JP4565398B2 - 液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、圧電振動子を備えた圧電アクチュエータユニットに関する。この圧電アクチュエータユニットは、例えば、液体噴射ヘッドやマイクロポンプの部品として好適に用いられている。ここで、液体噴射ヘッドは、ノズル開口から液滴を吐出させるものであり、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレーの製造に用いられる液晶噴射ヘッド、カラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド等がある。また、マイクロポンプは、極く微量の液体を扱うことができる超小型のポンプである。

また、本発明は、ノズル開口から液滴を噴射する液体噴射装置に関する。従来の液体噴射装置の代表例としては、画像記録用のインクジェット式記録ヘッドを備えたインクジェット式記録装置がある。その他の液体噴射装置としては、例えば液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッドを備えた装置、有機ＥＬディスプレー、面発光ディスプレー（ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材（導電ペースト）噴射ヘッドを備えた装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドを備えた装置、精密ピペットとしての試料噴射ヘッドを備えた装置等が挙げられる。

圧電振動子を備えた圧電アクチュエータユニットを用いた装置として液体噴射装置があり、その代表例であるインクジェット式記録装置は、印刷時の騒音が比較的小さく、しかも小さなドットを高い密度で形成できるため、昨今においてはカラー印刷を含めた多くの印刷に使用されている。

このインクジェット式記録装置は、一般に、キャリッジに搭載されて記録紙等の記録媒体の幅方向（ヘッド走査方向）に往復移動するインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）と、記録媒体をヘッド走査方向と直交する方向（媒体送り方向）に移動させる送り手段と、を備えている。

このインクジェット式記録装置においては、印刷データに対応して記録ヘッドより記録媒体に対してインク滴（液滴）を吐出させることで印刷が行われる。そして、キャリッジに搭載される記録ヘッドを、例えばブラック、イエロー、シアン、マゼンタの各色のインクの吐出が可能なものとすることにより、ブラックインクによるテキスト印刷ばかりでなく、各インクの吐出割合を変えることにより、フルカラー印刷を可能としている。

図１８は、従来のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの一例を示した断面図である。

この記録ヘッド１６２は、合成樹脂製のケース１６３と、このケース１６３の前面（図の左側に相当する）に貼着された流路ユニット１６４とを備えている。そして、この流路ユニット１６４は、多数のノズル開口１６５が穿設されたノズルプレート１６６と、流路形成板１６８と、弾性板１７６と、振動板１６７とを積層して構成されている。

ケース１６３は、前面と背面に開放された収容空間１６９が設けられたブロック状部材である。この収容空間１６９には、固定基板１７０に固定された圧電振動子１６１が収容されている。この圧電振動子１６１は縦振動モードを持っている。

ノズルプレート１６６は、副走査方向に沿って多数のノズル開口１６５が列状に穿設された薄い板状部材である。各ノズル開口１６５は、ドット形成密度に対応した所定ピッチで配置されている。振動板１６７及び弾性板１７６によって、圧電振動子１６１の先端が接合された島状の厚肉部１７１と、この厚肉部１７１の周囲を囲うようにして設けられ、弾性を有する薄肉部１７２とが形成されている。流路形成板１６８には、圧力室１７３、共通インク室１７４、及び、これらの圧力室１７３と共通インク室１７４とを連通するインク供給口１７５が形成されている。

そして、ノズルプレート１６６を流路形成板１６８の前面に配置するとともに、振動板１６７及び弾性板１７６を背面側に配置し、ノズルプレート１６６と振動板１６７及び弾性板１７６とにより流路形成板１６８を挟んだ状態で接着等により一体化されて流路ユニット１６４が形成されている。

圧電振動子１６１の先端は、厚肉部１７１に背面側から接合され、この状態で圧電振動子１６１がケース１６３に固定されている。また、この圧電振動子１６１にはフレキシブルケーブル１７７が接続されており、このフレキシブルケーブル１７７を介して駆動信号（ＣＯＭ）や印刷データ（ＳＩ）等が供給される。

図１８に示した縦振動モードの圧電振動子１６１は、充電されると電界と直交する方向に収縮し、放電すると電界と直交する方向に伸長する特性を有する。したがって、この記録ヘッド１６２では、充電されることにより圧電振動子１６１は後方に収縮し、この収縮に伴って厚肉部１７１が後方に引き戻され、収縮していた圧力室１７３が膨張する。この膨張に伴って共通インク室１７４のインクがインク供給口１７５を通って圧力室１７３内に流入する。一方、放電することにより圧電振動子１６１は前方に向けて伸長し、厚肉部１７１が前方に押されて圧力室１７３が収縮する。この収縮に伴って圧力室１７３内のインク圧力が高くなり、ノズル開口１６５からインク滴が吐出される。
特開２００２−２３４１７１号公報 特開２００２−５９５４７号公報 特開２００１−７１４８６号公報 特開平８−１１３０４号公報

ところで、インクジェット式記録装置において印刷の画質を高めたり、或いは印刷速度を高めるためには、記録ヘッドのノズルピッチを小さくしてノズル密度を高めることが望ましい。

しかしながら、従来の圧電アクチュエータユニットを使用する図１８に示した記録ヘッドにおいては、そのノズルピッチを小さくしてノズル密度を現行よりも高めることは、製造上の制約があるために極めて困難である。

記録ヘッドにおいてそのノズルピッチを小さくすることは、同時に圧力室同士のピッチを小さくすることになり、このように圧力室同士のピッチが小さくなると、圧力室の上方に形成された島状の厚肉部と圧力室隔壁との間隔が狭くなる。これは、圧電振動子を駆動した際の反力の増大を招き、印刷時のクロストークの悪化や、記録ヘッドを構成する部材の接着剥がれ等が引き起こされることになる。

前記の如くノズル密度の向上（ノズルピッチの短縮）には限界があるため、１列あたりのノズル数を増やすのではなく、ノズル列の数を増やすことにより１つの記録ヘッドに形成されるノズル開口の総数を増やす方法がある。

