JP4539064B2 - インクジェットヘッド - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットヘッドに関し、特に、複数の圧力室が相互に隣接してマトリクス状に配列されたインクジェットヘッドに関する。

インライン状に１列または２列に配列された各圧力室内のインクに圧電素子によって圧力が付与されると、圧力室に連通したノズルからインクを吐出するタイプのインクジェットヘッドが知られている。かかるインクジェットヘッドは複数のプレートを積層することによって製造される。通常、圧力室は、孔の形成された１枚のプレートが両面からそれぞれ別のプレートで挟み込まれることによって形成されている。

したがって、圧力室を構成する複数枚のプレートが接着剤によって接着される場合、インクジェットヘッドの製造時に、プレート界面に塗布された接着剤が孔内に流れ込み、圧力室の形状が変化してしまう。このような現象は、１列または２列に配列された複数の圧力室のうち、特に、片側に圧力室用孔が形成されていない、列の両端に位置する圧力室について顕著に生じる。さらに、配列された複数の圧力室のうちの列の両端に位置する圧力室とこれ以外の圧力室とは、側壁の厚みの違いのためにインク吐出時における側壁の撓み量が異なる。このように、１列または２列に配列された複数の圧力室のうちの列の両端に位置する圧力室とこれ以外の圧力室とは、接着剤の流れ込みによる圧力室の形状の相違及び圧力室側壁の撓み量の相違のために、インク吐出特性に違いが生じてしまう。かかる問題に対処するために、１列または２列に配列された複数の圧力室の配列方向両端に、インクを吐出しない圧力室、すなわちダミー圧力室を設けるという技術が知られている（特許文献１〜３参照）。

特開２０００−３３４９４３号公報 特開平７−２１４７７９号公報 特開２００２−８６７１５号公報

近年、高速且つ高画質の印字を実現するために様々な試みがなされている。その一つとして、圧力室をインライン状ではなくマトリクス状に配列するものがある。このような場合にも、上述したインライン状に圧力室が配列されたインクジェットヘッドと同様に、マトリクス状に複数の圧力室が配列された圧力室群内の場所に応じて圧力室を取り巻く立体的構造の違いによってインク吐出特性が異なるという問題が発生することが考えられる。

そこで、本発明の目的は、複数の圧力室が相互に隣接してマトリクス状に配列されることによって形成された圧力室群内の場所による、圧力室のインク吐出特性の相違を減少させることができるインクジェットヘッドを提供することである。

課題を解決するための手段及び効果

一つの観点において、本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズル及び共通インク室にそれぞれ連通し且つ圧力室の空隙を構成する、マトリクス状に配列された複数のキャビティ凹部と、前記複数のキャビティ凹部の周縁全域に沿って配列された、前記ノズル及び前記共通インク室のいずれにも連通していない複数の周縁凹部と、を含む流路ユニットと、前記キャビティ凹部の開口を塞ぐことによって前記流路ユニットと共に複数の前記圧力室を画定し、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットとを備えている。そして、前記複数の周縁凹部が、前記キャビティ凹部相互の間隔と同じ間隔で配列されていると共に、前記周縁凹部と前記キャビティ凹部との距離が、隣接する前記キャビティ凹部同士の距離と同じである。

別の観点において、本発明のインクジェットヘッドは、圧力室の空隙を構成する、マトリクス状に配列された複数のキャビティ孔と、前記複数のキャビティ孔の周縁全域に沿って配列された複数の周縁孔と、を含む第１のプレートと、前記キャビティ孔の一方の開口が塞がれるように前記第１のプレートの一方の面に重ねられた第２のプレートと、複数の前記キャビティ孔のそれぞれに対応して第１及び第２の接続孔が形成された第３のプレートであって、前記第１の接続孔及び前記第２の接続孔が前記キャビティ孔に接続されるように前記第１のプレートの他方の面に重ねられることによって、前記第１及び第２のプレートと共に複数の前記圧力室を画定する第３のプレートとを備えている。前記複数の周縁孔が、前記キャビティ孔相互の間隔と同じ間隔で配列されていると共に、前記周縁孔と前記キャビティ孔との距離が、隣接する前記キャビティ孔同士の距離と同じである。

この場合、第２のプレートは、例えば圧電シートのようなアクチュエータユニットに含まれるプレートであってもよいし、第１のプレートと同じ材質でできた流路ユニットに含まれるプレートであってもよい。

本発明によると、複数の圧力室がマトリクス状に配列されることによって圧力室群（キャビティ凹部群又はキャビティ孔群）が形成されている場合において、圧力室群の最外周にある圧力室と最外周にない圧力室とで、接着剤の流れ込みによって圧力室の形状が大幅に相違することがなくなり、しかもインク吐出時における圧力室側壁の撓み量にも大きな違いが無くなる。したがって、圧力室群の最外周にある圧力室と最外周にない圧力室とのインク吐出特性をほぼ同じにすることが可能となる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

本発明の第１の実施の形態によるインクジェットヘッドについて説明する。図１は、本実施の形態によるインクジェットヘッド１の斜視図である。図２は、図１のII−II線に沿った断面図である。インクジェットヘッド１は、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上方に配置され且つヘッド本体７０に供給されるインクの流路である２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック７１とを備えている。

