Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP4548612B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP4548612B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents

Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component Download PDF

Info

Publication number
JP4548612B2
JP4548612B2 JP2006007335A JP2006007335A JP4548612B2 JP 4548612 B2 JP4548612 B2 JP 4548612B2 JP 2006007335 A JP2006007335 A JP 2006007335A JP 2006007335 A JP2006007335 A JP 2006007335A JP 4548612 B2 JP4548612 B2 JP 4548612B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
powder
inner layer
paste
layer portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006007335A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007189143A (en
Inventor
健寿 田村
要 上田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2006007335A priority Critical patent/JP4548612B2/en
Publication of JP2007189143A publication Critical patent/JP2007189143A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4548612B2 publication Critical patent/JP4548612B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

本発明は、積層セラミック電子部品の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.

積層セラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサは、内層部分と、その上下に設けられた外層部分とで構成されている。内層部分は、コンデンサとしての機能領域であり、セラミック基体とその内部に埋設された複数の内部電極とを有する。外層部分は、機能領域を保護するための保護領域であって、セラミック基体を有する。   A multilayer ceramic capacitor, which is one of the multilayer ceramic electronic components, is composed of an inner layer portion and outer layer portions provided above and below the inner layer portion. The inner layer portion is a functional region as a capacitor, and has a ceramic substrate and a plurality of internal electrodes embedded therein. The outer layer portion is a protective region for protecting the functional region, and has a ceramic base.

積層セラミックコンデンサは通常、次のようにして製造される。誘電体ペーストからセラミックグリーンシートを形成し、内層部分を構成するものにはさらにその上に内部電極を形成するための導体ペーストを塗布する。そして、内層部分を構成するものは、導体ペーストが塗布されたセラミックグリーンシートを積層し、外層部分を構成するものは、セラミックグリーンシートをそのまま積層して、コンデンサの構成に対応したグリーンシート積層体を作る。そして、グリーンシート積層体をプレスした後、裁断し、そのグリーンシート積層体から複数の直方体状のグリーンチップを得る。そして、グリーンチップに対して、隅部を丸める研磨処理や、焼成処理を施し、さらに、端子電極を形成して、積層セラミックコンデンサを得る(特許文献1参照)。   A multilayer ceramic capacitor is usually manufactured as follows. A ceramic green sheet is formed from a dielectric paste, and a conductor paste for forming an internal electrode is further applied to the inner layer portion. And what constitutes the inner layer portion is a laminate of ceramic green sheets coated with a conductive paste, and what constitutes the outer layer portion is a laminate of ceramic green sheets as they are, and is a green sheet laminate corresponding to the structure of the capacitor. make. And after pressing a green sheet laminated body, it cuts and obtains a some rectangular parallelepiped green chip from the green sheet laminated body. Then, the green chip is subjected to a polishing process for rounding corners or a baking process, and a terminal electrode is formed to obtain a multilayer ceramic capacitor (see Patent Document 1).

しかしながら、上述した積層セラミックコンデンサのように、セラミックグリーンシートや内部電極を積層した後に焼成することで製造される積層セラミック電子部品においては、焼成における縮率の差異に応じた焼けムラが生じ、特に、内層部分と外層部分との境界部近傍において、クラックが生じる問題がある。
特開平9−129486号公報
However, as in the multilayer ceramic capacitor described above, in the multilayer ceramic electronic component manufactured by firing after laminating ceramic green sheets and internal electrodes, burn unevenness according to the difference in shrinkage ratio in firing occurs, There is a problem that cracks occur in the vicinity of the boundary between the inner layer portion and the outer layer portion.
JP-A-9-129486

本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、焼成を伴う積層セラミック電子部品の製造方法であって、焼成時の焼けムラを低減することができる積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and is a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component that involves firing, and provides a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component that can reduce burn unevenness during firing. The purpose is to do.