ところが、従来の記録ヘッドの構造では、ノズル列数の増加に応じて圧電アクチュエータユニットの数を増やさなければならなかった。一般に、１つの圧電アクチュエータユニットは、圧電材料層と電極層とを積層して構成された１つの積層体バルクから製造される。従って、製造すべき圧電アクチュエータユニットの数だけ積層体バルクが必要となり、これによって製造コストの増加をもたらされる。また、一般に、記録ヘッドを組み立てる際には圧電アクチュエータユニットごとに配線（テープキャリアパッケージ等）が必要とされるので、圧電アクチュエータユニット数の増加によって配線の必要数も増加し、製造工程の複雑化や記録ヘッド周りの煩雑化がもたらされてしまう。

なお、１つの積層体バルクから２つの圧電振動子列を形成する技術も提案されている（特開平８−１１３０４号）。しかしながら、この技術は、圧電振動子列同士を切り分けるために積層体バルクの中央に溝を形成するものであるため、例えば配線の引き回しに関しては、結局、別体の２つの圧電アクチュエータユニットを設けた構成と同等であって、配線の煩雑化は避けられない。

本発明は、上述した事情を考慮してなされたのであって、その目的とするところは、主として、クロストークの増加や接着剤剥がれ等が引き起こされることなく、しかも、製造コストの過大な増加や配線の煩雑化がもたらされることもなしにノズル数を増加させることができる液体噴射ヘッドを提供可能とする圧電アクチュエータユニットを提供し、また、それを用いた液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置を提供することにある。

本発明の一参考例は、電極層と圧電材料層とが交互に積層され、両層の積層方向に振動する複数の圧電振動子を備えた圧電アクチュエータユニットであって、前記複数の圧電振動子は、前記積層方向に直交する振動子配列方向に沿って一列に並設されており、各圧電振動子は、前記積層方向及び前記振動子配列方向の両方に直交する振動子幅方向の一側の領域と他側の領域とを含み、前記一側の領域と前記他側の領域のいずれか一方が圧電変形可能な活性部を形成すると共にいずれか他方が圧電変形不能な非活性部を形成しており、隣り合う圧電振動子同士では前記活性部及び前記非活性部の配置が逆であり、各圧電振動子は駆動電圧入力側の個別電極層を有し、前記複数の圧電振動子のすべての前記個別電極層が前記振動子幅方向における前記圧電アクチュエータユニットの一側の側面に露出していることを特徴とする。

また、好ましくは、前記複数の圧電振動子のそれぞれは、さらに、基準電位側の共通電極層を有し、前記複数の圧電振動子のすべての前記共通電極層が、前記振動子幅方向における前記圧電アクチュエータユニットの他側の側面に露出している。

また、好ましくは、前記複数の圧電振動子を駆動するための外部駆動手段をさらに備え、前記複数の圧電振動子のすべての前記個別電極層が、前記圧電アクチュエータユニットの一つの面にて前記外部駆動手段と電気的に接続されている。

また、好ましくは、前記圧電アクチュエータユニットの一側の側面に露出した、前記複数の圧電振動子のそれぞれの前記個別電極層に電気的に接続された複数の個別外部電極と、前記圧電アクチュエータユニットの他側の側面に露出した、前記複数の圧電振動子のすべての前記共通電極層に対して電気的に接続された共通外部電極と、をさらに備え、前記共通外部電極は、前記個別外部電極と同じ側に引き出されている。

また、好ましくは、前記圧電振動子同士の間に前記振動子幅方向の全体にわたって延在する圧電変形不能の非活性壁部分を介して、前記複数の圧電振動子が互いに分離されることなく一体に形成されている。

また、好ましくは、前記複数の圧電振動子はそれぞれが独立に形成されており、前記アクチュエータユニットの前記積層方向の一側に配置された固定基板によって前記複数の圧電振動子が一体に固定されている。

また、好ましくは、前記固定基板は快削性セラミクスによって形成されている。

また、好ましくは、前記固定基板を保持する圧電アクチュエータユニット基板をさらに備える。

また、好ましくは、前記複数の圧電振動子の電極層に電気的に接続されたテープキャリアパッケージをさらに備え、前記テープキャリアパッケージは前記複数の圧電振動子を駆動するための集積回路を含み、前記集積回路の裏面は前記圧電アクチュエータユニット基板に少なくとも部分的に固定されている。

本発明による液体噴射装置は、液滴が噴射される複数のノズル開口が所定のピッチで列状に形成されたノズル形成面を有する液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、前記液体噴射ヘッドは、前記複数のノズル開口のそれぞれに連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室のそれぞれの一面を形成する複数の弾性壁と、前記弾性壁を変形させて前記圧力室の容積を変化させる圧電アクチュエータユニットと、を有し、前記複数のノズル開口及び前記複数の圧力室は、互いに平行な第１列及び第２列をなして配置されると共に、前記第１列に属する前記ノズル開口及び前記圧力室と前記第２列に属する前記ノズル開口及び前記圧力室とが前記所定のピッチの半分のピッチで互いにずれており、前記圧電アクチュエータユニットは、前記複数の圧力室に対応させて前記所定のピッチの半分のピッチで１列に配置された複数の圧電振動子を有し、前記複数の圧電振動子のそれぞれが、前記第１列又は前記第２列に属する前記圧力室に対応する圧電変形可能な活性部と、前記第２列又は前記第１列に属する前記圧力室同士を隔離する隔壁に対応する圧電変形不能な非活性部と、を含み、隣り合う前記圧電振動子同士では前記活性部及び前記非活性部の配置が逆であり、各圧電振動子は駆動電圧入力側の個別電極層を有し、前記複数の圧電振動子のすべての前記個別電極層が前記振動子幅方向における前記圧電アクチュエータユニットの一側の側面に露出しており、前記複数の弾性壁は、前記複数の圧力室の全体を覆う弾性板の一部から成り、前記弾性板の前記圧電アクチュエータユニット側の面は、前記複数の弾性壁のそれぞれの周囲においては前記圧電アクチュエータユニットのみに接合されており、前記複数の圧力室のそれぞれに対応して形成され、前記複数の圧電振動子のそれぞれの前記活性部が接合された複数の島状の可動厚肉部と、前記複数の圧力室同士を隔離する前記隔壁に対応して形成され、前記複数の圧電振動子のそれぞれの前記非活性部が接合された複数の半島状の固定厚肉部と、前記第１列に対応する前記半島状の固定厚肉部同士を連結する第１厚肉基部と、前記第２列に対応する前記半島状の固定厚肉部同士を連結する第２厚肉基部とが、前記弾性板の前記圧電アクチュエータユニット側の面に設けられていることを特徴とする。
また、好ましくは、前記複数の圧電振動子のそれぞれは、さらに、基準電位側の共通電極層を有し、前記複数の圧電振動子のすべての前記共通電極層が、前記振動子幅方向における前記圧電アクチュエータユニットの他側の側面に露出している。

