、ロボット等の移載機を用いてステージ上に基板を載置またはステージ上に載置された基板を取り除く場合、当該ステージ上から基板を一時的に持ち上げて移載機が基板の下面側の空間にアクセス可能にする必要がある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１で開示された露光装置における感光基板の受け渡し方法では、ステージの開口に遊嵌する複数のピン（スピンドル部）を設け、基板を載置するステージ面からピンを突出または退避させることによって、ステージ上の基板を上下動させる。上記ピンは、ステージに設けられた伸縮機構に支持されており、当該伸縮機構の駆動に応じてピンがステージ面から突出／退避する。そして、ステージが他の工程へ移動する場合、当該ステージに設けられている上記ピンおよび伸縮機構と共に移動する。
特開平１０−１７７９４２号公報

しかしながら、ステージ上の基板を持ち上げるための伸縮機構をステージに設置すると、当該伸縮機構に電力を供給したり制御したりするための配線や空圧を供給するための配管をステージの移動と共に引き回すことが必要となる。したがって、ステージが移動する毎に上記配線や配管も引っ張り等の応力を受けるため、装置の耐久性が低下する。また、移動するステージ自体の重量が大きくなるため、ステージを移動さたり回転させたりする移動機構への負荷が大きくなり、装置の初期コストやランニングコストが増加する。

また、基板に施す処理によって、ステージ自体の温度変化が生じることがあり、その場合、ステージに設置された伸縮機構も温度変化が生じる。しかしながら、エアーシリンダやモータ等の駆動部を含む伸縮機構では、それらの駆動部に温度制限が設けられているため、その制限によって基板への処理が制限されてしまう。

それ故に、本発明の目的は、ステージの移動とステージ上の基板を持ち上げる機構とを両立しながら、装置の耐久性向上およびコストを低下させる基板載置装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、ステージ、ステージ移動テーブル、旋回部、リフトピン、リフトピン駆動機構、センサ、および制御部を備える、基板載置装置である。ステージは、基板をその上面に載置し、当該基板を搬出あるいは搬入する位置に対し移動する。ステージ移動テーブルは、ステージを水平移動させる。旋回部は、ステージ移動テーブルに対して、ステージを回動させる。リフトピンは、ステージの上面に対して昇降可能に設けられている。リフトピン駆動機構は、ステージとは別体で基板を搬出あるいは搬入する位置に固設され、ステージが当該基板を搬出あるいは搬入する位置に配置された際、リフトピンと当接して上昇させてそのリフトピンをステージの上面から突出させる。センサは、リフトピン駆動機構に設けられ、そのリフトピン駆動機構に対するリフトピンの位置を検出するとともに前記リフトピンが前記ステージの上面から下方へ退避していることを検出する。制御部は、（ａ）ステージを基板を搬出あるいは搬入する位置へ移動させる際には、ステージ移動テーブルによってステージをステージを基板を搬出あるいは搬入する位置へ移動させ、センサの検出結果に基づいて、ステージがリフトピンを上昇させる所定の位置に配置されるように旋回部によってステージを回動させて当該ステージの位置を調整し、当該ステージが所定の位置に配置された後に、リフトピン駆動機構を駆動させてリフトピンを上昇させる。また、制御部は、（ｂ）ステージを基板を搬出あるいは搬入する位置から移動させる際には、リフトピンがステージの上面から下方へ退避していることをセンサの検出結果に基づいて確認した後にステージを基板を搬出あるいは搬入する位置から移動させる。

第２の発明は、上記第１の発明において、基板載置装置は、ステージ移動テーブルおよび旋回部をさらに備える。ステージ移動テーブルは、ステージを水平移動させる。旋回部は、ステージ移動テーブルに対して、ステージを回動させる。制御部は、ステージ移動テーブルおよび旋回部の動作を制御することによって、ステージの位置調整を行う。

第３の発明は、上記第２の発明において、リフトピンは、ステージの下面に設けられる。リフトピン駆動機構は、ステージが所定の位置に配置された際、ステージとステージ移動テーブルとの間に形成される空間に配置され、リフトピンの最下部と当接することによってそのリフトピンをステージの上面から突出させる。