上述した課題を解決するため、本発明は、機能領域である内層部分に対して保護領域である外層部分が少なくとも一つ積層され、前記内層部分は内層セラミック基体と内層導電層とを有し、前記外層部分は外層セラミック基体を有している積層セラミック電子部品、を製造する方法であって、前記内層セラミック基体の形成用ペーストとして、第1のセラミック粉を含むペーストを用意するステップと、前記内層導電層の形成用ペーストとして、導体粉と第2のセラミック粉とを含むペーストを用意するステップと、前記外層セラミック基体の形成用ペーストとして、第3のセラミック粉と前記第2のセラミック粉とを含むペーストを用意するステップと、前記ペーストによってそれぞれ形成された前記内層部分及び前記外層部分が積層されている状態で、焼成を行うステップとを含む。   In order to solve the above-described problem, the present invention is such that at least one outer layer portion that is a protective region is laminated on an inner layer portion that is a functional region, and the inner layer portion includes an inner layer ceramic substrate and an inner layer conductive layer, The outer layer portion is a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component having an outer layer ceramic substrate, wherein a paste containing a first ceramic powder is prepared as a paste for forming the inner layer ceramic substrate; Preparing a paste containing a conductor powder and a second ceramic powder as a paste for forming an inner conductive layer; and a third ceramic powder and a second ceramic powder as a paste for forming the outer ceramic base. And a step of preparing a paste including the inner layer portion and the outer layer portion respectively formed by the paste. In a state where there, and performing a firing.

好適には、第3のセラミック粉として、第1のセラミック粉を用いる。   Preferably, the first ceramic powder is used as the third ceramic powder.

第2のセラミック粉の粒径は、第1のセラミック粉の粒径及び第3のセラミック粉の粒径よりも小さいと好適である。   The particle size of the second ceramic powder is preferably smaller than the particle size of the first ceramic powder and the particle size of the third ceramic powder.

上述した本発明によれば、焼成時の焼けムラが低減され、クラックの発生を低減することができる。   According to the present invention described above, uneven burning during firing is reduced, and generation of cracks can be reduced.

第3のセラミック粉として、第1のセラミック粉を用いる場合には、製造や管理が容易に行える。   When the first ceramic powder is used as the third ceramic powder, manufacturing and management can be easily performed.

第2のセラミック粉の粒径が、第1のセラミック粉の粒径及び第3のセラミック粉の粒径よりも小さい場合には、内層部分と外層部分との縮率差をいっそう小さくすることができる。   When the particle size of the second ceramic powder is smaller than the particle size of the first ceramic powder and the particle size of the third ceramic powder, the difference in shrinkage between the inner layer portion and the outer layer portion may be further reduced. it can.

なお、本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施の形態によって更に詳しく説明する。   The other features of the present invention and the operational effects thereof will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

以下、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法を、積層セラミックコンデンサの製造方法として実施した場合の実施の形態について、添付図面に基づいて説明する。なお、図中、同一符号は同一又は対応部分を示すものとする。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment in which a method for producing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention is implemented as a method for producing a multilayer ceramic capacitor will be described with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.

図1は、本実施の形態に係る製造方法を適用する積層セラミックコンデンサの一例を示す断面図である。図示の積層セラミックコンデンサ1は、セラミックからなるセラミック基体3の内部に、複数の内部電極(内層導電層)5、7が埋設されている。セラミック基体3は後述するように複数のセラミックグリーンシートを積層することによって構成されている。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a multilayer ceramic capacitor to which the manufacturing method according to the present embodiment is applied. In the illustrated multilayer ceramic capacitor 1, a plurality of internal electrodes (inner conductive layers) 5 and 7 are embedded in a ceramic base 3 made of ceramic. The ceramic substrate 3 is configured by laminating a plurality of ceramic green sheets as will be described later.

図中上下に隣り合う関係の内部電極5、7は、位置が互い違いになるように配置され、セラミック基体3を構成するセラミック層を介して向き合っている。内部電極5、7の層数は、要求される静電容量に応じて決定される。   The internal electrodes 5, 7 that are adjacent to each other in the vertical direction in the figure are arranged so that their positions are alternated, and face each other through a ceramic layer constituting the ceramic substrate 3. The number of layers of the internal electrodes 5 and 7 is determined according to the required capacitance.