ヘッド本体７０は、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面に接着された複数のアクチュエータユニット２１とを含んでいる。これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は共に、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成である。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０が接着され、左又は右に引き出されている。

図３は、ヘッド本体７０の平面図である。図３に示すように、流路ユニット４は、一方向（主走査方向）に延在した矩形平面形状を有している。図３において、流路ユニット４内に設けられた共通インク室であるマニホールド(manifold channel)５が破線で描かれている。マニホールド５内へは、複数の開口３ａを介してベースブロック７１のインク溜まり３からインクが供給される。マニホールド５は、流路ユニット４の長手方向と平行に延在する複数の副マニホールド５ａに分岐している。

流路ユニット４の上面には、平面形状が台形である４つのアクチュエータユニット２１が、開口３ａを避けるように、千鳥状になって２列に配列されつつ接着されている。各アクチュエータユニット２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット４の長手方向に沿うように配置されている。そして、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が、流路ユニット４の幅方向に部分的にオーバーラップしている。

アクチュエータユニット２１の接着領域と対向した流路ユニット４の下面は、多数のノズル８（図５参照）がマトリクス状に配列されたインク吐出領域となっている。アクチュエータユニット２１に対向する流路ユニット４の表面には、多数の圧力室１０（図５参照）がマトリクス状に配列された圧力室群９が形成されている。

図２に戻って、ベースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内のインク溜まり３は、ベースブロック７１の長手方向に沿って形成された略直方体の中空領域である。インク溜まり３は、その一端に設けられた開口（図示せず）を介してインクタンク（図示せず）に連通しており、常にインクで満たされている。インク溜まり３には、その延在方向に沿って開口３ｂが、２つずつ対になって、アクチュエータユニット２１が設けられていない領域において開口３ａと接続されるように千鳥状に設けられている。

ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍において周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、下面７３の開口３ｂ近傍部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４と接触している。そのため、ベースブロック７１の下面７３の開口３ｂ近傍部分７３ａ以外の領域は、ヘッド本体７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配されている。

ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。ホルダ７２は、把持部７２ａと、把持部７２ａの上面からこれと直交する方向に所定間隔をなして延出された平板状の一対の突出部７２ｂとを含んでいる。アクチュエータユニット２１に接着されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、ホルダ７２の突出部７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ５０上にドライバＩＣ８０が設置されている。ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１に伝達するように、両者とハンダ付けによって電気的に接合されている。

ドライバＩＣ８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク８２が密着配置されているため、ドライバＩＣ８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方であって、ＦＰＣ５０の外側には、基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、および、ヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間は、それぞれシール部材８４で接着されている。

図４は、図３内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４に示すように、アクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内には、流路ユニット４の長手方向と平行に４本の副マニホールド５ａが延在している。各副マニホールド５ａには、その出口からノズル８に至る多数の個別インク流路が接続されている。図５は、個別インク流路を示す断面図である。図５から分かるように、各ノズル８は、圧力室１０及びアパーチャすなわち絞り１３を介して副マニホールド５ａと連通している。このようにして、ヘッド本体７０には、副マニホールド５ａの出口からアパーチャ１３、圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路７が圧力室１０ごとに形成されている。

ヘッド本体７０は、図５からも分かるように、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０の合計１０枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート４１〜４４（図９参照）が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの最上層だけが電界印加時に活性層となる部分を有する層（以下、単に「活性層を有する層」というように記する）とされ、残り３層が非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０の空隙を構成するほぼ菱形の孔（以下、「キャビティ孔」と称し、符号１０ａで表す）が、アクチュエータユニット２１の貼付範囲内に多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１３との連絡孔２３ａ及び圧力室１０からノズル８への連絡孔２３ｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。

アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３と副マニホールド５ａとの連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６、２７、２８は、副マニホールド５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート２９は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。

これら１０枚のシート２１〜３０は、図５に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路７は、副マニホールド５ａからまず上方へ向かい、アパーチャ１３において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１３から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。

圧力室１０は、キャビティ孔１０ａの上方開口がアクチュエータユニット２１によって塞がれ且つベースプレート２３に形成された２つの連絡孔２３ａ、２３ｂとキャビティ孔１０ａとが接続されるように、アクチュエータユニット２１とキャビティプレート２２とベースプレート２３とが順に積層されることによって画定されている。つまり、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とが積層されていない状態において、流路ユニット４の表面には、圧力室１０の空隙を構成する多数の凹部（キャビティ凹部）がマトリクス状に配列されていることになる。

図５から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１３とは異なるレベルに設けられている。これにより、図４に示すように、アクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１３を、当該圧力室に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。

ベースプレート２３及びマニホールドプレート２８の上下面と、サプライプレート２５及びマニホールドプレート２６、２７の上面と、カバープレート２９の下面には、余分な接着剤を流すための逃し溝１４が、各プレートの接合面に形成された開口を取り囲むように設けられている。この逃し溝１４があることによって、プレートどうしを接着する際の接着剤が個別インク流路内にはみ出して流路抵抗が変動することが防止される。