また、好ましくは、前記圧電振動子は圧電材料層と電極層とを前記ノズル形成面に垂直な方向に沿って積層して形成されており、前記圧電振動子は前記圧電材料層及び前記電極層の積層方向に振動する。

また、好ましくは、前記複数の圧電振動子のすべてと外部駆動源とが前記圧電アクチュエータユニットの一側面にて電気的に接続されている。

また、好ましくは、前記圧電アクチュエータユニットを複数備え、前記複数のノズル開口及び前記複数の圧力室で構成される前記第１列及び前記第２列から成る組を複数備え、前記第１列及び前記第２列から成る各組毎に前記圧電アクチュエータユニットを配置する。

また、好ましくは、前記第１厚肉基部及び前記第２厚肉基部は、前記圧力室に関して、前記ノズル開口が形成された側とは反対側に配置されている。

また、好ましくは、前記隔壁に対応して形成された前記島状の固定厚肉部又は前記半島状の固定厚肉部の長さは、前記圧力室に対応して形成された前記島状の可動厚肉部の長さよりも長い。

また、好ましくは、前記弾性壁は、前記島状の可動厚肉部に対応する部分と、前記島状の可動厚肉部の周囲に形成されたコンプライアンス部と、を有し、前記コンプライアンス部の外側輪郭は、前記複数のノズル開口の配列方向においては、前記隔壁に対応して形成された前記島状の固定厚肉部又は前記半島状の固定厚肉部によって規定され、前記複数のノズル開口の配列方向に直行する方向においては、前記圧力室を形成する側壁面の一部及び前記圧力室のインク供給口によって規定される。

また、好ましくは、前記圧電振動子は圧電材料層と電極層とを前記ノズル形成面に垂直な方向に沿って積層して形成されており、前記圧電振動子は前記圧電材料層及び前記電極層の積層方向に振動し、前記圧電振動子同士の間に前記振動子幅方向の全体にわたって延在する圧電変形不能の非活性壁部分を介して、前記複数の圧電振動子が互いに分離されることなく一体に形成されている。

本発明の一参考例は、電極層と圧電材料層とが交互に積層され両層の積層方向に振動する複数の圧電振動子を、前記積層方向に直交する振動子配列方向に沿って一列に並べて構成された圧電アクチュエータユニットを製造する方法であって、前記複数の圧電振動子の基準電位側の共通電極層を形成するための第１導電材料層と、前記複数の圧電振動子の駆動電圧入力側の個別電極層を形成するための第２導電材料層とを、圧電材料層を間に挟んで交互に積層して積層体を形成する積層工程を備え、前記第１導電材料層には、前記振動子配列方向に沿って第１窓列をなして所定のピッチで配置された複数の第１窓部が形成されており、前記第２導電材料層には、前記第１窓列に平行な第２窓列をなして前記所定のピッチで配置された複数の第２窓部が形成されており、前記第１窓部と前記第２窓部とが前記所定のピッチの半分のピッチで前記振動子配列方向に互いにずれていることを特徴とする。

また、好ましくは、前記積層方向における前記積層体の一方の面に固定基板を接合する工程をさらに備える。

また、好ましくは、前記積層方向及び前記振動子配列方向の両方に直交する振動子幅方向における前記積層体の一方の面に、前記第２導電材料層に接続される第２外部導電材料層を形成する工程と、前記振動子幅方向における前記積層体の他方の面に前記第１導電材料層に接続される第１外部導電材料層を形成し、前記第１外部導電材料層を、前記固定基板の、前記積層体が接合された面と反対側の面を通って、前記第２外部導電材料層が形成された前記積層体の一方の面まで引き出すようにして延設する工程と、をさらに備える。

また、好ましくは、前記積層方向に沿って前記積層体に複数の切り込みを形成して前記複数の圧電振動子を形成する工程であって、前記複数の切り込みのそれぞれが、前記振動子配列方向における前記第１窓部の端部及び前記第２窓部の端部の両方にかかる位置にて形成される工程をさらに備える。

また、好ましくは、前記第１導電材料層又は前記第２導電材料層が、前記複数の圧電振動子の先端に相当する前記積層体の端面にも形成される。

また、好ましくは、前記複数の圧電振動子を駆動するための外部駆動手段を、前記積層体の一つの面にて、前記複数の圧電振動子のすべての前記個別電極層に電気的に接続する工程をさらに備える。

本発明の一参考例は、電極層と圧電材料層とが交互に積層され両層の積層方向に振動する複数の圧電振動子を、前記積層方向に直交する振動子配列方向に沿って一列に並べて構成された圧電アクチュエータユニットを製造するために使用される圧電構造体であって、前記複数の圧電振動子の基準電位側の共通電極層を形成するための第１導電材料層と、前記複数の圧電振動子の駆動電圧入力側の個別電極層を形成するための第２導電材料層とを、圧電材料層を間に挟んで交互に積層して形成された積層体を備え、前記第１導電材料層には、前記振動子配列方向に沿って第１窓列をなして所定のピッチで配置された複数の第１窓部が形成されており、前記第２導電材料層には、前記第１窓列に平行な第２窓列をなして前記所定のピッチで配置された複数の第２窓部が形成されており、前記第１窓部と前記第２窓部とが前記所定のピッチの半分のピッチで前記振動子配列方向に互いにずれている、ことを特徴とする。

また、好ましくは、前記積層方向における前記積層体の一方の面に接合された固定基板をさらに備える。

また、好ましくは、前記積層方向及び前記振動子配列方向の両方に直交する振動子幅方向における前記積層体の一方の面に形成され、前記第２導電材料層に接続された第２外部導電材料層と、前記振動子幅方向における前記積層体の他方の面に形成され、前記第１導電材料層に接続された第１外部導電材料層であって、前記固定基板の、前記積層体が接合された面と反対側の面を通って、前記第２外部導電材料層が形成された前記積層体の一方の面まで引き出すようにして延設された第１外部導電材料層と、をさらに備える。