セラミック基体3は、内層部分9及び外層部分11,13によって構成されている。すなわち、内層部分9を構成する部分が内層セラミック基体3aであり、外層部分11,13を構成する部分が外層セラミック基体3bである。そして、内部電極5、7は、厳密には、セラミック基体3のうちの内層セラミック基体3aに埋設されていた。外層部分11,13は上下一対設けられており、すなわち、内層部分9の上方には上部外層部分11が積層され、内層部分9の下方には下部外層部分13が積層されている。内層部分9は、複数の内部電極(内層導電層)を備えたコンデンサの機能領域であり、外層部分11,13はそれぞれ、保護領域として機能する。   The ceramic substrate 3 is constituted by an inner layer portion 9 and outer layer portions 11 and 13. That is, the portion constituting the inner layer portion 9 is the inner layer ceramic substrate 3a, and the portions constituting the outer layer portions 11 and 13 are the outer layer ceramic substrate 3b. Strictly speaking, the internal electrodes 5 and 7 were embedded in the inner layer ceramic base 3 a of the ceramic base 3. A pair of upper and lower outer layer portions 11 and 13 are provided, that is, an upper outer layer portion 11 is laminated above the inner layer portion 9, and a lower outer layer portion 13 is laminated below the inner layer portion 9. The inner layer portion 9 is a functional region of a capacitor having a plurality of internal electrodes (inner layer conductive layers), and the outer layer portions 11 and 13 each function as a protection region.

セラミック基体3の対向する側面には外部電極としての端子電極15、17が設けられている。内部電極5は、このうちの端子電極15に導通されており、内部電極7は端子電極17に導通されている。   Terminal electrodes 15 and 17 as external electrodes are provided on the opposing side surfaces of the ceramic substrate 3. The internal electrode 5 is electrically connected to the terminal electrode 15, and the internal electrode 7 is electrically connected to the terminal electrode 17.

次に、本実施の形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。本発明の製造方法は、概要としては、内部電極5、7を設けたセラミックグリーンシートを複数枚積層して、内層部分9を構成するとともに、セラミックグリーンシートを複数枚積層して外層部分11,13を構成し、それら内層部分9及び外層部分11,13がブロック状に積層されている状態で、焼成を行うものである。   Next, a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor according to the present embodiment will be described. The outline of the manufacturing method of the present invention is that a plurality of ceramic green sheets provided with internal electrodes 5 and 7 are laminated to form an inner layer portion 9, and a plurality of ceramic green sheets are laminated to form outer layer portions 11, 13 is fired in a state where the inner layer portion 9 and the outer layer portions 11 and 13 are laminated in a block shape.

まず、図2を参照して、内層部分9を構成するシートの形成について説明する。図2に示されるように、可撓性のあるPETフィルム21の上面に、セラミックグリーンシート23を形成する。このセラミックグリーンシート23の形成は、内層セラミック基体3aの形成用のペーストとして、第1のセラミック粉、バインダ、溶剤及び可塑剤などを必要に応じて含む誘電体ペーストを用意し、それをPETフィルム21の上面に塗布し、乾燥させることによる。誘電体ペーストの塗布においては、例えば、ドクターブレード又は押出ヘッド等を用いることができる。セラミックグリーンシート23は、最終的には内層セラミック基体3aを構成するセラミック層となる。   First, with reference to FIG. 2, formation of the sheet | seat which comprises the inner layer part 9 is demonstrated. As shown in FIG. 2, a ceramic green sheet 23 is formed on the upper surface of the flexible PET film 21. The ceramic green sheet 23 is formed by preparing a dielectric paste containing a first ceramic powder, a binder, a solvent, a plasticizer, and the like as needed as a paste for forming the inner layer ceramic substrate 3a. By applying to the top surface of 21 and drying. In applying the dielectric paste, for example, a doctor blade or an extrusion head can be used. The ceramic green sheet 23 finally becomes a ceramic layer constituting the inner layer ceramic substrate 3a.

続いて、乾燥されたセラミックグリーンシート23の上面に、内部電極5、7の形成用のペーストとして、導体粉、共材である第2のセラミック粉、バインダ及び溶剤などを必要に応じて含む導電ペースト25を塗布する。導電ペースト25は、形成すべき内部電極5、7の形状や位置に対応して、セラミックグリーンシート23の上面において、複数部分に分離するように配置される。また、導電ペースト25の配置は、例えば、スクリーン印刷法やグラビア印刷法によって行うことができるが、図2では、スクリーン印刷法を例に示す。   Subsequently, on the upper surface of the dried ceramic green sheet 23, a conductive powder containing a conductive powder, a second ceramic powder that is a co-material, a binder, a solvent, and the like as necessary is formed as a paste for forming the internal electrodes 5 and 7. Paste 25 is applied. The conductive paste 25 is disposed so as to be separated into a plurality of portions on the upper surface of the ceramic green sheet 23 corresponding to the shape and position of the internal electrodes 5 and 7 to be formed. Moreover, although the arrangement | positioning of the electrically conductive paste 25 can be performed by the screen printing method or the gravure printing method, for example, the screen printing method is shown in FIG.

