JP4548612B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents
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Description
本発明は、積層セラミック電子部品の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
積層セラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサは、内層部分と、その上下に設けられた外層部分とで構成されている。内層部分は、コンデンサとしての機能領域であり、セラミック基体とその内部に埋設された複数の内部電極とを有する。外層部分は、機能領域を保護するための保護領域であって、セラミック基体を有する。 A multilayer ceramic capacitor, which is one of the multilayer ceramic electronic components, is composed of an inner layer portion and outer layer portions provided above and below the inner layer portion. The inner layer portion is a functional region as a capacitor, and has a ceramic substrate and a plurality of internal electrodes embedded therein. The outer layer portion is a protective region for protecting the functional region, and has a ceramic base.
積層セラミックコンデンサは通常、次のようにして製造される。誘電体ペーストからセラミックグリーンシートを形成し、内層部分を構成するものにはさらにその上に内部電極を形成するための導体ペーストを塗布する。そして、内層部分を構成するものは、導体ペーストが塗布されたセラミックグリーンシートを積層し、外層部分を構成するものは、セラミックグリーンシートをそのまま積層して、コンデンサの構成に対応したグリーンシート積層体を作る。そして、グリーンシート積層体をプレスした後、裁断し、そのグリーンシート積層体から複数の直方体状のグリーンチップを得る。そして、グリーンチップに対して、隅部を丸める研磨処理や、焼成処理を施し、さらに、端子電極を形成して、積層セラミックコンデンサを得る(特許文献1参照)。 A multilayer ceramic capacitor is usually manufactured as follows. A ceramic green sheet is formed from a dielectric paste, and a conductor paste for forming an internal electrode is further applied to the inner layer portion. And what constitutes the inner layer portion is a laminate of ceramic green sheets coated with a conductive paste, and what constitutes the outer layer portion is a laminate of ceramic green sheets as they are, and is a green sheet laminate corresponding to the structure of the capacitor. make. And after pressing a green sheet laminated body, it cuts and obtains a some rectangular parallelepiped green chip from the green sheet laminated body. Then, the green chip is subjected to a polishing process for rounding corners or a baking process, and a terminal electrode is formed to obtain a multilayer ceramic capacitor (see Patent Document 1).
しかしながら、上述した積層セラミックコンデンサのように、セラミックグリーンシートや内部電極を積層した後に焼成することで製造される積層セラミック電子部品においては、焼成における縮率の差異に応じた焼けムラが生じ、特に、内層部分と外層部分との境界部近傍において、クラックが生じる問題がある。
本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、焼成を伴う積層セラミック電子部品の製造方法であって、焼成時の焼けムラを低減することができる積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and is a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component that involves firing, and provides a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component that can reduce burn unevenness during firing. The purpose is to do.
上述した課題を解決するため、本発明は、機能領域である内層部分に対して保護領域である外層部分が少なくとも一つ積層され、前記内層部分は内層セラミック基体と内層導電層とを有し、前記外層部分は外層セラミック基体を有している積層セラミック電子部品、を製造する方法であって、前記内層セラミック基体の形成用ペーストとして、第1のセラミック粉を含むペーストを用意するステップと、前記内層導電層の形成用ペーストとして、導体粉と第2のセラミック粉とを含むペーストを用意するステップと、前記外層セラミック基体の形成用ペーストとして、第3のセラミック粉と前記第2のセラミック粉とを含むペーストを用意するステップと、前記ペーストによってそれぞれ形成された前記内層部分及び前記外層部分が積層されている状態で、焼成を行うステップとを含む。 In order to solve the above-described problem, the present invention is such that at least one outer layer portion that is a protective region is laminated on an inner layer portion that is a functional region, and the inner layer portion includes an inner layer ceramic substrate and an inner layer conductive layer, The outer layer portion is a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component having an outer layer ceramic substrate, wherein a paste containing a first ceramic powder is prepared as a paste for forming the inner layer ceramic substrate; Preparing a paste containing a conductor powder and a second ceramic powder as a paste for forming an inner conductive layer; and a third ceramic powder and a second ceramic powder as a paste for forming the outer ceramic base. And a step of preparing a paste including the inner layer portion and the outer layer portion respectively formed by the paste. In a state where there, and performing a firing.