また、好ましくは、前記積層方向に沿って前記積層体に形成された複数の切り込みによって前記複数の圧電振動子が形成され、前記複数の切り込みのそれぞれが、前記振動子配列方向における前記第１窓部の端部及び前記第２窓部の端部の両方にかかる位置にて形成されている。

また、好ましくは、前記第１導電材料層又は前記第２導電材料層が、前記複数の圧電振動子の先端に相当する前記積層体の端面にも形成されている。

また、好ましくは、前記積層体の一つの面にて前記複数の圧電振動子のすべての前記個別電極層に接続された、前記複数の圧電振動子を駆動するための外部駆動手段をさらに備える。

以上述べたように本発明によれば、クロストークの増加や接着剤剥がれ等が引き起こされることなく、しかも、製造コストの過大な増加や配線の煩雑化がもたらされることもなしに液体噴射ヘッドのノズル数を増加させることが可能となる。

また、本発明によれば、圧電アクチュエータユニットの一つの側面から複数の圧電振動子のすべてに駆動信号を供給することができるので、ノズル数の増加に起因する配線の煩雑化を避けることができる。

以下、本発明の参考例の一実施形態による圧電アクチュエータユニットを備えた液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置について図面を参照して説明する。

図１は、本実施形態による圧電アクチュエータユニットを用いたインクジェット式記録装置の概略構成を示した斜視図である。図１中符号１はキャリッジであり、このキャリッジ１はキャリッジモータ２により駆動されるタイミングベルト３を介して、ガイド部材４に案内されてプラテン５の軸方向に往復移動されるように構成されている。プラテン５は、記録紙６（記録媒体の一種）をその裏面から支持してインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）１２に対する記録紙６の位置を規定する。

キャリッジ１、キャリッジモータ２、タイミングベルト３、及びガイド部材４は、記録ヘッド１２をキャリッジ１と共にヘッド走査方向に走査させるキャリッジ機構を構成している。

記録ヘッド１２は、キャリッジ１の記録紙６に対向する側に搭載されている。キャリッジ１には、記録ヘッド１２にインクを供給するインクカートリッジ７が着脱可能に装着されている。

インクジェット式記録装置の非印刷領域であるホームポジション(図１中、右側)にはキャップ部材１３が配置されており、このキャップ部材１３はキャリッジ１に搭載された記録ヘッド１２がホームポジションに移動した時に、記録ヘッド１２のノズル形成面に押し当てられてノズル形成面との間に密閉空間を形成するように構成されている。そして、キャップ部材１３の下方には、キャップ部材１３により形成された密閉空間に負圧を与えるための吸引ポンプ１０が配置されている。

キャップ部材１３の印刷領域側の近傍には、ゴムなどの弾性板（弾性ブレード）から成るワイピング部材１１が記録ヘッド１２の移動軌跡に対して例えば水平方向に進退できるように配置されていて、キャリッジ１がキャップ部材１３側から印刷領域側に移動するに際して、必要に応じて記録ヘッド１２のノズル形成面を払拭することができるように構成されている。

このインクジェット式記録装置は、さらに、記録ヘッド１２により印刷（記録）が行われる記録紙６をヘッド走査方向に対して直交する媒体送り方向に間欠的に搬送する媒体送り機構を備えている。

次に、図２乃至図８を参照して本実施形態による圧電アクチュエータユニットを用いたインクジェット式記記録ヘッド（液体噴射ヘッド）１２について詳述する。

図２及びそのＡ−Ａ断面図である図３に示したようにこの記録ヘッド１２は、合成樹脂製のケース２０と、このケース２０の底面に貼着された流路ユニット２１とを備えている。流路ユニット２１は、多数のノズル開口２３Ａ、２３Ｂ（図２及び図３には２３Ａのみを示す。）が穿設されたノズルプレート２４と、流路形成板２５と、弾性板２６と、振動板２７とを積層し、接着等により一体化して形成されている。ノズルプレート２４は、副走査方向に沿って多数のノズル開口２３Ａ、２３Ｂが穿設された薄い板状部材であり、ノズルプレート２４の下面はノズル形成面２２を形成している。

ケース２０は、上面と底面で開放する収容空間２８が設けられたブロック状部材である。この収容空間２８には、本発明の一実施形態である圧電アクチュエータユニット２９とその上面に取り付けられた圧電アクチュエータユニット基板３０が収容されている。

圧電アクチュエータユニット２９には、駆動集積回路３１を持つテープキャリアパッケージ３２が電気的に接続されている。駆動集積回路３１の一面は圧電アクチュエータユニット基板３０に接着されており、これにより、駆動集積回路３１の冷却効果が得られる。

圧電アクチュエータユニット２９は一列に配置された複数の圧電振動子３３を有している。この圧電振動子３３は、電極層と圧電材料層とがノズル形成面２２に垂直な方向に沿って交互に積層されて構成され、両層の積層方向に振動するものであり、圧電歪定数ｄ３３を持っている。圧電振動子３３は、圧電変形可能な活性部３３ａと、圧電変形不能な非活性部３３ｂとを有している。

流路形成板２５には、複数の圧力室３４Ａ、３４Ｂ（図２及び図３には３４Ａのみを示す。）、インク種毎に形成された共通インク室３５、及び、圧力室３４Ａ，３４Ｂと共通インク室３５とを圧力室３４Ａ，３４Ｂ毎に連通するインク供給口３６が形成されている。圧力室３４Ａ（３４Ｂ）同士の間は隔壁３７で隔離されている。各圧力室３４Ａ，３４Ｂの上面開口は、単一の弾性板２６の一部から成る各弾性壁２６ａによって封止されている。弾性壁２６ａは、圧電アクチュエータユニット２９の圧電振動子３３の変形に応じて変形し、これにより圧力室３４Ａ，３４Ｂの容積を変化させることができる。

圧電振動子３３の活性部３３ａ（図４，図５）の先端が接合された島状の可動厚肉部３８と、この可動厚肉部３８の周囲を囲うように設けられ、弾性を有する薄肉部（コンプライアンス部）３９と、隔壁３７に対応して形成され、圧電振動子３３の非活性部３３ｂ（図４，図５）の先端が接合された島状の固定厚肉部４０とが、弾性板２６及び振動板２７によって形成されている。