すなわち、スクリーン27の面上で、スキージ29を矢印Fの方向に移動させ、導電ペースト25をセラミックグリーンシート23の面上に押出すことにより印刷する。さらに、印刷された導電ペーストの乾燥を行って、内部電極5、7を得る。   That is, printing is performed by moving the squeegee 29 in the direction of arrow F on the surface of the screen 27 and extruding the conductive paste 25 onto the surface of the ceramic green sheet 23. Further, the printed conductive paste is dried to obtain the internal electrodes 5 and 7.

他方、上述した内層部分9を構成するセラミックグリーンシート23の製造とは別の工程で、外層部分11,13を構成するセラミックグリーンシート11a及び13a(図3参照)を製造する。外層部分11,13を構成するセラミックグリーンシート11a及び13aの形成においても、誘電体ペーストを塗布し、さらに、それを乾燥して、セラミックグリーンシートを得る。外層セラミック基体3bの形成用のペーストとしては、第3のセラミック粉、バインダ、溶剤及び可塑剤などを必要に応じて含み、さらに内部電極5、7の形成用のペーストに共材として用いられていた第2のセラミック粉も含むものを用いる。誘電体ペーストの塗布においては、例えば、ドクターブレード又は押出ヘッド等を用いることができる。セラミックグリーンシート11a及び13aは、最終的には外層セラミック基体3bを構成するセラミック層となる。   On the other hand, ceramic green sheets 11a and 13a (see FIG. 3) constituting the outer layer portions 11 and 13 are produced in a process different from the production of the ceramic green sheet 23 constituting the inner layer portion 9 described above. Also in the formation of the ceramic green sheets 11a and 13a constituting the outer layer portions 11 and 13, a dielectric paste is applied and dried to obtain a ceramic green sheet. The paste for forming the outer layer ceramic substrate 3b includes a third ceramic powder, a binder, a solvent, a plasticizer, and the like as necessary, and is used as a co-material for the paste for forming the internal electrodes 5 and 7. Further, the one containing the second ceramic powder is also used. In applying the dielectric paste, for example, a doctor blade or an extrusion head can be used. The ceramic green sheets 11a and 13a finally become ceramic layers constituting the outer ceramic base 3b.

そして、このようにして用意されたセラミックグリーンシートを図3に示すように積層する。まず、必要層数の下部外層部分13用のセラミックグリーンシート13aを、受台31の上に順次に積層した後、その上に、必要層数の内層部分9用のセラミックグリーンシート23を、順次に積層する。用いられるセラミックグリーンシートの層数は、要求される容量値などによって定まり、合計、数百層に及ぶこともある。さらに、内層部分9の上に、上部外層部分11用のセラミックグリーンシート11aを、順次に積層する。   Then, the ceramic green sheets prepared in this way are laminated as shown in FIG. First, the ceramic green sheets 13a for the lower outer layer portion 13 having the required number of layers are sequentially stacked on the receiving base 31, and then the ceramic green sheets 23 for the inner layer portion 9 having the required number of layers are sequentially formed thereon. Laminate to. The number of ceramic green sheets to be used is determined by the required capacity value and may be several hundred layers in total. Further, ceramic green sheets 11 a for the upper outer layer portion 11 are sequentially laminated on the inner layer portion 9.

なお、セラミックグリーンシートの積層方法には、種々の態様がありえる。例えば、内層部分用セラミックグリーンシートを、必要層数だけ積層して、内層部分用のセラミックグリーンシート積層体を形成する一方、別の工程で、外層部分用セラミックグリーンシートを必要数積層し、その後に両者を重ね合わせてもよい。あるいは、内層部分や外層部分という区分けではなく、何枚かまとめて乾燥させたセラミックグリーンシート積層体を作っては、それを順次に積層していく態様でもよい。さらに、各セラミックグリーンシート毎に形成、乾燥、積層を繰り返す態様も可能である。   In addition, there can exist various aspects in the lamination | stacking method of a ceramic green sheet. For example, the required number of layers of ceramic green sheets for the inner layer portion are laminated to form a ceramic green sheet laminate for the inner layer portion. On the other hand, the required number of ceramic green sheets for the outer layer portion are laminated, and then You may superimpose both. Alternatively, instead of dividing the inner layer portion and the outer layer portion, it is possible to form a ceramic green sheet laminate that has been dried several times at once, and then laminate them sequentially. Further, it is possible to repeat the formation, drying, and lamination for each ceramic green sheet.

