JP4535937B2

JP4535937B2 - 基板収納体

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Publication number: JP4535937B2
Application number: JP2005155175A
Authority: JP
Inventors: 徹竹原; 啓介湯本
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2005-05-27
Filing date: 2005-05-27
Publication date: 2010-09-01
Anticipated expiration: 2025-05-27
Also published as: JP2006327641A

Description

本発明は、液晶ディスプレイのカラーフィルタや薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等に用いるガラス基板などのように、表面に機能層を備えた基板を運搬、保管等のための基板収納体に関するものである。

カラーフィルタに用いるガラス基板のように、表面に機能層を備えた基板は、その表面で機能層を損傷したり、汚したりすることなく、運搬及び保管することが重要である。そこで、これらの基板の運搬、保管には、基板を１枚ずつ挿入する溝を備えた樹脂製のケースを用いていた。しかしながら、このケースでは、基板間に隙間を生じさせた状態で基板を収納するため、収納効率が悪いという問題があった。そこで、複数のガラス基板と合紙とを交互に重ね、斜め積みパレット上に斜め積みした包装形態（特許文献１参照）、複数のガラス基板とガラス基板の縁部に接触する枠状の離間部材とを交互に重ね、斜め積みパレット上に斜め積みした包装形態（特許文献２参照）、ガラス基板を１個ずつＰＥＴフィルムで密封し、これらを積み重ねる包装形態（特許文献３参照）、ガラス基板を１個ずつ、凹凸加工した内壁を有するラミネートフィルムからなる袋状体で包装し、それをケースに詰める包装形態（特許文献４参照）等が提案されている。
特開２０００−３５１４４９号公報特開２０００−２０３６７９号公報特開２００３−２３７８３３号公報特開平１１−１２０５号公報

しかしながら、これらにはいずれも問題があった。すなわち、特許文献１，２に示すように斜め積みする方法では、ガラス基板を傾斜した受け面に立てかけるようにして斜め積みした後、ガラス基板の高さ方向の１箇所或いは２箇所をバンド等で受け面に押し付けるように締め付けることで固定しているが、その際、ガラス基板の下部領域を受け面に必要な押圧力で押し付け、固定することが困難である。これは、次の理由による。すなわち、ガラス基板を斜め積みした際、各ガラス基板はその下端が斜め積みパレットの載置面に乗った状態で保持されているため、ガラス基板の下部領域を傾斜した受け面に押し付け、固定しようとすると、そのガラス基板の自重によって斜め積みパレットの載置面に強く押し付けられた状態となっているガラス基板下端縁を載置面上で滑らせて動かさなくてはならず、その際の摩擦力が大きいため、ガラス基板の下端縁を動かすことが困難である。ガラス基板のサイズが小さく、荷重が小さい場合か、重ね合わせた枚数が少ない場合には、斜め積みしたガラス基板の適当な位置をバンド等で締め付けることにより、ガラス基板の下部領域は十分に固定されておらず、輸送中の振動などによってガラス基板が動き、損傷を生じることがあった。更に、特許文献２に示す枠状の離間部材を用いた方法では、離間部材の厚さが、５ｍｍ程度と大きく、このため、積載量が少なくなり、しかもガラス基板のサイズが大きい場合には端縁のみを離間部材で拘束した構造ではガラス基板に自重によるたわみを生じ、この点からも損傷を生じることがあった。

特許文献３、４に示すように各ガラス基板を、ＰＥＴフィルムで密封するとか、ラミネートフィルムからなる袋状体で包装する包装形態では、ガラス基板の包装に多大な工数がかかり、包装コストが高くなるという問題がある。また、ＰＥＴフィルムや包装体で包装したガラス基板を、単に積み重ねるか、或いはケースに詰めているのみであるので、運搬中にガラス基板が動くことがあり、その際にガラス基板とそれを包装しているＰＥＴフィルムやラミネートフィルムと擦れ合って、ガラス基板の機能層に損傷を与えるおそれもある。

これらの問題点を解決する方法として、本出願人は、ガラス基板を離間体を介して水平に積み重ねて積重体とし、押圧固定して、収納容器に収納し、保管、運搬する方法を見出し、先に出願したが、先の出願では、基板の側部を保護するため、または、収納容器に収納した際の収納容器側板と積重体との間の隙間による収納容器内での動きを拘束するため、積重体側部すなわち収納容器と積重体との隙間にクッション材等を挿入する必要があった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、液晶ディスプレイのカラーフィルタや薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等に用いるガラス基板などの基板を、大量に且つコンパクトに収納すると共に、輸送中に動くことがないように拘束でき、基板を損傷することなく運搬、保管を行うことの可能な積重体および基板収納体を提供するものである。