図４に戻って、アクチュエータユニット２１の貼付範囲内には、多数の圧力室１０からなる圧力室群９が形成されている。圧力室群９は、アクチュエータユニット２１の貼付範囲とほぼ同じ大きさの台形形状を有している。圧力室群９は、各アクチュエータユニット２１について１つずつ形成されている。

図４から明らかなように、圧力室群９に属する各圧力室１０は、その長い対角線の一端においてノズル８に連通されていると共に、長い対角線の他端においてアパーチャ１３を介して副マニホールド５ａに連通されている。後述するように、アクチュエータユニット２１上には、平面形状がほぼひし形で圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５（図８及び図９参照）が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図４において、図面を分かりやすくするために、流路ユニット４にあって破線で描くべき、ノズル８、圧力室１０及びアパーチャ１３等を実線で描いている。

圧力室１０は、配列方向Ａ（第１の方向）及び配列方向Ｂ（第２の方向）の２方向にマトリクス状に隣接配置されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向、すなわち流路ユニット４の延在方向であって、圧力室１０の短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす圧力室１０の一斜辺方向である。そして、圧力室１０の両方の鋭角部は、隣接する別の２つの圧力室の間に位置している。

配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置された圧力室１０は、配列方向Ａに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔している。また、圧力室１０は、１つのアクチュエータユニット２１内において、配列方向Ｂに１６個並べられている。

マトリクス状に配置された多数の圧力室１０は、図４に示す配列方向Ａに沿って、複数の圧力室列を形成している。圧力室列は、図４の紙面に対して垂直な方向（第３の方向）から見て、副マニホールド５ａとの相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の上辺から下辺に向けて、１１ｃ→１１ｄ→１１ａ→１１ｂ→１１ｃ→１１ｄ→…→１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。

第１の圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び第２の圧力室列１１ｂを構成する圧力室１０ｂにおいては、第３の方向から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に関して、ノズル８が図４の紙面下側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞれ対応する圧力室１０の下端部付近と対向している。一方、第３の圧力室列１１ｃを構成する圧力室１０ｃ及び第４の圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄにおいては、第４の方向に関して、ノズル８が図４の紙面上側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞれ対応する圧力室１０の上端部付近と対向している。第１及び第４の圧力室列１１ａ、１１ｄにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ａ、１０ｄの半分以上の領域が、副マニホールド５ａと重なっている。第２及び第３の圧力室列１１ｂ、１１ｃにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ｂ、１０ｃのほぼ全領域が、副マニホールド５ａと重なっていない。そのため、いずれの圧力室列に属する圧力室１０についてもこれに連通するノズル８が副マニホールド５ａと重ならないようにしつつ、副マニホールド５ａの幅を可能な限り広くして各圧力室１０にインクを円滑に供給することが可能となっている。

図４に示すように、ヘッド本体７０には、台形である圧力室群９の対となる平行辺のうちの長辺に沿って、圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する多数の周縁空隙１５が長辺の全域に亘って一直線状に配列されている。周縁空隙１５は、周縁空隙１５を第４の方向に沿って切断した断面図である図６（ａ）に示すように、キャビティプレート２２に形成された圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する孔（周縁孔１５ａ）がアクチュエータユニット２１及びベースプレート２３によって塞がれるように、アクチュエータユニット２１とキャビティプレート２２とベースプレート２３とが積層されることによって画定されている。つまり、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とが積層されていない状態において、流路ユニット４の表面には、周縁空隙１５の空隙を構成する多数の凹部（周縁凹部）が圧力室群９の長辺に沿って一直線状に配列されていることになる。流路ユニット４内では、周縁空隙１５がベースプレート２３で塞がれているので、周縁空隙１５にはインク流路が接続されておらず、周縁空隙１５には対向する個別電極３５が設けられていない。つまり、周縁空隙１５は、インクの吐出を行わない。

周辺空隙１５は、流路ユニット４の長手方向に関する圧力室１０のピッチと同じピッチで形成されている。また、周辺空隙１５とこれに隣接する圧力室１０との距離は、圧力室群９内において隣接する圧力室１０同士の距離と同じになっており、しかも、互いに対向する周辺空隙１５の輪郭線の一部（菱形の一方の鋭角部に連なる二辺）と、圧力室１０の輪郭線の一部（菱形の一方の鋭角部に連なる二辺）とは平行である。そして、周辺空隙１５の圧力室群９側の鋭角部は、この周辺空隙１５に隣接する２つの圧力室１０の間に位置している。このように、圧力室群９の最外周に配設された圧力室１０に周縁空隙１５が隣接して配設されていることによって、圧力室群９の最外周に配設された圧力室１０は、圧力室群９の内側に配設された場合と同等の立体的構造に囲まれて存在することになる。これにより、圧力室群９内の場所によらず、圧力室１０内への接着剤の流れ込み量や圧力室１０の側壁の撓み量に分布が無くなり、圧力室群９内でのインクの吐出特性がほぼ同じになっている。すなわち、周縁空隙１５は、圧力室群９内でのインクの吐出特性を均一化するという点でインク吐出に寄与している。