好適には、第3のセラミック粉として、第1のセラミック粉を用いる。 Preferably, the first ceramic powder is used as the third ceramic powder.
第2のセラミック粉の粒径は、第1のセラミック粉の粒径及び第3のセラミック粉の粒径よりも小さいと好適である。 The particle size of the second ceramic powder is preferably smaller than the particle size of the first ceramic powder and the particle size of the third ceramic powder.
上述した本発明によれば、焼成時の焼けムラが低減され、クラックの発生を低減することができる。 According to the present invention described above, uneven burning during firing is reduced, and generation of cracks can be reduced.
第3のセラミック粉として、第1のセラミック粉を用いる場合には、製造や管理が容易に行える。 When the first ceramic powder is used as the third ceramic powder, manufacturing and management can be easily performed.
第2のセラミック粉の粒径が、第1のセラミック粉の粒径及び第3のセラミック粉の粒径よりも小さい場合には、内層部分と外層部分との縮率差をいっそう小さくすることができる。 When the particle size of the second ceramic powder is smaller than the particle size of the first ceramic powder and the particle size of the third ceramic powder, the difference in shrinkage between the inner layer portion and the outer layer portion may be further reduced. it can.
なお、本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施の形態によって更に詳しく説明する。 The other features of the present invention and the operational effects thereof will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
以下、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法を、積層セラミックコンデンサの製造方法として実施した場合の実施の形態について、添付図面に基づいて説明する。なお、図中、同一符号は同一又は対応部分を示すものとする。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment in which a method for producing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention is implemented as a method for producing a multilayer ceramic capacitor will be described with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
図1は、本実施の形態に係る製造方法を適用する積層セラミックコンデンサの一例を示す断面図である。図示の積層セラミックコンデンサ1は、セラミックからなるセラミック基体3の内部に、複数の内部電極(内層導電層)5、7が埋設されている。セラミック基体3は後述するように複数のセラミックグリーンシートを積層することによって構成されている。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a multilayer ceramic capacitor to which the manufacturing method according to the present embodiment is applied. In the illustrated multilayer
図中上下に隣り合う関係の内部電極5、7は、位置が互い違いになるように配置され、セラミック基体3を構成するセラミック層を介して向き合っている。内部電極5、7の層数は、要求される静電容量に応じて決定される。
The
セラミック基体3は、内層部分9及び外層部分11,13によって構成されている。すなわち、内層部分9を構成する部分が内層セラミック基体3aであり、外層部分11,13を構成する部分が外層セラミック基体3bである。そして、内部電極5、7は、厳密には、セラミック基体3のうちの内層セラミック基体3aに埋設されていた。外層部分11,13は上下一対設けられており、すなわち、内層部分9の上方には上部外層部分11が積層され、内層部分9の下方には下部外層部分13が積層されている。内層部分9は、複数の内部電極(内層導電層)を備えたコンデンサの機能領域であり、外層部分11,13はそれぞれ、保護領域として機能する。
The
セラミック基体3の対向する側面には外部電極としての端子電極15、17が設けられている。内部電極5は、このうちの端子電極15に導通されており、内部電極7は端子電極17に導通されている。
次に、本実施の形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。本発明の製造方法は、概要としては、内部電極5、7を設けたセラミックグリーンシートを複数枚積層して、内層部分9を構成するとともに、セラミックグリーンシートを複数枚積層して外層部分11,13を構成し、それら内層部分9及び外層部分11,13がブロック状に積層されている状態で、焼成を行うものである。