本発明の第１の発明は、基板と離間体とを交互に積み重ねた積重体を基板収納容器に収納した収納体であって、前記基板収納容器は、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段とを有し、前記離間体はクッション性を有する材質であり、前記離間体の前記基板との接触部は、前記押圧手段により押圧されて圧縮され、前記離間体の前記基板との非接触部が前記基板の側部クッション材として具備され、前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグを有し、前記エアバッグと前記積重体との間、及び前記積重体と前記支持台との間のいずれか一方又は双方に、平坦な補強板材を配置したことを特徴とする基板収納体である。

また第２の発明は、基板と離間体とを交互に積み重ねた積重体を基板収納容器に収納した収納体であって、前記基板収納容器は、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段とを有し、前記離間体はクッション性を有する材質であり、前記離間体の前記基板との接触部は、前記押圧手段により押圧されて圧縮され、前記離間体の前記基板との非接触部が前記基板の側部クッション材として具備され、前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に配置される弾性板材と、前記弾性板材の上面に配置される荷重支持板と、前記荷重支持板が前記弾性板材を加圧して弾性変形させ、前記弾性板材を介して積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるように荷重支持板を前記支持台に連結する連結手段を有することを特徴とする基板収納体である。

本発明の積重体によれば、基板より延び出した離間体の周縁部が、積重体の側部クッション材として作用するので、基板を運搬、保管する際に、簡易な包装で運搬することが可能である。また収納容器に収納する際、収納容器と積重体との隙間に、積重体を拘束するためのクッション材を新たに設ける必要が無く、簡易な工程で、基板を運搬、保管することが可能である。

本発明の基板収納体によれば、支持台を水平に配置した状態で、その支持台の支持面上に基板の積重体を、基板を水平とした状態で載置し（或いは支持台上で基板を水平に積み重ねて積重体を形成し）、その積重体の上面全域に、押圧手段によって均一な押圧力を作用させることで、その積重体を支持台に押し付け、固定することができ、更に、基板より延び出した離間体の周縁部が、積重体の側部クッション材として作用するので、収納容器と積重体との隙間に、積重体を拘束するためのクッション材を新たに設ける必要が無く、固定が確実で運搬中などに基板が動いて損傷を生じることなく、基板を運搬、保管することができる。

複数の基板は水平に積み重ねられており且つその上面全域に均一な押圧力を作用させているので、基板サイズが大きい場合でも、或いは収納枚数が多い場合でも、各基板がその全域において均一な圧力で締め付けられており、従来、バンド等によって局部的に締め付ける場合には、局部的に押圧力の大きい部分が生じ、その部分に損傷を生じるおそれがあるが、本発明では基板全域に均一な押圧力を作用させることができるので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板を動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。

このようにして、本発明の収納体は、大量の且つサイズの大きい基板をコンパクトに収納すると共に、基板に損傷を生じることなく安全に運搬、保管することができ、基板の運搬コストを下げることができる。

積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させる押圧手段として、エアバッグを用いることにより、広い面積に容易に均一な押圧力を作用させることができると共にエアバッグに供給する空気圧の調整で容易に押圧力を調整できる。

また、積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させる押圧手段として、弾性板材を用いることにより、弾性板材を介して積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、基板が動かないように拘束できる。

また、押圧手段と積重体との間、及び積重体と支持台の間のいずれか一方もしくは双方に、平坦な補強板材を配置することにより、基板をその平坦な補強部材で支持或いは押圧することができ、基板の損傷を一層防止できるという効果が得られる。

また、前記支持台をパレットにすることにより、フォークリフト等を用いた運搬が容易となる効果が得られる。更に、そのパレットに、パレット上に載置された積重体を包囲するように蓋体を脱着可能に取り付け、その蓋体の天板を前記した荷重支持板として作用させる構成とすることにより、蓋体で荷重支持板を兼用することができ、構造を簡単としながら、蓋体によって積重体を覆って、基板に対するごみ、ほこり等の付着を防止できるといった効果が得られる。