内層部分用のセラミックグリーンシート23の積層にあたっては、隣接する2枚の内層部分用のセラミックグリーンシート23において、一方のセラミックグリーンシート23上の内部電極5、7が、他方のセラミックグリーンシート23の内部電極5、7の一部、及び、内部電極5、7間の隙間と重なるようにして、順次に積層する。   In stacking the ceramic green sheets 23 for the inner layer portion, in the two adjacent ceramic green sheets 23 for the inner layer portion, the internal electrodes 5 and 7 on one ceramic green sheet 23 are connected to the other ceramic green sheet 23. The layers are sequentially stacked so as to overlap a part of the internal electrodes 5 and 7 and the gap between the internal electrodes 5 and 7.

この後は、グリーンシート積層体をプレスした後、裁断し、そのグリーンシート積層体から複数の直方体状のグリーンチップを得る。さらに、グリーンチップに対して脱バインダ処理を行い、グリーンチップからバインダ成分をバーンアウトさせた後、焼成を行い、端子電極15、17を形成して、図1に示した積層セラミックコンデンサ1が得られる。   Thereafter, the green sheet laminate is pressed and then cut to obtain a plurality of rectangular green chips from the green sheet laminate. Further, the binder removal treatment is performed on the green chip, and the binder component is burned out from the green chip, followed by firing to form the terminal electrodes 15 and 17, thereby obtaining the multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG. It is done.

積層セラミックコンデンサにおいては、焼成によるクラックの発生が問題となる。内層部分についてみてみると、導電ペーストに包含される導体粉自体は、セラミックグリーンシートを形成するセラミックペーストに包含されたセラミック粉よりも焼けやすい。よって、傾向としては概ね、内部電極の方が内層セラミック基体よりも焼けやすいといえる。   In a multilayer ceramic capacitor, the occurrence of cracks due to firing becomes a problem. Looking at the inner layer portion, the conductor powder itself included in the conductive paste is easier to burn than the ceramic powder included in the ceramic paste forming the ceramic green sheet. Therefore, as a general trend, it can be said that the internal electrode is more easily burned than the inner layer ceramic substrate.

このため、本発明では、導電ペースト25にもセラミック粉を混ぜて焼けにくくし、内部電極5、7の縮率を内層セラミック基体3aの縮率に近づけるようにして、内部電極5、7と内層セラミック基体3aとの間のクラックの発生を抑制している。このように導電ペースト25に混ぜられたセラミック粉が、すなわち、上述した共材としての第2のセラミック粉である。   For this reason, in the present invention, the ceramic paste is also mixed with the conductive paste 25 to make it difficult to burn, and the internal electrodes 5 and 7 and the inner layer are formed so that the contraction ratio of the internal electrodes 5 and 7 is close to the contraction ratio of the inner layer ceramic substrate 3a. The generation of cracks with the ceramic substrate 3a is suppressed. The ceramic powder mixed in the conductive paste 25 in this way is the second ceramic powder as the above-mentioned common material.

なお、本実施の形態では、具体的な一例として、導体粉としてはNi粉を用い、第1のセラミック粉としては、添加物コートされたチタン酸バリウム粉を用い、共材である第2のセラミック粉としては、添加物を含まないチタン酸バリウム粉を用いる。また、第1のセラミック粉であるチタン酸バリウム粉は、平均粒径0.5μmのものを用い、第2のセラミック粉であるチタン酸バリウム粉は、平均粒径0.1μmのものを用い、導体粉であるNi粉は平均粒径0.5μmのものを用いている。   In the present embodiment, as a specific example, Ni powder is used as the conductor powder, and additive-coated barium titanate powder is used as the first ceramic powder. As the ceramic powder, barium titanate powder containing no additive is used. Moreover, the barium titanate powder which is the first ceramic powder is one having an average particle diameter of 0.5 μm, and the barium titanate powder which is the second ceramic powder is one having an average particle diameter of 0.1 μm, Ni powder, which is a conductor powder, has an average particle size of 0.5 μm.