第４の発明は、上記第１の発明において、リフトピンは、ステージの下面に複数設けられる。リフトピン駆動機構は、上下駆動部および突き上げ板を含む。上下駆動部は、制御部の制御に応じて上下駆動する。突き上げ板は、上下駆動部に支持されて上下移動し、上昇した際、複数のリフトピン全てと当接可能な面積を有する板状部材で構成される。

第５の発明は、上記第１の発明において、リフトピンは、バネによってステージに対して下降方向に付勢されている。

第６の発明は、上記第１の発明において、センサは、リフトピン駆動機構に対するリフトピンの水平方向の位置およびそのリフトピンの昇降方向の位置を検出する。

第７の発明は、上記第１の発明において、ステージは、その内部に載置する基板を加熱する加熱機構を有する。

上記第１の発明によれば、ステージ上の基板を持ち上げるためのリフトピンを駆動するリフトピン駆動機構を、基板を載置して移動するステージと別体で構成しており、それらの位置関係をセンサによって検出している。これによって、リフトピン駆動機構に電力を供給したり制御したりするための配線や空圧を供給するための配管を固定して設置できる。したがって、ステージが移動する毎に上記配線や配管に引っ張り等の応力が加わることがなく、装置の耐久性が向上する。また、移動するステージ自体の重量が低下するため、ステージを移動さたり回転させたりする移動機構への負荷が小さくなり、装置の初期コストやランニングコストが低下する。また、基板をリフトピンによってステージから持ち上げる際、センサの出力を用いて位置調整した後に行われるため、搬入／搬出における基板の位置（方向）を同一することができる。

上記第２の発明によれば、基板を載置したステージを水平移動だけでなく回転させることもできる。

上記第３の発明によれば、ステージを移動させる機構と干渉せずに、ステージの下面に設けられたリフトピンを容易にステージから突出する方向に上昇させることができる。

上記第４の発明によれば、１つの上下駆動部で複数のリフトピンを昇降させることができる。また、リフトピンとリフトピン駆動機構との位置関係のずれを吸収して当該リフトピンを昇降させることができる。

上記第５の発明によれば、リフトピンが常にステージ上面から退避する方向に付勢されているため、リフトピン駆動機構がリフトピンを上昇させない限り、リフトピンのステージ面からの突出を防ぐことができる。また、ステージ移動中等のリフトピン駆動機構から離れた状態であってもリフトピンを安定して配置することができる。

上記第６の発明によれば、リフトピンの昇降方向の位置が検出できるため、異常なリフトピンの昇降状態を検出することができ、リフトピンの誤動作を検出できる。

上記第７の発明によれば、基板載置装置のステージ上に載置された基板の温度を上昇させる処理をステージ内部の加熱機構で行うことができる。例えば、有機ＥＬ表示装置の製造装置に組み込まれたとき等、有機ＥＬ材料が塗布された基板をステージ面上で予備加熱処理することができる。このような場合、ステージ自体の温度が上昇し、ステージ近傍の温度も上昇するが、リフトピン駆動機構がステージとは別体で設置されているため、リフトピン駆動機構を構成するモータやエアーシリンダ等に温度制限が設けられていても、当該温度制限によって基板に対する熱処理に必要な温度が制限されることがない。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る基板載置装置について説明する。典型的には、当該基板載置装置は、そのステージ上に基板を載置して当該基板に所定の処理を施す装置に組み込まれるが、処理を具体的にするために有機ＥＬ表示装置を製造する装置に組み込まれた例を用いて、以下の説明を行う。有機ＥＬ表示装置を製造する装置は、有機ＥＬ材料を当該基板載置装置のステージ上に載置されたガラス基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造するものである。図１は、当該基板載置装置が組み込まれた有機ＥＬ表示装置の製造装置の要部概略構成を示す平面図および正面図である。