ケース２０には共通インク室３５にインクを供給するためのインク供給路４１がインク種毎に形成されている。このインク供給路４１は弾性板２６及び振動板２７を貫通して共通インク室３５に連通している。

本実施形態による圧電アクチュエータユニットを用いたインクジェット式記録ヘッドは、所定のピッチで配設された多数のノズル開口２３Ａ、２３Ｂから成る互いに平行な２列のノズル列を備えている。図４は第１列のノズル開口２３Ａを含む縦断面図であり、図５は第２列のノズル開口２３Ｂを含む縦断面図である。また、図６は、ノズル開口２３Ａ、２３Ｂ、圧力室３４Ａ，３４Ｂ、及びインク流路の配置構成を示した図であり、図７は、可動厚肉部３８及び固定厚肉部４０の配置構成を示した図であり、図８は、圧電振動子３３の配置構成を示した図である。なお、図４は図６のＡ−Ａ断面図であり、図５は図６のＢ−Ｂ断面図である。

図６から分かるように、第１列に属するノズル開口２３Ａ及び圧力室３４Ａと、第２列に属するノズル開口２３Ｂ及び圧力室３４Ｂとが、ノズル開口２３Ａ（又は２３Ｂ）同士の所定のピッチの半分のピッチで互いにずれている。

また、図３及び図８から分かるように、圧電アクチュエータユニット２９は、複数の圧力室３４Ａ、３４Ｂに対応させてノズル開口２３Ａ（又は２３Ｂ）同士の所定のピッチ（ノズルピッチ）の半分のピッチで一列に配置された複数の圧電振動子３３を有している。

そして、図４及び図５に示したように、電極層４３，４４及び圧電材料層４９の積層方向に直行する振動子配列方向（図４，図５の紙面に垂直な方向）に一列に並設された複数の圧電振動子３３のそれぞれが、積層方向及び振動子配列方向の両方に直交する振動子幅方向（図４，図５の左右方向）の一側の半部と他側の半部とを含み、一側及び他側のいずれか一方の半部が第１列又は第２列に属する圧力室３４Ａ又は３４Ｂに対応する圧電変形可能な活性部３３ａを形成し、いずれか他方の半部が第２列又は第１列に属する圧力室同士３４Ｂ又は３４Ａを隔離する隔壁３７に対応する圧電変形不能な非活性部３３ｂを形成する。つまり、複数の圧電振動子３３の配列方向に沿って、活性部３３ａ及び非活性部３３ｂの配置が左右に交互に入れ替わっており、隣り合う圧電振動子３３同士では活性部３３ａ及び非活性部３３ｂの配置が逆になっている。

図４及び図５中、符号４３は電極層によって形成された駆動電圧入力側の個別電極層を示し、符号４４は電極層によって形成された基準電位側の共通電極層を示している。個別電極層４３と共通電極層４４との間には圧電材料層４９が介在している。各個別電極層４３は各圧電振動子３３の一方の側面（図４、図５における右側の側面）に露出しており、各個別電極層４３の露出部には各個別外部電極４５が電気的に接続されている。また、各圧電振動子３３の共通電極層４４は各圧電振動子３３の他方の側面（図４、図５における左側の側面）に露出しており、各共通電極層４４の露出部には共通外部電極４６が電気的に接続されている。共通外部電極４６は複数の圧電振動子３３のすべての共通電極層４４に対して電気的に共通に接続されている。

図４から分かるように、第１列のノズル開口２３Ａ及び圧力室３４Ａに対応する活性部３３ａは、圧電アクチュエータユニット２９の一方の側面（図４中の右側の側面）から圧電振動子３３の幅方向（図４中左右方向）の内側に延びる短い個別電極層４３と、圧電アクチュエータユニット２９の他方の側面（図４中の左側の側面）から圧電振動子３３の幅方向の内側に延びる長い共通電極層４４とを含んでいる。

一方、図５から分かるように、第２列のノズル開口２３Ｂ及び圧力室３４Ｂに対応する活性部３３ａは、圧電アクチュエータユニット２９の一方の側面（図５中の右側の側面）から圧電振動子３３の幅方向（図５中の左右方向）の内側に延びる長い個別電極層４３と、圧電アクチュエータユニット２９の他方の側面（図５中の左側の側面）から圧電振動子３３の幅方向の内側に延びる短い共通電極層４４とを含んでいる。

複数の圧電振動子３３の上部には固定基板４７が設けられており、切り離されて互いに独立に形成された複数の圧電振動子３３が、固定基板４７によって一体に固定されている。固定基板４７は、快削性セラミクスによって形成されている。

なお、図２に示したように固定基板４７は、圧電アクチュエータユニット基板３０を介してケース２０の内面に接続されている。但し、後述するように本実施形態においては圧電振動子３３の駆動時の反力をケース２０で受ける必要がないので、圧電アクチュエータユニット基板３０のケース２０への固定は堅固である必要はない。

図４及び図５に示したように共通外部電極４６は、固定基板４７の上面を通って個別外部電極４５と同じ側に引き出されている。従って、複数の圧電振動子３３の個別外部電極４５及び共通外部電極４６のすべてを、圧電アクチュエータユニット２９の一側面（図４，図５中の右側側面）にてテープキャリアパッケージ（外部駆動手段の一種）３２に電気的に接続することができる。これにより、ノズル数の増加に起因する配線の煩雑化を避けることができる。

本実施形態における記録ヘッド１２では、弾性板２６の圧電アクチュエータユニット２９側の面は、複数の弾性壁２６ａのそれぞれの周囲においては、ケース２０に接合されることなく圧電アクチュエータユニット２９のみに接合されている。このため、圧電振動子３３を駆動した際に発生する力はケース２０を経由することなくループを形成する。つまり、圧電振動子３３の駆動時の反力をケース２０で受ける必要がない。従って、ケース２０に対して要求される構造強度を低く抑えることが可能であり、ケース２０の材料や構造の選択の自由度が高くなる。