さらに、本発明者の経験によると、焼成によるクラックは、内層部分と外層部分との境界部付近においても生じている。そこで、本発明者はさらに検討を重ねたところ、導電ペーストにおいては、焼成に伴い共材として含まれたセラミック粉が拡散し、その周囲の内層セラミック基体を形成するセラミックペースト内へと流れ込み、組成のずれを引き起こし、これがクラックを発生させるものと考えることができる。   Furthermore, according to the experience of the present inventor, cracks due to firing have also occurred near the boundary between the inner layer portion and the outer layer portion. Therefore, the present inventor has further studied, and in the conductive paste, the ceramic powder contained as a co-material diffuses as it is fired, and flows into the ceramic paste forming the surrounding inner layer ceramic substrate. It can be considered that this causes a shift, and this causes a crack.

つまり、本来の内層セラミック基体形成用のセラミック粉よりも粒径の小さい、共材としてのセラミック粉が、内層セラミック基体の形成用のペーストに流入することで、内層セラミック基体が本来よりも焼けやすくなる。つまり、導体粉との関係では焼けにくさをもたらす共材が、拡散先である内層セラミック基体の形成用ペーストのセラミック粉との関係では焼けやすさをもたらすこととなる。このような経緯により、外層セラミック基体と内層セラミック基体との間には、焼成時の焼けやすさに差異が生じてしまい、それが一因となって、内層部分と外層部分との境界部付近においてもクラックが生じるものと考えられる。   In other words, the ceramic powder as a co-material having a particle size smaller than that of the original ceramic powder for forming the inner layer ceramic base flows into the paste for forming the inner layer ceramic base, so that the inner layer ceramic base is easier to burn than the original. Become. In other words, the common material that causes difficulty in burning in relation to the conductor powder provides ease of burning in the relationship with the ceramic powder of the inner layer ceramic substrate forming paste that is the diffusion destination. Due to such circumstances, there is a difference in burnability during firing between the outer layer ceramic base and the inner layer ceramic base, which contributes to the vicinity of the boundary between the inner layer portion and the outer layer portion. It is considered that cracks occur in the case.

そこで、本発明では、内層セラミック基体3aの形成用のペーストに導電ペースト25の共材である第2のセラミック粉が拡散することを見越して、外層セラミック基体3bの形成用のペーストに本来の第3のセラミック粉に加えて予め第2のセラミック粉を混入しておくこととした。これによって、焼成時の導電ペースト25の共材の拡散を加味し、外層セラミック基体と内層セラミック基体との縮率を接近させる。従って、焼成時の焼けムラが低減され、内層部分と外層部分との境界部付近においてもクラックの発生を低減し、焼成後の素体強度向上を図ることができる。   Therefore, in the present invention, in anticipation of the diffusion of the second ceramic powder, which is the co-material of the conductive paste 25, into the paste for forming the inner layer ceramic base 3a, the original first paste for forming the outer layer ceramic base 3b is used. In addition to the ceramic powder of 3, the second ceramic powder was mixed in advance. This takes into account the diffusion of the common material of the conductive paste 25 during firing, and brings the shrinkage ratio between the outer layer ceramic substrate and the inner layer ceramic substrate closer. Accordingly, uneven burning during firing is reduced, occurrence of cracks can be reduced near the boundary between the inner layer portion and the outer layer portion, and the strength of the body after firing can be improved.

以上、好ましい実施の形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の改変態様を採り得ることは自明である。   Although the contents of the present invention have been specifically described with reference to the preferred embodiments, various modifications can be made by those skilled in the art based on the basic technical idea and teachings of the present invention. It is self-explanatory.

まず、上述した実施の形態において、外層セラミック基体3bの形成用のペーストを構成する第3のセラミック粉として、内層セラミック基体3aの形成用のペーストを構成する第1のセラミック粉を用いることができる。すなわち、具体的な例を挙げると、第1のセラミック粉及び第3のセラミック粉として、共に、平均粒径0.5μmのチタン酸バリウム粉を用いる。このような態様によれば、製造や管理が容易になり、また、内層部分と外層部分との縮率調整に関し設計・制御がより確実に行える。   First, in the above-described embodiment, as the third ceramic powder constituting the paste for forming the outer layer ceramic base 3b, the first ceramic powder constituting the paste for forming the inner layer ceramic base 3a can be used. . That is, as a specific example, barium titanate powder having an average particle size of 0.5 μm is used as the first ceramic powder and the third ceramic powder. According to such an aspect, manufacture and management are facilitated, and design and control can be more reliably performed regarding the reduction ratio adjustment between the inner layer portion and the outer layer portion.