また、前記パレットとそれに取り付けられる蓋体で形成される内箱を収納する第２のパレット及び第２の蓋体からなる外箱を有する構成としておくと、その外箱に収納された内箱にごみ、ほこり等が付着されることなく、この内箱を基板を使用する工場内に搬入した際に、工場内にごみ、ほこり等を同伴することがなく、工場内を清潔に保てるという効果が得られる。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る基板収納体の概略断面図であり、図２は、本発明の積重体の説明図であり、また、図３は、図１に示す基板収納体の斜視図である。図１は、本発明の積重体９を、収納容器に収納した基板収納体１である。

第１の実施の形態において、収納の対象とする基板３は、液晶ディスプレイのカラーフィルタや薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等に用いるガラス基板などであり、その代表的な構造を図６に概略的に示している。

図６において、基板３は、ガラス板等の基板本体３ａの片面に、機能層３ｂ（例えば、カラーフィルタ用の基板の場合には、ブラックマトリックス、着色画素、ＩＴＯ電極などを備えた層）を備え、更にその上に、保管、運搬中等における損傷を防止するための保護膜３ｃを形成している。

この保護膜３ｃは容易に形成でき且つ容易に除去可能な材料で作られるものであり、水溶性の樹脂（例えば、ポリビニルアルコール）が用いられることが多い。膜厚としては、１０〜２０μｍ程度が用いられる。通常、機能層３ｂ、保護膜３ｃは、基板本体３ａの周縁の数ｍｍを除いた全領域に形成されている。本明細書では、機能層３ｂ及びその上に保護膜３ｃを形成した領域を有効領域という。

基板３の平面サイズは、特に限定されず、例えば、幅１８００ｍｍ×長さ２０００ｍｍといった大きいサイズとすることも可能である。また、基板の厚さも制限されるものではないが、０．３〜１．０ｍｍ程度において好適に使用可能である。

基板３を多数枚積み重ね、積重体９を形成する際、各基板３の機能層３ｂ、保護膜３ｃを保護することができるよう、各基板３間に離間体５を挟んでいく。

離間体５は、基板３より大きく、離間体５の周縁部が基板より延び出すように、基板３が離間体５を介して水平に、積み重ねられ積重体を形成させる（図２（ａ））。積重体９の形態は、図２（ａ）に示すように基板３よりも大きい離間体５を、交互に挟み込み、離間体５の周縁部が全周にわたり基板３の外側に延び出すように配置する形態である。

離間体５は、基板３を保護し、クッション性を有する材質であり好ましい材料としては、独立気泡を有する樹脂の発泡シートであり、特に好ましくは、発泡ポリプロピレンのシートである。例えば、株式会社ＪＳＰ製の商品名「Ｐマット」を挙げることができる。

独立気泡を有する樹脂の発泡シートは、適度なクッション性を有するので、積重体９とした際、後に述べるように周縁部が側部クッション材を良好に形成し、また、そのやわらかさから基板表面の機能層３ｂの保護が確実であり、且つ通気性がないので保護膜３ｃが吸湿することを防止できる。

離間体５の厚さとしては、あまり薄いと側部クッション材の形成ができず、また、保護効果が低下し、一方あまり厚いとコスト高となると共に嵩張るという欠点を生じるので、これらを考慮して、０．５〜３ｍｍ程度に選定することが好ましい。

離間体５の大きさは、前述のように基板３より大きければ特に制限するものではないが、好ましくは長短変が基板のそれぞれより１０ｍｍ〜８０ｍｍ長いものである。

特に好ましい基板および離間体の厚さの組み合わせは、基板の厚みが０．５ｍｍ〜１．１ｍｍであり、離間体の厚みが０．５ｍｍ〜３ｍｍである。また、１平方ｃｍあたり３０ｇｆ〜３００ｇｆの押圧力で、基板が上下の離間体に埋没する程度の硬さを有する離間体が好ましい。

積重体９は、押圧手段により押圧力が加えられることにより、離間体５の基板３と接する部分は圧縮され、離間体５の基板３との非接触部（周縁部）は、圧縮されぬまま、図２（ｂ）に示すように、側部クッション材を形成する。

前記押圧手段による押圧力は、離間体の基板３との接触部が圧縮され、離間体５の周縁部が側部クッション材を形成すれば、特に限定するものではないが、１平方ｃｍあたり３０ｇｆ〜３００ｇｆ程度が好ましい。

離間体５を剥がす際には、離間体５の端部が基板３の外側に延び出しているので、この延び出している部分をつかめば、確実に剥がすことができる。

図１において、収納容器は、積重体９を支持する支持面１１ａを備えた支持台を構成するパレット１１と、パレット１１上に載置された積重体９を包囲するように、前記パレット１１に脱着可能に取り付けられる蓋体１３を備えている。