図７から分かるように、隔壁３７に対応して形成された島状の固定厚肉部４０の長さは、圧力室３４Ａ，３４Ｂに対応して形成された島状の可動厚肉部３８の長さよりも長い。また、図３から分かるように弾性壁２６ａは、島状の可動厚肉部３８に対応する部分と、この可動厚肉部３８の周囲に形成された薄肉部（コンプライアンス部）３９と、を含む。薄肉部（コンプライアンス部）３９の外側輪郭は、複数のノズル開口２３Ａ（又は２３Ｂ）の配列方向においては、隔壁３７に対応して形成された島状の固定厚肉部４０によって規定され、複数のノズル開口２３Ａ（又は２３Ｂ）の配列方向に直行する方向においては、図２から分かるように圧力室３４Ａ（３４Ｂ）の側壁面の一部３４’及びインク供給口３６で規定される。

図８から分かるように本実施形態の記録ヘッド１２においては、１列の圧電振動子３３が２列のノズル開口２３Ａ、２３Ｂ（及び圧力室３４Ａ，３４Ｂ）に対応しており、各ノズル列毎に各圧電振動子列が配置される従来の記録ヘッドとは構成が異なる。

なお、固定厚肉部４０の構成の一変形例（本発明の一実施形態）としては、図９に示したように、複数の圧力室３４Ａ，３４Ｂ同士を隔離する隔壁３７に対応して、複数の圧電振動子３３のそれぞれの非活性部３３ｂが接続される複数の半島状の固定厚肉部４０Ａ、４０Ｂを形成し、第１列に対応する半島状の固定厚肉部４０Ａ同士を第１厚肉基部４８Ａで連結し、第２列に対応する半島状の固定厚肉部４０Ｂ同士を第２厚肉基部４８Ｂで連結する。第１厚肉基部４８Ａ及び第２厚肉基部４８Ｂは、圧力室３４Ａ，３４Ｂに関して、ノズル開口２３Ａ、２３Ｂが形成された側とは反対側に形成されている。

この図９に示した例においては、第１厚肉基部４８Ａ及び第２厚肉基部４８Ｂによって弾性板２６がその上方から支持されるので、流路形成板２５に対する弾性板２６のシールをより一層確実にすることができる。また、第１厚肉基部４８Ａ及び第２厚肉基部４８Ｂが、弾性板２６を流路形成板２５に接着する際に使用されるジグの当接部として機能するので、接着時に均一且つ十分な押圧力を確保することが可能となる。

次に、本実施形態による圧電アクチュエータユニット２９の製造方法について図１０乃至図１５を参照して説明する。

まず初めに、複数の圧電振動子３３の共通電極層４４を形成するための第１導電材料層５０（図１０（ａ））と、複数の圧電振動子３３の個別電極層４３を形成するための第２導電材料層５１（図１０（ｂ））とを、複数の圧電振動子３３の圧電材料層４９を形成するための圧電材料層５２を間に挟んで交互に積層し（図１１（ａ））、焼成することにより積層体５５（図１１（ｂ））を形成する。

図１０（ａ）に示したように、第１導電材料層５０には、複数の圧電振動子３３の配列方向に沿って第１窓列をなして所定のピッチで配置された複数の第１窓部５３が形成されている。また、図１０（ｂ）に示したように、第２導電材料層５１には、第１窓列に平行な第２窓列をなして、第１窓部５３と同じ所定のピッチで配置された複数の第２窓部５４が形成されている。第１窓部５３と第２窓部５４とは、複数の圧電振動子３３の配列方向に、前記所定のピッチの半分の距離だけ互いにずれている。

次に、図１２に示したように、第１導電材料層５０、第２導電材料層５１及び圧電材料層５２の積層方向における積層体５５の一方の面（図１２中の上側の面）に固定基板４７を接合する。すでに述べたようにこの固定基板４７は快削性セラミクスで形成されている。このように圧電アクチュエータユニット２９の一部を積層体５５とは別の部材で形成することにより、高価な圧電材料及び電極材料の費用を節減することができる。

次に、図１３に示したように、積層体５５の積層方向及び複数の圧電振動子３３の配列方向の両方に直交する振動子幅方向における積層体５５の一方の面に、第２導電材料層５１に接続される第２外部導電材料層５７を形成する。一方、振動子幅方向における積層体５５の他方の面に、第１導電材料層５０に接続される第１外部導電材料層５６を形成し、この第１外部導電材料層５６を、固定基板４７の上面を通って、第２外部導電材料層５７が形成された積層体５５の一方の面まで引き出すようにして延設する。これにより、上述した圧電アクチュエータユニット２９を製造するための母部材構造である圧電構造体６０が形成される。

次に、図１４に示したように、積層方向に沿って第１及び第２外部導電材料層５７と共に積層体５５に複数の切り込みを形成し、これにより複数の圧電振動子３３を形成する。このときの切り込みの深さは、固定基板４７がその途中まで切り込まれる程度である。すなわち、第１及び第２導電材料層５０，５１及び圧電材料層５２からなる積層体５５はその上下に貫通して切り込まれ、これにより圧電振動子３３同士が互いに独立した構造となる。

また、この切り込み工程においては、図１５（ａ）、（ｂ）に示したように、複数の切り込みのそれぞれが、複数の圧電振動子３３の配列方向における第１窓部５３の端部及び該配列方向における第２窓部５４の端部の両方にかかる位置にて形成される。これにより、切り込みの形成と同時に所定長さの共通電極層４４及び個別電極層４５（図４，図５参照）が形成される。なお、図４及び図５においては、圧電振動子３３の駆動に寄与しない部分の電極層は記載が省略されている。

また、切り込み時の位置合わせの便宜のために、第１導電材料層５０又は第２導電材料層５１を、複数の圧電振動子３３の先端に相当する積層体５５の端面（積層体５５の底面）にも形成し、これを積層体５５に切り込みを入れる際の位置合わせの指標とすることができる。特に、積層体５５の寸法が焼成時に変化するような場合には有効である。

最後に、複数の圧電振動子３３を駆動するための外部駆動手段であるテープキャリアパッケージ３２を、積層体５５の一つの面にて、複数の圧電振動子３３のすべての個別外部電極４５及び共通外部電極４６に接続する。このように積層体５５の一面にてテープキャリアパッケージ３２を接続できるので、配線作業が容易であると共に記録ヘッド１２の配線が簡素化される。