Next, a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor according to the present embodiment will be described. The outline of the manufacturing method of the present invention is that a plurality of ceramic green sheets provided with
まず、図2を参照して、内層部分9を構成するシートの形成について説明する。図2に示されるように、可撓性のあるPETフィルム21の上面に、セラミックグリーンシート23を形成する。このセラミックグリーンシート23の形成は、内層セラミック基体3aの形成用のペーストとして、第1のセラミック粉、バインダ、溶剤及び可塑剤などを必要に応じて含む誘電体ペーストを用意し、それをPETフィルム21の上面に塗布し、乾燥させることによる。誘電体ペーストの塗布においては、例えば、ドクターブレード又は押出ヘッド等を用いることができる。セラミックグリーンシート23は、最終的には内層セラミック基体3aを構成するセラミック層となる。
First, with reference to FIG. 2, formation of the sheet | seat which comprises the
続いて、乾燥されたセラミックグリーンシート23の上面に、内部電極5、7の形成用のペーストとして、導体粉、共材である第2のセラミック粉、バインダ及び溶剤などを必要に応じて含む導電ペースト25を塗布する。導電ペースト25は、形成すべき内部電極5、7の形状や位置に対応して、セラミックグリーンシート23の上面において、複数部分に分離するように配置される。また、導電ペースト25の配置は、例えば、スクリーン印刷法やグラビア印刷法によって行うことができるが、図2では、スクリーン印刷法を例に示す。
Subsequently, on the upper surface of the dried ceramic
すなわち、スクリーン27の面上で、スキージ29を矢印Fの方向に移動させ、導電ペースト25をセラミックグリーンシート23の面上に押出すことにより印刷する。さらに、印刷された導電ペーストの乾燥を行って、内部電極5、7を得る。
That is, printing is performed by moving the
他方、上述した内層部分9を構成するセラミックグリーンシート23の製造とは別の工程で、外層部分11,13を構成するセラミックグリーンシート11a及び13a(図3参照)を製造する。外層部分11,13を構成するセラミックグリーンシート11a及び13aの形成においても、誘電体ペーストを塗布し、さらに、それを乾燥して、セラミックグリーンシートを得る。外層セラミック基体3bの形成用のペーストとしては、第3のセラミック粉、バインダ、溶剤及び可塑剤などを必要に応じて含み、さらに内部電極5、7の形成用のペーストに共材として用いられていた第2のセラミック粉も含むものを用いる。誘電体ペーストの塗布においては、例えば、ドクターブレード又は押出ヘッド等を用いることができる。セラミックグリーンシート11a及び13aは、最終的には外層セラミック基体3bを構成するセラミック層となる。
On the other hand, ceramic
そして、このようにして用意されたセラミックグリーンシートを図3に示すように積層する。まず、必要層数の下部外層部分13用のセラミックグリーンシート13aを、受台31の上に順次に積層した後、その上に、必要層数の内層部分9用のセラミックグリーンシート23を、順次に積層する。用いられるセラミックグリーンシートの層数は、要求される容量値などによって定まり、合計、数百層に及ぶこともある。さらに、内層部分9の上に、上部外層部分11用のセラミックグリーンシート11aを、順次に積層する。
Then, the ceramic green sheets prepared in this way are laminated as shown in FIG. First, the ceramic
なお、セラミックグリーンシートの積層方法には、種々の態様がありえる。例えば、内層部分用セラミックグリーンシートを、必要層数だけ積層して、内層部分用のセラミックグリーンシート積層体を形成する一方、別の工程で、外層部分用セラミックグリーンシートを必要数積層し、その後に両者を重ね合わせてもよい。あるいは、内層部分や外層部分という区分けではなく、何枚かまとめて乾燥させたセラミックグリーンシート積層体を作っては、それを順次に積層していく態様でもよい。さらに、各セラミックグリーンシート毎に形成、乾燥、積層を繰り返す態様も可能である。 In addition, there can exist various aspects in the lamination | stacking method of a ceramic green sheet. For example, the required number of layers of ceramic green sheets for the inner layer portion are laminated to form a ceramic green sheet laminate for the inner layer portion. On the other hand, the required number of ceramic green sheets for the outer layer portion are laminated, and then You may superimpose both. Alternatively, instead of dividing the inner layer portion and the outer layer portion, it is possible to form a ceramic green sheet laminate that has been dried several times at once, and then laminate them sequentially. Further, it is possible to repeat the formation, drying, and lamination for each ceramic green sheet.