図１において、有機ＥＬ表示装置の製造装置１は、大略的に、基板載置装置２および有機ＥＬ塗布機構５を備えている。有機ＥＬ塗布機構５は、ノズル移動機構部５１、ノズルユニット５２、および液受部５３を有している。ノズル移動機構部５１は、ガイド部材５１１が図示Ｘ軸方向に延設されており、ノズルユニット５２をガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向に移動させる。ノズルユニット５２は、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ吐出するノズル５２１〜５２３を並設した状態で保持する。各ノズル５２１〜５２３へは、それぞれ供給部（図示せず）から赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料が供給される。

基板載置装置２は、ステージ２１、旋回部２２、平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、ガイド部材２５、およびピン機構２６を有している。なお、後述により明らかとなるが、基板載置装置２は、搬入／搬出工程に移動した際に組み合わされる突き上げ板２７および上下駆動部２８も含んでいる。ステージ２１は、被塗布体となるガラス基板等の基板Ｐをそのステージ上面に載置する。ステージ２１の下部は、旋回部２２によって支持されており、旋回部２２の回動動作によって図示θ方向にステージ２１が回動可能に構成されている。また、ステージ２１の内部には、有機ＥＬ材料が塗布された基板Ｐをステージ面上で予備加熱処理等するための加熱機構が設けられている。なお、平行移動テーブル２３が本発明のステージ移動テーブルに相当する。なお、ステージ２１には複数のピン機構２６が設けられているが、詳細な構造および動作は後述する。

有機ＥＬ塗布機構５の下方を通るように、ガイド部材２５が上記Ｘ軸方向と垂直の図示Ｙ軸方向に延設されて固定される。平行移動テーブル２３の下面にはガイド部材２５と当接してガイド部材２５上を滑動するガイド受け部２４が固設されている。また、平行移動テーブル２３の上面には、旋回部２２が固設される。これによって、平行移動テーブル２３が、例えばリニアモータ（図示せず）からの駆動力を受けてガイド部材２５に沿った図示Ｙ軸方向に移動可能になり、旋回部２２に支持されたステージ２１の移動も可能になる。

ステージ２１上に基板Ｐを載置して、平行移動テーブル２３が有機ＥＬ塗布機構５の下方まで移動したとき、当該基板Ｐが赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料の塗布をノズル５２１〜５２３から受ける位置となる。そして、図示しない制御部がノズルユニット５２をＸ軸方向に往復移動させるようにノズル移動機構部５１を制御し、ステージ２１をＹ軸方向へ当該往復移動毎に所定量だけ移動させるように平行移動テーブル２３を制御し、ノズル５２１〜５２３から所定流量の有機ＥＬ材料を吐出する。これによって、ステージ２１に載置された基板Ｐの一方主面に対して、有機ＥＬ材料がストライプ状に塗布される。なお、ノズル５２１〜５２３のＸ軸方向吐出位置において、ステージ２１に載置された基板Ｐから逸脱する両サイド空間には、基板Ｐから外れて吐出された有機ＥＬ材料を受ける液受部５３Ｌおよび５３Ｒが設置されている。

基板載置装置２は、ステージ２１上に載置した基板Ｐを搬出する場合、あるいはステージ２１上に基板Ｐを搬入する場合、上記制御部の制御によってガイド部材２５に沿って搬入／搬出位置まで移動する。以下、図２〜図４を参照して、搬入／搬出位置における基板載置装置２およびピン機構２６について説明する。なお、図２（ａ）は、搬入／搬出位置において基板Ｐをステージ２１上に載置した基板載置装置２を示す概略正面図である。図２（ｂ）は、搬入／搬出位置において基板Ｐをステージ２１から持ち上げた基板載置装置２を示す概略正面図である。図３は、搬入／搬出位置における基板載置装置２を示す概略上面図である。図４は、ピン機構２６の構造を示す略断面図である。

図２および図３において、搬入／搬出位置には突き上げ板２７および上下駆動部２８が設置されている。そして、基板載置装置２が搬入／搬出位置に移動したとき、突き上げ板２７が複数のピン機構２６の下部空間に配置される。