また、ヘッド本体７０には、台形である圧力室群９の対となる平行辺のうちの短辺に沿って、多数の周縁空隙１６が短辺の全域に亘って一直線状に配列されている。周縁空隙１６は、周縁空隙１６を第４の方向に沿って切断した断面図である図６（ｂ）及び図４に示すように、キャビティプレート２２に形成された孔（周縁孔１６ａ）がアクチュエータユニット２１及びベースプレート２３によって塞がれるように、アクチュエータユニット２１とキャビティプレート２２とベースプレート２３とが積層されることによって画定されている。周縁孔１６ａは、キャビティプレート２２の下面側に形成された圧力室１０と同じ平面形状で且つキャビティプレート２２の厚みの半分程度の深さを有する凹部１６ｂにおいて、凹部１６ｂの圧力室１０に近い平面視正三角形の領域（圧力室１０の菱形の一部に相当）のみが貫通したような形状を有している。つまり、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とが積層されていない状態において、流路ユニット４の表面には、周縁空隙１６の空隙を構成する多数の凹部（周縁凹部）が圧力室群９の短辺に沿って一直線状に配列されていることになる。周縁空隙１６にはインク流路が接続されておらず、周縁空隙１６には対向する個別電極３５が設けられていない。

このように、アクチュエータユニット２１の短辺に沿った部分が開口とならないように周縁孔１６ａの一部を凹部１６ｂとしているために、周縁空隙１６の形状を圧力室１０の形状から大幅に異ならないようにしつつ、キャビティプレート２２とアクチュエータユニット２１との接着強度を十分な大きさに保持することが可能となっている。

周辺空隙１６は、流路ユニット４の長手方向に関する圧力室１０のピッチと同じピッチで形成されている。また、周辺空隙１６とこれに隣接する圧力室１０との距離は、圧力室群９内において隣接する圧力室１０同士の距離と同じになっており、しかも、互いに対向する周辺空隙１６の輪郭線の一部（菱形の一方の鋭角部に連なる二辺）と、圧力室１０の輪郭線の一部（菱形の一方の鋭角部に連なる二辺）とは平行である。そして、周辺空隙１６の圧力室群９側の鋭角部は、この周辺空隙１６に隣接する２つの圧力室１０の間に位置している。このように、圧力室群９の最外周に配設された圧力室１０は圧力室群９の内側に配設された圧力室１０に近い立体的構造に囲まれて存在することになる。したがって、周縁空隙１６は、インクを吐出することはないが、圧力室１０からのインクの吐出特性を圧力室群９内において均一化するという点でインク吐出に寄与している。

さらに、ヘッド本体７０には、台形である圧力室群９の両斜辺に沿って、多数の周縁空隙１７が両斜辺の全域に亘って一直線状に配列されている。周縁空隙１７は、周縁空隙１７を第４の方向に沿って切断した断面図である図６（ｃ）及び図４に示すように、キャビティプレート２２に形成された孔（周縁孔１７ａ）がアクチュエータユニット２１及びベースプレート２３によって塞がれるように、アクチュエータユニット２１とキャビティプレート２２とベースプレート２３とが積層されることによって画定されている。周縁孔１７ａは、圧力室１０の菱形の一部に相当する平面視正三角形の形状を有している。つまり、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とが積層されていない状態において、流路ユニット４の表面には、周縁空隙１７の空隙を構成する多数の凹部（周縁凹部）が圧力室群９の両斜辺に沿って一直線状に配列されていることになる。周縁空隙１７にはインク流路が接続されておらず、周縁空隙１７には対向する個別電極３５が設けられていない。

周縁空隙１７は、配列方向Ｂに関する圧力室１０のピッチと同じピッチで形成されている。また周縁空隙１７とこれに隣接する圧力室１０との距離は、圧力室群９内において隣接する圧力室１０同士の距離と同じになっており、しかも、互いに対向する周縁空隙１７の輪郭線の一部（正三角形の一辺）と、圧力室１０の輪郭線とは平行である。このように、圧力室群９の斜辺に沿って配設された周縁空隙１７は、圧力室群９内における場所によらず、圧力室１０の周りの立体的構造を均質化するように働く。したがって、周縁空隙１７は、自らインクを吐出しないが、圧力室１０からのインクの吐出特性を圧力室群９内において均一化するという点でインク吐出に寄与している。

このように、本実施の形態において、ヘッド本体７０に形成された各圧力室群９は、その周辺全域に亘って、圧力室相互の間隔と同じ間隔で形成された多数の周縁空隙１５、１６、１７によって取り囲まれている。この様子を図７に模式的に示す。図７において、圧力室群９の長辺に沿って周縁空隙１５の群５２が形成されており、圧力室群９の短辺に沿って周縁空隙１６の群５３が形成されており、圧力室群９の両斜辺に沿って周縁空隙１７の群５４がそれぞれ形成されている。