内層部分用のセラミックグリーンシート23の積層にあたっては、隣接する2枚の内層部分用のセラミックグリーンシート23において、一方のセラミックグリーンシート23上の内部電極5、7が、他方のセラミックグリーンシート23の内部電極5、7の一部、及び、内部電極5、7間の隙間と重なるようにして、順次に積層する。
In stacking the ceramic
この後は、グリーンシート積層体をプレスした後、裁断し、そのグリーンシート積層体から複数の直方体状のグリーンチップを得る。さらに、グリーンチップに対して脱バインダ処理を行い、グリーンチップからバインダ成分をバーンアウトさせた後、焼成を行い、端子電極15、17を形成して、図1に示した積層セラミックコンデンサ1が得られる。
Thereafter, the green sheet laminate is pressed and then cut to obtain a plurality of rectangular green chips from the green sheet laminate. Further, the binder removal treatment is performed on the green chip, and the binder component is burned out from the green chip, followed by firing to form the
積層セラミックコンデンサにおいては、焼成によるクラックの発生が問題となる。内層部分についてみてみると、導電ペーストに包含される導体粉自体は、セラミックグリーンシートを形成するセラミックペーストに包含されたセラミック粉よりも焼けやすい。よって、傾向としては概ね、内部電極の方が内層セラミック基体よりも焼けやすいといえる。 In a multilayer ceramic capacitor, the occurrence of cracks due to firing becomes a problem. Looking at the inner layer portion, the conductor powder itself included in the conductive paste is easier to burn than the ceramic powder included in the ceramic paste forming the ceramic green sheet. Therefore, as a general trend, it can be said that the internal electrode is more easily burned than the inner layer ceramic substrate.
このため、本発明では、導電ペースト25にもセラミック粉を混ぜて焼けにくくし、内部電極5、7の縮率を内層セラミック基体3aの縮率に近づけるようにして、内部電極5、7と内層セラミック基体3aとの間のクラックの発生を抑制している。このように導電ペースト25に混ぜられたセラミック粉が、すなわち、上述した共材としての第2のセラミック粉である。
For this reason, in the present invention, the ceramic paste is also mixed with the
なお、本実施の形態では、具体的な一例として、導体粉としてはNi粉を用い、第1のセラミック粉としては、添加物コートされたチタン酸バリウム粉を用い、共材である第2のセラミック粉としては、添加物を含まないチタン酸バリウム粉を用いる。また、第1のセラミック粉であるチタン酸バリウム粉は、平均粒径0.5μmのものを用い、第2のセラミック粉であるチタン酸バリウム粉は、平均粒径0.1μmのものを用い、導体粉であるNi粉は平均粒径0.5μmのものを用いている。 In the present embodiment, as a specific example, Ni powder is used as the conductor powder, and additive-coated barium titanate powder is used as the first ceramic powder. As the ceramic powder, barium titanate powder containing no additive is used. Moreover, the barium titanate powder which is the first ceramic powder is one having an average particle diameter of 0.5 μm, and the barium titanate powder which is the second ceramic powder is one having an average particle diameter of 0.1 μm, Ni powder, which is a conductor powder, has an average particle size of 0.5 μm.