上下駆動部２８は、エアーシリンダやモータ等を有しており、搬入／搬出位置におけるガイド部材２５の外側付近に固設され（例えば、両サイドの２箇所）、突き上げ板２７を支持している。そして、上下駆動部２８は、上記制御部からの指示に応じて突き上げ板２７を上下に昇降させる。なお、図２（ａ）は、上下駆動部２８が突き上げ板２７を最上位置まで上昇させた状態を示しており、図２（ｂ）は、上下駆動部２８が突き上げ板２７を最下位置まで下降させた状態を示している。なお、上下駆動部２８および突き上げ板２７が本発明のリフトピン駆動機構に相当する。

平行移動テーブル２３が他の位置から搬入／搬出位置までガイド部材２５に沿って移動するとき、上下駆動部２８は、突き上げ板２７を最下位置に下降させて待機する（図２（ａ））。そして、突き上げ板２７は、上記最下位置で平行移動テーブル２３が搬入／搬出位置まで移動すると、ステージ２１の下部に設定されたピン機構２６の全てに対して、それらの下部空間に位置するような平板形状を有している。例えば、図３に示した一例では、突き上げ板２７は、平行移動テーブル２３が搬入／搬出位置まで移動したときに旋回部２２との接触を避けながら、６つのピン機構２６の下部空間に配置するためのコの字型平板で形成されている。

突き上げ板２７には、ピン確認センサ２７１が設けられている。ピン確認センサ２７１は、突き上げ板２７の上部空間にピン機構２６が配置された際に、そのピン機構２６の位置や状態を検知するセンサであり、その検知結果を上記制御部へ出力する。例えば、ピン確認センサ２７１は、複数のピン機構２６それぞれに対応する位置に複数設置される。

平行移動テーブル２３が搬入／搬出位置で停止した後、それぞれのピン確認センサ２７１が突き上げ板２７に対するピン機構２６の位置を検出し、上記制御部が全てのピン機構２６が上昇動作を行う所定の位置に配置されているか否かを判断する。全てのピン機構２６が所定位置に配置されているとき、制御部が上下駆動部２８を駆動して、突き上げ板２７を上昇させる（図２（ｂ））。

突き上げ板２７が上昇すると、やがてピン機構２６の下部と当接する。そして、ピン機構２６は、上下駆動部２８の駆動力によって突き上げ板２７およびステージ２１に挟まれて縮む方向の力が加わる。この縮む力によって、ピン機構２６の下部材２６３（図４参照）がステージ２１側へ上昇し、当該下部材２６３に支持されるピン２６１も上昇してステージ２１のステージ面から突出する。このピン２６１がステージ２１のステージ面から突出して上昇することによって、ステージ２１に載置されている基板Ｐがピン２６１によってステージ面から持ち上げられる。基板Ｐがステージ２１から持ち上げられることによって、基板Ｐとステージ２１との間に空間が形成され、ステージ２１から基板Ｐを取り除く移載機（図示せず）が基板Ｐの下面側の空間にアクセス可能となる。また、上記移載機が基板Ｐをステージ２１に載置する際にも、一旦、搬入する基板Ｐの下面を複数のピン２６１の上端部と当接させることによって、基板Ｐの下面側の空間から退避可能となる。

図３および図４に示すように、ステージ２１には複数のピン機構２６が有するピン２６１に対応してそれぞれ開口部２１１が形成されている。そして、ピン機構２６のピン２６１は、開口部２１１に遊嵌されている。

図４は、伸長したピン機構２６を示しており、ピン２６１の軸を通る断面図を示している。なお、ピン２６１が本発明のリフトピンに相当する。ピン機構２６は、ピン２６１、支持部材２６２、下部材２６３、圧縮バネ２６４、およびブッシュ２６５を有している。支持部材２６２は、その中央に上下方向の貫通穴が形成されており、当該貫通穴と開口部２１１との軸を一致させてステージ２１の下面に固設される。支持部材２６２の貫通穴には、ブッシュ２６５が固設される。ブッシュ２６５は、その滑動穴にピン２６１を貫装し、ピン２６１の直線運動用軸受として機能する。ピン２６１の下端には下部材２６３が固設されている。支持部材２６２と下部材２６３と間には、圧縮バネ２６４が架設される。圧縮バネ２６４は、支持部材２６２を基準に下部材２６３を常に下方向に付勢している。これによって、ピン機構２６が伸長状態のとき、ピン２６１が最下位置に配置され、ピン２６１の上端がステージ２１の開口部２１１内に退避した状態となる。