パレット１１の支持面１１ａは、積重体９を、基板３が支持面１１ａに対して平行となる状態で支持可能なよう、基板３の面積より大きい面積に作られている。蓋体１３は、パレット１１に取り付けた状態で支持面１１ａに平行となる天板１３ａと、支持面１１ａに垂直となる４面の側板１３ｂを備えた箱状のものである。

蓋体１３を、パレット１１に対する所定位置に位置決めするため、パレット１１の上面の複数箇所に、蓋体１３の側板１３ｂの内面に嵌合する突起１１ｂが形成されている。なお、パレット１１に対して蓋体１３の位置決めする手段は突起１１ｂを用いたものに限らず、適宜変更可能である。

蓋体１３の天板１３ａは、後述するように、エアバッグ１５によって積重体９の上面に押圧力を作用させた際の反力を支持する荷重支持板として作用するものであり、蓋体１３はその反力に耐えうる剛性を備えた構造としている。また、蓋体１３は、パレット１１に対してその反力を支えうる強度を備えた連結手段で連結されるようになっている。本実施形態では、蓋体１３をパレット１１に対して必要な強度で連結できるため、複数のパチン錠２５を用いている。パチン錠２５はワンタッチで開閉できるので、作業性がよいと共に大きい引張力に耐えることができる。なお、蓋体１３をパレット１１に連結する連結手段はパチン錠に限らず、ボルト、ナットを用いたもの、連結ピンを用いたもの等任意である。

パレット１１の支持面１１ａ上には、平面精度の高い補強板材２３が置かれ、その上に積重体９が載置されている。そして、積重体９の上には表面精度の高い補強板材２１が置かれ、その上にエアバッグ１７が配置されている。

エアバッグ１５は、その内部に加圧エアを供給することにより膨らみ、上面位置が蓋体１３の天板（荷重支持板）１３ａで拘束されることにより、積重体９の上面全域を補強板材２１を介して均一に押圧できるように配置されている。従って、エアバッグ１５とそれを支える天板１３等は、積重体９の上面全域に、均一な押圧力を作用させ、該積重体を支持台に押し付け、固定する押圧手段を構成する。

また、エアバッグ１５には、蓋体１３をパレット１１に取り付けた状態で、エアバッグ１５内に加圧エアを供給できるよう、蓋体１３の外側に延び出すようにエア供給用チューブ１７が連結されており、その先端には弁１９が取り付けられている。

積重体９の上下に配置される補強板材２１、２３は積重体９の基板を極力、平坦な状態で支持或いは押圧することができるよう設けたものである。補強板材２１、２３としては、平面精度に優れた軽量な板材が用いられ、具体的には、ハニカムパネル或いは発泡体をコアとしＦＲＰ板をスキンとした積層板等を用いることが好ましい。

補強板材２１、２３は積重体９の全面を支持或いは押圧できるよう、基板３と同一もしくはそれよりも大きい面積のものが用いられる。補強部材２１、２３の平面精度としては、表面粗さは、１００μｍＲｍａｘ程度以下、平面度は、最小曲率半径が７００ｍ程度とすることが好ましい。

次に、収納容器に積重体９を収納する方法を説明する。図１に示すように、パレット１１上に補強板材２３を乗せ、次いでその上に基板３と離間体５とを交互に積み重ねて積重体９を形成する。なお、別の場所で積重体９を形成しておき、それをパレット１１上に載置するように変更してもよい。

パレット１１上に積重体９を載置した後は、その上に補強部材２１及びエアバッグ１５を乗せ、その上から蓋体１３をかぶせ、蓋体１３をパレット１１に固定する。その後、エアバッグ１５に連結されているエア供給用チューブ１７にコンプレッサ等の加圧エア供給装置（図示せず）を連結して、エアバッグ１５に加圧エアを供給する。これにより、エアバッグ１５が膨らんで、積重体９の上面を補強板材２１を介して押圧し、離間体５の基板との接触部は圧縮され、積重体９をパレット１１に押し付けて固定する。この時、離間体の周縁部により側部クッション材７が形成される。

エアバッグ１５の押圧力は、そのエアバッグ１５に供給するエア圧力を調整することで、所望の値に調整できる。なお、積重体９の高さが不足し、エアバッグ１５で積重体９に押圧力を付与できない場合には、補強板材２１とエアバッグ１５との間に適当なスペーサを挿入しておけばよい。