さらに、本発明者の経験によると、焼成によるクラックは、内層部分と外層部分との境界部付近においても生じている。そこで、本発明者はさらに検討を重ねたところ、導電ペーストにおいては、焼成に伴い共材として含まれたセラミック粉が拡散し、その周囲の内層セラミック基体を形成するセラミックペースト内へと流れ込み、組成のずれを引き起こし、これがクラックを発生させるものと考えることができる。 Furthermore, according to the experience of the present inventor, cracks due to firing have also occurred near the boundary between the inner layer portion and the outer layer portion. Therefore, the present inventor has further studied, and in the conductive paste, the ceramic powder contained as a co-material diffuses as it is fired, and flows into the ceramic paste forming the surrounding inner layer ceramic substrate. It can be considered that this causes a shift, and this causes a crack.
つまり、本来の内層セラミック基体形成用のセラミック粉よりも粒径の小さい、共材としてのセラミック粉が、内層セラミック基体の形成用のペーストに流入することで、内層セラミック基体が本来よりも焼けやすくなる。つまり、導体粉との関係では焼けにくさをもたらす共材が、拡散先である内層セラミック基体の形成用ペーストのセラミック粉との関係では焼けやすさをもたらすこととなる。このような経緯により、外層セラミック基体と内層セラミック基体との間には、焼成時の焼けやすさに差異が生じてしまい、それが一因となって、内層部分と外層部分との境界部付近においてもクラックが生じるものと考えられる。 In other words, the ceramic powder as a co-material having a particle size smaller than that of the original ceramic powder for forming the inner layer ceramic base flows into the paste for forming the inner layer ceramic base, so that the inner layer ceramic base is easier to burn than the original. Become. In other words, the common material that causes difficulty in burning in relation to the conductor powder provides ease of burning in the relationship with the ceramic powder of the inner layer ceramic substrate forming paste that is the diffusion destination. Due to such circumstances, there is a difference in burnability during firing between the outer layer ceramic base and the inner layer ceramic base, which contributes to the vicinity of the boundary between the inner layer portion and the outer layer portion. It is considered that cracks occur in the case.
そこで、本発明では、内層セラミック基体3aの形成用のペーストに導電ペースト25の共材である第2のセラミック粉が拡散することを見越して、外層セラミック基体3bの形成用のペーストに本来の第3のセラミック粉に加えて予め第2のセラミック粉を混入しておくこととした。これによって、焼成時の導電ペースト25の共材の拡散を加味し、外層セラミック基体と内層セラミック基体との縮率を接近させる。従って、焼成時の焼けムラが低減され、内層部分と外層部分との境界部付近においてもクラックの発生を低減し、焼成後の素体強度向上を図ることができる。
Therefore, in the present invention, in anticipation of the diffusion of the second ceramic powder, which is the co-material of the
以上、好ましい実施の形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の改変態様を採り得ることは自明である。 Although the contents of the present invention have been specifically described with reference to the preferred embodiments, various modifications can be made by those skilled in the art based on the basic technical idea and teachings of the present invention. It is self-explanatory.
まず、上述した実施の形態において、外層セラミック基体3bの形成用のペーストを構成する第3のセラミック粉として、内層セラミック基体3aの形成用のペーストを構成する第1のセラミック粉を用いることができる。すなわち、具体的な例を挙げると、第1のセラミック粉及び第3のセラミック粉として、共に、平均粒径0.5μmのチタン酸バリウム粉を用いる。このような態様によれば、製造や管理が容易になり、また、内層部分と外層部分との縮率調整に関し設計・制御がより確実に行える。
First, in the above-described embodiment, as the third ceramic powder constituting the paste for forming the outer layer
また、第2のセラミック粉の粒径を、第1のセラミック粉及び第3のセラミック粉それぞれの粒径よりも小さくするようにしてもよい。具体的な例を挙げると、第2のセラミック粉として、平均粒径0.1μmのチタン酸バリウム粉を用い第1のセラミック粉及び第3のセラミック粉として、共に、平均粒径0.5μmのチタン酸バリウム粉を用いる。このような態様によれば、内層部分と外層部分との縮率差をいっそう小さくすることができる。 Moreover, you may make it make the particle size of 2nd ceramic powder smaller than the particle size of each of 1st ceramic powder and 3rd ceramic powder. To give a specific example, as the second ceramic powder, barium titanate powder having an average particle diameter of 0.1 μm is used, and both the first ceramic powder and the third ceramic powder have an average particle diameter of 0.5 μm. Barium titanate powder is used. According to such an aspect, the shrinkage difference between the inner layer portion and the outer layer portion can be further reduced.