したがって、アクチュエータユニット２１とキャビティプレート２２との接着時における接着剤の流れ込みに起因した圧力室群９の最外周にある圧力室１０に関する流路詰まりを防止できると共に、接着剤の流れ込みによって、圧力室群９の最外周にある圧力室１０の形状が最外周にない圧力室１０との形状と相違することがなくなり、両者の形状をほぼ同じにすることができる。さらに、圧力室群９の最外周にある圧力室１０と最外周にない圧力室１０とで、圧力室１０の周囲にある空隙（圧力室１０又は周縁空隙）の配置関係が同じになる。そのため、両者の間で、インク吐出時における圧力室側壁の撓み量にも違いが無くなる。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、圧力室群９の最外周にある圧力室１０と最外周にない圧力室１０とのインク吐出特性がほぼ同じとなっている。

特に、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、周縁空隙１５、１６、１７と圧力室１０との対向部分が平行であること、周縁空隙１５、１６、１７と圧力室１０との距離が隣接する圧力室間の距離と同じであること、及び、周縁空隙１５、１６の鋭角部が隣接する２つの圧力室１０の間にあることのために、上述した利益が増強されている。また、周縁空隙１５と圧力室１０とが共に同じ形状で且つ同じ大きさを有しているので、圧力室群９の長辺に関しては、上述した利益がさらに増強されている。さらに、本実施の形態では、アクチュエータユニット２１が周縁凹部の開口を塞ぐことによって周縁空隙１５、１６、１７が形成されているので、圧力室群９の最外周にある圧力室１０からアクチュエータユニットの外周縁までの距離が十分大きく確保されている。そのため、圧力室群９の最外周にある圧力室１０に対向した領域におけるアクチュエータユニット２１の動作が安定したものとなる。また、周縁凹部の開口がアクチュエータユニット２１によってすべて塞がれる構造となっているので、アクチュエータユニット２１の周縁部がキャビティプレート２２により下支えされている。そのため、接着剤でキャビティプレート２２にアクチュエータユニット２１を接着する際に加えられる圧力によって、アクチュエータユニット２１の周縁部が破損したり、ひび割れたりすることがなくなり、インクジェットヘッド１の歩留まりが向上する。

次に、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。アクチュエータユニット２１上には、圧力室１０と同じパターンで多数の個別電極３５がマトリクス状に配置されている。各個別電極３５は、平面視において圧力室１０と対向する位置に配置されている。

図８は個別電極３５の平面図である。図８に示すように、個別電極３５は、圧力室１０と対向する位置に配置されて平面視において圧力室１０内に収容される主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ圧力室１０外に対向する位置に配置された補助電極領域３５ｂとから構成されている。

図９は、図８のIX−IX線に沿った断面図である。図９に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート４１、４２、４３、４４を含んでいる。これら圧電シート４１〜４４は、ヘッド本体７０内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４４が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。

最上層の圧電シート４１上に形成された個別電極３５の主電極領域３５ａは、図８に示すように、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の主電極領域３５ａにおける下方鋭角部は延出されて、圧力室１０外に対向する補助電極領域３５ｂにつながっている。補助電極領域３５ｂの先端には、個別電極３５と電気的に接続された円形のランド部３６が設けられている。図９に示すように、ランド部３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向している。ランド部３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図８に示すように、補助電極領域３５ｂにおける延出部表面上に接着されている。図９ではＦＰＣ５０の図示を省略しているものの、ランド部３６は、ＦＰＣ５０に設けられた接点と電気的に接合されている。この接合を行う際に、ＦＰＣ５０の接点を、ランド部３６に対して押圧する必要がある。ランド部３６に対向するキャビティプレート２２の領域に、圧力室１０が形成されていないため、十分な押圧により確実な接合を行うことができる。

最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、圧電シート４１と同じ外形及び略２μｍの厚みを有する共通電極３４が介在している。個別電極３５及び共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。

共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。また、個別電極３５は、各圧力室１０に対応するものごとに電位を制御することができるように、各個別電極３５ごとに独立した別のリード線を含むＦＰＣ５０及びランド部３６を介してドライバＩＣ８０に接続されている。

次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性層が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性層（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。

本実施の形態では、圧電シート４１において主電極領域３５ａと共通電極３４とによって挟まれた部分は、電界が印加されると圧電効果によって歪みを発生する活性層として働く。一方、圧電シート４１の下方にある３枚の圧電シート４２〜４４は、外部から電界が印加されることが無く、そのために活性層としてほとんど機能しない。したがって、圧電シート４１において主に主電極領域３５ａと共通電極３４とによって挟まれた部分が、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。

一方、圧電シート４２〜４４は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図１１に示したように、圧電シート４１〜４４で構成されたアクチュエータユニット２１の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート）２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４４は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクを副マニホールド５ａ側から吸い込む。

なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４４が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクが副マニホールド５ａ側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４４が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。

再び図４に戻って、配列方向Ａに３７．５ｄｐｉに相当する幅（６７８．０μｍ）を有し、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に延在する帯状領域Ｒについて考える。この帯状領域Ｒの中では、１６列の圧力室列１１ａ〜１１ｄの内の何れの列についても、ノズル８が１つしか存在していない。すなわち、１つのアクチュエータユニット２１に対応したインク吐出領域内の任意の位置に、このような帯状領域Ｒを区画した場合、この帯状領域Ｒ内には、常に１６個のノズル８が分布している。そして、これら１６個の各ノズル８を配列方向Ａに延びる直線上に射影した点の位置は、印字時の解像度である６００ｄｐｉに相当する間隔ずつ離隔している。

１つの帯状領域Ｒに属する１６個のノズル８を配列方向Ａに延びる直線上に射影した位置が左にあるものから順に、これら１６個のノズル８を（１）〜（１６）と記することにしたとき、これら１６個のノズル８は、下から、（１）、（９）、（５）、（１３）、（２）、（１０）、（６）、（１４）、（３）、（１１）、（７）、（１５）、（４）、（１２）、（８）、（１６）の順番に並んでいる。このように構成されたインクジェットヘッド１において、アクチュエータユニット２１内を印字媒体の搬送に合わせて適宜駆動させると、６００ｄｐｉの解像度を有する文字や図形等を描画することができる。

例えば、６００ｄｐｉの解像度で配列方向Ａに延びる直線を印字する場合について説明する。まず、ノズル８が圧力室１０の同じ側の鋭角部に連通している参考例の場合について簡単に説明する。この場合には、印字蝶体が搬送されるのに対応して、図４中一番下に位置する圧力室列中のノズル８からインクの吐出を始め、順次上側に隣接する圧力室列に属するノズル８を選択してインクを吐出する。これにより、インクのドットが配列方向Ａに向かって６００ｄｐｉの間隔で隣接しながら形成されていく。最終的には、全体で６００ｄｐｉの解像度で配列方向Ａに延びる直線が描かれることになる。

一方、本実施の形態では、図４中一番下に位置する圧力室列１１ｂ中のノズル８からインクの吐出を始め、印字媒体が搬送されるのに伴って順次上側に隣接する圧力室に連通するノズル８を選択してインクを吐出していく。このとき、下側から上側に１圧力室列上がるごとのノズル８位置の配列方向Ａへの変位が同じでないので、印字媒体が搬送されるのに伴って配列方向Ａに沿って順次形成されるインクのドットは、６００ｄｐｉの間隔で等間隔にはならない。

すなわち、図４に示したように、印字媒体が搬送されるのに対応して、まず図中一番下の圧力室列１１ｂに連通するノズル（１）からインクが吐出され、印字媒体上に３７．５ｄｐｉに相当する間隔でドット列が形成される。この後、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から２番目の圧力室列１１ａに連通するノズル（９）の位置に達すると、このノズル（９）からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分の８倍だけ配列方向Ａに変位した位置に２番目のインクドットが形成される。

次に、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から３番目の圧力室列１１ｄに連通するノズル（５）の位置に達すると、ノズル（５）からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分の４倍だけ配列方向Ａに変位した位置に３番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から４番目の圧力室列１１ｃに連通するノズル（１３）の位置に達すると、ノズル(１３)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドットの位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分の１２倍だけ配列方向Ａに変位した位置に４番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から５番目の圧力室列１１ｂに連通するノズル（２）の位置に達すると、ノズル（２）からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分のだけ配列方向Ａに変位した位置に５番目のインクドットが形成される。

以下同様にして、順次図中下側から上側に位置する圧力室１０に連通するノズル８を選択しながらインクドットが形成されていく。このとき、図４中に示したノズル８の番号をＮとすると、（倍率ｎ＝Ｎ−１）×（６００ｄｐｉに相当する間隔）に相当する分だけ、始めに形成されたドット位置から配列方向Ａに変位した位置にインクドットが形成される。最終的に１６個のノズル８を選択し終わったときには、図中一番下の圧力室列１１ｂ中のノズル（１）により３７．５ｄｐｉに相当する間隔で形成されたインクドットの間が６００ｄｐｉに相当する間隔毎に離れて形成された１５個のドットで繋げられ、全体で６００ｄｐｉの解像度で配列方向Ａに延びる直線を描くことが可能になっている。

なお、各インク吐出領域の配列方向Ａについての両端部（アクチュエータユニット２１の斜辺）近傍では、ヘッド本体７０の幅方向に対向する別のアクチュエータユニット２１に対応するインク吐出領域の配列方向Ａについての両端部近傍と相補関係となることで６００ｄｐｉの解像度での印刷が可能となっている。

次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態によるインクジェットヘッドは、周縁空隙の形状を除いて、第１の実施の形態と同様に構成されている。そこで、以下の説明では、両者の相違点に焦点を当てて説明することとする。なお、第１の実施の形態と同じ部材には同じ符号を用いることとし、その説明を省略する。

図１０は、本実施の形態におけるヘッド本体の拡大平面図である。図１０に示すように、本実施の形態において、ヘッド本体７０には、圧力室群９の長辺に沿って、圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する多数の周縁空隙１５が長辺の全域に亘って一直線状に配列されている。そして、圧力室群９の短辺に沿って、圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する多数の周縁空隙１６’が短辺の全域に亘って一直線状に配列されている。さらに、圧力室群９の両斜辺に沿って、圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する多数の周縁空隙１７’が両斜辺の全域に亘って一直線状に配列されている。周縁空隙１６’、１７’は、その付近における断面図である図１１に示すように、キャビティプレート２２に形成された圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する孔（周縁孔１６’ａ、１７’ａ）がアクチュエータユニット２１及びベースプレート２３によって塞がれるように、アクチュエータユニット２１とキャビティプレート２２とベースプレート２３とが積層されることによって画定されている。これら周縁空隙１５、１６’、１７’は、インク流路が接続されていないためにインクを吐出しない。

周縁空隙１６’、１７’は、第１の実施の形態における周辺空隙１６、１７と同じ位置に形成されている。つまり、周縁空隙１６’、１７’は、流路ユニット４の長手方向及び配列方向Ｂに関する圧力室１０のピッチとそれぞれ同じピッチで形成されている。また、周縁空隙１６’、１７’とこれに隣接する圧力室１０との距離は、圧力室群９内において隣接する圧力室１０同士の距離と同じになっており、しかも、互いに対向する周縁空隙１６’、１７’の輪郭線の一部（菱形の一方の鋭角部に連なる二辺又は一辺）と、圧力室１０の輪郭線の一部（菱形の一方の鋭角部に連なる二辺又は一辺）とは平行である。そして、周縁空隙１６’の一方の鋭角部は、この周辺空隙１６’に隣接する２つの圧力室１０の間に位置している。

このように、本実施の形態において、ヘッド本体７０に形成された各圧力室群９は、その周辺全域に亘って、圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する、圧力室相互の間隔と同じ間隔で形成された多数の周縁空隙１５、１６’、１７’によって取り囲まれている。したがって、アクチュエータユニット２１とキャビティプレート２２との接着時における接着剤の流れ込みに起因した圧力室群９の最外周にある圧力室１０に関する流路詰まりをより高い確率で防止できると共に、接着剤の流れ込みによって、圧力室群９の最外周にある圧力室１０の形状が最外周にない圧力室１０と相違することがなくなって、両者の形状をほぼ同じにすることができる。さらに、圧力室群９の最外周にある圧力室１０と最外周にない圧力室１０とで、圧力室１０の周囲にある空隙（圧力室１０又は周縁空隙）の配置関係が同じになり、しかもどの圧力室１０についても周囲に配置された空隙の形状が同じとなる。そのため、両者の間で、インク吐出時における圧力室側壁の撓み量にも実質的な違いが無くなる。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッドでは、圧力室群９の最外周にある圧力室１０と最外周にない圧力室１０とのインク吐出特性がほぼ同じとなっている。このように、周縁空隙１５、１６、１７は、圧力室１０のインク吐出特性の均一化という点で、インク吐出に寄与している。

上述したように、第１及び第２の実施の形態は、周縁空隙の形状を除いて同様に構成されている。したがって、いずれの実施の形態を採用するかは、共通電極の配線を引き出す位置などの具体的な設計条件によって適宜選択されてよい。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。上述した第１及び第２の実施の形態においては、周縁空隙と圧力室との互いに対向する部分の輪郭線を平行としているが、平行でなくてもよい。また、周縁空隙と圧力室との平面形状は同じでなくてもよい。さらに、周縁空隙と圧力室との距離は、隣接する圧力室同士の距離と同じでなくてもよい。また、アクチュエータユニットが、周縁空隙の開口を塞いでいなくてもよい。さらに、周縁空隙の一方の鋭角部がこれに隣接する２つの圧力室間に位置していなくてもよい。

また、上述した実施の形態では流路ユニット４の表面に圧力室の空隙を構成するキャビティ凹部が配列されているが、流路ユニット４内にキャビティ凹部を塞ぐ別のプレートが積層され、そのプレートの上にアクチュエータユニットが積層されてもよい。また、圧力室１０の形状は、楕円、平行四辺形、矩形であってもよい。さらに、平行四辺形形状や菱形であって、各角部が丸められた形状であってもよい。圧力室群の形状も台形に限られず、任意に変更可能である。

本発明の第１の実施の形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。 図１に示すインクジェットヘッドの断面図である。 図１に示すインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。 図３の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図３に示すヘッド本体の圧力室に対応した部分断面図である。 図３に示すヘッド本体の周縁空隙に対応した部分断面図である。 圧力室群と周縁空隙群との位置関係を模式的に描いた図である。 図３に描かれたアクチュエータユニット上に形成された個別電極の平面図である。 図３に描かれたアクチュエータユニットの部分断面図である。 本発明の第２の実施の形態によるインクジェットヘッドにおけるヘッド本体の拡大平面図である。 図１０に示すヘッド本体の周縁空隙に対応した部分断面図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
４ 流路ユニット
５ａ 副マニホールド
７ 個別インク流路
８ ノズル
９ 圧力室群
１０ 圧力室
１０ａ キャビティ孔
１３ アパーチャ
１５、１６、１７ 周縁空隙
１５ａ、１６ａ、１７ａ 周縁孔
１６ｂ 凹部
２１ アクチュエータユニット
２２ キャビティプレート
２３ ベースプレート
２３ａ、２３ｂ 連絡孔
２４ アパーチャプレート
２５ サプライプレート
２６、２７、２８ マニホールドプレート
２９ カバープレート
３０ ノズルプレート
３４ 共通電極
３５ 個別電極
４１〜４４ 圧電シート
５０ ＦＰＣ
５２、５３、５４ 周縁空隙の群
７０ ヘッド本体