エアバッグ１５に所望圧力の加圧エアを供給した後は、弁１９を閉じ、加圧エア供給装置を取り外す。

また、収納容器に基板を収納する際には、パレット１１を水平状態とし、基板を水平にした状態で積み重ねていくが、形成した収納体１を運搬する際には、パレット１１を水平状態に保つ場合に限らず、必要に応じ、パレット１１を傾斜させるとか、垂直に立ててもよい。この場合でも、基板３が全面に渡って均一な圧力で締め付けられ、パレット１１に押し付けられているので、基板３が動くことはなく、基板３に損傷を生じることなく安全に運搬することができる。

開梱に当たっては、エアバッグ１５の空気を抜いた後、蓋体１３をパレット１１から取り外し、エアバッグ１５、補強板材２１を取り外した後、積重体９の上面側から基板３、離間体５を交互に取り出せばよい。

本実施の形態によれば、離間体５の周縁部が側部クッション材を形成することにより、新たに側部クッション材を充填しなくても、基板が動いて損傷を生じることがなく運搬することができる。また、エアバッグ１５が積重体９の上面全域に均一な押圧力を作用させるので、基板サイズが大きい場合でも、また収納枚数が多いばあいでも、各基板３をその全域において均一な圧力で締め付けて固定することができ、エアバッグ１５は、基板全面に均一な押圧力を作用させているので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板が動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。

次に、第２の実施形態に係る基板収納体について説明する。
図４は、第２の実施形態に係る基板収納体３１の概略断面図を示す。図４において、第１の実施の形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。

基板収納体３１は、基板収納体１を収納する外箱を備えた二重構造となっている。基板収納体１がパレット３３とこれに脱着可能に取り付けられる蓋体３５で形成される外箱に収納される。蓋体３５は、内箱の蓋体１３と同様な形状であり、パチン錠２５によってパレット３３に脱着可能となっている。なお、図示しないが、外箱のパレット３３には、内箱のパレット１１を所定位置に位置決めして固定するための手段が設けられている。

開梱に当たっては、外箱の蓋体３５を外し、中に収納されている内箱を取り出し、所望の場所に搬入する。その後、エアバッグ１５の空気を抜いた後、蓋体１３をパレット１１から取り外し、エアバッグ１５、補強板材２１を取り外した後、積重体９の上面側から基板３、離間体５を交互に取り出せばよい。

本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様に、離間体５の周縁部が側部クッション材７を形成することにより、新たに側部クッション材を充填しなくても、基板が動いて損傷を生じることなく、運搬することが可能である。また、エアバッグ１５が積重体９の上面全域に均一な押圧力を作用させるので、基板サイズが大きい場合でも、また収納枚数が多いばあいでも、各基板３をその全域において均一な圧力で締め付けて固定することができ、エアバッグ１５は、基板全面に均一な押圧力を作用させているので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板が動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。更に、内箱が外箱で覆われていたため、ごみ、ほこりが付着しておらず、基板を使用する工場内等の清浄さを要求される場所に内箱を搬入してもトラブルを生じることがない。

次に、第３の実施形態に係る基板収納体について説明する。
上記実施形態では、積重体の上面に均一な押圧力を付与する押圧手段としてエアバッグ１５を用いたものを用いているが、押圧手段はこれに限らず、他の構造としてもよい。図５は他の構造の押圧手段を用いた基板収納体４１の概略断面図を示す。図５において、第１及び第２の実施形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。

基板収納体４１は、パレット１１に載置された積重体９と蓋体１３の天板１３ａの間に、ゴム、スポンジ、樹脂発泡体等で形成された弾性板材４３を圧縮した状態で配置している。すなわち、弾性板材４３は、圧縮しない状態では、天板１３ａと補強板材２１との間隔よりも厚い厚さを有しており、補強板材２１の上に弾性板材４３を乗せ、その上から蓋体１３の天板１３ａを押し当て、適当な加圧手段で蓋体１３をパレット１１に向かって押し付け、その状態でパレット１１に連結することにより、天板１３ａが弾性板材４３を加圧して弾性変形させ、それにより、弾性変形した弾性板材４３が積重体９の上面全域に均一な押圧力を作用させることができる。