なお、上述してきたセラミック粉や導体粉の全てにおいて、その材料や粒径はあくまでも例示であり、本発明はそれに限定されるものではない。 In addition, in all the ceramic powder and conductor powder which have been mentioned above, the material and the particle size are merely examples, and the present invention is not limited thereto.
さらに、本発明を適用する積層セラミック電子部品は、積層セラミックコンデンサに限定されるものではない。すなわち、電子部品としての機能を担う導電層を有した機能領域としての層部分と、保護領域としての層部分とを積層することで構成され、その積層状態で焼成が行われるものに対してならば、広く適用することができる。したがって、例えば、インダクタ、LCフィルタ、アレイ部品等に適用することもできる。また、保護領域(外層部分)とは、必ずしも導電材料からなる層を全く含まないものを意味するものではない。要するに、積層状態で焼成を行うことにより、実質的に縮率差が現れる積層構成に対して広く適用することが可能である。 Furthermore, the multilayer ceramic electronic component to which the present invention is applied is not limited to the multilayer ceramic capacitor. That is, for a structure in which a layer portion as a functional region having a conductive layer that functions as an electronic component and a layer portion as a protective region are laminated and fired in the laminated state. Can be widely applied. Therefore, it can also be applied to, for example, inductors, LC filters, array components, and the like. Further, the protective region (outer layer portion) does not necessarily mean that it does not include any layer made of a conductive material. In short, by firing in a laminated state, it can be widely applied to a laminated structure in which a difference in shrinkage substantially appears.
1 積層セラミックコンデンサ
5、7 内部電極(内層導電層)
9 内層部分
11、13 外層部分
1 Multilayer
9
Claims (3)
前記内層セラミック基体の形成用ペーストとして、粉成分が第1のセラミック粉からなるペーストを用意するステップと、
前記内層導電層の形成用ペーストとして、粉成分が、導体粉と、平均粒径が前記第1のセラミック粉の平均粒径より小さい第2のセラミック粉とからなるペーストを用意するステップと、
前記外層セラミック基体の形成用ペーストとして、粉成分が、平均粒径が前記第2のセラミック粉の平均粒径より大きい第3のセラミック粉と、前記第2のセラミック粉とからなるペーストを用意するステップと、
前記ペーストによってそれぞれ形成された前記内層部分及び前記外層部分が積層されている状態で、焼成を行うステップと
を含む、積層セラミック電子部品の製造方法。 At least one outer layer portion that is a protective region is laminated on the inner layer portion that is a functional region, the inner layer portion has an inner layer ceramic base and an inner layer conductive layer, and the outer layer portion has an outer layer ceramic base. A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising:
As paste for forming the inner layer ceramic substrate comprising the steps of providing a paste powder component consists of a first ceramic powder,
As paste for forming the inner layer conductive layer, the steps of the powder component, prepared a conductor powder, a paste having an average particle diameter made of the average particle diameter is smaller than the second ceramic powder of the first ceramic powder,
As paste for forming the outer layer ceramic substrate, the powder component, to prepare a paste having an average particle diameter of the average particle diameter is larger than the third ceramic powder in the second ceramic powder and the second ceramic powder Steps,
And a step of firing in a state in which the inner layer portion and the outer layer portion respectively formed by the paste are laminated.
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