圧縮バネ２６４の付勢力以上の駆動力で突き上げ板２７が上昇したとき、圧縮バネ２６４が縮み、ブッシュ２６５に案内されてピン２６１が上昇する。そして、ピン２６１の上端がステージ２１のステージ面から突出する。ピン２６１がステージ面から突出した状態から突き上げ板２７が下降したとき、圧縮バネ２６４の付勢力によってピン２６１が下降する。そして、ピン２６１の上端部がステージ２１の開口部２１１内に退避する。なお、ピン確認センサ２７１は、ピン機構２６の位置に加えて、このようなピン機構２６の状態（つまり、ピン機構２６が伸長状態にあるか否か）を下部材２６３との距離によって検出することができる。

次に、図５を参照して、主に基板Ｐを搬入／搬出する際の基板載置装置２が動作について説明する。なお、図５は、基板載置装置２の動作を示すフローチャートである。

図５において、制御部は、有機ＥＬ表示装置の製造装置１に基板Ｐを搬入する、または有機ＥＬ表示装置の製造装置１から基板Ｐを搬出するか否かを判断する（ステップＳ８１）。そして、基板を搬入または搬出する場合、制御部は、処理を次のステップＳ８２に進める。一方、基板を搬入も搬出もしない場合、制御部は、当該フローチャートによる処理を終了する。

ステップＳ８２において、制御部は、平行移動テーブル２３をガイド部材２５に沿って搬入／搬出位置まで移動させる。そして、制御部は、ピン確認センサ２７１からの出力に基づいて、ピン機構２６が上昇動作を行う所定の位置に配置されるのを待つ（ステップＳ８３）。なお、基板Ｐがステージ２１上に搬入された後、当該基板Ｐへ有機ＥＬ材料を塗布する方向を調整するために旋回部２２の回動角度が調整されることがある。この場合、搬入時のステージ２１の角度と搬出時のステージ２１の角度が異なるため、そのまま移載機がステージ２１上に載置された基板Ｐにアクセスすることが困難となる。このような問題を防止するために、基板載置装置２は、搬入時と搬出時のステージ２１の角度θおよび位置が同じなるように位置調整する。上記ステップＳ８３では、このような搬入／搬出における位置確認とピン機構２６を突き上げるための位置確認とを、ピン確認センサ２７１を用いて行っている。制御部は、平行移動テーブル２３が搬入／搬出位置まで移動した後もピン機構２６が上記所定の位置に配置されない場合、旋回部２２の回転角度θを調整してピン機構２６が上記所定の位置に配置されるようにする。

ピン機構２６が上昇動作を行う所定の位置に配置された後（ステップＳ８３でＹｅｓ）、制御部は、上下駆動部２８を上昇方向に駆動させ、突き上げ板２７を上昇させる（ステップＳ８４）。突き上げ板２７が上昇すると、やがてピン機構２６の下部材２６３と当接する（ステップＳ８５）。そして、ピン機構２６の下部材２６３がステージ２１側へ上昇し、当該下部材２６３に支持されるピン２６１も上昇してステージ２１のステージ面からピン２６１が突出する（ステップＳ８６）。このとき、突き上げ板２７は、全てのピン機構２６の下部材２６３を突き上げているため、ステージ２１のステージ面から全てのピン２６１が突出し、ステージ２１に基板Ｐが載置されている場合、当該基板Ｐが複数のピン２６１によって持ち上げられる。