以上述べたように本実施形態によれば、圧電材料層５２と電極層５０，５１とを積層して構成された１バルクの積層体５５から圧電アクチュエータユニット２９を形成し、この圧電アクチュエータユニット２９に形成された１列の圧電振動子３３を２列のノズル列（及び圧力室列）に対応させることができるので、製造コストの過大な増加や配線の複雑化をもたらすことなく記録ヘッド１２のノズル数を増加させることができる。なお、従来の圧電アクチュエータユニットを用いてインクジェット式記録装置を製造する場合には、ノズル列（圧力室列）の数だけ圧電アクチュエータユニットが必要であり、或いはまた、ノズル列（圧力室列）の数だけテープキャリアパッケージ（駆動集積回路）が必要であった。

また、本実施形態においては、圧電振動子３３の配列方向において隣り合う圧力室３４Ａ，３４Ｂ同士の間の隔壁３７の上方に圧電振動子３３の非活性部３３ｂが接合されているので、圧電振動子３３を駆動してその活性部３３ａを変形させた際に、駆動された圧電振動子３３の両隣に位置する圧電振動子３３の非活性部３３ｂが流路ユニット２１の変形を防止する。このように圧電アクチュエータユニット２９自身が流路ユニット２１の変形を防止する強度部材として機能するので、印刷時のクロストーク、特に第１列（又は第２列）の圧電振動子３３のすべてを同時に駆動するような場合のクロストークを効果的に防止できると共に、ケース２０の剛性で流路ユニット２１の変形を防止する必要性が少なくなり、ケース２０の材料や構造の選択の自由度が高くなる。

なお、上述した実施形態では、１つの圧電アクチュエータユニット２９を２列のノズル列に対応させて配置する構成を説明したが、一変形例としては、複数の圧電アクチュエータユニット２９を設けて、複数のノズル開口２３Ａ、２３Ｂ及び複数の圧力室３４Ａ，３４Ｂで形成される第１列及び第２列から成る組を、各圧電アクチュエータユニット２９に対応させて複数組設けることもできる。

図２に示したようにテープキャリアパッケージ３２が垂直方向に引き出されているので、前記の如く圧電アクチュエータユニット２９の設置数を増やした場合でも配線の引き回しが容易である。この変形例の場合でも１つの圧電アクチュエータユニット２９で２列のノズル列に対応することができるので、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。

次に、上述した実施形態の一変形例について図１６及び図１７を参照して説明する。

上述した実施形態においては、図１４に示したように積層方向に沿って積層体５５に切り込みを形成し、圧電振動子３３同士を互いに物理的に分離している。これに対して本変形例においては、図１７に示したように圧電振動子３３同士が互いに分離されていない。

本変形例においては、複数の圧電振動子３３のそれぞれは、図１６（ａ）に示した第１導電材料層５０により構成される基準電位側の共通電極層４４と、図１６（ｂ）に示した第２導電材料層５１により構成される駆動電圧入力側の個別電極層４３との、積層方向における重なり部分によって個別化されて形成されている。

つまり、圧電振動子３３同士を切り込みによって物理的に切り離すのではなく、圧電振動子３３同士の間に圧電変形不能の非活性壁部分を介在させることにより、圧電振動子３３同士を物性的に分離している。換言すれば、圧電振動子３３同士の間に存在する圧電変形不能の非活性壁部分を介して、複数の圧電振動子３３が互いに分離されることなく一体に形成されている。

なお、以上は、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド１２を例に挙げて説明したが、本発明は、液晶噴射ヘッドや色材噴射ヘッド等といった他の液体噴射ヘッド、或いは、これらの液体噴射ヘッドに用いられる圧電アクチュエータユニットにも適用できる。また、マイクロポンプ等の各種装置に用いられる圧電アクチュエータユニットにも適用することができる。

また、上記実施形態では液体噴射装置の一種であるインクジェット式記録装置を例に挙げて説明したが、本発明は、液晶噴射ヘッドや色材噴射ヘッド等といった他の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

本発明の参考例の一実施形態による圧電アクチュエータユニットを用いた液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置の概略構成を示した斜視図。 図１に示したインクジェット式記録装置の記録ヘッドを拡大して示した縦断面図。 図１のＡ−Ａ断面図。 図２に示した記録ヘッドの第１列のノズル開口を含む縦断面図であり、図６のＡ−Ａ断面図。 図２に示した記録ヘッドの第２列のノズル開口を含む縦断面図であり、図６のＢ−Ｂ断面図。 図２に示した記録ヘッドのノズル開口、圧力室、及びインク流路の配置構成を示した図。 図２に示した記録ヘッドの可動厚肉部及び固定厚肉部の配置構成を示した図。 図２に示した記録ヘッドの圧電振動子の配置構成を示した図。 図７に示した記録ヘッドの固定厚肉部の配置構成の変形例（本発明の一実施形態）を示した図。 本発明の参考例の一実施形態による圧電アクチュエータユニットの製造方法を説明するための図であり、（ａ）は第１導電材料層が積層された圧電材料層を示し、（ｂ）は第２導電材料層が積層された圧電材料層を示す。 本発明の参考例の一実施形態による圧電アクチュエータユニットの製造方法を説明するための図であり、（ａ）は積層工程の途中を示し、（ｂ）は積層工程が終了した状態を示す。 本発明の参考例の一実施形態による圧電アクチュエータユニットの製造方法を説明するための図であり、積層体に固定基板を接合した状態を示した図。 本発明の参考例の一実施形態による圧電アクチュエータユニットの製造方法を説明するための図であり、積層体及び固定基板に第１及び第２外部導電材料層を形成した状態を示した図。 本発明の参考例の一実施形態による圧電アクチュエータユニットの製造方法を説明するための図であり、第１及び第２外部導電材料層と共に積層体及び固定基板に複数の切り込みを形成した状態を示した図。 本発明の参考例の一実施形態による圧電アクチュエータユニットの製造方法を説明するための図であり、図１４に示した切り込みを形成する位置について、（ａ）は第１導電材料層の窓部との関係を示し、（ｂ）は第２導電材料層の窓部との関係を示す。 図１４に示した実施形態の一変形例としての圧電アクチュエータユニットを説明するための図であり、（ａ）は基準電位側の共通電極層４４を構成する第１導電材料層５０のパターンを示し、（ｂ）は駆動電圧入力側の個別電極層４３を構成する第２導電材料層５１のパターンを示す。 図１４に示した実施形態の一変形例としての圧電アクチュエータユニットを示した斜視図。 従来のインクジェット式記録装置の記録ヘッドを示した断面図。

符号の説明

１２ 記録ヘッド
２０ ヘッドケース
２１ 流路ユニット
２２ ノズル形成面
２３Ａ、２３Ｂ ノズル開口
２４ ノズルプレート
２５ 流路形成板
２６ 弾性板
２６ａ 弾性壁
２７ 振動板
２９ 圧電アクチュエータユニット
３０ 圧電アクチュエータユニット基板
３１ 駆動集積回路
３２ テープキャリアパッケージ
３３ 圧電振動子
３３ａ 活性部
３３ｂ 非活性部
３４Ａ，３４Ｂ 圧力室
３４’ 圧力室の側壁面の一部
３５ 共通インク室
３６ インク供給口
３７ 隔壁
３８ 可動厚肉部
３９ 薄肉部
４０、４０Ａ、４０Ｂ 固定厚肉部
４３ 個別電極層
４４ 共通電極層
４５ 個別外部電極
４６ 共通外部電極
４７ 固定基板
４８Ａ 第１厚肉基部
４８Ｂ 第２厚肉基部
４９ 圧電材料層
５０ 第１導電材料層
５１ 第２導電材料層
５２ 圧電材料層
５３ 第１窓部
５４ 第２窓部
５５ 積層体
５６ 第１外部導電材料層
５７ 第２外部導電材料層
６０ 圧電構造体

Claims (9)

1. 液滴が噴射される複数のノズル開口が所定のピッチで列状に形成されたノズル形成面を有する液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、
   前記液体噴射ヘッドは、前記複数のノズル開口のそれぞれに連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室のそれぞれの一面を形成する複数の弾性壁と、前記弾性壁を変形させて前記圧力室の容積を変化させる圧電アクチュエータユニットと、を有し、
   前記複数のノズル開口及び前記複数の圧力室は、互いに平行な第１列及び第２列をなして配置されると共に、前記第１列に属する前記ノズル開口及び前記圧力室と前記第２列に属する前記ノズル開口及び前記圧力室とが前記所定のピッチの半分のピッチで互いにずれており、
   前記圧電アクチュエータユニットは、前記複数の圧力室に対応させて前記所定のピッチの半分のピッチで１列に配置された複数の圧電振動子を有し、前記複数の圧電振動子のそれぞれが、前記第１列又は前記第２列に属する前記圧力室に対応する圧電変形可能な活性部と、前記第２列又は前記第１列に属する前記圧力室同士を隔離する隔壁に対応する圧電変形不能な非活性部と、を含み、隣り合う前記圧電振動子同士では前記活性部及び前記非活性部の配置が逆であり、各圧電振動子は駆動電圧入力側の個別電極層を有し、前記複数の圧電振動子のすべての前記個別電極層が前記振動子幅方向における前記圧電アクチュエータユニットの一側の側面に露出しており、
   前記複数の弾性壁は、前記複数の圧力室の全体を覆う弾性板の一部から成り、
   前記弾性板の前記圧電アクチュエータユニット側の面は、前記複数の弾性壁のそれぞれの周囲においては前記圧電アクチュエータユニットのみに接合されており、
   前記複数の圧力室のそれぞれに対応して形成され、前記複数の圧電振動子のそれぞれの前記活性部が接合された複数の島状の可動厚肉部と、前記複数の圧力室同士を隔離する前記隔壁に対応して形成され、前記複数の圧電振動子のそれぞれの前記非活性部が接合された複数の半島状の固定厚肉部と、前記第１列に対応する前記半島状の固定厚肉部同士を連結する第１厚肉基部と、前記第２列に対応する前記半島状の固定厚肉部同士を連結する第２厚肉基部とが、前記弾性板の前記圧電アクチュエータユニット側の面に設けられている、ことを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記複数の圧電振動子のそれぞれは、さらに、基準電位側の共通電極層を有し、
   前記複数の圧電振動子のすべての前記共通電極層が、前記振動子幅方向における前記圧電アクチュエータユニットの他側の側面に露出している請求項１記載の液体噴射装置。
3. 前記圧電振動子は圧電材料層と電極層とを前記ノズル形成面に垂直な方向に沿って積層して形成されており、前記圧電振動子は前記圧電材料層及び前記電極層の積層方向に振動する請求項１又は２に記載の液体噴射装置。
4. 前記複数の圧電振動子のすべてと外部駆動源とが前記圧電アクチュエータユニットの一側面にて電気的に接続されている請求項３記載の液体噴射装置。
5. 前記圧電アクチュエータユニットを複数備え、
   前記複数のノズル開口及び前記複数の圧力室で構成される前記第１列及び前記第２列から成る組を複数備え、
   前記第１列及び前記第２列から成る各組毎に前記圧電アクチュエータユニットを配置した請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液体噴射装置。
6. 前記第１厚肉基部及び前記第２厚肉基部は、前記圧力室に関して、前記ノズル開口が形成された側とは反対側に配置されている請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液体噴射装置。
7. 前記隔壁に対応して形成された前記島状の固定厚肉部又は前記半島状の固定厚肉部の長さは、前記圧力室に対応して形成された前記島状の可動厚肉部の長さよりも長い請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液体噴射装置。
8. 前記弾性壁は、前記島状の可動厚肉部に対応する部分と、前記島状の可動厚肉部の周囲に形成されたコンプライアンス部と、を有し、
   前記コンプライアンス部の外側輪郭は、前記複数のノズル開口の配列方向においては、前記隔壁に対応して形成された前記島状の固定厚肉部又は前記半島状の固定厚肉部によって規定され、前記複数のノズル開口の配列方向に直行する方向においては、前記圧力室を形成する側壁面の一部及び前記圧力室のインク供給口によって規定される請求項７記載の液体噴射装置。
9. 前記圧電振動子は圧電材料層と電極層とを前記ノズル形成面に垂直な方向に沿って積層して形成されており、前記圧電振動子は前記圧電材料層及び前記電極層の積層方向に振動し、前記圧電振動子同士の間に前記振動子幅方向の全体にわたって延在する圧電変形不能の非活性壁部分を介して、前記複数の圧電振動子が互いに分離されることなく一体に形成されている請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液体噴射装置。

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