本実施の形態によれば、離間体５の周縁部が側部クッション材を形成することにより、新たに側部クッション材を充填しなくても、基板が動いて損傷を生じることがなく運搬中することができる。また、エアバッグ１５が積重体９の上面全域に均一な押圧力を作用させるので、基板サイズが大きい場合でも、また収納枚数が多いばあいでも、各基板３をその全域において均一な圧力で締め付けて固定することができ、エアバッグ１５は、基板全面に均一な押圧力を作用させているので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板が動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。更に、内箱が外箱で覆われていたため、ごみ、ほこりが付着しておらず、基板を使用する工場内等の清浄さを要求される場所に内箱を搬入してもトラブルを生じることがない。

更に、上記実施形態ではいずれも、蓋体１３の天板１３ａを、エアバッグ１５や弾性板材４３を支える荷重支持板としているが、エアバッグ１５や弾性板材４３を支える荷重支持板は、必ずしも蓋体１３の天板１３ａの形態とする必要はなく、単に平板上の荷重支持板を用い、この荷重支持板を連結用の棒、パイプ、平板等を用いてパレット１１に連結する構造としてもよい。

上記第１〜３の実施形態では、エアバッグ等を用いて積重体の上面に均一な押圧力を付与する構造であるが、押圧手段を特に用いることなく、積層体９を単に箱体中に収納し、箱体と積重体との隙間にスペーサを挿入して基板収納体とすることもできる。
これによれば、積重体９の自重により離間体５の周縁部が側部クッション材を形成し、基板３を離間体５が包囲することにより、新たに側部クッション材を充填しなくても、基板が動いて損傷を生じることがなく運搬中することができる。

なお、本発明において、押圧手段が積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させる構成としているが、請求項の記載における「上面全域」とは、必ずしも厳密な意味での上面全域に限らず、多少は全域より少ない領域であっても、その領域に均一な荷重を加えることによって基板を動かないように拘束できるものであればよく、具体的には、上面全域の８０％程度以上の領域を意味するものとする。

以上に、本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明は実施の形態に示す構造に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載範囲内で適宜変更可能であることは言うまでもない。

本発明の基板収納体の概略断面図である。本発明の積重体の説明図である。図１の基板収納体の斜視図である。本発明の基板収納体の概略断面図である。本発明の基板収納体の概略断面図である。基板の説明図である。

符号の説明

１………基板収納体
３………基板
３ａ………基板本体
３ｂ………機能層
３ｃ………保護膜
５………離間体
７………側部クッション材
９………積重体
１１………パレット
１１ｂ………突起
１３………蓋体
１３ａ………天板
１３ｂ………側板
１５………エアバッグ
１７………エア供給用チューブ
１９………弁
２１………補強板材
２３………補強板材
２５………パチン錠
３１………基板収納体
３３………パレット
３５………蓋体
４１………基板収納体
４３………弾性板材

Claims

基板と離間体とを交互に積み重ねた積重体を基板収納容器に収納した収納体であって、
前記基板収納容器は、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段とを有し、
前記離間体はクッション性を有する材質であり、前記離間体の前記基板との接触部は、前記押圧手段により押圧されて圧縮され、前記離間体の前記基板との非接触部が前記基板の側部クッション材として具備され、
前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグを有し、
前記エアバッグと前記積重体との間、及び前記積重体と前記支持台との間のいずれか一方又は双方に、平坦な補強板材を配置したことを特徴とする基板収納体。
基板と離間体とを交互に積み重ねた積重体を基板収納容器に収納した収納体であって、
前記基板収納容器は、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段とを有し、
前記離間体はクッション性を有する材質であり、前記離間体の前記基板との接触部は、前記押圧手段により押圧されて圧縮され、前記離間体の前記基板との非接触部が前記基板の側部クッション材として具備され、
前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に配置される弾性板材と、前記弾性板材の上面に配置される荷重支持板と、前記荷重支持板が前記弾性板材を加圧して弾性変形させ、前記弾性板材を介して積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるように荷重支持板を前記支持台に連結する連結手段を有することを特徴とする基板収納体。
前記基板の厚みは０．５ｍｍ〜１．１ｍｍであり、前記離間体の厚みは０．５ｍｍ〜３ｍｍであり、前記離間体の大きさは、長短辺が前記基板のそれぞれより１０ｍｍ〜８０ｍｍ長く、前記離間体は、樹脂の発泡シートであり、前記押圧手段による押圧力が１平方ｃｍあたり３０ｇｆ〜３００ｇｆで、前記基板が上下の離間体に埋没する程度の硬さを有する離間体であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板収納体。
前記支持台に、前記支持台に載置された積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた蓋体が設けられ、前記蓋体の天板が前記荷重支持板として作用することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板収納体。
前記基板が、機能層を備えたガラス基板であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板収納体。