次に、制御部は、上下駆動部２８の駆動を停止し、突き上げ板２７の上昇を停止させる（ステップＳ８７）。そして、移載機が、ピン２６１で持ち上げられた基板Ｐとステージ２１との間の空間にアクセスして、当該基板Ｐを搬出する（ステップＳ８８）。なお、基板載置装置２に塗布済の基板Ｐが載置されていない場合、この動作は省略される。次に、移載機は、新たに塗布前の基板Ｐを有機ＥＬ表示装置の製造装置１に搬入するために、当該基板Ｐの下面とステージ２１から突出している複数のピン２６１の上端部とを当接させた状態にして基板Ｐを受け渡す（ステップＳ８９）。基板Ｐの搬入完了後、制御部は、上下駆動部２８を下降方向に駆動させ、突き上げ板２７を下降させる。この動作によって、ピン２６１が全てステージ２１の開口部２１１内に退避し、基板Ｐがステージ２１上に載置される（ステップＳ９０）。このとき、制御部は、ピン確認センサ２７１からの出力に基づいて、ピン２６１が全てステージ面から退避したことを確認する。そして、制御部は、基板Ｐを載置したステージ２１を他の工程へ移動させるために、平行移動テーブル２３をガイド部材２５に沿って移動させ（ステップＳ９１）、当該フローチャートによる処理を終了する。

このように、本実施形態に係る基板載置装置は、ステージ上の基板を持ち上げるための上下駆動部を、他の工程へ基板を載置して移動するステージや平行移動テーブルと別体で構成しており、それらの位置関係をセンサによって検出している。これによって、上下駆動部に電力を供給したり制御したりするための配線や空圧を供給するための配管を固定して設置できる。したがって、ステージが移動する毎に上記配線や配管に引っ張り等の応力が加わることがなく、装置の耐久性が向上する。また、移動するステージ自体の重量が低下するため、ステージを移動さたり回転させたりする移動機構への負荷が小さくなり、装置の初期コストやランニングコストが低下する。また、基板をステージから持ち上げる際、センサの出力を用いて位置調整した後に行われるため、搬入／搬出における基板の位置（方向）を同一することができる。

また、基板載置装置が有機ＥＬ表示装置の製造装置に組み込まれる場合、上述したようにステージの内部に有機ＥＬ材料が塗布された基板をステージ面上で予備加熱処理等するための加熱機構が設けられる。このような場合、ステージ自体の温度が上昇し、ステージ近傍の温度も上昇する。しかしながら、上下駆動部がステージとは別体で設置されているため、上下駆動部が有するモータやエアーシリンダ等に温度制限が設けられていても、当該温度制限によって基板への予備加熱処理等に必要な温度が制限されることがない。

なお、上述した説明では、基板載置装置に基板を搬入する位置と基板載置装置から基板を搬出する位置を共通にして、搬出および搬入を連続して行ったが、搬出および搬出はそれぞれ別の位置で行ってもかまわない。その場合、搬出および搬入それぞれの位置に突き上げ板および上下駆動部が設けてもいいし、ステージから基板を持ち上げる必要があるいずれか一方の位置のみに突き上げ板および上下駆動部を設けてもかまわない。

また、上述した実施形態では、基板載置装置が有機ＥＬ表示装置の製造装置に組み込まれる場合を一例にして説明したが、ステージ上に載置した基板に対して処理を施す装置であれば、他の装置に本発明の基板載置装置を組み込むことができることは言うまでもない。

また、上述した説明では、基板を載置するためのステージが一方向（Ｙ軸方向）への直線移動および一方向に回転（θ）する一例を用いたが、本発明が適用可能なステージの移動はこれらに限定されない。例えば、上記ステージが二方向（つまり、ＸおよびＹ軸方向）に移動可能であってもいいし、複数方向へ回転可能に構成されていてもかまわない。

本発明に係る基板載置装置は、ステージ上の基板を持ち上げるための上下駆動部に電力を供給したり制御したりするための配線や空圧を供給するための配管を固定して設置できる効果を有し、ステージ上に基板を載置して、当該基板に所定の処理を施す装置に組み込まれる等の用途にも適用できる。

本発明の一実施形態に係る基板載置装置が組み込まれた有機ＥＬ表示装置の製造装置の要部概略構成を示す平面図および正面図 図１の搬入／搬出位置における基板載置装置２を示す概略正面図 図１の搬入／搬出位置における基板載置装置２を示す概略上面図 図１のピン機構２６の構造を示す略断面図 図１の基板載置装置２の動作を示すフローチャート