また、第2のセラミック粉の粒径を、第1のセラミック粉及び第3のセラミック粉それぞれの粒径よりも小さくするようにしてもよい。具体的な例を挙げると、第2のセラミック粉として、平均粒径0.1μmのチタン酸バリウム粉を用い第1のセラミック粉及び第3のセラミック粉として、共に、平均粒径0.5μmのチタン酸バリウム粉を用いる。このような態様によれば、内層部分と外層部分との縮率差をいっそう小さくすることができる。   Moreover, you may make it make the particle size of 2nd ceramic powder smaller than the particle size of each of 1st ceramic powder and 3rd ceramic powder. To give a specific example, as the second ceramic powder, barium titanate powder having an average particle diameter of 0.1 μm is used, and both the first ceramic powder and the third ceramic powder have an average particle diameter of 0.5 μm. Barium titanate powder is used. According to such an aspect, the shrinkage difference between the inner layer portion and the outer layer portion can be further reduced.

なお、上述してきたセラミック粉や導体粉の全てにおいて、その材料や粒径はあくまでも例示であり、本発明はそれに限定されるものではない。   In addition, in all the ceramic powder and conductor powder which have been mentioned above, the material and the particle size are merely examples, and the present invention is not limited thereto.

さらに、本発明を適用する積層セラミック電子部品は、積層セラミックコンデンサに限定されるものではない。すなわち、電子部品としての機能を担う導電層を有した機能領域としての層部分と、保護領域としての層部分とを積層することで構成され、その積層状態で焼成が行われるものに対してならば、広く適用することができる。したがって、例えば、インダクタ、LCフィルタ、アレイ部品等に適用することもできる。また、保護領域(外層部分)とは、必ずしも導電材料からなる層を全く含まないものを意味するものではない。要するに、積層状態で焼成を行うことにより、実質的に縮率差が現れる積層構成に対して広く適用することが可能である。   Furthermore, the multilayer ceramic electronic component to which the present invention is applied is not limited to the multilayer ceramic capacitor. That is, for a structure in which a layer portion as a functional region having a conductive layer that functions as an electronic component and a layer portion as a protective region are laminated and fired in the laminated state. Can be widely applied. Therefore, it can also be applied to, for example, inductors, LC filters, array components, and the like. Further, the protective region (outer layer portion) does not necessarily mean that it does not include any layer made of a conductive material. In short, by firing in a laminated state, it can be widely applied to a laminated structure in which a difference in shrinkage substantially appears.

本発明の実施の形態に係る製造方法を適用する積層セラミックコンデンサの断面図である。It is sectional drawing of the multilayer ceramic capacitor to which the manufacturing method which concerns on embodiment of this invention is applied. 本実施の形態におけるシートの形成態様を説明する図である。It is a figure explaining the formation aspect of the sheet | seat in this Embodiment. 本実施の形態におけるシートの積層態様を説明する図である。It is a figure explaining the lamination | stacking aspect of the sheet | seat in this Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 積層セラミックコンデンサ
5、7 内部電極(内層導電層)
9 内層部分
11、13 外層部分

1 Multilayer ceramic capacitor 5, 7 Internal electrode (inner conductive layer)
9 Inner layer part 11, 13 Outer layer part

Claims (3)

機能領域である内層部分に対して保護領域である外層部分が少なくとも一つ積層され、前記内層部分は内層セラミック基体と内層導電層とを有し、前記外層部分は外層セラミック基体を有している積層セラミック電子部品、を製造する方法であって、
前記内層セラミック基体の形成用ペーストとして、粉成分が第1のセラミック粉からなるペーストを用意するステップと、
前記内層導電層の形成用ペーストとして、粉成分が、導体粉と、平均粒径が前記第1のセラミック粉の平均粒径より小さい第2のセラミック粉とからなるペーストを用意するステップと、
前記外層セラミック基体の形成用ペーストとして、粉成分が、平均粒径が前記第2のセラミック粉の平均粒径より大きい第3のセラミック粉と、前記第2のセラミック粉とからなるペーストを用意するステップと、
前記ペーストによってそれぞれ形成された前記内層部分及び前記外層部分が積層されている状態で、焼成を行うステップと
を含む、積層セラミック電子部品の製造方法。
At least one outer layer portion that is a protective region is laminated on the inner layer portion that is a functional region, the inner layer portion has an inner layer ceramic base and an inner layer conductive layer, and the outer layer portion has an outer layer ceramic base. A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising:
As paste for forming the inner layer ceramic substrate comprising the steps of providing a paste powder component consists of a first ceramic powder,
As paste for forming the inner layer conductive layer, the steps of the powder component, prepared a conductor powder, a paste having an average particle diameter made of the average particle diameter is smaller than the second ceramic powder of the first ceramic powder,
As paste for forming the outer layer ceramic substrate, the powder component, to prepare a paste having an average particle diameter of the average particle diameter is larger than the third ceramic powder in the second ceramic powder and the second ceramic powder Steps,
And a step of firing in a state in which the inner layer portion and the outer layer portion respectively formed by the paste are laminated.
前記第3のセラミック粉として、前記第1のセラミック粉を用いる、請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。   The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the first ceramic powder is used as the third ceramic powder. 前記第2のセラミック粉は添加物を含まない、請求項1又は2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。   The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the second ceramic powder does not contain an additive.
JP2006007335A 2006-01-16 2006-01-16 Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component Expired - Fee Related JP4548612B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006007335A JP4548612B2 (en) 2006-01-16 2006-01-16 Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006007335A JP4548612B2 (en) 2006-01-16 2006-01-16 Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007189143A JP2007189143A (en) 2007-07-26
JP4548612B2 true JP4548612B2 (en) 2010-09-22