Claims (15)

1. インクを吐出するノズル及び共通インク室にそれぞれ連通し且つ圧力室の空隙を構成する、マトリクス状に配列された複数のキャビティ凹部と、前記複数のキャビティ凹部の周縁全域に沿って配列された、前記ノズル及び前記共通インク室のいずれにも連通していない複数の周縁凹部と、を含む流路ユニットと、
   前記キャビティ凹部の開口を塞ぐことによって前記流路ユニットと共に複数の前記圧力室を画定し、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットとを備えており、
   前記複数の周縁凹部が、前記キャビティ凹部相互の間隔と同じ間隔で配列されていると共に、前記周縁凹部と前記キャビティ凹部との距離が、隣接する前記キャビティ凹部同士の距離と同じであるインクジェットヘッド。
2. 前記周縁凹部の開口のうち前記キャビティ凹部に対向した領域の輪郭線と、前記キャビティ凹部の前記開口のうち前記周縁凹部に対向した領域の輪郭線とが平行である請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記アクチュエータユニットを複数備えており、
   各アクチュエータユニットの一部が、前記流路ユニットの長手方向に対して傾斜した斜辺によって画定されていると共に、前記流路ユニットの前記長手方向に関して互いに隣接する２つの前記アクチュエータユニットの前記斜辺同士が前記流路ユニットの幅方向にオーバーラップしており、
   前記斜辺に沿って設けられた前記周縁凹部が、前記キャビティ凹部の一部に相当する形状を有している請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記斜辺に沿って設けられた前記周縁凹部は、前記流路ユニットの前記幅方向に関して前記キャビティ凹部よりも短い請求項３に記載のインクジェットヘッド。
5. 前記周縁凹部の開口が、前記キャビティ凹部の前記開口と同じ形状及び同じ大きさを有している請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
6. 前記アクチュエータユニットは、各キャビティ凹部の前記開口及び各周縁凹部の開口が塞がれるように前記流路ユニットに固定されている請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記キャビティ凹部の前記開口及び前記周縁凹部の開口が２つの鋭角部を有する平行四辺形形状であり、前記周縁凹部の前記開口の一方の鋭角部が当該周縁凹部に隣接する２つの前記キャビティ凹部の前記開口間に位置している請求項１〜６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
8. 吐出されるインクに係る流路の一部である圧力室の空隙を構成する、マトリクス状に配列された複数のキャビティ孔と、吐出されるインクに係る流路を構成しない、前記複数のキャビティ孔の周縁全域に沿って配列された複数の周縁孔と、を含む第１のプレートと、
   前記キャビティ孔の一方の開口が塞がれるように前記第１のプレートの一方の面に重ねられた第２のプレートと、
   複数の前記キャビティ孔のそれぞれに対応して第１及び第２の接続孔が形成された第３のプレートであって、前記第１の接続孔及び前記第２の接続孔が前記キャビティ孔に接続されるように前記第１のプレートの他方の面に重ねられることによって、前記第１及び第２のプレートと共に複数の前記圧力室を画定する第３のプレートとを備えており、
   前記複数の周縁孔が、前記キャビティ孔相互の間隔と同じ間隔で配列されていると共に、前記周縁孔と前記キャビティ孔との距離が、隣接する前記キャビティ孔同士の距離と同じであるインクジェットヘッド。
9. 前記周縁孔の一方の開口のうち前記キャビティ孔に対向した領域の輪郭線と、前記キャビティ孔の前記一方の開口のうち前記周縁孔に対向した領域の輪郭線とが平行である請求項８に記載のインクジェットヘッド。
10. 前記第２のプレートを複数備えており、
    各第２のプレートの一部が、前記第１のプレートの長手方向に対して傾斜した斜辺によって画定されていると共に、前記第１のプレートの前記長手方向に関して互いに隣接する２つの前記第２のプレートの前記斜辺同士が前記第１のプレートの幅方向にオーバーラップしており、
    前記斜辺に沿って設けられた前記周縁孔が、前記キャビティ孔の一部に相当する形状を有している請求項８又は９に記載のインクジェットヘッド。
11. 前記斜辺に沿って設けられた前記周縁孔は、前記第１のプレートの前記幅方向に関して前記キャビティ孔よりも短い請求項１０に記載のインクジェットヘッド。
12. 前記周縁孔の一方の開口が、前記キャビティ孔の前記一方の開口と同じ形状及び同じ大きさを有している請求項８又は９に記載のインクジェットヘッド。
13. 前記第２のプレートは、各キャビティ孔の一方の開口及び各周縁孔の一方の開口が塞がれるように前記第１のプレートの一方の面に重ねられている請求項８〜１２のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
14. 前記周縁孔の一方の開口が前記第２のプレートによって塞がれ、且つ、前記周縁孔の他方の開口が前記第３のプレートによって塞がれている請求項８〜１３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
15. 前記キャビティ孔の両方の開口及び前記周縁孔の両方の開口が２つの鋭角部を有する平行四辺形形状であり、前記周縁孔の各開口の一方の鋭角部が当該周縁孔に隣接する２つの前記キャビティ孔の前記開口間に位置している請求項８〜１４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。

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