符号の説明

１…有機ＥＬ表示装置の製造装置
２…基板載置装置
２１…ステージ
２１１…開口部
２２…旋回部
２３…平行移動テーブル
２４…ガイド受け部
２５、５１１…ガイド部材
２６…ピン機構
２６１…ピン
２６２…支持部材
２６３…下部材
２６４…圧縮バネ
２６５…ブッシュ
２７…突き上げ板
２７１…ピン確認センサ
２８…上下駆動部
５…有機ＥＬ塗布機構
５１…ノズル移動機構部
５２…ノズルユニット
５２１、５２２、５２３…ノズル
５３…液受部

Claims (7)

1. 基板をその上面に載置し、当該基板を搬出あるいは搬入する位置に対して移動するステージと、
   前記ステージを水平移動させるステージ移動テーブルと、
   前記ステージ移動テーブルに対して、前記ステージを回動させる旋回部と、
   前記ステージの上面に対して昇降可能に設けられたリフトピンと、
   前記ステージとは別体で前記基板を搬出あるいは搬入する位置に固設され、前記ステージが当該基板を搬出あるいは搬入する位置に配置された際、前記リフトピンと当接して上昇させて当該リフトピンを前記ステージの上面から突出させるリフトピン駆動機構と、
   前記リフトピン駆動機構に設けられ、当該リフトピン駆動機構に対する前記リフトピンの位置を検出するとともに前記リフトピンが前記ステージの上面から下方へ退避していることを検出するセンサと、
   （ａ）前記ステージを前記基板を搬出あるいは搬入する位置へ移動させる際には、前記ステージ移動テーブルによって前記ステージを前記ステージを前記基板を搬出あるいは搬入する位置へ移動させ、前記センサの検出結果に基づいて、前記ステージが前記リフトピンを上昇させる所定の位置に配置されるように前記旋回部によって前記ステージを回動させて当該ステージの位置を調整し、当該ステージが前記所定の位置に配置された後に、前記リフトピン駆動機構を駆動させて前記リフトピンを上昇させ、（ｂ）前記ステージを前記基板を搬出あるいは搬入する位置から移動させる際には、前記リフトピンが前記ステージの上面から下方へ退避していることを前記センサの検出結果に基づいて確認した後に前記ステージを前記基板を搬出あるいは搬入する位置から移動させる制御部とを備える、基板載置装置。
2. 前記基板載置装置は、
   前記ステージを水平移動させるステージ移動テーブルと、
   前記ステージ移動テーブルに対して、前記ステージを回動させる旋回部とを、さらに備え、
   前記制御部は、前記ステージ移動テーブルおよび前記旋回部の動作を制御することによって、前記ステージの位置調整を行うことを特徴とする、請求項１に記載の基板載置装置。
3. 前記リフトピンは、前記ステージの下面に設けられ、
   前記リフトピン駆動機構は、前記ステージが前記所定の位置に配置された際、前記ステージと前記ステージ移動テーブルとの間に形成される空間に配置され、前記リフトピンの最下部と当接することによって当該リフトピンを前記ステージの上面から突出させることを特徴とする、請求項２に記載の基板載置装置。
4. 前記リフトピンは、前記ステージの下面に複数設けられ、
   前記リフトピン駆動機構は、
   前記制御部の制御に応じて上下駆動する上下駆動部と、
   前記上下駆動部に支持されて上下移動し、上昇した際、前記複数のリフトピン全てと当接可能な面積を有する板状部材で構成される突き上げ板とを含む、請求項１に記載の基板載置装置。
5. 前記リフトピンは、バネによって前記ステージに対して下降方向に付勢されていることを特徴とする、請求項１に記載の基板載置装置。
6. 前記センサは、前記リフトピン駆動機構に対する前記リフトピンの水平方向の位置および当該リフトピンの昇降方向の位置を検出することを特徴とする、請求項１に記載の基板載置装置。
7. 前記ステージは、その内部に載置する基板を加熱する加熱機構を有することを特徴とする、請求項１に記載の基板載置装置。

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