Family

ID=38344080

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006007335A Expired - Fee Related JP4548612B2 (en) 2006-01-16 2006-01-16 Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4548612B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5166049B2 (en) * 2008-01-21 2013-03-21 太陽誘電株式会社 Ceramic electronic component and method for manufacturing the same

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH025306A (en) * 1988-06-23 1990-01-10 Tdk Corp Conductive paste and thick film product using conductive paste
JPH08115845A (en) * 1994-10-14 1996-05-07 Tokin Corp Monolithic ceramic capacitors
JP4896364B2 (en) * 2003-07-09 2012-03-14 Tdk株式会社 Multilayer ceramic capacitor and manufacturing method thereof
JP2005101318A (en) * 2003-09-25 2005-04-14 Tdk Corp Conductive paste and manufacturing method of ceramic electronic component using it
JP3939281B2 (en) * 2003-09-30 2007-07-04 Tdk株式会社 Electrode paste and method for manufacturing ceramic electronic component using the same
JP3944495B2 (en) * 2004-06-28 2007-07-11 Tdk株式会社 Conductive paste, multilayer ceramic electronic component and manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007189143A (en) 2007-07-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11004607B2 (en) Method for manufacturing multilayer ceramic capacitor
CN102683015B (en) Multilayer ceramic capacitor and manufacture method thereof
KR101681358B1 (en) A multilayer ceramic capacitor and a method for manufactuaring the same
KR101548797B1 (en) A multilayer ceramic capacitor and a method for manufactuaring the same
JP5653886B2 (en) Multilayer ceramic capacitor and manufacturing method thereof
JP7131658B2 (en) electronic components
KR20070092657A (en) Laminated ceramic electronic components
JP5852321B2 (en) Multilayer ceramic capacitor
JPH08130160A (en) Manufacture of multilayer ceramic electronic component
JP4586831B2 (en) CERAMIC GREEN SHEET STRUCTURE AND METHOD FOR PRODUCING MULTILAYER CERAMIC ELECTRONIC COMPONENT
JP2011124540A (en) Stacked ceramic capacitor and method of manufacturing the same
JP5620938B2 (en) Multilayer ceramic capacitor
KR102597153B1 (en) Multi-layered ceramic capacitor and method of manufacturing the same
KR102041622B1 (en) Laminated ceramic electronic parts and fabricating method thereof
JP2009111394A (en) Manufacturing method of multilayer ceramic substrate
JP4548612B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JP2009224503A (en) Multilayer capacitor
JP6110927B2 (en) Multilayer ceramic capacitor
JP4023622B2 (en) Manufacturing method of laminated electronic component
KR102067172B1 (en) Laminated ceramic electronic device and manufacturing method thereof
JP4539489B2 (en) Manufacturing method of multilayer capacitor
JP4450176B2 (en) Dielectric paste for level difference elimination constituting laminated electronic parts and margins
JP7775891B2 (en) Manufacturing method of laminated sheet, manufacturing method of laminated electronic component, and laminated sheet
JP2006278565A (en) Stacked electronic component and its manufacturing method
KR100846079B1 (en) Manufacturing method of multilayer capacitor and multilayer capacitor

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20090217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091021

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091209

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100324

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100330

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100616

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100629

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130716

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees