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JP4600881B2 - Manufacturing method of glass caps for organic EL devices - Google Patents
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Description

本発明は、有機EL素子のガラスキャップの製法に係り、特に、トップエミッション型の有機EL素子のガラスキャップ、特にマイクロレンズと一体になったガラスキャップの量産を可能にする製法に関するものである。   The present invention relates to a method of manufacturing a glass cap of an organic EL element, and more particularly to a manufacturing method that enables mass production of a glass cap of a top emission type organic EL element, particularly a glass cap integrated with a microlens.

有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、略して「有機EL素子」という。)は、近年の薄膜形成技術の進歩により、厚さnmクラスの高純度、良質の積層膜が形成できるようになり、5V程度の低電圧動作が可能となった。
このようにして有機EL素子は、低消費電力、高品質で、薄型で、さらには曲面表示も可能な、次世代表示システム用の素子として注目されている。
Organic electroluminescence elements (hereinafter referred to as “organic EL elements” for short) have become possible to form high-purity, high-quality laminated films with a thickness of nm class due to recent advances in thin film formation technology, and have a thickness of about 5V. Low voltage operation is possible.
In this way, organic EL elements are attracting attention as elements for next-generation display systems that have low power consumption, high quality, are thin, and can display curved surfaces.

有機EL素子では、所定の有機分子成分からなる複数の膜を上下に順次積層して有機EL層とし、その上下両側に各々電極層を付着してOLED(有機発光ダイオード)を形成し、両電極を通じて所定の電圧又は電流を印加して電子とホールを有機EL層に注入し、電子とホールが再結合する際に発光する現象を利用する。
従って、上記の発光を外部に導いて表示機能を果たさせるためには、上下に備えた電極の内、少なくとも一方の電極は透明でなければならない。
In an organic EL element, a plurality of films composed of predetermined organic molecular components are sequentially stacked to form an organic EL layer, and electrode layers are attached to both the upper and lower sides to form an OLED (organic light emitting diode). A predetermined voltage or current is applied to inject electrons and holes into the organic EL layer, and the phenomenon of light emission when electrons and holes recombine is utilized.
Therefore, in order to perform the display function by guiding the light emission to the outside, at least one of the upper and lower electrodes must be transparent.

この透明電極膜としては、電気伝導度と透明度の両立を図ることができる材質としてITO(酸化インジウム錫)が普及しているが、一般にはITOの電気抵抗を下げるためアニールが必要であり、且つ、ITOの表面の平滑度を上げるため(粗度を下げるため)研磨が必要である。   As this transparent electrode film, ITO (Indium Tin Oxide) is widely used as a material capable of achieving both electrical conductivity and transparency, but in general, annealing is required to reduce the electrical resistance of ITO, and Polishing is necessary to increase the smoothness of the ITO surface (to reduce the roughness).

有機EL層はITOのアニールの際に高温になると変質してしまうので、有機EL層は、ITOより後に形成する必要があった。
即ち、積層順が[基板−第1電極(ITO)−有機EL層−第2電極(不透明電極でもよい)]となり、基板側から発光させる(ボトムエミッション)ため、基板も透明でなければならず、通常、ガラス基板を用いている。
Since the organic EL layer deteriorates when the ITO is annealed at a high temperature, the organic EL layer has to be formed after the ITO.
That is, the stacking order is [substrate-first electrode (ITO) -organic EL layer-second electrode (may be an opaque electrode)], and light is emitted from the substrate side (bottom emission), so the substrate must also be transparent. Usually, a glass substrate is used.

しかしながら、ガラス基板は熱伝導性が悪く、作動中の発熱に対し放熱が不十分で高温になり有機EL層の劣化を招き易い。   However, the glass substrate has poor thermal conductivity, and the heat dissipation during operation is insufficient to dissipate heat, resulting in a high temperature, which tends to deteriorate the organic EL layer.

さらに、高速高精細の表示システムを得るためには、アクティブマトリクス(TFT)駆動にしなければならないが、その場合、TFTトランジスタを基板とITO電極の間に形成しなければならないので、TFTトランジスタの存在する分だけ開口率が低下し、発光の外部変換効率が低下する。
即ち、所要の発光量を確保するためには消費電力が増大し、従って消費電力に比例する発熱量が増大し、さらに高温になってしまい、有機EL層の劣化を一層招き易い。
Furthermore, in order to obtain a high-speed and high-definition display system, it is necessary to drive an active matrix (TFT). As a result, the aperture ratio decreases, and the external conversion efficiency of light emission decreases.
That is, in order to ensure the required amount of light emission, the power consumption increases, and accordingly, the amount of heat generated in proportion to the power consumption increases, resulting in a higher temperature, and the organic EL layer is more likely to deteriorate.

そこで、第2電極を透明化して[基板―TFT−第1電極−有機EL層−第2電極(ITO)]とし、基板の反対側から発光させる(トップエミッション)方式が研究されている。
トップエミッション型の場合、基板の反対側にあってOLEDなどを封止し保護するキャップは、堅固であるだけでなく透明でなければならないので、ガラスキャップが用いられる。
Therefore, a method of making the second electrode transparent to be [substrate-TFT-first electrode-organic EL layer-second electrode (ITO)] and emitting light from the opposite side of the substrate (top emission) has been studied.
In the case of the top emission type, the cap that seals and protects the OLED or the like on the opposite side of the substrate must be not only rigid but also transparent, so a glass cap is used.

ガラスキャップのサイズはほぼ基板のサイズに対応し、ガラスキャップの縁辺部には脚部が必要で、脚部の先端が基板の対応する縁辺部に接着されて、基板上に搭載されたOLEDなどを収容する封止空間を形成する。   The size of the glass cap roughly corresponds to the size of the substrate, and a leg is required at the edge of the glass cap. The OLED mounted on the substrate with the tip of the leg bonded to the corresponding edge of the substrate, etc. To form a sealed space for accommodating.

このような脚部つきガラスキャップは、通常はサンドブラストなどにより掘り込む方法で形成されるが、肝心の掘り込まれた内面が粗で不透明になり、トップエミッション型有機EL素子には使えない。
また、マスクをかけてフッ酸などにより選択的にエッチングする方法もあるが、フッ酸は劇薬である上にエッチングで形成された内面が不透明になり易いだけではなく、サイドエッチなどにより良好な寸法精度が得がたい。
Such a glass cap with legs is usually formed by a method of digging by sandblasting or the like, but the inner surface of the digging is rough and opaque, and cannot be used for a top emission type organic EL element.
In addition, there is a method of selectively etching with hydrofluoric acid etc. by applying a mask, but hydrofluoric acid is not only a powerful drug but also the inner surface formed by etching tends to become opaque, and good dimensions by side etching etc. It is difficult to obtain accuracy.

そこで、ガラスを加温して軟化した状態で加圧してプレス型にあてるプレス成形が用いられる。
例えば、特許文献1には、(ボトムエミッション型の)有機EL素子の背面ガラスを乾燥剤収納スペースと一体に熱間プレス法により形成する技術が開示されている。
Therefore, press molding in which the glass is heated and softened and applied to a press die is used.
For example, Patent Document 1 discloses a technique of forming a rear glass of an organic EL element (of bottom emission type) by a hot press method integrally with a desiccant storage space.

しかしながら、トップエミッション型のガラスキャップ用のプレス型の材料としては、高温高圧下での硬度、強度、耐久性に加えて、上記ボトムエミッション型の場合と異なり、高い面精度、高い熱伝導度、ガラスの成分またはガラスからの揮発成分と反応せず離型性が良いこと、などの条件を比較的安価に満たす必要があるので、グラファイト(黒鉛)、ガラス状カーボン(グラッシーカーボン)などが用いられる。   However, as a press mold material for the top emission type glass cap, in addition to the hardness, strength and durability under high temperature and high pressure, unlike the bottom emission type, high surface accuracy, high thermal conductivity, Since it is necessary to satisfy the conditions such as good releasability without reacting with glass components or volatile components from glass, graphite (graphite), glassy carbon (glassy carbon), etc. are used. .

例えば特許文献2には、プレス型の少なくとも型機能面を結晶方位の揃ったグラファイトで形成し、面精度と離型性を増進する技術が開示されている。   For example, Patent Document 2 discloses a technique for improving surface accuracy and releasability by forming at least a die functional surface of a press die with graphite having a uniform crystal orientation.

また特許文献3には、高い形状精度を備えた光学素子や、表面に微細な凹凸によってパターンが形成されたガラス基板などを、ガラス状カーボンで構成したガラス用成形型を用いてプレス成形製造する技術が開示されている。   In Patent Document 3, an optical element having high shape accuracy, a glass substrate on which a pattern is formed by fine irregularities on a surface, and the like are press-molded and manufactured using a glass mold composed of glassy carbon. Technology is disclosed.

しかしながら、これらのプレス型を用いても、特にガラスキャップのサイズを大型化した場合、ガラス面に所定の面精度を損なう「うねり」や「きず」が発生し、表示画像を歪ませてしまう場合があった。
特開2003−007453号公報 特開平8−239227号公報 特開2002−255566号公報
However, even if these press dies are used, especially when the size of the glass cap is increased, “swells” and “scratches” that impair the specified surface accuracy occur on the glass surface, and the display image is distorted. was there.
JP 2003007453 A JP-A-8-239227 Japanese Patent Laid-Open No. 2002-255566

本発明は、特に大型で高精細のトップエミッション型有機EL素子に要求されるガラスキャップの製造に際して生じる上記の諸問題を解決するために、「うねり」や「きず」のない、高い面精度と透明度を有するガラスキャップの製法を提供することを目的とする。   In order to solve the above-mentioned problems that occur in the production of glass caps particularly required for large, high-definition top emission organic EL elements, the present invention has high surface accuracy free from “swells” and “scratches”. It aims at providing the manufacturing method of the glass cap which has transparency.

本発明は、又これに加えて、高い面精度と透明度を有するマイクロレンズを一体に備えた、トップエミッション型有機EL素子に適したガラスキャップの製法を提供することを目的とする。   Another object of the present invention is to provide a method for producing a glass cap suitable for a top emission type organic EL device, which is integrally provided with microlenses having high surface accuracy and transparency.

上記目的を達成するために、本発明による有機EL素子のガラスキャップの製法は請求項1に記載のとおり、グラファイト又はガラス状カーボン材のプレス型を用いるプレス加工法において、プレス型の材質にカーボンナノチューブが混合されており、前記プレス型が、前記ガラスキャップの内表面にマイクロレンズアレイを一体に形成するプレス機能面を備えることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the method for producing a glass cap of an organic EL device according to the present invention is the press working method using a press die of graphite or a glassy carbon material as described in claim 1, wherein the material of the press die is carbon. Nanotubes are mixed, and the press die includes a press functional surface that integrally forms a microlens array on the inner surface of the glass cap .

本発明による有機EL素子のガラスキャップの製法によれば、グラファイト又はガラス状カーボンからなるプレス型の材質にカーボンナノチューブが混合されているので、より硬質で、且つ熱伝導度の高いプレス型が得られることになり、「うねり」や「きず」のない、高い面精度と透明度を有するガラスキャップの製法を経済的に提供できる。   According to the method for producing a glass cap of an organic EL element according to the present invention, since a carbon nanotube is mixed with a press mold material made of graphite or glassy carbon, a press mold that is harder and has high thermal conductivity is obtained. Therefore, it is possible to economically provide a method for producing a glass cap having high surface accuracy and transparency without “undulation” and “scratches”.

特に、本発明による有機EL素子のガラスキャップの製法によれば、ガラスキャップの内面に、高い面精度と透明度を有するマイクロレンズアレイを、ガラスキャップと一体になった形で経済的に形成できる。   In particular, according to the method for producing a glass cap of an organic EL element according to the present invention, a microlens array having high surface accuracy and transparency can be economically formed on the inner surface of the glass cap in an integrated form with the glass cap.

以下、本発明に係る実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。
図1は、第1の実施例における有機EL素子のガラスキャップの製法を示す断面模式図、図2は、第2の実施例において使われるプレス型、得られたガラスキャップと、その、有機素子における使い方を示す断面模式図である。
Embodiments according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a method for producing a glass cap of an organic EL element in the first embodiment. FIG. 2 is a press mold used in the second embodiment, the obtained glass cap, and the organic element. It is a cross-sectional schematic diagram which shows how to use.

本発明は、非特許文献1において、信州大学の杉本公一教授他により発表された、「プレス型の材質として、グラファイト又はガラス状カーボンにカーボンナノチューブを混合することにより、プレス型の熱伝導率が向上し、ガラスの高温精密加工が可能になる。」という知見に基づく。   The present invention is disclosed in Non-Patent Document 1 by Professor Koichi Sugimoto of Shinshu University and others, “As a press mold material, carbon nanotubes are mixed with graphite or glassy carbon, so that the heat conductivity of the press mold is Is improved, and high-temperature precision processing of glass becomes possible. "

本発明は、特許文献4において公開された、「プレス型の材質として、グラファイト又はガラス状カーボンにカーボンナノチューブを混合することにより、プレス型の硬度・強度が向上し、ガラスの高温精密加工が可能になる。」という知見に基づく。
日経産業新聞2004年3月16日号第17頁 特開2003−165729号公報
The present invention is disclosed in Patent Document 4, “By mixing carbon nanotubes with graphite or glassy carbon as the material of the press mold, the hardness and strength of the press mold is improved and high-temperature precision processing of glass is possible. Is based on the knowledge.
17th page of the Nikkei Sangyo Shimbun March 16, 2004 issue JP 2003-165729 A

図1を参照すると、本実施例におけるトップエミッション型有機EL素子用のガラスキャップは次の手順で形成される。   Referring to FIG. 1, a glass cap for a top emission type organic EL element in this example is formed by the following procedure.

図1(A)に示すように、プレス型として、ヒータウェイトとなる上型10、ガイドとなる中型20、カーボンヒータとなる下型30を用意する。
上型10は、下方プレス機能面10aと側方プレス機能面10bを備え、さらに上部に側方に延伸されたストッパ15を備え、ストッパ15は下面にストッパ面15aを有する。
中型20は、貫通孔20bを中央部に備え、ストッパ面20aを上部に備え、上型10の側方プレス機能面10bが貫通孔20bと摺動可能になっている。
下型30は、下方プレス機能面30aと側方プレス機能面30bからなる凹部を備える。
As shown in FIG. 1A, an upper mold 10 serving as a heater weight, an intermediate mold 20 serving as a guide, and a lower mold 30 serving as a carbon heater are prepared as press molds.
The upper die 10 includes a lower press functional surface 10a and a side press functional surface 10b, and further includes a stopper 15 extended laterally at the upper portion. The stopper 15 has a stopper surface 15a on the lower surface.
The middle die 20 has a through hole 20b at the center, a stopper surface 20a at the top, and the side press functional surface 10b of the upper die 10 is slidable with the through hole 20b.
The lower die 30 includes a recess composed of a lower press functional surface 30a and a side press functional surface 30b.

これらの上中下のプレス型の全体、又は少なくともそのプレス機能面を含む部分は、カーボンナノチューブが混合された、グラファイト又はガラス状カーボンからなる。   The entire upper, middle, and lower press dies, or at least the portion including the press functional surface, is made of graphite or glassy carbon mixed with carbon nanotubes.

中型20と下型30とは、一点鎖線25に示す位置に設けたボルトとナットからなる送り機構(図示せず)により、相互の位置関係が調節可能に固定されていて、上型10を図中の矢印で示すように中型の貫通孔20bを摺動しながら下降させて、上型のストッパ面15aが中型のストッパ面20aに当接すると、上型の下方プレス機能面10a、側方プレス機能面10bと、下型の下方プレス機能面30a、側方プレス機能面30bの間には、被加工ガラスの厚さに相当する所定の間隙が形成されるように設定してある。   The middle mold 20 and the lower mold 30 are fixed to each other so that the positional relationship between the middle mold 20 and the lower mold 30 can be adjusted by a feed mechanism (not shown) composed of a bolt and a nut provided at a position indicated by a dashed line 25. When the upper die stopper surface 15a comes into contact with the middle die stopper surface 20a by sliding down the middle die through hole 20b as indicated by the middle arrow, the upper die lower press functional surface 10a, side press A predetermined gap corresponding to the thickness of the glass to be processed is formed between the functional surface 10b and the lower press functional surface 30a and the side press functional surface 30b of the lower die.

ここで、中型20と下型30の間に被加工物であるガラス板100を配置し、適当な温度と圧力のもとで、中型20の貫通孔20bをガイドとして上方10を図中の矢印方向にストッパ面15aがストッパ面20aに当接するまで下降させる。
そうすると、図1(B)に示すようにガラス板100はプレス成形され、断面が底部110と側部120からなる「凹」字型の、所望のガラスキャップが得られる。
Here, the glass plate 100 which is a workpiece is arranged between the middle mold 20 and the lower mold 30, and the upper 10 is an arrow in the figure with the through hole 20 b of the middle mold 20 as a guide under an appropriate temperature and pressure. The stopper surface 15a is lowered in the direction until it comes into contact with the stopper surface 20a.
Then, as shown in FIG. 1B, the glass plate 100 is press-molded, and a desired glass cap having a “concave” shape whose cross section is composed of the bottom portion 110 and the side portion 120 is obtained.

本実施例によるプレス型の少なくともプレス機能面を含む部分は、グラファイト又はガラス状カーボンからなり、カーボンナノチューブが混合されているので、従来よりも硬質で、且つ熱伝導度が高い。
従って、得られたガラスキャップは、高温下で加工しても、プレス型が硬質で強度が高いので「うねり」がなく、プレス型の熱伝導度が高く離型性が良いので「きず」がなく、高い面精度と透明度を有する。
The part including at least the press function surface of the press die according to the present embodiment is made of graphite or glassy carbon, and since carbon nanotubes are mixed, it is harder and has a higher thermal conductivity than before.
Therefore, even if the obtained glass cap is processed at a high temperature, the press mold is hard and has high strength, so there is no “swell”, and the press mold has high heat conductivity and good releasability, so that “scratches” occur. And high surface accuracy and transparency.

図2を参照すると、本実施例によれば、図2(A)に示すように、上型10の下方プレス機能面10aはカーボンナノチューブを含む、グラファイト又はガラス状カーボンからなり、マイクロレンズアレイに対応する凹面型40のアレイを備える。   Referring to FIG. 2, according to the present embodiment, as shown in FIG. 2 (A), the lower press functional surface 10a of the upper mold 10 is made of graphite or glassy carbon containing carbon nanotubes, and is formed into a microlens array. A corresponding array of concave molds 40 is provided.

このプレス型を用いて上記実施例と同じようにガラス板100を加工すると、図2(B)に示すように、ガラスキャップの底部110の内面には、複数の凸型110aからなるマイクロレンズアレイがガラスキャップの底部110と一体になって形成される。   When the glass plate 100 is processed in the same manner as in the above embodiment using this press die, as shown in FIG. 2B, a microlens array comprising a plurality of convex molds 110a is formed on the inner surface of the bottom 110 of the glass cap. Is formed integrally with the bottom 110 of the glass cap.

上記実施例1の場合と同様の理由で、得られたガラスキャップは「うねり」や「きず」がなく、マイクロレンズアレイの型形状を忠実に再現する高い面精度と透明度を有する。   For the same reason as in Example 1, the obtained glass cap has no “swell” and “scratches”, and has high surface accuracy and transparency that faithfully reproduces the mold shape of the microlens array.

図2(C)に示すように、このようにして得られたガラスキャップは上下反転して、別途基板130上に形成した有機発光ダイオード(OLED)140などを底部110で覆うように設置し、側部120の先端を基板130の縁辺部に接着して有機発光ダイオード(OLED)140などを封止する。   As shown in FIG. 2C, the glass cap obtained in this manner is turned upside down, and an organic light emitting diode (OLED) 140 or the like separately formed on the substrate 130 is installed so as to be covered with the bottom 110, The tip of the side portion 120 is bonded to the edge portion of the substrate 130 to seal the organic light emitting diode (OLED) 140 and the like.

OLED 140は、作動すると所定の色調の光を発光するが、発光強度は、図面で上方垂直方向を1とし、垂直方向からの離角をθとすると、cosθに比例して分布する。   The OLED 140 emits light of a predetermined color tone when activated, and the emission intensity is distributed in proportion to cos θ, where 1 is the upper vertical direction in the drawing and θ is the separation angle from the vertical direction.

マイクロレンズアレイの個々の凸部110aは凸レンズとなって、上記の発光を集光するので、図面上方から見た表示画面の輝度を増加できる。
換言すると、同等の輝度を得るのに、消費電力を抑えることができ、即ち、発熱による温度上昇を抑えることができ、有機EL層の寿命を延伸することができる。
Each convex part 110a of the microlens array becomes a convex lens and collects the above-mentioned light emission, so that the luminance of the display screen viewed from above the drawing can be increased.
In other words, the power consumption can be suppressed to obtain the same luminance, that is, the temperature rise due to heat generation can be suppressed, and the life of the organic EL layer can be extended.

本図では、マイクロレンズアレイの凸型のサイズ、ピッチは、OLEDのサイズ、ピッチに1対1に対応しているが、これに限定されるものではない。   In this figure, the convex size and pitch of the microlens array correspond to the size and pitch of the OLED on a one-to-one basis, but the invention is not limited to this.

本実施例によれば、このような効果を発揮する高精度で透明度の高いマイクロレンズアレイをガラスキャップと一体に、即ち追加製造コストを伴わずに形成できる。   According to the present embodiment, it is possible to form a highly accurate and highly transparent microlens array that exhibits such an effect integrally with the glass cap, that is, without additional manufacturing costs.

実施例1における有機EL素子のガラスキャップの製法を示す断面模式図である。3 is a schematic cross-sectional view showing a method for producing a glass cap of an organic EL element in Example 1. FIG. 実施例2において使われるプレス型、得られたガラスキャップと、その、有機EL素子における使い方を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows the press type | mold used in Example 2, the obtained glass cap, and the usage in the organic EL element.

符号の説明Explanation of symbols

10 上型
10a 下方プレス機能面
10b 側方プレス機能面
15 ストッパ
15a ストッパ面
20 中型
20a ストッパ面
20b 貫通孔
25 送り機構を示す一点鎖線
30 下型
30a 下方プレス機能面
30b 側方プレス機能面
40 凹面型
100 ガラス板
110 底部
110a マイクロレンズアレイの凸型
120 側部
130 基板
140 有機EL発光ダイオード(OLED)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Upper mold | type 10a Lower press functional surface 10b Side press functional surface 15 Stopper 15a Stopper surface 20 Medium mold 20a Stopper surface 20b Through-hole 25 Dash-dot line which shows a feed mechanism 30 Lower mold | type 30a Lower press functional surface 30b Side press functional surface 40 Concave surface Mold 100 Glass plate 110 Bottom 110a Convex mold of microlens array 120 Side 130 Substrate 140 Organic EL light emitting diode (OLED)

Claims (1)

グラファイト又はガラス状カーボン材のプレス型を用いるプレス加工法において、プレス型の材質にカーボンナノチューブが混合されており、
前記プレス型が、前記ガラスキャップの内表面にマイクロレンズアレイを一体に形成するプレス機能面を備える
ことを特徴とする有機EL素子のガラスキャップの製法。
In the press working method using a press die of graphite or glassy carbon material, carbon nanotubes are mixed with the material of the press die ,
The press mold includes a press function surface that integrally forms a microlens array on the inner surface of the glass cap .
The manufacturing method of the glass cap of the organic EL element characterized by the above-mentioned.
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